JP2005302784A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
半導体発光素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005302784A JP2005302784A JP2004112338A JP2004112338A JP2005302784A JP 2005302784 A JP2005302784 A JP 2005302784A JP 2004112338 A JP2004112338 A JP 2004112338A JP 2004112338 A JP2004112338 A JP 2004112338A JP 2005302784 A JP2005302784 A JP 2005302784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- cladding layer
- semiconductor light
- light emitting
- gan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 abstract description 26
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 63
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 41
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 14
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 6
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- -1 InGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/04—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction
- H01L33/06—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction within the light emitting region, e.g. quantum confinement structure or tunnel barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/223—Buried stripe structure
- H01S5/2231—Buried stripe structure with inner confining structure only between the active layer and the upper electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/065—Mode locking; Mode suppression; Mode selection ; Self pulsating
- H01S5/0651—Mode control
- H01S5/0653—Mode suppression, e.g. specific multimode
- H01S5/0655—Single transverse or lateral mode emission
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2214—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers based on oxides or nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Geometry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
【課題】3元InGaNよりなるMQW活性層を用いたGaN系半導体発光素子における漏れ電流の増大を防止し、高出力動作可能かつ、長期信頼性を有する発光素子を提供する。
【解決手段】本発明の半導体発光素子は、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型クラッド層(110)と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層及びIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層(115)と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型クラッド層(120)とを備え、前記各層の構成成分のモル分率が相分離を最小限に抑えるよう(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の半導体発光素子は、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型クラッド層(110)と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層及びIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層(115)と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型クラッド層(120)とを備え、前記各層の構成成分のモル分率が相分離を最小限に抑えるよう(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子の構造及びプロセスに関し、特にレーザダイオードに使用されるIII族窒化物材料を主要成分とする半導体発光素子及びその製造方法に関する。
青色レーザ光源は、ディスク記憶装置、DVD等、次世代の高密度光デバイスには必須の技術である。図11は、従来技術の半導体レーザ装置の断面図を示す(非特許文献1参照)。サファイア基板5上に、窒化ガリウム(以下、GaNという)緩衝層10、n型GaN層15がこの順に形成され、さらに、0.1μm厚の二酸化ケイ素(SiO2)層20からなるパターンが形成され、さらにGaN結晶の<1−100>方向に12μmの周期性で4μm幅のストライプ状のウィンドウ25が形成されている。この上に、n型GaN層30、n型窒化インジウムガリウム(In0.1Ga00.9N)層35、n型窒化アルミニウムガリウム((Al0.14Ga0.86N))/GaN)変調ドープ歪層超格子(以下、MD−SLSという)クラッド層40、及びn型GaNクラッド層45が順次形成されている。さらに、(In0.02Ga0.98N/In0.15Ga0.85N)多重量子井戸(以下、MQWという)活性層50が形成され、その上にp型Al0.2Ga0.8Nクラッド層55、p型GaNクラッド層60、p型Al0.14Ga0.86N/GaN MD−SLSクラッド層65、及びp型GaNクラッド層70が形成されている。
