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JP2008141078A - Connection structure of wiring board and connection inspecting method thereof - Google Patents

Connection structure of wiring board and connection inspecting method thereof Download PDF

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JP2008141078A
JP2008141078A JP2006327686A JP2006327686A JP2008141078A JP 2008141078 A JP2008141078 A JP 2008141078A JP 2006327686 A JP2006327686 A JP 2006327686A JP 2006327686 A JP2006327686 A JP 2006327686A JP 2008141078 A JP2008141078 A JP 2008141078A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connection structure in which the displacement of connection between wirings of wiring boards can be detected accurately and inexpensively with a small number of components by enabling a terminal originally provided in each wiring board to work as a displacement detecting terminal. <P>SOLUTION: In the connection structure of a wiring board, a specific connection terminal 12Aa of the wiring board has a shape different from that of each of the other connection terminals 12Ba, 12Ca, 12Da and includes an inspection portion 12Aaa in which a distance with the connection terminal 12Ba adjacent thereto becomes partially smaller. For the connection status between the connection terminal of the wiring board and the electrode terminal of another wiring board, the displacement of the connection status of the both can be accurately inspected on the basis of the presence of conduction status of the electrode terminal portion 11Ba contacting the inspecting portion 12Aaa. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、配線基板の接続構造およびその接続検査方法に関するものである。   The present invention relates to a wiring board connection structure and a connection inspection method thereof.

電子機器などでは、駆動信号や駆動電圧を供給するために配線基板を用いていて、2つの配線基板を接続して用いる場合がある。そのような場合には、例えば図7(a)に示すように、第1の配線基板の各電極端子部A1,A2,A3と第2の配線基板の各接続端子B1,B2,B3との配列ピッチを合わせて確実に接続する必要がある。その際に、例えば、前記電極端子部A1〜A3と接続端子B1〜B3とがその配列方向に位置ズレが生じることがあり、位置ズレが大きい場合は隣の電極端子部および接続端子と短絡を起こしてしまうことがある。そこで、配線基板同士を接続する際の位置ズレをチェックするための端子を設けて機能検査を行うことが考えられる。そのようなものとして、電子機器の駆動とは関係のないチェック用端子を別に設け、位置ズレを起こしたときに、チェック端子同士がずれるのを利用したものが知られている(例えば特許文献1,2,3参照)。   In electronic devices and the like, a wiring board is used to supply a driving signal and a driving voltage, and there are cases where two wiring boards are connected and used. In such a case, for example, as shown in FIG. 7A, the electrode terminal portions A1, A2, A3 of the first wiring board and the connection terminals B1, B2, B3 of the second wiring board are connected. It is necessary to connect securely by matching the arrangement pitch. At that time, for example, the electrode terminal portions A1 to A3 and the connection terminals B1 to B3 may be misaligned in the arrangement direction. When the misalignment is large, the electrode terminal portions A1 to A3 and the connection terminals are short-circuited. It may wake up. Therefore, it is conceivable to perform a function inspection by providing a terminal for checking a positional deviation when connecting the wiring boards. As such a device, a check terminal that is not related to driving of an electronic device is separately provided, and a device using the fact that the check terminals are shifted when a positional shift occurs is known (for example, Patent Document 1). , 2, 3).

このようにすれば、チェック用端子の導通検査により、導通の可否や抵抗値の差異に基づいて、電気的に一度に位置ずれを検知することができる。
特開平05−121854号公報(段落0021,0026および図1) 特開2003−158354号公報(段落0026,0030および図3) 特開2001−183692号公報(段落0035〜0037および図1,図2)
In this way, it is possible to electrically detect a positional shift at a time based on whether or not continuity is possible and a difference in resistance value by conducting a continuity check of the check terminal.
Japanese Patent Laid-Open No. 05-121854 (paragraphs 0021, 0026 and FIG. 1) Japanese Patent Laying-Open No. 2003-158354 (paragraphs 0026 and 0030 and FIG. 3) JP 2001-183692 A (paragraphs 0035 to 0037 and FIGS. 1 and 2)

しかしながら、上記特許文献1〜3に記載のものでは、電気的に役割を担う配線や端子に加えて、チェックのために配線や端子を特別に設けているので、本来必要な配線や端子以外に、余分に配線や端子を設ける必要があり、コストアップの原因となり、また省スペース化の面においても好ましくない。   However, in the thing of the said patent documents 1-3, in addition to the wiring and terminal which play an electrical role, since the wiring and the terminal are specially provided for the check, in addition to the originally necessary wiring and terminal Further, it is necessary to provide extra wiring and terminals, which causes an increase in cost and is not preferable in terms of space saving.

さらに、最近の配線の高密度化に伴い、例えば、図7(b)のように電極端子部A1〜A3と接続端子B1〜B3との位置ズレ量が公差の範囲内にあり、電気的に短絡していない状態で接続されているが、それらの間隔が狭くなっている場合がある。このような場合、製造時での検査では配線の接続検査が合格とされるが、使用中などに時間が経過すると、マイグレーションなどが発生して、駆動していく間に電気的に短絡に至るおそれがある。このような潜在的な短絡に至る可能性がある位置ズレは、外観検査においても特定するには不正確で、生産性も悪く、さらに、従来のような機能検査を用いても、短絡していないため検知できないという問題があった。   Furthermore, with the recent increase in the density of wiring, for example, as shown in FIG. 7B, the amount of positional deviation between the electrode terminal portions A1 to A3 and the connection terminals B1 to B3 is within a tolerance range. Although they are connected in a state where they are not short-circuited, the distance between them may be narrowed. In such a case, the wiring connection inspection is passed in the inspection at the time of manufacture. However, when time elapses during use, migration or the like occurs, and an electrical short circuit occurs while driving. There is a fear. Such misalignment that can lead to a potential short circuit is inaccurate to identify in visual inspection, has poor productivity, and is short-circuited even with conventional functional inspection. There was a problem that it could not be detected.

そこで、本発明は,このような潜在的な短絡を起こさせるような位置ズレを検知できるとともに、配線基板が本来備える電極端子部や接続端子に、位置ズレを検査する機能を持たせる(つまり兼用させる)ことで、検査のための端子などを追加することなく、位置ズレを少ない部品構成で安価に検査することができる配線基板の接続構造およびその接続検査方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can detect a positional shift that causes such a potential short circuit, and also has a function of inspecting the positional shift in the electrode terminal portion and the connection terminal that are inherently provided in the wiring board (that is, the dual purpose). It is an object of the present invention to provide a wiring board connection structure and a connection inspection method thereof that can be inspected inexpensively with a component configuration with little positional deviation without adding a terminal for inspection.

請求項1の発明は、第1の配線基板の各電極端子部それぞれに対し第2の配線基板の各接続端子が相互に対応して重なって接続される配線基板の接続構造を対象とするもので、前記第1の配線基板は、複数の配線が形成され、その一端に前記各配線が電極端子部を有する構成とされる一方、前記第2の配線基板は、複数の配線が形成され、その配線の一端は、前記電極端子部と同ピッチに形成され、対応して接続する接続端子を有する構成とされているものを前提とする。そして、請求項1の発明は、前記複数の電極端子部のうち特定の電極端子部、あるいは、前記複数の接続端子のうち特定の接続端子が、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状を有し、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる部分を備えることを特徴とする。   The invention of claim 1 is directed to a wiring board connection structure in which each connection terminal of the second wiring board is connected to each electrode terminal portion of the first wiring board so as to overlap each other. In the first wiring board, a plurality of wirings are formed, and each wiring has an electrode terminal portion at one end thereof, while the second wiring board is formed with a plurality of wirings. It is assumed that one end of the wiring is configured to have a connection terminal that is formed at the same pitch as the electrode terminal portion and is connected correspondingly. According to the first aspect of the present invention, a specific electrode terminal portion of the plurality of electrode terminal portions or a specific connection terminal of the plurality of connection terminals has a shape different from other electrode terminal portions or connection terminals. The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal includes a portion in which a distance from the electrode terminal portion or the connection terminal adjacent to the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal is partially reduced.

このようにすれば、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の電極端子部あるいは接続端子との間隔が部分的に小さくなる部分を備えるので、これらの短絡で接続状態を検査し、潜在的な短絡を誘発する位置ズレを検査することができる。さらに、特定の電極端子部、あるいは、特定の接続端子が、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状を有し、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる部分を備えているので、位置ズレが起こった場合、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子と、それの隣の電極端子部あるいは接続端子とが、他の隣り合う電極端子部あるいは接続端子よりも早く短絡するため、潜在的な短絡を引き起こす位置ズレ量をより精度良く確実に検知することができる。加えて、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子を、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状として、位置ズレの検査に利用しているので、検査のための端子などを特別に設けることなく、少ない構成で位置ズレを安価に検査でき、省スペース化もできる。   In this way, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a portion in which the distance from the adjacent electrode terminal portion or the connection terminal is partially reduced. Then, it is possible to inspect a positional deviation that induces a potential short circuit. Furthermore, the specific electrode terminal part or the specific connection terminal has a shape different from that of the other electrode terminal part or the connection terminal, and the specific electrode terminal part or the specific connection terminal is the electrode terminal part adjacent to it. Alternatively, since the gap between the connection terminals is partially reduced, when a positional shift occurs, a specific electrode terminal portion or a specific connection terminal and an electrode terminal portion or a connection terminal adjacent to the specific electrode terminal portion However, since the short circuit occurs earlier than other adjacent electrode terminal portions or connection terminals, it is possible to detect the positional deviation amount that causes a potential short circuit more accurately and reliably. In addition, since the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a shape different from that of the other electrode terminal portion or the connection terminal and is used for the inspection of misalignment, a terminal for inspection is specially provided. Therefore, the positional deviation can be inspected at a low cost with a small configuration, and the space can be saved.

請求項2に記載のように、請求項1の配線基板の接続構造において、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、平面視で、前記隣の電極端子部あるいは隣の接続端子側に突出する部分を有する構成とすることもできる。   According to a second aspect of the present invention, in the wiring board connection structure according to the first aspect, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal is on the adjacent electrode terminal portion or the adjacent connection terminal side in a plan view. It can also be set as the structure which has a part to protrude.

