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JP2006065118A - 照明光学装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 分解能とコントラストの高い微小ミラーのアレイからなる空間光変調器の照明光学装置の提供。
【解決手段】 光軸に対して傾斜して設置された平面光源と、テレセントリック光学系を設置し、平面光源と空間光変調器がシャインプルーフの関係を満足するように配置し、照明光軸に対して所定の角度傾斜して設置された空間光変調器上の全ての微小ミラーに主光線が照明光軸と一致する様に平面光源を結像して照明する。これにより空間光変調器の個々の微小ミラーを照明する照明光はその主光線が平行で空間光変調器に対しては所定の角度で斜め方向から照明される。これにより高い分解能と迷光を排除した高いコントラストが得られる。
【選択図】 図1

Description

デジタルマイクロミラーデバイス(Digital
Micro Mirror Device)(以下DMDと記す)に代表される微小ミラーのアレイからなる空間光変調器が、プロジェクタなどの画像表示装置,光造形装置や露光装置などのパターン発生手段、それに顕微鏡の共焦点走査手段として利用されている。空間光変調器を利用した機器は、空間光変調器本体を挟んで前段および後段の二つの光学系から成り立っている。まず前段の照明光学系で空間光変調器に光を導入し、空間光変調器で空間光変調を行い、出力光をそれぞれの利用装置に適した後段の結像光学系や投影光学系などにより空間光変調器を利用した機器の目的に応じた所望の機能を得る構成になっている。本発明は微小ミラーのアレイからなる空間光変調器に照明光を導入する前段の照明光学系で構成される照明光学装置に関する。
DMDはテキサスインスツルメンツ社(米国テキサス州)によって開発され、±10度または±12度の傾動角を持つ微小ミラーの二次元アレイである。DMDの空間光変調機能は微小ミラーの傾動制御によって照明光の進行方向をスイッチすることで実現している。集積度が640×480,1024×768など数種類のデバイスが販売されている。DMDに垂直な方向に光を反射させるためには20度または24度の方向から光を入射しなければならない。DMDが照明光軸に対して傾斜していることと、微小ミラーがさらに所定の角度10度または12度傾動することの二つの要因により、DMDに代表される微小ミラーのアレイからなる空間光変調器の性能を余すところなく発揮する最適な照明系が確立していない。
従来のDMDを利用した装置の照明光学系は、平行光による照明法と光源の像をDMDに結像する照明法が知られている。
平行光による照明法では,略平行光が利用されてきた。しかし平行からのわずかなズレが装置の焦点面をずらせてしまう問題が生ずる。図6は平行でない光がDMDに導光された場合の例として、収束光によるDMDの照明を示すもので、平行光から大きくずれた状態を現している。焦点面が光軸に対して垂直な面と一致しない。加えて厳密な平行光を得ることは、光源が点光源でない、すなわち光源がある大きさがあるので困難を伴う。このような現象によって装置の解像度とコントラストを劣化させてしまう問題がある。平行性の優れるレーザー光は干渉性が高くDMDの構造に起因する干渉パターンが現れて利用できない。
光源の像をDMDに結像する照明法では、光源から射出された光をロッドインテグレータを利用した光照度の均一化手段を通過し、リレーレンズ群によってロッドインテグレータの射出端面、またはプロジェクタなどカラー表示を行うものではカラーフィルタの像がDMDに結像され照明される。しかし、DMDは照明光軸に対して傾いているので、照明光軸に対して垂直な射出端面やカラーフィルタを精度良く結像することは困難である。この理由から装置の解像度とコントラストが劣化せざるを得ない。また、完全な平行光で照明した場合には、照明光の入射角度が個々の微小ミラー全て一定になるが、従来の結像方法では一定にならずDMD上の微小ミラーの位置によって差が出てしまう問題があり、従来の結像照明法では後段の投影系などによる像がボケてしまう。また従来の結像照明法では、ロッドインテグレータなどの照度を均一化する光学素子を設置したとしても結像系のCOS4乗則として知られる照度ムラが発生することも問題である。
一般的に、DMDの照明系は、カメラや顕微鏡などの照明光が一度物体に当たって散乱光となるシステムと違って、照明対象がミラーであり照明光の質がDMDの射出光にも反映される。照明光に対する技術的な検討が不足すると、DMDの射出光を処理する後段光学系として高性能な結像系や投影系を利用しても装置全体の解像度やコントラストを高めることは不可能である。従来の照明法ではDMDの持つ性能を最大限に発揮させる事が難しい。
