JP2008110284A - Article holding device and article transporting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は一対の保持部で被搬送物品を保持する物品保持装置及びその物品保持装置を利用して被搬送物品を搬送する物品搬送装置に関する。 The present invention relates to an article holding apparatus that holds an article to be conveyed by a pair of holding units, and an article conveying apparatus that conveys an article to be conveyed using the article holding apparatus.
眼鏡レンズを製造するライン、その他のラインにおいて眼鏡レンズ用基材等の被搬送物品を所定位置に搬送する物品搬送装置が多用されている。
例えば、眼鏡レンズを製造するラインでは、眼鏡レンズ用基材の表面にコーティング剤をコーティングするコーティング装置が知られている。
An article conveying apparatus that conveys an article to be conveyed such as a spectacle lens base material to a predetermined position on a line for manufacturing spectacle lenses and other lines is often used.
For example, in a line for manufacturing spectacle lenses, a coating apparatus for coating a surface of a spectacle lens base material with a coating agent is known.
このコーティング装置は、眼鏡レンズ用基材を保持したホルダを回転駆動するとともに、眼鏡レンズ用基材の上面にコーティング剤を塗布するスピンコート装置である(特許文献1)。
眼鏡レンズの製造ラインでは、スピンコート装置のホルダの位置と待機位置との間で眼鏡レンズ用基材を搬送するための搬送装置が配置されている。
この搬送装置は、開閉自在とされるとともにそれぞれ所定形状とされた爪を有する一つのチャックにより眼鏡レンズ用基材の外周部両側を保持する保持装置を備えている。
This coating apparatus is a spin coater that rotates a holder holding a spectacle lens substrate and applies a coating agent to the upper surface of the spectacle lens substrate (Patent Document 1).
In the spectacle lens production line, a transport device for transporting the spectacle lens base material is disposed between the position of the holder of the spin coat device and the standby position.
This transport device includes a holding device that can be opened and closed and holds both sides of the outer peripheral portion of the eyeglass lens substrate by a single chuck having claws each having a predetermined shape.
通常、眼鏡レンズ用基材は円盤状に形成されており、保持装置のチャックにより眼鏡レンズ用基材は、その外周部両側から安定して保持される。
しかしながら、眼鏡レンズには円盤状のものだけでなく、短軸寸法に対して長軸寸法が長い平面略長円形の異形レンズがある。
この異形レンズの外周部を少なくとも3個の爪に当接できれば、保持は可能であるが、前述のチャックでは保持しようとしても、異形レンズの外周部をチャックの少なくとも3個の爪に均等に当接できるわけではないので、片当たりが生じ、異形レンズがチャックから脱落するという課題がある。
Usually, the spectacle lens base material is formed in a disk shape, and the spectacle lens base material is stably held from both sides of the outer peripheral portion by the chuck of the holding device.
However, eyeglass lenses include not only disk-shaped lenses but also deformed lenses having a substantially oval shape having a long major axis with respect to a minor axis.
If the outer periphery of the deformed lens can be in contact with at least three claws, it can be held. However, even if it is intended to be held by the chuck described above, the outer periphery of the deformed lens is equally applied to at least three claws of the chuck. Since it is not possible to contact, there is a problem that one-sided contact occurs and the deformed lens falls off the chuck.
そのため、異形レンズを作業員がコーティング装置の吸着部に直接吸着させる方式をとっている。それでは、作業員が廃塵源となり、コーティング装置内の雰囲気を汚染することで、コーティング時レンズに塵等が付着し、外観不良の要因となっている。
このように、異形レンズを片当たりすることなく安定して保持できる保持装置が眼鏡レンズの製造ラインにおいて求められており、この眼鏡レンズの製造ライン以外においても、異形の被搬送物品を安定して保持できる物品保持装置が求められている。
Therefore, a method is adopted in which an irregular lens is directly adsorbed by an operator on the adsorption unit of the coating apparatus. Then, the worker becomes a source of dust and contaminates the atmosphere in the coating apparatus, so that dust or the like adheres to the lens at the time of coating, causing the appearance defect.
Thus, there is a need for a holding device that can stably hold a deformed lens without hitting it on the spectacle lens production line, and it is possible to stably feed a deformed article to be conveyed outside the spectacle lens production line. There is a need for an article holding device that can hold.
本発明の目的は、異形形状の被搬送物品であっても安定して保持できる物品保持装置及び物品搬送装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an article holding device and an article conveying apparatus that can stably hold even a deformed article to be conveyed.
本発明の物品保持装置は、互いに対向するとともに被搬送物品を保持する一対の保持部と、これらの保持部を互いに近接離隔させる駆動部とを備え、前記一対の保持部は、それぞれ前記駆動部に連結されるアーム部と、これらのアーム部にそれぞれ2個設けられる当接部とを有し、前記一対の保持部のうち少なくとも一方は、前記2個の当接部が独立して進退自在に前記アーム部に設けられ、これらの当接部と前記アーム部との間には弾性部材がそれぞれ設けられたことを特徴とする。 The article holding device of the present invention includes a pair of holding parts that are opposed to each other and hold an article to be conveyed, and a driving part that moves the holding parts close to and away from each other, and each of the pair of holding parts is the driving part. And at least one of the pair of holding portions, the two contact portions can be independently advanced and retracted. Provided in the arm portion, and an elastic member is provided between the abutting portion and the arm portion.
