JP2007527532A - Electromagnetic ultrasonic probe - Google Patents
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Abstract
電磁超音波探触子は、相互に直接隣接し作業面(4)に対して平行になるような形で配置され、実質的に矩形の横断面をもつ少なくとも3つの永久磁石(5、6)を内部に形成する磁気システムを備えた本体(1)を含んでなる。中央磁石(5)は、作業面(4)に対し垂直偏波を形成し、側方磁石(6)は水平偏波を形成し、かつ作業面(4)に向けた中央磁石(5)の磁極と同様の磁極を側方磁石(6)が中央磁石(5)に向けている。集中装置(7)は相互に離れて設置され、作業面に対して最も近い中央磁石の磁極表面と接している。その集中装置の下にはインダクタンスコイル(8)が設けられている。磁石は、直方体または環状に成形され、永久磁石または電磁石、すなわちソレノイドの形で組み込まれる。 The electromagnetic ultrasonic probe is arranged in such a way that it is directly adjacent to each other and parallel to the work surface (4) and has at least three permanent magnets (5, 6) having a substantially rectangular cross section. Comprising a body (1) with a magnetic system forming the inside. The center magnet (5) forms a vertically polarized wave with respect to the work surface (4), the side magnet (6) forms a horizontally polarized wave, and the center magnet (5) facing the work surface (4). A side magnet (6) faces a magnetic pole similar to the magnetic pole toward the central magnet (5). The concentrators (7) are placed away from each other and are in contact with the magnetic pole surface of the central magnet closest to the work surface. An inductance coil (8) is provided under the concentration device. The magnet is formed in a rectangular parallelepiped shape or an annular shape, and is incorporated in the form of a permanent magnet or an electromagnet, that is, a solenoid.
Description
本発明は、検査および計測技術装置、より特定的には電磁超音波探触子に関する。 The present invention relates to inspection and measurement technology devices, and more particularly to an electromagnetic ultrasonic probe.
交番する磁極をもつ環状永久磁石で形成された磁気システムと、少なくとも3つの平坦な誘導性コイルと、強磁性材料の3つの集中装置と、を含む電磁超音波探触子(EMAT)が知られている(ロシア特許第2215939号を参照)。 An electromagnetic ultrasonic probe (EMAT) is known that includes a magnetic system formed of annular permanent magnets with alternating magnetic poles, at least three flat inductive coils, and three concentrators of ferromagnetic material. (See Russian Patent No. 2215939).
しかしながら、既にある探触子は高い漏れ磁束を有し、これがその感度の低下を引き起こす。この探触子構成においては、磁束の大部分は空気内を通って流れ、作業ゾーン内に所要レベルの磁気誘導を確保できなくするという相当な抵抗を克服している。 However, existing probes have a high leakage flux, which causes a reduction in sensitivity. In this probe configuration, the majority of the magnetic flux flows through the air, overcoming the considerable resistance that prevents the required level of magnetic induction from being secured within the working zone.
また、本体と、カバーと、ベースと、互いに直接隣接し外側側表面および内側側表面上に配置された磁極をもつ2つの環状永久磁石および、その端面の一方の上に設置されその内側磁極に対し同様の磁極によって面している1つの丸い永久磁石で形成された磁気システムと、からなるEMATも知られている。このEMATもまた、インダクタンスコイルと、強磁性材料で形成され丸い永久磁石と同軸上に設置された円筒形の集中装置とを含んでなる(ロシア出願第2003120724号を参照)。 In addition, the main body, the cover, the base, two annular permanent magnets having magnetic poles that are directly adjacent to each other and disposed on the outer surface and the inner surface, and the inner magnetic pole that is installed on one of the end faces Also known is an EMAT consisting of a magnetic system formed by a single round permanent magnet facing by a similar magnetic pole. This EMAT also comprises an inductance coil and a cylindrical concentrator formed coaxially with a round permanent magnet made of a ferromagnetic material (see Russian application No. 2003072424).
作業ゾーン内に共通の内側磁極を作り出すことで、既知のEMATは磁気誘導を増大させ、その結果、検査の感度が増強される。 By creating a common inner pole within the working zone, the known EMAT increases magnetic induction, resulting in enhanced inspection sensitivity.
