JP2008288552A - Light emitting device - Google Patents
Light emitting device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008288552A JP2008288552A JP2008026481A JP2008026481A JP2008288552A JP 2008288552 A JP2008288552 A JP 2008288552A JP 2008026481 A JP2008026481 A JP 2008026481A JP 2008026481 A JP2008026481 A JP 2008026481A JP 2008288552 A JP2008288552 A JP 2008288552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- electrode
- light
- region
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 208
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 67
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 49
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 11
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001361 White metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010969 white metal Substances 0.000 description 2
- 229910018594 Si-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008465 Si—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- RYZCLUQMCYZBJQ-UHFFFAOYSA-H lead(2+);dicarbonate;dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O RYZCLUQMCYZBJQ-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体発光素子を利用した発光装置に関わり、特に複数の半導体発光素子が実装された発光装置に関わる。 The present invention relates to a light emitting device using a semiconductor light emitting element, and particularly to a light emitting device in which a plurality of semiconductor light emitting elements are mounted.
半導体発光素子は、支持基板やパッケージなどに種々の方法で実装される。同一面側に正負電極が設けられた半導体発光素子は、正負電極側を支持基板などに接合してフリップチップ実装とすることで、素子の基板側から光を取り出すことができる。半導体発光素子をフリップチップ実装する方法としては、例えば、まず、半導体発光素子を載置可能な支持基板の主面に設けられる導体配線にバンプを形成し、次に、同一面側に正負一対の電極が設けられている半導体発光素子の電極面をバンプと対向させ、半導体素子の正負両電極とバンプとを接触させ、導体配線と半導体発光素子の電極とを接合する。このようにして、バンプを介して支持基板の導体配線と半導体発光素子の正負両電極とを接合し、両者の電気的導通が図られる。 The semiconductor light emitting device is mounted on a support substrate, a package, or the like by various methods. A semiconductor light emitting device having positive and negative electrodes provided on the same surface side can take out light from the substrate side of the device by bonding the positive and negative electrodes side to a support substrate or the like for flip chip mounting. As a method of flip-chip mounting the semiconductor light emitting device, for example, first, bumps are formed on the conductor wiring provided on the main surface of the support substrate on which the semiconductor light emitting device can be placed, and then a pair of positive and negative is formed on the same surface side. The electrode surface of the semiconductor light emitting element provided with the electrode is opposed to the bump, both the positive and negative electrodes of the semiconductor element are brought into contact with the bump, and the conductor wiring and the electrode of the semiconductor light emitting element are joined. In this way, the conductor wiring of the support substrate and the positive and negative electrodes of the semiconductor light emitting element are joined via the bumps, and electrical conduction between them is achieved.
1つの発光装置に、複数の半導体発光素子を実装することもできる(例えば、特許文献1〜4)。その一例を図20に示す。図20に示す発光装置は、ガラスを含有するAl2O3基板51の表面に、W、Ni、Auを含有する回路パターン52が形成され、3個×3個の配列で合計9個のGaN系LED素子53がAuバンプを介して回路パターン52にフッリップチップ実装されている。また、GaN系LED素子53の電極構造は省略しているが、回路パターン52に対応して設けられている。
A plurality of semiconductor light emitting elements can be mounted on one light emitting device (for example,
このように発光素子がフリップチップ実装された発光装置では、発光素子内で発生した光のほとんどが素子の基板側の面や側面から出射される。素子側面の端面から出射した光は、通常、発光装置に設けられた反射板などで反射されて発光観測面側に取り出される。 In the light-emitting device in which the light-emitting element is flip-chip mounted in this way, most of the light generated in the light-emitting element is emitted from the substrate-side surface or side surface of the element. The light emitted from the end surface of the element side surface is normally reflected by a reflecting plate or the like provided in the light emitting device and extracted to the light emission observation surface side.
しかしながら、素子端面から出射した光は、反射板で反射されるまでに支持基板や封止樹脂などによってその一部が吸収されてしまう。このため、従来の発光装置では、素子端面からの光は発光装置の光として取り出される前に減衰してしまい、発光装置全体の発光に十分に寄与していなかった。 However, a part of the light emitted from the end face of the element is absorbed by the support substrate or the sealing resin before being reflected by the reflecting plate. For this reason, in the conventional light emitting device, the light from the element end face is attenuated before being extracted as the light of the light emitting device, and does not sufficiently contribute to the light emission of the entire light emitting device.
そこで、本発明者は、複数の半導体発光素子を実装する際に半導体発光素子を特定の電極構造として列状に実装することで、素子端面からの光を効率的に取り出せることを見出し、本発明に至ったものである。 Therefore, the present inventor has found that when mounting a plurality of semiconductor light emitting elements, the light from the element end face can be efficiently extracted by mounting the semiconductor light emitting elements in a row as a specific electrode structure. Has been reached.
上述したような問題を解決するために、本発明の発光装置は、透光性基板上に第1導電型の第1半導体層と第2導電型の第2半導体層とが順に設けられ、第1半導体層の露出部に第1電極、第2半導体層に第2電極がそれぞれ設けられた半導体発光素子と、半導体発光素子が載置される支持基板と、を備える発光装置であって、半導体発光素子は、平面視で矩形であり、少なくとも第1の辺と、第1の辺と異なる第2の辺とを有し、第1の辺側の素子端面から出射される光は、前記第2の辺側の素子端面から出射される光よりも強く、前記半導体発光素子が2つ以上、前記第1の辺が互いに略平行に向かい合うように、前記支持基板に列状にフリップチップ実装される。 In order to solve the above-described problem, a light-emitting device of the present invention includes a first conductive type first semiconductor layer and a second conductive type second semiconductor layer provided in order on a light-transmitting substrate. A light-emitting device comprising: a semiconductor light-emitting element in which a first electrode is provided on an exposed portion of one semiconductor layer; a second electrode on a second semiconductor layer; and a support substrate on which the semiconductor light-emitting element is placed. The light emitting element is rectangular in plan view, has at least a first side and a second side different from the first side, and the light emitted from the element end surface on the first side is the first side. Two or more semiconductor light emitting elements are stronger than the light emitted from the element end face on the two sides, and the support substrate is flip-chip mounted in a row so that the first sides face each other substantially parallel to each other. The
また、本発明の発光装置は、上述の構成に加えて、以下の構成を組み合わせることができる。
(1)各半導体発光素子の第1の辺は、該辺の対向辺の方向にみて、第1の辺側の第1半導体層の露出部及び対向辺と向き合っており、その領域の第2電極の面積をR1、第1の辺の長さをL1とし、第2の辺は、該辺の対向辺の方向にみて、第2の辺側の第1半導体層の露出部及び対向辺と向き合っており、その領域の第2電極の面積をR2、第2の辺の長さをL2としたとき、R1とL1の比R1/L1は、R2とL2の比R2/L2よりも小さい。
(2)第1の辺の対向辺は、第1の辺の方向にみて、対向辺側の第1半導体層の露出部及び第1の辺と向き合っており、その領域の第2電極の面積をR1´、第1の辺の長さをL1´としたとき、R1´とL1´の比R1´/L1´は、R1/L1と略等しい。
(3)第2の辺は、第1の辺に隣接する辺である。
(4)各半導体発光素子の第2電極は、第1の辺側に、第1の辺と露出部に挟まれた第1挟域部と、該挟域部よりも素子の内側に延びた第1延長部とを有し、第1の辺の長さ方向において、第1挟域部が第1延長部よりも長い。
(5)第2電極は、第2の辺側に第2延長部を有し、第2延長部で第2の辺側の第2電極が構成されてなる。
(6)第2電極は、第2の辺側に、第2挟域部と、該第2挟域部よりも素子の内側に延びた第2延長部とを有し、第1の辺の長さ方向における第1挟域部の長さA1と第1の辺の長さL1の比A1/L1は、第2の辺の長さ方向における第2挟域部の長さA2と第2の辺の長さL2の比A2/L2と、略等しいかそれよりも大きい。
(7)第2の辺の長さ方向において、第2挟域部が第2延長部よりも短い。
(8)平面視で、半導体発光素子の1つの辺と、該辺の対向辺及び第2半導体層と、で挟まれる領域の面積Sと、該辺の長さLとの比S/Lは、第1の辺のS1/L1が、第2の辺のS2/L2と略等しい。
(9)平面視で、半導体発光素子の1つの辺と、該辺の対向辺及び第2半導体層と、で挟まれる領域の面積Sと、該辺の長さLとの比S/Lは、第1の辺のS1/L1が、第2の辺のS2/L2よりも小さい。
(10)第2の辺は、第1の辺の対向辺と異なる辺であり、第1の辺及び第1の辺の対向辺は、S/Lが略同一であり、第2の辺及び第2の辺の対向辺もS/Lが略同一である。
(11)第2電極は、第1電極よりも第1の辺側に設けられている。
(12)半導体発光素子は、第1半導体層と第2半導体層との間に発光層を有し、第1半導体層の露出部と第2電極が設けられた第2半導体層との間で、発光層の端面が露出しており、支持基板は、半導体発光素子の第1及び第2電極が接続される配線電極を有し、配線電極は、少なくとも、平面視で発光層の端面露出部の下に設けられる。
In addition to the above-described configuration, the light-emitting device of the present invention can be combined with the following configurations.
(1) The first side of each semiconductor light emitting element faces the exposed portion and the opposite side of the first semiconductor layer on the first side side in the direction of the opposite side of the side, and the second side of the region. The area of the electrode is R 1 , the length of the first side is L 1, and the second side is opposed to the exposed portion of the first semiconductor layer on the second side and the opposite side when viewed in the direction of the opposite side of the side. and opposite the sides, the area of the second electrode of the region R 2, when the length of the second side was L 2, the
(2) The opposite side of the first side faces the exposed portion of the first semiconductor layer and the first side on the opposite side when viewed in the direction of the first side, and the area of the second electrode in that region the R 1', when the length of the first side and the L 1', the ratio R 1'/ L 1'of R 1'and L 1'is substantially equal to
(3) The second side is a side adjacent to the first side.
(4) The second electrode of each semiconductor light emitting element extends to the inside of the element from the first area, the first area between the first edge and the exposed area, and the inner area than the area. A first extension portion, and the first narrow portion is longer than the first extension portion in the length direction of the first side.
(5) The second electrode has a second extension on the second side, and the second extension constitutes the second electrode on the second side.
(6) The second electrode includes, on the second side, a second sandwiched area, and a second extension that extends to the inside of the element from the second sandwiched section. The ratio A 1 / L 1 between the length A 1 of the first narrow area in the length direction and the length L 1 of the first side is the length of the second narrow area in the length direction of the second side. The ratio A 2 / L 2 between A 2 and the length L 2 of the second side is substantially equal to or larger than that.
(7) In the length direction of the second side, the second narrow area is shorter than the second extension.
(8) In plan view, the ratio S / L of the area S of the region sandwiched between one side of the semiconductor light emitting element, the opposite side of the side and the second semiconductor layer, and the length L of the side is , S 1 / L 1 of the first side is substantially equal to S 2 / L 2 of the second side.
(9) The ratio S / L between the area S of the region sandwiched between one side of the semiconductor light emitting element, the opposite side of the side, and the second semiconductor layer and the length L of the side in plan view is , S 1 / L 1 of the first side is smaller than S 2 / L 2 of the second side.
(10) The second side is a side different from the opposite side of the first side, and the first side and the opposite side of the first side have substantially the same S / L, and the second side and The opposite side of the second side also has substantially the same S / L.
(11) The second electrode is provided closer to the first side than the first electrode.
(12) The semiconductor light emitting element has a light emitting layer between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer, and is between the exposed portion of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer provided with the second electrode. The end face of the light emitting layer is exposed, the support substrate has a wiring electrode to which the first and second electrodes of the semiconductor light emitting element are connected, and the wiring electrode is at least the end face exposed portion of the light emitting layer in plan view. Is provided below.
本発明の発光装置によれば、複数の半導体発光素子の向かい合う端面において、各素子の端面から出射した光を効率的に反射することができ、発光装置の光取り出し効率を向上させることができる。 According to the light emitting device of the present invention, the light emitted from the end surface of each element can be efficiently reflected at the facing end surfaces of the plurality of semiconductor light emitting elements, and the light extraction efficiency of the light emitting device can be improved.