このようにすれば、請求項1の効果に加えて、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は突出する部分を有することで、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が部分的に小さくなる部分を構成するようにしているので、構成が簡単である。   In this way, in addition to the effect of claim 1, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a protruding portion, so that an interval between the electrode terminal portion or the connection terminal adjacent thereto is increased. Since the portion that is partially reduced is configured, the configuration is simple.

請求項3に記載のように、請求項2の配線基板の接続構造において、前記隣の電極端子部あるいは接続端子は、平面視で、前記突出する部分に対応して、窪んだ部分を有する構成とすることもできる。   The wiring board connection structure according to claim 2, wherein the adjacent electrode terminal portion or connection terminal has a recessed portion corresponding to the protruding portion in plan view. It can also be.

このようにすれば、請求項2の効果に加えて、前記突出する部分に対応して窪んだ部分を有することで、前記間隔が部分的に小さくなる部分を構成するようにしているので、突出する部分と窪んだ部分との組み合わせで位置ズレの検査が確実となる。   In this way, in addition to the effect of claim 2, by having a recessed portion corresponding to the protruding portion, a portion where the interval is partially reduced is formed. Inspection of positional deviation is ensured by the combination of the portion to be recessed and the recessed portion.

請求項4に記載のように、請求項1の配線基板の接続構造において、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、平面視で、切り欠き部を有し、前記隣の電極端子部あるいは接続端子は前記切り欠き部に対応して鍵状の突出部を有する一方、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子に対応する前記接続端子あるいは電極端子部は、前記鍵状の突部に間隔を存して噛み合う鍵状の突部を有する構成とすることもできる。   5. The wiring board connection structure according to claim 1, wherein the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a notch portion in plan view, and the adjacent electrode terminal portion. Alternatively, the connection terminal has a key-shaped protrusion corresponding to the notch, while the connection terminal or electrode terminal corresponding to the specific electrode terminal or the specific connection terminal is the key-shaped protrusion. It can also be set as the structure which has a key-shaped protrusion which engages at intervals.

このようにすれば、請求項1の効果に加えて、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子およびそれに対応する前記接続端子あるいは電極端子部を互いに噛み合うような鍵形状としているので、位置ズレを精度よく検査することができる。   In this way, in addition to the effect of the first aspect, since the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal and the corresponding connection terminal or electrode terminal portion corresponding to the key shape are engaged with each other, the misalignment is prevented. Inspection can be performed with high accuracy.

請求項5に記載のように、請求項1〜4のいずれかの配線基板の接続構造において、前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであり、前記隣の電極端子部と接続されている配線は、前記内部電極に接続されるものとすることができる。また、請求項6に記載のように、請求項1〜4のいずれかの配線基板の接続構造において、前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の接続端子と接続されている配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記隣の接続端子と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものとすることもできる。   According to a fifth aspect of the present invention, in the wiring board connection structure according to any one of the first to fourth aspects, the wirings of the first and second wiring boards are respectively formed when the inkjet head is manufactured or driven. The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the individual electrodes and the internal electrodes through the wirings of the wiring boards, and the wiring connected to the specific electrode terminal portion is connected to the internal electrode in the manufacturing process. It is used when a predetermined voltage is applied between them to polarize the piezoelectric layer, and the wiring connected to the adjacent electrode terminal portion is connected to the internal electrode. Kill. According to a sixth aspect of the present invention, in the wiring board connection structure according to any one of the first to fourth aspects, the wirings of the first and second wiring boards are each driven or manufactured when the inkjet head is manufactured. The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while an internal electrode common to the plurality of pressure chambers is sandwiched between the piezoelectric layers. The drive signal is supplied to the individual electrode and the internal electrode through the wirings of the two wiring boards, and the wiring connected to the specific connection terminal is connected to the internal electrode The wiring connected to the adjacent connection terminal is used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer in the manufacturing process to polarize the piezoelectric layer. It can be.

これらの場合には、請求項1〜4のいずれかの効果に加え、また、検査用の配線や端子を別に設けるスペースを必要としないため、省スペース化でき配線の高密度化および小型化にも対応できる。また低コストである。さらに、インクジェットヘッドの、電極端子部あるいは接続端子の配線のうち、通常使用時にアース電位となるものや圧電層を分極する際に用いるものを利用していることになるので、通常使用時において経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。   In these cases, in addition to the effect of any one of claims 1 to 4, there is no need for a space for separately providing inspection wiring and terminals, so that space can be saved and the wiring density and size can be reduced. Can also respond. In addition, the cost is low. Furthermore, since the wiring of the electrode terminal portion or connection terminal of the ink jet head is one that has a ground potential during normal use or one that is used to polarize the piezoelectric layer, it is time-lapse during normal use. Even if a short circuit occurs due to a change, the short circuit does not affect the operation.

請求項7に記載のように、請求項1〜6のいずれかの配線基板の接続構造において、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、前記複数の電極端子部あるいは複数の接続端子が配列される方向の端付近に配置されている構成としてもよい。   The wiring board connection structure according to any one of claims 1 to 6, wherein the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal includes the plurality of electrode terminal portions or the plurality of connection terminals. It is good also as a structure arrange | positioned near the end of the direction of arrangement.

このようにすれば、請求項1〜6のいずれかの効果に加えて、電極端子部あるいは接続端子が配列される方向の端付近に配置されているので、他の電極端子部や接続端子に与える影響が小さい。   If it does in this way, in addition to the effect in any one of Claims 1-6, since it has arrange | positioned near the end of the direction where an electrode terminal part or a connection terminal is arranged, it is in other electrode terminal parts and a connection terminal. The effect is small.

請求項8の発明は、第1の配線基板の各電極端子部それぞれに対し、第2の配線基板の各接続端子が相互に対応して重なりあって接続される際に、それらの接続状態を検査する配線基板の接続検査方法を対象とするもので、前記第1の配線基板は、複数の配線が形成され、その一端に前記各配線が電極端子部を有する構成とされる一方、前記第2の配線基板は、複数の配線が形成され、その配線の一端は、前記電極端子部と同ピッチに形成され、対応して接続する接続端子を有する構成とされていることを前提とする。そして、請求項8の発明は、前記複数の電極端子部のうち特定の電極端子部あるいは前記複数の接続端子のうち特定の接続端子が、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状を有し、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる検査部分を備え、前記第1の配線基板の複数の電極端子部それぞれに対し前記第2の配線基板の複数の接続端子それぞれを接続した際に、前記検査部分と接触する接続端子あるいは電極端子部を介しての、前記特定の電極端子部あるいは接続端子と前記隣の電極端子部あるいは接続端子との導通状態の有無により検査することを特徴とする。   According to the invention of claim 8, when each connection terminal of the second wiring board is overlapped and connected to each of the electrode terminal portions of the first wiring board, their connection state is changed. The first wiring board has a configuration in which a plurality of wirings are formed, and each wiring has an electrode terminal portion at one end thereof. It is assumed that the wiring board 2 has a configuration in which a plurality of wirings are formed and one end of each wiring is formed at the same pitch as the electrode terminal portion and has connection terminals to be connected correspondingly. The invention according to claim 8 has a shape in which a specific electrode terminal portion of the plurality of electrode terminal portions or a specific connection terminal of the plurality of connection terminals is different from other electrode terminal portions or connection terminals. The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal includes an inspection portion in which a distance from the electrode terminal portion or the connection terminal adjacent to the specific electrode terminal portion or the connection terminal is partially reduced, and the plurality of electrodes of the first wiring board When connecting each of the plurality of connection terminals of the second wiring board to each of the terminal portions, the specific electrode terminal portion or the connection terminal via the connection terminal or the electrode terminal portion in contact with the inspection portion The inspection is performed based on the presence or absence of a conduction state with the adjacent electrode terminal portion or connection terminal.

このようにすれば、前記検査部分と接触する接続端子あるいは電極端子部を介しての、前記特定の電極端子部あるいは接続端子と前記隣の電極端子部あるいは接続端子との導通状態の有無により、潜在的な短絡を引き起こす可能性のある位置ズレを簡単かつ確実に検査することができる。   In this way, depending on the presence or absence of a conduction state between the specific electrode terminal part or connection terminal and the adjacent electrode terminal part or connection terminal through the connection terminal or electrode terminal part in contact with the inspection portion, Misalignment that can cause a potential short circuit can be easily and reliably inspected.

請求項9に記載のように、請求項8の配線基板の接続検査方法において、前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであり、前記隣の電極端子部と接続されている配線は、前記内部電極に接続されているものとすることができる。また、請求項10に記載のように、請求項8の配線基板の接続検査方法において、前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の接続端子と接続されている配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記隣の接続端子と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものとすることもできる。   According to a ninth aspect of the present invention, in the wiring board connection inspection method according to the eighth aspect, the wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively. The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween, And the drive signal is supplied to the internal electrodes through the wirings of the two wiring boards, and the wiring connected to the specific electrode terminal portion has a predetermined gap between the internal electrodes in the manufacturing process. It is used when a voltage is applied to polarize the piezoelectric layer, and the wiring connected to the adjacent electrode terminal portion may be connected to the internal electrode.According to a tenth aspect of the present invention, in the wiring board connection inspection method according to the eighth aspect, the wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively. The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween, The drive signals are supplied to the individual electrodes and the internal electrodes through the wirings of the two wiring boards, and the wirings connected to the specific connection terminals are connected to the internal electrodes, The wiring connected to the adjacent connection terminal may be used when a predetermined voltage is applied between the internal electrodes and the piezoelectric layer is polarized in the manufacturing process.

これらの場合には、請求項8の効果に加えて、アース電位や圧電層を分極する際にのみ用いる電極端子部あるいは接続端子の配線を利用しているので、通常使用時には、アース電位となるものや圧電層を分極する際に用いるものを利用していることになるので、通常使用時において、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがないようにして、検査できる。   In these cases, in addition to the effect of the eighth aspect, the ground potential or the wiring of the electrode terminal portion or the connection terminal used only when the piezoelectric layer is polarized is used. Since it uses the thing used when polarizing a thing and a piezoelectric layer, even if it short-circuits by a time-dependent change at the time of normal use, it can test | inspect that the short circuit does not affect operation. .

