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JP2008190754A - Air conditioning system using microbubble or micronanobubble - Google Patents

Air conditioning system using microbubble or micronanobubble Download PDF

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JP2008190754A
JP2008190754A JP2007024106A JP2007024106A JP2008190754A JP 2008190754 A JP2008190754 A JP 2008190754A JP 2007024106 A JP2007024106 A JP 2007024106A JP 2007024106 A JP2007024106 A JP 2007024106A JP 2008190754 A JP2008190754 A JP 2008190754A
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Takaharu Izumi
貴晴 和泉
Daisuke Sugata
大助 菅田
Fumio Yasui
文男 安井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air conditioning system preventing deterioration of wettability of a coil fin part and suppressing generation of slime and algae in a tank storing drips. <P>SOLUTION: This air conditioning system is so configured that drops of pure water fall from above a cooling coil part 4, and a circulation water tank 7 storing the drips is arranged below the cooling coil part 4. A microbubble generator 8 for generating microbubbles or micronanobubbles is arranged in the circulation water tank 7, and nanobubbles are generated in water in the circulation water tank 7, thereby suppressing generation of slim, algae or the like in the circulation water tank 7. When drops of water containing microbubbles or micronanobubbles fall onto the coil fin part of the cooling coil, contaminant adhering to the coil fin part is removed, deterioration of wettability is prevented, and a predetermined heat exchange efficiency is exhibited. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、分子状汚染物質の除去及び省エネルギーを目的に、気化式加湿モジュールや純水(循環水を含む)を滴下しフィン表面を水膜化した熱交換コイルを配置した空調システムにおいて、循環水槽内でマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させ、系内に発生するヌルや藻の発生を抑制し、除去率低下や加湿効率低下の抑制を図ることできる空調システムに関するものである。   The present invention provides an air conditioning system in which a heat exchange coil in which a vaporized humidification module and pure water (including circulating water) are dropped to form a water film is disposed for the purpose of removing molecular pollutants and saving energy. The present invention relates to an air conditioning system that generates microbubbles or micronanobubbles in a water tank, suppresses generation of nulls and algae generated in the system, and suppresses a reduction in removal rate and a decrease in humidification efficiency.

近年、超微細化が進む半導体デバイス等の製造工程やバイオロジカルクリーンルームなどにおいては、空気中に含まれる分子状汚染物質(AMC:Airborne Molecular Contaminants)を除去や、温度・湿度等の室内環境を一定に保つ必要があるため、適宜、温湿度調整を行うことが可能な空調システムが利用されている。   In recent years, in the manufacturing process of semiconductor devices, etc., which are becoming increasingly miniaturized, and in biological clean rooms, etc., molecular contaminants (AMC) contained in the air are removed, and the indoor environment such as temperature and humidity is kept constant. Therefore, an air conditioning system capable of adjusting temperature and humidity appropriately is used.

例えば、温湿度調整の可能な空調システムとしては、特許文献1に記載されたものが知られており、加熱コイルと冷却コイルが配設され、この冷却コイルの上流側と下流側に接触して配設された気化式加湿器を有する構成をしている。さらに、この冷却コイルと気化式加湿器の下部には循環水槽が設置され、気化式加湿器からの滴下水が冷却コイルの上方に循環供給されるよう構成されている。
特開2005−249367号公報
For example, as an air conditioning system capable of adjusting the temperature and humidity, the one described in Patent Document 1 is known. A heating coil and a cooling coil are provided, and the upstream side and the downstream side of the cooling coil are in contact with each other. It has the structure which has the vaporization type humidifier arranged. Further, a circulating water tank is installed below the cooling coil and the vaporizing humidifier, and the dropped water from the vaporizing humidifier is circulated and supplied above the cooling coil.
JP 2005-249367 A

ところで、上記のような空調システムにおいては、対象となる空気中に分子状汚染物質が含まれている場合に、コイルフィン部に汚染物質が付着し、濡れ性能が低下してしまうことにより、所定のAMC除去率や加湿効率を発揮することが困難な状況にあった。また、上記の例で言えば、熱交換コイルである冷却コイルや気化式加湿器に滴下した滴下水を貯留し循環させる循環水槽には、ヌルや藻などが発生していしまい、散水ノズルの詰まりによる滴下水量の低下で濡れ性能がさらに悪化したり、空気側の圧損も上昇することなどが問題となっていた。   By the way, in the air conditioning system as described above, when molecular pollutants are contained in the target air, the contaminants adhere to the coil fin portion, and the wetting performance is lowered. It was difficult to exhibit the AMC removal rate and the humidification efficiency. In addition, in the above example, nulls and algae are generated in the circulating water tank that stores and circulates the dripping water dropped on the cooling coil or the vaporizing humidifier that is a heat exchange coil, and the watering nozzle is clogged. There has been a problem that the wetting performance is further deteriorated due to the decrease in the amount of dripping water due to, and the pressure loss on the air side is also increased.

そこで、本発明は、上記の問題を解決するために提案されたものであり、その目的は、気化式モジュールや純水(循環水を含む)を滴下しフィン表面を水膜化した熱交換コイル部の濡れ性能の低下を防止し、さらに滴下水を貯留する水槽内の藻などの発生を抑制することにある。   Therefore, the present invention has been proposed in order to solve the above-described problems, and the purpose thereof is a heat exchange coil in which a vaporized module or pure water (including circulating water) is dropped to form a water film on the fin surface. It is in preventing the fall of the wet performance of a part and also suppressing generation | occurrence | production of the algae etc. in the water tank which stores dripping water.

請求項1に係る発明は、温湿度調整に用いる水を循環させる循環系を有する空調システムであって、前記循環系は、循環させる水を貯留する循環水槽を備え、前記循環水槽には、貯留した水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる微細気泡発生器が配設されたことを特徴とする。   The invention according to claim 1 is an air conditioning system having a circulation system for circulating water used for temperature and humidity adjustment, wherein the circulation system includes a circulation water tank for storing water to be circulated, and the circulation water tank stores A microbubble generator for generating microbubbles or micronanobubbles in the hydrated water is provided.

以上のような態様では、循環水槽に貯留した水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させることができるので、当該バブルに汚染物質を吸着させることにより循環水槽内を浄化することができ、ヌルや藻などの発生を抑制することが可能となる。   In the above aspect, microbubbles or micro-nanobubbles can be generated in the water stored in the circulating water tank, so that the inside of the circulating water tank can be purified by adsorbing contaminants to the bubbles, The generation of algae and the like can be suppressed.

請求項2に係る発明は、請求項1に記載の空調システムにおいて、空気温度調整用のコイルと、空気湿度調整用の気化式加湿器の少なくとも一方を備え、前記循環水槽は、前記空気温度調整用のコイル及び/又は空気湿度調整用の気化式加湿器の下部に設置され、前記空気温度調整用のコイル及び/又は前記空気湿度調整用の気化式加湿器には、前記循環系により水が上部から滴下供給され、前記循環水槽が、前記空気温度調整用のコイル及び/又は空気湿度調整用の気化式加湿器から滴下した水を一時的に貯留することを特徴とする。   The invention according to claim 2 is the air conditioning system according to claim 1, comprising at least one of a coil for adjusting the air temperature and a vaporizing humidifier for adjusting the air humidity, wherein the circulating water tank is the air temperature adjusting device. Installed in the lower part of a coil for air conditioning and / or a vaporizing humidifier for adjusting air humidity, and water is supplied to the coil for adjusting air temperature and / or the vaporizing humidifier for adjusting air humidity by the circulation system. Drop water is supplied from above, and the circulating water tank temporarily stores water dripped from the air temperature adjustment coil and / or the air humidification vaporizer humidifier.