〔実施形態1〕
図1、図2A及び図2Bは、本実施形態にかかる半導体発光素子100及び発光装置101を示す模式的な上面図である。
1, 2A, and 2B are schematic top views showing the semiconductor
図1に示す半導体発光素子100は、透光性基板上に、第1導電型の第1半導体層と第2導電型の第2半導体層とがこの順に形成され、第1半導体層の一部が第2半導体層から露出されており、平面視で第2半導体層及び第1半導体層の積層構造を含む発光領域1と、第1半導体層が露出した露出領域である露出部2とを有する。発光領域1の第2半導体層表面には第2電極3、露出領域2の第1半導体層表面には第1電極4が、それぞれ設けられており、各辺側の端面から光を出射可能である。半導体発光素子100の第1の辺11側の端面から出射される光は、第2の辺12側の端面から出射される光よりも強い。
In the semiconductor
図1に示す半導体発光素子100は、図2Aに示すように、第1の辺11が互いに略平行且つ対向して列状に配置されて、支持基板9にフリップチップ実装される。図2の発光装置101では、同じ構造の発光素子100を2つ並べて実装しており、各素子はバンプなどの導電部材を介して支持基板9表面の導体配線10a〜10cに接続される。このとき、図2Aに示すように、1つの素子の第2電極の外部接続領域15と第1電極の外部接続領域16は、異なる導体配線に接続される。
As shown in FIG. 2A, the semiconductor
このような発光装置101とすることにより、2つの発光素子の対向する端面において、各素子の端面から出射した光を効率的に反射することができ、支持基板への吸収などによる光の損失を抑えることができるので、光取り出し効率を向上させることができる。つまり、図4に概念図で示すように、複数の半導体発光素子を、各素子の端面が略平行に向かい合うように隣接してフリップチップ実装すると、一方の発光素子端面から出射した光を他方の素子端面で反射させることができ、これによって発光観測面側、典型的には透光性基板側へ取り出すことができる。本実施形態の発光装置101では、第2の辺12よりも端面から出射される光の強い第1の辺11が互いに向かい合うように2つの素子を配置しているため、向かい合う素子端面で反射されて発光観測面側に取り出される光を、第2の辺12を向かい合わせる場合よりも強くできる。
With such a light emitting device 101, the light emitted from the end faces of the two light emitting elements can be efficiently reflected at the opposing end faces of the two light emitting elements, and light loss due to absorption into the support substrate is reduced. Therefore, the light extraction efficiency can be improved. That is, as shown in a conceptual diagram in FIG. 4, when a plurality of semiconductor light emitting elements are flip-chip mounted adjacent to each other so that the end faces of the elements face substantially parallel, light emitted from one end face of the light emitting element is reflected to the other. The light can be reflected from the end face of the element, and thus can be taken out to the light emission observation surface side, typically the translucent substrate side. In the light emitting device 101 of this embodiment, since the two elements are arranged so that the
具体的には、半導体発光素子100は、図2Bに示すように、右下がりの斜線で示す領域の面積R1が、右上がりの斜線で示す領域の面積R2よりも小さい。半導体発光素子100の第1の辺11は、該辺の対向辺13の方向にみて、第1の辺11側の第1半導体層の露出部2及び対向辺13と向き合っており、その領域の第2電極3を、図2Bにおいて左側の素子に右下がりの斜線で示す。また、第2の辺12は、該辺の対向辺14の方向にみて、第2の辺13側の第1半導体層の露出部2及び対向辺14と向き合っており、その領域の第2電極3を、図2Bにおいて右側の素子に右上がりの斜線で示す。ここで、フリップチップ実装用の素子において、典型的には第2電極は発光領域のほぼ全面に設けられ、第2電極と発光領域の形状や面積はほぼ等しいものとなるため、上述したR1、R2、後述する挟域部、延長部等、第2電極や発光領域に関する記載は、第2電極と発光領域のどちらにでも採用することができる。
Specifically, the semiconductor
図2Bに示す半導体発光素子100のように、右下がりの斜線で示す領域の面積R1が右上がりの斜線で示す領域の面積R2よりも小さい発光素子とすると、後述するように減衰の小さい光を第1の辺11側の端面から出射することができ、各素子の第1の辺11側の端面で反射され取り出される光を強めることができる。半導体発光素子100は、第2電極3が設けられた発光領域1が発光する。このため、図2Bにおいて右下がりの斜線で示す領域の面積R1を小さくすることで、第1の辺11側の端面から出射される光が素子内で伝播する距離を総合的に小さくすることができる。これにより、図4に概念図で示すように、第1の辺11側の端面から出射されるまでに素子内で吸収される光を少なくし、第1の辺11側から出射される光の減衰を抑制することができる。一方、第2の辺12側の端面から出射される光は、第1の辺11側の端面から出射する光よりも、素子内で伝播する距離が総合的に大きいため、第2の辺12側端面から出射されるまでに素子内で吸収されやすく、減衰が大きくなりやすい。したがって、図2Bに示すように、右下がりの斜線で示す領域の面積R1が右上がりの斜線で示す領域の面積R2よりも小さい素子とすることで、第1の辺11側の端面から出射される光の減衰を相対的に抑制することができ、このような端面が向かい合うように複数の発光素子を配置することで光取り出し効率の向上した発光装置とすることができる。
As in the semiconductor
また、半導体発光素子100の第2電極3は、第1の辺11と露出部2に挟まれた挟域部6a及び6bと、挟域部6a及び6bよりも素子の内側に延びた延長部5とを有する。言い換えると、半導体発光素子100の発光領域1は、平面視で、半導体発光素子100の第1の辺11側に配置された線状の独立部6a及び6bと、独立部6a及び6bを素子内部と接続する接続部5とを有する。第1の辺11の辺方向の長さは、挟域部6aの長さAaと挟域部6bの長さAbとを合わせた長さが、延長部5の長さBよりも長い。また、挟域部6a及び6bと延長部5は、それぞれ表面を第2電極3で覆われている。一方、第1の辺と隣接する第2の辺12側は、発光領域1が延長部7で構成されている。
In addition, the
図1に示す半導体発光素子100のように、他の素子と向かい合う第1の辺11側に延長部5よりも長い挟域部6a及び6bを設けた発光素子とすると、後述するように減衰の小さい光を第1の辺11側の端面から出射することができ、各素子の第1の辺11側の端面で反射され取り出される光を強めることができる。図1に示す半導体発光素子100は、第2電極3が設けられた発光領域1で発光する。このため、第2電極3の挟域部6a及び6bを第1の辺11に近い位置に設けることで、第1の辺11側の端面から出射されるまでに素子内で吸収される光を少なくし、第1の辺11側から出射される光の減衰を抑制することができる。一方、延長部5は、挟域部6a及び6bよりも素子内部に延在されており、この延長部5で発生した光は第1の辺11側から出射されるまでに素子内で吸収され、減衰が大きくなりやすい。したがって、図1に示すように、第1の辺11側の挟域部6a及び6bの長さを延長部5よりも長くすることで、第1の辺11側の端面から出射される光の減衰を相対的に抑制することができ、このような端面が向かい合うように複数の発光素子を配置することで光取り出し効率の向上した発光装置とすることができる。
As in the semiconductor
端面から出射される光の強度は、第1の辺側が、第1の辺と異なる第2の辺側よりも大きいことが好ましく、つまり、発光領域の平面視形状や各辺までの距離を第1の辺側と第2の辺側とで異なるものとすることが好ましい。以下、各辺側の発光領域について詳述する。 The intensity of the light emitted from the end face is preferably larger on the first side than on the second side, which is different from the first side. That is, the planar view shape of the light emitting region and the distance to each side are The first side and the second side are preferably different. Hereinafter, the light emitting area on each side will be described in detail.
〔発光素子とその発光領域〕
本発明の発光素子は、実施形態1で説明したように、支持基板上に相互に隣接して配置される複数の素子において、互いに向かい合う辺、つまり第1の辺における第2電極を特定の構造とすること、また、特に第2の辺が素子間で隣接しない辺である場合に、第2の辺と第1の辺を特定の構造とすることで、発光出力に優れた発光装置とするものである。その主要な構成、下記第1〜3の構成について、以下に説明する。
[Light emitting element and its light emitting area]
As described in
第1の構成は、素子の構造に依っては後述の第1、2の構成をも包含する構成であり、つまりそれは、第1の辺の対向方向において、第1の辺と発光領域又は第2電極の遠距離端部との対向領域の大きさ、具体的には第1の辺側の発光領域又は第2電極における第1の辺側の端部に対向する端部、例えば第1の辺の対向辺側の端部と、第1の辺とで挟まれる領域の面積の大きさを設計して、特定の構造とすることで、素子隣接に好適な発光強度の光を第1の辺から出射させることができる。また、この第1の構成と後述の第3の構成とを組み合わせて、後述する第3の構成における第1の辺と第1の辺側の発光領域端部との領域Sと、第1の構成における第1の辺と第1の辺側端部に対向する第2電極端部との領域と、の差分により、第1の辺側の第2電極の部分領域を所望に設計した特定の構造によって、上記好適な発光装置を得ることもできる。また、各領域の面積は、2つ以上の辺を比較する場合には、各辺の長さで規格化して評価する。 The first configuration includes the first and second configurations described later depending on the structure of the element, that is, the first side and the light emitting region or the first side in the opposing direction of the first side. The size of the region facing the far end of the two electrodes, specifically, the light emitting region on the first side or the end facing the end on the first side of the second electrode, such as the first By designing the size of the area of the region sandwiched between the end on the opposite side of the side and the first side to have a specific structure, light having a light emission intensity suitable for the element adjacent to the first side The light can be emitted from the side. In addition, by combining the first configuration and a third configuration described later, a region S between a first side and a light emitting region end on the first side in a third configuration described later, The specific region in which the partial region of the second electrode on the first side is designed as desired by the difference between the first side in the configuration and the region of the second electrode end facing the first side end Depending on the structure, the above preferred light-emitting device can also be obtained. In addition, when comparing two or more sides, the area of each region is evaluated by standardizing the length of each side.
第2の構成は、素子間で隣接する第1の辺において、第2電極又は発光領域を、特定の構造、すなわち後述する挟域部と延長部を有する構造とすること、特に第1の辺に占める割合を設計することで、素子隣接に好適な発光強度の光を第1の辺から出射させることができる。 In the second configuration, in the first side adjacent between the elements, the second electrode or the light emitting region has a specific structure, that is, a structure having a narrowed portion and an extension portion, which will be described later, particularly the first side. By designing the proportion of the light to the element, light having a light emission intensity suitable for adjacent to the element can be emitted from the first side.
第3の構成は、第1の辺と第2電極又は発光領域との距離を小さくすること、具体的には、第1の辺側の第2電極又は発光領域の端部(第1の辺から近距離の端部)と第1の辺との距離を第2の辺に比して小さくして、素子隣接に好適な発光強度の光を、第1の辺から出射させることができる。 In the third configuration, the distance between the first side and the second electrode or the light emitting region is reduced, specifically, the end of the second electrode or the light emitting region on the first side (the first side). The distance between the first edge and the first edge can be made smaller than that of the second edge, and light having a light emission intensity suitable for adjoining the element can be emitted from the first edge.
上記第1の構成では、図4に示すように、第1の辺側から見て、第1の辺側の発光領域端部(上記近距離端部)に対向する上記遠距離端部である背面側端部、すなわち、第1の辺側の発光領域における第1の辺側端部とは反対側にある発光領域の端部(背面側端部)が第1の辺側の端面に近い距離に配置される。然るに、その発光領域の内部反射面が第1の辺側の近くに配置されることで、そこからの光を強くできる。また、図4に示すように、この第1の辺側の発光領域内部における反射の繰り返しによる内部での光吸収があるため、その発光領域内部の伝搬距離を小さくすることでこれを抑えることができる。すなわち、第1の辺側の発光領域において、上記背面側端部との距離を小さくすることや、その発光領域の幅、上記端部(第1の辺側端部と背面側端部)間距離、上記発光領域の部分領域を小さくすることが好ましく、全てを満たすことがさらに好ましい。具体的には、隣接素子に対向する第1の辺と、隣接素子に対向せずに隣接素子の外側に向いた辺、例えば発光装置の窓部や反射部に向いた辺、例えば第2の辺、との比較で、その隣接素子の対向辺(第1の辺)を、非対向辺に比して、上記幅、距離、領域面積を小さくする。 In the first configuration, as shown in FIG. 4, when viewed from the first side, the long-distance end is opposed to the light emitting region end (the short-distance end) on the first side. The rear side end, that is, the end (back side end) of the light emitting region on the side opposite to the first side end in the first side light emitting region is close to the end surface on the first side. Placed at a distance. However, the internal reflection surface of the light emitting region is arranged near the first side, so that the light from there can be increased. Further, as shown in FIG. 4, since there is internal light absorption due to repeated reflection inside the light emitting region on the first side, this can be suppressed by reducing the propagation distance inside the light emitting region. it can. That is, in the light emitting region on the first side, the distance from the back side end is reduced, the width of the light emitting region, and the distance between the end (first side side end and back side end). It is preferable to reduce the distance and the partial region of the light emitting region, and it is more preferable to satisfy all of them. Specifically, the first side facing the adjacent element, the side facing the outside of the adjacent element without facing the adjacent element, for example, the side facing the window part or the reflecting part of the light emitting device, for example, the second side In comparison with the side, the width, the distance, and the area of the adjacent side of the adjacent element (first side) are made smaller than those of the non-opposite side.
この第1の構成とは別に、上述の第3の構成として、第1の辺側の発光領域端部との距離、つまり第1の辺とその発光領域端部とで挟まれる領域の面積を小さくすることで、素子端部の近くに光出射端面となる発光領域端部を配置することができ、図4に示すように、その素子端部の光を強くして、隣接素子端部における反射に好適な光を出射することができる。また、第1の構成と組み合わせて用いることで、好適な発光出力の光出射や隣接素子による反射を得ることができ、その結果として光出力に優れた発光装置を得ることができる。また、各辺の光の強さは、この挟域部と他の部とを統合したその辺全体における領域面積、背面端部との距離、例えば後述の面積S、Rで評価される。第3の構成や、発光領域と各辺との距離、面積、についても同様である。 Separately from the first configuration, as the third configuration described above, the distance from the light emitting region end on the first side, that is, the area of the region sandwiched between the first side and the light emitting region end is determined. By making it smaller, the light emitting region end serving as the light emitting end face can be arranged near the element end, and as shown in FIG. Light suitable for reflection can be emitted. Further, by using in combination with the first configuration, it is possible to obtain light emission with a suitable light emission output and reflection by an adjacent element, and as a result, a light emitting device excellent in light output can be obtained. In addition, the light intensity of each side is evaluated by the area of the entire side obtained by integrating the sandwiched area and other parts, the distance from the back end, for example, areas S and R described later. The same applies to the third configuration and the distance and area between the light emitting region and each side.
以上の第1の構成、第3の構成、及びそれに係る各形態を実現する構造として、上記実施形態1及び他の実施形態、若しくは後述する挟域部と延長部を第1の辺側に設けた発光領域に設ける構造があり、これにより上記第2の構成がある。具体的には、挟域部は、上記第1の構成に係る発光領域の幅・面積や、背面側端部と第1の辺との距離が、他の部分、例えば延長部に比して小さく、第1の辺側の発光領域内で、その挟域部は、他の部分、例えば延長部に比して、強い光を出射する部分となり、これを好適に用いた発光素子構造、例えばその大きさ、形状、第1の辺との距離等を好適に設計した構造となる。以下、上記各構成の形態に係る構造について説明する。なお、隣接素子に対向する第1の辺、又はそれと異なる若しくは非対向辺の第2の辺について説明したが、素子の他の辺にも適用できる。また、素子が3つ以上配列されるような場合に、2つ以上の隣接素子がある場合には、各対向辺を第1の辺とすることが好ましい。 As the structure for realizing the first configuration, the third configuration, and the respective modes related thereto, the above-described first embodiment and other embodiments, or a narrowing portion and an extension portion described later are provided on the first side. There is a structure provided in the light emitting region, whereby there is the second configuration. Specifically, the narrow area has a width / area of the light emitting area according to the first configuration and a distance between the rear side end and the first side as compared with other parts, for example, an extension. In the light emitting region on the first side, which is small, the sandwiched portion becomes a portion that emits strong light as compared with other portions, for example, the extended portion, and a light emitting element structure using this suitably, for example, The size, shape, distance to the first side, and the like are suitably designed. Hereinafter, the structure which concerns on the form of said each structure is demonstrated. Note that the first side facing the adjacent element or the second side that is different or non-opposing is described, but the present invention can also be applied to other sides of the element. Further, when three or more elements are arranged, and there are two or more adjacent elements, it is preferable that each opposing side is the first side.
