[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2008298193A - Uniaxial actuator - Google Patents

Uniaxial actuator Download PDF

Info

Publication number
JP2008298193A
JP2008298193A JP2007145331A JP2007145331A JP2008298193A JP 2008298193 A JP2008298193 A JP 2008298193A JP 2007145331 A JP2007145331 A JP 2007145331A JP 2007145331 A JP2007145331 A JP 2007145331A JP 2008298193 A JP2008298193 A JP 2008298193A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide rail
rolling
rolling element
groove
support unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007145331A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Yabe
孝之 矢部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP2007145331A priority Critical patent/JP2008298193A/en
Publication of JP2008298193A publication Critical patent/JP2008298193A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a uniaxial actuator attached with a support unit, without substantially causing an error in an installation position. <P>SOLUTION: A support unit 17 of the uniaxial actuator has two projection parts 34 and 34 of a shape engaging with a rolling element rolling groove 11a of a guide rail 11, in a position opposed to the rolling element rolling groove 11a of the guide rail 11. These two projection parts 34 and 34 are respectively fitted to the rolling element rolling grooves 11a and 11a of both side walls 32 and 32 of the guide rail 11, and after positioning the installation position of the support unit 17, the support unit 17 is fixed to an end surface of the guide rail 11 by a bolt 25. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、直動案内軸受とねじ式送り装置とを一体化してなる一軸アクチュエータに関する。   The present invention relates to a uniaxial actuator formed by integrating a linear motion guide bearing and a screw type feeding device.

従来の一軸アクチュエータとしては、例えば、断面が凹字状で、相対する内側面に軸方向に延びる転動体転動溝を有する案内レールと、この案内レールの幅方向のほぼ中央部に軸方向に対して平行に配設されたねじ軸と、案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有しねじ軸に多数のボールを介して螺合されたスライダと、案内レールの両端にそれぞれ取り付けられねじ軸を回転可能に支持する2つのサポートユニットと、を備えるものが知られている。   As a conventional uniaxial actuator, for example, a guide rail having a concave cross section and having rolling element rolling grooves extending in the axial direction on the opposite inner side surfaces, and an axial direction substantially at the center in the width direction of the guide rail. A screw shaft disposed in parallel to the guide rail, a slider having a rolling element rolling groove facing the rolling element rolling groove of the guide rail, screwed to the screw shaft via a number of balls, and a guide rail 2. Description of the Related Art There are known devices including two support units that are respectively attached to both ends and rotatably support a screw shaft.

スライダの両側面には、案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝が形成されており、両転動体転動溝によって転動体転動路が形成されている。また、スライダの内部には、両側面の転動体転動溝と平行をなして軸方向に貫通する貫通孔からなる転動体戻し路がそれぞれ形成されている。さらに、スライダの軸方向両端に取り付けられたエンドキャップには、転動体転動路とこれに対応する転動体戻し路とを連通させる湾曲路が形成されている。そして、これらの転動体転動路と転動体戻し路と両端の湾曲路とで転動体循環路が形成されており、この転動体循環路内には、直動案内用の多数の転動体(玉)が転動自在に装填されている。   On both side surfaces of the slider, rolling element rolling grooves that face the rolling element rolling grooves of the guide rail are formed, and a rolling element rolling path is formed by both rolling element rolling grooves. In addition, rolling element return paths each including a through hole penetrating in the axial direction in parallel with the rolling element rolling grooves on both sides are formed inside the slider. Furthermore, the end caps attached to both ends in the axial direction of the slider are formed with curved paths that connect the rolling element rolling paths and the corresponding rolling element return paths. A rolling element circulation path is formed by the rolling element rolling path, the rolling element return path, and the curved paths at both ends, and a large number of rolling elements for linear motion guidance ( Ball) is loaded to roll freely.

また、サポートユニットには貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面に転がり軸受が嵌合されている。そして、この転がり軸受の内径部にねじ軸が挿通されるとともに嵌合され、この転がり軸受によってねじ軸が回転可能とされている。
ねじ軸を回転させると、これに螺合するスライダが、転動体転動路内の転動体の転動を介して軸方向に滑らかに移動する。この移動時には、直動案内用の転動体は転動体循環路内を転動しつつ無限循環する。
このような従来の一軸アクチュエータにおいては、サポートユニットは、案内レールの両端面に取り付けられていた。すなわち、案内レールの端面にタップ穴が設けられ、ボルトによってサポートユニットが取り付けられていた。
特開2003−120820号公報 特開平11−108141号公報
Further, the support unit is provided with a through hole, and a rolling bearing is fitted to the inner peripheral surface of the through hole. Then, the screw shaft is inserted and fitted into the inner diameter portion of the rolling bearing, and the screw shaft can be rotated by the rolling bearing.
When the screw shaft is rotated, the slider engaged with the screw shaft moves smoothly in the axial direction through the rolling of the rolling element in the rolling element rolling path. During this movement, the rolling element for linear motion guidance is infinitely circulated while rolling in the rolling element circulation path.
In such a conventional uniaxial actuator, the support unit is attached to both end faces of the guide rail. That is, a tapped hole is provided in the end surface of the guide rail, and the support unit is attached by a bolt.
JP 2003-120820 A JP-A-11-108141

一軸アクチュエータが円滑に駆動されるためには、ねじ軸は、その中心位置が高精度で位置合わせされている必要があるので、ねじ軸を支持するサポートユニットを案内レールに取り付ける際にも、高精度な位置合わせが必要であった。すなわち、ねじ軸の中心が所定の位置となるように、サポートユニットに設けられた貫通孔の位置を合わせる必要があった。   In order for the single-axis actuator to be driven smoothly, the center position of the screw shaft needs to be aligned with high accuracy. Therefore, even when the support unit that supports the screw shaft is attached to the guide rail, Accurate alignment was necessary. That is, it is necessary to align the positions of the through holes provided in the support unit so that the center of the screw shaft is at a predetermined position.

