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JP2006352073A - Conductive pattern material, translucent conductive film, translucent electromagnetic wave shield film, optical filter, transparent conductive sheet, electroluminescence element, and flat light source system - Google Patents

Conductive pattern material, translucent conductive film, translucent electromagnetic wave shield film, optical filter, transparent conductive sheet, electroluminescence element, and flat light source system Download PDF

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JP2006352073A
JP2006352073A JP2006030237A JP2006030237A JP2006352073A JP 2006352073 A JP2006352073 A JP 2006352073A JP 2006030237 A JP2006030237 A JP 2006030237A JP 2006030237 A JP2006030237 A JP 2006030237A JP 2006352073 A JP2006352073 A JP 2006352073A
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JP
Japan
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group
translucent
conductive film
light
silver
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Application number
JP2006030237A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirotomo Sasaki
博友 佐々木
Naoto Oshima
直人 大島
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fujifilm Holdings Corp
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Publication date
Application filed by Fujifilm Holdings Corp filed Critical Fujifilm Holdings Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive pattern and a translucent conductive film that have high conductivity, and a translucent electromagnetic shield film without a moire having both a high EMI shield property and high transparency, and to provide a forming method for the translucent electromagnetic wave shield film which facilitates the formation of a thin linear pattern, and allows the inexpensive mass production of the shield film, a translucent electromagnetic wave shield film for a plasma display panel which includes the translucent electromagnetic wave shield film, a plasma display panel, a transparent conductive sheet, and an electroluminescence element. <P>SOLUTION: A method for providing a conductive pattern material includes a step of exposing to light and developing a photosensitive material having a silver salt containing layer, and subjecting the photosensitive material further to physical development and/or plating treatment. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、新規な導電性パターン材料、及び透光性導電性膜、及び、CRT(陰極線管)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、液晶、EL(エレクトロルミネッセンス)、FED(フィールドエミッションディスプレイ)などのディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線板などから発生する電磁波を遮蔽し、かつ、透明性を有する透光性電磁波シールド膜に関するものであり、かつ、それらの製造方法および該製造方法、並びに、プラズマディスプレイパネル用透光性電磁波シールド膜およびこれを有するプラズマディスプレイパネル用フィルターならびにプラズマディスプレイパネルに関する。
また、本発明は、光透過性が高く、安価で表面抵抗率が、極めて低い透明導電性シートを提供する。本発明の透明導電性シートは、特にエレクトロルミネッセンス(以下、「EL」ともよぶ。)素子の高輝度・高耐久化に好ましく用いることができる。
更にまた、本発明は、大面積で高輝度かつ長寿命なEL素子並びにそれを用いた大面積で高輝度かつ長寿命な平面光源システムに関する。
The present invention provides a novel conductive pattern material, translucent conductive film, CRT (cathode ray tube), PDP (plasma display panel), liquid crystal, EL (electroluminescence), FED (field emission display), etc. The present invention relates to a light-transmitting electromagnetic wave shielding film that shields electromagnetic waves generated from the front surface of a display, a microwave oven, an electronic device, a printed wiring board, etc., and has transparency, and a manufacturing method thereof, the manufacturing method thereof, and The present invention relates to a light-transmitting electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel, a filter for a plasma display panel having the same, and a plasma display panel.
In addition, the present invention provides a transparent conductive sheet having high light transmittance, low cost, and extremely low surface resistivity. The transparent conductive sheet of the present invention can be preferably used for high luminance and high durability of an electroluminescence (hereinafter also referred to as “EL”) element.
Furthermore, the present invention relates to an EL element having a large area, high luminance and a long life, and a planar light source system having a large area, high luminance and a long life using the EL element.

近年、各種の電気設備や電子応用設備の利用の増加に伴い、電磁波障害(Electro-Magnetic Interference:EMI)が急増している。EMIは、電子、電気機器の誤動作、障害の原因になるほか、これらの装置のオペレーターにも健康障害を与えることが指摘されている。このため、電子電気機器では、電磁波放出の強さを規格又は規制内に抑えることが要求されている。   In recent years, electromagnetic interference (Electro-Magnetic Interference: EMI) has been rapidly increasing with the increase in the use of various electric facilities and electronic application facilities. EMI has been pointed out to be a cause of malfunction and failure of electronic and electrical equipment, as well as a health hazard to operators of these devices. For this reason, in the electronic and electrical equipment, it is required to suppress the intensity of electromagnetic wave emission within the standard or regulation.

上記EMIの対策には電磁波をシールドする必要があるが、それには金属の電磁波を貫通させない性質を利用すればよいことは自明である。例えば、筐体を金属体又は高導電体にする方法や、回路基板と回路基板との間に金属板を挿入する方法、ケーブルを金属箔で覆う方法などが採用されている。しかし、CRT、PDPなどではオペレーターが画面に表示される文字等を認識する必要があるため、ディスプレイにおける透明性が要求される。このため、前記の方法では、いずれもディスプレイ前面が不透明になることが多く、電磁波のシールド法としては不適切なものであった。   Although it is necessary to shield the electromagnetic wave as a countermeasure against the EMI, it is obvious that a property that does not allow the metal electromagnetic wave to penetrate may be used. For example, a method of making the casing a metal body or a high conductor, a method of inserting a metal plate between the circuit board and the circuit board, a method of covering the cable with a metal foil, and the like are employed. However, in CRT, PDP, etc., since the operator needs to recognize characters displayed on the screen, transparency in the display is required. For this reason, in any of the above methods, the front surface of the display often becomes opaque, which is inappropriate as an electromagnetic wave shielding method.

特に、PDPは、CRT等と比較すると多量の電磁波を発生するため、より強い電磁波シールド能が求められている。電磁波シールド能は、簡便には表面抵抗値で表すことができ、CRT用の透光性電磁波シールド材料では、表面抵抗値は凡そ300Ω/sq以下であることが要求されるのに対し、PDP用の透光性電磁波シールド材料では、2.5Ω/sq以下が要求され、PDPを用いた民生用プラズマテレビにおいては、1.5Ω/sq以下とする必要性が高く、より望ましくは0.1Ω/sq以下という極めて高い導電性が要求されている。
また、透明性に関する要求レベルは、CRT用として凡そ70%以上、PDP用として80%以上が要求されており、更により高い透明性が望まれている。
Particularly, since PDP generates a large amount of electromagnetic waves as compared with CRT or the like, stronger electromagnetic shielding ability is required. The electromagnetic wave shielding ability can be simply expressed by a surface resistance value. In a translucent electromagnetic wave shielding material for CRT, the surface resistance value is required to be about 300 Ω / sq or less, whereas for PDP. The translucent electromagnetic wave shielding material is required to have a resistance of 2.5Ω / sq or less, and in a plasma plasma for consumer use using a PDP, there is a high need for 1.5Ω / sq or less. An extremely high conductivity of sq or less is required.
Further, the required level for transparency is about 70% or more for CRT and 80% or more for PDP, and higher transparency is desired.

上記の問題を解決するために、以下に示されるように、開口部を有する金属メッシュを利用して電磁波シールド性と透明性とを両立させる種々の材料・方法がこれまで提案されている。   In order to solve the above-described problems, various materials and methods have been proposed so far that achieve both electromagnetic shielding properties and transparency using a metal mesh having openings as will be described below.

(1)導電性繊維
例えば、特開平5−327274号公報(特許文献1)には、導電性繊維からなる電磁波シールド材が開示されている。しかし、このシールド材はメッシュ線幅が太くディスプ
レイ画面をシールドすると、画面が暗くなり、ディスプレイに表示された文字が見えにくいという欠点があった。
(1) Conductive fiber For example, JP-A-5-327274 (Patent Document 1) discloses an electromagnetic wave shielding material made of conductive fiber. However, this shielding material has a drawback that when the display screen is shielded with a thick mesh line width, the screen becomes dark and the characters displayed on the display are difficult to see.

(2)無電解メッキ加工メッシュ
無電解メッキ触媒を印刷法で格子状パターンとして印刷し、次いで無電解メッキを行う方法が提案されている(例えば、特開平11−170420号公報(特許文献2)、特開平5−283889号公報(特許文献3)など)。しかし、印刷される触媒の線幅は60μm程度と太く、比較的小さな線幅、緻密なパターンが要求されるディスプレイの用途としては不適切であった。
さらに、無電解メッキ触媒を含有するフォトレジストを塗布して露光と現像を行うことにより無電解メッキ触媒のパターンを形成した後、無電解メッキする方法が提案されている(例えば、特開平11−170421号公報(特許文献4))。しかし、導電膜の可視光透過率は72%であり、透明性が不十分であった。更には、露光後に大部分を除去する無電解メッキ触媒として極めて高価なパラジウムを用いる必要があるため、製造コストの面でも問題があった。
(2) Electroless Plating Mesh A method has been proposed in which an electroless plating catalyst is printed as a grid pattern by a printing method, and then electroless plating is performed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-170420 (Patent Document 2)). JP, 5-283889, A (patent documents 3) etc.). However, the line width of the catalyst to be printed is as thick as about 60 μm, which is inappropriate as a display application that requires a relatively small line width and a dense pattern.
Further, there has been proposed a method in which a photoresist containing an electroless plating catalyst is applied, a pattern of the electroless plating catalyst is formed by performing exposure and development, and then electroless plating is performed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 11- No. 170421 (Patent Document 4)). However, the visible light transmittance of the conductive film was 72%, and the transparency was insufficient. Furthermore, since it is necessary to use very expensive palladium as an electroless plating catalyst that removes most after exposure, there is also a problem in terms of manufacturing cost.

(3)フォトリソグラフィー法を利用したエッチング加工メッシュ
フォトリソグラフィー法を利用したエッチング加工により、透明基体上に金属薄膜のメッシュを形成する方法が提案されている(例えば、特開2003−46293号公報(特許文献5)、特開2003−23290号公報(特許文献6)、特開平5−16281号公報(特許文献7)、特開平10−338848号公報(特許文献8)など)。この方法では、微細加工が可能であるため、高開口率(高透過率)のメッシュを作成することができ、強力な電磁波放出も遮蔽できるという利点を有する。しかし、その製造工程は煩雑かつ複雑で、生産コストが高価になるという間題点があった。また、エッチング工法によるところから、格子模様の交点部が直線部分の線幅より太い問題があることが知られている。また、モアレの問題も指摘され、改善が要望されていた。更には、メッシュの金属部分がの銅の反射がディスプレイ画像の観察時に見えてしまったりコントラスト低下となる問題があり、改善の為の黒化処理が高コストであるなどの問題があった。
(3) Etching Process Mesh Using Photolithographic Method A method of forming a metal thin film mesh on a transparent substrate by etching process using a photolithography method has been proposed (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-46293 ( Patent Document 5), Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-23290 (Patent Document 6), Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-16281 (Patent Document 7), Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-338848 (Patent Document 8), and the like. Since this method can be finely processed, it has an advantage that a mesh having a high aperture ratio (high transmittance) can be produced and strong electromagnetic wave emission can be shielded. However, the manufacturing process is complicated and complicated, and the production cost is high. Further, it is known from the etching method that there is a problem that the intersection of the lattice pattern is thicker than the line width of the straight line portion. In addition, the problem of moire was pointed out and improvement was desired. Furthermore, there is a problem that the copper reflection on the metal part of the mesh is seen when observing the display image or the contrast is lowered, and the blackening process for improvement is expensive.

次に、銀塩を用いた導電性金属銀パターンを形成する方法に関する従来技術について説明する。
銀塩を利用した感光材料は、従来主に、画像や映像を記録・伝達するため材料として利用されてきた。例えばカラーネガフィルム、黒白ネガフィルム、映画用フィルム、カラーリバーサルフィルム等の写真フィルム、カラーペーパー、黒白印画紙などの写真用印画紙等であり、更にまた、金属銀を露光パターン通りに形成できることを利用したエマルジョンマスク(フォトマスク)等が汎用となっている。これらはすべて銀塩を露光・現像して得られる画像自体に価値があり、画像そのものを利用している。
Next, the prior art regarding the method of forming the electroconductive metal silver pattern using silver salt is demonstrated.
Photosensitive materials using silver salts have heretofore been mainly used as materials for recording and transmitting images and videos. For example, photographic film such as color negative film, black and white negative film, movie film, color reversal film, photographic printing paper such as color paper, black and white photographic paper, etc. Furthermore, it can be used to form metallic silver according to the exposure pattern Emulsion masks (photomasks) and the like that have been used are widely used. All of these have value in the image itself obtained by exposing and developing a silver salt, and use the image itself.

一方、銀塩から得られる現像銀は金属銀であることから、製法次第では金属銀の導電性を利用することが可能と考えられる。この様な提案は古くから近年まで散見され、導電性銀薄膜の具体的形成法を開示した例として以下がある。1960年代に、物理現像核に銀を沈着させる銀塩拡散転写法によって金属銀薄膜パターンを形成する方法が、特公昭42−23746号公報(特許文献9)に開示されている。また同様の銀塩拡散転写法を利用して得た光透過性のない均一な銀薄膜がマイクロ波減衰機能を有することが特公昭43−12862号公報(特許文献10)に開示されている。またこの原理をそのまま用い、インスタント黒白スライドフィルムを用いて簡便に露光・現像を行って導電性パターンを形成する方法が、アナリティカル・ケミストリー(Analytical Chemistry)、第72巻、645項、2000年発刊(非特許文献1)、及び国際公開WO01/51276号公報
(特許文献11)に記載されている。また、銀塩拡散転写法の原理によって、プラズマディスプレイ用の表示電極に利用可能な導電性の銀膜を形成する方法が特開2000−14
9773号公報(特許文献12)に記載されている。
On the other hand, since developed silver obtained from a silver salt is metallic silver, it is considered that the conductivity of metallic silver can be used depending on the production method. Such a proposal has been scattered from old times until recently, and there are the following as examples disclosing a specific method for forming a conductive silver thin film. In the 1960s, Japanese Patent Publication No. 42-23746 (Patent Document 9) discloses a method of forming a metallic silver thin film pattern by a silver salt diffusion transfer method in which silver is deposited on physical development nuclei. Further, Japanese Patent Publication No. 43-12862 (Patent Document 10) discloses that a uniform silver thin film without light transmission obtained by using the same silver salt diffusion transfer method has a microwave attenuation function. Also, using this principle as it is, a method of forming a conductive pattern by simply exposing and developing using an instant black-and-white slide film is published in Analytical Chemistry, Vol. 72, Section 645, 2000. (Non-Patent Document 1) and International Publication WO01 / 51276 (Patent Document 11). Further, a method for forming a conductive silver film that can be used as a display electrode for a plasma display by the principle of silver salt diffusion transfer method is disclosed in JP-A-2000-14.
No. 9773 (Patent Document 12).

しかし、このような方法で導電性金属銀を作成してCRTやPDPなどのディスプレイの画像表示面から放射される電磁波を、画像表示を妨害せずに、シールドする方策については全く知られていなかった。
上記5つの文献に記載された方法では、導電性金属パターンが形成される層に特別に調製された物理現像核が露光部・未露光部の区別なく均一に設けられる。このため、金属銀膜が生成しない露光部に、不透明な物理現像核が残存し、光線透過性が損なわれるという欠点があった。特に、金属パターン材料をCRTやPDP等ディスプレイの透光性電磁波シールド材料として利用する場合には、上記の欠点は重大である。
また、高い導電性を得ることも困難で、高い導電性を得るために厚い銀膜を得ようとすると、透明性が損なわれる問題があった。したがって、上記銀塩拡散転写法をそのまま用いても、電子ディスプレイ機器の画像表示面からの電磁波をシールドするのに好適な、光透過性と導電性の優れた透光性電磁波シールド材料は得ることができなかった。
また、銀塩拡散転写法を用いないで、通常の市販のネガフィルムを利用し、現像、物理現像、メッキ工程を通じて導電性を付与した場合、導電性と透明性の点において、CRTやPDPの透光性電磁波シールド材料として利用するには不十分なものであった。
However, there is no known method for shielding the electromagnetic wave radiated from the image display surface of a display such as CRT or PDP by making conductive metallic silver by such a method without disturbing the image display. It was.
In the methods described in the above five documents, physical development nuclei specially prepared in the layer on which the conductive metal pattern is formed are uniformly provided without distinction between exposed and unexposed areas. For this reason, there is a drawback that opaque physical development nuclei remain in the exposed portion where the metallic silver film is not formed, and the light transmittance is impaired. In particular, when the metal pattern material is used as a light-transmitting electromagnetic wave shielding material for a display such as a CRT or a PDP, the above-mentioned drawback is serious.
In addition, it is difficult to obtain high conductivity, and there is a problem that transparency is impaired when a thick silver film is obtained in order to obtain high conductivity. Therefore, even if the above silver salt diffusion transfer method is used as it is, it is possible to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material excellent in light transmittance and conductivity suitable for shielding electromagnetic waves from the image display surface of an electronic display device. I could not.
In addition, when an ordinary commercially available negative film is used and conductivity is imparted through development, physical development, and plating processes without using the silver salt diffusion transfer method, in terms of conductivity and transparency, CRT and PDP It was insufficient for use as a translucent electromagnetic shielding material.

(4)銀ペーストを印刷したメッシュ
例えば、銀粉末からなるペーストを網目状に印刷して、銀メッシュを得る方法が開示されている(例えば、特許文献13参照。)。この方法で得られた銀メッシュは、印刷法によることから線幅が太く透過率が低下する等の問題があり、また、表面抵抗値が高く電磁波シールド能が小さい。このため、電磁波シールド能を高めるには得られた銀メッシュにメッキ処理を施す必要があった。
(4) Mesh printed with silver paste For example, a method of printing a paste made of silver powder in a mesh shape to obtain a silver mesh is disclosed (for example, see Patent Document 13). The silver mesh obtained by this method has a problem that the line width is large and the transmittance is lowered due to the printing method, and the surface resistance value is high and the electromagnetic wave shielding ability is small. For this reason, in order to improve electromagnetic wave shielding ability, it was necessary to perform a plating process on the obtained silver mesh.

(5)不規則網目状の銀メッシュ
例えば、不規則な微小な網目状の銀メッシュおよびその製造方法が開示されている(例えば、特許文献14参照。)。しかし、この製造方法では表面抵抗値が10Ω/sqと大きな(電磁波シールド能の低い)メッシュしか得られない問題がある。また、ヘイズが大きく10数%以上あって、ディスプレイ画像がボケる問題があった。
(5) Irregular mesh silver mesh For example, an irregular fine mesh silver mesh and a manufacturing method thereof are disclosed (for example, refer to Patent Document 14). However, this manufacturing method has a problem that only a mesh having a large surface resistance value of 10 Ω / sq (low electromagnetic wave shielding ability) can be obtained. In addition, there is a problem that the display image is blurred because the haze is large and more than 10%.

このように、電子ディスプレイ機器の発する電磁波をシールドする方策として、銀塩感光材料から導電性金属銀を製造する方法は全く知られておらず、また、既知の銀塩拡散転写法をディスプレイの電磁波シールドにそのまま利用しようとしても、透明性や導電性の点で不十分であった。   As described above, there is no known method for producing conductive metallic silver from a silver salt photosensitive material as a measure for shielding electromagnetic waves emitted from electronic display devices, and a known silver salt diffusion transfer method is used for display electromagnetic waves. Even if it is used as it is for the shield, it is insufficient in terms of transparency and conductivity.

一方、液晶ディスプレイや有機、無機のエレクトロルミネッセンス素子等には、光を取り出す側の電極として、透明導電性層を有するフィルムやガラス基板が、用いられる。これらの透明導電性層は、インジウムおよび錫の酸化物や亜鉛の酸化物、錫の酸化物などを用いて形成されているものが一般的だが、低抵抗を得るためには、厚く均一な膜を形成しなければならず、光透過率が減少したり、高価になったり、形成プロセスで高温処理が必要になったりするために特にフィルム上での低抵抗化には、限界があった(例えば、特許文献15〜18参照。)。   On the other hand, in a liquid crystal display, an organic or inorganic electroluminescent element, a film or a glass substrate having a transparent conductive layer is used as an electrode on the light extraction side. These transparent conductive layers are generally formed using indium and tin oxides, zinc oxides, tin oxides, etc., but in order to obtain low resistance, they are thick and uniform films. In particular, there is a limit to reducing the resistance on the film because the light transmittance decreases, becomes expensive, or requires high temperature treatment in the forming process ( For example, see Patent Documents 15 to 18.)

さらに、エレクトロルミネッセンス素子は、高誘電体中に蛍光体粒子を分散してなる粒子分散型素子と、誘電体層間に蛍光体薄膜を挟んでなる薄膜型素子等の無機エレクトロルミネッセンス素子と有機エレクトロルミネッセンス素子に大別される。本発明は、主に、粒子分散型無機エレクトロルミネッセンス素子に関するものである。   Further, the electroluminescence element includes an inorganic electroluminescence element such as a particle dispersion type element in which phosphor particles are dispersed in a high dielectric material, and a thin film type element in which a phosphor thin film is sandwiched between dielectric layers, and an organic electroluminescence element. It is roughly divided into elements. The present invention mainly relates to a particle-dispersed inorganic electroluminescence device.

ここで分散型は、少なくとも一方が光透過性の一対の導電性電極シート間に、フッソ系
ゴムあるいはシアノ基を有するポリマーのような高誘電性ポリマー中に蛍光体粉末を含んで成る発光層が設置された素子であり、さらに絶縁破壊を防ぐ為に高誘電性ポリマー中にチタン酸バリウムのような強誘電体の粉末を含んで成る誘電体層が設置されるのが通常の形態である。用いられる蛍光体粉末は通常ZnSを母体とし、これにMn,Cu,Cl,Ce、Au、Ag、Al等のイオンが適量ドーピングされている。粒子サイズは20〜30μmサイズのものが一般的である。
Here, in the dispersion type, a light emitting layer comprising phosphor powder in a high dielectric polymer such as a fluorine-based rubber or a polymer having a cyano group is interposed between a pair of light-transmitting conductive electrode sheets. It is a common form that a dielectric layer comprising a ferroelectric powder such as barium titanate is placed in a high dielectric polymer in order to prevent dielectric breakdown. The phosphor powder used usually has ZnS as a base material, and is doped with an appropriate amount of ions such as Mn, Cu, Cl, Ce, Au, Ag, and Al. The particle size is generally 20 to 30 μm.

また粒子分散型素子は、素子構成時に高温プロセスを用いない為、プラスチックを基板としたフレキシブルな材料構成が可能であること、真空装置を使用しなくても比較的簡便な工程で低コストで製造が可能であること、また発光色の異なる複数の蛍光体粒子を混合することで素子の発光色の調節が容易であるという特長を有し、バックライト、表示素子へ応用されている。しかしながら、発光輝度が低く、白色発光が不十分であった。また発光寿命が短く、蛍光性染料を併用して擬似白色を形成するしても蛍光染料の劣化速度蛍光体粒子の劣化速度などの複数要因から、劣化時にカラーバランスが崩れた。これらの問題から、その多くが、応用範囲が限られていた。更なる発光輝度および発光効率の改良が望まれていた。   In addition, since the particle-dispersed element does not use a high-temperature process when configuring the element, a flexible material structure using a plastic substrate is possible, and it is manufactured at a relatively simple process and at a low cost without using a vacuum device. It is possible to adjust the emission color of the element by mixing a plurality of phosphor particles having different emission colors, and is applied to backlights and display elements. However, the light emission luminance was low and white light emission was insufficient. Further, even when a luminescent lifetime is short and a pseudo white color is formed by using a fluorescent dye together, the color balance is lost at the time of deterioration due to a plurality of factors such as the deterioration speed of the fluorescent dye and the deterioration speed of the phosphor particles. Because of these problems, many of them have limited applications. Further improvements in light emission luminance and light emission efficiency have been desired.

分散型素子の発光輝度を高めるために、蛍光体粒子形成を中心に、従来から様々な工夫がなされてきた。例えば、特許文献19には、2段焼成と焼成間に粒子に衝撃を与える手段が高輝度化に有用な事が記載されている。特許文献20および21には、塩酸および硫化水素雰囲気で、焼成を行うことにより高輝度化することが記載されている。また、特許文献22〜24には、気体状の溶解塩を噴霧して加熱分解・反応を起こして粒子形成することにより、均質な蛍光体粒子を形成する手段が記載されている。 しかしながら、これらの方法だけでは、十分に高輝度で長寿命のエレクトロルミネッセンスを示す粒子を得ることが出来ていなかった。   In order to increase the light emission luminance of the dispersive element, various ideas have been conventionally made mainly on the formation of phosphor particles. For example, Patent Document 19 describes that means for impacting particles between two-stage firing and firing is useful for increasing the brightness. Patent Documents 20 and 21 describe that the brightness is increased by firing in a hydrochloric acid and hydrogen sulfide atmosphere. Patent Documents 22 to 24 describe means for forming homogeneous phosphor particles by spraying a gaseous dissolved salt to cause thermal decomposition and reaction to form particles. However, these methods alone cannot obtain particles exhibiting sufficiently high brightness and long-life electroluminescence.

特許文献25には、蛍光体粒子のサイズおよび分布と蛍光体層の膜厚の関係を一定条件に保つことで、高輝度のエレクトロルミネッセンス素を提供できることが、記載されている。しかしながら、これらの方法では、エレクトロルミネッセンス素子を高輝度に発光させることは、十分では無かった。また、高輝度化しても極端に輝度半減寿命が短くなったり、大面積化すると高輝度化出来なくなったりした。   Patent Document 25 describes that a high-luminance electroluminescence element can be provided by maintaining the relationship between the size and distribution of phosphor particles and the film thickness of the phosphor layer under a certain condition. However, in these methods, it was not sufficient to cause the electroluminescence element to emit light with high luminance. In addition, even when the luminance was increased, the luminance half-life was extremely shortened, and when the area was increased, the luminance could not be increased.

特許文献26には、酸化セリウムを紫外線吸収材として使用する技術が記載されているが、使用される紫外線吸収剤は、固体粒子ゆえにフィルム中に分散した場合、ヘイズ等の要因になって高輝度化を妨げたり、フィルム劣化の要因となったりするための弊害が無視できなかった。   Patent Document 26 describes a technique of using cerium oxide as an ultraviolet absorber. However, when the ultraviolet absorber used is dispersed in a film because of solid particles, it causes high haze due to factors such as haze. The harmful effect of preventing the film from becoming deteriorated or causing deterioration of the film cannot be ignored.

さらに特許文献27や28には、蛍光染料を用いて白色化する技術が開示されている。これらの蛍光染料は、樹脂等に溶解され、その樹脂が粉砕されてミクロンオーダーのサイズの粒子状の固形物として蛍光体粒子とともにフィルム中に分散されて用いられることが、一般的である。しかしながらこれらの染料は、紫外線や酸素、エレクトロルミネッセンス素子の発光に伴う熱によりしばしば分解してしまい、これにより輝度の低下や白色からのカラーバランスのずれが起こる問題があった。   Further, Patent Documents 27 and 28 disclose a technique for whitening using a fluorescent dye. In general, these fluorescent dyes are dissolved in a resin or the like, and the resin is pulverized and dispersed in a film together with phosphor particles as a particulate solid having a micron order size. However, these dyes are often decomposed by ultraviolet rays, oxygen, and heat accompanying light emission of the electroluminescence element, thereby causing a problem of lowering brightness and shifting color balance from white.

近年、大型のカラー写真プリントやインクジェットプリント等による展示広告が増えている。これらの展示方法として、例えば支持体上に形成された画像を画像側から照射した光によって鑑賞する方法(反射方式)や、画像の裏側から照射する光によって鑑賞する方法(透過方式)があり、室内あるいは夜間の屋外など、特定の条件下においては後者の透過方式の方がより鮮明な画像を提供できることが知られている。   In recent years, display advertisements using large color photographic prints, ink jet prints, and the like are increasing. As these exhibition methods, for example, there are a method of viewing an image formed on a support with light irradiated from the image side (reflection method), and a method of viewing with light irradiated from the back side of the image (transmission method), It is known that the latter transmission method can provide a clearer image under specific conditions such as indoors or outdoors at night.

また、展示広告は大判であればあるほど広告効果も大きいため、展示広告用感光材料やプリント材料は、大判での利用が求められている。しかしながら、大サイズの展示物には、蛍光管や冷陰極管などを用いた大型平面光源が必要であったが、これは質量も大きく、持ち運びも出来ず、消費電力も大きくて、設置場所や使用環境に大きな制約があった。   In addition, the larger the size of the exhibition advertisement, the greater the advertising effect. Therefore, the photosensitive material and the print material for the exhibition advertisement are required to be used in a large format. However, large-scale exhibits required large flat light sources using fluorescent tubes, cold cathode tubes, etc., but this is large in mass, not portable, and consumes a large amount of power. There were major restrictions on the usage environment.

特開平5−327274号公報JP-A-5-327274 特開平11−170420号公報JP 11-170420 A 特開平5−283889号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-288989 特開平11−170421号公報JP-A-11-170421 特開2003−46293号公報JP 2003-46293 A 特開2003−23290号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-23290 特開平5−16281号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-16281 特開平10−338848号公報JP-A-10-338848 特公昭42−23746号公報Japanese Patent Publication No.42-23746 特公昭43−12862号公報Japanese Patent Publication No.43-12862 国際公開WO 01/51276号公報International Publication WO 01/51276 特開2000−149773号公報JP 2000-149773 A アナリティカル・ケミストリー(Analytical Chemistry)、2000年発刊、第72巻、645項Analytical Chemistry, 2000, Vol. 72, paragraph 645 特開2000−13088号公報JP 2000-13088 A 特開平10−340629号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-340629 特開平8−180974号公報JP-A-8-180974 特開平9−147639号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-147639 特開平10−162961号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-162961 特開平11−224782号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-224782 特開平06−306355号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-306355 特開平03−086785号公報Japanese Patent Laid-Open No. 03-086785 特開平03−086786号公報Japanese Patent Laid-Open No. 03-086786 特開2002−322469号公報JP 2002-322469 A 特開2002−322470号公報JP 2002-322470 A 特開2002−322472号公報JP 2002-322472 A 特公平7−58636号公報Japanese Patent Publication No. 7-58636 特開平9−22781号公報JP-A-9-22781 特公平5−17676号公報Japanese Patent Publication No. 5-17676 特公平5−32879号公報Japanese Patent Publication No. 5-32879

上述のように、従来の電磁波遮蔽材料やその製造方法には、それぞれ問題点があった。
これに対し、透明なガラスやプラスチック基板面に金属薄膜からなるメッシュを形成した電磁波遮蔽板は、極めて高い電磁波シールド性を有し、かつ良好な光透過性が得られることから、近年、PDP等のディスプレイ用パネル等の電磁波シールド膜として用いられるようになってきた。
As described above, the conventional electromagnetic wave shielding materials and the manufacturing methods thereof have problems.
On the other hand, an electromagnetic wave shielding plate in which a mesh made of a metal thin film is formed on a transparent glass or plastic substrate surface has an extremely high electromagnetic wave shielding property and good light transmittance. It has come to be used as an electromagnetic shielding film for display panels.

しかし、その価格は非常に高価であったため、製造コストの低減化が強く要望されていた。さらに、ディスプレイでは、高い画像の明度が要求されるため、100%に近い光透過性や、メッシュの色が黒色であることが求められていた。ところが、光透過性を向上させるために、開口率(メッシュをなす細線のない部分)が全体に占める割合を上げると、導電性が低下して電磁波シールド効果が損なわれるため、導電性(電磁波シールド効果)と光透過性を同時に向上させることは、これまでの技術では非常に困難であった。
さらに、電磁波シールド膜はディスプレイの画像表示面の前面に設置することからモアレが発生し、問題となっていた。
However, since the price is very expensive, there has been a strong demand for a reduction in manufacturing cost. Furthermore, since the display is required to have high image brightness, it has been required to have a light transmittance close to 100% and the mesh color to be black. However, in order to improve the light transmission, if the ratio of the aperture ratio (the portion without the fine wire forming the mesh) is increased, the conductivity is reduced and the electromagnetic shielding effect is impaired. It is very difficult to improve the effect) and the light transmittance at the same time with the conventional technology.
Further, since the electromagnetic wave shielding film is installed on the front surface of the image display surface of the display, moire is generated, which is a problem.

本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、高い導電性を有する導電性パターン、透光性導電性膜を提供することであり、また高いEMIシールド性と高い透明性とを同時に有する、モアレのない透過性電磁波シールド膜を提供することであって、細線状パターンの形成が容易であり、しかも安価で大量に製造できる光透過性電磁波シールド膜の製造方法を提供することにある。また、本発明の別の目的は、上記透光性電磁波シールド膜を含んでなるプラズマディスプレイパネル用透光性電磁波シールド膜およびプラズマディスプレイパネルを提供することにある。   This invention is made | formed in view of this situation, The objective of this invention is to provide the electroconductive pattern and translucent electroconductive film | membrane which have high electroconductivity, and also has high EMI shielding property and high transparency. The present invention provides a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film that is easy to form a thin line pattern and that can be manufactured in large quantities at a low cost. There is to do. Another object of the present invention is to provide a light transmissive electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel and a plasma display panel comprising the light transmissive electromagnetic wave shielding film.

更にまた本発明は、以下の目的を達成することを課題とする。
すなわち、透過率が高く、表面抵抗率が低く、安価な透明導電性シートを提供することにある。ここで言うシートとは、ガラス基板や透明フィルム上に透明導電性膜を形成したものを指す。更には、0.25m2以上の大面積を、高輝度発光させ、かつ長い発光寿命を与えるエレクトロルミネッセンス素子を提供することにある。
Furthermore, this invention makes it a subject to achieve the following objectives.
That is, it is to provide an inexpensive transparent conductive sheet having a high transmittance and a low surface resistivity. The sheet here refers to a sheet in which a transparent conductive film is formed on a glass substrate or a transparent film. It is another object of the present invention to provide an electroluminescence device that emits light with high brightness over a large area of 0.25 m 2 or more and provides a long light emission lifetime.

本発明者らは、上記目的は、以下の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜及び、それらの性能方法より効果的に達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have found that the above object can be achieved more effectively than the following conductive pattern, translucent conductive film, translucent electromagnetic wave shielding film, and their performance methods, and to complete the present invention. It came.

すなわち、本発明の目的は、以下により達成される。
(1)銀を含むことを特徴とする導電性パターン材料。
(2)さらに銅を含むことを特徴とする前記(1)記載の導電性パターン材料。
(3)さらにゼラチンを含むことを特徴とする前記(2)記載の導電性パターン材料。
(4)前記(1)〜(3)のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする透光性導電性膜。
(5)表面抵抗が10Ω/sq以下であることを特徴とする、前記(4)記載の透光性導電性膜。
(6)表面抵抗が1Ω/sq以下であることを特徴とする、前記(4)または(5)記載の透光性導電性膜。
(7)表面抵抗が0.5Ω/sq以下であることを特徴とする、前記(4)〜(6)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(8)表面抵抗が0.1Ω/sq以下であることを特徴とする、前記(4)〜(7)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(9)導電性金属の抵抗率が2.5μΩcm以下であることを特徴とする、前記(4)〜(8)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(10)ヘイズが10%以下であることを特徴とする、前記(4)〜(9)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(11)光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする、前記(4)〜(10)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(12)上記導電性パターンが格子状のメッシュであることを特徴とする、前記(4)〜(11)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(13)開口率が80%以上であることを特徴とする、前記(4)〜(12)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(14)金属部の線幅1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、前記(4)〜(13)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(15)金属部の厚み1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、前記(4)〜(14)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(16)格子のピッチが40μm以上900μm以下であることを特徴とする、前記(4)〜(15)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(17)メッシュを構成する線の交点における交点太り率が2.0以下であることを特徴とする、前記(4)〜(16)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(18)粘着剤層または接着剤層を有することを特徴とする、前記(4)〜(17)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(19)剥離可能な保護フィルムを有することを特徴とする、前記(4)〜(18)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
(20)前記導電性金属部の該メッシュパターンが3m以上連続していることを特徴とする、前記(4)〜(19)のいずれかに記載の透光性導電性膜。
That is, the object of the present invention is achieved by the following.
(1) A conductive pattern material containing silver.
(2) The conductive pattern material according to (1), further comprising copper.
(3) The conductive pattern material according to (2), further comprising gelatin.
(4) A translucent conductive film comprising the conductive pattern material according to any one of (1) to (3).
(5) The translucent conductive film according to (4) above, wherein the surface resistance is 10 Ω / sq or less.
(6) The translucent conductive film according to (4) or (5), wherein the surface resistance is 1 Ω / sq or less.
(7) The translucent conductive film according to any one of (4) to (6), wherein the surface resistance is 0.5 Ω / sq or less.
(8) The translucent conductive film according to any one of (4) to (7), wherein the surface resistance is 0.1 Ω / sq or less.
(9) The translucent conductive film according to any one of (4) to (8), wherein the resistivity of the conductive metal is 2.5 μΩcm or less.
(10) The translucent conductive film according to any one of (4) to (9), wherein the haze is 10% or less.
(11) The translucent conductive film according to any one of (4) to (10), wherein the transmissivity of the light transmissive portion is 95% or more.
(12) The translucent conductive film according to any one of (4) to (11), wherein the conductive pattern is a lattice-like mesh.
(13) The translucent conductive film according to any one of (4) to (12), wherein the aperture ratio is 80% or more.
(14) The translucent conductive film according to any one of (4) to (13), wherein the metal part is a grid-like mesh having a line width of 1 μm to 20 μm.
(15) The translucent conductive film according to any one of (4) to (14), wherein the metal part is a lattice-shaped mesh having a thickness of 1 μm to 20 μm.
(16) The translucent conductive film according to any one of (4) to (15) above, wherein the pitch of the lattice is 40 μm or more and 900 μm or less.
(17) The translucent conductive film according to any one of (4) to (16), wherein an intersection thickness ratio at an intersection of lines constituting the mesh is 2.0 or less.
(18) The translucent conductive film according to any one of (4) to (17) above, which has a pressure-sensitive adhesive layer or an adhesive layer.
(19) The translucent conductive film according to any one of (4) to (18), which has a peelable protective film.
(20) The translucent conductive film according to any one of (4) to (19), wherein the mesh pattern of the conductive metal part is continuous for 3 m or more.

(21)前記(4)〜(20)のいずれかに記載の透光性導電性膜からなることを特徴とする透光性電磁波シールド膜。
(22)周波数30MHz〜300MHzの電磁波に対するシールド能が30dB以上であることを特徴とする、前記(21)記載の透光性電磁波シールド膜。
(23)前記(21)または(22)記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、ディスプレイ用フィルター。
(24)前記(21)または(22)記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル用フィルター。
(25)赤外線遮蔽性、ハードコート性、反射防止性、妨眩性、静電気防止性、防汚性、紫外線カット性、ガスバリア性、表示パネル破損防止性、からいずれか1つ以上選ばれる機能を有している機能性透明層を有する、前記(21)または(22)に記載の透光性電磁波シールド膜を有する、ディスプレイ用フィルターまたはプラズマディスプレイパネル用フィルター。
(26)赤外線遮蔽性を有することを特徴とする、前記(21)または(22)に記載の電磁波シールド膜を有するディスプレイ用フィルターまたはプラズマディスプレイパネル用フィルター。
(27)前記(21)〜(23)のいずれかに記載の電磁波シールド膜またはディスプレイ用フィルターを有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル。
(28)前記(1)〜(3)のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする電極。
(29)前記(1)〜(3)のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする配線。
(30)前記(1)〜(3)のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とするプリント配線板。
(31)銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理する工程を含む、前記(1)〜(22)のいずれかに記載の導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。
(32)銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理し、更に物理現像および/またはメッキ処理を行うことを特徴とする、前記(31)に記載の導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。
(33)銀塩がハロゲン化銀であることを特徴とする、前記(31)または(32)に記載の、導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。
(21) A translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive film according to any one of (4) to (20).
(22) The translucent electromagnetic wave shielding film according to (21), wherein the shielding ability against electromagnetic waves having a frequency of 30 MHz to 300 MHz is 30 dB or more.
(23) A display filter comprising the electromagnetic wave shielding film according to (21) or (22).
(24) A plasma display panel filter comprising the electromagnetic shielding film according to (21) or (22).
(25) A function selected from one or more of infrared shielding properties, hard coat properties, antireflection properties, antiglare properties, antistatic properties, antifouling properties, ultraviolet ray cutting properties, gas barrier properties, and display panel damage prevention properties. A filter for display or a filter for plasma display panel, comprising the light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to (21) or (22), which has a functional transparent layer.
(26) The display filter or plasma display panel filter having an electromagnetic wave shielding film according to (21) or (22) above, which has infrared shielding properties.
(27) A plasma display panel comprising the electromagnetic wave shielding film or the display filter according to any one of (21) to (23).
(28) An electrode comprising the conductive pattern material according to any one of (1) to (3).
(29) A wiring comprising the conductive pattern material according to any one of (1) to (3).
(30) A printed wiring board comprising the conductive pattern material according to any one of (1) to (3).
(31) The conductive pattern material, the translucent conductive film, or the translucent film according to any one of (1) to (22), including a step of exposing and developing a photosensitive material having a silver salt-containing layer. For producing a conductive electromagnetic shielding film.
(32) The conductive pattern material according to (31), wherein the photosensitive material having a silver salt-containing layer is exposed and developed, and further subjected to physical development and / or plating, For manufacturing a conductive film or a translucent electromagnetic wave shielding film.
(33) Production of a conductive pattern material, a light-transmitting conductive film, or a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to (31) or (32) above, wherein the silver salt is silver halide Method.

(34)透明導電膜と、前記導電性パターン材料とを含む導電性面を有することを特徴とする透光性導電性シート。
(35)導電性面の平滑性(凹凸)が、5μm以下であることを特徴とする前記(34)に記載の透光性導電性シート。
(36)光の透過率が、波長550nmの光に対して90%以上であることを特徴とす
る前記(34)または(35)に記載の透光性導電性シート。
(37)透明導電膜の表面抵抗率が、100Ω/□以上であり、透明導電性シートの表面抵抗率が、0.1Ω/□以上10Ω/□以下であることを特徴とする前記(34)〜(36)のいずれか一項に記載の透光性導電性シート。
(38)前記(34)〜(37)のいずれか一項に記載の透光性導電性シートを有し、平均粒子径が、0.1μm以上15μm以下である蛍光体粒子を含有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
(39)透光性導電性フィルムを有するエレクトロルミネッセンス素子において、該透光性導電性フィルムが透明な金属酸化物および/または有機物の導電性膜と網目状金属細線を有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
(40)透光性導電性フィルムを有するエレクトロルミネッセンス素子において、該透光性導電性フィルムが透明な金属酸化物および/または有機物の導電性膜とストライプ状金属細線を有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
(41)前記透光性導電性フィルムの表面抵抗率が、0.1Ω/□〜100Ω/□であることを特徴とする前記(39)又は(40)に記載のエレクトロルミネッセンス素子。
(42)蛍光染料、酸化防止剤および紫外線吸収剤をそれぞれ少なくとも一種含有することを特徴とする前記(39)〜(41)のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。
(43)蛍光体粒子を含有し、その平均球相当径が、0.1μm〜15μmであることを特徴とする前記(39)〜(42)のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。
(44)0.25m2以上の発光面積を有することを特徴とする前記(39)〜(43)のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。
(45)前記(39)〜(44)のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子を500Hz以上5KHz以下の交流電界で駆動することを特徴とする平面光源システム。
(34) A translucent conductive sheet having a conductive surface containing a transparent conductive film and the conductive pattern material.
(35) The translucent conductive sheet according to (34), wherein the smoothness (unevenness) of the conductive surface is 5 μm or less.
(36) The translucent conductive sheet according to (34) or (35), wherein the light transmittance is 90% or more with respect to light having a wavelength of 550 nm.
(37) The surface resistivity of the transparent conductive film is 100Ω / □ or more, and the surface resistivity of the transparent conductive sheet is 0.1Ω / □ or more and 10Ω / □ or less (34), The translucent conductive sheet according to any one of to (36).
(38) It has the translucent conductive sheet according to any one of (34) to (37), and contains phosphor particles having an average particle diameter of 0.1 μm or more and 15 μm or less. An electroluminescent element characterized.
(39) In the electroluminescent device having a light-transmitting conductive film, the light-transmitting conductive film has a transparent metal oxide and / or organic conductive film and a mesh-like metal wire. Luminescence element.
(40) In the electroluminescence device having a light-transmitting conductive film, the light-transmitting conductive film has a transparent metal oxide and / or organic conductive film and a striped metal wire. Luminescence element.
(41) The electroluminescent element as described in (39) or (40) above, wherein the translucent conductive film has a surface resistivity of 0.1Ω / □ to 100Ω / □.
(42) The electroluminescent device as described in any one of (39) to (41) above, which contains at least one fluorescent dye, an antioxidant, and an ultraviolet absorber.
(43) The electroluminescent element as described in any one of (39) to (42) above, which contains phosphor particles and has an average equivalent sphere diameter of 0.1 μm to 15 μm.
(44) The electroluminescent element as described in any one of (39) to (43), which has a light emitting area of 0.25 m 2 or more.
(45) A planar light source system, wherein the electroluminescent element according to any one of (39) to (44) is driven by an AC electric field of 500 Hz to 5 KHz.

本発明の実施態様をさらに詳細に特徴ごとに分けて以下に示す。
1.銀を含むことを特徴とする導電性パターン材料。
2.銀及び銅を含むことを特徴とする上記1記載の導電性パターン材料。
3.銀及び銅及びゼラチンを含むことを特徴とする上記1〜2記載の導電性パターン材料。
4.上記1〜3記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする透光性導電性膜。
5.上記1〜4記載の透光性導電性膜からなることを特徴とする透光性電磁波シールド膜。
<表面抵抗/体積抵抗に関する特徴>
6.表面抵抗が10Ω/sq以下であることを特徴とする、上記1〜5記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
7.表面抵抗が1Ω/sq以下であることを特徴とする、上記1〜6記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
8.表面抵抗が0.5Ω/sq以下であることを特徴とする、上記1〜7記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
9.表面抵抗が0.1Ω/sq以下であることを特徴とする、上記1〜8記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
10.導電性金属の抵抗率が2.5μΩcm以下であることを特徴とする、上記1〜9記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
Embodiments of the present invention will be described below in further detail according to characteristics.
1. A conductive pattern material containing silver.
2. 2. The conductive pattern material according to 1 above, which contains silver and copper.
3. 3. The conductive pattern material according to 1 or 2 above, comprising silver, copper and gelatin.
4). A translucent conductive film comprising the conductive pattern material according to any one of the above 1 to 3.
5. 5. A translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive film as described in 1 to 4 above.
<Characteristics regarding surface resistance / volume resistance>
6). 6. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 5 above, wherein the surface resistance is 10 Ω / sq or less.
7). 7. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 6 above, wherein the surface resistance is 1 Ω / sq or less.
8). 8. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 7 above, wherein the surface resistance is 0.5Ω / sq or less.
9. 9. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 8 above, wherein the surface resistance is 0.1Ω / sq or less.
10. 10. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 9, wherein the conductive metal has a resistivity of 2.5 μΩcm or less.

<電磁波シールド能に関する特徴>
20.周波数30MHz〜300MHzの電磁波に対するシールド能が30dB以上であることを特徴とする、上記1〜10記載の透光性電磁波シールド膜。
21.周波数30MHz〜300MHzの電磁波に対するシールド能が40dB以上であることを特徴とする、上記20記載の透光性電磁波シールド膜。
<Characteristics regarding electromagnetic wave shielding ability>
20. 11. The translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 10, wherein the shielding ability against electromagnetic waves having a frequency of 30 MHz to 300 MHz is 30 dB or more.
21. 21. The translucent electromagnetic wave shielding film as described in 20 above, wherein the shielding ability against electromagnetic waves having a frequency of 30 MHz to 300 MHz is 40 dB or more.

<その他性能・物性に関する特徴>
30.ヘイズが10%以下であることを特徴とする、上記1〜21記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
40.ヘイズが5%以下であることを特徴とする、上記1〜30記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
41.光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする、上記1〜40の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
42.光透過性部の透過率が98%以上であることを特徴とする、上記1〜41の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
<Other features related to performance and physical properties>
30. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 21, wherein the haze is 10% or less.
40. 31. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 30 above, wherein the haze is 5% or less.
41. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 40 above, wherein the transmissivity of the light transmissive part is 95% or more.
42. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in any one of 1 to 41 above, wherein the transmissivity of the light transmissive part is 98% or more.

<メッシュ形態に関する特徴>
50.上記導電性パターンが格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜42光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
51.開口率が80%以上であることを特徴とする、上記1〜50の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
52.開口率が85%以上であることを特徴とする、上記1〜51載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
53.開口率が90%以上であることを特徴とする、上記1〜52載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
54.金属部の線幅1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜53の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
55.金属部の線幅3μm以上18μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜54の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
56.金属部の線幅5μm以上13μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜55の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
57.金属部の厚み1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜56の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
58.金属部の厚み1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜57の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
59.金属部の厚み2.5μm以上8μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜58の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
60.金属部の厚み2.5μm以上5μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、上記1〜59の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
61.格子のピッチが40μm以上900μm以下であることを特徴とする、上記1〜60の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
62.格子のピッチが90μm以上400μm以下であることを特徴とする、上記1〜61載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
63.メッシュを構成する線の交点における交点太り率が2.0以下であることを特徴とする、上記1〜62載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
64.メッシュを構成する線の交点における交点太り率が1.5以下であることを特徴とする、上記1〜63記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
<Characteristics related to mesh form>
50. The said electroconductive pattern is a grid | lattice-like mesh, The said 1-42 photoconductive film and translucent electromagnetic wave shielding film characterized by the above-mentioned.
51. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 50 above, wherein the aperture ratio is 80% or more.
52. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to 1 to 51 above, wherein the aperture ratio is 85% or more.
53. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to 1 to 52 above, wherein the aperture ratio is 90% or more.
54. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 53 above, wherein the metal part is a grid-like mesh having a line width of 1 μm to 20 μm.
55. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 54, wherein the metal portion is a lattice-shaped mesh having a line width of 3 μm to 18 μm.
56. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 55 above, wherein the metal part is a grid-like mesh having a line width of 5 μm to 13 μm.
57. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 56 above, wherein the metal part is a lattice-shaped mesh having a thickness of 1 μm or more and 20 μm or less.
58. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 57 above, wherein the metal part is a grid-like mesh having a thickness of 1 μm or more and 20 μm or less.
59. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 58 above, wherein the metal part is a lattice-shaped mesh having a thickness of 2.5 μm or more and 8 μm or less.
60. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 59 above, wherein the metal part is a lattice mesh having a thickness of 2.5 μm or more and 5 μm or less.
61. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 60 above, wherein the pitch of the lattice is from 40 μm to 900 μm.
62. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to 1 to 61, wherein the pitch of the lattice is 90 μm or more and 400 μm or less.
63. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 62, wherein the intersection thickness ratio at the intersection of lines constituting the mesh is 2.0 or less.
64. 64. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 63 above, wherein the intersection thickness ratio at the intersection of the lines constituting the mesh is 1.5 or less.

<電磁波シールド膜の形態に関する特徴>
70.粘着剤層または接着剤層を有することを特徴とする、上記1〜64記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
71.剥離可能な保護フィルムを有することを特徴とする、上記1〜70記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
<Characteristics of electromagnetic shielding film>
70. The light-transmitting conductive film and the light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 64, which have a pressure-sensitive adhesive layer or an adhesive layer.
71. 71. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 70, which have a peelable protective film.

<光学フィルターの特徴>
80.上記1〜79記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、ディスプレイ用フィルター。
81.上記1〜80記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル用フィルター。
82.赤外線遮蔽性、ハードコート性、反射防止性、妨眩性、静電気防止性、防汚性、紫外線カット性、ガスバリア性、表示パネル破損防止性、からいずれか1つ以上選ばれる機能を有している機能性透明層を有する、上記1〜81のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜を有する、ディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
83.赤外線遮蔽性を有することを特徴とする、上記1〜82記載の電磁波シールド膜を有するディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
84.赤外線吸収色素を含有することを特徴とする、上記1〜83記載の電磁波シールド膜を有するディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
85.支持体中に赤外線吸収色素を含有することを特徴とする、上記1〜84記載の電磁波シールド膜を有するディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
86.上記赤外線吸収色素を、支持体をはさんで導電性金属部と反対側に設けられた層中に含有することを特徴とする、上記1〜85記載のディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
87.上記赤外線吸収色素を、支持体に対して金属銀部と同一面側に設けられた層中に含有することを特徴とする、上記1〜86記載のディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
88.粘着剤層及び/または接着剤層を有し、該粘着剤層及び/または接着剤層中に赤外線吸収色素を含有することを特徴とする、上記1〜87記載のディスプレイ用フィルター及びプラズマディスプレイパネル用フィルター。
<Features of optical filter>
80. 80. A display filter comprising the electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 79 above.
81. A filter for a plasma display panel, comprising the electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 80 above.
82. It has a function selected from one or more of infrared shielding properties, hard coat properties, antireflection properties, antiglare properties, antistatic properties, antifouling properties, ultraviolet ray cut properties, gas barrier properties, and display panel damage prevention properties. The filter for display and the filter for plasma display panels which have the translucent electromagnetic wave shielding film in any one of said 1-81 which has a functional transparent layer.
83. The filter for a display and the filter for a plasma display panel which have an electromagnetic wave shielding film of the said 1-82 characterized by having infrared shielding property.
84. The filter for a display and the filter for a plasma display panel which have an electromagnetic wave shielding film of said 1-83 characterized by containing an infrared rays absorption pigment | dye.
85. 85. A filter for a display and a filter for a plasma display panel, each having an electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 84, wherein the support contains an infrared absorbing dye.
86. 86. The display filter and the plasma display panel filter according to the above 1 to 85, wherein the infrared absorbing dye is contained in a layer provided on the opposite side of the conductive metal portion across the support.
87. 87. The display filter and the plasma display panel filter according to the above 1 to 86, wherein the infrared absorbing dye is contained in a layer provided on the same side as the metallic silver portion with respect to the support.
88. The filter for display and the plasma display panel according to the above 1 to 87, comprising an adhesive layer and / or an adhesive layer, and containing an infrared absorbing dye in the adhesive layer and / or the adhesive layer. Filter.

<プラズマディスプレイパネルの特徴>
90.上記1〜88記載の電磁波シールド膜またはディスプレイ用フィルターを有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル。
<Characteristics of plasma display panel>
90. A plasma display panel comprising the electromagnetic wave shielding film or the display filter according to any one of items 1 to 88.

<シームレスメッシュの形態に関する特徴>
100.上記導電性金属部の該メッシュパターンが3m以上連続していることを特徴と
する、上記1〜90に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
101.上記導電性金属部が1μmから40μmのメッシュ状の細線から形成され、該メ
ッシュパターンが3m以上連続していることを特徴とする、上記100に記載の透光性導
電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
102.該導電性金属部が1μmから30μmの細線のメッシュ状であることを特徴とす
る、上記100〜101に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
103.上記透明支持体が、可撓性を有し、幅が2cm以上かつ長さが3m以上および厚さが200μm以下であるフイルムであることを特徴とする、上記100〜102に記載の
導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
104.上記メッシュパターンが、実質的に平行である直線状細線の交差するパターンであることを特徴とする、上記100〜103に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
105.前記パターニングを前記透明支持体を搬送しながら光ビームで走査することにより行うことを特徴とする、上記100〜104に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
106.前記光ビームの主走査の方向が、支持体搬送方向に垂直であることを特徴とする、上記100〜105に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
107.前記光ビームの光強度が、実質的に0である状態を含めて2値以上とることを特徴とする、上記100〜106に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
108.該パターニングを支持体搬送方向に対して交差する露光ヘッドを用いて露光することにより行い、前記露光ヘッドは、光ビームを照射する照射装置と、各々制御信号に応じて光変調状態が変化する多数の画素部が基板上に2次元状に配列され、前記照射装置から照射された光ビームを変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制御信号によって制御する制御手段と、各画素部で変調された光ビームを露光面上に結像させる光学系とを備えていることを特徴とする、上記100〜107に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
109.前記光ビームを搬送方向に対して30°から60°傾けて走査することを特徴とする、上記100〜108に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
110.前記光ビームの光強度が該パターニング中に1値しか取らないことを特徴とす
る、上記100〜109に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
111.前記光ビームの波長が、420nm以上であることを特徴とする上記5から10
のいずれかに記載の透光性導電性膜。12. 前記光ビームの波長が、600nm以上であ
ることを特徴とする、上記100〜110に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
112.前記光ビームのエネルギーが1mJ/cm2以下であることを特徴とする、上
記100〜111に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
113.前記現像銀部は、ハロゲン化銀を現像して形成されることを特徴とする、上記100〜112に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
114.前記導電性金属部は、銅箔のエッチングにより形成されることを特徴とする、上記100〜113に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
116.透明支持体上に感光層が形成された感光材料を露光することにより、導電性金属部と可視光透過性部とが形成された透光性導電性膜であって、
前記導電性金属部が、線幅が1μmから40μmの細線からなるメッシュパターン部と、
前記メッシュパターン部に電気的に接触した枠縁部とから形成され、かつ、
前記導電性金属部のメッシュパターン部および枠縁部が、前記感光材料を搬送しながら光ビームで走査することにより形成されることを特徴とする、上記100〜114に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
117.透明支持体上に銀塩乳剤層が形成された銀塩感光材料を露光および現像して現像銀部を形成し、前記現像銀部に導電性金属を担持させることにより、導電性金属部と可視光透過性部とが形成された透光性導電性膜であって、
前記導電性金属部が、線幅が1μmから30μmの細線からなるメッシュパターン部と、
前記メッシュパターン部に電気的に接触した枠縁部とから形成され、かつ、
前記導電性金属部のメッシュパターン部および枠縁部が、前記感光材料を搬送しながら光ビームで走査することにより形成されることを特徴とする、上記100〜116に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
<Features related to seamless mesh>
100. 91. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 1 to 90 above, wherein the mesh pattern of the conductive metal part is continuous for 3 m or more.
101. 100. The translucent conductive film and translucent electromagnetic wave according to 100 above, wherein the conductive metal portion is formed of a fine mesh wire of 1 μm to 40 μm and the mesh pattern is continuous for 3 m or more. Shield film.
102. 100. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 101, wherein the conductive metal portion is a fine wire mesh of 1 μm to 30 μm.
103. 101. The conductive pattern according to 100 to 102, wherein the transparent support is a film having flexibility, a width of 2 cm or more, a length of 3 m or more, and a thickness of 200 μm or less. And a translucent conductive film and a translucent electromagnetic wave shielding film.
104. 100. The conductive pattern, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 103, wherein the mesh pattern is a pattern of intersecting linear thin lines that are substantially parallel to each other. .
105. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film described in 100 to 104, wherein the patterning is performed by scanning with a light beam while transporting the transparent support.
106. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to any one of 100 to 105, wherein the main scanning direction of the light beam is perpendicular to the support conveyance direction.
107. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave according to the above 100 to 106, wherein the light intensity of the light beam is 2 or more including a state where the light beam is substantially zero. Shield film.
108. The patterning is performed by exposure using an exposure head that intersects the support conveyance direction. The exposure head includes an irradiation device that irradiates a light beam, and a number of light modulation states that change in accordance with control signals. Are arranged in a two-dimensional manner on a substrate, and a spatial light modulation element that modulates a light beam emitted from the irradiation device, and a plurality of pixel units smaller than the total number of pixel portions arranged on the substrate. A control means for controlling each of the pixel portions with a control signal generated according to exposure information, and an optical system for forming an image on the exposure surface of the light beam modulated by each pixel portion, The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film described in 100 to 107 above.
109. 110. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 100 to 108, wherein the light beam is scanned at an angle of 30 [deg.] To 60 [deg.] With respect to the transport direction.
110. 110. The conductive pattern, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 109, wherein the light intensity of the light beam takes only one value during the patterning.
111. 5 to 10 above, wherein the wavelength of the light beam is 420 nm or more.
The translucent conductive film according to any one of the above. 12 110. The conductive pattern, translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 110, wherein the light beam has a wavelength of 600 nm or more.
112. The conductive pattern, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 111, wherein the energy of the light beam is 1 mJ / cm 2 or less.
113. 113. The conductive pattern, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 112, wherein the developed silver portion is formed by developing silver halide.
114. 114. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to 100 to 113, wherein the conductive metal portion is formed by etching a copper foil.
116. A light-transmitting conductive film in which a conductive metal part and a visible light transmitting part are formed by exposing a photosensitive material having a photosensitive layer formed on a transparent support,
The conductive metal portion is a mesh pattern portion made of fine wires having a line width of 1 μm to 40 μm;
A frame edge portion that is in electrical contact with the mesh pattern portion, and
115. The conductive pattern and the transparent pattern according to 100 to 114, wherein the mesh pattern portion and the frame edge portion of the conductive metal portion are formed by scanning with a light beam while transporting the photosensitive material. Photoconductive film and translucent electromagnetic wave shielding film.
117. A silver salt photosensitive material having a silver salt emulsion layer formed on a transparent support is exposed and developed to form a developed silver portion, and the developed silver portion carries a conductive metal so that the conductive metal portion is visible. A light transmissive conductive film formed with a light transmissive portion,
The conductive metal portion is a mesh pattern portion made of a thin line having a line width of 1 μm to 30 μm;
A frame edge portion that is in electrical contact with the mesh pattern portion, and
116. The conductive pattern and the transparent pattern according to 100 to 116, wherein the mesh pattern portion and the frame edge portion of the conductive metal portion are formed by scanning with a light beam while transporting the photosensitive material. Photoconductive film and translucent electromagnetic wave shielding film.

118.前記透明支持体が、可撓性を有し、幅が2cm以上かつ長さが3m以上および厚
さが200μm以下であるフィルムであることを特徴とする、上記100〜117に記載の
導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
119.前記メッシュパターン部が、実質的に平行である直線状細線の交差するパターンからなることを特徴とする、上記100〜118に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
120.前記光ビームの主走査の方向が、前記感光材料の搬送方向に垂直であることを特徴とする、上記100〜119に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
121.前記光ビームの光強度が、前記走査露光中に実質的に0である状態を含めて2値以上とることを特徴とする、上記100〜120に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
122.前記光ビームによる走査露光を前記感光材料の搬送方向に対して交差する露光ヘッドを用いて行い、
該露光ヘッドは、光ビームを照射する照射装置と、各々制御信号に応じて光変調状態が変化する多数の画素部が基板上に2次元状に配列され、前記照射装置から照射された光ビームを変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制御信号によって制御する制御手段と、各画素部で変調された光ビームを露光面上に結像させる光学系とを備えていることを特徴とする、上記100〜121に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
123.前記光ビームの光強度が前記走査露光中に1値しか取らないことを特徴とする、上記100〜122に記載の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜。
118. 118. The conductive pattern according to 100 to 117, wherein the transparent support is a film having flexibility, a width of 2 cm or more, a length of 3 m or more, and a thickness of 200 μm or less. And a translucent conductive film and a translucent electromagnetic wave shielding film.
119. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shield according to any one of the above 100 to 118, wherein the mesh pattern portion comprises a pattern of intersecting linear thin lines that are substantially parallel to each other. film.
120. 120. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 100 to 119, wherein the main scanning direction of the light beam is perpendicular to the transport direction of the photosensitive material. .
121. 121. The conductive pattern and translucent conductive film according to the above 100 to 120, wherein the light intensity of the light beam takes a binary value or more including a state where it is substantially 0 during the scanning exposure. And a translucent electromagnetic wave shielding film.
122. Scanning exposure with the light beam is performed using an exposure head that intersects the conveyance direction of the photosensitive material,
The exposure head includes an irradiation device that irradiates a light beam, and a plurality of pixel units whose light modulation states change according to control signals, which are two-dimensionally arranged on the substrate, and the light beam emitted from the irradiation device. A spatial light modulation element that modulates each of the plurality of pixel units that are smaller than the total number of pixel units arranged on the substrate by a control signal that is generated according to exposure information, 120. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucency according to any one of 100 to 121, further comprising an optical system that forms an image on the exposure surface of the light beam modulated in the pixel portion. Electromagnetic shielding film.
123. 123. The conductive pattern, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 100 to 122, wherein the light intensity of the light beam takes only one value during the scanning exposure.

<用途/利用分野>
130.上記1〜123記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする電極。
131.上記1〜123載の導電性パターン材料からなることを特徴とする配線。
132.上記1〜123記載の導電性パターン材料からなることを特徴とするプリント配線板。
133.上記132記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする多層プリント配線板。
134.上記132〜133記載の導電性パターン材料からなることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
<Use / use field>
130. An electrode comprising the conductive pattern material according to any one of 1 to 123 above.
131. A wiring comprising the conductive pattern material according to 1 to 123.
132. A printed wiring board comprising the conductive pattern material as described in the above item 1 to 123.
133. A multilayer printed wiring board comprising the conductive pattern material as described in 132 above.
134. A flexible printed wiring board comprising the conductive pattern material according to any one of 132 to 133.

<乳剤>
200.ハロゲン化銀を含み、露光および化学現像により体積抵抗率が1.6〜100μΩcmの導電性金属銀画像を形成することが可能なことを特徴とする感光性ハロゲン化銀乳剤。
<Emulsion>
200. A photosensitive silver halide emulsion comprising silver halide and capable of forming a conductive metal silver image having a volume resistivity of 1.6 to 100 μΩcm by exposure and chemical development.

<感光材料(導電性パターンが銀)>
201.支持体上に上記200に記載の感光性ハロゲン化銀乳剤からなる乳剤層を有することを特徴とするハロゲン化銀感光材料。
<Photosensitive material (conductive pattern is silver)>
201. A silver halide light-sensitive material having an emulsion layer comprising the light-sensitive silver halide emulsion as described in 200 above on a support.

<感光材料(導電性パターンが銀と銅など)>
300.支持体上に銀塩乳剤を含む乳剤層を有し、該乳剤層を露光して現像処理を施し、さらに物理現像および/またはメッキ処理を施すことにより導電性膜を製造可能な導電性パターン形成用感光材料。
301.前記乳剤層が実質的に最上層に配置されたことを特徴とする上記300記載の導電性パターン形成用感光材料。
302.前記乳剤層が実質的に最上層に配置され、前記乳剤層に酸化防止剤を含有する
ことを特徴とする上記300〜301記載の導電性パターン形成用感光材料。
303.前記乳剤層が実質的に最上層に配置され、前記銀塩乳剤が実質的に未化学増感乳剤であることを特徴とする、上記300〜302記載の導電性パターン形成用感光材料。
304.前記乳剤層が実質的に最上層に配置され、前記銀塩乳剤が沃化銀含有率1.5mol%以下であるハロゲン化銀乳剤であることを特徴とする、上記300〜303記載の導電性パターン形成用感光材料。
305.前記乳剤層が実質的に最上層に配置され、前記銀塩乳剤の塗設量が銀量換算で4g/m以下であることを特徴とする、上記300〜304記載の導電性パターン形成用感光材料。
306.前記乳剤層におけるAg/バインダーの質量比率が1.5以上であることを特
徴とする、上記300〜305に記載の導電性パターン形成用感光材料。
307.前記乳剤層の下層にバインダー層を有することを特徴とする、上記300〜306記載の導電性パターン形成用感光材料。
308.前記乳剤層が実質的に最上層に配置され、前記乳剤層にマット剤、すべり剤、コロイダルシリカ、帯電防止剤の少なくともいずれか1種を含有することを特徴とする、上記300〜307記載の導電性パターン形成用感光材料。
309.前記銀塩がハロゲン化銀であることを特徴とする、上記300〜308記載の導電性パターン形成用感光材料。
310.前記ハロゲン化銀が臭化銀を主体とすることを特徴とする、上記300〜309記載の導電性パターン形成用感光材料。
311.前記ハロゲン化銀がロジウム化合物及び/又はイリジウム化合物を含有することを特徴とする、上記300〜310記載の導電性パターン形成用感光材料。
312.前記ハロゲン化銀がPd(II)イオン及び/又はPd金属を含有することを特徴とする、上記300〜311記載の導電性パターン形成用感光材料。
313.前記ハロゲン化銀がPd(II)イオン及び/又はPd金属を前記ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有することを特徴とする、上記300〜312記載の導電性パターン形成用感光材料。
314.前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/4以上であることを特徴とする、上記300〜313記載の導電性パターン形成用感光材料。
315.前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/2以上であることを特徴とする、上記300〜314記載の導電性パターン形成用感光材料。
316.前記銀塩含有層中の銀塩の球相当径が0.1〜100nmであることを特徴とする、上記300〜315記載の導電性パターン形成用感光材料。
<Photosensitive material (conductive pattern is silver, copper, etc.)>
300. Forming a conductive pattern having an emulsion layer containing a silver salt emulsion on a support, exposing the emulsion layer to a development process, and further performing a physical development and / or a plating process. Photosensitive material.
301. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern as described in 300 above, wherein the emulsion layer is substantially disposed on the uppermost layer.
302. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to any one of claims 300 to 301, wherein the emulsion layer is substantially disposed on the uppermost layer, and the emulsion layer contains an antioxidant.
303. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to any one of the above 300 to 302, wherein the emulsion layer is substantially disposed on the uppermost layer, and the silver salt emulsion is substantially a non-chemically sensitized emulsion.
304. The conductive layer according to any one of the above 300 to 303, wherein the emulsion layer is a silver halide emulsion substantially disposed in the uppermost layer and the silver salt emulsion is a silver iodide content of 1.5 mol% or less. Photosensitive material for pattern formation.
305. 300. The conductive pattern forming apparatus according to 300 to 304, wherein the emulsion layer is substantially disposed on the uppermost layer, and the coating amount of the silver salt emulsion is 4 g / m 2 or less in terms of silver amount. Photosensitive material.
306. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 305, wherein a mass ratio of Ag / binder in the emulsion layer is 1.5 or more.
307. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern as described in 300 to 306 above, which comprises a binder layer under the emulsion layer.
308. The above-mentioned 300 to 307, wherein the emulsion layer is substantially disposed on the uppermost layer, and the emulsion layer contains at least one of a matting agent, a sliding agent, colloidal silica, and an antistatic agent. A photosensitive material for forming a conductive pattern.
309. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to the above 300 to 308, wherein the silver salt is silver halide.
310. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 309, wherein the silver halide is mainly composed of silver bromide.
311. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 310, wherein the silver halide contains a rhodium compound and / or an iridium compound.
312. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 311 above, wherein the silver halide contains Pd (II) ions and / or Pd metal.
313. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 312 above, wherein the silver halide contains Pd (II) ions and / or Pd metal in the vicinity of the surface layer of the silver halide grain.
314. 300. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 313, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is 1/4 or more.
315. 313. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to 300 to 314, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is 1/2 or more.
316. The photosensitive material for forming a conductive pattern according to the above 300 to 315, wherein the sphere equivalent diameter of the silver salt in the silver salt-containing layer is 0.1 to 100 nm.

<露光法>
400.前記露光がレーザービームによる走査露光方式で行われることを特徴とする、上記1〜316記載の導電性パターン材料及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
401.前記露光がフォトマスクを介して行われることを特徴とする、上記1〜400記載の導電性パターン材料及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
<Exposure method>
400. The method for producing a conductive pattern material, a translucent conductive film, and a translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 316, wherein the exposure is performed by a scanning exposure method using a laser beam.
401. The method for producing a conductive pattern material, a translucent conductive film, and a translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 400, wherein the exposure is performed through a photomask.

<製造方法の特徴>
500.銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理する工程を含む、上記1〜134記載の導電性パターン材料及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
501.銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理し、更に物理現像および/またはメッキ処理を行うことを特徴とする、上記500に記載の、導電性パターン材料及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
502.銀塩がハロゲン化銀であることを特徴とする、上記500〜501記載の、導
電性パターン材料及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
503.支持体上に銀塩を含有する乳剤層と保護層とをこの順で有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成したことを特徴とする、上記500〜502に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
504.支持体上に銀塩を含有する乳剤層と保護層とをこの順で有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、さらに前記金属銀部に物理現像および/またはメッキ処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持させたことを特徴とする、上記500〜503に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
505.支持体上に銀塩と染料とを含有する乳剤層を有する感光材料を露光し、現像
処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、さらに前記金属銀部に物理現像および/またはメッキ処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持させることを特徴とする、上記500〜504に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
506.支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属を担持させた導電性金属部を形成し、さらに前記光透過性部及び前記導電性金属部を酸化処理することを特徴とする、上記500〜505に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
507.支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属銀部及び前記光透過性部を酸化処理し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた導電性金属部を形成することを特徴とする、上記500〜506に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
508.支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属銀部及び前記光透過性部を酸化処理し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた導電性金属部を形成した後、さらに前記導電性金属部及び前記光透過性部を酸化処理することを特徴とする、上記500〜507に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
509.支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属銀部をPdを含有する溶液で処理し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた導電性金属部を形成することを特徴とする、上記500〜508に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
<Features of manufacturing method>
500. The method for producing a conductive pattern material, a translucent conductive film, and a translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 1 to 134, comprising a step of exposing and developing a photosensitive material having a silver salt-containing layer.
501. The conductive pattern material, the translucent conductive film and the transparent conductive film according to the above 500, wherein the photosensitive material having a silver salt-containing layer is exposed and developed, and further subjected to physical development and / or plating. A method for producing a photoelectromagnetic wave shielding film.
502. The method for producing a conductive pattern material, a translucent conductive film, and a translucent electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 501, wherein the silver salt is silver halide.
503. A photosensitive material having an emulsion layer containing a silver salt and a protective layer in this order on the support is exposed and developed to provide a metal silver portion and a light transmissive portion in the exposed and unexposed portions, respectively. The method for producing a light-transmitting conductive film and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 502, which are formed.
504. A photosensitive material having an emulsion layer containing a silver salt and a protective layer in this order on the support is exposed and developed to provide a metal silver portion and a light transmissive portion in the exposed and unexposed portions, respectively. The translucent conductive material according to any one of the above 500 to 503, wherein the conductive metal is supported on the metallic silver portion by forming and further subjecting the metallic silver portion to physical development and / or plating treatment. Manufacturing method of film and translucent electromagnetic wave shielding film.
505. A photosensitive material having an emulsion layer containing a silver salt and a dye is exposed on a support, and a development process is performed to form a metallic silver portion and a light transmissive portion in an exposed portion and an unexposed portion, respectively. The translucent conductive film and translucent film according to any one of the above 500 to 504, wherein a conductive metal is supported on the metallic silver portion by subjecting the metallic silver portion to physical development and / or plating treatment. Manufacturing method of electromagnetic wave shielding film.
506. A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver portion and a light transmissive portion, and the metallic silver portion is physically developed and / or plated. In the above-mentioned 500 to 505, a conductive metal part in which a conductive metal is supported on the metal silver part is formed, and the light transmissive part and the conductive metal part are oxidized. The manufacturing method of the translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film of description.
507. A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light transmissive part, and the metallic silver part and the light transmissive part are oxidized. 500 to 506 above, wherein the metal silver part is further subjected to physical development and / or plating treatment to form a conductive metal part having conductive metal particles supported on the metal silver part. The manufacturing method of the translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film of description.
508. A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light transmissive part, and the metallic silver part and the light transmissive part are oxidized. The conductive silver part is further processed to form a conductive metal part having conductive metal particles supported thereon by physical development and / or plating, and then the conductive metal part and the light. The method for producing a light-transmitting conductive film and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 507, wherein the transparent portion is oxidized.
509. A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light-transmitting part, and the metallic silver part is treated with a solution containing Pd The metal silver part is further subjected to physical development and / or plating treatment to form a conductive metal part in which conductive metal particles are supported on the metal silver part. Manufacturing method of translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film.

<現像法>
600.前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液が画質向上剤を含有することを特徴とする、上記500〜509に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
601.前記画質向上剤が含窒素へテロ環化合物である、上記600に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
602.前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液がリス現像液であることを特徴とする、上記500〜509に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
603.前記現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量が、露光前の前記露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることを特徴とする、上記500〜509に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
604.前記銀塩含有層の現像処理後の階調が4.0を超えることを特徴とする、上記
500〜509に記載の透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜の製造方法。
610.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にメッキ処理又は物理現像処理する工程を少なくとも含む透光性導電性膜の製造方法に用いる現像液であって、該現像液が下記一般式(1)〜(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有することを特徴とする透光性導電性膜形成用現像液。
一般式(1)
<Development method>
600. The method for producing a light-transmitting conductive film and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 509, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer contains an image quality improver.
601. 650. The method for producing a translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film as described in 600 above, wherein the image quality improver is a nitrogen-containing heterocyclic compound.
602. The method for producing a light-transmitting conductive film and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 509, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer is a lith developer.
603. The above-mentioned 500, wherein the mass of the metallic silver contained in the exposed portion after the development treatment is a content of 50% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. 509. The manufacturing method of the translucent conductive film and translucent electromagnetic wave shielding film of -509.
604. The method for producing a light-transmitting conductive film and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to the above 500 to 509, wherein the gradation after the development processing of the silver salt-containing layer exceeds 4.0.
610. A black and white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. Alternatively, it is a developer used in a method for producing a translucent conductive film including at least a step of performing physical development, and the developer is at least one selected from compounds represented by the following general formulas (1) to (5). A developer for forming a translucent conductive film, comprising:
General formula (1)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

[一般式(1)において、DおよびEは各々独立に−CH=基、−C(R0)=基、また
は窒素原子を表し、ここにR0は置換基を表す。L1、L2およびL3は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、または炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子のいずれかで環に結合する任意の置換基を表す。但しL1、L2、L3およびR0の少なくとも1つは、−SM基(Mはアルカリ金属原子、水素原子、アンモニウム基)を表す。なお、DとEの一方が窒素原子であるときは、Dが−CH=基または−C(R0)=基を表し、Eが窒素
原子を表す。]
[In General Formula (1), D and E each independently represent —CH═ group, —C (R 0 ) = group, or a nitrogen atom, where R 0 represents a substituent. L 1 , L 2, and L 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an arbitrary substituent bonded to the ring by any of a carbon atom, a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, and a phosphorus atom. However, at least one of L 1 , L 2 , L 3 and R 0 represents a —SM group (M is an alkali metal atom, a hydrogen atom, or an ammonium group). When one of D and E is a nitrogen atom, D represents a —CH═ group or —C (R 0 ) = group, and E represents a nitrogen atom. ]

一般式(2)
Z−SM
〔一般式(2)において、Zはアルキル基、芳香族基若しくはヘテロ環基であって、ヒドロキシル基、−SO32基、−COOM2基(ここでM2は水素原子、アルカリ金属原子またはアンモニウムイオンを表す)、アミノ基およびアンモニオ基からなる群から選ばれる少なくとも1つまたは、この群より選ばれる少なくとも1つを有する置換基によって置換されているものを表す。Mは水素原子、アルカリ金属原子、アミジノ基(これはハロゲン化水素酸塩若しくはスルホン酸塩を形成していてもよい)を表す。〕
一般式(3)、一般式(4)
General formula (2)
Z-SM
[In the general formula (2), Z represents an alkyl group, an aromatic group or a heterocyclic group, and is a hydroxyl group, —SO 3 M 2 group, or —COOM 2 group (where M 2 represents a hydrogen atom or an alkali metal atom) Or an ammonium ion), a group substituted with a substituent having at least one selected from the group consisting of an amino group and an ammonio group, or at least one selected from this group. M represents a hydrogen atom, an alkali metal atom, or an amidino group (which may form a hydrohalide salt or a sulfonate salt). ]
General formula (3), general formula (4)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

〔一般式(3),(4)中、R21及びR22はそれぞれ水素原子又は炭素数1〜3のアルキ
ル基を表す。但し、R21とR22は同時に水素原子であることはなく、また上記アルキル基は置換基を有していてもよい。R23及びR24はそれぞれ水素原子又は炭素数1〜3のアル
キル基を表し、R25はヒドロキシル基、アミノ基、炭素数1〜3のアルキル基又はフェニル基を表す。R26及びR27はそれぞれ水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜18のアシル基又は−COOM22を表す。但しR26とR27は同時に水素原子であることはない。M21は水素原子、アルカリ金属原子又はアンモニウム基を表す。M22は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、アルカリ金属原子、アリール基又は炭素数15以下のアラルキル基を表す。mは0、1又は2を表す。〕
一般式(5)
[In General Formulas (3) and (4), R 21 and R 22 each represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. However, R 21 and R 22 are not hydrogen atoms at the same time, and the alkyl group may have a substituent. R 23 and R 24 each represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and R 25 represents a hydroxyl group, an amino group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group. R 26 and R 27 each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an acyl group having 1 to 18 carbon atoms, or —COOM 22 . However, R 26 and R 27 are not simultaneously hydrogen atoms. M 21 represents a hydrogen atom, an alkali metal atom or an ammonium group. M 22 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkali metal atom, an aryl group, or an aralkyl group having 15 or less carbon atoms. m represents 0, 1 or 2. ]
General formula (5)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

〔一般式(5)中、X40は水素原子、ヒドロキシル基、低級アルキル基、低級アルコキシ基、ハロゲン原子、カルボキシル基又はスルホ基を表し、M41及びM42はそれぞれ水素原子、アルカリ金属原子又はアンモニウム基を表す。〕
611.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に前記一般式(1)〜(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有する現像液による処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にメッキ処理又は物理現像処理したことを特徴とする透光性導電性膜。
612.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料にパターン露光を施した後、前記一般式(1)〜(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有する現像液による処理を施して金属銀部と光透過性部とを形成し、さらに前記金属銀部をメッキ処理又は物理現像処理したことを特徴とする透光性電磁波シールド膜。
613.前記メッキ処理後の透光性電磁波シールド膜の表面抵抗が2.5Ω/sq以下であり、又は導電性金属部は開口率が85%以上であることを特徴とする前記612に記載の透光性電磁波シールド膜。
614.表面抵抗が1.5Ω/sq以下であることを特徴とする前記612に記載の透光性電磁波シールド膜。
[In the general formula (5), X 40 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a halogen atom, a carboxyl group or a sulfo group, and M 41 and M 42 represent a hydrogen atom, an alkali metal atom or Represents an ammonium group. ]
611. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is at least one selected from the compounds represented by the general formulas (1) to (5). A light-transmitting conductive film obtained by forming a metallic silver part by performing a treatment with a developer containing, and subsequently subjecting the metallic silver part to plating treatment or physical development treatment.
612. The black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on the support is subjected to pattern exposure, and then expressed by the general formulas (1) to (5). A translucent process characterized by forming a metallic silver part and a light-transmitting part by a treatment with a developer containing at least one selected from a compound, and further subjecting the metallic silver part to a plating treatment or a physical development treatment. Electromagnetic shielding film.
613. 612. The translucent film according to 612, wherein a surface resistance of the translucent electromagnetic wave shielding film after the plating treatment is 2.5Ω / sq or less, or the conductive metal portion has an aperture ratio of 85% or more. Electromagnetic shielding film.
614. 612. The translucent electromagnetic wave shielding film according to item 612, wherein the surface resistance is 1.5Ω / sq or less.

615.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像液を用いて現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にメッキ処理又は物理現像処理する工程を少なくとも含む透光性導電性膜を製造する透光性導電性金属膜の製造方法において、該現像液が前記一般式(1)〜(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有することを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。
616.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像液を用いて現像処理を施して金属銀部と光透過性部とを形成し、さらに該金属銀部にメッキ処理又は物理現像処理する工程を少なくとも含む透光性電磁波シールド膜の製造方法において、該現像液が前記一般式(1)〜(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有することを特徴とする透光性電磁波シールド膜の製造方法。
617.露光部に前記金属銀部を形成し、未露光部に前記光透過性部を形成することを特徴とする上記616に記載の透光性電磁波シールド膜の製造方法。
620.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有
する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理して導電性を付与する工程を少なくとも含む導電性膜の製造方法に用いる現像液であって、該現像液が処理温度30〜60℃、かつ、処理時間5秒〜40秒で用いられることを特徴とする透光性導電性膜形成用現像液。
621.前記現像液が処理温度35〜50℃、かつ、処理時間5秒〜35秒で用いられることを特徴とする上記620に記載の透光性導電性膜形成用現像液。
622.前記現像液が処理温度40〜50℃、かつ、処理時間5秒〜25秒であることを特徴とする上記620〜621に記載の透光性導電性膜形成用現像液。
623.酸化還元電位が290mV(飽和カロメル電極基準)よりも卑であることを特徴とする上記620〜622のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液。
624.酸化還元電位が290mV(飽和カロメル電極基準)よりも卑であり、かつ銀濃度がpAg3.0以上であることを特徴とする上記620〜623のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液。
625.水溶性ハライド化合物を0.01〜200ミリモル/L含有していることを特徴とする上記620〜634のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液。
626.少なくとも水溶性沃素化合物を含有し、かつ水溶性ハライド化合物の全含有量が0.01〜0.1ミリモル/Lであることを特徴とする上記620〜625のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液。
615. A black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development using a developer to form a metallic silver portion, and then the metal In the method for producing a translucent conductive metal film, which comprises at least a step of plating or physically developing a silver part, the developer is represented by the general formulas (1) to (5). The manufacturing method of the translucent conductive film characterized by including at least 1 chosen from the compound represented.
616. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed using a developer to form a metallic silver portion and a light-transmitting portion. In addition, in the method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film, which further includes a step of performing plating treatment or physical development treatment on the metallic silver portion, the developer is made from the compounds represented by the general formulas (1) to (5) The manufacturing method of the translucent electromagnetic wave shielding film characterized by containing at least one chosen.
617. 616. The method for producing a translucent electromagnetic wave shielding film according to 616, wherein the metal silver part is formed in an exposed part, and the light transmissive part is formed in an unexposed part.
620. A black and white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. And a developer used in a method for producing a conductive film including at least a step of imparting conductivity, wherein the developer is used at a processing temperature of 30 to 60 ° C. and a processing time of 5 to 40 seconds. A developing solution for forming a translucent conductive film.
621. 620. The transparent conductive film forming developer according to 620, wherein the developer is used at a processing temperature of 35 to 50 [deg.] C. and a processing time of 5 seconds to 35 seconds.
622. 620. The translucent conductive film-forming developer according to 620 to 621 above, wherein the developer has a processing temperature of 40 to 50 ° C. and a processing time of 5 to 25 seconds.
623. 620. The translucent conductive film forming developer according to any one of 620 to 622 above, wherein the redox potential is lower than 290 mV (saturated calomel electrode reference).
624. The redox potential is lower than 290 mV (saturated calomel electrode standard), and the silver concentration is pAg3.0 or more, for forming a translucent conductive film according to any one of 620 to 623 above Developer.
625. 650. The translucent conductive film forming developer according to any one of the above 620 to 634, which contains a water-soluble halide compound in an amount of 0.01 to 200 mmol / L.
626. 640. The translucent conductive material according to any one of the above 620 to 625, characterized in that it contains at least a water-soluble iodine compound and the total content of the water-soluble halide compound is 0.01 to 0.1 mmol / L. Developer for forming a conductive film.

627.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該現像処理が上記620〜626のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液によって行われることを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。
628.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該現像処理が上記1〜7のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液によって行われ、かつ該めっき処理が電解めっきのみで行われることを特徴とする上記627に記載の透光性導電性膜の製造方法。
627. A black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. In the method for producing a light-transmitting conductive film, the developing treatment is performed with the developer for forming a light-transmitting conductive film according to any one of the above 620 to 626. A method for producing a membrane.
628. A black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. In the method for producing a translucent conductive film, the developing treatment is performed by the developer for forming a translucent conductive film according to any one of 1 to 7, and the plating treatment is performed only by electroplating. 627. The method for producing a light-transmitting conductive film as described in 627 above, which is performed.

629.上記620〜628に記載の透光性導電性膜の製造方法によって製造された透光性電磁波シールドであって、該透光性電磁波シールド膜の表面抵抗が2.5Ω/sq以下であり、又は導電性金属部は開口率が85%以上であることを特徴とする透光性電磁波シールド膜。
630.表面抵抗が1.5Ω/sq以下であることを特徴とする上記629に記載の透光性電磁波シールド膜。
629. A translucent electromagnetic wave shield produced by the method for producing a translucent conductive film described in 620 to 628 above, wherein the surface resistance of the translucent electromagnetic wave shield film is 2.5 Ω / sq or less, or A translucent electromagnetic wave shielding film, wherein the conductive metal portion has an aperture ratio of 85% or more.
630. 642. The light-transmitting electromagnetic wave shielding film as described in 629 above, wherein the surface resistance is 1.5Ω / sq or less.

631.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該現像処理が上記620〜628のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液によって行われ、かつ該めっき処理が電解めっきのみで行われることを特徴とする透光性電磁波シールド膜の製造方法。
640.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理して導電性を付与する工程を少なくとも含む導電性膜の製造方法に用いる定着液であって、該現像液が処理温度30℃〜60℃、かつ、処理時間5秒〜40秒で用いられることを特徴とする透光性導電性膜形成用定着液。
641.前記定着液が処理温度35℃〜50℃、かつ、処理時間5秒〜35秒で用いられることを特徴とする上記640に記載の透光性導電性膜形成用定着液。
642.前記定着液が処理温度40℃〜50℃、かつ、処理時間5秒〜25秒であるこ
とを特徴とする上記640〜641に記載の透光性導電性膜形成用定着液。
643.水溶性ハライド化合物を0.0002モル/L〜0.5モル/L含有していることを特徴とする上記640〜642いずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液。
644.少なくとも水溶性沃素化合物を含有し、かつ水溶性ハライド化合物の全含有量が0.0002モル/L〜0.5モル/Lであることを特徴とする上記640〜643のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液。
645.定着剤としてアンモニウムハライドを含有することを特徴とする上記640〜644のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液。
646.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該定着処理が上記640〜645のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液によって行われることを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。
647.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該定着処理が上記640〜646のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液によって行われ、かつ該めっき処理が電解めっきのみで行われることを特徴とする上記7に記載の透光性導電性膜の製造方法。
631. A black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. In the method for producing a light-transmitting conductive film, the developing treatment is performed with the developer for forming a light-transmitting conductive film according to any one of the above-mentioned 620 to 628, and the plating treatment is performed only by electroplating. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film, which is performed.
640. A black and white silver halide photographic light-sensitive material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is plated. And a fixing solution used in a method for producing a conductive film including at least a step of imparting conductivity, wherein the developer is used at a processing temperature of 30 ° C. to 60 ° C. and a processing time of 5 seconds to 40 seconds. A fixing solution for forming a translucent conductive film.
641. 650. The translucent conductive film-forming fixing solution as described in 640 above, wherein the fixing solution is used at a processing temperature of 35 ° C. to 50 ° C. and a processing time of 5 seconds to 35 seconds.
642. The fixing solution for forming a translucent conductive film according to the above 640 to 641, wherein the fixing solution has a processing temperature of 40 ° C. to 50 ° C. and a processing time of 5 seconds to 25 seconds.
643. 650. The translucent conductive film-forming fixing solution as described in any one of 640 to 642, which contains a water-soluble halide compound in an amount of 0.0002 mol / L to 0.5 mol / L.
644. The transparent material according to any one of 640 to 643, wherein the transparent material contains at least a water-soluble iodine compound, and the total content of the water-soluble halide compound is 0.0002 mol / L to 0.5 mol / L. Fixing solution for forming a photoconductive film.
645. 650. The translucent conductive film forming fixing solution according to any one of the above 640 to 644, which contains an ammonium halide as a fixing agent.
646. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion In the manufacturing method of the translucent conductive film which plate-processes to this, the fixing process is performed with the fixing liquid for translucent conductive film formation in any one of said 640-645 characterized by the above-mentioned. For producing conductive conductive film.
647. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion In the method for producing a light-transmitting conductive film, in which the fixing treatment is performed with the fixing solution for forming a light-transmitting conductive film according to any one of the above-described 640 to 646, and the plating process is performed by electrolysis. 8. The method for producing a translucent conductive film as described in 7 above, which is carried out only by plating.

651.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理して導電性を付与する工程を少なくとも含む導電性膜の製造方法に用いる定着液であって、該定着液が下記一般式(A)、(B)、(C)または(D)で表される化合物を1種以上含有することを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。   651. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion A fixing solution for use in a method for producing a conductive film including at least a step of imparting conductivity by plating a metal, wherein the fixing solution is represented by the following general formula (A), (B), (C) or (D) The manufacturing method of the translucent conductive film characterized by including 1 or more types of compounds represented by these.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中、Qa1は5または6員の複素環を形成するのに必要な非金属原子群を表わす。尚、この複素環は炭素芳香環または複素芳香環と縮合していてもよい。La1は、単結合、二価の脂肪族基、二価の芳香族炭化水素基、二価の複素環基又はこれらの組合せた連結基を表わす。Ra1はカルボン酸基もしくはその塩、スルホン酸基もしくはその塩、ホスホン酸基もしくはその塩、アミノ基またはアンモニウム塩を表わす。qは1〜3の整数を表わし、Ma1は水素原子またはカチオンを表わす。 In the formula, Q a1 represents a group of nonmetallic atoms necessary to form a 5- or 6-membered heterocyclic ring. This heterocyclic ring may be condensed with a carbon aromatic ring or a heteroaromatic ring. L a1 represents a single bond, a divalent aliphatic group, a divalent aromatic hydrocarbon group, a divalent heterocyclic group, or a linking group combining these. R a1 represents a carboxylic acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, a phosphonic acid group or a salt thereof, an amino group, or an ammonium salt. q represents an integer of 1 to 3, and M a1 represents a hydrogen atom or a cation.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中Qb1は、炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子またはセレン原子により構成される5または6員のメソイオン環を表わし、Xb1 -は−O- 、−S- または−N- b1
表わす。Rb1は脂肪族基、芳香族炭化水素基または複素環基を表わす。
一般式(C); LC1−(AC1−LC2r−AC2−LC3
式中、LC1及びLC3は同一でも異なっていてもよく各々脂肪族基、芳香族炭化水素基、複素環基を表し、LC2は二価の脂肪族基、二価の芳香族炭化水素基、二価の複素環連結基またはそれらを組み合わせた連結基を表す。AC1及びAC2はそれぞれ−S−、−O−、−NRC20 −、−CO−、−SO2 −またはそれらを組み合わせた基を表す。rは1〜10の整数を表す。ただし、LC1及びLC3の少なくとも1つは−SO3 C1、−PO3 C2C3、−NRC1(RC2)、−N+ C3(RC4)(RC5)・XC1 -、−SO2 NRC6(RC7)、−NRC8SO2 C9、−CONRC10 (RC11 )、−NRC12 CORC13 、−SO2 C14 、−PO(−NRC15 (RC16 ))2、−NRC17 CONRC18 (RC19 )、−CO
OMC4または複素環基で置換されているものとする。MC1、MC2、MC3及びMC4は同一でも異なっていてもよく各々水素原子または対カチオンを表す。MC1〜MC20 は同一でも異なってもよく各々水素原子、脂肪族基または芳香族炭化水素基を表し、XC1 -は対アニオンを表す。ただしAC1及びAC2の少なくとも1つは−S−を表す。
In the formula, Q b1 represents a 5- or 6-membered mesoionic ring composed of a carbon atom, a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom, and X b1 represents —O , —S or —N R. Represents b1 . R b1 represents an aliphatic group, an aromatic hydrocarbon group or a heterocyclic group.
Formula (C); L C1- (A C1 -L C2 ) r -A C2 -L C3
In the formula, L C1 and L C3 may be the same or different and each represents an aliphatic group, an aromatic hydrocarbon group or a heterocyclic group, and L C2 is a divalent aliphatic group or a divalent aromatic hydrocarbon. Represents a group, a divalent heterocyclic linking group, or a linking group combining them. A C1 and A C2 each represent —S—, —O—, —NR C20 —, —CO—, —SO 2 — or a combination thereof. r represents an integer of 1 to 10. However, at least one of L C1 and L C3 is —SO 3 M C1 , —PO 3 M C2 M C3 , —NR C1 (R C2 ), —N + R C3 (R C4 ) (R C5 ) · X C1 - , -SO 2 NR C6 (R C7 ), -NR C8 SO 2 R C9 , -CONR C10 (R C11 ), -NR C12 COR C13 , -SO 2 R C14 , -PO (-NR C15 (R C16 ) ) 2 , -NR C17 CONR C18 (R C19 ), -CO
It shall be substituted with OM C4 or a heterocyclic group. M C1 , M C2 , M C3 and M C4 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or a counter cation. M C1 to M C20 may be the same or different and each represents a hydrogen atom, an aliphatic group or an aromatic hydrocarbon group, and X C1 represents a counter anion. However, at least one of A C1 and A C2 represents -S-.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中、Xd 及びYd は脂肪族基、芳香族炭化水素基、複素環基、−N(Rd1)Rd2、−N(Rd3) N(Rd4) Rd5、−ORd6、又は−SRd7を表わす。尚、Xd とYd は環を形成してもよいが、エノール化することはない。ただし、Xd 及びYd のうち少なくとも一つはカルボン酸もしくはその塩、スルホン酸もしくはその塩、ホスホン酸もしくはその塩、アミノ基またはアンモニウム基、水酸基の少なくとも1つで置換されているものとする。Rd1、Rd2、Rd3、Rd4及びRd5は水素原子、脂肪族基、芳香族炭化水素基又は複素環基を表し、Rd6及びRd7は水素原子、カチオン、脂肪族基、芳香族炭化水素基又は複素環基を表わす。652.前記定着液がチオ硫酸塩を実質的に含有していないことを特徴とする上記651に記載の透光性導電性膜形成用定着液。
653.水溶性ハライド化合物を0.0002〜0.5モル/L含有していることを特
徴とする上記651〜652に記載の透光性導電性膜形成用定着液。
654.少なくとも水溶性沃素化合物を含有し、かつ水溶性ハライド化合物の全含有量が0.0002〜0.5モル/Lであることを特徴とする上記651〜653のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液。
655.定着剤としてアンモニウムハライドを含有することを特徴とする上記651〜654のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液。
656.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該定着処理が上記651〜655のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液によって行われることを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。
657.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該定着処理が上記651〜656のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用定着液によって行われ、かつ該めっき処理が電解めっきのみで行われることを特徴とする透光性導電性膜の製造方法。
In the formula, X d and Y d are an aliphatic group, an aromatic hydrocarbon group, a heterocyclic group, —N (R d1 ) R d2 , —N (R d3 ) N (R d4 ) R d5 , —OR d6 , Or -SR d7 is represented. X d and Y d may form a ring, but are not enolized. However, at least one of X d and Y d is substituted with at least one of a carboxylic acid or a salt thereof, a sulfonic acid or a salt thereof, a phosphonic acid or a salt thereof, an amino group, an ammonium group, or a hydroxyl group. . R d1 , R d2 , R d3 , R d4 and R d5 represent a hydrogen atom, an aliphatic group, an aromatic hydrocarbon group or a heterocyclic group, and R d6 and R d7 represent a hydrogen atom, a cation, an aliphatic group or an aromatic group. Represents a hydrocarbon group or heterocyclic group. 652. 651. The translucent conductive film-forming fixing solution as described in 651, wherein the fixing solution contains substantially no thiosulfate.
653. The fixing solution for forming a translucent conductive film according to the above 651 to 652, which contains 0.0002 to 0.5 mol / L of a water-soluble halide compound.
654. 650. The translucent conductive material according to any one of the above items 651 to 653, characterized in that it contains at least a water-soluble iodine compound and the total content of the water-soluble halide compound is 0.0002 to 0.5 mol / L. Fixing solution for forming a conductive film.
655. 650. The translucent conductive film-forming fixing solution as described in any one of 651 to 654, which contains an ammonium halide as a fixing agent.
656. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion In the manufacturing method of the translucent conductive film which plate-processes to this, The fixing process is performed with the fixing liquid for translucent conductive film formation in any one of said 651-655. For producing conductive conductive film.
657. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion In the method for producing a light-transmitting conductive film, in which the fixing treatment is performed by the fixing solution for forming a light-transmitting conductive film according to any one of the above-described 651 to 656, and the plating process is performed by electrolysis. A method for producing a light-transmitting conductive film, which is performed only by plating.

658.上記656〜657に記載の透光性導電性膜の製造方法によって製造された透光性電磁波シールドであって、該透光性電磁波シールド膜の表面抵抗が2.5Ω/sq以下であり、又は導電性金属部は開口率が85%以上であることを特徴とする透光性電磁波シールド膜。
659.表面抵抗が1.5Ω/sq以下であることを特徴とする上記658に記載の透光性電磁波シールド膜。
658. A translucent electromagnetic wave shield produced by the method for producing a translucent conductive film according to any one of 656 to 657, wherein the surface resistance of the translucent electromagnetic wave shield film is 2.5 Ω / sq or less, or A translucent electromagnetic wave shielding film, wherein the conductive metal portion has an aperture ratio of 85% or more.
659. 650. The light-transmitting electromagnetic wave shielding film as described in 658 above, wherein the surface resistance is 1.5Ω / sq or less.

660.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に現像処理と定着処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部にめっき処理を施す透光性導電性膜の製造方法において、該定着処理が上記651〜655のいずれかに記載の透光性導電性膜形成用現像液によって行われ、かつ該めっき処理が電解めっきのみで行われることを特徴とする透光性電磁波シールド膜の製造方法。   660. A black-and-white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is subjected to development treatment and fixing treatment to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion In the method for producing a light-transmitting conductive film, in which the fixing process is performed with the developer for forming a light-transmitting conductive film according to any one of the above-described 651 to 655, and the plating process is performed by electrolysis. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film, which is performed only by plating.

<活性化に関する特徴>
700.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有するハロゲン化銀写真感光材料に露光と現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部を活性化液で処理したのちめっき処理又は物理現像処理して導電性を付与されて得られる透光性導電性膜であって、該活性化液が現像処理中に現像銀表面中に形成されるハロゲン化物及び/又は硫化物を除去することを特徴とする透光性導電性膜。
701.導電性膜が画像表示素子又は画像記録用半導体素子の透明電極用透光性導電膜であることを特徴とする上記700に記載の導電性膜。
702.導電性膜が電磁波シールド膜であることを特徴とする上記700に記載の導電性膜。
703.表面抵抗が2.5Ω/sq以下で、光透過性部の透過率が95%以上の透光性電磁波シールド膜であることを特徴とする上記702に記載の導電性膜。
704.活性化液が水素化ホウ素(テトラヒドロほう酸)のアルカリ金属塩を含有していることを特徴とする上記700に記載の導電性膜。
705.活性化液が硝酸銀を含有していることを特徴とする上記700に記載の導電性膜。
706.活性化液がアルカリハライドを含有していることを特徴とする上記700に記載の導電性膜。
<Characteristics related to activation>
700. A silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is exposed to light and developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is activated. A translucent conductive film obtained by applying a plating treatment or a physical development treatment after treatment with an activating solution to provide conductivity, the halogen formed on the developed silver surface during the development treatment. A translucent conductive film characterized by removing fluoride and / or sulfide.
701. 700. The conductive film as set forth in 700, wherein the conductive film is a transparent conductive film for a transparent electrode of an image display element or an image recording semiconductor element.
702. 700. The conductive film as set forth in 700, wherein the conductive film is an electromagnetic wave shielding film.
703. 702. The conductive film according to 702, wherein the conductive film is a light-transmitting electromagnetic wave shielding film having a surface resistance of 2.5 Ω / sq or less and a light-transmitting part having a transmittance of 95% or more.
704. 700. The conductive film as set forth in 700, wherein the activating liquid contains an alkali metal salt of borohydride (tetrahydroboric acid).
705. 700. The conductive film as set forth in 700, wherein the activating liquid contains silver nitrate.
706. 700. The conductive film as set forth in 700, wherein the activating liquid contains an alkali halide.