(発光領域の面積)
挟域部や延長部の長さの他、上記第1の構成にかかる各辺側の発光領域の面積を、第1の辺側と第2の辺側で異なるものとすることで、端面から出射される光の強度を変えることができる。具体的には、平面視で、素子の1つの辺に最も近い第2電極の端部と、該端部の次に近い第2電極の端部と、で挟まれる領域の面積Rと、該辺の長さLとの比R/Lを、第1の辺のR1/L1が第2の辺のR2/L2よりも小さくする。これにより、発光領域全体でみて、発光領域で発生した光が素子端面から出射するまでに素子内を通過する距離を、第2の辺側よりも第1の辺側で短くでき、第1の辺側から出射される光の強い素子とすることができる。
(Light emitting area)
In addition to the length of the sandwiched area and the extension, the area of the light emitting area on each side according to the first configuration is different between the first side and the second side, so that from the end face The intensity of the emitted light can be changed. Specifically, in plan view, the area R of the region sandwiched between the end of the second electrode closest to one side of the element and the end of the second electrode closest to the end, The ratio R / L with the side length L is set so that R 1 / L 1 of the first side is smaller than R 2 / L 2 of the second side. As a result, in the entire light emitting region, the distance that the light generated in the light emitting region passes through the device before being emitted from the device end surface can be shorter on the first side than on the second side. It can be set as the element with the strong light radiate | emitted from the side.
(各辺と発光領域との距離)
また、上記第3の構成に係る形態として、第1の辺から発光領域までの距離を近くすることで、発光領域からの光を隣接する他の素子端面に到達する光量を多くできる。発光領域までの距離は、第1の辺と第2の辺とで略等しいか、若しくは第1の辺の方が近いことが好ましく、具体的には、平面視で、1つの辺を基準としてそれに対向する発光領域との間の領域が小さい方が好ましい。例えばその基準辺と、その基準辺の対向辺若しくは対向辺より該辺の近くに配置された発光領域と、で挟まれる領域の面積Sと、辺の長さLとの比S/Lが、第1の辺のS1/L1と第2の辺のS2/L2とで略等しいか、若しくは第1の辺のS1/L1の方が小さいことが好ましい。これにより、第1の辺側の端面から出射される光の減衰を、第2の辺側と略等しいか、若しくは小さくして、光量を大きくすることができる。
(Distance between each side and light emitting area)
Moreover, as a form according to the third configuration, the amount of light reaching the other element end face adjacent to the light from the light emitting region can be increased by reducing the distance from the first side to the light emitting region. It is preferable that the distance to the light emitting region is substantially equal between the first side and the second side, or closer to the first side. Specifically, in plan view, one side is used as a reference. It is preferable that the area between the light-emitting area facing it is small. For example, the ratio S / L between the area S of the region sandwiched between the reference side and the light-emitting region arranged closer to or closer to the opposite side of the reference side and the length L of the side, it is preferably a S 1 / L 1 of the first side substantially equal in the S 2 / L 2 of the second side, or a small first sides towards S 1 / L 1 of. Thereby, attenuation of the light emitted from the end face on the first side can be made substantially equal to or smaller than that on the second side to increase the amount of light.
例えば、第1の辺及びその辺の対向辺からなる第1の組のS/Lを、第1の組とは異なる互いに対向する辺の第2の組のS/Lより小さく、また各組内の辺同士はS/L同一とすることができる。つまり、第2の辺が第1の辺の対向辺と異なる辺である場合、第1の辺及び第1の辺の対向辺におけるS/Lが略同一であり、第2の辺及び第2の辺の対向辺においてもS/Lが略同一である素子とすることができ、さらには第1の辺のS/Lを第2の辺のS/Lより小さくすることができる。この時、各組の辺は、相互に略同一のS/Lとし、このような2組の辺を有する素子としては、平面視で矩形状のものが好ましい。このように、発光領域との距離を、第1の辺及びその対向辺の組で、異なる組よりも近くなるように設けることで、第1の辺側及びその対向辺側の端面から出射される光の減衰の程度を、異なる組の辺側よりも小さくすることができ、端面から出射される光を強くすることができる。 For example, the S / L of the first set composed of the first side and the opposite sides of the first side is smaller than the S / L of the second set of opposite sides different from the first set, and each set The sides inside can be S / L identical. That is, when the second side is a side different from the opposite side of the first side, the S / L in the opposite side of the first side and the first side is substantially the same, and the second side and the second side The elements having S / L substantially the same on the opposite sides of the first side can also be made, and the S / L of the first side can be made smaller than the S / L of the second side. At this time, the sides of each set have substantially the same S / L, and the element having such two sets of sides is preferably rectangular in plan view. Thus, by providing the distance to the light emitting region so that the first side and the opposite side are closer to each other than the different set, the light is emitted from the first side and the end surface on the opposite side. The degree of light attenuation can be made smaller than that of the different sets of sides, and the light emitted from the end face can be strengthened.
例えば、図1の素子において、S/Lは、第1の辺11とその対向辺13とで略等しく、また、第1の辺11に隣接する辺12とその対向辺14とで略等しい。図1に、辺12とそれに対向する発光領域との間の領域、具体的には辺12と、該辺の対向辺14若しくは辺14より該辺12の近くに配置された発光領域1と、で挟まれる領域を斜線で示す。第1の辺11側及びその対向辺13側では発光領域1の端部と各辺とが一致しており、第1の辺11と発光領域1との間の領域が無く、S/Lは0であることから、この例では第1の組のS/Lは、第1の組と第2の組のS/Lより小さい。
For example, in the element of FIG. 1, S / L is substantially equal between the
一方、第1の組と第2の組のS/Lとを、略等しくすることもできる。これにより、発光領域が各辺からほぼ等しい距離に設けられるため、各辺側の端面から出射される光の強度が、発光領域の平面視形状に依存しやすい素子とすることができる。また、第1の辺のS1/L1を第2の辺のS2/L2よりも小さい素子とすると、それが略等しい場合と比べて、各素子の第1の辺を向かい合わせることによる効果、すなわち第2の辺を向かい合わせた場合と比較して発光出力が高くなる効果を、大きくできる。 On the other hand, the S / L of the first set and the second set can be made substantially equal. As a result, the light emitting region is provided at an approximately equal distance from each side, and thus the element can be configured such that the intensity of light emitted from the end face on each side tends to depend on the shape of the light emitting region in plan view. Further, when S 1 / L 1 on the first side is an element smaller than S 2 / L 2 on the second side, the first sides of the respective elements face each other as compared with the case where they are substantially equal. That is, the effect of increasing the light emission output as compared with the case where the second sides face each other can be increased.
以下、上記第1の構成に係る挟域部及び又は延長部を有する構造、上記各構成の形態に係る構造について説明する。
(挟域部と延長部の長さ)
上記第2の構成に係る構造は、隣接素子に対向する第1の辺において、その第2電極又は発光領域の内、他の部分より比較的強い光を出射する挟域部の、第1の辺に占める割合を大きくすることで、その素子端部で強い光を出射でき、その隣接素子の対向辺、つまり隣接素子の端部における反射に好適な光を出射することができる。具体的には、上記実施形態1のように、第1の辺における第2電極又は発光領域に占める挟域部の割合を、上記第1の構成に係る発光領域の幅、背面端部との距離、各領域の面積が小さい他の部分、例えば延長部に比して、それよりも大きくする。好適には、挟域部が占める割合として、辺の長さの半分以上、さらに好ましくは2/3以上であると良い。ここで、各辺に占める各部の割合は、各辺の長さLにおける、その辺方向における各部の長さ(挟域部A、延長部B)の比、つまり、挟域部の占める割合[A/L]、延長部の占める割合[B/L]、上記他の部(非挟域部)の占める割合[(L−A)/L]として、評価できる。
Hereinafter, the structure which has the narrow area part and / or extension part which concern on the said 1st structure, and the structure which concerns on the form of each said structure are demonstrated.
(Length of the sandwiched area and extension)
In the structure according to the second configuration, the first side of the first region facing the adjacent element has the first electrode of the narrow region that emits relatively stronger light than the other part of the second electrode or the light emitting region. By increasing the proportion of the side, strong light can be emitted at the end of the element, and light suitable for reflection at the opposite side of the adjacent element, that is, at the end of the adjacent element, can be emitted. Specifically, as in the first embodiment, the ratio of the sandwiching area occupying the second electrode or the light emitting region in the first side is the width of the light emitting region according to the first configuration, and the back end portion. The distance and the area of each region are set to be larger than those of other portions having a small area, for example, an extension portion. Preferably, the proportion of the narrow area is not less than half of the length of the side, more preferably not less than 2/3. Here, the ratio of each part occupying each side is the ratio of the length of each part in the direction of the side (the narrowed area A and the extended part B) to the length L of each side, that is, the ratio occupied by the narrowed area [ A / L], a ratio [B / L] occupied by the extension part, and a ratio [(LA) / L] occupied by the other part (non-clamping part).
また、第2の辺との比較においては、第2の辺は具体的には隣接素子に対向しない辺であるので、対向する第1の辺と異なる辺における挟域部と、第1の辺における挟域部とを比較する。第2の辺側の発光領域は、延長部を有し、かつ、延長部よりも辺の長さ方向に短い挟域部を有するか、または、延長部で第2の辺側の発光領域が構成されてなる。ここで、発光領域の挟域部の長さAと辺の長さLとの比A/Lは、第1の辺のA1/L1が第2の辺のA2/L2よりも大きいことが好ましい。これにより、第2の辺側から出射される光の減衰の程度が第1の辺側から出射される光よりも大きく、端面から出射される光の強度が第1の辺側で大きい素子とすることができる。ここで、図1に示す素子のように、延長部で第2の辺側の発光領域が構成されてなる場合は、第2の辺の挟域部の長さA2は0である。さらには、挟域部の長さAと延長部の長さBとの比A/Bは、第1の辺のA1/B1が第2の辺xのA2/B2よりも大きいことが好ましい。 Further, in the comparison with the second side, the second side is specifically a side that does not face the adjacent element, and therefore, the sandwiched portion on the side different from the first side facing the first side and the first side Compare with the narrow area. The light emitting region on the second side has an extension and has a narrowed portion that is shorter in the length direction of the side than the extension, or the light emitting region on the second side in the extension is Consists of. Here, the ratio A / L between the length A of the narrow portion of the light emitting region and the length L of the side is such that A 1 / L 1 of the first side is greater than A 2 / L 2 of the second side. Larger is preferred. Thereby, the degree of attenuation of the light emitted from the second side is larger than that of the light emitted from the first side, and the intensity of the light emitted from the end surface is large on the first side. can do. Here, as in the device shown in FIG. 1, when the light-emitting region of the second side is formed by a extension, the length A 2 of the narrow region part of the second side is zero. Further, the ratio A / B between the length A of the narrowed portion and the length B of the extended portion is such that A 1 / B 1 on the first side is larger than A 2 / B 2 on the second side x. It is preferable.
一方、挟域部の長さAと辺の長さLとの比A/Lを、第1の辺のA1/L1と第2の辺のA2/L2とが略等しくなるように形成することもできる。この場合、第1の辺側の挟域部の幅を第2の辺側の挟域部の幅よりも小さくすることで、挟域部で発生した光が素子内を通過する距離を相対的に短くすることができ、第1の辺側から出射する光の減衰の程度を小さくすることができる。ここで、第2電極又は発光領域の幅の他に、背面側端部と各辺との距離、つまり両者で挟まれる領域の面積Rで比較して、第1の辺を第2の辺より小さくする構造とすることもできる。 On the other hand, the ratio A / L between the length A of the sandwiched area and the length L of the side is set so that A 1 / L 1 of the first side and A 2 / L 2 of the second side are substantially equal. It can also be formed. In this case, by making the width of the narrow area on the first side smaller than the width of the narrow area on the second side, the distance that the light generated in the narrow area passes through the element is relatively And the degree of attenuation of light emitted from the first side can be reduced. Here, in addition to the width of the second electrode or the light emitting region, the distance between the rear side end and each side, that is, the area R of the region sandwiched between the two, compares the first side with the second side. It can also be set as the structure made small.
(第1の辺の対向辺側)
好ましくは、第1の辺の対向辺側は、以下のような構成とする。第1の辺の対向辺は、第1の辺の方向にみて、対向辺側の第1半導体層の露出部及び第1の辺と向き合っており、その領域の第2電極の面積をR1´、第1の辺の長さをL1´としたとき、R1´とL1´の比R1´/L1´は、上述のR1/L1と略等しい。また、第1の辺の対向辺側の第2電極は、第1の辺側のように、挟域部と延長部とを有し、挟域部の対向辺方向の長さが延長部よりも長くなるように形成される。これらの構成により、対向辺側の端面においても光の減衰を抑制し、強い光を出射することができ、特に他の素子を対向辺側にも配置する場合に好ましい。さらに、図1に示す素子のように、第1の辺側とその対向辺側とで発光領域の平面視形状を同じにすると、対向辺側の端面から出射する光の強度を第1の辺側と同様なものとできる。
(Opposite side of the first side)
Preferably, the opposite side of the first side is configured as follows. The opposing side of the first side faces the exposed portion of the first semiconductor layer and the first side on the side of the opposing side when viewed in the direction of the first side, and the area of the second electrode in that region is R 1. ′ , Where the length of the first side is L 1 ′ , the ratio R 1 ′ / L 1 ′ between R 1 ′ and L 1 ′ is substantially equal to the above-mentioned R 1 / L 1 . Further, the second electrode on the opposite side of the first side has a narrowed portion and an extended portion like the first side, and the length of the narrowed portion in the opposite side is longer than the extended portion. Is also formed to be long. With these configurations, attenuation of light can be suppressed even at the end face on the opposite side, and strong light can be emitted, which is particularly preferable when other elements are also arranged on the opposite side. Further, as in the element shown in FIG. 1, if the shape of the light emitting region in plan view is the same on the first side and the opposite side, the intensity of light emitted from the end surface on the opposite side is set to the first side. It can be the same as the side.
(各辺側の第2電極若しくは各部及びその配置)
第2電極の挟域部は、各辺側で第1半導体層の露出領域である露出部などによって素子内部、若しくは対向辺側の第2電極と隔たれた部分であり、すなわち、露出領域などによる分離部と各辺とで挟まれた発光領域であり、その分離部の対向辺側にも第2電極が設けられる。第1の辺側の挟域部は、好ましくは露出領域に設けられる第1電極よりも第1の辺側に配置される。これにより、図4に示すように、挟域部を第1の辺側に近づけて設けることができ、また、発光領域の端面からの光を第1電極に遮られずに第1の辺側から取り出すことができる。電極に遮られずに端面から光を取り出すためには、第1の辺側若しくは各辺側の半導体層端面が、光出射可能な露出面を少なくとも一部に有することが好ましく、さらには端面のほぼ全面が光出射面となることが好ましい。具体的には、遮光性の金属から露出している構造、例えば反射膜や電極から露出している構造や、透光性の保護膜で覆われている構造などであることが好ましい。第2半導体層と第1半導体層の間に発光層を有する場合は、少なくとも発光層の端面が露出していることが好ましい。
(Second electrode on each side or each part and its arrangement)
The sandwiched area of the second electrode is a portion separated from the inside of the element or the second electrode on the opposite side by an exposed part that is an exposed area of the first semiconductor layer on each side, that is, depending on the exposed area or the like. The light emitting region is sandwiched between the separation part and each side, and the second electrode is also provided on the opposite side of the separation part. The narrow area on the first side is preferably arranged closer to the first side than the first electrode provided in the exposed area. As a result, as shown in FIG. 4, the narrow area portion can be provided close to the first side, and the light from the end face of the light emitting region is not blocked by the first electrode, and the first side. Can be taken out from. In order to extract light from the end face without being blocked by the electrode, it is preferable that the semiconductor layer end face on the first side or each side has at least a part of an exposed face from which light can be emitted. It is preferable that almost the entire surface is the light exit surface. Specifically, a structure exposed from a light-shielding metal, for example, a structure exposed from a reflective film or an electrode, or a structure covered with a light-transmitting protective film is preferable. When the light emitting layer is provided between the second semiconductor layer and the first semiconductor layer, it is preferable that at least the end face of the light emitting layer is exposed.
