JP2006292219A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】建物階高を低くし、熱交換装置および空気清浄装置のランニングコストを低減し、設計の自由度を向上する。
【解決手段】室内１０の上部にて底部から吸込んだ空気を周側方に吹出す形態で熱交換装置１を配置し、側部から吸込んだ空気を導風部材３によって下方に向けて吹出す形態で空気清浄装置２を配置し、熱交換装置１で処理された空気を空気清浄装置２で処理して室内１０に循環する。熱交換装置１および空気清浄装置２の互いの底部を揃えて同一高さに配置でき、室内１０の天井高さを低くして建物階高を低くできる。空気清浄装置２の吸込口に向けて熱交換装置１から集中的に空気を吹出すため熱交換装置１と空気清浄装置２とを離隔しても空気が送れる。この結果設計の自由度が向上する。熱交換装置１と空気清浄装置２とをクリーンルームの熱負荷および清浄度に応じて独立に設置して熱交換装置１および空気清浄装置２のランニングコストを低減できる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱交換装置（ＦＣＵ）と空気清浄装置（ＦＦＵ）とにより室内の空気の熱処理および清浄処理を適宜行えるようにしたクリーンルームに関するものである。

従来、室内の空気を吸込んで冷暖房負荷を処理した空気を室内に吹出す熱交換装置（ＦＣＵ（Ｆａｎ Ｃｏｉｌ Ｕｎｉｔ））と、熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を室内に吹出す空気清浄装置（ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ））とを室内の上部に配置したクリーンルームがある。このクリーンルームは、熱交換装置が熱処理した空気を空気清浄装置が清浄処理して吹出し、空気清浄装置が吹出して室内を対流した空気を熱交換装置が吸込んで処理して室内を循環する。この従来のクリーンルームでは、無駄な風量を生じさせることがなく運転コストを低減することができる。また、熱交換装置および空気清浄装置を共に同室内に配置し気流により空気の移動を行うためダクトが不要となり、スペースを有効利用できる。また、ダクト工事にかかる建築コストが低減でき、施工期間を短くできる（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−２７８８８７号公報

しかしながら、従来のクリーンルームでは、熱交換装置は底部から空気を吸込んで側部に吹出す構成であり、空気清浄装置は天部から空気を吸込んで底部に吹出す構成である。そこで、熱交換装置を上方に配置して空気清浄装置をその側部下方に配置してある。このため、空気清浄装置の底部は、熱交換装置の底部に対して例えば６００ｍｍ程度下方にある。この結果、クリーンルームの室内の天井の高さが空気清浄装置の底部の高さ位置で規定されることになり、空気清浄装置と熱交換装置との高低差の分だけクリーンルームの天井高さが嵩み建物階高が高くなるという不都合があった。さらに、熱交換装置の側部から吹出した空気を空気清浄装置の天部から吸込むため、空気の循環を考慮すると相互の距離間が決められるのでクリーンルームの設計に自由度が乏しくなってしまう。

本発明は、上記実情に鑑みて、建物階高を低くし、熱交換装置および空気清浄装置のランニングコストを低減し、設計の自由度を向上することができるクリーンルームを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に係るクリーンルームは、室内の上部に配置されて前記室内の空気を吸込んで冷暖房負荷を処理した空気を前記室内に吹出す熱交換装置と、前記室内の上部に配置されて前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内に吹出す空気清浄装置とを備えたクリーンルームにおいて、前記熱交換装置は底部から吸込んだ空気を周側方に吹出す形態で配置してあり、前記空気清浄装置は側部から吸込んだ空気を下方に向けて吹出す形態で配置してあることを特徴とする。

本発明の請求項２に係るクリーンルームは、上記請求項１において、前記空気清浄装置は一側部から吸込んだ空気を他側部から吹出す形態で配置してあり、当該他側部には吹出される空気を下方に向けて導く導風部材を設けてあることを特徴とする。

本発明に係るクリーンルームは、室内の上部において、底部から吸込んだ空気を周側方に吹出す形態で熱交換装置を配置し、側部から吸込んだ空気を下方に向けて吹出す形態で空気清浄装置を配置して、熱交換装置で処理された空気を空気清浄装置で処理して室内に循環させる。この結果、室内にクリーンルームの天井やリターンチャンバーを要さないので、必要とするクリーンルームの天井高さを得た上で建物階高を低くすることができる。