この発明では、駆動部によって一対の保持部を予め離隔した状態にしておき、これらの保持部の間に被搬送物品を配置する。そして、駆動部を操作し一対の保持部を互いに近接させる。すると、一対のアーム部にそれぞれ設けられた合計4個の当接部の先端部が被搬送物品の外周面に向けて前進し、その後、当接する。この際、少なくとも一方の保持部は、2個の当接部が独立して進退自在に前記アーム部に設けられているので、アーム部との間に設けられた弾性部材の弾性力に抗して独立して前進が阻止される。
そのため、本発明では、4個の当接部の少なくとも4本が被搬送物品の外周部に当接することになるので、当接部の片当たりがなくなり、保持部で被搬送物品が安定して保持される。
In the present invention, the pair of holding portions are separated in advance by the driving portion, and the article to be conveyed is arranged between these holding portions. Then, the drive unit is operated to bring the pair of holding units close to each other. Then, the tip portions of a total of four abutting portions respectively provided on the pair of arm portions advance toward the outer peripheral surface of the article to be conveyed, and then abut against each other. At this time, since at least one of the holding portions is provided on the arm portion so that the two abutting portions can be independently advanced and retracted, it resists the elastic force of the elastic member provided between the arm portion and the holding portion. Independently, progress is prevented.
For this reason, in the present invention, at least four of the four abutting parts abut on the outer peripheral part of the article to be conveyed, so that the abutting part does not come into contact with each other, and the article to be conveyed is stabilized by the holding part. Retained.
ここで、本発明では、前記一対の保持部のうち少なくとも一方は、前記当接部の進退をガイドするガイド板を有する構成が好ましい。
この構成の発明では、当接部が弾性部材の弾性力に抗して後退する際、ガイド板に沿っているから、当接部の進退方向と交差する方向に位置ずれすることがない。
そのため、当接部の片当たりをより効果的に防止することができる。
Here, in the present invention, it is preferable that at least one of the pair of holding portions includes a guide plate that guides the advancing and retreating of the contact portion.
In the invention with this configuration, when the abutting portion is retracted against the elastic force of the elastic member, the contact portion is along the guide plate, so that the position does not shift in a direction intersecting the advancing / retreating direction of the abutting portion.
For this reason, it is possible to more effectively prevent the contact of the contact portion.
前記被搬送物品は眼鏡レンズ用基材であり、前記一対の保持部は、前記眼鏡レンズ用基材の外周縁部を保持する構成が好ましい。
この構成の発明では、眼鏡レンズ用基材を安定して保持することができるから、眼鏡レンズの製造ラインにおいて、物品保持装置として活用することができる。
The article to be conveyed is a spectacle lens substrate, and the pair of holding portions preferably hold the outer peripheral edge of the spectacle lens substrate.
In the invention with this configuration, since the spectacle lens substrate can be stably held, it can be used as an article holding device in a spectacle lens production line.
本発明の物品搬送装置は、前述の構成の物品保持装置と、この物品保持装置を移動させる移動装置とを備えたことを特徴とする。
この構成の発明では、物品保持装置で安定して保持された眼鏡レンズ用基材を脱落させることなく所定位置に移動させることができる。
The article conveying apparatus of the present invention includes the article holding apparatus having the above-described configuration and a moving device that moves the article holding apparatus.
In the invention of this configuration, the spectacle lens base material stably held by the article holding device can be moved to a predetermined position without dropping.
本発明では、前記移動装置は、前記眼鏡レンズ用基材をセットするセット台と、前記眼鏡レンズ用基材の表面にコーティング剤をコーティングするコーティング装置との間を往復移動させる往復動機構を備えた構成が好ましい。
この構成の発明では、往復動機構によって、セット台とコーティング装置との間で眼鏡レンズ用基材を往復させることができるから、コーティング装置でのコーティング作業が作業員を介在させることなく効率的かつクリーンな環境で行うことができる。
In the present invention, the moving device includes a reciprocating mechanism that reciprocates between a set base for setting the spectacle lens base material and a coating device for coating the surface of the spectacle lens base material with a coating agent. The configuration is preferable.
In the invention of this configuration, the eyeglass lens base material can be reciprocated between the set table and the coating apparatus by the reciprocating mechanism, so that the coating operation in the coating apparatus is efficient and without intervening workers. It can be done in a clean environment.
本発明では、前記保持部に連結され前記眼鏡レンズ用基材の表裏を反転させる反転機構を備えた構成が好ましい。
この構成の発明では、眼鏡レンズ用基材の一方の面にコーティング剤をコーティングすることも、反転機構によって眼鏡レンズ用基材の表裏を反転させることで、眼鏡レンズ用基材の他方の面にコーティング剤をコーティングすることもできるので、眼鏡レンズ用基材の両面のコーティング作業を1台の装置で効率的に行うことができる。
In this invention, the structure provided with the inversion mechanism connected with the said holding | maintenance part and inverting the front and back of the said base material for spectacle lenses is preferable.
In the invention of this configuration, the coating agent is coated on one surface of the spectacle lens substrate, or the other surface of the spectacle lens substrate is reversed by reversing the front and back of the spectacle lens substrate by the reversing mechanism. Since the coating agent can be coated, the coating operation on both surfaces of the spectacle lens substrate can be efficiently performed with one apparatus.
前記セット台は、前記眼鏡レンズ用基材を載置する載置部と、この載置部に連結され前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部で保持可能とする位置と前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部に干渉しない位置との間で昇降させる昇降機構とを備えた構成が好ましい。
この構成の発明では、「保持部に干渉しない」位置で眼鏡レンズ用基材を載置部に載置し、その後、昇降機構を作動して載置部を「保持部で眼鏡レンズ用基材を保持可能な位置」まで上昇あるいは下降させる。
そのため、本発明では、保持部で眼鏡レンズ用基材を保持しやすい状態にすることや眼鏡レンズ用基材を保持した保持部と干渉しない状態にすることを、昇降機構を作動させることで効率的に行うことができる。
The set table includes a placement portion on which the spectacle lens base material is placed, a position connected to the placement portion so that the spectacle lens base material can be held by the holding portion, and the spectacle lens base material. It is preferable to include a lifting mechanism that lifts and lowers the position between the position not interfering with the holding portion.