発光素子は、その一部に第1電極が設けられる第1電極領域を有する第1半導体層の露出部が設けられ、その残りの領域に発光領域が設けられる。露出部は非発光領域である。このため、上述したように挟域部及び/又は延長部を、第1の辺側やその他の辺側に配置して、上述した第1〜3の構成及びその形態を用いて、好適な発光素子構造を形成する。第1の辺では、上述のように、挟域部を有することでその端面からの光を好適なものとできるが、このとき、延長部を有していなくても良い。しかし、上記第1、3の構成で説明したように、第1の辺側との間の距離若しくは領域面積を小さくすると、発光領域は幅狭の領域や小面積の領域となるため、その上の第2電極に設けられる外部接続用の領域が小さくなるか、若しくは領域形成が困難となる。そのため、挟域部と組み合わせて延長部を設けることで、その問題を解決する。すなわち、延長部により接続される、素子内側の発光領域、若しくは露出領域や第1電極領域を挟んで各辺の対向側に配置された発光領域に、その外部接続用の領域を設けることができる。これにより、所望の辺側、例えば第1の辺側で、上記第1、3の構成による好適な挟域部を、上記第2の構成による辺に占める割合を高くした構造とできる。また、延長部を介して素子内側や対向辺側に発光領域が延設されることで、素子に占める発光面積の割合を大きくでき、また、電流拡散性、均一性、それによる発光均一性、効率向上が図れるため、延長部を有することが好ましい。 The light emitting element is provided with an exposed portion of the first semiconductor layer having a first electrode region in which a first electrode is provided, and a light emitting region is provided in the remaining region. The exposed portion is a non-light emitting area. For this reason, as described above, the narrow portion and / or the extended portion are arranged on the first side or other side, and the suitable light emission is performed using the above-described first to third configurations and forms. An element structure is formed. On the first side, as described above, the light from the end face can be made suitable by having the narrowed portion, but at this time, the extended portion may not be provided. However, as described in the first and third configurations, when the distance from the first side or the area of the first side is reduced, the light emitting area becomes a narrow area or a small area. The region for external connection provided on the second electrode becomes small, or formation of the region becomes difficult. Therefore, the problem is solved by providing the extension part in combination with the narrow area part. That is, a region for external connection can be provided in the light emitting region inside the element connected by the extension, or the light emitting region disposed on the opposite side of each side across the exposed region and the first electrode region. . Thereby, it can be set as the structure which made high the ratio which occupies the suitable area | region part by the said 1st, 3 structure in the side by the said 2nd structure by the desired edge | side side, for example, the 1st edge side. In addition, by extending the light emitting region on the inner side of the element or on the opposite side through the extension, the ratio of the light emitting area in the element can be increased, and the current diffusibility, uniformity, and thereby the light emission uniformity, In order to improve efficiency, it is preferable to have an extension.
上記挟域部の一部において、その他の部分より幅広とすること、また、上記各領域の面積(S、R)の一部分の面積を大きくすることによって、その部分を外部接続用の領域とすることができる。このように、挟域部が、外部接続されず電流拡散や配線の構造を備える配線領域と、外部接続される外部接続領域と、を有する構造としても良い。第1の辺側では少なくとも配線領域を有することが好ましく、素子の寸法等に応じて、非発光・発光領域、その領域内の第1電極領域と露出領域、挟域部及びその各領域と延長部若しくはその他の部分、が形成される。ここで、外部接続領域は、上記配線領域の機能を備えることができ、また延長部に設けることもできる。この時、外部接続領域は、延長部の辺に隣接する隣接辺の挟域部を構成することもできる。非発光領域には、主に、上記下層側の第1導電型の第1半導体層が露出された露出領域や、その一部に設けられる第1電極領域が含まれ、その他、基板上の半導体層が露出した基板露出領域、第2導電型の第2半導体層上で第2電極の非形成領域などの非電流注入部、電流阻止部などを含むこともできる。 A part of the narrow area is made wider than the other part, and a part of the area (S, R) of each area is increased to make the part a region for external connection. be able to. As described above, the sandwiched area may have a wiring region that is not externally connected and has a current diffusion or wiring structure and an external connection region that is externally connected. It is preferable to have at least a wiring region on the first side, and depending on the element dimensions and the like, the non-light emitting / light emitting region, the first electrode region and the exposed region in the region, the sandwiched region, and the respective regions and the extension Or other parts are formed. Here, the external connection region can have the function of the wiring region, and can also be provided in the extension. At this time, the external connection region can also constitute a narrowed portion of an adjacent side adjacent to the side of the extension portion. The non-light emitting region mainly includes an exposed region in which the first conductive type first semiconductor layer on the lower layer side is exposed, and a first electrode region provided in a part thereof. A substrate exposed region where the layer is exposed, a non-current injection portion such as a region where the second electrode is not formed on the second semiconductor layer of the second conductivity type, and a current blocking portion may also be included.
電極が形成されていない半導体層露出領域を介して、各辺の発光領域や、その各部を配置しても良く、上記実施形態1で示すように、各辺の端面を発光領域の半導体層端面とすることで、素子端面と発光領域端面の距離、つまりその領域(後述する面積S)を0とでき好ましい。この素子外周部の露出領域は、後述の各実施形態に示すように、その外周部で分離することで形成されるため、素子のリーク防止ができる。発光領域を素子端面とする場合は、発光領域で素子を分離することで形成する。 The light emitting region of each side and each part thereof may be arranged through the semiconductor layer exposed region where no electrode is formed. As shown in the first embodiment, the end surface of each side is the end surface of the semiconductor layer of the light emitting region. Therefore, the distance between the element end surface and the light emitting region end surface, that is, the region (area S described later) can be set to 0, which is preferable. Since the exposed region of the outer peripheral portion of the element is formed by separation at the outer peripheral portion as shown in each embodiment described later, it is possible to prevent the element from leaking. In the case where the light emitting region is an element end face, the light emitting region is formed by separating the element in the light emitting region.
また、半導体層の露出領域などの非発光領域の内、第1電極が形成される露出領域において、発光領域がその外周を囲むように形成すると、その外周部を構成する発光領域に効率的に電流注入することや発光させることができる。特に、第2半導体層がp型層、第1半導体層がn型層である場合に、第2電極からの電流を第1電極の全周囲から効率的に抽出することができ、好ましい。 In addition, in the exposed region where the first electrode is formed in the non-light emitting region such as the exposed region of the semiconductor layer, if the light emitting region is formed so as to surround the outer periphery thereof, the light emitting region constituting the outer peripheral portion is efficiently formed. Current can be injected or light can be emitted. In particular, when the second semiconductor layer is a p-type layer and the first semiconductor layer is an n-type layer, the current from the second electrode can be efficiently extracted from the entire periphery of the first electrode, which is preferable.
以下、本発明における発光領域の他の例に係る各実施形態について、図5〜図11を用いて説明する。図5〜図11では、図1〜3と同じ部材は同じ符号で示す。いずれの例においても、同じ構造の2つの素子が、第1の辺が互いに向かい合うように支持基板にフリップチップ実装されている。また、支持基板の導体配線は省略しているが、素子の各電極に対応して設けることができる。 Hereinafter, each embodiment according to another example of the light emitting region in the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 11, the same members as those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals. In either example, two elements having the same structure are flip-chip mounted on the support substrate so that the first sides face each other. Further, although the conductor wiring of the support substrate is omitted, it can be provided corresponding to each electrode of the element.
〔実施形態2〕
本実施形態2の発光装置に用いられる図5Aに示す発光素子は、素子内部の発光領域と、素子外側の発光領域とを有する構造である。実施形態1に比して、素子外側の発光領域は、その大部分が、第1の辺とその対向辺側にそれぞれ設けられ、第1の辺の隣接辺側には、第1の辺及びその対向辺の延長部が第1の辺の両端部に配置され、その一部が延長部を構成し、さらにそれが延在して挟域部が設けられている。加えて、図5Aに示す発光素子は線対称の構造であり、その中心線は、辺長さの半分超を占める第2電極が設けられた第1辺又はその隣接辺に平行である。尚、第2電極は隣接辺側に外部接続領域が設けられ、そこから素子内側に延在してそれより幅狭の配線領域が設けられており、第1の辺及びその対向辺の発光領域の分離部と、隣接辺の同分離部とを構成している。第2電極は、第1の辺の端部より内側に延長部を有して上記内側発光領域と接続し、両端部の延長部や挟域部に外部接続領域が設けられる。以上の構造により、つまり幅広、大面積の内側の発光領域を有することにより、半導体層表面に垂直な軸状の正面に取り出される光を高くできる。また、内側の発光領域より幅狭、小面積の外側の発光領域を有することにより、素子隣接配置に好適な端面発光を実現する。
[Embodiment 2]
The light-emitting element shown in FIG. 5A used in the light-emitting device of
図5Aに示す発光装置において、各半導体発光素子の第2電極3は、第1の辺11と隣接する第2の辺12側にも挟域部8a及び8bと延長部7a及び7bを有する。第2の辺12の辺方向において、挟域部8aの長さA8a及び挟域部8bの長さA8bの合計は、延長部7aの長さB7a及び延長部7bの長さB7bの合計とほぼ等しい。また、第1の辺11側の挟域部6a及び6bの長さは、第2の辺12側の挟域部8a及び8bの長さよりも長い。ここで、図5Aに示す発光素子は実質的に正方形であることから、第1の辺11側の挟域部6a及び6bの長さA1と第1の辺11の長さL1の比A1/L1は、第2の辺12側の挟域部8a及び8bの長さA2と第2の辺12の長さL2の比A2/L2よりも大きい。また、第1の辺11及び第2の辺12は、各辺の対向辺の方向にみて、各辺側の第1半導体層露出部2及び各対向辺と向き合っており、その領域の第2電極3の面積R1、R2をそれぞれ図5Bに示す。左側の素子において右下がりの斜線で示す領域の面積がR1、右側の素子において右上がりの斜線で示す領域の面積がR2であり、R1、R2はそれぞれ、素子全体の面積の約21%、約49%を占めている。ここで、図5Bに示す素子は平面視で実質的に正方形であることから、R1/L1はR2/L2よりも小さい。これにより、第1の辺側の端面から出射される光の強度を、第2の辺側よりも大きくできる。実質的に正方形とは、本発明の効果が得られる程度に正方形であればよい。また、第2の辺12の対向辺側も、第2の辺12側と同様の形状である。
In the light emitting device shown in FIG. 5A, the
〔実施形態3〕
本実施形態3の発光装置に用いられる図6Aに示す発光素子は、実施形態2に比して、内側の第2電極がより幅広、大面積となり、それに対して、外側の第2電極の一部である挟域部の幅、上記各領域の面積が小さくなっている。これにより、第1電極の外部接続領域は、隣接辺の各部に接続する第1の辺及びその対向辺の両端部の延長部に設け、第1の辺及びその対向辺の内側の挟域部及び延長部は配線領域となっている。これにより、外側の発光領域において、端面出射光の輝度を高め、内側の発光領域で正面輝度を高めることができる。
[Embodiment 3]
The light-emitting element shown in FIG. 6A used in the light-emitting device of
図6Aに示す発光装置は、図5Aに示す発光装置と、各半導体発光素子の第2の辺12側の第2電極3及び発光領域1の形状が異なる。図6Aの半導体発光素子は、第2の辺12側の挟域部8a及び8bの長さが延長部7a及び7bよりも長く、かつ、第1の辺11側の挟域部6a及び6bの長さA1が、第2の辺12側の挟域部8a及び8bの長さA2と略等しく、つまり、第1の辺11のA1/L1が第2の辺12のA2/L2と略等しい。しかし、第1の辺11側と第2の辺12側とでは、各辺側の挟域部の幅が異なり、第1の辺11側の挟域部6a及び6bの幅が第2の辺12側の挟域部8a及び8bよりも小さい。また、第1の辺11及び第2の辺12は、各辺の対向辺の方向にみて、各辺側の第1半導体層露出部2及び各対向辺と向き合っており、その領域の第2電極3の面積R1、R2をそれぞれ図6Bに示す。左側の素子において右下がりの斜線で示す領域の面積がR1、右側の素子において右上がりの斜線で示す領域の面積がR2であり、R1、R2はそれぞれ、素子全体の面積の約20%、約33%を占めている。ここで、図6Bに示す素子は平面視で実質的に正方形であることから、R1/L1はR2/L2よりも小さい。これらのことから、端面から出射される光が、第2の辺側よりも第1の辺側で強い素子とすることができる。
The light emitting device shown in FIG. 6A is different from the light emitting device shown in FIG. 5A in the shapes of the
〔実施形態4〕
本実施形態4の発光装置に用いられる図7Aに示す発光素子は、各辺が挟域部と延長部を各々有する発光領域の構造であり、実施形態2、3に比して、内側の発光領域が、隣接辺を互いに接続する延長部として設けられ、その延長部は、対向方向に幅が異なり、幅広な発光領域は相互に対向する2つの隣接辺側に設けられている。また第1電極は、実施形態2、3が隣接辺の対向方向に分離して各隣接辺側に配置されていたが、この実施形態4では、第1の辺の対向方向に分離した構造となっている。また、第1の辺及びその対向辺側では、その挟域部が辺方向に幅の異なる構造となっており、幅広な端部側には外部接続領域が設けられ、また延長部は、実施形態2、3と異なり、内側のそれが無くなり、端部側の延長部だけが設けられている。この発光素子では、隣接辺側に挟域部が設けられ、その挟域部を介して第1電極が辺から離間されたため、実施形態2、3に比して、その辺からの端面発光が強くなり、隣接辺側と、第1の辺及びその対向辺側との発光強度の分布の差が小さい構造となっている。
[Embodiment 4]
The light-emitting element shown in FIG. 7A used in the light-emitting device of
図7Aに示す発光装置は、各半導体発光素子の発光領域が、露出領域2及びその表面の第1電極4の周囲を囲むように設けられている。また、第1の辺11及び第2の辺12は、各辺の対向辺の方向にみて、各辺側の第1半導体層露出部2及び各対向辺と向き合っており、その領域の第2電極3の面積R1、R2をそれぞれ図7Bに示す。左側の素子において右下がりの斜線で示す領域の面積がR1、右側の素子において右上がりの斜線で示す領域の面積がR2であり、R1、R2はそれぞれ、素子全体の面積の約22%、約35%を占めている。ここで、図7Bに示す素子は平面視で実質的に正方形であることから、R1/L1はR2/L2よりも小さい。これにより、第1の辺側から出射される光の減衰の度合いを、発光領域全体でみて、第2の辺側よりも小さくできる。また、第1の辺11及び第2の辺12の対向辺のR/Lは、それぞれ第1の辺11及び第2の辺12のR/Lとほぼ等しい。
The light emitting device shown in FIG. 7A is provided so that the light emitting region of each semiconductor light emitting element surrounds the exposed
〔実施形態5〕
本実施形態5の発光装置に用いられる図8Aに示す発光素子は、実施形態4に比して、第2電極の外部接続領域が、内側の発光領域に設けられ、第1の辺及びその対向辺における外側の第2電極は幅が狭くなって配線領域とされ、均一幅の挟域部、延長部が配置され、隣接辺側では、その内側の第2電極が延長部を構成する構造となっている。また素子全体では、同一幅の外周部の第2電極と、内側の第2電極とが設けられた構造となっている。均一幅の挟域部により、均一性の高い端面発光が第1の辺及び第2の辺側でなされ、他方、隣接辺において、対向方向に延長部が同一幅であるため、その端面発光が低下し、実施形態4に比して第1の辺及びその対向辺と隣接辺との間の発光差が大きくなるが、実施形態2、3よりは均一性の高い素子となる。
[Embodiment 5]
The light emitting element shown in FIG. 8A used in the light emitting device according to the fifth embodiment has an external connection region of the second electrode provided in the inner light emitting region as compared with the fourth embodiment, and the first side and its opposite side. The outer second electrode on the side is narrowed to be a wiring region, a uniform width sandwiching area and extension are arranged, and on the adjacent side, the inner second electrode constitutes the extension. It has become. Further, the entire element has a structure in which a second electrode on the outer peripheral portion having the same width and a second electrode on the inner side are provided. Due to the uniform width of the narrow area portion, highly uniform end surface light emission is performed on the first side and the second side side, and on the other side, since the extension portion has the same width in the opposite direction, the end surface light emission is As compared with the fourth embodiment, the light emission difference between the first side and the opposite side and the adjacent side becomes larger, but the device is more uniform than the second and third embodiments.