熱交換装置および空気清浄装置の互いの底部を水平方向に揃えて同一高さに配置できる。この結果、クリーンルームの必要天井高さを得た上で室内の天井高さを低くして、建物階高をさらに低くすることができる。また、熱交換装置および空気清浄装置の高さを揃えたことで、電源供給用のケーブルや、冷水配管などの配置が容易になる。

空気清浄装置の吸込口に向けて熱交換装置から集中的に空気を吹出すため、熱交換装置と空気清浄装置とを離隔しても空気を送ることが可能である。この結果、クリーンルームの設計の自由度を向上することができる。さらに、熱交換装置と空気清浄装置とをクリーンルームの熱負荷および清浄度に応じて独立にも設置できるので、熱交換装置および空気清浄装置のランニングコストを低減することができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、空気清浄装置の吹出口に空気を下方に向けて導く導風部材を設けた。この結果、従前からある空気清浄装置を横向きにして採用することが可能なので、特別に空気清浄装置を設計する必要がない。

以下に添付図面を参照して、本発明に係るクリーンルームの好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

図１は本発明に係るクリーンルームの実施の形態を示す概略図である。図１に示すように本実施の形態におけるクリーンルームは、床１０ａ、天井１０ｂおよび周壁１０ｃで囲まれた室内１０の上部に熱交換装置１および空気清浄装置２を配置してある。

熱交換装置１は、ＦＣＵ（Ｆａｎ Ｃｏｉｌ Ｕｎｉｔ）であり室内１０の空気を吸込んで冷暖房負荷を熱処理（熱除去）した空気を室内１０に吹出す。具体的に熱交換装置１は、箱形のケーシングの底部を吸込口とし、周側部を吹出口としてある。この熱交換装置１は、例えば吊りボルトやワイヤなどの吊下部材（図示せず）によって天井１０ｂから適宜間隔をおいて吊り下げた状態にして吊設してある。

空気清浄装置２は、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）であり室内１０の空気を吸込んで清浄処理した空気を室内１０に吹出す。具体的に空気清浄装置２は、箱形のケーシングの一側部を吸込口として当該吸込口にファン２ａを配置してあり、他側部を吹出口として当該吹出口にフィルタ２ｂを配置してある。フィルタ２ｂとしては、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタである。

また、空気清浄装置２の吹出口には、導風部材３が設けてある。導風部材３は、吹出口の上端部から側方に延在しつつ下方に向けて湾曲または折曲した板材からなり、空気清浄装置２の他側部において下方に向く開口３ａを形成してある。つまり、導風部材３は、空気清浄装置２の吹出口を覆って下方に向く開口３ａを形成し、空気清浄装置２の他側部の吹出口から吹出される空気を下方に向けて導くものである。また、開口３ａには、空気の流れを整える整流板３ｂが設けてある。

上記空気清浄装置２は、熱交換装置１の周側部において吸込口を熱交換装置１の吹出口に向けた形態で、例えば吊りボルトやワイヤなどの吊下部材（図示せず）によって天井１０ｂから適宜間隔をおいて吊り下げた状態にして吊設してある。

また、熱交換装置１および空気清浄装置２は、相互のケーシングの底部をほぼ水平方向に揃えて配置してある。

本実施の形態におけるクリーンルームは、熱交換装置１の周囲に空気清浄装置２を配置した空調清浄ユニットを構成してある。そして、図１では、空調清浄ユニットをクリーンルームの室内１０の２箇所に配置してある。なお、空調清浄ユニットは、図１に示すように熱交換装置１の両側だけでなく熱交換装置１の周側に空気清浄装置２を複数配置してあってもよい。この場合、熱交換装置１の吹出口は、少なくとも各空気清浄装置２に向けて空気を吹出す構成とする。また、空調清浄ユニットは、図１に示すように熱交換装置１の両側に空気清浄装置２を配置せず片側に配置してあってもよい。この場合、熱交換装置１の吹出口は、空気清浄装置２以外の方向に向けて空気を吹出す構成としてもよい。また、空調清浄ユニットは、図１に示すように２箇所に限らず、１〜複数箇所に設けてあってもよい。