p型MD−SLSクラッド層55には、リッジストライプ構造が形成されて、リッジ導波構造内を伝搬する光分布を水平横方向に閉じ込めるようになっている。p型GaNクラッド層70の上及びn型GaNクラッド層30の上には、電極(図示せず)が形成されて電流を注入するようになっている。
図11に示す構造において、n型GaNクラッド層45及びp型GaNクラッド層60は光導波層である。n型MD−SLSクラッド層40及びp型MD−SLSクラッド層65は、MQW層50の活性領域に注入されたキャリアと光を閉じ込めるクラッド層として作用する。n型In0.1Ga0.9N層35は、厚いAlGaN膜を成長させた場合のクラックの発生を防止する緩衝層として作用する。
図11に示す構造の半導体レーザでは、電極を通じてMQW活性層50内にキャリアが注入され、波長400nm帯の光が放出される。リッジストライプ領域の下方ではリッジストライプ領域外よりも実効屈折率が大きいので、p型MD−SLSクラッド層65に形成されたリッジ導波構造によって、光分布が活性層内の水平横方向に閉じ込められる。
他方、活性層の屈折率は、n型GaNクラッド層45及びp型GaNクラッド層60の屈折率、さらに、n型MD−SLSクラッド層40、及びp型MD−SLSクラッド層60の屈折率よりも大きいので、n型GaNクラッド層45、n型MD−SLSクラッド層40、p型GaNクラッド層60、及びp型MD−SLSクラッド層55により、光分布が活性層内の垂直方向に閉じ込められ、前記の作用とあいまって基本横モード発振が得られる。
S.Nakamura、MRSブリティン(MRS BULLETIN)第23冊5号37〜43ページ、1998年
S.Nakamura、MRSブリティン(MRS BULLETIN)第23冊5号37〜43ページ、1998年
しかし、図11に示す構造の場合、AlGaN、InGaN及びGaNの格子定数が互いに異なるため、n型In0.1Ga0.9N層35、(In0.02Ga0.98N/In0.15Ga0.85N)MQW活性層50、n型(Al0.14Ga0.86N/GaN)MD−SLSクラッド層40、p型(Al0.14Ga0.86N/GaN)MD−SLSクラッド層65、及びp型Al0.2Ga0.8Nクラッド層55の全体の厚さが臨界厚を越えたときは、常に歪のエネルギーを解放させる手段として、格子欠陥が発生する。格子欠陥は、レーザ光の吸収中心として作用するので、発光効率の低下と閾値電流の上昇を引き起こし、その影響は格子欠陥密度が108/cm3以上で顕著となる。
しかし、上記のように臨界厚を超えたときは108/cm3より小さい桁まで欠陥密度を低減させることは困難である。その結果、10000時間以上の長期信頼性を保証するレーザを実現することが難しくなる。
特に、ウェル層、バリア層からなるMQW活性層を全てInGaN材料で構成した場合、活性層はGaNと格子定数が異なるために、発光層となる活性層自体が臨界膜厚を超え、活性層内に格子欠陥が生じる可能性があり、その場合の信頼性低下はより深刻である。
さらに、半導体レーザの高温、高出力動作を実現するためには、ウェル層とバリア層のバンドギャップ差をできるだけ大きくし、誘導放出により発光再結合する前に、ウェル層に一旦注入されたキャリアが熱エネルギーによりウェル外に漏れることを防ぐ必要がある。
また、InN、AlN、GaNから構成される窒化物混晶半導体を考えると、InN−GaN間、InN−AlN間及び、GaN−AlN間の格子不整合は、それぞれ11.3%、13.9%及び2.3%である。この場合、InN、GaN及びAlN間で原子間距離が互いに異なっていることから、例えばInGaAlN層の格子定数がGaNと同じなるように組成を設定してやっても、InGaAlN層を構成する各原子間において、原子間隔や結合角の大きさが2元化合物半導体の場合における理想状態の大きさと異なるため、内部歪エネルギーがInGaAlN層内に蓄積する。
内部歪エネルギーを低減するために、InGaAlN系材料では相分離が発生する組成範囲が存在する。相分離が生じると、InGaAlN層内にIn原子、Ga原子及びAl原子がそれぞれ不均一に分布することになり、各構成層内の原子モル分率に従って均一に分布されないことになる。このことは、相分離が起こった層のバンドギャップエネルギー分布や屈折率分布も不均一になることを意味する。相分離された結果、形成される組成不均一領域は、光吸収中心として作用するか、又は導波光の散乱を発生させる。このため相分離が生じると、半導体レーザの駆動電流が上昇し、それによって半導体レーザの寿命を短縮させることになる。
上記理由より、窒化物系半導体レーザでは、材料の性質として格子欠陥や相分離が生じやすいため、従来の3元InGaNよりなるMQW活性層を用いた場合、漏れ電流が大きくなるという課題がある。その結果、100mW以上の高出力動作可能かつ、長期信頼性を有する高出力の半導体レーザを得ることが困難であった。
上記課題を解決するため、本発明の半導体発光素子は、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型の第1クラッド層と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層及びIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型の第2クラッド層とを備えた半導体発光素子であって、前記各層の構成成分のモル分率が相分離を最小限に抑えるよう(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されていることを特徴とする。
本発明の半導体発光素子の製造方法は、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型の第1クラッド層と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層とIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層と、In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型の第2クラッド層とを備えた半導体発光素子の製造方法であって、前記各層の500℃以上1000℃以下の範囲であり、かつ前記各層の構成成分のモル分率とが相分離を最小限に抑えるよう(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されていることを特徴とする。