In the invention of this configuration, the spectacle lens base material is placed on the placement portion at a position “does not interfere with the holding portion”, and then the raising / lowering mechanism is operated to place the placement portion on the spectacle lens base material in the holding portion. Is moved up or down to a position where it can be held.
Therefore, in the present invention, it is efficient by operating the elevating mechanism to make it easy to hold the spectacle lens substrate with the holding unit and to make it not interfere with the holding unit holding the spectacle lens substrate. Can be done automatically.
前記当接部は、前記眼鏡レンズ用基材を係止する係止用突起が形成されている構成が好ましい。
この構成の発明では、眼鏡レンズ用基材の外周部と当接部が滑っても、係止用突起で係止されるので、眼鏡レンズ用基材が当接部から誤って離脱することを防止することができる。
The contact portion preferably has a structure in which a locking projection for locking the spectacle lens substrate is formed.
In the invention of this configuration, even if the outer peripheral portion and the contact portion of the spectacle lens base material slip, the eyeglass lens base material is mistakenly detached from the contact portion because it is locked by the locking protrusion. Can be prevented.
前記コーティング装置は、前記眼鏡レンズ用基材を保持するホルダと、このホルダを回転駆動させる回転機構と、前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部が保持しやすい位置で前記保持ロッドが停止するように前記回転機構を制御する制御部と、前記ホルダを前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部で保持可能とする位置と前記眼鏡用レンズにコーティング剤をコーティングする位置との間で昇降させる昇降機構とを備えた構成が好ましい。
この構成の発明では、制御部によって、眼鏡レンズ用基材が保持部で保持しやすい位置に停止する、つまり、異形レンズの長軸方向を保持部の開閉方向に合わせた位置で停止することで、安定した受け渡しが可能となる。
The coating apparatus includes: a holder that holds the spectacle lens substrate; a rotation mechanism that rotationally drives the holder; and the holding rod that stops at a position where the holding unit easily holds the spectacle lens substrate. A control unit that controls the rotation mechanism, and an elevating mechanism that moves the holder up and down between a position where the spectacle lens base material can be held by the holding unit and a position where the spectacle lens is coated with a coating agent The structure provided with is preferable.
In the invention of this configuration, the control unit stops the eyeglass lens base material at a position where it can be easily held by the holding unit, i.e., stops at a position where the major axis direction of the deformed lens matches the opening / closing direction of the holding unit. , Stable delivery becomes possible.
前記当接部は前記ホルダとの干渉を防止するためのテーパ部が形成されている構成が好ましい。
この構成の発明では、ホルダが当接部に近接する際に、当接部の角部がホルダと干渉することがないので、ホルダに対して眼鏡レンズ用基材の外周部が近接配置していても、眼鏡レンズ用基材を当接部に対して奥深く位置させることができる。
そのため、眼鏡レンズ用基材が当接部から脱落することを防止することができる。
It is preferable that the contact portion is formed with a tapered portion for preventing interference with the holder.
In the invention of this configuration, when the holder approaches the contact portion, the corner portion of the contact portion does not interfere with the holder, so the outer peripheral portion of the eyeglass lens base material is disposed close to the holder. However, the spectacle lens substrate can be located deeply with respect to the contact portion.
Therefore, it is possible to prevent the spectacle lens base material from dropping from the contact portion.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、眼鏡レンズの製造装置の概略構成が示されており、この眼鏡レンズの製造装置は、眼鏡レンズ用基材1にコーティングするコーティング装置10と、このコーティング装置10に眼鏡レンズ用基材1を搬送する物品搬送装置20とを備えている。本実施形態の物品搬送装置20は、円盤状の眼鏡レンズ基材1だけでなく、短軸寸法に対して長軸寸法が長い平面略長円形の異形レンズ用の眼鏡レンズ用基材1(図2参照)を搬送することも可能である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a schematic configuration of a spectacle lens manufacturing apparatus. The spectacle lens manufacturing apparatus includes a
コーティング装置10は、その内部でコーティング作業が行われる槽11を備え、この槽11の中央には眼鏡レンズ用基材1を保持する保持具12が配置されている。
槽11の上方は開口されており、この開口の上方近傍には、吐出装置13が配置されている。この吐出装置13は、図示しない加圧タンクとチューブで連通したノズル131,132とを具備し、待機位置と保持具12の上方との間を移動する構造になっている。
ノズル131は後述するコーティング剤を眼鏡レンズ用基材1に塗布するものであり、ノズル132は洗浄液を眼鏡レンズ用基材1に塗布するものである。
The
An upper portion of the
The
保持具12は、ケーシング14に収納され図示しないモータを動力源として回転する回転機構(図示せず)と、この回転機構に連結された保持ロッド15と備えている。ケーシング14は槽11の下方に配置されており、このケーシング14に設けられた保持ロッド15は槽11の底部を貫通し、その上端部が槽11の内部に位置されている。
保持ロッド15は、ケーシング14に対して昇降自在とされており、その上端部分にはホルダ16が設けられている。このホルダ16はテフロン(登録商標)製の短寸円筒状部材であり、その外周部上端部にはテーパ16Aが形成されている。
ホルダ16は、軸芯部分の上面に吸引部17を備えている。この吸引部17には吸引孔(図示せず)が形成されており、この吸引孔には真空装置(図示せず)が接続されている。そのため、真空装置が作動することで、眼鏡レンズ用基材1が吸引部17に吸引保持される。
保持ロッド15を回転駆動するモータは制御部18に接続されている。
この制御部18は回転機構の駆動を制御するものであり、コーティングされる層の厚さ等に応じて回転数、回転時間が設定され、さらに、眼鏡レンズ用基材1を後述する保持部が保持しやすい位置で保持ロッド15が停止するように回転機構を制御する。
The
The holding
The
A motor that rotationally drives the holding
The
眼鏡レンズ用基材1は、凹面と凸面とを有し、その凹面側、凸面側の両方に、プラスチック製の基材本体の表面から順に、プライマー膜、ハードコート膜が形成された構成である。この眼鏡レンズ用基材1のハードコート層の上に反射防止膜がコーティング装置10で形成されている。
プライマー膜は、ウレタン樹脂などで形成され、基材本体とハードコート膜との密着性を高める必要がある場合や、耐衝撃性を向上させる必要がある場合に形成されたもので、プライマー膜を形成せずに基材本体に直接ハードコート膜を形成する場合もある。
ハードコート膜は、シリコーン系、アクリル系材料により、完成した眼鏡レンズの傷付きを防止するために、例えば、2μm程度の厚さで形成されている。このハードコート膜を基材本体に直に形成する場合は、基材本体の表面にあらかじめアルカリ処理、酸処理、微粒子による研磨処理、プラズマ処理等を行うことが好ましく、これにより、基材本体とハードコート膜との密着性が向上する。
The
The primer film is formed of urethane resin, etc., and is formed when it is necessary to improve the adhesion between the substrate body and the hard coat film or when it is necessary to improve the impact resistance. There is a case where a hard coat film is formed directly on the substrate body without forming it.