これらの諸問題は、上記DMD以外の空間光変調器、例えば引用文献3や引用文献4などに開示された微小ミラーのアレイからなる空間光変調器でも同様に存在する。
特開2002-367900号公報 特開2002-268010号公報 特開2001-75029号公報 特開平7-306368号公報
本発明の目的は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、高い分解能と迷光を排除した高いコントラストを有する、微小ミラーのアレイからなる空間光変調器を利用した機器に最適な照明光学装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、請求項1の発明は微小ミラーのアレイからなる空間光変調器を備え、該空間光変調器が照明光軸に対して所定の角度で傾斜して設置されていると共に、前記空間光変調器を光源からの光で照明し、前記空間光変調器によって空間光変調された光を利用する機器の照明光学装置であって、
前記照明光軸に対して傾斜して配置された平面光源と、両側テレセントリックなレンズ光学系と、を備え、前記平面光源が空間光変調器にシャインプルーフの関係を満足して結像されることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1において、平面光源は光源からの光照度を均一に調整するロッドインテグレータと、該ロッドインテグレータの射出端近傍に傾斜して設置された視野絞りとを含み、前記ロッドインテグレータの射出端近傍とはロッドインテグレータの射出角で決定される錐体の輪郭内側であると共に、前記錐体の底面はロッドインテグレータの射出端面であり、前記光源からの光をロッドインテグレータの入射端から導入し、前記視野絞りの位置に前記平面光源が生成されることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1において、平面光源は射出端が斜めにカットされたロッドインテグレータを含み、該ロッドインテグレータの入射端に光源からの光を導入し、該ロッドインテグレータの射出端面に前記平面光源が生成されることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1において、平面光源は照明光軸に対してオフセット角を持って設置されていると共に、射出端が斜めにカットされたロッドインテグレータを含み、該ロッドインテグレータの入射端に光源からの光を導入し、該ロッドインテグレータの射出端に前記平面光源が生成されることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1において、平面光源は配光角度が調整された薄膜散乱体であることを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項1において、平面光源は面発光体であることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項1〜4のいずれかにおいて、空間光変調器の微小ミラーごとに平面光源からの照明光の面内分布を均一にする手段を備えていることを特徴とする。
請求項1の発明によれば、空間光変調器の個々の微小ミラーを照明する照明光はその主光線が平行で空間光変調器に対しては所定の角度で斜め方向から照明されるので、高い分解能と迷光を排除した高いコントラストが得られる。
請求項2の発明によれば、ロッドインテグレータの射出端近傍に設置した視野絞りの開口面に、平面光源を限定することで、光軸に対して垂直なロッドインテグレータの射出端面そのものを光軸に対して所定の角度傾いて配置されている空間光変調器の照明に不要な光(迷光)を遮断する。これにより解像度とコントラストを向上させると共に、空間光変調器を利用した光学装置の視野全体の分解能を向上させることができる。
請求項3の発明によれば、斜めに切断した射出端を持つロッドインテグレータを照射光軸に対してオフセット角を持たせて設置し、射出端面に2次光源として平面光源を生成することで、ロッドインテグレータの射出端面の配光特性が考慮されロス光のない明るい照明装置である。
図1は本発明の照明光学装置の概念図である。空間光変調機能を実現するため、照明光軸に対して所定の角度傾いて微小ミラーのアレイからなる空間光変調器が設置されている。この種の空間光変調器はDMDに代表されるので、以下の説明ではDMDを用いる。
平面光源はDMDの照明光軸に対して傾斜して設置されている。この平面光源とDMDの間には照明光学系を構成するテレセントリック光学系が配置されている。このテレセントリック光学系により平面光源の像がDMDに結像される。この構成では平面光源とDMDは共に照明光軸に対して傾斜して設置してあるが、平面光源とDMDはテレセントリック光学系に対してシャインプルーフの関係を満足する配置になっている。図には示していないがDMDに入射した照明光は空間的に変調され射出光となり、後段の投影光学系などに導入される。