しかしながら、位置合わせのための基準となるものがないため、高精度な位置合わせを行うことは容易ではなく、サポートユニットの取り付け位置に誤差が生じるおそれがあった。
そこで、本発明は、上記のような従来の一軸アクチュエータが有する問題点を解決し、取り付け位置の誤差がほとんどなくサポートユニットが取り付けられた一軸アクチュエータを提供することを課題とする。
However, since there is no reference for alignment, it is not easy to perform highly accurate alignment, and there is a possibility that an error occurs in the mounting position of the support unit.
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems of the conventional single-axis actuator and provide a single-axis actuator to which a support unit is attached with almost no error in the attachment position.

前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項1の一軸アクチュエータは、軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を有していて、前記案内レールの両側壁のうち少なくとも一方の転動体転動溝に前記凸部を係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is, the uniaxial actuator according to claim 1 of the present invention comprises a strip-like bottom plate extending in the axial direction and side walls vertically provided from both side portions of the bottom plate. A guide rail having a substantially concave cross section formed in a groove in the axial direction, a screw shaft disposed on the inner side of the guide rail in parallel to the axial direction and having a helical thread groove on the outer peripheral surface, and the guide A support unit that is attached to a rail and rotatably supports the screw shaft, and a slider that has a rolling element rolling groove facing the rolling element rolling groove of the guide rail and that is screwed to the screw shaft. A plurality of rolling elements interposed between the rolling element rolling grooves of the guide rail and the rolling element rolling grooves of the slider, the slider rolling the rolling elements. Through the guide rail in the axial direction In the uniaxial actuator that is enabled, the support unit has a convex portion that has a shape that engages with the rolling element rolling groove of the guide rail, and at least one rolling element rolling member on both side walls of the guide rail. It is attached to the said guide rail, engaging the said convex part with a moving groove.

また、本発明に係る請求項2の一軸アクチュエータは、軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を複数有していて、前記案内レールの両側壁の転動体転動溝に前記凸部をそれぞれ係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a uniaxial actuator comprising: a strip-like bottom plate extending in the axial direction; and side walls erected vertically from both side portions of the bottom plate. A guide rail having a substantially concave cross section formed in a groove in the axial direction, a screw shaft disposed on the inner side of the guide rail in parallel to the axial direction and having a helical thread groove on the outer peripheral surface, and the guide A support unit that is attached to a rail and rotatably supports the screw shaft, and a slider that has a rolling element rolling groove facing the rolling element rolling groove of the guide rail and that is screwed to the screw shaft. A plurality of rolling elements interposed between the rolling element rolling grooves of the guide rail and the rolling element rolling grooves of the slider, the slider rolling the rolling elements. Can be moved in the axial direction along the guide rail In the uniaxial actuator, the support unit has a plurality of protrusions shaped to engage with the rolling element rolling grooves of the guide rail, and the rolling unit rolling grooves on both side walls of the guide rail have the above-mentioned It is attached to the said guide rail, engaging a convex part, respectively.

さらに、本発明に係る請求項3の一軸アクチュエータは、請求項1又は請求項2に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、その一部分が前記サポートユニットに接触し他部分が前記案内レールの側壁に接触する固定用部材を前記案内レールの側壁の側方に配し、その側壁を前記サポートユニットと前記固定用部材とで挟み込んだ上、前記サポートユニットと前記固定用部材との接触部を固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする。   Furthermore, the uniaxial actuator according to claim 3 of the present invention is the uniaxial actuator according to claim 1 or 2, wherein the support unit is arranged inside the guide rail, and a part thereof contacts the support unit. A fixing member whose other part is in contact with the side wall of the guide rail is arranged on the side of the side wall of the guide rail, and the side wall is sandwiched between the support unit and the fixing member. The support unit is attached to the guide rail by fixing a contact portion with the fixing member.

さらに、本発明に係る請求項4の一軸アクチュエータは、請求項1又は請求項2に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、前記案内レールの側壁の上端を跨ぎ前記側壁の下部まで延びる固定用腕部を前記サポートユニットに設け、前記案内レールと前記固定用腕部とを前記側壁の下部にて固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする。   Further, a uniaxial actuator according to a fourth aspect of the present invention is the uniaxial actuator according to the first or second aspect, wherein the support unit is arranged inside the guide rail, and an upper end of a side wall of the guide rail is arranged. The support unit is attached to the guide rail by providing the support unit with a fixing arm that extends to the lower part of the side wall and fixing the guide rail and the fixing arm at the lower part of the side wall. It is a feature.

さらに、本発明に係る請求項5の一軸アクチュエータは、請求項1〜4のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記凸部は、前記案内レールの転動体転動溝の溝面に少なくとも2点において接触しており、この接触点の前記溝面における位置は、前記転動体と前記案内レールの転動体転動溝との接触点の前記溝面における位置と略同一であること特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項6の一軸アクチュエータは、請求項1〜5のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記スライダには前記ねじ軸を挿通する貫通孔が設けられており、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝が、前記貫通孔の内面に加工により形成されていること特徴とする。
Furthermore, the uniaxial actuator according to claim 5 of the present invention is the uniaxial actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the convex portion is at least on a groove surface of the rolling element rolling groove of the guide rail. Contact is made at two points, and the position of the contact point on the groove surface is substantially the same as the position of the contact point between the rolling element and the rolling element rolling groove of the guide rail on the groove surface. To do.
Furthermore, the uniaxial actuator according to claim 6 of the present invention is the uniaxial actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the slider is provided with a through-hole through which the screw shaft is inserted. A screw groove facing the screw groove of the screw shaft is formed on the inner surface of the through hole by machining.