しかしながら、この既知のEMATは、10〜12mmに制限された狭い検査ゾーンを有する。検査対象の全表面について連続した検査を行うためには、この対象の周囲上で複数の列の形に複数の探触子を配置しなければならず、その結果、圧延金属探傷用の機器のコストは著しく上昇することになる。 However, this known EMAT has a narrow inspection zone limited to 10-12 mm. In order to continuously inspect the entire surface of the object to be inspected, a plurality of probes must be arranged in a plurality of rows on the periphery of the object. Cost will rise significantly.
また、検査対象の側面に向けられるべき作業面を有する本体と、本体内に配置され永久磁石磁場を形成するための磁気システムと、該磁気システムと連動する磁場集中装置と、探傷パルスを生成し反射パルスを受信するように配置されたインダクタンスコイルと、からなるEMATも知られている。このEMATは、作業面に面している側を除いて、内側に向いた類似の磁極をもつ永久磁石によって全ての側面に取り囲まれた磁心の形をした磁気システムを有する。磁心は、複数の電気工学的鋼板として形成され、対称軸において電気的絶縁および遮音の機能をもつスペーサにより分離されている。磁心の作業部分は、小底辺が作業面に面する台形として形成される。このEMATは、2つのインダクタンスコイルを含んでなり、その1つは探傷用、もう1つは反射パルスの受信用である(RF,U,31305号参照)。 In addition, a main body having a work surface to be directed to a side surface to be inspected, a magnetic system disposed in the main body to form a permanent magnet magnetic field, a magnetic field concentrator interlocking with the magnetic system, and a flaw detection pulse are generated. Also known is an EMAT consisting of an inductance coil arranged to receive a reflected pulse. This EMAT has a magnetic system in the form of a magnetic core surrounded on all sides by a permanent magnet with a similar magnetic pole facing inward, except on the side facing the working surface. The magnetic cores are formed as a plurality of electrical steel plates and are separated by spacers having functions of electrical insulation and sound insulation on the axis of symmetry. The working portion of the magnetic core is formed as a trapezoid whose small base faces the working surface. This EMAT comprises two inductance coils, one for flaw detection and the other for receiving reflected pulses (see RF, U, 31305).
EMATのこの変形形態は、プレート端面の切断、フライス加工および洗浄作業、スペーサの製造、塗装およびワニス作業への適用を必要とするため、磁心製造における高い労働投入量が特徴である。周囲上において磁心をとり囲む永久磁石は、それらの継目の場所で、磁気抵抗の増大した部位を作り出し、これが相当な漏れ磁束の発生を引き起こす。 This variant of EMAT is characterized by a high labor input in the production of the magnetic core, as it requires application to plate end face cutting, milling and cleaning operations, spacer manufacturing, painting and varnishing operations. Permanent magnets that surround the magnetic core on the periphery create sites of increased reluctance at the location of their seams, which causes the generation of substantial leakage flux.
その上、この既知のEMATは、上述のものと同様、狭い検査ゾーンを有し、検査対象物体の連続的検査を実現する場合、該検査対象の棒材表面の周囲で一群のEMAPを回転させるための付加的な機器を使用しなければならない。
本発明の目的は、使用時に物体の超音波検査の効率および収益性を増大させることのできる小さな寸法を有すると共に、高感度で、きわめて広い検査帯域を特徴とし得る電磁超音波探触子を実現することにある。 The object of the present invention is to achieve an electromagnetic ultrasonic probe that has small dimensions that can increase the efficiency and profitability of ultrasonic inspection of objects in use, and that is sensitive and can be characterized by a very wide inspection band There is to do.