以上説明したように、本発明においては、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる検査部分を備えるようにしているので、潜在的な短絡をおこさせる可能性のある位置ズレを検査することができる。特に、配線基板が本来備える電極端子部あるいは接続端子のうち特定のものを異なる形状として、位置ズレの検査に利用しているので、検査のための端子などを特別に追加することなく、少ない部品構成で位置ズレを安価に検査することができる。   As described above, in the present invention, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal is provided with the inspection portion in which the distance between the electrode terminal portion or the connection terminal adjacent to the specific electrode terminal portion or the connection terminal is partially reduced. Therefore, it is possible to inspect a positional deviation that may cause a potential short circuit. In particular, a specific part of the electrode terminal part or connection terminal originally provided on the wiring board has a different shape and is used for the inspection of misalignment, so there are few parts without adding a special terminal for the inspection. It is possible to inspect the positional deviation at a low cost with the configuration.

以下、本発明は、電子機器などの配線基板間の配線を接続する接続構造およびその接続検査方法に関し、例えば、インクジェットヘッドに適用されたものである。図1は本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。   Hereinafter, the present invention relates to a connection structure for connecting wiring between wiring boards such as electronic devices and a connection inspection method thereof, and is applied to, for example, an inkjet head. FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a flexible wiring board is bonded to the upper surface of an inkjet head to which the present invention is applied.

図1に示すように、インクジェットヘッド1は、特開2006−198903号公報に記載された公知のものと同様に流路ユニット2上に、アクチュエータユニット3、およびフレキシブル配線材4とを積層して構成している。インクジェットヘッド1は、記録用のインクジェット式記録装置に用いられるもので、具体的に図示していないが、インクジェットヘッド1は、記録用紙の搬送方向Y(副走査方向)と直交する方向X(主走査方向)に往復移動するキャリッジに搭載されている。   As shown in FIG. 1, the inkjet head 1 is formed by laminating an actuator unit 3 and a flexible wiring member 4 on a flow path unit 2 in the same manner as the known one described in JP-A-2006-198903. It is composed. The ink-jet head 1 is used in an ink-jet recording apparatus for recording. Although not specifically illustrated, the ink-jet head 1 is a direction X (mainly perpendicular to the recording paper transport direction Y (sub-scanning direction). It is mounted on a carriage that reciprocates in the scanning direction.

インクジェットヘッド1の流路ユニット2は、複数枚のプレート部材が積層された積層体で、複数の配列された圧力室2aと、各圧力室2aに連通する複数のノズル(図示せず)と、図示しないインク供給源からのインクを各圧力室2aおよびノズルに連通するインク流路(図示せず)とを備える。   The flow path unit 2 of the inkjet head 1 is a laminated body in which a plurality of plate members are laminated, a plurality of arranged pressure chambers 2a, and a plurality of nozzles (not shown) communicating with the pressure chambers 2a, An ink flow path (not shown) that communicates ink from an ink supply source (not shown) to each pressure chamber 2a and nozzles is provided.

また、アクチュエータユニット3は、複数の圧電層23(例えばPZT)が積層された積層体で、複数の圧力室2aに対応して複数の個別電極(図示せず)と、複数の圧力室2aに共通の内部電極(図示せず)が、各圧電層23を挟んで構成されている。共通の内部電極はグランドに接続され、個別電極に選択的に電圧を印加することにより、個別電極および前記内部電極とで挟まれる圧電層23の部分が圧電変形部として、選択的に駆動されることで変形し、圧力室内のインクに圧力を与え、複数のノズルを通じて選択的にインクが吐出され、記録用紙(被記録媒体)に対して記録動作が行われる。   The actuator unit 3 is a laminated body in which a plurality of piezoelectric layers 23 (for example, PZT) are laminated, and a plurality of individual electrodes (not shown) corresponding to the plurality of pressure chambers 2a and a plurality of pressure chambers 2a. A common internal electrode (not shown) is configured with the piezoelectric layers 23 interposed therebetween. The common internal electrode is connected to the ground, and by selectively applying a voltage to the individual electrode, the portion of the piezoelectric layer 23 sandwiched between the individual electrode and the internal electrode is selectively driven as a piezoelectric deformation portion. As a result, the ink is deformed, pressure is applied to the ink in the pressure chamber, the ink is selectively ejected through the plurality of nozzles, and the recording operation is performed on the recording paper (recording medium).

また、アクチュエータユニット3の最上面には、表面個別電極22および表面内部電極24が銀−パラジウム系の導電部材にてスクリーン印刷形成され、表面個別電極22および表面内部電極24は、特開2003-80709号公報に記載の公知の構成と同様に、積層された圧電層23の積層方向に貫通したスルーホール(図示せず)に充填された導電性材料を介して、圧電層23内の個別電極および共通の内部電極にそれぞれ導通されている。   Further, on the uppermost surface of the actuator unit 3, the surface individual electrode 22 and the surface internal electrode 24 are formed by screen printing with a silver-palladium conductive member. Similarly to the known configuration described in Japanese Patent No. 80709, individual electrodes in the piezoelectric layer 23 are formed through a conductive material filled in through holes (not shown) penetrating in the stacking direction of the stacked piezoelectric layers 23. And are connected to a common internal electrode.

このアクチュエータユニット3の上面には、フレキシブル配線基板4が積層される。フレキシブル配線基板4は、図2に示すように、第1の配線基板5と第2の配線基板6とが接続されて構成される。第1の配線基板5には、複数の配線11A〜11Dおよび配線13が、第2の配線基板6には、配線12A〜12Dがそれぞれフレキシブル配線材4の長手方向(X方向)に延びて形成されていて、各配線11A〜11D、12A〜12Dの互いに接続する端部に設けられた電極端子部11Aa、11Ba、11Ca、11Da(総称する場合は11)、接続端子12Aa、12Ba、12Ca、12Da(総称する場合は12)が、対応して重なって接続されることでフレキシブル配線材4が構成される。   A flexible wiring board 4 is laminated on the upper surface of the actuator unit 3. As shown in FIG. 2, the flexible wiring board 4 is configured by connecting a first wiring board 5 and a second wiring board 6. A plurality of wirings 11A to 11D and a wiring 13 are formed on the first wiring board 5, and wirings 12A to 12D are formed on the second wiring board 6 so as to extend in the longitudinal direction (X direction) of the flexible wiring material 4, respectively. The electrode terminal portions 11Aa, 11Ba, 11Ca, 11Da (11 in a collective manner) and the connection terminals 12Aa, 12Ba, 12Ca, 12Da provided at the ends of the wirings 11A-11D, 12A-12D connected to each other The flexible wiring material 4 is configured by overlapping and connecting (12 when collectively referred to).

第1の配線基板5と第2の配線基板6は、本実施例においては、一例として、例えば、第1の配線基板5および第2の配線基板6をフレキシブルプリント基板(FPC)を用いている。   In the present embodiment, the first wiring board 5 and the second wiring board 6 use, for example, a flexible printed circuit board (FPC) as the first wiring board 5 and the second wiring board 6 in the present embodiment. .

第2の配線材6は、電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂材(例えばポリイミド樹脂)からなる帯状のベース材の片面に、銅などの複数の配線12A、12B、12C、12D・・・がフォトレジスト等により自由に設計配線されていて、これらの表面を電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂(例えばポリイミド樹脂)からなるカバーレイにて被覆させている。第2の配線材6の第1の配線材5と接続する側の一端側には、配線12A〜12Dに接続端子12Aa、12Ba、12Ca、12Da・・・が幅方向(Y方向)にそれぞれ等ピッチで設けられていて、また、他端側にも配線12A〜12Dに対応して別の接続端子15(総称する)が等ピッチで設けられ、本体側と電気的に接続するためのコネクタに接続される。第2の配線材6はフレキシブルプリント基板であるため、配線12A〜12Dの配線幅は自由に設計でき、図2のように、一般的なコネクタの所定幅に等しくされた他端側の幅よりも、一端側の幅を短くすることができる。このようにすることで、後述する第1の配線材6と接続しても、流路ユニット2およびアクチュエータユニット3の小型化に対応して配線基板4も小型化かつ、高密度な配線も可能である。   The second wiring member 6 has a plurality of wirings 12A, 12B, 12C, 12D, etc. such as copper on one surface of a strip-like base material made of a flexible synthetic resin material (for example, polyimide resin) having electrical insulation. .. Are freely designed and wired with a photoresist or the like, and these surfaces are covered with a cover lay made of a flexible synthetic resin (for example, polyimide resin) having electrical insulation. On one end side of the second wiring member 6 on the side connected to the first wiring member 5, the connection terminals 12Aa, 12Ba, 12Ca, 12Da, etc. are connected to the wirings 12A to 12D in the width direction (Y direction), respectively. Provided at a pitch, and at the other end, another connection terminal 15 (generally referred to) corresponding to the wirings 12A to 12D is provided at an equal pitch to provide a connector for electrical connection with the main body side. Connected. Since the second wiring member 6 is a flexible printed circuit board, the wiring widths of the wirings 12A to 12D can be designed freely, as shown in FIG. 2, than the width on the other end side equal to a predetermined width of a general connector. Also, the width on one end side can be shortened. In this way, even when connected to the first wiring member 6 to be described later, the wiring board 4 can also be miniaturized and high-density wiring can be made corresponding to the miniaturization of the flow path unit 2 and the actuator unit 3. It is.

また、第1の配線基板5には、その長手方向(X方向)の一端側の裏面に、アクチュエータユニット3の各表面個別電極22および表面内部電極24に対応して形成された個別電極バンプ13aおよび表面電極バンプ11AAが設けられていて、他端側(ドライバIC7が設けられている側)には、電極端子部11Aa、11Ba、11Ca、11Da・・が並んで設置され、第2の配線材6の各電極端子部12と同ピッチに対応して設けられている。また、第1の配線基板5上には、その幅方向(Y方向)に延びる駆動回路であるドライバIC7が実装され、本体側の制御装置からの印字データなどの駆動信号や駆動電圧などをアクチュエータユニット3に伝達して、アクチュエータユニット3を選択的に駆動させている。   The first wiring board 5 has individual electrode bumps 13 a formed on the back surface on one end side in the longitudinal direction (X direction) corresponding to the individual surface electrodes 22 and the inner surface electrodes 24 of the actuator unit 3. The electrode terminal portions 11Aa, 11Ba, 11Ca, 11Da,... Are arranged side by side on the other end side (side on which the driver IC 7 is provided), and the second wiring material is provided. 6 corresponding to the same pitch as the electrode terminal portions 12. A driver IC 7 that is a drive circuit extending in the width direction (Y direction) is mounted on the first wiring board 5, and a drive signal such as print data from the control device on the main body side, a drive voltage, or the like is applied to the actuator. This is transmitted to the unit 3 to selectively drive the actuator unit 3.