本発明の一軸アクチュエータは、取り付け位置の誤差がほとんどなくサポートユニットが取り付けられているため、円滑に駆動することができる。   The uniaxial actuator of the present invention can be driven smoothly because there is almost no error in the attachment position and the support unit is attached.

〔第一実施形態〕
図1は、本発明に係る一軸アクチュエータの第一実施形態を説明する一部を破断して示した斜視図である。また、図2は、図1の一軸アクチュエータを軸方向に垂直な面で破断した断面図である。
軸方向に延びる案内レール11は、帯状の底板31と該底板31の両側部から垂直に立設された側壁32,32とからなり、軸方向に垂直な面で破断した断面は略凹字状をなしている。また、案内レール11の内側の幅方向中央部には、螺旋状に連続する断面円弧状のねじ溝13aを外周面に有するねじ軸13が、軸方向に対して平行に配設されている。そして、このねじ軸13は、案内レール11の両端に取り付けられたサポートユニット17,17によって、正逆両方向に回転可能に支持されている。
[First embodiment]
FIG. 1 is a partially broken perspective view illustrating a first embodiment of a uniaxial actuator according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the uniaxial actuator of FIG. 1 cut along a plane perpendicular to the axial direction.
The guide rail 11 extending in the axial direction includes a strip-shaped bottom plate 31 and side walls 32 and 32 standing vertically from both side portions of the bottom plate 31, and a cross section broken at a plane perpendicular to the axial direction is substantially concave. I am doing. In addition, a screw shaft 13 having an outer peripheral surface with a screw groove 13a having a circular arc cross section that is continuous in a spiral shape is disposed in the center in the width direction inside the guide rail 11 in parallel to the axial direction. The screw shaft 13 is supported by support units 17 and 17 attached to both ends of the guide rail 11 so as to be rotatable in both forward and reverse directions.

また、案内レール11の内側には直方体状のスライダ12が配されていて、多数の転動体14を介してねじ軸13に螺合されている。すなわち、スライダ12にはねじ軸13を挿通する貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面には螺旋状に連続する断面円弧状のねじ溝12aが形成されている。そして、このねじ溝12aはねじ軸13のねじ溝13aと対向しており、両ねじ溝12a,13aで形成される断面略円形の第一転動体転動路21内には、例えば鋼球からなる多数の転動体14が転動自在に装填されている。なお、スライダ12は、スライダ本体12Aと、その軸方向両端部に着脱可能に取り付けられたエンドキャップ12B,12Bと、で構成されている。   Further, a rectangular parallelepiped slider 12 is disposed inside the guide rail 11 and is screwed to the screw shaft 13 via a large number of rolling elements 14. That is, the slider 12 is provided with a through-hole through which the screw shaft 13 is inserted, and a screw groove 12a having a circular arc shape that is continuous in a spiral shape is formed on the inner peripheral surface of the through-hole. The screw groove 12a faces the screw groove 13a of the screw shaft 13, and the first rolling element rolling path 21 having a substantially circular cross section formed by both the screw grooves 12a and 13a is made of, for example, a steel ball. A large number of rolling elements 14 are loaded so as to roll freely. The slider 12 includes a slider main body 12A and end caps 12B and 12B that are detachably attached to both ends in the axial direction.

さらに、案内レール11の両側壁32,32の相対する内側面には、軸方向に延びる断面略円弧状の転動体転動溝11a,11aが備えられ、また、スライダ12の両側面には、案内レール11の転動体転動溝11a,11aに対向する断面略円弧状の転動体転動溝12b,12bが備えられており、対向する案内レール11の転動体転動溝11aとスライダ12の転動体転動溝12bとで、断面略円形の第二転動体転動路22,22が形成されている。なお、第二転動体転動路22は片側1条に限定されるものではなく、2条以上設けても差し支えない。   Furthermore, the opposing inner side surfaces of the both side walls 32, 32 of the guide rail 11 are provided with rolling element rolling grooves 11a, 11a having a substantially arc-shaped cross section extending in the axial direction. Rolling element rolling grooves 12b and 12b having a substantially arc-shaped cross section facing the rolling element rolling grooves 11a and 11a of the guide rail 11 are provided, and the rolling element rolling grooves 11a and the slider 12 of the opposing guide rail 11 are opposed to each other. The rolling element rolling grooves 12b form second rolling element rolling paths 22 and 22 having a substantially circular cross section. In addition, the 2nd rolling element rolling path 22 is not limited to one line | wire on one side, and may provide two or more lines.

さらにまた、スライダ12の内部には、第二転動体転動路22と平行をなして軸方向に貫通する断面円形の貫通孔からなる転動体戻し路23,23がそれぞれ形成されている。さらに、スライダ12の軸方向両端に備えられたエンドキャップ12B,12Bには、第二転動体転動路22とこれに対応する転動体戻し路23とを連通させる図示されない湾曲路が形成されており、これら第二転動体転動路22と転動体戻し路23と両端の前記湾曲路とで、転動体の循環路が形成されている。この転動体の循環路内には、例えば鋼球からなる多数の転動体15が転動自在に装填されている。   Furthermore, rolling element return paths 23 and 23 each having a circular cross-sectional through-hole penetrating in the axial direction in parallel with the second rolling element rolling path 22 are formed inside the slider 12. Further, the end caps 12B and 12B provided at both ends in the axial direction of the slider 12 are formed with curved paths (not shown) that connect the second rolling element rolling path 22 and the corresponding rolling element return path 23 to each other. The second rolling element rolling path 22, the rolling element return path 23, and the curved path at both ends form a rolling element circulation path. In the circulation path of the rolling elements, a large number of rolling elements 15 made of, for example, steel balls are loaded so as to freely roll.