この目的は、検査対象の側に向けられるように意図された作業面をもつ本体と、本体内にあり永久磁場を形成するための磁気システムと、磁気システムと協働する、磁場の集中装置と、探傷パルスを形成し反射パルスを受信するのに適合したインダクタンスコイルと、を含んでなる電磁超音波探触子において、本発明によれば、磁気システムが、作業面に対し平行して互いに直接隣接する本体内に配置された矩形横断面をもつ少なくとも3つの永久磁石を含み、中央磁石は作業面に対する垂直偏波を形成し、側方磁石が水平偏波を形成し、かつ中央磁石を作業面に向ける磁極と同様の磁極によって中央磁石に向けられており、各集中装置は、作業面に対しこの磁極の表面に接しており、各集中装置は互いに離れて設置され、作業面に対し最も近くに接しており、インダクタンスコイルが前記集中装置の下に取付けられていることによって、その目的が達成される。 The object is to have a body with a working surface intended to be directed towards the object to be examined, a magnetic system for forming a permanent magnetic field within the body, and a magnetic field concentrator that cooperates with the magnetic system. In an electromagnetic ultrasonic probe comprising an inductance coil adapted to form a flaw detection pulse and receive a reflected pulse, according to the invention, the magnetic systems are directly parallel to each other in parallel to the work surface. Includes at least three permanent magnets with rectangular cross-sections disposed in adjacent bodies, the center magnet forms a vertical polarization with respect to the work surface, the side magnets form a horizontal polarization, and the center magnet is operated Each concentrating device is in contact with the surface of this magnetic pole with respect to the work surface, and each concentrating device is placed away from each other and is most In contact country, by the inductance coil is mounted below the concentrator, the purpose is achieved.
磁石は、直方体形状または環状を有することができる。 The magnet can have a rectangular parallelepiped shape or an annulus.
後者の場合、磁石は電磁石−ソレノイドで形成することができる。 In the latter case, the magnet can be formed of an electromagnet-solenoid.
実施形態の1つにおいては、磁石は、結束具によって締結されたセグメントで形成され得る。 In one embodiment, the magnet can be formed of segments fastened by a tie.
漏れ磁束を低減させるためには、強磁性プレートを磁気システムの表面上に設置し、該プレートは、作業面に向いた該表面の反対側にあることが有益である。 To reduce leakage flux, it is beneficial to place a ferromagnetic plate on the surface of the magnetic system, the plate being on the opposite side of the surface to the working surface.
探触子の感度を増大させるためには、集中装置は好ましくは、化合物を含浸させたカルボニル鉄粉から形成される。 In order to increase the sensitivity of the probe, the concentrator is preferably formed from carbonyl iron powder impregnated with a compound.
磁石材料内において渦電流を誘導する可能性を低減するため、導電性材料のスペーサを、対面する磁石対の各表面と集中装置との間に設けることが有益である。 In order to reduce the possibility of inducing eddy currents in the magnet material, it is beneficial to provide a spacer of conductive material between each surface of the facing magnet pair and the concentrator.
好ましい実施形態においては、集中装置とインダクタンスコイルとの間の空間は、探触子の構造を強化すべく、化合物が充填される。 In a preferred embodiment, the space between the concentrator and the inductance coil is filled with a compound to enhance the structure of the probe.
本発明について、特定の実施形態の記述および図面によってさらに説明する。 The invention is further illustrated by the description of specific embodiments and the drawings.