DMDの個々の微小ミラーを照明する照明光はその主光線が平行でDMDに対しては所定の角度で斜め方向から照明される。照明光の開き角度βは一定でテレセントリック光学系の開口絞りを利用し平面光源の配光特性とDMDに対する角度βの入射可能な範囲を考慮して容易に調整する事ができる。他の光学系の持つCOS4乗則による照度のムラも発生しない。
DMDの各種用途に応じて本発明の照明光学装置を適用し、DMDの入射側とDMDの射出側の処理を組み合わせることによって、解像度とコントラストの高い光学機器を提供する事ができる。
図2は本発明の照明光学装置を利用したプロジェクタを示す。プロジェクタはDMDを介して照明光学系と投影光学系が設置されている。投影光学系の光軸はDMDに対して垂直であり、照明光学系の光軸は24度の角度でDMDの位置で交差している。その角度は本実施例では24度であるが採用するDMDによって20度の場合もある。
照明光学系は光源1と集光装置2とロッドインテグレータ3と視野絞り4と両側テレセントリックであるレンズ群5と開口しぼり6により構成されている。
投影光学系はDMD10側がテレセントリックである投影レンズ7とスクリーン8により構成されている。
ロッドインテグレータ3は光源から射出された光を導入して照度を均一に調整する。視野絞り4はロッドインテグレータ3の射出端近傍に傾斜して設置される。ここで、ロッドインテグレータ3の射出端近傍とは、図3の斜線部で示すようにロッドインテグレータ3の射出角で決定される錐体30の輪郭内側である。錐体30はロッドインテグレータ3が円柱である場合は円錐となり、角柱である場合には四角錘となる。錐体30の底面はロッドインテグレータ3の射出端面31である。
錐体30の輪郭内側に視野絞り4を設置するとその位置(絞り開口面)40には平面光源が生成される
ロッドインテグレータ3の射出角は光源からロッドインテグレータ3へ入射する角度と、ロッドインテグレータ3の材質の屈折率で決定される全反射角のどちらかの角度によって決定される。視野絞り4は錐体30の外側の平面光源とはみなせない領域からの光を遮断し迷光を押さえる。
視野絞り4の像は両側テレセントリック光学系を形成するレンズ群5を通してDMD10に結像される。視野絞り4とDMD10は光軸に対してともに傾いているが、レンズ群5に対してシャインプル―フの関係を満足する共役位置にある。この光学系により、DMD10のすべてのマイクロミラに平面光源が結像し、しかも主光線は投影光軸に対して24度の角度をなして平行である。
投影光学系はDMD10側がテレセントリックである投影レンズが設置され、DMD10から反射される主光線が平行状態で投影レンズ7に導かれスクリーン8に拡大投影される。
本構成の照明光学系を利用すると光軸に対して傾いた平面光源を傾いたDMD10に結像するので、結像光学系で周知の台形歪が発生し、結果として照明ムラを生じる。しかし、プロジェクタとしては要求性能上差し支えない範囲である。なお、より均一な表示を要求する場合には、実施例2として後述する露光装置の照明ムラを補正する手段を同様に採用する事ができる。
図4は本発明の照明光学装置を利用した露光装置を示す。露光装置はコンピュータ20に接続されたDMD10を介して照明光学系と両側テレセントリック縮小投影光学系を設置し、コンピュータ20にあらかじめ保存したパターンをDMD10に表示させ、試料30にパターンを露光するよう構成されている。
照明光学系を構成する照明光学装置は光源1と集光装置2とロッドインテグレータ3とテレセントリック光学系を構成するレンズ群5と開口しぼり6により構成されている。
ロッドインテグレータ3の射出端面31は、角度Bで斜めにカットされ、ロッドインテグレータ3の軸は照明光軸に対して角度Aだけオフセット角を持たせて設置されている。ロッドインテグレータ3の射出端面31とDMD10とはテレセントリック光学系に対してシャインプルーフの関係を満足する様に設置されている。
オフセット角を持たせることで、ロッドインテグレータ3の射出端面31からの光が照明光軸と一致するようになり、結果として最も光利用効率が良くなる。
図4において、
A:オフセット設置角(ロッドインテグレータ3の軸と照明光軸のなす角度)
B:斜めカット角(ロッドインテグレータ3の軸とロッドインテグレータ射出端面31のなす角度)
C:射出端傾斜角(ロッドインテグレータ射出端面31と照明光軸のなす角度)
n:ロッドインテグレータのコアの屈折率
とすると、
射出端傾斜角Cはテレセントリック光学系に対してDMD10の傾斜角とシャインプルーフの関係を満足する様に決定される。また、空気の屈折率を1とすると、スネルの法則が成り立ちnSinB=Sin(A+B)。またA+B+C=90度であるので、Cとnが決まれば、AとBはそれぞれ決定される。
