JP2007012874A - 基板加熱方法、基板加熱装置および熱風式リフロー装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クリーム半田が付与され該クリーム半田上に電子部品等のデバイスが搭載されている基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して加熱する基板加熱方法において、基板に第1の熱風を吹き付けて均一加熱する一方、第1の熱風の通風路外から基板の特定部に第1の熱風とは温度、風速の少なくともいずれか一方が異なる第2の熱風を吹き付けて局所加熱する。
【選択図】図1
Description
12 基板搬送部
14 加熱部
16 均一加熱用熱風供給ヘッド
16g 均一加熱用熱風吹き出しノズル(第1の熱風吹き出しノズル)
18 熱風供給ダクト
18a 局所加熱用熱風吹き出しノズル(第2の熱風吹き出しノズル)
20 局所加熱用熱風供給ヘッド
22 ダクト通路開閉部
24 ダクト駆動部
30 基板
Claims (8)
- クリーム半田が付与され該クリーム半田上にデバイスが搭載されている基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して加熱する基板加熱方法において、
基板に第1の熱風を吹き付けて均一加熱する一方、
第1の熱風の通風路外から基板の特定部に第1の熱風とは温度、風速の少なくともいずれか一方が異なる第2の熱風を吹き付けて局所加熱する、ことを特徴とする基板加熱方法。 - クリーム半田が付与され該クリーム半田上にデバイスが搭載されている基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して加熱する基板加熱装置において、
基板に第1の熱風を吹き付けて均一加熱する第1の熱風吹き出しノズルと、
第1の熱風の通風路外から基板の特定部に第1の熱風とは温度、風速の少なくともいずれか一方が異なる第2の熱風を吹き付けて局所加熱する第2の熱風吹き出しノズルと、
を備えたことを特徴とする基板加熱装置。 - クリーム半田が付与され該クリーム半田上にデバイスが搭載されている基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して加熱する基板加熱装置において、
基板に第1の熱風を吹き付けて均一加熱する第1の熱風吹き出しノズルを備えた熱風吹き出しヘッドと、
第1の熱風の通風路外に配置された第2の熱風供給ダクトとを備え、
第2の熱風供給ダクトに第1の熱風とは温度、風速の少なくともいずれか一方が異なる第2の熱風を基板の特定部に吹き付けて局所加熱する第2の熱風吹き出しノズルを設けた、
ことを特徴とする基板加熱装置。 - クリーム半田が付与され該クリーム半田上にデバイスが搭載されている基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して加熱する基板加熱装置において、
複数の第1の熱風供給ダクトを所定間隔で配置し、
これら第1の熱風供給ダクトと交差させて複数の第2の熱風供給ダクトを所定間隔で配置し、
第1の熱風供給ダクトにおける第2の熱風供給ダクトと交差しない部分に第1の熱風を吹き出して基板を均一加熱する第1の熱風吹き出しノズルを設け、
第2の熱風供給ダクトには第1の熱風とは温度、風速の少なくともいずれか一方が異なる第2の熱風を吹き出して基板の特定部を局所加熱する第2の熱風吹き出しノズルを設けた、ことを特徴とする基板加熱装置。 - 第2の熱風供給ダクトをダクト長さを順次に短くして重ね配置するとともに各第2の熱風供給ダクトのダクト端部を基板方向に折り曲げ該ダクト端部開口を第2の熱風吹き出しノズルとした、ことを特徴とする請求項3または4に記載の基板加熱装置。
- 第2の熱風吹き出しノズルからの第2の熱風の供給および供給停止の制御を可能とした、ことを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の基板加熱装置。
- 第2の熱風供給ダクトをダクト長さ方向に任意の位置に移動可能とした、ことを特徴とする請求項3ないし6のいずれかに記載の基板加熱装置。
- 基板を搬送する基板搬送部と、搬送される基板に相対向した位置に配置されて該基板にリフロー半田付けのための熱風を供給して基板を加熱する基板加熱装置とを備えた熱風式リフロー装置において、予備加熱室もしくはリフロー加熱室の少なくとも1室に、前記基板加熱装置が、請求項1ないし7のうちのいずれか1項に記載の基板加熱装置である、ことを特徴とする熱風式リフロー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2007012874A (ja) |
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- 2005-06-30 JP JP2005191872A patent/JP2007012874A/ja active Pending
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