JP2007170838A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007170838A JP2007170838A JP2005364962A JP2005364962A JP2007170838A JP 2007170838 A JP2007170838 A JP 2007170838A JP 2005364962 A JP2005364962 A JP 2005364962A JP 2005364962 A JP2005364962 A JP 2005364962A JP 2007170838 A JP2007170838 A JP 2007170838A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- illumination light
- image
- appearance inspection
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
【課題】 曲面をもつ部品表面にも照明光源の輝点が映り込まない画像が得られるようにし、該画像を解析することにより色情報を用いた検査精度を向上させる。
【解決手段】 被外観検査物を照明する照明光源21と、該照明光源21に照明された被外観検査物を撮像する撮像手段(カメラ18)とを備えた基板外観検査装置において、前記照明光源21による照明条件を変えながら前記カメラ18により前記被外観検査物を撮像して得られた複数の画像を保持する画像保持手段と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源21の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段とを付設して、被外観検査物が曲面を有する部品であっても、照明光源21の映り込みのない画像が得られるようにしている。
【選択図】 図2
【解決手段】 被外観検査物を照明する照明光源21と、該照明光源21に照明された被外観検査物を撮像する撮像手段(カメラ18)とを備えた基板外観検査装置において、前記照明光源21による照明条件を変えながら前記カメラ18により前記被外観検査物を撮像して得られた複数の画像を保持する画像保持手段と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源21の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段とを付設して、被外観検査物が曲面を有する部品であっても、照明光源21の映り込みのない画像が得られるようにしている。
【選択図】 図2
Description
本願発明は、外観検査装置に関し、さらに詳しくは撮像用の照明光源の画像への映り込みを解消し得るようにした外観検査装置に関するものである。
従来からよく知られている外観検査装置には、例えば基板に実装された被外観検査物(例えば、検査対象物品)の画像と、予めメモリ内に記憶された比較対象物(例えば、比較対象部品)との画像を比較して部品の良否を検査する装置において、前記メモリ内に同一規格の比較対象部品における形状やマーク等の相違する複数の画像を記憶し、前記検査対象部品の画像と前記複数個の比較対象部品の画像との比較を順次行い、検査対象部品と比較対象部品とが一致するか否かの判定を行うようにしたものがある(特許文献1参照)。
上記構成の外観検査装置における照明光源は、撮像手段の撮像範囲と作動距離および画角を考慮し、基板表面による照明光源の輝点が撮像範囲外になるような位置に設置しなければならないとされていた。このようにすることにより、被外観検査物である基板表面や集積回路(換言すれば、IC)のように撮像光軸に対して垂直な平面をもつ部品は、照明光源を撮像光軸から離れた位置に配置することにより、撮像画像に照明光源の反射輝点が映り込まないようにすることができる。
ところが、被外観検査物である基板に実装されている部品には、炭素皮膜固定抵抗器のように曲面をもつ部品も多く使用されている。このような曲面をもつ部品の場合、照明光源の位置を撮像光軸から離しても、照明光源の輝点が部品表面に映り込むのを除去することが難しい。照明光源の輝点が映り込んだ部品の色情報は失われているため、画像処理を行う際に照明光源の輝点が映り込んでいる部品を除外しなければならない。
例えば、炭素皮膜固定抵抗器の場合、図4(イ)に示すように、部品(例えば、炭素皮膜固定抵抗器)1の周囲全体に照明光源の輝点Kが映り込んで見えるが、部品1の表面形状によっては、カラーバーCの部分に照明光源の輝点Kが映り込んで見えることがあり、カラーバーCの部分の画像が使えないことから、正常に数値を読み取ることができない現象が発生するという不具合が生じていた。
本願発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、曲面をもつ部品表面にも照明光源の輝点が映り込まない画像が得られるようにし、該画像を解析することにより色情報を用いた検査精度を向上させることを目的としている。
本願発明では、上記課題を解決するための第1の手段として、被外観検査物を照明する照明光源と、該照明光源に照明された前記被外観検査物を撮像する撮像手段とを備えた外観検査装置において、前記照明光源による照明条件を変えながら前記撮像手段により前記被外観検査物を撮像して得られた複数の画像を保持する画像保持手段と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段とを付設している。
上記のように構成したことにより、被外観検査物を撮像するに当たって、該被外観検査物を照明する照明光源による照明条件を変えながら複数の画像を撮像し、これらの複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなる。従って、被外観検査物が曲面を有する部品であっても、照明光源の映り込みのない画像が得られることとなり、被外観検査物における外観の検査精度を向上させることができる。