以上のような態様では、循環水槽を熱交換コイルや気化式加湿器の下部に設置し、水をこれらに循環供給しているので、コイルフィン部に付着する汚染物質をマイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有する滴下水により除去することができるため、コイルの濡れ性能の低下を防ぐことができ、熱交換効率が向上する。また、このようなバブルを発生させることにより、循環系を流れる水の流量が増加し、流路内の圧損を防止することも可能となる。   In the above aspect, since the circulating water tank is installed in the lower part of the heat exchange coil or the vaporizing humidifier, and water is circulated and supplied to these, the contaminants adhering to the coil fin portion are removed with microbubbles or micronanobubbles. Since it can remove with the dripping water to contain, the fall of the wetting performance of a coil can be prevented and heat exchange efficiency improves. Moreover, by generating such bubbles, the flow rate of water flowing through the circulation system is increased, and pressure loss in the flow path can be prevented.

請求項3に係る発明では、温湿度調整に用いる水を循環させる循環系を有する空調システムであって、前記循環系は、循環させる水を貯留する循環水槽と、前記循環水槽に循環水を供給するための貯留タンクを備え、前記貯留タンク内に貯留水中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる微細気泡発生器が配設されたことを特徴とする。   In the invention which concerns on Claim 3, it is an air-conditioning system which has a circulation system which circulates the water used for temperature / humidity adjustment, Comprising: The said circulation system supplies circulating water to the circulating water tank which stores the water to circulate, and the said circulating water tank And a microbubble generator for generating microbubbles or micronanobubbles in the stored water is provided in the storage tank.

以上のような態様では、循環水槽の他に、循環水槽に循環水を供給する貯留タンクを設け、そのタンク内に微細気泡発生器を配設しているので、空調システム全体を停止せずとも微細気泡発生器のメンテナンスや交換を容易に行うことが可能となる。また、別途貯留タンクを設置しているので、既存の空調システムに後付として微細気泡発生器を備えた当該貯留タンクを取り付けることも容易に行うことができる。   In the above-described aspect, in addition to the circulating water tank, a storage tank that supplies the circulating water to the circulating water tank is provided, and the fine bubble generator is disposed in the tank, so that the entire air conditioning system can be stopped. Maintenance and replacement of the fine bubble generator can be easily performed. In addition, since a separate storage tank is installed, it is possible to easily attach the storage tank provided with the fine bubble generator as a retrofit to the existing air conditioning system.

請求項4に係る発明は、請求項1又は2に記載の空調システムにおいて、前記循環系の前記循環水槽内には、オゾンを発生させるオゾン発生器が設けられたことを特徴とする。   The invention according to claim 4 is the air conditioning system according to claim 1 or 2, wherein an ozone generator for generating ozone is provided in the circulating water tank of the circulation system.

請求項5に係る発明は、請求項3に記載の空調システムにおいて、前記循環系の前記貯留タンクには、貯留水中にオゾンを吹き込むオゾン発生器が設けられたことを特徴とする。   The invention according to claim 5 is the air conditioning system according to claim 3, wherein the storage tank of the circulation system is provided with an ozone generator for blowing ozone into the stored water.

以上のような態様では、微細気泡発生器により発生したマイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有する水中にオゾンを発生させることができるので、当該バブルがオゾンの殺菌効果を飛躍的に向上させる。また、マイクロバブル又はマイクロナノバブルは、自己加圧効果を有するので、濃度の低いオゾンを供給するとしても作用時には高圧化された条件でオゾンが作用する。そのため、高圧化したオゾンと吸着する物質が作用するので、低いオゾン濃度でも汚染物質を分解することが可能となる。   In the above aspects, ozone can be generated in the water containing the microbubbles or micronanobubbles generated by the fine bubble generator, so that the bubbles dramatically improve the sterilizing effect of ozone. In addition, since microbubbles or micronanobubbles have a self-pressurizing effect, even if ozone having a low concentration is supplied, ozone acts under conditions of high pressure during operation. Therefore, since the high-pressure ozone and the adsorbing substance act, it becomes possible to decompose the pollutant even at a low ozone concentration.

請求項6に係る発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載の空調システムにおいて、前記微細気泡発生器にマイクロバブル又はマイクロナノバブルの発生源となる空気を供給するための空気供給ラインが接続され、前記空気供給ラインは、粒子除去フィルタ、カチオン除去フィルタ、アニオン除去フィルタ、有機物質除去フィルタのうち少なくとも一つを備えることを特徴とする。   The invention according to claim 6 is the air supply system according to any one of claims 1 to 5, wherein an air supply line for supplying air that is a generation source of micro bubbles or micro nano bubbles to the fine bubble generator. And the air supply line includes at least one of a particle removal filter, a cation removal filter, an anion removal filter, and an organic substance removal filter.

以上のような態様では、微細気泡発生器へ供給する空気の洗浄化を図ることができるので、外気を当該バブル発生器への供給源とすることで空気中に含まれる粒子や分子状の汚染物質が循環水槽内に供給されるといった問題を解消することができる。すなわち、汚染物質を含有するバブルが循環水槽内に供給されると、当該バブルが気化式加湿器へ滴下されるので、この気化式加湿器の下流に汚染物質が放出される危険性が高まる他、気中と液中間での濃度勾配が小さくなり、分子状汚染物質の除去率の低下を招く恐れがある。そのため、上記の態様により、微細気泡発生器へ供給する空気を粒子除去フィルタなどを用いて除去し当該空気を浄化することで、上記問題を解決の図っている。   In the above aspect, since the air supplied to the fine bubble generator can be cleaned, particles or molecular contamination contained in the air can be obtained by using outside air as a supply source to the bubble generator. The problem that the substance is supplied into the circulating water tank can be solved. That is, when bubbles containing pollutants are supplied into the circulating water tank, the bubbles are dropped into the vaporizing humidifier, increasing the risk of releasing pollutants downstream of the vaporizing humidifier. The concentration gradient between the air and the liquid becomes small, which may lead to a decrease in the removal rate of molecular contaminants. Therefore, according to the above aspect, the problem is solved by removing the air supplied to the fine bubble generator using a particle removal filter or the like and purifying the air.

請求項7に係る発明は、請求項6に記載の空調システムにおいて、前記空気供給ラインに供給する空気が、前記気化式加湿器を通過した空気であることを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the air conditioning system according to claim 6, wherein the air supplied to the air supply line is air that has passed through the vaporizing humidifier.

請求項8に係る発明は、請求項6に記載の空調システムにおいて、前記気化式加湿器の下流に汚染物質除去用のケミカルフィルタを備え、前記空気供給ラインに供給する空気は、前記ケミカルフィルタを通過した空気であることを特徴とする。   The invention according to claim 8 is the air conditioning system according to claim 6, further comprising a chemical filter for removing contaminants downstream of the vaporizing humidifier, and the air supplied to the air supply line is the chemical filter. It is characterized by passing air.

以上のような態様では、空気供給ラインを流れ、微細気泡発生器へ供給する空気中の汚染物質が除去されているので、空気供給ラインに設置したカチオン除去フィルタ及びアニオン除去フィルタの寿命を延ばすことが可能となる。また空気供給ラインに供給される空気の純度が高い場合には、カチオン除去フィルタ及びアニオン除去フィルタの設置が不要となるため、イニシャルコストの低減を図ることができる。   In the above aspect, since contaminants in the air flowing through the air supply line and supplying to the fine bubble generator are removed, the lifetime of the cation removal filter and the anion removal filter installed in the air supply line is extended. Is possible. Further, when the purity of the air supplied to the air supply line is high, it is not necessary to install a cation removal filter and an anion removal filter, so that the initial cost can be reduced.

