JP2007075943A - 角形状基板の両面研磨装置および両面研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 キャリア4の基板収納ポケット部内に角形状基板3を保持し、この基板を逆方向に回転する一対の偏心角形状研磨パッド1,2の間を通過させて前記角形状基板の両面を同時に研磨する方法において、前記一対の偏心角形状研磨パッド1,2をその研磨面1a,2aを平行にして異なった軸心1c,2cで回転するよう配置し、前記基板を前記研磨パッドの間に一定時間留まらせるとともに、前記角形状基板の研磨中に前記キャリア4を間歇的に左右に往復揺動させることにより前記角形状基板の両面を研磨する。
【選択図】 図3
Description
中央部に基板収納ポケット部が設けられたキャリア、
該キャリアの左右直線移動機構、
回転軸心を研磨パッドの中心点より外した一対の偏心角形状研磨パッドであって、この一対の角形状研磨パッドの研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置した一対の偏心角形状研磨パッド、
前記偏心角形状研磨パッドの昇降機構および回転駆動機構、および
前記基板収納ポケット部に収納された基板と偏心角形状研磨パッドとが接する面に研磨液を供給する研磨液供給手段、
を備える角形状基板の両面研磨装置を提供するものである。
図1は角形状基板の両面研磨装置の一部分を切り欠いた斜視図、図2は両面研磨装置の研磨ヘッド部の一部分を切り欠いた断面図、および、図3は角形状基板を両面研磨加工しているときの角形状基板と偏心角形状研磨パッドの動きを示す平面図である。
1c,2c 偏心角形状研磨パッドの回転軸心
3 角形状ガラス基板
4 キャリア
5 研磨ヘッド
6a,6b 中空スピンドル
100 両面研磨装置
200 基板の位置決め装置
300 基板の搬送ロボット
Claims (2)
- 中央部に基板収納ポケット部が設けられたキャリア、
該キャリアの左右直線移動機構、
回転軸心を研磨パッドの中心点より外した一対の偏心角形状研磨パッドであって、この一対の角形状研磨パッドの研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置した一対の偏心角形状研磨パッド、
前記偏心角形状研磨パッドの昇降機構および回転駆動機構、および
前記基板収納ポケット部に収納された基板と偏心角形状研磨パッドとが接する面に研磨液を供給する研磨液供給手段、
を備える角形状基板の両面研磨装置。 - キャリアの基板収納ポケット部内に角形状基板を保持し、この基板を逆方向に回転する一対の偏心角形状研磨パッドの間を通過させて、前記角形状基板の両面を同時に研磨する角形状基板の研磨方法において、前記一対の偏心角形状研磨パッドをその研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置し、前記角形状基板を前記偏心角形状研磨パッドの間に一定時間留まらせるとともに、前記角形状基板の研磨中に前記キャリアを間歇的に左右に往復揺動させることにより前記角形状基板の両面を研磨することを特徴とする角形状角形状基板の研磨方法。
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