本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第2の手段として、上記第1の手段を備えた外観検査装置において、前記照明光源を、複数の発光ダイオードで構成し且つ該発光ダイオードを個別もしくは複数個単位で点灯あるいは消灯する機能を有するものとするとともに、前記画像保持手段を、前記発光ダイオードの点灯と消灯との組み合わせを変えながら前記撮像手段により撮像された複数の画像を保持するように構成することもでき、そのように構成した場合、複数の発光ダイオードからなる照明光源を点灯あるいは消灯して得られた複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源の簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第3の手段として、上記第2の手段を備えた外観検査装置において、前記発光ダイオードを、前記被外観検査物を撮像する光軸周りに円環形状に配置するとともに前記光軸周りに90°単位で点灯および消灯する機能を付設することもでき、そのように構成した場合、円環形状に配置された発光ダイオードを、光軸周りに90°単位で点灯および消灯して得られた複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源の簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第4の手段として、上記第3の手段を備えた外観検査装置において、前記発光ダイオードを、対向する2方向において点灯し、残りの2方向において消灯するように構成することもでき、そのように構成した場合、円環形状に配置された発光ダイオードを、光軸周りに90°単位で対向する2方向において点灯し、残りの2方向において消灯して得られた二つの画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源のより一層簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第5の手段として、上記第1、第2、第3又は第4の手段を備えた外観検査装置において、前記画像処理手段を、前記複数の各画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とするように構成することもでき、そのように構成した場合、照明光源の照明条件を変えながら撮像して得られた複数の画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、被外観検査物における外観の検査精度をより一層向上させることが可能となる。
本願発明の第1の手段によれば、被外観検査物を照明する照明光源と、該照明光源に照明された前記被外観検査物を撮像する撮像手段とを備えた外観検査装置において、前記照明光源による照明条件を変えながら前記撮像手段により前記被外観検査物を撮像して得られた複数の画像を保持する画像保持手段と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段とを付設して、被外観検査物を撮像するに当たって、該被外観検査物を照明する照明光源による照明条件を変えながら複数の画像を撮像し、これらの複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られるようにしたので、被外観検査物が曲面を有する部品であっても、照明光源の映り込みのない画像が得られることとなり、被外観検査物における外観の検査精度を向上させることができるという効果がある。
本願発明の第2の手段におけるように、上記第1の手段を備えた外観検査装置において、前記照明光源を、複数の発光ダイオードで構成し且つ該発光ダイオードを個別もしくは複数個単位で点灯あるいは消灯する機能を有するものとするとともに、前記画像保持手段を、前記発光ダイオードの点灯と消灯との組み合わせを変えながら前記撮像手段により撮像された複数の画像を保持するように構成することもでき、そのように構成した場合、複数の発光ダイオードからなる照明光源を点灯あるいは消灯して得られた複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源の簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明の第3の手段におけるように、上記第2の手段を備えた外観検査装置において、前記発光ダイオードを、前記被外観検査物を撮像する光軸周りに円環形状に配置するとともに前記光軸周りに90°単位で点灯および消灯する機能を付設することもでき、そのように構成した場合、円環形状に配置された発光ダイオードを、光軸周りに90°単位で点灯および消灯して得られた複数の画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源の簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明の第4の手段におけるように、上記第3の手段を備えた外観検査装置において、前記発光ダイオードを、対向する2方向において点灯し、残りの2方向において消灯するように構成することもでき、そのように構成した場合、円環形状に配置された発光ダイオードを、光軸周りに90°単位で対向する2方向において点灯し、残りの2方向において消灯して得られた二つの画像を演算処理することにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源のより一層簡単な制御で被外観検査物における外観の検査精度を向上させることが可能となる。
本願発明の第5の手段におけるように、上記第1、第2、第3又は第4の手段を備えた外観検査装置において、前記画像処理手段を、前記複数の各画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とするように構成することもでき、そのように構成した場合、照明光源の照明条件を変えながら撮像して得られた複数の画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることにより、照明光源の映り込みが除去された画像が得られることとなり、被外観検査物における外観の検査精度をより一層向上させることが可能となる。
以下、添付の図面を参照して、本願発明の好適な実施の形態について説明する。
この外観検査装置は、図1に示すように、被外観検査物である電装部品1を備えた基板(例えば、プリント基板)2をセットする基板セット装置3と、該基板セット装置3を図示において左右方向に移動させるガイドレール4を備えた基台5と、前記基板セット装置3の上方において図示において紙面と直交する方向にガイドレール7,7に案内されて移動される撮像ヘッド6と、前記ガイドレール7,7を有し、前記基台5に対して支持されたヘッド支持台8と、各種の駆動電源等を内蔵する電源装置9とを備えて構成されている。