The hard coat film is formed with a thickness of, for example, about 2 μm from a silicone-based or acrylic-based material in order to prevent the completed spectacle lens from being damaged. When the hard coat film is formed directly on the substrate body, it is preferable to perform alkali treatment, acid treatment, polishing treatment with fine particles, plasma treatment, etc. on the surface of the substrate body in advance. Adhesion with the hard coat film is improved.
反射防止膜は、眼鏡レンズの表面反射を防止するために、これより下層のハードコート膜、プライマー膜及び基材本体よりも低屈折の層として形成される。
この反射防止膜は、後述するように、コーティング装置10によりレンズ加工面に塗布され、単層膜としてだけでなく、多層膜として形成することも可能である。
コーティング装置10で塗布されるコーティング剤としては、フッ素系化合物や、シラン化合物等を使用できる。本実施形態では、シラン化合物を有機溶剤で希釈し、必要に応じて水または薄い塩酸、酢酸等を添加して加水分解を行い、さらに、シリカ系微粒子が有機溶剤中にコロイド状に分散したゾルを添加した後、必要に応じて界面活性剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤などを添加し、十分に撹拌したものをコーティング液として使用する。
このような反射防止膜の膜厚は、所望の光学特性を実現するため、例えば、所定の膜厚100nmに対して、±10nmの範囲で制御されている。
防汚膜は、防汚成分としてフッ素含有化合物が添加されたもので、眼鏡レンズの最表層として必要に応じて形成されている。
The antireflection film is formed as a lower refractive layer than the hard coat film, the primer film, and the base material body below it in order to prevent the surface reflection of the spectacle lens.
As will be described later, the antireflection film is applied to the lens processing surface by the
As a coating agent applied with the
The film thickness of such an antireflection film is controlled within a range of ± 10 nm with respect to a predetermined film thickness of 100 nm, for example, in order to realize desired optical characteristics.
The antifouling film is obtained by adding a fluorine-containing compound as an antifouling component, and is formed as necessary as the outermost layer of the spectacle lens.
物品搬送装置20は、眼鏡レンズ用基材1を保持する物品保持装置30と、この物品保持装置30を移動させる移動装置40とを備えている、
この移動装置40は、眼鏡レンズ用基材1をセットするセット台41と、このセット台41とコーティング装置10との間で物品保持装置30を往復移動させる往復動機構42と、を備えて構成されている。
セット台41は、眼鏡レンズ用基材1を略水平面内で載置する平板状の載置部43と、この載置部43に連結されるとともにフレーム2に固定された昇降機構44とを備えている。なお、本実施形態では、載置部43の水平面内での回転を可能とするために図示しない回転駆動部を設けてもよく、この回転駆動部は図示しない操作ボタンで眼鏡レンズ用基材1の水平面内での姿勢を調整する。
この昇降機構44は、眼鏡レンズ用基材1を、物品保持装置30で保持可能とする上方位置と物品保持装置30に干渉しない下方位置との間で昇降する構造であり、この昇降のために図示しないシリンダ装置やラックピニオン等の歯車機構が設けられている。
往復動機構42は、物品保持装置30を往復動自在に案内するレール部材45と、このレール部材45の上で物品保持装置30を往復動させる図示しない駆動機構とを備えている。この駆動機構は物品保持装置30で保持された眼鏡レンズ用基材1をセット台41の上方位置とコーティング装置10のホルダ16の上方位置との間で停止するように駆動制御される。
The
The moving
The
The elevating
The
物品保持装置30の具体的な構成が図2から図4に示されている。
図2及び図4は、それぞれ物品保持装置30の平面図であり、図2は物品保持装置30で眼鏡レンズ用基材1を離した状態を示し、図4は物品保持装置30で眼鏡レンズ用基材1を保持した状態を示す。図3は物品保持装置30の一部を破断して示す正面図である。