図1〜3は、ベース2およびカバー3を有する本体1を含む電磁超音波探触子を示し、ベース2の底面は、探触子の作業面4である。磁気システムは、作業面4と平行に互いに直近で隣接して本体1の中に配置された実質的に矩形の横断面をもつ、実施例では少なくとも3つの、永久磁石5、6によって構成された本体1の中に形成される。記載した探触子の実施形態においては、永久磁石5、6は、直方体形状をしている。中央磁石5は垂直偏波を形成し、各側方磁石6は水平偏波を形成し、各該側方磁石6は、作業面4に向いた中央磁石5の磁極と同様の磁極(この場合は「S」極)をもって中央磁石5に対面する。磁場の集中装置7は、相互に予め定められた距離の間隔で配置され、作業面4に対して中央磁石5の直近の表面と接し、集中装置7の下には、インダクタンスコイル8が取付けられており、このインダクタンスコイル8は、探傷用パルスの形成用および検査対象からの反射パルスの受信用である。集中装置7は、例えば、エポキシ樹脂といった化合物が含浸されたカルボニル鉄粉でできている。
1 to 3 show an electromagnetic ultrasonic probe including a main body 1 having a base 2 and a cover 3, and the bottom surface of the base 2 is a working
作業面4に向いた表面とは反対側の磁気システムの表面上に、強磁性材料のプレート9が配置される。作業面4の平面内において、インダクタンスコイル8の下にセラミックプレート10が配置される。集中装置7とインダクタンスコイル8との間の空間には化合物11が充填される。カバー3内にコネクタ12が設置されて、カバー3とベース2は、ネジ13を用いて本体1に締付けられている。
A
図4〜7に示すEMAT実施形態においては、上述のものとは異なり、磁気システムは、環状を有しかつ実施例では非磁性材料の結束具16に囲まれたセグメントの形で作られている3つの永久磁石14、15によって形成される。磁石14、15はまた、一体化された複数の部分として構成することができる。永久環状磁石と電磁石−ソレノイドの両方共、磁石14、15として使用可能である。永久環状磁石14、15は円筒形本体17内に相互に直接隣接して配置され、かくして中央磁石14(図5)は半径方向(横断面では垂直)偏波を形成し、側方磁石15は軸方向(横断面では水平)偏波を形成し、この例では各該側方磁石15は、円筒形状を有する作業面18に向いた中央磁石14の「N」極と同様のN極をもって、中央磁石に対面している。中央磁石14と同心状にセグメント20で形成されたセラミックリング19が、その周囲に沿って規則的間隔で設置されている。インダクタンスコイル8がセグメント20に接着され、集中装置7が、磁石14、15に向いたインダクタンスコイル表面に接着される。EMATのこの実施形態においては、上述のものと同様、インダクタンスコイル8と集中装置7との間の空間には化合物11が充填される。リング19は、溝22が円(図7)内にて規則的な間隔で形成された状態で、中間スリーブ21により円筒形の本体17内に保持される。溝22は内側の凹部23を有し、セグメント20はその内周面に接着される。
In the EMAT embodiment shown in FIGS. 4-7, unlike the one described above, the magnetic system is made in the form of a segment having an annulus and in the example surrounded by a
環状磁石14、15をなす材料内の渦電流はEMAT動作の質に影響を及ぼすことから、この渦電流を防止するため、例えばホイル等の導電性材料からなるスペーサ24が、これらの磁石の表面と、中間スリーブ21の外部表面との間に敷設される。
Since eddy currents in the material forming the
リング19を備えた中間スリーブ21は、端面から、ボルト30、31で本体17に締結される非磁性材料製フランジ25、26、27、28および29によって、固定される。
The
インダクタンスコイル8のリード線32(図4)を敷設するために、中間スリーブ21内には溝22を通して敷設溝33が具備される。さらに、電源に探触子を接続するために、本体17上には電気コネクタ34が設置される。
In order to lay the lead wire 32 (FIG. 4) of the
図1〜3に示されたEMAT実施形態は、鋼板、圧延金属等の平坦な物体の超音波品質検査を実現するために最も都合が良い。 The EMAT embodiment shown in FIGS. 1-3 is most convenient for realizing ultrasonic quality inspection of flat objects such as steel plates, rolled metals and the like.