前記基板セット装置3は、前記ガイドレール4に案内される移動台11と、該移動台11上に前記基板2をセットすべく立設された一対のセット台12A,12Bとからなっており、一方(換言すれば、図示右側)のセット台12Aの上端には、前記基板2の一端を載置するための係止部13Aが設けられ、他方(換言すれば、図示左側)のセット台12Bには、その上端に設けられた係止部13Bに係止された基板2の他端をロックするロック部材14が揺動自在に枢支されている。符号15は前記ロック部材14をロック方向に付勢するスプリングである。
また、前記基台5の一端(換言すれば、図示左端)には、前記移動台11が図示左側に移動したときに前記ロック部材14を押圧して前記スプリング15の付勢力に抗してロック解除方向に揺動させるロック解除部材16が立設されている。
前記撮像ヘッド6は、前記ガイドレール7,7に案内されて移動するスライダ17と、該スライダ17を下面に支持する撮像手段として作用するカメラ18と、該カメラ18の一端から垂設された照明部19とからなっている。
前記照明部19は、図2に示すように、前記カメラ18のレンズ20と、被撮像体である基板(被外観検査物)2を照明する照明光源21とからなっている。
前記照明光源21は、図3に示すように、傘形状の支持部材22と、該支持部材22の下面に前記レンズ20の光軸周りに円環形状で内周側および外周側に配置された多数の発光ダイオード(以下、LEDという)23,23・・とからなっている。前記各LED23の発色としては、特に限定はないが、例えば、白色LEDが採用される。
前記発光ダイオード23,23・・は、前記レンズ20の光軸周りに90°単位で4個の領域A,B,C,Dに4分割されており、これらの領域A,B,C,Dに所属するLED23,23・・は、対向する2方向である領域A,Cが点灯されているときは、残りの2方向である領域B,Dは消灯され、対向する2方向である領域A,Cが消灯されているときは、対向する2方向である領域B,Dは点灯されることとなっている。
そして、前記カメラ18によって撮像された画像は、画像処理装置(例えば、パソコン)24に送信されることとなっている。該パソコン24は、前記照明光源21による照明条件を変えながら前記カメラ18により前記基板2および電装部品1を撮像して得られ複数の画像を保持する画像保持手段としての機能と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源21の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段としての機能とを備えている。
本実施の形態においては、前記画像保持手段は、前記発光ダイオード23,23・・の点灯と消灯との組み合わせ(即ち、対向する2方向である領域A,Cが点灯されているときは、残りの2方向である領域B,Dは消灯され、対向する2方向である領域A,Cが消灯されているときは、対向する2方向である領域B,Dは点灯されるという組み合わせ)を変えながら前記カメラ18により撮像された複数の画像を保持するように構成されており、前記画像処理手段は、得られた複数の各画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることにより、照明光源21の映り込みを除去した画像を生成するように構成されている。
上記構成の外観検査装置においては、次のような作用効果が得られる。
基板2表面および基板2表面に配置された電装部品1(被外観検査物)を撮像するに当たって、基板2表面および電装部品1を照明する照明光源21による照明条件を変えながら(本実施の形態の場合、対向する2方向である領域A,Cが点灯されているときは、残りの2方向である領域B,Dは消灯され、対向する2方向である領域A,Cが消灯されているときは、対向する2方向である領域B,Dは点灯されるという組み合わせを変えながら)複数の画像を撮像する。すると、対向する2方向である領域A,Cが点灯され、残りの2方向である領域B,Dが消灯される照明条件で撮像された画像は、図4(ロ)に示すように、上下に照明光源21の円弧形状の輝点K,K・・が映り込んだものとなり、対向する2方向である領域A,Cが消灯され、対向する2方向である領域B,Dが点灯される照明条件で撮像された画像は、図4(ハ)に示すように、左右に照明光源21の円弧形状の輝点K,K・・が映り込んだものとなる。
上記のようにして得られた複数の画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることにより、図4(ニ)に示すように、照明光源21の映り込みが除去された画像が得られることとなる。従って、電装部品1が曲面を有する部品(例えば、炭素皮膜固定抵抗器)であっても、照明光源の映り込みのない画像が得られることとなり、基板外観の検査精度を向上させることができる。
しかも、本実施の形態においては、照明光源21を、複数の発光ダイオード23,23・・で構成し且つ該発光ダイオード23,23・・を個別もしくは複数個単位で点灯あるいは消灯する機能を有するものとするとともに、画像保持手段を、発光ダイオード23,23・・を点灯および消灯して(例えば、光軸周りに90°単位で点灯および消灯して)組み合わせを変えながらカメラ18により撮像された複数の画像を保持するように構成しているので、複数の発光ダイオード23,23・・からなる照明光源21を点灯あるいは消灯して得られた複数の画像を演算処理することにより、照明光源21の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源21の簡単な制御で基板外観の検査精度を向上させることが可能となる。
また、発光ダイオード23,23・・を、対向する2方向において点灯され、残りの2方向において消灯するように構成しているので、円環形状に配置された発光ダイオード23,23・・を、光軸周りに90°単位で対向する2方向において点灯され、残りの2方向において消灯して得られた二つの画像を演算処理することにより、照明光源21の映り込みが除去された画像が得られることとなり、照明光源21のより一層簡単な制御で基板外観の検査精度を向上させることが可能となる。