上述のS/Lが全ての辺でほぼ等しい例を、図8Aに示す。図8Aの発光装置において、各半導体発光素子は、素子の外周及び内部に露出部2が設けられており、第1電極4は素子内部の露出部2に形成されている。図8Aに、第1の辺11と、該辺の対向辺若しくは該対向辺より辺11の近くに配置された発光領域1と、で挟まれる領域(その面積S1)を左側の素子に右下がりの斜線で示し、第2の辺12と、該辺の対向辺若しくは該対向辺より辺12の近くに配置された発光領域1と、で挟まれる領域(その面積S2)を右側の素子に右上がりの斜線で示す。図8Aに示す素子は実質的に正方形であり、図8Aに示すように、第1の辺11のS1/L1は第1の辺12のS2/L2と略等しい。また、第1の辺11及び第2の辺12は、それぞれの対向辺とS/Lが略等しいことから、全ての辺のS/Lは略等しい。これにより、発光領域の形状が各辺側で異なることによる効果が得られやすい。また、第1の辺11及び第2の辺12は、各辺の対向辺の方向にみて、各辺側の第1半導体層露出部2及び各対向辺と向き合っており、その領域の第2電極3の面積R1、R2をそれぞれ図8Bに示す。左側の素子において右下がりの斜線で示す領域の面積がR1、右側の素子において右上がりの斜線で示す領域の面積がR2であり、R1、R2はそれぞれ、素子全体の面積の約20%、約45%を占めている。ここで、図8Bに示す素子は平面視で実質的に正方形であることから、R1/L1はR2/L2よりも小さい。
FIG. 8A shows an example in which the above S / L is substantially equal on all sides. In the light emitting device of FIG. 8A, each semiconductor light emitting element is provided with an exposed
〔実施形態6〕
本実施形態6の発光装置に用いられる図9に示す発光素子は、実施形態1〜5に比して、隣接辺で左右非対称の構造であり、一方の第1の辺11側に第2電極の挟域部及び延長部が配置され、その対向辺13側には、第1電極が配置され、その第1電極は両端部の配線領域と内側の外部接続領域を有する構造である。実施形態2〜5同様に、隣接辺側に挟域部と延長部が配置され、その延長部は相互に接続して、各隣接辺の一方端部側に配置され、第1の辺側の各部を構成している。この素子では、実施形態1〜5に比して、第1の辺及びその対向辺が異なるため、その発光差が大きく、他方第1の辺とその両端の隣接辺とで、挟域部及び延長部が各辺に占める割合の差が小さく、同様に、上記各領域の面積S、Rの各辺における値(S/L、R/L)の差も小さく、隣接素子を各辺側に配置しても出力差の小さい発光装置とできる。
[Embodiment 6]
The light-emitting element shown in FIG. 9 used in the light-emitting device of
図9には、上述のS/Lの値が3種ある例を示す。図9に示す発光装置の各半導体発光素子は、平面視で実質的に正方形である。図9に、第1の辺11の対向辺13と、第1の辺11若しくは辺11より辺13の近くに配置された発光領域1と、で挟まれる領域を左側の素子において右下がりの斜線で示し、第2の辺12と、該辺の対向辺若しくは該対向辺より辺12の近くに配置された発光領域1と、で挟まれる領域を右側の素子において右上がりの斜線で示す。このような領域は第1の辺11側には存在せず、S/Lは、第1の辺11で最も小さく、次いで第2の辺12及びその対向辺、そして第1の辺の対向辺13が最も大きい。このような素子は、図9に示すように、S/Lの最も小さい第1の辺11が互いに向かい合うように配置される。また、辺12側の挟域部を延長部よりも長くして、辺12が向かい合うように配置することもでき、このような構造は特に3以上の素子を配置する場合に好ましい。
FIG. 9 shows an example in which there are three types of S / L values. Each semiconductor light emitting element of the light emitting device shown in FIG. 9 is substantially square in plan view. In FIG. 9, a region sandwiched between the
〔実施形態7〕
本実施形態7の発光装置に用いられる発光素子は、図10Aの例では、実施形態1〜6に比して、長手形状であり、実施形態2、3同様に素子長手方向の隣接辺の対向方向に分離した第1電極が各隣接辺側に配置され、内側の第2電極が第1の辺及びその対向辺の延長部を構成して、実施形態5同様に共通の延長部となっている。また、挟域部は、実施形態1同様に、第1の辺及びその対向辺側に設けられ、隣接辺側に比して、端面発光が強い素子とできる。図11Aの例では、上記図10Aの例において、実施形態6と同様であり、相違点として非対称な方向、隣接辺の対向方向に長手形状として、隣接辺側で相互に異なる構造であり、実施形態4同様に、第1の辺及びその対向辺の辺方向において、幅の異なる挟域部が設けられ、幅広の挟域部に外部接続領域が設けられる構造としている。この長辺を形成する第1の辺により、隣接素子との対向辺が幅広とでき、隣接素子による好適な光反射が実現できる。
[Embodiment 7]
In the example of FIG. 10A, the light-emitting element used in the light-emitting device of
さらに、図10A及び図11Aに示すように、平面視で長方形の半導体発光素子とする場合は、他の素子と向かい合う第1の辺を第2の辺よりも長くすると、より強い光を第1の辺側から出射でき、また、隣の素子と向かい合う端面の面積を広くできるので、より強い光を向かい合う端面で反射して取り出すことができ、好ましい。また、図11Aに示すように、第1の辺11側の挟域部6が、辺11の垂直二等分線を軸としたときに非対称である場合は、一方の素子を180度回転させて配置すると、発光強度の弱い端面と強い端面を向かい合わせることができ、発光分布の偏りを緩和することができる。
Further, as shown in FIGS. 10A and 11A, when a semiconductor light emitting element that is rectangular in plan view is used, if the first side facing the other element is made longer than the second side, stronger light is emitted from the first side. It is possible to emit light from the side of the element, and the area of the end face facing the adjacent element can be increased, so that stronger light can be reflected and taken out from the opposite end face, which is preferable. In addition, as shown in FIG. 11A, when the
また、図10A及び図11Aの素子において、第1の辺11及び第2の辺12は、各辺の対向辺の方向にみて、各辺側の第1半導体層露出部2及び各対向辺と向き合っており、その領域の第2電極3の面積R1、R2をそれぞれ図10B、図11Bに示す。左側の素子において右下がりの斜線で示す領域の面積がR1、右側の素子において右上がりの斜線で示す領域の面積がR2であり、素子全体の面積に占める各領域の割合は、図10Bにおいては、R1が約51%、R2が約63%、図11Bにおいては、R1が約51%、R2が約58%である。ここで、第1の辺11の長さと第2の辺12の長さの比は、図10Bの素子と図11Bの素子とで等しく、およそ2:1であることから、図10Bの素子はR1/L1が約26、R2/L2が約63、図11Bの素子はR1/L1が約26、R2/L2が約58となり、いずれもR1/L1がR2/L2よりも小さい。
In the elements of FIGS. 10A and 11A, the
〔本発明のその他の構成及び形態〕
以下、本発明、上記各実施形態における各構成について詳述する。
[Other Configurations and Forms of the Present Invention]
Hereinafter, the present invention and each configuration in each of the above embodiments will be described in detail.
(第2半導体層、第1半導体層)
第1及び第1半導体層としては、GaNやその他の半導体を使用したものを挙げることができる。半導体発光素子を蛍光物質で覆う場合には、その蛍光物質を効率良く励起できる短波長が発光可能な窒化物半導体(InXAlYGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)が好適に挙げられる。半導体層の構造としては、MIS接合、PIN接合やpn接合などを有するホモ構造、ヘテロ構造あるいはダブルへテロ構成のものが挙げられる。半導体層の材料やその混晶比によって発光波長を種々選択することができる。また、発光領域の第2半導体層と第1半導体層との間に、半導体活性層を量子効果が生ずる薄膜に形成させた単一量子井戸構造や多重量子井戸構造を有する構造とすることもできる。窒化物半導体を使用した場合、半導体層の成長用基板にはサファイア、スピネル、SiC、Si、ZnO等の材料が好適に用いられ、結晶性の良い窒化物半導体を量産性よく形成させるためにはサファイア基板を用いることが好ましい。
(Second semiconductor layer, first semiconductor layer)
Examples of the first and first semiconductor layers include those using GaN and other semiconductors. When the semiconductor light emitting device is covered with a fluorescent material, a nitride semiconductor (In X Al Y Ga 1- XYN, 0 ≦ X, 0 ≦ Y, X + Y ≦ 1) is preferable. Examples of the structure of the semiconductor layer include a homostructure having a MIS junction, a PIN junction, a pn junction, etc., a heterostructure, or a double hetero configuration. Various emission wavelengths can be selected depending on the semiconductor layer material and the mixed crystal ratio. In addition, a structure having a single quantum well structure or a multiple quantum well structure in which a semiconductor active layer is formed in a thin film that generates a quantum effect between the second semiconductor layer and the first semiconductor layer in the light emitting region can be used. . In the case of using a nitride semiconductor, a material such as sapphire, spinel, SiC, Si, ZnO or the like is preferably used for the growth substrate of the semiconductor layer, and in order to form a nitride semiconductor with good crystallinity with high productivity. It is preferable to use a sapphire substrate.
また、第1導電型の半導体層は、第2導電型の半導体層の一部を除去して露出されており、発光素子の発光に寄与しない第1導電型の半導体層が露出された領域を減らし第2導電型の半導体層の領域を相対的に増やすことで、発光素子の光取り出し効率を向上させることができる。また、第1及び第1導電型層の半導体層の間に設けられる発光層が第1の辺側で露出していると、第1の辺側から出射される光の減衰を抑制でき、好ましい。 The first conductivity type semiconductor layer is exposed by removing a part of the second conductivity type semiconductor layer, and a region where the first conductivity type semiconductor layer that does not contribute to light emission of the light emitting element is exposed. By reducing and relatively increasing the region of the second conductivity type semiconductor layer, the light extraction efficiency of the light emitting element can be improved. Moreover, when the light emitting layer provided between the semiconductor layers of the first and first conductivity type layers is exposed on the first side, attenuation of light emitted from the first side can be suppressed, which is preferable. .
(第2電極、第1電極)
第2電極は、典型的には、第2導電型の半導体層に、発光素子に投入された電流を第2導電型の半導体層の全面に広げるための電流拡散電極として設けられる。第2電極は、好ましくは第2導電型の半導体層のほぼ全面に設けられる。特に第2導電型の半導体層がp型層である場合には、電流が面内方向に広がりにくいためこのような構造とすることが好ましい。第2電極には、バンプなどの導電部材と接続する第2導電型層側の台座電極を設けることもできる。第1電極は、第1導電型の半導体層表面に、バンプなどの導電部材と接続する台座電極として設けられる。
(Second electrode, first electrode)
The second electrode is typically provided as a current diffusion electrode for spreading the current input to the light emitting element over the entire surface of the second conductivity type semiconductor layer in the second conductivity type semiconductor layer. The second electrode is preferably provided on substantially the entire surface of the second conductivity type semiconductor layer. In particular, when the second conductivity type semiconductor layer is a p-type layer, it is preferable to have such a structure because the current hardly spreads in the in-plane direction. A pedestal electrode on the second conductivity type layer side connected to a conductive member such as a bump can be provided on the second electrode. The first electrode is provided on the surface of the first conductivity type semiconductor layer as a pedestal electrode connected to a conductive member such as a bump.
第2電極及び第1電極の形成は、エッチング等の方法により第1導電型の半導体層を露出させた後、蒸着法やスパッタリング法により行う。本実施形態において、第2電極は、発光素子からの光を発光素子の透光性基板方向へ反射させる材料とすることが好ましい。例えば、Ag、Al、Rh、Rh/Irが挙げられる。その他、p型半導体層の全面にITO(インジウム(In)とスズ(Sn)の複合酸化物)、ZnOのような酸化物導電膜や、Ni/Au等の金属薄膜を透光性電極として形成させることができる。また、第2電極は、挟域部のような幅の狭い部分においても素子を発光させることができる程度の厚みで形成され、例えば100nm〜1μm程度の膜厚が選択される。 The second electrode and the first electrode are formed by an evaporation method or a sputtering method after exposing the first conductive type semiconductor layer by a method such as etching. In the present embodiment, the second electrode is preferably made of a material that reflects light from the light emitting element toward the light transmissive substrate of the light emitting element. For example, Ag, Al, Rh, Rh / Ir can be mentioned. In addition, an oxide conductive film such as ITO (complex oxide of indium (In) and tin (Sn)), ZnO, or a metal thin film such as Ni / Au is formed as a translucent electrode on the entire surface of the p-type semiconductor layer. Can be made. In addition, the second electrode is formed with a thickness that allows the element to emit light even in a narrow portion such as a narrow portion, and a film thickness of, for example, about 100 nm to 1 μm is selected.