請求項9に係る発明は、請求項1〜8のいずれか1項に記載の空調システムにおいて、前記循環水槽又は前記循環水槽からのドレン配管にpH計及び導電率計を設置することを特徴とする。   The invention according to claim 9 is the air conditioning system according to any one of claims 1 to 8, wherein a pH meter and a conductivity meter are installed in the circulating water tank or a drain pipe from the circulating water tank. To do.

以上のような態様では、循環水槽内のpH値及び導電率を計測することができるので、当該pH値及び導電率に応じて気化式加湿器や熱交換コイルに供給する純水供給量を調整することができ、ランニングコストの低減を図ることも可能となる。すなわち、計測したpH値及び導電率により水に溶解している電解質の量を推定することで、水の浄化度を取得することが可能となり、気化式加湿器等に供給する純水量を調節することができる。   In the above aspect, since the pH value and conductivity in the circulating water tank can be measured, the amount of pure water supplied to the vaporizing humidifier and the heat exchange coil is adjusted according to the pH value and conductivity. It is also possible to reduce running costs. That is, by estimating the amount of electrolyte dissolved in water based on the measured pH value and conductivity, it becomes possible to obtain the degree of purification of water, and adjust the amount of pure water supplied to the vaporizing humidifier, etc. be able to.

本発明によれば、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを熱交換コイルや気化式加湿器の下部に設置した循環水槽中に発生させているので、当該水槽内のヌルや藻の発生を抑制することができる。さらにマイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有した水分がコイルフィン部に滴下されることにより、コイルフィン部に付着した汚染物質を洗い流すことができるため、熱交換コイルの濡れ性能の低下を防ぐことが可能である。   According to the present invention, since microbubbles or micronanobubbles are generated in a circulating water tank installed in the lower part of a heat exchange coil or a vaporizing humidifier, generation of nulls and algae in the water tank can be suppressed. . Furthermore, since water containing microbubbles or micro-nanobubbles is dripped onto the coil fin portion, contaminants attached to the coil fin portion can be washed away, so it is possible to prevent a decrease in the wetting performance of the heat exchange coil. is there.

[1.本発明の実施形態]
以下、本発明の実施形態の一例として、冷却コイル及び気化式加湿器の下部に滴下水や結露水を貯留する循環水槽を備えた温湿度調整可能な空調システムについて、図面を参照して具体的に説明する。
[1. Embodiment of the Invention]
Hereinafter, as an example of an embodiment of the present invention, an air conditioning system capable of adjusting the temperature and humidity, which includes a circulating water tank that stores dripped water and dew condensation water at a lower portion of a cooling coil and a vaporizing humidifier, is specifically described with reference to the drawings. Explained.

なお、本発明では、空調システムにおける熱交換コイルや気化式加湿器などに技術的特徴があるわけでなく、冷却コイルや気化式加湿器の滴下水や結露水を貯留する循環水槽内のヌルや藻の発生を抑制する点に特徴がある。すなわち、空調システムの熱交換コイル等の構成は従来型とほぼ同様であり、気化式加湿器や熱交換コイルに滴下水を循環供給する循環水槽内部及び周辺の構成に技術的特徴を有するものである。   In the present invention, the heat exchange coil and the vaporizing humidifier in the air-conditioning system do not have technical characteristics, but the cooling coil and the vaporizing humidifier are not equipped with a null in the circulating water tank that stores dripping water or condensed water. It is characterized by suppressing the generation of algae. That is, the configuration of the heat exchange coil and the like of the air conditioning system is almost the same as that of the conventional type, and has technical features in the configuration inside and around the circulating water tank that circulates and supplies dripped water to the vaporizing humidifier and the heat exchange coil. is there.

[1.1.構成]
(1)全体構成
図1は、本発明に循環水槽を備えた空調システムの全体構成例を示す模式図であり、処理空気の取入口及び供給口を有するチャンバ(図示せず)の内部に、プレフィルタ1、中性能フィルタ2、加熱コイル3、冷却コイル部4、第2の加熱コイル5、及び、処理空気をハウジング外へ吐出する送風機6が順次設けられている。
(2)冷却コイル部の構成
[1.1. Constitution]
(1) Overall Configuration FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration example of an air conditioning system provided with a circulating water tank in the present invention, inside a chamber (not shown) having an intake port and a supply port for processing air. A pre-filter 1, a medium performance filter 2, a heating coil 3, a cooling coil unit 4, a second heating coil 5, and a blower 6 that discharges processing air to the outside of the housing are sequentially provided.
(2) Configuration of cooling coil

また、この冷却コイル部4には、例えば、上流側に第1の冷却コイル4aが、その下流側に第2の冷却コイル4bが配設されている。なお、それぞれの冷却コイル4a、bの上流側には、第1,2の気化式加湿器4c、dが配設されており、さらに、冷却コイル4bの下流側には第3の気化式加湿器4eが設けられている。そして、冷却コイル部4の上方から水が滴下するように構成され、その滴下水を貯留する循環水槽7が冷却コイル部4の下部に配設されている。   Further, in the cooling coil section 4, for example, a first cooling coil 4a is disposed on the upstream side, and a second cooling coil 4b is disposed on the downstream side thereof. In addition, the 1st and 2nd vaporization type humidifiers 4c and d are arrange | positioned in the upstream of each cooling coil 4a and b, Furthermore, the 3rd vaporization type humidification is downstream in the cooling coil 4b. A container 4e is provided. And it is comprised so that water may dripped from the upper direction of the cooling coil part 4, and the circulating water tank 7 which stores the dripped water is arrange | positioned in the lower part of the cooling coil part 4. FIG.

なお、これらの第1、2の冷却コイル4a、b及び第1、2、3の気化式加湿器4c、d、eに供給される水は、空気の流れと対向流となるように、下流側の第3の気化式加湿器4eから上流側の第1の気化式加湿器4cに流れるよう構成されている。また、下流側の第2の冷却コイル4bには、例えば、冷凍機等の冷却水供給装置(図示せず)に接続された第2の冷却水供給ライン22が接続され、上流側の第1の冷却コイル4aには、第1の冷却水供給ライン21が接続されている。そのため、冷却水を循環水槽7を介さず直接冷却コイル4a、bに供給することができる。   The water supplied to the first and second cooling coils 4a, b and the first, second, and third vaporizing humidifiers 4c, d, e is downstream so that the air flows in a counterflow. It is configured to flow from the third vaporizer humidifier 4e on the side to the first vaporizer humidifier 4c on the upstream side. Further, the second cooling coil 4b on the downstream side is connected to a second cooling water supply line 22 connected to a cooling water supply device (not shown) such as a refrigerator, for example, and the first cooling coil on the upstream side. A first cooling water supply line 21 is connected to the cooling coil 4a. Therefore, the cooling water can be directly supplied to the cooling coils 4a and 4b without using the circulating water tank 7.

そして、冷却コイル部4の最下流側に位置する第3の気化式加湿器4eの上方には、純水供給ライン23が接続されており、気化式加湿器に純水が供給できるよう構成されている。また、第2の冷却水供給ライン22が接続された冷却コイル4bの上方には、循環水槽7から水を循環供給するよう第2の滴下水供給ライン25が設けられ、第1の冷却水供給ライン21が接続された冷却コイル4aの上方には、循環水槽7から水を循環供給するよう第1の滴下水供給ライン24が設けられている。すなわち、この滴下水供給ライン24、25によって、第1、2の冷却コイル4a、bの各々を濡れ壁とすることが可能となる。   And the pure water supply line 23 is connected above the 3rd vaporization type humidifier 4e located in the most downstream side of the cooling coil part 4, and it is comprised so that a pure water can be supplied to a vaporization type humidifier. ing. Further, a second dropped water supply line 25 is provided above the cooling coil 4b to which the second cooling water supply line 22 is connected so as to circulate and supply water from the circulating water tank 7. Above the cooling coil 4a to which the line 21 is connected, a first dropped water supply line 24 is provided so as to circulate and supply water from the circulating water tank 7. That is, each of the first and second cooling coils 4a and 4b can be made a wet wall by the dropped water supply lines 24 and 25.