さらに、画像処理手段を、複数の各画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とするように構成しているので、照明光源21の照明条件を変えながら撮像して得られた複数の画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることにより、照明光源21の映り込みが除去された画像が得られることとなり、基板外観の検査精度をより一層向上させることが可能となる。
本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜設計変更可能なことは勿論である。
1は電装部品(被外観検査物)
2は基板(被外観検査物)
18は撮像手段(カメラ)
20はレンズ
21は照明光源
23は発光ダイオード(LED)
24は画像処理装置(パソコン)
A,B,C,Dは発光ダイオードの分割領域
2は基板(被外観検査物)
18は撮像手段(カメラ)
20はレンズ
21は照明光源
23は発光ダイオード(LED)
24は画像処理装置(パソコン)
A,B,C,Dは発光ダイオードの分割領域
Claims (5)
- 被外観検査物を照明する照明光源と、該照明光源に照明された前記被外観検査物を撮像する撮像手段とを備えた外観検査装置であって、前記照明光源による照明条件を変えながら前記撮像手段により前記被外観検査物を撮像して得られた複数の画像を保持する画像保持手段と、該画像保持手段により保持された複数の画像を演算処理することにより前記照明光源の映り込みを除去した画像を生成する画像処理手段とを付設したことを特徴とする外観検査装置。
- 前記照明光源は、複数の発光ダイオードで構成され、該発光ダイオードを個別もしくは複数個単位で点灯あるいは消灯する機能が付設されており、前記画像保持手段は、前記発光ダイオードの点灯と消灯との組み合わせを変えながら前記撮像手段により撮像された複数の画像を保持するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 前記発光ダイオードは、前記被外観検査物を撮像する光軸周りに円環形状に配置されており、前記光軸周りに90°単位で点灯および消灯する機能が付設されていることを特徴とする請求項2記載の外観検査装置。
- 前記発光ダイオードは、対向する2方向において点灯され、残りの2方向において消灯されることを特徴とする請求項3記載の外観検査装置。
- 前記画像処理手段は、前記複数の各画像における同じ座標の明るさを比較し、該比較により最も暗い画素の色をその座標の色とすることを特徴とする請求項1、2、3および4のいずれか一項記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005364962A JP2007170838A (ja) | 2005-12-19 | 2005-12-19 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005364962A JP2007170838A (ja) | 2005-12-19 | 2005-12-19 | 外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007170838A true JP2007170838A (ja) | 2007-07-05 |
Family
ID=38297607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005364962A Pending JP2007170838A (ja) | 2005-12-19 | 2005-12-19 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007170838A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163766A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理システム |
JP2015068668A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社Screenホールディングス | 外観検査装置 |
CN104515775A (zh) * | 2013-10-01 | 2015-04-15 | 由田新技股份有限公司 | 光学检测设备及方法 |
CN107576673A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-01-12 | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 | 一种碳油板外观检验方法 |
JP2020046310A (ja) * | 2018-09-19 | 2020-03-26 | アンリツインフィビス株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2021073421A (ja) * | 2013-03-29 | 2021-05-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | システム |
EP4184150A4 (en) * | 2020-07-15 | 2024-01-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | IMAGING SYSTEM, INSPECTION SYSTEM, INFORMATION PROCESSING DEVICE, INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM THEREOF, AND IMAGING CONTROL METHOD AND PROGRAM THEREOF |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001229381A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 画像処理検査システムおよびその方法 |