また、第1の配線基板5には、その駆動信号および駆動電圧等をドライバIC7に入力するための複数の入力側配線11B(VSS2),11C(VDD2)、11Dおよび、ドライバIC7からアクチュエータユニット3に出力する複数の出力側配線13と、表面電極バンプ11AAとが形成されている。また、内部電極と電気的に接続される配線11A(COM)が、配線基板4の長手方向(X方向)に延びて形成されている。そして、出力側配線13は、ドライバIC7から、X方向に延びて、個別電極バンプ13aとそれぞれ接続されることで個別電極と電気的に接続されている。   Further, the first wiring board 5 includes a plurality of input-side wirings 11B (VSS2), 11C (VDD2), 11D for inputting the driving signal, driving voltage, and the like to the driver IC 7, and the actuator unit 3 from the driver IC 7. A plurality of output-side wirings 13 that are output to the front surface and surface electrode bumps 11AA are formed. Further, a wiring 11 </ b> A (COM) that is electrically connected to the internal electrode is formed to extend in the longitudinal direction (X direction) of the wiring substrate 4. The output wiring 13 extends from the driver IC 7 in the X direction and is electrically connected to the individual electrodes by being connected to the individual electrode bumps 13a.

電極端子部11Aa,11Ba,11Caは、複数の電極端子部11が配列される方向(Y方向)の両端付近に略対称にこの順に並んで配置されている。そして、複数の電極端子部11が配列される方向(Y方向)の中央部分には、残りの他の電極端子部11Da,・・・が複数並んで配置されている。つまり、配線基板の幅方向(Y方向)の両端縁には、それぞれ端子部11Aa、11Ba、11Caがこの順で略対称に2箇所設けられていて、その内側に端子部11Daが複数並んで配置されている。また、電極端子部11Aa〜11Daは、前述した等ピッチで形成された接続端子12Aa〜12Daと相互に対応し、同ピッチで形成され、それらが互いに重なって電気的に接続されることで1つの配線基板4となっている。第1の配線材5も、第2の配線材6と同様の構成で、電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂材(例えばポリイミド樹脂)からなる帯状のベース材の片面に、銅などの複数の配線11A〜11D,13がフォトレジスト等により形成されていて、これらの表面を、電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂(例えばポリイミド樹脂)からなるカバーレイにて被覆させている。   The electrode terminal portions 11Aa, 11Ba, and 11Ca are arranged substantially symmetrically in this order near both ends in the direction (Y direction) in which the plurality of electrode terminal portions 11 are arranged. In the central portion in the direction (Y direction) in which the plurality of electrode terminal portions 11 are arranged, a plurality of other electrode terminal portions 11Da,. In other words, two terminal portions 11Aa, 11Ba, and 11Ca are provided approximately symmetrically in this order on both end edges in the width direction (Y direction) of the wiring board, and a plurality of terminal portions 11Da are arranged inside. Has been. The electrode terminal portions 11Aa to 11Da correspond to the connection terminals 12Aa to 12Da formed at the same pitch as described above, are formed at the same pitch, and overlap each other to be electrically connected to each other. A wiring board 4 is provided. The first wiring member 5 has the same configuration as the second wiring member 6, and has copper or the like on one side of a strip-like base material made of a flexible synthetic resin material (for example, polyimide resin) having electrical insulation. A plurality of wirings 11A to 11D, 13 are formed of a photoresist or the like, and these surfaces are covered with a cover lay made of an electrically insulating and flexible synthetic resin (for example, polyimide resin). Yes.

ここで、第1の配線材5と第2の配線材6との接続について説明する。第1の配線材5の一端の電極端子11を下側面(ドライバIC7の実装側と反対側)に露出し、第2の配線材6は、その第1の配線材5と接続する一端において、表面の電気絶縁被膜を除去することで銅線を露出して接続端子12とする。各電極端子11、接続端子12が同ピッチで対称に配列されているため、露出した各端子を一対一で対応させて重ね合わせ、どちらか一方の表面に形成された導電性ろう材(はんだ)を、加熱することで接続される。例えば、第2の配線材6を固定して接続端子12の接続面側に導電性ろう材を載置し、第1の配線材5の電極端子11を上側に重ね合わせ、電極端子11側からヒーターによって加熱させる。さらに、その接続部の端子が露出している側を覆って電気絶縁テープ(図示せず)が貼着される。このように接続することで、配線11A〜11Dと配線12A〜12Dとも1対1で接続される。図3に示すように、電極端子11の幅が、接続端子12の幅よりも広くなっているのは、両者の接続時に公差内にあって潜在的な短絡が起きない程度の位置ズレならば補正することができ、また、導電性ろう材の逃げパターンとして機能させるためである。また、第2の配線材6のコネクタと接続される側の接続端子15は、その配線の片側面の電気絶縁被覆が第2の配線板6の面方向に沿って除去されて配線を露出してコネクタと接続されている。   Here, the connection between the first wiring member 5 and the second wiring member 6 will be described. The electrode terminal 11 at one end of the first wiring member 5 is exposed on the lower surface (the side opposite to the mounting side of the driver IC 7), and the second wiring member 6 is connected to the first wiring member 5 at one end. By removing the electrical insulating coating on the surface, the copper wire is exposed and used as the connection terminal 12. Since the electrode terminals 11 and the connection terminals 12 are arranged symmetrically at the same pitch, the exposed terminals are overlapped in a one-to-one correspondence and formed on either surface. Are connected by heating. For example, the second wiring member 6 is fixed, a conductive brazing material is placed on the connection surface side of the connection terminal 12, the electrode terminals 11 of the first wiring member 5 are overlapped on the upper side, and the electrode terminal 11 side is Heat with a heater. Further, an electrical insulating tape (not shown) is attached so as to cover the side where the terminal of the connecting portion is exposed. By connecting in this way, the wirings 11A to 11D and the wirings 12A to 12D are also connected one-to-one. As shown in FIG. 3, the width of the electrode terminal 11 is wider than the width of the connection terminal 12 if it is within a tolerance at the time of connection between the two so that a potential short circuit does not occur. This is because it can be corrected and functions as a relief pattern of the conductive brazing material. The connection terminal 15 on the side connected to the connector of the second wiring member 6 exposes the wiring by removing the electrical insulation coating on one side of the wiring along the surface direction of the second wiring board 6. Connected to the connector.

ここで、第1の配線基板5の配線11A〜11Dについて、詳細を説明する。   Here, the details of the wirings 11A to 11D of the first wiring board 5 will be described.

第1の配線基板5の幅方向(Y方向)の最外両端縁には、電極端子11Aa、11Aaから延びる各配線11Aが第1の配線基板5の長手方向(X方向)の側縁に沿って平行に延びていて、表面電極バンプ11AAを介して内部電極と電気的に接続されていて、アース電位となっている。   At the outermost end edges in the width direction (Y direction) of the first wiring board 5, the wirings 11 </ b> A extending from the electrode terminals 11 </ b> Aa and 11 </ b> Aa extend along the side edges in the longitudinal direction (X direction) of the first wiring board 5. Are parallel to each other, and are electrically connected to the internal electrodes via the surface electrode bumps 11AA, and are at ground potential.

電極端子部11Aa、11Aaの内側で隣の電極端子部11Ba、11Baの各配線11Bは、各配線11Aの内側においてドライバIC7付近まで延び、ドライバIC7の実装位置において、両者の電極端子部11Ba、11Baを結ぶループを形成して互いに接続されている。そして、そのループ付近の配線部分で、ドライバIC7の下で図示しないドライバIC7の入力側接続端子と接続されている。この配線11Bは、後述するように、製造工程において、アース電位となる前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、圧電層23を分極する際に用いる配線VSS2である。配線VSS2はインクジェットプリンタ装置の通常駆動時においては、アースされている。   Each wiring 11B of the electrode terminal portions 11Ba and 11Ba adjacent to each other inside the electrode terminal portions 11Aa and 11Aa extends to the vicinity of the driver IC 7 inside each wiring 11A, and both electrode terminal portions 11Ba and 11Ba are mounted at the mounting position of the driver IC 7. Are connected to each other. A wiring portion near the loop is connected to an input side connection terminal of the driver IC 7 (not shown) under the driver IC 7. As will be described later, the wiring 11B is a wiring VSS2 used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the ground potential in the manufacturing process to polarize the piezoelectric layer 23. The wiring VSS2 is grounded during normal driving of the ink jet printer apparatus.

電極端子部11Baの内側で隣の電極端子部11Ca、11Caの各配線11Cも、配線11A,11Bの内側においてドライバIC7付近まで延び、ドライバIC7の実装位置において、両者の電極端子部11Ca、11Caを結ぶループを形成して互いに接続されている。そして、そのループ近傍の配線部分で、ドライバIC7の下で図示しないドライバIC7の入力接続端子とが接続されている。この配線11Cは、ドライバIC7に駆動電圧(ここでは30V)を供給するための配線VDD2である。   Each wiring 11C of the electrode terminal portions 11Ca and 11Ca adjacent to the inner side of the electrode terminal portion 11Ba also extends to the vicinity of the driver IC 7 inside the wirings 11A and 11B, and both the electrode terminal portions 11Ca and 11Ca are connected at the mounting position of the driver IC 7. They are connected to each other by forming a tying loop. In addition, a wiring portion near the loop is connected to an input connection terminal of the driver IC 7 (not shown) under the driver IC 7. The wiring 11C is a wiring VDD2 for supplying a driving voltage (here, 30V) to the driver IC 7.

そして、両側の電極端子部11Caの間の複数の電極端子部11Da・・・の複数の配線11Dは、ドライバIC7にまで延びて接続され、入力信号を供給する信号線として機能している。   A plurality of wirings 11D of the plurality of electrode terminal portions 11Da... Between the electrode terminal portions 11Ca on both sides extend to the driver IC 7 and function as signal lines for supplying input signals.