さらに、気化式加湿器4cには、第3の滴下水供給ライン26が接続され、第4の気化式加湿器4dには、滴下水供給ライン27が接続され、循環水槽7内に貯留された水を循環供給することが可能となるよう構成されている。すなわち、循環水槽7から冷却コイル4a、bや気化式加湿器4c〜eに水を循環供給する構成が空調システムが有する循環系に対応する。なお、循環水槽7内の水を冷却コイル4a、bや気化式加湿器4c、d、eの上方から供給させるための動力源となるポンプ28〜31も設置されている。   Further, the third drip water supply line 26 is connected to the vaporizing humidifier 4c, and the drip water supply line 27 is connected to the fourth vaporizing humidifier 4d and stored in the circulating water tank 7. It is configured to be able to circulate and supply water. That is, the configuration in which water is circulated from the circulating water tank 7 to the cooling coils 4a and 4b and the vaporizing humidifiers 4c to e corresponds to the circulation system of the air conditioning system. Pumps 28 to 31 that are power sources for supplying the water in the circulating water tank 7 from above the cooling coils 4a, b and the vaporizing humidifiers 4c, d, e are also installed.

また、この冷却コイル部4の冷却コイル4a、bや気化式加湿器4c〜eは、本発明の特徴部分ではないため、上記の構成に限定せず、他の構成態様を有する実施形態でもよいものとする。例えば、冷却コイルを上記の2段に限定せず、複数段有するものであってもかまわず、また、気化式加湿器の数や配置も限定するものではない。さらに、上記構成例では、冷却コイル4a、bや複数の気化式加湿器4c〜eに循環供給するための水を貯留する循環水槽7が一つであったのに対し、これを冷却コイルごとに分割して構成した実施形態も本発明は包含するものである。   In addition, the cooling coils 4a and 4b and the vaporizing humidifiers 4c to 4e of the cooling coil unit 4 are not a characteristic part of the present invention, and thus are not limited to the above-described configuration, and may be an embodiment having other configuration modes. Shall. For example, the cooling coil is not limited to the above two stages, and may have a plurality of stages, and the number and arrangement of the vaporizing humidifiers are not limited. Furthermore, in the above configuration example, there is one circulating water tank 7 for storing water for circulating supply to the cooling coils 4a and 4b and the plurality of vaporizing humidifiers 4c to 4e. The present invention also includes embodiments that are divided into two.

なお、本発明は、図1のような循環水槽内の水を循環して気化式加湿器等に滴下する循環式に限定するものでなく、熱交換コイルを用いずに気化式加湿器のみを備え、当該気化式加湿器に純水供給ラインを通じて純水を直接供給する実施形態も包含する。   In addition, this invention is not limited to the circulation type which circulates the water in a circulating water tank like FIG. 1, and is dripped at a vaporization type humidifier etc., Only a vaporization type humidifier is used, without using a heat exchange coil. The embodiment also includes an embodiment in which pure water is directly supplied to the vaporizing humidifier through a pure water supply line.

ここで、本発明の技術的特徴部分である循環水槽7内部及び周辺の構成を以下に説明する。まず、図1に記載の循環水槽7を見ても明らかなように、循環水槽7中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる微細気泡発生器8が設置されている。   Here, the structure inside and around the circulating water tank 7, which is a technical feature of the present invention, will be described below. First, as is clear from the circulating water tank 7 shown in FIG. 1, a fine bubble generator 8 that generates microbubbles or micro-nano bubbles is installed in the circulating water tank 7.

この微細気泡発生器8とは、循環水槽7内の水を用いてマイクロバブルとマイクロナノバブルを発生させるものであり、このマイクロバブル又はマイクロナノバブルが汚染物質を分解することにより殺菌効果や洗浄効果を期待することができる。すなわち、当該バブルを発生させることにより、このバブルが循環水槽7内に付着するヌルや藻を分解し、これらの発生を抑制することが可能となる。ここで、マイクロバブルとは、発生時に気泡の直径が主に10Mm〜数十Mmの微細な気泡のことをいい、マイクロナノバブルとは、さらに気泡径がナノサイズ(nm)の気泡のことをいう。   The microbubble generator 8 generates microbubbles and micro / nano bubbles using the water in the circulating water tank 7, and the micro bubbles or micro / nano bubbles decompose the pollutants to provide a sterilizing effect and a cleaning effect. You can expect. That is, by generating the bubbles, it is possible to decompose nulls and algae attached to the circulating water tank 7 and suppress the generation of these. Here, the microbubble means a fine bubble having a bubble diameter of mainly 10 Mm to several tens of Mm at the time of generation, and the micro-nanobubble means a bubble having a nanosize (nm). .

なお、マイクロバブル及びマイクロナノバブルを発生させる手段として本実施形態では、水と空気を超高速で旋回させることで当該バブルを発生させる超高速旋回方式を用いているが、超音波方式や加圧溶解法等を採用することも可能であり、これに限定するものではない。   In this embodiment, as a means for generating microbubbles and micronanobubbles, an ultra-high speed swirling method is used in which bubbles are generated by swirling water and air at an ultra high speed. It is also possible to adopt a law or the like, and the present invention is not limited to this.

ここで、本発明が利用している超高速旋回方式とは、微細気泡発生器8内を超高速で旋回させることにより、旋回気体空洞部を形成させ、その旋回気体空洞部を発生器内部と出口付近に生じた旋回速度差により切断することでマイクロバブル及びマイクロナノバブルを発生させるものである。また、このバブルを発生させるために、微細気泡発生器8に空調機外の空気を空気供給ライン12を通じて自吸させ、さらに動力としてポンプ9を用い、循環水槽7内の水を微細気泡発生器8に供給している。   Here, the ultra-high speed swirling method utilized by the present invention is to form a swirling gas cavity by swirling the inside of the fine bubble generator 8 at an ultra high speed, and the swirling gas cavity is defined as the inside of the generator. Microbubbles and micronanobubbles are generated by cutting due to the difference in swirling speed generated in the vicinity of the exit. Further, in order to generate this bubble, the fine bubble generator 8 causes air outside the air conditioner to self-suck through the air supply line 12 and further uses the pump 9 as power to remove the water in the circulating water tank 7 from the fine bubble generator. 8 is supplied.

なお、発生したマイクロバブル及びマイクロナノバブルは、上述した通り、洗浄効果や吸着作用を有するので、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを含む水を滴下水供給ライン24、25を通じて冷却コイル4a、bのコイルフィン部に滴下することで、フィン表面の汚れを洗い流すことができる。そのため、冷却コイル4a、bの濡れ性能を確保することができ、熱交換効率が低下せず、所定の性能を発揮することが可能となる。   Since the generated microbubbles and micronanobubbles have a cleaning effect and an adsorption action as described above, water containing microbubbles or micronanobubbles is added to the coil fin portions of the cooling coils 4a and b through the dropped water supply lines 24 and 25. By dripping, the dirt on the fin surface can be washed away. Therefore, the wetting performance of the cooling coils 4a, b can be ensured, the heat exchange efficiency is not lowered, and the predetermined performance can be exhibited.

また、この微細気泡発生器8の配置に関して、図1では、循環水槽7内の下流側に設置しているが、この形態に限定するものでなく、循環水槽7が図2のように冷却コイルごとに分割されている場合では、当該分割された水槽内にそれぞれ微細気泡発生器8を設置する構成としてもよい。   Further, regarding the arrangement of the fine bubble generator 8, in FIG. 1, it is installed on the downstream side in the circulating water tank 7. However, the present invention is not limited to this configuration, and the circulating water tank 7 has a cooling coil as shown in FIG. In the case where it is divided every time, the fine bubble generator 8 may be installed in each of the divided water tanks.