JP2004177238A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2005017234A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Sony Corp | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
-
2005
- 2005-12-19 JP JP2005364962A patent/JP2007170838A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001229381A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 画像処理検査システムおよびその方法 |
JP2004177238A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2005017234A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Sony Corp | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163766A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理システム |
US8538127B2 (en) | 2010-02-04 | 2013-09-17 | Omron Corporation | Image processing method and image processing system |
JP2021073421A (ja) * | 2013-03-29 | 2021-05-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | システム |
JP2015068668A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社Screenホールディングス | 外観検査装置 |
CN104515775A (zh) * | 2013-10-01 | 2015-04-15 | 由田新技股份有限公司 | 光学检测设备及方法 |
CN107576673A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-01-12 | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 | 一种碳油板外观检验方法 |
JP2020046310A (ja) * | 2018-09-19 | 2020-03-26 | アンリツインフィビス株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP7054373B2 (ja) | 2018-09-19 | 2022-04-13 | アンリツ株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
EP4184150A4 (en) * | 2020-07-15 | 2024-01-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | IMAGING SYSTEM, INSPECTION SYSTEM, INFORMATION PROCESSING DEVICE, INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM THEREOF, AND IMAGING CONTROL METHOD AND PROGRAM THEREOF |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI422800B (zh) | 板檢驗裝置及方法 | |
KR101241175B1 (ko) | 실장기판 검사장치 및 검사방법 | |
KR20120058443A (ko) | 다중 모드 이미징 | |
JP2014526706A (ja) | 非接触式部品検査装置及び部品検査方法 | |
JP6233824B1 (ja) | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP4987511B2 (ja) | プリント配線板の検査装置 | |
JP2007170838A (ja) | 外観検査装置 | |
KR20110069058A (ko) | 3차원 물체를 2차원 평면 화상으로 광학적으로 전환시키는 장치 및 방법 | |
JP2006118896A (ja) | フレキシブルプリント配線板の外観検査方法 | |
EP4007481B1 (en) | Substrate work system | |
US20060165274A1 (en) | Apparatus for inspecting appearance of inspection piece | |
JP2007322166A (ja) | プリント基板検査装置 | |
JP2005337957A (ja) | 基板検査装置 | |
US20050254700A1 (en) | Apparatus and method for detecting hole area | |
JP2000028320A (ja) | 画像認識装置および画像認識方法 | |
JP2008082714A (ja) | スクリーン印刷検査方法及びスクリーン印刷検査装置 | |
JP5832167B2 (ja) | 部品有無判定装置及び部品有無判定方法 | |
JP2009042093A (ja) | 電子部品検査装置および電子部品検査方法 | |
JP2008227301A (ja) | 電子回路部品装着検査方法および装置 | |
JP5296490B2 (ja) | 被検査体の検査装置 | |
JP2015219162A (ja) | 検査装置 | |
JP6339849B2 (ja) | 検査装置 | |
JPH05288527A (ja) | 実装基板外観検査方法およびその装置 | |
WO2021152963A1 (ja) | 撮像装置、検査装置および検査方法 | |
JP2012225716A (ja) | 基板の外観検査装置および外観検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110809 |