なお、クリーンルームの室内１０において、建物の上部梁１１の間のふところには、熱交換装置１や空気清浄装置２への電源供給用のケーブルや、冷水配管などを配置するラック５が設けてある。

上述したクリーンルームでは、熱交換装置１の底部の吸込口から吸込まれた室内１０の空気は、当該熱交換装置１によって冷房負荷を処理されて吹出口から周側方に吹出される。そして、熱交換装置１から吹出された空気は、空気清浄装置２の一側部の吸込口から吸込まれて当該空気清浄装置２のフィルタ２ｂで清浄処理されて他側部の吹出口から吹出される。そして、空気清浄装置２の他側部の吹出口から吹出された空気は、導風部材３によって室内１０の下方（床１０ａ側）に導かれる。さらに、室内１０の床１０ａ側に導かれた空気は、床１０ａから熱交換装置１に向けて上昇して当該熱交換装置１の底部の吸込口から吸込まれる。このように、熱交換装置１で処理された空気を空気清浄装置２で処理し、２つの処理が行われた空気が室内１０に吹出されるとともに室内１０を循環する。

したがって、上述したクリーンルームでは、室内１０の上部において、底部から吸込んだ空気を周側方に吹出す形態で熱交換装置１を配置し、側部から吸込んだ空気を導風部材３によって下方に向けて吹出す形態で空気清浄装置２を配置してあり、熱交換装置１で処理された空気を空気清浄装置２で処理して室内１０に循環させる。この結果、室内１０にクリーンルームの天井やリターンチャンバーを要さないので、必要とするクリーンルームの天井高さを得た上で建物階高を低くすることが可能になる。

さらに、上述したクリーンルームでは、熱交換装置１および空気清浄装置２の互いの底部を水平方向に揃えて同一高さに配置できる。この結果、クリーンルームの必要天井高さを得た上で室内１０の天井高さを低くすることができ、建物階高をさらに低くすることが可能になる。また、熱交換装置１および空気清浄装置２の高さを揃えたことで、電源供給用のケーブルや、冷水配管などの配置が容易になる。

また、上述したクリーンルームでは、空気清浄装置２の吸込口に向けて熱交換装置１から集中的に空気を吹出すため、熱交換装置１と空気清浄装置２とを離隔しても空気を送ることが可能である。この結果、クリーンルームの室内１０での設計の自由度を向上することが可能になる。さらに、熱交換装置１と空気清浄装置２とをクリーンルームの熱負荷および清浄度に応じて独立にも設置できるので、熱交換装置１および空気清浄装置２のランニングコストを低減することが可能になる。

また、上述したクリーンルームでは、空気清浄装置２の吹出口に空気を下方に向けて導く導風部材３を設けたので、従前からある空気清浄装置を横向きにして採用することが可能となり、特別に空気清浄装置を設計する必要がない。

本発明に係るクリーンルームの実施の形態を示す概略図である。

符号の説明

１ 熱交換装置
２ 空気清浄装置
２ａ ファン
２ｂ フィルタ
３ 導風部材
３ａ 開口
３ｂ 整流板
５ ラック
１０ 室内
１０ａ 床
１０ｂ 天井
１０ｃ 周壁
１１ 上部梁

Claims (2)

1. 室内の上部に配置されて前記室内の空気を吸込んで冷暖房負荷を処理した空気を前記室内に吹出す熱交換装置と、前記室内の上部に配置されて前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内に吹出す空気清浄装置とを備えたクリーンルームにおいて、
   前記熱交換装置は底部から吸込んだ空気を周側方に吹出す形態で配置してあり、前記空気清浄装置は側部から吸込んだ空気を下方に向けて吹出す形態で配置してあることを特徴とするクリーンルーム。
2. 前記空気清浄装置は一側部から吸込んだ空気を他側部から吹出す形態で配置してあり、当該他側部には吹出される空気を下方に向けて導く導風部材を設けてあることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。

Images