具体的には、図2の通り、循環水槽7aに第1の冷却コイル4aと第2の気化式加湿器4dの滴下水が貯留し、循環水槽7bに第2の冷却コイル4bと第3の気化式加湿器4eの滴下水が貯留し、循環している。また、第1の気化式加湿器4cの下部にも滴下水を貯留する循環水槽7cを設けている。なお、冷却コイルと気化式加湿器の下部に設置された水槽をさらに分割してもよく、水が循環供給されることが可能であれば当該構成に限定されるものではない。   Specifically, as shown in FIG. 2, dripping water from the first cooling coil 4a and the second vaporizing humidifier 4d is stored in the circulating water tank 7a, and the second cooling coil 4b and the third cooling water are stored in the circulating water tank 7b. Dropped water from the vaporizing humidifier 4e is stored and circulated. Moreover, the circulating water tank 7c which stores dripping water is provided also in the lower part of the 1st vaporization type humidifier 4c. In addition, the water tank installed in the lower part of a cooling coil and a vaporization type humidifier may be further divided | segmented, and it is not limited to the said structure if water can be circulated and supplied.

また、図3のように、循環水槽7に供給する循環水を貯留する貯留タンク10と、貯留タンク10内の循環水を循環水槽7に供給し、又は循環水槽7から受給するための動力源となるポンプ10a、10bを備え、当該貯留タンク10内に微細気泡発生器8を設置する構成とすることも可能である。このように別途設けた貯留タンク10内に微細気泡発生器8を設置することで、微細気泡発生器8が故障した際も空調システム自体を停止せずに容易にメンテナンスを行うことが可能となり、また当該発生器8の交換も手軽に行うことができる。さらに、既存の空調システムに後付で当該貯留タンク10と共に微細気泡発生器8を装着することもできる。   Further, as shown in FIG. 3, a storage tank 10 for storing the circulating water supplied to the circulating water tank 7, and a power source for supplying the circulating water in the storing tank 10 to the circulating water tank 7 or receiving from the circulating water tank 7. It is also possible to have a configuration in which the fine bubble generator 8 is installed in the storage tank 10. By installing the fine bubble generator 8 in the storage tank 10 separately provided in this way, even when the fine bubble generator 8 breaks down, it becomes possible to easily perform maintenance without stopping the air conditioning system itself. Further, the generator 8 can be easily replaced. Furthermore, the fine bubble generator 8 can be attached to the existing air conditioning system along with the storage tank 10 later.

[1.2.作用]
以上のような図1の構成を有する本実施形態の空調システムは、以下のように作用する。なお、取入口からチャンバの内部に導入された処理対象となる空調処理に関しては、本発明の特徴となる作用ではないので省略する。
[1.2. Action]
The air conditioning system of the present embodiment having the configuration of FIG. 1 as described above operates as follows. Note that the air-conditioning process to be processed introduced into the chamber from the intake port is not an operation that is a feature of the present invention, and thus will be omitted.

まず、第3の気化式加湿器4eに純水供給ライン23を介して常時、純水が供給され、その滴下水が第1、2の冷却コイル4a、b及び第1〜3の気化式加湿器4c〜eの下部に設置された循環水槽7に貯留される。ここで、循環水槽7内に設置した微細気泡発生器8が、空気供給ライン12を通じて空気を自吸し、ポンプ9により循環水槽7内の水を循環させることで、循環水槽7の水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる。   First, pure water is always supplied to the third vaporizing humidifier 4e via the pure water supply line 23, and the dripped water is supplied to the first and second cooling coils 4a and 4b and the first to third vaporizing humidifiers. It is stored in the circulating water tank 7 installed in the lower part of the containers 4c to 4e. Here, the fine bubble generator 8 installed in the circulating water tank 7 self-sucks air through the air supply line 12, and circulates the water in the circulating water tank 7 by the pump 9. Microbubbles or micronano bubbles are generated.

そして、ポンプ28〜31によって、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有した水を前記循環水槽7から順次上流側の第2の冷却コイル4b、第2の気化式加湿器4d、第1の冷却コイル4a、第1の気化式加湿器4cの上部に供給する。具体的には、第2の冷却コイル4bには、ポンプ31によって、循環水槽7から第2の滴下水供給ライン25を介して、滴下水が供給される。また、第2の気化式加湿器4dには、ポンプ30によって、第4の滴下水供給ライン27を介して滴下水が供給される。そして、第1の冷却コイル4aには、ポンプ29によって、第1の滴下水供給ライン24を介して滴下水が供給され、第1の気化式加湿器4cに、ポンプ28により第3の滴下水供給ライン26を介して滴下水が供給される。   And by the pumps 28-31, the second cooling coil 4b, the second vaporizing humidifier 4d on the upstream side, the first cooling coil 4a, the water containing the micro bubbles or the micro nano bubbles from the circulating water tank 7 in order. It supplies to the upper part of the 1st vaporization type humidifier 4c. Specifically, dropped water is supplied to the second cooling coil 4 b from the circulating water tank 7 through the second dropped water supply line 25 by the pump 31. In addition, the second vaporizing humidifier 4d is supplied with dropped water by a pump 30 via a fourth dropped water supply line 27. Then, the first cooling coil 4a is supplied with the dropped water by the pump 29 via the first dropped water supply line 24, and the first vaporizing humidifier 4c is supplied with the third dropped water by the pump 28. Dropped water is supplied through the supply line 26.

なお、夏季においては、冷却コイル4aには冷却水供給ライン22を通じて、また冷却コイル4bには冷却水供給ライン21を通じて冷却水が供給され、滴下した冷却水も循環水槽7に貯留されるので、この貯留した水にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを含ませて冷却コイル4a、bや気化式加湿器4c〜eに循環供給している。   In summer, cooling water is supplied to the cooling coil 4a through the cooling water supply line 22 and cooling water to the cooling coil 4b through the cooling water supply line 21, and the dropped cooling water is also stored in the circulating water tank 7. The stored water is circulated and supplied to the cooling coils 4 a and b and the vaporizing humidifiers 4 c to e by including micro bubbles or micro nano bubbles.

また、図2の循環水槽7を冷却コイルごとに分割して循環水槽7a、bとした場合においても同様に、各循環水槽から上部に有する冷却コイルと気化式加湿器に滴下水を循環供給する。具体的には、まず、第3の気化式加湿器4eに純水供給ライン23を介して常時、純水が供給され、その滴下水が第2の冷却コイル4b及び第3の気化式加湿器4eの下部に設置された循環水槽7bに貯留される。そして、循環水槽7b内に設置した微細気泡発生器8bが、空気供給ライン12bを通じて空気を自吸し、ポンプ9bにより循環水槽7b内の水を当該発生器8bに供給させることで、循環水槽7bの水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる。   Similarly, when the circulating water tank 7 of FIG. 2 is divided into cooling coils to form the circulating water tanks 7a and 7b, the dropped water is circulated and supplied from each circulating water tank to the cooling coil and vaporizing humidifier at the top. . Specifically, first, pure water is always supplied to the third vaporizing humidifier 4e via the pure water supply line 23, and the dripped water is supplied to the second cooling coil 4b and the third vaporizing humidifier. It is stored in the circulating water tank 7b installed at the lower part of 4e. And the fine bubble generator 8b installed in the circulating water tank 7b self-sucks air through the air supply line 12b, and the water in the circulating water tank 7b is supplied to the generator 8b by the pump 9b, whereby the circulating water tank 7b. Microbubbles or micronanobubbles are generated in the water.