ロッドインテグレータ3の射出端31とDMD10の配置はテレセントリック光学系に対してシャインプルーフの関係を満足する。このような構成によれば、DMD10上の全ての微小ミラーに主光線が平行で所定の角度傾斜した方向から平面光源を結像させることができる。またオフセット角Aを持たせたことにより光束の無駄がなく、能率よくDMD10を照明可能にする。
本実施例では、レンズ2枚と開口しぼり6からなる最も単純な構成のテレセントリック光学系を採用したがレンズ群を利用し収差を補正した構成や、よりコンパクトな構成が可能である。また拡大倍率は約2.5倍になっているがこれに限定されない。
次にDMD10の微小ミラーごとに平面光源からの照明光の面内分布を均一にする手段について説明する。
本発明の照明光学系を利用すると光軸に対して傾いた平面光源を傾いたDMDに結像するので台形歪が発生し、照明ムラを生じる。
照明ムラ補正の具体例を露光装置により説明する。図5は照明ムラを補正した露光のフローチャートを示す。
先ず、コンピュータを利用した照明光学シミュレーションによって、テレセントリック光学系を構成するレンズ群のDMDの位置における照度分布、すなわちDMDの微小ミラー(以下画素と記す)(x,y)ごとの照度を計算する。これを規格化するために画素ごとの照度の逆数を計算し、照明ムラ補正テーブルN(x,y)とする。この補正テーブルは予め記憶しておく。
所望の露光パターンG(x,y)がコンピュータに入力され、画素ごとに補正された制御値S(x,y)が計算される。
S(x,y)=G(x,y)×N(x,y)
この制御値S(x,y)によりDMDを制御することにより照明ムラを補正した露光が可能となる。
DMDの制御法には強度調節法と時間調節法の2つの方法がある。強度調節法はパルス幅変調(PWM)で微小ミラーを細かくオン・オフし、露光時間内の強度を制御値S(x,y)にする。一方時間調節法は制御値S(x,y)の時間だけ微小ミラーをオンする。これらのいずれかの方法を用いてDMDを制御する。
照明ムラ補正の他の方法はDMDの位置にCCDなどの画像検出器を設置し、この画像検出器によって実測しても良い。実測値からN(x,y)を計算する。画素ごとの照度を実測すると光源やロッドインテグレータを含めた照明系全体を補正することができる。
DMD上のすべての微小ミラーに対して所定の角(20度または24度)で照明する事が出来るので、DMDの利用装置の視野全体に高分解能が発揮されると共に、光源からの光エネルギを無駄なく利用可能となる。
上記の実施例に示す様に、平面光源は光源からの光を変換手段で変換し2次光源として生成する。変換手段は上記のロッドインテグレータを利用した方法以外に薄膜散乱体や光ファイバーを束ねたファイバーオプチックプレートなどが利用可能である。薄膜散乱体やファイバーオプチックプレートの射出面をテレセントリック光学系に対してDMDとシャインプルーフの関係を満足する様に照明光軸に対して傾斜して配置する。
また平面光源はそれ自体が平面状に発光する面発光体であっても良い、エレクトロルミネッセンス発光体、LEDの集積体などが使用可能である。もちろん面発光体もテレセントリック光学系に対してDMDとシャインプルーフの関係を満足する様に照明光軸に対して傾斜して配置する。
本発明の照明光学装置の概念図である。 本発明の照明光学装置を利用したプロジェクタを示す図である。 ロッドインテグレータに対する視野絞りの設置範囲を説明する図である。 本発明の照明光学装置を利用した露光装置を示す図である。 照明ムラを補正した露光のフローチャートを示す図である。 集束光でDMDを照明した場合の焦点位置を示す図である。
符号の説明
1 光源
2 集光装置
3 ロッドインテグレータ
4 視野絞り
5 照明光学系のレンズ群
6 開口絞り
7 投影光学系のレンズ
8 プロジェクタのスクリーン
10 DMD
20 コンピュータ
30 試料

Claims (7)

  1. 微小ミラーのアレイからなる空間光変調器を備え、該空間光変調器が照明光軸に対して所定の角度で傾斜して設置されていると共に、前記空間光変調器を光源からの光で照明し、前記空間光変調器によって空間光変調された光を利用する機器の照明光学装置であって、
    前記照明光軸に対して傾斜して配置された平面光源と、両側テレセントリックなレンズ光学系と、を備え、前記平面光源が空間光変調器にシャインプルーフの関係を満足して結像されることを特徴とする照明光学装置。
  2. 請求項1において、平面光源は光源からの光照度を均一に調整するロッドインテグレータと、該ロッドインテグレータの射出端近傍に傾斜して設置された視野絞りとを含み、前記ロッドインテグレータの射出端近傍とはロッドインテグレータの射出角で決定される錐体の輪郭内側であると共に、前記錐体の底面はロッドインテグレータの射出端面であり、前記光源からの光をロッドインテグレータの入射端から導入し、前記視野絞りの位置に前記平面光源が生成されることを特徴とする照明光学装置。