さらに、サポートユニット17,17には貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面に図示しない転がり軸受が嵌合されている。そして、この転がり軸受の内径部にねじ軸13が挿通されるとともに嵌合され、この転がり軸受によってねじ軸13が回転可能とされている。
ねじ軸13を回転させると、これに螺合するスライダ12が、第二転動体転動路22内の転動体15の転動を介して案内レール11に沿って軸方向に滑らかに移動する。このスライダ12の移動時には、第二転動体転動路22内の転動体15は前記循環路を転動しつつ無限循環する。
Furthermore, the support units 17 and 17 are provided with through holes, and a rolling bearing (not shown) is fitted to the inner peripheral surface of the through holes. The screw shaft 13 is inserted and fitted into the inner diameter portion of the rolling bearing, and the screw shaft 13 can be rotated by the rolling bearing.
When the screw shaft 13 is rotated, the slider 12 engaged with the screw shaft 13 smoothly moves in the axial direction along the guide rail 11 through the rolling of the rolling element 15 in the second rolling element rolling path 22. When the slider 12 moves, the rolling elements 15 in the second rolling element rolling path 22 circulate infinitely while rolling on the circulation path.

このような本実施形態の一軸アクチュエータにおいては、サポートユニット17,17は、案内レール11の両端面に取り付けられている。すなわち、案内レール11の端面にタップ穴が設けられ、ボルト25によってサポートユニット17,17が取り付けられている。そして、サポートユニット17,17の取り付けに際して、その位置合わせが以下のようにして行われている。   In such a uniaxial actuator of this embodiment, the support units 17 and 17 are attached to both end surfaces of the guide rail 11. That is, a tapped hole is provided in the end surface of the guide rail 11, and the support units 17 and 17 are attached by the bolt 25. When the support units 17 and 17 are attached, the alignment is performed as follows.

一軸アクチュエータの部分平面図である図3とそのA−A断面図である図4から分かるように、サポートユニット17は、案内レール11の転動体転動溝11aに対向する位置に、案内レール11の転動体転動溝11aに係合する形状の凸部34,34(すなわち断面略半円形の突起)を2つ有している。そして、これら2つの凸部34,34を案内レール11の両側壁32,32の転動体転動溝11a,11aにそれぞれ嵌め合わせて、サポートユニット17の取り付け位置の位置合わせを行った後に、サポートユニット17を案内レール11の端面にボルト25で固定してある。   As can be seen from FIG. 3, which is a partial plan view of the single-axis actuator, and FIG. 4, which is a sectional view taken along the line AA, the support unit 17 is located at a position facing the rolling element rolling groove 11 a of the guide rail 11. Two protrusions 34 and 34 (that is, protrusions having a substantially semicircular cross section) that are engaged with the rolling element rolling groove 11a. Then, these two convex portions 34 and 34 are fitted into the rolling element rolling grooves 11a and 11a of the both side walls 32 and 32 of the guide rail 11, respectively, and the mounting position of the support unit 17 is aligned. The unit 17 is fixed to the end surface of the guide rail 11 with bolts 25.

このように、案内レール11の転動体転動溝11aを基準としてサポートユニット17の取り付け位置の位置合わせを行っているため、サポートユニット17の位置合わせが高精度となり、取り付け位置の誤差がほとんどない。よって、サポートユニット17に支持されるねじ軸13の中心位置が高精度で位置合わせされるため、一軸アクチュエータの駆動が極めて円滑である。   As described above, since the positioning of the mounting position of the support unit 17 is performed based on the rolling element rolling groove 11a of the guide rail 11, the positioning of the support unit 17 is highly accurate and there is almost no error in the mounting position. . Therefore, since the center position of the screw shaft 13 supported by the support unit 17 is aligned with high accuracy, the uniaxial actuator can be driven very smoothly.

なお、本実施形態においては、凸部34を2個設けて、両側の転動体転動溝11aに係合させたが、凸部34は1個でもよい。1個の凸部34が片側の転動体転動溝11aに係合してあれば、サポートユニット17の姿勢がピッチング方向及びヨーイング方向に傾くことを抑制することができる。ただし、ピッチング方向及びヨーイング方向に加えてローリング方向に傾くことも抑制するためには、凸部34を2個設けて両側の転動体転動溝11aに係合させることが好ましい。   In the present embodiment, the two convex portions 34 are provided and engaged with the rolling element rolling grooves 11a on both sides, but the number of the convex portions 34 may be one. If one protrusion 34 is engaged with the rolling element rolling groove 11a on one side, the posture of the support unit 17 can be prevented from being inclined in the pitching direction and the yawing direction. However, in order to suppress tilting in the rolling direction in addition to the pitching direction and the yawing direction, it is preferable to provide two convex portions 34 and engage with the rolling element rolling grooves 11a on both sides.

また、転動体15は、案内レール11の転動体転動溝11aの溝面に2点において接触しているが、凸部34も転動体15と同様に前記溝面に2点において接触していることが好ましい。そして、その接触点Cの前記溝面における位置(図5に示すように、軸方向に直交する面で破断した場合の溝面における位置)は、転動体15と案内レール11の転動体転動溝11aとの接触点の溝面における位置と略同一であることが好ましい。   Further, the rolling element 15 is in contact with the groove surface of the rolling element rolling groove 11a of the guide rail 11 at two points, but the convex portion 34 is also in contact with the groove surface at two points like the rolling element 15. Preferably it is. The position of the contact point C on the groove surface (as shown in FIG. 5, the position on the groove surface when the surface is broken in a plane orthogonal to the axial direction) is the rolling element rolling of the rolling element 15 and the guide rail 11. It is preferable that the contact point with the groove 11a is substantially the same as the position on the groove surface.