本発明の半導体発光素子によれば、InGaAlN系材料よりなるクラッド層、バリア層を、基板材料と格子整合させるような原子組成とすことにより、基板との格子不整による格子欠陥の発生を抑えることができる。
また、半導体レーザを構成する各層の原子組成を相分離の生じない原子組成範囲で形成すれば、組成分離の発生も抑えることができ、導波路損失の増大を抑えることができる。
さらに、バリア層のバンドギャップもAlを含むInGaAlN系材料で形成すば、InGaNからなるバリア層よりもバンドギャップを大きくすることができ、漏れ電流を低減することが可能となる。また、ウェル層に3元系InGaNを用いることによりInGaAlNより成る4元系材料を用いるよりも原子の組成比を制御しやすいため発振波長の制御が容易になり、所望の発振波長を再現性よく得ることができる。
この結果、発光効率を大幅に向上させることができ、高出力動作に適した青色から緑色域の窒化物系半導体レーザを得ることができる。
また、結晶成長温度及び各層の構成成分のモル分率を調整することにより、相分離を生じないInGaAlN系材料を得ることができ、高品質のInGaAlN系材料を得ることができる。
本発明において、前記第1クラッド層、前記バリア層、前記井戸層、前記第2クラッド層において、(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されている。このように、Gaモル分率及びAlモル分率を特定の比率に調整することにより、半導体レーザを構成する各層の格子定数をほぼ一定にすることができ、格子欠陥の発生を抑えることができ、特に比率を規定することで、半導体レーザを構成する各層の格子定数をほぼGaNの格子定数に等しくすることができ、GaN層上に半導体レーザを形成する場合、格子欠陥を低減することができる。(x+1.2y)が0.9未満ではIn1-x-yGaxAlyN層の格子定数がGaNに比べて1%以上大きくなり、In1-x-yGaxAlyN層に大きな圧縮歪みが生じIn1-x-yGaxAlyN層に格子欠陥が生じやすくなるという不都合があり、(x+1.2y)が1.1を超えた場合はInGaAlNの格子定数がGaNの格子定数より1%以上小さくなり、In1-x-yGaxAlyN層に大きな引っ張り歪みが生じるためIn1-x-yGaxAlyN層に格子欠陥が生じやすくなるという不都合がある。
さらに、0≦x+y≦1 かつ 1≦x/0.8+y/0.89の関係が成り立つことが好ましい。前記結晶成長温度が約500℃から約1000℃の範囲にあることがさらに好ましい。前記第2クラッド層が、少なくともリッジ構造を有することが好ましい。これにより、導波路を伝播する光分布が安定な基本横モード発振を得ることができる。
また、クラッド層は組成分離を最小限に抑えることが可能となり、導波路損失の低減を行うことができ、また、発光部となる活性層に注入キャリアの閉じ込めと活性層での光密度が最大となるような導波路を得ることができる。
(実施の形態1)
(半導体発光素子の構造)
図1に、本発明の第1の実施形態における半導体発光素子の断面図を示す。図1に示すように、n型GaN基板100の上に、n型GaN第1クラッド層105(約0.5μm厚)、n型In0.05Ga0.75Al0.2N第2クラッド層110(約1.5μm厚)、In0.02Ga0.85Al0.13Nからなる4つの障壁層(各3.5nm厚)とその間に挟まれたIn0.12Ga0.88N からなる3つの量子井戸層(各3.5nm厚)とから構成された多重量子井戸活性層115が形成されている。
(半導体発光素子の構造)
図1に、本発明の第1の実施形態における半導体発光素子の断面図を示す。図1に示すように、n型GaN基板100の上に、n型GaN第1クラッド層105(約0.5μm厚)、n型In0.05Ga0.75Al0.2N第2クラッド層110(約1.5μm厚)、In0.02Ga0.85Al0.13Nからなる4つの障壁層(各3.5nm厚)とその間に挟まれたIn0.12Ga0.88N からなる3つの量子井戸層(各3.5nm厚)とから構成された多重量子井戸活性層115が形成されている。
さらに、その上にp型In0.05Ga0.75Al0.2N第3クラッド層120(約1.5μm厚)、p型GaN第4クラッド層125(約0.5μm厚)が形成されている。
p型GaN第4クラッド層125上には、1個のストライプ状ウィンドウ領域135(3.0μm幅)を有するSiO2層130が形成されている。
n型GaN基板100上には第1の電極140が形成されており、SiO2層130及びウィンドウ領域135の上には第2の電極145が形成されている。
活性層115から405nmの波長領域を有する青色光を放出させるために、井戸層のInNモル分率、GaNモル分率がそれぞれ0.12及び0.88に設定している。
本実施の形態では、上記した半導体層のうち4元系材料で構成される層のそれぞれにおいて、格子欠陥の発生を回避するため、Ga組成x及びAl組成yとして、x+1.2yが一定の値にほぼ等しくなるように設定して、様々な構成層の格子定数を互いに一致させている。この一定値は、1±0.1と設定すれば、GaNと格子定数を互いによく一致させられるが、さらに望ましくは1±0.05と設定するのがよい。
上記において井戸層に3元系のInGaNを用いているのは、InGaAlN系材料を用いるよりも原子組成比を制御しやすく、発振波長をより精密に制御することが可能だからである。
また、各層の材料を適切に選択することにより、n型第2クラッド層110及びp型第3クラッド層120のバンドギャップエネルギーが3対の多重量子井戸活性層115のバンドギャップエネルギーより大きくすることができる。これにより、n型第2クラッド層110及びp型第3クラッド層120からの注入キャリアが活性層115内に閉じ込められ、キャリアが再結合して紫外光を放出する。さらに、n型第2クラッド層110及びp型第3クラッド層120の屈折率が多重量子井戸活性層115の屈折率より小さいので、光の場が横方向に閉じ込められる。
電極145からの注入電流は閉じ込められてウィンドウ領域135を流れるので、ウィンドウ領域135下方の活性層115内の領域が強く活性化される。これにより、ウィンドウ領域6a下方の活性層内の局部モード利得がSiO2層下方の活性層内の局部モード利得より高くなる。したがって、上記した半導体積層構造内に、レーザ発振をもたらす利得導波による導波路が形成される。