707.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に露光と現像処理を施し、続いて該現像処理中に現像銀表面に形成されるハロゲン化物及び/又は硫化物を除去する活性化液を用いて処理で処理したのち、さらにめっき処理又は物理現像処理することを特徴とする導電性膜の製造方法。   707. A black and white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is exposed to light and developed, and subsequently formed on the developed silver surface during the development. A method for producing a conductive film, characterized in that after treatment with an activating solution for removing halides and / or sulfides, plating treatment or physical development treatment is further performed.

<めっき法>
800.前記メッキ処理が無電解メッキで行われることを特徴とする上記500〜509のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜の製造方法。
801.前記メッキ処理が電解メッキで行われることを特徴とする上記500〜509のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜の製造方法。
802.前記メッキ処理が無電解メッキ及びそれに続く電解メッキで行われることを特徴とする上記500〜509のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜の製造方法。
803.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有するハロゲン化銀写真感光材料に露光と現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部を貴金属化合物を含有する活性化液で処理した後めっき処理又は物理現像処理して得られる導電性膜であって、該活性化液中の貴金属化合物の濃度、活性化浴の処理時間及び温度が下記条件式Iを満たすことを特徴とする導電性膜。
条件式I: 3≦DtT≦10
(条件式Iにおいて、Dは貴金属化合物の濃度(g/L)、tは活性化浴の処理時間(min)、Tは活性化浴の温度(℃)を表す。)
804.透光性導電性膜が画像表示素子又は画像記録用半導体素子の透明電極用透光性導電膜であることを特徴とする上記803に記載の導電性膜。
805.導電性膜が透光性電磁波シールド膜であることを特徴とする上記803に記載の導電性膜。
806.メッキ処理後の透光性電磁波シールド膜の表面抵抗が2.5Ω/sq以下であり、又は導電性金属部は開口率が85%以上であることを特徴とする上記805に記載の電磁波シールド膜。
807.貴金属化合物がパラジウム化合物であることを特徴とする上記803〜806のいずれかに記載の性導電性膜。
<Plating method>
800. The method for producing a translucent electromagnetic wave shielding film according to any one of the above 500 to 509, wherein the plating treatment is performed by electroless plating.
801. The method for producing a translucent electromagnetic wave shielding film according to any one of 500 to 509, wherein the plating treatment is performed by electrolytic plating.
802. The method for producing a translucent electromagnetic wave shielding film according to any one of the above 500 to 509, wherein the plating treatment is performed by electroless plating and subsequent electrolytic plating.
803. A silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is exposed to light and developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is converted to a noble metal. A conductive film obtained by treatment with an activation liquid containing a compound, followed by plating or physical development, wherein the concentration of the noble metal compound in the activation liquid, the treatment time and temperature of the activation bath are as follows: A conductive film characterized by satisfying Formula I.
Conditional expression I: 3 ≦ DtT ≦ 10
(In conditional formula I, D represents the concentration (g / L) of the noble metal compound, t represents the treatment time (min) of the activation bath, and T represents the temperature (° C.) of the activation bath.)
804. 803. The conductive film as described in 803, wherein the light-transmitting conductive film is a light-transmitting conductive film for a transparent electrode of an image display element or a semiconductor element for image recording.
805. 803. The conductive film as described in 803, wherein the conductive film is a light-transmitting electromagnetic wave shielding film.
806. 805. The electromagnetic wave shielding film according to 805, wherein the translucent electromagnetic wave shielding film after plating has a surface resistance of 2.5 Ω / sq or lower, or the conductive metal portion has an aperture ratio of 85% or higher. .
807. 801. The conductive conductive film according to any one of 803 to 806, wherein the noble metal compound is a palladium compound.

808.支持体上にハロゲン化銀乳剤層を含む少なくとも1層の親水性コロイド層を有する黒白ハロゲン化銀写真感光材料に露光と現像処理を施して金属銀部を形成し、続いて該金属銀部を貴金属化合物を含有する活性化液を用いて前記条件式Iを満たす処理を行ったのちめっき処理又は物理現像処理して導電性を付与することを特徴とする導電性膜の製造方法。   808. A black and white silver halide photographic material having at least one hydrophilic colloid layer including a silver halide emulsion layer on a support is exposed to light and developed to form a metallic silver portion, and then the metallic silver portion is formed. A method for producing a conductive film, comprising performing a treatment satisfying the conditional expression I using an activation liquid containing a noble metal compound, and then imparting conductivity by plating treatment or physical development treatment.

809.前記ハロゲン化銀写真感光材料に施す露光がパターン露光であり、得られる透光性導電性膜が透光性電磁波シールド膜であることを特徴とする上記808に記載の導電性膜の製造方法。
810.ハロゲン化銀写真感光材料中のハロゲン化銀がよう化銀を実質的に含有せず、塩化銀を50モル%以上含有するハロゲン化銀であることを特徴とする上記808〜809に記載の導電性膜の製造方法。
811.表面抵抗が2.5Ω/sq以下で、前記光透過性部の透過率が95%以上である透光性電磁波シールド膜が得られることを特徴とする上記808〜810のいずれかに記載の導電性膜の製造方法。
812.露光部に前記金属銀部を形成し、未露光部に前記光透過性部を形成することを特徴とする上記808〜811のいずれかに記載の導電性膜の製造方法。
813.前記光透過性部が実質的に物理現像核を有しないことを特徴とする上記808〜812のいずれかに記載の導電性膜の製造方法。
814.Ag/バインダー体積比が1/4以上の銀塩含有層を用いることを特徴とする上記808〜813のいずれかにに記載の導電性膜の製造方法。
809. 808. The method for producing a conductive film as described in 808 above, wherein the exposure to the silver halide photographic light-sensitive material is pattern exposure, and the obtained translucent conductive film is a translucent electromagnetic wave shielding film.
810. 810 to 809, wherein the silver halide in the silver halide photographic light-sensitive material is substantially free of silver iodide and contains 50 mol% or more of silver chloride. For producing a conductive film.
811. 814. The conductive material according to any one of 808 to 810, wherein a light-transmitting electromagnetic wave shielding film having a surface resistance of 2.5Ω / sq or less and a transmittance of the light-transmitting portion of 95% or more is obtained. For producing a conductive film.
812. The method for producing a conductive film according to any one of 808 to 811, wherein the metal silver part is formed in an exposed part, and the light transmissive part is formed in an unexposed part.
813. 814. The method for producing a conductive film according to any one of 808 to 812, wherein the light-transmitting portion has substantially no physical development nucleus.
814. The method for producing a conductive film as described in any one of 808 to 813, wherein a silver salt-containing layer having an Ag / binder volume ratio of 1/4 or more is used.

815.黒白ハロゲン化銀写真感光材料がパターン露光による露光部に溶解物理現像によって金属銀部が形成され、未露光部に光透過性部が形成されることを特徴とする上記808〜814いずれかに記載の導電性膜の製造方法。
816.活性化浴の酸化還元電位が活性化浴のpH条件において飽和カロメル電極に対して少なくとも200mV卑であることを特徴とする上記808〜815のいずれかに記載の導電性膜の製造方法。
817.活性化浴の銀電位がpAg10以上であることを特徴とする上記808〜81
6のいずれかに記載の導電性膜の製造方法。
818.上記808〜817のいずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法により得られたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用電磁波シールド膜。
815. The above-mentioned 808 to 814, wherein the black and white silver halide photographic light-sensitive material has a metal silver part formed by dissolution physical development in an exposed part by pattern exposure and a light transmissive part formed in an unexposed part. A method for producing a conductive film.
816. The method for producing a conductive film as described in any one of 808 to 815, wherein the oxidation-reduction potential of the activation bath is at least 200 mV base with respect to the saturated calomel electrode under the pH condition of the activation bath.
817. 808 to 81, wherein the silver potential of the activation bath is pAg10 or more.
7. A method for producing a conductive film according to any one of 6 above.
818. An electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel obtained by the method for producing a translucent conductive film according to any one of 808 to 817.

<黒化法>
900.前記導電性金属部の表面をさらに黒化処理することを特徴とする上記500〜509のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜の製造方法。
901.透明支持体上に球相当径0.1nm〜300nmの銀塩乳剤を含む乳剤層を有する感光材料を露光、現像して形成した現像銀部、導電性金属部および黒色部が積層された積層材料。
902.前記現像銀部、導電性金属部、および黒色部が、この順に積層されたことを特徴とする上記901記載の積層材料。
903.前記現像銀部および/または導電性金属部が1μm〜50μmのメッシュ状の細線にパターニングされていることを特徴とする上記901〜902に記載の積層材料。
904.前記導電性金属部が銅、アルミニウム、およびニッケルの少なくともいずれかからなることを特徴とする上記901〜903いずれかに記載の積層材料。
905.前記黒色部がニッケル、クロム、亜鉛、錫、および銅の中から選択される元素を含む少なくとも1種の化合物を主成分とすることを特徴とする上記901〜904のいずれかに記載の積層材料。
906.前記黒色部がメッキ処理により形成されたものであることを特徴とする上記901〜905に記載の積層材料。
907.前記黒色部が前記導電性金属部の一部を酸化処理することにより形成されたものであることを特徴とする上記901〜906のいずれかに記載の積層材料。
908.前記黒色部が導電性金属部の一部を硫化処理することにより形成されたものであることを特徴とする上記901〜907のいずれかに記載の積層材料。
909.上記901〜908のいずれかに記載の積層材料からなる透光性電磁波シールド膜。
<Blackening method>
900. The method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to any one of the above 500 to 509, wherein the surface of the conductive metal portion is further blackened.
901. A laminated material in which a developed silver part, a conductive metal part and a black part are formed by exposing and developing a photosensitive material having an emulsion layer containing a silver salt emulsion having a sphere equivalent diameter of 0.1 nm to 300 nm on a transparent support. .
902. The laminated material according to 901, wherein the developed silver part, the conductive metal part, and the black part are laminated in this order.
903. The laminated material according to 901 to 902, wherein the developed silver portion and / or the conductive metal portion is patterned into a fine mesh wire having a size of 1 μm to 50 μm.
904. The laminated material according to any one of 901 to 903, wherein the conductive metal portion is made of at least one of copper, aluminum, and nickel.
905. The laminated material according to any one of 901 to 904, wherein the black part is mainly composed of at least one compound containing an element selected from nickel, chromium, zinc, tin, and copper. .
906. The laminated material according to 901 to 905 above, wherein the black part is formed by plating.
907. The laminated material according to any one of 901 to 906, wherein the black portion is formed by oxidizing part of the conductive metal portion.
908. The laminated material according to any one of 901 to 907, wherein the black part is formed by subjecting a part of the conductive metal part to sulfurization treatment.
909. The translucent electromagnetic wave shielding film which consists of a laminated material in any one of said 901-908.

<特徴的な製法>
1000.メッシュ状の導電性金属薄膜を以下の(a)(b)(c)(d)(e)の方法によって得ることを特徴とする、透光性電磁波シールド膜の製造方法。
(a)メッシュ状の導電性金属薄膜を電解メッキによって得た後、透明支持体にメッシュ状の導電性金属薄膜を転写して得る方法。
(b)無電解メッキ触媒のメッシュ状パターンを形成し、無電解メッキすることによってメッシュ状の導電性金属薄膜を得る方法。
(c)導電性ペーストのメッシュ状パターンを形成することによって導電性金属薄膜を得る方法。
(d)支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属を担持させる、メッシュ状の導電性金属薄
膜の形成方法。
(e)支持体上の金属薄膜をエッチングする方法。
<Characteristic manufacturing method>
1000. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film, comprising obtaining a mesh-like conductive metal thin film by the following methods (a), (b), (c), (d), and (e).
(A) A method of obtaining a mesh-like conductive metal thin film by electroplating and then transferring the mesh-like conductive metal thin film to a transparent support.
(B) A method of obtaining a mesh-like conductive metal thin film by forming a mesh-like pattern of an electroless plating catalyst and performing electroless plating.
(C) A method of obtaining a conductive metal thin film by forming a mesh pattern of a conductive paste.
(D) A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on the support is exposed and developed to form a metallic silver portion and a light transmitting portion, and the metallic silver portion is further subjected to physical development and A method for forming a mesh-like conductive metal thin film, in which a conductive metal is supported on the metal silver portion by plating.
(E) A method of etching a metal thin film on a support.

<装置の特徴>
上記課題を解決するために、本発明のめっき被膜付きフィルムの製造方法及び装置は、下記の通りである。
1100.導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面を液膜を介して陰極ロールに接触させ、その前段または/および後段に配置されためっき浴にてフィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造方法であって、陰極ロール面に陰極ロールとフィルム導電面との隙間の間隔を規定する突起部材を複数設け、フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に導電性液体を供給するようにしたことを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1101.陰極ロールとフィルム導電面との隙間の間隔を規定する突起部材の高さを0.1mm以上5mm以下とし、幅を0.1mm以上5mm以下とし、並設された突起部材間の間隔を3mm以上200mm以下としたことを特徴とする上記1100に記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1102.フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に供給する導電性液体の導電率を、1mS/cm以上100mS/cm以下とすることを特徴とする上記1100〜1101に記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1103.フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に供給する導電性液体を複数のノス゛ルを用いて供給することを特徴とする上記1100〜1102のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1104.フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に供給する導電性液体が陰極ロールを貫通し陰極表面突起部材と突起部材の間の面に複数設けられた液供給孔に導かれるようにした液流路を通過してフィルム面に噴出するようにした事を特徴とする上記1100〜1103のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1105.前記フィルムが透明支持体上に導電性金属部と可視光透過性部をパターニングして形成される透光性導電性膜であることを特徴とする上記1100〜1104のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1106.前記フィルムに形成された該導電性金属部が1μmから40μmのメッシュ状
の細線から形成され、該メッシュパターンが3m以上連続している透光性導電性膜である
ことを特徴とする、上記1100〜1105のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1107.前記フィルムに形成された該導電性金属部がハロゲン化銀写真感光材料を現像処理してなる現像銀である事を特徴とする上記1100〜1106のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1108.めっき被膜が銅であることを特徴とする上記1100〜1107のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1109.フィルムがポリイミド樹脂またはポリエステル樹脂からなることを特徴とする、上記1100〜1108のいずれかに記載のめっき被膜付きフィルムの製造方法。
1110.導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面を液膜を介して陰極ロールに接触させ、その前段または/および後段に配置されためっき浴にてフィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置であって、陰極ロール面に陰極ロールとフィルム導電面との隙間の間隔を規定する突起部材を複数設け、フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に導電性液体を供給するようにしたことを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
<Features of the device>
In order to solve the above problems, a method and an apparatus for producing a film with a plating film of the present invention are as follows.
1100. A plating film in which the film conductive surface is brought into contact with a cathode roll through a liquid film while a film having a conductive surface is conveyed, and a plating film is formed on the film conductive surface in a plating bath disposed in the preceding stage or / and subsequent stage thereof. A method of manufacturing a film with a cover, wherein a plurality of projecting members are provided on a cathode roll surface to define a gap interval between the cathode roll and the film conductive surface, and a conductive liquid is supplied to the gap between the film conductive surface and the cathode roll. A method for producing a film with a plating film, characterized in that
1101. The height of the protruding member that defines the gap distance between the cathode roll and the film conductive surface is 0.1 mm or more and 5 mm or less, the width is 0.1 mm or more and 5 mm or less, and the interval between the protruding members arranged in parallel is 3 mm or more. The method for producing a film with a plating film according to 1100, wherein the film has a thickness of 200 mm or less.
1102. 110. The method for producing a film with a plating film according to 1100 to 1101, wherein the conductivity of the conductive liquid supplied to the gap between the film conductive surface and the cathode roll is 1 mS / cm or more and 100 mS / cm or less. .
1103. 110. The method for producing a film with a plating film according to any one of 1100 to 1102, wherein the conductive liquid supplied to the gap between the film conductive surface and the cathode roll is supplied using a plurality of nozzles.
1104. A liquid flow path in which the conductive liquid supplied to the gap between the film conductive surface and the cathode roll penetrates the cathode roll and is guided to a plurality of liquid supply holes provided on the surface between the cathode surface protruding member and the protruding member. The method for producing a film with a plating film according to any one of the above 1100 to 1103, wherein the film is jetted onto the film surface after passing through.
1105. The plating film according to any one of 1100 to 1104 above, wherein the film is a translucent conductive film formed by patterning a conductive metal portion and a visible light transmissive portion on a transparent support. A manufacturing method of a film with a mark.
1106. 1100, wherein the conductive metal portion formed on the film is a light-transmitting conductive film formed of 1 to 40 μm mesh-like fine wires, and the mesh pattern is continuous for 3 m or more. The manufacturing method of the film with a plating film in any one of -1105.
1107. 110. The method for producing a film with a plating film according to any one of the above 1100 to 1106, wherein the conductive metal portion formed on the film is developed silver obtained by developing a silver halide photographic light-sensitive material. .
1108. The method for producing a film with a plating film according to any one of the above 1100 to 1107, wherein the plating film is copper.
1109. The method for producing a film with a plating film according to any one of 1100 to 1108, wherein the film is made of a polyimide resin or a polyester resin.
1110. A plating film in which the film conductive surface is brought into contact with the cathode roll via a liquid film while a film having a conductive surface is conveyed, and a plating film is formed on the film conductive surface in a plating bath disposed in the preceding stage or / and subsequent stage thereof. An apparatus for manufacturing a film with a plurality of protruding members for defining a gap interval between a cathode roll and a film conductive surface on a cathode roll surface, and supplying a conductive liquid to the gap between the film conductive surface and the cathode roll An apparatus for producing a film with a plating film, characterized in that it is configured as described above.

1200.光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するためのめっき手段を備え、
前記めっき手段には、前記光透過性材料を非接触で搬送する非接触搬送部材を備えることを特徴とする光透過性導電性材料の製造装置。
1201.前記光透過性導電性材料が、光透過性電磁波遮蔽材料であることを特徴とする上記1200に記載の光透過性導電性材料の製造装置。
1202.光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するめっき工程を有し、
前記めっき工程では、前記光透過性材料を非接触で搬送することを特徴とする光透過性導電性材料の製造方法。
1203.前記光透過性導電性材料が、光透過性電磁波遮蔽材料であることを特徴とする上記3に記載の光透過性導電性材料の製造方法。
1200. The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to a plating process on the light-transmitting material in which a fine-line metallic silver portion is formed by subjecting a fine-line pattern exposure / development process, A plating means for forming a conductive metal portion on the metal silver portion;
The plating means includes a non-contact conveying member that conveys the light transmissive material in a non-contact manner.
1201. 131. The apparatus for producing a light transmissive conductive material according to the item 1200, wherein the light transmissive conductive material is a light transmissive electromagnetic wave shielding material.
1202. The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to a thin-line pattern exposure / development treatment to form a fine-line metal silver portion, and then subjected to a plating treatment to form the fine-line-shaped material. Having a plating step of forming a conductive metal part on the metal silver part,
In the plating step, the light transmissive conductive material is transported in a non-contact manner.
1203. 4. The method for producing a light transmissive conductive material according to 3 above, wherein the light transmissive conductive material is a light transmissive electromagnetic wave shielding material.

1300.被めっき部を有する被めっき素材に電解めっき処理を施すための電解めっき装置であって、
めっき用電源と、
電解質溶液が満たされた第1の槽と、
前記第1の槽内に配設されると共に前記めっき用電源の一方の端子と結線され、前記電解質溶液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電する第1電極と、
めっき金属イオンを含むめっき浴液が満たされた第2の槽と、
前記第2の槽内に配設されると共に前記めっき用電源の他方の端子と結線され、前記第1電極による通電を行いつつ前記めっき浴液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電し、めっき電流を流す第2電極と、
を備えることを特徴とする電解めっき装置。
1301.前記被めっき素材は、長尺幅広フレキシブル基材であることを特徴とする上記1300に記載の電解めっき装置。
1302.被めっき部を有する被めっき素材に電解めっき処理を施すための電解めっき方法であって、
前記被めっき素材を連ねて、電解質溶液が満たされた第1の槽内とめっき浴液が満たされた第2の槽内とへ搬送し、めっき用電源の一方の端子と結線された第1電極により、前記電解質溶液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電しつつ、前記めっき用電源の他方の端子と結線された第2電極により前記めっき浴液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電し、めっき電流を流すことを有することを特徴とする電解めっき方法。
1303.前記被めっき素材は、長尺幅広フレキシブル基材であることを特徴とする上記1302に記載の電解めっき方法。
1304.光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、電解めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するためのめっき手段を備え、
前記めっき手段が、上記1300〜1301に記載の電解めっき装置であることを特徴とする光透過性導電性材料の製造装置。
1305.前記光透過性導電性材料が、光透過性電磁波遮蔽材料であることを特徴とする上記1304に記載の光透過性導電性材料の製造装置。
1306.光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、電解めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するめっき工程を有し、
前記めっき工程は、上記1302〜1303に記載の電解めっき方法により行われることを特徴とする光透過性導電性材料の製造方法。
1307.前記光透過性導電性材料が、光透過性電磁波遮蔽材料であることを特徴とする上記1306に記載の光透過性導電性材料の製造方法。
1300. An electroplating apparatus for performing an electroplating process on a material to be plated having a portion to be plated,
Power supply for plating,
A first tank filled with an electrolyte solution;
A first electrode disposed in the first tank and connected to one terminal of the power source for plating, and energizing the portion to be plated of the material to be plated through the electrolyte solution;
A second tank filled with a plating bath containing plating metal ions;
It is arranged in the second tank and is connected to the other terminal of the power supply for plating, and is energized by the first electrode to the portion to be plated of the material to be plated through the plating bath liquid. A second electrode that energizes and carries a plating current;
An electrolytic plating apparatus comprising:
1301. The electroplating apparatus according to 1300, wherein the material to be plated is a long wide flexible substrate.
1302. An electrolytic plating method for performing an electrolytic plating process on a material to be plated having a portion to be plated,
The first material connected to one terminal of the power supply for plating is connected to one terminal of the power source for plating by connecting the materials to be plated to the first tank filled with the electrolyte solution and the second tank filled with the plating bath solution. The material to be plated is passed through the plating bath liquid by the second electrode connected to the other terminal of the power supply for plating while the electrode is energized to the portion to be plated of the material to be plated through the electrolyte solution. An electroplating method comprising energizing the portion to be plated and flowing a plating current.
1303. 130. The electrolytic plating method according to 1302, wherein the material to be plated is a long wide flexible base material.
1304. The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to an electroplating process on the light-transmitting material in which a fine-line metal silver portion is formed by subjecting a fine-line pattern exposure / development process to the fine line. Provided with a plating means for forming a conductive metal part on the metal silver part,
The apparatus for producing a light-transmitting conductive material, wherein the plating means is the electrolytic plating apparatus according to 1300 to 1301 described above.
1305. The apparatus for producing a light transmissive conductive material according to 1304, wherein the light transmissive conductive material is a light transmissive electromagnetic wave shielding material.
1306. The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to an electroplating process on the light-transmitting material in which a fine-line metal silver portion is formed by subjecting a fine-line pattern exposure / development process to the fine line. Having a plating step of forming a conductive metal part on the metal silver part,
The said plating process is performed by the electrolytic plating method of said 1302-1303, The manufacturing method of the translucent conductive material characterized by the above-mentioned.
1307. The method for producing a light transmissive conductive material according to 1306, wherein the light transmissive conductive material is a light transmissive electromagnetic wave shielding material.

本発明により、新規な導電性パターン材料、電極材料、プリント配線板、透光性導電性膜を得ることができる。また、CRT(陰極線管)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、液晶、EL(エレクトロルミネッセンス)、FED(フィールドエミッションディスプレイ)などのディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線板などから発生する電磁波を遮蔽し、かつ、透明性を有する透光性電磁波シールド膜を得ることができる。さらに、プラズマディスプレイパネル用透光性電磁波シールド膜およびこれを有するプラズマディスプレイパネル用フィルターならびにプラズマディスプレイパネルを得ることができる。さらにまた、本発明の透明導電性シートは、透過率が高く、表面抵抗率が低く、安価に作製できる。 また、EL素子、特に無機EL素子に好ましく用いられ、高輝度、高耐久の白色発光を達成することが可能であり、高輝度で駆動寿命の長いエレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。   According to the present invention, a novel conductive pattern material, electrode material, printed wiring board, and translucent conductive film can be obtained. Also shields electromagnetic waves generated from the front of displays such as CRT (cathode ray tube), PDP (plasma display panel), liquid crystal, EL (electroluminescence), FED (field emission display), microwave oven, electronic equipment, printed wiring board, etc. And the translucent electromagnetic wave shielding film which has transparency can be obtained. Furthermore, a translucent electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel, a plasma display panel filter having the same, and a plasma display panel can be obtained. Furthermore, the transparent conductive sheet of the present invention has high transmittance, low surface resistivity, and can be produced at low cost. Further, it can be preferably used for an EL element, particularly an inorganic EL element, and can achieve white light emission with high luminance and high durability, and can provide an electroluminescent element with high luminance and a long driving life.

以下には、本発明の導電性パターン及び透光性導電性膜及び透光性電磁波シールド膜、更にそれらの製造方法の好ましい態様について詳細に説明する。
なお、本明細書において「〜」は、その前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味として使用される。
Below, the conductive pattern of this invention, a translucent conductive film, a translucent electromagnetic wave shielding film, and also the preferable aspect of those manufacturing methods are demonstrated in detail.
In the present specification, “to” is used as a meaning including numerical values described before and after the lower limit value and the upper limit value.

〈感光材料〉
[支持体]
本発明の製造方法に用いられる感光材料の支持体としては、プラスチックフィルム、プラスチック板、およびガラス板などを用いることができる。
上記プラスチックフィルムおよびプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、およびポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVAなどのポリオレフィン類;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂;その他、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)などを用いることができる。
本発明においては、透明性、耐熱性、取り扱いやすさおよび価格の点から、上記プラスチックフィルムはポリエチレンテレフタレートフィルムであることが好ましい。
<Photosensitive material>
[Support]
As the support of the photosensitive material used in the production method of the present invention, a plastic film, a plastic plate, a glass plate, or the like can be used.
Examples of the raw material for the plastic film and plastic plate include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, EVA; polyvinyl chloride, Vinyl resins such as polyvinylidene chloride; polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), polyether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC) Etc. can be used.
In the present invention, the plastic film is preferably a polyethylene terephthalate film from the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling and cost.

ディスプレイ用の電磁波シールド材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合におけるプラスチックフィルムまたはプラスチック板の全可視光透過率は70〜100%が好ましく、さらに好ましくは85〜100%であり、特に好ましくは90〜100%である。また、本発明では、前記プラスチックフィルムおよびプラスチック板として本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもできる。
本発明におけるプラスチックフィルムおよびプラスチック板は、単層で用いることもできるが、2層以上を組み合わせた多層フィルムとして用いることも可能である。
Since the electromagnetic wave shielding material for display requires transparency, it is desirable that the support has high transparency. In this case, the total visible light transmittance of the plastic film or plastic plate is preferably 70 to 100%, more preferably 85 to 100%, and particularly preferably 90 to 100%. Moreover, in this invention, what was colored to such an extent that the objective of this invention is not disturbed can also be used as the said plastic film and a plastic board.
The plastic film and plastic plate in the present invention can be used as a single layer, but can also be used as a multilayer film in which two or more layers are combined.

本発明における支持体としてガラス板を用いる場合、その種類は特に限定されないが、ディスプレイ用電磁波シールド膜の用途として用いる場合、表面に強化層を設けた強化ガラスを用いることが好ましい。強化ガラスは、強化処理していないガラスに比べて破損を防止できる可能性が高い。さらに、風冷法により得られる強化ガラスは、万一破損してもその破砕破片が小さく、かつ端面も鋭利になることはないため、安全上好ましい。   When a glass plate is used as the support in the present invention, the type thereof is not particularly limited. However, when used as an application for an electromagnetic wave shielding film for a display, it is preferable to use tempered glass having a tempered layer on the surface. There is a high possibility that tempered glass can prevent breakage compared to glass that has not been tempered. Furthermore, the tempered glass obtained by the air cooling method is preferable from the viewpoint of safety because even if it is broken, the crushed pieces are small and the end face is not sharp.

[保護層]
本発明において用いられる感光材料は、後述する乳剤層上に保護層が設けられていてよ
い。本発明において「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する乳剤層に形成される。上記保護層の厚みは0.02〜20μmであり、好ましくは0.1〜10μmであり、さらに好ましくは0.3〜3μmである。上記保護層の塗布方法の形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法を適宜選択することができる。
尚、保護層を有する感光材料は、乳剤層に後述の感光材料に含まれる染料と同様のものを含んでいてもよい。
[Protective layer]
In the light-sensitive material used in the present invention, a protective layer may be provided on an emulsion layer described later. In the present invention, the “protective layer” means a layer made of a binder such as gelatin or a high molecular polymer, and is formed in an emulsion layer having photosensitivity in order to exhibit an effect of preventing scratches and improving mechanical properties. The thickness of the protective layer is 0.02 to 20 μm, preferably 0.1 to 10 μm, and more preferably 0.3 to 3 μm. The formation method of the coating method of the said protective layer is not specifically limited, A well-known coating method can be selected suitably.
The photosensitive material having a protective layer may contain the same dye as that contained in the photosensitive material described later in the emulsion layer.

[乳剤層]
本発明の製造方法に用いられる感光材料は、支持体上に、光センサーとして銀塩を含む乳剤層(銀塩含有層)を有することが好ましい。本発明における乳剤層には、銀塩のほか、必要に応じて染料、バインダー、溶媒等を含有することができる。乳剤層は実質的に最上層に配置されていることが好ましい。ここで、「乳剤層が実質的に最上層である」とは、乳剤層が実際に最上層に配置されている場合のみならず、乳剤層の上に設けられた層の総膜厚が0.5μm以下であることを意味する。乳剤層の上に設けられた層の総膜厚は、好ましくは0.2μm以下である。
[Emulsion layer]
The light-sensitive material used in the production method of the present invention preferably has an emulsion layer (silver salt-containing layer) containing a silver salt as an optical sensor on a support. The emulsion layer in the present invention may contain a dye, a binder, a solvent and the like as required in addition to the silver salt. It is preferable that the emulsion layer is substantially disposed in the uppermost layer. Here, “the emulsion layer is substantially the uppermost layer” not only means that the emulsion layer is actually disposed in the uppermost layer, but also the total thickness of the layers provided on the emulsion layer is 0. It means that it is 5 μm or less. The total thickness of the layers provided on the emulsion layer is preferably 0.2 μm or less.

<染料>
まず、本発明において用いられる感光材料には、少なくとも乳剤層に染料が含まれることが好ましい。
該染料は、フィルター染料として若しくはイラジエーション防止その他種々の目的で乳剤層に含まれる。上記染料としては、固体分散染料を含有してよい。本発明に好ましく用いられる染料としては、特開平9−179243号公報記載の一般式(FA)、一般式(FA1)、一般式(FA2)、一般式(FA3)で表される染料が挙げられ、具体的には同公報記載の化合物F1〜F34が好ましい。また、特開平7−152112号公報記載の(II−2)〜(II−24)、特開平7−152112号公報記載の(III−5)〜(III−18)、特開平7−152112号公報記載の(IV−2)〜(IV−7)等も好ましく用いられる。
<Dye>
First, the photosensitive material used in the present invention preferably contains a dye at least in the emulsion layer.
The dye is contained in the emulsion layer as a filter dye or for various purposes such as prevention of irradiation. The dye may contain a solid disperse dye. Examples of the dye preferably used in the present invention include dyes represented by general formula (FA), general formula (FA1), general formula (FA2), and general formula (FA3) described in JP-A-9-179243. Specifically, compounds F1 to F34 described in the publication are preferable. Further, (II-2) to (II-24) described in JP-A-7-152112, (III-5) to (III-18) described in JP-A-7-152112, and JP-A-7-152112. (IV-2) to (IV-7) described in the publication are also preferably used.

このほか、本発明に使用することができる染料としては、現像または定着の処理時に脱色させる固体微粒子分散状の染料としては、特開平3−138640号公報記載のシアニン染料、ピリリウム染料およびアミニウム染料が挙げられる。また、処理時に脱色しない染料として、特開平9−96891号公報記載のカルボキシル基を有するシアニン染料、特開平8−245902号公報記載の酸性基を含まないシアニン染料および同8−333519号公報記載のレーキ型シアニン染料、特開平1−266536号公報記載のシアニン染料、特開平3−136038号公報記載のホロポーラ型シアニン染料、特開昭62−299959号公報記載のピリリウム染料、特開平7−253639号公報記載のポリマー型シアニン染料、特開平2−282244号公報記載のオキソノール染料の固体微粒子分散物、特開昭63−131135号公報記載の光散乱粒子、特開平9−5913号公報記載のYb3+化合物および特開平7−113072号公報記載のITO粉末等が挙げられる。また、特開平9−179243号公報記載の一般式(F1)、一般式(F2)で表される染料で、具体的には同公報記載の化合物F35〜F112も用いることができる。   In addition, as dyes that can be used in the present invention, solid fine particle dispersed dyes to be decolored during development or fixing processing include cyanine dyes, pyrylium dyes, and aminium dyes described in JP-A-3-138640. Can be mentioned. Further, as dyes that do not decolorize during processing, cyanine dyes having a carboxyl group described in JP-A-9-96891, cyanine dyes not containing an acidic group described in JP-A-8-245902, and those described in JP-A-8-333519 Lake type cyanine dyes, cyanine dyes described in JP-A-1-266536, horopora-type cyanine dyes described in JP-A-3-136638, pyrylium dyes described in JP-A-62-299959, JP-A-7-253039 Polymer type cyanine dyes described in JP-A No. 2-282244, solid fine particle dispersions described in JP-A No. 2-282244, light scattering particles described in JP-A No. 63-131135, Yb3 + compounds described in JP-A No. 9-5913 And ITO powder described in JP-A-7-113072. . In addition, dyes represented by general formula (F1) and general formula (F2) described in JP-A-9-179243, specifically, compounds F35 to F112 described in the same publication can also be used.

また、上記染料としては、水溶性染料を含有することができる。このような水溶性染料としては、オキソノール染料、ベンジリデン染料、メロシアニン染料、シアニン染料およびアゾ染料が挙げられる。中でも本発明においては、オキソノール染料、ヘミオキソノール染料およびベンジリデン染料が有用である。本発明に用い得る水溶性染料の具体例としては、英国特許584,609号明細書、同1,177,429号明細書、特開昭48−85130号公報、同49−99620号公報、同49−114420号公報、同52−20822号公報、同59−154439号公報、同59−208548号公報、米国特
許2,274,782号明細書、同2,533,472号明細書、同2,956,879号明細書、同3,148,187号明細書、同3,177,078号明細書、同3,247,127号明細書、同3,540,887号明細書、同3,575,704号明細書、同3,653,905号明細書、同3,718,427号明細書に記載されたものが挙げられる。
Moreover, as said dye, a water-soluble dye can be contained. Such water-soluble dyes include oxonol dyes, benzylidene dyes, merocyanine dyes, cyanine dyes and azo dyes. Of these, oxonol dyes, hemioxonol dyes and benzylidene dyes are particularly useful in the present invention. Specific examples of water-soluble dyes that can be used in the present invention include British Patent Nos. 584,609, 1,177,429, JP-A-48-85130, 49-99620, No. 49-114420, No. 52-20822, No. 59-154439, No. 59-208548, US Pat. No. 2,274,782, No. 2,533,472, No. 2 No. 3,956,879, No. 3,148,187, No. 3,177,078, No. 3,247,127, No. 3,540,887, No. 3 , 575,704 specification, 3,653,905 specification, and 3,718,427 specification.

上記乳剤層中における染料の含有量は、イラジエーション防止などの効果と、添加量増加による感度低下の観点から、全固形分に対して0.01〜10質量%が好ましく、0.1〜5質量%がさらに好ましい。   The content of the dye in the emulsion layer is preferably 0.01 to 10% by mass with respect to the total solid content, from the viewpoint of preventing irradiation and the like, and from the viewpoint of lowering sensitivity due to an increase in the amount added. More preferred is mass%.

<銀塩>
本発明で用いられる銀塩としては、ハロゲン化銀などの無機銀塩および酢酸銀などの有機銀塩が挙げられる。本発明においては、光センサーとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。
<Silver salt>
Examples of the silver salt used in the present invention include inorganic silver salts such as silver halide and organic silver salts such as silver acetate. In the present invention, it is preferable to use silver halide having excellent characteristics as an optical sensor.

本発明で好ましく用いられるハロゲン化銀について説明する。
本発明では、光センサーとして機能させるためにハロゲン化銀を使用することが好ましく、ハロゲン化銀に関する銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術は、本発明においても用いることができる。
The silver halide preferably used in the present invention will be described.
In the present invention, it is preferable to use silver halide in order to function as an optical sensor, and silver halide photographic film and photographic paper relating to silver halide, printing plate-making film, emulsion mask for photomask, etc. It can also be used in the present invention.

上記ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素およびフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、AgCl、AgBr、AgIを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにAgBrやAgClを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀50モル%以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。   The halogen element contained in the silver halide may be any of chlorine, bromine, iodine and fluorine, or a combination thereof. For example, silver halide mainly composed of AgCl, AgBr, and AgI is preferably used, and silver halide mainly composed of AgBr or AgCl is preferably used. Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are also preferably used. More preferred are silver chlorobromide, silver bromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide, and most preferred are silver chlorobromide and silver iodochlorobromide containing 50 mol% or more of silver chloride. Used.

尚、ここで、「AgBr(臭化銀)を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成中に占める臭化物イオンのモル分率が50%以上のハロゲン化銀をいう。このAgBrを主体としたハロゲン化銀粒子は、臭化物イオンのほかに沃化物イオン、塩化物イオンを含有していてもよい。   Here, “silver halide mainly composed of AgBr (silver bromide)” refers to silver halide in which the molar fraction of bromide ions in the silver halide composition is 50% or more. The silver halide grains mainly composed of AgBr may contain iodide ions and chloride ions in addition to bromide ions.

ハロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、現像処理後に形成されるパターン状金属銀層の画像品質の観点からは、ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、球相当径で0.1〜1000nm(1μm)であることが好ましく、0.1〜100nmであることがより好ましく、1〜50nmであることがさらに好ましい。
尚、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径である。
Silver halide is in the form of solid grains. From the viewpoint of image quality of the patterned metallic silver layer formed after exposure and development, the average grain size of silver halide is 0.1 to 1000 nm in terms of sphere equivalent diameter ( 1 μm) is preferred, 0.1 to 100 nm is more preferred, and 1 to 50 nm is even more preferred.
Incidentally, the sphere equivalent diameter of silver halide grains is the diameter of grains having the same volume and a spherical shape.

ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状(6角平板状、三角形平板状、4角形平板状など)、八面体状、14面体状など様々な形状であることができ、立方体、14面体が好ましい。
ハロゲン化銀粒子は内部と表層が均一な相からなっていても異なっていてもよい。また粒子内部或いは表面にハロゲン組成の異なる局在層を有していてもよい。
The shape of the silver halide grains is not particularly limited, and may be various shapes such as a spherical shape, a cubic shape, a flat plate shape (hexagonal flat plate shape, triangular flat plate shape, tetragonal flat plate shape, etc.), octahedron shape, and tetrahedron shape. There can be a cube and a tetrahedron.
The silver halide grains may be composed of a uniform phase or a different surface layer. Moreover, you may have the localized layer from which a halogen composition differs in a particle | grain inside or surface.

本発明に用いられる乳剤層用塗布液であるハロゲン化銀乳剤は、P. Glafkides 著 Chimie etPhysique Photographique (Paul Montel 社刊、1967年)、G. F. Dufin 著Photographic Emulsion Chemistry (The Forcal Press刊、1966年)、V. L.Zelikman et al著 Making and Coating Photographic Emulsion (The ForcalPress 刊、1964年)などに記載された方法を用いて調製することができる。   The silver halide emulsion, which is a coating solution for the emulsion layer used in the present invention, is Chimie etPhysique Photographique (Paul Montel, 1967) by P. Glafkides, Photographic Emulsion Chemistry (The Forcal Press, 1966) by GF Dufin. VLZelikman et al, Making and Coating Photographic Emulsion (published by The ForcalPress, 1964) and the like.

すなわち、上記ハロゲン化銀乳剤の調製方法としては、酸性法、中性法等のいずれでもよく、又、可溶性銀塩と可溶性ハロゲン塩とを反応させる方法としては、片側混合法、同時混合法、それらの組み合わせなどのいずれを用いてもよい。
また、銀粒子の形成方法としては、粒子を銀イオン過剰の下において形成させる方法(いわゆる逆混合法)を用いることもできる。さらに、同時混合法の一つの形式としてハロゲン化銀の生成される液相中のpAgを一定に保つ方法、すなわち、いわゆるコントロールド・ダブルジェット法を用いることもできる。
またアンモニア、チオエーテル、四置換チオ尿素等のいわゆるハロゲン化銀溶剤を使用して粒子形成させることも好ましい。係る方法としてより好ましくは四置換チオ尿素化合物であり、特開昭53−82408号、同55−77737号各公報に記載されている。好ましいチオ尿素化合物はテトラメチルチオ尿素、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジンチオンが挙げられる。ハロゲン化銀溶剤の添加量は用いる化合物の種類および目的とする粒子サイズ、ハロゲン組成により異なるが、ハロゲン化銀1モルあたり10-5〜10-2モルが好ましい。
That is, as a method for preparing the silver halide emulsion, either an acidic method, a neutral method, or the like may be used. Also, as a method of reacting a soluble silver salt and a soluble halogen salt, a one-side mixing method, a simultaneous mixing method, Any combination of them may be used.
As a method for forming silver particles, a method of forming particles in the presence of excess silver ions (so-called back mixing method) can also be used. Furthermore, as one type of the simultaneous mixing method, a method of keeping pAg in a liquid phase where silver halide is generated, that is, a so-called controlled double jet method can be used.
It is also preferable to form grains using a so-called silver halide solvent such as ammonia, thioether or tetrasubstituted thiourea. A tetrasubstituted thiourea compound is more preferable as such a method, and is described in JP-A-53-82408 and JP-A-55-77737. Preferred thiourea compounds include tetramethylthiourea and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinethione. The addition amount of the silver halide solvent varies depending on the type of compound used, the target grain size, and the halogen composition, but is preferably 10 −5 to 10 −2 mol per mol of silver halide.

上記コントロールド・ダブルジェット法およびハロゲン化銀溶剤を使用した粒子形成方法では、結晶型が規則的で粒子サイズ分布の狭いハロゲン化銀乳剤を作るのが容易であり、本発明に好ましく用いることができる。
また、粒子サイズを均一にするためには、英国特許第1,535,016号明細書、特公昭48−36890号広報、同52−16364号公報に記載されているように、硝酸銀やハロゲン化アルカリの添加速度を粒子成長速度に応じて変化させる方法や、英国特許第4,242,445号明細書、特開昭55−158124号公報に記載されているように水溶液の濃度を変化させる方法を用いて、臨界飽和度を越えない範囲において早く銀を成長させることが好ましい。本発明における乳剤層の形成に用いられるハロゲン化銀乳剤は単分散乳剤が好ましく、{(粒子サイズの標準偏差)/(平均粒子サイズ)}×100で表される変動係数が20%以下、より好ましくは15%以下、最も好ましくは10%以下であることが好ましい。
In the controlled double jet method and the grain forming method using a silver halide solvent, it is easy to prepare a silver halide emulsion having a regular crystal type and a narrow grain size distribution, and is preferably used in the present invention. it can.
Further, in order to make the grain size uniform, as described in British Patent No. 1,535,016, Japanese Patent Publication No. 48-36890, and Japanese Patent Publication No. 52-16364, silver nitrate or halogenated A method of changing the alkali addition rate according to the particle growth rate, or a method of changing the concentration of the aqueous solution as described in British Patent No. 4,242,445 and JP-A-55-158124 It is preferable to grow silver quickly in a range not exceeding the critical saturation. The silver halide emulsion used for forming the emulsion layer in the present invention is preferably a monodispersed emulsion, and the coefficient of variation represented by {(standard deviation of grain size) / (average grain size)} × 100 is 20% or less, and more. It is preferably 15% or less, and most preferably 10% or less.

本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、粒子サイズの異なる複数種類のハロゲン化銀乳剤を混合してもよい。   The silver halide emulsion used in the present invention may be a mixture of a plurality of types of silver halide emulsions having different grain sizes.

本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、VIII族、VIIB族に属する金属を含有してもよい。特に、高コントラストおよび低カブリを達成するために、ロジウム化合物、イリジウム化合物、ルテニウム化合物、鉄化合物、オスミウム化合物、レニウム化合物などを含有することが好ましい。これら化合物は、各種の配位子を有する化合物であってよく、配位子として例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナートイオン、ニトロシルイオン、水、水酸化物イオンなどや、こうした擬ハロゲン、アンモニアのほか、アミン類(メチルアミン、エチレンジアミン等)、ヘテロ環化合物(イミダゾール、チアゾール、5−メチルチアゾール、メルカプトイミダゾールなど)、尿素、チオ尿素等の、有機分子を挙げることができる。
また、高感度化のためにはK4〔Fe(CN)6〕やK4〔Ru(CN)6〕、K3〔Cr
(CN)6〕のごとき六シアノ化金属錯体のドープが有利に行われる。
The silver halide emulsion used in the present invention may contain a metal belonging to Group VIII or Group VIIB. In particular, in order to achieve high contrast and low fog, it is preferable to contain a rhodium compound, an iridium compound, a ruthenium compound, an iron compound, an osmium compound, a rhenium compound, or the like. These compounds may be compounds having various ligands. Examples of such ligands include cyanide ions, halogen ions, thiocyanate ions, nitrosyl ions, water, hydroxide ions, and such pseudohalogens. In addition to ammonia, organic molecules such as amines (methylamine, ethylenediamine, etc.), heterocyclic compounds (imidazole, thiazole, 5-methylthiazole, mercaptoimidazole, etc.), urea, thiourea and the like can be mentioned.
In order to increase sensitivity, K 4 [Fe (CN) 6 ], K 4 [Ru (CN) 6 ], K 3 [Cr
Doping of a metal hexacyanide complex such as (CN) 6 ] is advantageously performed.

上記ロジウム化合物としては、水溶性ロジウム化合物を用いることができる。水溶性ロジウム化合物としては、例えば、ハロゲン化ロジウム(III)化合物、ヘキサクロロロジ
ウム(III)錯塩、ペンタクロロアコロジウム錯塩、テトラクロロジアコロジウム錯塩、
ヘキサブロモロジウム(III)錯塩、ヘキサアミンロジウム(III)錯塩、トリザラトロジウム(III)錯塩、K3Rh2Br9等が挙げられる。これらのロジウム化合物は、水或いは適当な溶媒に溶解して用いられるが、ロジウム化合物の溶液を安定化させるために一般に
よく行われる方法、すなわち、ハロゲン化水素水溶液(例えば塩酸、臭酸、フッ酸等)、或いはハロゲン化アルカリ(例えばKCl、NaCl、KBr、NaBr等)を添加する方法を用いることができる。水溶性ロジウムを用いる代わりにハロゲン化銀調製時に、あらかじめロジウムをドープしてある別のハロゲン化銀粒子を添加して溶解させることも可能である。
A water-soluble rhodium compound can be used as the rhodium compound. Examples of the water-soluble rhodium compound include a rhodium (III) halide compound, a hexachlororhodium (III) complex salt, a pentachloroacorodium complex salt, a tetrachlorodiacolodium complex salt,
Examples include hexabromorhodium (III) complex salts, hexaaminerhodium (III) complex salts, trizalatrdium (III) complex salts, and K 3 Rh 2 Br 9 . These rhodium compounds are used by dissolving in water or a suitable solvent, and are generally used in order to stabilize the rhodium compound solution, that is, an aqueous hydrogen halide solution (for example, hydrochloric acid, odorous acid, hydrofluoric acid). Or a method of adding an alkali halide (for example, KCl, NaCl, KBr, NaBr, etc.) can be used. Instead of using water-soluble rhodium, it is also possible to add another silver halide grain previously doped with rhodium and dissolve it at the time of silver halide preparation.

上記イリジウム化合物としては、K2IrCl6、K3IrCl6等のヘキサクロロイリジウム錯塩、ヘキサブロモイリジウム錯塩、ヘキサアンミンイリジウム錯塩、ペンタクロロニトロシルイリジウム錯塩等が挙げられる。
上記ルテニウム化合物としては、ヘキサクロロルテニウム、ペンタクロロニトロシルルテニウム、K4〔Ru(CN)6〕等が挙げられる。
上記鉄化合物としては、ヘキサシアノ鉄(II)酸カリウム、チオシアン酸第一鉄が挙げられる。
Examples of the iridium compound include hexachloroiridium complex salts such as K 2 IrCl 6 and K 3 IrCl 6 , hexabromoiridium complex salts, hexaammineiridium complex salts, and pentachloronitrosyliridium complex salts.
Examples of the ruthenium compound include hexachlororuthenium, pentachloronitrosylruthenium, K 4 [Ru (CN) 6 ] and the like.
Examples of the iron compound include potassium hexacyanoferrate (II) and ferrous thiocyanate.

上記レニウム、ルテニウム、オスミニウムは特開昭63−2042号公報、特開平1−285941号公報、同2−20852号公報、同2−20855号公報等に記載された水溶性錯塩の形で添加され、特に好ましいものとして、以下の式で示される六配位錯体が挙げられる。
〔ML6〕‐n
(ここで、MはRu、Re、またはOsを表し、nは0、1、2、3または4を表す。)
この場合、対イオンは重要性を持たず、例えば、アンモニウム若しくはアルカリ金属イオンが用いられる。また好ましい配位子としてはハロゲン化物配位子、シアン化物配位子、シアン酸化物配位子、ニトロシル配位子、チオニトロシル配位子等が挙げられる。以下に本発明に用いられる具体的錯体の例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
The above rhenium, ruthenium and osmium are added in the form of water-soluble complex salts described in JP-A-63-2042, JP-A-1-2855941, JP-A-2-20852, JP-A-2-20855 and the like. Particularly preferred is a hexacoordination complex represented by the following formula.
[ML 6 ] -n
(Here, M represents Ru, Re, or Os, and n represents 0, 1, 2, 3, or 4.)
In this case, the counter ion is not important, and for example, ammonium or alkali metal ions are used. Preferable ligands include a halide ligand, a cyanide ligand, a cyan oxide ligand, a nitrosyl ligand, a thionitrosyl ligand, and the like. Although the example of the specific complex used for this invention below is shown, this invention is not limited to this.

〔ReCl6-3、〔ReBr6-3、〔ReCl5(NO)〕-2、〔Re(NS)Br5-2、〔Re(NO)(CN)5-2、〔Re(O)2(CN)4-3、〔RuCl6-3、〔RuCl4(H2O)2-1、〔RuCl5(NO)〕-2、〔RuBr5(NS)〕-2、〔R
u(CO)3Cl3-2、〔Ru(CO)Cl5-2、〔Ru(CO)Br5-2、〔OsCl6-3、〔OsCl5(NO)〕-2、〔Os(NO)(CN)5-2、〔Os(NS)B
5-2、〔Os(CN)6-4、〔Os(O)2(CN)5-4
[ReCl 6 ] −3 , [ReBr 6 ] −3 , [ReCl 5 (NO)] −2 , [Re (NS) Br 5 ] −2 , [Re (NO) (CN) 5 ] −2 , [Re (O) 2 (CN) 4 ] −3 , [RuCl 6 ] −3 , [RuCl 4 (H 2 O) 2 ] −1 , [RuCl 5 (NO)] −2 , [RuBr 5 (NS)] − 2 , [R
u (CO) 3 Cl 3 ] −2 , [Ru (CO) Cl 5 ] −2 , [Ru (CO) Br 5 ] −2 , [OsCl 6 ] −3 , [OsCl 5 (NO)] −2 , [Os (NO) (CN) 5 ] -2 , [Os (NS) B
r 5 ] −2 , [Os (CN) 6 ] −4 , [Os (O) 2 (CN) 5 ] −4

これらの化合物の添加量はハロゲン化銀1モル当り10-10〜10-2モル/モルAgで
あることが好ましく、10-9〜10-3モル/モルAgであることがさらに好ましい。
The amount of these compounds added is preferably 10 −10 to 10 −2 mol / mol Ag per mol of silver halide, more preferably 10 −9 to 10 −3 mol / mol Ag.

その他、本発明では、Pd(II)イオンおよび/またはPd金属を含有するハロゲン化銀も好ましく用いることができる。Pdはハロゲン化銀粒子内に均一に分布していてもよいが、ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有させることが好ましい。ここで、Pdが「ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有する」とは、ハロゲン化銀粒子の表面から深さ方向に50nm以内において、他層よりもパラジウムの含有率が高い層を有することを意味する。このようなハロゲン化銀粒子は、ハロゲン化銀粒子を形成する途中でPdを添加することにより作製することができ、銀イオンとハロゲンイオンとをそれぞれ総添加量の50%以上添加した後に、Pdを添加することが好ましい。またPd(II)イオンを後熟時に添加するなどの方法でハロゲン化銀表層に存在させることも好ましい。
このPd含有ハロゲン化銀粒子は、物理現像や無電解メッキの速度を速め、所望の電磁波シールド材の生産効率を上げ、生産コストの低減に寄与する。Pdは、無電解メッキ触媒としてよく知られて用いられているが、本発明では、ハロゲン化銀粒子の表層にPdを偏在させることが可能なため、極めて高価なPdを節約することが可能である。
In addition, in the present invention, silver halide containing Pd (II) ions and / or Pd metal can also be preferably used. Pd may be uniformly distributed in the silver halide grains, but is preferably contained in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains. Here, Pd “contains in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains” means that the Pd content is higher than the other layers within 50 nm in the depth direction from the surface of the silver halide grains. means. Such silver halide grains can be prepared by adding Pd in the course of forming silver halide grains. After adding silver ions and halogen ions to 50% or more of the total addition amount, Pd Is preferably added. It is also preferred that Pd (II) ions be present in the surface layer of the silver halide by a method such as addition at the time of post-ripening.
The Pd-containing silver halide grains increase the speed of physical development and electroless plating, increase the production efficiency of a desired electromagnetic shielding material, and contribute to the reduction of production costs. Pd is well known and used as an electroless plating catalyst. However, in the present invention, Pd can be unevenly distributed on the surface layer of silver halide grains, so that extremely expensive Pd can be saved. is there.

本発明において、ハロゲン化銀に含まれるPdイオンおよび/またはPd金属の含有率は、ハロゲン化銀の、銀のモル数に対して10-4〜0.5モル/モルAgであることが好ましく、0.01〜0.3モル/モルAgであることがさらに好ましい。
使用するPd化合物の例としては、PdCl4や、Na2PdCl4等が挙げられる。
In the present invention, the content of Pd ions and / or Pd metals contained in the silver halide is preferably 10 −4 to 0.5 mol / mol Ag with respect to the number of moles of silver in the silver halide. More preferably, it is 0.01 to 0.3 mol / mol Ag.
Examples of the Pd compound to be used include PdCl 4 and Na 2 PdCl 4 .

本発明では、さらに光センサーとしての感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施すこともできる。化学増感の方法としては、硫黄増感、セレン増感、テルル増感等カルコゲン増感、金増感などの貴金属増感、還元増感等を用いることができる。これらは、単独または組み合わせて用いられる。上記化学増感の方法を組み合わせて使用する場合には、例えば、硫黄増感法と金増感法、硫黄増感法とセレン増感法と金増感法、硫黄増感法とテルル増感法と金増感法などの組み合わせが好ましい。   In the present invention, in order to further improve the sensitivity as an optical sensor, chemical sensitization performed with a photographic emulsion can be performed. As the chemical sensitization method, sulfur sensitization, selenium sensitization, chalcogen sensitization such as tellurium sensitization, noble metal sensitization such as gold sensitization, reduction sensitization and the like can be used. These are used alone or in combination. When the above chemical sensitization methods are used in combination, for example, sulfur sensitization method and gold sensitization method, sulfur sensitization method and selenium sensitization method and gold sensitization method, sulfur sensitization method and tellurium sensitization. A combination of a method and a gold sensitization method is preferable.

上記硫黄増感は、通常、硫黄増感剤を添加して、40℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記硫黄増感剤としては公知の化合物を使用することができ、例えば、ゼラチン中に含まれる硫黄化合物のほか、種々の硫黄化合物、例えば、チオ硫酸塩、チオ尿素類、チアゾール類、ローダニン類等を用いることができる。好ましい硫黄化合物は、チオ硫酸塩、チオ尿素化合物である。硫黄増感剤の添加量は、化学熟成時のpH、温度、ハロゲン化銀粒子の大きさなどの種々の条件の下で変化し、ハロゲン化銀1モル当り10-7〜10-2モルが好ましく、より好ましくは10-5〜10-3モルである。 The sulfur sensitization is usually performed by adding a sulfur sensitizer and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C. or higher for a predetermined time. As the sulfur sensitizer, known compounds can be used. For example, in addition to sulfur compounds contained in gelatin, various sulfur compounds such as thiosulfates, thioureas, thiazoles, rhodanines, etc. Can be used. Preferred sulfur compounds are thiosulfate and thiourea compounds. The amount of sulfur sensitizer added varies under various conditions such as pH during chemical ripening, temperature, and the size of silver halide grains, and is 10 −7 to 10 −2 mol per mol of silver halide. It is preferably 10 −5 to 10 −3 mol.

上記セレン増感に用いられるセレン増感剤としては、公知のセレン化合物を用いることができる。すなわち、上記セレン増感は、通常、不安定型および/または非不安定型セレン化合物を添加して40℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記不安定型セレン化合物としては特公昭44−15748号公報、同43−13489号公報、特開平4−109240号公報、同4−324855号公報等に記載の化合物を用いることができる。特に特開平4−324855号公報中の一般式(VIII)および(IX)で示される化合物を用いることが好ましい。   A known selenium compound can be used as the selenium sensitizer used for the selenium sensitization. That is, the selenium sensitization is usually carried out by adding unstable and / or non-labile selenium compounds and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C. or higher for a predetermined time. As the unstable selenium compound, compounds described in JP-B-44-15748, JP-A-43-13489, JP-A-4-109240, JP-A-4-324855 and the like can be used. In particular, it is preferable to use compounds represented by general formulas (VIII) and (IX) in JP-A-4-324855.

上記テルル増感剤に用いられるテルル増感剤は、ハロゲン化銀粒子表面または内部に、増感核になると推定されるテルル化銀を生成せしめる化合物である。ハロゲン化銀乳剤中のテルル化銀生成速度については特開平5−313284号公報に記載の方法で試験することができる。具体的には、米国特許US第1,623,499号明細書、同第3,320,069号明細書、同第3,772,031号明細書、英国特許第235,211号明細書、同第1,121,496号明細書、同第1,295,462号明細書、同第1,396,696号明細書、カナダ特許第800,958号明細書、特開平4−204640号公報、同4−271341号公報、同4−333043号公報、同5−303157号公報、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・ケミカル・コミュニケーション(J.Chem.Soc.Chem.Commun.)635(1980)、 ibid 1102(1979)、 ibid 645(1979)、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・パーキン・トランザクション(J.Chem.Soc.Perkin.Trans.)1,2191(1980)、S.パタイ(S.Patai)編、ザ・ケミストリー・オブ・オーガニック・セレニウム・アンド・テルリウム・カンパウンズ(The Chemistry of Organic Seleniumand Tellunium Compounds)、Vol 1(
1986)、同 Vol 2(1987)に記載の化合物を用いることができる。特に特開平5−313284号公報中の一般式(II)(III)(IV)で示される化合物が好ましい。
The tellurium sensitizer used for the tellurium sensitizer is a compound that generates silver telluride presumed to be a sensitization nucleus on the surface or inside of a silver halide grain. The silver telluride formation rate in the silver halide emulsion can be tested by the method described in JP-A-5-313284. Specifically, U.S. Pat. Nos. 1,623,499, 3,320,069, 3,772,031, British Patent 235,211, No. 1,121,496, No. 1,295,462, No. 1,396,696, Canadian Patent No. 800,958, JP-A-4-204640 No. 4-271341, No. 4-3333043, No. 5-303157, Journal of Chemical Society, Chemical Communication (J. Chem. Soc. Chem. Commun.) 635 (1980), ibid 1102 (1979), ibid 645 (1979), Journal of Chemical Society Perkin Transaction (J. Chem. Soc. Perkin. Trans.) 1, 2191 (1980), S.C. Edited by S. Patai, The Chemistry of Organic Selenium and Tellunium Compounds, Vol 1 (
1986) and Vol 2 (1987). In particular, compounds represented by general formulas (II), (III) and (IV) in JP-A-5-313284 are preferred.

本発明で用いることのできるセレン増感剤およびテルル増感剤の使用量は、使用するハロゲン化銀粒子、化学熟成条件等によって変わるが、一般にハロゲン化銀1モル当たり10-8〜10-2モル、好ましくは10-7〜10-3モル程度を用いる。本発明における化学増感の条件としては特に制限はないが、pHとしては5〜8、pAgとしては6〜11、好ましくは7〜10であり、温度としては40〜95℃、好ましくは45〜85℃である。 The amount of selenium sensitizer and tellurium sensitizer that can be used in the present invention varies depending on the silver halide grains used, chemical ripening conditions, and the like, but is generally 10 −8 to 10 −2 per mole of silver halide. A mole, preferably about 10 −7 to 10 −3 mole is used. The conditions for chemical sensitization in the present invention are not particularly limited, but the pH is 5 to 8, the pAg is 6 to 11, preferably 7 to 10, and the temperature is 40 to 95 ° C, preferably 45 to 45 ° C. 85 ° C.

また、上記貴金属増感剤としては、金、白金、パラジウム、イリジウム等が挙げられ、特に金増感が好ましい。金増感に用いられる金増感剤としては、具体的には、塩化金酸、カリウムクロロオーレート、カリウムオーリチオシアネート、硫化金、チオグルコース金(I)、チオマンノース金(I)などが挙げられ、ハロゲン化銀1モル当たり10-7〜10-2モル程度を用いることができる。本発明に用いるハロゲン化銀乳剤にはハロゲン化銀粒子の形成または物理熟成の過程においてカドミウム塩、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩などを共存させてもよい。 Examples of the noble metal sensitizer include gold, platinum, palladium, iridium and the like, and gold sensitization is particularly preferable. Specific examples of the gold sensitizer used for gold sensitization include chloroauric acid, potassium chloroaurate, potassium aurithiocyanate, gold sulfide, thioglucose gold (I), and thiomannose gold (I). About 10 −7 to 10 −2 mol per mol of silver halide. In the silver halide emulsion used in the present invention, a cadmium salt, a sulfite salt, a lead salt, a thallium salt or the like may coexist in the process of silver halide grain formation or physical ripening.

また、本発明においては、還元増感を用いることができる。還元増感剤としては第一スズ塩、アミン類、ホルムアミジンスルフィン酸、シラン化合物などを用いることができる。上記ハロゲン化銀乳剤は、欧州公開特許(EP)293917に示される方法により、チオスルホン酸化合物を添加してもよい。本発明に用いられる感光材料の作製に用いられるハロゲン化銀乳剤は、1種だけでもよいし、2種以上(例えば、平均粒子サイズの異なるもの、ハロゲン組成の異なるもの、晶癖の異なるもの、化学増感の条件の異なるもの、感度の異なるもの)の併用であってもよい。中でも高コントラストを得るためには、特開平6−324426号公報に記載されているように、支持体に近いほど高感度な乳剤を塗布することが好ましい。   In the present invention, reduction sensitization can be used. As the reduction sensitizer, stannous salts, amines, formamidinesulfinic acid, silane compounds and the like can be used. A thiosulfonic acid compound may be added to the silver halide emulsion by the method described in European Patent Publication (EP) 293917. The silver halide emulsion used in the preparation of the light-sensitive material used in the present invention may be only one type, or two or more types (for example, those having different average grain sizes, those having different halogen compositions, those having different crystal habits, Combinations of different chemical sensitization conditions and different sensitivities) may be used. In particular, in order to obtain high contrast, as described in JP-A-6-324426, it is preferable to apply an emulsion with higher sensitivity as it is closer to the support.

本発明に用いることのできるヒドラジン誘導体について説明する。本発明においては造核剤としてヒドラジン誘導体を用いることができる。本発明には、特開平7−287335号公報に記載の一般式(I)の化合物が好ましく用いられる。具体的には、同明細書に記載のI−1〜I−53で表される化合物が好ましく用いられる。   The hydrazine derivative that can be used in the present invention will be described. In the present invention, a hydrazine derivative can be used as a nucleating agent. In the present invention, the compound of the general formula (I) described in JP-A-7-287335 is preferably used. Specifically, compounds represented by I-1 to I-53 described in the same specification are preferably used.

また下記のヒドラジン誘導体も好ましく用いられる。特公平6−77138号公報に記載の(化1)で表される化合物で、具体的には同公報3頁、4頁に記載の化合物;特公平6−93082号公報に記載の一般式(I)で表される化合物で、具体的には同公報8頁〜18頁に記載の1〜38の化合物;特開平6−230497号公報に記載の一般式(4)、一般式(5)および一般式(6)で表される化合物で、具体的には同公報25頁、26頁に記載の化合物4−1〜化合物4−10、28頁〜36頁に記載の化合物5−1〜5−42、および39頁、40頁に記載の化合物6−1〜化合物6−7;特開平6−289520号公報に記載の一般式(1)および一般式(2)で表される化合物で、具体的には同公報5頁〜7頁に記載の化合物1−1)〜1−17)および2−1);特開平6−313936号公報に記載の(化2)および(化3)で表される化合物で、具体的には同公報6頁〜19頁に記載の化合物;特開平6−313951号公報に記載の(化1)で表される化合物で、具体的には同公報3頁〜5頁に記載の化合物;特開平7−5610号公報に記載の一般式(I)で表される化合物で、具体的には同公報5頁〜10頁に記載の化合物I−1〜I−38;特開平7−77783号公報に記載の一般式(II)で表される化合物で、具体的には同公報10頁〜27頁に記載の化合物II−1〜II−102;特開平7−104426号公報に記載の一般式(H)および一般式(Ha)で表される化合物で、具体的には同公報8頁〜15頁に記載の化合物H−1〜H−44;特開平9−22082号公報に記載の、ヒドラジン基の近傍にアニオン性基またはヒドラジンの水素原子と分子内水素結合を形成するノニオン性基を有することを特徴とする化合物で、特に一般式(A)、一般式(B)、一般式(C)、一般式(D)、一般式(E)、一般式(F)で表される化合物で、具体的には同公報に記載の化合物N−1〜N−30;特開平9−22082号公報に記載の一般式(1)で表される化合物で、具体的には同公報に記載の化合物D−1〜D−55等である。   The following hydrazine derivatives are also preferably used. A compound represented by (Chemical Formula 1) described in JP-B-6-77138, specifically, a compound described on pages 3 and 4 of the same publication; a general formula described in JP-B-6-93082 ( A compound represented by I), specifically, compounds 1 to 38 described on pages 8 to 18 of the same publication; general formulas (4) and (5) described in JP-A-6-230497; And compounds represented by formula (6), specifically, compound 4-1 to compound 4-10 described on pages 25 and 26 of the same publication, compound 5-1 to pages 28 to 36, and 5-42, and compounds 6-1 to 6-7 described on pages 39 and 40; compounds represented by general formula (1) and general formula (2) described in JP-A-6-289520. Specifically, compounds 1-1) to 1-17) and 2-1) described in pages 5 to 7 of the same publication; Compounds represented by (Chemical Formula 2) and (Chemical Formula 3) described in JP-A-13936, specifically, compounds described on pages 6 to 19 of the same publication; (Chemical formulas described in JP-A-6-313951) 1), specifically the compounds described on pages 3 to 5 of the publication; compounds represented by the general formula (I) described in JP-A-7-5610, specifically Is a compound represented by the general formula (II) described in JP-A-7-77783, specifically, compounds I-1 to I-38 described on pages 5 to 10 of the same publication; specifically, page 10 of the same publication. Compounds II-1 to II-102 described on page 27; compounds represented by general formula (H) and general formula (Ha) described in JP-A-7-104426; Compounds H-1 to H-44 described on pages 15 to 15; hydrides described in JP-A-9-22082 A compound having an anionic group or a nonionic group that forms an intramolecular hydrogen bond with a hydrogen atom of hydrazine in the vicinity of the gin group, particularly the general formula (A), the general formula (B), the general formula ( C), compounds represented by general formula (D), general formula (E), and general formula (F), specifically, compounds N-1 to N-30 described in the same publication; JP-A-9-22082 Compounds represented by the general formula (1) described in the publication, specifically, compounds D-1 to D-55 described in the publication.

本発明に使用しうるヒドラジン誘導体を用いたヒドラジン系造核剤は、適当な水混和性有機溶媒、例えばアルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール、フッ素化アル
コール)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン)、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、メチルセルソルブなどに溶解して用いることができる。また、既によく知られている乳化分散法によって、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、グリセリルトリアセテート或いはジエチルフタレートなどのオイル、酢酸エチルやシクロヘキサノンなどの補助溶媒を用いて溶解し、機械的に乳化分散物を作製して用いることができる。或いは固体分散法として知られている方法によって、ヒドラジン誘導体の粉末を水の中にボールミル、コロイドミル、或いは超音波によって分散し用いることができる。
Hydrazine-based nucleating agents using hydrazine derivatives that can be used in the present invention are suitable water-miscible organic solvents such as alcohols (methanol, ethanol, propanol, fluorinated alcohols), ketones (acetone, methyl ethyl ketone), dimethyl. It can be used by dissolving in formamide, dimethyl sulfoxide, methyl cellosolve and the like. In addition, using a well-known emulsification dispersion method, it is dissolved using an oil such as dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, glyceryl triacetate or diethyl phthalate, or an auxiliary solvent such as ethyl acetate or cyclohexanone, and mechanically emulsified and dispersed. An object can be produced and used. Alternatively, a hydrazine derivative powder can be dispersed in water by a ball mill, a colloid mill, or ultrasonic waves by a method known as a solid dispersion method.

上記ヒドラジン系造核剤は、本発明の感光材料の支持体の乳剤層が設けられている側に設けられた乳剤層を始めとする他の親水性コロイド層のどの層に添加してもよいが、該ハロゲン化銀乳剤層或いはそれに隣接する親水性コロイド層に添加することが好ましい。本発明において、造核剤の添加量はハロゲン化銀1モルに対し1×10-6〜1×10-2モルが好ましく、1×10-5〜5×10-3モルがより好ましく、2×10-5〜5×10-3モルが最も好ましい。 The hydrazine nucleating agent may be added to any of the other hydrophilic colloid layers including the emulsion layer provided on the side of the support of the photosensitive material of the present invention on which the emulsion layer is provided. However, it is preferably added to the silver halide emulsion layer or the hydrophilic colloid layer adjacent thereto. In the present invention, the addition amount of the nucleating agent is preferably 1 × 10 −6 to 1 × 10 −2 mol, more preferably 1 × 10 −5 to 5 × 10 −3 mol, relative to 1 mol of silver halide. × 10 -5 ~5 × 10 -3 mol and most preferred.

また、本発明の製造方法に用いられる感光材料には増核促進剤を用いることができる。該造核促進剤としては、アミン誘導体、オニウム塩、ジスルフィド誘導体またはヒドロキシメチル誘導体などが挙げられる。以下にその例を列挙する。例えば、特開平7−77783号公報48頁2行〜37行に記載の化合物で、具体的には49頁〜58頁に記載の化合物(A−1〜A−73);特開平7−84331号公報に記載の(化21)、(化22)および(化23)で表される化合物で、具体的には同公報6頁〜8頁に記載の化合物;特開平7−104426号公報に記載の一般式〔Na〕および一般式〔Nb〕で表される化合物で、具体的には同公報16頁〜20頁に記載のNa−1〜Na−22の化合物およびNb−1〜Nb−12の化合物;特開平8−272023号公報に記載の一般式(1)、一般式(2)、一般式(3)、一般式(4)、一般式(5)、一般式(6)および一般式(7)で表される化合物で、具体的には同明細書に記載の1−1〜1−19の化合物、2−1〜2−22の化合物、3−1〜3−36の化合物、4−1〜4−5の化合物、5−1〜5−41の化合物、6−1〜6−58の化合物および7−1〜7−38の化合物;特開平9−297377号公報記載の造核促進剤等が挙げられる。   Further, a nucleation accelerator can be used in the photosensitive material used in the production method of the present invention. Examples of the nucleation accelerator include amine derivatives, onium salts, disulfide derivatives, and hydroxymethyl derivatives. Examples are listed below. For example, compounds described in JP-A-7-77783, page 48, lines 2 to 37, specifically, compounds (A-1 to A-73) described in pages 49 to 58; JP-A-7-84331 Compounds represented by (Chemical Formula 21), (Chemical Formula 22), and (Chemical Formula 23) described in Japanese Patent Publication No. JP-A-7-104426; specifically, compounds described on pages 6 to 8 of the publication; Compounds represented by the general formula [Na] and general formula [Nb] described in the above, specifically, the compounds of Na-1 to Na-22 and Nb-1 to Nb- 12 compounds: general formula (1), general formula (2), general formula (3), general formula (4), general formula (5), general formula (6) described in JP-A-8-272023 and A compound represented by the general formula (7), specifically, compounds 1-1 to 1-19 described in the same specification, 2 1-22-2, 3-1 to 3-36, 4-1 to 4-5, 5-1 to 5-41, 6-1 to 6-58, and 7- Compounds of 1 to 7-38; nucleation accelerators described in JP-A-9-297377, and the like.

上記造核促進剤は、適当な水混和性有機溶媒、例えばアルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール、フッ素化アルコール)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン)、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、メチルセルソルブなどに溶解して用いることができる。また、既によく知られている乳化分散法によって、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、グリセリルトリアセテート或いはジエチルフタレートなどのオイル、酢酸エチルやシクロヘキサノンなどの補助溶媒を用いて溶解し、機械的に乳化分散物を作製して用いることができる。或いは固体分散法として知られている方法によって、造核促進剤の粉末を水の中にボールミル、コロイドミル、或いは超音波によって分散し用いることができる。   The nucleation accelerator is soluble in an appropriate water-miscible organic solvent such as alcohols (methanol, ethanol, propanol, fluorinated alcohol), ketones (acetone, methyl ethyl ketone), dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, methyl cellosolve, etc. Can be used. In addition, using a well-known emulsification dispersion method, it is dissolved using an oil such as dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, glyceryl triacetate or diethyl phthalate, or an auxiliary solvent such as ethyl acetate or cyclohexanone, and mechanically emulsified and dispersed. An object can be made and used. Alternatively, the nucleation accelerator powder can be dispersed in water by a ball mill, a colloid mill, or ultrasonic waves by a method known as a solid dispersion method.

上記造核促進剤は、本発明の感光材料の支持体の乳剤層が設けられている側に設けられた乳剤層を始めとする他の親水性コロイド層のどの層に添加してもよいが、該ハロゲン化銀乳剤層或いはそれに隣接する親水性コロイド層に添加することが好ましい。上記造核促進剤の添加量はハロゲン化銀1モルに対し1×10-6〜2×10-2モルが好ましく、1×10-5〜2×10-2モルがより好ましく、2×10-5〜1×10-2モルが最も好ましい。 The above nucleation accelerator may be added to any of the other hydrophilic colloid layers including the emulsion layer provided on the side of the support of the photosensitive material of the present invention on which the emulsion layer is provided. It is preferable to add to the silver halide emulsion layer or the hydrophilic colloid layer adjacent thereto. The amount of the nucleation accelerator added is preferably 1 × 10 −6 to 2 × 10 −2 mol, more preferably 1 × 10 −5 to 2 × 10 −2 mol, relative to 1 mol of silver halide. -5 to 1 × 10 -2 mol is most preferred.

本発明における乳剤層は、増感色素によって比較的長波長の青色光、緑色光、赤色光または赤外光に分光増感されてもよい。増感色素としては、シアニン色素、メロシアニン色素、コンプレックスシアニン色素、コンプレックスメロシアニン色素、ホロホーラーシアニン色素、スチリル色素、ヘミシアニン色素、オキソノール色素、ヘミオキソノール色素
等を用いることができる。上記増感色素としては、例えば、RESEARCH DISCLOSURE Item 17643IV−A項(1978年12月p.23)、同Item1831X項(1979年8月p.437)に記載若しくは引用された文献に記載されている。
上記増感色素としては、特に露光の際の光源の分光特性に適した分光感度を有する増感色素を有利に選択することができる。例えば、A)アルゴンレーザー光源に対しては、特開昭60−162247号公報に記載の(I)−1から(I)−8の化合物、特開平2−48653号公報に記載のI−1からI−28の化合物、特開平4−330434号公報に記載のI−1からI−13の化合物、米国特許2,161,331号明細書に記載のExample 1からExample 14の化合物、西独特許936,071号明細書記載の1から7の化
合物などが有利に選択される。
B)ヘリウム−ネオンレーザー光源に対しては、特開昭54−18726号公報に記載のI−1からI−38の化合物、特開平6−75322号公報に記載のI−1からI−35の化合物および特開平7−287338号公報に記載のI−1からI−34の化合物などが有利に選択される。
C)LED光源に対しては特公昭55−39818号公報に記載の色素1から20、特開昭62−284343号公報に記載のI−1からI−37の化合物および特開平7−287338号公報に記載のI−1からI−34の化合物などが有利に選択される。
D)半導体レーザー光源に対しては特開昭59−191032号公報に記載のI−1からI−12の化合物、特開昭60−80841号公報に記載のI−1からI−22の化合物、特開平4−335342号公報に記載のI−1からI−29の化合物および特開昭59−192242号公報に記載のI−1からI−18の化合物などが有利に選択される。
E)製版カメラ等に使用されるタングステンおよびキセノン光源を利用する場合においては特開昭55−45015号公報に記載の一般式〔I〕で表される(1)から(19)の化合物、特開平9−160185号公報に記載のI−1からI−97の化合物および特開平6−242547号公報に記載の4−Aから4−Sの化合物、5−Aから5−Qの化合物、6−Aから6−Tの化合物などが有利に選択される。
The emulsion layer in the present invention may be spectrally sensitized to a relatively long wavelength blue light, green light, red light or infrared light by a sensitizing dye. As the sensitizing dye, a cyanine dye, a merocyanine dye, a complex cyanine dye, a complex merocyanine dye, a hoholor cyanine dye, a styryl dye, a hemicyanine dye, an oxonol dye, a hemioxonol dye, or the like can be used. Examples of the sensitizing dye are described in the literature described or cited in RESEARCH DISCLOSURE Item 17643IV-A (December 1978 p.23) and Item1831X (August 1979 p.437). .
As the sensitizing dye, a sensitizing dye having a spectral sensitivity suitable for the spectral characteristics of the light source at the time of exposure can be advantageously selected. For example, for A) an argon laser light source, compounds (I) -1 to (I) -8 described in JP-A-60-162247, I-1 described in JP-A-2-48653 To I-28 compounds, compounds of I-1 to I-13 described in JP-A-4-330434, compounds of Examples 1 to 14 described in US Pat. No. 2,161,331, West German patent The compounds 1 to 7 described in 936,071, etc. are advantageously selected.
B) For helium-neon laser light source, compounds I-1 to I-38 described in JP-A No. 54-18726 and I-1 to I-35 described in JP-A-6-75322 And the compounds of I-1 to I-34 described in JP-A-7-287338 are advantageously selected.
C) For LED light sources, dyes 1 to 20 described in JP-B-55-39818, compounds of I-1 to I-37 described in JP-A-62-284343 and JP-A-7-287338 The compounds I-1 to I-34 described in the publication are advantageously selected.
D) For semiconductor laser light sources, compounds I-1 to I-12 described in JP-A-59-191032 and compounds I-1 to I-22 described in JP-A-60-80841 The compounds I-1 to I-29 described in JP-A-4-335342 and the compounds I-1 to I-18 described in JP-A-59-192242 are advantageously selected.
E) When using tungsten and xenon light sources used in plate-making cameras, etc., compounds (1) to (19) represented by the general formula [I] described in JP-A-55-45015, Compounds of I-1 to I-97 described in Kaihei 9-160185 and compounds of 4-A to 4-S, compounds of 5-A to 5-Q described in JP-A-6-242547, 6 Compounds from -A to 6-T are advantageously selected.

これらの増感色素は単独で用いてもよいが、これらを組合せて用いてもよい。増感色素の組合せは特に、強色増感の目的でしばしば用いられる。また、増感色素とともに、それ自身分光増感作用を持たない色素或いは可視光を実質的に吸収しない物質であって、強色増感を示す物質を乳剤層中に含んでもよい。有用な増感色素、並びに、強色増感を示す色素の組合せおよび強色増感を示す物質は、リサーチ・ディスクロージャー(Research Disclosure)176巻17643(1978年12月発行)第23頁IVのJ項、或いは特
公昭49−25500、同43−4933号、特開昭59−19032号、同59−192242号等各公報に記載されている。
These sensitizing dyes may be used alone or in combination. A combination of sensitizing dyes is often used for the purpose of supersensitization. In addition to the sensitizing dye, the emulsion layer may contain a dye that itself does not have spectral sensitizing action or a substance that does not substantially absorb visible light and exhibits supersensitization. Useful sensitizing dyes, as well as combinations of dyes that exhibit supersensitization and substances that exhibit supersensitization, are described in Research Disclosure 176, 17643 (issued December 1978), page 23, IV, J. Or JP-B-49-25500, JP-A-43-4933, JP-A-59-19032 and JP-A-59-192242.

上述の通り、上記増感色素は2種以上を併用してもよい。増感色素を乳剤層中に添加せしめるには、それらを直接ハロゲン化銀乳剤中に分散してもよいし、或いは水、メタノール、エタノール、プロパノール、アセトン、メチルセルソルブ、2,2,3,3−テトラフルオロプロパノール、2,2,2−トリフルオロエタノール、3−メトキシ−1−プロパノール、3−メトキシ−1−ブタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、N,N−ジメチルホルムアミド等の溶媒の単独若しくは混合溶媒に溶解して乳剤に添加してもよい。また、米国特許US第3,469,987号明細書等に開示されているように、色素を揮発性の有機溶剤に溶解し、該溶液を水または親水性コロイド中に分散し、この分散物を乳剤中へ添加する方法;特公昭44−23389号、同44−27555号、同57−22091号等の各公報に開示されているように、色素を酸に溶解し、該溶液を乳剤中に添加したり、酸または塩基を共存させて水溶液として乳剤中へ添加する方法;米国特許US第3,822,135号、同第4,006,025号各明細書等に開示されているように界面活性剤を共存させて水溶液或いはコロイド分散物としたものを乳剤中に添加する方法;特開昭53−102733号、同58−105141号各公報に開示されているように
親水性コロイド中に色素を直接分散させ、その分散物を乳剤中に添加する方法;特開昭51−74624号公報に開示されているように、レッドシフトさせる化合物を用いて色素を溶解し、該溶液を乳剤中へ添加する方法を用いることもできる。また、溶液に超音波を用いることもできる。
As described above, two or more sensitizing dyes may be used in combination. To add sensitizing dyes to the emulsion layer, they may be dispersed directly in the silver halide emulsion, or water, methanol, ethanol, propanol, acetone, methyl cellosolve, 2, 2, 3, Of solvents such as 3-tetrafluoropropanol, 2,2,2-trifluoroethanol, 3-methoxy-1-propanol, 3-methoxy-1-butanol, 1-methoxy-2-propanol, N, N-dimethylformamide It may be added to the emulsion alone or dissolved in a mixed solvent. Further, as disclosed in US Pat. No. 3,469,987, etc., a pigment is dissolved in a volatile organic solvent, and the solution is dispersed in water or a hydrophilic colloid. A dye is dissolved in an acid as disclosed in JP-B Nos. 44-23389, 44-27555, and 57-22091, and the solution is added to the emulsion. Or in the presence of an acid or base in the presence of an aqueous solution as an aqueous solution; as disclosed in US Pat. Nos. 3,822,135 and 4,006,025, etc. A method of adding an aqueous solution or a colloidal dispersion in the presence of a surfactant to the emulsion; in a hydrophilic colloid as disclosed in JP-A-53-102733 and JP-A-58-105141 Directly to the dye A method of dispersing the dispersion and adding the dispersion to the emulsion; as disclosed in JP-A-51-74624, the dye is dissolved using a compound that shifts red, and the solution is added to the emulsion. A method can also be used. In addition, ultrasonic waves can be used for the solution.

上記増感色素をハロゲン化銀乳剤中に添加する時期は、乳剤調製のいかなる工程中であってもよい。例えば、米国特許US第2,735、766号、同第3,628,960号、同第4,183,756号、同第4,225,666号等の各明細書、特開昭58−184142号、同60−196749号等の各公報に開示されているように、ハロゲン化銀の粒子形成工程または/および脱塩前の時期、脱銀工程中および/または脱塩後から化学熟成の開始前までの時期、特開昭58−113920号等の明細書に開示されているように、化学熟成の直前または工程中の時期、化学熟成後、塗布までの時期の乳剤が塗布される前ならばいかなる時期、工程において添加されてもよい。また、米国特許US第4,225,666号明細書、特開昭58−7629号公報に開示されているように、同一化合物を単独で、または異種構造の化合物と組み合わせて、例えば粒子形成工程中と化学熟成工程中または化学熟成完了後とに分けたり、化学熟成の前または工程中と完了後とに分けるなどして分割して添加してもよく、分割して添加する化合物および化合物の組み合わせの種類を変えて添加してもよい。   The sensitizing dye may be added to the silver halide emulsion during any step of emulsion preparation. For example, U.S. Pat. Nos. 2,735,766, 3,628,960, 4,183,756, 4,225,666, etc. As disclosed in the publications such as No. 184142, No. 60-19649, etc., chemical ripening is performed during the silver halide grain formation step or / and before the desalting step, during and / or after the desalting step. Before the start, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-11939, etc., immediately before or during chemical ripening, after chemical ripening and before coating, before the emulsion is coated Any time may be added in the process. Further, as disclosed in US Pat. No. 4,225,666 and JP-A-58-7629, the same compound can be used alone or in combination with a compound having a different structure, for example, a particle forming step. It may be added separately during the chemical ripening process or after completion of chemical ripening, or may be added separately before or during chemical ripening or after completion of chemical ripening. You may change and add the kind of combination.

上記増感色素の添加量は、ハロゲン化銀粒子の形状、サイズ、ハロゲン組成、化学増感の方法と程度、カブリ防止剤の種類等により異なるが、ハロゲン化銀1モルあたり、4×10-6〜8×10-3モルで好ましく用いることができる。例えばハロゲン化銀粒子サイズが0.2〜1.3μmの場合には、ハロゲン化銀粒子の表面積1m2あたり、2×10-7
〜3.5×10-6モルの添加量が好ましく、6.5×10-7〜2.0×10-6モルの添加量がより好ましい。
The amount of the sensitizing dye added varies depending on the shape, size, halogen composition, method and degree of chemical sensitization of silver halide grains, the type of antifoggant, etc., but is 4 × 10 per mol of silver halide. It can be preferably used at 6 to 8 × 10 −3 mol. For example, when the silver halide grain size is 0.2 to 1.3 μm, 2 × 10 −7 per 1 m 2 of the surface area of the silver halide grain.
An addition amount of ˜3.5 × 10 −6 mol is preferable, and an addition amount of 6.5 × 10 −7 to 2.0 × 10 −6 mol is more preferable.

本発明の製造方法に用いられる感光材料の乳剤層または保護層には塗布助剤、帯電防止剤、スベリ性改良、乳化分散、接着防止および写真特性改良(例えば、現像促進、硬調化、増感)等種々の目的で、種々の界面活性剤を含んでもよい。該界面活性剤としては、例えばサポニン(ステロイド系)、アルキレンオキサイド誘導体(例えばポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール/ポリプロピレングリコール縮合物、ポリエチレングリコールアルキルアリールエーテル類、ポリエチレングリコールエステル類、ポリエチレングリコールソルビタンエステル類、ポリアルキレングリコールアルキルアミンまたはアミド類、シリコーンのポリエチレンオキサイド付加物類)、グリシドール誘導体(例えばアルケニルコハク酸ポリグリセリド、アルキルフェノールポリグリセリド)、多価アルコールの脂肪酸エステル類、糖のアルキルエステル類などの非イオン性界面活性剤;アルキルカルボン酸塩、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、アルキル硫酸エステル類、アルキルリン酸エステル類、N−アシル−N−アルキルタウリン類、スルホコハク酸エステル類、スルホアルキルポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル類などのような、カルボキシ基、スルホ基、ホスホ基、硫酸エステル基、リン酸エステル基等の酸性基を含むアニオン性界面活性剤;アミノ酸類、アミノアルキルスルホン酸類、アミノアルキル硫酸またはリン酸エステル類、アルキルベタイン類、アミンオキシド類などの両性界面活性剤;アルキルアミン塩類、脂肪族或いは芳香族第4級アンモニウム塩類、ピリジニウム、イミダゾリウムなどの複素環第4級アンモニウム塩類、および脂肪族または複素環を含むホスホニウムまたはスルホニウム塩類などのカチオン界面活性剤を用いることができる。   In the emulsion layer or protective layer of the light-sensitive material used in the production method of the present invention, coating aids, antistatic agents, slipperiness improvement, emulsification dispersion, adhesion prevention and photographic property improvement (for example, development acceleration, high contrast, sensitization) A variety of surfactants may be included for various purposes. Examples of the surfactant include saponins (steroids), alkylene oxide derivatives (eg, polyethylene glycol, polyethylene glycol / polypropylene glycol condensates, polyethylene glycol alkyl aryl ethers, polyethylene glycol esters, polyethylene glycol sorbitan esters, polyalkylenes). Nonionic interfaces such as glycol alkylamines or amides, silicone polyethylene oxide adducts), glycidol derivatives (eg alkenyl succinic polyglycerides, alkylphenol polyglycerides), fatty acid esters of polyhydric alcohols, alkyl esters of sugars, etc. Activators: alkyl carboxylates, alkyl sulfonates, alkyl benzene sulfonates, alkyl naphthalates Sulfonates, alkyl sulfates, alkyl phosphates, N-acyl-N-alkyl taurines, sulfosuccinates, sulfoalkyl polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyoxyethylene alkyl phosphates, etc. Anionic surfactants containing acidic groups such as carboxy group, sulfo group, phospho group, sulfate group, phosphate group; amino acids, aminoalkyl sulfonic acids, aminoalkyl sulfate or phosphate esters, alkyl Amphoteric surfactants such as betaines and amine oxides; including alkylamine salts, aliphatic or aromatic quaternary ammonium salts, heterocyclic quaternary ammonium salts such as pyridinium, imidazolium, and aliphatic or heterocyclic rings Phosphonium or sulfur It can be used cationic surfactants such as benzalkonium salts.

本発明の製造方法に用いられる感光材料に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限はなく、例えば下記の公報等に記載されたものを好ましく用いることができる。   There are no particular restrictions on the various additives used in the photosensitive material used in the production method of the present invention, and for example, those described in the following publications can be preferably used.

特開平3−39948号公報第10頁右下11行目から同公報第12頁左下5行目に記載のポリヒドロキシベンゼン化合物で、具体的には、同公報に記載の化合物(III)−1〜25の化合物;
特開平1−118832号公報に記載の一般式(I)で表される実質的には可視域に吸収極大を持たない化合物で、具体的には、同公報に記載の化合物I−1〜I−26の化合物;
The polyhydroxybenzene compound described in JP-A-3-39948, page 10, lower right line 11 to page 12, lower left line 5, specifically, compound (III) -1 described in the same publication ~ 25 compounds;
A compound which has substantially no absorption maximum in the visible range and is represented by the general formula (I) described in JP-A-1-118832, specifically, compounds I-1 to I described in the publication -26 compounds;

特開平2−103536号公報第17頁右下19行目から同公報18頁右上4行目に記載のかぶり防止剤;   An antifoggant described in JP-A-2-103536, page 17, lower right, line 19 to page 18, upper right, line 4;

特開平2−103536号公報第18頁左下12行目から同頁左下20行目に記載のポリマーラテックス;
特開平9−179228号に記載の一般式(I)で表される活性メチレン基を有するポリマーラテックスで、具体的には同明細書に記載の化合物I−1〜I−16;
特開平9−179228号に記載のコア/シェル構造を有するポリマーラテックスで、具体的には同明細書に記載の化合物P−1〜P−55;
特開平7−104413号公報第14頁左1行目から同頁右30行目に記載の酸性ポリマーラテックスで、具体的には同公報15頁に記載の化合物II−1)〜II−9);
Polymer latex described in JP-A-2-103536, page 18, lower left line 12 to lower left line 20;
A polymer latex having an active methylene group represented by the general formula (I) described in JP-A-9-179228, specifically, compounds I-1 to I-16 described in the specification;
A polymer latex having a core / shell structure described in JP-A-9-179228, specifically, compounds P-1 to P-55 described in the specification;
An acidic polymer latex described in JP-A-7-104413, page 14, left line 1 to page 30, right line, specifically, compounds II-1) to II-9) described on page 15 of the same publication ;

特開平2−103536号公報第19頁左上15行目から同公報19頁右上15行目に記載のマット剤、滑り剤、可塑剤;   Matting agents, slipping agents, and plasticizers described in JP-A-2-103536, page 19, upper left line 15 to page 19, upper right line 15;

特開平2−103536号公報第18頁右上5行目から同頁右上17行目に記載の硬膜剤;   A hardening agent described in JP-A-2-103536, page 18, upper right line 5 to upper right line 17;

特開平2−103536号公報第18頁右下6行目から同公報19頁左上1行目に記載の酸基を有する化合物;   Compounds having an acid group described in JP-A-2-103536, page 18, lower right line, line 6 to page 19, upper left line;

特開平2−18542号公報第2頁左下13行目から同公報第3頁右上7行目に記載の導電性物質で、具体的には、同公報第2頁右下2行目から同頁右下10行目に記載の金属酸化物、および同公報に記載の化合物P−1〜P−7の導電性高分子化合物;   The conductive material described in JP-A-2-18542, page 2, lower left line 13 to page 3, upper right line 7, specifically, from the second page, lower right line, page 2, to the same page. Metal oxides described in the lower right 10th line, and conductive polymer compounds of compounds P-1 to P-7 described in the publication;

特開平5−274816号公報に記載の酸化されることにより現像抑制剤を放出しうるレドックス化合物で、好ましくは同公報に記載の一般式(R−1)、一般式(R−2)、一般式(R−3)で表されるレドックス化合物で、具体的には、同公報に記載の化合物R−1〜R−68の化合物;   A redox compound capable of releasing a development inhibitor by being oxidized as described in JP-A-5-274816, preferably the general formula (R-1), general formula (R-2), general A redox compound represented by the formula (R-3), specifically, compounds R-1 to R-68 described in the publication;

特開平2−18542号公報第3頁右下1行目から20行目に記載のバインダー;   A binder described in JP-A-2-18542, page 3, lower right, lines 1 to 20;

本発明の製造方法で用いられる感光材料の乳剤層形成に使用できる乳剤としては、例えば、特開平11−305396号公報、特開2000−321698号公報、特開平13−281815号公報、特開2002−72429号公報の実施例に記載されたカラーネガフィルム用乳剤;特開2002−214731号公報に記載されたカラーリバーサルフィルム用乳剤;特開2002−107865号公報に記載されたカラー印画紙用乳剤;特開2002−72421号公報、特開2000−105441号公報の実施例に記載されたフォトマスク用感光材料用乳剤;特開2001−209151号公報の実施例に記載されたグラフィックアーツ用感光材料用乳剤などを好適に用いることができる。   Examples of the emulsion that can be used for forming the emulsion layer of the light-sensitive material used in the production method of the present invention include JP-A-11-305396, JP-A-2000-321698, JP-A-13-281815, and JP-A-2002. -Emulsions for color negative films described in Examples of JP-A-72429; emulsions for color reversal films described in JP-A No. 2002-214731; emulsions for color photographic paper described in JP-A No. 2002-107865; Emulsions for photosensitive materials for photomasks described in Examples of JP-A Nos. 2002-72421 and 2000-105441; Emulsions for photosensitive materials for graphic arts described in Examples of JP-A-2001-209151 Etc. can be used suitably.

<バインダー>
本発明の製造方法に用いられる感光材料の乳剤層は、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダーを用いることができる。本発明において上記バインダーとしては、非水溶性ポリマーおよび水溶性ポリマーのいずれもバインダーとして用いることができるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
上記バインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロースおよびその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
<Binder>
In the emulsion layer of the light-sensitive material used in the production method of the present invention, a binder can be used for the purpose of uniformly dispersing silver salt particles and assisting the adhesion between the emulsion layer and the support. In the present invention, as the binder, both water-insoluble polymers and water-soluble polymers can be used as binders, but it is preferable to use water-soluble polymers.
Examples of the binder include polysaccharides such as gelatin, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, polyacrylic acid, polyacrylic acid, and the like. Examples include alginic acid, polyhyaluronic acid, and carboxycellulose. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group.

本発明の乳剤層中に含有されるバインダーの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。乳剤層中のバインダーの含有量は、Ag/バインダー体積比で1/4〜100であることが好ましく、1/3〜10であることがより好ましく、1/2〜2であることがさらに好ましい。1/1〜2であることが最も好ましい。乳剤層中にバインダーをAg/バインダー体積比で1/4以上含有すれば、物理現像および/またはメッキ処理工程において金属粒子同士が互いに接触しやすく、高い導電性を得ることが可能であるため好ましい。   The content of the binder contained in the emulsion layer of the present invention is not particularly limited, and can be appropriately determined as long as dispersibility and adhesion can be exhibited. The binder content in the emulsion layer is preferably 1/4 to 100 in terms of Ag / binder volume ratio, more preferably 1/3 to 10, and even more preferably 1/2 to 2. . Most preferably, it is 1 / 1-2. If the emulsion layer contains a binder in an Ag / binder volume ratio of 1/4 or more, it is preferable because the metal particles can easily come into contact with each other in the physical development and / or plating process, and high conductivity can be obtained. .

<溶媒>
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等アルコール類、アセトンなどケトン類、ホルムアミドなどのアミド類、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類、酢酸エチルなどのエステル類、エーテル類等)、イオン性液体、およびこれらの混合溶媒を挙げることができる。
本発明の乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、前記乳剤層に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して30〜90質量%の範囲であり、50〜80質量%の範囲であることが好ましい。
<Solvent>
The solvent used for forming the emulsion layer is not particularly limited. For example, water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide, etc. , Esters such as ethyl acetate, ethers, etc.), ionic liquids, and mixed solvents thereof.
The content of the solvent used in the emulsion layer of the present invention is in the range of 30 to 90% by mass and in the range of 50 to 80% by mass with respect to the total mass of silver salt, binder and the like contained in the emulsion layer. Preferably there is.

<硬膜>
本発明の感光材料の乳剤層およびその他の親水性コロイド層は、硬膜剤によって硬膜されることが好ましい。以下に本発明に好ましく使用し得る硬膜剤を示す。
例えば活性ビニル化合物(1,3,5−トリアクリロイル−ヘキサヒドロ−s−トリアジン、ビス(ビニルスルホニル)メチルエーテル、N,N′−メチレンビス−〔β−(ビニルスルホニル)プロピオンアミド〕など)活性ハロゲン化合物(2,4−ジクロル−6−ヒドロキシ−s−トリアジンなど)、ムコハロゲン酸類(ムコクロル酸など)、N−カルバモイルピリジニウム塩類((1−モルホリ、カルボニル−3−ピリジニオ)メタンスルホナートなど)ハロアミジニウム塩類(1−(1−クロロ−1−ピリジノメチレン)ピロリジニウム、2−ナフタレンスルホナートなど)を単独または組合せて用いることができる。なかでも、特開昭53−41220、同53−57257、同59−162546、同60−80846に記載の活性ビニル化合物および米国特許3,325,287号に記載の活性ハロゲン化合物が好ましい。以下にゼラチン硬化剤の代表的な化合物例を示す。
<Dura mater>
The emulsion layer and other hydrophilic colloid layers of the light-sensitive material of the present invention are preferably hardened with a hardener. The hardeners that can be preferably used in the present invention are shown below.
For example, active vinyl compounds (1,3,5-triacryloyl-hexahydro-s-triazine, bis (vinylsulfonyl) methyl ether, N, N′-methylenebis- [β- (vinylsulfonyl) propionamide], etc.) active halogen compounds (Such as 2,4-dichloro-6-hydroxy-s-triazine), mucohalogen acids (such as mucochloric acid), N-carbamoylpyridinium salts (such as (1-morpholinyl, carbonyl-3-pyridinio) methanesulfonate) haloamidinium salts (1- (1-chloro-1-pyridinomethylene) pyrrolidinium, 2-naphthalenesulfonate, etc.) can be used alone or in combination. Of these, active vinyl compounds described in JP-A-53-41220, 53-57257, 59-162546, and 60-80846 and active halogen compounds described in US Pat. No. 3,325,287 are preferred. The following are examples of typical compounds of gelatin hardeners.

Figure 2006352073
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<膨潤率>
本発明の感光材料は、好ましくは乳剤層の膨潤率が150%である。本発明において、膨潤率は以下のように定義する。すなわち、乾燥時の乳剤層膜厚(a)および、25℃の蒸留水に1分間浸漬した後の乳剤層膜厚(b)を測定し、膨潤率(%)=100×((b)-(a))/(a)とする。ここで乳剤層膜厚の測定は、例えば試料の断面を走査型電子顕
微鏡で観察することによって測定できる。膨潤後の膜厚は、膨潤した試料を液体窒素により凍結乾燥した後の試料断面を走査型電子顕微鏡で観察することにより測定可能である。本発明において、感光材料の乳剤層の膨潤率は150%以上を必要とするが、好ましい範囲の膨潤率は乳剤層のAg/バインダー比に依存する。すなわち膜中のバインダー部は膨潤可能であるがハロゲン化銀粒子は膨潤しないため、バインダー部の膨潤率が同じであってもAg/バインダー比率が高いほど乳剤層全体の膨潤率は低下するからである。本発明において、好ましい乳剤層の膨潤率は、乳剤層のAg/バインダー比が4.5以下の場合は250%以上であり、乳剤層のAg/バインダー比が4.5以上6未満の場合は200%以上であり、乳剤層のAg/バインダー比が6以上の場合は150%以上である。本発明の最も好ましいAg/バインダー比の範囲である6以上10以下のAg/バインダー比の場合、乳剤層の膨潤率は150%以上が好ましく、180%以上がより好ましい。本発明において膨潤率に上限は無いが、膨潤率が高すぎると処理中の膜強度が低下し、膜が傷つきやすくなる等の問題を生じる為、膨潤率は350%以下であることが好ましい。本発明において、膨潤率の制御は上述の硬膜剤の添加量、塗布後の乳剤層のpHや含水率によって制御可能である。
<Swelling rate>
In the light-sensitive material of the present invention, the swelling ratio of the emulsion layer is preferably 150%. In the present invention, the swelling rate is defined as follows. That is, the emulsion layer thickness (a) at the time of drying and the emulsion layer thickness (b) after being immersed in distilled water at 25 ° C. for 1 minute were measured, and the swelling ratio (%) = 100 × ((b) − (A)) / (a). Here, the emulsion layer thickness can be measured, for example, by observing the cross section of the sample with a scanning electron microscope. The film thickness after swelling can be measured by observing the cross section of the sample after freeze-drying the swollen sample with liquid nitrogen using a scanning electron microscope. In the present invention, the swelling ratio of the emulsion layer of the light-sensitive material needs to be 150% or more, but the swelling ratio in a preferred range depends on the Ag / binder ratio of the emulsion layer. That is, since the binder part in the film can swell but the silver halide grains do not swell, even if the swelling ratio of the binder part is the same, the higher the Ag / binder ratio, the lower the swelling ratio of the whole emulsion layer. is there. In the present invention, the preferred swelling ratio of the emulsion layer is 250% or more when the Ag / binder ratio of the emulsion layer is 4.5 or less, and when the Ag / binder ratio of the emulsion layer is 4.5 or more and less than 6. When the Ag / binder ratio of the emulsion layer is 6 or more, it is 150% or more. In the case of an Ag / binder ratio of 6 to 10 which is the most preferable range of Ag / binder ratio of the present invention, the swelling ratio of the emulsion layer is preferably 150% or more, and more preferably 180% or more. In the present invention, there is no upper limit on the swelling rate, but if the swelling rate is too high, the film strength during processing decreases and the membrane is liable to be damaged. Therefore, the swelling rate is preferably 350% or less. In the present invention, the swelling ratio can be controlled by the addition amount of the above hardener, the pH of the emulsion layer after coating, and the water content.

<酸化防止剤>
本発明に係る乳剤層には、酸化防止剤を含有することが好ましい。乳剤層に酸化防止剤を添加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。
本発明に用いられる酸化防止剤は、分子量330以下のものが好ましい。下限は特に限定的でないが、分子量40以上が好ましい。特に好ましくは分子量200〜330のもの
である。
<Antioxidant>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains an antioxidant. By adding an antioxidant to the emulsion layer, fogging is less likely to occur and pressure characteristics can be improved.
The antioxidant used in the present invention preferably has a molecular weight of 330 or less. The lower limit is not particularly limited, but a molecular weight of 40 or more is preferable. Particularly preferred are those having a molecular weight of 200-330.

更に本発明に用いられる酸化防止剤は、好ましくは酸化電位EoxがEox≦1.5(V)である化合物である。より好ましくはEox≦1.2(V)である。更に好ましくは0.3≦Eox≦0.8(V)である。酸化防止剤の酸化電位Eoxは当業者が容易に測定することができる。その方法は、例えば、エイ・スタニエンダ(A.Stanienda)著論文“ナトウールヴィッセンシャフテン”(Naturwissenschaften)47巻、353頁と、512頁(1960年)、ピー・デラヘイ(P.Delahay)著“ニュー・インストルメンタル・メソッズ・イン・エレクトロケミストリー”(New Instrumental Methods in Electrochemistry)(1954年)、インターサイエンス・パブリッシャーズ(Interscience Publishers)社発刊やエル・マイテス(L.Mites)著“ポーラロ
グラフィック・テクニークス”(Polarographic Techniques)
第2版(1965年)、インターサイエンス・パブリッシャーズ(Interscience Publishers)社発刊などに記載されている。上記Eoxの値は、その化
合物がポルトアンメトリーにおいて陽極でその電子を引き抜かれる電位を意味し、そして、それは化合物の基底状態における最高被占電子エネルギーレベルと一次的に関連する。
Furthermore, the antioxidant used in the present invention is preferably a compound having an oxidation potential Eox of Eox ≦ 1.5 (V). More preferably, Eox ≦ 1.2 (V). More preferably, 0.3 ≦ Eox ≦ 0.8 (V). The oxidation potential Eox of the antioxidant can be easily measured by those skilled in the art. The method is described, for example, in a paper by A. Stanienda “Naturwissenschafften”, Volumes 47, 353 and 512 (1960), “P. Delahay” “New Instrumental Methods in Electrochemistry” (1954), published by Interscience Publishers, Inc. and L. Mites Graphic "Techniques" (Polarographic Technologies)
2nd edition (1965), published by Interscience Publishers, Inc. The value of Eox means the potential at which the compound is extracted at the anode in portammetry, and it is primarily related to the highest occupied electron energy level in the ground state of the compound.

本発明におけるEoxは、以下に記す条件におけるポーラログラフの半波電位より求めた値である。即ち、酸化防止剤の溶媒としてはアセトニトリル、支持電解液として0.1N過塩素酸ナトリウムを用い、酸化防止剤の濃度10-3〜10-4モル/リットル、参照電極にはAg/AgCl電極を用い、Eoxの測定には回転白金板電極を用いて、25℃において測定した。 Eox in the present invention is a value obtained from a polarographic half-wave potential under the following conditions. That is, acetonitrile was used as the solvent for the antioxidant, 0.1N sodium perchlorate was used as the supporting electrolyte, the concentration of the antioxidant was 10 −3 to 10 −4 mol / liter, and the reference electrode was an Ag / AgCl electrode. The Eox was measured at 25 ° C. using a rotating platinum plate electrode.

この酸化防止剤は本発明に係る感光材料のハロゲン化銀乳剤層中に直接添加して含有せしめるのが最も好ましいが、中間層、保護層、黄色フィルター層、アンチハレーション層等の親水性コロイドをバインダーとする非感光層に添加してもよい。また感光性乳剤層と上記の非感光層の両方に添加しても有効である。この酸化防止剤の添加時期は、感光性乳剤層中に添加する場合、塗布加工までの任意の時期でよいが、好ましくは化学熟成から塗布加工までの時期、さらに好ましくは化学熟成終了後に添加すればよい。また、非感光層に添加して、塗布時に構成層全体に拡散させてもよい。   This antioxidant is most preferably added directly to the silver halide emulsion layer of the light-sensitive material according to the present invention, but it contains hydrophilic colloids such as an intermediate layer, a protective layer, a yellow filter layer, and an antihalation layer. You may add to the non-photosensitive layer used as a binder. It is also effective to add it to both the photosensitive emulsion layer and the non-photosensitive layer. When added to the photosensitive emulsion layer, the antioxidant may be added at any time from coating to processing, but is preferably added from chemical ripening to coating processing, more preferably after completion of chemical ripening. That's fine. Further, it may be added to the non-photosensitive layer and diffused throughout the constituent layers during coating.

酸化防止剤は、水又は水と相溶性のある低級アルコール、エステル類もしくはケトン類又はこれらの混合溶媒に溶解したのち添加すればよい。また高沸点溶剤等に溶解後分散添加してもよい。添加量はハロゲン化銀1モル当り10-2〜10-8モルの範囲が好ましく、10-3〜10-5モルの範囲が特に好ましいが、添加量はハロゲン化銀の種類、酸化防止剤の種類等によって適宜選択すればよい。また非感光性層に含有させる場合は、親水性コロイド1g当り0.01〜50gの範囲で、さらに好ましくは0.05〜10gの範囲で、酸化防止剤を含む親水性コロイドの水溶液を塗布することにより良好な結果を得ることができる。また、酸化防止剤は単独で用いてもよいが併用してもよい。 The antioxidant may be added after dissolving in water or a lower alcohol, ester or ketone compatible with water or a mixed solvent thereof. Further, it may be added after being dissolved in a high boiling point solvent or the like. The addition amount is preferably in the range of 10 −2 to 10 −8 mol per mol of silver halide, particularly preferably in the range of 10 −3 to 10 −5 mol. However, the addition amount is the type of silver halide and the antioxidant. What is necessary is just to select suitably according to a kind etc. When it is contained in the non-photosensitive layer, an aqueous solution of hydrophilic colloid containing an antioxidant is applied in an amount of 0.01 to 50 g, more preferably 0.05 to 10 g, per gram of hydrophilic colloid. As a result, good results can be obtained. Moreover, although antioxidant may be used independently, you may use together.

酸化防止剤の具体例として下記の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   Specific examples of the antioxidant include the following compounds, but are not limited thereto.

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酸化防止剤のうち好ましいものは下記の一般式(II)で表される。   A preferable antioxidant is represented by the following general formula (II).

Figure 2006352073
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式中、Z11は、炭素環または複素環を形成するに必要な原子群を表わし、炭素環の好ましい具体例としてはベンゼン環とナフタレン環を挙げることができ、また複素環の好ましい具体例としてはヘテロ原子として酸素原子を含む7員環が挙げられる。これらの環に置換しうる置換基の具体例としては、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、水酸基、スルホン酸基などが挙げられる。 In the formula, Z 11 represents an atomic group necessary for forming a carbocycle or a heterocycle, and preferred specific examples of the carbocycle include a benzene ring and a naphthalene ring, and preferred specific examples of the heterocycle are Includes a seven-membered ring containing an oxygen atom as a hetero atom. Specific examples of the substituent that can be substituted on these rings include an alkyl group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, a hydroxyl group, and a sulfonic acid group.

一般式(II)の化合物の中でも、芳香族炭素環に少なくとも1つのスルホン酸基(スルホン酸塩)をもつ化合物が特に好ましい。酸化防止剤の特に好ましい具体例としては、前記の具体例II−(19)、II−(22)、II−(39)などが挙げられる。また分子量330以下の酸化防止剤としては、一般式(II)で表わされる化合物以外に、以下の(1)、(2)の酸化防止剤も好ましい。
(1)2位の置換基の一方がヒドロキシ基、アミノ基及び置換アミノ基から選ばれる基であり、他方が水素原子であって、かつ3位の置換基の一方がヒドロキシ基、アミノ基及び置換アミノ基から選ばれる基であり、他方が水素原子である2−シクロペンテン−1−オン誘導体。
(2)2位の置換基の一方がヒドロキシ基、アミノ基及び置換アミノ基から選ばれる基であり、他方が水素原子であって、かつ3位の置換基の一方がヒドロキシ基、アミノ基及び置換アミノ基から選ばれる基であり、他方が水素原子である2−シクロヘキセン−1−オン誘導体。(1)及び(2)において、さらに好ましくは、2位がヒドロキシ基、3位がアミノ基又は置換アミノ基の化合物である。(1)と(2)の中では(1)が好ましく、この中でも、3位がピロリジン−1−イル、ピペリジン−1−イル又はモルフォリン−1−イルであり、かつ2位がヒドロキシ基のものが最も好ましい。具体的には例示化合物の(II)−(48)、(II)−(49)が挙げられる。
Among the compounds of the general formula (II), compounds having at least one sulfonic acid group (sulfonate) on the aromatic carbocyclic ring are particularly preferable. Specific preferred specific examples of the antioxidant include the above specific examples II- (19), II- (22), II- (39) and the like. Further, as the antioxidant having a molecular weight of 330 or less, the following antioxidants (1) and (2) are also preferable in addition to the compound represented by the general formula (II).
(1) One of the substituents at the 2-position is a group selected from a hydroxy group, an amino group and a substituted amino group, the other is a hydrogen atom, and one of the substituents at the 3-position is a hydroxy group, an amino group, and A 2-cyclopenten-1-one derivative, which is a group selected from substituted amino groups, and the other is a hydrogen atom.
(2) One of the substituents at the 2-position is a group selected from a hydroxy group, an amino group and a substituted amino group, the other is a hydrogen atom, and one of the substituents at the 3-position is a hydroxy group, an amino group, and A 2-cyclohexen-1-one derivative, which is a group selected from substituted amino groups, and the other is a hydrogen atom. In (1) and (2), more preferably a compound in which the 2-position is a hydroxy group and the 3-position is an amino group or a substituted amino group. Among (1) and (2), (1) is preferable, and among them, the 3-position is pyrrolidin-1-yl, piperidin-1-yl or morpholin-1-yl and the 2-position is a hydroxy group Is most preferred. Specific examples include (II)-(48) and (II)-(49) of the exemplified compounds.

<酸化剤>
本発明に係る乳剤層には、酸化剤を含有することが好ましい。乳剤層に酸化剤を添加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。
添加量は1×10-8〜1×10-2mol/molAgの範囲が好ましく、1×10-6〜5×10-3mol/molAgモルの範囲がより好ましいが、添加量はハロゲン化銀の種類、酸化剤の種類等によって適宜選択することができる。
酸化剤とは、金属銀に作用して銀イオンに変換せしめる作用を有する化合物をいう。特にハロゲン化銀粒子の形成過程および化学増感過程において副生するきわめて微小な銀粒子を、銀イオンに変換させる化合物が有効である。ここで生成する銀イオンは、ハロゲン化銀、硫化銀、セレン化銀等の水に難溶の銀塩を形成してもよく、又、硝酸銀等の水に易溶の銀塩を形成してもよい。銀に対する酸化剤は、無機物であっても、有機物であってもよい。無機の酸化剤としては、オゾン、過酸化水素およびその付加物(例えば、NaBO2・H22・3H2O、2NaCO3・3H22、Na427・2H22、2Na2SO4・H22・2H2O)、ぺルオキシ酸塩(例えばK228、K226、K228)、ぺルオキシ錯体化合物(例えば、K2〔Ti(O2)C24〕・3H2O、4K2SO4・Ti(
2)OH・SO4・2H2O、Na3〔VO(O2)(C242・6H2O〕、過マンガン
酸塩(例えば、KMnO4)、クロム酸塩(例えば、K2Cr27)などの酸素酸塩、沃素や臭素などのハロゲン元素、過ハロゲン酸塩(例えば過沃素酸カリウム)および高原子価の金属の塩(例えば、ヘキサシアノ第二鉄酸カリウム)がある。また、有機の酸化剤としては、p−キノンなどのキノン類、過酢酸や過安息香酸などの有機過酸化物、活性ハロゲンを放出する化合物(例えば、N−ブロムサクシイミド、クロラミンT、クロラミンB)が例として挙げられる。
<Oxidizing agent>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains an oxidizing agent. By adding an oxidizing agent to the emulsion layer, fogging is less likely to occur and the pressure property can be improved.
The addition amount is preferably in the range of 1 × 10 −8 to 1 × 10 −2 mol / mol Ag, more preferably in the range of 1 × 10 −6 to 5 × 10 −3 mol / mol Ag mole, but the addition amount is silver halide. It can be appropriately selected depending on the kind of the oxidizing agent and the kind of the oxidizing agent.
The oxidizing agent refers to a compound having an action of acting on metallic silver and converting it into silver ions. In particular, a compound that converts very fine silver grains by-produced in the process of forming silver halide grains and chemical sensitization into silver ions is effective. The silver ions generated here may form a silver salt that is hardly soluble in water such as silver halide, silver sulfide, or silver selenide, or may form a silver salt that is easily soluble in water such as silver nitrate. Also good. The oxidizing agent for silver may be an inorganic substance or an organic substance. Examples of inorganic oxidizing agents include ozone, hydrogen peroxide and adducts thereof (for example, NaBO 2 .H 2 O 2 .3H 2 O, 2NaCO 3 .3H 2 O 2 , Na 4 P 2 O 7 .2H 2 O 2 , 2Na 2 SO 4 · H 2 O 2 · 2H 2 O), peroxy acid salts (e.g., K 2 S 2 O 8, K 2 C 2 O 6, K 2 P 2 O 8), peroxy complex compounds (e.g. , K 2 [Ti (O 2 ) C 2 O 4 ] · 3H 2 O, 4K 2 SO 4 · Ti (
O 2 ) OH.SO 4 .2H 2 O, Na 3 [VO (O 2 ) (C 2 H 4 ) 2 .6H 2 O], permanganate (eg KMnO 4 ), chromate (eg Oxyacid salts such as K 2 Cr 2 O 7 ), halogen elements such as iodine and bromine, perhalogenates (for example, potassium periodate) and salts of high valent metals (for example, potassium hexacyanoferric acid) There is. Examples of the organic oxidizing agent include quinones such as p-quinone, organic peroxides such as peracetic acid and perbenzoic acid, and compounds that release active halogen (for example, N-bromosuccinimide, chloramine T, chloramine B). ) As an example.

本発明で使用される特に好ましい酸化剤は、下記一般式(XX)、(XXI)及び(XXII)
で表されるチオスルホン酸塩化合物であり、最も好ましい化合物の一般式は、一般式(XX)であらわされる化合物である。
Particularly preferred oxidizing agents used in the present invention are the following general formulas (XX), (XXI) and (XXII)
The most preferable general formula of the compound is a compound represented by the general formula (XX).

一般式(XX) R−SO2S−M

一般式(XXI) R−SO2S−R1

一般式(XXII) R−SO2S−Lm−SSO−R2
Formula (XX) R-SO 2 S -M

Formula (XXI) R—SO 2 S—R 1

Formula (XXII) R—SO 2 S—L m —SSO 2 —R 2

一般式(XX)、(XXI)及び(XXII)において、R、R1及びR2同じでも異なっていて
もよく、脂肪族基、芳香族基またはヘテロ環基を表し、Mは陽イオンを、Lは2価の連結基を表し、mは0または1である。一般式(XX)ないし一般式(XXII)の化合物は、(XX)ないし(XXII)で示す構造から誘導される2価の基を繰り反単位として含有するポリマ
ーであってもよい。また、可能なときは、R、R1、R2及びLが互いに結合して環を形成してもよい。
In the general formulas (XX), (XXI) and (XXII), R, R 1 and R 2 may be the same or different and each represents an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group, M represents a cation, L represents a divalent linking group, and m is 0 or 1. The compound of general formula (XX) to general formula (XXII) may be a polymer containing a divalent group derived from the structure represented by (XX) to (XXII) as a repeating unit. Further, when possible, R, R 1 , R 2 and L may be bonded to each other to form a ring.

銀が存在するとチオスルフォン酸が下記の反応式で銀を酸化し硫化銀を形成することが、S.GahlerによってVeroff wiss.Photo lab Wolfen X,63(1965)に報告されている。   When silver is present, thiosulfonic acid oxidizes silver by the following reaction formula to form silver sulfide. Gahler, Veroff wiss. Photo lab Wolfen X, 63 (1965).

RSO2SM+2Ag→RSO2M+Ag2
このような酸化がおこっていることが実験的に確認されている。以下チオスルホン酸塩化合物について説明する。
RSO 2 SM + 2Ag → RSO 2 M + Ag 2 S
It has been experimentally confirmed that such oxidation occurs. Hereinafter, the thiosulfonate compound will be described.

R、R1及びR2が脂肪族基の場合、飽和又は不飽和の、直鎖、分岐状又は環状の、脂肪族炭化水素基であり、好ましくは炭素数が1から22のアルキル基、炭素数が2から22のアルケニル基、アルキニル基であり、これらは、置換基を有していてもよい。アルキル基としては、例えばメチル、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチル、2−エチルヘキシル、デシル、ドデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、シクロヘキシル、イソプロピル、t−ブチルがあげられる。アルケニル基としては、例えばアリル、ブテニルがあげられる。アルキニル基としては、例えばプロパルギル、ブチニルがあげられる。 When R, R 1 and R 2 are aliphatic groups, they are saturated or unsaturated, linear, branched or cyclic aliphatic hydrocarbon groups, preferably an alkyl group having 1 to 22 carbon atoms, carbon These are an alkenyl group and an alkynyl group having a number of 2 to 22, and these may have a substituent. Examples of the alkyl group include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, octyl, 2-ethylhexyl, decyl, dodecyl, hexadecyl, octadecyl, cyclohexyl, isopropyl and t-butyl. Examples of the alkenyl group include allyl and butenyl. Examples of the alkynyl group include propargyl and butynyl.

R、R1及びR2の芳香族基としては、単環又は縮合環の芳香族基が含まれ、好ましくは炭素数が6から20のもので、例えばフェニル、ナフチルがあげられる。これらは、置換されていてもよい。 The aromatic group of R, R 1 and R 2 includes a monocyclic or condensed ring aromatic group, preferably having 6 to 20 carbon atoms, and examples thereof include phenyl and naphthyl. These may be substituted.

R、R1及びR2のヘテロ環基としては、窒素、酸素、硫黄、セレン、テルルから選ばれる元素を少なくとも一つ有し、かつ炭素原子を少なくとも1つ有する3ないし15員環のものであり、好ましくは3〜6員環が好ましく、例えばピロリジン、ピペリジン、ピリジン、テトラヒドロフラン、チオフェン、オキサゾール、チアゾール、イミダゾール、ベンゾチアゾール、ベンズオキサゾール、ベンズイミダゾール、セレナゾール、ベンゾセレナゾール、テルラゾール、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、テトラゾール、オキサジアゾール、チアヂアゾール環があげられる。 The heterocyclic group of R, R 1 and R 2 is a 3- to 15-membered ring having at least one element selected from nitrogen, oxygen, sulfur, selenium and tellurium and having at least one carbon atom. Yes, preferably a 3- to 6-membered ring, such as pyrrolidine, piperidine, pyridine, tetrahydrofuran, thiophene, oxazole, thiazole, imidazole, benzothiazole, benzoxazole, benzimidazole, selenazole, benzoselenazole, tellurazole, triazole, benzotriazole , Tetrazole, oxadiazole, and thiadiazole ring.

R、R1及びR2の置換基としては、例えばアルキル基(例えば、メチル、エチル、ヘキシル)、アルコキシ基(例えば、メトキシ、エトキシ、オクチルオキシ)、アリール基(例えば、フェニル、ナフチル、トリル)、ヒドロキシ基、ハロゲン原子(例えばフッ素、塩素、臭素、沃素)、アリーロキシ基(例えば、フェノキシ)、アルキルチオ基(例えば、メチルチオ、ブチルチオ)、アリールチオ基(例えば、フェニルチオ)、アシル基(例えば、アセチル、プロピオニル、ブチリル、バレリル)、スルホニル基(例えば、メチルスルホニル、フェニルスルホニル)、アシルアミノ基(例えば、アセチルアミノ、ベンゾイルアミノ)、スルホニルアミノ基(例えば、メタンスルホニルアミノ、ベンゼンスルホニルアミノ)、アシロキシ基(例えば、アセトキシ、ベンゾキシ)、カルボキシル基、シアノ基、スルホ基、アミノ基、−SO2SM基、(Mは1価の陽イオンを示す)−SO21基があげられる。 Examples of the substituent for R, R 1 and R 2 include an alkyl group (eg, methyl, ethyl, hexyl), an alkoxy group (eg, methoxy, ethoxy, octyloxy), an aryl group (eg, phenyl, naphthyl, tolyl). , Hydroxy group, halogen atom (for example, fluorine, chlorine, bromine, iodine), aryloxy group (for example, phenoxy), alkylthio group (for example, methylthio, butylthio), arylthio group (for example, phenylthio), acyl group (for example, acetyl, Propionyl, butyryl, valeryl), sulfonyl group (eg, methylsulfonyl, phenylsulfonyl), acylamino group (eg, acetylamino, benzoylamino), sulfonylamino group (eg, methanesulfonylamino, benzenesulfonylamino), acyloxy group ( Examples include acetoxy, benzoxy), carboxyl group, cyano group, sulfo group, amino group, —SO 2 SM group, and —SO 2 R 1 group (M represents a monovalent cation).

Lで表わされる二価の連結基としては、C、N、SおよびOから選ばれた少なくとも1種を含む原子又は原子団である。具体的にはアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、アリーレン基、−O−、−S−、−NH−、−CO−、−SO2−等の単独または
これらの組合せからなるものである。
Lは好ましくは二価の脂肪族基又は二価の芳香族基である。Lは二価の脂肪族基としては例えば、−(C−(n=1〜12)、−CH−CH=CH−CH−、
The divalent linking group represented by L is an atom or atomic group containing at least one selected from C, N, S and O. Specifically, it is composed of an alkylene group, an alkenylene group, an alkynylene group, an arylene group, —O—, —S—, —NH—, —CO—, —SO 2 — alone or a combination thereof.
L is preferably a divalent aliphatic group or a divalent aromatic group. L is a divalent aliphatic group for example, - (C 2 H 2) n - (n = 1~12), - CH 2 -CH = CH-CH 2 -,

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キシレン基があげられる。二価の芳香族基としては、例えばフェニレン基、ナフチレン基があげられる。   Xylene group. Examples of the divalent aromatic group include a phenylene group and a naphthylene group.

これらの置換基は、更にこれまで述べた置換基で置換されていてもよい。   These substituents may be further substituted with the substituents described so far.

Mとして好ましくは、金属イオン又は有機カチオンである。金属イオンとしては、例えばリチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオンがあげられる。有機カチオンとしては、例えばアンモニウムイオン(例えばアンモニウム、テトラメチルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム)、ホスホニウムイオン(テトラフェニルホスホニウム)、グアニジル基があげられる。   M is preferably a metal ion or an organic cation. Examples of the metal ions include lithium ions, sodium ions, and potassium ions. Examples of the organic cation include ammonium ions (for example, ammonium, tetramethylammonium, tetrabutylammonium), phosphonium ions (tetraphenylphosphonium), and guanidyl groups.

一般式(XX)、(XXI)又は(XXII)で表される化合物の具体例を下記にあげるが、こ
れらに限定されるわけではない。
Specific examples of the compound represented by the general formula (XX), (XXI) or (XXII) are shown below, but are not limited thereto.

一般式(XX)、(XXI)および(XXII)の化合物は、特開昭54−1019;英国特許
972,211;Journal of Organic Chemistry(ジャーナル オブ オーガニック ケミストリー)53巻、396頁(1988)に記載されている方法で合成できる。
The compounds of the general formulas (XX), (XXI) and (XXII) are described in JP 54-1019; British Patent 972,211; Journal of Organic Chemistry (Journal of Organic Chemistry) 53, 396 (1988). Can be synthesized.

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一般式(XX)、(XXI)もしくは(XXII)であらわされる化合物は銀塩1モル当り10-7から10-1モル添加するのが好ましい。さらに10-6から10-2、特には10-5から1
-3モル/モルAgの添加量が好ましい。
The compound represented by the general formula (XX), (XXI) or (XXII) is preferably added at 10 −7 to 10 −1 mol per mol of silver salt. 10 -6 to 10 -2 , especially 10 -5 to 1
Amount of 0 -3 mol / mol Ag being preferred.

一般式(XX)、(XXI)もしくは(XXII)で表わされる化合物を粒子形成中に添加せし
めるには、乳剤に添加剤を加える場合に通常用いられる方法を適用できる。たとえば、水溶性の化合物は適当な濃度の水溶液とし、水に不溶または難溶性の化合物は水と混和しうる適当な有機溶媒、たとえばアルコール類、グリコール類、ケトン類、エステル類、アミド類のうちで、写真特性に悪い影響を与えない溶媒に溶解して得た溶液として、添加することができる。
In order to add the compound represented by the general formula (XX), (XXI) or (XXII) during grain formation, a method usually used when an additive is added to the emulsion can be applied. For example, a water-soluble compound is an aqueous solution having an appropriate concentration, and a compound that is insoluble or sparingly soluble in water is an appropriate organic solvent miscible with water, such as alcohols, glycols, ketones, esters, and amides. Thus, it can be added as a solution obtained by dissolving in a solvent that does not adversely affect photographic characteristics.

化合物(XX)、(XXI)もしくは(XXII)で表わされる化合物は、銀塩乳剤の粒子形成
中、化学増感前あるいは後の製造中のどの段階で添加してもよい。
The compound represented by the compound (XX), (XXI) or (XXII) may be added at any stage during the production of silver salt emulsion, before or after chemical sensitization.

あらかじめ反応容器に添加するのもよいが、水溶性銀塩あるいは水溶性アルカリハライドの水溶液にあらかじめ化合物(XX)〜(XXII)を添加しておき、これらの水溶液を用いて粒子形成してもよい。また粒子製造工程中に化合物(XX)〜(XXII)の溶液を何回かに分けて添加しても連続して長時間添加するのも好ましい方法である。   The compound (XX) to (XXII) may be added in advance to an aqueous solution of a water-soluble silver salt or water-soluble alkali halide, and particles may be formed using these aqueous solutions. . It is also preferable to add the solutions of the compounds (XX) to (XXII) several times during the particle production process, or to add them continuously for a long time.

<マット剤>
本発明に係る乳剤層には、マット剤を含有することが好ましい。乳剤層にマット剤を添
加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。添加量は5〜400mg/mの範囲が好ましく、10〜200mg/mの範囲がより好ましいが、添加量はマット剤の種類等によって適宜選択することができる。
マット剤としては、特開平2−103536号公報第19頁左上欄15行目から同第19頁右上欄15行目に記載の化合物が挙げられる。
<Matting agent>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains a matting agent. By adding a matting agent to the emulsion layer, fogging is less likely to occur and pressure characteristics can be improved. The addition amount is preferably in the range of 5 to 400 mg / m 2, but more preferably a range of 10 to 200 mg / m 2, amount added can be appropriately selected depending on the type of matting agent.
Examples of the matting agent include compounds described in JP-A-2-103536, page 19, upper left column, line 15 to page 19, upper right column, line 15.

<すべり剤>
本発明に係る乳剤層には、すべり剤を含有することが好ましい。乳剤層にすべり剤を添加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。
有用な滑り剤としては、例えば英国特許第955,061号明細書、同第1,143,118号明細書、米国特許第3,042,522号明細書、同第3,080,317号明細書、同第4,004,927号明細書、同第4,047,958号明細書、同第3,489,576号明細書、特開昭60−140341号公報に記載のシリコン系滑り剤、米国特許第2,454,043号明細書、同第2,732,305号明細書、同第2,976,148号明細書、同第3,206,311号明細書、独国特許第1,284,295号明細書、同第1,284,294号明細書に記載の高級脂肪酸系、高級脂肪アルコール系、高級脂肪酸アミド系滑り剤、英国特許第1,263,722号明細書、米国特許第3,933,516号明細書に記載の金属石鹸、米国特許第2,588,765号明細書、同第3,121,060号明細書、英国特許第1,198,387号明細書に記載の高級脂肪酸エステル系、高級脂肪アルコールのエーテル系滑り剤、米国特許第3,502,437号明細書、同第3,042,222号明細書に記載のタウリン系滑り剤等を挙げることができる。以下に具体例を示すが、本発明で用いることができる滑り剤はこれらに限定されるものではない。
<Slip agent>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains a slip agent. By adding a slipping agent to the emulsion layer, fog is less likely to occur, and the pressure property can be improved.
Examples of useful slip agents include British Patent Nos. 955,061, 1,143,118, U.S. Pat. Nos. 3,042,522 and 3,080,317. , No. 4,004,927, No. 4,047,958, No. 3,489,576, and JP-A-60-140341. US Pat. No. 2,454,043, US Pat. No. 2,732,305, US Pat. No. 2,976,148, US Pat. No. 3,206,311, German Patent No. No. 1,284,295, No. 1,284,294, higher fatty acid type, higher fatty alcohol type, higher fatty acid amide type slip agent, British Patent No. 1,263,722, Described in US Pat. No. 3,933,516 Of higher fatty acid esters, higher fatty alcohols described in U.S. Pat. Nos. 2,588,765, 3,121,060, and British Patent 1,198,387. Examples include ether slip agents, taurine slip agents described in US Pat. Nos. 3,502,437 and 3,042,222, and the like. Specific examples are shown below, but the slipping agent that can be used in the present invention is not limited thereto.

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滑り剤の使用量は、最外層のゼラチン付量、マット剤の種類等により最適量は異なるが、片面1m当たり5〜200mgであり、好ましくは15〜150mgである。 The optimum amount of the slip agent used varies depending on the amount of gelatin applied to the outermost layer and the type of matting agent, but is 5 to 200 mg, preferably 15 to 150 mg per 1 m 2 on one side.

<コロイダルシリカ>
本発明に係る乳剤層には、コロイダルシリカを含有することが好ましい。乳剤層にコロ
イダルシリカを添加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。添加量は、添加層のバインダー(例、ゼラチン)に対して、乾燥質量比で0.01〜2.0の範囲が好ましく、0.1〜0.6の範囲がより好ましいが、添加量は適宜選択することができる。
本発明の好ましく用いられるコロイド状シリカ(コロイダルシリカ)は、平均粒径が1nm以上1μm以下の無水珪酸の微粒子のコロイド(膠質)を指し、特開昭53−112732号、特公昭57−009051号、同57−51653号等に記載されているものを参考にすることができる。これらのコロイド状シリカはゾル−ゲル法で調製して使用することもできるし、市販品を利用することもできる。コロイド状シリカをゾル−ゲル法で調製する場合には Werner Stober et al ; J.Colloid and Interface Sci.,26,62-69(1968)、Ricky D.Badley et al ; Langmuir 6,792-801(1990) 、色材協会誌 ,61〔9〕488-493(1988) を参考にして合成できる。また、市販品を使用する場合は日産化学(株)製のスノーテックス−XL(平均粒径40〜60nm)、スノーテックス−YL(平均粒径50〜80nm)、スノーテックス−ZL(平均粒径70〜100nm)、PST−2(平均粒径210nm)、MP−3020(平均粒径328nm)、スノーテックス20(平均粒径10〜20nm、SiO2/Na2O>57)、スノーテックス30(平均粒径10〜20nm、SiO2/Na2O>50)、スノーテックスC(平均粒径10〜20nm、SiO2/Na2O>100)、スノーテックスO(平均粒径10〜20nm、SiO2/Na2O>500)等を好ましく使用することができる(ここでSiO2/Na2Oとは二酸化ケイ素と水酸化ナトリウムの含有質量比を水酸化ナトリウムをNa2Oに換算して表したものであり、カタログに記載されている)。市販品を利用する場合はスノーテックス−YL、スノーテックス−ZL、PST−2、MP−3020、スノーテックスCが特に好ましい。コロイド状シリカの主成分は二酸化ケイ素であるが、少量成分としてアルミナあるいはアルミン酸ナトリウム等を含んでいてもよく、さらに安定剤として水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、アンモニア等の無機塩基やテトラメチルアンモニウムのような有機塩基が含まれていてもよい。
<Colloidal silica>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains colloidal silica. By adding colloidal silica to the emulsion layer, fogging is less likely to occur, and pressure properties can be improved. The addition amount is preferably in the range of 0.01 to 2.0, more preferably in the range of 0.1 to 0.6, with respect to the binder (eg, gelatin) in the addition layer, but the addition amount is It can be selected appropriately.
The colloidal silica (colloidal silica) preferably used in the present invention refers to a colloid of silica fine particles having an average particle diameter of 1 nm or more and 1 μm or less, and disclosed in JP-A-53-112732 and JP-B-57-009051. Reference can be made to those described in JP-A-57-51653. These colloidal silicas can be prepared and used by a sol-gel method, or commercially available products can be used. When preparing colloidal silica by the sol-gel method, Werner Stober et al; J. Colloid and Interface Sci., 26, 62-69 (1968), Ricky D. Badley et al; Langmuir 6, 792-801 (1990) In addition, it can be synthesized with reference to Journal of Color Material Association, 61 [9] 488-493 (1988). In addition, when using a commercially available product, SNOWTEX-XL (average particle size 40-60 nm), SNOWTEX-YL (average particle size 50-80 nm), SNOWTEX-ZL (average particle size) manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. 70-100 nm), PST-2 (average particle size 210 nm), MP-3020 (average particle size 328 nm), Snowtex 20 (average particle size 10-20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 57), Snowtex 30 ( Average particle size 10-20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 50), Snowtex C (average particle size 10-20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 100), Snowtex O (average particle size 10-20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 500) or the like can be used preferably (wherein SiO 2 / Na 2 O is a content ratio of silicon dioxide and sodium hydroxide expressed by converting sodium hydroxide into Na 2 O). And are listed in the catalog . When using a commercial item, SNOWTEX-YL, SNOWTEX-ZL, PST-2, MP-3020, and SNOWTEX C are particularly preferable. The main component of colloidal silica is silicon dioxide, but it may contain alumina or sodium aluminate as a minor component, and further, an inorganic base such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide or ammonia as a stabilizer. Or an organic base such as tetramethylammonium.

また、本発明のコロイダルシリカとしては、特開平10−268464号公報記載の、太さ1〜50nm、長さ10〜1000nmの細長い形状を有するコロイド状シリカ、特開平9−218488号公報あるいは特開平10−111544号公報記載のコロイド状シリカと有機ポリマーとの複合粒子も好ましく用いることができる。   As the colloidal silica of the present invention, colloidal silica having an elongated shape having a thickness of 1 to 50 nm and a length of 10 to 1000 nm described in JP-A No. 10-268464, JP-A No. 9-218488 or JP-A No. Hei. Composite particles of colloidal silica and organic polymer described in JP-A-10-111544 can also be preferably used.

<帯電防止剤>
本発明に係る乳剤層には、帯電防止剤を含有することが好ましい。乳剤層に帯電防止剤を添加することにより、カブリが発生しにくくなり、圧力性を改善することができる。
帯電防止層としては、表面抵抗率が25℃ 25%RHの雰囲気下で1012Ω以下の導電性物質含有層を好ましく用いることができる。本発明に好ましい帯電防止剤として、下記の導電性物質を好ましく用いることができる。
特開平2−18542号公報第2頁左下13行目から同公報第3頁右上7行目に記載の導電性物質。具体的には、同公報第2頁右下2行目から同頁右下10行目に記載の金属酸化物、および同公報に記載の化合物P−1〜P−7の導電性高分子化合物。USP5575957、特開平10−142738号段落番号0045〜0043、特開平11−223901号段落番号0013〜0019に記載の針状の金属酸化物等が用いることができる。
<Antistatic agent>
The emulsion layer according to the present invention preferably contains an antistatic agent. By adding an antistatic agent to the emulsion layer, fogging is less likely to occur and pressure properties can be improved.
As the antistatic layer, a conductive substance-containing layer having a surface resistivity of 10 12 Ω or less in an atmosphere of 25 ° C. and 25% RH can be preferably used. As the antistatic agent preferable in the present invention, the following conductive substances can be preferably used.
A conductive substance described in JP-A-2-18542, page 2, lower left line 13 to page 3, upper right line 7th line. Specifically, the metal oxides described in the second lower right line on page 2 to the lower right tenth line of the same publication, and conductive polymer compounds of compounds P-1 to P-7 described in the same publication . Needle-like metal oxides described in US Pat. No. 5,575,957, paragraphs 0045 to 0043 of JP-A-10-142727, paragraphs 0013 to 0019 of JP-A-11-223901, and the like can be used.

本発明で用いられる導電性金属酸化物粒子は、ZnO、TiO2、SnO2、Al23、In23、MgO、BaOおよびMoO3ならびにこれらの複合酸化物、そしてこれらの
金属酸化物にさらに異種原子を含む金属酸化物の粒子を挙げることができる。金属酸化物としては、SnO2、ZnO、Al23、TiO2、In23、およびMgOが好ましく、さらに、SnO2、ZnO、In23およびTiO2が好ましく、SnO2が特に好ましい
。異種原子を少量含む例としては、ZnOに対してAlあるいはIn、TiO2に対して
NbあるいはTa、In23に対してSn、およびSnO2に対してSb、Nbあるいは
ハロゲン元素などの異種元素を0.01〜30モル%(好ましくは0.1〜10モル%)ドープしたものを挙げることができる。異種元素の添加量が、0.01モル%未満の場合は酸化物または複合酸化物に充分な導電性を付与することができにくくなり、30モル%を超えると粒子の黒化度が増し、帯電防止層が黒ずむため適さない。従って、本発明では導電性金属酸化物粒子の材料としては、金属酸化物または複合金属酸化物に対し異種元素を少量含むものが好ましい。また結晶構造中に酸素欠陥を含むものも好ましい。
The conductive metal oxide particles used in the present invention include ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , MgO, BaO and MoO 3, and composite oxides thereof, and metal oxides thereof. Further, metal oxide particles containing different atoms can be mentioned. As the metal oxide, SnO 2 , ZnO, Al 2 O 3 , TiO 2 , In 2 O 3 , and MgO are preferable, SnO 2 , ZnO, In 2 O 3 and TiO 2 are more preferable, and SnO 2 is particularly preferable. preferable. Examples of containing a small amount of different atoms include Al or In for ZnO, Nb or Ta for TiO 2 , Sn for In 2 O 3 , and Sb, Nb or halogen elements for SnO 2 . An element doped with 0.01 to 30 mol% (preferably 0.1 to 10 mol%) of the element can be used. When the added amount of the different element is less than 0.01 mol%, it becomes difficult to impart sufficient conductivity to the oxide or composite oxide, and when it exceeds 30 mol%, the degree of blackening of the particles increases, Not suitable because the antistatic layer is dark. Therefore, in the present invention, the material of the conductive metal oxide particles is preferably one containing a small amount of a different element with respect to the metal oxide or the composite metal oxide. Also preferred are those containing an oxygen defect in the crystal structure.

上記異種原子を少量含む導電性金属酸化物微粒子としては、アンチモンがドープされたSnO2粒子が好ましく、特にアンチモンが0.2〜2.0モル%ドープされたSnO2粒子が好ましい。 As the conductive metal oxide particles containing a small amount of the dissimilar atom, SnO 2 particles are preferred antimony-doped, SnO 2 particles are preferred which are particularly doped antimony 0.2-2.0 mol%.

本発明に用いる導電性金属酸化物の形状については特に制限はなく、粒状、針状等が挙げられる。また、その大きさは、球換算径で表した平均粒径が0.5〜25μm である。   There is no restriction | limiting in particular about the shape of the electroconductive metal oxide used for this invention, A granular form, needle shape, etc. are mentioned. Moreover, the average particle diameter represented by the sphere conversion diameter is 0.5-25 micrometers.

また、導電性を得るためには、例えば、可溶性塩(例えば塩化物、硝酸塩など)、蒸着金属層、米国特許第2861056号および同第3206312号に記載のようなイオン性ポリマーまたは米国特許第3428451号に記載のような不溶性無機塩を使用することもできる。   Also, in order to obtain conductivity, for example, soluble salts (for example, chloride, nitrate, etc.), vapor deposited metal layers, ionic polymers as described in US Pat. Nos. 2,861,056 and 3,206,312 or US Pat. It is also possible to use insoluble inorganic salts as described in No. 1.

このような導電性金属酸化物粒子を含有する帯電防止層はバック面の下塗り層、乳剤層の下塗り層などとして設けることが好ましい。その添加量は両面合計で0.01〜1.0g/m2であることが好ましい。
また、感光材料の内部抵抗率は25℃25%RHの雰囲気下で1.0×107〜1.0
〜1012Ωであることが好ましい。
Such an antistatic layer containing conductive metal oxide particles is preferably provided as an undercoat layer on the back surface, an undercoat layer of the emulsion layer, or the like. The addition amount is preferably 0.01 to 1.0 g / m 2 in total on both sides.
The internal resistivity of the photosensitive material is 1.0 × 10 7 to 1.0 in an atmosphere of 25 ° C. and 25% RH.
It is preferable that it is -10 < 12 > (omega | ohm).

本発明において、前記導電性物質のほかに、特開平2−18542号公報第4頁右上2行目から第4頁右下下から3行目、特開平3−39948号公報第12頁左下6行目から同公報第13頁右下5行目に記載の含フッ素界面活性剤を併用することによって、更に良好な帯電防止性を得ることができる。   In the present invention, in addition to the conductive material, JP-A-2-18542, page 4, upper right 2nd line, page 4 lower-right lower 3rd line, JP-A-3-39948, page 12, lower left 6 By using together the fluorine-containing surfactant described in the lower right line on page 13 of the same publication from the line, even better antistatic properties can be obtained.

[バインダー層]
本発明に係る感光材料には、乳剤層の下層にバインダー層を有することが好ましい。ここで下層とは、支持体からの距離がより近くかつ同じ面に位置していることを意味する。本発明においては、銀塩乳剤層よりも下層に親水性コロイド層からなるバインダー層を好ましく設置することができる。
バインダーとしてはゼラチンを用いるのが有利であるが、それ以外の親水性コロイドも用いることができる。たとえばゼラチン誘導体、ゼラチンと他の高分子とのグラフトポリマー、アルブミン、カゼイン等の蛋白質、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、セルロース硫酸エステル類等の如きセルロース誘導体、アルギン酸ソーダ、澱粉誘導体などの糖誘導体、ポリビニルアルコール、ポリビニルアルコール部分アセタール、ポリ−N−ビニルピロリドン、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリビニルイミダゾール、ポリビニルピラゾール等の単一あるいは共重合体のような多種の合成親水性高分子物質を用いることができる。ゼラチンとしては石灰処理ゼラチンのほか、酸処理ゼラチンを用いてもよく、ゼラチン加水分解物、ゼラチン酵素分解物も用いることができる。 本発明の感光材料において、銀塩乳剤層よりも下層にバインダー層を設ける場合の好ましいバインダー層の厚みは0.2μmから2μmの範囲であり、より好ましくは0.5μmから1μmの範囲である。
[Binder layer]
The light-sensitive material according to the present invention preferably has a binder layer below the emulsion layer. Here, the lower layer means that the distance from the support is closer and located on the same plane. In the present invention, a binder layer comprising a hydrophilic colloid layer can be preferably placed below the silver salt emulsion layer.
Gelatin is advantageously used as the binder, but other hydrophilic colloids can also be used. For example, gelatin derivatives, graft polymers of gelatin and other polymers, proteins such as albumin and casein, cellulose derivatives such as hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, cellulose sulfates, sugar derivatives such as sodium alginate and starch derivatives, polyvinyl alcohol Polyvinyl alcohol partial acetals, poly-N-vinylpyrrolidone, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polyacrylamide, polyvinylimidazole, polyvinylpyrazole, and other synthetic hydrophilic polymer materials such as single or copolymer are used. be able to. In addition to lime-processed gelatin, acid-processed gelatin may be used as gelatin, and gelatin hydrolyzate and gelatin enzyme-decomposed product can also be used. In the light-sensitive material of the present invention, when a binder layer is provided below the silver salt emulsion layer, the preferred binder layer thickness is in the range of 0.2 μm to 2 μm, more preferably in the range of 0.5 μm to 1 μm.

本発明における感光材料に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限は無く、例えば
下記公報等に記載されたものを好ましく用いることができる。
There are no particular restrictions on the various additives used in the light-sensitive material in the present invention, and for example, those described in the following publications can be preferably used.

1)造核促進剤
上記造核促進剤としては、特開平6−82943号公報に記載の一般式(I)、(II)、(III)、(IV)、(V)、(VI)の化合物や、特開平2−103536号公報第9頁右上欄13行目から同第16頁左上欄10行目の一般式(II−m)〜(II−p)および化合物例II−1〜II−22、並びに、特開平1−179939号公報に記載の化合物が挙げられる。
1) Nucleation promoter The nucleation promoter is represented by the general formulas (I), (II), (III), (IV), (V), (VI) described in JP-A-6-82934. Compounds, general formulas (II-m) to (II-p) and compound examples II-1 to II in page 9, upper right column, line 13 to page 16, upper left column, line 10 of JP-A-2-103536. -22, and compounds described in JP-A-1-179939.

2)分光増感色素
上記分光増感色素としては、特開平2−12236号公報第8頁左下欄13行目から同右下欄4行目、同2−103536号公報第16頁右下欄3行目から同第17頁左下欄20行目、さらに特開平1−112235号、同2−124560号、同3−7928号、および同5−11389号各公報に記載の分光増感色素が挙げられる。
2) Spectral sensitizing dye As the above spectral sensitizing dye, JP-A-2-12236, page 8, lower left column, line 13 to the lower right column, line 4 and JP-A-2-103536, page 16, lower right column 3 Spectral sensitizing dyes described in JP-A-1-112235, JP-A-2-124560, JP-A-3-7928, and JP-A-5-11389 are listed from the first line to the lower left column, line 20, from page 17. It is done.

3)界面活性剤
上記界面活性剤としては、特開平2−12236号公報第9頁右上欄7行目から同右下欄7行目、および特開平2−18542号公報第2頁左下欄13行目から同第4頁右下欄18行目に記載の界面活性剤が挙げられる。
3) Surfactant As the surfactant, JP-A-2-12236, page 9, upper right column, line 7 to lower-right column, line 7 and JP-A-2-18542, page 2, lower-left column, line 13 From the eyes, the surfactants described on page 18, lower right column, line 18 can be mentioned.

4)カブリ防止剤
上記カブリ防止剤としては、特開平2−103536号公報第17頁右下欄19行目から同第18頁右上欄4行目および同右下欄1行目から5行目、さらに特開平1−237538号公報に記載のチオスルフィン酸化合物が挙げられる。
4) Antifoggant As the antifoggant, JP-A-2-103536, page 17, lower right column, line 19 to page 18, upper right column, line 4 and lower right column, lines 1 to 5, Further, thiosulfinic acid compounds described in JP-A-1-237538 can be mentioned.

5)ポリマーラテックス
上記ポリマーラテックスとしては、特開平2−103536号公報第18頁左下欄12行目から同20行目に記載のものが挙げられる。
5) Polymer Latex Examples of the polymer latex include those described in JP-A-2-103536, page 18, lower left column, lines 12 to 20.

6)酸基を有する化合物
上記酸基を有する化合物としては、特開平2−103536号公報第18頁右下欄6行目から同第19頁左上欄1行目に記載の化合物が挙げられる。
7)マット剤、滑り剤
上記マット剤としては、特開平2−103536号公報第19頁左上欄15行目から同第19頁右上欄15行目に記載の化合物が挙げられる。
8)硬膜剤
上記硬膜剤としては、特開平2−103536号公報第18頁右上欄5行目から同第17行目に記載の化合物が挙げられる。
9)染料
上記染料としては、特開平2−103536号公報第17頁右下欄1行目から同18行目の染料、同2−294638号公報および特開平5−11382号公報に記載の固体染料が挙げられる。
6) Compound having an acid group Examples of the compound having an acid group include compounds described in JP-A-2-103536, page 18, lower right column, line 6 to page 19, upper left column, line 1.
7) Matting agent and slipping agent Examples of the matting agent include compounds described in JP-A-2-103536, page 19, upper left column, line 15 to page 19, upper right column, line 15.
8) Hardener As the above hardener, compounds described in JP-A-2-103536, page 18, upper right column, lines 5 to 17 can be mentioned.
9) Dye As the above-mentioned dye, a dye described in JP-A-2-103536, page 17, lower right column, lines 1 to 18 and solids described in JP-A-2-294638 and JP-A-5-11382. Dyes.

10)バインダー
上記バインダーとしては、特開平2−18542号公報第3頁右下欄1行目から20行目に記載のものが挙げられる。
11)黒ポツ防止剤
上記黒ポツ防止剤とは、未露光部に点状の現像銀が発生することを抑制する化合物であり、例えば、米国特許US第4956257号明細書および特開平1−118832号公報に記載の化合物が挙げられる。
12)レドックス化合物
レドックス化合物としては、特開平2−301743号公報の一般式(I)で表される化合物(特に化合物例1ないし50)、同3−174143号公報第3頁ないし第20頁に記載の一般式(R−1)、(R−2)、(R−3)、化合物例1ないし75、さらに特開平5−257239号、同4−278939号各公報に記載の化合物が挙げられる。
13)モノメチン化合物
上記モノメチン化合物としては、特開平2−287532号公報の一般式(II)の化合物(特に化合物例II−1ないしII−26)が挙げられる。
14)ジヒドロキシベンゼン類
特開平3−39948号公報第11頁左上欄から第12頁左下欄の記載、および欧州特許公開EP452772A号公報に記載の化合物が挙げられる。
10) Binder Examples of the binder include those described in JP-A-2-18542, page 3, lower right column, lines 1 to 20.
11) Black spot preventing agent The above black spot preventing agent is a compound that suppresses the generation of spot-like developed silver in the unexposed areas. For example, U.S. Pat. No. 4,956,257 and JP-A-1-118832. And the compounds described in the publication No ..
12) Redox compounds As redox compounds, compounds represented by general formula (I) of JP-A-2-301743 (especially compound examples 1 to 50), JP-A-3-174143, pages 3 to 20 Examples include general formulas (R-1), (R-2), (R-3), compound examples 1 to 75, and compounds described in JP-A-5-257239 and 4-278939. .
13) Monomethine Compound Examples of the monomethine compound include compounds of the general formula (II) of JP-A-2-287532 (particularly compound examples II-1 to II-26).
14) Dihydroxybenzenes The compounds described in JP-A-3-39948, page 11, upper left column to page 12, lower left column, and European Patent Publication EP452772A can be mentioned.

<<導電性膜の製造方法>>
上記の感光材料を用いて、透光性電磁波シールド膜として好適な導電性膜の製造方法について説明する。
本発明の導電性膜の製造方法は、支持体上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層とを有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、さらに前記金属銀部に物理現像および/またはメッキ処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持させることを特徴とする。
なお、本発明によって得られる導電性膜は、パターン露光によって金属が支持体上に形成されたものだけでなく、面露光によって金属が形成されたものであってもよい。
<< Method of manufacturing conductive film >>
A method for producing a conductive film suitable as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film using the above photosensitive material will be described.
In the method for producing a conductive film of the present invention, a photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt is exposed on a support and subjected to a development treatment, whereby an exposed area and an unexposed area are respectively obtained. A metallic silver part and a light-transmitting part are formed, and a conductive metal is supported on the metallic silver part by further subjecting the metallic silver part to physical development and / or plating treatment.
The conductive film obtained by the present invention is not limited to the metal formed on the support by pattern exposure, but may be the one formed by surface exposure.

本発明の導電性膜の好ましい製造方法は、感光材料と現像処理の形態によって、次の3
通りの形態が含まれる。
(1)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(2)物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(3)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。
上記(1)の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に透光性電磁波シールド膜などの透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は熱現像であり、高比表面のフィラメントである点で後続するメッキ又は物理現像過程で活性が高い。
上記(2)の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に透光性電磁波シールド膜や光透過性導電膜などの透光性導電性膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比表面は小さい球形である。
上記(3)の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に透光性電磁波シールド膜や光透過性導電膜などの透光性導電性膜が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
いずれの態様もネガ型現像処理および反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる(拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる)。
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、及び拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」(共立出版社刊行)、C.E.K.Mees編「The Theory of Photographic Prosess, 4th ed.」に解説されている。本件は液処理であるが、その他の出願については現像
方式として、熱現像方式も適用される。例えば、特開2004−184693号、同2004−334077号、同2005−010752号、特願2004−244080号、同2004−085655号公報等が適用できる。
A preferred method for producing the conductive film of the present invention includes the following three types depending on the photosensitive material and the form of development processing.
Street forms are included.
(1) A mode in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material not containing physical development nuclei is chemically developed or thermally developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(2) An embodiment in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material containing physical development nuclei in a silver halide emulsion layer is dissolved and physically developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(3) A photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material that does not contain physical development nuclei and an image-receiving sheet having a non-photosensitive layer that contains physical development nuclei are overlaid and diffused and transferred to develop a metallic silver portion on the non-photosensitive image-receiving sheet. Form formed on top.
The aspect (1) is an integrated black-and-white development type, and a light-transmitting conductive film such as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film is formed on the photosensitive material. The resulting developed silver is chemically developed silver or heat developed and is highly active in the subsequent plating or physical development process in that it is a filament with a high specific surface.
In the above aspect (2), in the exposed portion, the silver halide grains close to the physical development nucleus are dissolved and deposited on the development nucleus, whereby a light-transmitting electromagnetic wave shielding film or a light-transmitting conductive film is formed on the photosensitive material. A translucent conductive film such as is formed. This is also an integrated black-and-white development type. Although the developing action is precipitation on physical development nuclei, it is highly active, but developed silver has a spherical shape with a small specific surface.
In the above aspect (3), the silver halide grains are dissolved and diffused in the unexposed area and deposited on the development nuclei on the image receiving sheet, whereby a light transmitting electromagnetic wave shielding film or a light transmitting conductive film is formed on the image receiving sheet. A translucent conductive film such as a film is formed. This is a so-called separate type in which the image receiving sheet is peeled off from the photosensitive material.
In any embodiment, either negative development processing or reversal development processing can be selected (in the case of the diffusion transfer system, negative development processing is possible by using an auto-positive type photosensitive material as the photosensitive material). .
The chemical development, thermal development, dissolution physical development, and diffusion transfer development referred to here have the same meanings as are commonly used in the art, and a general textbook of photographic chemistry such as Shinichi Kikuchi, “Photochemistry” (Kyoritsu) Published by publisher), C.I. E. K. It is described in “The Theory of Photographic Prosess, 4th ed.” Edited by Mees. Although this case is a liquid processing, a thermal development method is also applied as a development method for other applications. For example, JP-A Nos. 2004-184893, 2004-334077, 2005-010752, Japanese Patent Application Nos. 2004-244080, and 2004-085655 can be applied.

[露光]
本発明では、支持体上に設けられた銀塩含有層またはフォトリソグラフィー用フォトポリマーを塗工した感光材料への露光を行うことが好ましい。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線などの光、X線などの放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。
[exposure]
In the present invention, it is preferable to carry out exposure to a photosensitive material coated with a silver salt-containing layer or a photopolymer for photolithography provided on a support. The exposure can be performed using electromagnetic waves. Examples of the electromagnetic wave include light such as visible light and ultraviolet light, and radiation such as X-rays. Furthermore, a light source having a wavelength distribution may be used for exposure, or a light source having a specific wavelength may be used.

上記光源としては、必要に応じて可視スペクトル領域に発光を示す各種発光体が用いられる。例えば、赤色発光体、緑色発光体、青色発光体のいずれか1種又は2種以上が混合されて用いられる。スペクトル領域は、上記の赤色、緑色及び青色に限定されず、黄色、橙色、紫色或いは赤外領域に発光する蛍光体も用いられる。特に、これらの発光体を混合して白色に発光する陰極線管がしばしば用いられる。また、紫外線ランプも好ましく、水銀ランプのg線、水銀ランプのi線等も利用される。   As the light source, various light emitters that emit light in the visible spectrum region are used as necessary. For example, any one or two or more of a red light emitter, a green light emitter, and a blue light emitter are used. The spectral region is not limited to the above red, green, and blue, and phosphors that emit light in the yellow, orange, purple, or infrared region are also used. In particular, a cathode ray tube that emits white light by mixing these light emitters is often used. An ultraviolet lamp is also preferable, and g-line of a mercury lamp, i-line of a mercury lamp, etc. are also used.

また本発明では、露光は種々のレーザービームを用いて行うことが好ましい。例えば、本発明における露光は、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源(SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく用いることができ、さらにKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2レーザー等も用いることができる。システムをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源(SHG)を用いて行うことがより好ましい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、露光は半導体レーザーを用いて行うことが最も好ましい。
露光のエネルギーとしては、ハロゲン化銀を用いる場合には、1mJ/cm2以下が好
ましく、100μJ/cm2以下がより好ましく、50μJ/cm2以下がさらに好ましい。最も好ましくは40μJ/cm2以下4μJ/cm2以上である。
In the present invention, exposure is preferably performed using various laser beams. For example, the exposure in the present invention is a monochromatic light source such as a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic light source (SHG) that combines a solid-state laser using a semiconductor laser as an excitation light source and a nonlinear optical crystal. A scanning exposure method using high-density light can be preferably used, and a KrF excimer laser, ArF excimer laser, F2 laser, or the like can also be used. In order to make the system compact and inexpensive, exposure is more preferably performed using a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic generation light source (SHG) that combines a solid-state laser and a nonlinear optical crystal. In order to design an apparatus that is particularly compact, inexpensive, long-life, and highly stable, it is most preferable to perform exposure using a semiconductor laser.
The energy of the exposure, in the case of using the silver halide is preferably from 1 mJ / cm 2 or less, more preferably 100 .mu.J / cm 2 or less, more preferably 50μJ / cm 2 or less. Most preferably, it is 40 μJ / cm 2 or less and 4 μJ / cm 2 or more.

レーザー光源としては、具体的には、波長390〜460nmの青色半導体レーザー(2001年3月の第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表のものなど)、半導体レーザー(発振波長約1060nm)を導波路状の反転ドメイン構造を有するLiNbO3のSHG結晶により波長変換して取り出した約530nmの緑色レーザー、波長約6
85nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6738MG)、波長約650nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6501MG)などが好ましく用いられる。より高精細な細線描画を目的とする場合には420nm以下が好ましく、安価で安定な細
線描画方式を目的とする場合には600nm以上が好ましい。
Specifically, as a laser light source, a blue semiconductor laser having a wavelength of 390 to 460 nm (such as that announced by Nichia Chemical at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001), a semiconductor laser (with an oscillation wavelength of about 1060 nm), a green laser with a wavelength of about 530 nm and a wavelength of about 6 extracted from a wavelength-converted LiNbO 3 SHG crystal having a waveguide inversion domain structure.
An 85 nm red semiconductor laser (Hitachi type No. HL6738MG), a red semiconductor laser having a wavelength of about 650 nm (Hitachi type No. HL6501MG) and the like are preferably used. When aiming at finer fine line drawing, 420 nm or less is preferable, and when aiming at an inexpensive and stable thin line drawing method, 600 nm or more is preferable.

銀塩含有層をパターン状に露光する方法は、レーザービームによる走査露光が好ましい。特開2000-39677号公報記載のレーザー走査露光装置が好ましく、さらには該露光装置においてポリゴンミラーの回転によるビーム走査の代わりに特開2004-1224号公報記載のDMDを光ビーム走査系に用いることも好ましい。特開2004-1244号公報記載のDMD(デジタル・ミラー・デバイス)露光ヘッドは、支持体搬送方向に対して交差するものである。この露光ヘッドは、光ビームを照射する照射装置と、各々制御信号に応じて光変調状態が変化する多数の画素部が基板上に2次元状に配列され、前記照射装置から照射された光ビームを変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制御信号によって制御する制御手段と、
各画素部で変調された光ビームを露光面上に結像させる光学系とを備えている。
支持体搬送方式としてはキャプスタン方式および塗布装置やスリットロール製造装置に見られるような、サクションロールによる支持体駆動方式も好ましい。特に支持体長が数百メートルにおよぶ場合には蛇行抑制機構を併用することが好ましい。
The method of exposing the silver salt-containing layer in a pattern is preferably scanning exposure using a laser beam. The laser scanning exposure apparatus described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-39677 is preferable, and the DMD described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-1224 is used in the light beam scanning system instead of the beam scanning by rotating the polygon mirror in the exposure apparatus. Is also preferable. The DMD (digital mirror device) exposure head described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1244 intersects the support conveyance direction. The exposure head includes an irradiation device that irradiates a light beam, and a plurality of pixel units whose light modulation states change according to control signals, which are two-dimensionally arranged on a substrate, and the light beam emitted from the irradiation device. A spatial light modulation element that modulates each of the plurality of pixel units less than the total number of pixel units arranged on the substrate by a control signal generated according to exposure information;
And an optical system that forms an image on the exposure surface of the light beam modulated in each pixel unit.
As the support transport system, a capstan system and a support drive system using a suction roll as found in a coating apparatus and a slit roll manufacturing apparatus are also preferable. In particular, when the support length is several hundred meters, it is preferable to use a meandering suppression mechanism in combination.

乳剤層をパターン状に露光する方法は、フォトマスクを利用した面露光で行ってもよいし、レーザービームによる走査露光で行ってもよい。この際、レンズを用いた屈折式露光でも反射鏡を用いた反射式露光でもよく、コンタクト露光、プロキシミティー露光、縮小投影露光、反射投影露光などの露光方式を用いることができる。   The method of exposing the emulsion layer in a pattern may be performed by surface exposure using a photomask or by scanning exposure using a laser beam. At this time, refractive exposure using a lens or reflection exposure using a reflecting mirror may be used, and exposure methods such as contact exposure, proximity exposure, reduced projection exposure, and reflection projection exposure can be used.

本発明においてメッシュが実質的に平行である直線状細線の交差するパターンとは、いわゆる格子模様を意味し、格子を構成する隣り合う直線が平行または平行±2°以内の場
合をいう。
In the present invention, the pattern of intersecting linear thin lines in which meshes are substantially parallel means a so-called lattice pattern, and refers to a case where adjacent straight lines constituting the lattice are parallel or parallel within ± 2 °.

露光は、上述の感光材料を搬送しながら光ビームで走査することにより行うことが好ましい。   The exposure is preferably performed by scanning with the light beam while conveying the above-described photosensitive material.

光ビームの主走査の方向が、感光材料の搬送方向に垂直であることが好ましい。また、光ビームは、その光強度が走査露光中に実質的に0である状態を含めて2値以上とるものであってもよいし、1値のみとるものであってもよい。   The main scanning direction of the light beam is preferably perpendicular to the conveyance direction of the photosensitive material. Further, the light beam may have a binary value or more including a state where the light intensity is substantially 0 during scanning exposure, or may have only a single value.

該光ビームの走査方法としては、搬送方向に対して実質的に垂直な方向に配列したライン状の光源または回転ポリゴンミラーによって露光する方法が好ましい。この場合、光ビームは2値以上の強度変調を行う必要があり、直線はドットの連続としてパターニングさ
れる。ドットの連続であるため一ドットの細線の縁は階段状になるが、細線の太さはくびれた部分の一番狭い長さを意味する。
As a scanning method of the light beam, a method of exposing with a linear light source or a rotating polygon mirror arranged in a direction substantially perpendicular to the transport direction is preferable. In this case, the light beam needs to be intensity-modulated by two or more values, and the straight line is patterned as a series of dots. Since the dots are continuous, the edge of the fine line of one dot is stepped, but the thickness of the fine line means the narrowest length of the constricted part.

該光ビームの走査方法のもう一つの方式として、格子パターンの傾きに合わせて搬送方向に対して走査方向を傾かせたビームを走査することも好ましい。この場合、2つの走査光ビームを直交するように配列することが好ましく。光ビームは露光面状では実質的に1
値の強度をとる。
As another method of scanning the light beam, it is also preferable to scan a beam whose scanning direction is inclined with respect to the conveyance direction in accordance with the inclination of the grating pattern. In this case, it is preferable to arrange the two scanning light beams so as to be orthogonal to each other. The light beam is substantially 1 on the exposed surface.
Take the intensity of the value.

また、キャプスタン方式において、所望のパターンを有するフォトマスクを介してレーザー露光を行う露光方式も好ましい態様である。この場合、レーザービーム径は最終的に得たいメッシュ線幅よりも太くてよい特徴がある。また、この場合、フォトマスクは微細パターンを得る場合であっても感光材料に密着させることなく微細パターンが得られる利点があり、高額なフォトマスクのランニングコストを低減することが可能となる。また、プラズマディスプレイ用の電磁波シールドフィルムのメッシュ形成のために、当業界で利用されている面露光の為のフォトマスクと異なり、ディスプレイサイズよりも小さなサイズのフォトマスクで十分でもある。   In the capstan method, an exposure method in which laser exposure is performed through a photomask having a desired pattern is also a preferable aspect. In this case, there is a feature that the laser beam diameter may be larger than the mesh line width to be finally obtained. In this case, the photomask has an advantage that a fine pattern can be obtained without being in close contact with the photosensitive material even when a fine pattern is obtained, and the running cost of the expensive photomask can be reduced. In addition, a photomask having a size smaller than the display size is sufficient for forming a mesh of an electromagnetic wave shielding film for a plasma display, unlike a photomask for surface exposure used in the industry.

本発明においてメッシュパターンは搬送方向に対して30°から60°傾かせることが好ましい。より好ましくは40°から50°であり、最も好ましくは43°から47°である。これはメッシュパターンが枠に対して45°程度の傾きとなるマスクの作成が一般的に難しく、ムラが出やすい或いは価格が高いなどの問題を生じやすいのに対して、本方式はむしろ45°付近にてムラが出にくいため、本発明の効果がマスク密着露光方式のフォトリソグラフィーやスクリーン印刷によるパターニング対してより顕著な効果がある。   In the present invention, the mesh pattern is preferably inclined by 30 ° to 60 ° with respect to the conveying direction. More preferably, it is 40 ° to 50 °, and most preferably 43 ° to 47 °. This is because it is generally difficult to create a mask whose mesh pattern has an inclination of about 45 ° with respect to the frame, and this method tends to cause problems such as unevenness and high price. Since unevenness does not easily occur in the vicinity, the effect of the present invention is more remarkable for patterning by photolithography or screen printing using a mask contact exposure method.

[現像処理]
本発明では、乳剤層を露光した後、行われる現像処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、
印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フィルム社製のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社製のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72などの現像液、またはそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。
リス現像液としては、KODAK社製のD85などを用いることができる。本発明では、上記の露光および現像処理を行うことにより露光部に金属銀部、好ましくはパターン状金属銀部が形成されると共に、未露光部に後述する光透過性部が形成される。
[Development processing]
In the present invention, after the emulsion layer is exposed, the development process is performed using a silver salt photographic film, photographic paper,
Conventional development processing techniques used for printing plate making films, emulsion masks for photomasks, and the like can be used. The developer is not particularly limited, but PQ developer, MQ developer, MAA developer and the like can also be used. Commercially available products include, for example, CN-16, CR-56, CP45X, FD manufactured by Fuji Film Co., Ltd. -3, Papitol, a developer such as C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72 manufactured by KODAK, or a developer included in the kit can be used. A lith developer can also be used.
As the lith developer, KODAK D85 or the like can be used. In the present invention, by performing the above exposure and development processing, a metal silver portion, preferably a patterned metal silver portion, is formed in the exposed portion, and a light transmissive portion described later is formed in the unexposed portion.

<現像処理工程>
本発明の製造方法においては、前記した現像液のいずれをも用いることができるが、好ましくは黒白現像液である。現像主薬としてはカラー現像主薬や黒白系現像主薬が好ましく、とくに好ましくはアスコルビン酸系現像主薬やジヒドロキシベンゼン系現像主薬を用いることができる。アスコルビン酸系現像主薬としてはアスコルビン酸、イソアスコルビン酸やエリソルビン酸やその塩(Na塩等)などがあげられるがコストの点からエリソルビン酸Naが好ましい。ジヒドロキシベンゼン系現像主薬としてはハイドロキノン、クロロハイドロキノン、イソプロピルハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノスルホン酸塩などが挙げられるが、特にハイドロキノンが好ましい。アスコルビン酸系現像主薬やジヒドロキシベンゼン系現像主薬は特に超加成性を示す補助現像主薬と併用してもよいがしなくても良い。上記アスコルビン酸系現像主薬やジヒドロキシベンゼン系現像主薬と超加成性を示す補助現像主薬としては、1−フェニル−3−ピラゾリドン類やp−アミノフェノール類が挙げられる。
<Development process>
In the production method of the present invention, any of the developers described above can be used, but a black and white developer is preferred. As the developing agent, a color developing agent or a black and white developing agent is preferable, and an ascorbic acid developing agent or a dihydroxybenzene developing agent can be used particularly preferably. Examples of the ascorbic acid developing agent include ascorbic acid, isoascorbic acid, erythorbic acid and salts thereof (Na salt, etc.), but Na erythorbate is preferred from the viewpoint of cost. Examples of the dihydroxybenzene developing agent include hydroquinone, chlorohydroquinone, isopropyl hydroquinone, methyl hydroquinone, hydroquinone monosulfonate, and the like, and hydroquinone is particularly preferable. Ascorbic acid developing agents and dihydroxybenzene developing agents may or may not be used in combination with an auxiliary developing agent exhibiting superadditivity. Examples of the auxiliary developing agent exhibiting superadditivity with the ascorbic acid developing agent and dihydroxybenzene developing agent include 1-phenyl-3-pyrazolidones and p-aminophenols.

補助現像主薬として用いられる1−フェニル−3−ピラゾリドンまたはその誘導体としては、具体的に、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドンなどがある。
上記p−アミノフェノール系補助現像主薬としては、N−メチル−p−アミノフェノール、p−アミノフェノール、N−(β−ヒドロキシエチル)−p−アミノフェノール、N−(4−ヒドロキシフェニル)グリシン等があるが、なかでもN−メチル−p−アミノフェノールが好ましい。
ジヒドロキシベンゼン系現像主薬は、通常0.05〜0.8モル/リットルの量で用いられるのが好ましいが、本発明においては、0.23モル/リットル以上で使用するのが特に好ましい。さらに好ましくは、0.23〜0.6モル/リットルの範囲である。またジヒドロキシベンゼン類と1−フェニル−3−ピラゾリドン類若しくはp−アミノフェノール類との組合せを用いる場合には、前者を0.23〜0.6モル/リットル、さらに好ましくは0.23〜0.5モル/リットル、後者を0.06モル/リットル以下、さらに好ましくは0.03モル/リットル〜0.003モル/リットルの量で用いるのが好ましい。
Specific examples of 1-phenyl-3-pyrazolidone or a derivative thereof used as an auxiliary developing agent include 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, and 1-phenyl-4. -Methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone and the like.
Examples of the p-aminophenol auxiliary developing agent include N-methyl-p-aminophenol, p-aminophenol, N- (β-hydroxyethyl) -p-aminophenol, N- (4-hydroxyphenyl) glycine and the like. Among them, N-methyl-p-aminophenol is preferable.
The dihydroxybenzene-based developing agent is usually preferably used in an amount of 0.05 to 0.8 mol / liter, but in the present invention, it is particularly preferably used at 0.23 mol / liter or more. More preferably, it is the range of 0.23-0.6 mol / liter. When a combination of dihydroxybenzenes and 1-phenyl-3-pyrazolidones or p-aminophenols is used, the former is 0.23-0.6 mol / liter, more preferably 0.23-0. It is preferable to use 5 mol / liter, and the latter in an amount of 0.06 mol / liter or less, more preferably 0.03 mol / liter to 0.003 mol / liter.

本発明においては、現像開始液(すなわち現像槽に新液として充填される母液)および現像補充液の双方が、それぞれ液1リットルに0.1モルの水酸化ナトリウムを加えたときのpH上昇が0.5以下であるpH緩衝能を有することが好ましい。使用する現像開始
液ないし現像補充液がこのpH緩衝能を有することを確かめる方法としては、試験対象の
現像開始液ないし現像補充液のpHを10.5に合わせ、ついでこの液1リットルに水酸化ナトリウムを0.1モル添加し、この際の液のpH値を測定し、pH値の上昇が0.5以下であれば上記に規定したpH緩衝能を有すると判定する。本発明の製造方法では、特
に、上記試験を行った時のpH値の上昇が0.4以下である現像開始液および現像補充液を用いることが好ましい。
In the present invention, both the development starter (that is, the mother liquor charged as a new solution in the developing tank) and the development replenisher have a pH increase when 0.1 mol of sodium hydroxide is added to 1 liter of the solution. It preferably has a pH buffering capacity of 0.5 or less. As a method for confirming that the development starting solution or development replenisher used has this pH buffering capacity, the pH of the development starting solution or development replenisher to be tested is adjusted to 10.5, and then 1 liter of this solution is hydroxylated. 0.1 mol of sodium is added, the pH value of the liquid at this time is measured, and if the increase in pH value is 0.5 or less, it is determined that it has the pH buffering ability defined above. In the production method of the present invention, it is particularly preferable to use a development starter and a development replenisher whose pH value rises to 0.4 or less when the above test is performed.

現像開始液および現像補充液に上記の性質を与える方法としては、緩衝剤を使用することが好ましい。上記緩衝剤としては、炭酸塩、特開昭62−186259号公報に記載のホウ酸、特開昭60−93433号公報に記載の糖類(例えばサッカロース)、オキシム類(例えばアセトオキシム)、フェノール類(例えば5−スルホサリチル酸)、第3リン酸塩(例えばナトリウム塩、カリウム塩)などを用いることができ、好ましくは炭酸塩、ホウ酸が用いられる。上記緩衝剤(特に炭酸塩)の使用量は、好ましくは、0.25モル/リットル以上であり、0.25〜1.5モル/リットルが特に好ましい。   As a method for imparting the above properties to the development initiator and the development replenisher, it is preferable to use a buffer. Examples of the buffer include carbonates, boric acid described in JP-A-62-286259, saccharides (for example, saccharose), oximes (for example, acetoxime), and phenols described in JP-A-60-93433. (For example, 5-sulfosalicylic acid), tertiary phosphate (for example, sodium salt, potassium salt) and the like can be used, and carbonate and boric acid are preferably used. The amount of the buffer (particularly carbonate) used is preferably 0.25 mol / liter or more, and particularly preferably 0.25 to 1.5 mol / liter.

本発明においては、上記現像開始液のpHが9.0〜11.0であることが好ましく、9.5〜10.7の範囲であることが特に好ましい。上記現像補充液のpHおよび連続処理時の現像タンク内の現像液のpHもこの範囲である。pH設定のために用いるアルカリ剤には通常の水溶性無機アルカリ金属塩(例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)を用いることができる。   In the present invention, the pH of the development initiator is preferably 9.0 to 11.0, and particularly preferably 9.5 to 10.7. The pH of the developer replenisher and the pH of the developer in the developer tank during continuous processing are also in this range. As the alkali agent used for pH setting, a usual water-soluble inorganic alkali metal salt (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate) can be used.

本発明の光透過性導電膜や電磁波シールド膜の製造方法において、感光材料1平方メートルを処理する際に、現像液中の現像補充液の添加量(補充量)は645ミリリットル以下、好ましくは484〜30ミリリットル、特に484〜100ミリリットルである。現像補充液は、現像開始液と同一の組成を有していてもよいが、現像で消費される成分について消費量を補償するに見合う量だけ開始液よりも高い濃度を有していることが好ましい。   In the method for producing a light-transmitting conductive film or electromagnetic wave shielding film of the present invention, when processing 1 square meter of photosensitive material, the amount of developer replenisher added (replenisher) in the developer is 645 ml or less, preferably 484 to 30 milliliters, especially 484-100 milliliters. The development replenisher may have the same composition as the development starter, but may have a higher concentration than the starter by an amount commensurate with compensating consumption for the components consumed in development. preferable.

本発明で感光材料を現像処理する際の現像液(以下、現像開始液および現像補充液の双方をまとめて単に「現像液」という場合がある)には、通常用いられる添加剤(例えば、保恒剤、キレート剤)を含有することができる。上記保恒剤としては亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、亜硫酸リチウム、亜硫酸アンモニウム、重亜硫酸ナトリウム、メタ重亜硫酸カリウム、ホルムアルデヒド重亜硫酸ナトリウムなどの亜硫酸塩が挙げられる。該亜硫酸塩は、0.20モル/リットル以上用いられることが好ましく、さらに好ましくは0.3モル/リットル以上用いられるが、多量添加すると現像液中の銀汚れの原因になることがあるので、その上限は1.2モル/リットルとするのが望ましい。特に好ましくは、0.35〜0.7モル/リットルである。また、ジヒドロキシベンゼン系現像主薬の保恒剤として、亜硫酸塩と併用してアスコルビン酸誘導体を少量使用してもよい。ここでアスコルビン酸誘導体とは、前記した現像主薬としてのアスコルビン酸と同じであり、アスコルビン酸、および、その立体異性体であるエリソルビン酸やそのアルカリ金属塩(ナトリウム、カリウム塩)などを包含する。上記アスコルビン酸誘導体としては、エリソルビン酸ナトリウムを用いることが素材コストの点で好ましい。上記アスコルビン酸誘導体の添加量はジヒドロキシベンゼン系現像主薬に対して、モル比で0.03〜0.12の範囲が好ましく、特に好ましくは0.05〜0.10の範囲である。上記保恒剤としてアスコルビン酸誘導体を使用する場合には現像液中にホウ素化合物を含まないことが好ましい。   In the developing solution for developing the light-sensitive material in the present invention (hereinafter, both the development starting solution and the developing replenisher may be simply referred to as “developing solution”), commonly used additives (for example, retaining agents) are used. (Constant, chelating agent). Examples of the preservative include sulfites such as sodium sulfite, potassium sulfite, lithium sulfite, ammonium sulfite, sodium bisulfite, potassium metabisulfite, and sodium formaldehyde bisulfite. The sulfite is preferably used in an amount of 0.20 mol / liter or more, more preferably 0.3 mol / liter or more, but if added in a large amount, it may cause silver stains in the developer. The upper limit is desirably 1.2 mol / liter. Particularly preferred is 0.35 to 0.7 mol / liter. Further, as a preservative for a dihydroxybenzene developing agent, a small amount of an ascorbic acid derivative may be used in combination with sulfite. Here, the ascorbic acid derivative is the same as ascorbic acid as the developing agent described above, and includes ascorbic acid and its stereoisomer erythorbic acid and its alkali metal salts (sodium and potassium salts). As the ascorbic acid derivative, sodium erythorbate is preferably used in terms of material cost. The addition amount of the ascorbic acid derivative is preferably in the range of 0.03 to 0.12, and particularly preferably in the range of 0.05 to 0.10, with respect to the dihydroxybenzene-based developing agent. When an ascorbic acid derivative is used as the preservative, it is preferable that the developer does not contain a boron compound.

上記以外に現像剤に用いることのできる添加剤としては、臭化ナトリウム、臭化カリウムの如き現像抑制剤;エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジメチルホルムアミドの如き有機溶剤;ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン、イミダゾールまたはその誘導体等の現像促進剤や、メルカプト系化合物、インダゾール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾイミダゾール系化合物をカブリ防止剤または黒ポツ(black pepper)防止剤として含んでもよい。上記ベンゾイミダゾール系化合物としては、具体的に、5−ニトロインダゾール、5−p−ニトロベンゾイルアミノインダゾール、1−メチル−5−ニトロインダゾール、6−ニトロインダゾール、3−メチル−5−ニトロインダゾール、5−ニトロベンズイミダゾール、2−イソプロピル−5−ニトロベンズイミダゾール、5−ニトロベンズトリアゾール、4−〔(2−メルカプト−1,3,4−チアジアゾール−2−イル)チオ〕ブタンスルホン酸ナトリウム、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、メチルベンゾトリアゾール、5−メチルベンゾトリアゾール、2−メルカプトベンゾトリアゾールなどを挙げることができる。これらベンゾイミダゾール系化合物の含有量は、通常、現像液1リットル当り0.01〜10mmolであり、より好ましくは、0.1〜2mmolである。   Additives that can be used in the developer other than the above include development inhibitors such as sodium bromide and potassium bromide; organic solvents such as ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and dimethylformamide; diethanolamine, triethanolamine, and the like A development accelerator such as alkanolamine, imidazole or a derivative thereof, a mercapto compound, an indazole compound, a benzotriazole compound, or a benzimidazole compound may be included as an antifoggant or a black pepper inhibitor. Specific examples of the benzimidazole compound include 5-nitroindazole, 5-p-nitrobenzoylaminoindazole, 1-methyl-5-nitroindazole, 6-nitroindazole, 3-methyl-5-nitroindazole, 5 -Nitrobenzimidazole, 2-isopropyl-5-nitrobenzimidazole, 5-nitrobenztriazole, sodium 4-[(2-mercapto-1,3,4-thiadiazol-2-yl) thio] butanesulfonate, 5- Examples include amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, methylbenzotriazole, 5-methylbenzotriazole, and 2-mercaptobenzotriazole. The content of these benzimidazole compounds is usually from 0.01 to 10 mmol, more preferably from 0.1 to 2 mmol, per liter of developer.

さらに上記現像液中には、各種の有機・無機のキレート剤を併用することができる。上記無機キレート剤としては、テトラポリリン酸ナトリウム、ヘキサメタリン酸ナトリウム等を用いることができる。一方、上記有機キレート剤としては、主に有機カルボン酸、アミノポリカルボン酸、有機ホスホン酸、アミノホスホン酸および有機ホスホノカルボン酸を用いることができる。
上記有機カルボン酸としては、アクリル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、コハク酸、アシエライン酸、セバチン酸、ノナンジカルボン酸、デカンジカルボン酸、ウンデカンジカルボン酸、マレイン酸、イタコン酸、リンゴ酸、クエン酸、酒石酸等を挙げることができるがこれらに限定されるものではない。
Further, various organic and inorganic chelating agents can be used in combination in the developer. As said inorganic chelating agent, sodium tetrapolyphosphate, sodium hexametaphosphate, etc. can be used. On the other hand, as the organic chelating agent, organic carboxylic acid, aminopolycarboxylic acid, organic phosphonic acid, aminophosphonic acid and organic phosphonocarboxylic acid can be mainly used.
Examples of the above organic carboxylic acids include acrylic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, succinic acid, acileic acid, sebacic acid, nonanedicarboxylic acid, decanedicarboxylic acid, undecanedicarboxylic acid, maleic acid. Examples thereof include, but are not limited to, acid, itaconic acid, malic acid, citric acid, and tartaric acid.

上記アミノポリカルボン酸としては、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸、ニトリロ三プロピオン酸、エチレンジアミンモノヒドロキシエチル三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、グリコールエーテル四酢酸、1,2−ジアミノプロパン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、1,3−ジアミノ−2−プロパノール四酢酸、グリコールエーテルジアミン四酢酸、その他特開昭52−25632号、同55−67747号、同57−102624号の各公報、および特公昭53−40900号公報等に記載の化合物を挙げることができる。   Examples of the aminopolycarboxylic acid include iminodiacetic acid, nitrilotriacetic acid, nitrilotripropionic acid, ethylenediaminemonohydroxyethyltriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, glycol ether tetraacetic acid, 1,2-diaminopropanetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, Triethylenetetramine hexaacetic acid, 1,3-diamino-2-propanol tetraacetic acid, glycol ether diamine tetraacetic acid, other publications of JP-A Nos. 52-25632, 55-67747, 57-102624, and others Examples thereof include compounds described in JP-A-53-40900.

これらキレート剤の添加量としては、現像液1リットル当り好ましくは、1×10-4
〜1×10-1モル、より好ましくは1×10-3〜1×10-2モルである。
The amount of these chelating agents added is preferably 1 × 10 −4 per liter of the developer.
˜1 × 10 −1 mol, more preferably 1 × 10 −3 to 1 × 10 −2 mol.

さらに、現像液中に溶解助剤として特開昭61−267759号公報記載の化合物を用いることができる。さらに現像液には、必要に応じて色調剤、界面活性剤、消泡剤、硬膜剤等を含んでもよい。現像処理温度および時間は相互に関係し、全処理時間との関係において決定されるが、一般に現像温度は約20℃〜約50℃が好ましく、25〜45℃がさらに好ましい。また、現像時間は5秒〜2分が好ましく、7秒〜1分30秒がさらに好ましい。   Furthermore, the compounds described in JP-A No. 61-267759 can be used as a dissolution aid in the developer. Further, the developer may contain a color toning agent, a surfactant, an antifoaming agent, a hardening agent, and the like as necessary. The development processing temperature and time are related to each other and are determined in relation to the total processing time. In general, the development temperature is preferably from about 20 ° C. to about 50 ° C., more preferably from 25 to 45 ° C. The development time is preferably 5 seconds to 2 minutes, more preferably 7 seconds to 1 minute 30 seconds.

現像液の搬送コスト節減、包装材料コスト節減、省スペース等の目的から、現像液を濃縮化し、使用時に希釈して用いるようにする態様、すなわち液体濃縮現像剤として供給する態様も好ましい。現像液の濃縮化のためには、現像液に含まれる塩成分をカリウム塩化することが有効である。なお、ここでいう「現像液の濃縮化」とは当業界の慣用表現であって、「濃厚化」を意味するものであって、減圧蒸発などによる「濃縮」を意味するものではない。   For the purpose of reducing developer transport cost, packaging material cost, space saving, etc., an embodiment in which the developer is concentrated and diluted before use, that is, supplied as a liquid concentrated developer is also preferred. In order to concentrate the developer, it is effective to potassium salt the salt component contained in the developer. Note that “concentration of developer” here is a common expression in the industry and means “thickening”, and does not mean “concentration” by vacuum evaporation or the like.

本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、カラー写真用や黒白銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、X線写真フイルム用、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。   The development processing in the present invention can include a fixing processing performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the unexposed portion. For the fixing process in the present invention, a fixing process technique used for color photographs, black-and-white silver salt photographic films, photographic paper, printing plate-making films, X-ray photographic films, photomask emulsion masks, and the like can be used.

さらに、現像液中に銀汚れ防止剤として、特開昭56−24347号、特公昭56−46585号、特公昭62−2849号、特開平4−362942号の各公報記載の化合物を用いることができる。また、溶解助剤として特開昭61−267759号公報記載の化合物を用いることができる。さらに現像液には、必要に応じて色調剤、界面活性剤、消泡剤、硬膜剤等を含んでもよい。現像処理温度および時間は相互に関係し、全処理時間との関係において決定されるが、一般に現像温度は約20℃〜約50℃が好ましく、25〜45℃がさらに好ましい。また、現像時間は5秒〜2分が好ましく、7秒〜1分30秒がさらに好ましい。   Further, the compounds described in JP-A-56-24347, JP-B-56-46585, JP-B-62-2849, and JP-A-4-362294 can be used as a silver stain preventing agent in the developer. it can. Moreover, the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 61-267759 can be used as a solubilizing agent. Further, the developer may contain a color toning agent, a surfactant, an antifoaming agent, a hardening agent, and the like as necessary. The development processing temperature and time are related to each other and are determined in relation to the total processing time. In general, the development temperature is preferably from about 20 ° C. to about 50 ° C., more preferably from 25 to 45 ° C. The development time is preferably 5 seconds to 2 minutes, more preferably 7 seconds to 1 minute 30 seconds.

比較的高温度の高活性の迅速現像液を利用することも好ましく、このような場合、現像処理温度および時間は相互に関係し、全処理時間との関係において決定され、このような時間と温度の関係は、高活性の迅速現像液では、30〜60℃で5〜40秒で潜像を有する粒子の現像が完了する場合が多い。好ましい現像温度は30℃〜60℃であり、35〜55℃がさらに好ましい。また、現像時間は5秒〜40秒が好ましく、7秒〜30秒がさらに好ましい。   It is also preferable to utilize a high activity rapid developer at a relatively high temperature, in which case the development processing temperature and time are interrelated and are determined in relation to the total processing time, such time and temperature. In relation to the above, in a high-activity rapid developer, development of particles having a latent image is often completed at 30 to 60 ° C. in 5 to 40 seconds. The preferred development temperature is 30 ° C to 60 ° C, more preferably 35 ° C to 55 ° C. The development time is preferably 5 seconds to 40 seconds, and more preferably 7 seconds to 30 seconds.

<現像液>
本発明において、現像処理で用いられる現像液には、一般一般式(1)乃至(5)で表される化合物から選ばれる少なくとも一つを含有していることが好ましく、この化合物を含有することによって透光部(すなわち未露光部)に銀粒子やスラッジの付着、あるいは現像主薬の着色酸化体の染着による汚れが防止されて高い透明性が確保されると共に、金属銀部(すなわち露光部)には現像抑制が作用することなく所期量のパターン状金属銀が形成される。したがって、光透過性部と金属銀部とのパターンが鮮明であって高い導電性と光透過性とを併せ有する高品質の電波シールド膜や、高透光性の導電膜を形成して発明の目的を達成することができる。
はじめに、一般式(1)乃至(5)で表される化合物について説明する。
<Developer>
In the present invention, the developer used in the development processing preferably contains at least one selected from the compounds represented by the general formulas (1) to (5), and contains this compound. Prevents light particles and sludge from adhering to the translucent part (that is, the unexposed part) or staining due to the colored oxide of the developing agent, thereby ensuring high transparency and ensuring that the metallic silver part (that is, the exposed part). ), A desired amount of patterned metallic silver is formed without development inhibition. Therefore, a high-quality radio wave shielding film having a clear pattern of the light-transmitting portion and the metallic silver portion and having both high conductivity and light-transmitting property or a highly light-transmitting conductive film is formed. Aim can be achieved.
First, the compounds represented by the general formulas (1) to (5) will be described.

一般式(1)で表される化合物について詳細に説明する。一般式(1)において、DおよびEは各々独立に−CH=基、−C(R0)=基、または窒素原子を表し、ここにR0は置換基を表す。L1、L2、L3は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、または炭素原子、
窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子のいずれかで環に結合する任意の置換基を表し、L1〜L3は同じでも異なっていてもよい。但しL1、L2、L3、およびR1の少なくとも1つは、−SM基(Mはアルカリ金属原子、水素原子、アンモニウム基)を表す。なおEとDが、1つの窒素原子と1つの炭素原子を表す時は、Eが窒素原子でDが炭素原子(−CH=基もしくは−C(R0)=基)を表す。
The compound represented by the general formula (1) will be described in detail. In the general formula (1), D and E each independently represent —CH═ group, —C (R 0 ) = group, or a nitrogen atom, where R 0 represents a substituent. L 1 , L 2 , and L 3 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon atom,
An arbitrary substituent bonded to the ring is represented by any of a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom and a phosphorus atom, and L 1 to L 3 may be the same or different. Provided that at least one of L 1, L 2, L 3, and R 1 represents -SM group (M represents an alkali metal atom, a hydrogen atom, an ammonium group) a. When E and D represent one nitrogen atom and one carbon atom, E represents a nitrogen atom and D represents a carbon atom (—CH═group or —C (R 0 ) = group).

1、L2、L3で表される任意の置換基およびR0で表される置換基としては、具体的には、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子、または沃素原子)、アルキル基(アラルキル基、シクロアルキル基、活性メチン基等を含む)、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、複素環基、4級化された窒素原子を含むヘテロ環基(たとえばピリジニオ基)、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボキシ基またはその塩、スルホニルカルバモイル基、アシルカルバモイル基、スルファモイルカルバモイル基、カルバゾイル基、オキサリル基、オキサモイル基、シアノ基、チオカルバモイル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基(エチレンオキシ基もしくはプロピレンオキシ基単位を繰り返し含む基を含む)、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、(アルコキシもしくはアリールオキシ)カルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルホニルオキシ基、アミノ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)アミノ基、ヒドロキシアミノ基,N−置換の飽和もしくは不飽和の含窒素ヘテロ環基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、チオウレイド基、イミド基、(アルコキシもしくはアリールオキシ)カルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、セミカルバジド基、チオセミカルバジド基、ヒドラジノ基、4級のアンモニオ基、オキサモイルアミノ基、(アルキルもしくはアリール)スルホニルウレイド基、アシルウレイド基、アシルスルファモイルアミノ基、ニトロ基、メルカプト基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)チオ基、(アルキルまたはアリール)スルホニル基、(アルキルまたはアリール)スルフィニル基、スルホ基またはその塩、スルファモイル基、アシルスルファモイル基、スルホニルスルファモイル基またはその塩、リン酸アミドもしくはリン酸エステル構造を含む基、等が挙げられる。これらの置換基は、さらにこれらの置換基で置換されていてもよい。 Specific examples of the optional substituent represented by L 1 , L 2 , and L 3 and the substituent represented by R 0 include a halogen atom (a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, or an iodine atom), Alkyl group (including aralkyl group, cycloalkyl group, active methine group, etc.), alkenyl group, alkynyl group, aryl group, heterocyclic group, heterocyclic group containing quaternized nitrogen atom (for example, pyridinio group), acyl Group, alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, carbamoyl group, carboxy group or a salt thereof, sulfonylcarbamoyl group, acylcarbamoyl group, sulfamoylcarbamoyl group, carbazoyl group, oxalyl group, oxamoyl group, cyano group, thiocarbamoyl group, Hydroxy group, alkoxy group (repeat ethyleneoxy group or propyleneoxy group unit) Aryloxy group, heterocyclic oxy group, acyloxy group, (alkoxy or aryloxy) carbonyloxy group, carbamoyloxy group, sulfonyloxy group, amino group, (alkyl, aryl or heterocyclic) amino group , Hydroxyamino group, N-substituted saturated or unsaturated nitrogen-containing heterocyclic group, acylamino group, sulfonamide group, ureido group, thioureido group, imide group, (alkoxy or aryloxy) carbonylamino group, sulfamoylamino Group, semicarbazide group, thiosemicarbazide group, hydrazino group, quaternary ammonio group, oxamoylamino group, (alkyl or aryl) sulfonylureido group, acylureido group, acylsulfamoylamino group, nitro group, mercapto group, ( (Alkyl, aryl or heterocyclic) thio group, (alkyl or aryl) sulfonyl group, (alkyl or aryl) sulfinyl group, sulfo group or salt thereof, sulfamoyl group, acylsulfamoyl group, sulfonylsulfamoyl group or salt thereof, And a group containing a phosphoric acid amide or phosphoric acid ester structure. These substituents may be further substituted with these substituents.

1、L2、L3で表される任意の置換基およびR0で表される置換基としてより好ましくは、炭素数0〜15の置換基で、塩素原子、アルキル基、アリール基、複素環基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボキシ基またはその塩、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アミノ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)アミノ基、ヒドロキシアミノ基、N−置換の飽和もしくは不飽和の含窒素ヘテロ環基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、チオウレイド基、スルファモイルアミノ基、ニトロ基、メルカプト基、(アルキル、アリール、またはヘテロ環)チオ基、スルホ基またはその塩、スルファモイル基であり、さらに好ましくは、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボキシ基またはその塩、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アミノ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)アミノ基、ヒドロキシアミノ基、N−置換の飽和もしくは不飽和の含窒素ヘテロ環基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、チオウレイド基、スルファモイルアミノ基、メルカプト基、(アルキル、アリール、またはヘテロ環)チオ基、スルホ基またはその塩であり、最も好ましくはアミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アルキルチオ基、アルールチオ基、メルカプト基、カルボキシ基またはその塩、スルホ基またはその塩である。一般式(1)においてL1、L2、L3およびR0は、互いに結合して炭化水素環、ヘテロ環、芳香環が縮合した縮合環を形成していてもよい。 More preferably, the arbitrary substituents represented by L 1 , L 2 and L 3 and the substituent represented by R 0 are a substituent having 0 to 15 carbon atoms, such as a chlorine atom, an alkyl group, an aryl group, a complex A cyclic group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, a carbamoyl group, a carboxy group or a salt thereof, a cyano group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxy group, an amino group, an (alkyl, aryl or heterocyclic ring) amino group, a hydroxyamino group, N-substituted saturated or unsaturated nitrogen-containing heterocyclic group, acylamino group, sulfonamide group, ureido group, thioureido group, sulfamoylamino group, nitro group, mercapto group, (alkyl, aryl, or heterocyclic) thio Group, a sulfo group or a salt thereof, and a sulfamoyl group, more preferably an alkyl group, an aryl group, a heterocyclic group, An alkoxycarbonyl group, a carbamoyl group, a carboxy group or a salt thereof, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxy group, an amino group, an (alkyl, aryl or heterocyclic ring) amino group, a hydroxyamino group, an N-substituted saturated or unsaturated group Nitrogen-containing heterocyclic group, acylamino group, sulfonamido group, ureido group, thioureido group, sulfamoylamino group, mercapto group, (alkyl, aryl, or heterocyclic) thio group, sulfo group or a salt thereof, most preferred Is an amino group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkylamino group, an arylamino group, an alkylthio group, an arylthio group, a mercapto group, a carboxy group or a salt thereof, a sulfo group or a salt thereof. In the general formula (1), L 1 , L 2 , L 3 and R 0 may be bonded to each other to form a condensed ring in which a hydrocarbon ring, a hetero ring or an aromatic ring is condensed.

一般式(1)においてMはアルカリ金属原子、水素原子、アンモニウム基を表す。ここにアルカリ金属原子とは具体的に、Na、K、Li、Mg、Ca等であり、これらは−S-の対カチオンとして存在する。Mとして好ましくは、水素原子、アンモニウム基、Na+、またはK+であり、特に好ましくは水素原子である。一般式(1)の化合物のうち、次
の一般式(1−A)一般式(1−B)で表される化合物が好ましい。
In the general formula (1), M represents an alkali metal atom, a hydrogen atom, or an ammonium group. Here specifically the alkali metal atom is Na, K, Li, Mg, Ca, etc., they -S - present as a counter cation. M is preferably a hydrogen atom, an ammonium group, Na + , or K + , and particularly preferably a hydrogen atom. Of the compounds represented by the general formula (1), compounds represented by the following general formula (1-A) and general formula (1-B) are preferable.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

つぎに一般式(1−A)について詳細に説明する。R1〜R4は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、または炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子で環に結合する任意の置換基を表すが、これは一般式(1)のL1、L2、L3と同義の基であり、その好
ましい範囲もまた同じである。但し、R1およびR3がヒドロキシ基を表すことはない。R1〜R4は同じでも異なっていてもよいが、これらのうち少なくとも一つは−SM基である。Mは水素原子、アルカリ金属原子、アンモニウム基を表す。また、R1とR2は互いに結合して炭化水素環、ヘテロ環、芳香環が縮合した縮合環を形成していてもよい。
Next, the general formula (1-A) will be described in detail. R 1 to R 4 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an arbitrary substituent bonded to the ring by a carbon atom, a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom, which is represented by the general formula (1) Are the same groups as L 1 , L 2 and L 3, and their preferred ranges are also the same. However, R 1 and R 3 do not represent a hydroxy group. R 1 to R 4 may be the same or different, but at least one of them is a —SM group. M represents a hydrogen atom, an alkali metal atom, or an ammonium group. R 1 and R 2 may be bonded to each other to form a condensed ring in which a hydrocarbon ring, a hetero ring, or an aromatic ring is condensed.

一般式(1−A)においてR1〜R4の少なくとも1つは−SM基であるが、より好ましくはR1〜R4の少なくとも2つが−SM基である。R1〜R4の少なくとも2つが−SM基
である場合、好ましくはR4とR1、もしくはR4とR3が−SM基である。
In general formula (1-A), at least one of R 1 to R 4 is an —SM group, and more preferably at least two of R 1 to R 4 are —SM groups. When at least two of R 1 to R 4 are —SM groups, R 4 and R 1 , or R 4 and R 3 are preferably —SM groups.

本発明においては、一般式(1−A)で表される化合物のうち、下記一般式(1−A−1)〜(1−A−3)で表される化合物が特に好ましい。   In the present invention, among the compounds represented by the general formula (1-A), compounds represented by the following general formulas (1-A-1) to (1-A-3) are particularly preferable.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

一般式(1−A−1)において、R10はメルカプト基、水素原子、または任意の置換基を表し、Xは水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を表す。一般式(1−A−2)においてY1は水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を表し、R20は水素原子または任意の置換基を表す。一般式(1−A−3)においてY2は水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を表し、R30は水素原子または任意の置換基を表す。但し、R10およびY1がヒドロキシ基を表すことはない。 In the general formula (1-A-1), R 10 represents a mercapto group, a hydrogen atom, or an arbitrary substituent, and X represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group. In the general formula (1-A-2), Y 1 represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group, and R 20 represents a hydrogen atom or an arbitrary substituent. In the general formula (1-A-3), Y 2 represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group, and R 30 represents a hydrogen atom or an arbitrary substituent. However, R 10 and Y 1 do not represent a hydroxy group.

つぎに、一般式(1−A−1)〜(1−A−3)で表される化合物について詳しく説明する。
一般式(1−A−1)において、R10はメルカプト基、水素原子または任意の置換基を表す。ここで任意の置換基とは、一般式(1−A)のR1〜R4について説明したものと同じものが挙げられる。R10として好ましくは、メルカプト基、水素原子、または炭素数0〜15の以下の置換基から選ばれる基である。すなわち、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基等が挙げられる。一般式(1−A−1)においてXは水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を表す。ここに水溶性基とはスルホン酸もしくはカルボン酸およびそれらの塩、アンモニオ基のような塩、またはアルカリ性の現像液によって一部もしくは完全に解離しうる解離性基を含む基のことで、具体的にはスルホ基(またはその塩)、カルボキシ基(またはその塩)、ヒドロキシ基、メルカプト基、アミノ基、アンモニオ基、スルホンアミド基、アシルスルファモイル基、スルホニルスルファモイル基、活性メチン基、またはこれらの基を含む置換基を表す。なお本発明において活性メチン基とは、2つの電子吸引性基で置換されたメチル基のことで、具体的にはジシアノメチル、α−シアノ−α−エトキシカルボニルメチル、α−アセチル−α−エトキシカルボニルメチル等の基が挙げられる。一般式(1−A−1)のXで表される置換基とは、上述した水溶性基、または上述の水溶性基で置換された置換基であり、その置換基としては、炭素数0〜15の置換基で、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)アミノ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、チオウレイド基、イミド基、スルファモイルアミノ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)チオ基、(アルキル、アリール)スルホニル基、スルファモイル基、アミノ基等が挙げられ、好ましくは炭素数1〜10のアルキル基(特にアミノ基で置換されたメチル基)、アリール基、アリールオキシ基、アミノ基、(アルキル、アリール、またはヘテロ環)アミノ基、(アルキル、アリールまたはヘテロ環)チオ基等の基である。
Next, the compounds represented by the general formulas (1-A-1) to (1-A-3) will be described in detail.
In the general formula (1-A-1), R 10 represents a mercapto group, a hydrogen atom, or an arbitrary substituent. Here, the arbitrary substituents are the same as those described for R 1 to R 4 in the general formula (1-A). R 10 is preferably a mercapto group, a hydrogen atom, or a group selected from the following substituents having 0 to 15 carbon atoms. That is, amino group, alkyl group, aryl group, alkoxy group, aryloxy group, acylamino group, sulfonamide group, alkylthio group, arylthio group, alkylamino group, arylamino group and the like can be mentioned. In general formula (1-A-1), X represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group. Here, the water-soluble group means a group containing a dissociable group that can be partially or completely dissociated by an alkaline developer, or a salt such as a sulfonic acid or carboxylic acid and a salt thereof, an ammonio group, or the like. Includes a sulfo group (or a salt thereof), a carboxy group (or a salt thereof), a hydroxy group, a mercapto group, an amino group, an ammonio group, a sulfonamido group, an acylsulfamoyl group, a sulfonylsulfamoyl group, an active methine group, Or the substituent containing these groups is represented. In the present invention, the active methine group means a methyl group substituted with two electron-withdrawing groups, specifically, dicyanomethyl, α-cyano-α-ethoxycarbonylmethyl, α-acetyl-α-ethoxy. Examples include groups such as carbonylmethyl. The substituent represented by X in the general formula (1-A-1) is the above-described water-soluble group or a substituent substituted with the above-described water-soluble group, and the substituent has 0 carbon atoms. ˜15 substituents, an alkyl group, an aryl group, a heterocyclic group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heterocyclic oxy group, an acyloxy group, an (alkyl, aryl or heterocyclic) amino group, an acylamino group, a sulfonamide group, Examples include ureido group, thioureido group, imide group, sulfamoylamino group, (alkyl, aryl or heterocyclic) thio group, (alkyl, aryl) sulfonyl group, sulfamoyl group, amino group, etc. 10 alkyl groups (especially methyl groups substituted with amino groups), aryl groups, aryloxy groups, amino groups, (alkyl, aryl, or Ring) amino group, an (alkyl, aryl or heterocyclic) group such as thio group.

一般式(1−A−1)で表される化合物の中で、さらに好ましいものは下記一般式(1−A−1−a)で表される化合物である。
一般式(1−A−1−a)
Among the compounds represented by the general formula (1-A-1), a compound represented by the following general formula (1-A-1-a) is more preferable.
General formula (1-A-1-a)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中R11は、一般式(1−A−1)のR10と同義であり、好ましい範囲も同じである。R12、R13はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。ただし、R12およびR13の少なくとも一方は、少なくとも1つの水溶性基を有する。ここに水溶性基とは、スルホ基(またはその塩)、カルボキシ基(またはその塩)、ヒドロキシ基、メルカプト基、アミノ基、アンモニオ基、スルホンアミド基、アシルスルファモイル基、スルホニルスルファモイル基、活性メチン基、またはこれらの基を含む置換基を表し、好ましくはスルホ基(またはその塩)、カルボキシ基(またはその塩)、ヒドロキシ基、アミノ基等の基が挙げられる。R12およびR13は、好ましくはアルキル基またはアリール基であり、R12およびR13がアルキル基であるとき、アルキル基としては炭素数1〜4の置換もしくは無置換のアルキル基が好ましく、その置換基としては水溶性基、特にスルホ基(またはその塩)、カルボキシ基(またはその塩)、ヒドロキシ基、またはアミノ基が好ましい。R12およびR13がアリール基であるとき、アリール基としては炭素数が6〜10の置換もしくは無置換のフェニル基が好ましく、その置換基としては水溶性基、特にスルホ基(またはその塩)、カルボキシ基(またはその塩)、ヒドロキシ基、またはアミノ基が好ましい。R12およびR13がアルキル基またはアリール基を表すとき、これらは互いに結合して環状構造を形成していてもよい。また環状構造により飽和のヘテロ環を形成してもよい。 In the formula, R 11 has the same meaning as R 10 in the general formula (1-A-1), and the preferred range is also the same. R 12 and R 13 may be the same or different and each represents a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a heterocyclic group. However, at least one of R 12 and R 13 has at least one water-soluble group. Here, the water-soluble group is a sulfo group (or a salt thereof), a carboxy group (or a salt thereof), a hydroxy group, a mercapto group, an amino group, an ammonio group, a sulfonamide group, an acylsulfamoyl group, or a sulfonylsulfamoyl group. Represents a group, an active methine group, or a substituent containing these groups, and preferred examples include a sulfo group (or a salt thereof), a carboxy group (or a salt thereof), a hydroxy group, an amino group, and the like. R 12 and R 13 are preferably an alkyl group or an aryl group, and when R 12 and R 13 are an alkyl group, the alkyl group is preferably a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, The substituent is preferably a water-soluble group, particularly a sulfo group (or a salt thereof), a carboxy group (or a salt thereof), a hydroxy group, or an amino group. When R 12 and R 13 are aryl groups, the aryl group is preferably a substituted or unsubstituted phenyl group having 6 to 10 carbon atoms, and the substituent is a water-soluble group, particularly a sulfo group (or a salt thereof). , A carboxy group (or a salt thereof), a hydroxy group, or an amino group is preferable. When R 12 and R 13 represent an alkyl group or an aryl group, they may be bonded to each other to form a cyclic structure. A saturated heterocyclic ring may be formed by a cyclic structure.

一般式(1−A−2)においてY1は水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を
表し、一般式(1−A−1)のXと同義である。一般式(1−A−2)においてY1で表
される水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基としてさらに好ましくは、活性メチン基、または水溶性基で置換された以下の基、即ちアミノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキル基、アリール基である。Y1として
さらに好ましくは、活性メチン基、または水溶性基で置換された(アルキル、アリール、もしくはヘテロ環)アミノ基であり、ここに水溶性基としてはヒドロキシ基、カルボキシ基またはその塩、スルホ基またはその塩が特に好ましい。Y1 として特に好ましくは、ヒドロキシ基、カルボキシ基(またはその塩)、またはスルホ基(またはその塩)で置換された(アルキル、アリール、もしくはヘテロ環)アミノ基であり、−N(R01)(R02)基で表される。ここにR01、R02は、それぞれ一般式(1−A)のR12、R13と同義の基であり、その好ましい範囲もまた同じである。
In General Formula (1-A-2), Y 1 represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group, and has the same meaning as X in General Formula (1-A-1). In the general formula (1-A-2), the water-soluble group represented by Y 1 or the substituent substituted with the water-soluble group is more preferably an active methine group or the following group substituted with a water-soluble group, That is, an amino group, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkylthio group, an arylthio group, an alkyl group, and an aryl group. Y 1 is more preferably an active methine group or an amino group substituted with a water-soluble group (alkyl, aryl, or heterocyclic), wherein the water-soluble group includes a hydroxy group, a carboxy group or a salt thereof, sulfo A group or a salt thereof is particularly preferred. Y 1 is particularly preferably an (alkyl, aryl, or heterocyclic) amino group substituted with a hydroxy group, a carboxy group (or a salt thereof), or a sulfo group (or a salt thereof), and —N (R 01 ) Represented by the group (R 02 ). R 01 and R 02 are groups having the same meanings as R 12 and R 13 in the general formula (1-A), respectively, and preferred ranges thereof are also the same.

一般式(1−A−2)においてR20は水素原子または任意の置換基を表すが、ここで任意の置換基とは、一般式(1−A)のR1〜R4について説明したものと同じものが挙げられる。R20として好ましくは、水素原子または炭素数0〜15の以下の置換基から選ばれる基である。すなわち、ヒドロキシ基、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、ヒドロキシルアミノ基等が挙げられる。R20として最も好ましくは水素原子である。 In the general formula (1-A-2), R 20 represents a hydrogen atom or an arbitrary substituent, and here, the arbitrary substituent is the one described for R 1 to R 4 in the general formula (1-A). The same thing is mentioned. R 20 is preferably a group selected from a hydrogen atom and the following substituents having 0 to 15 carbon atoms. That is, a hydroxy group, an amino group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acylamino group, a sulfonamide group, an alkylthio group, an arylthio group, an alkylamino group, an arylamino group, a hydroxylamino group, and the like. R 20 is most preferably a hydrogen atom.

一般式(1−A−3)においてY2は水溶性基もしくは水溶性基で置換された置換基を
表し、R30は水素原子または任意の置換基を表す。一般式(1−A−3)におけるY2
30はそれぞれ式(1−A−2)のY1、一般式(1−A−2)のR20と同義の基であり
、その好ましい範囲もまた同じである。
In the general formula (1-A-3), Y 2 represents a water-soluble group or a substituent substituted with a water-soluble group, and R 30 represents a hydrogen atom or an arbitrary substituent. Y 2 in the general formula (1-A-3),
R 30 is a group having the same meaning as Y 1 in the formula (1-A-2) and R 20 in the general formula (1-A-2), and preferred ranges thereof are also the same.

つぎに、一般式(1−B)について詳細に説明する。一般式(1−B)におけるR5
7は、各々独立に一般式(1−A)のR1〜R4と同義であり、その好ましい範囲もまた
同じである。一般式(1−B)で表される化合物のうち一般式(1−B−1)で表される化合物が特に好ましい。
一般式(1−B−1)
Next, the general formula (1-B) will be described in detail. R 5 in the general formula (1-B)
R < 7 > is respectively independently synonymous with R < 1 > -R < 4 > of general formula (1-A), The preferable range is also the same. Of the compounds represented by the general formula (1-B), the compound represented by the general formula (1-B-1) is particularly preferable.
Formula (1-B-1)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

一般式(1−B−1)において、R50は一般式(1−B)のR5〜R7と同義であり、より好ましくは一般式(1−A−1)〜(1−A−3)のX、Y1、Y2と同義の水溶性基もしくは水溶性基で置換された基である。さらに、一般式(1−B−1)の化合物のうち最も好ましくは一般式(1−B−1−a)で表される化合物である。
一般式(1−B−1−a)
In the general formula (1-B-1), R 50 has the same meaning as R 5 to R 7 in the general formula (1-B), and more preferably the general formulas (1-A-1) to (1-A-). 3) a water-soluble group having the same meaning as X, Y 1 and Y 2 or a group substituted with a water-soluble group. Furthermore, among the compounds of general formula (1-B-1), the compound represented by general formula (1-B-1-a) is most preferable.
General formula (1-B-1-a)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

一般式(1−B−1−a)においてR51、R52は一般式(1−A−1−a)のR12、R13と同義の基であり、その好ましい範囲もまた同じである。 In the general formula (1-B-1-a), R 51 and R 52 are groups having the same meanings as R 12 and R 13 in the general formula (1-A-1-a), and preferred ranges thereof are also the same. .

以下に、一般式(1)で表される化合物の具体例を挙げるが、本発明で用いることができる一般式(1)で表される化合物はこれらに限定されるものではない。   Specific examples of the compound represented by the general formula (1) are shown below, but the compound represented by the general formula (1) that can be used in the present invention is not limited to these.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
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一般式(2)において、Zで表されるアルキル基は好ましくは、炭素数1〜30のものであって特に炭素数2〜20の直鎖、分岐、または環状のアルキル基であって上記の置換基の他に置換基を有していてもよい。Zで表される芳香族基は好ましくは炭素数6〜32の単環または縮合環のものであって上記の置換基の他に置換基を有していてもよい。Z1
で表されるヘテロ環基は好ましくは炭素数1〜32の単環または縮合環であり、窒素、酸素、硫黄のうちから独立に選ばれるヘテロ原子を1つの環中に1〜6個有する5または6員環であり、上記の他に置換基を有していてもよい。但し、ヘテロ環基がテトラゾールの場合、置換基として、置換もしくは無置換のナフチル基を有さない。一般式(2)で表される化合物のうち好ましくは、Zが2個以上の窒素原子を有するヘテロ環基である化合物である。
In the general formula (2), the alkyl group represented by Z is preferably one having 1 to 30 carbon atoms, particularly a linear, branched or cyclic alkyl group having 2 to 20 carbon atoms, the above-mentioned You may have a substituent other than a substituent. The aromatic group represented by Z is preferably a monocyclic or condensed ring having 6 to 32 carbon atoms, and may have a substituent in addition to the above-described substituents. Z 1
Is preferably a monocyclic or condensed ring having 1 to 32 carbon atoms, and 5 having 1 to 6 heteroatoms independently selected from nitrogen, oxygen and sulfur. Alternatively, it is a 6-membered ring and may have a substituent in addition to the above. However, when the heterocyclic group is tetrazole, it does not have a substituted or unsubstituted naphthyl group as a substituent. Among the compounds represented by the general formula (2), a compound in which Z is a heterocyclic group having two or more nitrogen atoms is preferable.

アンモニオ基としては好ましくは炭素数20以下であって置換基としては置換または無置換の直鎖、分岐、または環状のアルキル基(メチル基、エチル基、ベンジル基、エトキシプロピル基、シクロヘキシル基等)、置換または無置換のフェニル基、ナフチル基を表す。   The ammonio group preferably has 20 or less carbon atoms, and the substituent is a substituted or unsubstituted linear, branched or cyclic alkyl group (methyl group, ethyl group, benzyl group, ethoxypropyl group, cyclohexyl group, etc.) Represents a substituted or unsubstituted phenyl group or naphthyl group.

一般式(2)で表される化合物で好ましいものは下記式(2−a)で表される。   A preferable compound represented by the general formula (2) is represented by the following formula (2-a).

Figure 2006352073
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一般式中、Zは窒素原子を有する不飽和の5員ヘテロ環または、6員ヘテロ環(ピロール環、イミダゾール環、ピラゾール環、ピリミジン環、ピリダジン環、ピラジン環等)を形成するのに必要な基であり、少なくとも一つの−SM基またはチオン基を有する化合物であって、且つヒドロキシル基、−COOM基、−SO3M基、置換若しくは無置換のア
ミノ基、置換若しくは無置換のアンモニオ基からなる群から選ばれた少なくとも一つの置換基を有する。式中、R11、R12は、各々独立に水素原子、−SM基、ハロゲン原子、アルキル基(置換基を有するものを含む)、アルコキシ基(置換基を有するものを含む)、ヒドロキシル基、−COOM基、−SO3M基、アルケニル基(置換基を有するものを含
む)、アミノ基(置換基を有するものを含む)、カルバモイル基(置換基を有するものを含む)、フェニル基(置換基を有するものを含む)であり、R11とR12で環を形成してもよい。形成できる環としては、5員環または6員環であり、好ましくは含窒素ヘテロ環である。Mは、前記一般式(2)で定義されたMと同義である。好ましくはZは二つ以上の窒素原子を含むヘテロ環化合物を形成する基であり、前記−SM基若しくはチオン基以外の置換基を有していてもよく、該置換基としては、ハロゲン原子、低級アルキル基(置換基を有するものを含む。メチル基、エチル基等の炭素数5以下のものが好ましい。)、低級アルコキシ基(置換基を有するものを含む。メトキシ、エトキシ、ブトキシ等の炭素数5以下のものが好ましい。)、低級アルケニル基(置換基を有するものを含む。炭素数5以下のものが好ましい。)、カルバモイル基、フェニル基等が挙げられる。さらに一般式(2−a)において次の式A〜Fで表される化合物が特に好ましい。
In the general formula, Z is necessary for forming an unsaturated 5-membered heterocycle having a nitrogen atom or a 6-membered heterocycle (pyrrole ring, imidazole ring, pyrazole ring, pyrimidine ring, pyridazine ring, pyrazine ring, etc.). A compound having at least one —SM group or thione group, and from a hydroxyl group, —COOM group, —SO 3 M group, substituted or unsubstituted amino group, substituted or unsubstituted ammonio group Having at least one substituent selected from the group consisting of In the formula, R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, —SM group, halogen atom, alkyl group (including those having a substituent), alkoxy group (including those having a substituent), hydroxyl group, -COOM group, -SO 3 M group, (including those having a substituent) alkenyl group (including those having a substituent) amino group, (including those having a substituent) carbamoyl group, a phenyl group (substituted R 11 and R 12 may form a ring. The ring that can be formed is a 5-membered or 6-membered ring, preferably a nitrogen-containing heterocycle. M is synonymous with M defined in the general formula (2). Z is preferably a group that forms a heterocyclic compound containing two or more nitrogen atoms, and may have a substituent other than the -SM group or thione group, and the substituent includes a halogen atom, Lower alkyl groups (including those having substituents, preferably those having 5 or less carbon atoms such as methyl and ethyl groups), lower alkoxy groups (including those having substituents; carbons such as methoxy, ethoxy and butoxy) And a lower alkenyl group (including those having a substituent. Preferred are those having 5 or less carbon atoms), a carbamoyl group, a phenyl group, and the like. Further, compounds represented by the following formulas A to F in the general formula (2-a) are particularly preferable.

Figure 2006352073
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式中、R21、R22、R23、R24は各々独立に、水素原子、−SM基、ハロゲン原子、低級アルキル基(置換基を有するものを含む。メチル基、エチル基等の炭素数5以下のものが好ましい。)、低級アルコキシ基(置換基を有するものを含む。炭素数5以下のものが好ましい。)、ヒドロキシ基、−COOM2、−SO35基、低級アルケニル基(置換基
を有するものを含む。炭素数5以下のものが好ましい。)、アミノ基、カルバモイル基、フェニル基であり、少なくとも一つは−SM基である。M、M2、M5は各々水素原子、アルカリ金属原子またはアンモニウム基を表す。特に、−SM以外の置換基としてはヒドロ
キシ基、−COOM2、−SO35基、アミノ基等の水溶性基を持つことが好ましい。
In the formula, R 21 , R 22 , R 23 , and R 24 are each independently a hydrogen atom, —SM group, halogen atom, lower alkyl group (including those having a substituent. Carbon number such as methyl group, ethyl group, etc. 5 or less are preferred), a lower alkoxy group (including those having a substituent, preferably those having 5 or less carbon atoms), a hydroxy group, —COOM 2 , —SO 3 M 5 group, a lower alkenyl group ( Including those having a substituent, preferably those having 5 or less carbon atoms), an amino group, a carbamoyl group, and a phenyl group, at least one of which is an -SM group. M, M 2 and M 5 each represent a hydrogen atom, an alkali metal atom or an ammonium group. In particular, the substituent other than —SM preferably has a water-soluble group such as a hydroxy group, —COOM 2 , —SO 3 M 5 group or amino group.

21、R22、R23、R24で表されるアミノ基は置換または非置換のアミノ基を表し、好ましい置換基としては低級アルキル基である。アンモニウム基としては置換または非置換のアンモニウム基であり、好ましくは非置換のアンモニウム基である。 The amino group represented by R 21 , R 22 , R 23 and R 24 represents a substituted or unsubstituted amino group, and a preferred substituent is a lower alkyl group. The ammonium group is a substituted or unsubstituted ammonium group, preferably an unsubstituted ammonium group.

以下に一般式(2)で表される化合物の具体例を示すが、これらに限定されるものではない。   Although the specific example of a compound represented by General formula (2) below is shown, it is not limited to these.

Figure 2006352073
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一般式(1)又は(2)で表される化合物の使用量は、現像液1L中に10-6〜10-1molであることが好ましく、さらには10-5〜10-2molであることが好ましい。 The amount of the compound represented by the general formula (1) or (2) is preferably 10 −6 to 10 −1 mol, more preferably 10 −5 to 10 −2 mol, in 1 L of the developer. It is preferable.

一般式(3)及び(4)において、R21、R22、R23、R24及びR25で表される炭素数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基が挙げられ、R26及びR27で表される炭素数1〜5のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基が、炭素数18以下のアシル基としてはアセチル基、ベンゾイル基等が挙げられる。M22で表される炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基が、アリール基としてはフェニル基、ナフチル基等が、炭素数15以下のアラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基が挙げられる。 In the general formulas (3) and (4), examples of the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 21 , R 22 , R 23 , R 24 and R 25 include a methyl group, an ethyl group and a propyl group. As the alkyl group having 1 to 5 carbon atoms represented by R 26 and R 27 , a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, and an acyl group having 18 or less carbon atoms as an acetyl group, A benzoyl group etc. are mentioned. Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by M 22 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group, and an aryl group such as a phenyl group and a naphthyl group as an aralkyl group having 15 or less carbon atoms. Includes a benzyl group and a phenethyl group.

一般式(3)又は(4)で表される化合物は種々の合成法が知られているが、例えばア
ミノ酸合成法として知られているシュトレッカーアミノ酸合成法を用いてもよく、アミノ酸のアセチル化は水溶液中でアルカリと無水酢酸を交互に添加して行う。
Various synthetic methods are known for the compound represented by the general formula (3) or (4). For example, a Strecker amino acid synthesis method known as an amino acid synthesis method may be used. Is performed by alternately adding alkali and acetic anhydride in an aqueous solution.

次に、一般式(3)又は(4)で表される化合物の具体例を示すが、本発明はこれらのみに限定されるものではない。   Next, although the specific example of a compound represented by General formula (3) or (4) is shown, this invention is not limited only to these.

Figure 2006352073
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次に、一般式(5)で表される具体的化合物例を示すが、これらに限定されるものではない。   Next, although the example of a specific compound represented by General formula (5) is shown, it is not limited to these.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

一般式(3)〜(5)で表される化合物の添加量は特に制限はないが、現像液の使用液における濃度は現像液1L中に10-6〜10-1molであることが好ましく、さらには10-5〜10-2molであることが好ましい。 The addition amount of the compounds represented by the general formulas (3) to (5) is not particularly limited, but the concentration of the developer in the working solution is preferably 10 −6 to 10 −1 mol in 1 L of the developer. Further, it is preferably 10 −5 to 10 −2 mol.

[定着工程]
上記定着工程で使用する定着液の好ましい成分としては、以下が挙げられる。
すなわち、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウム、必要により酒石酸、クエン酸、グルコン酸、ホウ酸、イミノジ酢酸、5−スルホサリチル酸、グルコヘプタン酸、タイロン、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ニトリロ三酢酸これらの塩等を含むことが好ましい。近年の環境保護の観点からは、ホウ酸は含まれない方が好ましい。本発明に用いられる定着液の定着剤としてはチオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウムなどが挙げられ、定着速度の点からはチオ硫酸アンモニウムが好ましいが、近年の環境保護の観点からチオ硫酸ナトリウムが使われてもよい。これら既知の定着剤の使用量は適宜変えることができ、一般には約0.1〜約2モル/リットルである。特に好ましくは、0.2〜1.5モル/リットルである。定着液には所望により、硬膜剤(例えば水溶性アルミニウム化合物)、保恒剤(例えば、亜硫酸塩、重亜硫酸塩)、pH緩衝剤(例えば、酢酸)、pH調整剤(例えば、アンモニア、硫酸)、キレート剤、界面活性剤、湿潤剤、定着促進剤を含むことができる。
[Fixing process]
Preferred components of the fixing solution used in the fixing step include the following.
That is, sodium thiosulfate, ammonium thiosulfate, if necessary, tartaric acid, citric acid, gluconic acid, boric acid, iminodiacetic acid, 5-sulfosalicylic acid, glucoheptanoic acid, tyrone, ethylenediaminetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, nitrilotriacetic acid Etc. are preferably included. From the viewpoint of environmental protection in recent years, it is preferable that boric acid is not included. Examples of the fixing agent for the fixing solution used in the present invention include sodium thiosulfate and ammonium thiosulfate. Ammonium thiosulfate is preferable from the viewpoint of fixing speed, but sodium thiosulfate may be used from the viewpoint of environmental protection in recent years. Good. The amount of these known fixing agents used can be appropriately changed, and is generally about 0.1 to about 2 mol / liter. Most preferably, it is 0.2-1.5 mol / liter. If desired, the fixer may contain a hardener (eg, a water-soluble aluminum compound), a preservative (eg, sulfite, bisulfite), a pH buffer (eg, acetic acid), a pH adjuster (eg, ammonia, sulfuric acid). ), Chelating agents, surfactants, wetting agents, fixing accelerators.

上記界面活性剤としては、例えば硫酸化物、スルホン化物などのアニオン界面活性剤、ポリエチレン系界面活性剤、特開昭57−6740号公報記載の両性界面活性剤などが挙げられる。また、上記定着液には、公知の消泡剤を添加してもよい。
上記湿潤剤としては、例えば、アルカノールアミン、アルキレングリコールなどが挙げられる。また、上記定着促進剤としては、例えば特公昭45−35754号、同58−122535号、同58−122536号の各公報に記載のチオ尿素誘導体;分子内に3重結合を持つアルコール;米国特許US第4126459号明細書記載のチオエーテル化合物;特開平4−229860号公報記載のメソイオン化合物などが挙げられ、特開平2−44355号公報記載の化合物を用いてもよい。また、上記pH緩衝剤としては、例えば酢酸、リンゴ酸、こはく酸、酒石酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、グリコール酸、アジピン酸などの有機酸や、ホウ酸、リン酸塩、亜硫酸塩などの無機緩衝剤が使用できる。上記pH緩衝剤として好ましくは、酢酸、酒石酸、亜硫酸塩が用いられる。ここでpH緩衝剤は、現像液の持ち込みによる定着剤のpH上昇を防ぐ目的で使用され、好ましくは0.01〜1.0モル/リットル、より好ましくは0.02〜0.6モル/リットル程度用いる。定着液のpHは4.0〜6.5が好ましく、特に好ましくは4.5〜6.0の範囲である。また、上記色素溶出促進剤として、特開昭64−4739号公報記載の化合物を用いることもできる。
Examples of the surfactant include anionic surfactants such as sulfates and sulfonates, polyethylene surfactants, and amphoteric surfactants described in JP-A-57-6740. A known antifoaming agent may be added to the fixing solution.
Examples of the wetting agent include alkanolamine and alkylene glycol. Examples of the fixing accelerator include thiourea derivatives described in JP-B Nos. 45-35754, 58-122535, and 58-122536; alcohols having a triple bond in the molecule; Examples include thioether compounds described in US Pat. No. 4,126,459; mesoionic compounds described in JP-A-4-229860, and compounds described in JP-A-2-44355 may be used. Examples of the pH buffer include organic acids such as acetic acid, malic acid, succinic acid, tartaric acid, citric acid, oxalic acid, maleic acid, glycolic acid, and adipic acid, boric acid, phosphate, sulfite, and the like. Inorganic buffers can be used. As the pH buffer, acetic acid, tartaric acid, and sulfite are preferably used. Here, the pH buffering agent is used for the purpose of preventing an increase in pH of the fixing agent due to bringing in the developer, and is preferably 0.01 to 1.0 mol / liter, more preferably 0.02 to 0.6 mol / liter. Use degree. The pH of the fixing solution is preferably from 4.0 to 6.5, particularly preferably from 4.5 to 6.0. Further, as the dye elution accelerator, compounds described in JP-A No. 64-4739 can also be used.

本発明では、定着液に水溶性ハライドを添加することが好ましい。好ましい水溶性ハライドは、アルカリ金属の臭化物及びよう化物ならびに臭化アンモニウム及びよう化アンモニウムであり、好ましいアルカリ金属塩は、ナトリウム塩及びカリウム塩である。水溶性ハライドの全添加量は、0.035〜0.5モル/Lであり、より好ましくは0.05〜0.4モル/Lである。水溶性ハライドの中には、よう化カリウム、よう化ナトリウム、よう化アンモニウムなどの水溶性よう化物が含まれていることが特に好ましく、その場合の水溶性よう化物の添加量は0.005〜0.05モル/Lである。
水溶性ハライドは、pAgを高く調整することに加えて定着工程に続くめっき工程において金属析出速度を高める作用を有しており、特によう素イオンの効果が大きい。
In the present invention, it is preferable to add a water-soluble halide to the fixing solution. Preferred water-soluble halides are alkali metal bromides and iodides and ammonium bromide and ammonium iodide, and preferred alkali metal salts are sodium and potassium salts. The total amount of water-soluble halide added is 0.035 to 0.5 mol / L, more preferably 0.05 to 0.4 mol / L. It is particularly preferable that the water-soluble halide contains a water-soluble iodide such as potassium iodide, sodium iodide, or ammonium iodide. 0.05 mol / L.
The water-soluble halide has an effect of increasing the metal deposition rate in the plating step subsequent to the fixing step in addition to adjusting pAg high, and the effect of iodine ions is particularly large.

本発明の定着液中の硬膜剤としては、水溶性アルミニウム塩、クロム塩が挙げられる。上記硬膜剤として好ましい化合物は、水溶性アルミニウム塩であり、例えば塩化アルミニウム、硫酸アルミニウム、カリ明バンなどが挙げられる。上記硬膜剤の好ましい添加量は0.01モル〜0.2モル/リットルであり、さらに好ましくは0.03〜0.08モル/リットルである。   Examples of the hardener in the fixing solution of the present invention include water-soluble aluminum salts and chromium salts. A preferred compound as the hardener is a water-soluble aluminum salt, and examples thereof include aluminum chloride, aluminum sulfate, potash and vane. A preferable addition amount of the hardener is 0.01 mol to 0.2 mol / liter, and more preferably 0.03 to 0.08 mol / liter.

上記定着工程における定着温度は、約20℃〜約50℃が好ましく、さらに好ましくは25〜45℃である。また、定着時間は5秒〜1分が好ましく、さらに好ましくは7秒〜50秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して600ml/m2以下が好
ましく、500ml/m2以下がさらに好ましく、300ml/m2以下が特に好ましい。
The fixing temperature in the fixing step is preferably about 20 ° C. to about 50 ° C., more preferably 25 to 45 ° C. The fixing time is preferably 5 seconds to 1 minute, more preferably 7 seconds to 50 seconds. The replenishing amount of the fixing solution is preferably 600 ml / m 2 or less with respect to the processing of the photosensitive material, more preferably 500 ml / m 2 or less, 300 ml / m 2 or less is particularly preferred.

本発明の好ましい定着工程の態様は、支持体上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層を有する黒白感光材料を露光し、現像処理と定着処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、次いで金属銀部にめっき処理を施すことによって金属銀部に導電性金属を担持させて導電性を強化する透光性導電性膜の製造方法に適用される特定構造のメルカプト又はチオン化合物を含有する定着液、該定着液を用いる透光性導電性膜の製造方法、及び該製造方法によって得られた透光性導電性膜、とりわけ透光性電磁波シールド膜、並びにこれら透光性膜を搭載した光学フィルター
やディスプレー機器であって、これらの発明の基本は、上記特定化合物を含む定着液にある。
感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層を有する黒白感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、次いで金属銀部にめっき処理を施すことによって透光性導電性膜を得る方法は、特開2004−221564号公報によって開示されており、その明細書中に定着処理を付加する態様も記載されている。しかし、該公報に記載の定着液を含む通常の定着液を用いて開示された方法を行っても、定着処理後のめっき工程で未露光部への金属析出がはなはだしいため透光性が不十分である。とくにめっき処理が無電解めっきで行われる場合には、この欠陥が顕著に現れる。さらにめっき液の有効成分の消費が大きく、その結果めっき液の補充速度あるいは交換速度(更新速度)も大きくなる。めっき液の疲労は、露光部の現像銀上への金属析出も減少するので導電性も十分に強化できなくなるという不都合な事態を生じていた。
In a preferred fixing step of the present invention, a black and white photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt is exposed on a support, and subjected to development processing and fixing processing, so that exposed portions and unexposed portions are exposed. A method for producing a light-transmitting conductive film, in which a metallic silver part and a light-transmitting part are respectively formed, and then the metallic silver part is plated so that a conductive metal is supported on the metallic silver part to enhance the conductivity. A fixing solution containing a mercapto or thione compound having a specific structure applied to the invention, a method for producing a light-transmitting conductive film using the fixing solution, and a light-transmitting conductive film obtained by the manufacturing method, particularly a light-transmitting film The electromagnetic wave shielding film, and the optical filter and display device equipped with these light-transmitting films, the basis of these inventions lie in the fixing solution containing the specific compound.
A black-and-white photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt is exposed and developed to form a metallic silver portion and a light-transmitting portion in an exposed portion and an unexposed portion, respectively. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221564 discloses a method for obtaining a translucent conductive film by plating a part, and an aspect of adding a fixing process is also described in the specification. However, even if the method disclosed using a normal fixing solution containing the fixing solution described in the publication is used, the metal deposition on the unexposed portion is not enough in the plating step after the fixing treatment, so that the translucency is insufficient. It is. In particular, when the plating process is performed by electroless plating, this defect appears remarkably. Furthermore, the consumption of the active component of the plating solution is large, and as a result, the replenishment rate or replacement rate (update rate) of the plating solution is also increased. The fatigue of the plating solution has caused an inconvenient situation that the conductivity cannot be sufficiently enhanced because the metal deposition on the developed silver in the exposed portion is also reduced.

これに対して特定構造のメルカプト又はチオン化合物(後に詳記する)を含有する本発明の定着液を用いると、露光部では現像銀へのめっき工程が円滑に進行して導電性が改善され、膜の密着性にも優れた銀パターン(又は銀との混合金属パターン、以後混合金属パ
ターンも含めて銀パターンと呼ぶ)が得られる。しかも未露光部にはめっき工程で銀汚れ
を引き起こすような金属沈積もない。結果として識別性の高い定着処理が行われる。
本発明の高活性な定着液がもたらすこの現象は、特定構造のメルカプト又はチオン化合物が露光部の定着速度を遅らせることはなく、逆にめっき工程における現像銀表面への金属沈積速度を促進するとともに、未露光部では銀汚れとなるような不都合な金属沈積は起こらないという優れた効果によっている。結果として透光性を維持しながら導電性を高めることができる。
On the other hand, when using the fixing solution of the present invention containing a mercapto or thione compound having a specific structure (described in detail later), the plating process on the developed silver proceeds smoothly in the exposed area, and the conductivity is improved. A silver pattern (or a mixed metal pattern with silver, hereinafter also referred to as a silver pattern including a mixed metal pattern) excellent in film adhesion can be obtained. Moreover, there is no metal deposition that causes silver contamination in the plating process in the unexposed area. As a result, fixing processing with high discrimination is performed.
This phenomenon brought about by the highly active fixing solution of the present invention is that the specific structure of mercapto or thione compound does not slow down the fixing speed of the exposed portion, and conversely promotes the metal deposition rate on the developed silver surface in the plating step. This is because of the excellent effect that inconvenient metal deposition that causes silver contamination does not occur in the unexposed area. As a result, the conductivity can be increased while maintaining the translucency.

この意外な効果の作用機構は不明であるが、被毒作用に係わる現像銀表面への硫黄化合物の吸着によるAg−S結合の生成が、上記メルカプト又はチオン化合物によって抑止されるためと推定している。
本発明の定着液は、定着液のpAgを高く設定して定着活性を高めた場合に発明の効果
が顕著に現れて好ましい。pAgの調整は水溶性ハライド濃度、特に水溶性よう素化合物の
添加によって行われる。
水溶性ハライド化合物は、上記のpAg調整効果に加えて、めっき工程の促進にも寄与
している。この作用は、水溶性ハライドが水溶性よう素化合物であるときに特に顕著に発現する。
水溶性よう素化合物を含む水溶性ハライド濃度については、後述する。
Although the mechanism of this unexpected effect is unknown, it is assumed that the formation of Ag-S bonds due to adsorption of sulfur compounds on the developed silver surface related to poisoning action is suppressed by the mercapto or thione compound. Yes.
The fixing solution of the present invention is preferable because the effect of the invention is remarkably exhibited when the fixing activity is increased by setting the pAg of the fixing solution high. The pAg is adjusted by adding a water-soluble halide concentration, particularly a water-soluble iodine compound.
The water-soluble halide compound contributes to the promotion of the plating process in addition to the effect of adjusting the pAg. This effect is particularly prominent when the water-soluble halide is a water-soluble iodine compound.
The water-soluble halide concentration containing the water-soluble iodine compound will be described later.

[水洗、安定化処理工程]
現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ましい。上記水洗処理または安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料1m2当り、20リ
ットル以下で行われ、3リットル以下の補充量(0も含む、すなわちため水水洗)で行うこともできる。このため、節水処理が可能となるのみならず、自現機設置の配管を不要とすることができる。水洗水の補充量を少なくする方法としては、古くから多段向流方式(例えば2段、3段など)が知られている。この多段向流方式を本発明の製造方法に適用した場合、定着後の感光材料は徐々に正常な方向、即ち定着液で汚れていない処理液の方向に順次接触して処理されていくので、さらに効率のよい水洗がなされる。また、水洗を少量の水で行う場合は、特開昭63−18350号、同62−287252号各公報などに記載のスクイズローラー、クロスオーバーローラーの洗浄槽を設けることがより好ましい。また、少量水洗時に問題となる公害負荷低減のためには、種々の酸化剤添加やフィルター濾過を組み合わせてもよい。さらに、上記方法においては、水洗浴または安定化浴に防黴手段を施した水を、処理に応じて補充することによって生じた水洗浴または安定化浴か
らのオーバーフロー液の一部または全部を、特開昭60−235133号公報に記載されているようにその前の処理工程である定着能を有する処理液に利用することもできる。また、少量水洗時に発生し易い水泡ムラ防止および/またはスクイズローラーに付着する処理剤成分が処理されたフィルムに転写することを防止するために、水溶性界面活性剤や消泡剤を添加してもよい。
[Washing and stabilization process]
The light-sensitive material that has been subjected to development and fixing processing is preferably subjected to water washing treatment or stabilization treatment. In the water washing treatment or stabilization treatment, the washing water amount is usually 20 liters or less per 1 m 2 of the light-sensitive material, and can be replenished in 3 liters or less (including 0, ie, rinsing with water). For this reason, not only water-saving treatment is possible, but piping for self-installing machines can be eliminated. As a method for reducing the replenishment amount of flush water, a multi-stage countercurrent system (for example, two stages, three stages, etc.) has been known for a long time. When this multi-stage countercurrent system is applied to the production method of the present invention, the photosensitive material after fixing is gradually processed in contact with the normal direction, that is, in the direction of the processing solution not contaminated with the fixing solution. Furthermore, efficient washing with water is performed. Moreover, when performing water washing with a small amount of water, it is more preferable to provide the washing tank of a squeeze roller and a crossover roller as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 63-18350, 62-287252, etc. In addition, various oxidizer additions and filter filtration may be combined to reduce the pollution load that becomes a problem when washing with a small amount of water. Further, in the above method, a part or all of the overflow liquid from the washing bath or stabilization bath generated by replenishing the washing bath or stabilization bath with water subjected to the fouling means according to the treatment, As described in JP-A-60-235133, it can also be used for a processing solution having fixing ability, which is a previous processing step. In addition, water-soluble surfactants and antifoaming agents are added to prevent unevenness of water bubbles that are likely to occur during washing with a small amount of water and / or to prevent the processing agent component adhering to the squeeze roller from being transferred to the processed film. Also good.

また、上記水洗処理または安定化処理においては、感光材料から溶出した染料による汚染防止に、特開昭63−163456号公報に記載の色素吸着剤を水洗槽に設置してもよい。また、水洗処理に続いて安定化処理においては、特開平2−201357号、同2−132435号、同1−102553号、特開昭46−44446号の各公報に記載の化合物を含有した浴を、感光材料の最終浴として使用してもよい。この際、必要に応じてアンモニウム化合物、Bi、Alなどの金属化合物、蛍光増白剤、各種キレート剤、膜pH調節剤、硬膜剤、殺菌剤、防かび剤、アルカノールアミンや界面活性剤を加えることもできる。水洗工程または安定化工程に用いられる水としては水道水のほか脱イオン処理した水やハロゲン、紫外線殺菌灯や各種酸化剤(オゾン、過酸化水素、塩素酸塩など)等によって殺菌された水を使用することが好ましい。また、特開平4−39652号、特開平5−241309号公報記載の化合物を含む水洗水を使用してもよい。水洗処理または安定化温度における浴温度および時間は0〜50℃、5秒〜2分であることが好ましい。   In the washing treatment or stabilization treatment, a dye adsorbent described in JP-A-63-163456 may be installed in a washing tank in order to prevent contamination with a dye eluted from the photosensitive material. In the stabilization treatment following the water washing treatment, baths containing the compounds described in JP-A-2-2013357, JP-A-2-132435, JP-A-1-102553, and JP-A-46-44446 are disclosed. May be used as the final bath of the light-sensitive material. At this time, ammonium compounds, metal compounds such as Bi, Al, fluorescent brighteners, various chelating agents, film pH regulators, hardeners, bactericides, fungicides, alkanolamines and surfactants are added as necessary. It can also be added. Water used in the water washing process or stabilization process includes tap water, water deionized, halogen, UV germicidal lamps, and water sterilized by various oxidizing agents (such as ozone, hydrogen peroxide, and chlorates). It is preferable to use it. Further, washing water containing the compounds described in JP-A-4-39652 and JP-A-5-241309 may be used. The bath temperature and time at the water washing treatment or the stabilization temperature are preferably 0 to 50 ° C. and 5 seconds to 2 minutes.

[水洗処理、安定化処理など]
現像、定着処理を施した感光材料は、続いて、又は次に述べるめっき処理の後に、あるいは、現像、定着処理後とめっき処理後の両方で、水洗処理や安定化処理(水洗代替安定化処理とも言う)を施されるのが好ましい。上記水洗処理または安定化処理においては、水洗水量(又は安定化液補充量)は通常感光材料1m2当り、20リットル以下で行われ
、3リットル以下の補充量(0も含む、すなわちため水水洗)で行うこともできる。このため、節水処理が可能となるのみならず、自動現像機設置の配管を不要とすることができる。水洗水の補充量を少なくする方法としては、古くから多段向流方式(例えば2段、3段など)が知られている。この多段向流方式を本発明の製造方法に適用した場合、定着後の感光材料は徐々に正常な方向、即ち定着液で汚れていない処理液の方向に順次接触して処理されていくので、さらに効率のよい水洗がなされる。また、水洗を少量の水で行う場合は、特開昭63−18350号、同62−287252号各公報などに記載のスクイズローラー、クロスオーバーローラーの洗浄槽を設けることがより好ましい。また、少量水洗時に問題となる廃水汚濁に係る環境負荷低減のためには、種々の酸化剤添加やフィルター濾過を組み合わせてもよい。さらに、上記方法においては、水洗浴または安定化浴に防黴手段を施した水を、処理に応じて補充することによって生じた水洗浴または安定化浴からのオーバーフロー液の一部または全部を、特開昭60−235133号公報に記載されているようにその前の処理工程である定着能を有する処理液に利用することもできる。また、少量水洗時に発生し易い水泡ムラ防止および/またはスクイズローラーに付着する処理剤成分が処理されたフィルムに転写することを防止するために、水溶性界面活性剤や消泡剤を添加してもよい。
[Washing treatment, stabilization treatment, etc.]
The photosensitive material that has been subjected to development and fixing treatment is washed or stabilized (washing substitute alternative stabilization treatment) subsequently or after the plating treatment described below, or both after development and fixing treatment and after plating treatment. (Also referred to as). In the above water washing treatment or stabilization treatment, the amount of washing water (or stabilizing solution replenishment amount) is usually 20 liters or less per 1 m 2 of the photosensitive material, and a replenishing amount of 3 liters or less (including 0, ie, water washing). ). For this reason, not only water saving treatment is possible, but piping for installing an automatic processor can be eliminated. As a method for reducing the replenishment amount of flush water, a multi-stage countercurrent system (for example, two stages, three stages, etc.) has been known for a long time. When this multi-stage countercurrent system is applied to the production method of the present invention, the photosensitive material after fixing is gradually processed in contact with the normal direction, that is, in the direction of the processing solution not contaminated with the fixing solution. Furthermore, efficient washing with water is performed. Moreover, when performing water washing with a small amount of water, it is more preferable to provide the washing tank of a squeeze roller and a crossover roller as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 63-18350, 62-287252, etc. Further, various oxidant additions and filter filtration may be combined in order to reduce the environmental load related to wastewater pollution, which is a problem at the time of washing with a small amount of water. Further, in the above method, a part or all of the overflow liquid from the washing bath or stabilization bath generated by replenishing the washing bath or stabilization bath with water subjected to the fouling means according to the treatment, As described in JP-A-60-235133, it can also be used for a processing solution having fixing ability, which is a previous processing step. In addition, water-soluble surfactants and antifoaming agents are added to prevent unevenness of water bubbles that are likely to occur during washing with a small amount of water and / or to prevent the processing agent component adhering to the squeeze roller from being transferred to the processed film. Also good.

また、上記水洗処理または安定化処理においては、感光材料から溶出した染料による汚染防止に、特開昭63−163456号公報に記載の色素吸着剤を水洗槽に設置してもよい。また、水洗処理に続いて安定化処理においては、特開平2−201357号、同2−132435号、同1−102553号、特開昭46−44446号の各公報に記載の化合物を含有した浴を、感光材料の最終浴として使用してもよい。この際、必要に応じてアンモニウム化合物、Bi、Alなどの金属化合物、蛍光増白剤、各種キレート剤、膜pH調節剤、硬膜剤、殺菌剤、防かび剤、アルカノールアミンや界面活性剤を加えることもできる。水洗工程または安定化工程に用いられる水としては水道水のほか脱イオン処理した水やハロゲン、紫外線殺菌灯や各種酸化剤(オゾン、過酸化水素、塩素酸塩など)等によ
って殺菌された水を使用することが好ましい。また、特開平4−39652号、特開平5−241309号公報記載の化合物を含む水洗水を使用してもよい。水洗処理または安定化温度における浴温度および時間は0〜50℃、5秒〜2分であることが好ましい。
In the washing treatment or stabilization treatment, a dye adsorbent described in JP-A-63-163456 may be installed in a washing tank in order to prevent contamination with a dye eluted from the photosensitive material. Further, in the stabilization treatment following the water washing treatment, baths containing the compounds described in JP-A-2-2013357, JP-A-2-132435, JP-A-1-102553, and JP-A-46-44446 are disclosed. May be used as the final bath of the light-sensitive material. At this time, ammonium compounds, metal compounds such as Bi, Al, fluorescent brighteners, various chelating agents, film pH regulators, hardeners, bactericides, fungicides, alkanolamines and surfactants are added as necessary. It can also be added. The water used in the water washing process or stabilization process includes tap water, water deionized, halogen, UV germicidal lamps, and water sterilized by various oxidizing agents (such as ozone, hydrogen peroxide, and chlorate). It is preferable to use it. Further, washing water containing the compounds described in JP-A-4-39652 and JP-A-5-241309 may be used. The bath temperature and time at the water washing treatment or the stabilization temperature are preferably 0 to 50 ° C. and 5 seconds to 2 minutes.

本発明に用いられる現像液や定着液等の処理液の保存には、特開昭61−73147号公報に記載された酸素透過性の低い包材で保存することが好ましい。また、補充量を低減する場合には処理槽の空気との接触面積を小さくすることによって液の蒸発、空気酸化を防止することが好ましい。ローラー搬送型の自動現像機については米国特許US第3025779号明細書、同第3545971号明細書などに記載されており、本明細書においては単にローラー搬送型プロセッサーとして言及する。また、ローラー搬送型プロセッサーは現像、定着、水洗および乾燥の四工程からなることが好ましく、本発明においても、他の工程(例えば、停止工程)を除外しないが、この四工程を踏襲するのが最も好ましい。また、水洗工程の代わりに安定化工程による四工程でも構わない。   In order to store the processing solution such as a developing solution and a fixing solution used in the present invention, it is preferable to store with a packaging material having a low oxygen permeability described in JP-A-61-73147. Moreover, when reducing the replenishment amount, it is preferable to prevent evaporation of the liquid and air oxidation by reducing the contact area of the treatment tank with the air. The roller-conveying type automatic developing machine is described in US Pat. Nos. 3,025,795 and 3,545,971 and the like, and is simply referred to as a roller-conveying processor in this specification. The roller transport type processor is preferably composed of four steps of development, fixing, washing and drying. In the present invention, other steps (for example, a stopping step) are not excluded, but the four steps are followed. Most preferred. Further, four steps by a stabilization step may be used instead of the water washing step.

(処理剤の形態)
本発明に用いられる現像液や定着液等の処理液は、特開昭61−73147号公報に記載された酸素透過性の低い包材で保管することが好ましい。また、補充量を低減する場合には処理槽の空気との接触面積を小さくすることによって液の蒸発、空気酸化を防止することが好ましい。ローラー搬送型の自動現像機については米国特許US第3025779号明細書、同第3545971号明細書などに記載されており、本明細書においては単にローラー搬送型プロセッサーとして言及する。また、ローラー搬送型プロセッサーは現像、定着、水洗および乾燥の四工程からことが好ましく、本発明においても、他の工程(例えば、停止工程)を除外しないが、この四工程を踏襲するのが最も好ましい。また、水洗工程の代わりに安定工程による四工程でも構わない。
(Form of treatment agent)
The processing solution such as a developing solution and a fixing solution used in the present invention is preferably stored in a packaging material having low oxygen permeability described in JP-A-61-73147. Moreover, when reducing the replenishment amount, it is preferable to prevent evaporation of the liquid and air oxidation by reducing the contact area of the treatment tank with the air. The roller-conveying type automatic developing machine is described in US Pat. Nos. 3,025,795 and 3,545,971 and the like, and is simply referred to as a roller-conveying processor in this specification. In addition, the roller transport type processor is preferably from four steps of development, fixing, washing and drying, and in the present invention, other steps (for example, stop step) are not excluded, but it is best to follow these four steps. preferable. Moreover, four steps by a stable process may be used instead of the water washing process.

上記各工程においては、現像液や定着液の組成から水を除いた成分を固形にして供給し、使用に当たって所定量の水で溶解して現像液や定着液として使用してもよい。このような形態の処理剤は固形処理剤と呼ばれる。固形処理剤は、粉末、錠剤、顆粒、粉末、塊状またはペースト状のものが用いられる。上記処理剤の、好ましい形態は、特開昭61−259921号公報記載の形態或いは錠剤である。該錠剤の製造方法は、例えば特開昭51−61837号、同54−155038号、同52−88025号の各公報、英国特許1,213,808号明細書等に記載される一般的な方法で製造できる。さらに顆粒の処理剤は、例えば特開平2−109042号、同2−109043号、同3−39735号各公報および同3−39739号公報等に記載される一般的な方法で製造できる。また、粉末の処理剤は、例えば特開昭54−133332号公報、英国特許725,892号、同729,862号各明細書およびドイツ特許3,733,861号明細書等に記載される一般的な方法で製造できる。   In each of the above steps, a component obtained by removing water from the composition of the developing solution or the fixing solution may be supplied as a solid, dissolved in a predetermined amount of water and used as a developing solution or a fixing solution. Such a form of treating agent is called a solid treating agent. As the solid processing agent, powder, tablet, granule, powder, lump or paste is used. A preferred form of the treatment agent is a form described in JP-A-61-259921 or a tablet. For example, JP-A-51-61837, JP-A-54-155038, JP-A-52-88025, British Patent No. 1,213,808, etc. Can be manufactured. Furthermore, the granule treating agent can be produced by a general method described in, for example, JP-A-2-109042, JP-A-2-109043, JP-A-3-39735 and JP-A-3-393939. Further, powder processing agents are generally described in, for example, JP-A-54-133332, British Patents 725,892 and 729,862, and German Patent 3,733,861. Can be manufactured in a conventional manner.

上記固形処理剤の嵩密度は、その溶解性の観点と、0.5〜6.0g/cm3のものが
好ましく、特に1.0〜5.0g/cm3のものが好ましい。
The solid density of the solid processing agent is preferably 0.5 to 6.0 g / cm 3 and particularly preferably 1.0 to 5.0 g / cm 3 in view of its solubility.

上記固形処理剤を調製するに当たっては、処理剤を構成する物質の中の、少なくとも2種の相互に反応性の粒状物質を、反応性物質に対して不活性な物質による少なくとも一つの介在分離層によって分離された層になるように層状に反応性物質を置き、真空包装可能な袋を包材とし、袋内から排気しシールする方法を採用してもよい。ここにおいて、「不活性」とは、物質が互いに物理的に接触されたときにパッケージ内の通常の状態下で反応しないこと若しくは何らかの反応があっても著しくないことを意味する。不活性物質は、二つの相互に反応性の物質に対して不活性であることは別にして、二つの反応性の物質が意図される使用において不活発であればよい。さらに不活性物質は二つの反応性物質と同時に用いられる物質である。例えば、現像液においてハイドロキノンと水酸化ナトリウム
は直接接触すると反応してしまうので、真空包装においてハイドロキノンと水酸化ナトリウムの間に分別層として亜硫酸ナトリウム等を使うことで、長期間パッケージ中に保存できる。また、ハイドロキノン等をブリケット化して水酸化ナトリウムとの接触面積を減らす事により保存性が向上し混合して用いることもできる。これらの真空包装材料の包材として用いられるのは不活性なプラスチックフィルム、プラスチック物質と金属箔のラミネートから作られたバッグである。
In preparing the solid processing agent, at least two kinds of mutually reactive particulate materials among the materials constituting the processing agent are replaced with at least one intervening separation layer made of a material inert to the reactive material. Alternatively, a method may be employed in which reactive substances are placed in layers so as to be separated into layers, a bag that can be vacuum-packed is used as a packaging material, and the bag is evacuated and sealed. Here, “inert” means that the substances do not react under normal conditions in the package when they are in physical contact with each other or that there is no significant reaction. The inert material may be inactive in the intended use of the two reactive materials, apart from being inert to the two mutually reactive materials. Furthermore, an inert substance is a substance that is used simultaneously with two reactive substances. For example, since hydroquinone and sodium hydroxide react in direct contact with each other in the developer, they can be stored in the package for a long time by using sodium sulfite or the like as a separation layer between hydroquinone and sodium hydroxide in vacuum packaging. In addition, hydroquinone or the like is briquetted to reduce the contact area with sodium hydroxide, so that the storage stability is improved and the mixture can be used. Bags made from an inert plastic film, a laminate of plastic material and metal foil are used as packaging materials for these vacuum packaging materials.

現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。   The mass of the metallic silver contained in the exposed portion after the development treatment is preferably a content of 50% by mass or more, and 80% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. More preferably. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high conductivity can be obtained.

本発明における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、4.0を超えることが好ましい。現像処理後の階調が4.0を超えると、光透過性部の透明性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を4.0以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。   The gradation after development processing in the present invention is not particularly limited, but is preferably more than 4.0. When the gradation after the development processing exceeds 4.0, the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the transparency of the light transmissive portion high. Examples of means for setting the gradation to 4.0 or higher include the aforementioned doping of rhodium ions and iridium ions.

[物理現像]
本発明では、現像工程で得られた現像銀パターンに金属(銀、又は銀と銅など)を沈積・付加させるために、現像工程の後物理現像を施すことが好ましい。
本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオンを還元剤で還元して金属銀を析出させることを指す。物理現像には処理液中に金属供給源を含有する狭義の物理現像と、感材中のハロゲン化銀を金属供給源とし処理液中に金属供給源を含有しない溶解物理現像がある。上記メッシュ状パターンに物理現像を施すと、導電性金属銀上に選択的に金属銀を析出させ、導電性をさらに高めることができる。
[Physical development]
In the present invention, it is preferable to perform physical development after the development step in order to deposit and add metal (silver, silver and copper, etc.) to the developed silver pattern obtained in the development step.
The “physical development” in the present invention refers to the deposition of metallic silver on the core of a metal or metal compound by reducing silver ions with a reducing agent. There are two types of physical development: physical development in a narrow sense that contains a metal supply source in the processing solution, and dissolution physical development that uses silver halide in the light-sensitive material as the metal supply source and does not contain the metal supply source in the processing solution. When physical development is performed on the mesh pattern, metal silver is selectively deposited on the conductive metal silver, and the conductivity can be further increased.

この工程で用いる狭義の物理現像液は、可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤及び銀イオンからなり、金属供給源として感光材料に由来しない金属錯塩から得られるので、金属パターンが育つ。一方、可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤からなる溶解物理現像を用いてもよい。この場合は、沈積金属である銀の供給源は現像後に残存する未現像のハロゲン化銀であるので金属銀の供給量は制約される。溶解物理現像は処理液中に銀錯塩を含まないため、狭義の物理現像に比し、処理液の安定性が高く、好ましい。   The narrowly-defined physical developer used in this step is composed of a soluble silver complex salt forming agent, a reducing agent, and silver ions, and is obtained from a metal complex salt not derived from a photosensitive material as a metal supply source, so that a metal pattern grows. On the other hand, dissolution physical development comprising a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent may be used. In this case, the supply amount of metallic silver is limited since the supply source of silver which is a deposited metal is undeveloped silver halide remaining after development. Since dissolution physical development does not contain a silver complex salt in the processing solution, it is preferable because the processing solution has higher stability than physical development in a narrow sense.

可溶性銀錯塩形成剤としてはチオ硫酸アンモニウムやチオ硫酸ナトリウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサドリドン類、2-メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平3-55528号に記載のメソイオン性化合物、特公昭47-11386号に記載のよう
なチオエーテル類、The theory of the photographic process第4版(T.H.James著、1977
年)の474〜475頁に記載されている化合物が挙げられる。
Soluble silver complex forming agents include thiosulfates such as ammonium thiosulfate and sodium thiosulfate, thiocyanates such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, sulfites such as sodium sulfite and potassium bisulfite, oxadoridones, 2 -Mercaptobenzoic acid and derivatives thereof, cyclic imides such as uracil, alkanolamines, diamines, mesoionic compounds described in JP-A-3-55528, thioethers described in JP-B-47-11386, The theory of the photographic process 4th edition (THJames, 1977
Compound) described on pages 474-475.

可溶性銀錯塩形成剤としてはチオ硫酸塩が好ましく、その濃度は0.001〜5mol/Lが好ま
しく、本発明においては0.005〜3mol/Lが特に好ましい。さらに好ましくは0.01〜1mol/L
の範囲である。
As the soluble silver complex salt forming agent, thiosulfate is preferable, and the concentration is preferably 0.001 to 5 mol / L, and in the present invention, 0.005 to 3 mol / L is particularly preferable. More preferably 0.01-1 mol / L
Range.

還元剤としてはハイドロキノンやクロロハイドロキノンやイソプロピルハイドロキノンやメチルハイドロキノンやハイドキノンモノスルホン酸塩のようなジヒドロキシベンゼン類、p-アミノフェノールや2,4-ジアミノフェノールやN-メチル-p-アミノフェノールやN-(β-ヒドロキシエチル)-p-アミノフェノールやN-(4-ヒドロキシフェニル)グリシンのよう
なアミノフェノール類、アスコルビン酸やイソアスコルビン酸やエリソルビン酸やそれら
の塩(Na塩など)のようなアスコルビン酸誘導体、1-フェニル-3-ピラゾリドンや1-フェ
ニル-4,4-ジメチル-3-ピラゾリドンや1-フェニル-4-メチル-4-ヒドロキシメチル-3-ピラ
ゾリドンなどの1-フェニル-3-ピラゾリドン類などが挙げられる。これらは2種類以上を組み合わせて併用してもよく、併用しなくても良い。
Reducing agents include hydroquinone, chlorohydroquinone, isopropylhydroquinone, dihydroxybenzenes such as methylhydroquinone and hydridoquinone monosulfonate, p-aminophenol, 2,4-diaminophenol, N-methyl-p-aminophenol, N -aminophenols such as-(β-hydroxyethyl) -p-aminophenol and N- (4-hydroxyphenyl) glycine, such as ascorbic acid, isoascorbic acid, erythorbic acid and their salts (such as sodium salt) Ascorbic acid derivatives such as 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone and 1-phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone And pyrazolidones. These may be used in combination of two or more, or may not be used together.

ジヒドロキシベンゼン類は0.05〜0.8mol/Lで用いられることが好ましい。さらに好ましくは0.1〜0.6mol/Lの範囲である。   Dihydroxybenzenes are preferably used at 0.05 to 0.8 mol / L. More preferably, it is the range of 0.1-0.6 mol / L.

銀イオンとしては硝酸銀、ハロゲン化銀、酢酸銀など1価の銀イオンを含む銀塩であり
、前記可溶性銀錯塩形成剤と作用して水に溶けるものであればよい。銀イオンの濃度は0.01〜0.5mol/Lが好ましく、さらに好ましくは0.03〜0.3mol/Lの範囲である。
The silver ion is a silver salt containing monovalent silver ions such as silver nitrate, silver halide, silver acetate, etc., as long as it works with the soluble silver complex forming agent and is soluble in water. The concentration of silver ions is preferably 0.01 to 0.5 mol / L, more preferably 0.03 to 0.3 mol / L.

[物理現像およびメッキ処理]
本発明では、前記露光および現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与する目的で、前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させるための物理現像および/またはメッキ処理を行うことが好ましい。本発明では物理現像またはメッキ処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属性銀部に担持させることが可能であるが、さらに物理現像とメッキ処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部に担持させることもできる。尚、金属銀部に物理現像および/またはメッキ処理を施したものを「導電性金属部」と称する。
本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオンなどの金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントB&Wフィルム、インスタントスライドフィルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。
また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。
本発明の透光性導電性膜の好ましい製造方法は、支持体上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層と好ましくは保護層とをこの順で有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、さらに前記金属銀部に前記一般式(A)〜(D)で表される化合物の少なくとも一つを含む液で活性化処理を施して金属銀の無電解めっきに対する活性を高めた後、物理現像および/またはめっき処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持させることが好ましい。
[Physical development and plating]
In the present invention, for the purpose of imparting conductivity to the metal silver portion formed by the exposure and development processing, physical development and / or plating treatment for supporting the conductive metal particles on the metal silver portion may be performed. preferable. In the present invention, the conductive metal particles can be supported on the metallic silver portion by only one of physical development and plating. However, the combination of physical development and plating is used to convert the conductive metal particles to metallic silver. It can also be carried on the part. A metal silver portion subjected to physical development and / or plating is referred to as a “conductive metal portion”.
“Physical development” in the present invention means that metal particles such as silver ions are reduced with a reducing agent on metal or metal compound nuclei to deposit metal particles. This physical phenomenon is used for instant B & W film, instant slide film, printing plate manufacturing, and the like, and the technology can be used in the present invention.
Further, the physical development may be performed simultaneously with the development processing after exposure or separately after the development processing.
A preferred method for producing the light-transmitting conductive film of the present invention is to expose a photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt on a support and preferably a protective layer in this order, and to carry out development processing. To form an exposed part and an unexposed part in a metallic silver part and a light-transmitting part, respectively, and further to the metallic silver part at least one of the compounds represented by the general formulas (A) to (D) It is preferable that the conductive metal is supported on the metal silver portion by performing an activation treatment with the liquid to increase the activity of the metal silver against electroless plating and then performing physical development and / or plating treatment.

本発明において、メッキ処理は、無電解メッキ(化学還元メッキや置換メッキ)、電解メッキ、または無電解メッキと電解メッキの両方を用いることができる。本発明における無電解メッキは、公知の無電解メッキ技術を用いることができ、例えば、プリント配線板などで用いられている無電解メッキ技術を用いることができ、無電解メッキは無電解銅メッキであることが好ましい。
電解銅メッキ浴としては、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴が挙げられる。
In the present invention, the plating process can be performed using electroless plating (chemical reduction plating or displacement plating), electrolytic plating, or both electroless plating and electrolytic plating. For the electroless plating in the present invention, a known electroless plating technique can be used. For example, an electroless plating technique used for a printed wiring board can be used, and the electroless plating is an electroless copper plating. Preferably there is.
Examples of the electrolytic copper plating bath include a copper sulfate bath and a copper pyrophosphate bath.

<めっき活性化処理>
本発明において、高いEMIシールド性と高い透明性とを同時に得る観点から、黒白現像によって未露光部では銀の沈積や現像液汚れがなく、露光部では高導電性銀を生成して、パターン状のシールド機能銀を形成させるために現像銀を補強する手段を鋭意検討した結果、現像処理後の特定の補力処理が有効で本発明の好ましい態様となることを見出した。
<Plating activation treatment>
In the present invention, from the viewpoint of obtaining high EMI shielding properties and high transparency at the same time, there is no silver deposition or developing solution contamination in the unexposed area by black and white development, and highly conductive silver is generated in the exposed area to form a pattern. As a result of intensive studies on means for reinforcing developed silver in order to form silver having a shielding function, it was found that a specific intensification treatment after the development treatment is effective and is a preferred embodiment of the present invention.

[活性化処理1]
本発明では、現像処理後の感光材料に活性化処理が行われる。活性化処理によって、現像中に形成された導電性金属部に後続するめっき又は物理現像工程での金属沈積が容易に
なる。
本発明における活性化液は、現像処理後、導電性金属部の表面上に形成されためっき阻害成分を除去する能力を有している液のことである。
めっき阻害成分とは、導電性金属部の表面上に形成される酸化物、硫化物、ハロゲン化物を指している。具体的には、硫化銀、ヨウ化銀等が挙げられる。めっき阻害成分を除去する能力を有する液とは、還元性物質、金属溶解剤、硫化物溶解剤、及び/又は、ハロゲン溶解剤を含有している液である。
[Activation 1]
In the present invention, an activation process is performed on the photosensitive material after the development process. The activation process facilitates metal deposition in a plating or physical development process subsequent to the conductive metal portion formed during development.
The activation liquid in the present invention is a liquid having the ability to remove the plating-inhibiting component formed on the surface of the conductive metal part after the development processing.
The plating inhibiting component refers to an oxide, sulfide, or halide formed on the surface of the conductive metal portion. Specific examples include silver sulfide and silver iodide. The solution having the ability to remove the plating inhibitory component is a solution containing a reducing substance, a metal dissolving agent, a sulfide dissolving agent, and / or a halogen dissolving agent.

還元性物質として水素化ホウ素(テトラヒドロほう酸)のアルカリ金属塩、好ましくは水素化ホウ素ナトリウム及び水素化ホウ素カリウムが挙げられる。活性化浴中の濃度としては、0.005〜10g/Lであり、好ましくは0.01〜6g/L、更に好ましくは0.015〜0.8g/Lである。
金属溶解剤としては、水溶性銀塩、好ましくは硝酸銀が挙げられる。活性化浴中の濃度としては、5〜1000g/Lであり、好ましくは10〜1000g/L、更に好ましくは30〜1000g/Lである。
硫化物溶解剤は、pKが2以下の強酸であり、硝酸、硫酸、塩酸が挙げられる。活性化
浴中の濃度としては、0.5〜200g/Lであり、好ましくは1〜180g/L、更に好ましくは3〜120g/Lである。
ハロゲン化銀溶剤としては、アルカリハライド、好ましくは塩化ナトリウム、塩化カリウム及び塩化アンモニウ等が挙げられる。活性化浴中の濃度としては、0.5〜100g/Lであり、好ましくは5〜80g/L、更に好ましくは10〜60g/Lである。
Examples of the reducing substance include alkali metal salts of borohydride (tetrahydroboric acid), preferably sodium borohydride and potassium borohydride. The concentration in the activation bath is 0.005 to 10 g / L, preferably 0.01 to 6 g / L, and more preferably 0.015 to 0.8 g / L.
Examples of the metal solubilizer include water-soluble silver salts, preferably silver nitrate. The concentration in the activation bath is 5 to 1000 g / L, preferably 10 to 1000 g / L, and more preferably 30 to 1000 g / L.
The sulfide solubilizer is a strong acid having a pK of 2 or less, and examples thereof include nitric acid, sulfuric acid, and hydrochloric acid. The concentration in the activation bath is 0.5 to 200 g / L, preferably 1 to 180 g / L, and more preferably 3 to 120 g / L.
Examples of the silver halide solvent include alkali halides, preferably sodium chloride, potassium chloride and ammonium chloride. The concentration in the activation bath is 0.5 to 100 g / L, preferably 5 to 80 g / L, and more preferably 10 to 60 g / L.

上記の活性化処理は、上記の還元性物質、金属溶解剤、硫化物溶解剤、及び/又は、ハロゲン溶解剤から選ばれる少なくとも一つの化合物を含んでいることを特徴としており、この浴処理によって、現像銀表面が吸着物質によって阻害される弊害がなく、めっきあるいは物理現像が効果的に行われて電導性に優れた導電性金属膜が形成される。本発明の活性化浴によって得られる電磁波シールド膜や透明電極などの透光性導電性膜の高い電導性が向上する理由は、現像銀の表面の電着阻害物質が、上記(1)〜(4)の群の化合物によって表面から除かれて清浄な表面が確保されるためと考えられる。さらに付言するなら、感光材料を黒白現像して形成された現像銀の表面をXPSによって解析したところ、Ag-I
やAg-Sの結合に起因する結合エネルギーピークがみられたが、上記化合物で処理を行うとこれらのピークの消滅、減少あるいは移動が観察されており、上記の推定作用機構を裏付けている。
本発明に係わる上記の活性化浴はこの点で従来から公知の活性化浴、すなわちめっきされる金属核を補強するパラジウム化合物で代表される貴金属化合物浴(例えば2004−269992号公報参照)による補力作用を有する処理浴、とは組成や作用機構が全く異なるものであるが、機能上活性化浴と呼ぶ。
本発明の活性化浴の浸漬時間は、10秒〜10分であり、好ましくは30秒〜5分である。
本発明の活性化浴の温度は、15℃〜60℃であり、好ましくは25℃〜55℃である。
The activation treatment is characterized by containing at least one compound selected from the above-described reducing substance, metal dissolving agent, sulfide dissolving agent, and / or halogen dissolving agent. The developed silver surface does not have the harmful effect of being hindered by the adsorbing substance, and plating or physical development is effectively performed to form a conductive metal film having excellent conductivity. The reason why the high conductivity of the translucent conductive film such as the electromagnetic wave shielding film or the transparent electrode obtained by the activation bath of the present invention is improved is that the electrodeposition inhibitor on the surface of developed silver is the above (1) to ( It is considered that a clean surface is secured by being removed from the surface by the compound of group 4). In addition, when the surface of developed silver formed by developing black and white photosensitive material was analyzed by XPS, Ag-I
And binding energy peaks due to Ag-S bonds were observed, but when these compounds were treated, the disappearance, reduction, or movement of these peaks was observed, confirming the above-described presumed mechanism of action.
In this respect, the above-described activation bath according to the present invention is supplemented by a conventionally known activation bath, that is, a noble metal compound bath represented by a palladium compound that reinforces a metal nucleus to be plated (see, for example, 2004-269992). A treatment bath having a force action is completely different in composition and action mechanism, but is functionally called an activation bath.
The immersion time of the activation bath of the present invention is 10 seconds to 10 minutes, preferably 30 seconds to 5 minutes.
The temperature of the activation bath of the present invention is 15 ° C to 60 ° C, preferably 25 ° C to 55 ° C.

[活性化処理2]
本発明では、現像処理後の感光材料に活性化処理が行われ、現像によって形成された導電性金属部に後続するめっき又は物理現像工程での金属沈積が容易になるように補強(すなわち写真学会用語の「補力」)を行うことが好ましい。
本発明の特徴は、活性化処理条件を下記条件式Iを満たす条件で行うことにある。
条件式I: 3≦DtT≦10
(条件式Iにおいて、Dは貴金属化合物の濃度(g/L)、tは活性化浴の処理時間(min)、Tは活性化浴の温度(℃)を表す。)
この活性化処理を行うことにより、その後のめっき速度を促進させることができる。無電解めっきの際に、パラヂウム化合物などによる前処理(活性化処理に相当)を行うことは知られているが、本発明では公知の前処理では、得られる透光性導電性膜の製造を続ける間に、得られる該膜の光透過率が低下し、金属銀部と光透過部とのめっき選択性が低下する。また活性化処理液の活性も低下するという不利が伴う。しかしながら、上記の条件の範囲で活性化処理を行うと、その弊害がなく、透光性と導電性が両立する優れた透光性導電性膜を得ることができる。
[Activation process 2]
In the present invention, activation processing is performed on the photosensitive material after development processing, and reinforcement is performed so that metal deposition in a plating or physical development process subsequent to the conductive metal portion formed by development is facilitated (that is, photographic society The term “compensation”) is preferably performed.
A feature of the present invention resides in that the activation treatment condition is satisfied under the condition that satisfies the following conditional expression I.
Conditional expression I: 3 ≦ DtT ≦ 10
(In conditional formula I, D represents the concentration (g / L) of the noble metal compound, t represents the treatment time (min) of the activation bath, and T represents the temperature (° C.) of the activation bath.)
By performing this activation treatment, the subsequent plating rate can be promoted. In electroless plating, it is known to perform a pretreatment with a palladium compound or the like (corresponding to an activation treatment). However, in the present invention, in the known pretreatment, a light-transmitting conductive film obtained is manufactured. While continuing, the light transmittance of the obtained film is lowered, and the plating selectivity between the metal silver portion and the light transmissive portion is lowered. In addition, there is a disadvantage that the activity of the activation treatment liquid is also reduced. However, when the activation treatment is performed in the range of the above conditions, an excellent translucent conductive film having both the translucency and the electroconductivity can be obtained without the adverse effects.

条件式Iは、好ましくは条件式IIである。
条件式II: 4≦DtT≦8
活性化処理条件が上記範囲を超えている場合には、上記した弊害が現れ、上記範囲よりも低い場合には、活性化の効果、すなわち補力の効果が発現しない。
Conditional formula I is preferably conditional formula II.
Conditional expression II: 4 ≦ DtT ≦ 8
When the activation treatment condition exceeds the above range, the above-described adverse effects appear. When the activation treatment condition is lower than the above range, the activation effect, that is, the effect of intensification does not appear.

本発明における活性化液は、貴金属化合物を含有している。貴金属化合物とは、イオン化傾向が小さく、空気中で熱しても酸化され難い金属を指す。具体的には、Au,Ag及び白金族(Ru,Rh,Pd,Os,Ir,Pt)の化合物が挙げられる。Au,Pd,Ag,Pt化合物を主成分とするのが好ましく、Pd化合物を主成分とするのが特に好ましい。
これらの貴金属化合物は、塩酸塩、硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩のような塩を酸性下で水に溶解させたものが用いられる。具体的には、塩化パラジウム、硫酸パラジウム、又は、硝酸パラジウムを、塩酸水溶液、硫酸水溶液、硝酸水溶液に溶解したものが用いられる。
貴金属化合物の濃度としては、0.05〜5g/Lであり、好ましくは0.1〜1g/L、更に好ましくは0.15〜0.8g/Lである。
活性化浴の浸漬時間は、10秒〜5分であり、好ましくは20秒〜3分、更に好ましくは20秒〜50秒である。
活性化浴の温度は、15℃〜60℃であり、好ましくは25℃〜55℃、更に好ましくは35℃〜50℃である。
また、本発明の規定の範囲であれば、銅合金等への触媒付与剤として市販されている活性化液を使用しても良い。
The activation liquid in the present invention contains a noble metal compound. A noble metal compound refers to a metal that has a low ionization tendency and is not easily oxidized when heated in air. Specific examples include Au, Ag, and platinum group compounds (Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt). An Au, Pd, Ag, and Pt compound is preferable as a main component, and a Pd compound is particularly preferable as a main component.
As these noble metal compounds, those obtained by dissolving salts such as hydrochloride, sulfate, nitrate and acetate in water under acidic conditions are used. Specifically, palladium chloride, palladium sulfate, or palladium nitrate dissolved in an aqueous hydrochloric acid solution, an aqueous sulfuric acid solution, or an aqueous nitric acid solution is used.
The concentration of the noble metal compound is 0.05 to 5 g / L, preferably 0.1 to 1 g / L, and more preferably 0.15 to 0.8 g / L.
The immersion time of the activation bath is 10 seconds to 5 minutes, preferably 20 seconds to 3 minutes, and more preferably 20 seconds to 50 seconds.
The temperature of the activation bath is 15 ° C to 60 ° C, preferably 25 ° C to 55 ° C, more preferably 35 ° C to 50 ° C.
Moreover, if it is the range of the prescription | regulation of this invention, you may use the activation liquid marketed as a catalyst provision agent to a copper alloy etc.

<無電解銅めっき>
無電解銅めっきに含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤としてホルマリンやグリオキシル酸、銅イオン錯化剤としてEDTA,TIPAやトリエタノールアミン等、その他浴の安定化やめっき皮膜の平滑性を向上させるための添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン、チオ尿素系化合物などが挙げられる。銅イオン錯化剤としてはトリエタノールアミンがより好ましい。
浴の安定化剤としては、硫黄含有化合物がより好ましい。浴の安定化剤の添加量は、1×10-9〜1×10-4mol/Lが好ましく、1×10-8〜1×10-6mol/Lがより好ましい。銅イオンの濃度は、0.001〜0.3mol/Lが好ましく、0.005〜0.1mol/Lがより好ましく、0.01〜0.1mol/Lがさらに好ましい。銅イオン錯化剤の濃度は、銅イオン濃度に対して0.5〜10倍molが好ましく、0.7〜7倍molがより好ましく、0.8〜4倍molがさらに好ましい。還元剤濃度は、0.001〜1mol/Lが好ましく、0.01〜1mol/Lがより好ましく、0.1〜0.7mol/Lが液の安定性とめっき速度との両立という点でさらに好ましい。
<Electroless copper plating>
Chemical species included in electroless copper plating include copper sulfate and copper chloride, formalin and glyoxylic acid as reducing agents, EDTA, TIPA and triethanolamine as copper ion complexing agents, and other bath stabilization and plating film Examples of additives for improving smoothness include polyethylene glycol, yellow blood salt, bipyridine, and thiourea compounds. As the copper ion complexing agent, triethanolamine is more preferable.
As the bath stabilizer, a sulfur-containing compound is more preferable. The amount of the bath stabilizer added is preferably 1 × 10 −9 to 1 × 10 −4 mol / L, and more preferably 1 × 10 −8 to 1 × 10 −6 mol / L. The concentration of copper ions is preferably 0.001 to 0.3 mol / L, more preferably 0.005 to 0.1 mol / L, and still more preferably 0.01 to 0.1 mol / L. The concentration of the copper ion complexing agent is preferably 0.5 to 10 times mol, more preferably 0.7 to 7 times mol, and still more preferably 0.8 to 4 times mol with respect to the copper ion concentration. The concentration of the reducing agent is preferably 0.001 to 1 mol / L, more preferably 0.01 to 1 mol / L, and further 0.1 to 0.7 mol / L is more in view of both the stability of the solution and the plating rate. preferable.

無電解めっき時間は、15秒〜10分が好ましく、30秒〜8分がより好ましく、1〜7分がさらに好ましい。10分より長いと、高アルカリ浴に長時間浸漬されることによるゼラチン膜の変質が原因と思われる光透過性部の透明性の著しい劣化が見られる。また、30秒より短いと激しい厚みむらが生じてしまう。
めっき温度は、10〜40℃が好ましく、15〜40℃がより好ましく、18〜35℃
がさらに好ましい。
連続でも断続でもよいがエアレーションをすることが好ましい。エアーの量は、0.01〜10L/L溶液/分が好ましく、0.05〜3L/L溶液/分がより好ましく、0.2〜0.5L/L溶液/分がさらに好ましい。エアーは多いほうが液中の攪拌能力が上がり均一性などの面で好ましいが、多過ぎると吹き込まれるCO2によって、液のpHが下
がり、その補正のため大量のアルカリを補充しなければならなくなる。
The electroless plating time is preferably 15 seconds to 10 minutes, more preferably 30 seconds to 8 minutes, and even more preferably 1 to 7 minutes. If it is longer than 10 minutes, the transparency of the light-transmitting part is markedly deteriorated, which is considered to be caused by alteration of the gelatin film by being immersed in a highly alkaline bath for a long time. On the other hand, if it is shorter than 30 seconds, severe thickness unevenness occurs.
The plating temperature is preferably 10 to 40 ° C, more preferably 15 to 40 ° C, and 18 to 35 ° C.
Is more preferable.
It may be continuous or intermittent, but aeration is preferred. The amount of air is preferably 0.01 to 10 L / L solution / min, more preferably 0.05 to 3 L / L solution / min, and still more preferably 0.2 to 0.5 L / L solution / min. A larger amount of air is preferable in terms of uniformity and the like because the stirring ability in the liquid is increased, but if it is excessive, the pH of the liquid is lowered by CO 2 blown in, and a large amount of alkali must be replenished for the correction.

本発明におけるめっき処理時のめっき速度は、緩やかな条件で行うことができ、さらに5μm/hr以上の高速めっきも可能である。めっき処理において、めっき液の安定性を高める観点からは、例えば、EDTAなどの配位子など種々の添加剤を用いることができる。
めっき槽の数は、1槽でも複数槽による多段処理でもよい。
The plating rate during the plating treatment in the present invention can be performed under moderate conditions, and high-speed plating of 5 μm / hr or more is also possible. In the plating treatment, various additives such as a ligand such as EDTA can be used from the viewpoint of improving the stability of the plating solution.
The number of plating tanks may be one tank or multistage treatment using a plurality of tanks.

次に本発明で用いられるめっき浴の安定化剤である一般式(A)、(B)、(C)及び(D)で表される化合物について詳細に説明する。
一般式(A)中、Qa1は好ましくは炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子及びセレン原子の少なくとも一種の原子から構成される5又は6員の複素環を形成するのに必要な非金属原子群を表わす。尚、この複素環は炭素芳香環または複素芳香環で縮合していてもよい。
複素環としては例えばテトラゾール環、トリアゾール環、イミダゾール環、チアジアゾール環、オキサジアゾール環、セレナジアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ベンズオキサゾール環、ベンズチアゾール環、ベンズイミダゾール環、ピリミジン環、トリアザインデン環、テトラアザインデン環、ペンタアザインデン環等があげられる。Ra1はカルボン酸またはその塩(例えばナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、カルシウム塩)、スルホン酸またはその塩(例えばナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩)、ホスホン酸またはその塩(例えばナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩)、置換もしくは無置換のアミノ基(例えば無置換アミノ、ジメチルアミノ、ジエチルアミノ、メチルアミノ、ビスメトキシエチルアミノ)、置換もしくは無置換のアンモニウム基(例えばトリメチルアンモニウム、トリエチルアンモニウム、ジメチルベンジルアンモニウム)を表わす。
a1は単結合、二価の脂肪族基、二価の芳香族炭化水素基、二価の複素環基又はこれらの組合せた連結基を表わす。
a1は好ましくは炭素数1〜10のアルキレン基(例えばメチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソプロピレン、2−ヒドロキシプロピレン、ヘキシレン、オクチレンの各基)、炭素数2〜10のアルケニレン基(例えばビニレン、プロペニレン、ブテニレンの各基)、炭素数7〜12のアラルキレン基(例えばフェネチレン基)、炭素数6〜12のアリーレン基(例えばフェニレン、2−クロロフェニレン、3−メトキシフェニレン、ナフチレンの各基)、炭素数1〜10の複素環基(例えばピリジル、チエニル、フリル、トリアゾリル、イミダゾリルの各基)の二価のもの、単結合およびこれらの基を任意に組合せた基であってもよいし、−CO−、−SO2 −、−NR202−、−O−または−S
−を任意に組合せたものでもよい。ここでR202 は水素原子、炭素数1〜6のアルキル基(例えばメチル、エチル、ブチル、ヘキシルの各基)、炭素数7〜10のアラルキル基(例えばベンジル期、フェネチル基)、炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル、4−メチルフェニルの各基)を表わす。
Next, the compounds represented by the general formulas (A), (B), (C) and (D) which are stabilizers for the plating bath used in the present invention will be described in detail.
In the general formula (A), Q a1 is preferably non-necessary for forming a 5- or 6-membered heterocyclic ring composed of at least one atom of carbon atom, nitrogen atom, oxygen atom, sulfur atom and selenium atom. Represents a metal atom group. This heterocyclic ring may be condensed with a carbon aromatic ring or a heteroaromatic ring.
Examples of the heterocyclic ring include tetrazole ring, triazole ring, imidazole ring, thiadiazole ring, oxadiazole ring, selenadiazole ring, oxazole ring, thiazole ring, benzoxazole ring, benzthiazole ring, benzimidazole ring, pyrimidine ring, triazaine Examples thereof include a den ring, a tetraazaindene ring, and a pentaazaindene ring. R a1 is a carboxylic acid or a salt thereof (for example, sodium salt, potassium salt, ammonium salt, calcium salt), a sulfonic acid or a salt thereof (for example, sodium salt, potassium salt, ammonium salt, magnesium salt, calcium salt), phosphonic acid or a salt thereof Salt (for example, sodium salt, potassium salt, ammonium salt), substituted or unsubstituted amino group (for example, unsubstituted amino, dimethylamino, diethylamino, methylamino, bismethoxyethylamino), substituted or unsubstituted ammonium group (for example, trimethyl) Ammonium, triethylammonium, dimethylbenzylammonium).
L a1 represents a single bond, a divalent aliphatic group, a divalent aromatic hydrocarbon group, a divalent heterocyclic group, or a linking group combining these.
L a1 is preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms (for example, methylene, ethylene, propylene, butylene, isopropylene, 2-hydroxypropylene, hexylene, and octylene groups) or an alkenylene group having 2 to 10 carbon atoms (for example, vinylene). , Propenylene, butenylene groups), aralkylene groups having 7 to 12 carbon atoms (for example, phenethylene groups), and arylene groups having 6 to 12 carbon atoms (for example, phenylene, 2-chlorophenylene, 3-methoxyphenylene, and naphthylene groups). , A divalent group of a heterocyclic group having 1 to 10 carbon atoms (for example, pyridyl, thienyl, furyl, triazolyl, imidazolyl group), a single bond, and a group arbitrarily combining these groups, —CO—, —SO 2 —, —NR 202 —, —O— or —S
-May be arbitrarily combined. Here, R 202 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, butyl, or hexyl groups), an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms (for example, benzyl phase, phenethyl group), 6 carbon atoms. To 10 aryl groups (for example, phenyl and 4-methylphenyl groups).

a1は水素原子またはカチオン(例えば、ナトリウム原子、カリウム原子のようなアルカリ金属原子、マグネシウム原子、カルシウム原子のようなアルカリ土類金属原子、アンモニウム基、トリエチルアンモニウム基のようなアンモニウム基)を表わす。また一般式(A)で表わされる複素環およびRa1はニトロ基、ハロゲン原子(例えば塩素原子、臭素原子)、メルカプト基、シアノ基、それぞれ置換もしくは無置換のアルキル基(例えば、
メチル、エチル、プロピル、t−ブチル、シアノエチルの各基)、アリール基(例えばフェニル、4−メタンスルホンアミドフェニル、4−メチルフェニル、3,4−ジクロルフェニル、ナフチルの各基)、アルケニル基(例えばアリル基)、アラルキル基(例えばベンジル、4−メチルベンジル、フェネチルの各基)、スルホニル基(例えばメタンスルホニル、エタンスルホニル、p−トルエンスルホニルの各基)、カルバモイル基(例えば無置換カルバモイル、メチルカルバモイル、フェニルカルバモイルの各基)、スルファモイル基(例えば無置換スルファモイル、メチルスルファモイル、フェニルスルファモイルの各基)、カルボンアミド基(例えばアセトアミド、ベンズアミドの各基)、スルホンアミド基(例えばメタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、p−トルエンスルホンアミドの各基)、アシルオキシ基(例えばアセチルオキシ、ベンゾイルオキシの各基)、スルホニルオキシ基(例えばメタンスルホニルオキシ)、ウレイド基(例えば無置換ウレイド、メチルウレイド、エチルウレイド、フェニルウレイドの各基)、アシル基(例えばアセチル、ベンゾイルの各基)、オキシカルボニル基(例えばメチキシカルボニル、フェノキシカルボニルの各基)、オキシカルボニルアミノ基(例えばメトキシカルボニルアミノ、フェノキシカルボニルアミノ、2−エチルヘキシルオキシカルボニルアミノの各基)、ヒドロキシル基などで置換されていてもよい。
M a1 represents a hydrogen atom or a cation (for example, an alkali metal atom such as a sodium atom or a potassium atom, an alkaline earth metal atom such as a magnesium atom or a calcium atom, an ammonium group such as an ammonium group or a triethylammonium group). . Further, the heterocyclic ring represented by the general formula (A) and R a1 are a nitro group, a halogen atom (for example, chlorine atom, bromine atom), a mercapto group, a cyano group, and a substituted or unsubstituted alkyl group (for example,
Methyl, ethyl, propyl, t-butyl, cyanoethyl groups), aryl groups (for example, phenyl, 4-methanesulfonamidophenyl, 4-methylphenyl, 3,4-dichlorophenyl, naphthyl groups), alkenyl groups (For example, allyl group), aralkyl group (for example, benzyl, 4-methylbenzyl, phenethyl groups), sulfonyl group (for example, methanesulfonyl, ethanesulfonyl, p-toluenesulfonyl groups), carbamoyl group (for example, unsubstituted carbamoyl, Methylcarbamoyl, phenylcarbamoyl groups), sulfamoyl groups (eg unsubstituted sulfamoyl, methylsulfamoyl, phenylsulfamoyl groups), carbonamido groups (eg acetamido, benzamide groups), sulfonamido groups (eg Methanesulfone Amide, benzenesulfonamide, p-toluenesulfonamide groups), acyloxy groups (eg acetyloxy, benzoyloxy groups), sulfonyloxy groups (eg methanesulfonyloxy), ureido groups (eg unsubstituted ureido, methylureido) , Ethylureido and phenylureido groups), acyl groups (eg acetyl and benzoyl groups), oxycarbonyl groups (eg methoxycarbonyl and phenoxycarbonyl groups), oxycarbonylamino groups (eg methoxycarbonylamino and phenoxy) Each group of carbonylamino, 2-ethylhexyloxycarbonylamino), a hydroxyl group and the like may be substituted.

qは1〜3の整数を表わすが、qが2または3を表わすときは各々のRa1は同じであっても異っていてもよい。
一般式(A)中、好ましくはQa1はテトラゾール環、トリアゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、トリアザインデン環、テトラアザインデン環、ペンタアザインデン環を表わし、Ra1はカルボン酸またはその塩、スルホン酸またはその塩から選ばれる基の1つまたは2つで置換された炭素数1〜6のアルキル基を表わし、qは1または2を表わす。
一般式(A)で表わされる化合物の中で、より好ましい化合物としては一般式(A−1)で表わされる化合物があげられる。
一般式(A−1)
q represents an integer of 1 to 3, but when q represents 2 or 3, each R a1 may be the same or different.
In general formula (A), preferably Q a1 represents a tetrazole ring, a triazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, a triazaindene ring, a tetraazaindene ring, or a pentaazaindene ring, and R a1 represents a carboxylic acid or its Represents a C 1-6 alkyl group substituted with one or two groups selected from a salt, a sulfonic acid or a salt thereof, and q represents 1 or 2.
Among the compounds represented by the general formula (A), more preferable compounds include compounds represented by the general formula (A-1).
Formula (A-1)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中、Ma1及びRa1は前記一般式(A)のそれぞれと同義である。T及びUはC−Ra2またはNを表わし、Ra2は水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アラルキル基、アリール基、カルボンアミド基、スルホンアミド基、ウレイド基又はRa1を表わす。ただしRa2がRa1を表わすときは一般式(A)のRa1と同じであっても異っていてもよい。
次に一般式(A−1)について詳細に説明する。T及びUはC−Ra2またはNを表わし、Ra2は水素原子、ハロゲン原子(例えば塩素原子、臭素原子)、ヒドロキシ基、ニトロ基、アルキル基(例えばメチル、エチル、メトキシエチル、n−ブチル、2−エチルヘキシルの各基)、アルケニル基(例えばアリル基)、アラルキル基(例えば、ベンジル、4−メチルベンジル、フェネチル、4−メトキシベンジの各基)、アリール基(例えば、フェニル、ナフチル、4−メタンスルホンアミドフェニル、4−メチルフェニルの各基)、カルボンアミド基(例えば、アセチルアミノ、ベンゾイルアミノ、メトキシプロピオニル
アミノの各基)、スルホンアミド基(例えば、メタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、p−トルエンスルホンアミドの各基)、ウレイド基(例えば、無置換のウレイド、メチルウレイド、フェニルウレイドの各基)、またはRa1を表わす。ただしRa2がRa1を表わすときは、一般式(A)のRa1と同じであっても異っていてもよい。一般式(A−1)中、好ましくはT=U=NまたはT=U=C−Ra2を表わし、Ra2は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基を表わし、Ra1はカルボン酸またはその塩、スルホン酸またはその塩から選ばれる基の1つまたは2つで置換された炭素数1〜4のアルキル基を表わす。
以下に本発明の一般式(A)の化合物の具体例を示すが本発明はこれに限定されるものではない。
In the formula, M a1 and R a1 have the same meanings as those in the general formula (A). T and U represent C—R a2 or N, and R a2 represents a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxy group, a nitro group, an alkyl group, an alkenyl group, an aralkyl group, an aryl group, a carbonamido group, a sulfonamido group, or a ureido group. Or it represents R a1 . However, when R a2 represents R a1 , it may be the same as or different from R a1 in the general formula (A).
Next, the general formula (A-1) will be described in detail. T and U represent C—R a2 or N, and R a2 represents a hydrogen atom, a halogen atom (for example, chlorine atom, bromine atom), a hydroxy group, a nitro group, an alkyl group (for example, methyl, ethyl, methoxyethyl, n-butyl). , 2-ethylhexyl groups), alkenyl groups (for example, allyl groups), aralkyl groups (for example, benzyl, 4-methylbenzyl, phenethyl, 4-methoxybenzyl groups), aryl groups (for example, phenyl, naphthyl, 4 -Methanesulfonamidophenyl, 4-methylphenyl groups), carbonamide groups (for example, acetylamino, benzoylamino, methoxypropionylamino groups), sulfonamido groups (for example, methanesulfonamide, benzenesulfonamide, p -Each group of toluenesulfonamide), ureido group (for example, unsubstituted Reid, methylureido, each group of phenyl ureido), or represents a R a1. However, when R a2 represents R a1 , it may be the same as or different from R a1 in the general formula (A). In general formula (A-1), preferably T = U = N or T = U = C-R a2 , R a2 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R a1 represents a carboxylic acid. Alternatively, it represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with one or two groups selected from a salt thereof, a sulfonic acid or a salt thereof.
Although the specific example of the compound of general formula (A) of this invention is shown below, this invention is not limited to this.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

本発明で用いられる一般式(A)の化合物は、ベリヒテ・デア・ドイツチェン・ヘミツシェン・ゲゼルシャフト(Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft) 28、
77(1895)、特開昭60−61749号、同60−147735号、ベリヒテ・デア・ドイツチェン・ヘミツシェン・ゲゼルシャフト(Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft) 22、568(1889)、同29、2483(1896)、ジャー
ナル・オブ・ケミカル・ソサイアティ(J.Chem.Soc.)1932、1806、ジャーナ
ル・オブ・ジ・アメリカン・ケミカル・ソサイアティ(J.Am.Chem.Soc.) 71、40
00(1949)、アドバンシイズ・イン・ヘテロサイクリック・ケミストリー(Advances in Heterocyclic Chemistry)9、165(1968)、オーガニック・シンセシス(Or
ganic Synthesis)IV、569(1963)、ジャーナル・オブ・ジ・アメリカン・ケミカル・ソサイアティ(J.Am.Chem.Soc.) 45、2390(1923)、ヘミシェ・ベリ
ヒテ(Chemische Berichte) 9、465(1876)に記載されている方法に準じて合
成できる。
The compound of the general formula (A) used in the present invention is Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft 28,
77 (1895), JP-A-60-61749, 60-147735, Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft 22, 568 (1889), 29, 2483 (1896) , Journal of Chemical Society (J. Chem. Soc.) 1932, 1806, Journal of the American Chemical Society (J. Am. Chem. Soc.) 71, 40
00 (1949), Advances in Heterocyclic Chemistry 9, 165 (1968), Organic Synthesis (Or
ganic Synthesis IV, 569 (1963), Journal of the American Chemical Society (J. Am. Chem. Soc.) 45, 2390 (1923), Hemische Berichte 9, 465 (1876) ) And can be synthesized according to the method described in (1).

次に一般式(B)について詳細に説明する。一般式(B)中、Qb1は、炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子またはセレン原子により構成される5または6員のメソイオン環を表わし、Xb1 -は−O- 、−S- または−N- b1を表わす。Rb1は脂肪族基、芳香
族炭化水素基、または複素環基を表わす。本発明の一般式(B)で表わされるメソイオン化合物とはW.Baker とW.D.Ollis がクオータリー・レビュー(Ouart.Rev.)11、15(1957)、アドバンシイズ・イン・ヘテロサイクリック・ケミストリー(Advances in Heterocyclic Chemistry)19、1(1976)で定義している化合物群であり「5または6員の複素環状化合物で、一つの共有結合構造式または極性構造式では満足に表示することができず、また環を構成するすべての原子に関連したπ電子の六偶子を有する化合物で環は部分的正電荷を帯び、環外原子または原子団上の等しい負電荷とつり合いをたもっている」ものを表わす。
b1で表わされるメソイオン環としては、イミダゾリウム環、ピラゾリウム環、オキサゾリウム環、チアゾリウム環、トリアゾリウム環、テトラゾリウム環、チアジアゾリウム環、オキサジアゾリウム環、チアトリアゾリウム環、オキサトリアゾリウム環などがあげられる。
Next, the general formula (B) will be described in detail. In the general formula (B), Q b1 represents a 5- or 6-membered mesoionic ring composed of a carbon atom, a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom, and X b1 represents —O , —S −. or -N - represents a R b1. R b1 represents an aliphatic group, an aromatic hydrocarbon group, or a heterocyclic group. The mesoionic compound represented by the general formula (B) of the present invention is W.W. Baker and W.W. D. Ollis is a group of compounds defined in Quarterly Review (Ouart. Rev.) 11, 15 (1957), Advances in Heterocyclic Chemistry 19, 1 (1976). 5- or 6-membered heterocyclic compounds that cannot be expressed satisfactorily in one covalent bond structure or polar structure formula, and have π-electron hexadecatom related to all atoms constituting the ring The ring is partially positively charged and is in balance with an equal negative charge on the exocyclic atom or group of atoms.
Examples of the mesoion ring represented by Q b1 include imidazolium ring, pyrazolium ring, oxazolium ring, thiazolium ring, triazolium ring, tetrazolium ring, thiadiazolium ring, oxadiazolium ring, thiatriazolium ring, oxatriazolium ring Etc.

b1は置換もしくは無置換の脂肪族基(例えばメチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、イソプロピル、n−オクチル、カルボキシメチル、ジメチルアミノエチル、シクロヘキシル、4−メチルシクロヘキシル、シクロペンチル、プロペニル、2−メチルプロペニル、プロパルギル、ブチニル、1−メチルプロパルギル、ベンジル、4−メトキシベンジル)、置換もしくは無置換の芳香族基(例えばフェニル、ナフチル、4−メチルフェニル、3−メトキシフェニル、4−エトキシカルボニルフェニル)、置換又は無置換の複素環基(例えばピリジル、イミダゾリル、モルホリノ、トリアゾリル、テトラゾリル、チエニル)を表わす。また、Mで表わされるメソイオン環は一般式(A)で説明した置換基で置換されていてもよい。さらに一般式(B)で表わされる化合物は、塩(例えば酢酸塩、硝酸塩、サリチル酸塩、塩酸塩、ヨウ素酸塩、臭素酸塩)を形成してもよい。
一般式(B)中好ましくはXb1 -は−S- を表わす。本発明で用いられる一般式(B)のメソイオン化合物の中でより好ましくは以下の一般式(B−1)があげられる。
一般式(B−1)
R b1 represents a substituted or unsubstituted aliphatic group (for example, methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, isopropyl, n-octyl, carboxymethyl, dimethylaminoethyl, cyclohexyl, 4-methylcyclohexyl, cyclopentyl, propenyl, 2 -Methylpropenyl, propargyl, butynyl, 1-methylpropargyl, benzyl, 4-methoxybenzyl), substituted or unsubstituted aromatic groups (eg phenyl, naphthyl, 4-methylphenyl, 3-methoxyphenyl, 4-ethoxycarbonylphenyl) ), A substituted or unsubstituted heterocyclic group (for example, pyridyl, imidazolyl, morpholino, triazolyl, tetrazolyl, thienyl). Further, the mesoionic ring represented by M may be substituted with the substituent described in the general formula (A). Furthermore, the compound represented by the general formula (B) may form a salt (for example, acetate, nitrate, salicylate, hydrochloride, iodate, bromate).
Among the preferred general formula (B) X b1 - it is -S - represent. Among the mesoionic compounds of the general formula (B) used in the present invention, the following general formula (B-1) is more preferable.
Formula (B-1)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

式中、Xb2はNまたはC−Rb3を表わし、Yb1はO、S、NまたはN−Rb4を表わし、Z301 はN、N−Rb5またはC−Rb6を表わす。Rb2、Rb3、Rb4、Rb5およびRb6は脂肪族基、芳香族基、複素環基、アミノ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、スルファモイルアミノ基、アシル基またはカルバモイル基を表わす。ただし、Rb3
よびRb6は水素原子であってもよい。また、Rb2とRb3、Rb2とRb5、Rb2とRb6、Rb4とRb5およびRb4とRb6は環を形成してもよい。上記一般式(B−1)で示される化合物について詳細に説明する。Rb2、Rb3、Rb4、Rb5およびRb6の脂肪族基、芳香族基、複素環基、アミノ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、ウレイド基、スルファモイルアミノ基、アシル基及びカルバモイル基は置換されていてもよい。
一般式(B−1)中好ましくはXb2はN、C−Rb3を表わし、Yb1はN−Rb4またはS、Oを表わし、Zb1はNまたはC−Rb6を表わし、Rb2、Rb3またはRb6は置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアルケニル基、置換もしくは無置換のアルキニル基または置換もしくは無置換の複素環基を表わす。ただしRb3およびRb6は、水素原子であってもよい。Rb4は、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアルケニル基、置換もしくは無置換のアルキニル基、置換もしくは無置換の複素環基、置換もしくは無置換のアミノ基が好ましい。一般式(B−1)中、より好ましくはXb2はNを表わし、Yb1はN−Rb4を表わし、Zb1はC−Rb6を表わす。Rb2およびRb4は炭素数1〜6のアルキル基を表わし、Rb6は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表わす。ただしRb2、Rb4およびRb6のうち少なくとも1つのアルキル基は少なくとも1つのカルボン酸基、スルホン酸基、アミノ基、ホスホノ基で置換されているものがより好ましい。
以下に本発明の一般式(B)の化合物の具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
In the formula, X b2 represents N or C—R b3 , Y b1 represents O, S, N or N—R b4 , and Z 301 represents N, N—R b5 or C—R b6 . R b2 , R b3 , R b4 , R b5 and R b6 are an aliphatic group, aromatic group, heterocyclic group, amino group, acylamino group, sulfonamido group, ureido group, sulfamoylamino group, acyl group or carbamoyl. Represents a group. However, R b3 and R b6 may be hydrogen atoms. R b2 and R b3 , R b2 and R b5 , R b2 and R b6 , R b4 and R b5, and R b4 and R b6 may form a ring. The compound represented by the general formula (B-1) will be described in detail. R b2 , R b3 , R b4 , R b5 and R b6 aliphatic group, aromatic group, heterocyclic group, amino group, acylamino group, sulfonamido group, ureido group, sulfamoylamino group, acyl group and carbamoyl The group may be substituted.
In general formula (B-1), preferably X b2 represents N, C—R b3 , Y b1 represents N—R b4, S, O, Z b1 represents N or C—R b6 , R b2 , R b3 or R b6 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted alkenyl group, a substituted or unsubstituted alkynyl group or a substituted or unsubstituted heterocyclic group. However, R b3 and R b6 may be a hydrogen atom. R b4 is preferably a substituted or unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted alkenyl group, a substituted or unsubstituted alkynyl group, a substituted or unsubstituted heterocyclic group, or a substituted or unsubstituted amino group. In general formula (B-1), more preferably, X b2 represents N, Y b1 represents NR b4 , and Z b1 represents C—R b6 . R b2 and R b4 each represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R b6 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. However, it is more preferable that at least one alkyl group of R b2 , R b4 and R b6 is substituted with at least one carboxylic acid group, sulfonic acid group, amino group or phosphono group.
Specific examples of the compound of the general formula (B) of the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

本発明の前記一般式(B)で表わされる化合物は、特開平1−201659号、同4−143755号等に記載の方法で合成できる。
次に一般式(C)について詳細に説明する。LC1及びLC3は置換もしくは無置換の炭素数1〜10の脂肪族基(例えば、メチル、エチル、プロピル、ヘキシル、イソプロピル、カルボキシエチル、ベンジル、フェネチル、ビニル、プロペニル、1−メチルビニル)、置換もしくは無置換の炭素数6〜12の芳香族基(例えば、フェニル、4−メチルフェニル、3−メトキシフェニル)、または置換もしくは無置換の炭素数1〜10の複素環基(例えば、ピリジル、フリル、チエニル、イミダゾリル)を表わし、LC2は置換もしくは無置換の炭素数1〜12の二価の脂肪族基(例えば、メチレン、エチレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン、ヘキサメチレン、1−メチルエチレン、1−ヒドロキシトリメチレン、1,2−キシリレン)、置換もしくは無置換の炭素数6〜12の二価の芳香族基(例えば、フェニレン、ナフチレン)、置換もしくは無置換の炭素数1〜10の二価の複素環連結基(例えば
The compound represented by the general formula (B) of the present invention can be synthesized by the method described in JP-A-1-2016659, 4-143755 and the like.
Next, the general formula (C) will be described in detail. L C1 and L C3 are substituted or unsubstituted aliphatic groups having 1 to 10 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, propyl, hexyl, isopropyl, carboxyethyl, benzyl, phenethyl, vinyl, propenyl, 1-methylvinyl), A substituted or unsubstituted aromatic group having 6 to 12 carbon atoms (for example, phenyl, 4-methylphenyl, 3-methoxyphenyl), or a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 1 to 10 carbon atoms (for example, pyridyl, L C2 represents a substituted or unsubstituted divalent aliphatic group having 1 to 12 carbon atoms (for example, methylene, ethylene, trimethylene, tetramethylene, pentamethylene, hexamethylene, 1-methyl). Ethylene, 1-hydroxytrimethylene, 1,2-xylylene), substituted or unsubstituted 6 to 6 carbon atoms 2 of divalent aromatic groups (e.g., phenylene, naphthylene), a substituted or unsubstituted 1 to 10 carbon atoms divalent heterocyclic linking group (e.g.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

C1及びBC1は−S−、−O−、−NRC20 −、−CO−、−CS−、−SO2 −またはそれらを任意に組合せた基を表わし、任意に組合せた基としては例えば−CONRC21 −、−NRC22 CO−、−NRC23 CONRC24 −、−COO−、−OCO−、−SO2 NRC25 −、−NRC26 SO2 −、−NRC27 CONRC28 −等があげられる。rは1〜10の整数を表わす。ただし、LC1及びLC3の少なくとも1つは−SO3 C1、−PO3 C2C3、−NRC1(RC2)(塩酸塩、酢酸塩などの塩の形でもよく、例えば無置換アミノ、メチルアミノ、ジメチルアミノ、N−メチル−N−ヒドロキシエチルアミノ、N−エチル−N−カルボキシエチルアミノ)、−N+ C3(RC4)(RC5)・XC1 -(例えば、トリメチルアンモニオクロリド)、−SO2 NRC6(RC7)(例えば、無置換スルファモイル、ジメチルスルファモイル)、−NRC8SO2 C9(例えば、メタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド)、−CONRC10(RC11 )(例えば、無置換カルバモイル
、N−メチルカルバモイル、N,N−ビス(ヒドロキシエチル)カルバモイル)、−NRC12 CORC13 (例えば、ホルムアミド、アセトアミド、4−メチルベンゾイルアミノ)、−SO2 14(例えば、メタンスルホニル、4−クロルフェニルスルホニル)、−PO(−NRC15 (RC16 2 (例えば、無置換ホスホンアミド、テトラメチルホスホンアミド)、−NRC17 CONRC18 (RC19 )(例えば、無置換ウレイド、N,N−ジメチルウレイド)、複素環基(例えば、ピリジル、イミダゾリル、チエニル、テトラヒドロフラニル)−COOMC4で置換されているものとする。
A C1 and B C1 represent —S—, —O—, —NR C20 —, —CO—, —CS— , —SO 2 — or a group obtained by arbitrarily combining them. -CONR C21- , -NR C22 CO-, -NR C23 CONR C24- , -COO-, -OCO-, -SO 2 NR C25- , -NR C26 SO 2- , -NR C27 CONR C28- and the like. . r represents an integer of 1 to 10. Provided that at least one -SO 3 M C1 of L C1 and L C3, -PO 3 M C2 M C3, -NR C1 (R C2) ( hydrochloride, may be in the form of salts such as acetates, for example unsubstituted Amino, methylamino, dimethylamino, N-methyl-N-hydroxyethylamino, N-ethyl-N-carboxyethylamino), —N + R C3 (R C4 ) (R C5 ) · X C1 (for example, trimethyl Ammoniochloride), —SO 2 NR C6 (R C7 ) (eg, unsubstituted sulfamoyl, dimethylsulfamoyl), —NR C8 SO 2 R C9 (eg, methanesulfonamide, benzenesulfonamide), —CONR C10 ( R C11) (e.g., unsubstituted carbamoyl, N- methylcarbamoyl, N, N- bis (hydroxyethyl) carbamoyl), - NR C12 COR C13 (e.g., formamide, A Toamido, 4-methyl benzoylamino), - SO 2 R 14 (e.g., methanesulfonyl, 4-chlorophenyl sulfonyl), - PO (-NR C15 ( R C16) 2 ( e.g., unsubstituted phosphonamido, tetramethyl phosphonic amide) , -NR C17 CONR C18 (R C19 ) (for example, unsubstituted ureido, N, N-dimethylureido), heterocyclic group (for example, pyridyl, imidazolyl, thienyl, tetrahydrofuranyl) -COOM C4 and To do.

C1、MC2、MC3及びMC4は水素原子または対カチオン(例えば、ナトリウム原子、カリウム原子のようなアルカリ金属原子、マグネシウム原子、カルシウム原子のようなアルカリ土類金属原子、アンモニウム、トリエチルアンモニウムのようなアンモニウム基)を表わす。RC1〜RC28 は水素原子、置換もしくは無置換の炭素数1〜12の脂肪族基(例えば、メチル、エチル、プロピル、ヘキシル、イソプロピル、ベンジル、フェネチル、ビニル、プロペニル、1−メチルビニル)、置換もしくは無置換の炭素数6〜12の芳香族基(例えば、フェニル、4−メチルフェニル、3−メトキシフェニル)を表わし、X- は対アニオン(例えば、塩素イオン、臭素イオンのようなハロゲンイオン、硝酸イオン、硫酸イオン、酢酸イオン、p−トルエンスルホン酸イオン)を表わす。LC1、LC2、LC3、RC1〜RC28 の各基が置換基を有する場合、その置換基としては炭素数1〜4の低級アルキル基(例えばメチル、エチル)、炭素数6〜10のアリール基(例えば、フェニル、4−メチルフェニル)、炭素数7〜10のアラルキル基(例えばベンジル)、炭素数2〜4のアルケニル基(例えば、プロペニル)、炭素数1〜4のアルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基)、ハロゲン原子(例えば、塩素原子、臭素原子)、シアノ基、ニトロ基、カルボン酸基(塩の形でもよい)、ヒドロキシ基等があげられる。尚、rが2以上の時は、AC1及びLC2は先にあげた基の任意の組合せでよい。また、AC1、BC1の少なくとも1つは−S−を表わす。 M C1 , M C2 , M C3 and M C4 are hydrogen atoms or counter cations (for example, alkali metal atoms such as sodium atom and potassium atom, alkaline earth metal atoms such as magnesium atom and calcium atom, ammonium and triethylammonium Represents an ammonium group. R C1 to R C28 are a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted aliphatic group having 1 to 12 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, propyl, hexyl, isopropyl, benzyl, phenethyl, vinyl, propenyl, 1-methylvinyl), Represents a substituted or unsubstituted aromatic group having 6 to 12 carbon atoms (for example, phenyl, 4-methylphenyl, 3-methoxyphenyl), and X represents a counter anion (for example, a halogen ion such as a chlorine ion or a bromine ion). , Nitrate ion, sulfate ion, acetate ion, p-toluenesulfonate ion). When each group of L C1 , L C2 , L C3 , and R C1 to R C28 has a substituent, the substituent includes a lower alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (for example, methyl, ethyl), 6 to 10 carbon atoms, and the like. Aryl groups (for example, phenyl, 4-methylphenyl), aralkyl groups having 7 to 10 carbon atoms (for example, benzyl), alkenyl groups having 2 to 4 carbon atoms (for example, propenyl), alkoxy groups having 1 to 4 carbon atoms ( For example, a methoxy group, an ethoxy group), a halogen atom (for example, a chlorine atom, a bromine atom), a cyano group, a nitro group, a carboxylic acid group (may be in the form of a salt), a hydroxy group, and the like. When r is 2 or more, A C1 and L C2 may be any combination of the groups listed above. At least one of A C1 and B C1 represents -S-.

一般式(C)中好ましくはLC1及びLC3の少なくとも一方は−SO3 C1、−PO3 C2C3、−NRC1(RC2)、−N+ C3(RC4)(RC5)・XC1 -、複素環基−COOMC4で置換された炭素数1〜6のアルキル基を表わし、LC2は炭素数1〜6のアルキレン基
を表わす。
C1及びBC1は−S−、−O−または−NRC20 −を表わし、RC1、RC2、RC3、RC4、RC5及びRC20 は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表わし、rは1〜6の整数を表わす。一般式(C)中、より好ましくはLC1及びLC3は−SO3 C1、−PO3 C2C3−COOMC4で置換された炭素数1〜4のアルキル基であり、AC1及びBC1は−S−を表わし、rは1〜3の整数を表わす。
以下に本発明の一般式(C)の化合物の具体例を示すが本発明はこれに限定されるものではない。
In general formula (C), preferably at least one of L C1 and L C3 is —SO 3 M C1 , —PO 3 M C2 M C3 , —NR C1 (R C2 ), —N + R C3 (R C4 ) (R C5 ) .X C1 represents a C 1-6 alkyl group substituted by a heterocyclic group —COOM C 4 , and L C2 represents a C 1-6 alkylene group.
A C1 and B C1 represent —S—, —O— or —NR C20 —, and R C1 , R C2 , R C3 , R C4 , R C5 and R C20 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R represents an integer of 1-6. In general formula (C), more preferably, L C1 and L C3 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms substituted with —SO 3 M C1 , —PO 3 M C2 M C3 —COOM C4 , and A C1 and B C1 represents -S-, and r represents an integer of 1 to 3.
Specific examples of the compound represented by formula (C) of the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.

Figure 2006352073
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Figure 2006352073
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本発明の前記一般式(C)で表わされる化合物は、特開平2−44355号、欧州特許公開458277号等に記載の方法で合成できる。
次に一般式(D)について詳細に説明する。一般式(D)中、Xd 、Yd 、Rd1、Rd2、Rd3、Rd4、Rd5、Rd6及びRd7で表される脂肪族基、芳香族基及び複素環基としてはそれぞれ以下の例があげられる。すなわち、置換もしくは無置換の炭素数1〜10のアルキル基(例えば、メチル、エチル、プロピル、ヘキシル、イソプロピル、カルボキシエチル、スルホエチル、アミノエチル、ジメチルアミノエチル、ホスホノプロピル、カルボキ
シメチル、ヒドロキシエチルの各基)、置換もしくは無置換の炭素数2〜10のアルケニル基(例えば、ビニル、プロペニル、1−メチルビニルの各基)、置換もしくは無置換の炭素数7〜12のアラルキル基(例えば、ベンジル、フェネチル、3−カルボキシフェニルメチル、4−スルホフェニルエチルの各基)、置換もしくは無置換の炭素数6〜12のアリール基(例えば、フェニル、ナフチル、4−カルボキシフェニル、3−スルホフェニルの各基)、置換もしくは無置換の炭素数1〜10の複素環基(例えば、ピリジル、フリル、チエニル、イミダゾリル、ピロリル、ピラゾリル、ピリミジニル、キノリル、ピペリジル、ピロリジルの各基のような5ないし6員環が好ましい)を表す。
The compound represented by the general formula (C) of the present invention can be synthesized by the method described in JP-A-2-44355, European Patent Publication 458277, and the like.
Next, the general formula (D) will be described in detail. In the general formula (D), as the aliphatic group, aromatic group and heterocyclic group represented by X d , Y d , R d1 , R d2 , R d3 , R d4 , R d5 , R d6 and R d7 , The following examples are given respectively. That is, a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, propyl, hexyl, isopropyl, carboxyethyl, sulfoethyl, aminoethyl, dimethylaminoethyl, phosphonopropyl, carboxymethyl, hydroxyethyl) Each group), a substituted or unsubstituted alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms (for example, vinyl, propenyl, 1-methylvinyl group), a substituted or unsubstituted aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms (for example, benzyl) , Phenethyl, 3-carboxyphenylmethyl, 4-sulfophenylethyl groups), substituted or unsubstituted aryl groups having 6 to 12 carbon atoms (for example, phenyl, naphthyl, 4-carboxyphenyl, 3-sulfophenyl) Group), a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 1 to 10 carbon atoms For example, it represents pyridyl, furyl, thienyl, imidazolyl, pyrrolyl, pyrazolyl, pyrimidinyl, quinolyl, piperidyl, a 5 or 6-membered rings are preferred), such as the group of pyrrolidyl.

また、このアルキル基、アルケニル基、アラルキル基、アリール基及び複素環基は置換されていてもよい。置換基として例えば、アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルアミノ基、ウレイド基、ウレタン基、スルホニルアミノ基、スルファモイル基、カルバモイル基、スルホニル基、スルフィニル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基等が挙げられる。これらの基はさらに置換されていてもよい。置換基が2つ以上あるときは同じであっても異なっていてもよい。一般式(D)において、Xd とYd は環を形成してもよいが、エノール化することはない。Xd とYd とで形成される環としては、例えばイミダゾリン−2−チオン環、イミダゾリジン−2−チオン環、チアゾリン−2−チオン環、チアゾリジン−2−チオン環、オキサゾリン−2−チオン環、オキサゾリジン−2−チオン環、ピロリジン−2−チオン環、またはそれぞれのベンゾ縮環体が挙げられる。 Further, this alkyl group, alkenyl group, aralkyl group, aryl group and heterocyclic group may be substituted. Examples of substituents include alkyl groups, aralkyl groups, alkenyl groups, alkynyl groups, aryl groups, alkoxy groups, aryloxy groups, acylamino groups, ureido groups, urethane groups, sulfonylamino groups, sulfamoyl groups, carbamoyl groups, sulfonyl groups, sulfinyl groups. Group, alkyloxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, acyl group, acyloxy group, halogen atom, cyano group, nitro group and the like. These groups may be further substituted. When there are two or more substituents, they may be the same or different. In the general formula (D), X d and Y d may form a ring but are not enolized. The ring formed by X d and Y d, for example, imidazoline-2-thione ring, imidazolidine-2-thione ring, thiazoline-2-thione ring, thiazolidine-2-thione ring, oxazoline-2-thione ring Oxazolidine-2-thione ring, pyrrolidine-2-thione ring, or each benzo condensed ring.

ただし、一般式(D)においてXd 及びYd のうち少なくとも一つはカルボン酸もしくはその塩(例えば、アルカリ金属塩、アンモニウム塩)、スルホン酸もしくはその塩(例えば、アルカリ金属塩、アンモニウム塩)、ホスホン酸もしくはその塩(例えば、アルカリ金属塩、アンモニウム塩)、アミノ基(例えば、無置換アミノ、ジメチルアミノ、メチルアミノ、ジメチルアミノの塩酸塩)またはアンモニウム(例えば、トリメチルアンモニウム、ジメチルベンジルアンモニウム)、水酸基の少なくとも1つで置換されているものとする。一般式(D)中、Rd6及びRd7で表されるカチオンは、水素原子、アルカリ金属、アンモニウム等を表す。一般式(D)中、好ましくは本発明においては、Xd とYd は環を形成しない方が好ましい。またXd 及びYd は、好ましくはカルボン酸またはその塩、スルホン酸またはその塩、ホスホン酸もしくはその塩、アミノ基またはアンモニウム基、水酸基から選ばれる基の少なくとも一つまたは二つで置換された炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10の複素環基、炭素数0〜10の−N(Rd1)Rd2、炭素数0〜10の−N(Rd3) N(Rd4) Rd5、炭素数0〜10の−ORd6を表す。Rd1、Rd2、Rd3、Rd4、Rd5及びRd6は水素原子、アルキル基を表す。一般式(D)中、より好ましくはXd 及びYd はカルボン酸またはその塩、スルホン酸またはその塩から選ばれる基の少なくとも一つまたは二つで置換された炭素数1〜6のアルキル基、炭素数0〜6の−N(Rd1) Rd2、炭素数0〜6の−N(Rd3) N(Rd4) Rd5、炭素数0〜6の−ORd6
を表す。Rd1、Rd2、Rd3、Rd4、Rd5及びRd6は水素原子、アルキル基を表す。以下に本発明の一般式(D)の化合物の具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
However, in the general formula (D), at least one of X d and Y d is carboxylic acid or a salt thereof (for example, alkali metal salt or ammonium salt), sulfonic acid or a salt thereof (for example, alkali metal salt or ammonium salt) Phosphonic acid or a salt thereof (for example, alkali metal salt, ammonium salt), amino group (for example, unsubstituted amino, dimethylamino, methylamino, dimethylamino hydrochloride) or ammonium (for example, trimethylammonium, dimethylbenzylammonium) And at least one of the hydroxyl groups. In general formula (D), the cations represented by R d6 and R d7 represent a hydrogen atom, an alkali metal, ammonium, or the like. In the general formula (D), preferably in the present invention, it is preferable that X d and Y d do not form a ring. X d and Y d are preferably substituted with at least one or two groups selected from a carboxylic acid or a salt thereof, a sulfonic acid or a salt thereof, a phosphonic acid or a salt thereof, an amino group, an ammonium group, or a hydroxyl group. An alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a heterocyclic group having 1 to 10 carbon atoms, -N (R d1 ) R d2 having 0 to 10 carbon atoms, -N (R d3 ) N (R d4 ) having 0 to 10 carbon atoms. R d5 represents —OR d6 having 0 to 10 carbon atoms. R d1 , R d2 , R d3 , R d4 , R d5 and R d6 each represent a hydrogen atom or an alkyl group. In general formula (D), X d and Y d are more preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms substituted with at least one or two groups selected from carboxylic acid or a salt thereof, sulfonic acid or a salt thereof. -N (R d1 ) R d2 having 0 to 6 carbon atoms, -N (R d3 ) N (R d4 ) R d5 having 0 to 6 carbon atoms, -OR d6 having 0 to 6 carbon atoms
Represents. R d1 , R d2 , R d3 , R d4 , R d5 and R d6 each represent a hydrogen atom or an alkyl group. Although the specific example of the compound of general formula (D) of this invention is shown below, this invention is not limited to this.

Figure 2006352073
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一般式(D)で表される化合物には、無置換チオ尿素(D−38)も含まれるものとする。
本発明の一般式(D)で表される化合物は公知の方法、例えばジャーナル・オブ・オーガニック・ケミストリー(J.Org.Chem.)24,470−473(1959)、ジャーナル・オブ・ヘテロサイクリック・ケミストリー(J.Heterocycl.Chem.)4,605−609(1967)、「薬誌」82,36−45(1962)、特公昭39−26203号、特開昭63−229449号、OLS−2,043,944号を参考にして合成できる。本発明の一般式(A)〜(D)の化合物が定着浴または漂白定着浴で使用される量は1×10-5〜10モル/リットルが適当であり、1×10-3〜3モル/リットルが好ましい。ここで、処理する感光材料中のハロゲン化銀乳剤のハロゲン組成が沃臭化銀(沃素≧2モル%以上)の場合には0.5〜2モル/リットルで用いるのが好ましく、またハロゲン組成が臭化銀、塩臭化銀または高塩化銀(塩化銀≧80モル%以上)の場合には、0.3〜1モル/リットルで用いるのが好ましい。直接タンク液内に添加されてもよいし、補充液に添加された状態で供給されてもよい。また前浴からの持ち込みであってもよい。本発明において、定着剤として本発明の化合物以外に、既知の定着剤を本発明の効果を奏する範囲(例えばモル比で1/10以下)において併用してもよい。定着剤としてはチオ硫酸塩、チオシアン酸塩、チオ尿素類多量の沃化物塩等をあげることができる。
The compound represented by the general formula (D) includes unsubstituted thiourea (D-38).
The compound represented by the general formula (D) of the present invention can be obtained by a known method, for example, Journal of Organic Chemistry (J. Org. Chem.) 24, 470-473 (1959), Journal of Heterocyclic. Chemistry (J. Heterocycl. Chem.) 4,605-609 (1967), “Drugs” 82, 36-45 (1962), JP-B 39-26203, JP-A 63-229449, OLS-2 , 043,944. The amount of the compounds of the general formulas (A) to (D) of the present invention used in the fixing bath or bleach-fixing bath is suitably 1 × 10 −5 to 10 mol / liter, and 1 × 10 −3 to 3 mol. / Liter is preferred. Here, when the halogen composition of the silver halide emulsion in the photosensitive material to be processed is silver iodobromide (iodine ≧ 2 mol% or more), it is preferably used at 0.5 to 2 mol / liter. Is silver bromide, silver chlorobromide or high silver chloride (silver chloride ≧ 80 mol% or more), it is preferably used at 0.3 to 1 mol / liter. It may be added directly into the tank liquid or may be supplied in the state of being added to the replenisher. Moreover, you may bring in from a previous bath. In the present invention, as the fixing agent, in addition to the compound of the present invention, a known fixing agent may be used in combination within the range where the effects of the present invention are exhibited (for example, 1/10 or less in molar ratio). Examples of the fixing agent include thiosulfate, thiocyanate, and a large amount of iodide salt of thiourea.

本発明の一般式(A)〜(D)の化合物の添加量は、1×10-9〜1×10-4mol/L
が好ましく、1×10-8〜1×10-6mol/Lがより好ましい。
The addition amount of the compounds of the general formulas (A) to (D) of the present invention is 1 × 10 −9 to 1 × 10 −4 mol / L.
1 × 10 −8 to 1 × 10 −6 mol / L is more preferable.

[連続電解めっき]
以下、本発明に係るめっき処理方法の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係るめっき処理を好適に実施するためのめっき装置は、公知の装置と同様に、フィルムが巻き付けられた繰り出し用リール(図示せず)から順次繰り出されたフィルムを電気めっき槽に送り込み、めっき後のフィルムを巻取り用リール(図示せず)に順次巻き取る構成となっている。
[Continuous electrolytic plating]
Hereinafter, a preferred embodiment of a plating method according to the present invention will be described with reference to the drawings. The plating apparatus for suitably carrying out the plating treatment according to the present invention, like the known apparatus, sends the film sequentially fed from the reel for unwinding (not shown) around which the film is wound, to the electroplating tank, The plated film is sequentially wound on a winding reel (not shown).

図1に本発明に係るめっき処理に好適に用いられる電解めっき槽の一例を示す。この図
1に示す電解めっき槽210は、長尺のフィルム216に連続してめっき処理を施すことができるものである。矢印はフィルム216の搬送方向を示している。電解めっき槽210は、めっき液215を貯留するめっき浴211を備えている。めっき浴211内には、一対のアノード板213が平行に配設され、アノード板213の内側には、一対のガイドローラ214がアノード板213と平行に回動可能に配設されている。ガイドローラ214は垂直方向に移動可能で、これによりフィルム216のめっき処理時間を調整できる。
FIG. 1 shows an example of an electrolytic plating tank suitably used for the plating treatment according to the present invention. The electrolytic plating tank 210 shown in FIG. 1 is capable of continuously plating a long film 216. The arrow indicates the conveyance direction of the film 216. The electrolytic plating tank 210 includes a plating bath 211 that stores a plating solution 215. A pair of anode plates 213 are arranged in parallel in the plating bath 211, and a pair of guide rollers 214 are arranged inside the anode plate 213 so as to be rotatable in parallel with the anode plate 213. The guide roller 214 can move in the vertical direction, thereby adjusting the plating processing time of the film 216.

めっき浴211の上方には、フィルム216をめっき浴211に案内するとともにフィルム216に電流を供給する給電ローラ(カソード)212a,212bがそれぞれ一対回転自在に配設されている。また、めっき浴211の上方には、出口側の給電ローラ212bの下方に液切りローラ217が回動可能に配設されており、この液切りローラ217と出口側の給電ローラ212bとの間には、フィルムからめっき液を除去するための水洗用スプレー(図示せず)が設置されている。
アノード板213は、電線(図示せず)を介して電源装置(図示せず)のプラス端子に接続され、給電ローラ212a,212bは、電源装置(図示せず)のマイナス端子に接続されている。
Above the plating bath 211, a pair of feed rollers (cathodes) 212a and 212b for guiding the film 216 to the plating bath 211 and supplying current to the film 216 are rotatably disposed. Further, a liquid draining roller 217 is rotatably disposed above the plating bath 211 and below the power supply roller 212b on the outlet side. Between the liquid draining roller 217 and the power supply roller 212b on the outlet side. Is provided with a water spray (not shown) for removing the plating solution from the film.
The anode plate 213 is connected to a plus terminal of a power supply device (not shown) via an electric wire (not shown), and the power supply rollers 212a and 212b are connected to a minus terminal of the power supply device (not shown). .

上記の電解めっき槽210において、例えば、電解めっき槽のサイズが10cm×10cm×10cm〜100cm×200cm×300cmである場合は、入り口側の給電ローラ212aとフィルム216とが接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離La)は、0.5cm〜15cmとすることが好ましく、1cm〜10cmとすることがより好ましく、1cm〜7cmとすることがさらに好ましい。また、出口側の給電ローラ212bとフィルム216とが接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離Lb)は、0.5cm〜15cmとすることが好ましい。   In the electrolytic plating bath 210 described above, for example, when the size of the electrolytic plating bath is 10 cm × 10 cm × 10 cm to 100 cm × 200 cm × 300 cm, the lowest part of the surface where the feeding roller 212a on the entrance side is in contact with the film 216 The distance (distance La shown in FIG. 1) between the surface and the plating solution is preferably 0.5 cm to 15 cm, more preferably 1 cm to 10 cm, and even more preferably 1 cm to 7 cm. Moreover, it is preferable that the distance (distance Lb shown in FIG. 1) between the lowermost part of the surface where the power supply roller 212b on the outlet side and the film 216 are in contact with each other and the plating solution surface is 0.5 cm to 15 cm.

次に、上記電解めっき槽210を備えためっき装置を使用して、フィルムのメッシュパターン銅めっきを形成する方法を説明する。
まず、めっき浴211にめっき液215を貯留する。めっき液としては、銅めっきの場合は、硫酸銅五水塩を30g/L〜300g/L、硫酸を30g/L〜300g/Lを含むものを用いることができる。なお、ニッケルめっきの場合は、硫酸ニッケル、塩酸ニッケル等、鉄銀めっきの場合は、シアン化銀等を含むものを用いることができる。また、めっき液には、界面活性剤、硫黄化合物、窒素化合物等の添加剤を添加しても良い。
Next, a method for forming a mesh pattern copper plating of a film using the plating apparatus provided with the electrolytic plating tank 210 will be described.
First, the plating solution 215 is stored in the plating bath 211. As the plating solution, in the case of copper plating, a copper sulfate pentahydrate containing 30 g / L to 300 g / L and sulfuric acid containing 30 g / L to 300 g / L can be used. In the case of nickel plating, nickel sulfate, nickel hydrochloride or the like can be used, and in the case of iron silver plating, those containing silver cyanide or the like can be used. Moreover, you may add additives, such as surfactant, a sulfur compound, and a nitrogen compound, to a plating solution.

フィルム216を繰り出しリール(図示せず)に巻かれた状態でセットして、フィルム216のめっきを形成すべき側の面が給電ローラ212a,212bと接触するように、フィルム216を搬送ローラ(図示せず)に巻き掛ける。
アノード板213および給電ローラ212a,212bに電圧を印加し、フィルム216を給電ローラ212a,212bに接触させながら搬送する。フィルム216をめっき浴211に導入し、めっき液215に浸せきして銅めっきを形成する。液切りローラ217間を通過する際に、フィルム216に付着しためっき液215拭い取り、めっき浴211に回収する。これを複数の電解めっき槽で繰り返し、最後に水洗した後、巻取りリール(図示せず)に巻き取る。
フィルム216の搬送速度は、1m/分〜30m/分の範囲で設定される。フィルム216の搬送速度は、好ましくは、1m/分〜10m/分の範囲であり、より好ましくは、2m/分〜5m/分の範囲である。
The film 216 is set in a state where the film 216 is wound around a supply reel (not shown), and the film 216 is transported (conveying roller) so that the surface of the film 216 on which the plating should be formed comes into contact with the power supply rollers 212a and 212b. Wrap it around (not shown).
A voltage is applied to the anode plate 213 and the power supply rollers 212a and 212b, and the film 216 is conveyed while being in contact with the power supply rollers 212a and 212b. The film 216 is introduced into the plating bath 211 and immersed in the plating solution 215 to form a copper plating. When passing between the liquid removal rollers 217, the plating solution 215 adhered to the film 216 is wiped off and collected in the plating bath 211. This is repeated in a plurality of electrolytic plating tanks, finally washed with water, and then wound up on a take-up reel (not shown).
The conveyance speed of the film 216 is set in the range of 1 m / min to 30 m / min. The conveyance speed of the film 216 is preferably in the range of 1 m / min to 10 m / min, more preferably in the range of 2 m / min to 5 m / min.

電解めっき槽の数は、特に限定されないが、2槽〜10槽が好ましく、3槽〜6槽がより好ましい。
印加電圧は、1V〜100Vの範囲であることが好ましく、2V〜60Vの範囲であることがより好ましい。電解めっき槽が複数設置されている場合は、電解めっき槽の印加電
圧を段階的に下げることが好ましい。また、第1槽目の入り口側の電流量としては、1A〜30Aが好ましく、2A〜10Aがより好ましい。
給電ローラ212a,212bはフィルム全面(接触している面積のうちの実質的に電気的に接触している部分が80%以上)と接触していることが好ましい。
Although the number of electrolytic plating tanks is not particularly limited, 2 to 10 tanks are preferable, and 3 to 6 tanks are more preferable.
The applied voltage is preferably in the range of 1V to 100V, more preferably in the range of 2V to 60V. When a plurality of electrolytic plating tanks are installed, it is preferable to lower the applied voltage of the electrolytic plating tank stepwise. The amount of current on the inlet side of the first tank is preferably 1A to 30A, and more preferably 2A to 10A.
It is preferable that the power supply rollers 212a and 212b are in contact with the entire surface of the film (substantially electrically contacted portion of the contacted area is 80% or more).

なお、上記電解めっき槽においてめっき処理を行う前に、水洗および酸洗浄を行うことが好ましい。酸洗浄の際に用いる処理液には、硫酸等が含まれるものを用いることができる。   In addition, it is preferable to perform water washing and acid washing before performing a plating process in the said electrolytic plating tank. As the treatment liquid used for the acid cleaning, one containing sulfuric acid or the like can be used.

上記めっき処理によりめっきされる導電性金属部の厚さは、ディスプレイの電磁波シールド材の用途としては、薄いほどディスプレイの視野角が広がるため好ましい。さらに、導電性配線材料の用途としては、高密度化の要請から薄膜化が要求される。このような観点から、めっきされた導電性金属からなる層の厚さは、9μm未満であることが好ましく、0.1μm以上5μm未満であることがより好ましく、0.1μm以上3μm未満であることがさらに好ましい。   The thickness of the conductive metal portion plated by the above plating treatment is preferable because the viewing angle of the display is increased as the thickness of the electromagnetic shielding material for the display is reduced. Furthermore, as a use of the conductive wiring material, a thin film is required because of a demand for high density. From this point of view, the thickness of the plated conductive metal layer is preferably less than 9 μm, more preferably 0.1 μm or more and less than 5 μm, and 0.1 μm or more and less than 3 μm. Is more preferable.

また、本発明のめっき処理においては、上記のめっき処理を行う直前のフィルムの表面抵抗が1Ω/□〜1000Ω/□のフィルムであれば、その前に無電解めっき処理を行ってもよい。
無電解めっきを行う場合は、公知の無電解めっき技術を用いることができ、例えば、プリント配線板などで用いられている無電解めっき技術を用いることができ、無電解めっきは無電解銅めっきであることが好ましい。
無電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤として、ホルマリンやグリオキシル酸、銅の配位子として、EDTA,トリエタノールアミン等、その他、浴の安定化やめっき皮膜の平滑性向上の為の添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン等が挙げられる。
Moreover, in the plating process of this invention, if the surface resistance of the film just before performing said plating process is a film of 1 ohm / square-1000 ohm / square, you may perform an electroless-plating process before that.
When performing electroless plating, a known electroless plating technique can be used, for example, an electroless plating technique used in a printed wiring board or the like can be used. Preferably there is.
Chemical species contained in the electroless copper plating solution include copper sulfate, copper chloride, reducing agent, formalin, glyoxylic acid, copper ligand, EDTA, triethanolamine, etc., bath stabilization and plating Examples of the additive for improving the smoothness of the film include polyethylene glycol, yellow blood salt, and bipyridine.

本発明のめっき処理方法に適用できるフィルムは、表面抵抗が1Ω/□〜1000Ω/□のフィルム面を有するものであれば、いずれのフィルムにも適用することができ、例えば、絶縁体フィルム上に形成されるプリント配線基板、PDP用電磁波シールド膜に用いられる透光性導電性膜等に適用することができる。表面抵抗の好ましい範囲は5Ω/□〜500Ω/□であり、より好ましい範囲は10Ω/□〜100Ω/□である。   The film applicable to the plating method of the present invention can be applied to any film as long as it has a film surface with a surface resistance of 1 Ω / □ to 1000 Ω / □, for example, on an insulator film. The present invention can be applied to a printed wiring board to be formed, a translucent conductive film used for an electromagnetic wave shielding film for PDP, and the like. A preferable range of the surface resistance is 5Ω / □ to 500Ω / □, and a more preferable range is 10Ω / □ to 100Ω / □.

また、フィルム上の導電性パターンは連続している(電気的に途切れていない)ことが好ましい。一部でも繋がっていればよく、導電性パターンが途切れると第1槽目の電解めっき槽でめっきがつかない部分ができたり、ムラになったりするおそれがある。   Moreover, it is preferable that the electroconductive pattern on a film is continuous (it is not interrupted electrically). It is only necessary to be partially connected, and if the conductive pattern is interrupted, there is a possibility that a portion where plating is not performed in the first electrolytic plating tank may be formed or uneven.

本発明のめっき処理方法は、現像銀により形成されている銀メッシュでパターニングされた透光性導電性膜からなる電磁波シールド膜に適用することが特に好ましい。このような透光性導電性膜としては、透明支持体上に銀塩乳剤を含む乳剤層を有する感光材料を露光、現像して形成されたものを用いることが好ましい。以下、この感光材料の構成については後述する。   The plating method of the present invention is particularly preferably applied to an electromagnetic wave shielding film composed of a light-transmitting conductive film patterned with a silver mesh formed of developed silver. As such a translucent conductive film, a film formed by exposing and developing a photosensitive material having an emulsion layer containing a silver salt emulsion on a transparent support is preferably used. Hereinafter, the structure of the photosensitive material will be described later.

[酸化処理]
本発明では、現像処理後の金属銀部、並びに、物理現像および/またはメッキ処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ100%にすることができる。
酸化処理としては、例えば、Fe(III)イオン処理など、種々の酸化剤を用いた公知の方法が挙げられる。上述の通り、酸化処理は、乳剤層の露光および現像処理後、或い
は物理現像またはメッキ処理後に行うことができ、さらに現像処理後と物理現像またはメッキ処理後のそれぞれで行ってもよい。
[Oxidation treatment]
In the present invention, it is preferable to subject the metallic silver portion after the development treatment and the conductive metal portion formed by physical development and / or plating treatment to oxidation treatment. By performing the oxidation treatment, for example, when a metal is slightly deposited on the light transmissive portion, the metal can be removed and the light transmissive portion can be made almost 100% transparent.
Examples of the oxidation treatment include known methods using various oxidizing agents such as Fe (III) ion treatment. As described above, the oxidation treatment can be performed after exposure and development processing of the emulsion layer, or after physical development or plating treatment, and may be performed after development processing and after physical development or plating treatment.

本発明では、さらに露光および現像処理後の金属銀部を、Pdを含有する溶液で処理することもできる。Pdは、2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により無電解メッキまたは物理現像速度を促進させることができる。   In the present invention, the metal silver portion after the exposure and development treatment can be further treated with a solution containing Pd. Pd may be a divalent palladium ion or metallic palladium. This treatment can accelerate electroless plating or physical development speed.

[導電性パターン、金属部(導電性金属部)]
次に、本発明における導電性パターン、導電性金属部(金属部とも表記する)について説明する。導電性パターンは、導電性金属部からなる。
本発明では、導電性金属部は、前述した露光および現像処理により形成された金属銀部を物理現像またはメッキ処理を施し、前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させることにより形成される。
前記金属部に担持させる導電性金属としては、上述した銀のほか、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、コバルト、スズ、ステンレス、タングステン、クロム、チタン、パラジウム、白金、マンガン、亜鉛、ロジウムなどの金属、またはこれらを組み合わせた合金の粒子を挙げることができる。導電性、価格等の観点から導電性金属粒子は、銅、アルミニウムまたはニッケルの粒子であることが好ましい。また、磁場シールド性を付与する場合、導電性金属粒子として常磁性金属粒子を用いることが好ましい。
[Conductive pattern, metal part (conductive metal part)]
Next, the conductive pattern and conductive metal part (also referred to as metal part) in the present invention will be described. The conductive pattern is made of a conductive metal part.
In the present invention, the conductive metal portion is formed by subjecting the metal silver portion formed by the above-described exposure and development processing to physical development or plating, and supporting the conductive metal particles on the metal silver portion.
Examples of the conductive metal supported on the metal part include silver, copper, aluminum, nickel, iron, gold, cobalt, tin, stainless steel, tungsten, chromium, titanium, palladium, platinum, manganese, zinc, rhodium, and the like. Or particles of alloys of these metals. From the viewpoint of conductivity, cost, etc., the conductive metal particles are preferably copper, aluminum or nickel particles. Moreover, when providing magnetic field shielding properties, it is preferable to use paramagnetic metal particles as the conductive metal particles.

上記導電性金属部において、コントラストを高くし、かつ導電性金属部が経時的に酸化され退色されるのを防止する観点からは、導電性金属部に含まれる導電性金属粒子は銅粒子であることが好ましく、少なくともその表面が黒化処理されたものであることがさらに好ましい。黒化処理は、プリント配線板分野で行われている方法を用いて行うことができる。例えば、亜塩素酸ナトリウム(31g/l)、水酸化ナトリウム(15g/l)、リン酸三ナトリウム(12g/l)の水溶液中で、95℃で2分間処理することにより黒化処理を行うことができる。   In the conductive metal part, the conductive metal particles contained in the conductive metal part are copper particles from the viewpoint of increasing the contrast and preventing the conductive metal part from being oxidized and discolored over time. It is more preferable that at least the surface thereof is blackened. The blackening treatment can be performed using a method performed in the printed wiring board field. For example, blackening treatment is performed by treating at 95 ° C. for 2 minutes in an aqueous solution of sodium chlorite (31 g / l), sodium hydroxide (15 g / l), and trisodium phosphate (12 g / l). Can do.

上記導電性金属部は、該導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して、銀を50質量%以上含有することが好ましく、60質量%以上含有することがさらに好ましい。銀を50質量%以上含有すれば、物理現像および/またはメッキ処理に要する時間を短縮し、生産性を向上させ、かつ低コストとすることができる。
さらに、導電性金属部を形成する導電性金属粒子として銅およびパラジウムが用いられる場合、銀、銅およびパラジウムの合計の質量が導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがさらに好ましい。
The conductive metal part preferably contains 50% by mass or more, and more preferably 60% by mass or more of silver with respect to the total mass of the metal contained in the conductive metal part. If silver is contained in an amount of 50% by mass or more, the time required for physical development and / or plating can be shortened, productivity can be improved, and cost can be reduced.
Further, when copper and palladium are used as the conductive metal particles forming the conductive metal part, the total mass of silver, copper and palladium is 80% by mass or more based on the total mass of the metal contained in the conductive metal part. It is preferable that it is 90 mass% or more.

本発明における導電性金属部は、導電性金属を担持するため良好な導電性が得られる。このため、本発明の透光性電磁波シールド膜(導電性金属部)の表面抵抗値は、10Ω/sq以下であることが好ましく、2.5Ω/sq以下であることがより好ましく、1.5Ω/sq以下であることがさらに好ましく、0.1Ω/sq以下であることが最も好ましい。   Since the conductive metal portion in the present invention carries a conductive metal, good conductivity can be obtained. For this reason, the surface resistance value of the translucent electromagnetic wave shielding film (conductive metal part) of the present invention is preferably 10Ω / sq or less, more preferably 2.5Ω / sq or less, and 1.5Ω. / Sq or less is more preferable, and 0.1 Ω / sq or less is most preferable.

本発明における導電性金属部は、透光性電磁波シールド材料としての用途である場合、正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、(正)六角形、(正)八角形などの(正)n角形、円、楕円、星形などを組み合わせた幾何学図形であることが好ましく、これらの幾何学図形からなるメッシュ状であることがさらに好ましい。EMIシールド性の観点からは三角形の形状が最も有効であるが、可視光透過性の観点からは同一のライン幅なら(正)n角形のn数が大きいほど開口率が上がり可視光透過性が大きくなるので有利である。
なお、導電性配線材料の用途である場合、前記導電性金属部の形状は特に限定されず、目的に応じて任意の形状を適宜決定することができる。
When the conductive metal part in the present invention is used as a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, a regular triangle, an isosceles triangle, a triangle such as a right triangle, a square, a rectangle, a rhombus, a parallelogram, a square such as a trapezoid, It is preferably a geometric figure combining (positive) n-gons such as (positive) hexagons and (positive) octagons, circles, ellipses, stars, etc., and has a mesh shape composed of these geometric figures. Is more preferable. From the viewpoint of EMI shielding properties, the triangular shape is the most effective, but from the viewpoint of visible light transmittance, if the line width is the same, the larger the n number of (positive) n-gons, the higher the aperture ratio and the visible light transmittance. This is advantageous because it becomes larger.
In addition, when it is a use of an electroconductive wiring material, the shape of the said electroconductive metal part is not specifically limited, Arbitrary shapes can be determined suitably according to the objective.

透光性電磁波シールド材料の用途において、上記導電性金属部の線幅は20μm以下であることが好ましく、線間隔は50μm以上であることが好ましい。また、導電性金属部は、アース接続などの目的においては、その線幅が20μmより広い部分を有していてもよい。また画像を目立たせなくする観点からは、導電性金属部の線幅は15μm未満であることが好ましく、10μm未満であることがさらに好ましく、7μm未満であることが最も好ましい。   In the use of the translucent electromagnetic shielding material, the line width of the conductive metal part is preferably 20 μm or less, and the line interval is preferably 50 μm or more. The conductive metal portion may have a portion whose line width is wider than 20 μm for the purpose of ground connection or the like. Further, from the viewpoint of making the image inconspicuous, the line width of the conductive metal portion is preferably less than 15 μm, more preferably less than 10 μm, and most preferably less than 7 μm.

本発明における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は85%以上であることが好ましく、90%以上であることがさらに好ましく、95%以上であることが最も好ましい。また、「開口率」とは、メッシュをなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅10μm、ピッチ200μmの正方形の格子状メッシュの開口率は、90%である。尚、本発明における金属銀部の開口率について特に上限の限定はないが、表面抵抗値および線幅値との関係から、上記開口率としては、98%以下であることが好ましい。   The conductive metal portion in the present invention has an aperture ratio of preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and most preferably 95% or more from the viewpoint of visible light transmittance. Further, the “aperture ratio” is a ratio of a portion having no fine line forming the mesh to the whole. For example, the aperture ratio of a square lattice mesh having a line width of 10 μm and a pitch of 200 μm is 90%. In addition, although there is no restriction | limiting of an upper limit in particular regarding the aperture ratio of the metal silver part in this invention, As said aperture ratio, it is preferable that it is 98% or less from the relationship between a surface resistance value and a line | wire width value.

本発明における導電性金属部が経時的に酸化され変色するのを防止する観点からは、金属部に変色防止処理を施すのが好ましい。その手段としては、金属表面に用いられる腐食抑制剤を利用することなどが挙げられ、該腐食抑制剤としては、例えば、メルカプト化合物などを利用することができる。   From the viewpoint of preventing the conductive metal portion in the present invention from being oxidized and discolored over time, it is preferable to subject the metal portion to a discoloration preventing treatment. Examples of the means include using a corrosion inhibitor used on the metal surface, and as the corrosion inhibitor, for example, a mercapto compound can be used.

[光透過性部]
本発明における「光透過性部」とは、導電性パターン及び透光性導電性膜のうち導電性金属部以外の透明性を有する部分を意味する。
なお、本発明における「光透過性部の透過率」とは、支持体の光吸収および反射の寄与を除いた380〜780nmの波長領域における透過率の平均で示される透過率を指し、(透光性電磁波シールド材料の透明部の透過率)/(支持体の透過率)×100(%)で表される。上記光透過性部の透過率は90%以上であることが好ましく、95%以上であることがより好ましく、97%以上であることがさらに好ましく、99%以上であることが最も好ましい。
[Light transmissive part]
The “light transmissive part” in the present invention means a part having transparency other than the conductive metal part in the conductive pattern and the light transmissive conductive film.
The “transmittance of the light transmissive part” in the present invention refers to the transmittance indicated by the average of the transmittance in the wavelength region of 380 to 780 nm excluding the contribution of light absorption and reflection of the support. It is represented by the transmittance of the transparent part of the light shielding electromagnetic wave material) / (the transmittance of the support) × 100 (%). The transmittance of the light transmissive part is preferably 90% or more, more preferably 95% or more, still more preferably 97% or more, and most preferably 99% or more.

本発明における光透過性部は、透過性を向上させる観点から、実質的に物理現像核を有しないことが好ましい。本発明は、従来の銀錯塩拡散転写法とは異なり、未露光のハロゲン化銀を溶解し、可溶性銀錯化合物に変換させた後、拡散させる必要がないため、光透過性部には物理現像核を実質的に有しない。
ここに、「実質的に物理現像核を有しない」とは、光透過性部における物理現像核の存在率が0〜5%の範囲であることをいう。
The light transmissive part in the present invention preferably has substantially no physical development nucleus from the viewpoint of improving the transparency. Unlike the conventional silver complex diffusion transfer method, the present invention does not require diffusion after dissolving unexposed silver halide and converting it to a soluble silver complex compound. It has substantially no nucleus.
Here, “substantially no physical development nuclei” means that the abundance of physical development nuclei in the light-transmitting portion is in the range of 0 to 5%.

本発明における光透過性部は、前記乳剤層を露光および現像処理することにより、金属銀部と共に形成される。光透過性部は、透過性を向上させる観点から、前記現像処理後、さらには物理処理またはメッキ処理後に上述の酸化処理を行うことが好ましい。   The light-transmitting part in the present invention is formed together with the metallic silver part by exposing and developing the emulsion layer. From the viewpoint of improving the transmittance, the light transmissive portion is preferably subjected to the above-described oxidation treatment after the development treatment, and further after the physical treatment or the plating treatment.

[荷姿]
本発明における透光性導電性膜の導電性パターン、特にメッシュパターンは3m以上連続していることが好ましい。メッシュパターンの連続数が多いほど、前記光学フィルター材料を生産する場合のロスが低減できるためより好ましい態様であるといえる。一方、連続数が多いとロール状にした場合にロール径が大きくなる、ロールの質量が重くなる、ロールの中心部の圧力が強くなり接着や変形などの問題を生じ安くなる等の理由で2000m以下であることが好ましい。好ましくは100m以上1000m以下。更に好ましくは200m以上800m以下。最も好ましくは300m以上500m以下である。
同様の理由により支持体の厚みは200μm以下が好ましく。更に好ましくは20μm以上180μm以下。最も好ましくは50μm以上120μm以下である。
[Packing]
In the present invention, the conductive pattern of the translucent conductive film, particularly the mesh pattern, is preferably continuous for 3 m or more. It can be said that it is a more preferable mode as the number of continuous mesh patterns is larger because loss in producing the optical filter material can be reduced. On the other hand, if the number of continuous rolls is too large, the roll diameter becomes large when the roll is formed, the roll mass becomes heavy, the pressure at the center of the roll becomes strong, causing problems such as adhesion and deformation, and cheapness. The following is preferable. Preferably it is 100m or more and 1000m or less. More preferably, it is 200m or more and 800m or less. Most preferably, it is 300 m or more and 500 m or less.
For the same reason, the thickness of the support is preferably 200 μm or less. More preferably, it is 20 μm or more and 180 μm or less. Most preferably, it is 50 μm or more and 120 μm or less.

[透光性電磁波シールド膜の層構成]
本発明の導電性パターン、透光性導電性膜、電磁波シールド膜における支持体の厚さは、5〜200μmであることが好ましく、30〜150μmであることがさらに好ましい。5〜200μmの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱いも容易である。
[Layer structure of translucent electromagnetic shielding film]
The thickness of the support in the conductive pattern, translucent conductive film, and electromagnetic wave shielding film of the present invention is preferably 5 to 200 μm, and more preferably 30 to 150 μm. If it is the range of 5-200 micrometers, the transmittance | permeability of a desired visible light will be obtained and handling will also be easy.

物理現像および/またはメッキ処理前の支持体上に設けられる金属銀部の厚さは、支持体上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。金属銀部の厚さは、30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましく、0.01〜9μmであることがさらに好ましく、0.05〜5μmであることが最も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。金属銀部は1層でもよく、2層以上の重層構成であってもよい。金属銀部がパターン状であり、かつ2層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。このようにして形成された多層構造のパターン状金属銀部を含む透光性電磁波シールド膜は、高密度なプリント配線板として利用することができる。   The thickness of the metallic silver portion provided on the support before physical development and / or plating can be appropriately determined according to the coating thickness of the silver salt-containing layer coating applied on the support. The thickness of the metallic silver part is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, further preferably 0.01 to 9 μm, and most preferably 0.05 to 5 μm. Moreover, it is preferable that a metal silver part is pattern shape. The metallic silver part may be a single layer or a multilayer structure of two or more layers. When the metallic silver portion has a pattern shape and has a multilayer structure of two or more layers, different color sensitivities can be imparted so that it can be exposed to different wavelengths. Thereby, when the exposure wavelength is changed and exposed, a different pattern can be formed in each layer. The translucent electromagnetic wave shielding film including the multilayered patterned metal silver portion formed as described above can be used as a high-density printed wiring board.

導電性金属部の厚さは、ディスプレイの電磁波シールド材の用途としては、薄いほどディスプレイの視野角が広がるため好ましい。さらに、導電性配線材料の用途としては、高密度化の要請から薄膜化が要求される。このような観点から、導電性金属部に担持された導電性金属からなる層の厚さは、9μm未満であることが好ましく、0.1μm以上5μm未満であることがより好ましく、0.1μm以上3μm未満であることがさらに好ましい。
本発明では、上述した乳剤層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像および/またはメッキ処理により導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、5μm未満、好ましくは3μm未満の厚みを有する透光性電磁波シールド膜であっても容易に形成することができる。
The thickness of the conductive metal part is preferable as the use of the electromagnetic shielding material for the display because the viewing angle of the display increases as the thickness decreases. Furthermore, as a use of the conductive wiring material, a thin film is required because of a demand for high density. From such a viewpoint, the thickness of the layer made of the conductive metal carried on the conductive metal part is preferably less than 9 μm, more preferably 0.1 μm or more and less than 5 μm, and more preferably 0.1 μm or more. More preferably, it is less than 3 μm.
In the present invention, a metallic silver portion having a desired thickness is formed by controlling the coating thickness of the emulsion layer described above, and the thickness of the layer made of conductive metal particles is freely controlled by physical development and / or plating treatment. Therefore, even a translucent electromagnetic wave shielding film having a thickness of less than 5 μm, preferably less than 3 μm, can be easily formed.

なお、従来のエッチングを用いた方法では、金属薄膜の大部分をエッチングで除去、廃棄する必要があったが、本発明では必要な量だけの導電性金属を含むパターンを支持体上に設けることができるため、必要最低限の金属量だけを用いればよく、製造コストの削減および金属廃棄物の量の削減という両面から利点がある。   In the conventional method using etching, it was necessary to remove and discard most of the metal thin film by etching, but in the present invention, a pattern containing only a necessary amount of conductive metal is provided on the support. Therefore, it is sufficient to use only the minimum amount of metal, which is advantageous from the viewpoints of reducing the manufacturing cost and the amount of metal waste.

[電磁波シールド以外の機能性膜]
本発明では、必要に応じて、別途、機能性を有する機能層を設けていてもよい。この機能層は、用途ごとに種々の仕様とすることができる。例えば、ディスプレイ用電磁波シールド材用途としては、屈折率や膜厚を調整した反射防止機能を付与した反射防止層;ノングレアー層またはアンチグレアー層(共にぎらつき防止機能を有する);近赤外線を吸収する化合物や金属からなる近赤外線吸収層;特定の波長域の可視光を吸収する色調調節機能をもった層;指紋などの汚れを除去しやすい機能を有した防汚層;傷のつき難いハードコート層;衝撃吸収機能を有する層;ガラス破損時のガラス飛散防止機能を有する層などを設けることができる。これらの機能層は、乳剤層と支持体とを挟んで反対側の面に設けてもよく、さらに同一面側に設けてもよい。
これらの機能性膜はPDPに直接貼合してもよく、プラズマディスプレイパネル本体とは別に、ガラス板やアクリル樹脂板などの透明基板に貼合してもよい。これらの機能性膜
を光学フィルター(または単にフィルター)と呼ぶ。
[Functional films other than electromagnetic shielding]
In the present invention, a functional layer having functionality may be separately provided as necessary. This functional layer can have various specifications for each application. For example, as an electromagnetic shielding material for display, an antireflection layer provided with an antireflection function with adjusted refractive index and film thickness; a non-glare layer or an antiglare layer (both have a glare prevention function); absorbs near infrared rays Near-infrared absorbing layer made of a compound or metal; layer with a color tone adjustment function that absorbs visible light in a specific wavelength range; antifouling layer with a function that easily removes dirt such as fingerprints; A layer; a layer having an impact absorbing function; a layer having a function of preventing glass scattering when glass is broken can be provided. These functional layers may be provided on the opposite side of the emulsion layer and the support, or may be provided on the same side.
These functional films may be directly bonded to the PDP, or may be bonded to a transparent substrate such as a glass plate or an acrylic resin plate separately from the plasma display panel main body. These functional films are called optical filters (or simply filters).

反射防止機能を付与した反射防止層を形成する方法としては、外光の反射を抑えてコントラストの低下を抑えるために、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、ホウ化物、炭化物、窒化物、硫化物等の無機物を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、またはイオンビームアシスト法等で単層或いは多層に積層させる方法やアクリル樹脂、フッ素樹脂等の屈折率の異なる樹脂を単層或いは多層に積層させる方法等がある。   As a method of forming an antireflection layer with an antireflection function, metal oxides, fluorides, silicides, borides, carbides, nitrides, sulfides are used in order to suppress reflection of external light and suppress a decrease in contrast. A method of laminating an inorganic substance such as a single layer or multiple layers by a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or an ion beam assist method, or a single layer or a resin having a different refractive index such as an acrylic resin or a fluororesin There is a method of laminating in multiple layers.

また、反射防止処理を施したフィルムを該フィルター上に張り付けることもできる。さらに、必要であればノングレアー層またはアンチグレアー層を設けることもできる。ノングレアー層やアンチグレアー層を形成する方法としては、シリカ、メラミン、アクリル等の微粉体をインキ化して、表面にコーティングする方法等を用いることができる。この際、インキの硬化は熱硬化或いは光硬化等を用いることができる。また、ノングレア処理またはアンチグレア処理をしたフィルムを該フィルター上に張り付けることもできる。さらに必要で有ればハードコート層を設けることもできる。   Moreover, the film which gave the antireflection process can also be affixed on this filter. Further, if necessary, a non-glare layer or an anti-glare layer can be provided. As a method for forming the non-glare layer or the anti-glare layer, a method of forming a fine powder such as silica, melamine, or acrylic into an ink and coating the surface can be used. At this time, the ink can be cured by thermal curing or photocuring. Further, a non-glare-treated or anti-glare-treated film can be pasted on the filter. Further, if necessary, a hard coat layer can be provided.

近赤外線吸収層は、具体的には、金属錯体化合物等の近赤外線吸収色素を含有する層、または、銀スパッタ層等である。ここで銀スパッタ層は、誘電体層と金属層を基材上に交互にスパッタリング等で積層させることで、近赤外線、遠赤外線から電磁波まで1000nm以上の光をカットすることもできる。誘電体層は誘電体として酸化インジウム、酸化亜鉛等の透明な金属酸化物等を含む。上記金属層に含まれる金属としては銀或いは銀−パラジウム合金が一般的である。上記銀スパッタ層は、通常、誘電体層よりはじまり3層、5層、7層或いは11層程度積層した構成を有する。   Specifically, the near-infrared absorbing layer is a layer containing a near-infrared absorbing dye such as a metal complex compound or a silver sputtered layer. Here, the silver sputter layer can cut light of 1000 nm or more from near infrared rays, far infrared rays to electromagnetic waves by alternately laminating dielectric layers and metal layers on the substrate by sputtering or the like. The dielectric layer includes a transparent metal oxide such as indium oxide or zinc oxide as a dielectric. The metal contained in the metal layer is generally silver or a silver-palladium alloy. The sputtered silver layer generally has a structure in which about 3, 5, 7 or 11 layers are laminated, starting from the dielectric layer.

PDPにおいては、青色を発光する蛍光体は青色以外に僅かであるが赤色を発光する特性を有している為、青色に表示されるべき部分が紫がかった色で表示されるという問題がある。上記特定の波長域の可視光を吸収する色調調節機能をもった層は、この対策として発色光の補正を行う層であり、595nm付近の光を吸収する色素を含有する。   In the PDP, the phosphor that emits blue light has a characteristic of emitting red light in addition to blue, but has a problem that a portion to be displayed in blue is displayed in a purplish color. . The layer having a color tone adjusting function that absorbs visible light in the specific wavelength range is a layer that corrects the colored light as a countermeasure, and contains a dye that absorbs light in the vicinity of 595 nm.

本発明の製造方法で得られる透光性電磁波シールド膜は、良好な電磁波シールド性および透光性を有するため、透光性電磁波シールド材料として用いることができる。さらに、回路配線などの各種の導電性配線材料として用いることもできる。特に本発明の透光性電磁波シールド膜は、CRT(陰極線管)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、液晶、EL(エレクトロルミネッセンス)などのディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線板など、特にプラズマディスプレイパネルで用いられる透光性電磁波シールド膜として好適に用いることができる。   Since the translucent electromagnetic shielding film obtained by the production method of the present invention has good electromagnetic shielding properties and translucency, it can be used as a translucent electromagnetic shielding material. Furthermore, it can also be used as various conductive wiring materials such as circuit wiring. In particular, the translucent electromagnetic wave shielding film of the present invention is a plasma front such as CRT (cathode ray tube), PDP (plasma display panel), liquid crystal, EL (electroluminescence) display, microwave oven, electronic device, printed wiring board, etc. It can use suitably as a translucent electromagnetic wave shielding film used with a display panel.

上述の通り、本発明の透光性電磁波シールドは、プラズマディスプレイパネル用透光性電磁波シールド膜として好適に用いることができる。このため、本発明の透光性電磁波シールド膜を含んでなるプラズマディスプレイパネル用透光性電磁波シールド膜を用いて形成されたプラズマディスプレイパネルは、高電磁波シールド能、高コントラストおよび高明度であり、且つ低コストで作製することができる。   As above-mentioned, the translucent electromagnetic wave shield of this invention can be used suitably as a translucent electromagnetic wave shielding film for plasma display panels. For this reason, the plasma display panel formed using the translucent electromagnetic shielding film for plasma display panel comprising the translucent electromagnetic shielding film of the present invention has high electromagnetic shielding ability, high contrast and high brightness, Moreover, it can be manufactured at low cost.

<接着剤層>
本発明に係る電磁波シールド膜は、光学フィルターや、液晶表示板、プラズマディスプレーパネル、その他の画像表示グラットパネル、あるいはCCDに代表される撮像用半導体
集積回路などに組み込まれる際には、接着層を介して接合されることが好ましい。
接着剤層における接着剤の屈折率は1.40〜1.70のものを使用することが好ましい。これは本発明で使用するプラスチックフィルム等の透明基材と接着剤の屈折率との関係で、その差を小さくして、可視光透過率が低下するのを防ぐためであり、屈折率が1.
40〜1.70であると可視光透過率の低下が少なく良好である。
<Adhesive layer>
The electromagnetic wave shielding film according to the present invention has an adhesive layer when incorporated in an optical filter, a liquid crystal display panel, a plasma display panel, other image display grat panels, or an imaging semiconductor integrated circuit represented by a CCD. It is preferable to be joined.
It is preferable to use an adhesive having a refractive index of 1.40 to 1.70 in the adhesive layer. This is because the difference between the transparent base material such as a plastic film used in the present invention and the refractive index of the adhesive is reduced to prevent the visible light transmittance from being lowered. .
When it is 40 to 1.70, the decrease in visible light transmittance is small and good.

また、接着剤は、加熱または加圧により流動する接着剤であることが好ましく、特に、200℃以下の加熱または1Kgf/cm2以上の加圧により流動性を示す接着剤である
ことが好ましい。このような接着剤を用いることにより、この接着剤層に導電層が埋設されている本発明おける導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜を被着体であるディスプレイやプラスチック板に接着剤層を流動させて接着することができる。流動できるので導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜を被着体にラミネートや加圧成形、特に加圧成形により、また曲面、複雑形状を有する被着体にも容易に接着することができる。このためには、接着剤の軟化温度が200℃以下であると好ましい。電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常80℃未満であるので接着剤層の軟化温度は、80℃以上が好ましく、加工性から80〜120℃が最も好ましい。軟化温度は、粘度が1012ポイズ以下になる温度のことで、通常その温度では1〜10秒程度の時間のうちに流動が認められる。
The adhesive is preferably an adhesive that flows by heating or pressurization, and particularly an adhesive that exhibits fluidity by heating at 200 ° C. or less or pressurization by 1 kgf / cm 2 or more. By using such an adhesive, the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to the present invention, in which the conductive layer is embedded in the adhesive layer, are the adherends. In addition, the adhesive layer can be flowed and bonded to a plastic plate. Since it can flow, the conductive pattern material, translucent conductive film, translucent electromagnetic wave shielding film are laminated on the adherend and pressure molding, especially by pressure molding, and also on the adherend having curved surface and complicated shape. Can be easily bonded. For this purpose, the softening temperature of the adhesive is preferably 200 ° C. or lower. Since the environment in which the electromagnetic wave shielding film is used is usually less than 80 ° C., the softening temperature of the adhesive layer is preferably 80 ° C. or higher, and most preferably 80 to 120 ° C. in view of workability. The softening temperature is a temperature at which the viscosity becomes 10 12 poises or less, and normally, the flow is recognized within a time of about 1 to 10 seconds at that temperature.

上記のような加熱または加圧により流動する接着剤としては、主に以下に示す熱可塑性樹脂が代表的なものとしてあげられる。たとえば天然ゴム(屈折率n=1.52)、ポリイソプ
レン(n=1.521)、ポリ−1,2−ブタジエン(n=1.50)、ポリイソブテン(n=1.505〜1.51)、ポリブテン(n=1.513)、ポリ−2−ヘプチル−1,3−ブタジエン(n=1.50)、ポリ−2−
t−ブチル−1,3−ブタジエン(n=1.506)、ポリ−1,3−ブタジエン(n=1.515)などの(ジ)エン類、ポリオキシエチレン(n=1.456)、ポリオキシプロピレン(n=1.450)、ポリビニルエチルエーテル(n=1.454)、ポリビニルヘキシルエーテル(n=1.459)、ポリビニルブチルエーテル(n=1.456)などのポリエーテル類、ポリビニルアセテート(n=1.467)、ポリビニルプロピオネート(n=1.467)などのポリエステル類、ポリウレタン(n=1.5〜1.6)、エチル
セルロース(n=1.479)、ポリ塩化ビニル(n=1.54〜1.55)、ポリアクリロニトリル(n=1.52)
、ポリメタクリロニトリル(n=1.52)、ポリスルホン(n=1.633)、ポリスルフィド(n=1.6)、フェノキシ樹脂(n=1.5〜1.6)、ポリエチルアクリレート(n=1.469)、ポリブチルアクリレ
ート(n=1.466)、ポリ−2−エチルヘキシルアクリレート(n=1.463)、ポリ−t−ブチルアクリレート(n=1.464)、ポリ−3−エトキシプロピルアクリレート(n=1.465)、ポリオキシカルボニルテトラメチレン(n=1.465)、ポリメチルアクリレート(n=1.472〜1.480)、ポ
リイソプロピルメタクリレート(n=1.473)、ポリドデシルメタクリレート(n=1.474)、ポリテトラデシルメタクリレート(n=1.475)、ポリ−n−プロピルメタクリレート(n=1.484)、ポリ−3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート(n=1.484)、ポリエチルメ
タクリレート(n=1.485)、ポリ−2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート(n=1.487)、ポリ−1,1−ジエチルプロピルメタクリレート(n=1.489)、ポリメチルメタクリレート(n=1.489)などのポリ(メタ)アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、2種以上共重合してもよいし、2種類以上をブレンドして使用することも可能である。
Typical examples of the adhesive that flows by heating or pressurization as described above include the following thermoplastic resins. For example, natural rubber (refractive index n = 1.52), polyisoprene (n = 1.521), poly-1,2-butadiene (n = 1.50), polyisobutene (n = 1.505 to 1.51), polybutene (n = 1.513), poly- 2-heptyl-1,3-butadiene (n = 1.50), poly-2-
(Di) enes such as t-butyl-1,3-butadiene (n = 1.506) and poly-1,3-butadiene (n = 1.515), polyoxyethylene (n = 1.456), polyoxypropylene (n = 1.450), polyvinyl ethyl ether (n = 1.454), polyvinyl hexyl ether (n = 1.459), polyether such as polyvinyl butyl ether (n = 1.456), polyvinyl acetate (n = 1.467), polyvinyl propionate (n = 1.467) ) And other polyesters, polyurethane (n = 1.5 to 1.6), ethyl cellulose (n = 1.479), polyvinyl chloride (n = 1.54 to 1.55), polyacrylonitrile (n = 1.52)
, Polymethacrylonitrile (n = 1.52), polysulfone (n = 1.633), polysulfide (n = 1.6), phenoxy resin (n = 1.5-1.6), polyethyl acrylate (n = 1.469), polybutyl acrylate (n = 1.466), poly-2-ethylhexyl acrylate (n = 1.463), poly-t-butyl acrylate (n = 1.464), poly-3-ethoxypropyl acrylate (n = 1.465), polyoxycarbonyltetramethylene (n = 1.465) , Polymethyl acrylate (n = 1.472 to 1.480), polyisopropyl methacrylate (n = 1.473), polydodecyl methacrylate (n = 1.474), polytetradecyl methacrylate (n = 1.475), poly-n-propyl methacrylate (n = 1.484) ), Poly-3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate (n = 1.484), polyethyl methacrylate (n = 1.485), poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate (n = 1.487), 1,1-diethyl propyl methacrylate (n = 1.489), poly (meth) acrylic acid esters such as polymethyl methacrylate (n = 1.489) can be used. Two or more kinds of these acrylic polymers may be copolymerized as needed, or two or more kinds may be blended and used.

さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合樹脂としてはエポキシアクリレート(n=1.48〜1.60)、ウレタンアクリレート(n=1.5〜1.6)、ポリエーテルアクリレート(n=1.48〜1.49)、ポリエステルアクリレート(n=1.48〜1.54)なども使うこともできる。特に接着性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、1、6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の(メタ)アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートなどのように分子内に水酸基を有するポリマーは接着性向上に有効である。これらの共重合樹脂は必要に応じて、2種以上併用することができる。これらの接着剤となるポリマーの軟化温度は、取扱い性から200℃以下が好適で、150℃以下がさらに好ましい。電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常80℃以下であるので接着剤層の軟化温度は、加工性から80〜120℃が最も好ましい。一方、ポリマーの質量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したもの、以下同様)は、500以上のものを使用することが好ましい。分子量が500以下では接着剤組成物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下するおそれがある。本発明で使用する接着剤には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤、着色剤、紫外線吸収剤や粘着付与剤などの添加剤を配合してもよい。接着剤の層の厚さは、 10〜80μmであることが好ましく、導電層の厚さ以上で20〜50μmとすることが特に好ましい。   Further, copolymer resins other than acrylic resin and other than acrylic include epoxy acrylate (n = 1.48 to 1.60), urethane acrylate (n = 1.5 to 1.6), polyether acrylate (n = 1.48 to 1.49), polyester acrylate (n = 1.48 ~ 1.54) can also be used. In particular, urethane acrylate, epoxy acrylate, and polyether acrylate are excellent from the viewpoint of adhesiveness. Examples of epoxy acrylate include 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl alcohol diglycidyl ether, and resorcinol. (Meth) acrylic such as diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether An acid adduct is mentioned. A polymer having a hydroxyl group in the molecule such as epoxy acrylate is effective for improving the adhesion. These copolymer resins can be used in combination of two or more as required. The softening temperature of the polymer used as these adhesives is preferably 200 ° C. or less, and more preferably 150 ° C. or less from the viewpoint of handleability. Since the environment in which the electromagnetic wave shielding film is used is usually 80 ° C. or lower, the softening temperature of the adhesive layer is most preferably 80 to 120 ° C. in view of processability. On the other hand, it is preferable to use a polymer having a mass average molecular weight (measured using a standard polystyrene calibration curve by gel permeation chromatography, the same applies hereinafter) of 500 or more. When the molecular weight is 500 or less, the cohesive force of the adhesive composition is too low, and the adhesion to the adherend may be reduced. You may mix | blend additives, such as a diluent, a plasticizer, antioxidant, a filler, a coloring agent, a ultraviolet absorber, and a tackifier, with the adhesive agent used by this invention as needed. The thickness of the adhesive layer is preferably 10 to 80 μm, and more preferably 20 to 50 μm, more than the thickness of the conductive layer.

また、導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜を被覆する接着剤は、好ましくは透明プラスチック基材との屈折率の差が0.14以下とされる。また透明プラスチック基材が接着層を介して導電性材料と積層されている場合においては、接着層と幾何学図形を被覆する接着剤との屈折率の差が0.14以下とされる。これは、透明プラスチック基材と接着剤の屈折率、または接着剤と接着層の屈折率が異なると可視光透過率が低下するためであり、屈折率の差が0.14以下であると可視光透過率の低下が少なく良好となる。そのような要件を満たす接着剤の材料としては、透明プラスチック基材がポリエチレンテレフタレート(n=1.575;屈折率)の場合、ビスフェノールA型エポキシ樹脂やビスフェノールF型エポキシ樹脂、テトラヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、レゾルシン型エポキシ樹脂、ポリアルコール・ポリグリコール型エポキシ樹脂、ポリオレフィン型エポキシ樹脂、脂環式やハロゲン化ビスフェノールなどのエポキシ樹脂(いずれも屈折率が1.55〜1.60)を使うことができる。エポキシ樹脂以外では天然ゴム(n=1.52)、ポリイソプレン(n=1.521)、ポリ1,2−ブタ
ジエン(n=1.50)、ポリイソブテン(n=1.505〜1.51)、ポリブテン(n=1.5125)、ポリ−2−ヘプチル−1,3−ブタジエン(n=1.50)、ポリ−2−t−ブチル−1,3−
ブタジエン(n=1.506)、ポリ−1,3−ブタジエン(n=1.515)などの(ジ)エン類、ポリオキシエチレン(n=1.4563)、ポリオキシプロピレン(n=1.4495)、ポリビニルエチルエーテル(n=1.454)、ポリビニルヘキシルエーテル(n=1.4591)、ポリビニルブ
チルエーテル(n=1.4563)などのポリエーテル類、ポリビニルアセテート(n=1.4665)、ポリビニルプロピオネート(n=1.4665)などのポリエステル類、ポリウレタン(n=1.5〜1.6)、エチルセルロース(n=1.479)、ポリ塩化ビニル(n=1.54〜1.55)、ポリアクリロニトリル(n=1.52)、ポリメタクリロニトリル(n=1.52)、ポリスルホン(n=1.633)、ポリスルフィド(n=1.6)、フェノキシ樹脂(n=1.5〜1.6)などを挙げることができる。これらは、好適な可視光透過率を発現する。
The adhesive for covering the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film preferably has a refractive index difference of 0.14 or less with respect to the transparent plastic substrate. When the transparent plastic substrate is laminated with the conductive material via the adhesive layer, the difference in refractive index between the adhesive layer and the adhesive covering the geometric figure is 0.14 or less. This is because if the refractive index of the transparent plastic substrate and the adhesive, or the refractive index of the adhesive and the adhesive layer are different, the visible light transmittance is reduced, and if the difference in refractive index is 0.14 or less, it is visible. The decrease in light transmittance is small and good. Adhesive materials that satisfy these requirements include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, and tetrahydroxyphenylmethane type epoxy resin when the transparent plastic substrate is polyethylene terephthalate (n = 1.575; refractive index). , Novolac epoxy resin, resorcinol type epoxy resin, polyalcohol / polyglycol type epoxy resin, polyolefin type epoxy resin, epoxy resin such as alicyclic or halogenated bisphenol (all have a refractive index of 1.55 to 1.60) it can. Other than epoxy resins, natural rubber (n = 1.52), polyisoprene (n = 1.521), poly 1,2-butadiene (n = 1.50), polyisobutene (n = 1.505 to 1.51), polybutene (n = 1.5125), poly- 2-heptyl-1,3-butadiene (n = 1.50), poly-2-tert-butyl-1,3-
(Di) enes such as butadiene (n = 1.506) and poly-1,3-butadiene (n = 1.515), polyoxyethylene (n = 1.4563), polyoxypropylene (n = 1.4495), polyvinyl ethyl ether (n = 1.454), polyethers such as polyvinyl hexyl ether (n = 1.4591), polyvinyl butyl ether (n = 1.4563), polyesters such as polyvinyl acetate (n = 1.4665), polyvinyl propionate (n = 1.4665), polyurethane ( n = 1.5 to 1.6), ethyl cellulose (n = 1.479), polyvinyl chloride (n = 1.54 to 1.55), polyacrylonitrile (n = 1.52), polymethacrylonitrile (n = 1.52), polysulfone (n = 1.633), Examples thereof include polysulfide (n = 1.6) and phenoxy resin (n = 1.5 to 1.6). These express suitable visible light transmittance.

一方、透明プラスチック基材がアクリル樹脂の場合、上記の樹脂以外に、ポリエチルアクリレート(n=1.4685)、ポリブチルアクリレート(n=1.466)、ポリ−2−エチルヘ
キシルアクリレート(n=1.463)、ポリ−t-ブチルアクリレート(n=1.4638)、ポリ−3−エトキシプロピルアクリレート(n=1.465)、ポリオキシカルボニルテトラメタクリレート(n=1.465)、ポリメチルアクリレート(n=1.472〜1.480)、ポリイソプロピル
メタクリレート(n=1.4728)、ポリドデシルメタクリレート(n=1.474)、ポリテトラ
デシルメタクリレート(n=1.4746)、ポリ−n−プロピルメタクリレート(n=1.484)
、ポリ−3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート(n=1.484)、ポリエチルメタクリレート(n=1.485)、ポリ−2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート(n=1.4868)、ポリテトラカルバニルメタクリレート(n=1.4889)、ポリ−1,1−ジエチルプロピルメタクリレート(n=1.4889)、ポリメチルメタクリレート(n=1.4893)などのポリ(メタ)アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、2種以上共重合してもよいし、2種類以上をブレンドして使うこともでき
る。
On the other hand, when the transparent plastic substrate is an acrylic resin, in addition to the above resins, polyethyl acrylate (n = 1.4685), polybutyl acrylate (n = 1.466), poly-2-ethylhexyl acrylate (n = 1.463), poly- t-butyl acrylate (n = 1.4638), poly-3-ethoxypropyl acrylate (n = 1.465), polyoxycarbonyltetramethacrylate (n = 1.465), polymethyl acrylate (n = 1.472-1.480), polyisopropyl methacrylate (n = 1.4728), polydodecyl methacrylate (n = 1.474), polytetradecyl methacrylate (n = 1.4746), poly-n-propyl methacrylate (n = 1.484)
, Poly-3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate (n = 1.484), polyethyl methacrylate (n = 1.485), poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate (n = 1.4868), polytetracarbanyl methacrylate ( n (1.4889), poly-1,1-diethylpropyl methacrylate (n = 1.4889), poly (meth) acrylate such as polymethyl methacrylate (n = 1.4893) can be used. Two or more kinds of these acrylic polymers may be copolymerized as necessary, or two or more kinds may be blended and used.

さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合樹脂としてはエポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエステルアクリレートなども使うこともできる。特に接着性の点から、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の(メタ)アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートは分子内に水酸基を有するため接着性向上に有効であり、これらの共重合樹脂は必要に応じて、2種以上併用することができる。接着剤の主成分となるポリマーの質量平均分子量は、1,000以上のものが使われる。分子量が1,000以下だと組成物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下する。   Furthermore, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyether acrylate, polyester acrylate, or the like can also be used as a copolymer resin of an acrylic resin and other than acrylic. In particular, epoxy acrylate and polyether acrylate are excellent from the viewpoint of adhesiveness. As the epoxy acrylate, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl alcohol diglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether (Meth) acrylic acid adducts such as adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether Is mentioned. Epoxy acrylate has a hydroxyl group in the molecule and is effective in improving adhesiveness. These copolymer resins can be used in combination of two or more as required. The polymer used as the main component of the adhesive has a mass average molecular weight of 1,000 or more. When the molecular weight is 1,000 or less, the cohesive force of the composition is too low, and the adhesion to the adherend is reduced.

接着剤の硬化剤としてはトリエチレンテトラミン、キシレンジアミン、ジアミノジフェニルメタンなどのアミン類、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ドデシルコハク酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの酸無水物、ジアミノジフェニルスルホン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ポリアミド樹脂、ジシアンジアミド、エチルメチルイミダゾールなどを使うことができる。 これらは単独で用いてもよいし、2種以上混合して用いてもよい。これらの架橋剤の添加量は上記ポリマー100質量部に対して0.1〜50質量部、好ましくは1〜30質量部の範囲で選択するのがよい。この添加量が、0.1質量部未満であると硬化が不十分となり、50質量部を越えると過剰架橋となり、接着性に悪影響を与える場合がある。本発明で使用する接着剤の樹脂組成物には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤や粘着付与剤などの添加剤を配合してもよい。そして、この接着剤の樹脂組成物は、透明プラスチック基材の表面に導電性材料で描かれた導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜を設けた構成材料の基材の一部または全面を被覆するために、塗布され、溶媒乾燥、加熱硬化工程をへたのち、本発明に係る、接着剤層を有する、導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜とすることができる。即ち、接着フィルムにすることができる。上記で得られた電磁波シ−ルド性と透明性を有する接着フィルムは、該接着フィルムの接着剤によりCRT、PDP、液晶、ELなどのディスプレイに直接貼り付け使用したり、アクリル板、ガラス板等の板やシートに貼り付けてディスプレイに使用する。また、この接着フィルムは、電磁波を発生する測定装置、測定機器や製造装置の内部をのぞくための窓や筐体に上記と同様にして使用する。さらに、電波塔や高圧線等により電磁波障害を受ける恐れのある建造物の窓や自動車の窓等に設ける。そして、導電性材料で描かれた幾何学図形にはアース線を設けることが好ましい。   As the curing agent for the adhesive, amines such as triethylenetetramine, xylenediamine, diaminodiphenylmethane, acid anhydrides such as phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecyl succinic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, Diaminodiphenyl sulfone, tris (dimethylaminomethyl) phenol, polyamide resin, dicyandiamide, ethylmethylimidazole and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more. The addition amount of these crosslinking agents is selected in the range of 0.1 to 50 parts by mass, preferably 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymer. If the added amount is less than 0.1 parts by mass, curing may be insufficient, and if it exceeds 50 parts by mass, excessive crosslinking may occur, which may adversely affect adhesiveness. You may mix | blend additives, such as a diluent, a plasticizer, antioxidant, a filler, and a tackifier, with the resin composition of the adhesive agent used by this invention as needed. This adhesive resin composition is based on a component material in which a conductive pattern material, a light-transmitting conductive film, and a light-transmitting electromagnetic wave shielding film drawn with a conductive material are provided on the surface of a transparent plastic substrate. In order to cover a part or the entire surface of the material, the conductive pattern material, the translucent conductive film, the translucent film having the adhesive layer according to the present invention are applied, followed by solvent drying and heat curing processes. It can be set as a light electromagnetic wave shielding film. That is, an adhesive film can be obtained. The adhesive film having electromagnetic shielding properties and transparency obtained above can be used by directly attaching to an adhesive film adhesive such as a CRT, PDP, liquid crystal, EL display, an acrylic plate, a glass plate, etc. Affixed to a plate or sheet of a sheet and used as a display. Further, the adhesive film is used in the same manner as described above for a window or a case for looking inside a measuring apparatus, measuring apparatus or manufacturing apparatus that generates electromagnetic waves. Furthermore, it is provided in a window of a building or a window of an automobile that may be affected by an electromagnetic wave interference by a radio tower or a high voltage line. And it is preferable to provide a ground wire in the geometric figure drawn with the electroconductive material.

透明プラスチック基材上の導電性材料がない部分は密着性向上のために意図的に凹凸を有していたり、導電性材料の背面形状を転写したりするためにその表面で光が散乱され、透明性が損なわれることがあるが、その凹凸面に透明プラスチック基材と屈折率が近い樹脂が平滑に塗布されると乱反射が最小限に押さえられ、透明性が発現するようになる。さらに透明プラスチック基材上の導電性材料で描写された導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜は、ライン幅を非常に小さくすることが可能で、このため肉眼で視認されない材料を得ることが容易である。またピッチも自在に設定でき、見掛け上透明性を発現すると考えられる。一方、遮蔽すべき電磁波の波長に比べて、導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜の導電性パターンのピッチは十分に小さくすることが容易なため、優れたシールド性を容易に発現させることが可能である。   The part without the conductive material on the transparent plastic substrate has intentional irregularities to improve adhesion, or light is scattered on the surface to transfer the back shape of the conductive material, Although transparency may be impaired, irregular reflection is minimized and transparency is exhibited when a resin having a refractive index close to that of the transparent plastic substrate is smoothly applied to the uneven surface. In addition, the conductive pattern material, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film depicted with the conductive material on the transparent plastic substrate can make the line width very small. It is easy to obtain a material that is not visually recognized. Also, the pitch can be set freely, and apparently it is considered to exhibit transparency. On the other hand, since the pitch of the conductive pattern of the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shield film can be made sufficiently small compared to the wavelength of the electromagnetic wave to be shielded, an excellent shield Sex can be easily expressed.

特開2003−188576号公報に示すように、透明基材フィルムと金属箔との積層は、透明基材フィルムとして、熱融着性の高いエチレン−酢酸ビニル共重合樹脂、もしくはアイオノマー樹脂等の熱融着性樹脂のフィルムを単独、または他の樹脂フィルムと積層して使用するときは、接着剤層を設けずに行なうことも可能であるが、通常は、接着剤層を用いたドライラミネート法等によって積層を行なう。接着剤層を構成する接着剤としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合樹脂、もしくはエチレン−酢酸ビニル共重合樹脂等の接着剤を挙げることができ、これらの他、熱硬化性樹脂や電離放射線硬化性樹脂(紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂等)を用いることもできる。   As shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-188576, the lamination of a transparent base film and a metal foil is performed by using heat such as an ethylene-vinyl acetate copolymer resin or an ionomer resin having high heat-fusibility as the transparent base film. When a fusible resin film is used alone or laminated with another resin film, it can be performed without providing an adhesive layer, but usually a dry laminating method using an adhesive layer. Lamination is performed by such means. Examples of the adhesive constituting the adhesive layer include adhesives such as acrylic resin, polyester resin, polyurethane resin, polyvinyl alcohol resin, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer resin, or ethylene-vinyl acetate copolymer resin. In addition to these, thermosetting resins and ionizing radiation curable resins (such as ultraviolet curable resins and electron beam curable resins) can also be used.

一般的には、ディスプレイの表面はガラス製であるので、粘着剤を用いて貼り合わせるのは透明プラスチックフィルムとガラス板となり、その接着面に気泡が生じたり剥離が生じたりすると画像が歪む、表示色がディスプレイ本来のものと異なって見える等の問題が発生する。また、気泡および剥離の問題はいずれの場合でも粘着剤がプラスチックフィルムまたはガラス板より剥離することにより発生する。この現象は、プラスチックフィルム側、ガラス板側ともに発生する可能性が有り、より密着力の弱い側で剥離が発生する。従って、高温での粘着剤とプラスチックフィルム、ガラス板との密着力が高いことが必要となる。具体的には、透明プラスチックフィルム及びガラス板と粘着剤層との密着力は80℃において10g/cm以上であることが好ましい。30g/cm以上であることが更に好ましい。ただし、2000g/cmを超えるような粘着剤は貼り合わせ作業が困難と成るために好ましくない場合がある。ただし、かかる問題点が発生しない場合は問題なく使用できる。さらに、この粘着剤の透明プラスチックフィルムと面していない部分に不必要に他の部分に接触しないように合い紙(セパレーター)を設けることも可能である。   In general, the surface of the display is made of glass, so sticking with an adhesive is a transparent plastic film and a glass plate. If bubbles are formed on the adhesive surface or peeling occurs, the image is distorted. Problems such as the color appearing different from the original display occur. In any case, the problem of bubbles and peeling occurs when the pressure-sensitive adhesive peels from the plastic film or glass plate. This phenomenon may occur on both the plastic film side and the glass plate side, and peeling occurs on the side with weaker adhesion. Therefore, it is necessary that the adhesive force between the pressure-sensitive adhesive, the plastic film and the glass plate is high. Specifically, the adhesive strength between the transparent plastic film and glass plate and the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 10 g / cm or more at 80 ° C. More preferably, it is 30 g / cm or more. However, a pressure-sensitive adhesive exceeding 2000 g / cm may not be preferable because the bonding operation becomes difficult. However, if this problem does not occur, it can be used without problems. Furthermore, it is also possible to provide an interleaving paper (separator) so that the portion of the pressure-sensitive adhesive not facing the transparent plastic film does not unnecessarily come into contact with other portions.

粘着剤は透明であるものが好ましい。具体的には全光線透過率が70%以上が好ましく、80%以上が更に好ましく、85〜92%が最も好ましい。さらに、霞度が低いことが好ましい。具体的には、0〜3%が好ましく、0〜1.5%が更に好ましい。本発明で用いる粘着剤は、ディスプレイ本来の表示色を変化させないために無色であることが好ましい。ただし、樹脂自体が有色であっても粘着剤の厚みが薄い場合には実質的には無色とみなすことが可能である。また、後述のように意図的に着色を行なう場合も同様にこの範囲ではない。   The adhesive is preferably transparent. Specifically, the total light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and most preferably 85 to 92%. Furthermore, it is preferable that the degree of purity is low. Specifically, 0 to 3% is preferable, and 0 to 1.5% is more preferable. The pressure-sensitive adhesive used in the present invention is preferably colorless so as not to change the original display color of the display. However, even if the resin itself is colored, if the thickness of the pressure-sensitive adhesive is thin, it can be regarded as substantially colorless. Similarly, when intentionally coloring as described later, it is not within this range.

上記の特性を有する粘着剤としては例えば、アクリル系樹脂、α−オレフィン樹脂、酢酸ビニル系樹脂、アクリル共重合物系樹脂、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、エチレン−ビニルアセテート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。これらの内、アクリル系樹脂が好ましい。同じ樹脂を用いる場合でも、粘着剤を重合法により合成する際に架橋剤の添加量を下げる、粘着性付与材を加える、分子の末端基を変化させるなどの方法によって、粘着性を向上させることも可能である。また、同じ粘着剤を用いても、粘着剤を貼り合わせる面、すなわち、透明プラスチックフィルムまたはガラス板の表面改質を行なうことにより密着性を向上させることも可能である。このような表面の改質方法としては、コロナ放電処理、プラズマグロー処理等の物理的手法、密着性を向上させるための下地層を形成するなどの方法が挙げられる。   Examples of the pressure-sensitive adhesive having the above properties include acrylic resins, α-olefin resins, vinyl acetate resins, acrylic copolymer resins, urethane resins, epoxy resins, vinylidene chloride resins, vinyl chloride resins, Examples thereof include ethylene-vinyl acetate resin, polyamide resin, and polyester resin. Of these, acrylic resins are preferred. Even when the same resin is used, tackiness can be improved by methods such as reducing the amount of crosslinking agent added, adding a tackifier, or changing molecular end groups when synthesizing the pressure-sensitive adhesive by a polymerization method. Is also possible. Even if the same pressure-sensitive adhesive is used, it is possible to improve the adhesion by modifying the surface to which the pressure-sensitive adhesive is bonded, that is, the surface of the transparent plastic film or glass plate. Examples of such surface modification methods include physical methods such as corona discharge treatment and plasma glow treatment, and methods such as forming an underlayer for improving adhesion.

透明性、無色性、ハンドリング性の観点から、粘着剤層の厚みは、5〜50μm程度であることが好ましい。粘着剤層を接着剤で形成する場合は、その厚みは上記範囲内で薄くするとよい。具体的には1〜20μm程度である。ただし、上記のようにディスプレイ自体の表示色を変化させず、透明性も上記の範囲に入っている場合には、厚みが上記範囲を超えてもよい。   From the viewpoints of transparency, colorlessness, and handling properties, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably about 5 to 50 μm. In the case where the pressure-sensitive adhesive layer is formed of an adhesive, the thickness is preferably reduced within the above range. Specifically, it is about 1 to 20 μm. However, when the display color of the display itself is not changed as described above and the transparency is within the above range, the thickness may exceed the above range.

<剥離可能な保護フィルム>
本発明に係る導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜には、剥離可能な保護フィルムを設けることができる。
保護フィルムは、必ずしも、導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜の両面に有していなくてもよく、導電性金属パターン上に保護フィルムを有するのみで、支持体や透明基材フィルム側に有していなくてもよい。また、逆に、支持体や透明基材フィルム側に保護フィルムを有するのみで、導電性パターン上に有していなくてもよい。
<Peelable protective film>
A peelable protective film can be provided on the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film according to the present invention.
The protective film does not necessarily have to be provided on both sides of the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film, and only has the protective film on the conductive metal pattern. Or on the transparent substrate film side. Conversely, the protective film is only provided on the support or the transparent base film side, and may not be provided on the conductive pattern.

導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜は、赤外線遮蔽機能を有するフィルムや、反射防止機能を有するフィルムなどと積層して使うことがあり、上記の保護フィルムは、このようなさらなる積層の際には剥離する必要があり、このため、保護フィルムの積層は、いわゆる剥離可能に行なうことが望ましい。   The conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film may be used by laminating with a film having an infrared shielding function, a film having an antireflection function, etc. It is necessary to peel in the case of such further lamination | stacking, Therefore, it is desirable to laminate | stack a protective film so-called so that peeling is possible.

保護フィルムは導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜上に積層した際の剥離強度は5mN/25mm幅〜5N/25mm幅であることが好ましく、より好ましくは10mN/25mm幅〜100mN/25mm幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルムが剥離する恐れがあり、好ましくなく、また上限を超えると、剥離のために大きな力を要する上、剥離の際に、メッシュ状の金属層が透明基材フィルムから剥離する恐れがあり、やはり好ましくない。   The protective film preferably has a peel strength of 5 mN / 25 mm width to 5 N / 25 mm width, more preferably 10 mN / width when laminated on the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film. 25 mm width to 100 mN / 25 mm width. If it is less than the lower limit, peeling is too easy and the protective film may peel off during handling or inadvertent contact, which is not preferable, and if it exceeds the upper limit, a large force is required for peeling, and at the time of peeling, There is a possibility that the mesh-like metal layer may be peeled off from the transparent substrate film, which is also not preferable.

本発明において、透明基材フィルム側に積層する保護フィルムは、透明基材フィルムの下面が、取扱い中や不用意な接触により損傷しないよう、透明基材フィルムの露出面が汚染もしくは侵食を受けないよう、保護するためのものである。   In the present invention, the protective film laminated on the transparent substrate film side is such that the exposed surface of the transparent substrate film is not contaminated or eroded so that the lower surface of the transparent substrate film is not damaged during handling or inadvertent contact. It is for protection.

前述した保護フィルムの場合と同様、この保護フィルムも、積層体のさらなる積層の際には剥離する必要があるので、保護フィルムの透明基材フィルム側への積層も、剥離可能に行なうことが望ましく、剥離強度としては、保護フィルムと同様、5mN/25mm幅〜5N/25mm幅であることが好ましく、より好ましくは10mN/25mm幅〜100mN/25mm幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルムが剥離する恐れがあり、好ましくなく、また上限を超えると、剥離のために大きな力を要するからである。   As in the case of the protective film described above, this protective film also needs to be peeled off when the laminated body is further laminated. Therefore, it is desirable that the protective film be laminated on the transparent substrate film side so as to be peelable. As with the protective film, the peel strength is preferably 5 mN / 25 mm width to 5 N / 25 mm width, more preferably 10 mN / 25 mm width to 100 mN / 25 mm width. If it is less than the lower limit, peeling is too easy and the protective film may be peeled off during handling or inadvertent contact. This is not preferable, and if it exceeds the upper limit, a large force is required for peeling.

上記の各点を満足させるために、保護フィルムを構成するフィルムとしては、ポリオレフィン系樹脂であるポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、もしくはアクリル樹脂等の樹脂フィルムを用いることが好ましく、また、上記した観点により、少なくとも、保護フィルムの、積層体に適用した際に最表面となる側の面にコロナ放電処理を施しておくか、易接着層を積層しておくことが好ましい。   In order to satisfy each of the above points, as a film constituting the protective film, a polyolefin resin such as polyethylene resin, polypropylene resin, polyester resin such as polyethylene terephthalate resin, polycarbonate resin, or resin film such as acrylic resin is used. In addition, from the above viewpoint, at least the surface of the protective film, when applied to the laminate, is subjected to a corona discharge treatment or is laminated with an easy adhesion layer. Is preferred.

また、保護フィルムを構成する粘着剤としては、アクリル酸エステル系、ゴム系、もしくはシリコーン系のものを使用することができる。   Moreover, as an adhesive which comprises a protective film, an acrylate ester type | system | group, a rubber type, or a silicone type thing can be used.

<黒化処理>
導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜の金属部は、透明基材フィルム側に、黒化処理による黒化層を有したものであってよく、防錆効果に加え、金属光沢による反射の防止性を付与することができる。黒化層は、例えば、Co−Cu合金メッキによって形成され得るものが挙げられ、さらにその上に防錆処理としてクロメート処理をしてもよい。クロメート処理は、クロム酸もしくは重クロム酸塩を主成分とする溶液中に浸漬し、乾燥させて防錆被膜を得ることができる。また黒色系の被膜を与えるメッキ法によってもよい。
<Blackening treatment>
The metal part of the conductive pattern material, the translucent conductive film, and the translucent electromagnetic wave shielding film may have a blackened layer by a blackening treatment on the transparent base film side, which is effective for rust prevention. In addition, the prevention of reflection due to metallic luster can be imparted. Examples of the blackened layer include those that can be formed by Co—Cu alloy plating, and may further be subjected to chromate treatment as a rust prevention treatment. In the chromate treatment, a rust preventive coating can be obtained by dipping in a solution containing chromic acid or dichromate as a main component and drying. Alternatively, a plating method that gives a black film may be used.

上記の黒色メッキ浴は、硫酸ニッケル塩を主成分とする黒色メッキ浴を使用することができ、更に、市販の黒色メッキ浴も同様に使用することができ、具体的には、例えば、株式会社シミズ製の黒色メッキ浴(商品名、ノ−ブロイSNC、Sn−Ni合金系)、日本化学産業株式会社製の黒色メッキ浴(商品名、ニッカブラック、Sn−Ni合金系)、株式会社金属化学工業製の黒色メッキ浴(商品名、エボニ−クロム85シリ−ズ、Cr系)等を使用することができる。また、本発明においては、上記の黒色メッキ浴としては、Zn系、Cu系、その他等の種々の黒色メッキ浴を使用することができる。次に、本発明においては、導電性パターンの金属表面を化成処理して、具体的には、例えば、導電性パタ−ンが銅(Cu)からなるものであれば、硫化水素(H2 S)液処理して、銅の表面を硫化銅(CuS)として黒化することができる。なお、本発明において、上記の銅表面の黒化処理剤としては、硫化物系や硫化物系化合物を用いて容易に製造でき、更にまた、市販品も多種類の処理剤があり、例えば、商品名・コパ−ブラックCuO、同CuS、セレン系のコパ−ブラックNo.65等(アイソレ−ト化学研究所製)、商品名・エボノ−ルCスペシャル(メルテックス株式会社製)等を使用することができる。 As the black plating bath, a black plating bath mainly composed of nickel sulfate can be used, and a commercially available black plating bath can also be used in the same manner. Shimizu's black plating bath (trade name, Novroi SNC, Sn-Ni alloy), Nippon Kagaku Sangyo Co., Ltd. black plating bath (trade name, Nikka Black, Sn-Ni alloy), Metal Chemical Co., Ltd. An industrial black plating bath (trade name, ebony-chrome 85 series, Cr series) or the like can be used. In the present invention, various black plating baths such as Zn-based, Cu-based, etc. can be used as the black plating bath. Next, in the present invention, the metal surface of the conductive pattern is subjected to chemical conversion treatment. Specifically, for example, if the conductive pattern is made of copper (Cu), hydrogen sulfide (H 2 S ) Liquid treatment can be used to blacken the copper surface as copper sulfide (CuS). In the present invention, the copper surface blackening treatment agent can be easily produced using a sulfide-based or sulfide-based compound, and there are many types of commercially available products, for example, Product name: Copa Black CuO, CuS, Selenium Copa Black No. 65 (made by Isolate Chemical Laboratories, Inc.), trade name, Ebonol C Special (made by Meltex Co., Ltd.), etc. can be used.

このように上記の黒化処理には、例えば、ブラック銅(Cu)、ブラックニッケル(Ni)等のメッキ法や化学的な黒化処理法等の公知の黒化処理方法を利用して行うことができる。   As described above, the blackening treatment is performed by using a known blackening treatment method such as a plating method such as black copper (Cu) or black nickel (Ni) or a chemical blackening treatment method. Can do.

[黒色部]
本発明における黒色部は、金属光沢を抑えて視認性悪化を防ぐ役割を持つものであり、実質的に黒色と認知できるものが好ましいが、金属光沢を抑えることができれば必ずしも黒色でなくともよい。黒色部は、現像銀部、導電性金属部上にこの順に積層されていることが好ましい。現像銀部および/または導電性金属部が細線状にパターニングされている場合で、用途として電磁波シールドを想定する場合には、光透過率の観点でパターニングされた部分上に積層されていることが好ましい。黒色部を構成する主成分はニッケル、クロム、亜鉛、錫、および銅の中から選択される元素を含む少なくとも1種の化合物であれば良く、導電性であっても非導電性であっても良い。本発明の方法に加えて、染色法等の方法を組み合わせて使用することも好適に用いることが可能である。
[Black part]
The black portion in the present invention has a role of suppressing the metallic luster and preventing the deterioration of visibility, and is preferably substantially black, but may not necessarily be black as long as the metallic luster can be suppressed. The black part is preferably laminated in this order on the developed silver part and the conductive metal part. When the developed silver part and / or the conductive metal part are patterned in a thin line shape, and an electromagnetic wave shield is assumed as an application, the developed silver part and / or the conductive metal part may be laminated on the patterned part from the viewpoint of light transmittance. preferable. The main component constituting the black portion may be at least one compound containing an element selected from nickel, chromium, zinc, tin, and copper, and may be conductive or non-conductive. good. In addition to the method of the present invention, it is also possible to suitably use a combination of methods such as a staining method.

本発明における黒色部の好適な積層方法の例としては、メッキ処理とケミカルエッチング法が挙げられる。
メッキ処理としては公知の黒色メッキと呼ばれるものであれば何でも使用して良く、黒色niメッキ、黒色Crメッキ、黒色Sn−ni合金メッキ、Sn−ni−Cu合金メッキ、黒色亜鉛クロメート処理等が例として挙げられる。具体的には、日本化学産業(株)製の黒色メッキ浴(商品名、ニッカブラック、Sn−ni合金系)、(株)金属化学工業製の黒色メッキ浴(商品名、エボニ−クロム85シリ−ズ、Cr系)、ディップソール(株)性クロメート剤(商品名、ZB−541、亜鉛メッキ黒色クロメート剤)を使用することができる。メッキ法としては無電解メッキ、電解メッキのどちらの方法でも良く、緩やかな条件であっても高速メッキであっても良い。メッキ厚みは黒色として認知できれば厚みは限定されないが、通常のメッキ厚みは1μm〜5μmが好適である。
Examples of a preferable method for laminating the black portion in the present invention include plating and chemical etching.
Any known so-called black plating may be used as the plating treatment, such as black ni plating, black Cr plating, black Sn-ni alloy plating, Sn-ni-Cu alloy plating, and black zinc chromate treatment. As mentioned. Specifically, black plating bath (trade name, Nikka Black, Sn-ni alloy system) manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd. -Cr, Cr) and dip sole Co., Ltd. chromate agent (trade name, ZB-541, galvanized black chromate agent) can be used. The plating method may be either electroless plating or electrolytic plating, and may be mild or high-speed plating. Although the thickness is not limited as long as the plating thickness can be recognized as black, the normal plating thickness is preferably 1 μm to 5 μm.

本発明において導電性金属部の一部を酸化処理もしくは硫化処理して黒色部を形成することもできる。例えば導電性金属部が銅である場合、銅表面の黒化処理剤の例としては、メルテックス(株)製、商品名エンプレートMB438A,B、三菱瓦斯化学(株)製、商品名nPE−900、メック(株)製、商品名メックエッチボンドBO−7770V、アイソレ−ト化学研究所製、商品名コパ−ブラックCuO、同CuS、セレン系のコパ−
ブラックno.65等を使用することができる。上記の他には例えば、硫化物を処理して硫化水素(H2 S)を発生させ、銅の表面を硫化銅(CuS)として黒化することももちろん可能である。これらの処理は黒色として認知できれば厚みは限定されないが、通常3μm以下が好ましく、0.8μm〜2μmがさらに好ましい。
In the present invention, a black portion can be formed by oxidizing or sulfurating a part of the conductive metal portion. For example, when the conductive metal portion is copper, examples of the blackening treatment agent on the copper surface include: Meltex Co., Ltd., trade name Enplate MB438A, B, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name: nPE- 900, manufactured by Mec Co., Ltd., trade name: Mec Etch Bond BO-7770V, manufactured by Isolate Chemical Laboratories, trade name: Copa Black CuO, CuS, Selenium-based Coa
Black no. 65 etc. can be used. In addition to the above, for example, it is possible to treat the sulfide to generate hydrogen sulfide (H 2 S) and to blacken the copper surface as copper sulfide (CuS). The thickness of the treatment is not limited as long as it can be recognized as black, but it is preferably 3 μm or less, more preferably 0.8 μm to 2 μm.

[光学フィルター]
本発明に係る光学フィルターは、上記の透光性電磁波シールド膜の他に、複合機能層を備えた機能性フィルムを有することができる。
[Optical filter]
The optical filter according to the present invention can have a functional film provided with a composite functional layer in addition to the above-described translucent electromagnetic wave shielding film.

ディスプレイは、照明器具等の映り込みによって表示画面が見づらくなってしまうので、機能性フィルム(以下(C)とする)は、外光反射を抑制するための反射防止(AR:アンチリフレクション)性、または、鏡像の映り込みを防止する防眩(AG:アンチグレア)性、またはその両特性を備えた反射防止防眩(ARAG)性のいずれかの機能を有していることが必要である。光学フィルター表面の可視光線反射率が低いと、映り込み防止だけではなく、コントラスト等を向上させることができる。   Since the display screen is difficult to see due to the reflection of lighting fixtures, etc., the functional film (hereinafter referred to as (C)) has anti-reflection (AR: anti-reflection) properties for suppressing external light reflection, Alternatively, it is necessary to have a function of anti-glare (AG: anti-glare) that prevents reflection of a mirror image or anti-glare and anti-glare (ARAG) that has both characteristics. When the visible light reflectance on the surface of the optical filter is low, not only the reflection is prevented but also the contrast and the like can be improved.

反射防止性を有する機能性フィルム(C)は、反射防止膜を有し、具体的には、可視域において屈折率が1.5以下、好適には1.4以下と低い、フッ素系透明高分子樹脂やフッ化マグネシウム、シリコン系樹脂や酸化珪素の薄膜等を例えば1/4波長の光学膜厚で単層形成したもの、屈折率の異なる、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、窒化物、硫化物等の無機化合物またはシリコン系樹脂やアクリル樹脂、フッ素系樹脂等の有機化合物の薄膜を2層以上多層積層したものがあるが、これらに限定されるものではない。反射防止性を有する機能性フィルム(C)の表面の可視光線反射率は2%以下、好ましくは1.3%以下、さらに好ましくは0.8%以下である。   The functional film (C) having antireflection properties has an antireflection film, and specifically has a low refractive index of 1.5 or less, preferably 1.4 or less in the visible region. Molecular resin, magnesium fluoride, silicon-based resin, silicon oxide thin film, etc. formed as a single layer with an optical film thickness of, for example, 1/4 wavelength, metal oxide, fluoride, silicide, nitride with different refractive index In addition, a thin film of two or more layers of inorganic compounds such as sulfides or organic compounds such as silicon-based resins, acrylic resins, and fluorine-based resins may be laminated, but is not limited thereto. The visible light reflectance of the surface of the functional film (C) having antireflection properties is 2% or less, preferably 1.3% or less, more preferably 0.8% or less.

防眩性を有する機能性フィルム(C)は、0.1μm〜10μm程度の微少な凹凸の表面状態を有する可視光線に対して透明な防眩膜を有している。具体的には、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型または光硬化型樹脂に、シリカ、有機珪素化合物、メラミン、アクリル等の無機化合物または有機化合物の粒子を分散させインキ化したものを、基体上に塗布、硬化させる。粒子の平均粒径は、1〜40μmである。または、上記の熱硬化型または光硬化型樹脂を基体に塗布し、所望のグロス値または表面状態を有する型を押しつけ硬化することによっても防眩性を得ることができるが、必ずしもこれら方法に限定されるものではない。防眩性を有する機能性フィルム(C)のヘイズは0.5%以上20%以下であり、好ましくは1%以上10%以下である。ヘイズが小さすぎると防眩性が不十分であり、ヘイズが大きすぎると透過像鮮明度が低くなる傾向がある。   The functional film (C) having an antiglare property has an antiglare film that is transparent to visible light having a minute uneven surface state of about 0.1 μm to 10 μm. Specifically, acrylic, silicon-based resin, melamine-based resin, urethane-based resin, alkyd-based resin, fluorine-based resin and other thermosetting or photo-curable resins, silica, organosilicon compounds, melamine, acrylic, etc. Inorganic particles or organic compound particles dispersed in an ink are applied and cured on a substrate. The average particle diameter of the particles is 1 to 40 μm. Alternatively, the anti-glare property can be obtained by applying the above-mentioned thermosetting or photo-curing resin to a substrate and pressing and curing a mold having a desired gloss value or surface state, but it is not necessarily limited to these methods. Is not to be done. The haze of the functional film (C) having antiglare properties is 0.5% or more and 20% or less, and preferably 1% or more and 10% or less. If the haze is too small, the antiglare property is insufficient, and if the haze is too large, the transmitted image sharpness tends to be low.

光学フィルターに耐擦傷性を付加させるために、機能性フィルム(C)がハードコート性を有していることも好適である。ハードコート膜としてはアクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型または光硬化型樹脂等が挙げられるが、その種類も形成方法も特に限定されない。これら膜の厚さは、1〜50μm程度である。ハードコート性を有する機能性フィルム(C)の表面硬度は、JIS(K―5400)に従った鉛筆硬度が少なくともH、好ましくは2H、さらに好ましくは3H以上である。ハードコート膜上に反射防止膜および/または防眩膜を形成すると、耐擦傷性・反射防止性および/または防眩性を有する機能性フィルム(C)が得られ好適である。   In order to add scratch resistance to the optical filter, it is also preferable that the functional film (C) has a hard coat property. Examples of the hard coat film include thermosetting or photocurable resins such as acrylic resins, silicon resins, melamine resins, urethane resins, alkyd resins, and fluorine resins. There is no particular limitation. The thickness of these films is about 1 to 50 μm. As for the surface hardness of the functional film (C) having hard coat properties, the pencil hardness according to JIS (K-5400) is at least H, preferably 2H, more preferably 3H or more. When an antireflection film and / or an antiglare film is formed on the hard coat film, a functional film (C) having scratch resistance, antireflection property and / or antiglare property is preferably obtained.

光学フィルターには、静電気帯電によりホコリが付着しやすく、また、人体が接触したときに放電して電気ショックを受けることがあるため、帯電防止処理が必要とされる場合がある。従って、静電気防止能を付与するために、機能性フィルム(C)が導電性を有し
ていても良い。この場合に必要とされる導電性は面抵抗で1011Ω/□程度以下であれば良い。導電性を付与する方法としてはフィルムに帯電防止剤を含有させる方法や導電層を形成する方法が挙げられる。帯電防止剤として具体的には、商品名ペレスタット(三洋化成社製)、商品名エレクトロスリッパー(花王社製)等が挙げられる。導電層としてはITOをはじめとする公知の透明導電膜やITO超微粒子や酸化スズ超微粒子をはじめとする導電性超微粒子を分散させた導電膜が挙げられる。ハードコート膜や反射防止膜、防眩膜が、導電膜を有していたり導電性微粒子を含有していると好適である。
Since the optical filter is liable to adhere to dust due to electrostatic charging, and may be discharged and receive an electric shock when it comes into contact with the human body, an antistatic treatment may be required. Therefore, the functional film (C) may have conductivity in order to impart antistatic ability. The electrical conductivity required in this case may be about 10 11 Ω / □ or less in terms of surface resistance. Examples of the method for imparting conductivity include a method of adding an antistatic agent to the film and a method of forming a conductive layer. Specific examples of the antistatic agent include trade name Pelestat (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.), trade name electro slipper (manufactured by Kao Corporation) and the like. Examples of the conductive layer include known transparent conductive films such as ITO, and conductive films in which conductive ultrafine particles such as ITO ultrafine particles and tin oxide ultrafine particles are dispersed. It is preferable that the hard coat film, the antireflection film, and the antiglare film have a conductive film or contain conductive fine particles.

機能性フィルム(C)表面が防汚性を有していると、指紋等の汚れ防止や汚れが付いたときに簡単に取り除くことができるので好適である。防汚性を有するものとしては、水および/または油脂に対して非濡性を有するものであって、例えばフッ素化合物やケイ素化合物が挙げられる。フッ素系防汚剤として具体的には商品名オプツール(ダイキン社製)等が挙げられ、ケイ素化合物としては、商品名タカタクォンタム(日本油脂社製)等が挙げられる。反射防止膜に、これら防汚性のある層を用いると、防汚性を有する反射防止膜が得られて好適である。   When the surface of the functional film (C) has antifouling properties, it is preferable since it can be easily removed when it is prevented from being smudged or smudged with fingerprints. What has antifouling property has non-wetting property with respect to water and / or fats and oils, and examples thereof include fluorine compounds and silicon compounds. Specific examples of the fluorine-based antifouling agent include trade name Optool (manufactured by Daikin), and examples of the silicon compound include trade name Takata Quantum (manufactured by NOF Corporation). When these antifouling layers are used for the antireflection film, an antireflection film having antifouling properties is obtained, which is preferable.

機能性フィルム(C)は、後述する色素や高分子フィルムの劣化等を防ぐ目的で紫外線カット性を有していることが好ましい。紫外線カット性を有する機能性フィルム(C)は、後述する上記の高分子フィルムに紫外線吸収剤を含有させることや紫外線吸収膜を付与する方法が挙げられる。   The functional film (C) preferably has UV-cutting properties for the purpose of preventing deterioration of a dye and a polymer film described later. Examples of the functional film (C) having an ultraviolet cutting property include a method of adding an ultraviolet absorbent to the polymer film described later and an ultraviolet absorbing film.

光学フィルターは、常温常湿よりも高い温度・湿度環境化で使用されると、フィルムを透過した水分により後述する色素が劣化したり、貼り合せに用いる粘着材中や貼り合せ界面に水分が凝集して曇ったり、水分による影響で粘着材中の粘着付与剤等が相分離して析出して曇ったりすることがあるので、機能性フィルム(C)がガスバリア性を有していると好ましい。このような色素劣化や曇りを防ぐ為には、色素を含有する層や粘着材層への水分の侵入を防ぐことが肝要であり、機能性フィルム(C)の水蒸気透過度が10g/m・day以下、好ましくは5g/m・day以下であることが好適である。 When optical filters are used in a temperature / humidity environment higher than room temperature and humidity, the dyes described later deteriorate due to moisture that permeates the film, or moisture aggregates in the adhesive used for bonding or at the bonding interface. Then, the functional film (C) preferably has gas barrier properties because it may become cloudy or the tackifier in the adhesive material may be phase-separated and deposited due to the influence of moisture. In order to prevent such deterioration and fogging of the pigment, it is important to prevent moisture from entering the pigment-containing layer and the adhesive layer, and the water vapor permeability of the functional film (C) is 10 g / m 2. · Day or less, preferably 5 g / m 2 · day or less.

本発明において、高分子フィルム(A)、導電メッシュ層(B)、機能性フィルム(C)および必要に応じて後述する透明成型物(E)は、可視光線に対して透明な任意の粘着材または接着剤(D1)(D2)を介して貼り合わせて用いることができる。粘着材または接着剤(D1)、(D2)として具体的にはアクリル系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリビニルブチラール接着剤(PVB)、エチレン−酢酸ビニル系接着剤(EVA)等、ポリビニルエーテル、飽和無定形ポリエステル、メラミン樹脂等が挙げられ、実用上の接着強度があればシート状やロール状のものでも液状のものでもよい。粘着材は感圧型接着剤でシート状、ロール状のものが好適に使用できる。シート状、ロール状の粘着材貼り付け後または接着材塗布後に各部材をラミネートすることによって貼り合わせを行うことができる。液状のものは塗布、貼り合わせ後に室温放置または加熱により硬化する接着剤を用いることができる。塗布方法としては、バーコート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法、ロールコート法等が挙げられるが、接着剤の種類、粘度、塗布量等から考慮、選定される。層の厚みは、特に限定されるものではないが、0.5μm〜50μm、好ましくは1μm〜30μmである。粘着材層を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コートまたはコロナ放電処理などの易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適である。本発明においては、前述の可視光線に対して透明な粘着材または接着剤を透光性粘着材と呼ぶ。   In the present invention, the polymer film (A), the conductive mesh layer (B), the functional film (C), and the transparent molded product (E), which will be described later if necessary, are arbitrary adhesives that are transparent to visible light. Or it can stick together and use through adhesives (D1) (D2). Specific examples of adhesives or adhesives (D1) and (D2) include acrylic adhesives, silicone adhesives, urethane adhesives, polyvinyl butyral adhesives (PVB), and ethylene-vinyl acetate adhesives (EVA). Polyvinyl ether, saturated amorphous polyester, melamine resin, and the like. As long as there is practical adhesive strength, it may be in the form of a sheet, a roll, or a liquid. The pressure-sensitive adhesive can be suitably used as a pressure-sensitive adhesive in the form of a sheet or roll. Bonding can be performed by laminating the respective members after pasting the sheet-like or roll-like adhesive material or after applying the adhesive. In the case of a liquid material, an adhesive that is cured by being left at room temperature or heated after coating and bonding can be used. Examples of the coating method include a bar coating method, a reverse coating method, a gravure coating method, a die coating method, and a roll coating method, and are selected in consideration of the type of adhesive, viscosity, coating amount, and the like. The thickness of the layer is not particularly limited, but is 0.5 μm to 50 μm, preferably 1 μm to 30 μm. It is preferable that the surface on which the pressure-sensitive adhesive layer is formed and the surface to be bonded are previously improved in wettability by an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coat or a corona discharge treatment. In the present invention, the above-mentioned adhesive or adhesive transparent to visible light is referred to as a translucent adhesive.

本発明においては、導電性メッシュ層(B)上に機能性フィルム(C)を貼り合わせる際、特に透光性粘着材層(D1)を用いる。透光性粘着材層(D1)に用いる透光性粘着材の具体例としては前記と同じだが、その厚さが導電性メッシュ層(B)の凹部を十分埋
め込むことができることが好ましい。導電性メッシュ層(B)の厚さより薄すぎると、埋め込み不十分で間隙が出来て凹部に気泡を噛み込み、濁りのある、透光性の不足したディスプレイ用フィルタとなってしまう場合もある。又、厚すぎると粘着材を作製するコストがアップしたり部材のハンドリングが悪くなる等の問題が生じる。導電性メッシュ層(B)の厚さがdμmの時、透光性粘着材(D1)の厚さは(d−2)〜(d+30)μmであることが好ましい。
In this invention, when bonding a functional film (C) on a conductive mesh layer (B), a translucent adhesive material layer (D1) is used especially. Specific examples of the light-transmitting pressure-sensitive adhesive material used for the light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D1) are the same as described above, but it is preferable that the thickness of the light-transmitting pressure-sensitive adhesive material can sufficiently embed the concave portion of the conductive mesh layer (B). If the thickness of the conductive mesh layer (B) is too thin, a gap may be formed due to insufficient embedding and bubbles may be caught in the recesses, resulting in a turbid display filter with insufficient translucency. On the other hand, when the thickness is too large, problems such as an increase in the cost for producing the adhesive material and a deterioration in the handling of the members occur. When the thickness of the conductive mesh layer (B) is d μm, the thickness of the translucent adhesive material (D1) is preferably (d−2) to (d + 30) μm.

光学フィルターの可視光線透過率は、30〜85%が好ましい。更に好ましくは35〜70%である。30%未満であると輝度が下がりすぎ視認性が悪くなる。また、ディスプレイ用フィルタの可視光線透過率が高すぎると、ディスプレイのコントラストを改善できない。尚、本発明における光学フィルターの可視光線透過率は、可視光線領域における透過率の波長依存性からJIS(R−3106)に従って計算されるものである。   The visible light transmittance of the optical filter is preferably 30 to 85%. More preferably, it is 35 to 70%. If it is less than 30%, the luminance is too low and the visibility is deteriorated. Further, if the visible light transmittance of the display filter is too high, the display contrast cannot be improved. The visible light transmittance of the optical filter in the present invention is calculated according to JIS (R-3106) from the wavelength dependence of the transmittance in the visible light region.

また、機能性フィルム(C)を透光性粘着材層(D1)を介して導電性メッシュ層(B)上に貼り合せると、凹部に気泡を噛み込み、濁って透光性が不十分になることがあるが、この場合、例えば加圧処理すると、貼り合わせ時に部材間に入り込んだ気体を脱泡、濁りを無くして透光性を向上させることができる。加圧処理は、(C)/(D1)/(B)/(A)等の構成の状態で行うことができ、後述の様に、透明成形物(E)を含んだ構成で行ってもよい。   In addition, when the functional film (C) is bonded onto the conductive mesh layer (B) via the translucent adhesive layer (D1), air bubbles are caught in the recesses, becoming cloudy and insufficiently translucent. However, in this case, for example, when pressure treatment is performed, the gas that has entered between the members at the time of bonding can be degassed and turbidity can be eliminated to improve translucency. The pressure treatment can be performed in a state of a configuration such as (C) / (D1) / (B) / (A) or the like, and may be performed in a configuration including the transparent molded product (E) as described later. Good.

加圧方法としては、平板間に積層体を挟み込みプレスする方法、ニップロール間を加圧しながら通す方法、加圧容器内に入れて加圧する方法が挙げられるが、特に限定はされない。加圧容器内で加圧する方法は、積層体全体に一様に圧力がかかり加圧のムラが無く、また、一度に複数枚の積層体を処理できるので好適である。加圧容器としてはオートクレーブ装置を用いることが出来る。   Examples of the pressurizing method include a method in which a laminate is sandwiched between flat plates, a method of pressing while pressing between nip rolls, and a method of pressing in a pressure vessel, but are not particularly limited. The method of pressurizing in the pressure vessel is preferable because the entire laminate is uniformly pressurized and there is no unevenness in pressurization, and a plurality of laminates can be processed at a time. An autoclave device can be used as the pressurized container.

加圧条件としては、圧力が高い程、噛み込んだ気泡を無くすことが出来、且つ、処理時間を短くすることが出来るが、積層体の耐圧性、加圧方法の装置上の制限から、0.2MPa〜2MPa程度、好ましくは0.4〜1.3MPaである。また、加圧時間は、加圧条件によって変わり特に限定されないが、長くなりすぎると処理時間がかかりコストアップとなるので、適当な加圧条件において保持時間が6時間以下であることが好ましい。特に加圧容器の場合は、設定圧力に到達後、10分〜3時間程度保持することが好適である。   As the pressurizing condition, the higher the pressure is, the more air bubbles can be eliminated, and the processing time can be shortened. About 2 MPa to 2 MPa, preferably 0.4 to 1.3 MPa. The pressurization time varies depending on the pressurization conditions and is not particularly limited. However, if the pressurization time is too long, the processing time is increased and the cost is increased. Therefore, the holding time is preferably 6 hours or less under appropriate pressurization conditions. In particular, in the case of a pressurized container, it is preferable to hold for about 10 minutes to 3 hours after reaching the set pressure.

また、加圧時に同時に加温すると好ましい場合がある。加温することによって、透光性粘着材の流動性が一時的に上がり噛み込んだ気泡を脱泡しやすくなったり、気泡が粘着材中に固溶しやすくなる。加温条件としては光学フィルターを構成する各部材の耐熱性により、室温以上80℃以下程度であるが、特に限定を受けない。   Moreover, it may be preferable to heat simultaneously at the time of pressurization. By heating, the fluidity of the translucent pressure-sensitive adhesive material temporarily rises, and it becomes easy to defoam the entrained air bubbles, or the air bubbles easily dissolve in the adhesive material. The heating condition is about room temperature to about 80 ° C. depending on the heat resistance of each member constituting the optical filter, but is not particularly limited.

さらにまた、加圧処理、または、加圧加温処理は、光学フィルターを構成する各部材間の貼り合わせ後の密着力を向上させることが出来、好適である。   Furthermore, the pressurizing process or the pressurizing and heating process is preferable because it can improve the adhesion after bonding between the members constituting the optical filter.

本発明の光学フィルターは、高分子フィルム(A)の導電性メッシュ層(B)が形成されていない他方の主面に透光性粘着材層(D2)を設ける。透光性粘着材層(D2)に用いる透光性粘着材の具体例は前述の通りであり、特に限定はされない。厚みも、特に限定されるものではないが、0.5μm〜50μm、好ましくは1μm〜30μmである。透光性粘着材層(D2)を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コートまたはコロナ放電処理などの易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適である。   In the optical filter of the present invention, the translucent adhesive layer (D2) is provided on the other main surface of the polymer film (A) where the conductive mesh layer (B) is not formed. The specific example of the translucent adhesive material used for the translucent adhesive material layer (D2) is as above-mentioned, and is not specifically limited. The thickness is not particularly limited, but is 0.5 μm to 50 μm, preferably 1 μm to 30 μm. It is preferable that the surface on which the light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D2) is formed and the surface to be bonded have improved wettability in advance by an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coat or a corona discharge treatment.

透光性粘着材層(D2)上に離型フィルムが形成されていても良い。すなわち、少なく
とも機能性フィルム(C)/透光性粘着材層(D1)/導電性メッシュ層(B)/高分子フィルム(A)/透光性粘着材層(D2)/離型フィルムである。離型フィルムは、粘着材層と接する高分子フィルムの主面上にシリコーン等をコーティングしたものである。本発明の光学フィルターを後述の透明成形物(E)の主面に貼り合せる際、または、ディスプレイ表面、例えばプラズマディスプレイパネルの前面ガラス上に貼り合せる際には、離型フィルムを剥離して透光性粘着材層(D2)を露出せしめた後に貼り合わせる。
A release film may be formed on the translucent adhesive layer (D2). That is, at least functional film (C) / translucent adhesive layer (D1) / conductive mesh layer (B) / polymer film (A) / translucent adhesive layer (D2) / release film. . The release film is obtained by coating silicone or the like on the main surface of the polymer film that is in contact with the adhesive material layer. When the optical filter of the present invention is bonded to the main surface of the transparent molded product (E) described later, or when bonded to the display surface, for example, the front glass of a plasma display panel, the release film is peeled off and the transparent film is peeled off. After the light-sensitive adhesive layer (D2) is exposed, it is bonded.

本発明の光学フィルターは、主として各種ディスプレイから発生する電磁波を遮断する目的で用いられる。好ましい例として、プラズマディスプレイ用フィルターが挙げられる。   The optical filter of the present invention is mainly used for the purpose of blocking electromagnetic waves generated from various displays. A preferable example is a plasma display filter.

前述した様にプラズマディスプレイは強度の近赤外線を発生する為、本発明のディスプレイ用フィルタは、実用上問題無いレベルまで電磁波だけでなく近赤外線もカットする必要がある。波長領域800〜1000nmにおける透過率を25%以下、好ましくは15%以下、更に好ましくは10%以下とすることが必要である。また、プラズマディスプレイに用いる光学フィルターはその透過色がニュートラルグレーまたはブルーグレーであることが要求される。これは、プラズマディスプレイの発光特性およびコントラストを維持または向上させる必要があったり、標準白色より若干高めの色温度の白色が好まれる場合があるからである。さらにまた、カラープラズマディスプレイはその色再現性が不十分と言われており、その原因である蛍光体または放電ガスからの不要発光を選択的に低減することが好ましい。特に赤色表示の発光スペクトルは、波長580nmから700nm程度までにわたる数本の発光ピークを示しており、比較的強い短波長側の発光ピークにより赤色発光がオレンジに近い色純度の良くないものとなってしまう問題がある。これら光学特性は、色素を用いることによって制御できる。つまり、近赤外線カットには近赤外線吸収剤を用い、また、不要発光の低減には不要発光を選択的に吸収する色素を用いて、所望の光学特性とすることが出来、また、光学フィルターの色調も可視領域に適当な吸収のある色素を用いて好適なものとすることができる。   As described above, since the plasma display generates intense near-infrared rays, the display filter of the present invention needs to cut not only electromagnetic waves but also near-infrared rays to a level where there is no practical problem. It is necessary that the transmittance in the wavelength region of 800 to 1000 nm is 25% or less, preferably 15% or less, and more preferably 10% or less. Further, the optical filter used in the plasma display is required to have a transmission color of neutral gray or blue gray. This is because it is necessary to maintain or improve the light emission characteristics and contrast of the plasma display, and a white having a slightly higher color temperature than the standard white may be preferred. Furthermore, it is said that a color plasma display has insufficient color reproducibility, and it is preferable to selectively reduce unnecessary light emission from the phosphor or discharge gas which is the cause. In particular, the emission spectrum of red display shows several emission peaks ranging from about 580 nm to about 700 nm, and the emission intensity on the short wavelength side is relatively strong and the red emission is not good in color purity close to orange. There is a problem. These optical properties can be controlled by using a dye. In other words, a near-infrared absorber is used for near-infrared cut, and a dye that selectively absorbs unnecessary luminescence can be used to reduce unnecessary luminescence. The color tone can also be made suitable by using a dye having appropriate absorption in the visible region.

色素を含有させる方法としては、(1)色素を少なくとも1種類以上、透明な樹脂に混錬させた高分子フィルムまたは樹脂板、(2)色素を少なくとも1種類以上、樹脂または樹脂モノマー/有機系溶媒の樹脂濃厚液に分散・溶解させ、キャスティング法により作製した高分子フィルムまたは樹脂板、(3)色素を少なくとも1種類以上を、樹脂バインダーと有機系溶媒に加え、塗料とし、高分子フィルムまたは樹脂板上にコーティングしたもの、(4)色素を少なくとも1種類以上を含有する透明な粘着材、のいずれか一つ以上選択できるが、これらに限定されない。本発明でいう含有とは、基材または塗膜等の層または粘着材の内部に含有されることは勿論、基材または層の表面に塗布した状態を意味する。   As a method of containing a dye, (1) at least one kind of dye, a polymer film or a resin plate kneaded with a transparent resin, (2) at least one kind of dye, resin or resin monomer / organic system A polymer film or resin plate dispersed and dissolved in a solvent concentrate of a solvent and prepared by a casting method. (3) At least one dye is added to a resin binder and an organic solvent to form a paint, a polymer film or Any one or more of those coated on a resin plate and (4) a transparent adhesive material containing at least one pigment can be selected, but the invention is not limited thereto. The term “inclusion” as used in the present invention means that it is contained in a layer such as a base material or a coating film or an adhesive material, and of course, is applied to the surface of the base material or layer.

上記の色素は可視領域に所望の吸収波長を有する一般の染料または顔料、または、近赤外線吸収剤であって、その種類は特に限定されるものではないが、例えばアントラキノン系、フタロシアニン系、メチン系、アゾメチン系、オキサジン系、イモニウム系、アゾ系、スチリル系、クマリン系、ポルフィリン系、ジベンゾフラノン系、ジケトピロロピロール系、ローダミン系、キサンテン系、ピロメテン系、ジチオール系化合物、ジイミニウム系化合物等の一般に市販もされている有機色素があげられる。その種類・濃度は、色素の吸収波長・吸収係数、光学フィルターに要求される透過特性・透過率、そして分散させる媒体または塗膜の種類・厚さから決まり、特に限定されるものではない。   The dye is a general dye or pigment having a desired absorption wavelength in the visible region, or a near-infrared absorber, and the type thereof is not particularly limited. For example, anthraquinone, phthalocyanine, methine Azomethine, oxazine, imonium, azo, styryl, coumarin, porphyrin, dibenzofuranone, diketopyrrolopyrrole, rhodamine, xanthene, pyromethene, dithiol, diiminium compounds, etc. In general, organic dyes that are also commercially available are listed. The type / concentration is determined by the absorption wavelength / absorption coefficient of the dye, the transmission characteristics / transmittance required for the optical filter, and the type / thickness of the medium or coating film to be dispersed, and is not particularly limited.

プラズマディスプレイパネルはパネル表面の温度が高く、環境の温度が高いときは特に光学フィルターの温度も上がるため、色素は、例えば80℃で分解等によって顕著に劣化しない耐熱性を有していることが好適である。また、耐熱性に加えて色素によっては耐光
性に乏しいものもある。プラズマディスプレイの発光や外光の紫外線・可視光線による劣化が問題になる場合は、紫外線吸収剤を含む部材や紫外線を透過しない部材を用いることによって、色素の紫外線による劣化を低減すること、紫外線や可視光線による顕著な劣化がない色素を用いることが肝要である。熱、光に加えて、湿度や、これらの複合した環境においても同様である。劣化するとディスプレイ用フィルタの透過特性が変わってしまい、色調が変化したり近赤外線カット能が低下してしまう。さらには、媒体または塗膜中に分散させるために、適宜の溶媒への溶解性や分散性も重要である。また、本発明においては異なる吸収波長を有する色素2種類以上を一つの媒体または塗膜に含有させても良いし、色素を含有する媒体、塗膜を2つ以上有していても良い。
Since the temperature of the panel surface of the plasma display panel is high and the temperature of the optical filter rises especially when the temperature of the environment is high, the dye may have heat resistance that does not deteriorate significantly due to decomposition at 80 ° C., for example. Is preferred. In addition to heat resistance, some dyes have poor light resistance. When deterioration of plasma display light emission or external light due to ultraviolet rays / visible rays becomes a problem, by using a member containing an ultraviolet absorber or a member that does not transmit ultraviolet rays, it is possible to reduce the deterioration of the pigment due to ultraviolet rays, It is important to use a dye that does not significantly deteriorate due to visible light. The same applies to humidity and a combined environment in addition to heat and light. When it deteriorates, the transmission characteristic of the display filter changes, and the color tone changes or the near-infrared cutting ability decreases. Furthermore, in order to disperse | distribute in a medium or a coating film, the solubility and dispersibility to a suitable solvent are also important. In the present invention, two or more kinds of dyes having different absorption wavelengths may be contained in one medium or a coating film, or two or more mediums and coating films containing a dye may be contained.

上記の色素を含有する方法(1)〜(4)は、本発明においては、色素を含有する高分子フィルム(A)、色素を含有する機能性フィルム(C)、色素を含有する透光性粘着材(D1)、(D2)、その他貼り合わせに用いられる色素を含有する透光性の粘着材または接着剤のいずれか1つ以上の形態をもって、本発明の光学フィルターに使用できる。   In the present invention, the methods (1) to (4) containing the above-described dye are polymer film (A) containing the dye, functional film (C) containing the dye, and translucency containing the dye. Any one or more forms of the pressure-sensitive adhesives (D1) and (D2) and other light-transmitting pressure-sensitive adhesives or adhesives containing the dye used for bonding can be used for the optical filter of the present invention.

一般に色素は紫外線で劣化しやすい。光学フィルターが通常使用条件下で受ける紫外線は、太陽光等の外光に含まれるものである。従って、色素の紫外線による劣化を防止する為には、色素を含有する層自身および該層より外光を受ける人側の層から選ばれる少なくとも1層に、紫外線カット能を有する層を有していることが好適である。例えば、高分子フィルム(A)が色素を含有する場合、透光性粘着材層(D1)および/または機能性フィルム(C)が、紫外線吸収剤を含有したり、紫外線カット能を有する機能膜を有していれば、外光が含む紫外線から、色素を保護できる。色素を保護するのに必要な紫外線カット能としては、波長380nmより短い紫外線領域の透過率が、20%以下、好ましくは10%以下、更に好ましくは5%以下である。紫外線カット能を有する機能膜は、紫外線吸収剤を含有する塗膜であっても、紫外線を反射または吸収する無機膜であっても良い。紫外線吸収剤は、ベンゾトリアゾール系やベンゾフェノン系等、従来公知のものを使用でき、その種類・濃度は、分散または溶解させる媒体への分散性・溶解性、吸収波長・吸収係数、媒体の厚さ等から決まり、特に限定されるものではない。尚、紫外線カット能を有する層またはフィルムは、可視光線領域の吸収が少なく、著しく可視光線透過率が低下したり黄色等の色を呈することがないことが好ましい。色素を含有する機能性フィルム(C)においては、色素を含有する層が形成されている場合はその層よりも人側のフィルムまたは機能膜が紫外線カット能を有すれば良く、高分子フィルムが色素を含有する場合はフィルムより人側に紫外線カット能を有する機能膜や機能層を有していれば良い。   In general, dyes are easily deteriorated by ultraviolet rays. Ultraviolet rays that the optical filter receives under normal use conditions are included in external light such as sunlight. Therefore, in order to prevent deterioration of the dye due to ultraviolet rays, at least one layer selected from the dye-containing layer itself and the layer on the human side that receives external light from the layer has a layer having an ultraviolet cutting ability. It is preferable that For example, when the polymer film (A) contains a pigment, the translucent pressure-sensitive adhesive layer (D1) and / or the functional film (C) contains a UV absorber or has a UV-cutting function. If it has, it can protect a pigment | dye from the ultraviolet-ray which external light contains. As the ultraviolet ray cutting ability necessary for protecting the dye, the transmittance in the ultraviolet region shorter than the wavelength of 380 nm is 20% or less, preferably 10% or less, more preferably 5% or less. The functional film having the ability to cut ultraviolet rays may be a coating film containing an ultraviolet absorber or an inorganic film that reflects or absorbs ultraviolet rays. Conventionally known UV absorbers such as benzotriazoles and benzophenones can be used, and their types and concentrations are dispersibility / solubility in the medium to be dispersed or dissolved, absorption wavelength / absorption coefficient, thickness of the medium. It is determined from the above and is not particularly limited. In addition, it is preferable that the layer or film having the ultraviolet ray cutting ability has little absorption in the visible light region and does not significantly reduce the visible light transmittance or exhibit a color such as yellow. In the functional film (C) containing a dye, when a layer containing a dye is formed, it is sufficient that the film or functional film on the human side of the layer has an ultraviolet-cutting ability. When it contains a pigment, it only needs to have a functional film or functional layer having an ultraviolet-cutting ability on the human side of the film.

色素は、金属との接触によっても劣化する場合がある。このような色素を用いる場合、色素は導電メッシュ層(B)と出来るだけ接触しない様に配置することが更に好ましい。具体的には色素含有層が機能性フィルム(C)、高分子フィルム(A)、透光性粘着材層(D2)であることが好ましく、特には透光性粘着材層(D2)であることが好ましい。   The dye may also deteriorate due to contact with a metal. When using such a pigment | dye, it is still more preferable to arrange | position so that a pigment | dye may not contact a conductive mesh layer (B) as much as possible. Specifically, the dye-containing layer is preferably a functional film (C), a polymer film (A), or a translucent adhesive material layer (D2), and particularly a translucent adhesive material layer (D2). It is preferable.

本発明の光学フィルターは、好ましくは、高分子フィルム(A)、導電性メッシュ層(B)、機能性フィルム(C)、透光性粘着材層(D1)および透光性粘着材層(D2)が、(C)/(D1)/(B)/(A)/(D2)の順に構成され、好ましくは導電性メッシュ層(B)と高分子フィルム(A)とからなる導電性メッシュフィルムと機能性フィルムとが透光性粘着剤層(D1)で貼合され、高分子フィルム(A)の導電性メッシュ層(B)とは反対側の主面に透光性粘着剤層(D2)が付されている。   The optical filter of the present invention is preferably a polymer film (A), a conductive mesh layer (B), a functional film (C), a translucent adhesive layer (D1), and a translucent adhesive layer (D2). ) Is configured in the order of (C) / (D1) / (B) / (A) / (D2), and preferably comprises a conductive mesh layer (B) and a polymer film (A). And the functional film are bonded together with a light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D1), and a light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D2) is bonded to the main surface of the polymer film (A) opposite to the conductive mesh layer (B). ) Is attached.

本発明の光学フィルターをディスプレイに装着する際には機能性フィルム(C)を人側に、透光性粘着剤層(D2)がディスプレイ側となるように装着することができる。   When mounting the optical filter of the present invention on a display, the functional film (C) can be mounted on the person side and the translucent adhesive layer (D2) on the display side.

本発明の光学フィルターを、ディスプレイの前面に設けて使用する方法としては、後述
の透明成形物(E)を支持体とした前面フィルター板として使用する方法、ディスプレイ表面に透光性粘着材層(D2)を介して貼り合せて使用する方法などがある。前者の場合、光学フィルターの設置が比較的容易であり、支持体により機械的強度が向上し、ディスプレイの保護に適している。後者の場合は、支持体が無くなることにより軽量化・薄化が可能であり、また、ディスプレイ表面の反射を防止することが出来、好適である。
As a method of using the optical filter of the present invention by providing it on the front surface of the display, a method of using it as a front filter plate using a transparent molded product (E) described later as a support, a translucent adhesive layer ( For example, there is a method of pasting and using via D2). In the former case, installation of the optical filter is relatively easy, and the mechanical strength is improved by the support, which is suitable for protecting the display. In the latter case, it is possible to reduce the weight and thickness by eliminating the support, and it is possible to prevent reflection on the display surface, which is preferable.

透明成形物(E)としては、ガラス板、透光性のプラスチック板があげられる。機械的強度や、軽さ、割れにくさからは、プラスチック板が好ましいが、熱による変形等の少ない熱的安定性からガラス板も好適に使用できる。プラスチック板の具体例を挙げると、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)をはじめとするアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、透明ABS樹脂等が使用できるが、これらの樹脂に限定されるものではない。特にPMMAはその広い波長領域での高透明性と機械的強度の高さから好適に使用できる。プラスチック板の厚みは十分な機械的強度と、たわまずに平面性を維持する剛性が得られればよく、特に限定されるものではないが、通常1mm〜10mm程度である。ガラスは、機械的強度を付加するために化学強化加工または風冷強化加工を行った半強化ガラス板または強化ガラス板が好ましい。質量を考慮すると、その厚みは1〜4mm程度である事が好ましいが、特に限定されない。透明成形物(E)はフィルムを貼り合せる前に必要な各種公知の前処理を行うことが出来るし、光学フィルター周縁部となる部分に黒色等の有色の額縁印刷を施しても良い。   Examples of the transparent molded product (E) include a glass plate and a translucent plastic plate. A plastic plate is preferable from the viewpoint of mechanical strength, lightness, and resistance to cracking. However, a glass plate can also be suitably used because of thermal stability with little deformation due to heat. Specific examples of the plastic plate include acrylic resin such as polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate resin, transparent ABS resin and the like, but are not limited to these resins. In particular, PMMA can be suitably used because of its high transparency in a wide wavelength region and high mechanical strength. The thickness of the plastic plate is not particularly limited as long as sufficient mechanical strength and rigidity to maintain flatness without bending are obtained, but it is usually about 1 mm to 10 mm. The glass is preferably a semi-tempered glass plate or a tempered glass plate subjected to a chemical strengthening process or an air cooling strengthening process in order to add mechanical strength. Considering the mass, the thickness is preferably about 1 to 4 mm, but is not particularly limited. The transparent molded product (E) can be subjected to various known pretreatments necessary before bonding the films, and may be printed with a colored frame such as black on the peripheral portion of the optical filter.

透明成形物(E)を用いる場合の光学フィルターの構成は、たとえは、機能性フィルム(C)/透光性粘着材層(D1)/導電性メッシュ層(B)/高分子フィルム(A)/透光性粘着材層(D2)/透明成形物(E)である。また、透明成形物(E)の透光性粘着材層(D2)と貼り合せられる面とは反対の主面に、機能性フィルム(C)が透光性粘着材層を介して設けられても良い。この場合、人側に設けられる機能性フィルム(C)と同じ機能・構成を有する必要は無く、例えば、反射防止能を有している場合は、支持体を有する光学フィルターの裏面反射を低減することができる。同じく、透明成形物(E)の透光性粘着材層(D2)と貼り合せられる面とは反対の主面に、反射防止膜等の機能膜(C2)を形成しても良い。この場合は、機能性膜(C2)を人側にしてディスプレイに設置することもできるが、前述の通り、紫外線カット能を有する層を色素含有層および色素含有層より人側の層に設けることが好ましい。   The configuration of the optical filter when using the transparent molded product (E) is, for example, functional film (C) / translucent adhesive layer (D1) / conductive mesh layer (B) / polymer film (A). / Translucent adhesive layer (D2) / Transparent molded product (E). Moreover, the functional film (C) is provided through the translucent adhesive material layer on the main surface opposite to the surface to be bonded to the translucent adhesive material layer (D2) of the transparent molded product (E). Also good. In this case, it is not necessary to have the same function and configuration as the functional film (C) provided on the person side. For example, when it has antireflection ability, it reduces the back reflection of the optical filter having the support. be able to. Similarly, a functional film (C2) such as an antireflection film may be formed on the main surface opposite to the surface to be bonded to the transparent adhesive material layer (D2) of the transparent molded product (E). In this case, the functional film (C2) can be installed on the display with the human side, but as described above, the layer having the ability to cut off ultraviolet rays is provided on the human layer from the dye-containing layer and the dye-containing layer. Is preferred.

電磁波シールドを必要とする機器には、機器のケース内部に金属層を設けたり、ケースに導電性材料を使用して電磁波を遮断する必要があるが、ディスプレイの如く表示部に透明性が必要である場合には、本発明の光学フィルターの如く透光性の導電層を有した窓状の電磁波シールドフィルタを設置する。ここで、電磁波は導電層において吸収されたのち電荷を誘起するため、アースをとることによって電荷を逃がさないと、再び光学フィルターがアンテナとなって電磁波を発振し電磁波シールド能が低下する。従って、光学フィルターとディスプレイ本体のアース部が電気的に接触していることが好ましい。そのためには、前述の透光性粘着材層(D1)および機能性フィルム(C)は、外部から導通を取ることが出来る導通部を残して導電性メッシュ層(B)上に形成されている必要がある。導通部の形状は特に限定しないが、光学フィルターとディスプレイ本体の間に、電磁波の漏洩する隙間が存在しないことが肝要である。従って、導通部は、導電性メッシュ層(B)の周縁部且つ連続的に設けられている事が好適である。すなわち、ディスプレイの表示部である中心部分を除いて、枠状に、導通部が設けられている事が好ましい。   For equipment that requires electromagnetic shielding, it is necessary to provide a metal layer inside the equipment case or use a conductive material in the case to shield the electromagnetic waves, but the display must be transparent like a display. In some cases, a window-like electromagnetic wave shielding filter having a translucent conductive layer, such as the optical filter of the present invention, is installed. Here, since the electromagnetic wave induces an electric charge after being absorbed in the conductive layer, if the electric charge is not released by taking the ground, the optical filter again becomes an antenna and the electromagnetic wave is oscillated and the electromagnetic wave shielding ability is lowered. Therefore, it is preferable that the optical filter and the ground portion of the display body are in electrical contact. For this purpose, the light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D1) and the functional film (C) are formed on the conductive mesh layer (B) leaving a conductive portion that can be electrically connected from the outside. There is a need. The shape of the conducting portion is not particularly limited, but it is important that there is no gap for electromagnetic wave leakage between the optical filter and the display body. Therefore, it is preferable that the conductive portion is provided continuously at the peripheral edge of the conductive mesh layer (B). That is, it is preferable that the conducting portion is provided in a frame shape except for the central portion which is the display portion of the display.

導通部はメッシュパターン層であっても、パターニングされていない、例えば金属箔ベタの層であっても良いが、ディスプレイ本体のアース部との電気的接触を良好とする為には、金属箔ベタ層のようにパターニングされていない導通部であることも好ましい。   The conductive portion may be a mesh pattern layer or an unpatterned layer of metal foil, for example, but the metal foil solid layer may be used for good electrical contact with the ground portion of the display body. It is also preferable that the conductive portion is not patterned like a layer.

導通部が、例えば金属ベタ膜のようにパターニングされていない場合、および/または、導通部の機械的強度が十分強い場合は、導通部そのままを電極として容易に利用できる。   When the conducting part is not patterned, for example like a solid metal film, and / or when the mechanical strength of the conducting part is sufficiently strong, the conducting part can be easily used as an electrode.

導通部の保護のため、および/または、導通部がメッシュパターン層である場合にアース部との電気的接触を良好とするために、導通部に電極を形成することが好ましい場合がある。電極形状は特に限定しないが、導通部をすべて覆うように形成されている事が好適である。
電極に用いる材料は、導電性、耐触性および透明導電膜との密着性等の点から、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、亜鉛、カーボン等の単体もしくは2種以上からなる合金や、合成樹脂とこれら単体または合金の混合物、もしくは、ホウケイ酸ガラスとこれら単体または合金の混合物からなるペーストを使用できる。ペーストの印刷、塗工には従来公知の方法を採用できる。また市販の導電性テープも好適に使用できる。導電性テープは両面ともに導電性を有するものであって、カーボン分散の導電性接着剤を用いた片面接着タイプ、両面接着タイプが好適に使用できる。電極の厚さは、これもまた特に限定されるものではないが、数μm〜数mm程度である。
In order to protect the conductive part and / or to make good electrical contact with the ground part when the conductive part is a mesh pattern layer, it may be preferable to form an electrode on the conductive part. The electrode shape is not particularly limited, but is preferably formed so as to cover all the conductive portions.
The material used for the electrode is a single or a combination of two or more of silver, copper, nickel, aluminum, chromium, iron, zinc, carbon, etc. in terms of conductivity, resistance to contact and adhesion to a transparent conductive film. Alternatively, a paste made of a synthetic resin and a mixture of these simple substances or alloys, or a paste made of a mixture of borosilicate glass and these simple substances or alloys can be used. Conventionally known methods can be employed for printing and coating the paste. Moreover, a commercially available conductive tape can also be used conveniently. The conductive tape has conductivity on both sides, and a single-sided adhesive type and a double-sided adhesive type using a carbon-dispersed conductive adhesive can be suitably used. The thickness of the electrode is not particularly limited, but is about several μm to several mm.

本発明によれば、プラズマディスプレイの輝度を著しく損なわずに、その画質を維持または向上させることができる、光学特性に優れた光学フィルターを得ることが出来る。また、プラズマディスプレイから発生する健康に害をなす可能性があることを指摘されている電磁波を遮断する電磁波シールド能に優れ、さらに、プラズマディスプレイから放射される800〜1000nm付近の近赤外線線を効率よくカットするため、周辺電子機器のリモコン、伝送系光通信等が使用する波長に悪影響を与えず、それらの誤動作を防ぐことができる光学フィルターを得ることができる。さらにまた、耐候性にも優れた光学フィルターを低コストで提供することが出来る。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the optical filter excellent in the optical characteristic which can maintain or improve the image quality without remarkably impairing the brightness | luminance of a plasma display can be obtained. In addition, it has excellent electromagnetic shielding ability to block electromagnetic waves that have been pointed out to be harmful to the health generated from plasma displays, and it also efficiently uses near-infrared rays near 800 to 1000 nm emitted from plasma displays. Since it is cut well, an optical filter can be obtained that does not adversely affect the wavelengths used by the remote control of peripheral electronic devices, transmission optical communication, etc., and can prevent malfunctions thereof. Furthermore, an optical filter having excellent weather resistance can be provided at a low cost.

[めっき装置]
本発明に係る方法を、その特徴を表す装置の一例を示す図面を参照しながら説明する。図2-3は、本発明方法を実施するためのめっき装置全体の一例を示す概略縦断面図であ
り、特に本発明に係る方法の特徴を表した例を図2-1と図2-3に示す。
[Plating equipment]
The method according to the present invention will be described with reference to the drawings showing an example of an apparatus representing the features. FIG. 2-3 is a schematic longitudinal sectional view showing an example of the entire plating apparatus for carrying out the method of the present invention. In particular, an example showing the characteristics of the method according to the present invention is shown in FIGS. 2-1 and 2-3. Shown in

図2-3は、長尺フィルムをロール状態から巻き出し、めっきし、巻き取る連続式の電
気めっき装置の全体概略縦断面図である。主たる工程は、ロール状フィルムを巻き出す巻出部301、フィルムの導電面に酸処理、脱脂処理、水洗等を施す前処理部302、電気めっき部303、めっき液を除去したり、洗い流したり、防錆処理、さらにこれを洗い流す処理、さらに、乾燥などを行う後処理部304、ロール状フィルムに巻き取る巻取部305からなっている。尚、電気めっき被処理部である導電面が清浄な場合は、前処理を省略しても構わないし、また、必要に応じて後処理工程を省略しても構わない。また必要に応じて303と304の間に電気めっき部303'を設けて例えば303を電気銅めっき部、303'を電気Niめっき部とする等の方法をとっても構わない。
FIG. 2-3 is an overall schematic longitudinal sectional view of a continuous electroplating apparatus for unwinding, plating and winding a long film from a roll state. The main steps are to remove the unrolled portion 301 for unwinding the roll-shaped film, the pretreatment portion 302 for subjecting the conductive surface of the film to acid treatment, degreasing treatment, water washing, etc., the electroplating portion 303, the plating solution, or washing away, It consists of a rust preventive treatment, a wash-out treatment, a post-treatment portion 304 for performing drying, and a winding portion 305 for winding on a roll film. In addition, when the electroconductive surface which is an electroplating to-be-processed part is clean, a pre-processing may be abbreviate | omitted and a post-processing process may be abbreviate | omitted as needed. If necessary, an electroplating portion 303 ′ may be provided between 303 and 304, and for example, 303 may be an electrolytic copper plating portion and 303 ′ may be an electric Ni plating portion.

図2-3において、ロール状フィルム306から巻き出されたフィルムは、アキュムレ
ータ307を通して、またバランスロール部308を経て、張力調整された後、速度制御部309で速度を実質的に一定にされて、酸、脱脂処理部310、水洗部312を経て、めっき槽6中にめっき液7を入れためっき浴へ入る。図2-3のめっき浴の一部を拡大し
て、図2-4に示すが、陰極ロール1Aにフィルム導電面を接触させた後、めっき浴槽の
中を液中ロール101Aを介して、陰極ロール1Bへ接触させる。銅ボールを充填したケース102Aと102Bを陽極にして、陰極を陰極ロール101Aと102Bとして、直流電源3Aにより給電し、フィルムにめっき被膜を形成させる。めっき浴中には、各陽極に対して遮蔽板106A〜106Cが設けられている。以下、陰極ロール1Bと陰極ロール1Cを陰極にして、102Cと102Dを陽極となし、直流電源3Bより給電し、フィルムにめっき被膜を形成させる。以下この繰り返しでめっき被膜を形成させる。
In FIG. 2-3, the film unwound from the roll-shaped film 306 is adjusted in tension through the accumulator 307 and the balance roll unit 308, and then the speed is made substantially constant by the speed control unit 309. Then, after passing through the acid, degreasing treatment section 310 and the water washing section 312, the plating bath 6 is put into a plating bath containing the plating solution 7. A part of the plating bath shown in FIG. 2-3 is enlarged and shown in FIG. 2-4. After the film conductive surface is brought into contact with the cathode roll 1A, the cathode is passed through the submerged roll 101A in the plating bath. Contact with the roll 1B. Cases 102A and 102B filled with copper balls are used as anodes, cathodes are used as cathode rolls 101A and 102B, and power is supplied from a DC power source 3A to form a plating film on the film. In the plating bath, shielding plates 106A to 106C are provided for the respective anodes. Hereinafter, the cathode roll 1B and the cathode roll 1C are used as cathodes, 102C and 102D are used as anodes, and power is supplied from the DC power source 3B to form a plating film on the film. Thereafter, a plating film is formed by repeating this process.

1ユニットは一点鎖線で示すユニットとし、この繰り返しとなる。電流条件はフィルムに対して、0.2〜10A/dm2の電流密度となるようにして、フィルムにめっき被膜
を形成させる。その後、この繰り返しで、めっき被膜を順次形成させ、トータルでフィルムの導電面に1〜30μmの厚みのめっき被膜を形成させる。
One unit is a unit indicated by an alternate long and short dash line, and this is repeated. The current condition is such that the current density is 0.2 to 10 A / dm 2 with respect to the film, and a plating film is formed on the film. Then, by repeating this, a plating film is sequentially formed, and a plating film having a thickness of 1 to 30 μm is formed on the conductive surface of the film in total.

尚、めっきの均一性を保つために、空気導入口(エアー攪拌用ノズル)330A〜330Dよりフレッシュエアー331A〜331Dを導入して、めっき槽6内の液を十分に撹拌する。これは、めっき被膜部を目がけて行うのが効果的で、形成されためっき被膜の極表面付近のめっき被膜金属イオンの濃度を大きくするなどのために行なう。また、図示しないが、めっき液は、フィルターを通して汚れを取り除き、常に循環している。   In order to maintain the uniformity of plating, fresh air 331A to 331D is introduced from air inlets (air stirring nozzles) 330A to 330D, and the liquid in the plating tank 6 is sufficiently stirred. This is effective to aim at the plating film portion, and is performed in order to increase the concentration of plating film metal ions in the vicinity of the extreme surface of the formed plating film. Although not shown, the plating solution removes dirt through the filter and is constantly circulating.

次いで、図2-3に示すように、フィルム張力を検出できるロール325を介して、め
っき液を除去するための水洗部314、めっき膜を保護する防錆処理液317の入った防錆処理部316を経て、過剰な防錆処理液を除去する水洗部318を経て、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部320を経て、速度調整部321を経て、バランスロール部322を経て、張力調整された後、アキュムレータ323を通してロール状フィルム324とする。こうしてめっき被膜付きフィルムが得られる。
Next, as shown in FIG. 2-3, a rust prevention treatment portion containing a rinsing portion 314 for removing the plating solution and a rust prevention treatment solution 317 for protecting the plating film through a roll 325 capable of detecting the film tension. After passing through 316, passing through a water washing section 318 that removes excess anti-corrosion treatment liquid, passing through a drying process section 320 having a drying furnace for removing moisture, passing through a speed adjusting section 321, and then through a balance roll section 322, tension adjustment After that, a roll film 324 is formed through the accumulator 323. Thus, a film with a plating film is obtained.

図2-1に本発明の特徴を示す一例の陰極ロール部の拡大図を示す。フィルム4は導電
面5を陰極ロール1側に接触させながら、右方向に回転し、めっき槽へと搬送される。ここで液膜を介在させた接触も含めて接触という表現をするものとする。なお、陰極ロール1は、図示しないが、モータに接続されており回転駆動力をもっている。フィルム導電面5と陰極ロール1との間には、液膜8が介在されている。また、陰極ロール1の下部には、濃度のコントロールされた電解液9とそれを受ける受皿10があり、陰極ロール1は、ポンプで加圧された電解液がノズル10Aを通して膜と給電ロールの間に噴射され液の供給を行っている。こうした状態で銅ボールを積層、充填したケース2を陽極にして、整流器3により、陰極ロール1から銅陽極2へ電流1Aで給電し、フィルムに、0.2〜10A/dm2の電流密度となるようにして、フィルムにめっき被膜を形成させる。ここでの電流密度は図2-4の一点鎖線で示したユニット部における搬送するフィルムのめっき浴に浸された部分の面積で直流電源から投入した電流を除した値である。
FIG. 2-1 shows an enlarged view of an example of the cathode roll portion showing the features of the present invention. The film 4 rotates to the right while the conductive surface 5 is in contact with the cathode roll 1 side, and is conveyed to the plating tank. Here, the term “contact” includes contact with a liquid film interposed. Although not shown, the cathode roll 1 is connected to a motor and has a rotational driving force. A liquid film 8 is interposed between the film conductive surface 5 and the cathode roll 1. Further, the cathode roll 1 has an electrolyte 9 having a controlled concentration and a receiving tray 10 for receiving the electrolyte. The cathode roll 1 has an electrolyte pressurized by a pump between the membrane and the feed roll through a nozzle 10A. The liquid is supplied by being injected. In this state, the case 2 filled and filled with copper balls is used as an anode, and the current is fed from the cathode roll 1 to the copper anode 2 by the rectifier 3 at a current of 1 A, and the current density of 0.2 to 10 A / dm 2 is applied to the film. In this manner, a plating film is formed on the film. The current density here is a value obtained by dividing the current supplied from the DC power source by the area of the portion of the unit film immersed in the plating bath in the unit portion shown by the one-dot chain line in FIG. 2-4.

図2-2に本発明の特徴を示す別の一例の陰極ロール部の拡大図を示す。概略工程は、
図2-1と同様であるが、陰極ロール1の構造が異なる。すなわち、陰極ロール1の軸よ
り液がロール内部に導かれるようになっていて、陰極ロール1に開けられた孔からフィルムに向けて噴射されるようになっている。ローラ-下部には余計な部分に液が噴射されな
いようにローラー近傍に液受けがある。陰極ロール1に液体30を供給する液体供給部29を有している。図示しないが、液体25,28、30の供給は個別にポンプ、バルブにより厳密に制御されている。また、液体25、28、30がめっき槽6に入らないように受皿31で受け、受皿31には、受けた液体32を排出する排出口33が設けられている。
FIG. 2-2 shows an enlarged view of another example of the cathode roll portion showing the features of the present invention. The outline process is
Although the same as FIG. 2-1, the structure of the cathode roll 1 is different. That is, the liquid is guided from the axis of the cathode roll 1 to the inside of the roll, and is sprayed toward the film from the hole opened in the cathode roll 1. In the lower part of the roller, there is a liquid receiver in the vicinity of the roller so that liquid is not sprayed to the extra part. A liquid supply unit 29 that supplies the liquid 30 to the cathode roll 1 is provided. Although not shown, the supply of the liquids 25, 28 and 30 is strictly controlled individually by a pump and a valve. The liquid 25, 28, 30 is received by the tray 31 so as not to enter the plating tank 6, and the tray 31 is provided with a discharge port 33 for discharging the received liquid 32.

液膜の導電率の調整には、めっき液に含まれる電解液を用いるのが好ましいが、特に、金属塩を発生しにくいなどの点で硫酸を主体とする電解液を使用することが好ましい。めっき被膜が銅である場合は、特に好ましく用いられる。電解液の導電率調整は、調整タンク11で導電率を監視し、イオン交換水等で高濃度の硫酸を薄めて調整すると良い。調整された電解液は、高精度な導電率計などで監視され、導電率が低い場合は、高濃度の硫酸を、高い場合にはイオン交換水を調整タンクへ供給してフィードバック制御されるのが好ましい。導電率としては、1mS/cm以上100mS/cm以下が好ましく、より好ましくは 1mS/cm以上30mS/cm以下である。導電率が1mS/cm未満では、めっきをつけるに十分な電流を流せなくなる場合がある。   In order to adjust the conductivity of the liquid film, it is preferable to use an electrolytic solution contained in the plating solution, but it is particularly preferable to use an electrolytic solution mainly composed of sulfuric acid from the viewpoint of hardly generating a metal salt. It is particularly preferably used when the plating film is copper. The conductivity of the electrolytic solution may be adjusted by monitoring the conductivity in the adjustment tank 11 and diluting high-concentration sulfuric acid with ion exchange water or the like. The adjusted electrolyte is monitored with a highly accurate conductivity meter. If the conductivity is low, high-concentration sulfuric acid is supplied to the adjustment tank and feedback control is performed by supplying ion-exchanged water to the adjustment tank. Is preferred. The conductivity is preferably 1 mS / cm or more and 100 mS / cm or less, more preferably 1 mS / cm or more and 30 mS / cm or less. If the electrical conductivity is less than 1 mS / cm, it may not be possible to pass a current sufficient for plating.

陰極ロール部1とフィルム導電面5との間の液膜への電解液の供給は、図2-1に示す
ように下部に受け皿10に調整された電解液を溜めておき、ポンプで液をノズルに送り噴射させる。
The electrolyte is supplied to the liquid film between the cathode roll unit 1 and the film conductive surface 5 as shown in FIG. 2-1. It is sent to the nozzle and sprayed.

さらに、図2-2に示すように、フィルム導電面と陰極ロールの間の隙間に供給する導
電性液体が陰極ロールを貫通し陰極表面突起部材と突起部材の間の面に複数設けられた液供給孔に導かれるようにした液流路を通過してフィルム面に噴出するように液体供給部24から液体25を供給することによって、液膜8に対して液体を供給し、これら液体の導電率を予め管理しておくことで、液膜8の導電率を管理することもできる。
Further, as shown in FIG. 2-2, a plurality of conductive liquids supplied to the gap between the film conductive surface and the cathode roll penetrate the cathode roll and are provided on the surface between the cathode surface protruding member and the protruding member. By supplying the liquid 25 from the liquid supply part 24 so as to pass through the liquid flow path guided to the supply hole and to be ejected to the film surface, the liquid is supplied to the liquid film 8, and the conductivity of these liquids By managing the rate in advance, the conductivity of the liquid film 8 can also be managed.

陰極ロール1とフィルム導電面5との隙間の間隔を規定する突起部材の高さを0.1mm以上5mm以下とし、幅を0.1mm以上5mm以下とし、並設された突起部材間の間隔を3mm以上200mm以下である。
突起部材の高さは、好ましくは0.2mm以上3mm以下で、より好ましくは0.2mm以上2mm以下である。突起部材の高さが0.1mmよりも低いと陰極ロール1とフィルム導電面5との隙間が小さすぎ、この間隙に安定に液膜を形成することが困難となる場合があり、突起部材の高さが5mmよりも大きいと、液が垂れてしまって安定に液膜を形成できない場合があり、好ましくない。
The height of the protruding member that defines the gap between the cathode roll 1 and the film conductive surface 5 is 0.1 mm or more and 5 mm or less, the width is 0.1 mm or more and 5 mm or less, and the interval between the protruding members arranged in parallel is set. It is 3 mm or more and 200 mm or less.
The height of the protruding member is preferably 0.2 mm or more and 3 mm or less, more preferably 0.2 mm or more and 2 mm or less. If the height of the protruding member is less than 0.1 mm, the gap between the cathode roll 1 and the film conductive surface 5 is too small, and it may be difficult to stably form a liquid film in the gap. If the height is larger than 5 mm, the liquid may sag and a liquid film cannot be formed stably, which is not preferable.

また、陰極ロール1とフィルム導電面5との隙間の間隔を規定する突起部材は、陰極ロール1の周方向に連続的ないし非連続的に設けられ、突起部材の幅は0.1mm以上5mm以下であり、好ましくは0.5mm以上4mm以下で、より好ましくは1mm以上3mm以下である。突起部材の幅が0.1mmよりも狭いと突起部材の間隙に十分に液が侵入しないため、陰極ロール1とフィルム導電面5との隙間に液膜を形成することが困難となる場合があり、突起部材の幅が5mmよりも大きいと突起部材が非導電性(絶縁物質)のため実質的接触面積が少なくなりすぎる場合が生じ好ましくない。   Further, the protruding member that defines the gap distance between the cathode roll 1 and the film conductive surface 5 is provided continuously or discontinuously in the circumferential direction of the cathode roll 1, and the width of the protruding member is 0.1 mm or more and 5 mm or less. Preferably, they are 0.5 mm or more and 4 mm or less, More preferably, they are 1 mm or more and 3 mm or less. If the width of the protruding member is smaller than 0.1 mm, the liquid does not sufficiently enter the gap between the protruding members, and it may be difficult to form a liquid film in the gap between the cathode roll 1 and the film conductive surface 5. If the width of the protruding member is larger than 5 mm, the protruding member is non-conductive (insulating substance), so that the substantial contact area may be excessively decreased.

実質的なフィルム搬送張力は、10N/m以上320N/m以下とすることが好ましい。実際に張力を10N/m未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また320/mを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。   The substantial film transport tension is preferably 10 N / m or more and 320 N / m or less. When the tension was actually less than 10 N / m, the film began to meander and the control of the conveyance path was not successful. On the other hand, when it exceeds 320 / m, the plating film metal on which the film is formed has an internal distortion, which causes problems such as curling of the product.

搬送張力制御は、張力検出ロール325を用いて、搬送張力を検出し、この張力値が一定になるように速度調整部321によって速度を増減させるフィードバック制御を行うと良い。図2-3における速度制御は、陰極ロールが駆動ロールになっており、速度制御部
309で基本速度を設定して、これに対して陰極ロール1A、1Bとの間でドロー比設定が可能となっており、徐々にドロー比設定が高くなるように設定させ、速度制御部321部で最終的な速度を制御させるしくみになっている。この様な構成であると、めっき槽上の陰極ロール上のフィルムの最大搬送張力は張力検出ロール325部で最も高くなるので、この値に基づいて制御するのがより好ましい。
The conveyance tension control may be performed by feedback control for detecting the conveyance tension using the tension detection roll 325 and increasing or decreasing the speed by the speed adjustment unit 321 so that the tension value becomes constant. In the speed control in FIG. 2-3, the cathode roll is the driving roll, and the basic speed is set by the speed control unit 309, and the draw ratio can be set between the cathode rolls 1A and 1B. Thus, the drawing ratio is gradually set higher and the final speed is controlled by the speed controller 321. With such a configuration, the maximum transport tension of the film on the cathode roll on the plating tank is highest at 325 parts of the tension detection roll, and it is more preferable to control based on this value.

陰極ロールの突起材質としては、金属反応または、金属同士の接触部に電解液が存在し、電池現象(酸化還元現象)が発現する可能性があるが、このような電池現象の発現は好ましくないので、樹脂製あるいはセラミックス製が好ましく用いられる。樹脂製例えばPVCあるいはナイロンなどが好ましく用いられる。   As the protrusion material of the cathode roll, there is a possibility that a battery reaction (oxidation-reduction phenomenon) may occur due to the presence of a metal reaction or an electrolyte solution at a contact portion between metals, but such a battery phenomenon is not preferable. Therefore, resin or ceramics is preferably used. A resin such as PVC or nylon is preferably used.

このようなめっき被膜付きフィルムのフィルム材質としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂が好ましく用いられる。   As a film material of such a film with a plating film, a polyimide resin or a polyester resin is preferably used.

本発明で用いる基材のプラスチックフィルムの材質を具体的に例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリエチレン−α,β−ビス(2−クロルフェノキシエタン−4,4'−ジカルボキシレート)などのポリエステル、
ポリエーテルエーテルケトン、芳香族ポリアミド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリパラジン酸、ポリオキサジアゾールおよびこれらのハロゲン基あるいはメチル基置換体などが挙げられる。また、これらの共重合体や、他の有機重合体を含有するのものであってもよい。これらのプラスチックに公知の添加剤、例えば、滑剤、可塑剤などが添加されていてもよい。
Specific examples of the material of the base plastic film used in the present invention include polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polyethylene-α, β-bis (2-chlorophenoxyethane-4,4′-dicarboxyl. Rate) polyester,
Examples include polyetheretherketone, aromatic polyamide, polyarylate, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, polyparazic acid, polyoxadiazole, and halogen group or methyl group substituted products thereof. These copolymers and those containing other organic polymers may also be used. Known additives such as lubricants and plasticizers may be added to these plastics.

上記プラスチックの中、下記化1に示すような繰り返し単位を85モル%以上含むポリマーを溶融押出して得られる未延伸フィルムを、二軸方向に延伸配向して機械特性を向上せしめたフィルムが特に好ましく使用される。   Among the plastics, an unstretched film obtained by melt-extruding a polymer containing 85 mol% or more of a repeating unit as shown in Chemical Formula 1 below is particularly preferably a film in which mechanical properties are improved by stretching and orientation in a biaxial direction. used.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

また、下記化2に示すような繰り返し単位を50モル%以上含むポリマーからなり、湿式あるいは乾式製膜したフィルム、あるいは該フィルムを二軸延伸および/または熱処理せしめたフィルムも好ましく使用される。   Further, a film made of a polymer containing 50 mol% or more of repeating units as shown in the following Chemical Formula 2 and wet or dry film formation, or a film obtained by biaxial stretching and / or heat treatment of the film is also preferably used.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

PDP(プラズマディスプレイパネル)に使用される透光性導電性膜の場合、基材であるプラスチックフィルムの厚さは50〜150μm程度のものが多用され、とくに75〜100μmの厚さのものが好適に用いられる。   In the case of a translucent conductive film used for PDP (plasma display panel), the thickness of the plastic film as the base material is frequently about 50 to 150 μm, and particularly preferably about 75 to 100 μm. Used for.

(非接触搬送装置について) (About non-contact transfer equipment)

以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is provided to the member which has the substantially same function through all the drawings, and the overlapping description may be abbreviate | omitted.

図3-1は、実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置を示す概略構成図であ
る。図3-2は、実施形態に係るめっき装置を示す概略構成図である。図3-3は、実施形態に係るめっき装置における気液混合器を示す部分断面図である。
FIG. 3A is a schematic configuration diagram illustrating an apparatus for manufacturing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the embodiment. FIG. 3-2 is a schematic configuration diagram illustrating a plating apparatus according to the embodiment. FIG. 3-3 is a partial cross-sectional view showing a gas-liquid mixer in the plating apparatus according to the embodiment.

本実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置510は、図3-1に示すように
、露光装置512、現像装置514、めっき装置516とから構成されている。
A light-transmitting electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus 510 according to the present embodiment includes an exposure apparatus 512, a developing apparatus 514, and a plating apparatus 516, as shown in FIG. 3-1.

まず、露光装置512について説明する。露光装置512は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた長尺幅広の光透過性感光ウエブ518を搬送しながら、所望の細線状パターン(例えば、格子状、ハニカム状などのパターン)露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ518の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。   First, the exposure apparatus 512 will be described. The exposure apparatus 512 conveys a long and wide light-transmitting photosensitive web 518 provided with a silver salt-containing layer as a material to be plated, and a desired fine line pattern (for example, a pattern such as a lattice or a honeycomb). It is an apparatus that performs exposure. By this pattern exposure, a patterned thin metal silver portion is formed in the exposed portion of the silver salt-containing layer of the photosensitive web 518.

露光装置512には、光透過性感光ウエブ518の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対520が設けられており、これらの搬送ローラ対520は、駆動ローラとニップローラとから構成される。   The exposure device 512 is provided with a plurality of conveyance roller pairs 520 along the conveyance path of the light-transmissive photosensitive web 518, and these conveyance roller pairs 520 are constituted by a drive roller and a nip roller.

露光装置512には、搬送方向の最上流部に供給部が設けられている。供給部には、ロール状に巻かれた長尺幅広の光透過性感光ウエブ518を収納するマガジン522がセットされる。光透過性感光ウエブ518には、光透過性感光ウエブ518を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ522Aが設けられている。   The exposure apparatus 512 is provided with a supply unit at the most upstream part in the transport direction. A magazine 522 for storing a long and wide light-transmitting photosensitive web 518 wound in a roll shape is set in the supply unit. The light transmissive photosensitive web 518 is provided with a drawing roller 522A for pulling out the light transmissive photosensitive web 518 and transporting it toward the downstream side.

そして、供給部からの搬送方向下流側は、露光ユニット524が設けられている。この露光ユニット524により、光透過性感光ウエブ518に露光が行われる。露光ユニット524は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源(SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができる。また走査露光ユニットとしては、さらにKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。   An exposure unit 524 is provided on the downstream side in the transport direction from the supply unit. The exposure unit 524 exposes the light transmissive photosensitive web 518. The exposure unit 524 may be a continuous surface exposure unit using a photomask or a scanning exposure unit using a laser beam. This scanning exposure unit includes a monochromatic high light source such as a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic light source (SHG) that combines a solid state laser using a semiconductor laser and a nonlinear optical crystal. A scanning exposure method using density light can be preferably applied. Further, as the scanning exposure unit, a scanning exposure method using a KrF excimer laser, ArF excimer laser, F2 laser, or the like can also be applied.

また、走査露光ユニットをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源(SHG)を適用することがよい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、半導体レーザーを適用することがよい。   Further, in order to make the scanning exposure unit compact and inexpensive, a second harmonic generation light source (SHG) combining a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a solid-state laser and a nonlinear optical crystal may be applied for exposure. Good. In order to design a device that is particularly compact, inexpensive, long-life, and highly stable, it is preferable to apply a semiconductor laser.

走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長430〜460nmの青色半導体レーザー(2001年3月の第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表)、半導体レーザー(発振波長約1060nm)を導波路状の反転ドメイン構造を有するLiNbO3のSHG結晶により波長変換して取り出した約530nmの緑色レーザー、
波長約685nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6738MG)、波長約650nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6501MG)などが好ましく適用でききる。
Specifically, as a laser light source of the scanning exposure unit, a blue semiconductor laser having a wavelength of 430 to 460 nm (announced by Nichia Chemical at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001), a semiconductor laser (oscillation wavelength) About 530 nm green laser, which was extracted by wavelength conversion with LiNbO 3 SHG crystal having a waveguide inversion domain structure,
A red semiconductor laser with a wavelength of about 685 nm (Hitachi type No. HL6738MG), a red semiconductor laser with a wavelength of about 650 nm (Hitachi type No. HL6501MG), etc. can be preferably applied.

なお、露光装置512は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。   In addition, the exposure apparatus 512 is not limited to the above configuration, and a normal exposure apparatus used for a silver salt photographic film, photographic paper, a printing plate-making film, a photomask emulsion mask, or the like can be applied.

次に、現像装置514について説明する。現像装置514は、露光装置512の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された光透過性感光ウエブ518を現像・定着・洗浄を行う装置である。   Next, the developing device 514 will be described. The developing device 514 is a device that is disposed on the downstream side in the transport direction of the exposure device 512, and develops, fixes, and cleans the light-transmitting photosensitive web 518 that has been subjected to desired fine line pattern exposure.

現像装置514には、搬送方向の上流側から順に、現像槽526、漂白定着槽528、及び水洗槽530が設けられており、水洗槽530は、第1水洗槽530A、第2水洗槽530B、第3水洗槽530C、及び第4水洗槽530Dからなる。現像槽526には、例えば、現像液526Lが所定量貯蔵され、漂白定着槽528には、漂白定着液528L
が所定量貯蔵され、第1水洗槽530A〜第4水洗槽530Dには、洗浄液530Lが所定量貯蔵されている。各処理槽526〜530内のローラとガイドによって感光ウエブ518が各処理槽526〜530の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽526の最上流側には、駆動ローラ532Aと従動ローラ532Bとを備えた搬入ローラ対532が配置されており、この搬入ローラ対532は、露光装置512から搬出される感光ウエブ518を現像液526L内に案内している。
The developing device 514 is provided with a developing tank 526, a bleach-fixing tank 528, and a water washing tank 530 in order from the upstream side in the transport direction. The water washing tank 530 includes a first water washing tank 530A, a second water washing tank 530B, It consists of a third water washing tank 530C and a fourth water washing tank 530D. For example, a predetermined amount of developer 526L is stored in the developing tank 526, and the bleach-fixing liquid 528L is stored in the bleach-fixing tank 528.
A predetermined amount is stored, and a predetermined amount of cleaning liquid 530L is stored in the first water washing tank 530A to the fourth water washing tank 530D. The photosensitive web 518 is conveyed through the liquid in the processing tanks 526 to 530 by the rollers and guides in the processing tanks 526 to 530, so that development, fixing, and cleaning processes are performed. In addition, on the most upstream side of the developing tank 526, a pair of carry-in rollers 532 including a drive roller 532A and a driven roller 532B is arranged. The pair of carry-in rollers 532 is a photosensitive web 518 carried out from the exposure device 512. Is guided into the developer 526L.

ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液526L、漂白定着液528L、洗浄液530Lもこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液526Lとしては、特に限定しないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社製のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、D−85などのリス現像液を用いることができる。   Here, the development, fixing, and washing processes can be performed by ordinary development processing techniques used for silver salt photographic films, printing plate-making films, photomask emulsion masks, and the like. A developing solution 526L, a bleach-fixing solution 528L, and a cleaning solution 530L can be appropriately applied in accordance with these. For example, the developer 526L is not particularly limited, but PQ developer, MQ developer, MAA developer, and the like can also be used. For example, CN-16, CR-56, CP45X, FD- manufactured by Fuji Film Co., Ltd. 3. Developer such as C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72 manufactured by Papitor, KODAK, or a developer included in the kit, or lith development such as D-85 A liquid can be used.

また、現像液526Lには、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。   The developer 526L can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as benzotriazole. In addition, it is also preferable to use polyethylene glycol, particularly when a lith developer is used.

なお、現像装置514では、各処理槽526〜530の液内を通過した感光ウエブ518は、乾燥させず現像装置514から排出されるようになっている。   In the developing device 514, the photosensitive web 518 that has passed through the liquid in each of the processing tanks 526 to 530 is discharged from the developing device 514 without being dried.

次に、めっき装置516について説明する。めっき装置516は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ518に対し、めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性微粒子を担持させめっき(導電性金属部)を形成する装置である。具体的に、めっき装置516は、図3−2に示すように、めっき浴液534Aが満たされためっき浴槽534と、当該槽内に配置された複数の非接触搬送部材536と、を備え、めっき浴槽534内を水平搬送する方式の装置である。また、めっき装置516には、めっき浴槽534への入液前及び入液後の感光ウエブ518を支持・搬送する搬送支持ロール538,540も配設されている。   Next, the plating apparatus 516 will be described. The plating apparatus 516 performs a plating process on the photosensitive web 518 that has been exposed and developed to form a fine-line-shaped metallic silver portion, and carries the conductive fine particles on the metallic silver portion to perform plating (conductive metallic portion). ). Specifically, as shown in FIG. 3-2, the plating apparatus 516 includes a plating bath 534 filled with a plating bath solution 534A, and a plurality of non-contact conveying members 536 arranged in the tank, It is an apparatus of a system that transports the inside of the plating bath 534 horizontally. The plating apparatus 516 is also provided with conveyance support rolls 538 and 540 that support and convey the photosensitive web 518 before and after entering the plating bath 534.

ここで、めっき処理として、公知の無電解めっき技術を適用することができ、例えば、プリント配線板などで用いられている無電解めっき技術を適用することができ、無電解めっきは無電解銅めっきであることが好ましい。具体的には、めっき浴液534Aとしては、無電解銅めっき浴液を適用することが好ましい。電解銅めっき浴液としては、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴が挙げられる。無電解銅めっき浴液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤としてホルマリンやグリオキシル酸、銅の配位子としてEDTAやトリエタノールアミン等、その他、浴の安定化やめっき皮膜の平滑性を向上させるための添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン等が挙げられる。また、めっき浴液には、めっき浴液の安定性を高める観点からは、例えば、EDTAなどの配位子など種々の添加剤を用いることもできる。   Here, as the plating treatment, a known electroless plating technique can be applied, for example, an electroless plating technique used in a printed wiring board can be applied, and the electroless plating is an electroless copper plating. It is preferable that Specifically, it is preferable to apply an electroless copper plating bath as the plating bath 534A. Examples of the electrolytic copper plating bath liquid include a copper sulfate bath and a copper pyrophosphate bath. Chemical species contained in the electroless copper plating bath include copper sulfate and copper chloride, formalin and glyoxylic acid as reducing agents, EDTA and triethanolamine as copper ligands, and other bath stabilization and plating films Examples of additives for improving the smoothness of polyethylene include polyethylene glycol, yellow blood salt, and bipyridine. Moreover, various additives, such as ligands, such as EDTA, can also be used for a plating bath liquid from a viewpoint of improving the stability of a plating bath liquid, for example.

非接触搬送部材536は、断面略四角形(感光ウエブ518搬送路コーナー部は断面扇型)の筒状空洞管536Aからなり、軸方向が搬送方向に直交するように配置されている。そして、非接触搬送部材536(筒状空洞管536A)は、感光ウエブ518搬送路に対向する面に微細気泡気液混合流体を噴出させる開口群からなる噴出部536Bが設けられている。この微細気泡気液混合流体(微細気泡含有のめっき浴液)はめっき浴液534
Aと空気との混合流体であり、この微細気泡気液混合流体を非接触搬送部材536へ供給するために、めっき浴槽534と非接触搬送部材536とは気液混合・供給機構542で連結され、めっき浴液534Aを循環させている。
The non-contact conveyance member 536 is formed of a cylindrical hollow tube 536A having a substantially square cross section (a photosensitive web 518 conveyance path corner portion is a sector fan shape), and is disposed so that the axial direction is orthogonal to the conveyance direction. The non-contact conveying member 536 (cylindrical hollow tube 536A) is provided with an ejection portion 536B composed of an opening group for ejecting the fine bubble gas-liquid mixed fluid on the surface facing the photosensitive web 518 conveyance path. This fine bubble gas-liquid mixed fluid (plating bath solution containing fine bubbles) is a plating bath solution 534.
The plating bath 534 and the non-contact conveying member 536 are connected by a gas-liquid mixing / supply mechanism 542 in order to supply the fine bubble gas-liquid mixed fluid to the non-contact conveying member 536. The plating bath solution 534A is circulated.

ここで、筒状空洞管536Aは、例えばセラミックや樹脂などで構成することができる。また、噴出部536Bを構成する開口群の各口径は、圧力損失と微細気泡気液混合流体噴出量から10〜500μmが好ましく、より好ましくは50〜200μmである。   Here, the cylindrical hollow tube 536A can be made of, for example, ceramic or resin. Moreover, each aperture of the opening group which comprises the ejection part 536B is 10-500 micrometers from pressure loss and the fine bubble gas-liquid mixed fluid ejection amount, More preferably, it is 50-200 micrometers.

気液混合・供給機構542には、熱交換器544(備えないものもある)、循環ポンプ546、フィルター548、及び気液混合器550で構成されている。気液混合器550(ベンチュリー管)は、図3−3に示すように、流通管550A内部にベンチュリーノズル550Bが配設され、ベンチュリーノズル550B配設部よりも下流側にエアー供給管550Cが接続され、さらに、その下流側には釘状突起550Dが配設されている。なお、552はバルブを示す。   The gas / liquid mixing / supply mechanism 542 includes a heat exchanger 544 (some of which are not provided), a circulation pump 546, a filter 548, and a gas / liquid mixer 550. As shown in FIG. 3C, the gas-liquid mixer 550 (Venturi tube) includes a Venturi nozzle 550B disposed inside the flow tube 550A, and an air supply tube 550C connected downstream of the Venturi nozzle 550B disposed portion. Further, a nail-like projection 550D is disposed on the downstream side. Reference numeral 552 denotes a valve.

気液混合器550では、流通管550Aに流入してきためっき浴液534Aはベンチュリーノズル550Bを通過することで流速が速まると共にその前後で流通管550A内の液圧が変化、即ちベンチュリーノズル550Bを通過前よりも通過後の流通管550A内の圧力が低下する。ベンチュリーノズル550B通過後の流通管550A内の圧力が低下するため、エアー供給管550Cをバルブ552により開放するのみで空気はめっき浴液534Aに吸引され、めっき浴液にエアー(空気)が混合され、さらに、釘状突起550Dが設けられた流通管550A内を気液混合流体が通過することで、微細気泡気液混合流体となる。   In the gas-liquid mixer 550, the plating bath liquid 534A that has flowed into the flow pipe 550A passes through the venturi nozzle 550B, thereby increasing the flow velocity and changing the liquid pressure in the flow pipe 550A before and after that, that is, passing through the venturi nozzle 550B. The pressure in the flow pipe 550A after passing is lower than before. Since the pressure in the flow pipe 550A after passing through the venturi nozzle 550B decreases, the air is sucked into the plating bath liquid 534A just by opening the air supply pipe 550C with the valve 552, and air (air) is mixed with the plating bath liquid. Further, the gas-liquid mixed fluid passes through the flow pipe 550A provided with the nail-like protrusions 550D, so that it becomes a fine bubble gas-liquid mixed fluid.

ここで、微細気泡気液混合流体における空気(エアー)とめっき浴液534Aとの混合比率(空気:めっき浴液)は、1:0.2〜1:2が好ましく、より好ましくは1:0.5〜1:1.5である。   Here, the mixing ratio (air: plating bath solution) of air (air) and plating bath solution 534A in the fine bubble gas-liquid mixed fluid is preferably 1: 0.2 to 1: 2, more preferably 1: 0. .5: 1: 1.5.

そして、微細気泡気液混合流体が非接触搬送部材536へ供給され、その噴出部536Bから噴出される。この噴出された微細気泡気液混合流体の流圧により感光ウエブ518を非接触で支持してめっき浴槽534を搬送しつつ、めっき処理が施される。また、微細気泡混合液体を噴出することで、めっき浴槽534内のめっき浴液534Aが攪拌混合され、液の均一化が図れる。   Then, the fine bubble gas-liquid mixed fluid is supplied to the non-contact conveying member 536 and ejected from the ejection portion 536B. A plating process is performed while the photosensitive web 518 is supported in a non-contact manner and conveyed in the plating bath 534 by the fluid pressure of the jetted fine bubble gas-liquid mixed fluid. Further, by ejecting the fine bubble mixed liquid, the plating bath liquid 534A in the plating bath 534 is stirred and mixed, and the liquid can be made uniform.

めっき処理を施された感光ウエブ518は、めっき浴液534Aへの入浴後に付着しためっき浴液534Aをエアーナイフ554により除去され、図示しない洗浄槽に搬入され洗浄後防錆処理等が施され乾燥して巻取られる。このようにして、電磁波遮蔽材料を得ることができる。なお、めっき速度は、緩やかな条件で行うことができるし、5μm/hr以上の高速めっきも可能である。   The photosensitive web 518 that has been subjected to the plating treatment is dried by removing the plating bath solution 534A adhering to the plating bath solution 534A after bathing by an air knife 554, carrying it into a cleaning tank (not shown), performing rust prevention treatment, etc. after washing. And wound up. In this way, an electromagnetic wave shielding material can be obtained. The plating rate can be performed under moderate conditions, and high-speed plating of 5 μm / hr or more is also possible.

また、めっき処理前に、感光ウエブ518の金属銀部を、Pdを含有する溶液で処理することもできる。Pdは、2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により無電解めっき速度を促進させることができる。   In addition, before the plating treatment, the metallic silver portion of the photosensitive web 518 can be treated with a solution containing Pd. Pd may be a divalent palladium ion or metallic palladium. This treatment can accelerate the electroless plating rate.

このようにして、感光ウエブ518の細線状金属銀部にめっき(導電性金属部)が形成される。ここで、導電性金属部は、導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して、銀を50質量%以上含有することが好ましく、60質量%以上含有することがさらに好ましい。銀を50質量%以上含有すれば、物理現像及び/又はめっき処理に要する時間を短縮し、生産性を向上させ、かつ低コストとすることができる。さらに、導電性金属部を形成する導電性金属粒子として銅及びパラジウムが用いられる場合、銀、銅及びパラジウムの合計の質量が導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがさらに好ましい。   In this way, plating (conductive metal portion) is formed on the fine-line metal silver portion of the photosensitive web 518. Here, it is preferable that a conductive metal part contains 50 mass% or more of silver with respect to the total mass of the metal contained in a conductive metal part, and it is further more preferable to contain 60 mass% or more. When silver is contained in an amount of 50% by mass or more, the time required for physical development and / or plating treatment can be shortened, the productivity can be improved, and the cost can be reduced. Furthermore, when copper and palladium are used as the conductive metal particles forming the conductive metal part, the total mass of silver, copper and palladium is 80% by mass or more based on the total mass of the metal contained in the conductive metal part. It is preferable that it is 90 mass% or more.

なお、めっき装置516は、上記構成に限られず、例えば、図3−2に示すように、非接触搬送部材536を断面円形の筒状空洞管536Aで構成し、これを搬送方向に軸方向が沿うように配設した形態でもよい。この形態では、非接触搬送部材536を中心に、感光ウエブ518搬送路に対向する面のみに配設された噴出部536Bから微細気泡気液混合流体を噴出させつつ、感光ウエブ518をスパイラル状に非接触で搬送する。   In addition, the plating apparatus 516 is not limited to the above-described configuration. For example, as illustrated in FIG. 3B, the non-contact conveyance member 536 is configured by a cylindrical hollow tube 536A having a circular cross section, and the axial direction of the conveyance direction is The form arrange | positioned along may be sufficient. In this embodiment, the fine bubble gas-liquid mixed fluid is ejected from the ejection portion 536B disposed only on the surface facing the photosensitive web 518 conveyance path with the non-contact conveyance member 536 as the center, and the photosensitive web 518 is spirally formed. Transport without contact.

次に、感光ウエブ518について説明する。感光ウエブ518は、例えば、光透過性支持体上に銀塩(例えばハロゲン化銀)が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用される銀塩含有層や保護層が適宜適用することができる。   Next, the photosensitive web 518 will be described. The photosensitive web 518 is, for example, a long and wide flexible substrate made of a photosensitive material in which a silver salt-containing layer containing a silver salt (for example, silver halide) is provided on a light-transmitting support. Further, a protective layer may be provided on the silver salt-containing layer, and this protective layer means a layer made of a binder such as gelatin or a high molecular polymer, and exhibits an effect of preventing scratches and improving mechanical properties. In order to do so, it is formed on the silver salt-containing layer. The composition of these silver salt-containing layers and protective layers may be suitably applied to silver salt-containing layers and protective layers applied to silver salt photographic films, photographic paper, printing plate making films, emulsion masks for photomasks, and the like. it can.

特に、感光ウエブ518(感光材料)としては、銀塩写真フィルム(銀塩感光材料)が好ましく、白黒銀塩写真フィルム(白黒銀塩感光材料)が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。   In particular, as the photosensitive web 518 (photosensitive material), a silver salt photographic film (silver salt photosensitive material) is preferable, and a black and white silver salt photographic film (black and white silver salt photosensitive material) is the best. The silver salt applied to the silver salt-containing layer is most preferably silver halide.

なお、保護層の厚みは0.02〜10μmであることが好ましく、より好ましくは0.05〜5μmであり、さらに好ましくは0.1〜1μmである。   In addition, it is preferable that the thickness of a protective layer is 0.02-10 micrometers, More preferably, it is 0.05-5 micrometers, More preferably, it is 0.1-1 micrometers.

一方、光透過性支持体としては、プラスチックフィルムや、これを2層以上を組み合わせた多層フィルムを適用することができ、その原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVAなどのポリオレフィン類;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂;その他、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)などを用いることができる。   On the other hand, a plastic film or a multilayer film in which two or more layers thereof are combined can be applied as the light transmissive support. Examples of the raw material include polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate. Polyesters; Polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, EVA; Vinyl resins such as polyvinyl chloride and polyvinylidene chloride; Others, polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), poly Ether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC), and the like can be used.

これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム(銀塩感光材料)に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムやポリエステルフィルムであることが好ましい。特に、ポリエステルフィルムであることが最も好ましい。   Among these, from the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling, and cost, the plastic film as the support is a polyethylene terephthalate film or cellulose triacetate film that is usually applied to silver salt photographic films (silver salt photosensitive materials). In addition, it is preferably a polyimide film or a polyester film. In particular, a polyester film is most preferable.

ここで、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材料では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は70〜100%が好ましく、さらに好ましくは85〜100%であり、特に好ましくは90〜100%である。   Here, since the electromagnetic shielding material for a display requires transparency, it is desirable that the support has high transparency. In this case, the total visible light transmittance of the light transmissive support is preferably 70 to 100%, more preferably 85 to 100%, and particularly preferably 90 to 100%.

感光ウエブ18の幅は、例えば、50cm以上とし、厚みは50〜200μmとすることがよい。   For example, the width of the photosensitive web 18 is preferably 50 cm or more, and the thickness is preferably 50 to 200 μm.

また、感光ウエブ518には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対し
て50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、その後のめっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。
Further, after exposure and development, the photosensitive web 518 has a metallic silver portion formed in the exposed portion. The mass of the metallic silver contained in the metallic silver portion is the silver contained in the exposed portion before the exposure. It is preferable that it is a content rate of 50 mass% or more with respect to the mass of 80 mass% or more. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high conductivity can be obtained by subsequent plating treatment.

以上説明した本実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた光透過性感光ウエブ518を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成させる。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような光透過性感光ウエブ518に対し、めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。   In the apparatus for manufacturing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the present embodiment described above, a light-transmitting photosensitive web 518 provided with a silver salt-containing layer is used as a material to be plated, and the silver salt-containing layer is exposed and exposed. Development is performed to form a desired fine-line metallic silver portion as a portion to be plated. Since this fine line-shaped metallic silver part is formed by exposing and developing the silver salt-containing layer, it becomes a fine line-shaped metallic silver part patterned with very fine fine lines. When such a light-transmitting photosensitive web 518 is plated, conductive particles are supported on the fine-line metal silver portion, which becomes the conductive metal portion. For this reason, the electromagnetic wave shielding material obtained has a fine line-shaped metal part patterned with very fine fine lines and a large area light transmission part.

このように、本実施形態では、導電性金属部の細線状パターン形成を容易に行い、高い電磁波遮蔽性と高い透明性とを同時に有し、モアレのない光透過性電磁波遮蔽材料を、安価で大量に安定生産できる。また、例えば、幅50cm以上で長尺幅広の感光ウエブ18でも、連続めっきを施すことができ、さらに幅方向のめっき膜厚のバラツキは、性能上、全く問題のない均一性となり、製品の欠点が非常に少ない光透過性電磁波遮蔽材料が得られる。   As described above, in this embodiment, a thin wire pattern is easily formed on the conductive metal part, and a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having high electromagnetic wave shielding property and high transparency at the same time and having no moire is inexpensive. Stable production in large quantities. Further, for example, continuous plating can be performed even on a long and wide photosensitive web 18 having a width of 50 cm or more, and the variation in the plating film thickness in the width direction is uniform with no problem in terms of performance. A light-transmitting electromagnetic wave shielding material with very little can be obtained.

そして、めっき装置516の搬送方式として、非接触搬送方式を適用したため、搬送部材にめっき金属を析出されることなく、めっき浴液の安定性向上、洗浄作業負荷の低減が図れ、これにより生産効率を向上させることができる。   And since the non-contact conveyance system was applied as a conveyance system of the plating apparatus 516, the stability of the plating bath solution can be improved and the cleaning work load can be reduced without depositing the plating metal on the conveyance member. Can be improved.

ここで、「光透過性」とは、得られる材料の開口率が好ましくは85%以上であることを示し、90%以上がより好ましく、95%以上がさらに好ましい。開口率とは、導電性金属部(メッシュ)がなす細線のない部分が全体に占める割合を示す、導電性金属部からなる線幅10μm、ピッチ200μmの正方形の格子状メッシュの開口率は90%である。   Here, “light transmittance” indicates that the aperture ratio of the material obtained is preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and further preferably 95% or more. The aperture ratio indicates the ratio of the portion without fine lines formed by the conductive metal portion (mesh) to the whole. The aperture ratio of a square grid mesh having a line width of 10 μm and a pitch of 200 μm made of a conductive metal portion is 90%. It is.

なお、好ましい本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置として、露光装置512、現像装置514、めっき装置516とを備える形態を説明したが、これに限られず、例えば、めっき装置516のみで構成し、予め別の装置にて、露光・現像処理を行い、金属銀部を形成した感光ウエブ518を用いる形態でもよい。   In the preferred embodiment, a description has been given of an embodiment in which the exposure apparatus 512, the developing apparatus 514, and the plating apparatus 516 are provided as the light-transmitting electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus. However, the present invention is not limited thereto. It is also possible to use a photosensitive web 518 in which a metallic silver portion is formed by performing exposure / development processing with another apparatus in advance.

また、本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料を製造する装置及び製造方法について説明したが、これに限られず、例えば、その他工業品などの微細な導電性金属部からなる細線状パターンを有する光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法としても適用することができる。   Moreover, although this embodiment demonstrated the apparatus and manufacturing method which manufacture a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, it has not only this but a thin linear pattern which consists of fine electroconductive metal parts, such as other industrial goods, for example The present invention can also be applied as a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a light transmissive conductive material.

また、本実施形態において、感光ウエブ18種、その露光・現像・めっきなどの各種条件は、例えば、特開2004−221564や特開平2004−221565等を適宜適用することができる。   In the present embodiment, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221564, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221565, and the like can be appropriately applied to the 18 types of photosensitive web and the various conditions such as exposure / development / plating.

(幅広、長尺 電解めっき装置について)
以下に本発明において好ましく用いられる電解めっき装置について説明する。該めっき装置は、被めっき部を有する被めっき素材に電解めっき処理を施すための電解めっき装置であり、
めっき用電源と、
電解質溶液が満たされた第1の槽と、
前記第1の槽内に配設されると共に前記めっき用電源の一方の端子と結線され、前記電解質溶液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電する第1電極と、
めっき金属イオンを含むめっき浴液が満たされた第2の槽と、
前記第2の槽内に配設されると共に記めっき用電源の他方の端子と結線され、前記第1電極による通電を行いつつ前記めっき浴液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電し、めっき電流を流す第2電極と、
を備えることを特徴としている。
(About wide and long electroplating equipment)
Hereinafter, an electroplating apparatus preferably used in the present invention will be described. The plating apparatus is an electrolytic plating apparatus for performing electrolytic plating treatment on a material to be plated having a portion to be plated.
Power supply for plating,
A first tank filled with an electrolyte solution;
A first electrode disposed in the first tank and connected to one terminal of the power source for plating, and energizing the portion to be plated of the material to be plated through the electrolyte solution;
A second tank filled with a plating bath containing plating metal ions;
It is arranged in the second tank and is connected to the other terminal of the power supply for plating, and is applied to the portion to be plated of the material to be plated through the plating bath liquid while being energized by the first electrode. A second electrode that energizes and carries a plating current;
It is characterized by having.

本発明の電解めっき装置では、被めっき素材が連なって第1の槽内の電解質溶液及び第2の槽内のめっき浴液へ入浴した状態で、第1電極により電解質溶液を介して被めっき素材の被めっき部へ通電しつつ、第2電極によりめっき浴液を介して被めっき素材の被めっき部に通電し、めっき電流を流す。このように、第1電極による通電を行いつつ第2電極による通電で電解めっき処理を行うので、被めっき素材が長尺幅広で被めっき部の電気抵抗が高くても、めっき膜厚の不均一やめっき表面粗度ムラ発生なく、電解めっきを施すことができる。   In the electroplating apparatus of the present invention, the materials to be plated are connected to the electrolyte solution in the first tank and the plating bath solution in the second tank by the first electrode through the electrolyte solution in a state where the materials to be plated are connected. While energizing the portion to be plated, the second electrode is energized to the portion to be plated of the material to be plated through the plating bath solution to flow a plating current. Thus, since the electroplating process is performed by energizing the second electrode while energizing by the first electrode, the plating film thickness is not uniform even if the material to be plated is long and wide and the electric resistance of the portion to be plated is high. Electrolytic plating can be performed without unevenness of plating surface roughness.

また、本発明の電解めっき方法は、被めっき部を有する被めっき素材に電解めっき処理を施すための電解めっき方法であり、
前記被めっき素材を連ねて、電解質溶液が満たされた第1の槽内とめっき浴液が満たされた第2の槽内とへ搬送し、めっき用電源の一方の端子と結線された第1電極により、前記電解質溶液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電しつつ、前記めっき用電源の他方の端子と結線された第2電極により前記めっき浴液を介して前記被めっき素材の前記被めっき部に通電し、めっき電流を流す、を有することを特徴としている。
Moreover, the electrolytic plating method of the present invention is an electrolytic plating method for performing an electrolytic plating treatment on a material to be plated having a portion to be plated.
The first material connected to one terminal of the power supply for plating is connected to one terminal of the power source for plating by connecting the materials to be plated to the first tank filled with the electrolyte solution and the second tank filled with the plating bath solution. The material to be plated is passed through the plating bath liquid by the second electrode connected to the other terminal of the power supply for plating while the electrode is energized to the portion to be plated of the material to be plated through the electrolyte solution. And supplying a plating current to the portion to be plated.

本発明の電解めっき方法では、上記本発明の電解めっき装置と同様に、被めっき素材が長尺幅広で被めっき部の電気抵抗が高くでも、めっき膜厚の不均一やめっき表面粗度ムラ発生なく、電解めっきを施すことができる。   In the electrolytic plating method of the present invention, as with the above-described electrolytic plating apparatus of the present invention, even if the material to be plated is long and wide and the electrical resistance of the plated part is high, uneven plating film thickness and uneven plating surface roughness occur And electrolytic plating can be performed.

本発明のめっき装置及びめっき方法において、前記被めっき素材は、長尺幅広フレキシブル基材であることがよい。これにより、連続で電解めっき処理を施すことができ、生産性の向上が図れる。   In the plating apparatus and the plating method of the present invention, the material to be plated is preferably a long and wide flexible substrate. Thereby, an electrolytic plating process can be performed continuously and productivity can be improved.

一方、本発明の光透過性導電性材料の製造装置は、好ましくは、
光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、電解めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するためのめっき手段を備え、
前記めっき手段が、上記本発明の電解めっき装置であることを特徴としている。
On the other hand, the manufacturing apparatus of the light-transmitting conductive material of the present invention is preferably
The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to an electroplating process on the light-transmitting material in which a fine-line metal silver portion is formed by subjecting a fine-line pattern exposure / development process to the fine line. Provided with a plating means for forming a conductive metal part on the metal silver part,
The plating means is the electrolytic plating apparatus of the present invention.

本発明の好ましい光透過性導電性材料の製造装置では、被めっき素材として、光透過性支持体上に銀塩含有層が設けられた感光材料を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成させている。このため、感光材料には、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部と大面積の光透過部とを有している。このように得られた光透過性材料に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性金属部が形成、即ちめっきが施され、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有する光透過性導電性材料が容易に得られる。しかも、上記本発明の電解めっき装置を適用するので、比較的電気抵抗が高い細線状金属銀部(例えば、50Ω/□以上)であっても、めっき膜厚の不均一やめっき表面粗度ムラ発生なく、電解めっきを施し、導電性金属部を形成することができる。   In a preferable light-transmissive conductive material manufacturing apparatus of the present invention, a photosensitive material having a silver salt-containing layer provided on a light-transmissive support is used as a material to be plated, and the silver salt-containing layer is exposed and developed. Is performed to form a desired thin linear metal silver portion as a portion to be plated. For this reason, the photosensitive material has a fine line-shaped metallic silver portion patterned with very thin fine lines and a large area light transmitting portion. When electroplating is performed on the light transmissive material thus obtained, a conductive metal portion is formed on the thin metal silver portion, that is, plating is performed, and the fine wire patterned with very thin fine wires. A light-transmitting conductive material having a metal part and a large-area light-transmitting part can be easily obtained. In addition, since the electroplating apparatus of the present invention is applied, non-uniform plating film thickness and uneven plating surface roughness are obtained even in a thin metal silver portion (for example, 50Ω / □ or more) having a relatively high electrical resistance. Without being generated, electroplating can be performed to form a conductive metal part.

また、本発明の光透過性導電性材料の製造方法は、
光透過性支持体上に銀塩含有層を有する感光材料に、細線状パターン露光・現像処理を施して細線状金属銀部を形成した光透過性材料に対し、電解めっき処理を施し、前記細線状金属銀部上に導電性金属部を形成するめっき工程を有し、
前記めっき工程は、上記本発明の電解めっき方法により行われることを特徴としている。
In addition, the method for producing the light transmissive conductive material of the present invention includes:
The light-sensitive material having a silver salt-containing layer on a light-transmitting support is subjected to an electroplating process on the light-transmitting material in which a fine-line metal silver portion is formed by subjecting a fine-line pattern exposure / development process to the fine line. Having a plating step of forming a conductive metal part on the metal silver part,
The plating step is performed by the electrolytic plating method of the present invention.

本発明の光透過性導電性材料の製造方法では、上記本発明の光透過性導電性材料の製造装置と同様に、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有する光透過性導電性材料が容易に得られる。しかも、しかも、上記本発明の電解めっき方法を適用するので、比較的電気抵抗が高い細線状金属銀部(例えば、50Ω/□以上)であっても、めっき膜厚の不均一やめっき表面粗度ムラ発生なく、電解めっきを施し、導電性金属部を形成することができる。   In the method for producing a light transmissive conductive material according to the present invention, as in the device for producing a light transmissive conductive material according to the present invention, a fine line-shaped metal portion patterned with very thin fine lines and a large area of light transmissive A light-transmitting conductive material having a portion can be easily obtained. In addition, since the electrolytic plating method of the present invention is applied, even in the case of a thin linear metal silver portion (for example, 50 Ω / □ or more) having a relatively high electrical resistance, the plating film thickness is uneven or the plating surface is rough. The electroconductive metal part can be formed by performing electroplating without causing unevenness.

また、本発明の光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法において、前記光透過性導電性材料は、光透過性電磁波遮蔽材料であることが好適である。上述のように、上記本発明の光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法を利用することで、導電性金属部の細線状パターン形成を容易に行い、高い電磁波遮蔽性と高い透明性とを同時に有し、モアレのない光透過性電磁波遮蔽材料を、安価で大量に安定生産できる。   Moreover, in the manufacturing apparatus and manufacturing method of the light transmissive conductive material of the present invention, it is preferable that the light transmissive conductive material is a light transmissive electromagnetic wave shielding material. As described above, by using the light-transmitting conductive material manufacturing apparatus and manufacturing method of the present invention, it is possible to easily form a fine line pattern of the conductive metal portion, and to have high electromagnetic shielding properties and high transparency. At the same time, a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having no moire can be stably produced in large quantities at a low cost.

本発明によれば、長尺幅広で電気抵抗の高い被めっき素材へも、めっき膜厚の不均一やめっき表面粗度ムラ発生なく、電解めっき可能な電解めっき装置及び電解めっき方法を提供することができる。また、導電性金属部の細線状パターン形成を容易に行い、高い電磁波遮蔽性と高い透明性とを同時に有し、モアレのない光透過性電磁波遮蔽材料を、安価で大量に安定生産できる製造装置及び製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an electrolytic plating apparatus and an electrolytic plating method capable of performing electrolytic plating on a material to be plated that is long and wide and has high electric resistance without causing uneven plating film thickness and uneven plating surface roughness. Can do. In addition, a manufacturing apparatus that can easily form a thin line pattern of a conductive metal part and can stably produce a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having high electromagnetic wave shielding property and high transparency at the same time without moire at a low price and in large quantities. And a manufacturing method can be provided.

以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is provided to the member which has the substantially same function through all the drawings, and the overlapping description may be abbreviate | omitted.

図4-1は、実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置を示す概略構成図であ
る。図4-2は、実施形態に係る電解めっき装置を示す概略構成図である。図4-3は、実施形態に係る電解めっき装置における第2の槽(めっき浴槽)内に配設された搬送支持ロールを示す概略断面図である。図4-4は、実施形態に係る電解めっき装置における気液
混合器を示す部分断面図である。
FIG. 4A is a schematic configuration diagram illustrating an apparatus for manufacturing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to an embodiment. FIG. 4-2 is a schematic configuration diagram illustrating an electrolytic plating apparatus according to the embodiment. FIG. 4-3 is a schematic cross-sectional view illustrating a transport support roll disposed in a second tank (plating bath) in the electrolytic plating apparatus according to the embodiment. FIG. 4-4 is a partial cross-sectional view illustrating the gas-liquid mixer in the electrolytic plating apparatus according to the embodiment.

本実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置710は、図4-1に示すように
、露光装置712、現像装置714、電解めっき装置716とから構成されている。
As shown in FIG. 4A, the light-transmitting electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus 710 according to this embodiment includes an exposure apparatus 712, a developing apparatus 714, and an electrolytic plating apparatus 716.

まず、露光装置712について説明する。露光装置712は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた長尺幅広の光透過性感光ウエブ718を搬送しながら、所望の細線状パターン(例えば、格子状、ハニカム状などのパターン)露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ718の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。   First, the exposure apparatus 712 will be described. The exposure apparatus 712 conveys a long and wide light-transmitting photosensitive web 718 provided with a silver salt-containing layer as a material to be plated, and a desired fine line pattern (for example, a pattern such as a lattice or a honeycomb). It is an apparatus that performs exposure. By this pattern exposure, a patterned thin metal silver portion is formed in the exposed portion of the silver salt-containing layer of the photosensitive web 718.

露光装置712には、光透過性感光ウエブ718の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対720が設けられており、これらの搬送ローラ対720は、駆動ローラとニップローラとから構成される。   The exposure device 712 is provided with a plurality of transport roller pairs 720 along the transport path of the light-transmitting photosensitive web 718, and these transport roller pairs 720 are constituted by drive rollers and nip rollers.

露光装置712には、搬送方向の最上流部に供給部が設けられている。供給部には、ロ
ール状に巻かれた長尺幅広の光透過性感光ウエブ718を収納するマガジン722がセットされる。光透過性感光ウエブ718には、光透過性感光ウエブ718を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ722Aが設けられている。
The exposure device 712 is provided with a supply unit at the most upstream portion in the transport direction. A magazine 722 for storing a long and wide light-transmitting photosensitive web 718 wound in a roll is set in the supply unit. The light transmissive photosensitive web 718 is provided with a drawing roller 722A for pulling out the light transmissive photosensitive web 718 and transporting it toward the downstream side.

そして、供給部からの搬送方向下流側は、露光ユニット724が設けられている。この露光ユニット724により、光透過性感光ウエブ718に露光が行われる。露光ユニット724は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源(SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができる。また走査露光ユニットとしては、さらにKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。   An exposure unit 724 is provided on the downstream side in the transport direction from the supply unit. The exposure unit 724 exposes the light transmissive photosensitive web 718. The exposure unit 724 may be a continuous surface exposure unit using a photomask or a scanning exposure unit using a laser beam. This scanning exposure unit includes a monochromatic high light source such as a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic light source (SHG) that combines a solid state laser using a semiconductor laser and a nonlinear optical crystal. A scanning exposure method using density light can be preferably applied. Further, as the scanning exposure unit, a scanning exposure method using a KrF excimer laser, ArF excimer laser, F2 laser, or the like can also be applied.

また、走査露光ユニットをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源(SHG)を適用することがよい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、半導体レーザーを適用することがよい。   Further, in order to make the scanning exposure unit compact and inexpensive, a second harmonic generation light source (SHG) combining a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a solid-state laser and a nonlinear optical crystal may be applied for exposure. Good. In order to design a device that is particularly compact, inexpensive, long-life, and highly stable, it is preferable to apply a semiconductor laser.

走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長430〜460nmの青色半導体レーザー(2001年3月の第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表)、半導体レーザー(発振波長約1060nm)を導波路状の反転ドメイン構造を有するLiNbO3のSHG結晶により波長変換して取り出した約530nmの緑色レーザー、波長約685nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6738MG)、波長約650nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6501MG)などが好ましく適用でききる。 Specifically, as a laser light source of the scanning exposure unit, a blue semiconductor laser having a wavelength of 430 to 460 nm (announced by Nichia Chemical at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001), a semiconductor laser (oscillation wavelength) about 1060 nm) a waveguide-like inverted domain structure about 530nm green laser taken out by wavelength conversion by the SHG crystal of LiNbO 3 having a wavelength of about 685nm of the red semiconductor laser (Hitachi type No.HL6738MG), a wavelength of about 650nm A red semiconductor laser (Hitachi type No. HL6501MG) or the like can be preferably applied.

なお、露光装置712は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。   The exposure apparatus 712 is not limited to the above-described configuration, and a normal exposure apparatus used for a silver salt photographic film, photographic paper, a printing plate-making film, a photomask emulsion mask, or the like can be applied.

次に、現像装置714について説明する。現像装置714は、露光装置712の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された光透過性感光ウエブ718を現像・定着・洗浄を行う装置である。   Next, the developing device 714 will be described. The developing device 714 is a device that is disposed on the downstream side in the transport direction of the exposure device 712, and develops, fixes, and cleans the light-transmitting photosensitive web 718 that has been subjected to desired fine line pattern exposure.

現像装置714には、搬送方向の上流側から順に、現像槽726、漂白定着槽728、及び水洗槽730が設けられており、水洗槽730は、第1水洗槽730A、第2水洗槽730B、第3水洗槽730C、及び第4水洗槽730Dからなる。現像槽726には、例えば、現像液726Lが所定量貯蔵され、漂白定着槽728には、漂白定着液728Lが所定量貯蔵され、第1水洗槽730A〜第4水洗槽730Dには、洗浄液730Lが所定量貯蔵されている。各処理槽726〜730内のローラとガイドによって感光ウエブ718が各処理槽726〜730の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽726の最上流側には、駆動ローラ732Aと従動ローラ732Bとを備えた搬入ローラ対732が配置されており、この搬入ローラ対732は、露光装置712から搬出される感光ウエブ718を現像液726L内に案内している。   The developing device 714 includes a developing tank 726, a bleach-fixing tank 728, and a water washing tank 730 in order from the upstream side in the transport direction. The water washing tank 730 includes a first water washing tank 730A, a second water washing tank 730B, It consists of a third rinsing tank 730C and a fourth rinsing tank 730D. For example, a predetermined amount of developer 726L is stored in the developing tank 726, a predetermined amount of bleach-fixing liquid 728L is stored in the bleach-fixing tank 728, and a cleaning liquid 730L is stored in the first washing tank 730A to the fourth washing tank 730D. Is stored in a predetermined amount. The photosensitive web 718 is transported through the liquid in the processing tanks 726 to 730 by rollers and guides in the processing tanks 726 to 730, so that development, fixing, and cleaning processes are performed. Further, on the uppermost stream side of the developing tank 726, a carry-in roller pair 732 including a driving roller 732A and a driven roller 732B is disposed. The carry-in roller pair 732 is a photosensitive web 718 carried out from the exposure device 712. Is guided into the developing solution 726L.

ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液726L、漂白定着液728L、洗浄液730Lもこれらに準じて適宜適用す
ることができる。例えば、現像液726Lとしては、特に限定しないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社製のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、D−85などのリス現像液を用いることができる。
Here, the development, fixing, and washing processes can be performed by ordinary development processing techniques used for silver salt photographic films, printing plate-making films, photomask emulsion masks, and the like. A developing solution 726L, a bleach-fixing solution 728L, and a cleaning solution 730L can be appropriately applied in accordance with these. For example, the developer 726L is not particularly limited, but PQ developer, MQ developer, MAA developer and the like can also be used. For example, CN-16, CR-56, CP45X, FD- manufactured by Fuji Film 3. Developers such as C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72 manufactured by Papitor, KODAK, or developers included in the kit, and lith development such as D-85 A liquid can be used.

また、現像液726Lには、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。   The developer 726L can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as benzotriazole. In addition, it is also preferable to use polyethylene glycol, particularly when a lith developer is used.

なお、現像装置714では、各処理槽726〜730の液内を通過した感光ウエブ718は、乾燥させず現像装置714から排出されるようになっている。   In the developing device 714, the photosensitive web 718 that has passed through the liquid in each of the processing tanks 726 to 730 is discharged from the developing device 714 without being dried.

次に、電解めっき装置716について説明する。電解めっき装置716は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ718に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性微粒子を担持させめっき(導電性金属部)を形成する装置である。具体的に、電解めっき装置716は、図4−2に示すように、電解質溶液734Aが満たされた第1の槽734と、めっき浴液736Aが満たされた第2の槽736(めっき浴槽)と、電解質溶液738Aが満たされた第3の槽738と、を備えている。そして、感光ウエブ718を搬送するために、第1の槽内には搬送支持ロール740、第2の槽内には搬送支持ロール742A,742B、そして、これら槽外には搬送支持ロール744A〜744Eが配設されている。これら各ロールは搬送方向に軸が直交して配置され、感光ウエブ718を各ロールに支持させつつめっき浴液736A内で水平搬送する。   Next, the electrolytic plating apparatus 716 will be described. The electroplating apparatus 716 performs electroplating on the photosensitive web 718 that has been exposed and developed to form a thin metal silver portion, and carries the conductive fine particles on the metal silver portion to perform plating (conductivity). This is an apparatus for forming a metal part. Specifically, as shown in FIG. 4B, the electrolytic plating apparatus 716 includes a first tank 734 filled with an electrolyte solution 734A and a second tank 736 filled with a plating bath solution 736A (plating bath). And a third tank 738 filled with the electrolyte solution 738A. In order to convey the photosensitive web 718, the conveyance support roll 740 is provided in the first tank, the conveyance support rolls 742A and 742B are provided in the second tank, and the conveyance support rolls 744A to 744E are provided outside these tanks. Is arranged. These rolls are arranged with the axes orthogonal to the transport direction, and are transported horizontally in the plating bath solution 736A while supporting the photosensitive web 718 on each roll.

ここで、電解めっき処理として、公知の電解めっき技術を適用することができ、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。めっき浴液736Aとしては、電解銅めっき浴液を適用することが好ましい。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。   Here, as the electrolytic plating treatment, a known electrolytic plating technique can be applied, for example, an electrolytic plating technique used in a printed wiring board can be applied, and the electrolytic plating is electrolytic copper plating. Is preferred. As the plating bath solution 736A, an electrolytic copper plating bath solution is preferably applied. Examples of the electrolytic copper plating bath include a copper sulfate bath, a copper pyrophosphate bath, and a copper borofluoride bath. Chemical species contained in the electrolytic copper plating solution include copper sulfate and copper chloride, sulfuric acid to improve the stability and conductivity of the plating solution, and to increase the uniform electrodeposition, acceleration of dissolution of the anode and auxiliary effect of additives Examples of additives for improving chlorine and bath stabilization and plating denseness include polyethylene oxide and bipyridine.

第1の槽734内には、第1めっき用電源746の陰極端子と結線された陰電極板746A(第1電極)が配設されている。陰電極板746Aは、第1の槽内に搬送されてきた感光ウエブ718の金属銀部形成面(被めっき面)に非接触で対向して設けられている。   In the first tank 734, a negative electrode plate 746A (first electrode) connected to the cathode terminal of the first plating power source 746 is disposed. The negative electrode plate 746A is provided so as to face the metal silver portion forming surface (surface to be plated) of the photosensitive web 718 conveyed into the first tank in a non-contact manner.

第2の槽736内には、第1めっき用電源746の陽極端子と結線された第1陽電極板746B(第2電極)が配設されている。また、第2めっき用電源748の陽極端子と結線された第2陽電極板748B(第2電極)が配設されている。第1陽電極板746B及び第2陽電極板748Bは、第2の槽736内に搬送されてきた感光ウエブ718の金属銀部形成面(被めっき面)に非接触で対向して設けられている。   In the second tank 736, a first positive electrode plate 746B (second electrode) connected to the anode terminal of the first plating power source 746 is disposed. Further, a second positive electrode plate 748B (second electrode) connected to the anode terminal of the second plating power source 748 is provided. The first positive electrode plate 746 </ b> B and the second positive electrode plate 748 </ b> B are provided so as to face the metal silver portion forming surface (surface to be plated) of the photosensitive web 718 conveyed into the second tank 736 in a non-contact manner. Yes.

第2の槽736内に配設された搬送支持ロール742A,742Bは、図4−3に示すように、断面円形の筒状空洞管742Cから構成されている。搬送支持ロール742A,742B(筒状空洞管742C)は、微細気泡気液混合流体を噴出させる開口群からなる噴出部742Dが設けられている。この微細気泡気液混合流体(微細気泡含有のめっき浴液)はめっき浴液736Aと空気との混合流体であり、この微細気泡気液混合流体を搬送支持ロール742A,742Bへ供給するために、第2の槽736と搬送支持ロール74
2A,742Bとは気液混合・供給機構750で連結され、めっき浴液736Aを循環させている。
The conveyance support rolls 742A and 742B disposed in the second tank 736 are configured by a cylindrical hollow tube 742C having a circular cross section, as shown in FIG. 4-3. The transport support rolls 742A and 742B (cylindrical hollow tube 742C) are provided with an ejection portion 742D including an opening group for ejecting the fine bubble gas-liquid mixed fluid. This fine bubble gas-liquid mixed fluid (plating bath liquid containing fine bubbles) is a mixed fluid of the plating bath liquid 736A and air. In order to supply this fine bubble gas-liquid mixed fluid to the conveyance support rolls 742A and 742B, Second tank 736 and transport support roll 74
2A and 742B are connected by a gas / liquid mixing / supplying mechanism 750 to circulate the plating bath liquid 736A.

ここで、筒状空洞管742Cは、例えばセラミックや樹脂などで構成することができる。また、噴出部742Dを構成する開口群の各口径は、圧力損失と微細気泡気液混合流体噴出量から10〜500μmが好ましく、より好ましくは50〜200μmである。   Here, the cylindrical hollow tube 742C can be made of, for example, ceramic or resin. Moreover, each aperture of the opening group which comprises jet part 742D is 10-500 micrometers from a pressure loss and the fine bubble gas-liquid mixed fluid ejection amount, More preferably, it is 50-200 micrometers.

気液混合・供給機構750には、循環ポンプ754、フィルター756、及び気液混合器758で構成されている。気液混合器758(ベンチュリー管)は、図4-4に示すよ
うに、流通管758A内部にベンチュリーノズル758Bが配設され、ベンチュリーノズル758B配設部よりも下流側にエアー供給管758Cが接続され、さらに、その下流側には釘状突起758Dが配設されている。なお、760はバルブを示す。
The gas / liquid mixing / supplying mechanism 750 includes a circulation pump 754, a filter 756, and a gas / liquid mixer 758. As shown in FIG. 4-4, the gas-liquid mixer 758 (Venturi tube) has a venturi nozzle 758B disposed inside the flow tube 758A, and an air supply tube 758C connected downstream of the venturi nozzle 758B disposed portion. In addition, a nail-like protrusion 758D is disposed on the downstream side thereof. Reference numeral 760 denotes a valve.

気液混合器758では、流通管758Aに流入してきためっき浴液736Aはベンチュリーノズル758Bを通過することで流速が速まると共にその前後で流通管758A内の圧力が変化、即ちベンチュリーノズル758Bを通過前よりも通過後の流通管758A内の圧力が低下する。ベンチュリーノズル758B通過後の流通管758A内の圧力が低下するため、エアー供給管758Cをバルブ760により開放するのみで空気はめっき浴液736Aに吸引され、めっき浴液にエアー(空気)が混合され、さらに、釘状突起758Dが設けられた流通管758A内を気液混合流体が通過することで、微細気泡気液混合流体となる。   In the gas-liquid mixer 758, the plating bath liquid 736A that has flowed into the flow pipe 758A passes through the venturi nozzle 758B, thereby increasing the flow velocity, and the pressure in the flow pipe 758A changes before and after that, that is, before passing through the venturi nozzle 758B. The pressure in the flow pipe 758A after passing decreases. Since the pressure in the flow pipe 758A after passing through the venturi nozzle 758B decreases, the air is sucked into the plating bath liquid 736A just by opening the air supply pipe 758C with the valve 760, and air (air) is mixed with the plating bath liquid. Further, the gas-liquid mixed fluid passes through the flow pipe 758A provided with the nail-like protrusions 758D, so that it becomes a fine bubble gas-liquid mixed fluid.

そして、微細気泡気液混合流体が搬送支持ロール742A,742Bへ供給され、その噴出部742Dから噴出される。このように第2の槽736内で、搬送支持ロール742A,742Bから感光ウエブ718の金属銀部形成面(被めっき面)へ微細気泡気液混合流体を噴射することで、当該面の電気二重層境膜の物質移動を促進させ、良好な電解めっき処理を図ると共に、第2の槽736内のめっき浴液736Aを攪拌混合し、液の均一化が図れる。   And fine bubble gas-liquid mixed fluid is supplied to conveyance support rolls 742A and 742B, and is ejected from the ejection part 742D. Thus, in the second tank 736, the fine bubble gas-liquid mixed fluid is jetted from the transport support rolls 742A and 742B to the metal silver portion forming surface (surface to be plated) of the photosensitive web 718, so The mass transfer of the multi-layer boundary film can be promoted to achieve a good electrolytic plating treatment, and the plating bath liquid 736A in the second tank 736 can be stirred and mixed to make the liquid uniform.

ここで、微細気泡気液混合流体における空気(エアー)とめっき浴液736Aとの混合比率(空気:めっき浴液)は、1:0.2〜1:2が好ましく、より好ましくは1:0.5〜1:1.5である。   Here, the mixing ratio (air: plating bath solution) of air (air) and plating bath solution 736A in the fine bubble gas-liquid mixed fluid is preferably 1: 0.2 to 1: 2, more preferably 1: 0. .5: 1: 1.5.

第3の槽738内には、回転ロール762が設けられている。そして、第3の槽738上には、回転ロール762と対向して感光ウエブ718を挟持するように陰電極側給電ロール748A(第1電極)が設けられている。陰電極側給電ロール748Aは、第2めっき用電源748の陰極端子と結線されている。また、陰電極側給電ロール748Aは感光ウエブ718へ直接通電するものであるため、当該給電ロール748Aの異物発生を防止する目的で、第3の槽738内の電解質溶液738Aを給電ロール748Aに注ぎかける電解質溶液循環機構764が配設されている。なお、電解質溶液循環機構764は、循環ポンプ754を有している。   A rotating roll 762 is provided in the third tank 738. On the third tank 738, a negative electrode-side power supply roll 748A (first electrode) is provided so as to sandwich the photosensitive web 718 so as to face the rotating roll 762. The negative electrode side power supply roll 748 </ b> A is connected to the cathode terminal of the second plating power source 748. Further, since the negative electrode side power supply roll 748A directly energizes the photosensitive web 718, the electrolyte solution 738A in the third tank 738 is poured into the power supply roll 748A for the purpose of preventing the generation of foreign matter in the power supply roll 748A. An electrolyte solution circulation mechanism 764 is provided. The electrolyte solution circulation mechanism 764 has a circulation pump 754.

このような構成の電解めっき装置716では、まず、長尺幅広の感光ウエブ718は、電解質溶液734Aが満たされた第1の槽734内へ搬送されて入液する。続いて、第1の槽734から搬出された感光ウエブ718は、エアーナイフ766及び吸水ロール768により付着した電解質溶液734Aを除去した後、めっき浴液736Aが満たされた第2の槽736へ搬送され、入液する。続いて、第2の槽736から搬出された感光ウエブ718は、エアーナイフ766及び吸水ロール768により付着しためっき浴液736Aを除去した後、電解質溶液738Aが満たされた第3の槽738へ搬送され、入液する。   In the electrolytic plating apparatus 716 having such a configuration, first, the long and wide photosensitive web 718 is conveyed into the first tank 734 filled with the electrolyte solution 734A and enters the liquid. Subsequently, the photosensitive web 718 carried out from the first tank 734 removes the electrolyte solution 734A attached by the air knife 766 and the water absorption roll 768, and then is conveyed to the second tank 736 filled with the plating bath liquid 736A. And enter. Subsequently, the photosensitive web 718 carried out from the second tank 736 removes the plating bath solution 736A attached by the air knife 766 and the water absorption roll 768, and then is conveyed to the third tank 738 filled with the electrolyte solution 738A. And enter.

そして、長尺幅広の感光ウエブ718が連なって、第1の槽734内の電解質溶液734A及び第2の槽736内のめっき浴液736Aへ搬送・入液した状態で、感光ウエブ718の金属銀部へ、第1の槽734内で陰電極板746Aにより電解質溶液734Aを介して通電しつつ、第2の槽736内で第1陽電極板746Bによりめっき浴液736Aを介して通電し、電解めっき電流を流し、電解めっきを施す。   Then, the long and wide photosensitive web 718 is connected to the electrolytic solution 734A in the first tank 734 and the plating bath liquid 736A in the second tank 736, and the metallic silver of the photosensitive web 718 is conveyed. In the first tank 734, the negative electrode plate 746A is energized via the electrolyte solution 734A, while the second tank 736 is energized via the plating bath solution 736A. Apply plating current and apply electrolytic plating.

一方、同様に、長尺幅広の感光ウエブ718が連なって、第3の槽738内の電解質溶液738A及び第2の槽736内のめっき浴液736Aへ搬送・入液した状態で、感光ウエブ718の金属銀部へ、第3の槽738内で陰電極側給電ロール748Aにより直接通電しつつ、第2の槽736内で第2陽電極板748Bによりめっき浴液736Aを介して通電し、電解めっき電流を流し、電解めっきを施す。   On the other hand, similarly, the long and wide photosensitive web 718 is connected to the electrolytic solution 738A in the third tank 738 and the plating bath liquid 736A in the second tank 736 in a state where it is conveyed and entered. In the third tank 738, the negative electrode side power supply roll 748A is energized directly, while the second positive electrode plate 748B is energized through the plating bath solution 736A to perform electrolysis. Apply plating current and apply electrolytic plating.

その後、電解めっき処理が施された長尺幅広の感光ウエブ718は、同一の処理を繰り返した後、図示しないが、付着した液をエアーナイフ及び吸水ロールにより除去され、洗浄槽に搬入され洗浄後防錆処理等が施され乾燥して巻取られる。   Thereafter, the long and wide photosensitive web 718 that has been subjected to the electrolytic plating treatment is not shown in the figure after repeating the same treatment, but the adhering liquid is removed by an air knife and a water absorption roll, carried into a washing tank and washed. It is rust-proofed and dried and wound up.

このようにして、感光ウエブ718の細線状金属銀部にめっき(導電性金属部)が形成される。ここで、導電性金属部は、導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して、銀を50質量%以上含有することが好ましく、60質量%以上含有することがさらに好ましい。銀を50質量%以上含有すれば、物理現像及び/又はめっき処理に要する時間を短縮し、生産性を向上させ、かつ低コストとすることができる。さらに、導電性金属部を形成する導電性金属粒子として銅及びパラジウムが用いられる場合、銀、銅及びパラジウムの合計の質量が導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがさらに好ましい。   In this way, plating (conductive metal portion) is formed on the fine-line metal silver portion of the photosensitive web 718. Here, it is preferable that a conductive metal part contains 50 mass% or more of silver with respect to the total mass of the metal contained in a conductive metal part, and it is further more preferable to contain 60 mass% or more. When silver is contained in an amount of 50% by mass or more, the time required for physical development and / or plating treatment can be shortened, the productivity can be improved, and the cost can be reduced. Furthermore, when copper and palladium are used as the conductive metal particles forming the conductive metal part, the total mass of silver, copper and palladium is 80% by mass or more based on the total mass of the metal contained in the conductive metal part. It is preferable that it is 90 mass% or more.

なお、電解めっき装置716には、第1〜第3の槽が2セット配置されているが、所望のめっき膜厚(導電性金属部の厚み)に応じて、1セットでもよいし、3セット以上増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚(導電性金属部の厚み)を容易に得ることができる。   The electrolytic plating apparatus 716 has two sets of the first to third tanks, but one set or three sets may be used depending on the desired plating film thickness (thickness of the conductive metal portion). More may be added. A desired plating film thickness (thickness of the conductive metal portion) can be easily obtained according to this number.

次に、感光ウエブ718について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ718は、例えば、光透過性支持体上に銀塩(例えばハロゲン化銀)が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層(銀塩含有層)や保護層が適宜適用することができる。   Next, the photosensitive web 718 will be described. The photosensitive web 718 as a material to be plated is, for example, a long and wide flexible base material made of a photosensitive material in which a silver salt-containing layer containing a silver salt (for example, silver halide) is provided on a light-transmitting support. . Further, a protective layer may be provided on the silver salt-containing layer, and this protective layer means a layer made of a binder such as gelatin or a high molecular polymer, and exhibits an effect of preventing scratches and improving mechanical properties. In order to do so, it is formed on the silver salt-containing layer. The composition of these silver salt-containing layers and protective layers includes silver halide emulsion layers (silver salt-containing layers) and protective layers applied to silver salt photographic films, photographic paper, printing plate-making films, emulsion masks for photomasks, etc. Layers can be applied as appropriate.

特に、感光ウエブ718(感光材料)としては、銀塩写真フィルム(銀塩感光材料)が好ましく、白黒銀塩写真フィルム(白黒銀塩感光材料)が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。   In particular, as the photosensitive web 718 (photosensitive material), a silver salt photographic film (silver salt photosensitive material) is preferable, and a black and white silver salt photographic film (black and white silver salt photosensitive material) is the best. The silver salt applied to the silver salt-containing layer is most preferably silver halide.

なお、保護層の厚みは0.02〜10μmであることが好ましく、より好ましくは0.05〜5μmであり、さらに好ましくは0.1〜1μmである。   In addition, it is preferable that the thickness of a protective layer is 0.02-10 micrometers, More preferably, it is 0.05-5 micrometers, More preferably, it is 0.1-1 micrometers.

一方、光透過性支持体としては、プラスチックフィルムや、これを2層以上を組み合わせた多層フィルムを適用することができ、その原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVAなどのポリオレフィン類
;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂;その他、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)などを用いることができる。
On the other hand, as the light transmissive support, a plastic film or a multilayer film in which two or more layers thereof are combined can be applied. Polyesters; Polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, EVA; Vinyl resins such as polyvinyl chloride and polyvinylidene chloride; Others, polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), poly Ether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC), and the like can be used.

これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム(銀塩感光材料)に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムやポリエステルフィルムであることが好ましい。特に、ポリエステルフィルムであることが最も好ましい。   Among these, from the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling, and cost, the plastic film as the support is a polyethylene terephthalate film or cellulose triacetate film that is usually applied to silver salt photographic films (silver salt photosensitive materials). In addition, it is preferably a polyimide film or a polyester film. In particular, a polyester film is most preferable.

ここで、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は70〜100%が好ましく、さらに好ましくは85〜100%であり、特に好ましくは90〜100%である。   Here, it is desirable that the support has high transparency. In this case, the total visible light transmittance of the light transmissive support is preferably 70 to 100%, more preferably 85 to 100%, and particularly preferably 90 to 100%.

感光ウエブ718の幅は、例えば、50cm以上とし、厚みは50〜200μmとすることがよい。   For example, the width of the photosensitive web 718 is preferably 50 cm or more, and the thickness is preferably 50 to 200 μm.

また、感光ウエブ718には、露光・現像後、その露光部に金属金部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。   Further, after exposure / development, the photosensitive web 718 is formed with a metal gold part in the exposed part. The mass of the metal silver contained in the metal silver part is the silver contained in the exposed part before the exposure. It is preferable that it is a content rate of 50 mass% or more with respect to the mass of 80 mass% or more. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high electroconductivity can be obtained in subsequent electrolytic plating treatment.

以上説明した好ましい実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた光透過性感光ウエブ718を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成させる。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような光透過性感光ウエブ718に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。   In the apparatus for manufacturing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the preferred embodiment described above, a light-transmitting photosensitive web 718 provided with a silver salt-containing layer is used as a material to be plated, and the silver salt-containing layer is exposed and exposed. Development is performed to form a desired fine-line metallic silver portion as a portion to be plated. Since this fine line-shaped metallic silver part is formed by exposing and developing the silver salt-containing layer, it becomes a fine line-shaped metallic silver part patterned with very fine fine lines. When an electroplating process is performed on such a light-transmitting photosensitive web 718, conductive particles are supported on the fine-line metal silver portion, which becomes the conductive metal portion. For this reason, the electromagnetic wave shielding material obtained has a fine line-shaped metal part patterned with very fine fine lines and a large area light transmission part.

このように、本実施形態では、導電性金属部の細線状パターン形成を容易に行い、高い電磁波遮蔽性と高い透明性とを同時に有し、モアレのない光透過性電磁波遮蔽材料を、安価で大量に安定生産できる。   As described above, in this embodiment, a thin wire pattern is easily formed on the conductive metal part, and a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having high electromagnetic wave shielding property and high transparency at the same time and having no moire is inexpensive. Stable production in large quantities.

しかも、本実施形態に係る電解めっき装置716では、感光ウエブ718の金属銀部へ、陰電極板746A及び陰電極側給電ロール748Aにより通電しつつ、第2の槽736内で第1陽電極板746B及び第2陽電極板748Bにより通電して、電解めっき電流を流し、電解電解めっき処理を行っているので、感光ウエブ718が長尺幅広(例えば幅50cm以上)で被めっき部としての金属銀部の電気抵抗(例えば50Ω/□以上)が高くても、導電性金属部の厚み(めっき厚)の不均一や導電性金属部(めっき)表面粗度ムラ発生なく、導電性金属部の形成、即ち電解めっきを施すことができる。   In addition, in the electroplating apparatus 716 according to this embodiment, the first positive electrode plate in the second tank 736 is energized to the metal silver portion of the photosensitive web 718 by the negative electrode plate 746A and the negative electrode side power supply roll 748A. 746B and the second positive electrode plate 748B are energized, an electroplating current is applied, and electrolytic electroplating treatment is performed. Therefore, the photosensitive web 718 is long and wide (for example, 50 cm or more in width), and metallic silver as a portion to be plated. Even if the electrical resistance of the part (for example, 50Ω / □ or more) is high, the conductive metal part can be formed without unevenness in the thickness (plating thickness) of the conductive metal part and unevenness in the surface roughness of the conductive metal part (plating). That is, electrolytic plating can be performed.

また、電解めっき処理は、非接触で電極により通電しているので、電極にめっき金属を析出されることなく、めっき浴液の安定性向上、洗浄作業負荷の低減が図れ、生産効率を向上させることができる。さらに、感光ウエブ718(被めっき素材)は、長尺幅広フレキシブル基材を適用しているので、連続で電解めっき処理を施すことができ、さらなる生
産性の向上が図れる。
In addition, since the electroplating process is conducted without contact with the electrode, the plating bath liquid is not deposited on the electrode, so that the stability of the plating bath solution can be improved and the cleaning work load can be reduced, improving the production efficiency. be able to. Further, since the photosensitive web 718 (material to be plated) uses a long and wide flexible substrate, it can be continuously subjected to electrolytic plating treatment, and further productivity can be improved.

ここで、「光透過性」とは、得られる材料の開口率が好ましくは85%以上であることを示し、90%以上がより好ましく、95%以上がさらに好ましい。開口率とは、導電性金属部(メッシュ)がなす細線のない部分が全体に占める割合を示す、導電性金属部からなる線幅10μm、ピッチ200μmの正方形の格子状メッシュの開口率は90%である。   Here, “light transmittance” indicates that the aperture ratio of the material obtained is preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and further preferably 95% or more. The aperture ratio indicates the ratio of the portion without fine lines formed by the conductive metal portion (mesh) to the whole. The aperture ratio of a square grid mesh having a line width of 10 μm and a pitch of 200 μm made of a conductive metal portion is 90%. It is.

なお、本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置として、露光装置712、現像装置714、電解めっき装置716とを備える形態を説明したが、これに限られず、例えば、電解めっき装置716のみで構成し、予め別の装置にて、露光・現像処理を行い、金属銀部を形成した感光ウエブ718を用いる形態でもよい。   In the present embodiment, a description has been given of an embodiment provided with an exposure device 712, a developing device 714, and an electroplating device 716 as a light-transmitting electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus. However, the present invention is not limited to this. It is also possible to use a photosensitive web 718 in which a metallic silver portion is formed by performing exposure / development processing in a separate apparatus in advance.

また、本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料を製造する装置及び製造方法について説明したが、これに限られず、例えば、その他工業品などの微細な導電性金属部からなる細線状パターンを有する光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法としても適用することができる。また、同様に、本実施形態は、装飾品やその他工業品などに微細な細線模様を施すための電解めっき装置及び電解めっき方法としても適用することができる。   Moreover, although this embodiment demonstrated the apparatus and manufacturing method which manufacture a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, it has not only this but a thin linear pattern which consists of fine electroconductive metal parts, such as other industrial goods, for example The present invention can also be applied as a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a light transmissive conductive material. Similarly, the present embodiment can also be applied as an electrolytic plating apparatus and an electrolytic plating method for applying a fine fine line pattern to a decorative product or other industrial product.

また、本実施形態において、感光ウエブ18種、その露光・現像・めっきなどの条件は、例えば、特開2004−221564や特開平2004−221565等を適宜適用することができる。   In the present embodiment, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221564, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221565, and the like can be appropriately applied as conditions for 18 types of photosensitive webs and their exposure / development / plating.

続いて、以下に、本発明の透光性導電性シート(以下では、肉眼による観察では実質透明に見える場合があることから、透明導電性シートとも呼ぶ)、及びエレクトロルミネッセンス素子に関して、好ましい態様を記載する。   Subsequently, preferred embodiments of the translucent conductive sheet of the present invention (hereinafter, also referred to as a transparent conductive sheet because it may be substantially transparent when observed with the naked eye) and the electroluminescence element are described below. Describe.

<透明導電性フィルム>
本発明の透明導電性シートは、ガラス基板はもとより、ポリエチレンテレフタレートやトリアセチルセルロースベース等の透明フィルム上に、インディウム・錫酸化物(ITO)や錫酸化物、アンチモンドープ酸化錫、亜鉛ドープ酸化錫、酸化亜鉛等の透明導電性材料を蒸着、塗布、印刷等の方法で一様に付着、成膜することで得られる。 また、銀の薄膜を高屈折率層で挟んだ多層構造を用いても良い。さらに、ポリアニリン、ポリピロールなどの共役系高分子などの導電性ポリマーを好ましく用いることができる。 これら透明導電性材料に関しては、東レリサーチセンター発行「電磁波シールド材料の現状と将来」、特開平9−147639号公報等に記載されている。
<Transparent conductive film>
The transparent conductive sheet of the present invention is not only a glass substrate but also a transparent film such as polyethylene terephthalate or triacetyl cellulose base, indium / tin oxide (ITO), tin oxide, antimony-doped tin oxide, zinc-doped oxide. A transparent conductive material such as tin or zinc oxide is uniformly deposited and deposited by a method such as vapor deposition, coating, or printing. Alternatively, a multilayer structure in which a silver thin film is sandwiched between high refractive index layers may be used. Furthermore, a conductive polymer such as a conjugated polymer such as polyaniline or polypyrrole can be preferably used. These transparent conductive materials are described in “Current Status and Future of Electromagnetic Shielding Materials” published by Toray Research Center, Japanese Patent Laid-Open No. 9-147639, and the like.

本発明は、このような一様な透明導電膜に加えて、一様な網目状、ストライプ状、櫛型あるいはグリッド型等の金属および/または合金の細線構造部を配置した導電性面を作成して通電性を改善する。EL素子に用いた場合に輝度を向上させる観点から、本発明の透明導電性シートの導電性面の表面抵抗率は0.1Ω/□以上100Ω/□以下であることが好ましく、1Ω/□以上10Ω/□以下であることがより好ましい。この時、透明導電膜単独の表面抵抗率は、光の透過率を低くしない為に、100Ω/□以上であることが好ましく200Ω/□以上であることがより好ましい。
透明導電性シート及び透明導電膜の表面低効率は、JIS K6911に記載の測定方法に準じて測定された値である。
In addition to such a uniform transparent conductive film, the present invention creates a conductive surface in which a fine mesh structure of metal and / or alloy such as uniform mesh, stripe, comb or grid is arranged. To improve the conductivity. From the viewpoint of improving luminance when used in an EL element, the surface resistivity of the conductive surface of the transparent conductive sheet of the present invention is preferably 0.1Ω / □ or more and 100Ω / □ or less, preferably 1Ω / □ or more. More preferably, it is 10Ω / □ or less. At this time, the surface resistivity of the transparent conductive film alone is preferably 100Ω / □ or more, and more preferably 200Ω / □ or more so as not to lower the light transmittance.
The surface low efficiency of the transparent conductive sheet and the transparent conductive film is a value measured according to the measurement method described in JIS K6911.

金属や合金の細線の材料としては、銅や銀、アルミニウムが好ましく用いられるが、目的によっては、前述の透明導電性材料を用いてもよい。電気伝導性と熱伝導性が高い材料であることが好ましい。この金属や合金の細線の幅は、任意であるが、0.1μm程度か
ら1000μmの間が好ましい。金属や合金の細線は、50μmから5cmの間隔のピッチで配置されていることが、好ましく、特に100μmから、1cmピッチが好ましい。金属および/または合金の細線構造部を配置することで、光の透過率が、減少するが、減少は出来るだけ小さいことが重要で、細線の間隔を狭くしすぎたり、細線幅や高さを大きく取りすぎたりすることなく、好ましくは90%以上の光の透過率を確保することが、重要である。本発明においては、透明導電性シートの光の透過率が、550nmの光に対して80%以上であることが好ましく、90%であることがより好ましい。
Copper, silver, and aluminum are preferably used as the metal or alloy thin wire material, but the above-described transparent conductive material may be used depending on the purpose. A material having high electrical conductivity and high thermal conductivity is preferable. The width of the thin wire of the metal or alloy is arbitrary, but is preferably between about 0.1 μm and 1000 μm. The fine wires of the metal or alloy are preferably arranged at a pitch of 50 μm to 5 cm, particularly preferably 100 μm to 1 cm. By arranging the fine wire structure of metal and / or alloy, the light transmittance is reduced, but it is important that the reduction is as small as possible. It is important to ensure a light transmittance of preferably 90% or more without taking too much. In the present invention, the light transmittance of the transparent conductive sheet is preferably 80% or more, and more preferably 90% with respect to 550 nm light.

本発明の透明導電性シートをEL素子に用いる場合に、輝度を向上させるため、また白色発光を実現する上で、波長420nm〜650nmの領域の光を80%以上透過することが好ましく、より好ましくは90%以上透過することが好ましい。白色発光を実現する上では、波長380nm〜680nmの領域の光を80%以上透過することがより好ましい。透明導電性シートの光の透過率は、分光光度計によって測定することができる。   When the transparent conductive sheet of the present invention is used for an EL element, it is preferable that 80% or more of light in a wavelength region of 420 nm to 650 nm is transmitted, more preferably, in order to improve luminance and realize white light emission. Is preferably 90% or more. In order to realize white light emission, it is more preferable to transmit 80% or more of light in a wavelength region of 380 nm to 680 nm. The light transmittance of the transparent conductive sheet can be measured with a spectrophotometer.

金属および/または合金の細線構造部の高さ(厚み)は、0.1μm以上10μm以下が、好ましい。特に好ましくは、0.5μm以上5μm以下である。金属および/または合金の細線構造部と透明導電膜は、どちらが表面に出ていも良いが、結果として導電性面の平滑性(凹凸)は、5μm以下であることが好ましい。あまり平滑であると密着性が出にくいために、0.01μm以上5μm以下が好ましい。特に好ましいのは、0.05μm以上3μm以下である。
ここで、導電性面の平滑性(凹凸)は、3次元表面粗さ計(例えば、東京精密社製;SURFCOM575A−3DF)を用いて5mm四方を測定したときの凹凸部の平均振幅を示す。表面粗さ計の分解能の及ばないものについては、STMや電子顕微鏡による測定によって、平滑性を求める。
細線の幅と高さ、間隔の関係については、細線の幅は、目的に応じて決めればよいが、典型的には、細線間隔の1/10000以上、1/10以下が好ましい。細線の高さも同様であるが、細線の幅に対して1/100以上10倍以下の範囲が好ましく用いられる。
The height (thickness) of the fine wire structure portion of the metal and / or alloy is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less. Particularly preferably, it is 0.5 μm or more and 5 μm or less. Either the metal and / or alloy fine wire structure portion or the transparent conductive film may be exposed on the surface, but as a result, the smoothness (unevenness) of the conductive surface is preferably 5 μm or less. Since it is difficult to obtain adhesiveness when it is too smooth, it is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less. Particularly preferred is 0.05 μm or more and 3 μm or less.
Here, the smoothness (unevenness) of the conductive surface indicates the average amplitude of the unevenness when measuring 5 mm square using a three-dimensional surface roughness meter (for example, manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd .; SURFCOM 575A-3DF). For a surface roughness meter that does not reach the resolution, smoothness is obtained by measurement using an STM or an electron microscope.
With regard to the relationship between the width, height, and interval of the fine lines, the width of the fine lines may be determined according to the purpose, but typically it is preferably 1 / 10,000 or more and 1/10 or less of the fine line interval. The height of the fine line is the same, but a range of 1/100 to 10 times the width of the fine line is preferably used.

本発明の透明導電性シートの典型的構成を図5に示す。図5は、概念図で実際のサイズを反映していない。
図5のごとく、網目状の金属および/または合金の細線構造部と、透明導電膜を形成した透明フィルムとを別々に形成して重ねあわせ、本発明の透明導電膜を形成することができる。すなわち、金属および/または合金の細線構造部を透明導電膜上に張り合わせてもよい。また、フィルム上に形成した金属および/または合金の細線構造部上にITOを塗布、蒸着(スパッター法やイオンプレーティング法を含む)しても良い。
A typical configuration of the transparent conductive sheet of the present invention is shown in FIG. FIG. 5 is a conceptual diagram that does not reflect the actual size.
As shown in FIG. 5, the fine metal structure of a mesh-like metal and / or alloy and the transparent film on which the transparent conductive film is formed can be separately formed and overlapped to form the transparent conductive film of the present invention. That is, a fine wire structure portion of metal and / or alloy may be bonded onto the transparent conductive film. In addition, ITO may be applied and vapor-deposited (including sputtering and ion plating) on the thin wire structure of metal and / or alloy formed on the film.

図6は、本発明の別の形態である、透明フィルム上に形成した網目状の金属および/または合金の細線構造部の上から、さらにITOの分散物を印刷して透明導電性シートを形成したものである。網目状の金属および/または合金の細線構造部の凸凹が、ITOの分散物によって緩和され、全体に凹凸の少ない滑らかな構造が得られる。
いずれの場合にも、金属および/または合金の細線構造部と透明フィルム、または透明導電膜と透明フィルムとの密着性等を向上させるために、有機高分子材料からなる中間層を用いたり、表面処理をしたりすることを好ましく行う事ができる。
図6の構成は、金属および/または合金の細線構造部が直接他の層に触れることがなく、なおかつ透明導電性シート表面の凹凸も低く抑えられるため、例えば、その上に形成される電界発光層や電流注入層との均一な接合を得やすく、素子の安定性を確保しやすい。
FIG. 6 shows another embodiment of the present invention, from which a dispersion of ITO is further printed on a fine-line structure portion of a network-like metal and / or alloy formed on a transparent film to form a transparent conductive sheet. It is what. The unevenness of the fine wire structure portion of the network-like metal and / or alloy is relaxed by the ITO dispersion, and a smooth structure with less unevenness is obtained as a whole.
In any case, an intermediate layer made of an organic polymer material is used to improve the adhesion between the fine wire structure of the metal and / or alloy and the transparent film, or the transparent conductive film and the transparent film. It is preferable to perform processing.
In the configuration of FIG. 6, since the fine wire structure portion of the metal and / or alloy does not directly touch other layers and the unevenness of the surface of the transparent conductive sheet is suppressed to a low level, for example, electroluminescence formed thereon It is easy to obtain uniform bonding with the layer and the current injection layer, and it is easy to ensure the stability of the element.

本発明の透明導電性シートは、エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として、好ましく用いられる。
<エレクトロルミネッセント素子>
本発明のエレクトロルミネッセンス素子について以下に詳しく述べる。
本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、対向する一対の電極で蛍光体層を挟持した構成をもち、少なくとも一方の電極に本発明の透明導電性シートを有する。
本発明のエレクトロルミネッセンス素子は蛍光染料、酸化防止剤および紫外線吸収剤をそれぞれ少なくとも一種含有することが好ましい。
The transparent conductive sheet of the present invention is preferably used as a transparent electrode of an electroluminescence element.
<Electroluminescent element>
The electroluminescent device of the present invention will be described in detail below.
The electroluminescence element of the present invention has a configuration in which a phosphor layer is sandwiched between a pair of opposed electrodes, and has the transparent conductive sheet of the present invention on at least one of the electrodes.
The electroluminescent device of the present invention preferably contains at least one fluorescent dye, antioxidant and ultraviolet absorber.

<蛍光体層>
蛍光体層は、蛍光体粒子をバインダーに分散したものを用いる。バインダーとしては、シアノエチルセルロース系樹脂のように、比較的誘電率の高いポリマーや、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ化ビニリデンなどの樹脂を用いることができる。これらの樹脂に、BaTiO3やSrTiO3などの高誘電率の微粒子を適度に混合して誘電率を調整することもできる。分散方法としては、ホモジナイザー、遊星型混練機、ロール混練機、超音波分散機などを用いることができる。
本発明のエレクトロルミネッセンス素子においては、蛍光体層の厚みは1μm以上25μm以下が好ましい。特に好ましいのは、3μm以上20μm以下である。
<Phosphor layer>
As the phosphor layer, a phosphor layer in which phosphor particles are dispersed in a binder is used. As the binder, a polymer having a relatively high dielectric constant such as a cyanoethyl cellulose resin, or a resin such as polyethylene, polypropylene, polystyrene resin, silicone resin, epoxy resin, or vinylidene fluoride can be used. The dielectric constant can be adjusted by appropriately mixing fine particles having a high dielectric constant such as BaTiO 3 and SrTiO 3 with these resins. As a dispersion method, a homogenizer, a planetary kneader, a roll kneader, an ultrasonic disperser, or the like can be used.
In the electroluminescence device of the present invention, the thickness of the phosphor layer is preferably 1 μm or more and 25 μm or less. Particularly preferred is 3 to 20 μm.

蛍光体層に含有される蛍光体粒子について、以下に詳しく述べる。
本発明に好ましく用いられる粒子の母体材料としては、具体的には第II族元素と第VI族元素とから成る群から選ばれる元素の一つあるいは複数と、第III族元素と第V族元素とから成る群から選ばれる一つあるいは複数の元素とから成る半導体の微粒子であり、必要な発光波長領域により任意に選択される。例えば、CdS,CdSe,CdTe,ZnS,ZnSe,ZnTe,CaS,MgS,SrS,GaP,GaAs,及びそれらの混晶などが挙げられるが、ZnS,CdS,CaSなどを好ましく用いることができる。
The phosphor particles contained in the phosphor layer will be described in detail below.
Specific examples of the base material of the particles preferably used in the present invention include one or more elements selected from the group consisting of Group II elements and Group VI elements, Group III elements and Group V elements. These are semiconductor fine particles composed of one or a plurality of elements selected from the group consisting of: and are arbitrarily selected depending on the necessary emission wavelength region. Examples thereof include CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, CaS, MgS, SrS, GaP, GaAs, and mixed crystals thereof. ZnS, CdS, CaS, and the like can be preferably used.

さらに、粒子の母体材料としては、BaAl24、CaGa24、Ga23、Zn2SiO4、Zn2GaO4、ZnGa24,ZnGeO3,ZnGeO4,ZnAl24,CaGa24,CaGeO3,Ca2Ge27,CaO,Ga23,GeO2,SrAl24,SrGa24,SrP27,MgGa24,Mg2GeO4,MgGeO3,BaAl24,Ga2Ge27,BeGa24,Y2SiO5,Y2GeO5,Y2Ge27,Y4GeO8,Y23、Y22S,SnO2及びそれらの混晶などを好ましく用いることができる。また、発光中心は、MnやCrなどの金属イオン及び、希土類を好ましく用いることができる。 Further, the base material of the particles includes BaAl 2 S 4 , CaGa 2 S 4 , Ga 2 O 3 , Zn 2 SiO 4 , Zn 2 GaO 4 , ZnGa 2 O 4 , ZnGeO 3 , ZnGeO 4 , ZnAl 2 O 4 , CaGa 2 O 4, CaGeO 3, Ca 2 Ge 2 O 7, CaO, Ga 2 O 3, GeO 2, SrAl 2 O 4, SrGa 2 O 4, srP 2 O 7, MgGa 2 O 4, Mg 2 GeO 4, MgGeO 3 , BaAl 2 O 4 , Ga 2 Ge 2 O 7 , BeGa 2 O 4 , Y 2 SiO 5 , Y 2 GeO 5 , Y 2 Ge 2 O 7 , Y 4 GeO 8 , Y 2 O 3 , Y 2 O 2 S, SnO 2 and mixed crystals thereof can be preferably used. In addition, as the emission center, metal ions such as Mn and Cr and rare earths can be preferably used.

このような、母体材料の選択により、いくつかの蛍光体を用いることで、実質的に、染料や蛍光染料を用いることなく、色度図上 0.3<x<0.4、0.3<y<0.4の範囲の白色発光を得ることもできる。   By using several phosphors according to the selection of the base material, 0.3 <x <0.4, 0.3 on the chromaticity diagram without using any dye or fluorescent dye. White light emission in the range of <y <0.4 can also be obtained.

本発明に用いるエレクトロルミネッセンス蛍光体粒子は、平均球相当直径が、好ましくは、0.1μm以上〜15μm以下で、さらに好ましくは、1μm以上10μm以下である。球相当直径の変動係数は、35%以下であることが好ましく、より好ましくは、5%以上25%以下である。これらの平均球相当直径は、レーザー光散乱方式を用いた堀場製作所製のLA−500や、ベックマンコールター社のコールターカウンター等で測定することができる。その調整方法としては、焼成法、尿素溶融法、噴霧熱分解法、水熱合成法(Hydrothermal method)を好ましく用いることができる。   The electroluminescent phosphor particles used in the present invention preferably have an average sphere equivalent diameter of 0.1 μm to 15 μm, and more preferably 1 μm to 10 μm. The variation coefficient of the equivalent sphere diameter is preferably 35% or less, more preferably 5% or more and 25% or less. These average sphere equivalent diameters can be measured using LA-500 manufactured by Horiba, Ltd. using a laser light scattering method, a Coulter counter manufactured by Beckman Coulter, or the like. As the adjustment method, a calcination method, a urea melting method, a spray pyrolysis method, or a hydrothermal synthesis method can be preferably used.

本発明に利用可能な蛍光体微粒子は、当業界で広く用いられる焼成法(固相法)で形成することができる。例えば、硫化亜鉛の場合、液相法で10nm〜50nmの微粒子粉末(通常生粉と呼ぶ)を作成し、これを一次粒子として用い、これに付活剤と呼ばれる不純物を混入させて融剤とともに坩堝にて900℃〜1300℃の高温で30分〜10時間、
第1の焼成をおこない、粒子を得る。
The phosphor fine particles usable in the present invention can be formed by a firing method (solid phase method) widely used in the industry. For example, in the case of zinc sulfide, a fine particle powder (usually called raw powder) of 10 nm to 50 nm is prepared by a liquid phase method, and this is used as a primary particle. In a crucible at a high temperature of 900 ° C. to 1300 ° C. for 30 minutes to 10 hours,
First firing is performed to obtain particles.

ここで、付活剤としては、銅、マンガン、銀、金及び希土類元素から選択されたイオンであることが好ましく、共付活剤としては、塩素、臭素、ヨウ素、及びアルミニウムから選択されるイオンであることが好ましい。特に、付活剤が銅イオンであり、共付活剤が塩素イオンであることが高輝度を達成する上で好ましい。   Here, the activator is preferably an ion selected from copper, manganese, silver, gold, and a rare earth element, and the coactivator is an ion selected from chlorine, bromine, iodine, and aluminum. It is preferable that In particular, it is preferable that the activator is a copper ion and the coactivator is a chlorine ion to achieve high luminance.

第1の焼成によって得られる中間蛍光体粉末をイオン交換水で繰り返し洗浄してアルカリ金属ないしアルカリ土類金属及び過剰の付活剤、共付活剤を除去する。
次いで、得られた中間体蛍光体粉末に第2の焼成をほどこす。第2の焼成は、第1の焼成より低温の500〜800℃で、また短時間の30分〜3時間の加熱(アニーリング)をする。
これら焼成により蛍光体粒子内には多くの積層欠陥が発生するが、微粒子でかつより多くの積層欠陥が蛍光体粒子内に含まれるように、第1の焼成と第2の焼成の条件を適宜選択することが好ましい。
The intermediate phosphor powder obtained by the first firing is repeatedly washed with ion exchange water to remove alkali metal or alkaline earth metal, excess activator and coactivator.
Next, second baking is applied to the obtained intermediate phosphor powder. In the second baking, heating (annealing) is performed at a temperature lower than that of the first baking at 500 to 800 ° C. and for a short time of 30 minutes to 3 hours.
These firings cause many stacking faults in the phosphor particles, but the conditions of the first firing and the second firing are appropriately set so that fine particles and more stacking faults are included in the phosphor particles. It is preferable to select.

また、第1の焼成物に、ある範囲の大きさの衝撃力を加えることにより、粒子を破壊することなく、積層欠陥の密度を大幅に増加させることができる。衝撃力を加える方法としては、中間蛍光体粒子同士を接触混合させる方法、アルミナ等の球体を混ぜて混合させる(ボールミル)方法、粒子を加速させ衝突させる方法、超音波を照射する方法、静水圧を印加する方法などを好ましく用いることができる。これらの方法により、5nm以下の間隔で10層以上の積層欠陥を有する粒子を形成することができる。
その後、該中間蛍光体を、HCl等の酸でエッチングして表面に付着している金属酸化物を除去し、さらに表面に付着した硫化銅を、KCNで洗浄して除去する。続いて該中間蛍光体を乾燥してEL蛍光体を得る。
Further, by applying an impact force in a certain range to the first fired product, the density of stacking faults can be greatly increased without destroying the particles. Methods for applying impact force include contact mixing of intermediate phosphor particles, mixing and mixing spheres such as alumina (ball mill), accelerating and colliding particles, ultrasonic irradiation method, hydrostatic pressure For example, a method of applying γ can be preferably used. By these methods, it is possible to form particles having 10 or more stacking faults at intervals of 5 nm or less.
Thereafter, the intermediate phosphor is etched with an acid such as HCl to remove the metal oxide adhering to the surface, and the copper sulfide adhering to the surface is removed by washing with KCN. Subsequently, the intermediate phosphor is dried to obtain an EL phosphor.

また、硫化亜鉛の場合などは、蛍光体結晶中に多重双晶構造を導入するため、蛍光体の粒子形成方法として、水熱合成法を用いることも好ましい。水熱合成系では、粒子は、よく攪拌された水溶媒に分散されており、かつ粒子成長を起こす亜鉛イオン及び/又は硫黄イオンは、反応容器外から、水溶液で制御された流量で、決められた時間で添加する。従って、この系では粒子は水溶媒中で自由に動くことができ、かつ添加されたイオンは水中を拡散して粒子成長を均一に起こすことができるため、粒子内部における付活剤もしくは共付活剤の濃度分布を変化させることができ、焼成法では得られない粒子を得ることができる。また粒子サイズ分布の制御において、核形成過程と成長過程を明確に分離することができ、かつ粒子成長中の過飽和度を自由に制御することにより、粒子サイズ分布を制御することが可能で、サイズ分布の狭い単分散な硫化亜鉛粒子を得ることが可能となる。核形成過程と成長過程の間に、オストワルド熟成工程を入れることが粒子サイズの調節及び、多重双晶構造の実現のために好ましい。   In addition, in the case of zinc sulfide or the like, it is also preferable to use a hydrothermal synthesis method as a method of forming phosphor particles because a multiple twin structure is introduced into the phosphor crystal. In the hydrothermal synthesis system, particles are dispersed in a well-stirred aqueous solvent, and zinc ions and / or sulfur ions that cause particle growth are determined from the outside of the reaction vessel at a flow rate controlled with an aqueous solution. Add for a long time. Therefore, in this system, the particles can move freely in an aqueous solvent, and the added ions can diffuse in water and cause particle growth uniformly. The concentration distribution of the agent can be changed, and particles that cannot be obtained by the firing method can be obtained. In the control of the particle size distribution, the nucleation process and the growth process can be clearly separated, and the particle size distribution can be controlled by freely controlling the degree of supersaturation during particle growth. Monodispersed zinc sulfide particles having a narrow distribution can be obtained. It is preferable to insert an Ostwald ripening step between the nucleation process and the growth process in order to adjust the grain size and realize a multiple twin structure.

例えば硫化亜鉛結晶は、水における溶解度が非常に低く、これは水溶液中でイオン反応で粒子を成長させることにおいて非常に不利な性質である。硫化亜鉛の水への溶解度は、温度を高くすればする程、上昇するが、375℃以上では水は超臨界状態となって、イオンの溶解度は激減する。従って、粒子調製温度は。100℃以上375℃以下が好ましく、200℃以上375℃以下がさらに好ましい。粒子調製にかける時間は好ましくは100時間以内、より好ましくは12時間以内で5分以上である。   For example, zinc sulfide crystals have very low solubility in water, which is a very disadvantageous property in growing particles by ionic reaction in aqueous solution. The solubility of zinc sulfide in water increases as the temperature increases, but at 375 ° C. or higher, the water becomes supercritical and the solubility of ions decreases drastically. Therefore, the particle preparation temperature. 100 degreeC or more and 375 degrees C or less are preferable, and 200 degreeC or more and 375 degrees C or less are more preferable. The time required for particle preparation is preferably within 100 hours, more preferably within 12 hours and 5 minutes or more.

硫化亜鉛の水への溶解度を増加させる他の方法として、本発明ではキレート剤を用いることが好ましい。Znイオンのキレート剤としては、アミノ基、カルボキシル基を有するものが好ましく、具体的には、エチレンジアミン四酢酸(以下EDTAと表す)、N,2−ヒドロオキシエチルエチレンジアミン三酢酸(以下EDTA−OHと表す)、ヂエチレ
ントリアミン五酢酸、2−アミノエチルエチレングリコール四酢酸、1,3−ジアミノ-2-ヒドロキシプロパン四酢酸、ニトリロ三酢酸、2−ヒドロキシエチルイミノ二酢酸、イミノ二酢酸、2−ヒドロキシエチルグリシン、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ヂエチルアミン、ヂエチレントリアミン、トリアミノトリエチルアミン、アリルアミン、エタノールアミン、等があげられる。
As another method for increasing the solubility of zinc sulfide in water, a chelating agent is preferably used in the present invention. As the chelating agent for Zn ions, those having an amino group or a carboxyl group are preferable. Specifically, ethylenediaminetetraacetic acid (hereinafter referred to as EDTA), N, 2-hydroxyethylethylenediaminetriacetic acid (hereinafter referred to as EDTA-OH). Diethylenetriaminepentaacetic acid, 2-aminoethylethyleneglycoltetraacetic acid, 1,3-diamino-2-hydroxypropanetetraacetic acid, nitrilotriacetic acid, 2-hydroxyethyliminodiacetic acid, iminodiacetic acid, 2-hydroxy Examples include ethylglycine, ammonia, methylamine, ethylamine, propylamine, diethylamine, diethylenetriamine, triaminotriethylamine, allylamine, ethanolamine, and the like.

また、構成元素の先駆体を用いず、構成する金属イオンとカルゴゲンアニオンを直接の沈殿反応による場合には、両者の溶液の急速混合が必要で、ダブルジェット式の混合器を用いるのが好ましい。   In addition, in the case where the constituent metal ions and the cargoogen anion are directly precipitated by the precipitation reaction without using the precursors of the constituent elements, it is necessary to rapidly mix the solutions of both, and it is preferable to use a double jet mixer. .

また、本発明に利用可能な蛍光体の形成方法として、尿素溶融法を用いることも好ましい。尿素溶融法は、蛍光体を合成する媒体として溶融した尿素を用いる方法である。尿素を融点以上の温度で維持して溶融状態にした液中に、蛍光体母体や付活剤を形成する元素を含む物質を溶解する。必要に応じて、反応剤を添加する。例えば、硫化物蛍光体を合成する場合は、硫酸アンモニウム、チオ尿素、チオアセトアミド、等の硫黄源を添加して沈殿反応を起こさせる。その融液を450℃程度まで徐々に昇温すると、蛍光体粒子や蛍光体中間体が、尿素由来の樹脂中に均一に分散した固体が得られる。この固体を微粉砕した後、電気炉中で樹脂を熱分解させながら焼成する。焼成雰囲気として、不活性雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、アンモニア雰囲気、真空雰囲気を選択することで、酸化物、硫化物、窒化物を母体とした蛍光体粒子が合成できる。   It is also preferable to use a urea melting method as a method for forming a phosphor usable in the present invention. The urea melting method is a method using molten urea as a medium for synthesizing a phosphor. A substance containing an element that forms a phosphor matrix or an activator is dissolved in a solution in which urea is maintained at a temperature equal to or higher than the melting point to be in a molten state. Add reactants as needed. For example, when a sulfide phosphor is synthesized, a sulfur source such as ammonium sulfate, thiourea or thioacetamide is added to cause a precipitation reaction. When the temperature of the melt is gradually raised to about 450 ° C., a solid in which phosphor particles and phosphor intermediates are uniformly dispersed in a resin derived from urea is obtained. After this solid is finely pulverized, it is fired while thermally decomposing the resin in an electric furnace. By selecting an inert atmosphere, an oxidizing atmosphere, a reducing atmosphere, an ammonia atmosphere, or a vacuum atmosphere as the firing atmosphere, phosphor particles based on oxides, sulfides, and nitrides can be synthesized.

また、本発明に利用可能な蛍光体の形成方法として、噴霧熱分解法を用いることも好ましい。蛍光体の前駆体溶液を、霧化器を用いて微小液滴化して、液滴内での凝縮や化学反応または液滴周囲の雰囲気ガスとの化学反応により、蛍光体粒子または蛍光体中間生成物を合成できる。液滴化の条件を好適にすることで、微粒子化,微量不純物の均一化,球形化,狭粒子サイズ分布化した粒子を得ることができる。微小液滴を生成する霧化器としては、2流体ノズル,超音波霧化器,静電霧化器を用いることが好ましい。霧化器によって生成した微小液滴を、キャリアガスで電気炉などに導入し、加熱することで、脱水・縮合し、さらに液滴内物質同士の化学反応や焼結、または雰囲気ガスとの化学反応により目的とする蛍光体粒子または蛍光体中間生成物を得る。得られた粒子を、必要に応じて追加焼成する。   Further, it is also preferable to use a spray pyrolysis method as a method for forming a phosphor usable in the present invention. Phosphor precursor solution is made into fine droplets using an atomizer, and phosphor particles or phosphor intermediates are generated by condensation within the droplets, chemical reaction, or chemical reaction with the ambient gas surrounding the droplet. You can synthesize things. By making the conditions for droplet formation suitable, particles having a fine particle size, a uniform amount of impurities, a spherical shape, and a narrow particle size distribution can be obtained. As an atomizer that generates fine droplets, it is preferable to use a two-fluid nozzle, an ultrasonic atomizer, or an electrostatic atomizer. The fine droplets generated by the atomizer are introduced into an electric furnace with a carrier gas and heated to dehydrate and condense, and the chemical reaction and sintering of the substances in the droplets, or the chemistry with the atmosphere gas The target phosphor particles or phosphor intermediate product is obtained by the reaction. The obtained particles are additionally fired as necessary.

例えば、硫化亜鉛蛍光体を合成する場合は、硝酸亜鉛とチオ尿素の混合溶液を霧化し、800℃程度で、不活性ガス(例えば窒素)中で熱分解して、球形の硫化亜鉛蛍光体を得る。出発の混合溶液中に、Mn、Cu及び希土類などの微量不純物を溶解させておけば、発光中心をとして作用する。また、硝酸イットリウムと硝酸ユーロピウムの混合溶液を出発溶液として、1000℃程度で、酸素雰囲気中で熱分解して、ユーロピウムで付活された酸化イットリウム蛍光体を得る。
液滴中の成分は、全てが溶解している必要はなく、二酸化珪素の超微粒子を含有させても良い。亜鉛溶液と二酸化珪素の超微粒子を含んだ微小液滴の熱分解で、珪酸亜鉛蛍光体の粒子が得られる。
For example, when synthesizing a zinc sulfide phosphor, a mixed solution of zinc nitrate and thiourea is atomized and thermally decomposed at about 800 ° C. in an inert gas (for example, nitrogen) to form a spherical zinc sulfide phosphor. obtain. If trace impurities such as Mn, Cu and rare earth are dissolved in the starting mixed solution, it acts as a luminescent center. Further, starting from a mixed solution of yttrium nitrate and europium nitrate at about 1000 ° C. in an oxygen atmosphere, an yttrium oxide phosphor activated with europium is obtained.
It is not necessary that all components in the droplet are dissolved, and ultrafine particles of silicon dioxide may be contained. Zinc silicate phosphor particles can be obtained by thermal decomposition of microdroplets containing zinc solution and silicon dioxide ultrafine particles.

また、本発明に利用可能な蛍光体の形成方法として、レーザー・アブレーション法、CVD法、プラズマCVD法、スパッタリングや抵抗加熱、電子ビーム法、流動油面蒸着を組み合わせた方法などの気相法と、複分解法、プレカーサーの熱分解反応による方法、逆ミセル法やこれらの方法と高温焼成を組み合わせた方法、凍結乾燥法などの液相法なども用いることができる。   Further, as a phosphor forming method usable in the present invention, a laser ablation method, a CVD method, a plasma CVD method, a gas phase method such as a method combining sputtering, resistance heating, an electron beam method, and fluid oil surface deposition, and the like. Further, a metathesis method, a method using a precursor thermal decomposition reaction, a reverse micelle method, a method combining these methods with high-temperature firing, a liquid phase method such as a freeze-drying method, and the like can also be used.

これらの方法において、粒子の調製条件を制御することで、本発明に好ましい0.1μm以上10μm以下のサイズの微粒子を得ることができる。   In these methods, fine particles having a size of 0.1 μm or more and 10 μm or less that are preferable for the present invention can be obtained by controlling the preparation conditions of the particles.

蛍光体粒子は、特許第2756044号公報や米国特許第6458512号明細書に記載のごとく、0.01μm以上の金属酸化物や金属窒化物で構成される非発光シェル層で被覆されることにより、防水性・耐水性を付与することを好ましく行うことができる。また国際公開第02/080626号パンフレットに記載のごとく、発光中心を含むコア部と非発光のシェル部からなる2重構造化することで、光取り出し効率を高める技術を好ましく用いることができる。   As described in Japanese Patent No. 2756044 and US Pat. No. 6,458,512, the phosphor particles are coated with a non-light emitting shell layer composed of a metal oxide or metal nitride of 0.01 μm or more, It is preferable to impart waterproofness and water resistance. Further, as described in the pamphlet of International Publication No. 02/080626, a technique of increasing the light extraction efficiency can be preferably used by forming a double structure including a core portion including a light emission center and a non-light emitting shell portion.

蛍光体粒子は、粒子の表面に非発光シェル層を有することがより好ましい。このシェル層形成は、蛍光体粒子のコアとなる半導体微粒子の調製に引き続いて化学的な方法を用いて0.01μm以上の厚みで設置するのが好ましい。好ましくは0.01μm以上1.0μm以下である。 非発光シェル層は、酸化物、窒化物、酸窒化物や、母体蛍光体粒子上に形成した同一組成で発光中心を含有しない物質から作成することができる。また、母体蛍光体粒子材料上に異なる組成の物質をエピタキシャルに成長させることによっても形成することができる。   More preferably, the phosphor particles have a non-light emitting shell layer on the surface of the particles. The shell layer is preferably formed with a thickness of 0.01 μm or more using a chemical method following the preparation of the semiconductor fine particles serving as the core of the phosphor particles. Preferably they are 0.01 micrometer or more and 1.0 micrometer or less. The non-light-emitting shell layer can be formed from an oxide, nitride, oxynitride, or a material that is formed on the base phosphor particles and has the same composition and does not contain an emission center. It can also be formed by epitaxially growing substances having different compositions on the host phosphor particle material.

非発光シェル層の形成方法として、レーザー・アブレーション法、CVD法、プラズマCVD法、スパッタリングや抵抗加熱、電子ビーム法などと、流動油面蒸着を組み合わせた方法などの気相法と、複分解法、ゾルゲル法、超音波化学法、プレカーサーの熱分解反応による方法、逆ミセル法やこれらの方法と高温焼成を組み合わせた方法、水熱合成法、尿素溶融法、凍結乾燥法などの液相法や噴霧熱分解法なども用いることができる。   As a method of forming the non-light emitting shell layer, a laser ablation method, a CVD method, a plasma CVD method, a sputtering method, a resistance heating, an electron beam method, and a gas phase method such as a method combining fluid oil surface deposition, a metathesis method, Sol-gel method, ultrasonic chemistry method, precursor thermal decomposition method, reverse micelle method or a combination of these methods and high-temperature firing, hydrothermal synthesis method, urea melting method, freeze-drying method, etc. A thermal decomposition method or the like can also be used.

特に、蛍光体の粒子形成で好適に用いられる、水熱合成法、尿素溶融法や噴霧熱分解法は、非発光シェル層の合成にも適している。
例えば、水熱合成法を用いて硫化亜鉛蛍光体粒子の表面に非発光シェル層を付設する場合は、溶媒中にコア粒子となる硫化亜鉛蛍光体を添加し、懸濁させる。粒子形成の場合と同様に、非発光シェル層材料となる金属イオンと、必要に応じてアニオンを含む溶液を反応容器外から、制御された流量で、決められた時間で添加する。反応容器内を十分に撹拌することで、粒子は溶媒中を自由に動くことができ、かつ添加されたイオンは溶媒中を拡散して粒子成長を均一に起こすことができるため、コア粒子の表面に非発光シェル層を均一に形成することができる。この粒子を必要に応じて焼成することで、非発光シェル層を表面に有する硫化亜鉛蛍光体粒子が合成できる。
In particular, the hydrothermal synthesis method, the urea melting method, and the spray pyrolysis method, which are preferably used in the formation of phosphor particles, are also suitable for the synthesis of a non-luminescent shell layer.
For example, when a non-light-emitting shell layer is attached to the surface of zinc sulfide phosphor particles by using a hydrothermal synthesis method, a zinc sulfide phosphor serving as core particles is added and suspended in a solvent. As in the case of particle formation, a solution containing a metal ion to be a non-light emitting shell layer material and an anion as necessary is added from the outside of the reaction vessel at a controlled flow rate for a predetermined time. By sufficiently agitating the inside of the reaction vessel, the particles can move freely in the solvent, and the added ions can diffuse in the solvent and cause particle growth uniformly. The non-light emitting shell layer can be uniformly formed. By firing the particles as necessary, zinc sulfide phosphor particles having a non-light emitting shell layer on the surface can be synthesized.

また、尿素溶融法を用いて硫化亜鉛蛍光体粒子の表面に非発光シェル層を付設する場合は、非発光シェル層材料となる金属塩が溶解し、溶融した尿素溶液中に、硫化亜鉛蛍光体を添加する。硫化亜鉛は尿素に溶解しないため、粒子形成の場合と同様に溶液を昇温し、尿素由来の樹脂中に硫化亜鉛蛍光体と非発光シェル層材料が均一に分散した固体を得る。
この固体を微粉砕した後、電気炉中で樹脂を熱分解させながら焼成する。焼成雰囲気として、不活性雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、アンモニア雰囲気、真空雰囲気を選択することで、酸化物、硫化物、窒化物からなる非発光シェル層を表面に有する硫化亜鉛蛍光体粒子が合成できる。
In addition, when a non-light emitting shell layer is attached to the surface of zinc sulfide phosphor particles using the urea melting method, the metal salt that becomes the non-light emitting shell layer material is dissolved, and the zinc sulfide phosphor is dissolved in the molten urea solution. Add. Since zinc sulfide does not dissolve in urea, the temperature of the solution is raised as in the case of particle formation to obtain a solid in which the zinc sulfide phosphor and the non-light emitting shell layer material are uniformly dispersed in the urea-derived resin.
After this solid is finely pulverized, it is fired while thermally decomposing the resin in an electric furnace. Zinc sulfide phosphor particles having a non-light emitting shell layer made of oxide, sulfide, or nitride on the surface by selecting an inert atmosphere, an oxidizing atmosphere, a reducing atmosphere, an ammonia atmosphere, or a vacuum atmosphere as a firing atmosphere Can be synthesized.

また、噴霧熱分解法を用いて硫化亜鉛蛍光体粒子の表面に非発光シェル層を付設する場合は、非発光シェル層材料となる金属塩が溶解した溶液中に、硫化亜鉛蛍光体を添加する。この溶液を霧化し、熱分解することで、硫化亜鉛蛍光体粒子の表面に非発光シェル層が生成する。熱分解の雰囲気や追加焼成の雰囲気を選択することで、酸化物、硫化物、窒化物からなる非発光シェル層を表面に有する硫化亜鉛蛍光体粒子が合成できる。   In addition, when a non-light emitting shell layer is attached to the surface of the zinc sulfide phosphor particles using the spray pyrolysis method, the zinc sulfide phosphor is added to a solution in which the metal salt as the non-light emitting shell layer material is dissolved. . By atomizing and thermally decomposing this solution, a non-light emitting shell layer is generated on the surface of the zinc sulfide phosphor particles. By selecting a pyrolysis atmosphere or an additional firing atmosphere, zinc sulfide phosphor particles having a non-light emitting shell layer made of oxide, sulfide, or nitride on the surface can be synthesized.

合成された粒子は、高輝度達成のため、多重双晶(積層欠陥構造)を有することが好ましい。その頻度の評価法としては、粒子を乳鉢ですりつぶし、ほぼ0.2μm以下の厚み
の砕片に砕いたものを加速電圧200KVの電子顕微鏡で観察した際に、積層欠陥を含む破片粒子の頻度で評価することができる。もちろん粒子サイズが、0.2μmを下回る厚みの粒子は、破砕の必要は無く、そのまま観察する。
本発明の粒子は、高輝度を達成する上で、この頻度が50%個を超えるものが好ましく、さらに好ましくは、70%を超えるものが好ましい。頻度は、高いほど良い。積層欠陥の間隔は、狭いほど良い。硫化亜鉛の場合、多重双晶(積層欠陥構造)の面間隔は、1nm〜10nmが好ましく、より好ましくは、2nm〜5nmが好ましい。
The synthesized particles preferably have multiple twins (stacking fault structure) in order to achieve high brightness. As a method of evaluating the frequency, when the particles are crushed with a mortar and crushed into pieces having a thickness of approximately 0.2 μm or less and observed with an electron microscope with an acceleration voltage of 200 KV, the frequency of the broken particles containing stacking faults is evaluated. can do. Of course, particles having a thickness of less than 0.2 μm need not be crushed and are observed as they are.
In order to achieve high brightness, the particles of the present invention preferably have a frequency of more than 50%, more preferably more than 70%. The higher the frequency, the better. The smaller the gap between stacking faults, the better. In the case of zinc sulfide, the plane spacing of multiple twins (stacking fault structure) is preferably 1 nm to 10 nm, more preferably 2 nm to 5 nm.

<背面電極>
光を取り出さない側の背面電極は、導電性の有る任意の材料が使用出来る。金、銀、白金、銅、鉄、アルミニウムなどの金属、グラファイトなどの中から、作成する素子の形態、作成工程の温度等により適時選択されるが、導電性さえあればITO等の透明電極を用いても良い。更に、輝度を向上させる観点から、背面電極の熱伝導率は高いことが重要で、2.0W/cm・deg以上、特に2.5W/cm・deg以上であることが好ましい。
また、EL素子の周辺部に高い放熱性と通電性を確保するために、金属シートや金属メッシュを用いることも好ましい。
<Back electrode>
For the back electrode on the side from which light is not extracted, any conductive material can be used. It is selected from gold, silver, platinum, copper, iron, aluminum and other metals, graphite, etc. depending on the form of the element to be created, the temperature of the production process, etc. It may be used. Furthermore, from the viewpoint of improving luminance, it is important that the thermal conductivity of the back electrode is high, and it is preferably 2.0 W / cm · deg or more, particularly 2.5 W / cm · deg or more.
It is also preferable to use a metal sheet or a metal mesh in order to ensure high heat dissipation and electrical conductivity in the periphery of the EL element.

<誘電体層>
本発明のEL素子は、蛍光体層と電極の間に誘電体層を隣接することが好ましい。誘電体層は、誘電率と絶縁性が高く、且つ高い誘電破壊電圧を有する材料であれば任意のものが用いられる。これらは金属酸化物、窒化物から選択され、例えばTiO2,BaTiO3,SrTiO3,PbTiO3,KNbO3,PbNbO3,Ta23,BaTa26,LiTaO3,Y23,Al23,ZrO2,AlON,ZnSなどが用いられる。これらは均一な膜として設置されても良いし、また粒子構造を有する膜として用いても良い。
<Dielectric layer>
In the EL device of the present invention, a dielectric layer is preferably adjacent between the phosphor layer and the electrode. As the dielectric layer, any material can be used as long as it has a high dielectric constant and insulation and has a high dielectric breakdown voltage. These are selected from metal oxides and nitrides, such as TiO 2 , BaTiO 3 , SrTiO 3 , PbTiO 3 , KNbO 3 , PbNbO 3 , Ta 2 O 3 , BaTa 2 O 6 , LiTaO 3 , Y 2 O 3 , Al. 2 O 3 , ZrO 2 , AlON, ZnS or the like is used. These may be installed as a uniform film, or may be used as a film having a particle structure.

素子の構成としては、少なくとも一方が透明な、対向する一対の電極で狭持した蛍光体物質を含む発光層を有する構成になっており、蛍光体粒子を含む蛍光体層と、必要に応じて隣接させる誘電体物質を含む誘電体層との合計膜厚みが、該蛍光体粒子の平均粒子サイズの1.1倍〜10倍であることが好ましく、特に1.5倍から5倍であることが好ましい。上記素子構成において電極間距離のバラツキを中心線平均粗さRaとして見たとき、発光層厚みdに対してRa=d/8以下であることが好ましい。   The structure of the element is a structure having a light emitting layer containing a phosphor substance sandwiched between a pair of opposing electrodes, at least one of which is transparent, and a phosphor layer containing phosphor particles, and if necessary The total film thickness with the dielectric layer containing the adjacent dielectric substance is preferably 1.1 to 10 times the average particle size of the phosphor particles, particularly 1.5 to 5 times. Is preferred. When the variation in the distance between the electrodes is viewed as the center line average roughness Ra in the above element configuration, it is preferable that Ra = d / 8 or less with respect to the light emitting layer thickness d.

また、本発明の誘電体物質は、薄膜結晶層であっても粒子形状であってもよい。またそれらの組合せであっても良い。誘電体物質を含む誘電体層は、蛍光体粒子層の片側に設けてもよく、また蛍光体粒子層の両側に設けることも好ましい。薄膜結晶層の場合は、基板にスパッタリング等の気相法で形成した薄膜であっても、BaやSrなどのアルコキサイドを用いたゾルゲル膜であっても良い。粒子形状の場合は、蛍光体粒子の大きさに対し十分に小さいことが好ましい。具体的には蛍光体粒子サイズの1/3〜1/1000の大きさが好ましい。   The dielectric material of the present invention may be a thin film crystal layer or a particle shape. A combination thereof may also be used. The dielectric layer containing a dielectric substance may be provided on one side of the phosphor particle layer, and is preferably provided on both sides of the phosphor particle layer. In the case of a thin film crystal layer, it may be a thin film formed on a substrate by a vapor phase method such as sputtering, or a sol-gel film using an alkoxide such as Ba or Sr. In the case of a particle shape, it is preferable that the size is sufficiently small with respect to the size of the phosphor particles. Specifically, a size of 1/3 to 1/1000 of the phosphor particle size is preferable.

蛍光体層と誘電体層は、スピンコート法、ディップコート法、バーコート法、あるいはスプレー塗布法などを用いて塗布することが好ましい。特に、スクリーン印刷法のような印刷面を選ばない方法やスライドコート法のような連続塗布が可能な方法を用いることが好ましい。例えば、スクリーン印刷法は、蛍光体や誘電体の微粒子を高誘電率のポリマー溶液に分散した分散液を、スクリーンメッシュを通して塗布する。メッシュの厚さ、開口率、塗布回数を選択することにより膜厚を制御できる。分散液を換えることで、蛍光体層や誘電体層のみならず、背面電極層なども形成でき、さらにスクリーンの大きさを変えることで大面積化が容易である。   The phosphor layer and the dielectric layer are preferably applied using a spin coating method, a dip coating method, a bar coating method, a spray coating method, or the like. In particular, it is preferable to use a method that does not select a printing surface such as a screen printing method or a method that allows continuous coating such as a slide coating method. For example, in the screen printing method, a dispersion liquid in which fine particles of phosphor or dielectric are dispersed in a polymer solution having a high dielectric constant is applied through a screen mesh. The film thickness can be controlled by selecting the thickness of the mesh, the aperture ratio, and the number of coatings. By changing the dispersion liquid, not only the phosphor layer and the dielectric layer but also the back electrode layer can be formed, and further, the area can be easily increased by changing the size of the screen.

<封止・吸水>
本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、適当な封止材料を透明導電性層の反対側に有することが好ましく、外部環境からの湿度や酸素の影響を排除するよう加工することが好ましい。素子の基板自体が十分な遮蔽性を有する場合には、作成した素子の上方に水分や酸素遮蔽性のシートを重ね、周囲をエポキシ等の硬化材料を用いて封止することができる。また、面状素子をカールさせないために両面に遮蔽性シートを配しても良い。素子の基板が、水分透過性を有する場合は、両面に遮蔽性シートを配する必要がある。
<Sealing / Water absorption>
The electroluminescent element of the present invention preferably has a suitable sealing material on the opposite side of the transparent conductive layer, and is preferably processed so as to eliminate the influence of humidity and oxygen from the external environment. When the element substrate itself has a sufficient shielding property, a moisture or oxygen shielding sheet can be overlaid on the fabricated element, and the periphery can be sealed with a curable material such as epoxy. Further, a shielding sheet may be provided on both sides in order not to curl the planar element. When the substrate of the element has moisture permeability, it is necessary to provide a shielding sheet on both sides.

このような遮蔽性のシートとしては、ガラス、金属、プラスチックフィルム等の中から目的に応じて選択されるが、例えば特開2003−249349号公報に開示されているような酸化珪素からなる層と有機高分子化合物からなる多層構成の防湿フィルム、3フッ化塩化エチレン等を好ましく用いることができる。   Such a shielding sheet is selected from glass, metal, plastic film, and the like according to the purpose. For example, a layer made of silicon oxide as disclosed in JP-A-2003-249349 A multilayer moisture-proof film made of an organic polymer compound can be preferably used.

上記封止工程は、特公昭63−27837号公報に記載の如く、真空ないし不活性ガス置換された雰囲気下で行うことが好ましく、封止工程実施前には、特開平5−166582号公報に記載の如く、含水分量を十分に低減することが重要である。   As described in Japanese Patent Publication No. 63-27837, the sealing step is preferably performed in a vacuum or an atmosphere purged with an inert gas. Before performing the sealing step, Japanese Patent Laid-Open No. 5-166582 discloses. As described, it is important to sufficiently reduce the moisture content.

これらのEL素子を作成する際に、遮蔽性フィルムより内部に、吸水層を設けることも、好ましい。吸水層は、ナイロンやポリビニルアルコール等の吸水性が高く、水分保持能力が高い素材からなることが好ましい。また、透明性が高いことも重要である。透明性さえ高ければ、セルロースや紙の様な素材も好ましく用いることが出来る。   When producing these EL elements, it is also preferable to provide a water absorption layer inside the shielding film. The water-absorbing layer is preferably made of a material having a high water-absorbing property such as nylon or polyvinyl alcohol and a high water retention capability. It is also important that the transparency is high. As long as the transparency is high, materials such as cellulose and paper can be preferably used.

特開平4−230996号公報や米国特許第5418062号明細書に記載の如くフィルムによる遮蔽だけでなく蛍光体粒子を金属酸化物や窒化物で被覆することで、遮蔽性を向上させることも好ましく併用することが出来る。   In addition to shielding with a film as described in JP-A-4-230996 and US Pat. No. 5,418,062, it is also preferable to improve shielding properties by coating phosphor particles with metal oxide or nitride. I can do it.

<紫外線吸収剤>
紫外線による蛍光体の劣化防止の為に、本発明の透明導電性シートまたはエレクトロルミネッセンス素子には、紫外線吸収剤を含有することが好ましい。本発明では、特開平9−22781号公報等に記載されている酸化セリウム等の紫外線吸収性無機化合物を用いることができるが、有機化合物をより好ましく用いることができる。
<Ultraviolet absorber>
In order to prevent phosphor deterioration due to ultraviolet rays, the transparent conductive sheet or electroluminescent element of the present invention preferably contains an ultraviolet absorber. In the present invention, ultraviolet absorbing inorganic compounds such as cerium oxide described in JP-A-9-22781 and the like can be used, but organic compounds can be more preferably used.

本発明においては紫外線吸収剤としてモル吸光係数の高いトリアジン骨核を有する化合物を用いることが好ましく、例えば、以下の公報に記載の化合物を用いることができる。これらは、写真感光材料に好ましく添加されるが、本発明でも有効である。例えば、特開昭46−3335号、同55−152776号、特開平5−197074号、同5−232630号、同5−307232号、同6−211813号、同8−53427号、同8−234364号、同8−239368号、同9−31067号、同10−115898号、同10−147577号、同10−182621号、独国特許第19739797A号、欧州特許第711804A号及び特表平8−501291号等に記載されている化合物を使用できる。
これらの紫外線吸収剤は、導電性面の反対側に位置し、導電性面やその上に配置する素子が、紫外線を吸収しない様に配置されることが重要であり、透明電極層より外側の防湿フィルムや吸水フィルム中に添加して用いることができる。もちろんこれらのフィルム面上に紫外線吸収層として塗布して用いることもできる。
In the present invention, a compound having a triazine bone core having a high molar extinction coefficient is preferably used as the ultraviolet absorber, and for example, compounds described in the following publications can be used. These are preferably added to the photographic light-sensitive material, but are also effective in the present invention. For example, JP-A-46-3335, JP-A-55-15276, JP-A-5-197004, JP-A-5-232630, JP-A-5-307232, JP-A-6-218131, JP-A-8-53427, and 8- No. 234364, No. 8-239368, No. 9-31067, No. 10-115898, No. 10-147777, No. 10-182621, German Patent No. 19739797A, European Patent No. The compounds described in No. -502911, etc. can be used.
These ultraviolet absorbers are located on the opposite side of the conductive surface, and it is important that the conductive surface and the elements disposed thereon are disposed so as not to absorb ultraviolet rays. It can be added to a moisture-proof film or water-absorbing film. Of course, these films can also be used as an ultraviolet absorbing layer.

<白色・蛍光染料>
本発明のエレクトロルミネッセンス素子の用途は、特に限定されるものではないが、光源としての用途を考えると、発光色は白色が好ましい。
発光色を白色とする方法としては、例えば、銅とのマンガンが付活され、焼成後に徐冷
された硫化亜鉛蛍光体のように単独で白色発光する蛍光体粒子を用いる方法や、3原色または補色関係に発光する複数の蛍光体を混合する方法が好ましい。(青−緑−赤の組み合わせや、青緑−オレンジの組み合わせなど)また、特開平7−166161号公報、特開平9−245511号公報、特開2002−62530号公報に記載の青色や青緑色発光の蛍光体と蛍光顔料や蛍光染料を用いて発光の一部を緑色や赤色に波長変換(発光)させて白色化する方法も好ましい。好ましい蛍光染料としては、ローダミン系の蛍光染料が用いられる。さらに、CIE色度座標(x,y)は、x値が0.30〜0.4の範囲で、かつy値が0.30〜0.40の範囲が好ましい。
<White / fluorescent dye>
The use of the electroluminescence element of the present invention is not particularly limited, but considering the use as a light source, the emission color is preferably white.
Examples of the method for making the emission color white include a method using phosphor particles that emit white light alone, such as a zinc sulfide phosphor that is activated by manganese with copper and gradually cooled after firing, or three primary colors or A method of mixing a plurality of phosphors that emit light in complementary colors is preferable. (Blue-green-red combination, blue-green-orange combination, etc.) Also, blue and blue-green colors described in JP-A-7-166161, JP-A-9-245511, and JP-A-2002-62530 It is also preferable to use a phosphor that emits light, a fluorescent pigment, or a fluorescent dye to convert a part of the light emission to green or red and to whiten it. As a preferred fluorescent dye, a rhodamine fluorescent dye is used. Further, the CIE chromaticity coordinates (x, y) preferably have an x value in the range of 0.30 to 0.4 and a y value in the range of 0.30 to 0.40.

<電圧と周波数>
通常分散型エレクトロルミネッセンス素子は、交流で駆動される。典型的には、100Vで50Hzから400Hzの交流電源を用いて駆動される。輝度は面積が小さい場合には、印加電圧ならびに周波数にほぼ比例して増加する。しかしながら、0.25m2以上の大面積素子の場合、素子の容量成分が増大し、素子と電源のインピーダンスマッチングがずれたり、素子への蓄電荷に必要な時定数が大きくなったりするため、高電圧化や特に高周波化しても電力供給が十分に行われない状態になりやすい。特に0.25m2以上の素子では、500Hz以上の交流駆動に対しては、しばしば駆動周波数の増大に対して印加電圧の低下がおこり、低輝度化が起こることがしばしば起こる。
これに対し本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、発光面積が0.25m2以上の大サイズでも高い周波数の駆動が、可能で、高輝度化することが出来る。その場合、500Hz以上5KHzでの駆動が好ましく、より好ましくは、800KHz以上3KHz以下の駆動が好ましい。
<Voltage and frequency>
Usually, the dispersion type electroluminescence element is driven by alternating current. Typically, it is driven using an AC power source of 50 Hz to 400 Hz at 100V. When the area is small, the luminance increases almost in proportion to the applied voltage and frequency. However, in the case of a large area element of 0.25 m 2 or more, the capacitance component of the element increases, the impedance matching between the element and the power source shifts, and the time constant required for charge storage in the element increases. Even if the voltage is increased or particularly the frequency is increased, the electric power is not sufficiently supplied. In particular, in an element of 0.25 m 2 or more, for AC driving of 500 Hz or more, the applied voltage is often lowered with an increase in driving frequency, and a reduction in luminance often occurs.
On the other hand, the electroluminescence element of the present invention can be driven at a high frequency even at a large size with a light emission area of 0.25 m 2 or more, and can have high luminance. In that case, driving at 500 Hz to 5 KHz is preferable, and driving at 800 KHz to 3 KHz is more preferable.

以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples of the present invention. In addition, the material, usage-amount, ratio, processing content, processing procedure, etc. which are shown in the following Examples can be changed suitably unless it deviates from the meaning of this invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

[実施例1]
<試料の作製>
ポリエチレンテレフタレート(PET)支持体上に、支持体側から順次、下引層、アンチハレーション層、乳剤層、および、保護層の順に塗布形成した。また、支持体の乳剤層と反対側には、バック層を塗布形成して試料を作製した。以下に各層における塗布液の調製法および塗布量を示す。
[Example 1]
<Preparation of sample>
An undercoat layer, an antihalation layer, an emulsion layer, and a protective layer were sequentially formed on a polyethylene terephthalate (PET) support in this order from the support side. A sample was prepared by coating a back layer on the opposite side of the support from the emulsion layer. The preparation method and coating amount of the coating solution in each layer are shown below.

(下引層の形成)
上記下引層は、ゼラチン50mg/m2、リチウムシリケイトを150mg/m2を含む塗布液を塗布して形成した。
(Formation of undercoat layer)
The undercoat layer gelatin 50 mg / m 2, the lithium silicate was formed by coating a coating solution containing 150 mg / m 2.

(アンチハレーション層の形成)
上記アンチハレーション層は、ゼラチン1g/m2、下記化合物AH−1を150mg
/m2を含む塗布液を塗布して形成した。
(Formation of antihalation layer)
The antihalation layer is made of gelatin 1 g / m 2 and 150 mg of the following compound AH-1.
The coating liquid containing / m 2 was applied and formed.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

(乳剤層)
各サンプルの乳剤層に対し、それに対応する乳剤を下記のように調製した。
−乳剤Aの調製−
水媒体中のAg60gに対してゼラチン7.5gを含み、球相当径平均0.05μmのヨウ化銀2モル%と臭化銀98モル%とからなる沃臭化銀粒子を含有する乳剤Aを調製した。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/0.6とし、ゼラチン種としては平均分子量2万の低分子量ゼラチンと平均分子量100,000の高分子量ゼラチンと平均分子量100,000の酸化処理ゼラチンとを混合したものを用いた。また、乳剤A中には、K3
2Br9およびK2IrCl6を添加し臭化銀粒子にRhイオン、Irイオンをドープした。さらに、乳剤Aには、Na2PdCl4を添加し、塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムとを用いて金硫黄増感を行なった。
(Emulsion layer)
For each sample emulsion layer, a corresponding emulsion was prepared as follows.
-Preparation of emulsion A-
Emulsion A containing silver iodobromide grains comprising 7.5 g of gelatin per 60 g of Ag in an aqueous medium and comprising 2 mol% of silver iodide and 98 mol% of silver bromide having an average equivalent sphere diameter of 0.05 μm Prepared. At this time, the volume ratio of Ag / gelatin is 1 / 0.6, and the gelatin species is low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 20,000, high molecular weight gelatin having an average molecular weight of 100,000, and oxidized gelatin having an average molecular weight of 100,000. A mixture was used. In emulsion A, K 3 R
h 2 Br 9 and K 2 IrCl 6 were added to the silver bromide grains to be doped with Rh ions and Ir ions. Further, Na 2 PdCl 4 was added to Emulsion A, and gold sulfur was sensitized using chloroauric acid and sodium thiosulfate.

次いで、上記乳剤Aに、増感色素として下記化合物A−1;イラジエーション防止剤として下記化合物A−2、A−3、A−4およびA−5;硬膜剤として1,2−ビス(ビニルスルホニルアセトアミド)エタン;安定剤として4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン;カブリ防止剤として1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール;界面活性剤として下記化合物A−6;および、増粘剤として下記化合物A−7を加えた。その後、乳剤Aを、アンチハレーション層上に銀の塗布量が3g/m2となる
ように塗布した(サンプルA)。
Next, to the emulsion A, the following compound A-1 as a sensitizing dye; the following compounds A-2, A-3, A-4 and A-5 as an irradiation inhibitor; 1,2-bis ( Vinylsulfonylacetamido) ethane; 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene as stabilizer; 1-phenyl-5-mercaptotetrazole as antifoggant; 6; and the following compound A-7 was added as a thickener. Thereafter, Emulsion A was coated on the antihalation layer so that the coating amount of silver was 3 g / m 2 (Sample A).

Figure 2006352073
Figure 2006352073

−乳剤Bの調製−
水媒体中のAg60gに対してゼラチン7.5gを含み、球相当径平均0.2μmの臭化銀30モル%と塩化銀70モル%とからなる、単分散立法晶塩臭化銀粒子を含有する乳剤Bをダブルジェット法により調製した。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/0.6とし、ゼラチン種としては平均分子量2万の低分子量ゼラチンと平均分子量100,000の高分子量ゼラチンと平均分子量100,000の酸化処理ゼラチンとを混合して用いた。また乳剤Bには、モル銀当り2×10-6gのヘキサブロモロジウム酸カリウム塩および3×10-5gのヘキサクロロイリジウム酸カリウム塩を添加し、塩臭化銀粒子にRhイオ
ン、Irイオンをドープした。さらに乳剤BにNa2PdCl4を添加し、塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行なった。
-Preparation of emulsion B-
Contains monodispersed cubic silver chlorobromide grains containing 7.5 g of gelatin per 60 g of Ag in an aqueous medium and consisting of 30 mol% of silver bromide and 70 mol% of silver chloride with an average sphere equivalent diameter of 0.2 μm Emulsion B was prepared by the double jet method. At this time, the volume ratio of Ag / gelatin is 1 / 0.6, and the gelatin species is low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 20,000, high molecular weight gelatin having an average molecular weight of 100,000, and oxidized gelatin having an average molecular weight of 100,000. Used as a mixture. In addition, 2 × 10 −6 g of hexabromorhodate potassium salt and 3 × 10 −5 g of hexachloroiridate potassium salt are added to emulsion B, and Rh ions and Ir ions are added to silver chlorobromide grains. Doped. Further, Na 2 PdCl 4 was added to emulsion B, and gold sulfur was sensitized with chloroauric acid and sodium thiosulfate.

次いで、上記乳剤Bに、増感色素として下記化合物B−1;イラジエーション防止剤として下記化合物B−2;硬膜剤として1,3−ジビニルスルホニル−2−プロパノール;安定剤として4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデンおよびハイドロキノン;カブリ防止剤として1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール;さらにコロイダルシリカを加えた。その後、乳剤Bを、アンチハレーション層上に銀の塗布量が5g/m2となるように塗布した(サンプルB)。 Next, to the above emulsion B, the following compound B-1 as a sensitizing dye; the following compound B-2 as an irradiation inhibitor; 1,3-divinylsulfonyl-2-propanol as a hardener; 4-hydroxy- as a stabilizer 6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene and hydroquinone; 1-phenyl-5-mercaptotetrazole as an antifoggant; and colloidal silica were further added. Thereafter, Emulsion B was coated on the antihalation layer so that the coating amount of silver was 5 g / m 2 (Sample B).

Figure 2006352073
Figure 2006352073

−乳剤Cの調製−
以下の様にして、塩化銀を70モル%含む、平均粒子サイズ0.23μmの塩沃臭化銀立方体乳剤Cを得た。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/0.6とし、ゼラチン種としては平均分子量20,000の低分子量ゼラチンと平均分子量100,000の高分子量ゼラチンと平均分子量100,000の酸化処理ゼラチンとを混合して用いた。
-Preparation of emulsion C-
A silver chloroiodobromide cubic emulsion C containing 70 mol% of silver chloride and having an average grain size of 0.23 μm was obtained as follows. At this time, the Ag / gelatin volume ratio is 1 / 0.6, and the gelatin types are low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 20,000, high molecular weight gelatin having an average molecular weight of 100,000, and oxidized gelatin having an average molecular weight of 100,000. Were used as a mixture.

下記各々の組成を混合して1〜5液を調製した。
(1液の組成)
・水 1リットル
・ゼラチン 10g
・塩化ナトリウム 2.0g
・1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
・ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 8mg
The following compositions were mixed to prepare 1 to 5 liquids.
(Composition of 1 liquid)
・ 1 liter of water ・ 10 g of gelatin
・ 2.0g sodium chloride
・ 1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
・ Sodium benzenethiosulfonate 8mg

(2液の組成)
・水 400ml
・硝酸銀 100g
(Composition of two liquids)
・ 400ml of water
・ Silver nitrate 100g

(3液の組成)
・水 400ml
・塩化ナトリウム 27.1g
・臭化カリウム 21.0g
・ヘキサクロロイリジウム(III)酸アンモニウム
(0.001%水溶液) 20ml
・ヘキサクロロジウム(III)酸カリウム(0.001%水溶液)
7ml
(Composition of 3 liquids)
・ 400ml of water
・ Sodium chloride 27.1g
・ Potassium bromide 21.0g
・ Ammonium hexachloroiridium (III) (0.001% aqueous solution) 20 ml
-Potassium hexachlorodium (III) (0.001% aqueous solution)
7ml

(4液の調製)
・水 400ml
・硝酸銀 100g
(Preparation of 4 liquids)
・ 400ml of water
・ Silver nitrate 100g

(5液の組成)
・水 400ml
・塩化ナトリウム 27.1g
・臭化カリウム 21.0g
(Composition of 5 liquids)
・ 400ml of water
・ Sodium chloride 27.1g
・ Potassium bromide 21.0g

40℃、pH4.5に保たれた上記1液に、上記2液と上記3液とを攪拌しながら同時に15分間にわたって添加し、核粒子を形成した。続いて上記4液および上記5液を15分間にわたって添加した。添加後、さらにヨウ化カリウム0.15gを加え粒子形成を終了した。   The two liquids and the three liquids were simultaneously added to the liquid 1 maintained at 40 ° C. and pH 4.5 over 15 minutes while stirring to form core particles. Subsequently, the liquid 4 and the liquid 5 were added over 15 minutes. After the addition, 0.15 g of potassium iodide was further added to complete grain formation.

次いで、常法にしたがってフロキュレーション法によって、得られた粒子を水洗し、ゼラチンを加えた。その後、pHを5.7、pAgを7.5に調整し、チオ硫酸ナトリウム1.0mgと塩化金酸4.0mgとトリフェニルホスフィンセレニド1.5mgとベンゼンチオスルホン酸ナトリウム8mgとベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム2mgとを加え、55℃で最適感度になるように化学増感を行った。さらに、安定剤として4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン100mgと、防腐剤としてフェノキシエタノールとを加え、最終的に塩化銀を70モル%含む、平均粒子サイズ0.23μmの塩沃臭化銀立方体乳剤Cを得た。   Next, the obtained particles were washed with water by a flocculation method according to a conventional method, and gelatin was added. Thereafter, the pH was adjusted to 5.7, the pAg was adjusted to 7.5, 1.0 mg of sodium thiosulfate, 4.0 mg of chloroauric acid, 1.5 mg of triphenylphosphine selenide, 8 mg of sodium benzenethiosulfonate, and benzenethiosulfine. 2 mg of sodium acid was added, and chemical sensitization was performed at 55 ° C. so as to obtain an optimum sensitivity. Furthermore, 100 mg of 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene as a stabilizer and phenoxyethanol as a preservative were added, and finally 70 mol% of silver chloride was contained. A .23 μm silver chloroiodobromide cubic emulsion C was obtained.

上記乳剤Cに、下記増感色素C(i)を2.0×10-4モル/モルAg、増感色素C(ii)を7.0×10-4モル/モルAgを加えて分光増感を施した。さらに、KBrを3.4×10-4モル/モルAg、下記化合物C−1を5.0×10-4モル/モルAg、下記化合物C−2を8.0×10-4モル/モルAg、ハイドロキノンを1.2×10-2モル/モルAg、下記化合物C−3を1.8×10-4モル/モルAg、下記化合物C−4を3.5×10-4モル/モルAg、さらにゼラチンに対して30質量%のポリエチルアクリレートラテックスと、ゼラチンに対して15質量%の粒子サイズ10mμのコロイダルシリカと、ゼラチンに対して4質量%の下記化合物C−5と、を添加して、支持体上にAg5g/m2になるように塗布した。 To emulsion C, the following sensitizing dye C (i) is added with 2.0 × 10 −4 mol / mol Ag and sensitizing dye C (ii) is added with 7.0 × 10 −4 mol / mol Ag to spectrally increase. A feeling was given. Furthermore, KBr is 3.4 × 10 −4 mol / mol Ag, the following compound C-1 is 5.0 × 10 −4 mol / mol Ag, and the following compound C-2 is 8.0 × 10 −4 mol / mol Ag. Ag, hydroquinone 1.2 × 10 −2 mol / mol Ag, the following compound C-3 1.8 × 10 −4 mol / mol Ag, and the following compound C-4 3.5 × 10 −4 mol / mol Ag, further 30% by weight of polyethyl acrylate latex with respect to gelatin, 15% by weight of colloidal silica with a particle size of 10 μm, and 4% by weight of the following compound C-5 with respect to gelatin are added. And it apply | coated so that it might become Ag5g / m < 2 > on a support body.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

−乳剤Dの調製−
以下の様にして、平均粒子サイズ0.16μmの塩化銀立方体乳剤DaおよびDbを得た。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/0.6とし、ゼラチン種としては平均分子量20,000の低分子量ゼラチンと平均分子量100,000の高分子量ゼラチンと平均分子量100,000の酸化処理ゼラチンとを混合して用いた。
-Preparation of emulsion D-
Silver chloride cubic emulsions Da and Db having an average grain size of 0.16 μm were obtained as follows. At this time, the Ag / gelatin volume ratio is 1 / 0.6, and the gelatin types are low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 20,000, high molecular weight gelatin having an average molecular weight of 100,000, and oxidized gelatin having an average molecular weight of 100,000. Were used as a mixture.

乳剤Daの調製
40℃に保った塩化ナトリウムと、銀1モル当たり3×10-5モルのベンゼンチオスルホン酸ナトリウムと、5×10-3モルの4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデンとを含むpH=2.0の1.5%ゼラチン水溶液中に、硝酸銀水溶液と、銀1モル当たり5×10-5モルのK2[Ru(NO)Cl5]を含む塩化ナトリウム水溶液と、をダブルジェット法により電位95mvにおいて3分30秒間で最終粒子の銀量の半分を同時添加し、芯部の粒子を平均粒子径0.12μmに調整した。その後、硝酸銀水溶液と銀1モル当たり5×10-5モルのK2[Ru(NO)Cl5]を含む塩化ナトリウム水溶液とを前述と同様に、7分間で添加し、平均粒子0.16μmの塩化銀立方体粒子を形成した(変動係数12%)。
その後、当業界でよく知られたフロキュレーション法により水洗し、可溶性塩を除去したのちゼラチンを加え、防腐剤として化合物D−1とフェノキシエタノールを銀1モル当たり各60mg添加後、pH=5.1、pAg=7.5に調整し、さらに銀1モル当たり、1×10-5モルのチオ硫酸ナトリウム、1×10-5モルのセレン増感剤SE−4と4×10-5モルの塩化金酸とを加えた後60℃で60分間加熱し、化学増感を施した。その後、安定剤として4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデンを銀1モル当たり2×10-3モル添加し、pHを5.7に調整した(最終粒子として、pH=5.7、pAg=7.5、Ru=5×10-5モル/Agモルとなった。)
Preparation of Emulsion Da Sodium chloride kept at 40 ° C., 3 × 10 −5 mol sodium benzenethiosulfonate per mol silver, 5 × 10 −3 mol 4-hydroxy-6-methyl-1,3 In a 1.5% gelatin aqueous solution containing 3a, 7-tetrazaindene and having a pH of 2.0, an aqueous silver nitrate solution and 5 × 10 −5 mol of K 2 [Ru (NO) Cl 5 ] per mol of silver A half-silver amount of the final particles was simultaneously added to a sodium chloride aqueous solution containing a silver particle at a potential of 95 mV for 3 minutes and 30 seconds by a double jet method to adjust the core particles to an average particle size of 0.12 μm. Thereafter, an aqueous silver nitrate solution and an aqueous sodium chloride solution containing 5 × 10 −5 moles of K 2 [Ru (NO) Cl 5 ] per mole of silver were added in the same manner as described above over 7 minutes, and an average particle size of 0.16 μm was added. Silver chloride cubic grains were formed (variation coefficient 12%).
Thereafter, it is washed with water by a well-known flocculation method to remove soluble salts, gelatin is added, and after adding 60 mg each of Compound D-1 and phenoxyethanol as preservatives per mol of silver, pH = 5. 1, adjusted to pAg = 7.5, and further 1 × 10 −5 mol of sodium thiosulfate, 1 × 10 −5 mol of selenium sensitizer SE-4 and 4 × 10 −5 mol of silver per mol of silver After adding chloroauric acid, it was heated at 60 ° C. for 60 minutes for chemical sensitization. Thereafter, 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene was added as a stabilizer at 2 × 10 −3 mol per mol of silver, and the pH was adjusted to 5.7 (as final particles). PH = 5.7, pAg = 7.5, Ru = 5 × 10 −5 mol / Ag mol.)

乳剤Dbの調製
乳剤Dbは、K2[Ru(NO)Cl5]の添加量が3×10-5モル/Agモル以外は乳剤aと同様に作製した。
Preparation of Emulsion Db Emulsion Db was prepared in the same manner as Emulsion a except that the amount of K 2 [Ru (NO) Cl 5 ] added was 3 × 10 −5 mol / Ag mol.

上記乳剤DaおよびDbに下記化合物を添加し、支持体上に乳剤Daが乳剤上層、乳剤Dbが乳剤下層となるようにハロゲン化銀乳剤層を重層塗布した。塗布銀量は乳剤上層/乳剤下層=2.8/2.3g/m2となるように塗布した。 The following compounds were added to the emulsions Da and Db, and a silver halide emulsion layer was coated on the support so that the emulsion Da was the upper layer of the emulsion and the emulsion Db was the lower layer of the emulsion. The amount of silver applied was such that the upper layer of emulsion / lower layer of emulsion = 2.8 / 2.3 g / m 2 .

乳剤層塗布液(各化合物の塗布量は乳剤上層と下層との合計)
1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール 10mg/m2
3−(5−メルカプトテトラゾール)−ベンゼンスルホン酸ナトリウム
11mg/m2
N−オレイル−N−メチルタウリンナトリウム塩 19mg/m2
化合物D−2 20mg/m2
化合物D−3 20mg/m2
化合物D−4 13mg/m2
化合物D−5 15mg/m2
化合物D−6 70mg/m2
アスコルビン酸 1mg/m2
酢酸 膜面pHが5.2〜6.0になる量
化合物D−7 1g/m2
リボラン−1400(ライオン油脂製) 50mg/m2
化合物D−8(硬膜剤) 水での膨潤率が80%になる量
(pH=5.6に調整した)
Emulsion layer coating solution (the coating amount of each compound is the total of the upper and lower layers of the emulsion)
1-phenyl-5-mercaptotetrazole 10 mg / m 2
3- (5-Mercaptotetrazole) -benzenesulfonic acid sodium salt
11 mg / m 2
N-oleyl-N-methyltaurine sodium salt 19 mg / m 2
Compound D-2 20 mg / m 2
Compound D-3 20 mg / m 2
Compound D-4 13 mg / m 2
Compound D-5 15 mg / m 2
Compound D-6 70 mg / m 2
Ascorbic acid 1mg / m 2
Amount of acetic acid membrane surface pH of 5.2 to 6.0 Compound D-7 1 g / m 2
Ribolan-1400 (made by Lion Oil) 50 mg / m 2
Compound D-8 (hardener) An amount that causes a swelling ratio in water of 80% (pH adjusted to 5.6)

Figure 2006352073
Figure 2006352073

−乳剤Eの調製−
以下の様にして、塩化銀を70モル%含む、平均粒子サイズ0.22μmの塩沃臭化銀立方体乳剤Eを得た。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/0.6とし、ゼラチン種としては平均分子量20,000の低分子量ゼラチンと平均分子量100,000の高分子量ゼラチンと平均分子量100,000の酸化処理ゼラチンとを混合して用いた。
-Preparation of Emulsion E-
A silver chloroiodobromide cubic emulsion E containing 70 mol% of silver chloride and having an average grain size of 0.22 μm was obtained as follows. At this time, the Ag / gelatin volume ratio is 1 / 0.6, and the gelatin types are low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 20,000, high molecular weight gelatin having an average molecular weight of 100,000, and oxidized gelatin having an average molecular weight of 100,000. Were used as a mixture.

下記各々の組成を混合して1〜5液を調製した。
(1液の組成)
・水 1リットル
・ゼラチン 10g
・塩化ナトリウム 1.5g
・1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
・ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 8mg
The following compositions were mixed to prepare 1 to 5 liquids.
(Composition of 1 liquid)
・ 1 liter of water ・ 10 g of gelatin
・ 1.5g sodium chloride
・ 1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
・ Sodium benzenethiosulfonate 8mg

(2液の組成)
・水 400ml
・硝酸銀 100g
(Composition of two liquids)
・ 400ml of water
・ Silver nitrate 100g

(3液の組成)
・水 400ml
・塩化ナトリウム 27.1g
・臭化カリウム 21.0g
・ヘキサクロロイリジウム(III)酸
アンモニウム(0.001%水溶液) 20ml
・ヘキサクロロジウム(III)酸
カリウム(0.001%水溶液) 60ml
(Composition of 3 liquids)
・ 400ml of water
・ Sodium chloride 27.1g
・ Potassium bromide 21.0g
・ Ammonium hexachloroiridium (III) (0.001% aqueous solution) 20 ml
-Potassium hexachlorodium (III) (0.001% aqueous solution) 60 ml

(4液の組成)
・水 400ml
・硝酸銀 100g
(Composition of 4 liquids)
・ 400ml of water
・ Silver nitrate 100g

(5液の組成)
・水 400ml
・塩化ナトリウム 27.1g
・臭化カリウム 21.0g
(Composition of 5 liquids)
・ 400ml of water
・ Sodium chloride 27.1g
・ Potassium bromide 21.0g

37℃、pH4.5に保たれた上記1液に上記2液と上記3液を攪拌しながら同時に15分間にわたって加え、核粒子を形成した。続いて上記4液、上記5液を15分間にわたって加えた。さらにヨウ化カリウム0.15gを加え粒子形成を終了した。   The two liquids and the three liquids were simultaneously added to the above liquid 1 maintained at 37 ° C. and pH 4.5 with stirring for 15 minutes to form core particles. Subsequently, the above 4 liquid and 5 liquid were added over 15 minutes. Further, 0.15 g of potassium iodide was added to complete the grain formation.

その後、常法にしたがってフロキュレーション法によって水洗し、ゼラチンを加えた。pHを5.7、pAgを7.5に調整し、チオ硫酸ナトリウム1.0mgと塩化金酸4.0mgとトリフェニルホスフィンセレニド1.5mgとベンゼンチオスルホン酸ナトリウム8mgとベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム2mgとを加え、55℃で最適感度になるように化学増感した。さらに安定剤として、4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン100mgと、防腐剤として、フェノキシエタノールとを加え、最終的に塩化銀を70モル%含む、平均粒子サイズ0.22μmの塩沃臭化銀立方体乳剤Eを得た。   Then, it was washed with water by a flocculation method according to a conventional method, and gelatin was added. Adjust pH to 5.7, pAg to 7.5, 1.0 mg of sodium thiosulfate, 4.0 mg of chloroauric acid, 1.5 mg of triphenylphosphine selenide, 8 mg of sodium benzenethiosulfonate and sodium benzenethiosulfinate 2 mg was added and chemically sensitized for optimum sensitivity at 55 ° C. Furthermore, 100 mg of 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene as a stabilizer and phenoxyethanol as a preservative are added, and finally contain 70 mol% of silver chloride. A 0.22 μm silver chloroiodobromide cubic emulsion E was obtained.

乳剤Eに下記増感色素E(i)を6mg/m2、下記増感色素E(ii)を10mg/m2を加えて分光増感を施した。さらに、KBrを17mg/m2、下記化合物E−1を2m
g/m2、下記化合物E−2を1mg/m2、下記化合物E−3を5mg/m2、ハイドロ
キノンを100mg/m2、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムを8mg/m2、ポリスチレンスルホン酸カリウムを80mg/m2、ポリエチルアクリレートの分散物を40
mg/m2、下記化合物E−4を7mg/m2、下記化合物E−5で示されるアクリルアミド誘導体を1g/m2、下記化合物E−6を20mg/m2、1,5−ジヒドロキシ−2−ベンズアルドキシムを4mg/m2、硬膜剤として1,3−ジビニルスルホニル−2−プ
ロパノールを200mg/m2になるように加えて、支持体上にAg5.0g/m2になるように塗布した。
Emulsion E was spectrally sensitized by adding 6 mg / m 2 of the following sensitizing dye E (i) and 10 mg / m 2 of the following sensitizing dye E (ii). Furthermore, KBr was 17 mg / m 2 , and the following compound E-1 was 2 m
g / m 2, the following compound E-2 to 1 mg / m 2, the following compound E-3 to 5 mg / m 2, hydroquinone 100 mg / m 2, sodium dodecylbenzenesulfonate and 8 mg / m 2, potassium polystyrene sulfonate 80 mg / m 2 , 40 dispersions of polyethyl acrylate
mg / m 2, the following compound E-4 to 7 mg / m 2, the acrylamide derivative 1 g / m 2 represented by the following compound E-5, the following compound E-6 to 20mg / m 2, 1,5- dihydroxy -2 Add benzaldoxime to 4 mg / m 2 and 1,3-divinylsulfonyl-2-propanol as hardener to 200 mg / m 2 so that Ag is 5.0 g / m 2 on the support. Applied.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

(保護層)
乳剤層の上に下記のようにして保護層を設けた。
ゼラチン0.3mg/m2、ジメチルポリシロキサン0.6mg/m2、1,5−ジヒドロキシ−2−ベンズアルドキシムを7mg/m2、平均粒子サイズ約3.5μmの不定形
シリカマット剤を70mg/m2、下記化合物PC−1で示されるフッ素系界面活性剤を
5mg/m2、下記化合物PC−2を40mg/m2に塗布されるように添加し塗布した。
(Protective layer)
A protective layer was provided on the emulsion layer as follows.
Gelatin 0.3 mg / m 2, dimethylpolysiloxane 0.6mg / m 2, 1,5- dihydroxy-2-benzaldoxime a 7 mg / m 2, an average particle size of about 3.5μm to amorphous silica matting agent 70mg / M 2 , a fluorosurfactant represented by the following compound PC-1 was added to 5 mg / m 2 , and the following compound PC- 2 was applied to 40 mg / m 2 for coating.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

(バック層)
下記組成のバッキング液を調製し、支持体の乳剤層と反対側に塗布量が15ml/m2
になるように塗布した。
〔組成〕
・バインダー(下記化合物BC−1) 30g
・染料(下記化合物BC−2) 5g
・染料(下記化合物BC−3) 5g
・染料(下記化合物BC−4) 6g
・染料(下記化合物BC−5) 1.2g
・エタノール 420ml
・メタノール 550ml
(Back layer)
A backing solution having the following composition was prepared, and the coating amount was 15 ml / m 2 on the opposite side of the support from the emulsion layer.
It applied so that it might become.
〔composition〕
-Binder (compound BC-1 below) 30g
-Dye (compound BC-2 below) 5g
・ Dye (the following compound BC-3) 5g
・ Dye (the following compound BC-4) 6g
-Dye (compound BC-5 below) 1.2g
・ 420 ml of ethanol
・ Methanol 550ml

Figure 2006352073
Figure 2006352073

(露光・現像処理)
<処理薬品の調製>
試料を処理する現像液、および定着液の処方を下記に示す。
(Exposure and development processing)
<Preparation of treatment chemical>
Formulas for the developer for processing the sample and the fixing solution are shown below.

(現像液−1)
ハイドロキノン 5g
N−メチルーp−アミノフェノール1/2 硫酸塩 1g
無水亜硫酸ナトリウム 50g
水酸化カリウム 20g
臭化カリウム 0.5g
上記組成に水を加えて1リットルとし、水酸化カリウムでpHを11.2に調整した。
(Developer-1)
Hydroquinone 5g
1g of N-methyl-p-aminophenol 1/2 sulfate
Anhydrous sodium sulfite 50g
Potassium hydroxide 20g
Potassium bromide 0.5g
Water was added to the above composition to 1 liter, and the pH was adjusted to 11.2 with potassium hydroxide.

(現像液−2)
ハイドロキノン 20g
亜硫酸カリウム 5g
エチレンジアミン四酢酸ナトリウム 1g
炭酸カリウム 35g
炭酸ナトリウム 15g
臭化カリウム 3g
5−ニトロインダゾール 4mg
トリエチレングリコール 30g
ジエタノールアミン 20g
ホルマリン重亜硫酸ナトリウム付加物 50g
ポリエチレングリコール(平均分子量1500) 0.2g
上記組成に水を加えて1リットルとし、水酸化ナトリウムでpHを10.2に調整した。
(Developer-2)
Hydroquinone 20g
Potassium sulfite 5g
Ethylenediaminetetraacetic acid sodium salt 1g
Potassium carbonate 35g
Sodium carbonate 15g
Potassium bromide 3g
5-Nitroindazole 4mg
30 g of triethylene glycol
Diethanolamine 20g
Formalin sodium bisulfite adduct 50g
Polyethylene glycol (average molecular weight 1500) 0.2g
Water was added to the above composition to 1 liter, and the pH was adjusted to 10.2 with sodium hydroxide.

(現像液−3)
水酸化カリウム 35g
ジエチレントリアミンー 五酢酸 2g
メタ重亜硫酸ナトリウム 40g
炭酸カリウム 40g
臭化カリウム 3g
5−メチルベンゾトリアゾール 0.08g
2,3,5,6,7,8−ヘキサヒドロ−2−
チオキソ−4−(1H)−キナゾリノン 0.04g
2−メルカプトベンツイミダゾール−5−
スルホン酸ナトリウム 0.15g
ハイドロキノン 25g
4−ヒドロキシメチル−4−メチル−1−
フェニル−3−ピラゾリドン 0.45g
エリソルビン酸ナトリウム 3g
ジエチレングリコール 20g
上記組成に水を加えて1リットルとし、水酸化カリウムでpHを10.45に調整した。
(Developer-3)
Potassium hydroxide 35g
Diethylenetriamine-pentaacetic acid 2g
Sodium metabisulfite 40g
40g potassium carbonate
Potassium bromide 3g
5-methylbenzotriazole 0.08g
2,3,5,6,7,8-hexahydro-2-
Thioxo-4- (1H) -quinazolinone 0.04 g
2-mercaptobenzimidazole-5-
Sodium sulfonate 0.15g
Hydroquinone 25g
4-hydroxymethyl-4-methyl-1-
Phenyl-3-pyrazolidone 0.45g
Sodium erythorbate 3g
Diethylene glycol 20g
Water was added to the above composition to 1 liter, and the pH was adjusted to 10.45 with potassium hydroxide.

(定着液)
チオ硫酸アンモニウム 359g
エチレンジアミン四酢酸 2Na 2水塩 0.09g
チオ硫酸ナトリウム 5水塩 32.8g
亜硫酸ナトリウム 64.8g
水酸化ナトリウム 38.2g
氷酢酸 87.3g
酒石酸 8.76g
グルコン酸ナトリウム 6.6g
硫酸アルミニウム 25.3g
上記組成に水を加えて3リットルとし、硫酸または水酸化カリウムでpHを4.85に調整した。
(Fixing solution)
359 g ammonium thiosulfate
Ethylenediaminetetraacetic acid 2Na dihydrate 0.09g
Sodium thiosulfate pentahydrate 32.8g
Sodium sulfite 64.8g
Sodium hydroxide 38.2g
Glacial acetic acid 87.3g
Tartaric acid 8.76g
Sodium gluconate 6.6g
Aluminum sulfate 25.3g
Water was added to the above composition to make 3 liters, and the pH was adjusted to 4.85 with sulfuric acid or potassium hydroxide.

乾燥させた塗布膜にライン/スペース=5μm/195μmの現像銀像を与えうる格子状のフォトマスク(ライン/スペース=195μm/5μm(ピッチ200μm)の、スペースが格子状であるフォトマスク)を介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光、上記の現像液で現像し、定着液(CN16X用N3X−R:富士写真フィルム社製)または上記の定着液で処理して現像処理を行った後、純水でリンスした。   Via a lattice-shaped photomask (line / space = 195 μm / 5 μm (pitch: 200 μm), space is a lattice-shaped photomask) capable of giving a developed silver image of line / space = 5 μm / 195 μm to the dried coating film Exposure using parallel light using a high-pressure mercury lamp as a light source, developing with the above developer, and processing with a fixer (N3X-R for CN16X: manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) or the above fixer After performing, it rinsed with the pure water.

(メッキ処理)
さらに、銅メッキ液(硫酸銅0.06モル/L,ホルマリン0.22モル/L,トリエタノールアミン0.12モル/L,ポリエチレングリコール100ppm、黄血塩50ppm、α、α’−ビピリジン20ppmを含有する、pH=12.5の無電解Cuメッキ液)を用い、35℃にて無電解銅メッキ処理を行った後、10ppmのFe(III)イオンを含有する水溶液で酸化処理を行ない、本発明のサンプルA,Bを得た。
(Plating treatment)
Further, a copper plating solution (copper sulfate 0.06 mol / L, formalin 0.22 mol / L, triethanolamine 0.12 mol / L, polyethylene glycol 100 ppm, yellow blood salt 50 ppm, α, α′-bipyridine 20 ppm Containing, electroless copper plating treatment at 35 ° C. using an electroless Cu plating solution of pH = 12.5), followed by oxidation treatment with an aqueous solution containing 10 ppm of Fe (III) ions. Samples A and B of the invention were obtained.

また、従来知られている中で最も導電性が高く且つ光透過性の高い技術と比較すべく、前述の背景技術欄の「(3)フォトグラフィー法を利用したエッチング加工メッシュ」の代表として、特開平10−41682号記載の金属メッシュ(比較サンプルA)の作製を行った。
この比較サンプルAは特開平10−41682号公報の実施例1と同様の実験を行って作製した。尚、本発明のサンプルとメッシュ形状(線幅、ピッチ)を一致させる為に、上記と同じピッチ200μmのフォトマスクを利用した。
In addition, as a representative of “(3) Etching mesh using photographic method” in the background art section described above, in order to compare with the conventionally known high conductivity and high light transmission technology, A metal mesh (Comparative Sample A) described in JP-A-10-41682 was prepared.
This comparative sample A was produced by conducting the same experiment as in Example 1 of JP-A-10-41682. In order to match the sample of the present invention with the mesh shape (line width, pitch), a photomask having the same pitch of 200 μm as described above was used.

(評価)
このようにして得られた、導電性金属部と光透過性部とを有する各サンプルの導電性金属部の線幅を測定して開口率を求め、表面抵抗値を測定した。
また、金属細線メッシュがディスプレイ画像を視認する際の悪影響となるか判断する為に以下のような評価を行った。
(Evaluation)
The line width of the conductive metal portion of each sample having the conductive metal portion and the light transmissive portion thus obtained was measured to determine the aperture ratio, and the surface resistance value was measured.
In addition, the following evaluation was performed in order to determine whether the metal fine wire mesh would have an adverse effect when viewing the display image.

(表面抵抗率評価)
各試料によって作成した導電性膜aの表面抵抗率を、三菱化学(株)低抵抗率計ロレスターGP/ASPプローブを用いて、JIS7194に従い測定した。
(モアレ評価)
日立製PDPおよび松下電器製PDP前面に、モアレが最小のバイアス角度で電磁波シールド膜を設置し、目視による官能評価を行った。PDPに正対して観察すると共に、PDPに対して視点を様々な位置に置いてPDP画像表示面に対して斜め方向から観察を行った。いずれのモアレも顕在化しなかった場合を「○」と評価し、モアレが顕在化したサンプルを「×」と評価した。
(Surface resistivity evaluation)
The surface resistivity of the conductive film a prepared by each sample was measured according to JIS7194 using a Mitsubishi Chemical Corporation low resistivity meter Lorester GP / ASP probe.
(Moire evaluation)
An electromagnetic wave shielding film was installed on the front surface of the Hitachi PDP and the Matsushita Electric PDP at a bias angle with a minimum moire, and visual sensory evaluation was performed. While observing directly against the PDP, the viewpoint was placed at various positions with respect to the PDP, and the PDP image display surface was observed from an oblique direction. The case where none of the moiré was revealed was evaluated as “◯”, and the sample where the moiré was manifested was evaluated as “x”.

(メッシュ細線の交点部の形状観察)
光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡で観察・写真撮影して、メッシュをなす金属細線の交差する交点部の形状を観察した。交点部の線幅が直線部分の線幅の1.5倍未満の場合、交点の太りの問題がないものを「○」と評価し、1.5倍以上の太りの問題があった場
合を「×」と評価した。
(Observation of shape of intersection of fine mesh wire)
Observation and photography were performed with an optical microscope and a scanning electron microscope, and the shape of the intersecting portion of the metal fine wires forming the mesh was observed. If the line width of the intersection is less than 1.5 times the line width of the straight line part, evaluate the case where there is no problem of the thickness of the intersection as “○”, and if there is a problem of weight more than 1.5 times Evaluated as “x”.

(金属部の色)
メッシュの金属部分の色を目視評価し、黒色のものを「○」、褐色のものを「×」とした。
(面内均一性)
各試料によって作成した導電性パターンの均一性を、目視にて観察し評価を行なった。
これは、導電性膜単体で評価し、また、モアレ評価同様PDPに装着して評価した。
評価結果を、比較例のデータと共に下表に示す。
尚、サンプルAは、乳剤Aを用いて作製し、サンプルBは乳剤Bを用いて作製した。
(Metal part color)
The color of the metal part of the mesh was visually evaluated, and the black one was “◯” and the brown one was “x”.
(In-plane uniformity)
The uniformity of the conductive pattern created by each sample was visually observed and evaluated.
This was evaluated by a single conductive film, and was evaluated by mounting on a PDP as in the moire evaluation.
The evaluation results are shown in the table below together with the data of the comparative example.
Sample A was prepared using Emulsion A, and Sample B was prepared using Emulsion B.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

表1から、比較サンプルAの透光性導電膜と、本発明のサンプルとを比べると、開口率と表面抵抗は同等であり、どちらも同じレベルの光透過性と導電性(電磁波シールド能)とを有していることが判る。但し、PDP画像の画質(モアレ)の観点に目を向けると、比較サンプルAではモアレが発生したのに対し、本発明のサンプルではその問題が生じないことが判った。また、比較サンプルAは金属部が褐色であるのに対し、本発明サンプルは黒色であり、ディスプレイ映像のコントラストの観点から優れていた。
尚、メッシュの交点部の形態を観察した処、銅箔をエッチングした比較サンプルAでは交点が直線部分よりも太い形状であったのに対し、本発明のサンプルでは交点部の太りが見られなかった。上記モアレの有無はこの交点の形状の違いから生じていると推定される。
尚、上記と同様にして、乳剤Dを用いて本発明サンプルDを作製し、乳剤Eを用いて本発明サンプルEを作製して同様の実験を行ったところ、上記と同様、本発明サンプルがモアレ、黒色度に優れる結果を得た。
また、面内の導電性パターンの均一性に関しても本発明サンプルは、ムラが殆ど見られないか、認められても許容レベルであり、ディスプレイ用電磁波シールド膜として好適に利用できる。
From Table 1, when comparing the translucent conductive film of Comparative Sample A and the sample of the present invention, the aperture ratio and the surface resistance are the same, both of which have the same level of light transmittance and conductivity (electromagnetic wave shielding ability). It can be seen that However, from the viewpoint of the image quality (moire) of the PDP image, it was found that moire was generated in the comparative sample A, but the problem did not occur in the sample of the present invention. In addition, the comparative sample A has a brown metal part, whereas the sample of the present invention is black, which is excellent from the viewpoint of the contrast of the display image.
In addition, when the form of the intersection part of the mesh was observed, in the comparative sample A in which the copper foil was etched, the intersection point was thicker than the straight part, whereas in the sample of the present invention, the intersection part was not thickened. It was. The presence or absence of the moire is presumed to be caused by the difference in the shape of the intersection.
In the same manner as above, Sample D of the present invention was prepared using Emulsion D, Sample E of the present invention was prepared using Emulsion E, and the same experiment was conducted. Excellent results in moire and blackness were obtained.
Further, regarding the uniformity of the in-plane conductive pattern, the sample of the present invention shows almost no unevenness or is permissible even when recognized, and can be suitably used as an electromagnetic shielding film for displays.

〔実施例2〕
(乳剤2Aの調整)
・1液:
水 750ml
ゼラチン 20g
塩化ナトリウム 1.6g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
・2液
水 300ml
硝酸銀 150g
・3液
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl 20%水溶液) 7ml
3液に用いるヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液)および
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl20%水溶液)は、粉末をそれぞれKCl 20%水溶液、NaCl20%水溶液に溶解し、40℃で120分間加熱して調製した。
[Example 2]
(Adjustment of emulsion 2A)
・ 1 liquid:
750ml water
20g gelatin
Sodium chloride 1.6g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
・ Two liquids 300ml
150 g silver nitrate
・ 3 liquid water 300ml
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium (0.005% KCl 20% aqueous solution) 5ml
Ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7ml
Potassium hexachloroiridium (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) and ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) used in the three liquids were dissolved in KCl 20% aqueous solution and NaCl 20% aqueous solution, respectively. And heated for 120 minutes.

38℃、pH4.5に保たれた1液に、2液と3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.15μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、2液と3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.18μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。
・4液
水 100ml
硝酸銀 50g
・5液
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
To 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, 90% of the 2 and 3 liquids were simultaneously added over 20 minutes with stirring to form 0.15 μm core particles. Subsequently, the following 4th and 5th liquids were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the 2nd and 3rd liquids were added over 2 minutes to grow to 0.18 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.
・ 4 liquid water 100ml
Silver nitrate 50g
・ 5 liquid 100ml
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法にしたがってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、下記に示すアニオン性沈降剤−1を3g加え、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた。(pH3.2±0.2の範囲であった)次に上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度上澄み液を3リットル除去した(第二水洗)。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返し(第三水洗)て水洗・脱塩行程を終了した。水洗・脱塩後の乳剤にゼラチン8gを加え、pH5.6、pAg7.5に調整し、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、Cpx−Ox−1 1mg、Cpd−Ox−2 0.5mg、チオ硫酸ナトリウム15mgと塩化金酸10mgを加え55℃にて最適感度を得るように化学増感を施し、安定剤として1,3,3a,7-テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に塩化銀を70モル%、沃化銀を0.08モル%含む平均粒子径0.18μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。(最終的に乳剤として、pH=5.7、pAg=7.5、電導度=60μS/m、密度=1.28
×103kg/m3、粘度=60mPa・sとなった。)
Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C., 3 g of anionic precipitation agent-1 shown below was added, and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide was precipitated. Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water wash). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process. 8g of gelatin was added to the emulsion after washing and desalting, adjusted to pH 5.6, pAg 7.5, sodium benzenethiosulfonate 10mg, sodium benzenethiosulfinate 3mg, Cpx-Ox-1 1mg, Cpd-Ox-2 0.5mg, sodium thiosulfate 15mg and chloroauric acid 10mg are added, and chemical sensitization is performed to obtain the optimum sensitivity at 55 ° C. 1,3,3a, 7-tetraazaindene 100mg as a stabilizer and proxel as a preservative (Product name, manufactured by ICI Co., Ltd.) 100 mg was added. Finally, a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion containing 70 mol% of silver chloride and 0.08 mol% of silver iodide and having an average grain size of 0.18 μm and a coefficient of variation of 9% was obtained. (Finally, as an emulsion, pH = 5.7, pAg = 7.5, conductivity = 60 μS / m, density = 1.28)
× 10 3 kg / m 3 , viscosity = 60 mPa · s. )

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

(塗布試料1−1の作製)
下記に示す両面が塩化ビニリデンを含む防湿層下塗りからなるポリエチレンテレフタレートフィルム支持体上に、UL層/乳剤層の構成となるように塗布して試料1−1を作成した。以下に各層の調製方法、塗布量および塗布方法を示す。
<乳剤層>
乳剤2Aに増感色素(sd-1)5.7×10-4モル/モルAgを加えて分光増感を施した。さ
らにKBr3.4×10-4モル/モルAg、化合物(Cpd-3)8.0×10-4モル/モルAgを加え
、良く混合した。
次いで1,3,3a,7-テトラアザインデン1.2×10-4モル/モルAg、ハイドロキノン1.2×10-2モル/モルAg、クエン酸3.0×10-4モル/モルAg、界面活性剤(Sa-1)、(Sa-2)、(Sa-3)を各々塗布量60mg/m2、40mg/m2、2mg/m2になる量添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整した。このようにして調製した乳剤層塗布液を下記支持体上にAg7.6g
/m2、ゼラチン1.1g/m2になるように塗布した。
(Preparation of coated sample 1-1)
A sample 1-1 was prepared by coating on a polyethylene terephthalate film support comprising a moisture-proof undercoat containing vinylidene chloride on both sides as shown below so as to have a UL layer / emulsion layer configuration. The preparation method, coating amount and coating method of each layer are shown below.
<Emulsion layer>
The emulsion 2A was subjected to spectral sensitization by adding sensitizing dye (sd-1) 5.7 × 10 −4 mol / mol Ag. Further, KBr 3.4 × 10 −4 mol / mol Ag and compound (Cpd-3) 8.0 × 10 −4 mol / mol Ag were added and mixed well.
Then, 1,3,3a, 7-tetraazaindene 1.2 × 10 −4 mol / mol Ag, hydroquinone 1.2 × 10 −2 mol / mol Ag, citric acid 3.0 × 10 −4 mol / mol Ag, surfactant (Sa -1), (Sa-2), and (Sa-3) were added in amounts of 60 mg / m 2 , 40 mg / m 2 and 2 mg / m 2 respectively, and the pH of the coating solution was adjusted to 5.6 using citric acid. It was adjusted. The emulsion layer coating solution prepared in this way was placed on the following support with 7.6 g of Ag.
/ M 2 , and gelatin was applied at 1.1 g / m 2 .

<UL層>
ゼラチン 0.23g/m2
化合物(Cpd-7) 40mg/m2
化合物(Cpd-14) 10mg/m2
防腐剤(プロキセル) 1.5mg/m2
<UL layer>
Gelatin 0.23 g / m 2
Compound (Cpd-7) 40mg / m 2
Compound (Cpd-14) 10mg / m 2
Preservative (Proxel) 1.5mg / m 2

なお、各層の塗布液は、下記構造(Z)で表される増粘剤を加え、粘度調整した。   In addition, the coating liquid of each layer added the thickener represented by the following structure (Z), and adjusted the viscosity.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

なお、本発明で使用したサンプルは下記組成のバック層および導電層を有する。
<バック層>
ゼラチン 3.3g/m2
化合物(Cpd-15) 40mg/m2
化合物(Cpd-16) 20mg/m2
化合物(Cpd-17) 90mg/m2
化合物(Cpd-18) 40mg/m2
化合物(Cpd-19) 26mg/m2
1,3−ジビニルスルホニル−2−プロパノール 60mg/m2
ポリメチルメタクリレート微粒子(平均粒径6.5μm ) 30mg/m2
流動パラフィン 78mg/m2
化合物(Cpd-7) 120mg/m2
硝酸カルシウム 20mg/m2
防腐剤(プロキセル) 12mg/m2
The sample used in the present invention has a back layer and a conductive layer having the following composition.
<Back layer>
Gelatin 3.3 g / m 2
Compound (Cpd-15) 40mg / m 2
Compound (Cpd-16) 20mg / m 2
Compound (Cpd-17) 90mg / m 2
Compound (Cpd-18) 40mg / m 2
Compound (Cpd-19) 26mg / m 2
1,3-divinylsulfonyl-2-propanol 60 mg / m 2
Polymethyl methacrylate fine particles (average particle size 6.5 μm) 30 mg / m 2
Liquid paraffin 78mg / m 2
Compound (Cpd-7) 120mg / m 2
Calcium nitrate 20mg / m 2
Preservative (Proxel) 12mg / m 2

<導電層>
ゼラチン 0.1g/m2
ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム 20mg/m2
SnO2 /Sb(9/1質量比、平均粒子径0.25μ) 200mg/m2
防腐剤(プロキセル) 0.3mg/m2
<Conductive layer>
Gelatin 0.1 g / m 2
Sodium dodecylbenzenesulfonate 20mg / m 2
SnO 2 / Sb (9/1 mass ratio, average particle diameter 0.25 μ) 200 mg / m 2
Preservative (Proxel) 0.3mg / m 2

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

Figure 2006352073
Figure 2006352073

<支持体>
二軸延伸したポリエチレンテレフタレート支持体(厚味100μm)の両面の下記組成の下塗層第1層及び第2層を塗布した。
<Support>
Undercoat layers of the following composition on both sides of a biaxially stretched polyethylene terephthalate support (thickness: 100 μm) were coated with a first layer and a second layer.

<下塗層1層>
コア−シェル型塩化ビニリデン共重合体(1) 15g
2,4−ジクロル−6−ヒドロキシ−s−トリアジン 0.25g
ポリスチレン微粒子(平均粒径3μ) 0.05g
化合物(Cpd-20) 0.20g
コロイダルシリカ(スノーテックスZL:粒径70〜 100μm日産化学(株)製)
0.12g
水を加えて 100g
さらに、10質量%のKOHを加え、pH=6に調整した塗布液を乾燥温度180℃2
分間で、乾燥膜厚が0.9μmになる様に塗布した。
<Undercoat layer 1>
Core-shell type vinylidene chloride copolymer (1) 15 g
2,4-dichloro-6-hydroxy-s-triazine 0.25 g
Polystyrene fine particles (average particle size 3μ) 0.05g
Compound (Cpd-20) 0.20g
Colloidal silica (Snowtex ZL: particle size 70-100 μm, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.)
0.12g
100g with water
Further, 10% by mass of KOH was added and the coating solution adjusted to pH = 6 was dried at a temperature of 180 ° C.
It was applied so that the dry film thickness became 0.9 μm per minute.

<下塗層第2層>
ゼラチン 1g
メチルセルロース 0.05g
化合物(Cpd-21) 0.02g
C12H25O(CH2CH2O)10H 0.03g
プロキセル 3.5×10-3
酢酸 0.2g
水を加えて 100g
この塗布液を乾燥温度170℃2分間で、乾燥膜厚が0.1μmになる様に塗布した。
<2nd undercoat layer>
1g of gelatin
Methylcellulose 0.05g
Compound (Cpd-21) 0.02g
C 12 H 25 O (CH 2 CH 2 O) 10 H 0.03 g
Proxel 3.5 × 10 -3 g
Acetic acid 0.2g
100g with water
This coating solution was applied at a drying temperature of 170 ° C. for 2 minutes so that the dry film thickness was 0.1 μm.

<塗布方法>
上記下塗層を施した支持体上に、まず乳剤面側として支持体に近い側よりUL層、乳剤層の順に2層を、35℃に保ちながらスライドビードコーター方式により硬膜剤液を加えながら同時重層塗布し、冷風セットゾーン(5℃)を通過させた後、乳剤面とは反対側に支持体に近い側より、導電層、バック層の順に、カーテンコーター方式により硬膜剤液を加えながら同時重層塗布し、冷風セットゾーン(5℃)を通過させた。各々のセットゾーンを通過した時点では、塗布液は充分なセット性を示した。引き続き乾燥ゾーンにて両面を同時に乾燥した。
<Application method>
First, add a hardener solution by slide bead coater method while maintaining at 35 ° C, two layers in the order of the UL layer and the emulsion layer from the side closer to the support as the emulsion surface side on the support with the above subbing layer. While applying the simultaneous multilayer coating and passing through the cold air set zone (5 ° C), the hardener solution was applied by the curtain coater method in the order of the conductive layer and the back layer from the side opposite the emulsion surface to the support. While adding, simultaneous multilayer coating was applied, and the solution was passed through a cold air set zone (5 ° C.). When passing through each set zone, the coating solution showed a sufficient setting property. Subsequently, both sides were simultaneously dried in the drying zone.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

得られた塗布試料1-1は、塗布銀量が7.6g/m2、乳剤層のAg/ゼラチン質量比が6.9、膨潤率が1.9、Ag/ゼラチン質量比と膨潤率の積が13.2である乳剤層を、最上層に有する
感光材料であった。ここで乳剤層の膨潤率は以下のように求めた。すなわち、乾燥時の試料の切片を走査型電子顕微鏡で観察することにより乾燥時の乳剤層の膜厚(a)を求め、25℃の蒸留水に1分間浸漬した後液体窒素により凍結乾燥した試料の切片を走査型電子顕微鏡で観察することにより膨潤時の乳剤層の膜厚(b)を求め、膨潤率を次式で算出した。膨潤率(%)=100×((b)-(a))/(a)。
The obtained coated sample 1-1 was an emulsion having a coated silver amount of 7.6 g / m @ 2, an Ag / gelatin mass ratio of the emulsion layer of 6.9, a swelling ratio of 1.9, and a product of the Ag / gelatin mass ratio and the swelling ratio of 13.2. The photosensitive material had a layer as the uppermost layer. Here, the swelling ratio of the emulsion layer was determined as follows. That is, the thickness (a) of the emulsion layer at the time of drying is obtained by observing a section of the sample at the time of drying with a scanning electron microscope, immersed in distilled water at 25 ° C. for 1 minute, and then freeze-dried with liquid nitrogen Was observed with a scanning electron microscope to determine the film thickness (b) of the emulsion layer during swelling, and the swelling ratio was calculated by the following equation. Swell rate (%) = 100 × ((b) − (a)) / (a).

このようにして得られた塗布試料1−1に対して、下記の露光、現像およびメッキ処理を施した。   The following exposure, development, and plating treatment were performed on the coated sample 1-1 thus obtained.

(露光・現像処理)
乾燥させた塗布膜にライン/スペース=15μm/285μm(ピッチ300μm)の現像銀像を与えうる格子状のパターンを、大日本スクリーン(株)製のイメージセッターFT-R5055を使用して露光した。このとき露光量は各試料に合わせて最適となるよう調節した。150m長、幅67cmのロール状の上記感光材料を作成、露光し、全て処理を行った。
その後、露光後の各試料に対し以下の処理を施すことにより、各々2種類の導電性膜(導電性膜a及び導電性膜b)を作成した。
導電性膜a:以下に示す現像処理を施すことにより、導電性金属部が現像銀からなる導電性膜を作成した。
導電性膜b:以下に示す現像処理及びそれに続くメッキ処理を施すことにより、導電性金属部が現像銀及び銅からなる導電性膜を作成した。
(Exposure and development processing)
A grid-like pattern capable of giving a developed silver image of line / space = 15 μm / 285 μm (pitch 300 μm) was exposed to the dried coating film using an image setter FT-R5055 manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd. At this time, the exposure amount was adjusted to be optimal for each sample. The photosensitive material in the form of a roll having a length of 150 m and a width of 67 cm was prepared, exposed, and all processed.
Thereafter, each of the exposed samples was subjected to the following treatment to produce two types of conductive films (conductive film a and conductive film b).
Conductive film a: A conductive film having a conductive metal portion made of developed silver was prepared by performing the following development treatment.
Conductive film b: A conductive film in which the conductive metal portion is composed of developed silver and copper was prepared by performing the following development treatment and subsequent plating treatment.

現像処理
処理工程 温 度 時 間
黒白現像 30℃ 20秒
定着 35℃ 20秒
水洗 1* 35℃ 60秒
水洗 2* 35℃ 60秒
乾 燥 50℃ 60秒
Development processing process Temperature Time Black-and-white development 30 ° C 20 seconds Fixing 35 ° C 20 seconds Water wash 1 * 35 ° C 60 seconds Water wash 2 * 35 ° C 60 seconds Drying 50 ° C 60 seconds

(めっき処理)
上記処理により銀メッシュパターンが形成されたフィルムに対して、図1に示す電解めっき槽210を備えた電解めっき装置を用いてめっき処理を行った。なお、上記感光材料をその銀メッシュ面が下向きとなるように(銀メッシュ面が給電ローラと接するように)、電解めっき装置にとり付けた。
なお、給電ローラ212a,212bとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ(10cmφ、長さ70cm)の表面に0.1mm厚の電気銅めっきを施したものを使用し、ガイドローラ214およびその他の搬送ローラとしては、銅めっきしていない5cmφ、長さ70cmのローラを使用した。また、ガイドローラ214の高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
(Plating treatment)
The film in which the silver mesh pattern was formed by the said process was plated using the electrolytic plating apparatus provided with the electrolytic plating tank 210 shown in FIG. The photosensitive material was attached to an electroplating apparatus so that the silver mesh surface faced downward (so that the silver mesh surface was in contact with the power supply roller).
As the power supply rollers 212a and 212b, mirror-finished stainless steel rollers (10 cmφ, length 70 cm) with a surface of 0.1 mm thick copper electroplating are used as guide rollers 214 and other transport rollers. Used a roller of 5 cmφ and a length of 70 cm which is not plated with copper. In addition, by adjusting the height of the guide roller 214, a constant in-liquid processing time is ensured even if the line speed is different.

また入り口側の給電ローラ212aとフィルムの銀メッシュ面とが接している面の最下
部とめっき液面との距離(図1に示す距離La)を、5cmとした。出口側の給電ローラと感光材料の銀メッシュ部分が接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離Lb)を、10cmとした。
めっき装置のライン速度は、2.5m/分であった。
Further, the distance (distance La shown in FIG. 1) between the lowermost part of the surface where the feeding roller 212a on the entrance side and the silver mesh surface of the film are in contact with each other was set to 5 cm. The distance (distance Lb shown in FIG. 1) between the lowermost portion of the surface where the power supply roller on the outlet side and the silver mesh portion of the photosensitive material are in contact with each other and the plating solution surface was 10 cm.
The line speed of the plating apparatus was 2.5 m / min.

酸洗浄 35℃ 20秒
水洗 3
電解めっき1 35℃ 20秒 電圧 15V
電解めっき2 35℃ 20秒 電圧 14V
電解めっき3 35℃ 20秒 電圧 13V
電解めっき4 35℃ 20秒 電圧 12V
電解めっき5 35℃ 20秒 電圧 10V
電解めっき6 35℃ 60秒 電圧 8V
電解めっき7 35℃ 60秒 電圧 7V
電解めっき8 35℃ 60秒 電圧 6V
電解めっき9 35℃ 60秒 電圧 5V
電解めっき10 35℃ 60秒 電圧 4V
水洗 4* 35℃ 30秒
水洗 5* 25℃ 30秒
黒化処理 50℃ 120秒 電圧 4V
水洗 6 25℃ 60秒
防錆液 25℃ 30秒
水洗 7 25℃ 60秒
乾 燥 50℃ 60秒
* 水洗過程は、2から1、5から4への2タンク向流方式とした。上記水洗工程は、
全て井水を使用し、流量は5L/分であった。
Acid washing 35 ℃ 20 seconds Water washing 3
Electrolytic plating 1 35 ℃ 20 seconds Voltage 15V
Electrolytic plating 2 35 ℃ 20 seconds Voltage 14V
Electrolytic plating 3 35 ℃ 20 seconds Voltage 13V
Electrolytic plating 4 35 ℃ 20 seconds Voltage 12V
Electrolytic plating 5 35 ℃ 20 seconds Voltage 10V
Electrolytic plating 6 35 ° C 60 seconds Voltage 8V
Electroplating 7 35 ° C 60 seconds Voltage 7V
Electroplating 8 35 ° C 60 seconds Voltage 6V
Electroplating 9 35 ° C 60 seconds Voltage 5V
Electrolytic plating 10 35 ° C 60 seconds Voltage 4V
Washing with water 4 * 35 ° C 30 seconds Washing with water 5 * 25 ° C 30 seconds Blackening treatment 50 ° C 120 seconds Voltage 4V
Washing with water 6 25 ° C 60 seconds Rust prevention solution 25 ° C 30 seconds Washing with water 7 25 ° C 60 seconds Drying 50 ° C 60 seconds
* The water washing process was a 2-tank counterflow system from 2 to 1, 5 to 4. The water washing step
All were using well water, and the flow rate was 5 L / min.

各処理液の組成は以下の通りである。
〔黒白現像液 1L処方〕
ハイドロキノン 20 g
亜硫酸ナトリウム 50 g
炭酸カリウム 40 g
エチレンジアミン・四酢酸 2 g
臭化カリウム 3 g
ポリエチレングリコール1000 2 g
水酸化カリウム 4 g
pH 10.6に調整
The composition of each treatment liquid is as follows.
[Black and white developer 1L prescription]
Hydroquinone 20 g
Sodium sulfite 50 g
Potassium carbonate 40 g
Ethylenediamine tetraacetic acid 2 g
Potassium bromide 3 g
Polyethylene glycol 1000 2 g
Potassium hydroxide 4 g
Adjust to pH 10.6

〔定着液 1L処方〕
ATS 1.2モル
沃化アンモニウム 5g
亜硫酸アンモニウム・1水塩 25g
酢酸 5g
アンモニア水(27%) 1g
pH 6.2に調整
[Fixing solution 1L prescription]
ATS 1.2 mol Ammonium iodide 5g
Ammonium sulfite monohydrate 25g
Acetic acid 5g
Ammonia water (27%) 1g
Adjust to pH 6.2

〔酸洗浄液 1L処方〕
硫酸 190g
塩酸(35%) 0.06mL
純水を加えて 1L
[Acid cleaning solution 1L formulation]
190g of sulfuric acid
Hydrochloric acid (35%) 0.06mL
Add pure water and add 1L

〔電解銅めっき液 1L処方〕
硫酸第二銅五水塩 190g
硫酸ナトリウム 50g
塩酸(35%) 0.06mL
カパーグリームPCM 10mL
(ローム・アンド・ハース電子材料(株)製)
[Electrolytic copper plating solution 1L prescription]
Cupric sulfate pentahydrate 190g
Sodium sulfate 50g
Hydrochloric acid (35%) 0.06mL
Capper Gream PCM 10mL
(Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.)

(黒化処理液 1L処方)
硫酸ニッケル 70g/L
硫酸ニッケルアンモニウム 35g/L
硫酸亜鉛 25g/L
チオシアン酸ナトリウム 20g/L
pH4.8
(Blackening treatment liquid 1L prescription)
Nickel sulfate 70g / L
Nickel ammonium sulfate 35g / L
Zinc sulfate 25g / L
Sodium thiocyanate 20g / L
pH 4.8

また、何れのカソード電極にも電極ローラー全体に井水を500mL/分の割合で流し
て、電極ローラーに付着しためっき液を洗い流した。洗浄水は回収し、めっき槽に流れ込まないようにした。
〔電解めっき液 1L処方〕
Moreover, well water was allowed to flow through the electrode roller at a rate of 500 mL / min to any cathode electrode, and the plating solution adhering to the electrode roller was washed away. Washing water was collected and prevented from flowing into the plating tank.
[Electrolytic plating solution 1L prescription]

〔防錆液 1L処方〕
硝酸ナトリウム 15g
ベンゾトリアゾール 0.2g
[Anti-rust solution 1L prescription]
Sodium nitrate 15g
Benzotriazole 0.2g

なお、黒白現像液の酸化還元電位は、回転白金電極を現像液中に浸漬して求めた浸浴電位で表示すると−340mVvsSCEであった。
各処理工程のスタート時タンク液と補充液は同じものを用い、補充量は以下のとおりであった。
黒白現像液 500mL/m
定着液 500mL/m
電解めっき液 50mL/m
黒化処理 100mL/m
防錆液 100mL/m
The oxidation-reduction potential of the black and white developer was −340 mV vs SCE when expressed as a bath potential obtained by immersing the rotating platinum electrode in the developer.
The same tank solution and replenisher were used at the start of each treatment step, and the replenishment amounts were as follows.
Black and white developer 500mL / m 2
Fixer 500mL / m 2
Electrolytic plating solution 50mL / m 2
Blackening treatment 100mL / m 2
Antirust liquid 100mL / m 2

各試料に上記の露光、処理を行ったことにより、金属細線部および金属が実質的に存在しない光透過部からなる、光透過性導電性膜が形成された。ここで金属細線部は露光パターンに応じたメッシュ状パターンを呈しており、ライン/スペース幅はいずれの試料においても15μm/285μmであった。またいずれの試料においても、光透過部の開口率は約90%であった。   By performing the above exposure and processing on each sample, a light-transmitting conductive film composed of a fine metal wire part and a light-transmitting part substantially free of metal was formed. Here, the metal thin line portion exhibited a mesh pattern corresponding to the exposure pattern, and the line / space width was 15 μm / 285 μm in any sample. In all the samples, the aperture ratio of the light transmission portion was about 90%.

(評価)
得られた各導電性膜に関し、導電性膜a及び導電性膜bについては実施例1と同様の評価を行った結果、本発明サンプルは、導電性に優れ即ち電磁波シールド能を有し、かつ、モアレ、黒色度に優れる結果を得た。
また、面内の導電性パターンの均一性に関しても本発明サンプルは、ムラが殆ど見られないか、認められても許容レベルであり、ディスプレイ用電磁波シールド膜として好適に利用できる。
(Evaluation)
Regarding each of the obtained conductive films, the conductive film a and the conductive film b were evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, the sample of the present invention was excellent in conductivity, that is, has electromagnetic wave shielding ability, and , Moire and excellent blackness were obtained.
In addition, regarding the uniformity of the in-plane conductive pattern, the sample of the present invention has an acceptable level even if almost no unevenness is observed or recognized, and can be suitably used as an electromagnetic shielding film for display.

[実施例3]
(ハロゲン化銀感光材料)
水媒体中のAg60gに対してゼラチン10.0gを含む、球相当径平均0.1μmの
沃臭塩化銀粒子(I=0.2モル%、Br=40モル%)を含有する乳剤を調製した。
また、この乳剤中にはK3Rh2Br9及びK2IrCl6を濃度が10−7(モル/モル銀)になるように添加し、臭化銀粒子にRhイオンとIrイオンをドープした。この乳剤にNa2PdCl4を添加し、更に塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った後、ゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が1g/m2となるようにポリエチレンテレフ
タレート(PET)からなる支持体上に塗布した。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/2とした。また、PET支持体の厚さは75μmであった。
150m長、幅67cmのロール状のハロゲン化銀感光材料を作成し、適宜裁断を行って以下の実験に供した。
[Example 3]
(Silver halide photosensitive material)
An emulsion containing 10.0 g of gelatin per 60 g of Ag in an aqueous medium and containing silver iodobromochloride grains having an average equivalent sphere diameter of 0.1 μm (I = 0.2 mol%, Br = 40 mol%) was prepared. .
In this emulsion, K 3 Rh 2 Br 9 and K 2 IrCl 6 were added so as to have a concentration of 10 −7 (mol / mol silver), and silver bromide grains were doped with Rh ions and Ir ions. . After adding Na 2 PdCl 4 to this emulsion and further performing gold-sulfur sensitization with chloroauric acid and sodium thiosulfate, together with the gelatin hardener, the coating amount of silver is 1 g / m 2. It apply | coated on the support body which consists of a polyethylene terephthalate (PET). At this time, the volume ratio of Ag / gelatin was ½. The thickness of the PET support was 75 μm.
A roll-shaped silver halide light-sensitive material having a length of 150 m and a width of 67 cm was prepared, cut appropriately, and subjected to the following experiment.

(露光)
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開2004−1244号公報の発明の実施の形態記載のDMD(デジタル・ミラー・デバイス)を用いた露光ヘッドを25cm幅になるように並べ、感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッドおよび露光ステージを湾曲させて配置し、感材送り出し機構および巻取り機構を取り付けた上、露光面のテンション制御および巻取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響しないようにバッファー作用を有する撓みを設けた連続露光装置にて行った。露光の波長は400nmで、ビーム形は12μmの略正方形、およびレーザー光源の出力は100μJであった。
露光のパターンは12μm画素が45度の格子状にピッチが300μm間隔で幅24cm長さ10m連続するように行った。後述するめっき処理後の銅のパターンが12μm線幅300ミクロンピッチであることが確認された。
(exposure)
For the exposure of the silver halide photosensitive material, exposure heads using DMDs (digital mirror devices) described in the embodiment of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1244 are arranged so as to have a width of 25 cm, and the photosensitive layer of the photosensitive material The exposure head and exposure stage are curved so that the laser beam forms an image on top, and the photosensitive material feed mechanism and take-up mechanism are attached. The exposure was performed by a continuous exposure apparatus provided with a bend having a buffer action so as not to affect the speed of the exposed portion. The wavelength of exposure was 400 nm, the beam shape was approximately 12 μm, and the output of the laser light source was 100 μJ.
The exposure pattern was such that 12 μm pixels were arranged in a 45 ° lattice pattern with a pitch of 300 μm and a width of 24 cm and a length of 10 m. It was confirmed that the copper pattern after the plating process described later has a 12 μm line width and a 300 micron pitch.

(現像処理)
・現像液1L処方(補充液も同組成)
ハイドロキノン 27g
亜硫酸ナトリウム 50g
炭酸カリウム 40g
エチレンジアミン・四酢酸 2g
臭化カリウム 3g
ポリエチレングリコール2000 1g
水酸化カリウム 4g
pH 10.3に調整
(Development processing)
・ Developer 1L formulation (same composition for replenisher)
Hydroquinone 27g
Sodium sulfite 50g
40g potassium carbonate
Ethylenediamine tetraacetic acid 2g
Potassium bromide 3g
Polyethylene glycol 2000 1g
Potassium hydroxide 4g
Adjust to pH 10.3

・定着液1L処方(補充液も同組成)
チオ硫酸アンモニウム液(75%) 300ml
亜硫酸アンモニウム・1水塩 25g
1,3−ジアミノプロパン・四酢酸 8g
酢酸 5g
アンモニア水(27%) 1g
pH 6.2に調整
・ 1L fixer formulation (same composition for replenisher)
300 ml of ammonium thiosulfate solution (75%)
Ammonium sulfite monohydrate 25g
1,3-diaminopropane tetraacetic acid 8g
Acetic acid 5g
Ammonia water (27%) 1g
Adjust to pH 6.2

上記処理剤を用いて露光済み感材を、富士フイルム社製自動現像機 FG−710PTSを用いて処理条件:現像30℃ 30秒、定着30℃ 23秒、水洗 流水(5L/min)の20秒処理で行った。
ランニング条件として、感材の処理量を100m2/日で現像液の補充を500ml/
2、定着液を640ml/m2で3日間行った。
以上のようにして透明フィルム上に銀メッシュパターンが格子状に作製されたフィルムを作製した。このフィルムの表面抵抗は、50.52Ω/□であった。
Using the above processing agent, the photosensitive material exposed to light is processed using an automatic developing machine FG-710PTS manufactured by FUJIFILM Corporation. Development conditions: 30 ° C. for 30 seconds, fixing 30 ° C. for 23 seconds, washing with running water (5 L / min) for 20 seconds Done in the process.
As running conditions, the processing amount of the photosensitive material is 100 m 2 / day, and the developer replenishment is 500 ml / day.
m 2 and the fixing solution was 640 ml / m 2 for 3 days.
As described above, a film in which a silver mesh pattern was formed in a lattice shape on a transparent film was prepared. The surface resistance of this film was 50.52Ω / □.

(めっき処理)
上記処理により銀メッシュパターンが形成されたフィルムに対して、図1に示す電解めっき槽210を備えた電解めっき装置を用いてめっき処理を行った。なお、上記感光材料をその銀メッシュ面が下向きとなるように(銀メッシュ面が給電ローラと接するように)、電解めっき装置にとり付けた。
なお、給電ローラ212a,212bとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ(10cmφ、長さ70cm)の表面に0.1mm厚の電気銅めっきを施したものを使用し、ガイドローラ214およびその他の搬送ローラとしては、銅めっきしていない5cmφ、長さ70cmのローラを使用した。また、ガイドローラ214の高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
(Plating treatment)
The film in which the silver mesh pattern was formed by the said process was plated using the electrolytic plating apparatus provided with the electrolytic plating tank 210 shown in FIG. The photosensitive material was attached to an electroplating apparatus so that the silver mesh surface faced downward (so that the silver mesh surface was in contact with the power supply roller).
As the power supply rollers 212a and 212b, mirror-finished stainless steel rollers (10 cmφ, length 70 cm) with a surface of 0.1 mm thick copper electroplating are used as guide rollers 214 and other transport rollers. Used a roller of 5 cmφ and a length of 70 cm which is not plated with copper. In addition, by adjusting the height of the guide roller 214, a constant in-liquid processing time is ensured even if the line speed is different.

また入り口側の給電ローラ212aとフィルムの銀メッシュ面とが接している面の最下
部とめっき液面との距離(図1に示す距離La)を、10cmとした。出口側の給電ローラと感光材料の銀メッシュ部分が接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離Lb)を、20cmとした。
The distance (distance La shown in FIG. 1) between the lowermost part of the surface where the feeding roller 212a on the entrance side and the silver mesh surface of the film are in contact with each other was set to 10 cm. The distance (distance Lb shown in FIG. 1) between the lowermost part of the surface where the power supply roller on the outlet side and the silver mesh portion of the photosensitive material are in contact with each other and the plating solution surface was 20 cm.

めっき処理におけるめっき処理液の組成、各浴の浸漬処理時間(液中時間)および各めっき浴の印加電圧は以下のとおりである。なお、処理液や水洗の温度は全て25℃であった。
・電解銅めっき液組成(補充液も同組成)
硫酸銅五水塩 75g
硫酸 1 90g
塩酸(35%) 0.06mL
カパーグリームPCM 5mL
(ローム・アンド・ハース電子材料(株)製)
純水を加えて 1L
The composition of the plating treatment solution in the plating treatment, the immersion treatment time of each bath (in-solution time), and the applied voltage of each plating bath are as follows. Note that the temperature of the treatment liquid and water washing was 25 ° C.
・ Electrolytic copper plating solution composition (same replenisher composition)
Copper sulfate pentahydrate 75g
90 g of sulfuric acid 1
Hydrochloric acid (35%) 0.06mL
Capper Gream PCM 5mL
(Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.)
Add pure water 1L

・めっき浴の処理時間および印加電圧
水洗 1分
酸洗浄 30秒
めっき1 30秒 電圧 70V
めっき2 30秒 電圧 20V
めっき3 30秒 電圧 10V
めっき4 30秒 電圧 5V
水洗 1分
防錆 30秒
水洗 1分
・ Plating bath treatment time and applied voltage Water washing 1 minute Acid washing 30 seconds Plating 1 30 seconds Voltage 70V
Plating 2 30 seconds Voltage 20V
Plating 3 30 seconds Voltage 10V
Plating 4 30 seconds Voltage 5V
Washing 1 minute Rust prevention 30 seconds Washing 1 minute

フィルム試料は10mずつ処理し、処理後のメッシュ面の表面抵抗を測定した。表面抵抗測定は、ダイアインスツルメンツ社製ロレスターGP(型番MCP−T610)直列4
探針プローブ(ASP)にて行い、先頭および末尾の各50cm部分を除く任意の場所50箇所を測定し平均を求めた。ライン速度は3m/分にて処理した。
得られた導電性膜に関し、実施例1と同様の評価を行った結果、本発明サンプルは、導電性に優れ即ち電磁波シールド能を有し、かつ、モアレ、黒色度に優れる結果を得た。
また、面内の導電性パターンの均一性に関しても本発明サンプルは、ムラが殆ど見られないか、認められても許容レベルであり、ディスプレイ用電磁波シールド膜として好適に利用できる。
The film samples were processed 10 m at a time, and the surface resistance of the mesh surface after the processing was measured. Surface resistance measurement is performed by Learstar GP (model number MCP-T610) in series 4 manufactured by Dia Instruments.
The measurement was performed with a probe probe (ASP), and 50 arbitrary locations excluding the 50 cm portions at the beginning and the end were measured and the average was obtained. The line speed was 3 m / min.
The obtained conductive film was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, the sample of the present invention was excellent in conductivity, that is, has electromagnetic wave shielding ability, and was excellent in moire and blackness.
In addition, regarding the uniformity of the in-plane conductive pattern, the sample of the present invention has an acceptable level even if almost no unevenness is observed or recognized, and can be suitably used as an electromagnetic shielding film for display.

〔実施例4〕
実施例1で作製したメッキ後の導電性膜を、さらに銅黒化処理液で処理して銅表面を黒化した。使用した黒化処理液は市販のコパーブラック(株式会社アイソレート化学研究所製)を用いた。PET面側に、総厚みが28μmの保護フィルム(パナック工業(株)製、
品番;HT−25)をラミネーターローラーを用いて貼り合わせを行った。
また、電磁波シールド膜(金属メッシュ)側に、ポリエチレンフィルムにアクリル系粘着剤層が積層された総厚みが65μmの保護フィルム((株)サンエー化研製、品名;サニテクトY-26F)をラミネーターローラーを用いて貼り合わせを行った。
Example 4
The electroconductive film after plating produced in Example 1 was further treated with a copper blackening solution to blacken the copper surface. The blackening treatment solution used was commercially available Copper Black (manufactured by Isolate Chemical Laboratory Co., Ltd.). On the PET side, a protective film with a total thickness of 28 μm (manufactured by Panac Industry Co., Ltd.,
The product number; HT-25) was bonded using a laminator roller.
In addition, a protective film (product name: Sanitect Y-26F, manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd.) with a total thickness of 65 μm in which an acrylic adhesive layer is laminated on a polyethylene film on the electromagnetic shielding film (metal mesh) side is a laminator roller. And pasted together.

次いで、PET面を貼り合わせ面にして厚さ2.5mm、外形寸法950mm×550
mmのガラス板に透明なアクリル系粘着材を介して貼り合わせた。
Next, the PET surface is used as the bonding surface, the thickness is 2.5 mm, and the outer dimensions are 950 mm × 550.
It bonded together through the transparent acrylic adhesive material to the glass plate of mm.

次に、外縁部20mmを除いた内側の該導電性メッシュ層上に、厚さ25μmのアクリル系透光性粘着材を介して、厚さ100μmPETフィルム、反射防止層、近赤外線吸収剤含有層からなる反射防止機能付近赤外線吸収フィルム(住友大阪セメント(株)製 商品
名クリアラスAR/NIR)を貼り合わせた。該アクリル系透光性粘着材層中にはディスプレイ用フィルタの透過特性を調整する調色色素(三井化学製 PS−Red−G、PS−Violet−RC)を含有させた。さらに、該ガラス板の反対の主面には、粘着材を介して反射防止フィルム(日本油脂(株)製 商品名リアルック8201)を貼り合わせ、
ディスプレイ用フィルタを作製した。
Next, from the conductive mesh layer on the inner side excluding the outer edge portion 20 mm, from a 100 μm-thick PET film, an antireflection layer, and a near-infrared absorber-containing layer via an acrylic translucent adhesive material having a thickness of 25 μm An infrared absorption film near the antireflection function (trade name Clearus AR / NIR, manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) was attached. The acrylic light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer contained a toning dye (PS-Red-G, PS-Violet-RC manufactured by Mitsui Chemicals) that adjusts the transmission characteristics of the display filter. Furthermore, on the opposite main surface of the glass plate, an antireflection film (Nippon Yushi Co., Ltd., trade name Realak 8201) is bonded via an adhesive,
A display filter was prepared.

得られたディスプレイ用フィルタは、保護フィルムを有した電磁波シールドフィルムを用いて作成されたため、傷や金属メッシュの欠陥な極めて少ないものであった。また金属メッシュが黒色であってディスプレイ画像が金属色を帯びることがなく、また、実用上問題ない電磁波遮蔽能及び近赤外線カット能(300〜800nmの透過率が15%以下)を有し、両面に有する反射防止層により視認性に優れていた。また、色素を含有させることによって、調色機能を付与できており、プラズマディスプレイ等のディスプレイ用フィルタとして好適に使用できる。   Since the obtained display filter was prepared using an electromagnetic wave shielding film having a protective film, it had very few scratches and defects in the metal mesh. In addition, the metal mesh is black and the display image does not have a metallic color, and has an electromagnetic wave shielding ability and a near infrared ray cutting ability (transmittance of 300 to 800 nm of 15% or less) that has no practical problem. It was excellent in visibility due to the antireflection layer. Further, by adding a pigment, a toning function can be imparted and it can be suitably used as a display filter such as a plasma display.

以下の実施例では、本発明の導電性パターン材料を透光性導電性シート、及び無機EL素子に応用した例を示すが、本発明はこの実施例に限るものではない。
〔実施例5〕
<蛍光体粒子A>
平均粒子径20nmの硫化亜鉛(ZnS)粒子粉末25gと、硫酸銅をZnSに対し0.07モル%添加した乾燥粉末に、融剤としてNaClおよびMgClと塩化アンモニウム(NH3Cl)粉末を適量、並びに酸化マグネシウム粉末を蛍光体粉末に対し20質量%アルミナ製ルツボに入れて1200℃で3.5時間焼成したのち降温した。そののち粉末を取り出し、ボールミルにて粉砕分散し、さらにZnCl2 5gと硫酸銅をZnSに対し0.10モル%添加したのちMgCl2を1g加え、乾燥粉末を作成し、再度アルミナルツボに入れて700℃で6時間焼成した。このとき雰囲気として10%の硫化水素ガスをフローさせながら焼成を行なった。
焼成後の粒子は、再度粉砕し、40℃のH2Oに分散・沈降、上澄み除去を行なって洗浄したのち、塩酸10%液を加えて分散・沈降、上澄み除去を行い、不要な塩を除去して乾燥させた。さらに10%のKCN溶液を70℃に加熱して表面のCuイオン等を除去した。
さらに6モル/Lの塩酸で粒子全体の10質量%に相当する表面層をエッチング除去した。
この様にして得られた粒子をさらに篩いにかけて、小サイズ粒子を取り出した。
このようにして得られた蛍光体粒子は、平均粒径が10.3μm、変動係数が20%で、あった。また、すり鉢で粒子を粉砕し、厚みが0.2μm以下の砕片を取り出して、200KVの加速電圧条件で、その電子顕微鏡観察を行ったところ、砕片粒子の少なくとも80%以上が5nm間隔以下の積層欠陥を10枚以上有する部分を含み、500nmに発光ピークを有する青緑色を示した。
In the following examples, the conductive pattern material of the present invention is applied to a translucent conductive sheet and an inorganic EL element. However, the present invention is not limited to this example.
Example 5
<Phosphor particles A>
An appropriate amount of NaCl, MgCl, and ammonium chloride (NH 3 Cl) powder as a flux is added to 25 g of zinc sulfide (ZnS) particle powder having an average particle diameter of 20 nm and dry powder obtained by adding 0.07 mol% of copper sulfate to ZnS. The magnesium oxide powder was placed in a 20% by mass alumina crucible with respect to the phosphor powder, fired at 1200 ° C. for 3.5 hours, and then cooled. After that, the powder is taken out and pulverized and dispersed in a ball mill. Further, after adding 5 g of ZnCl 2 and 0.10 mol% of copper sulfate to ZnS, 1 g of MgCl 2 is added to prepare a dry powder, which is again put in an alumina crucible. Baked at 700 ° C. for 6 hours. At this time, firing was performed while flowing 10% hydrogen sulfide gas as an atmosphere.
After firing, the particles are pulverized again, dispersed and settled in 40 ° C. H 2 O, washed with supernatant, washed with 10% hydrochloric acid, dispersed, settled and removed to remove unwanted salts. Removed and dried. Further, a 10% KCN solution was heated to 70 ° C. to remove Cu ions and the like on the surface.
Further, the surface layer corresponding to 10% by mass of the whole particles was removed by etching with 6 mol / L hydrochloric acid.
The particles thus obtained were further sieved to take out small size particles.
The phosphor particles thus obtained had an average particle size of 10.3 μm and a coefficient of variation of 20%. In addition, the particles were pulverized in a mortar, and fragments having a thickness of 0.2 μm or less were taken out and observed under an electron microscope under an acceleration voltage condition of 200 KV. Blue-green having an emission peak at 500 nm including a portion having 10 or more defects was shown.

<蛍光体粒子B>
平均粒子径20nmの硫化亜鉛(ZnS)粒子粉末25gと、硫酸銅と炭酸マンガンをZnSに対し、それぞれ0.08モル%と0.2モル%添加した乾燥粉末を用意し、それ以外は、蛍光体粒子Aの作成条件と同様にして、1200℃で3.5時間焼成した。これ以降の工程は、蛍光体粒子Aの作製工程と同様にして蛍光体粒子Bを作製した。
このようにして得られた蛍光体粒子Bは、平均粒径が9.3μm、該粒子の砕片の少な
くとも85%以上が5nm以下の間隔で10層以上の積層欠陥を有し、オレンジ発光を示した。
<Phosphor particles B>
Prepare 25 g of zinc sulfide (ZnS) particle powder having an average particle diameter of 20 nm, and dry powder obtained by adding 0.08 mol% and 0.2 mol% of copper sulfate and manganese carbonate, respectively, to ZnS. Firing was carried out at 1200 ° C. for 3.5 hours in the same manner as the production conditions for the body particles A. In the subsequent steps, the phosphor particles B were produced in the same manner as the phosphor particle A production process.
The phosphor particles B thus obtained have an average particle size of 9.3 μm, and at least 85% or more of the particle fragments have 10 or more stacking faults at intervals of 5 nm or less, and exhibit orange light emission. It was.

このようにして得られた蛍光体粒子A、Bを用いて、以下の方法で白色EL素子を作成した。
<EL素子>
平均粒子サイズが0.02μmのBaTiO3微粒子を、30wt%のシアノレジン液に分散し、誘電体層厚みが25μmになるように厚み75μmのアルミシート(背面電極)上に塗布し、温風乾燥機を用いて120℃で1時間乾燥した。
上記蛍光体A,Bを発光色がCIE色度座標でx=3.3±0.2、y=3.4±0.2となる様な割合で混合し、30wt%濃度のシアノレジン液に分散し、ITOを塗布した透明導電性シート(透明電極)0.5m×0.8mの基板上に、蛍光体層厚みが20μmになるように誘電体層上に塗布した。温風乾燥機を用いて120℃で1時間乾燥した。上記素子の透明電極と背面電極から、それぞれ厚み80μmの銅アルミシートを用いて外部接続用の端子を取り出した後、素子を2枚のナイロン6からなる吸水性シートと2枚のSiO2層を有する防湿フィルムと挟んで熱圧着した。
Using the phosphor particles A and B thus obtained, a white EL element was prepared by the following method.
<EL element>
BaTiO 3 fine particles having an average particle size of 0.02 μm are dispersed in a 30 wt% cyanoresin solution and coated on an aluminum sheet (back electrode) having a thickness of 75 μm so that the dielectric layer thickness is 25 μm. And dried at 120 ° C. for 1 hour.
The phosphors A and B are mixed in such a ratio that the emission color is x = 3.3 ± 0.2 and y = 3.4 ± 0.2 in CIE chromaticity coordinates, and the mixture is added to a 30 wt% cyanoresin solution. A transparent conductive sheet (transparent electrode) dispersed and coated with ITO was coated on a dielectric layer so that the phosphor layer had a thickness of 20 μm on a 0.5 m × 0.8 m substrate. It dried at 120 degreeC for 1 hour using the warm air dryer. After taking out the terminal for external connection from the transparent electrode and the back electrode of the element using a copper aluminum sheet having a thickness of 80 μm, the element was bonded to two water absorbent sheets made of nylon 6 and two SiO 2 layers. It was thermocompression bonded with the moisture-proof film it had.

このようにして作製した発光素子をEL素子試料1とした。EL素子試料1を基準にして、透明電極の表面抵抗率並びに蛍光体層厚を替えて、100V、1KHzの駆動する際の輝度を評価した。
また、前記実施例2と同様の方法で網目状金属細線を形成した。、用いた導電性パターンは500μmピッチの正方形格子状メッシュの形状であり、金属細線の高さ3μm、幅13μmであり、この上に上記のITOを塗布し、透明導電性シートとした。結果を表2に示す。
The light emitting element thus manufactured was designated as EL element sample 1. Using the EL element sample 1 as a reference, the surface resistivity of the transparent electrode and the phosphor layer thickness were changed, and the luminance when driving at 100 V and 1 KHz was evaluated.
In addition, a fine mesh metal wire was formed by the same method as in Example 2. The conductive pattern used was in the form of a square grid mesh with a pitch of 500 μm, and the metal fine wire had a height of 3 μm and a width of 13 μm, and the ITO was applied thereon to form a transparent conductive sheet. The results are shown in Table 2.

Figure 2006352073
Figure 2006352073

実施例5の素子を(i)0.1m×0.25mのサイズに加工し、(ii)0.5m×0.8mサイズに加工した試料との輝度と駆動周波数の関係を調べたところ、本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、大面積ほど、高周波駆動ほど(特に500Hz以上)、相対的に高輝度を実現できた。   The element of Example 5 was processed to a size of (i) 0.1 m × 0.25 m, and (ii) the relationship between the luminance and the driving frequency of the sample processed to a size of 0.5 m × 0.8 m was examined. The electroluminescent device of the present invention was able to realize relatively high luminance as the area increased and as the frequency increased (in particular, 500 Hz or more).

〔実施例6〕
実施例5の蛍光体粒子Aの粒子焼成時のMgOの量を変えることと、素子を100%蛍光体粒子A型の形成方法で形成すること以外は(従ってこれだけでは、白色ではない)、実施例5のEL素子試料1及び4と同様にして、ただし、100Vで1KHzの駆動時に、発光色がCIE色度座標でx=3.3±0.2 y=3.4±0.2となる様に、下記蛍光染料A−1をメラミン系熱可塑性樹脂に分散させて蛍光体層に混合添加し、EL素子試料を作製した。また下記紫外線吸収材料B−1、B−2および下記酸化防止剤C−1、C−2を最適に用いて、EL素子試料を作製した。これらの試料を、実施例5と同様に25℃、60%の温湿度条件において、500ルクスの水銀ランプを照射しながら1KHzの条件で初期相対輝度が、実施例5記載の200となるよう各々の電圧を調整し(従ってEL素子試料1仕様の素子は、電圧を相対的に上げた)500時間駆動し、相対輝度の変化を求めたところ、本発明のエレクトロルミネッセンスが、長寿命でカラーバランスの変化も小さいことが判った。
Example 6
Except for changing the amount of MgO during the firing of the phosphor particles A of Example 5 and forming the device by the 100% phosphor particle A type forming method (thus, it is not white alone). In the same manner as the EL element samples 1 and 4 of Example 5, except that, when driven at 100 V and 1 KHz, the emission color is CIE chromaticity coordinates x = 3.3 ± 0.2 y = 3.4 ± 0.2 In the same manner, the following fluorescent dye A-1 was dispersed in a melamine-based thermoplastic resin and added to the phosphor layer to prepare an EL element sample. Further, EL device samples were prepared by optimally using the following ultraviolet absorbing materials B-1 and B-2 and the following antioxidants C-1 and C-2. In the same manner as in Example 5, the samples were irradiated with a mercury lamp of 500 lux under the temperature and humidity conditions of 25 ° C. and 60%, so that the initial relative luminance was 200 as described in Example 5 at 1 KHz. Was adjusted for 500 hours (and thus the voltage of the EL element sample 1 specification element was relatively increased) and the change in relative luminance was determined. As a result, the electroluminescence of the present invention has a long life and color balance. The change of was found to be small.

Figure 2006352073
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Figure 2006352073
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Figure 2006352073
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本発明のめっき処理方法に好適に用いられる電解めっき槽の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the electroplating tank suitably used for the plating method of this invention. 本発明における一実施態様に係るめっき装置の陰極ロール部の拡大概略縦断面図である。It is an expansion schematic longitudinal cross-sectional view of the cathode roll part of the plating apparatus which concerns on one embodiment in this invention. 本発明における別の実施態様に係るめっき装置の陰極ロール部の拡大概略縦断面図である。It is an expansion schematic longitudinal cross-sectional view of the cathode roll part of the plating apparatus which concerns on another embodiment in this invention. 本発明におけるめっき装置の全体の一例を示す概略縦断面図である。It is a schematic longitudinal cross-sectional view which shows an example of the whole plating apparatus in this invention. 図3の装置の一部を拡大した図で、給電方法の一例を示す概略構成図である。It is the figure which expanded a part of apparatus of FIG. 3, and is a schematic block diagram which shows an example of the electric power feeding method. 実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the manufacturing apparatus of the transparent electromagnetic wave shielding material which concerns on embodiment. 実施形態に係るめっき装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the plating apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係るめっき装置における気液混合器を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the gas-liquid mixer in the plating apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係るめっき装置の他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of the plating apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る光透過性電磁波遮蔽材料の製造装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the manufacturing apparatus of the transparent electromagnetic wave shielding material which concerns on embodiment. 実施形態に係る電解めっき装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the electrolytic plating apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る電解めっき装置における第2の槽(めっき浴槽)内に配設された搬送支持ロールを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the conveyance support roll arrange | positioned in the 2nd tank (plating bathtub) in the electroplating apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る電解めっき装置における気液混合器を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the gas-liquid mixer in the electroplating apparatus which concerns on embodiment. 本発明の透明導電性シートAの概略図を示す。上から、正面図、断面図である。The schematic of the transparent conductive sheet A of this invention is shown. It is a front view and sectional drawing from the top. 本発明の透明導電性シートCの概略図を示す。上から、正面図、断面図である。The schematic of the transparent conductive sheet C of this invention is shown. It is a front view and sectional drawing from the top.

符号の説明Explanation of symbols

210 電解めっき槽
212a,212b 給電ローラ
213 アノード板
216 フィルム
1 陰極ロール
1A、1B、1C 陰極ロール
2 陽極
3、3A、3B 直流電源
4 フィルム
5 フィルムの導電面
6 めっき槽
7 めっき液
8 液膜隙間
9 受皿中の液体
10 受皿
10A ノズル
11 電解液のタンク
12 電解液
13 配管
14 ポンプ
16 配管
17 受皿中の液体を排出する配管
25、28、30 液体
31 受皿
32 受皿中の液体
33 受皿中の液体を排出する配管
101A、101B 液中のフィルム搬送ロール
102A、102B、102C、102D、102E 陽極の金属
106A、106B、106C 遮蔽板
301 巻出部
302 前処理部
303 電気めっき部
304 後処理部
305 巻取部
306 めっき前のロール状フィルム
307 アキュムレータ
308 バランスロール部
309 速度制御部
310 酸、脱脂処理部
311 酸、脱脂処理液
312 水洗部
313 水洗液
314 水洗部
315 水洗液
316 防錆処理部
317 防錆液
318 水洗部
319 水洗液
320 乾燥工程部
321 速度調整部
322 バランスロール部
323 アキュムレータ
324 めっき被膜付きロール状フィルム
325 張力検出ロール
330A、330B、330C、330D エアー攪拌ノズル
331A、331B、331C、331D 攪拌用エアー
510 電磁波遮蔽材料の製造装置
512 露光装置
514 現像装置
516 めっき装置
518 光透過性感光ウエブ
520 搬送ローラ対
522 マガジン
522A 引出ローラ
524 露光ユニット
526 現像槽
528 漂白定着槽
530 水洗槽
530L 洗浄液
532 搬入ローラ対
534 めっき浴槽
534A めっき浴液
536 非接触搬送部材
536A 筒状空洞管
536B 噴出部
542 気液混合・供給機構
544 熱交換器
546 循環ポンプ
548 フィルター
550 気液混合器
552 バルブ
554 エアーナイフ
538,540 搬送支持ロール
710 電磁波遮蔽材料の製造装置
712 露光装置
714 現像装置
716 電解めっき装置
718 光透過性感光ウエブ
720 搬送ローラ対
722 マガジン
724 露光ユニット
726 現像槽
728 漂白定着槽
730 水洗槽
732 搬入ローラ対
734 第1の槽
736 第2の槽
738 第3の槽
746 第1めっき用電源
746A 陰電極板
746B 第1陽電極板
748 第2めっき用電源
748A 陰電極側給電ロール
748B 第2陽電極板
750 気液混合・供給機構
754 循環ポンプ
756 フィルター
758 気液混合器
760 バルブ
762 回転ロール
764 電解質溶液循環機構
766 エアーナイフ
768 吸水ロール
1’ 金属の細線
2’ 透明導電膜
3’ 透明フィルム
210 Electrolytic plating tank 212a, 212b Feed roller 213 Anode plate 216 Film 1 Cathode roll 1A, 1B, 1C Cathode roll 2 Anode 3, 3A, 3B DC power supply 4 Film 5 Conductive surface 6 of film 6 Plating tank 7 Plating liquid 8 Liquid film gap 9 Liquid 10 in the saucer 10 A Nozzle 11 Electrolyte tank 12 Electrolyte 13 Pipe 14 Pump 16 Pipe 17 Piping 25, 28, 30 for discharging the liquid in the saucer 31 Liquid 31 Sauce 32 Liquid 33 in the saucer Liquid in the saucer Pipes 101A, 101B for discharging film 102R, 102B, 102C, 102D, 102E Anode metal 106A, 106B, 106C Shield plate 301 Unwinding section 302 Pretreatment section 303 Electroplating section 304 Aftertreatment section 305 winding Toru 306 Roll-shaped film 307 before plating Accumul 308 Balance roll unit 309 Speed control unit 310 Acid, degreasing treatment unit 311 Acid, degreasing treatment solution 312 Washing unit 313 Washing solution 314 Washing solution 315 Washing solution 316 Rust prevention treatment unit 317 Rust prevention solution 318 Washing solution 319 Washing solution 320 Drying step Unit 321 speed adjusting unit 322 balance roll unit 323 accumulator 324 roll-shaped film 325 with plating film tension detection rolls 330A, 330B, 330C, 330D air agitating nozzles 331A, 331B, 331C, 331D Exposure device 514 Developing device 516 Plating device 518 Translucent photosensitive web 520 Conveying roller pair 522 Magazine 522A Drawer roller 524 Exposure unit 526 Developing tank 528 Bleach fixing tank 530 Washing tank 530L Cleaning liquid 532 Carrying in La pair 534 Plating bath 534A Plating bath liquid 536 Non-contact conveying member 536A Cylindrical hollow tube 536B Spouting portion 542 Gas-liquid mixing / supply mechanism 544 Heat exchanger 546 Circulation pump 548 Filter 550 Gas-liquid mixer 552 Valve 554 Air knife 538, 540 Conveying support roll 710 Electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus 712 Exposure apparatus 714 Developing apparatus 716 Electroplating apparatus 718 Translucent photosensitive web 720 Conveying roller pair 722 Magazine 724 Exposure unit 726 Developing tank 728 Bleach fixing tank 730 Washing tank 732 Carrying roller pair 734 First tank 736 Second tank 738 Third tank 746 First plating power source 746A Negative electrode plate 746B First positive electrode plate 748 Second plating power source 748A Negative electrode side feeding roll 748B Second positive electrode plate 750 Gas-liquid mixing and supply mechanism 754 Circulation pump 756 Filter 758 Gas-liquid mixer 760 Valve 762 Rotating roll 764 Electrolyte solution circulation mechanism 766 Air knife 768 Water absorption roll 1 ′ Metal thin wire 2 ′ Transparent conductive film 3 ′ Transparent film

Claims (45)

銀を含むことを特徴とする導電性パターン材料。   A conductive pattern material containing silver. さらに銅を含むことを特徴とする請求項1記載の導電性パターン材料。   The conductive pattern material according to claim 1, further comprising copper. さらにゼラチンを含むことを特徴とする請求項2記載の導電性パターン材料。   The conductive pattern material according to claim 2, further comprising gelatin. 請求項1〜3のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする透光性導電性膜。   A translucent conductive film comprising the conductive pattern material according to claim 1. 表面抵抗が10Ω/sq以下であることを特徴とする、請求項4記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the surface resistance is 10 Ω / sq or less. 表面抵抗が1Ω/sq以下であることを特徴とする、請求項4または5記載の透光性導電性膜。   6. The translucent conductive film according to claim 4, wherein the surface resistance is 1 Ω / sq or less. 表面抵抗が0.5Ω/sq以下であることを特徴とする、請求項4〜6のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the surface resistance is 0.5 Ω / sq or less. 表面抵抗が0.1Ω/sq以下であることを特徴とする、請求項4〜7のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the surface resistance is 0.1Ω / sq or less. 導電性金属の抵抗率が2.5μΩcm以下であることを特徴とする、請求項4〜8のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the resistivity of the conductive metal is 2.5 μΩcm or less. ヘイズが10%以下であることを特徴とする、請求項4〜9のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the haze is 10% or less. 光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする、請求項4〜10のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the transmissivity of the light transmissive part is 95% or more. 上記導電性パターンが格子状のメッシュであることを特徴とする、請求項4〜11のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the conductive pattern is a lattice mesh. 開口率が80%以上であることを特徴とする、請求項4〜12のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein an aperture ratio is 80% or more. 金属部の線幅1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、請求項4〜13のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the translucent conductive film is a grid-like mesh having a line width of 1 μm to 20 μm. 金属部の厚み1μm以上20μm以下の格子状のメッシュであることを特徴とする、請求項4〜14のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to any one of claims 4 to 14, wherein the metal part is a lattice-shaped mesh having a thickness of 1 µm to 20 µm. 格子のピッチが40μm以上900μm以下であることを特徴とする、請求項4〜15のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to any one of claims 4 to 15, wherein a pitch of the lattice is 40 µm or more and 900 µm or less. メッシュを構成する線の交点における交点太り率が2.0以下であることを特徴とす
る、請求項4〜16のいずれかに記載の透光性導電性膜。
The translucent conductive film according to any one of claims 4 to 16, wherein an intersection thickness ratio at an intersection of lines constituting the mesh is 2.0 or less.
粘着剤層または接着剤層を有することを特徴とする、請求項4〜17のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, comprising a pressure-sensitive adhesive layer or an adhesive layer. 剥離可能な保護フィルムを有することを特徴とする、請求項4〜18のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to any one of claims 4 to 18, wherein the translucent conductive film has a peelable protective film. 前記導電性金属部の該メッシュパターンが3m以上連続していることを特徴とする、請求項4〜19のいずれかに記載の透光性導電性膜。   The translucent conductive film according to claim 4, wherein the mesh pattern of the conductive metal part is continuous for 3 m or more. 請求項4〜20のいずれかに記載の透光性導電性膜からなることを特徴とする透光性電磁波シールド膜。   A translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive film according to claim 4. 周波数30MHz〜300MHzの電磁波に対するシールド能が30dB以上であることを特徴とする、請求項21記載の透光性電磁波シールド膜。   The translucent electromagnetic wave shielding film according to claim 21, wherein the shielding ability against electromagnetic waves having a frequency of 30 MHz to 300 MHz is 30 dB or more. 請求項21または22記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、ディスプレイ用フィルター。   23. A display filter comprising the electromagnetic wave shielding film according to claim 21 or 22. 請求項21または22記載の電磁波シールド膜を有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル用フィルター。   A filter for a plasma display panel, comprising the electromagnetic wave shielding film according to claim 21 or 22. 赤外線遮蔽性、ハードコート性、反射防止性、妨眩性、静電気防止性、防汚性、紫外線カット性、ガスバリア性、表示パネル破損防止性、からいずれか1つ以上選ばれる機能を有している機能性透明層を有する、請求項21または22に記載の透光性電磁波シールド膜を有する、ディスプレイ用フィルターまたはプラズマディスプレイパネル用フィルター。   It has a function selected from one or more of infrared shielding properties, hard coat properties, antireflection properties, antiglare properties, antistatic properties, antifouling properties, ultraviolet ray cutting properties, gas barrier properties, and display panel damage prevention properties. 23. A display filter or a plasma display panel filter comprising the light-transmitting electromagnetic wave shielding film according to claim 21 or 22, which has a functional transparent layer. 赤外線遮蔽性を有することを特徴とする、請求項21または22記載の電磁波シールド膜を有するディスプレイ用フィルターまたはプラズマディスプレイパネル用フィルター。   23. The display filter or plasma display panel filter having an electromagnetic wave shielding film according to claim 21 or 22, which has infrared shielding properties. 請求項21〜23のいずれかに記載の電磁波シールド膜またはディスプレイ用フィルターを有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル。   A plasma display panel comprising the electromagnetic wave shielding film or the display filter according to any one of claims 21 to 23. 前記請求項1〜3のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする電極。   An electrode comprising the conductive pattern material according to claim 1. 前記請求項1〜3のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とする配線。   A wiring comprising the conductive pattern material according to claim 1. 前記請求項1〜3のいずれかに記載の導電性パターン材料からなることを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the conductive pattern material according to claim 1. 銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理する工程を含む、請求項1〜22のいずれかに記載の導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。   The production of a conductive pattern material, a translucent conductive film, or a translucent electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 22, comprising a step of exposing and developing a photosensitive material having a silver salt-containing layer. Method. 銀塩含有層を有する感光材料を露光し現像処理し、更に物理現像および/またはメッキ処理を行うことを特徴とする、請求項31に記載の導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。   32. The conductive pattern material, the translucent conductive film according to claim 31, wherein the photosensitive material having a silver salt-containing layer is exposed and developed, and further subjected to physical development and / or plating. Manufacturing method of translucent electromagnetic wave shielding film. 銀塩がハロゲン化銀であることを特徴とする、請求項31または32に記載の、導電性パターン材料、透光性導電性膜、または透光性電磁波シールド膜の製造方法。   The method for producing a conductive pattern material, a translucent conductive film, or a translucent electromagnetic wave shielding film according to claim 31 or 32, wherein the silver salt is silver halide. 透明導電膜と、前記導電性パターン材料とを含む導電性面を有することを特徴とする透光性導電性シート。   A light-transmitting conductive sheet having a conductive surface including a transparent conductive film and the conductive pattern material. 導電性面の平滑性(凹凸)が、5μm以下であることを特徴とする請求項34に記載の透光性導電性シート。   The translucent conductive sheet according to claim 34, wherein the smoothness (unevenness) of the conductive surface is 5 µm or less. 光の透過率が、波長550nmの光に対して90%以上であることを特徴とする請求項34または35に記載の透光性導電性シート。   36. The translucent conductive sheet according to claim 34 or 35, wherein the light transmittance is 90% or more with respect to light having a wavelength of 550 nm. 透明導電膜の表面抵抗率が、100Ω/□以上であり、透明導電性シートの表面抵抗率が、0.1Ω/□以上10Ω/□以下であることを特徴とする請求項34ないし36のいずれか一項に記載の透光性導電性シート。   37. The surface resistivity of the transparent conductive film is 100Ω / □ or more, and the surface resistivity of the transparent conductive sheet is from 0.1Ω / □ to 10Ω / □, The translucent conductive sheet according to claim 1. 請求項34ないし37のいずれか一項に記載の透光性導電性シートを有し、平均粒子径が、0.1μm以上15μm以下である蛍光体粒子を含有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。   38. An electroluminescence device comprising the translucent conductive sheet according to any one of claims 34 to 37, and phosphor particles having an average particle diameter of 0.1 μm or more and 15 μm or less. . 透光性導電性フィルムを有するエレクトロルミネッセンス素子において、該透光性導電性フィルムが透明な金属酸化物および/または有機物の導電性膜と網目状金属細線を有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。   An electroluminescence element having a light-transmitting conductive film, wherein the light-transmitting conductive film has a transparent metal oxide and / or organic conductive film and a mesh-like metal wire. 透光性導電性フィルムを有するエレクトロルミネッセンス素子において、該透光性導電性フィルムが透明な金属酸化物および/または有機物の導電性膜とストライプ状金属細線を有することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。   An electroluminescent element having a light-transmitting conductive film, wherein the light-transmitting conductive film has a transparent metal oxide and / or organic conductive film and a stripe-shaped thin metal wire. 前記透光性導電性フィルムの表面抵抗率が、0.1Ω/□〜100Ω/□であることを特徴とする請求項39又は40に記載のエレクトロルミネッセンス素子。   41. The electroluminescence device according to claim 39 or 40, wherein the translucent conductive film has a surface resistivity of 0.1Ω / □ to 100Ω / □. 蛍光染料、酸化防止剤および紫外線吸収剤をそれぞれ少なくとも一種含有することを特徴とする請求項39〜41のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。 The electroluminescent device according to any one of claims 39 to 41, comprising at least one fluorescent dye, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. 蛍光体粒子を含有し、その平均球相当径が、0.1μm〜15μmであることを特徴とする請求項39〜42のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。   43. The electroluminescent device according to any one of claims 39 to 42, comprising phosphor particles, and having an average equivalent sphere diameter of 0.1 to 15 [mu] m. 0.25m2以上の発光面積を有することを特徴とする請求項39〜43のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子。 44. The electroluminescent device according to any one of claims 39 to 43, wherein the electroluminescent device has a light emitting area of 0.25 m < 2 > or more. 請求項39〜44のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス素子を500Hz以上5KHz以下の交流電界で駆動することを特徴とする平面光源システム。   45. A planar light source system, wherein the electroluminescent element according to any one of claims 39 to 44 is driven by an AC electric field of 500 Hz to 5 KHz.
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