スライダ12も案内レール11の転動体転動溝11aにより位置決めされていることになるが、厳密に言えば、転動体15と転動体転動溝11aとの接触点の位置により位置決めされていることになる。ねじ軸13はスライダ12と一体となっているから、ねじ軸13の中心位置を左右するサポートユニット17の位置決めについても、転動体15と転動体転動溝11aとの接触点の位置を基準とすることが好ましく、より高精度の位置合わせが可能である。
さらに、凸部34の形状は、図4のように転動体転動溝11aの溝面に沿うような形状が好ましいが、転動体転動溝11aと係合して位置合わせが可能であれば、転動体転動溝11aの溝面に沿う形状でなくてもよい。例えば、断面多角形状でもよい。
The slider 12 is also positioned by the rolling element rolling groove 11a of the guide rail 11. Strictly speaking, the slider 12 is positioned by the position of the contact point between the rolling element 15 and the rolling element rolling groove 11a. become. Since the screw shaft 13 is integrated with the slider 12, the positioning of the support unit 17 that determines the center position of the screw shaft 13 is also based on the position of the contact point between the rolling element 15 and the rolling element rolling groove 11a. It is preferable to perform alignment with higher accuracy.
Furthermore, the shape of the convex portion 34 is preferably a shape that follows the groove surface of the rolling element rolling groove 11a as shown in FIG. 4, but if it can be aligned by engaging with the rolling element rolling groove 11a. The shape may not be along the groove surface of the rolling element rolling groove 11a. For example, the cross-sectional polygonal shape may be sufficient.

さらに、案内レール11の端面にタップ穴を加工する際には、案内レール11の一方の側壁32の外側面を一軸アクチュエータの取付基準面に設定して、それに合わせて加工を行うため、このようにして製造された一軸アクチュエータは、反対側の側壁32の外側面を取付基準面として使用することはできない。固定側のサポートユニット17と支持側のサポートユニット17を逆の位置に入れ替えて取り付ければ、上記問題は解決するが、両サポートユニット17は転がり軸受を嵌め込む貫通孔などがそれぞれ別の基準で加工されているので、単純に位置を入れ替えて取り付けても高精度で取り付けできなかった。本実施形態の一軸アクチュエータであれば、案内レール11の転動体転動溝11aを基準として両サポートユニット17が加工されているので、固定側のサポートユニット17と支持側のサポートユニット17を逆の位置に入れ替えても高精度で取り付けることが可能である。   Further, when the tapped hole is machined in the end surface of the guide rail 11, the outer side surface of the one side wall 32 of the guide rail 11 is set as the reference mounting surface of the uniaxial actuator, and machining is performed accordingly. In the uniaxial actuator manufactured as described above, the outer surface of the opposite side wall 32 cannot be used as the attachment reference surface. If the support unit 17 on the fixed side and the support unit 17 on the support side are replaced in the opposite positions and attached, the above problem can be solved. However, both support units 17 have through holes or the like into which the rolling bearings are fitted, respectively. Therefore, it was not possible to attach with high accuracy even if the position was simply changed. In the case of the uniaxial actuator of this embodiment, since both support units 17 are processed with reference to the rolling element rolling groove 11a of the guide rail 11, the support unit 17 on the fixed side and the support unit 17 on the support side are reversed. Even if the position is changed, it can be attached with high accuracy.

さらに、スライダ12の貫通孔の内周面に形成されたねじ溝12aは、ねじ溝が内周面に形成された筒状部材をスライダ12の貫通孔に嵌め込むことにより設けるのではなく、加工により内周面に直接的に形成して設けることが好ましい。すなわち、別途製造されたボールねじをスライダ12の貫通孔に組み込んで一軸アクチュエータを得ることも可能であるが、ねじ軸13の中心位置を高精度で位置合わせするためには、スライダ12の製造時に転動体転動溝12bとねじ溝12aとを加工により形成することが好ましい。なお、同様の理由により、サポートユニット17の製造時には、その貫通孔と、凸部34の転動体転動溝11aとの当接面と、を加工により形成することが好ましい。   Further, the thread groove 12 a formed on the inner peripheral surface of the through hole of the slider 12 is not provided by fitting a cylindrical member having a thread groove formed on the inner peripheral surface thereof into the through hole of the slider 12. Is preferably formed directly on the inner circumferential surface. That is, a separately manufactured ball screw can be incorporated into the through hole of the slider 12 to obtain a uniaxial actuator. However, in order to align the center position of the screw shaft 13 with high accuracy, It is preferable to form the rolling element rolling groove 12b and the thread groove 12a by machining. For the same reason, when manufacturing the support unit 17, it is preferable to form the through hole and the contact surface of the convex portion 34 with the rolling element rolling groove 11 a by machining.