これらの図において、物品保持装置30は、互いに対向するとともに眼鏡レンズ用基材の外周縁部を保持する一対の保持部21と、これらの保持部を互いに近接離隔させる駆動部22と、保持部21に連結され眼鏡レンズ用基材1の表裏を反転させる反転機構23と、この反転機構23が取り付けられレール部材45の上に往復動自在に配置された本体24とを備えている。
A specific configuration of the
2 and 4 are plan views of the
In these figures, the
一対の保持部21は、それぞれ駆動部22に連結されるアーム部25と、これらのアーム部25の先端部にそれぞれ2個設けられる耐薬品性に優れた材料から形成され当接部26とを備えている。図2から図4において右側に示される一方のアーム部25には、他方のアーム部25に向けて2箇所形成された孔部25Aにライナー29がそれぞれ挿入されている。これらのライナー29内にそれぞれ進退自在にピン27が配置され、これらのピン27の先端部が当接部26に螺合されている。これらの当接部26と一方のアーム部25との間にはゴム等の弾性部材28がそれぞれ設けられており、この弾性部材28にはピン27が貫通している。アーム部25の弾性部材28が配置された側の反対側端部にはピン27の基部を覆う蓋材251が設けられている。
一方のアーム部25には当接部26の進退をガイドするガイド板252が取り付けられている。このガイド板252は当接部26の進退方向と直交する方向(図3中上方)の移動を規制するものであり、アーム部25には接着剤、その他の適宜な手段で基端部が固定されている。
Each of the pair of holding
A
一方のアーム部25に設けられた2個の当接部26は、互いに所定寸法Lだけ離れて配置されており、他方のアーム部25に設けられた2個の当接部26は互いに寸法Lだけ離れて配置されている。他方のアーム部25に2個の当接部26が接着固定あるいはボルト固定等の適宜な手段で直接固定されている。
これらの当接部26は、ピーク材からなる基材の表面にテフロン製のシートが被覆されており、それぞれ、所定厚みの爪形状とされる。
当接部26は先端部上端から中央部にかけて同一形状とされており、その中央部に眼鏡レンズ用基材1を係止する係止用突起26Aが形成されている。この係止用突起26Aは平面から見てU字状に形成されている(図2参照)。この係止用突起26Aから上端部にかけて眼鏡レンズ用基材1を係止する係止面が構成される。
この係止用突起26Aから下端部にかけてテーパ部26Bが形成されている。このテーパ部26Bはホルダ16との干渉を防止するためのものである。
The two abutting
These abutting
The
A
駆動部22は、一対のアーム部25のそれぞれ基端部にアーム部25と略直角に固定された一対のロッド221と、これらのロッド221を進退させる駆動部本体222とを備えた平行チャックであり、当接部26が眼鏡レンズ用基材1の外周部から所定寸法離れた状態になるように一対のアーム部25を互いに離隔させ(図2参照)、あるいは、当接部26で眼鏡レンズ用基材1の外周部を保持するように一対のアーム部25を互いに近接させる(図4参照)。
一対のロッド221は、それぞれ長手方向が互いに平行となるように配置されている。駆動部本体222はアーム部25を互いに近接離隔するように一対のロッド221を進退させるもので、ラックピニオン等の歯車機構をモータで駆動する構成や、エアシリンダ等で駆動する構成を採用できる。
駆動部本体222と本体24との間には反転機構23が設けられており、この反転機構23は、駆動部22を介して取り付けられた保持部21の天地方向の姿勢を180度反転させる構成であり、図示しない内歯歯車と、この内歯歯車に噛合するピニオン等の歯車とを備えた歯車機構から構成されており、この歯車機構は図示しないエアシリンダで駆動される。
The
The pair of
A reversing
次に、プラスチックレンズの製造方法について説明する。
まず、従来と同様の方法によって、基材本体の両面にそれぞれプライマー膜及びハードコート膜を形成して眼鏡レンズ用基材1を予め作製しておく。
その後、図1で示されるプラスチックレンズの製造装置を用いて眼鏡レンズ用基材1の両面に反射防止膜を形成する。
そのため、まず、受け台41の昇降機構44を作動して載置部43を下降した位置に待機させ、この載置部43に凹面を下にし凸面を上にして眼鏡レンズ用基材1を載置する。この際、眼鏡レンズ用基材1の長軸方向を保持部21の開閉方向に合わせて配置する。なお、必要に応じて、載置部43の水平面内での姿勢(回転)の補正を行ってもよく、この場合、図示しない画像処理装置を用いて眼鏡レンズ用基材1の外形を認識するものでもよい。また、凸面を上にした眼鏡レンズ用基材1を保持部21で保持させるため、当接部26のテーパ部26Bが下方に向くようにしておく。
Next, a method for manufacturing a plastic lens will be described.
First, a
Thereafter, an antireflection film is formed on both surfaces of the
Therefore, first, the raising / lowering
駆動部22を作動して一対の保持部21を互いに離隔する方向にしておき、この状態で、昇降機構44を作動して載置部43に載置された眼鏡レンズ用基材1を一対の保持部21の間に位置させるように上昇させる。
その後、駆動部22を作動して一対の保持部21を互いに近接させる。すると、一対の保持部21に備えられた4個当接部26が眼鏡レンズ用基材1の外周部に向けて前進する。このうち一方の保持部21に設けられた当接部26の1個あるいは2個が弾性部材28の弾性力に抗してそれぞれ前進が阻止され、眼鏡レンズ用基材1の外周部は3個あるいは4個の当接部26の係止面で所定の弾性力をもって係止される。