電極端子部11Daに入力された入力信号は、ドライバIC7を介して特開2002-160372号公報に公知の駆動制御と同様にして制御されることで、圧電変形部(図4におけるPZT)を変形させる。図4を参照すると、ドライバIC7内には、シフトレジスタ111、Dフリップフロップ112、ドライバ105等が構成されている。ノズル数に対応して、シフトレジスタ111、Dフリップフロップ112は複数設けられ、これらの駆動電圧を供給するための導線が、導線VDD1、VSS1である。また、ドライバ105、符号C(PZT)の圧電変形部もノズル数に応じて複数用意されていて、これらの駆動電圧(ここでは30V)を供給するための導線が導線VDD2、VSS2であり、前述した配線基板4の配線11B、配線11Cである。VSS2は、ドライバ105の共通電位の部分に共通して接続されていて、通常アースされている。また、圧電変形部PZTのドライバIC5と反対側の電極を共通接続した導線COMが、前述した配線11Aであり、導線COMと導線VSS2とが導線65で接続されている。   The input signal input to the electrode terminal portion 11Da is controlled in the same way as the drive control known in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-160372 via the driver IC 7, thereby deforming the piezoelectric deformation portion (PZT in FIG. 4). Let Referring to FIG. 4, a shift register 111, a D flip-flop 112, a driver 105, and the like are configured in the driver IC 7. A plurality of shift registers 111 and D flip-flops 112 are provided corresponding to the number of nozzles, and conducting wires for supplying these driving voltages are conducting wires VDD1 and VSS1. Also, a plurality of piezoelectric deformation portions of the driver 105 and the reference C (PZT) are prepared according to the number of nozzles, and the conductive wires for supplying these drive voltages (30V in this case) are the conductive wires VDD2 and VSS2. These are the wiring 11B and the wiring 11C of the wiring board 4 that has been prepared. VSS2 is commonly connected to the common potential portion of the driver 105, and is normally grounded. Further, the conducting wire COM in which the electrodes opposite to the driver IC 5 of the piezoelectric deformation portion PZT are commonly connected is the wiring 11A described above, and the conducting wire COM and the conducting wire VSS2 are connected by the conducting wire 65.

このドライバIC7に入力信号がシリアルに入力され、パラレル信号に変換されるとともに、配線11C(VDD2)から入力された駆動電圧に対応した電圧を有する駆動信号に変換される。そして、その駆動信号は、ドライバIC7から出力側配線13および端子部13aを通して個別電極に供給され、各圧電変形部(PZT)が駆動される。各圧電変形部に供給する駆動信号を生成するドライバ105は、各圧電変形部ごとに独立して設けられ、それぞれ配線11Cから駆動電圧を供給され、各配線13を通して駆動信号を出力する。なお、前記共通電極は、配線11A(COM)を通して接地されている。
また、配線12A〜12Dは、配線11A〜11Dと接続されるため、同様の目的で用いられた配線である。
An input signal is serially input to the driver IC 7 and converted into a parallel signal, and also converted into a drive signal having a voltage corresponding to the drive voltage input from the wiring 11C (VDD2). Then, the drive signal is supplied from the driver IC 7 to the individual electrode through the output side wiring 13 and the terminal portion 13a, and each piezoelectric deformation portion (PZT) is driven. A driver 105 that generates a drive signal to be supplied to each piezoelectric deformation unit is provided independently for each piezoelectric deformation unit, is supplied with a drive voltage from the wiring 11C, and outputs a drive signal through each wiring 13. The common electrode is grounded through the wiring 11A (COM).
Moreover, since wiring 12A-12D is connected with wiring 11A-11D, it is wiring used for the same objective.

次に、特定の接続端子12Aaを用いた配線基材間の接続構造とその接続検知方法について説明する。   Next, a connection structure between wiring substrates using a specific connection terminal 12Aa and a connection detection method thereof will be described.

第2の配線材6の配線12A(COM)の接続端子12Aaは、配線COMの電極端子部であるとともに、特定の電極端子部12Aaとして位置ズレ検知機能を兼ね備えている。図3は、図2に示すように配線COM,VSS2、VDD2の各電極端子部11および電極端子部12との接続部100aを示している。なお、説明のため、各電極端子部11および接続端子12の配列方向(Y方向)のうち、図2において接続部100a側をY1方向とし、その反対側をY2方向とする。   The connection terminal 12Aa of the wiring 12A (COM) of the second wiring member 6 is an electrode terminal portion of the wiring COM and also has a positional deviation detection function as the specific electrode terminal portion 12Aa. FIG. 3 shows each electrode terminal part 11 of the wirings COM, VSS2 and VDD2 and the connection part 100a to the electrode terminal part 12 as shown in FIG. For the sake of explanation, among the arrangement directions (Y direction) of the electrode terminal portions 11 and the connection terminals 12, in FIG. 2, the connection portion 100a side is defined as the Y1 direction, and the opposite side is defined as the Y2 direction.

特定の電極端子部12Aaは、図3(a)のように他の電極端子部12Ba,12Ca,12Da,・・・と異なる形状を有し、それの隣の電極端子部12Baとの間隔が部分的に小さくなる検査部分12Aaaを備えている。つまり、他の電極端子部12Ba,12Ca,12Da,・・・は,平面視矩形状であるが、特定の電極端子部12Aaは、平面視で、検査部分12Aaaとして、隣の電極端子部12Ba側に突出する、小さな矩形状部分を有する。この検査部分12Aaaの突出量は、製造後の検査では合格とされるが、使用により時間が経過するとマイグレーションなどが発生して電気的に短絡に至るおそれがある場合に、短絡する程度とされる。電極端子部12は、フレキシブルプリント基板であるため、異なる形状とすることは容易である。   The specific electrode terminal portion 12Aa has a different shape from the other electrode terminal portions 12Ba, 12Ca, 12Da,... As shown in FIG. The inspection part 12Aaa which becomes smaller is provided. That is, the other electrode terminal portions 12Ba, 12Ca, 12Da,... Have a rectangular shape in plan view, but the specific electrode terminal portion 12Aa is the side of the adjacent electrode terminal portion 12Ba as the inspection portion 12Aaa in plan view. Has a small rectangular portion protruding into the surface. The amount of protrusion of the inspection portion 12Aaa is acceptable in the inspection after manufacture, but when the time elapses due to use, migration or the like occurs and there is a possibility of short-circuiting. . Since the electrode terminal part 12 is a flexible printed circuit board, it is easy to make it into a different shape.

これにより、例えば、第2の配線基板6の各接続端子12に対して第1の配線基板5の各電極端子11を互いに重ねて接合させる場合には、その配列方向(Y方向)のうち、第1の配線基板5がY1方向に位置ズレして接続された場合に、第2の配線基板6の配線12A(COM)の接続端子12Aaの検査部分12Aaaが、第1の配線基板5の配線11B(VSS2)の電極端子11Baと接触しているかどうか、つまり配線COMと配線VSS2の導通状態の有無により、各電極端子部11A〜11Dと各接続端子12A〜12Dとの接続時に潜在的な短絡を誘発させる位置ズレが起こっているどうかを検査することができる。また、図4(a)に示すように、図2において、配線基板4の接続部100aとは幅方向(Y方向)に反対側(Y2方向側)の接続部100bにおいても、同様の構成を採用することができる。つまり接続端子12Aaの検査部12Aaaが同様に隣の接続端子12Ba側に突出する、小さな矩形状部分を有していて、隣の接続端子12Baとの間隔が部分的に小さくなっていれば、接続端子12Aaの検査部分12Aaaと電極端子部11Baが接触しているかどうかで、配列方向(Y方向)のうち、Y2方向への位置ズレが起こった場合にも、配線COMと配線VSS2の導通状態の有無を検知することによって、Y2方向への潜在的な短絡を誘発する位置ズレを検知することができる。   Thereby, for example, when the electrode terminals 11 of the first wiring board 5 are overlapped and joined to the connection terminals 12 of the second wiring board 6, among the arrangement directions (Y direction), When the first wiring board 5 is connected with a displacement in the Y1 direction, the inspection portion 12Aaa of the connection terminal 12Aa of the wiring 12A (COM) of the second wiring board 6 is connected to the wiring of the first wiring board 5 11B (VSS2), which is in contact with the electrode terminal 11Ba, that is, whether or not the wiring COM and the wiring VSS2 are in a conductive state, a potential short circuit occurs when the electrode terminal portions 11A to 11D and the connection terminals 12A to 12D are connected. It is possible to inspect whether or not the positional deviation that causes the Also, as shown in FIG. 4A, in FIG. 2, the same configuration is applied to the connection portion 100b on the opposite side (Y2 direction side) to the connection portion 100a of the wiring board 4 in the width direction (Y direction). Can be adopted. That is, if the inspection portion 12Aaa of the connection terminal 12Aa has a small rectangular portion that similarly protrudes toward the adjacent connection terminal 12Ba, and the interval with the adjacent connection terminal 12Ba is partially reduced, the connection Even when a positional shift in the Y2 direction in the arrangement direction (Y direction) occurs depending on whether the inspection portion 12Aaa of the terminal 12Aa and the electrode terminal portion 11Ba are in contact with each other, the conductive state of the wiring COM and the wiring VSS2 By detecting the presence or absence, it is possible to detect a positional shift that induces a potential short circuit in the Y2 direction.

なお、上述の例は第2の配線材6に対しての第1の配線材5への接続に対しての例に挙げたが、相対的に位置ズレに対して配線COMと配線VSS2が接触することで導通状態が確認できれば良いため、逆に第1の配線材5に対しての第2の配線材6を接合したときでも位置ズレも検知できることはいうまでもない。   In the above example, the second wiring member 6 is connected to the first wiring member 5, but the wiring COM and the wiring VSS2 are in contact with each other relative to the positional deviation. Since it is only necessary to confirm the conduction state by doing so, it goes without saying that even when the second wiring member 6 is bonded to the first wiring member 5, the positional deviation can be detected.

また、前記検査に用いる特定の接続端子12Aaに接続している配線は配線COMであり、配線COMは、通常使用時にアース電位となる前記内部電極に接続されるものであり、隣の電極端子部11Baに接続している配線VSS2は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、各圧電変形部を分極する際に用いるもので、通常使用時には同電位かつアースされているので通常使用時に接続端子12Aaと電極端子部11Baが経時変化により短絡しても、その短絡がインクジェットヘッド1の動作に影響することはない。   Further, the wiring connected to the specific connection terminal 12Aa used for the inspection is the wiring COM, and the wiring COM is connected to the internal electrode that is at the ground potential during normal use, and is adjacent to the electrode terminal portion. The wiring VSS2 connected to 11Ba is used to polarize each piezoelectric deformation portion by applying a predetermined voltage between the internal electrode and the internal electrode in the manufacturing process. Therefore, even if the connection terminal 12Aa and the electrode terminal portion 11Ba are short-circuited due to aging during normal use, the short-circuit does not affect the operation of the inkjet head 1.