〔第二実施形態〕
図6は、本発明に係る一軸アクチュエータの第二実施形態を説明する平面図である。また、図7は、図6の一軸アクチュエータを軸方向から見た断面図である。なお、第二実施形態の一軸アクチュエータの構成及び作用は、第一実施形態とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、図6及び図7においては、図1〜4と同一又は相当する部分には、図1〜4と同一の符号を付してある。
サポートユニット17は、案内レール11の端面ではなく、スライダ12と同様に案内レール11の内側に配されており、図6,7に示すように固定用部材40を用いて案内レール11に取り付けられている。以下にその詳細を説明する。
[Second Embodiment]
FIG. 6 is a plan view for explaining a second embodiment of the uniaxial actuator according to the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view of the uniaxial actuator of FIG. 6 viewed from the axial direction. In addition, since the structure and effect | action of the uniaxial actuator of 2nd embodiment are substantially the same as 1st embodiment, only a different part is demonstrated and description of the same part is abbreviate | omitted. 6 and 7, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 4 are given to the same or corresponding parts as those in FIGS.
The support unit 17 is arranged not on the end face of the guide rail 11 but on the inside of the guide rail 11 like the slider 12, and is attached to the guide rail 11 using a fixing member 40 as shown in FIGS. ing. Details will be described below.

サポートユニット17の両側面から突出する2つの凸部34が、案内レール11の両側壁32,32の転動体転動溝11a,11aにそれぞれ嵌め合わされていて、これによりサポートユニット17の取り付け位置の位置合わせがなされている。また、クランク状に屈曲した板状の固定用部材40が案内レール11の側壁32の側方に配されていて、固定用部材40の一部分がサポートユニット17の側面に接触するとともに、固定用部材40の他部分が案内レール11の側壁32の外側面に接触している。そして、サポートユニット17と固定用部材40との接触部が、ボルト25により固着されている。このように、案内レール11の側壁32がサポートユニット17と固定用部材40とで挟まれることにより、サポートユニット17が案内レール11に取り付けられている。   Two convex portions 34 projecting from both side surfaces of the support unit 17 are fitted in the rolling element rolling grooves 11a and 11a of the side walls 32 and 32 of the guide rail 11, respectively. Alignment has been made. A plate-like fixing member 40 bent in a crank shape is disposed on the side of the side wall 32 of the guide rail 11, and a part of the fixing member 40 contacts the side surface of the support unit 17, and the fixing member The other part of 40 is in contact with the outer surface of the side wall 32 of the guide rail 11. A contact portion between the support unit 17 and the fixing member 40 is fixed by a bolt 25. Thus, the support unit 17 is attached to the guide rail 11 by sandwiching the side wall 32 of the guide rail 11 between the support unit 17 and the fixing member 40.

このように固定用部材40を用いてサポートユニット17を取り付ければ、案内レール11にタップ穴を加工する必要がない。よって、一軸アクチュエータのコストダウンが可能である。また、摩擦締結となるので、例えばボールねじ部分が破壊するような静定格荷重を超える過負荷が作用した場合に締結部分が滑り、ボールねじ部分の破壊が免れる可能性がある。さらに、スライダ12に加わる荷重やモーメントにより、案内レール11は側壁32の上端部を外側に開かせるような方向の応力を受ける。特に、案内レール11の両端部は、そのような応力に対する抗力が弱い。本実施形態の一軸アクチュエータは、固定用部材40により案内レール11の両側壁32が外側から押さえられているので、側壁32の上端部が外側に開くような変形が抑制される。   If the support unit 17 is attached using the fixing member 40 in this way, it is not necessary to process a tapped hole in the guide rail 11. Thus, the cost of the single axis actuator can be reduced. Further, since the frictional engagement is performed, for example, when an overload exceeding a static load rating is applied such that the ball screw part is destroyed, the fastening part may slip and the ball screw part may be prevented from being destroyed. Further, the guide rail 11 receives a stress in a direction that causes the upper end portion of the side wall 32 to open outward due to a load or moment applied to the slider 12. In particular, both ends of the guide rail 11 have a weak resistance against such stress. In the uniaxial actuator of the present embodiment, the both side walls 32 of the guide rail 11 are pressed from the outside by the fixing member 40, so that the deformation that the upper end portion of the side wall 32 opens outward is suppressed.

さらに、一軸アクチュエータを切断して短尺化を図る場合、従来の一軸アクチュエータであれば、案内レールの端面にサポートユニットを取り付けるためのタップ穴を切断後に後加工する必要があるが、案内レールは焼入れにより高硬度化されているのでタップ穴の後加工は簡単ではなかった。これに対して、本実施形態の一軸アクチュエータであれば、固定用部材40を用いてサポートユニット17を取り付けるので、タップ穴の後加工を行う必要がない。よって、一軸アクチュエータの仕様変更を簡単に行うことができる。   Furthermore, when shortening the length by cutting the uniaxial actuator, if it is a conventional uniaxial actuator, it is necessary to post-process after cutting the tap hole for attaching the support unit to the end surface of the guide rail. The post-processing of the tapped holes was not easy because of the increased hardness. On the other hand, in the case of the uniaxial actuator of the present embodiment, the support unit 17 is attached using the fixing member 40, so that it is not necessary to perform post-processing of the tap hole. Therefore, the specification change of the single axis actuator can be easily performed.

〔第三実施形態〕
図8は、本発明に係る一軸アクチュエータの第三実施形態を説明する軸方向から見た正面図である。なお、第三実施形態の一軸アクチュエータの構成及び作用は、第一実施形態とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、図8においては、図1〜4と同一又は相当する部分には、図1〜4と同一の符号を付してある。
サポートユニット17は、案内レール11の端面ではなく、案内レール11の内側に配されており、図8に示すように固定用腕部41を用いて案内レール11に取り付けられている。以下にその詳細を説明する。
[Third embodiment]
FIG. 8 is a front view seen from the axial direction for explaining a third embodiment of the single-axis actuator according to the present invention. In addition, since the structure and effect | action of the uniaxial actuator of 3rd embodiment are substantially the same as 1st embodiment, only a different part is demonstrated and description of the same part is abbreviate | omitted. Further, in FIG. 8, the same reference numerals as those in FIGS.
The support unit 17 is arranged not on the end face of the guide rail 11 but on the inner side of the guide rail 11, and is attached to the guide rail 11 using a fixing arm 41 as shown in FIG. Details will be described below.