The
Thereafter, the
さらに、往復動機構42を作動して物品保持装置30をコーティング装置10に向けて移動させる。物品保持装置30がコーティング装置10の上方に位置したなら、コーティング装置10のホルダ16を上昇させ、ホルダ16で眼鏡レンズ用基材1の凹面を支持し(図5(A)参照)、さらに、ホルダ16の吸引部17で眼鏡レンズ用基材1を吸引保持する。
ホルダ16で眼鏡レンズ用基材1が支持されたことが確認されたら、駆動部22を作動して一対の保持部21を互いに離隔して4個の当接部26の全てを眼鏡レンズ用基材1の外周部から離す。これにより、一対の保持部21から眼鏡レンズ用基材1が外された状態となる。この状態で、ホルダ16を所定位置まで下降させ、往復動機構42を作動させて、物品保持装置30を載置場所まで戻す。
Further, the
When it is confirmed that the
ホルダ16が所定位置まで下降し、物品保持装置30が戻ったら、コーティング装置10でコーティング作業を行う。
まず、保持具12を作動して眼鏡レンズ用基材1が保持されたホルダ16を回転駆動するとともに、眼鏡レンズ用基材1の凸面にノズル132から洗浄液を供給してレンズ洗浄を行う。その後、ホルダ16を回転し続けて洗浄液を眼鏡レンズ用基材1から振り切って乾燥させる。
さらに、ノズル131からコーティング剤を回転し続ける眼鏡レンズ用基材1の凸面に供給して反射防止膜を形成する。
所定量のコーティング剤が供給されたら、制御部18によりホルダ16の回転が停止する。この際、眼鏡レンズ用基材1を支持した時と同様に、眼鏡レンズ用基材1の長軸方向を保持部21の開閉方向に合わせた位置でホルダ16が停止される。
When the
First, the
Further, an antireflection film is formed by supplying the coating agent from the
When a predetermined amount of coating agent is supplied, the rotation of the
その後、ホルダ16が上昇し、互いに離隔された一対の保持部21の間に眼鏡レンズ用基材1を位置させる。駆動部22を作動して一対の保持部21を互いに近接させ、前述と同様に、眼鏡レンズ用基材1の外周部を3個あるいは4個の当接部26で係止する。眼鏡レンズ用基材1が保持部21で保持されたら、ホルダ16での眼鏡レンズ用基材1への吸引を停止し、ホルダ16を下降させる。
Thereafter, the
駆動部22を作動して一対の保持部21を眼鏡レンズ用基材1から外し、ホルダ16を所定位置まで下降させた後、眼鏡レンズ用基材1の凹面に洗浄剤を供給して洗浄した後、コーティング剤を供給してコーティングをする。所定量のコーティング剤が凹面に供給されたら、制御部18によりホルダ16の回転を停止させる。この際、眼鏡レンズ用基材1の長軸方向を保持部21の開閉方向に合わせた位置でホルダ16が停止する。
凹凸両面にコーティング剤が供給された眼鏡レンズ用基材1はホルダ16に保持されて再度上昇し、一対の保持部21で保持された後、吸引部17での吸引保持が解除される。ホルダ16は、この後、下降する。
The
The spectacle
さらに、往復動機構42を作動して物品保持装置30をコーティング装置10からセット台41に向けて移動させる。物品保持装置30がセット台41の上方に位置したなら、載置部43を上昇させ、載置部43で眼鏡レンズ用基材1を支持するとともに、保持部21を互いに離隔して眼鏡レンズ用基材1を外す。
反射防止膜を形成するためのコーティング剤が塗布された眼鏡レンズ用基材1を焼成する。これにより、ハードコート膜の上に反射防止膜が形成されることになる。反射防止膜の上に、レンズの最表層として防汚膜を形成し、その後、必要な処理を施すことにより眼鏡レンズが完成する。
凹面側にコーティングする場合は、往復動機構42がコーティング装置10側に移動する直前に反転機構23を作動して、眼鏡レンズ基材1を、凹面が上方に、凸面が下方になるように180度反転させる。その後、凹面側をコーティングし、往復動機構42が、セット台41側に移動後に反転機構23を作動して、眼鏡レンズ基材1を凸面が上方になるように180度回転させ、セット台41の載置部43に載せる。他の動きは、凸面側をコーティングする時と同様である。
Further, the
The
When coating on the concave surface side, the reversing
従って、本実施形態では、次の効果を奏することができる。
(1)互いに対向するとともに眼鏡レンズ用基材1の外周部を保持する一対の保持部21と、これらの保持部21を互いに近接離隔させる駆動部22とを備えて物品保持装置30を構成した。そして、一対の保持部21は、それぞれ駆動部22に連結されるアーム部25と、これらのアーム部25にそれぞれ2個設けられる当接部26とを有し、一方の保持部21において2個の当接部26が独立して進退自在にアーム部25に設けられ、これらの当接部26とアーム部25との間に弾性部材28を設けた。そのため、異形レンズであっても4個の当接部26の少なくとも3個が眼鏡レンズ用基材1の外周部に均等に当接することになるので、当接部26の片当たりがなくなり、保持部21で眼鏡レンズ用基材1が安定して保持される。
従って、眼鏡レンズ用基材1の搬送時に誤って眼鏡レンズ用基材1が保持部21から脱落することがない。
Therefore, in this embodiment, the following effects can be achieved.