(半導体発光素子)
本発明の半導体発光素子としては、少なくとも発光装置に配置され相互に隣接する素子間で相互に対向する第1の辺を有するものであり、例えば、1辺とそれ以外が半円など、一部に曲線を有するような素子とすることもできるが、好適には多角形であり、さらに好ましくは第1の辺とその対向辺の2辺、さらに第1の辺とその隣接辺の3辺、さらに好ましくはそれら4辺を有する多角形、さらには四辺形であり、例えば平行四辺形、台形などとすることもできる。好ましい四辺形として、具体的には、平面視で正方形や長方形など、矩形のものを用いる。他の素子と向かい合う第1の辺は、他の辺、特に隣接辺に比して、同一長さの辺(正方形)や長辺(長方形)であることが好ましく、これにより、隣接素子からの光を反射可能な端面を大きくすることができ、本発明の効果が得られやすい。また、隣接素子間で、各第1の辺の長さが異なる形態、辺の一部だけが対向する形態などとすることもできるが、好適には、同一長さで、辺全体で対向するように正対する形態であることで、隣接素子による好適な反射がなされ好ましい。また、隣接素子の第1の辺を相互に交差する方向に傾斜して対向させることもできるが、傾斜した方向への光反射により、その発光が強くなり、指向性が悪くなる場合があるため、好ましくは相互に略平行とする。
(Semiconductor light emitting device)
The semiconductor light-emitting element of the present invention has a first side that is disposed at least in the light-emitting device and faces each other between elements that are adjacent to each other. However, it is preferably a polygon, more preferably two sides of the first side and its opposite side, further three sides of the first side and its adjacent side, More preferably, they are polygons having these four sides, and further quadrilaterals, for example, parallelograms and trapezoids. As a preferable quadrilateral, specifically, a rectangular shape such as a square or a rectangle in plan view is used. The first side facing the other element is preferably a side (square) or a long side (rectangular) having the same length as compared to the other side, particularly the adjacent side. The end face capable of reflecting light can be enlarged, and the effects of the present invention can be easily obtained. In addition, it is possible to adopt a form in which the lengths of the first sides are different between adjacent elements, a form in which only a part of the sides is opposed, or the like. Thus, it is preferable that it is a form facing directly, so that suitable reflection by an adjacent element is made. In addition, the first sides of the adjacent elements can be inclined to face each other in an intersecting direction, but light emission in the inclined direction may increase the light emission and may deteriorate the directivity. Preferably, they are substantially parallel to each other.
本発明の発光素子の寸法として、第1の辺に挟域部、延長部など、若しくは上記各領域を有する所望の第2電極及び発光領域が設けられるため、その構造部の面積を要し、具体的には、300μm以上とする。また、第1の辺とその対向辺側、若しくは隣接辺にも、所望の第2電極及び発光領域の構造、例えば上記延長部、挟域部、第1電極領域や、上記素子外側及び内側の第2電極を設けるには、さらに大きな面積を要する。具体的には600μm以上とすることが好ましく、上限は、通常、数mm程度が選択される。複数の半導体発光素子間の距離は、小さくすることで、向かい合う端面間で効率よく反射させることができ、具体的には約200μm以下とすることが好ましい。また、第1の辺の長さ以下や、第1の辺の長さの20%以下とすることもできる。また、下限は素子の実装精度によって決定され、例えば数十μm以上とすることができる。 As the dimensions of the light emitting element of the present invention, since the desired second electrode and the light emitting region having the above-mentioned respective regions or the sandwiched portion, the extended portion, or the like are provided on the first side, the area of the structure portion is required. Specifically, the thickness is 300 μm or more. In addition, the first side and the opposite side or adjacent side also have a desired second electrode and light emitting region structure, for example, the extension portion, the narrow portion, the first electrode region, the outer side and the inner side of the element. An even larger area is required to provide the second electrode. Specifically, the thickness is preferably 600 μm or more, and the upper limit is usually selected to be about several mm. By reducing the distance between the plurality of semiconductor light emitting elements, it can be efficiently reflected between the end faces facing each other. Specifically, it is preferably about 200 μm or less. Moreover, it is also possible to make it the length of the first side or less, or 20% or less of the length of the first side. The lower limit is determined by the mounting accuracy of the element, and can be, for example, several tens of μm or more.
成長用基板として、サファイア等の透光性基板を用いることで、成長用基板からも光を取り出すことができ、また、成長用基板の厚みを研磨などにより薄くして、発光素子の成長用基板面から光を取り出しやすくすることができる。このとき、成長用基板に積層された半導体層の厚みは通常数μm程度と薄いため、成長用基板は少なくとも半導体層以上の厚みで残しておくことが好ましく、例えば10μm〜500μm程度、さらには50μm〜200μm程度の範囲とすることができる。 By using a light-transmitting substrate such as sapphire as the growth substrate, light can be extracted from the growth substrate, and the growth substrate is thinned by polishing, etc. Light can be easily extracted from the surface. At this time, since the thickness of the semiconductor layer laminated on the growth substrate is usually as thin as about several μm, it is preferable to leave the growth substrate at least as thick as the semiconductor layer, for example, about 10 μm to 500 μm, and further 50 μm. It can be set to a range of about ~ 200 μm.
(支持基板)
本実施形態における支持基板としては、発光素子の電極に対向する面に導体配線が施され、フリップチップ実装された発光素子を固定・支持するための部材を用いることができる。さらに、支持基板をリード電極に導通させるときには、発光素子に対向する面からリード電極に対向する面にかけて導電部材により導体配線が施される。支持基板の材料は、発光素子と熱膨張係数がほぼ等しいもの、例えば窒化物半導体発光素子に対しては窒化アルミニウムが好ましく、これにより支持基板と発光素子との間に発生する熱応力の影響を緩和することができる。あるいは、静電保護素子の機能を備えさせることもでき安価でもあるシリコンを用いることもできる。その他に、複数の素子が接続される回路が設けられたプリント基板、発光装置の窓部、凹部などにある実装基体などを用いても良い。
(Support substrate)
As the support substrate in the present embodiment, a member for fixing and supporting a flip-chip mounted light-emitting element having a conductor wiring on a surface facing the electrode of the light-emitting element can be used. Furthermore, when the support substrate is electrically connected to the lead electrode, the conductor wiring is provided by the conductive member from the surface facing the light emitting element to the surface facing the lead electrode. The material of the support substrate is preferably the same as that of the light-emitting element, for example, aluminum nitride for nitride semiconductor light-emitting elements, and thereby the influence of the thermal stress generated between the support substrate and the light-emitting element is reduced. Can be relaxed. Alternatively, silicon that can be provided with the function of an electrostatic protection element and is inexpensive can be used. In addition, a printed circuit board provided with a circuit to which a plurality of elements are connected, a mounting substrate in a window portion, a recess portion, or the like of the light emitting device may be used.
(導体配線)
導体配線の材料とする金属は、Auや銀白色の金属であるAlなどが用いられる。反射率の高い銀白色の金属とすることにより、発光素子からの光が支持基板と反対側の方向に反射され、発光装置の光取り出し効率が向上するため好ましい。ここで、導体配線の材料とする金属は、金属相互間の接着性の良さ、いわゆる濡れ性等を考慮して選択されることが好ましい。例えば、Auバンプを介して、Auを含むLEDチップの電極とを超音波ダイボンドにより接合するとき、導体配線は、AuまたはAuを含む合金とする。
(Conductor wiring)
As the metal used as the material of the conductor wiring, Au, silver which is a white metal, or the like is used. A silver-white metal having a high reflectance is preferable because light from the light-emitting element is reflected in a direction opposite to the support substrate and the light extraction efficiency of the light-emitting device is improved. Here, the metal used as the material of the conductor wiring is preferably selected in consideration of good adhesion between the metals, so-called wettability. For example, when an electrode of an LED chip containing Au is bonded by ultrasonic die bonding via an Au bump, the conductor wiring is made of Au or an alloy containing Au.
図3に、図2Aの発光装置にかかる導体配線10a〜10cのパターンを示す。図2A及び図3に示される支持基板9には、第1の導体配線10aが、一方の発光素子の第2電極3に対向する位置に設けられ、同様に、第2の導体配線10bが、他方の発光素子の第2電極4に対向する領域に設けられている。さらに、一方の発光素子の第1電極4と他方の発光素子の第2電極3とを電気的に接続させ、両素子を直列接続とさせる第3の導体配線10cが設けられている。ここで、各素子は、半導体層の端部が電極などの遮光性部材から露出されて光出射可能であり、この端部に対向する支持基板の表面には、各素子の第1電極4に接合する第2の導体配線10b及び第3の導体配線10cの一部が延伸して設けられている。これにより、図4に示すように、平面視で第1、2電極間領域において、そこから漏れる光を導体配線で反射させることができ、特に図2Aに示すように素子外縁部において素子外側に延伸する配線部により、発光装置の光束をさらに高めることができる。特に、支持基板の材料として窒化アルミニウムなど発光素子からの光を吸収しやすいものを用いる場合に、高い効果が得られる。また、導体配線は2つの素子の間を覆うように設けることが好ましい。
FIG. 3 shows patterns of
また、第1電極4と接続する導体配線のパターンは、図2Aに示すように、第2電極3のパターンと一致するように設けること、具体的には平面視で主に素子の内側における第1電極に隣接する第2電極において、第2電極がその導体配線に重なり合い、各端部が略一致するように構成することが好ましい。また、第1半導体層の露出部と第2電極が設けられた第2半導体層との間で、発光層の端面が露出している素子を用いるときに、配線電極は、少なくとも、平面視で発光層の端面露出部の下に設けられることが好ましい。これにより、図4に示すように、上記第1電極端部から延設される配線部により、第2電極3と第1電極4との間から漏れる光を第1電極4と接続する導体配線で反射できるとともに、第2電極3と接続する導体配線の面積を大きくすることができる。このとき、平面視で、第1電極端部より隣接する第2電極方向外側に延在して、その導体配線が設けられることが好ましい。
In addition, as shown in FIG. 2A, the pattern of the conductor wiring connected to the
なお、図2Aでは、各素子の半導体層露出部分に対応して設けられる導体配線を、第1電極と接続する導体配線としたが、第2電極と接続する導体配線としてもよい。図1に示す素子のように第1電極が第2電極よりも面積が小さい場合は、第2電極と接続する導体配線を半導体層露出部分に対応する位置まで延在させると、第1電極と接続する導体配線の面積が小さくなり、電極と導体配線との接続にさらに高い精度が必要となり、また、図4に示すように発光領域端部から外方向、第1電極の導体配線、に多くの光が到達するため、図2Aに示すようなパターンとすることが好ましい。 In FIG. 2A, the conductor wiring provided corresponding to the exposed portion of the semiconductor layer of each element is a conductor wiring connected to the first electrode, but may be a conductor wiring connected to the second electrode. When the area of the first electrode is smaller than that of the second electrode as in the element shown in FIG. 1, if the conductor wiring connected to the second electrode is extended to a position corresponding to the exposed portion of the semiconductor layer, the first electrode The area of the conductor wiring to be connected is reduced, and a higher accuracy is required for the connection between the electrode and the conductor wiring. Also, as shown in FIG. In order to reach this light, a pattern as shown in FIG. 2A is preferable.
(発光装置)
本実施形態の発光装置では、半導体発光素子が複数、支持基板に実装され、各素子は第1の辺が互いに略平行に向かい合うように配置される。これにより、複数の素子の向かい合う端面間で効率よく反射でき、発光装置の光取り出し効率を向上させることができる。また、図2Aに示す発光装置は2つの発光素子を直列接続としているが、並列接続とすることもできる。並列接続とすると、直列接続とした場合と比較して、導体配線が簡略化され、放熱性を向上させることができる。本発明の発光装置は、各素子を、電極形成面側を発光面側として、その対向面側を実装面側とするフェースアップ実装やフリップチップ実装とすることができる。特にフリップチップ実装とすることが好ましく、光を成長用基板側から取り出すフリップチップ実装とすることで、フェースアップ実装における発光領域上面の発光で反射された光が基板と素子の端面から出射する光の割合をフェースアップ実装よりも大きく、上記隣接素子による反射を好適に利用できるためである。
(Light emitting device)
In the light-emitting device of this embodiment, a plurality of semiconductor light-emitting elements are mounted on a support substrate, and each element is disposed so that the first sides face each other substantially in parallel. Thereby, it can reflect efficiently between the end surfaces which a some element faces, and the light extraction efficiency of a light-emitting device can be improved. In the light emitting device shown in FIG. 2A, two light emitting elements are connected in series, but may be connected in parallel. When parallel connection is used, conductor wiring is simplified and heat dissipation can be improved as compared to the case of serial connection. In the light-emitting device of the present invention, each element can be face-up mounted or flip-chip mounted with the electrode forming surface side as the light emitting surface side and the opposite surface side as the mounting surface side. It is particularly preferable to use flip chip mounting, and by using flip chip mounting that extracts light from the growth substrate side, light reflected by light emission from the upper surface of the light emitting region in face-up mounting is emitted from the end surfaces of the substrate and the element. This is because the ratio of the above is larger than that of face-up mounting, and reflection by the adjacent element can be preferably used.
上述の各例では、発光領域の形状が同一の半導体発光素子を複数配置する場合について示した。これにより、出射される光の強度が同程度の部分を向かい合わせることができ、また、第1の辺の長さが同じであるので、向かい合う端面間において効率よく反射できる。一方、第2電極の形状や素子のサイズなどが異なる発光素子を並べて配置することもでき、この場合も同様に、各素子の第1の辺が略平行に互いに向かい合うように列状に配置する。 In each of the above-described examples, a case where a plurality of semiconductor light-emitting elements having the same light-emitting region shape is arranged is shown. As a result, portions having the same intensity of emitted light can face each other, and since the lengths of the first sides are the same, the light can be efficiently reflected between the facing end surfaces. On the other hand, light emitting elements having different second electrode shapes, element sizes, and the like can be arranged side by side. Similarly, in this case, the elements are arranged in a row so that the first sides of the elements face each other substantially in parallel. .