このように、各配線基板5および6のCOM配線(11A、12A)とVSS2配線(11B、12B)の電極端子11Aa、11Ba、接続端子12Aa、12Baのうちの隣り合う端子のいずれかにおいて、隣り合う端子間の幅を部分的に小さくした異なる形状を有した検査部が設けられ、COM配線とVSS2配線の導通が起こっていれば、潜在的な短絡を誘発させる位置ズレが起こっているかどうかを検査することができる。   In this way, in any of the adjacent terminals of the electrode terminals 11Aa and 11Ba and the connection terminals 12Aa and 12Ba of the COM wirings (11A and 12A) and the VSS2 wirings (11B and 12B) of the wiring boards 5 and 6, respectively. If the inspection part having a different shape in which the width between the matching terminals is partially reduced is provided and conduction between the COM wiring and the VSS2 wiring has occurred, it is determined whether or not a positional shift causing a potential short circuit has occurred. Can be inspected.

そのため、図3(b)〜(d)及び図4に示すような別の実施の形態にすることも可能である。   Therefore, another embodiment as shown in FIGS. 3B to 3D and FIG. 4 is possible.

(i)図3(b)に示すように、特定の接続端子12Aaは、平面視で、検査部分12Aabとして、それの隣の接続端子12B側に突出する、小さな山形形状部分を部分的に有する構成とすることも可能である。接続部100b側においても同様の構成を適用することができる。   (i) As shown in FIG. 3B, the specific connection terminal 12Aa partially has a small chevron-shaped portion that protrudes toward the adjacent connection terminal 12B as the inspection portion 12Aab in plan view. A configuration is also possible. A similar configuration can be applied to the connection portion 100b side.

(ii)また、図3(c)のように特定の接続端子12Aaに代えて、第1配線基板5の配線11B(VSS2)の特定の電極端子11Ba’が、他の電極端子11Aa’,11Ca、11Da・・と異なる形状を有し、それの隣の接続端子11Aa’との間隔が、部分的に小さくなる検査部分11Baaを備える構成とすることも可能である。つまり、特定の電極端子11Ba’(VSS2)が、それの隣の配線11A(COM)の特定の電極端子11Aa’側に突出する突出部11Baaを部分的に有し、それの隣の電極端子11Aaとの間隔が部分的に小さくなっている。それの隣の電極端子11Aa(COM)は、平面視で、突出した検査部分11Baaと噛み合うように窪んだ検査部分11Aaaを部分的に有する構成が良い。また、配線12の接続端子12Aa〜12Daは平面視矩形状である。   (ii) Further, instead of the specific connection terminal 12Aa as shown in FIG. 3C, the specific electrode terminal 11Ba ′ of the wiring 11B (VSS2) of the first wiring board 5 is replaced with the other electrode terminals 11Aa ′ and 11Ca. , 11Da,..., And a configuration including an inspection portion 11Baa in which the distance from the adjacent connection terminal 11Aa ′ is partially reduced. That is, the specific electrode terminal 11Ba ′ (VSS2) partially has a protruding portion 11Baa protruding toward the specific electrode terminal 11Aa ′ side of the wiring 11A (COM) adjacent to the specific electrode terminal 11Ba ′ (VSS2). The interval between and is partially reduced. The electrode terminal 11Aa (COM) adjacent to the electrode terminal 11Aa (COM) may have a configuration in which the inspection portion 11Aaa that is recessed so as to mesh with the protruding inspection portion 11Baa is partially seen in plan view. Further, the connection terminals 12Aa to 12Da of the wiring 12 have a rectangular shape in plan view.

このような構成をすることで、先の接続方法と同様に第2の配線基板6に対して第1の配線基板5を接続する場合において、第1の配線基板5がY1方向に位置がずれて接続された場合、接続端子12Aa“(COM)と、電極端子部11Ba’(VSS2)の検査部11Baaが接触するため、配線COMと配線VSS2の導通を検査することで、潜在的な短絡を誘発する位置ズレを検知することができる。この場合も上述の実施形態と同様に、接続部100bでも同様の構成を適用することができ、Y2方向への位置ズレ検知を行なうことが可能である。   With this configuration, when the first wiring board 5 is connected to the second wiring board 6 as in the previous connection method, the position of the first wiring board 5 is shifted in the Y1 direction. If the connection terminal 12Aa "(COM) and the inspection part 11Baa of the electrode terminal part 11Ba '(VSS2) are in contact with each other, a potential short-circuit can be prevented by inspecting the continuity between the wiring COM and the wiring VSS2. In this case, similar to the above-described embodiment, the same configuration can be applied to the connecting portion 100b, and position deviation detection in the Y2 direction can be performed. .

なお、この実施形態においては、第2の配線材6の各電極端子部12が平面視矩形状であるため、第2の配線材6はいわゆる一般的な汎用のフレキシブルケーブル(FFC)を用いることができる。FFCは、銅等の導電性の配線の表裏の面に電気絶縁被膜が被膜された構成で、平行な配線パターン(ピッチ幅1mm)がその長手方向に(X方向)に延び、幅方向(Y方向)に等ピッチで形成されていて、電極端子部も平行で等ピッチで形成される。FFCはフレキシブルプリント基板より安価であるため、コストの面において好ましい。   In this embodiment, since each electrode terminal portion 12 of the second wiring member 6 has a rectangular shape in plan view, a so-called general-purpose flexible cable (FFC) is used for the second wiring member 6. Can do. The FFC has a configuration in which an electrically insulating film is coated on the front and back surfaces of conductive wiring such as copper, and a parallel wiring pattern (pitch width 1 mm) extends in the longitudinal direction (X direction) and extends in the width direction (Y The electrode terminal portions are also formed in parallel and at equal pitch. FFC is preferable in terms of cost because it is less expensive than a flexible printed circuit board.

(iii)また、特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、平面視で、切り欠き部を有
し、前記隣の電極端子部あるいは接続端子は前記切り欠き部に対応して鍵状の突出部を有する一方、前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子に対応する前記接続端子あるいは電極端子部は、前記鍵状の突部に間隔を存して噛み合う鍵状の突部を有する構成とすることも可能である。例えば図3(d)に示すように、電極端子11Aa”に切り欠き部11Aabを設け、その切り欠き部12Aab内に配置される鍵状の突出部分12Babを隣の電極端子11Ba”が有する。そして、その鍵状の突出部分11Babに噛み合う鍵状の検査部分11Aacを接続端子12Aac'''が部分的に備える構成とされる。この場合も同様に接続部100bにおいて同様の構成を設けることで、逆方向への位置ズレ検知も行なうことが可能である。
(iii) Further, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a cutout portion in a plan view, and the adjacent electrode terminal portion or connection terminal protrudes in a key shape corresponding to the cutout portion. The connection terminal or the electrode terminal portion corresponding to the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a key-shaped protrusion that meshes with the key-shaped protrusion with a gap. It is also possible to do. For example, as shown in FIG. 3D, the notch 11Aab is provided in the electrode terminal 11Aa ″, and the adjacent electrode terminal 11Ba ″ has a key-like protruding portion 12Ba arranged in the notch 12Aab. The connection terminal 12Aac ″ ′ partially includes a key-shaped inspection portion 11Aac that meshes with the key-shaped protruding portion 11Bab. In this case as well, by providing a similar configuration in the connection portion 100b, it is possible to detect a positional deviation in the reverse direction.

(iv)また、上述してきた実施形態においては、第1および第2の配線材5、6の配線
ピッチは互いに同ピッチであり、そのピッチ間隔は等ピッチに形成され、それに伴い電極端子部11および接続端子12も同ピッチかつ、等ピッチ間隔に設けられているが、特に等ピッチである必要はなく、両者の電極端子部11および接続端子12のピッチさえ、互いに同一ピッチでさえあれば、電極端子部11および接続端子12の配列ピッチ幅は等しくなくても、上述してきた検査部と同様の構成が適用でき、接続検査が可能である。その場合は、例えば図4(b)のように特定の接続端子12Aaの検査部分12Aaaの突起部分の長さは、その配列ピッチ長さに合わせて長くなるが、この検査部分12Aaaの突出量は、製造後の検査では合格とされるが、使用により時間が経過するとマイグレーションなどが発生して電気的に短絡に至るおそれがある場合に、短絡するように調整する。
(Iv) In the embodiment described above, the wiring pitches of the first and second wiring members 5 and 6 are equal to each other, and the pitch intervals are formed at equal pitches. In addition, the connection terminals 12 are also provided at the same pitch and at equal pitch intervals. However, the connection terminals 12 are not particularly required to be equal pitches, and as long as both the electrode terminal portions 11 and the connection terminals 12 have the same pitch as each other, Even if the arrangement pitch widths of the electrode terminal portion 11 and the connection terminal 12 are not equal, the same configuration as the above-described inspection portion can be applied, and the connection inspection can be performed. In this case, for example, as shown in FIG. 4B, the length of the protruding portion of the inspection portion 12Aaa of the specific connection terminal 12Aa becomes longer according to the arrangement pitch length, but the protruding amount of this inspection portion 12Aaa is In the inspection after the manufacturing, it is considered to be acceptable, but when the time elapses due to use, migration or the like occurs and the electrical short circuit is likely to be adjusted.

(v)また、配線COMおよび配線VSS2は、他の配線との配置関係や他の配線に影
響が少ないように、配線基板の幅方向(Y方向)の両端縁側付近に、この順で中央部に向かって配列されているが、特に前述の制限がない場合であれば、この順で端付近に配置されていない場合においても、上述してきた実施形態を用いて、接続検査を行うことは可能である。
(V) Also, the wiring COM and the wiring VSS2 are arranged in the center in this order near both end edges in the width direction (Y direction) of the wiring board so that the arrangement relationship with other wiring and other wiring are less affected. However, if there is no particular limitation as described above, it is possible to perform a connection inspection using the above-described embodiment even if the arrangement is not near the end in this order. It is.

