[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2005109950A - Resonator and dielectric filter - Google Patents

Resonator and dielectric filter Download PDF

Info

Publication number
JP2005109950A
JP2005109950A JP2003341466A JP2003341466A JP2005109950A JP 2005109950 A JP2005109950 A JP 2005109950A JP 2003341466 A JP2003341466 A JP 2003341466A JP 2003341466 A JP2003341466 A JP 2003341466A JP 2005109950 A JP2005109950 A JP 2005109950A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
terminal
conductor layer
resonance
capacitor
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003341466A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teru Muto
輝 武藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2003341466A priority Critical patent/JP2005109950A/en
Publication of JP2005109950A publication Critical patent/JP2005109950A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resonator and a dielectric filter which can attain miniaturization and low cost, has high accuracy and low loss, and has desired characteristics. <P>SOLUTION: Open stubs 191a-s, 191b-s are provided on a pair of parallel resonance electrodes 191a, 191b so as to protrude toward another resonance electrode side to adjust an input impedance, thereby eliminating the necessity of a matching circuit. The first capacitor of a laminated structure consisting of an electrode 172a connected to a ground layer 12, an electrode 192a connected to the open end side of the resonance electrode 191a, and a dielectric layer 18 is provided. Further, a second capacitor of a laminated structure consisting of an electrode 172b connected to the layer 12, an electrode 192b connected to the open end side of the resonance electrode 191b, and the dielectric layer 18 is provided. Thus, the desired characteristics can be acquired even if the length of the resonance electrode is short. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明は共振器および誘電体フィルタに関する。詳しくは、共振電極にオープンスタブを他の共振電極側に突出させて設けるものである。   The present invention relates to a resonator and a dielectric filter. Specifically, an open stub is provided on the resonance electrode so as to protrude toward the other resonance electrode.

マイクロ波帯やミリ波帯の高周波電波をキャリアとした通信システム、例えば携帯電話等の電話システムや無線LAN(ローカルエリアネットワーク)システムの普及に伴い、
家庭内や屋外等の様々な場所において手軽にかつ中継装置等を介することなく様々なデータの送受信が可能となっている。
With the spread of communication systems using high frequency radio waves in the microwave band and millimeter wave band, for example, telephone systems such as mobile phones and wireless LAN (local area network) systems,
Various data can be easily transmitted and received in various places such as home and outdoors without using a relay device or the like.

このような、通信システムで用いる機器には、ローパスフィルタ(LPF)、ハイパスフィルタ(HPF)、およびバンドパスフィルタ(BPF)等のフィルタ素子が設けられている。このフィルタ素子は、高周波数帯の信号を処理するため、集中定数回路ではなく分布定数回路として設計されている。例えば、特許文献1に示されているように、一対の平行する導体パターンを用いて、トリプレート構造のフィルタを形成することが行われている。   Such devices used in the communication system are provided with filter elements such as a low-pass filter (LPF), a high-pass filter (HPF), and a band-pass filter (BPF). This filter element is designed not as a lumped constant circuit but as a distributed constant circuit in order to process a signal in a high frequency band. For example, as shown in Patent Document 1, a triplate structure filter is formed using a pair of parallel conductor patterns.

また、機器を容易に携行できるように、高密度実装や基板の多層化等による小型化が図られている。例えば特許文献2に示すように、パターン配線層や誘電絶縁層等を多層する際に、フィルタやコンデンサ,インダクタ,レジスタ等を形成した層や、信号配線や電源供給等のパターン層等を設けて多層することで、高周波モジュール装置とすることが行われている。   In addition, miniaturization by high-density mounting, multilayering of substrates, and the like has been achieved so that devices can be easily carried. For example, as shown in Patent Document 2, when a pattern wiring layer, a dielectric insulating layer, or the like is multilayered, a layer in which a filter, a capacitor, an inductor, a resistor, or the like is formed, a pattern layer for signal wiring, power supply, or the like is provided. A high-frequency module device is made by multilayering.

特開2000−252716JP 2000-252716 A 特開2002−334806JP2002-334806

ところで、高周波数帯の信号を用いる場合、回路間でインピーダンス整合が取られていないと、反射が生じて損失が大きくなってしまう。このため、回路間にインピーダンスを整合させるための整合回路が必要とされる。しかし、整合回路を設けるものとすると、整合回路のための基板スペースが必要となり、小型化の障害となってしまう。   By the way, when using a signal in a high frequency band, if impedance matching is not achieved between circuits, reflection occurs and loss increases. For this reason, a matching circuit for matching impedance between circuits is required. However, if a matching circuit is provided, a board space for the matching circuit is required, which is an obstacle to miniaturization.

また、通過させる信号の1/4波長の長さである1対の導体パターンを電磁界結合させるコムライン型フィルタでは、通過させる信号の周波数が低いと、導体パターンの長さを長くしなければならないことからフィルタを小型化することが出来ない。   Further, in a comb line type filter that electromagnetically couples a pair of conductor patterns having a length of ¼ wavelength of a signal to be passed, if the frequency of the signal to be passed is low, the length of the conductor pattern must be increased. This makes it impossible to reduce the size of the filter.