本実施形態において、半導体発光素子の電極と支持基板の導体配線とを接合する導電部材としては、バンプと呼ばれる金属材料を用いることができる。実装された発光素子と発光素子との間に生じた間隙は、透光性の樹脂層により封止することができる。樹脂層の材料としては、例えばシリコン樹脂やエポキシ樹脂等が挙げられる。また、素子間を封止する樹脂層は、素子間を架設するように連続して、光学的に接続されていることが好ましい。樹脂層と別の部材との界面が素子間にあると、一方の素子の端面から出射した光が樹脂層の界面で屈折または反射されてしまい、隣接する他方の素子端面まで到達しにくいためである。また、素子間や素子の上面を封止する樹脂層に蛍光体を含有させて波長変換部材とすることもできる。波長変換部材は、該発光素子からの光の少なくとも一部を吸収し異なる波長を有する光を発する蛍光体を含有する。 In the present embodiment, a metal material called a bump can be used as the conductive member that joins the electrode of the semiconductor light emitting element and the conductor wiring of the support substrate. A gap generated between the mounted light-emitting elements can be sealed with a light-transmitting resin layer. Examples of the material for the resin layer include silicon resin and epoxy resin. Moreover, it is preferable that the resin layer which seals between elements is optically connected continuously so that between elements may be constructed. If the interface between the resin layer and another member is between the elements, the light emitted from the end face of one element will be refracted or reflected at the interface of the resin layer, making it difficult to reach the other end face of the adjacent element. is there. Moreover, a phosphor can be contained in a resin layer that seals between elements and the upper surface of the element to form a wavelength conversion member. The wavelength conversion member contains a phosphor that absorbs at least a part of light from the light emitting element and emits light having a different wavelength.
本実施例にかかる発光装置について、図12Aに示す。本実施例における発光装置201は、同構造の2つの半導体発光素子が同一の支持基板29にバンプにより、列状にフリップチップ実装されてなる。各素子は第1の辺211が互いに略平行に向かい合うように、支持基板29表面の導体配線210a〜210cに接続される。このとき、図12Aに示すように、1つの素子の第2電極の外部接続領域215と第1電極の外部接続領域216は、異なる導体配線に接続される。
The light emitting device according to this example is shown in FIG. 12A. The light-emitting
本実施例における発光素子は、各辺が約1mmの平面視で実質的に正方形の素子であり、半導体層成長用の透光性基板220上に、n型半導体層とp型半導体層との積層構造を含む発光領域21を有し、p型半導体層表面に第2電極としてp電極23、p型半導体層から露出されたn型半導体層を含む露出領域22の表面に第1電極としてn電極24が、それぞれ設けられている。p電極23は、素子の第1の辺211側に挟域部26a及び26bと延長部25とを有しており、第1の辺211の辺方向の長さは、挟域部26a及び26bが約330μmずつで合計約660μm、延長部25が約244μmであり、挟域部26a及び26bの長さが延長部25よりも長い。また、図12Bに示すように、右側の素子において右上がりの斜線で示すR2は発光領域全体の面積と等しくなるため、左側の素子において右下がりの斜線で示すR1の方がR2よりも小さい。具体的には、第1の辺211及びその対向辺213におけるR/Lがそれぞれ約0.29mm2/mmであり、第2の辺212及びその対向辺214におけるR/Lがそれぞれ約0.41mm2/mmである。
The light-emitting element in this example is an element that is substantially square in a plan view with each side of about 1 mm, and an n-type semiconductor layer and a p-type semiconductor layer are formed on a
一方、第1の辺211と隣接する第2の辺212側には、延長部27のみが配置されている。また、1つの辺と、該1つの辺の対向辺若しくは対向辺より該1つの辺の近くに配置された発光領域と、で挟まれる領域の面積Sと、該辺の長さLとの比S/Lは、第1の辺211及びその対向辺213がそれぞれ約0.12mm2/mm、第2の辺212及びその対向辺214がそれぞれ約0.24mm2/mmと、第1の辺211と対向辺213の組が第2の辺212と対向辺214の組よりも小さく、つまり発光領域21は、第1の辺211の組の方が、第2の辺212の組よりも近い。本実施例の各半導体層及び電極の平面視形状は、素子の正方形中心を軸とする180度回転対称であり、第1の辺又は第2の辺に平行な中心線を対称軸とする線対称である。また、2つの素子間の距離は100μm程度である。
On the other hand, only the
本実施例における発光素子は、活性層としてIn0.3Ga0.7N半導体を有し、ドミナント波長が455nmの窒化物半導体発光素子を用いる。発光素子は、サファイア基板上にMOCVD法で窒化物半導体を成膜させることにより形成させることができ、サファイア基板上に、バッファ層を介して、Siがドープされたn型の窒化物半導体層、バリア層としてGaN層、井戸層としてInGaN層を1セットとして複数層積層された多重量子井戸構造の活性層、Mgがドープされたp型の窒化物半導体層が順次積層される。 The light emitting element in this example uses a nitride semiconductor light emitting element having an In 0.3 Ga 0.7 N semiconductor as an active layer and a dominant wavelength of 455 nm. The light-emitting element can be formed by forming a nitride semiconductor on the sapphire substrate by MOCVD, and an n-type nitride semiconductor layer doped with Si on the sapphire substrate via a buffer layer, An active layer having a multiple quantum well structure in which a plurality of GaN layers as a barrier layer and a set of InGaN layers as a well layer are stacked, and a p-type nitride semiconductor layer doped with Mg are sequentially stacked.
本実施例の発光素子は、エッチングにより、p型窒化物半導体層、活性層、及びn型窒化物半導体層の一部を除去して、n型窒化物半導体層の表面を露出させ、窒化物半導体の同一面側でp型窒化物半導体層およびn型窒化物半導体層の各表面を露出させている。また、素子外周部分は、各半導体層が除去され、透光性基板の表面を露出させている。p型窒化物半導体層表面のほぼ全面には、Ni、Ag、Ti、Ptを材料とするp電極23が設けられている。このような電極とすることにより、p電極23を流れる電流がp型コンタクト層の広範囲に広がるようにし、半導体発光素子の発光効率を向上させることができる。また、p電極を反射性の電極とすることで、発光素子からの光がp電極23で反射されサファイア基板側から出射することができ、フリップチップ実装された発光素子からの光取り出し効率を向上させることができる。さらに、p電極23表面には、Au、Rh、Pt、Niを材料とするp側台座電極が設けられており、また、n型窒化物半導体層層22の表面には、Al-Si-Cu合金、W、Pt、Au、Niを材料とするn電極24が設けられている。ここで、p側台座電極とn電極を同一材料とし、同時に形成させることで、電極を形成するための工程数を減らすこともできる。さらに、各電極と半導体層の表面を覆うように、ケイ素酸化物からなる絶縁性の保護膜が形成されている。保護膜は、p電極及びn電極のバンプ接合位置に開口部を有する。
In the light emitting device of this example, the p-type nitride semiconductor layer, the active layer, and a part of the n-type nitride semiconductor layer are removed by etching to expose the surface of the n-type nitride semiconductor layer. Each surface of the p-type nitride semiconductor layer and the n-type nitride semiconductor layer is exposed on the same surface side of the semiconductor. Further, in the outer peripheral portion of the element, each semiconductor layer is removed to expose the surface of the translucent substrate. A p-
図12Aに示すように、本実施例に使用される支持基板29は、窒化アルミニウムのプレートにAuを材料とする導体配線210a〜210cが施され、Auバンプを介して発光素子のp電極23およびn電極24側が接合される。さらに、導体配線の、発光素子のp電極23に対向する領域の面積は、n電極24に対向する領域の面積より大きい。また、本実施例における発光素子は、2つの素子が直列接続とされたものである。導体配線のうち発光素子の正電極と対向する領域の面積は、発光素子の負電極と対向する領域より大きく、載置されるバンプの数も多くされる。図12Aに示す導体配線は、一方の発光素子のp電極23に対応する第1の導体配線210aと、他方の発光素子のn電極24に対応する第2の導体配線210bと、一方の素子のn電極24と他方の素子のp電極23とを電気的に接続させ両素子を直列接続とさせる第3の導体配線210cとが設けられている。また、発光素子を覆うように、波長変換部材として、YAG系蛍光体を含有するシリコン樹脂がスクリーン印刷されている。波長変換部材は、発光素子の上面や側面を覆っており、2つの素子の間にも充填される。支持基板は、パッケージに搭載して導電性ワイヤを介して外部電極と接続させ、発光装置とすることができる。
As shown in FIG. 12A, the
ここで、比較例1として、図13に示すように、半導体発光素子の第2の辺212が互いに向かい合うように配置する以外は、実施例1と同様の発光装置を作製する。実施例1と比較例1にかかる発光装置の光束は、それぞれ電流約700mAで、実施例1が228.2lm、比較例1が220.7lmであり、実施例1の発光装置とすることで光束が約3.4%向上する。また、発光強度分布については、発光素子の向かい合う端面間の発光強度は、実施例1で比較例1よりも強く、本実施例の発光装置とすることで、素子端面から出射した光を隣接する素子間で効率的に反射でき、発光装置の光束を向上させることができる。
Here, as Comparative Example 1, as shown in FIG. 13, a light emitting device similar to that of Example 1 is manufactured except that the
図14は、実施例2にかかる半導体発光素子を示す模式的な上面図であり、図15Aは、実施例2にかかる発光装置の上面外観を模式的に示す上面図である。本実施例における発光装置301は、同構造の2つの半導体発光素子が同一の支持基板39の導体配線310a〜310cに列状にフリップチップ実装されてなり、実施例1の発光装置とは実装される半導体発光素子の発光領域の形状が異なる。また、導体配線310a〜310cの負電極と接続する部分は発光素子の正負電極間の発光層端部に対向する位置まで延伸して設けられており、このような導体配線の端部はp電極33のn電極34側の端部とほぼ一致している。また、図15Aに示すように、1つの素子の第2電極の外部接続領域315と第1電極の外部接続領域316は、異なる導体配線に接続される。
FIG. 14 is a schematic top view showing a semiconductor light emitting element according to Example 2, and FIG. 15A is a top view schematically showing an upper surface appearance of the light emitting device according to Example 2. In the
図14に示す本実施例の発光素子は、各辺が約1mmの平面視で実質的に正方形の素子であり、半導体層成長用の透光性基板320上に、n型半導体層とp型半導体層との積層構造を含む発光領域31を有し、p型半導体層表面に第2電極としてp電極33、p型半導体層から露出されたn型半導体層を含む露出領域32の表面に第1電極としてn電極34が、それぞれ設けられている。p電極33は、素子の第1の辺311側に挟域部36と延長部35a及び35bとを有しており、第1の辺311の辺方向の長さは、挟域部36が約704μm、延長部35a及び35bが約111μmずつで合計約222μmであり、挟域部36の長さが延長部35a及び35bよりも長い。また、発光領域31は開口部を有し、開口部内に露出された露出領域32表面にn電極34が設けられている。
The light-emitting element of this example shown in FIG. 14 is an element that is substantially square in a plan view with each side of about 1 mm. An n-type semiconductor layer and a p-type are formed on a translucent substrate 320 for semiconductor layer growth. It has a
一方、第1の辺311と隣接する第2の辺312側には、延長部37a〜37dのほかに、挟域部38a〜38cが配置されている。第2の辺312の辺方向において、延長部37a及び37dの長さはそれぞれ約80μm、延長部37b及び37cの長さはそれぞれ228μm、挟域部38a及び38cの長さはそれぞれ約58μm、挟域部38bの長さは約194μmである。よって、挟域部38a〜38cの長さは合計約310μmとなり、延長部37a〜37dの長さの合計約616μmよりも小さい。また、図15Bに示すように、右側の素子において右上がりの斜線で示すR2は発光領域全体の面積と等しくなるため、左側の素子において右下がりの斜線で示すR1の方がR2よりも小さい。具体的には、第1の辺311及びその対向辺313におけるR/Lがそれぞれ約0.26mm2/mmであり、第2の辺312及びその対向辺314におけるR/Lがそれぞれ約0.43mm2/mmである。また、S/Lは、いずれの辺も約0.082mm2/mmで、ほぼ等しい。
On the other hand, on the side of the
比較例2として、図16に示すように、半導体発光素子を第2の辺312が向かい合うように配置する以外は実施例2と同様の発光装置を作製する。実施例2及び比較例2にかかる発光装置の光束は、電流約700mAにおいて、それぞれ、実施例2が240.4lm、比較例2が235.6lmであり、実施例2の発光装置とすることで光束が約2%向上する。このように、本実施例の発光装置とすることによって、発光装置の光束を向上させることができる。
As Comparative Example 2, as shown in FIG. 16, a light emitting device similar to that of Example 2 is manufactured except that the semiconductor light emitting elements are arranged so that the
図17は、実施例3にかかる半導体発光素子を示す模式的な上面図であり、図18Aは、実施例3にかかる発光装置の上面外観を模式的に示す上面図である。本実施例における発光装置401は、同構造の2つの半導体発光素子が同一の支持基板49の導体配線410a〜410cに列状にフリップチップ実装されてなり、実施例1及び2の発光装置とは実装される半導体発光素子の発光領域の形状が異なる。また、実施例2と同様に、導体配線410a〜410cの負電極と接続する部分は発光素子の正負電極間の発光層端部に対向する位置まで延伸して設けられており、導体配線の端部はp電極43のn電極44側の端部とほぼ一致している。また、図18Aに示すように、1つの素子の第2電極の外部接続領域415と第1電極の外部接続領域416は、異なる導体配線に接続される。
FIG. 17 is a schematic top view showing a semiconductor light emitting element according to Example 3, and FIG. 18A is a top view schematically showing an upper surface appearance of the light emitting device according to Example 3. The light emitting device 401 in this embodiment is formed by flip-chip mounting two semiconductor light emitting elements having the same structure on the conductor wirings 410a to 410c of the
図17に示す本実施例の発光素子は、各辺が約1mmの平面視で実質的に正方形の素子であり、半導体層成長用の透光性基板420上に、n型半導体層とp型半導体層との積層構造を含む発光領域41を有し、p型半導体層表面に第2電極としてp電極43、p型半導体層から露出されたn型半導体層を含む露出領域42の表面に第1電極としてn電極44が、それぞれ設けられている。p電極43は、素子の第1の辺411側に挟域部46a〜46cと延長部45a〜45dとを有しており、第1の辺411の辺方向の長さは、挟域部46a〜46cの合計が約552μm、延長部45a〜45dの合計が約372μmであり、挟域部46a〜46cの長さが延長部45a〜45dよりも長い。また、発光領域41は開口部を有し、開口部内に露出された露出領域42表面にn電極44が設けられている。
The light-emitting element of this example shown in FIG. 17 is an element that is substantially square in a plan view with sides of about 1 mm, and an n-type semiconductor layer and a p-type are formed on a translucent substrate 420 for semiconductor layer growth. A
一方、第2の辺412側には、延長部47a〜47cと、挟域部48a及び48bが配置されている。第2の辺412の辺方向において、挟域部48a及び48bの長さの合計は約408μmとなり、延長部47a〜47cの長さの合計約516μmよりも小さい。また、図18Bに示すように、右側の素子において右上がりの斜線で示すR2は発光領域全体の面積と等しくなるため、左側の素子において右下がりの斜線で示すR1の方がR2よりも小さい。具体的には、第1の辺411及びその対向辺413におけるR/Lがそれぞれ約0.42mm2/mmであり、第2の辺412及びその対向辺413におけるR/Lがそれぞれ約0.51mm2/mmである。また、S/Lは、いずれの辺も約0.071mm2/mmで、ほぼ等しい。このような実施例3にかかる発光装置を2つ並べて配置したとき、つまり、4つの発光素子が一列に並ぶように配置したときの光束は、電流約650mAにおいて約476.8lmであった。
On the other hand, on the
比較例3として、図19に示すように、半導体発光素子を第2の辺412が向かい合うように配置する以外は実施例3と同様の発光装置を作製する。実施例3と比較例3の発光装置で光束を比較すると、実施例3の方が光束が高くなる。
As Comparative Example 3, as shown in FIG. 19, a light emitting device similar to that of Example 3 is manufactured except that the semiconductor light emitting elements are arranged so that the
1、21、31、41 発光領域
2、22、32、42 露出部
3 第2電極
4 第1電極
5、5a、5b、25、35a、35b、45a〜45d 延長部
6、6a、6b、6c、6d、26a、26b、36、46a〜46c 挟域部
7、7a、7b、7c、27、37a〜37d、47a〜47c 第2の辺側の延長部
8、8a、8b、8c、38a〜38c、481、48b 第2の辺側の挟域部
9、29、39、49 支持基板
10a〜10c、210a〜210c、310a〜310c、410a〜410c 導体配線
11、211、311、411 第1の辺
12、212、312、412 第2の辺
13、213、313、413 第1の辺の対向辺
14、214、314、414 第2の辺の対向辺
15、215、315、415 第2電極の外部接続領域
16、216、316、416 第1電極の外部接続領域
100 半導体発光素子
101、201、301、401 発光装置
23、33、43 p電極
24、34、44 n電極
220、320、420 透光性基板
51 Al2O3基板
52 回路パターン
53 GaN系LED素子
1, 2, 31, 41 Light-
Claims (13)
前記半導体発光素子は、平面視で矩形であり、少なくとも第1の辺と、前記第1の辺と異なる第2の辺とを有し、
前記第1の辺側の素子端面から出射される光は、前記第2の辺側の素子端面から出射される光よりも強く、
前記半導体発光素子が2つ以上、前記第1の辺が互いに略平行に向かい合うように、前記支持基板に列状にフリップチップ実装された発光装置。 A first conductive type first semiconductor layer and a second conductive type second semiconductor layer are provided in this order on a translucent substrate, and a first electrode is formed on the exposed portion of the first semiconductor layer, and a second semiconductor layer is formed on the second semiconductor layer. A light-emitting device comprising: a semiconductor light-emitting element provided with a second electrode; and a support substrate on which the semiconductor light-emitting element is placed,
The semiconductor light emitting element is rectangular in a plan view, and has at least a first side and a second side different from the first side,
The light emitted from the element end face on the first side is stronger than the light emitted from the element end face on the second side,
A light-emitting device that is flip-chip mounted in rows on the support substrate such that two or more semiconductor light-emitting elements and the first sides face each other substantially in parallel.