そして、ポンプ31によって、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有した水を前記循環水槽7bから第2の滴下水供給ライン25を通じて第2の冷却コイル4bに供給する。そして、その滴下水を同様に循環水槽7bに貯留し、ポンプ30によって、第2の気化式加湿器4dに第4の滴下水供給ライン27を介して供給する。   Then, the pump 31 supplies water containing micro bubbles or micro nano bubbles from the circulating water tank 7b to the second cooling coil 4b through the second dripping water supply line 25. Then, the dropped water is similarly stored in the circulating water tank 7 b and supplied to the second vaporizing humidifier 4 d by the pump 30 via the fourth dropped water supply line 27.

なお、この第2の気化式加湿器4dと第1の冷却コイル4aの下部には、分割された循環水槽7aが設置されており、第2の気化式加湿器4dに供給された滴下水がこの循環水槽7aに貯留される。ここで、循環水槽7a内に設置した微細気泡発生器8aが、空気供給ライン12aを通じて空気を自吸し、ポンプ9aにより循環水槽7a内の当該発生器8aに供給させることで、循環水槽7aの水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させている。   A divided circulating water tank 7a is installed below the second vaporizing humidifier 4d and the first cooling coil 4a, and the dropped water supplied to the second vaporizing humidifier 4d It is stored in this circulating water tank 7a. Here, the fine bubble generator 8a installed in the circulating water tank 7a sucks air through the air supply line 12a and supplies it to the generator 8a in the circulating water tank 7a by the pump 9a. Microbubbles or micronanobubbles are generated in the moisture.

そして、ポンプ29により、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを含有した水を循環水槽7aから第1の滴下水供給ライン24を通じて第1の冷却コイル4aに供給し、さらに当該水をポンプ28によって第1の気化式加湿器4cに第3の滴下水供給ラインを介して供給する。   Then, water containing microbubbles or micro-nanobubbles is supplied from the circulating water tank 7 a to the first cooling coil 4 a through the first dripping water supply line 24 by the pump 29, and the water is first vaporized by the pump 28. It supplies to a type | formula humidifier 4c through a 3rd dripping water supply line.

なお、夏季においては、冷却コイル4aには冷却水供給ライン22を通じて、また冷却コイル4bには冷却水供給ライン21を通じて冷却水が供給され、滴下した冷却水も循環水槽7a、bに貯留されるので、この貯留した水にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを含ませて冷却コイル4a、bや気化式加湿器4c〜eに循環供給している。   In summer, cooling water is supplied to the cooling coil 4a through the cooling water supply line 22 and cooling water is supplied to the cooling coil 4b through the cooling water supply line 21, and the dropped cooling water is also stored in the circulating water tanks 7a and 7b. Therefore, microbubbles or micro-nanobubbles are included in the stored water and are circulated and supplied to the cooling coils 4a and 4b and the vaporizing humidifiers 4c to 4e.

また、図3のような貯留タンク10を設け、当該タンク10内に微細気泡発生器8を配設した構成では、この微細気泡発生器8により予め貯留タンク10内に補給された純水中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させ、当該バブルを含んだ水を循環水として循環水槽7中にポンプ10aを用いて供給しておく。その後は、図1に示した空調システムと同様に、循環水槽7からポンプ28〜31によって、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを含んだ水が順次上流側の第2の冷却コイル4b、第2の気化式加湿器4d、第1の冷却コイル4a、第1の気化式加湿器4cの上部に供給される。   Further, in the configuration in which the storage tank 10 as shown in FIG. 3 is provided and the fine bubble generator 8 is disposed in the tank 10, the pure water replenished in the storage tank 10 in advance by the fine bubble generator 8 is used. Micro bubbles or micro nano bubbles are generated, and water containing the bubbles is supplied as circulating water to the circulating water tank 7 using the pump 10a. Thereafter, similarly to the air conditioning system shown in FIG. 1, the water containing microbubbles or micronanobubbles is sequentially supplied from the circulating water tank 7 by the pumps 28 to 31 to the second cooling coil 4b on the upstream side, the second vaporization type. It is supplied to the upper part of the humidifier 4d, the first cooling coil 4a, and the first vaporizing humidifier 4c.

以上のような態様では、マイクロバブル又はマイクロナノバブルを熱交換コイルや気化式加湿器の下部に設置した循環水槽中に発生させているので、当該水槽内のヌルや藻の発生を抑制することができる。さらに、このようなバブルを含有した水がコイルフィン部に滴下されることにより、コイルフィン部に付着した汚染物質を洗い流すことができるため、熱交換コイルの性能の低下を防ぐことが可能である。   In the above aspects, since microbubbles or micronanobubbles are generated in the circulating water tank installed in the lower part of the heat exchange coil or the vaporizing humidifier, it is possible to suppress the generation of nulls and algae in the water tank. it can. Furthermore, since water containing such bubbles is dropped onto the coil fin portion, contaminants attached to the coil fin portion can be washed away, so that it is possible to prevent the performance of the heat exchange coil from being deteriorated. .

[2.他の実施形態]
[2.1.他の実施形態(1)]
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、以下のようなオゾン発生器11を循環水槽7に設置した実施形態も包含する(図4)。
[2. Other Embodiments]
[2.1. Other Embodiment (1)]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but also includes an embodiment in which the following ozone generator 11 is installed in the circulating water tank 7 (FIG. 4).

具体的には、このオゾン発生器11は、図4の通り、微細気泡発生器8に接続された空気供給ライン12に配設されており、生成するマイクロバブル又はマイクロナノバブルにオゾン発生器11で発生させたオゾンを含有させている。そのため、マイクロバブル又はマイクロナノバブルがオゾンの殺菌効果を飛躍的に高めさせ、水中の菌を不活性化させることが可能となる。   Specifically, as shown in FIG. 4, the ozone generator 11 is disposed in an air supply line 12 connected to the fine bubble generator 8. Contains the generated ozone. Therefore, microbubbles or micronanobubbles can dramatically enhance the sterilizing effect of ozone and inactivate bacteria in water.

なお、オゾン発生器11は、二つの電極間に交流の高電圧を流し、その電極間に空気を通過させることで放電プラズマ中のイオンの持つエネルギーによって酸素をオゾン化する無声放電法が主流であり、本件もこの方式を用いているが、特に限定するものではなく、化学生成法や電解法等を用いることも可能である。   The ozone generator 11 mainly uses a silent discharge method in which oxygen is ozonized by the energy of ions in the discharge plasma by passing an alternating high voltage between the two electrodes and passing air between the electrodes. Yes, this method also uses this method, but it is not particularly limited, and a chemical generation method, an electrolysis method, or the like can also be used.

また、マイクロバブル又はマイクロナノバブルは、自己加圧効果を有するので、濃度の低いオゾンを供給するとしても作用時には高圧化された条件でオゾンが作用する。つまり、高圧化したオゾンと吸着する物質が作用するので、低いオゾン濃度でも汚染物質を分解することができる。   In addition, since microbubbles or micronanobubbles have a self-pressurizing effect, even if ozone having a low concentration is supplied, ozone acts under conditions of high pressure during operation. In other words, since the high-pressure ozone and the adsorbing substance act, the pollutant can be decomposed even at a low ozone concentration.