  3. 請求項1において、平面光源は射出端が斜めにカットされたロッドインテグレータを含み、該ロッドインテグレータの入射端に光源からの光を導入し、該ロッドインテグレータの射出端面に前記平面光源が生成されることを特徴とする照明光学装置。
  4. 請求項1において、平面光源は照明光軸に対してオフセット角を持って設置されていると共に、射出端が斜めにカットされたロッドインテグレータを含み、該ロッドインテグレータの入射端に光源からの光を導入し、該ロッドインテグレータの射出端面に前記平面光源が生成されることを特徴とする照明光学装置。
  5. 請求項1において、平面光源は配光角度が調整された薄膜散乱体であることを特徴とする照明光学装置。
  6. 請求項1において、平面光源は面発光体であることを特徴とする照明光学装置。
  7. 請求項1〜6のいずれかにおいて、空間光変調器の微小ミラーごとに平面光源からの照明光の面内分布を均一にする手段を備えていることを特徴とする照明光学装置。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293210A (ja) * 2006-04-27 2007-11-08 Olympus Corp イメージング装置
JP2008091907A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Asml Netherlands Bv 測定装置および方法
JP2009110004A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Leica Microsystems (Schweiz) Ag 光学顕微鏡用の照明装置及び該照明装置を有する光学顕微鏡
JP2012034175A (ja) * 2010-07-30 2012-02-16 Tamura Seisakusho Co Ltd 投影装置、投影システム、投影方法及び投影プログラム
CN103339492A (zh) * 2010-12-01 2013-10-02 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有双远心光学系统的传感器装置
JP2015084058A (ja) * 2013-10-25 2015-04-30 株式会社キーエンス 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム
JP2017183667A (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 キヤノン株式会社 照明装置、光学装置、インプリント装置、投影装置、及び物品の製造方法
JP2020506413A (ja) * 2017-01-19 2020-02-27 イノヴェイションズ イン オプティクス,インコーポレイテッドInnovations In Optics,Inc. 発光ダイオードデジタルマイクロミラーデバイスイルミネータ
WO2023278847A1 (en) * 2021-07-02 2023-01-05 Fluidigm Corporation An angled illumination system for microfluidic devices
WO2023282207A1 (ja) * 2021-07-05 2023-01-12 株式会社ニコン 露光装置、露光方法およびフラットパネルディスプレイの製造方法
WO2023127499A1 (ja) * 2021-12-28 2023-07-06 株式会社ニコン 露光装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006337834A (ja) * 2005-06-03 2006-12-14 Fujifilm Holdings Corp 露光装置及び露光方法
JP5025157B2 (ja) * 2005-09-29 2012-09-12 大日本スクリーン製造株式会社 画像記録装置および画像記録方法
CN103364345B (zh) * 2013-06-25 2015-11-11 浙江大学 基于数字微镜元件的全反射显微镜环形扫描方法和装置
CN106292146A (zh) * 2016-09-14 2017-01-04 海信集团有限公司 光机照明系统
CN109782515B (zh) * 2017-11-13 2022-06-03 深圳光峰科技股份有限公司 光源系统及应用该光源系统的投影装置
CN109084679B (zh) * 2018-09-05 2019-08-06 天目爱视(北京)科技有限公司 一种基于空间光调制器的3d测量及获取装置