サポートユニット17の両側面から突出する2つの凸部34が、案内レール11の両側壁32,32の転動体転動溝11a,11aにそれぞれ嵌め合わされている。これにより、サポートユニット17の取り付け位置の位置合わせがなされている。また、サポートユニット17には、サポートユニット17の上部から水平に突出して側壁32の上端を跨ぎ、側壁32の外側面に沿って側壁32の下部まで延びる固定用腕部41が設けられている。そして、固定用腕部41の先端と案内レール11の側壁32の下部とがボルト25により固着されている。   Two convex portions 34 projecting from both side surfaces of the support unit 17 are fitted into the rolling element rolling grooves 11 a and 11 a of the side walls 32 and 32 of the guide rail 11, respectively. Thereby, the attachment position of the support unit 17 is aligned. Further, the support unit 17 is provided with a fixing arm portion 41 that protrudes horizontally from the upper portion of the support unit 17, straddles the upper end of the side wall 32, and extends to the lower portion of the side wall 32 along the outer surface of the side wall 32. And the front-end | tip of the arm part 41 for fixation and the lower part of the side wall 32 of the guide rail 11 are adhere | attached with the volt | bolt 25. As shown in FIG.

このように、別部材を用いることなくサポートユニット17と案内レール11とを固着しているので、締結の信頼性が高い。また、案内レール11の側壁32の下部は、転動体転動溝11aから離れているので、硬度が比較的低く、タップ穴を加工しやすい。さらに、ねじ軸13の中心に外力がかかるが、この外力は転動体転動溝11aに当接するサポートユニット17の凸部34で受けることができるので、転動体転動溝11aから離れた位置にあるボルト25にかかる応力を低減することができる。
さらに、第二実施形態の場合と同様に、固定用腕部41により案内レール11の両側壁32が外側から押さえられているので、側壁32の上端部が外側に開くような変形が抑制される。
Thus, since the support unit 17 and the guide rail 11 are fixed without using another member, the fastening reliability is high. Moreover, since the lower part of the side wall 32 of the guide rail 11 is separated from the rolling element rolling groove 11a, the hardness is relatively low and it is easy to process a tapped hole. Furthermore, an external force is applied to the center of the screw shaft 13, but this external force can be received by the convex portion 34 of the support unit 17 that abuts the rolling element rolling groove 11a, so that it is at a position away from the rolling element rolling groove 11a. The stress applied to a certain bolt 25 can be reduced.
Further, as in the case of the second embodiment, the both side walls 32 of the guide rail 11 are pressed from the outside by the fixing arm portion 41, so that the deformation such that the upper end portion of the side wall 32 opens outward is suppressed. .

本発明に係る一軸アクチュエータの第一実施形態の斜視図である。1 is a perspective view of a first embodiment of a uniaxial actuator according to the present invention. 図1の一軸アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the uniaxial actuator of FIG. 図1の一軸アクチュエータの部分平面図である。FIG. 2 is a partial plan view of the uniaxial actuator of FIG. 1. 図3の一軸アクチュエータのA−A断面図である。It is AA sectional drawing of the uniaxial actuator of FIG. サポートユニットの凸部と案内レールの転動体転動溝との接触点の位置を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the position of the contact point of the convex part of a support unit, and the rolling element rolling groove of a guide rail. 本発明に係る一軸アクチュエータの第二実施形態の平面図である。It is a top view of a second embodiment of a uniaxial actuator according to the present invention. 図6の一軸アクチュエータを軸方向から見た正面図である。It is the front view which looked at the uniaxial actuator of FIG. 6 from the axial direction. 本発明に係る一軸アクチュエータの第三実施形態の正面図である。It is a front view of 3rd embodiment of the uniaxial actuator which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11 案内レール
11a 転動体転動溝
12 スライダ
12b 転動体転動溝
13 ねじ軸
13a ねじ溝
15 転動体
17 サポートユニット
31 底板
32 側壁
34 凸部
40 固定用部材
41 固定用腕部
C 接触点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Guide rail 11a Rolling body rolling groove 12 Slider 12b Rolling body rolling groove 13 Screw shaft 13a Screw groove 15 Rolling body 17 Support unit 31 Bottom plate 32 Side wall 34 Convex part 40 Fixing member 41 Fixing arm part
C Contact point

Claims (6)

軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、
前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を有していて、前記案内レールの両側壁のうち少なくとも一方の転動体転動溝に前記凸部を係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
It is composed of a belt-like bottom plate extending in the axial direction and side walls standing upright from both side portions of the bottom plate. A guide rail, a screw shaft disposed in parallel to the axial direction inside the guide rail and having a helical thread groove on an outer peripheral surface, and a support attached to the guide rail and rotatably supporting the screw shaft A unit, a slider having a rolling element rolling groove facing the rolling element rolling groove of the guide rail and screwed to the screw shaft, and the rolling element rolling groove of the guide rail facing the rolling rail and the slider. A plurality of rolling elements interposed between the rolling element rolling grooves and the rolling element, and the slider is movable in the axial direction along the guide rail via the rolling of the rolling element. In a single axis actuator
The support unit has a convex portion that is configured to engage with the rolling element rolling groove of the guide rail, and the convex portion is engaged with at least one rolling element rolling groove of both side walls of the guide rail. A single-axis actuator that is attached to the guide rail while being combined.
軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、
前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を複数有していて、前記案内レールの両側壁の転動体転動溝に前記凸部をそれぞれ係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
It is composed of a strip-shaped bottom plate extending in the axial direction and side walls erected vertically from both sides of the bottom plate, and rolling element rolling grooves are respectively formed in the inner surface of the both side walls in a substantially concave shape in cross section. A guide rail, a screw shaft disposed in parallel to the axial direction inside the guide rail and having a helical thread groove on an outer peripheral surface, and a support attached to the guide rail and rotatably supporting the screw shaft A unit, a slider having a rolling element rolling groove opposed to the rolling element rolling groove of the guide rail, screwed to the screw shaft, the rolling element rolling groove of the guide rail facing the rolling rail, and the slider. A plurality of rolling elements interposed between the rolling element rolling grooves and the rolling element, and the slider is movable in the axial direction along the guide rail via the rolling of the rolling element. In a single axis actuator
The support unit has a plurality of convex portions that are configured to engage with the rolling element rolling grooves of the guide rail, and the convex portions are respectively engaged with the rolling element rolling grooves on both side walls of the guide rail. However, the uniaxial actuator is attached to the guide rail.
前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、その一部分が前記サポートユニットに接触し他部分が前記案内レールの側壁に接触する固定用部材を前記案内レールの側壁の側方に配し、その側壁を前記サポートユニットと前記固定用部材とで挟み込んだ上、前記サポートユニットと前記固定用部材との接触部を固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする請求項1又は請求項2に記載の一軸アクチュエータ。   The support unit is arranged on the inner side of the guide rail, and a fixing member whose part is in contact with the support unit and whose other part is in contact with the side wall of the guide rail is arranged on the side of the side wall of the guide rail. The support unit is attached to the guide rail by sandwiching a side wall between the support unit and the fixing member and fixing a contact portion between the support unit and the fixing member. The uniaxial actuator according to claim 1 or 2. 前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、前記案内レールの側壁の上端を跨ぎ前記側壁の下部まで延びる固定用腕部を前記サポートユニットに設け、前記案内レールと前記固定用腕部とを前記側壁の下部にて固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする請求項1又は請求項2に記載の一軸アクチュエータ。   The support unit is disposed on the inner side of the guide rail, and the support unit is provided with a fixing arm portion that extends over the upper end of the side wall of the guide rail to the lower portion of the side wall, and the guide rail, the fixing arm portion, The uniaxial actuator according to claim 1 or 2, wherein the support unit is attached to the guide rail by fixing the at a lower portion of the side wall. 前記凸部は、前記案内レールの転動体転動溝の溝面に少なくとも2点において接触しており、この接触点の前記溝面における位置は、前記転動体と前記案内レールの転動体転動溝との接触点の前記溝面における位置と略同一であること特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータ。   The convex portion is in contact with the groove surface of the rolling element rolling groove of the guide rail at at least two points, and the position of the contact point on the groove surface is the rolling element rolling of the rolling element and the guide rail. The uniaxial actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the position of the contact point with the groove is substantially the same as the position on the groove surface. 前記スライダには前記ねじ軸を挿通する貫通孔が設けられており、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝が、前記貫通孔の内面に加工により形成されていること特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータ。   2. The slider is provided with a through-hole through which the screw shaft is inserted, and a screw groove facing the screw groove of the screw shaft is formed in an inner surface of the through-hole by machining. The uniaxial actuator as described in any one of -5.
JP2007145331A 2007-05-31 2007-05-31 Uniaxial actuator Pending JP2008298193A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007145331A JP2008298193A (en) 2007-05-31 2007-05-31 Uniaxial actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007145331A JP2008298193A (en) 2007-05-31 2007-05-31 Uniaxial actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008298193A true JP2008298193A (en) 2008-12-11

Family

ID=40171894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007145331A Pending JP2008298193A (en) 2007-05-31 2007-05-31 Uniaxial actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008298193A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017215049A (en) * 2015-11-30 2017-12-07 Thk株式会社 Motion guide device and actuator

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017215049A (en) * 2015-11-30 2017-12-07 Thk株式会社 Motion guide device and actuator
US10415640B2 (en) 2015-11-30 2019-09-17 Thk Co., Ltd. Motion guide device and actuator
US10718378B2 (en) 2015-11-30 2020-07-21 Thk Co., Ltd. Motion guide device and actuator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6347558B1 (en) Ball screw device and linear motion device
US8544356B2 (en) Ball screw unit and electric power steering apparatus
US8973453B2 (en) Feed screw mechanism
JP2015190560A (en) ball spline
JP6177294B2 (en) Exercise guidance device
TW201407059A (en) Motion guide device
JP2008298193A (en) Uniaxial actuator
US8061227B2 (en) Small slider unit
JP2007010060A (en) Roller retainer and roller screw
WO2017010207A1 (en) Fixation structure for deflector of flop-over-type ball screw
JP2008008454A (en) Ball screw
JP2014234858A (en) Linear motion guide unit including retainer plate
US6940890B2 (en) Position and adjustment device using laser module
JP2005054961A (en) Linear guide unit
TW201723349A (en) Ball screw type driving unit and movable body floating unit
JP2021181813A (en) Motion guide device
JP2008163968A (en) Ball screw-ball nut mechanism
JP4244610B2 (en) Ball screw device and method of manufacturing the device
JP2005054869A (en) Base isolating device
JP2012159124A (en) Feed screw mechanism
JP4717758B2 (en) Exercise guidance device
JP4711055B2 (en) Horizontal movement device or seismic isolation device and assembly method thereof
JP2007155036A (en) Linear bush, and its manufacturing method
JP4462632B2 (en) Ball screw
JP2015137707A (en) Linear motion rolling unit