超音波検査の実際の実施形態においては、探触子は、その作業面4が検査対象の表面に向けられるような形でこの対象の近くに、そして探触子の磁場が、その検査対象の配置域全体を網羅できるような距離のところに、設置される。かくして、磁場は金属内に閉じた状態となる。インダクタンスコイル8は、検査対象内において超音波変動を誘発するような予め定められた周波数の探傷用パルスで励起され、そして探触子磁気システムの永久磁場におけるその変動は、交番磁場へと変換される。この交番磁場はインダクタンスコイル8内にて交流電流を誘発し、これは受信機(図示せず)により電気信号の形で受信される。欠陥のサイズおよび座標は、その欠陥からの反射パルスと基準(探傷用)パルスとの比により判定される。
In an actual embodiment of ultrasonic inspection, the probe is close to this object in such a way that its working
探触子磁気システムの提案された構成は、作業ギャップ「C」内において、中央磁石5の下に力線の最大の集中が観察される図8から明らかなように、この中央磁石5の下で最大の誘導を達成する。実際には、調査によれば、磁石5、6により作り出された磁束全体がインダクタンスコイル8の配置域内に集中し、これが超音波検査において欠陥から反射される信号の高いレベルを達成する。
The proposed configuration of the probe magnetic system is shown in FIG. 8 where maximum concentration of field lines is observed under the
カルボニル鉄粉を集中装置7に適用することにより、信号を歪ませることになるその中での渦電流をなくす。
Application of carbonyl iron powder to the
磁石5、6の表面上に強磁性材料プレート9を設置することにより、漏洩による磁束の損失を低減させて、より高レベルの信号の受信を可能にする。
By installing the
実質的にその長さ全体にわたり中央磁石5の下に多数のインダクタンスコイル8を設置することにより、基本的に探触子検査帯域を拡張することができる。
By installing a number of
図4〜7に示した第2のEMAT実施形態は主として、棒材の超音波検査で使用するためのものである。このEMATは、検査対象35、特に検査中に環状磁石14、15内の開口を通過させられる棒材に対し、インダクタンスコイル8を放射状配置にしたマルチチャンネル構成を提供する。
The second EMAT embodiment shown in FIGS. 4-7 is primarily for use in ultrasonic inspection of bars. This EMAT provides a multi-channel configuration in which the
図5から分かるように、検査対象35の表面に対する、永久環状磁石または電磁石−ソレノイドの内側表面上でのインダクタンスコイル8の放射状配置は、該検査対象の事実上100%の(連続)検査の達成を可能にする。特に、該EMATを用いた95mmの直径をもつ棒材の超音波検査においては、本発明に基づき、インダクタンスコイル8によって、円における、全検査域120mmを達成する。
As can be seen from FIG. 5, the radial arrangement of the
その他の直径の棒材の超音波検査のために、設計は同様であるものの、インダクタンスコイルおよび磁石または電磁石−ソレノイドの数およびサイズが異なるEMATを作ることができる。 For ultrasonic inspection of rods of other diameters, EMATs can be made with similar numbers but different numbers and sizes of inductance coils and magnets or electromagnet-solenoids.
控えを含んで100%を達成する必要がある場合、最初のものと類似であるが、それに対しわずかに違えたもう1つのEMATを、検査対象の進路中にさらに設置することができる。 If it is necessary to achieve 100% including the reserve, another EMAT that is similar to the first but slightly different can be placed in the course of the examination object.
寸法が小さいこのEMAT実施形態は広い検査域を提供し、製造上の理由で1つの平面内に整列させることのできない単一チャネルの4台のEMATを、10台以上相当に置き代え得るものである。 This small EMAT embodiment provides a wide inspection area and can replace four or more single-channel four EMATs that cannot be aligned in one plane for manufacturing reasons. is there.
このEMAT実施形態は、前述のものと同様、磁石14、15により生成される全ての磁束が、図9および10に例示されたインダクタンスコイル8の下の作業ギャップ「C」内に集中することから、高感度をその特徴としている。
This EMAT embodiment, similar to that described above, is because all the magnetic flux generated by the
このEMAT実施形態のさらにもう1つの利点は、検査対象の棒材表面にEMATを近接させまた検査の完了時にEMATを撤去するために必要とされるトラッキング機構が、棒材検査での超音波検査装置の構成の中にはないという点にある。 Yet another advantage of this EMAT embodiment is that the tracking mechanism required to bring the EMAT closer to the surface of the bar to be inspected and to remove the EMAT upon completion of the inspection is an ultrasonic inspection in the bar inspection. It is not in the configuration of the device.
本発明により実施される電磁超音波探触子は、主として材料および物体、特に高品質圧延金属、鋼板、棒材の超音波非破壊品質検査のための装置において使用する。 The electromagnetic ultrasonic probe implemented by the present invention is mainly used in an apparatus for ultrasonic nondestructive quality inspection of materials and objects, particularly high-quality rolled metal, steel plate and bar.
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