続いて、バンプ5Cが関連する分極工程について説明する。   Next, the polarization process related to the bump 5C will be described.

インクジェットヘッド1の製造工程において、まず、複数のプレートを積層、接着した流路ユニット2の上に複数の圧電層23(PZT)を積層し焼成したアクチュエータユニット3を予め別々に作製し、両者を接着あるいは接合させたあと、そのアクチュエータユニット3の最上面の表面個別電極22および表面内部電極24と、フレキシブル配線基板4の個別電極バンプ13aおよび内部電極バンプ11AAを導電性ろう材(はんだ)を用いて電気的に接続する。フレキシブル配線基板4は予め第1の配線基板5と第2の配線基板6とを接続しておく。   In the manufacturing process of the inkjet head 1, first, an actuator unit 3 in which a plurality of piezoelectric layers 23 (PZT) are stacked and fired on a flow path unit 2 in which a plurality of plates are stacked and bonded is separately prepared in advance. After bonding or bonding, the uppermost surface individual electrode 22 and surface inner electrode 24 of the actuator unit 3 and the individual electrode bump 13a and inner electrode bump 11AA of the flexible wiring board 4 are made of conductive brazing material (solder). Connect them electrically. The flexible wiring board 4 has a first wiring board 5 and a second wiring board 6 connected in advance.

その後、アクチュエータユニット3の各圧電変形部(圧電層23)を分極する。この分極の際に用いる電極端子部11Aa,11Baおよび配線11A,11Bを、前記検査に利用しているのである。   Then, each piezoelectric deformation part (piezoelectric layer 23) of the actuator unit 3 is polarized. The electrode terminal portions 11Aa and 11Ba and the wirings 11A and 11B used for this polarization are used for the inspection.

この分極工程を、図5に沿って説明する。分極装置101は、分極用電圧の一部を発生する回路102と、分極用電圧の残りの部分を発生するための上記吐出動作を行う電源と同等の電源103と、イネーブル信号およびリセット信号等の信号を発生する信号回路104とを備える。その電源103、信号発生回路104は、吐出動作を行うためにプリンタ本体内に設ける例えば特開2002-160372号の公知のものと同等であるので、詳細には説明しない。   This polarization process will be described with reference to FIG. The polarization device 101 includes a circuit 102 that generates a part of the polarization voltage, a power supply 103 that is equivalent to a power supply that performs the discharge operation for generating the remaining part of the polarization voltage, an enable signal, a reset signal, and the like. And a signal circuit 104 for generating a signal. The power supply 103 and the signal generation circuit 104 are the same as those known, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-160372, which are provided in the printer main body for performing an ejection operation, and will not be described in detail.

それらの各回路104,102及び電源103は、フレキシブル配線基板4上に形成された前記各配線11A〜11Dの端子部分に接続される。回路102は、圧電層23下側の共通電極(アース電位)に接続した配線COM(配線11A)と、圧電層23上側の各個別電極22に接続したドライバIC7の各ドライバ105に接続される配線VSS2(配線11B)との間に分極用電圧を印加するための回路である。そのため、回路102は、負電源−VCC2と、スイッチSW1,SW2と、抵抗R2とを備える。また、配線VDD1と配線VSS1との間、及び配線VDD2(配線11C)と配線VSS2との間には、上記吐出動作を行うための電源と同等の電源103が接続される。なお、配線COMと配線VSS2との間が配線65にて接続されていない状態において、前記各圧電変形部の分極が行われる。   The circuits 104 and 102 and the power source 103 are connected to the terminal portions of the wirings 11A to 11D formed on the flexible wiring board 4. The circuit 102 includes a wiring COM (wiring 11A) connected to the common electrode (ground potential) below the piezoelectric layer 23 and a wiring connected to each driver 105 of the driver IC 7 connected to each individual electrode 22 above the piezoelectric layer 23. This is a circuit for applying a polarization voltage to VSS2 (wiring 11B). Therefore, the circuit 102 includes a negative power supply −VCC2, switches SW1 and SW2, and a resistor R2. A power supply 103 equivalent to the power supply for performing the above-described ejection operation is connected between the wiring VDD1 and the wiring VSS1 and between the wiring VDD2 (wiring 11C) and the wiring VSS2. In addition, in the state where the wiring COM and the wiring VSS2 are not connected by the wiring 65, the polarization of each piezoelectric deformation portion is performed.

続いてこの分極の詳細な処理について、図5および図6に沿って説明する。なお、分極をする際には、スイッチSW1をG側、スイッチSW2をG側(グランド側)にしておく。換言すると、負電源−VCC2と配線COMとを接続しない側にしておき、この状態においてシフトレジスタ111及びDフリップフロップ112のリセット信号をHレベルとし、シフトレジスタ111及びDフリップフロップ112の全データを吐出あり0の状態にする。そして、イネーブル信号をLレベルからHレベルに立ち上げると、ORゲートの出力がHレベルとなり、全てのドライバ105が圧電変形部PZTへの通電を開始する。このときにはまだスイッチSW1,SW2がG側になっているため、圧電変形部PZTにかかる電圧Vpztは30V(抵抗R2による電圧低下分をここでは無視する)となる。これは吐出時に圧電変形部PZTに掛かる電圧と同じであるため、分極はなされない。   Next, detailed processing of this polarization will be described with reference to FIGS. When polarization is performed, the switch SW1 is set to the G side and the switch SW2 is set to the G side (ground side). In other words, the negative power source −VCC2 and the wiring COM are not connected, and in this state, the reset signal of the shift register 111 and the D flip-flop 112 is set to the H level, and all the data of the shift register 111 and the D flip-flop 112 are stored. Discharge is set to 0. When the enable signal is raised from the L level to the H level, the output of the OR gate becomes the H level, and all the drivers 105 start energizing the piezoelectric deformation portion PZT. At this time, since the switches SW1 and SW2 are still on the G side, the voltage Vpzt applied to the piezoelectric deformation portion PZT is 30 V (the voltage drop due to the resistor R2 is ignored here). Since this is the same as the voltage applied to the piezoelectric deformation portion PZT during ejection, no polarization is performed.

この状態からややあって、スイッチSW1,SW2がN側にされる。すると電源VCC2の電圧(ここでは−20V)が加わり、圧電変形部PZTの両端電圧は先の30Vに加えて合計50Vとなる。この電圧により分極が開始される。分極が完了するとイネーブル信号をLレベルにする。Dフリップフロップ112の出力はリセット信号によりLレベルにされているため、イネーブル信号がLレベルになるとORゲートの出力もLレベルになる。これによりドライバ105により圧電変形部PZTへの通電が停止され、圧電変形部PZTには電源VCC2による電圧40Vのみが掛かる。そしてここから所定時間経過後、スイッチSW2がG側に戻され、圧電変形部PZTの電圧Vpztがゼロとなる。こうして分極が完了すると、分極装置をフレキシブル配線基板4から取り外し、配線65で配線VSS2と配線COMを結線し、インクジェットヘッド1をプリンタ本体に取り付ける。   Slightly from this state, the switches SW1 and SW2 are set to the N side. Then, the voltage of the power source VCC2 (here, −20V) is applied, and the voltage across the piezoelectric deformation portion PZT becomes 50V in addition to the previous 30V. This voltage starts polarization. When the polarization is completed, the enable signal is set to L level. Since the output of the D flip-flop 112 is set to L level by the reset signal, when the enable signal becomes L level, the output of the OR gate also becomes L level. As a result, the driver 105 stops energization of the piezoelectric deformation portion PZT, and only the voltage 40V from the power supply VCC2 is applied to the piezoelectric deformation portion PZT. Then, after a predetermined time has elapsed from here, the switch SW2 is returned to the G side, and the voltage Vpzt of the piezoelectric deformation portion PZT becomes zero. When polarization is completed in this way, the polarization device is removed from the flexible wiring board 4, the wiring VSS2 and the wiring COM are connected by the wiring 65, and the inkjet head 1 is attached to the printer main body.

このような製造方法によれば、インクジェットヘッド1のフレキシブル配線基板4を接合させた後に分極を行なうので、分極の劣化が起きない。しかも分極に用いる電圧は、吐出用の電源電圧に対し、ドライバIC7とは逆側の電極の電位を下げることにより行なわれるので、ドライバIC7には高い電圧が掛かることはなく、従ってドライバIC7が分極中に故障するのが防止される。   According to such a manufacturing method, since the polarization is performed after the flexible wiring board 4 of the inkjet head 1 is bonded, the deterioration of the polarization does not occur. In addition, the voltage used for polarization is obtained by lowering the potential of the electrode opposite to the driver IC 7 with respect to the discharge power supply voltage. Therefore, a high voltage is not applied to the driver IC 7, and therefore the driver IC 7 is polarized. It is prevented from breaking inside.

そして電圧印加の順序が、分極電圧−VDD2印加時には、ドライバIC7の出力電圧V0がVDD2電圧(30V)であるため、電流はドライバIC7から圧電変形部PZTに流れ出る方向となり、また、分極電圧−VDD2の放電時には、ドライバIC7の出力電圧V0はゼロ(0V)であるため、電流は圧電変形部PZTからドライバIC7に流入する方向となるように行われる。   When the polarization voltage -VDD2 is applied, the output voltage V0 of the driver IC 7 is the VDD2 voltage (30 V), so that the current flows in the direction from the driver IC 7 to the piezoelectric deformation portion PZT, and the polarization voltage -VDD2 Since the output voltage V0 of the driver IC 7 is zero (0 V) at the time of discharging, the current is directed so as to flow into the driver IC 7 from the piezoelectric deformation portion PZT.

従って、ドライバIC7の出力電圧V0は0〜VDD2の範囲の電圧のみが加えられるため、ドライバIC7が、分極中に故障する可能性が一層低くなる。   Therefore, since only the voltage in the range of 0 to VDD2 is applied to the output voltage V0 of the driver IC 7, the possibility that the driver IC 7 breaks down during polarization is further reduced.