図2に、本実施形態におけるレーザダイオードの電流−光出力特性を示す。レーザダイオードはデューティサイクル1%のパルス電流で駆動される。
図2に示すように、本実施形態のレーザダイオードにおいて、閾値電流密度は5.0kA/cm2と十分に低い値が得られており、高出力レーザの実現が可能となった。
(半導体発光素子の製造方法)
本実施の形態では、上記の半導体レーザの製造方法について説明する。図3Aないし図3Dは、第1の実施形態にかかる半導体レーザダイオードの製造工程の概要を示した図である。図3Aないし図3Dから得られる構造は、図1に示すものと類似しているので、可能な場合には同じ参照番号を使用することとする。
本実施の形態では、上記の半導体レーザの製造方法について説明する。図3Aないし図3Dは、第1の実施形態にかかる半導体レーザダイオードの製造工程の概要を示した図である。図3Aないし図3Dから得られる構造は、図1に示すものと類似しているので、可能な場合には同じ参照番号を使用することとする。
最初に図3Aに示すように、n型GaN基板100が設けられており、その上には、n型GaN第1クラッド層105を成長させる。第1クラッド層105は通常約0.5μm厚である。その後、通常約1.5μm厚のn型In0.05Ga0.75Al0.2N第2クラッド層110が形成される。
次に、35オングストローム厚のIn0.02Ga0.85Al0.13N材料からなる4つの障壁層と、それぞれ約35オングストローム厚の3層のIn0.12Ga0.88N材料からなる3つの量子井戸を形成することにより、多重量子井戸活性層115が形成される。
その後、約1.5μm厚のp型In0.05Ga0.75Al0.2N材料からなる第3クラッド層120が形成され、さらに、約0.5μm厚のp型GaNからなる第4クラッド層125が形成される。通常、各層は有機金属化学蒸着(MOCVD)法又は分子線エピタキシ(MBE)法のいずれか、又は各方法を併用して形成される。
その後、図3Bに示すように、p型GaN第4クラッド層125上に、例えば化学蒸着(CVD)法によってSiO2層130が形成される。次に、フォトリソグラフィとエッチング又は他の適切な方法とを用いて、図3Cに示すように、ウィンドウ領域135が形成される。ウィンドウ領域135は、ストライプ状であってもよい。
最後に、図3Dに示すように、蒸着又は他の適切な方法により、n型GaN基板100とSiO2層130上にそれぞれ第1の電極140と第2の電極145が形成される。
(第2の実施形態)
(半導体レーザの構造)
次に、図4を参照して、本発明の第2の実施形態における半導体発光素子について説明する。図4では、第1の実施形態と同じ構成要素は同じ参照番号で示した。n型GaN基板100の上に、約0.5μm厚のn型GaNからなる第1クラッド層105、約1.5μm厚のIn0.05Ga0.75Al0.2N材料からn型第2クラッド層110、35オングストローム厚のIn0.02Ga0.85Al0.13N材料からなる4つの障壁層と3対の形で構成される35オングストローム厚のIn0.12Ga0.88N材料からなる3つの量子井戸層とから構成された多重量子井戸活性層115がこの順に形成されている。さらに、その上に約1.5μm厚のIn0.05Ga0.75Al0.2N材料からなる第3のp型クラッド層120、約0.5μm厚のp型GaN第4クラッド層125が形成されており、p型第3クラッド層120及びp型第4クラッド層125が部分的に除去されてリッジ構造500が形成されている。また、リッジ構造500の少なくとも側面部及び、リッジ構造500以外に残存する第3クラッド層120の露出部分とを覆うようにSiO2層130が形成されている。第3クラッド層120及び第4クラッド層125の上方には、それぞれSiO2層130を介して、約2.0μm幅のストライプ状のウィンドウ領域135が形成されている。
(半導体レーザの構造)
次に、図4を参照して、本発明の第2の実施形態における半導体発光素子について説明する。図4では、第1の実施形態と同じ構成要素は同じ参照番号で示した。n型GaN基板100の上に、約0.5μm厚のn型GaNからなる第1クラッド層105、約1.5μm厚のIn0.05Ga0.75Al0.2N材料からn型第2クラッド層110、35オングストローム厚のIn0.02Ga0.85Al0.13N材料からなる4つの障壁層と3対の形で構成される35オングストローム厚のIn0.12Ga0.88N材料からなる3つの量子井戸層とから構成された多重量子井戸活性層115がこの順に形成されている。さらに、その上に約1.5μm厚のIn0.05Ga0.75Al0.2N材料からなる第3のp型クラッド層120、約0.5μm厚のp型GaN第4クラッド層125が形成されており、p型第3クラッド層120及びp型第4クラッド層125が部分的に除去されてリッジ構造500が形成されている。また、リッジ構造500の少なくとも側面部及び、リッジ構造500以外に残存する第3クラッド層120の露出部分とを覆うようにSiO2層130が形成されている。第3クラッド層120及び第4クラッド層125の上方には、それぞれSiO2層130を介して、約2.0μm幅のストライプ状のウィンドウ領域135が形成されている。
また、第1の実施形態と同様に、n型GaN基板100上には第1の電極140が形成され、SiO2層130上には第2の電極145が形成されている。
第1の実施形態と同様に、活性層14から405nm領域の波長を有する青色光を放出させるために、井戸層内のInN、GaNのモル分率がそれぞれ0.12、0.88に設定されている。また、4元系材料であるInGaAlNの各構成層の格子定数を一致させて格子欠陥を回避するため、全ての層のGa組成x及びAl組成yは、(x+1.2y)が一定の値にほぼ等しいという条件を満たしており、GaNと各層との格子定数がほぼ等しくなるようにするためには、(x+1.2y)は、1±0.1、さらに望ましくは1±0.05と設定するのがよい。
比較のために、n型In0.05Ga0.75Al0.2N第2クラッド層、及びp型In0.05Ga0.75Al0.2N第3クラッド層のGa及びAl組成が下表のように設定され、その他の構成層のAl及びGa組成は第ニの実施の形態と同一となるレーザの作成を行い、CW、60℃、30mWにて信頼性評価を行った結果を示す。動作電流値が信頼性評価開始時に比べて20%以上増大した時間を素子の寿命とし、1000時間以上の寿命の有り、及び無しにて、信頼性OK、及びNG判定を行っている。結果は、下表に示すように、(x+1.2y)が1±0.1以内の場合、信頼性はOKとなり、この範囲外の素子の信頼性はNGとなっている。これは、(x+1.2y)が0.9未満ではIn1-x-yGaxAlyN層の格子定数がGaNに比べて1%以上大きくなり、In1-x-yGaxAlyN層に大きな圧縮歪みが生じIn1-x-yGaxAlyN層に格子欠陥が生じやすくなり、(x+1.2y)が1.1を超えた場合はInGaAlNの格子定数がGaNの格子定数より1%以上小さくなり、In1-x-yGaxAlyN層に大きな引っ張り歪みが生じるためIn1-x-yGaxAlyN層に格子欠陥が生じる結果、動作電流値の増大をもたらしたと考えられる。
下記表1にクラッド層のAl、及びGa組成を変えた場合の信頼性評価結果を示す。
本実施形態によれば、クラッド層のバンドギャップエネルギーが活性層のバンドギャップエネルギーより大きい値に維持され、紫外光の放出が可能になっている。また、各層の屈折率の関係は第1の実施形態に関連して述べたとおりであり、光分布を横方向に閉じ込められるようになっている。
第1の実施形態の動作と同様に、SiO2層130によって活性層115に電流が注入される領域が制限され、活性層115におけるウィンドウ領域135の下方領域が強く励起される。
その結果、ウィンドウ領域135下方の活性層内の局部モード利得がSiO2層130下方の活性層内の局部モード利得より高くなる。これにより、リッジ構造500の外側と比較して、その内側において横方向の実効屈折率が相対的に高くなることとあいまって、実効的な屈折率の差(Δn)が得られる。
したがって、第2の実施形態によれば、実屈折率導波機構を有する半導体レーザ構造が得られることとなり、基本横モードで動作可能な低閾値電流レーザダイオードが提供される。
図5は第2の実施形態にかかるレーザダイオードの電流−光出力特性をグラフ形式で示した図である。レーザダイオードは持続波電流で駆動される。閾値電流は30mAであることが分かる。また、100mW以上の高出力動作を得ることができた。
このように本実施形態によれば、バリア層にバンドギャップの大きなInGaAlNよりなるバリア層を用いて漏れ電流を低減すると共に、各層の相分離を生じさせないようにしたので、特にクラッド層での導波損失を小さくすることができ、高出力動作時においても熱飽和せず、温度特性が改善され、高出力のレーザを実現できる。
(半導体レーザの製造方法)
図6Aないし図7Bに、第2の実施形態における半導体レーザの主要製造工程の概要を示す。まず、図6A及び図6Bに示すように、n型GaN基板100上に、第1及び第2クラッド層105、110及び3対の多重量子井戸活性層115を形成する。この形成方法は第1の実施形態で開示したのと同様である。その後、第3クラッド層120及び第4クラッド層125が形成された後、さらにリソグラフィーとエッチングにより、それらの一部が除去されてリッジ構造500が形成される。
図6Aないし図7Bに、第2の実施形態における半導体レーザの主要製造工程の概要を示す。まず、図6A及び図6Bに示すように、n型GaN基板100上に、第1及び第2クラッド層105、110及び3対の多重量子井戸活性層115を形成する。この形成方法は第1の実施形態で開示したのと同様である。その後、第3クラッド層120及び第4クラッド層125が形成された後、さらにリソグラフィーとエッチングにより、それらの一部が除去されてリッジ構造500が形成される。
その後、図6C、図7A及び図7Bに示すように、第3クラッド層120及び第4クラッド層125の上に、通常はCVD法によりSiO2層130が形成され、その後、第1の実施形態で示したのと同様に、ウィンドウ領域135が形成される。その後、電極140、145が蒸着又は他の適切な方法により形成される。
図8は、様々な成長温度に対するInGaAlN系材料の構成成分の相分離領域を示している。図8において、実線で示した曲線は、様々な温度に関して組成的に不安定な領域(相分離領域)と安定した領域との間の境界を示している。例えば、InN−AlN間を結ぶ直線(三角形で示した相図の一辺をなす。)と曲線で示した境界線とで囲まれた領域は、InAlNにおける相分離領域を示している。3元系材料であるInAlN及びInGaNは、InN−AlN間及びInN−GaN間の格子不整合が大きいために相分離領域が大きいことが分かる。他方、GaAlNは、約1000℃で結晶成長を行った場合でも、AlNとGaNとの間の格子不整合が小さいため、GaN−AlN間を結ぶ直線と曲線とで閉領域を構成しない、すなわち、相分離領域がないことが分かる。
また、図8から予測されるように、結晶成長温度がさらに低温、例えば約500℃から約1000℃の範囲内にあるとき、In組成、Ga組成及びAl組成の相分離が有意には発生しないInGaAlN材料系が存在することが分かる。
約1000℃より低い結晶成長温度で、InGaAlN内での相分離を回避するためのGa組成びAl組成の組成選択領域は、図9に示した斜線領域であり、2つの領域を分離する境界は、Ga組成をx、Al組成をyとしたとき、下記式1で表される関係によって近似的に定義されることがわかった。
x/0.8+y/0.89=1 (式1)
したがって、これまでに開示した第1の実施形態及び第2の実施形態において、レーザの半導体材料からなる各構成層におけるGa組成x及びAl組成yが、下記式2の関係を満たし、各構成層の結晶成長を、約500℃から約1000℃までの温度範囲で行うことによって、半導体レーザ内のInGaAlN系材料からなる構成層内で相分離現象を回避することができる。
0≦x+y≦1 かつ 1≦x/0.8+y/0.89 (式2)
その結果、所望の原子モル分率に従って各構成層内にIn原子、Ga原子及びAl原子をほぼ均一に分布させることが可能となり、バンドギャップエネルギー分布や屈折率分布を均一にすることができる。これにより、光吸収中心密度を低減でき、又は導波光の散乱を防止させることができ、ひいてはクラッド層、バリア層での導波路損失を低減することが可能となる。
x/0.8+y/0.89=1 (式1)
したがって、これまでに開示した第1の実施形態及び第2の実施形態において、レーザの半導体材料からなる各構成層におけるGa組成x及びAl組成yが、下記式2の関係を満たし、各構成層の結晶成長を、約500℃から約1000℃までの温度範囲で行うことによって、半導体レーザ内のInGaAlN系材料からなる構成層内で相分離現象を回避することができる。
0≦x+y≦1 かつ 1≦x/0.8+y/0.89 (式2)
その結果、所望の原子モル分率に従って各構成層内にIn原子、Ga原子及びAl原子をほぼ均一に分布させることが可能となり、バンドギャップエネルギー分布や屈折率分布を均一にすることができる。これにより、光吸収中心密度を低減でき、又は導波光の散乱を防止させることができ、ひいてはクラッド層、バリア層での導波路損失を低減することが可能となる。
また、InGaN系材料からなるウェル層においては、図9に示すように、In組成は0.2以下であれば相分離を生じないことが分かる。
一方、青色発光させるためのバンドギャップ設計から考えると、ウェル層のIn組成は0.2以下である必要がある。
従って、In組成0.2以下であるInGaNをウェル層に用いれば、相分離を生じず、均一性に優れた層成長が実現でき、良好な青色発光を実現することができる。
なお、青色発光させる場合は、4元系のInGaAlN系材料を用いるよりも、組成制御の容易なInGaNをウェル層に用いるほうが発振波長の制御性を高めるために、有効である。
図10は、約1000℃より低い成長温度において、InGaAlN系材料の相分離現象を回避するためのGa組成x及びAl組成yの組成選択領域を示す。図10において、x+1.2y=1となる直線を太線で示している。この線上にあるInGaAlN系材料の格子定数はGaNの格子定数に等しくなる。したがって、GaN基板上に形成されたレーザにおけるInGaAlN系材料で構成される層に関しては、x+1.2yがほぼ1に等しく、かつ(式2)で示される関係を満たすことによって、GaN基板上に、欠陥密度が低く、相分離が全くないか非常に少ない半導体レーザを製造することができる。
また、第1及び第2の実施形態において、活性層のバリア層として、GaNと格子整合するInGaAlN系材料を用いているためウェル層への格子欠陥の発生を抑えることができる。
よって、上記の実施形態で、クラッド層として4元系のInGaAlN系材料を用いた例を示したが、GaNと格子定数の差が比較的小さいAlGaNからなる3元系材料としてもよい。
また、本発明は、第1及び第2の実施形態で開示した各層の膜厚や組成、製法、レーザの構造等に限定されるものではなく、本発明の思想の範囲内であれば自由に選択できる。
また、上記の実施形態では詳述していないが、本発明は端面放射型の半導体レーザに限らず、面発光型の半導体レーザに適用してもよく、また、発光ダイオード等に適用しても、その効果を奏する。
本発明に係る半導体発光素子は、GaN系半導体レーザ、特に高出力用として特に有用である。
5 サファイア基板
10 GaN緩衝層
15 n型GaN層
20 SiO2層
25 ストライプ状のウィンドウ
30 n型GaN層
35 n型InGaN層
40 n型窒化GaN/AlN変調ドープ歪層超格子クラッド層
45 n型GaNクラッド層
50 MQW(多重量子井戸)活性層
55 p型AlGaNクラッド層
60 p型GaNクラッド層
65 p型GaN/AlN変調ドープ歪層超格子クラッド層
70 p型GaNクラッド層
100 n型GaN基板
105 n型GaN第1クラッド層
110 第2クラッド層
115 多重量子井戸活性層
120 p型第3クラッド層
125 p型GaN第4クラッド層
130 SiO2層
135 ストライプ状ウィンドウ領域
140 第1の電極
145 第2の電極
10 GaN緩衝層
15 n型GaN層
20 SiO2層
25 ストライプ状のウィンドウ
30 n型GaN層
35 n型InGaN層
40 n型窒化GaN/AlN変調ドープ歪層超格子クラッド層
45 n型GaNクラッド層
50 MQW(多重量子井戸)活性層
55 p型AlGaNクラッド層
60 p型GaNクラッド層
65 p型GaN/AlN変調ドープ歪層超格子クラッド層
70 p型GaNクラッド層
100 n型GaN基板
105 n型GaN第1クラッド層
110 第2クラッド層
115 多重量子井戸活性層
120 p型第3クラッド層
125 p型GaN第4クラッド層
130 SiO2層
135 ストライプ状ウィンドウ領域
140 第1の電極
145 第2の電極
Claims (8)
- In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型の第1クラッド層と、
In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層及びIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層と、
In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型の第2クラッド層とを備えた半導体発光素子であって、
前記各層の構成成分のモル分率(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1クラッド層、前記バリア層、前記井戸層、前記第2クラッド層において、
(x+1.2y)が1±0.05である請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記第2クラッド層が、少なくともリッジ構造を有する請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第1導電型の第1クラッド層と、
In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料よりなるバリア層とIn1-xGaxN(0≦x≦1)系材料よりなる井戸層から構成される量子井戸活性層と、
In1-x-yGaxAlyN(0≦x、y≦1)系材料からなる第2導電型の第2クラッド層とを備えた半導体発光素子の製造方法であって、
前記各層の500℃以上1100℃以下の範囲であり、かつ前記各層の構成成分のモル分率(x+1.2y)が1±0.1の範囲に選択されていることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1クラッド層、前記バリア層、前記井戸層、前記第2クラッド層において、
(x+1.2y)が1±0.05である請求項4に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1クラッド層、前記バリア層、前記井戸層、前記第2クラッド層において、
0≦x+y≦1 かつ 1≦x/0.8+y/0.89
の関係が成り立つ請求項5に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記結晶成長温度が700℃以上1100℃以下の範囲にある請求項5記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記第2クラッド層が、少なくともリッジ構造を有する請求項4〜7のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004112338A JP2005302784A (ja) | 2004-04-06 | 2004-04-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
TW094106801A TWI251973B (en) | 2004-04-06 | 2005-03-07 | Semiconductor light-emitting element and method for manufacturing the same |
US11/077,831 US20050230695A1 (en) | 2004-04-06 | 2005-03-11 | Semiconductor light-emitting element and method for manufacturing the same |
KR1020050028020A KR100689782B1 (ko) | 2004-04-06 | 2005-04-04 | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 |
CNA200510064802XA CN1681173A (zh) | 2004-04-06 | 2005-04-06 | 半导体发光元件及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004112338A JP2005302784A (ja) | 2004-04-06 | 2004-04-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005302784A true JP2005302784A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35067644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004112338A Pending JP2005302784A (ja) | 2004-04-06 | 2004-04-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050230695A1 (ja) |
JP (1) | JP2005302784A (ja) |
KR (1) | KR100689782B1 (ja) |
CN (1) | CN1681173A (ja) |
TW (1) | TWI251973B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007184585A (ja) * | 2005-12-29 | 2007-07-19 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2011003661A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Rohm Co Ltd | 半導体レーザ素子 |
JP2011066034A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Ngk Insulators Ltd | 半導体素子用エピタキシャル基板、ショットキー接合構造、およびショットキー接合構造の漏れ電流抑制方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1894280A4 (en) * | 2005-06-22 | 2014-03-26 | Binoptics Corp | ALGAINN-BASED LASER PRODUCED BY ETCH FACET TECHNOLOGY |
US7804869B2 (en) * | 2006-05-22 | 2010-09-28 | Agere Systems Inc. | Gallium nitride based semiconductor device with electron blocking layer |
US20080137701A1 (en) * | 2006-12-12 | 2008-06-12 | Joseph Michael Freund | Gallium Nitride Based Semiconductor Device with Reduced Stress Electron Blocking Layer |
DE102011112713A1 (de) * | 2011-09-07 | 2013-03-07 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauelement |
DE102011112706B4 (de) * | 2011-09-07 | 2021-09-02 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronisches Bauelement |
TWI549317B (zh) * | 2012-03-01 | 2016-09-11 | 財團法人工業技術研究院 | 發光二極體 |
TWI534089B (zh) | 2013-12-31 | 2016-05-21 | 財團法人工業技術研究院 | p型金屬氧化物半導體材料及其製造方法 |
US10320152B2 (en) | 2017-03-28 | 2019-06-11 | Freedom Photonics Llc | Tunable laser |
US11063178B2 (en) * | 2017-10-25 | 2021-07-13 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Semiconductor heterostructure with improved light emission |
US11152764B1 (en) * | 2018-11-20 | 2021-10-19 | Freedom Photonics Llc | Gratings for high power single mode laser |
US11431149B1 (en) | 2019-03-22 | 2022-08-30 | Freedom Photonics Llc | Single mode laser with large optical mode size |
JP7302814B2 (ja) * | 2019-06-26 | 2023-07-04 | ウシオ電機株式会社 | 半導体発光素子 |