さらに、分布定数回路として設計されたフィルタの層とパターン配線層等を多層化して機器を小型化するとき、フィルタが信号配線パターン等の影響を受けて、所望のフィルタ特性を得ることができない場合が生ずる。すなわち、特許文献1の接地導体層と導体パターンとの間に信号配線パターンが設けられると、一対の平行する導体パターンの電磁界結合状態が変化して、所望のフィルタ特性を得ることができないおそれが生じる。   Furthermore, when the filter layer designed as a distributed constant circuit and the pattern wiring layer are multi-layered to reduce the size of the device, the filter is affected by the signal wiring pattern, etc., and the desired filter characteristics cannot be obtained. Will occur. That is, if a signal wiring pattern is provided between the ground conductor layer and the conductor pattern of Patent Document 1, the electromagnetic coupling state of the pair of parallel conductor patterns may change, and desired filter characteristics may not be obtained. Occurs.

そこで、この発明では、小型化と低コスト化が可能であり、高精度で損失の少ない所望の特性の共振器および誘電体フィルタを提供するものである。   Accordingly, the present invention provides a resonator and a dielectric filter having desired characteristics that can be reduced in size and cost, and have high accuracy and low loss.

この発明に係る共振器は、誘電体層と導体層を複数積層してなる積層基板の一方の面側に接地導体層が形成されており、一端が前記接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた一対の平行する共振電極を有する共振パターン導体層が前記誘電体層を介して前記接地導体層と対向して設けられて、一方の前記共振電極の開放端側を信号入力端子として用い、他方の前記共振電極の開放端側を信号出力端子として用いる共振器において、共振電極にオープンスタブを他の共振電極側に突出させて設けたものである。   In the resonator according to the present invention, a ground conductor layer is formed on one surface side of a multilayer substrate formed by laminating a plurality of dielectric layers and conductor layers, and one end is a short-circuit end connected to the ground conductor layer. A resonance pattern conductor layer having a pair of parallel resonance electrodes with the other end being an open end is provided to face the ground conductor layer with the dielectric layer interposed therebetween, and the open end side of one of the resonance electrodes is In the resonator that is used as a signal input terminal and the open end side of the other resonance electrode is used as a signal output terminal, an open stub is protruded from the resonance electrode to the other resonance electrode side.

また、この発明に係る誘電体フィルタは、誘電体層と導体層を複数積層してなる積層基板の一方の面側に接地導体層が形成されており、一端が前記接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた一対の平行する共振電極を有する共振パターン導体層が前記誘電体層を介して前記接地導体層と対向して設けられて、一方の前記共振電極の開放端側を信号入力端子として用い、他方の前記共振電極の開放端側を信号出力端子として用い、前記信号入力端子に入力された信号から所望の周波数帯の信号を通過させて前記信号出力端子から出力する誘電体フィルタにおいて、共振電極に、オープンスタブを他の共振電極側に突出させて設けたものである。   In the dielectric filter according to the present invention, a ground conductor layer is formed on one surface side of a multilayer substrate formed by laminating a plurality of dielectric layers and conductor layers, and one end is connected to the ground conductor layer. A resonance pattern conductor layer having a pair of parallel resonance electrodes, the other end of which is a short-circuited end and an open end, is provided to face the ground conductor layer through the dielectric layer, and one of the resonance electrodes is opened. The end side is used as a signal input terminal, the open end side of the other resonance electrode is used as a signal output terminal, a signal in a desired frequency band is passed from the signal input to the signal input terminal, and the signal output terminal In the output dielectric filter, an open stub is provided on the resonance electrode so as to protrude toward the other resonance electrode.

この発明においては、一対の平行する共振電極のそれぞれに、オープンスタブが互いに対向するよう突出して設けられる。また、一方の端子が接地導体層に接続されて、他方の端子が信号入力端子あるいは開放端側を信号入力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第1コンデンサや、一方の端子が接地導体層に接続されて、他方の端子が信号出力端子あるいは開放端側を信号出力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第2コンデンサ、一方の端子が信号入力端子あるいは開放端側を信号入力端子として用いる共振電極と接続されて、他方の端子が信号出力端子あるいは開放端側を信号出力端子として用いる共振電極に接続された積層構造の第3コンデンサが、例えば酸化タンタルを用いて形成される。さらに、共振電極における第1および第2コンデンサの端子接続位置にオープンスタブが設けられる。さらに、接地導体層と共振パターン導体層との間に位置する導体層には、共振電極と対向する領域を含むようにスロットが形成される。   In the present invention, open stubs are provided so as to protrude from each other in a pair of parallel resonance electrodes. Also, a first capacitor having a laminated structure in which one terminal is connected to a ground conductor layer and the other terminal is connected to a signal input terminal or a resonance electrode using the open end side as a signal input terminal, or one terminal is grounded A second capacitor with a laminated structure connected to the conductor layer and connected to the resonance electrode using the other terminal as a signal output terminal or the open end side as a signal output terminal, and one terminal as a signal input terminal or open end side as a signal A third capacitor having a multilayer structure in which the other terminal is connected to the resonance electrode used as the input terminal and the other terminal is connected to the resonance electrode using the open end side as the signal output terminal is formed using, for example, tantalum oxide. The Furthermore, an open stub is provided at the terminal connection position of the first and second capacitors in the resonance electrode. Furthermore, a slot is formed in the conductor layer located between the ground conductor layer and the resonance pattern conductor layer so as to include a region facing the resonance electrode.