KR102617540B1 (ko) * 2018-09-14 2023-12-26 에스엘 주식회사 조명 장치
US20210385427A1 (en) * 2018-11-16 2021-12-09 Wintech Digital Systems Technology Corporation Optical Engine for 3D Detection and 3D Detection Device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10127611C2 (de) * 2001-06-07 2003-08-07 Jena Optronik Gmbh Anordnung zum Anregen und Auslesen der Fluoreszenzstrahlung eines Probenträgers mit einer Vielzahl von Einzelproben
JP4159840B2 (ja) * 2001-10-01 2008-10-01 松下電器産業株式会社 投写型表示装置、リアプロジェクタ及びマルチビジョンシステム
JP4111074B2 (ja) * 2002-08-20 2008-07-02 セイコーエプソン株式会社 プロジェクタ

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293210A (ja) * 2006-04-27 2007-11-08 Olympus Corp イメージング装置
JP2008091907A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Asml Netherlands Bv 測定装置および方法
US7804603B2 (en) 2006-10-03 2010-09-28 Asml Netherlands B.V. Measurement apparatus and method
US7916310B2 (en) 2006-10-03 2011-03-29 Asml Netherlands B.V. Measurement apparatus and method
JP2009110004A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Leica Microsystems (Schweiz) Ag 光学顕微鏡用の照明装置及び該照明装置を有する光学顕微鏡
JP2012034175A (ja) * 2010-07-30 2012-02-16 Tamura Seisakusho Co Ltd 投影装置、投影システム、投影方法及び投影プログラム
CN103339492A (zh) * 2010-12-01 2013-10-02 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有双远心光学系统的传感器装置
JP2015084058A (ja) * 2013-10-25 2015-04-30 株式会社キーエンス 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム
JP2017183667A (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 キヤノン株式会社 照明装置、光学装置、インプリント装置、投影装置、及び物品の製造方法
KR20170113310A (ko) * 2016-03-31 2017-10-12 캐논 가부시끼가이샤 조명 장치, 광학 장치, 임프린트 장치, 투영 장치 및 물품의 제조 방법
KR102175590B1 (ko) 2016-03-31 2020-11-06 캐논 가부시끼가이샤 조명 장치, 광학 장치, 임프린트 장치, 투영 장치 및 물품의 제조 방법
JP2020506413A (ja) * 2017-01-19 2020-02-27 イノヴェイションズ イン オプティクス,インコーポレイテッドInnovations In Optics,Inc. 発光ダイオードデジタルマイクロミラーデバイスイルミネータ
WO2023278847A1 (en) * 2021-07-02 2023-01-05 Fluidigm Corporation An angled illumination system for microfluidic devices
WO2023282207A1 (ja) * 2021-07-05 2023-01-12 株式会社ニコン 露光装置、露光方法およびフラットパネルディスプレイの製造方法
WO2023127499A1 (ja) * 2021-12-28 2023-07-06 株式会社ニコン 露光装置

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