(1) The
Therefore, the spectacle
(2)弾性部材28が設けられた保持部21には、当接部26の進退をガイドするガイド板252が設けられているから、2個の当接部26がそれぞれ弾性部材28の弾性力に抗して前進が規制される際に、ガイド板252に沿っているから、当接部26の進退方向と交差する方向に変位することがなくなり、当接部26の片当たりをより効果的に防止することができる。
(2) Since the holding
(3)保持部21で保持する対象が眼鏡レンズ用基材1であるので、眼鏡レンズの製造装置において、本実施形態の物品保持装置30を活用することができる。
(3) Since the object to be held by the holding
(4)移動装置40は、眼鏡レンズ用基材をセットするセット台41と、眼鏡レンズ用基材1の表面にコーティング剤をコーティングするコーティング装置10との間を往復移動させる往復動機構42を備えたから、コーティング装置10でのコーティング作業が作業員を介在させることなく効率的に行うことができる。そのため、クリーンな環境下でコーティングができ、外観品質が向上する。
(4) The moving
(5)保持部21に連結され眼鏡レンズ用基材1の表裏を反転させる反転機構23を備え物品保持装置30を構成したから、眼鏡レンズ用基材1の凸面にコーティング剤をコーティングすることも、反転機構23によって眼鏡レンズ用基材1の表裏を反転させることで、眼鏡レンズ用基材1の凹面にコーティング剤をコーティングすることもできる。そのため、眼鏡レンズ用基材1の凹凸両面のコーティング作業を1台の装置で効率的に行うことができる。
(5) Since the
(6)眼鏡レンズ用基材1を載置する載置部43に連結され眼鏡レンズ用基材1を保持部21で保持可能とする位置と眼鏡レンズ用基材1を保持部21に干渉しない位置との間で昇降させる昇降機構44とを備えてセット台41を構成した。そのため、保持部21で眼鏡レンズ用基材1を保持しやすい状態にすることや眼鏡レンズ用基材1を保持した保持部21と干渉しない状態にすることを、昇降機構を作動させることで効率的に行うことができる。
(6) A position where the
(7)当接部26は、眼鏡レンズ用基材1を係止する係止用突起26Aが形成されているから、眼鏡レンズ用基材1の外周部が当接部26の周面から滑っても、係止用突起26Aで眼鏡レンズ用基材1が係止されるので、眼鏡レンズ用基材1が当接部26から誤って離脱することを防止できる。
(7) Since the
(8)コーティング装置10は、眼鏡レンズ用基材1を保持するホルダ16を回転駆動させる回転機構と、眼鏡レンズ用基材1を保持部21が保持しやすい位置でホルダ16が停止するように回転機構を制御する制御部18とを備えたから、異形の眼鏡レンズ用基材1のホルダ16からの取り出し作業を容易に行うことができる。
(8) The
(9)ホルダ16との干渉を防止するためのテーパ部26Bが当接部26に形成されているから、ホルダ16が当接部26に近接する際に、当接部26がホルダ16と干渉することがない。そのため、ホルダ16に対して眼鏡レンズ用基材1の外周部が近接しても、眼鏡レンズ用基材1を当接部26に対して奥深く(上方に)位置させることができることになり、眼鏡レンズ用基材1が当接部26の端部に保持されることで誤って脱落するという不都合を回避できる。
(10)ホルダ16の外周部上端部にテーパ16Aを形成したから、この点からも、ホルダ16が当接部26に近接する際に、当接部26がホルダ16と干渉することがなく、前述と同様の効果を奏することができる。
(9) Since the
(10) Since the
(11)当接部26とアーム部25とをピン27で連結し、このピン27で弾性部材28を貫通した構成としたから、弾性部材28が保持部21から誤って外れることがない。
(12)当接部26の表面に耐薬品性に強いテフロンシートで覆ったから、コーティング剤を眼鏡レンズ用基材1に塗布する際に、当接部26にコーティング剤がかかっても、当接部26が腐蝕することがない。
(13)係止用突起26Aは平面から見てU字状に形成されているから、当接部26の先端部分に眼鏡レンズ用基材1が当接される場合だけでなく、当接部26の側面部分に眼鏡レンズ用基材1が当接される場合であっても、係止用突起26Aで眼鏡レンズ用基材1を確実に係止することができる。
(11) Since the
(12) Since the surface of the abutting
(13) Since the locking
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、一方の保持部21のみ弾性部材28を設けたが、本発明では、双方の保持部21の当接部26をアーム部25に対して進退自在に取り付け、これらの当接部26とアーム部25との間にそれぞれ弾性部材28を設ける構造であってもよい。つまり、4個の当接部26を、それぞれ弾性部材28を介してアーム部25に取り付ける構成としてもよい。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the
また、前記実施形態では、被搬送物品として眼鏡レンズ用基材1を用いて説明したが、本発明では、眼鏡用以外のレンズ、例えば、望遠鏡用のレンズ、その他のレンズについても用いることができる。さらに、レンズ以外の光学部品、その他の部品についても本発明を用いることができる。
さらに、本発明で搬送されるものは異形の被搬送物品に限定されるものもではなく、円形のものについても十分に利用することができる。
また、本発明では、ガイド板252を省略するものであってもよく、使用する場合においては、図3の想像線に示される通り、ガイド板252を当接部26の他端(図3の下端)に設けるものであってもよく、上下両端に設けるものであってもよい。
In the above embodiment, the
Furthermore, what is conveyed by the present invention is not limited to irregularly shaped articles to be conveyed, and circular objects can be fully utilized.
In the present invention, the
本発明は、眼鏡レンズ、望遠鏡、カメラレンズ等の光学部品、その他の部品を製造する装置に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for an apparatus for manufacturing optical parts such as spectacle lenses, telescopes, camera lenses, and other parts.
1…眼鏡レンズ用基材(被搬送物品)、10…コーティング装置、15…保持ロッド、16…ホルダ、18…制御部、20…物品搬送装置、21…保持部、22…駆動部、23…反転機構、25…アーム部、26…当接部、26A…係止用突起、26B…テーパ部、28…弾性部材、30…物品保持装置、40…移動装置、41…セット台、42…往復動機構、43…載置部、44…昇降機構、252…ガイド板
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記一対の保持部のうち少なくとも一方は、前記当接部の進退をガイドするガイド板を有することを特徴とする物品保持装置。 The article holding apparatus according to claim 1,
At least one of the pair of holding portions includes a guide plate that guides the advancing and retreating of the contact portion.
前記被搬送物品は眼鏡レンズ用基材であり、前記一対の保持部は、前記眼鏡レンズ用基材の外周部を保持することを特徴とする物品保持装置。 In the article holding device according to claim 1 or 2,
The article to be conveyed is a spectacle lens base material, and the pair of holding portions hold an outer peripheral portion of the spectacle lens base material.
前記移動装置は、前記眼鏡レンズ用基材をセットするセット台と、前記眼鏡レンズ用基材の表面にコーティング剤をコーティングするコーティング装置との間を往復移動させる往復動機構を備えたことを特徴とする物品搬送装置。 In the article conveying apparatus according to claim 4,
The moving device includes a reciprocating mechanism that reciprocally moves between a set base for setting the spectacle lens base material and a coating device for coating a surface of the spectacle lens base material with a coating agent. Article conveying apparatus.