CN116130569B (zh) * | 2023-04-17 | 2023-06-27 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种高效发光二极管及制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5828684A (en) * | 1995-12-29 | 1998-10-27 | Xerox Corporation | Dual polarization quantum well laser in the 200 to 600 nanometers range |
JP3653169B2 (ja) * | 1998-01-26 | 2005-05-25 | シャープ株式会社 | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子 |
JP2002016311A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Sharp Corp | 窒化ガリウム系発光素子 |
-
2004
- 2004-04-06 JP JP2004112338A patent/JP2005302784A/ja active Pending
-
2005
- 2005-03-07 TW TW094106801A patent/TWI251973B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-03-11 US US11/077,831 patent/US20050230695A1/en not_active Abandoned
- 2005-04-04 KR KR1020050028020A patent/KR100689782B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-04-06 CN CNA200510064802XA patent/CN1681173A/zh active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007184585A (ja) * | 2005-12-29 | 2007-07-19 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2011003661A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Rohm Co Ltd | 半導体レーザ素子 |
JP2011066034A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Ngk Insulators Ltd | 半導体素子用エピタキシャル基板、ショットキー接合構造、およびショットキー接合構造の漏れ電流抑制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100689782B1 (ko) | 2007-03-08 |
TWI251973B (en) | 2006-03-21 |
CN1681173A (zh) | 2005-10-12 |
US20050230695A1 (en) | 2005-10-20 |
TW200534552A (en) | 2005-10-16 |
KR20060045483A (ko) | 2006-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4075324B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP4328366B2 (ja) | 半導体素子 | |
JP3433038B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
JP4161603B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
US9362719B2 (en) | GaN-based quantum dot visible laser | |
WO2002080320A1 (en) | Nitride semiconductor element | |
JPH11340580A (ja) | 半導体レーザ、半導体発光素子、及び、その製造方法 | |
KR19990014304A (ko) | 반도체 레이저, 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2005302784A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2011187591A (ja) | 窒化物半導体紫外線発光素子 | |
US20120076165A1 (en) | Asymmetrically cladded laser diode | |
JPH1065271A (ja) | 窒化ガリウム系半導体光発光素子 | |
JPH11298090A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2011238678A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2000196143A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2006135221A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP6195205B2 (ja) | 半導体レーザ | |
JP2003204122A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2007214221A (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2007019399A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2000349397A (ja) | 半導体発光素子 | |
JPWO2016199363A1 (ja) | 発光素子 | |
JP2000223790A (ja) | 窒化物系半導体レーザ装置 | |
JP2003218469A (ja) | 窒化物系半導体レーザ装置 | |
JP2003243772A (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080605 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080805 |