なお、オゾン発生器11の設置位置は、循環水槽7内にオゾンを吹き込むことができれば、図4のような微細気泡発生器8に接続された空気供給ライン12にオゾン発生器11を設置する態様に限定しない。また、図3のように別途貯留タンク10を設ける構成では、当該貯留タンク10内に設置された微細気泡発生器8に接続された空気供給ライン12中にオゾン発生器11を接続するケースも考えられる(図5)。図5の構成の場合では、微細気泡発生器8により発生させるマイクロバブル又はマイクロナノバブルにオゾン発生器11で発生させたオゾンを含有させているため、上記同様、マイクロバブル又はマイクロナノバブルがオゾンの殺菌効果を飛躍的に高めさせ、水中の菌を不活性化させることが可能となる。   In addition, if the ozone generator 11 can be installed in the circulating water tank 7, the ozone generator 11 is installed in the air supply line 12 connected to the fine bubble generator 8 as shown in FIG. It is not limited to. Further, in the configuration in which a separate storage tank 10 is provided as shown in FIG. 3, a case where the ozone generator 11 is connected to the air supply line 12 connected to the fine bubble generator 8 installed in the storage tank 10 is also considered. (FIG. 5). In the case of the configuration of FIG. 5, since the ozone generated by the ozone generator 11 is contained in the microbubbles or micronanobubbles generated by the microbubble generator 8, the microbubbles or micronanobubbles are sterilized by ozone as described above. It is possible to dramatically increase the effect and inactivate bacteria in the water.

[2.2.他の実施形態(2)]
なお、本発明は、上記実施形態に限定するものでなく、図6の通り、微細気泡発生器8に接続された空気供給ライン12に粒子除去フィルタ、カチオン除去フィルタ、アニオン除去フィルタ、有機物質除去フィルタのうち少なくとも一つを備える実施形態も包含する。
[2.2. Other embodiment (2)]
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A particle | grain removal filter, a cation removal filter, an anion removal filter, organic substance removal is connected to the air supply line 12 connected to the fine bubble generator 8 as FIG. Embodiments comprising at least one of the filters are also encompassed.

すなわち、微細気泡発生器8へ供給する空気の洗浄化を図るために、空気供給ライン12途中に粒子除去フィルタ13、カチオン除去フィルタ14、アニオン除去フィルタ15、有機物質除去フィルタ16を設置している。具体的には、粒子除去フィルタ13や有機物質除去フィルタ16を設けることにより、微細気泡発生器8への供給源となる外気中の粒子及び分子状の汚染物質を除去することが可能となり、当該汚染物質が循環水槽7内に供給されるいった問題を解決することができる。   That is, in order to clean the air supplied to the fine bubble generator 8, a particle removal filter 13, a cation removal filter 14, an anion removal filter 15, and an organic substance removal filter 16 are installed in the air supply line 12. . Specifically, by providing the particle removal filter 13 and the organic substance removal filter 16, it becomes possible to remove particles and molecular contaminants in the outside air serving as a supply source to the fine bubble generator 8. The problem that the pollutant is supplied into the circulating water tank 7 can be solved.

また、粒子及び分子状汚染物質を除去するだけでなく、カチオン除去フィルタ14及びアニオン除去フィルタ15を空気供給ライン12中に備えることにより、外気中に存在するカチオン(陽イオン)及びアニオン(陰イオン)を吸着除去することができる。つまり、空気を汚染する原因となるイオンを除去することにより、汚染物質を含有するバブルが循環水槽内に供給される問題を解消する。   In addition to removing particles and molecular contaminants, the cation removal filter 14 and the anion removal filter 15 are provided in the air supply line 12 so that cations (cations) and anions (anions) present in the outside air can be obtained. ) Can be removed by adsorption. That is, the problem that bubbles containing pollutants are supplied into the circulating water tank is eliminated by removing ions that cause air pollution.

なお、本実施形態は、図2〜図5の実施形態で設置される微細気泡発生器においても、当該発生器に接続される空気供給ラインに、粒子除去フィルタ、カチオン除去フィルタ、アニオン除去フィルタ、有機物質除去フィルタのうち少なくとも一つを備える構成を包含する。   In addition, this embodiment is also a fine bubble generator installed in the embodiment of FIGS. 2 to 5, in the air supply line connected to the generator, a particle removal filter, a cation removal filter, an anion removal filter, A configuration including at least one of the organic substance removal filters is included.

また、図6では、第3の気化式加湿器4eの下流に汚染物質除去用のケミカルフィルタ17を設け、気化式加湿器を通過した空気がケミカルフィルタ17を通り、当該フィルタ17を通過した空気の一部がポンプなど(図示しない)を動力源として微細気泡発生器8に供給されるよう構成されている。なお、本発明は、ケミカルフィルタ17を設けなくても、気化式加湿器4c〜eを通過した空気の一部を空気供給ライン12へ供給する実施形態も包含している。   Moreover, in FIG. 6, the chemical filter 17 for contaminant removal is provided downstream of the 3rd vaporization type humidifier 4e, and the air which passed the vaporization type humidifier passes the chemical filter 17, and the air which passed the said filter 17 is shown. Is supplied to the fine bubble generator 8 using a pump or the like (not shown) as a power source. The present invention also includes an embodiment in which a part of the air that has passed through the vaporizing humidifiers 4 c to e is supplied to the air supply line 12 without providing the chemical filter 17.

そのため、空気供給ライン12を流れ、微細気泡発生器8へ供給される空気中の汚染物質が除去されるので、空気供給ライン12に設置したカチオン除去フィルタ14及びアニオン除去フィルタ15の寿命を延ばすことが可能となる。また、空気供給ライン12に供給される当該ケミカルフィルタ17を通過した空気の純度が高い場合には、カチオン除去フィルタ14及びアニオン除去フィルタ15の設置が不要となるため、イニシャルコストの低減も図ることができる。   Therefore, since contaminants in the air that flows through the air supply line 12 and is supplied to the fine bubble generator 8 are removed, the lifetimes of the cation removal filter 14 and the anion removal filter 15 installed in the air supply line 12 are extended. Is possible. Further, when the purity of the air that has passed through the chemical filter 17 supplied to the air supply line 12 is high, it is not necessary to install the cation removal filter 14 and the anion removal filter 15, so that the initial cost can be reduced. Can do.

[2.3.他の実施形態(3)]
また、図1〜図6では図示していないが、本発明は、図7の通り、循環水槽7にドレン配管18を設けており、当該ドレン配管18中にpH計19及び導電率計20を設置する実施形態を包含する。すなわち、循環水槽7からドレン配管18を流れるドレン水のpH値及び導電率を計測することで、当該pH値及び導電率に応じて気化式加湿器や熱交換コイルに供給する純水供給量を調整することができる。
[2.3. Other Embodiment (3)]
Although not shown in FIGS. 1 to 6, in the present invention, a drain pipe 18 is provided in the circulating water tank 7 as shown in FIG. 7, and a pH meter 19 and a conductivity meter 20 are provided in the drain pipe 18. Includes embodiments to be installed. That is, by measuring the pH value and conductivity of drain water flowing from the circulating water tank 7 through the drain pipe 18, the amount of pure water supplied to the vaporizing humidifier and the heat exchange coil according to the pH value and conductivity is determined. Can be adjusted.

すなわち、計測したpH値及び導電率によりドレン水に溶解している電解質の量を推定することで、水の純度を取得することができ、純度が高い場合には気化式加湿器等に供給する純水量を減らすよう調節することが可能となる。そのため、ランニングコストの低減を図ることができる。なお、本実施形態では、図7の通り、pH計19及び導電率計20をドレン配管18中に設けているが、この構成に限定するものでなく、当該pH計19及び導電率計20を循環水槽7内に配設する構成とする実施形態も本発明は包含する。   That is, by estimating the amount of electrolyte dissolved in the drain water based on the measured pH value and conductivity, the purity of the water can be obtained, and if the purity is high, it is supplied to a vaporizing humidifier or the like. Adjustments can be made to reduce the amount of pure water. Therefore, the running cost can be reduced. In this embodiment, as shown in FIG. 7, the pH meter 19 and the conductivity meter 20 are provided in the drain pipe 18, but the present invention is not limited to this configuration, and the pH meter 19 and the conductivity meter 20 are not limited to this configuration. The present invention includes embodiments that are configured to be disposed in the circulating water tank 7.