前記第2の辺は、該辺の対向辺の方向にみて、前記第2の辺側の前記第1半導体層の露出部及び前記対向辺と向き合っており、その領域の前記第2電極の面積をR2、前記第2の辺の長さをL2としたとき、
R1とL1の比R1/L1は、R2とL2の比R2/L2よりも小さい請求項1に記載の発光装置。 The first side of each semiconductor light emitting element faces the exposed portion of the first semiconductor layer and the opposing side on the first side side in the direction of the opposing side of the side, and the area of the second electrode and R 1, the length of the first side and L 1,
The second side faces the exposed portion of the first semiconductor layer on the second side and the opposing side when viewed in the direction of the opposing side of the side, and the area of the second electrode in the region Is R 2 and the length of the second side is L 2 ,
2. The light emitting device according to claim 1, wherein a ratio R 1 / L 1 of R 1 and L 1 is smaller than a ratio R 2 / L 2 of R 2 and L 2 .
R1´とL1´の比R1´/L1´は、前記R1/L1と略等しい請求項2に記載の発光装置。 The opposite side of the first side faces the exposed portion of the first semiconductor layer and the first side on the opposite side when viewed in the direction of the first side, and the second side of the region is the second side. When the area of the electrode is R 1 ′ and the length of the first side is L 1 ′ ,
The light emitting device according to claim 2, wherein a ratio R 1 ′ / L 1 ′ between R 1 ′ and L 1 ′ is substantially equal to the R 1 / L 1 .
前記第1の辺の長さ方向において、前記第1挟域部が前記第1延長部よりも長い請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置。 The second electrode of each of the semiconductor light emitting elements is on the first side, on a first sandwiched portion sandwiched between the first side and the exposed portion, and on the inner side of the device than the sandwiched portion. An extended first extension,
5. The light-emitting device according to claim 1, wherein in the length direction of the first side, the first narrow portion is longer than the first extension portion.
前記第1の辺の長さ方向における前記第1挟域部の長さA1と前記第1の辺の長さL1の比A1/L1は、前記第2の辺の長さ方向における前記第2挟域部の長さA2と前記第2の辺の長さL2の比A2/L2と、略等しいかそれよりも大きい請求項5に記載の発光装置。 The second electrode has, on the second side, a second sandwich portion, and a second extension portion that extends to the inside of the element from the second sandwich portion,
The ratio A 1 / L 1 between the length A 1 of the first narrow portion and the length L 1 of the first side in the length direction of the first side is the length direction of the second side The light-emitting device according to claim 5, wherein a ratio A 2 / L 2 of a length A 2 of the second sandwiched area and a length L 2 of the second side is substantially equal to or larger than the ratio A 2 / L 2 .
前記第1の辺のS1/L1が、前記第2の辺のS2/L2と略等しい請求項1〜8のいずれか1項に記載の発光装置。 In a plan view, the ratio S / L of the area S of the region sandwiched between one side of the semiconductor light emitting element, the opposite side of the side and the second semiconductor layer, and the length L of the side is:
The light emitting device according to claim 1, wherein S 1 / L 1 of the first side is substantially equal to S 2 / L 2 of the second side.
前記第1の辺のS1/L1が、前記第2の辺のS2/L2よりも小さい請求項1〜8のいずれか1項に記載の発光装置。 In a plan view, the ratio S / L of the area S of the region sandwiched between one side of the semiconductor light emitting element, the opposite side of the side and the second semiconductor layer, and the length L of the side is:
The light emitting device according to claim 1, wherein S 1 / L 1 of the first side is smaller than S 2 / L 2 of the second side.
前記第1の辺及び前記第1の辺の対向辺は、前記S/Lが略同一であり、前記第2の辺及び前記第2の辺の対向辺も前記S/Lが略同一である請求項9又は10に記載の発光装置。 The second side is a side different from the opposite side of the first side,
The opposite sides of the first side and the first side have substantially the same S / L, and the opposite sides of the second side and the second side also have the same S / L. The light emitting device according to claim 9 or 10.
前記支持基板は、前記半導体発光素子の前記第1及び第2電極が接続される配線電極を有し、
前記配線電極は、少なくとも、平面視で前記発光層の端面露出部の下に設けられる請求項1〜12のいずれか1項に記載の発光装置。 The semiconductor light emitting device includes a light emitting layer between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer, and the second semiconductor layer provided with the exposed portion of the first semiconductor layer and the second electrode; Between, the end face of the light emitting layer is exposed,
The support substrate has a wiring electrode to which the first and second electrodes of the semiconductor light emitting element are connected;
The light emitting device according to any one of claims 1 to 12, wherein the wiring electrode is provided at least under an end surface exposed portion of the light emitting layer in a plan view.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008026481A JP5731731B2 (en) | 2007-04-18 | 2008-02-06 | Light emitting device |
EP08154563.4A EP1983571B1 (en) | 2007-04-18 | 2008-04-15 | Light emission device |
CN2008100919985A CN101290928B (en) | 2007-04-18 | 2008-04-15 | Light emission device |
US12/105,058 US8174033B2 (en) | 2007-04-18 | 2008-04-17 | Light emission device including semiconductor light emitting elements |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007108827 | 2007-04-18 | ||
JP2007108827 | 2007-04-18 | ||
JP2008026481A JP5731731B2 (en) | 2007-04-18 | 2008-02-06 | Light emitting device |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013259704A Division JP5850036B2 (en) | 2007-04-18 | 2013-12-17 | Light emitting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008288552A true JP2008288552A (en) | 2008-11-27 |
JP5731731B2 JP5731731B2 (en) | 2015-06-10 |
Family
ID=40035099
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008026481A Active JP5731731B2 (en) | 2007-04-18 | 2008-02-06 | Light emitting device |
JP2013259704A Active JP5850036B2 (en) | 2007-04-18 | 2013-12-17 | Light emitting device |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013259704A Active JP5850036B2 (en) | 2007-04-18 | 2013-12-17 | Light emitting device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5731731B2 (en) |
CN (1) | CN101290928B (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011071443A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Toyoda Gosei Co Ltd | Method of manufacturing light emitting device |
JP2012134194A (en) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Nichia Chem Ind Ltd | Mounting board for semiconductor element, semiconductor light-emitting device using the mounting board, and method of manufacturing semiconductor light-emitting device |
JP2013110179A (en) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Citizen Holdings Co Ltd | Semiconductor light-emitting device |
JP2014225588A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-04 | スタンレー電気株式会社 | Semiconductor light-emitting element array |
JP2014229626A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | スタンレー電気株式会社 | Semiconductor light emitting element array |
JP2016086166A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 日亜化学工業株式会社 | Light emitting device |
US9722160B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Nichia Corporation | Light emitting device and adaptive driving beam headlamp system |
JP2018032796A (en) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 京セラ株式会社 | Package for light-emitting element housing and light-emitting device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022098026A (en) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | スタンレー電気株式会社 | Light-emitting device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164574A (en) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | Semiconductor light emitting element |
JP2002319705A (en) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | Led device |
JP2004165308A (en) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nichia Chem Ind Ltd | Light emitting device |
JP2005109434A (en) * | 2003-09-11 | 2005-04-21 | Nichia Chem Ind Ltd | Semiconductor device and its manufacturing method |
JP2005328080A (en) * | 2002-05-27 | 2005-11-24 | Nichia Chem Ind Ltd | Nitride semiconductor luminous element, luminous element, element laminated body, and luminous device using those |
WO2006043422A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Nichia Corporation | Semiconductor element |
JP2006210730A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Toyoda Gosei Co Ltd | Light emitting element |
JP2007048773A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Light emitting module |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4369668B2 (en) * | 2003-02-13 | 2009-11-25 | 株式会社小糸製作所 | Vehicle headlamp |
EP1515368B1 (en) * | 2003-09-05 | 2019-12-25 | Nichia Corporation | Light equipment |
-
2008
- 2008-02-06 JP JP2008026481A patent/JP5731731B2/en active Active
- 2008-04-15 CN CN2008100919985A patent/CN101290928B/en active Active
-
2013
- 2013-12-17 JP JP2013259704A patent/JP5850036B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164574A (en) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | Semiconductor light emitting element |
JP2002319705A (en) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | Led device |
JP2005328080A (en) * | 2002-05-27 | 2005-11-24 | Nichia Chem Ind Ltd | Nitride semiconductor luminous element, luminous element, element laminated body, and luminous device using those |
JP2004165308A (en) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nichia Chem Ind Ltd | Light emitting device |
JP2005109434A (en) * | 2003-09-11 | 2005-04-21 | Nichia Chem Ind Ltd | Semiconductor device and its manufacturing method |
WO2006043422A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Nichia Corporation | Semiconductor element |
JP2006210730A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Toyoda Gosei Co Ltd | Light emitting element |
JP2007048773A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Light emitting module |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011071443A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Toyoda Gosei Co Ltd | Method of manufacturing light emitting device |
JP2012134194A (en) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Nichia Chem Ind Ltd | Mounting board for semiconductor element, semiconductor light-emitting device using the mounting board, and method of manufacturing semiconductor light-emitting device |
JP2013110179A (en) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Citizen Holdings Co Ltd | Semiconductor light-emitting device |
JP2014225588A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-04 | スタンレー電気株式会社 | Semiconductor light-emitting element array |
JP2014229626A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | スタンレー電気株式会社 | Semiconductor light emitting element array |
JP2016086166A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 日亜化学工業株式会社 | Light emitting device |
US9722160B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Nichia Corporation | Light emitting device and adaptive driving beam headlamp system |
US10256386B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-04-09 | Nichia Corporation | Light emitting device and adaptive driving beam headlamp system |
US10468571B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-11-05 | Nichia Corporation | Light distribution method for adaptive driving beam headlamp system, and adaptive driving beam headlamp system |
JP2018032796A (en) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 京セラ株式会社 | Package for light-emitting element housing and light-emitting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014090191A (en) | 2014-05-15 |
CN101290928B (en) | 2012-05-23 |
JP5850036B2 (en) | 2016-02-03 |
CN101290928A (en) | 2008-10-22 |
JP5731731B2 (en) | 2015-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5850036B2 (en) | Light emitting device | |
US11398464B2 (en) | Micro light emitting element and image display device | |
US8314431B2 (en) | LED semiconductor element having increased luminance | |
JP6133040B2 (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
JP4123830B2 (en) | LED chip | |
JP4899825B2 (en) | Semiconductor light emitting device, light emitting device | |
KR100887139B1 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same | |
JP5992179B2 (en) | Light emitting element | |
TWI543399B (en) | Semiconductor light emitting device | |
JP5210327B2 (en) | Light emitting chip provided with at least one semiconductor substrate | |
JP2014093532A (en) | Light-emitting element | |
JP2007287849A (en) | Semiconductor luminous element | |
TW201611339A (en) | Semiconductor light emitting device | |
KR101707532B1 (en) | Light Emitting Device | |
EP1983571B1 (en) | Light emission device | |
JP5141086B2 (en) | Semiconductor light emitting device | |
KR20130052944A (en) | A light emitting device and a light emitting device package | |
JP5266349B2 (en) | Light emitting device | |
JP2006210730A (en) | Light emitting element | |
US12021172B2 (en) | Light-emitting element and image displaying apparatus | |
KR101762325B1 (en) | A light emitting device | |
KR101904323B1 (en) | A light emitting device and a light emitting device package | |
KR102426873B1 (en) | A light emitting device package | |
KR20220148995A (en) | Display device | |
KR101751909B1 (en) | A light emitting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130329 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131217 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140207 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5731731 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |