JP2006222206A - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、前記移動体は、前記力の作用点が変わる前記移動体の移動方向において曲げ剛性が強化される。もしくは、前記力の作用点の変化によって前記移動体にかかる曲げ力を低減するように前記アクチュエータへの指令を制御する制御部を有する。
【選択図】 図3
Description
図1は半導体露光装置の概念図である。鏡筒定盤1は除振マウント2により床からの振動を絶縁して架台3上に搭載されている。投影光学系4は鏡筒定盤1によって支持され、投影光学系の上方にはレチクルステージ(不図示)が設けられ、投影光学系の下方にはウエハステージが設けられている。
MP=4/3*CP (1)
なる関係がある。
f6,f10=−I*Kx*cos(2*π/MP*x) (2)
f8=I*Kx*cos(2*π/MP*x) (3)
f7,f11=I*Kx*sin(2*π/MP*x) (4)
f9=−I*Kx*sin(2*π/MP*x) (5)
ここでKxは定数である。
I6,I10=−I*cos(2*π/MP*x) (6)
I8=I*cos(2*π/MP*x) (7)
I7,I11=I*sin(2*π/MP*x) (8)
I9=−I*sin(2*π/MP*x) (9)
とすると、力の和(f6+f7)、(f8+f9)、(f10+f11)のそれぞれは
I*Kx*cos^2(2*π/MP*x)+I*Kx*sin^2(2*π/MP*x)=I*Kx (10)
となり、全ての推力の総和は3*I*Kxとなる。すなわち力Fを発生させたい場合には
I=F/Kx/3 (11)
とすればよい。位置座標xが−CP≦x<0の場合は、コイルc5〜c10を用いる。このとき、コイルc6〜c10には数式(6)〜(9)の電流I6〜I10を流し、コイルc5には数式(9)の電流I9をを流すことによって、力の和(f5+f6)、(f7+f8)、(f9+f10)はそれぞれ数式(10)で表されるようになる。
fn=I*Kz*cos(2*π/MP*x) n:奇数 (12)
fm=−I*Kz*sin(2*π/MP*x) m:偶数 (13)
となる。ここで各コイルの電流を上記関数と同じ位相として
In=I*cos(2*π/MP*x) n:奇数 (14)
Im=−I*sin(2*π/MP*x) m:偶数 (15)
を用いると、先の4組での力の和は
Fz=4*I*Kz (16)
となるので、
I=Fz/Kz/4 (17)
により、所望のZ方向への力Fzを発生させることができる。
2 除振マウント
3 架台
4 投影光学系
5 ウエハステージ
6 ウエハチャック
7 ウエハ
8 磁石ユニット
9 コイルユニット
10 リニアモータ
11 ガイド
12 干渉計
13 Xレーザ光
14 X反射鏡
15 Z反射鏡
16 Zレーザ光
18 変形測定用ミラー
19 露光光軸
21,22 主極磁石
24 切り欠き部
23 補極磁石
31,32 リブ
33 圧電素子
200 指令値算出装置
201 計測定盤
202 除振マウント
203 架台
212 干渉計
213 レーザ光
214 駆動棒
215 ボールねじ
216 Z干渉計
217 変形測定用レーザ干渉計
Claims (18)
- 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
前記移動体は、前記力の作用点が変わる前記移動体の移動方向において曲げ剛性が強化されることを特徴とする位置決め装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
前記力の作用点の変化によって前記移動体にかかる曲げ力を低減するように前記アクチュエータへの指令を制御する制御部を有することを特徴とする位置決め装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
予め求められた、前記力の作用点の変化によって生じる前記移動体の変形量にもとづいて前記移動体への指令を制御する制御部を有することを特徴とする位置決め装置。 - 前記制御部は、前記力の作用点の変化による前記移動体の変形を補正するように指令を制御することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記アクチュエータは、前記移動体を前記移動方向に駆動するために用いられることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記制御部は、前記移動体の位置情報または駆動情報に基づいて指令を制御することを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記アクチュエータは平面モータであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の位置決め装置。
- 補正用アクチュエータを有し、前記力の作用点の変化によって前記移動体にかかる曲げ力を低減するように前記補正用アクチュエータへの指令を制御する第2制御部を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の位置決め装置。
- 複数のコイルを有する固定子と、
周期的な磁束密度分布を有する可動子とを有し、
前記複数のコイルのうち第1方向に並べられたコイルに通電することによって前記可動子の自重を支持する位置決め装置であって、
前記可動子は、前記第1方向と垂直な第2方向における曲げ剛性よりも前記第1方向における曲げ剛性の方が大きいことを特徴とする位置決め装置。 - 複数のコイルを有する固定子と、
周期的な磁束密度分布を有する可動子とを有し、
前記複数のコイルのうち第1方向に並べられたコイルに通電することによって前記可動子の自重を支持する位置決め装置であって、
前記第1方向において前記可動子にかかる曲げ力を低減するように前記複数のコイルに通電する電流を制御する制御部を有することを特徴とする位置決め装置。 - 前記可動子は、平面モータによって前記固定子の上面に沿って移動することを特徴とする請求項9または10に記載の位置決め装置。
- 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
前記移動体の鉛直方向における位置を計測するためのレーザ干渉計と、
前記レーザ干渉計から照射されたレーザ光を鉛直方向に反射するために前記移動体上に設けられた反射鏡とを有し、
前記反射鏡は前記力の作用点が変化する前記移動体の移動方向と同一方向に沿って設けられることを特徴とする位置決め装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置の駆動制御方法であって、
前記アクチュエータは、前記力の作用点が変化する移動方向における曲げ力を前記移動体に発生させるように制御されることを特徴とする駆動制御方法。 - 原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、
請求項1乃至12のいずれか1項に記載の位置決め装置を備え、
前記移動体により原版と前記基板とを相対的に位置決めして露光することを特徴とする露光装置。 - 移動体の移動により力の作用点が変わるアクチュエータを用いて自重が支持される移動体の変形量を計測する計測装置であって、
前記アクチュエータの固定子を移動させる駆動手段と、
前記固定子を移動させた際の前記移動体の変形量を計測する計測手段とを有することを特徴とする計測装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
補正用アクチュエータを有し、請求項15に記載の計測装置によって計測された結果にもとづいて前記補正用アクチュエータを制御することを特徴とする位置決め装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
請求項15に記載の計測装置によって計測された結果にもとづいて前記アクチュエータへの指令を制御することを特徴とする位置決め装置。 - 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、
請求項15に記載の計測装置によって計測された結果にもとづいて前記移動体への指令を制御することを特徴とする位置決め装置。
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