本発明に係る空調システムの全体構成を示す模式図(1)Schematic (1) which shows the whole structure of the air conditioning system which concerns on this invention 本発明に係る空調システムの全体構成を示す模式図(2)Schematic (2) which shows the whole structure of the air-conditioning system based on this invention 本発明に係る空調システムの全体構成を示す模式図(3)Schematic diagram (3) showing the overall configuration of the air conditioning system according to the present invention 本発明の他の実施形態(1)に係る空調システムにおいて循環水槽にオゾン発生器が設置された場合の全体構成を示す模式図The schematic diagram which shows the whole structure when an ozone generator is installed in the circulating water tank in the air-conditioning system which concerns on other embodiment (1) of this invention. 本発明の他の実施形態(1)に係る空調システムにおいて貯留タンクにオゾン発生器が設置された場合の全体構成を示す模式図The schematic diagram which shows the whole structure when an ozone generator is installed in the storage tank in the air-conditioning system which concerns on other embodiment (1) of this invention. 本発明の他の実施形態(2)を示す模式図Schematic diagram showing another embodiment (2) of the present invention 本発明の他の実施形態(3)を示す模式図Schematic diagram showing another embodiment (3) of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

1…プレフィルタ
2…中性能フィルタ
3…第1の加熱コイル
4…冷却コイル部
4a…冷却コイル
4b…冷却コイル
4c〜e…気化式加湿器
5…第2の加熱コイル
6…送風機
7…循環水槽
7a〜c…循環水槽
8…微細気泡発生器
8a…マイクロナノバブル
8b…マイクロナノバブル
9…ポンプ
9a…ポンプ
9b…ポンプ
10…貯留タンク
10a…ポンプ
10b…ポンプ
11…オゾン発生器
12…空気供給ライン
12a…空気供給ライン
12b…空気供給ライン
13…粒子除去フィルタ
14…カチオン除去フィルタ
15…アニオン除去フィルタ
16…有機物質除去フィルタ
17…ケミカルフィルタ
18…ドレン配管
19…pH計
20…導電率計
21…冷却水供給ライン
22…冷却水供給ライン
23…純水供給ライン
24〜27…滴下水供給ライン
28〜31…ポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Pre filter 2 ... Medium performance filter 3 ... 1st heating coil 4 ... Cooling coil part 4a ... Cooling coil 4b ... Cooling coil 4c-e ... Evaporative humidifier 5 ... 2nd heating coil 6 ... Blower 7 ... Circulation Water tank 7a-c ... Circulating water tank 8 ... Fine bubble generator 8a ... Micro / nano bubble 8b ... Micro / nano bubble 9 ... Pump 9a ... Pump 9b ... Pump 10 ... Storage tank 10a ... Pump 10b ... Pump 11 ... Ozone generator 12 ... Air supply line 12a ... Air supply line 12b ... Air supply line 13 ... Particle removal filter 14 ... Cation removal filter 15 ... Anion removal filter 16 ... Organic substance removal filter 17 ... Chemical filter 18 ... Drain pipe 19 ... pH meter 20 ... Conductivity meter 21 ... Cooling water supply line 22 ... Cooling water supply line 23 ... Pure water supply lines 24-27 ... Drip water supply line 8 to 31 ... pump

Claims (9)

温湿度調整に用いる水を循環させる循環系を有する空調システムであって、
前記循環系は、循環させる水を貯留する循環水槽を備え、
前記循環水槽には、貯留した水分中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる微細気泡発生器が配設されたことを特徴とする空調システム。
An air conditioning system having a circulation system for circulating water used for temperature and humidity adjustment,
The circulation system includes a circulation water tank for storing water to be circulated,
An air conditioning system, wherein the circulating water tank is provided with a microbubble generator for generating microbubbles or micronanobubbles in the stored water.
空気温度調整用のコイルと、空気湿度調整用の気化式加湿器の少なくとも一方を備え、
前記循環水槽は、前記空気温度調整用のコイル及び/又は空気湿度調整用の気化式加湿器の下部に設置され、
前記空気温度調整用のコイル及び/又は前記空気湿度調整用の気化式加湿器には、前記循環系により水が上部から滴下供給され、
前記循環水槽が、前記空気温度調整用のコイル及び/又は空気湿度調整用の気化式加湿器から滴下した水を一時的に貯留することを特徴とする請求項1に記載の空調システム。
It has at least one of a coil for adjusting the air temperature and a vaporizing humidifier for adjusting the air humidity,
The circulating water tank is installed in the lower part of the coil for adjusting the air temperature and / or the vaporizing humidifier for adjusting the air humidity,
The coil for air temperature adjustment and / or the vaporizing humidifier for air humidity adjustment is supplied with water dropwise from above by the circulation system,
2. The air conditioning system according to claim 1, wherein the circulating water tank temporarily stores water dripped from the air temperature adjusting coil and / or a vaporizing humidifier for adjusting air humidity.
温湿度調整に用いる水を循環させる循環系を有する空調システムであって、
前記循環系は、循環させる水を貯留する循環水槽と、
前記循環水槽に循環水を供給するための貯留タンクを備え、
前記貯留タンク内に貯留水中にマイクロバブル又はマイクロナノバブルを発生させる微細気泡発生器が配設されたことを特徴とする空調システム。
An air conditioning system having a circulation system for circulating water used for temperature and humidity adjustment,
The circulation system includes a circulation water tank for storing water to be circulated;
A storage tank for supplying circulating water to the circulating water tank;
An air conditioning system comprising a microbubble generator for generating microbubbles or micronanobubbles in stored water in the storage tank.
前記循環系の前記循環水槽には、循環水槽中にオゾンを吹き込むオゾン発生器が設けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の空調システム。   The air conditioning system according to claim 1 or 2, wherein the circulating water tank of the circulating system is provided with an ozone generator that blows ozone into the circulating water tank. 前記循環系の前記貯留タンクには、貯留水中にオゾンを吹き込むオゾン発生器が設けられたことを特徴とする請求項3に記載の空調システム。   The air conditioning system according to claim 3, wherein an ozone generator that blows ozone into the stored water is provided in the storage tank of the circulation system. 前記微細気泡発生器にマイクロバブル又はマイクロナノバブルの発生源となる空気を供給するための空気供給ラインが接続され、
前記空気供給ラインは、粒子除去フィルタ、カチオン除去フィルタ、アニオン除去フィルタ、有機物質除去フィルタのうち少なくとも一つを備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の空調システム。
An air supply line for supplying air that is a generation source of micro bubbles or micro nano bubbles is connected to the fine bubble generator,
The air conditioning system according to claim 1, wherein the air supply line includes at least one of a particle removal filter, a cation removal filter, an anion removal filter, and an organic substance removal filter.
前記空気供給ラインに供給する空気が、前記気化式加湿器を通過した空気であることを特徴とする請求項6に記載の空調システム。   The air conditioning system according to claim 6, wherein the air supplied to the air supply line is air that has passed through the vaporizing humidifier. 前記気化式加湿器の下流に汚染物質除去用のケミカルフィルタを備え、
前記空気供給ラインに供給する空気は、前記ケミカルフィルタを通過した空気であることを特徴とする請求項6に記載の空調システム。
Provided with a chemical filter for removing contaminants downstream of the vaporizing humidifier,
The air conditioning system according to claim 6, wherein the air supplied to the air supply line is air that has passed through the chemical filter.
前記循環水槽又は前記循環水槽からのドレン配管にpH計及び導電率計を設置することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の空調システム。   The air conditioning system according to any one of claims 1 to 8, wherein a pH meter and a conductivity meter are installed in the circulating water tank or a drain pipe from the circulating water tank.
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