本願発明は、配線基板間の配線接続構造およびその接続検査方法について説明するため、インクジェットヘッドのフレキシブル配線材4の第1配線材5と第2の配線材6の接続構造およびその接続検査方法を例に挙げて説明してきたが、とくに制限されるものではなく、一般的な電子機器や検査機器など、電気配線を使う製品において、配線基板同士を接続する場合に本願発明を適用することができ、配線基板間の特定の電極端子部あるいは特定の接続端子が、それの隣の電極端子部あるいは接続端子との間隔が部分的に小さくなる部分を備え、他の端子部と異なる形状をしていれば、配線基板同士の位置ズレが起こった場合に、他の隣り合う電極端子部あるいは接続端子よりも早く短絡して、従来の機能検査では検査できなかった位置ズレ量を検知でき高い精度の接続検査ができる。また、検査のための端子なども特別に設けることなく、少ない構成で省スペース化でき、かつ、位置ズレを安価に簡単に検査でき生産性が良い。   In order to describe the wiring connection structure between the wiring boards and the connection inspection method, the present invention provides a connection structure between the first wiring member 5 and the second wiring member 6 of the flexible wiring member 4 of the inkjet head and the connection inspection method thereof. Although described as an example, the present invention is not particularly limited, and the present invention can be applied when wiring boards are connected to each other in products using electric wiring such as general electronic equipment and inspection equipment. The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal between the wiring boards has a portion where the distance from the adjacent electrode terminal portion or the connection terminal is partially reduced, and has a different shape from the other terminal portions. Therefore, when a misalignment between the wiring boards occurs, the circuit board is short-circuited earlier than other adjacent electrode terminal portions or connection terminals, and a misalignment that cannot be inspected by the conventional function inspection. Possible accuracy of the connection test is high can detect. In addition, there is no special provision of a terminal for inspection, and the space can be saved with a small configuration, and the positional deviation can be easily inspected at low cost, and the productivity is good.

本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state by which the flexible wiring board was joined to the upper surface of the inkjet head to which this invention is applied. 第1の配線基板と第2の配線基板とが接続されてなる配線基板を示す図である。It is a figure which shows the wiring board by which a 1st wiring board and a 2nd wiring board are connected. (a)〜(d)はそれぞれ検査部分の説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing of a test | inspection part, respectively. (a)〜(d)はそれぞれ検査部分の説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing of a test | inspection part, respectively. 分極工程を説明する回路である。It is a circuit explaining a polarization process. 分極工程の説明図である。It is explanatory drawing of a polarization process. (a)(b)はそれぞれ従来例の説明図である。(A) (b) is explanatory drawing of a prior art example, respectively.

符号の説明Explanation of symbols

1 インクジェットヘッド
5,6 配線基板
11A,11B,11C,11D 配線
11Aa,11Ba,11Ca,11Da 電極端子部
12A,12B,12C,12D 配線
12Aa,12Ba,12Ca,12Da 接続端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head 5,6 Wiring board 11A, 11B, 11C, 11D Wiring 11Aa, 11Ba, 11Ca, 11Da Electrode terminal part 12A, 12B, 12C, 12D Wiring 12Aa, 12Ba, 12Ca, 12Da Connection terminal

Claims (10)

第1の配線基板は、複数の配線が形成され、その一端に前記各配線が電極端子部を有する構成とされる一方、第2の配線基板は、複数の配線が形成され、その配線の一端は、前記電極端子部と同ピッチに形成され、対応して接続する接続端子を有する構成とされ、前記第1の配線基板の各電極端子部それぞれに対し、前記第2の配線基板の各接続端子が相互に対応して重なって接続される配線基板の接続構造であって、
前記複数の電極端子部のうち特定の電極端子部、あるいは、前記複数の接続端子のうち特定の接続端子が、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状を有し、
前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる部分を備えることを特徴とする配線基板の接続構造。
The first wiring board has a structure in which a plurality of wirings are formed and each wiring has an electrode terminal portion at one end thereof, while the second wiring board has a plurality of wirings formed at one end of the wirings. Is formed at the same pitch as the electrode terminal portion and has a connection terminal correspondingly connected thereto, and each connection of the second wiring board to each electrode terminal portion of the first wiring board. A wiring board connection structure in which terminals are connected in correspondence with each other,
A specific electrode terminal portion of the plurality of electrode terminal portions, or a specific connection terminal of the plurality of connection terminals has a shape different from other electrode terminal portions or connection terminals,
The connection structure for a wiring board, wherein the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal includes a portion in which an interval between the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal is partially reduced.
前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、平面視で、前記隣の電極端子部あるいは隣の接続端子側に突出する部分を有することを特徴とする請求項1記載の配線基板の接続構造。   2. The wiring board connection structure according to claim 1, wherein the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a portion protruding toward the adjacent electrode terminal portion or the adjacent connection terminal in a plan view. . 前記隣の電極端子部あるいは接続端子は、平面視で、前記突出する部分に対応して、窪んだ部分を有することを特徴とする請求項2記載の配線基板の接続構造。   3. The wiring board connection structure according to claim 2, wherein the adjacent electrode terminal portion or connection terminal has a recessed portion corresponding to the protruding portion in plan view. 前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、平面視で、切り欠き部を有し、前記隣の電極端子部あるいは接続端子は前記切り欠き部に対応して鍵状の突出部を有する一方、
前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子に対応する前記接続端子あるいは電極端子部は、前記鍵状の突部に間隔を存して噛み合う鍵状の突部を有することを特徴とする請求項1記載の配線基板の接続構造。
The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a notch portion in plan view, and the adjacent electrode terminal portion or the connection terminal has a key-shaped protrusion corresponding to the notch portion. ,
The connection terminal or the electrode terminal portion corresponding to the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal has a key-shaped protrusion that meshes with the key-shaped protrusion with a space therebetween. The connection structure of the wiring board according to 1.
前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、
前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであり、
前記隣の電極端子部と接続されている配線は、前記内部電極に接続されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の配線基板の接続構造。
The wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively.
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the electrodes through the wirings of both the wiring boards,
The wiring connected to the specific electrode terminal portion is used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer in the manufacturing process to polarize the piezoelectric layer,
The wiring board connection structure according to claim 1, wherein the wiring connected to the adjacent electrode terminal portion is connected to the internal electrode.
前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、
前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の接続端子と接続されている配線は、前記内部電極に接続されるものであり、
前記隣の接続端子と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の配線基板の接続構造。
The wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively.
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the electrodes through the wirings of both the wiring boards,
The wiring connected to the specific connection terminal is connected to the internal electrode,
The wiring connected to the adjacent connection terminal is used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer in a manufacturing process to polarize the piezoelectric layer. The connection structure of the wiring board in any one of 1-4.
前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、前記複数の電極端子部あるいは複数の接続端子が配列される方向の端付近に配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の配線基板の接続構造。   The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal is disposed near an end in a direction in which the plurality of electrode terminal portions or the plurality of connection terminals are arranged. Wiring board connection structure described in 1. 第1の配線基板は、複数の配線が形成され、その一端に前記各配線が電極端子部を有する構成とされる一方、第2の配線基板は、複数の配線が形成され、その配線の一端は、前記電極端子部と同ピッチに形成され、対応して接続する接続端子を有する構成とされ、前記第1の配線基板の各電極端子部それぞれに対し、前記第2の配線基板の各接続端子が相互に対応して重なりあって接続される際に、それらの接続状態を検査する配線基板の接続検査方法であって、
前記複数の電極端子部のうち特定の電極端子部あるいは前記複数の接続端子のうち特定の接続端子が、他の電極端子部あるいは接続端子と異なる形状を有し、
前記特定の電極端子部あるいは特定の接続端子は、それの隣の前記電極端子部あるいは接続端子との間隔が、部分的に小さくなる検査部分を備え、
前記第1の配線基板の複数の電極端子部それぞれに対し前記第2の配線基板の複数の接続端子それぞれを接続した際に、前記検査部分と接触する接続端子あるいは電極端子部を介しての、前記特定の電極端子部あるいは接続端子と前記隣の電極端子部あるいは接続端子との導通状態の有無により検査することを特徴とする配線基板の接続検査方法。
The first wiring board has a structure in which a plurality of wirings are formed and each wiring has an electrode terminal portion at one end thereof, while the second wiring board has a plurality of wirings formed at one end of the wirings. Is formed at the same pitch as the electrode terminal portion and has a connection terminal correspondingly connected thereto, and each connection of the second wiring board to each electrode terminal portion of the first wiring board. A wiring board connection inspection method for inspecting a connection state of terminals when they are overlapped and connected in correspondence with each other,
Of the plurality of electrode terminal portions, the specific electrode terminal portion or the specific connection terminal of the plurality of connection terminals has a shape different from other electrode terminal portions or connection terminals,
The specific electrode terminal portion or the specific connection terminal includes an inspection portion in which a distance between the electrode terminal portion or the connection terminal adjacent to the specific electrode terminal portion or the connection terminal is partially reduced,
When connecting each of the plurality of connection terminals of the second wiring board to each of the plurality of electrode terminal parts of the first wiring board, via the connection terminal or the electrode terminal part in contact with the inspection portion, A method for inspecting a connection of a wiring board, comprising: inspecting whether or not there is a conduction state between the specific electrode terminal or connection terminal and the adjacent electrode terminal or connection terminal.
前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、
前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであり、
前記隣の電極端子部と接続されている配線は、前記内部電極に接続されていることを特徴とする請求項8に記載の配線基板の接続検査方法。
The wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively.
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the electrodes through the wirings of both the wiring boards,
The wiring connected to the specific electrode terminal portion is used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer in the manufacturing process to polarize the piezoelectric layer,
The wiring board connection inspection method according to claim 8, wherein the wiring connected to the adjacent electrode terminal portion is connected to the internal electrode.
前記第1及び第2の配線基板の配線は、それぞれインクジェットヘッドを製造する際あるいは駆動する際に用いられるものであり、
前記インクジェットヘッドは、複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記両配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の接続端子と接続されている配線は、前記内部電極に接続されるものであり、
前記隣の接続端子と接続されている配線は、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いるものであることを特徴とする請求項8に記載の配線基板の接続検査方法。
The wirings of the first and second wiring boards are used when manufacturing or driving the inkjet head, respectively.
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to a plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the electrodes through the wirings of both the wiring boards,
The wiring connected to the specific connection terminal is connected to the internal electrode,
The wiring connected to the adjacent connection terminal is used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer in a manufacturing process to polarize the piezoelectric layer. The wiring board connection inspection method according to claim 8.
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