前記保持部に連結され前記眼鏡レンズ用基材の表裏を反転させる反転機構を備えたことを特徴とする物品搬送装置。 In the article conveying apparatus according to claim 5,
An article conveying apparatus comprising: a reversing mechanism that is connected to the holding unit and reverses the front and back of the spectacle lens substrate.
前記セット台は、前記眼鏡レンズ用基材を載置する載置部と、この載置部に連結され前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部で保持可能とする位置と前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部に干渉しない位置との間で昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とする物品搬送装置。 The article conveying device according to claim 6,
The set table includes a placement portion on which the spectacle lens base material is placed, a position connected to the placement portion so that the spectacle lens base material can be held by the holding portion, and the spectacle lens base material. And an elevating mechanism for elevating the position between the position and the position not interfering with the holding portion.
前記当接部は、前記眼鏡レンズ用基材を係止する係止用突起が形成されていることを特徴とする物品搬送装置。 In the article conveyance device according to any one of claims 4 to 7,
The article conveying apparatus according to claim 1, wherein the contact portion is formed with a locking projection for locking the spectacle lens substrate.
前記コーティング装置は、前記眼鏡レンズ用基材を保持するホルダと、このホルダを回転駆動させる回転機構と、前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部が保持しやすい位置で前記保持ロッドが停止するように前記回転機構を制御する制御部と、前記ホルダを前記眼鏡レンズ用基材を前記保持部で保持可能とする位置と前記眼鏡用レンズにコーティング剤をコーティングする位置との間で昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とする物品搬送装置。 In the article conveyance device according to any one of claims 5 to 8,
The coating apparatus includes: a holder that holds the spectacle lens substrate; a rotation mechanism that rotationally drives the holder; and the holding rod that stops at a position where the holding unit easily holds the spectacle lens substrate. A control unit that controls the rotation mechanism, and an elevating mechanism that moves the holder up and down between a position where the spectacle lens base material can be held by the holding unit and a position where the spectacle lens is coated with a coating agent An article conveying device comprising:
前記当接部は前記ホルダとの干渉を防止するためのテーパ部が形成されていることを特徴とする物品搬送装置。 The article conveying apparatus according to claim 9, wherein
The article conveying apparatus according to claim 1, wherein the contact portion is formed with a tapered portion for preventing interference with the holder.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010082723A (en) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Metals Ltd | Hand mechanism |
CN103128029A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-05 | 海洋王照明科技股份有限公司 | Glue dispensing device |
WO2017163382A1 (en) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 中外炉工業株式会社 | Holding tray for curved surface substrate |
EP3511131A1 (en) * | 2018-01-12 | 2019-07-17 | Carl Zeiss Vision International GmbH | Device and method for handling spectacle lenses and method for the manufacture of spectacle lenses |
KR20190136345A (en) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 광흥에스피 주식회사 | Pouch alignment feeder |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5466382U (en) * | 1977-10-18 | 1979-05-11 | ||
JPH05169387A (en) * | 1991-12-17 | 1993-07-09 | Fujitsu Ltd | Robot hand |
JPH06201902A (en) * | 1991-05-20 | 1994-07-22 | Bmc Ind Inc | Executing device of scratch-resistant coating to spectacle lens made of plastic |
JPH06236915A (en) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Tokyo Electron Ltd | Processor |
JP2000140745A (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Nikon Corp | Method and device for film formation |
JP2001105378A (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-17 | Aloka Co Ltd | Handling device |
JP2002321184A (en) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Yamazaki Mazak Corp | Clamp unit and gantry robot using clamp unit |
JP2005502479A (en) * | 2001-02-26 | 2005-01-27 | アイアールエム,エルエルシー | Grip mechanism, apparatus and method |
JP2006231282A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | Lens holder and method for producing lens |
JP2007127775A (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Tokuyama Corp | Coating apparatus |
-
2006
- 2006-10-30 JP JP2006293637A patent/JP2008110284A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5466382U (en) * | 1977-10-18 | 1979-05-11 | ||
JPH06201902A (en) * | 1991-05-20 | 1994-07-22 | Bmc Ind Inc | Executing device of scratch-resistant coating to spectacle lens made of plastic |
JPH05169387A (en) * | 1991-12-17 | 1993-07-09 | Fujitsu Ltd | Robot hand |
JPH06236915A (en) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Tokyo Electron Ltd | Processor |
JP2000140745A (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Nikon Corp | Method and device for film formation |
JP2001105378A (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-17 | Aloka Co Ltd | Handling device |
JP2005502479A (en) * | 2001-02-26 | 2005-01-27 | アイアールエム,エルエルシー | Grip mechanism, apparatus and method |
JP2002321184A (en) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Yamazaki Mazak Corp | Clamp unit and gantry robot using clamp unit |
JP2006231282A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | Lens holder and method for producing lens |
JP2007127775A (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Tokuyama Corp | Coating apparatus |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010082723A (en) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Metals Ltd | Hand mechanism |
CN103128029A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-05 | 海洋王照明科技股份有限公司 | Glue dispensing device |
WO2017163382A1 (en) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 中外炉工業株式会社 | Holding tray for curved surface substrate |
JPWO2017163382A1 (en) * | 2016-03-24 | 2018-04-26 | 中外炉工業株式会社 | Curved substrate holding tray |
EP3511131A1 (en) * | 2018-01-12 | 2019-07-17 | Carl Zeiss Vision International GmbH | Device and method for handling spectacle lenses and method for the manufacture of spectacle lenses |
KR20190136345A (en) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 광흥에스피 주식회사 | Pouch alignment feeder |
KR102065380B1 (en) * | 2018-05-30 | 2020-01-13 | 광흥에스피 주식회사 | Pouch alignment feeder |
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