この発明によれば、共振電極に、オープンスタブが他の共振電極側に突出して設けられるので、オープンスタブの大きさを調整することで入力インピーダンスや出力インピーダンスを可変することが可能となり、整合回路を別途設ける必要がなく、共振器や誘電体フィルタを用いる装置の小型化ができる。また部品点数も少なくて済むことから、安価に装置を構成することが可能となる。   According to the present invention, since the open stub is provided on the resonance electrode so as to protrude to the other resonance electrode, the input impedance and the output impedance can be varied by adjusting the size of the open stub, and the matching circuit It is not necessary to provide a separate filter, and the apparatus using the resonator and the dielectric filter can be downsized. In addition, since the number of parts can be reduced, the apparatus can be configured at low cost.

また、一方の端子が接地導体層に接続されて、他方の端子が信号入力端子あるいは開放端側を信号入力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第1コンデンサや、一方の端子が接地導体層に接続されて、他方の端子が信号出力端子あるいは開放端側を信号出力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第2コンデンサが設けられるので、共振電極の長さを、通過させる信号の波長よりも短くでき、装置を更に小型化できる。また、オープンスタブは、共振電極における第1および第2コンデンサの端子接続位置に設けたので、電磁界の影響を集中させることができる。さらに、一方の端子が信号入力端子あるいは開放端側を信号入力端子として用いる共振電極と接続されて、他方の端子が信号出力端子あるいは開放端側を信号出力端子として用いる共振電極に接続された積層構造の第3コンデンサが設けられるので、第3コンデンサの容量を調整して、トラップする周波数を調整できる。さらに、酸化タンタルコンデンサを用いることにより、コンデンサの基板占有面積を小さくすることが可能となり、装置を更に小型化できる。また、接地導体層と共振パターン導体層との間に位置する導体層には、共振電極と対向する領域を含むようにスロットが形成されるので、他の信号配線パターンの影響を受けることなく、所望の特性の共振器や誘電体フィルタを得ることができる。   Also, a first capacitor having a laminated structure in which one terminal is connected to a ground conductor layer and the other terminal is connected to a signal input terminal or a resonance electrode using the open end side as a signal input terminal, or one terminal is grounded A second capacitor having a multilayer structure is provided which is connected to the conductor layer and connected to the resonance electrode using the other terminal as the signal output terminal or the open end side as the signal output terminal, so that the length of the resonance electrode is passed. The wavelength can be shorter than the signal wavelength, and the device can be further miniaturized. Further, since the open stub is provided at the terminal connection position of the first and second capacitors in the resonance electrode, the influence of the electromagnetic field can be concentrated. Furthermore, one terminal is connected to a resonance electrode that uses the signal input terminal or the open end side as a signal input terminal, and the other terminal is connected to a resonance electrode that uses the signal output terminal or the open end side as a signal output terminal. Since the third capacitor having the structure is provided, the trapping frequency can be adjusted by adjusting the capacitance of the third capacitor. Furthermore, by using a tantalum oxide capacitor, it is possible to reduce the area occupied by the substrate of the capacitor, and the device can be further miniaturized. In addition, since a slot is formed in the conductor layer located between the ground conductor layer and the resonance pattern conductor layer so as to include a region facing the resonance electrode, without being affected by other signal wiring patterns, A resonator or a dielectric filter having desired characteristics can be obtained.

以下、図を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明の誘電体フィルタ10の構成を示す平面図、図2は図1に示す誘電体フィルタ10のA−A'位置での断面概略図、図3は誘電体フィルタ10の分解斜視図を示している。誘電体層と導体層が複数積層された積層基板11の背面側には、接地導体層としての第1導体層12を形成する。誘電体層を介して第1導体層12と対向する積層基板11の例えば表層側には、第1導体層12と対向して、共振電極191a,191bやコンデンサ電極192a,192b、信号入力端子193a、信号出力端子193b、接地電極194を有する導体パターンと接地電極195とされる導体パターンからなる共振パターン導体層としての第4導体層19を形成する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a dielectric filter 10 of the present invention, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the dielectric filter 10 shown in FIG. 1 at the position AA ′, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the dielectric filter 10. The figure is shown. A first conductor layer 12 as a ground conductor layer is formed on the back side of the multilayer substrate 11 on which a plurality of dielectric layers and conductor layers are laminated. For example, on the surface layer side of the multilayer substrate 11 facing the first conductor layer 12 through the dielectric layer, the resonance electrodes 191a and 191b, the capacitor electrodes 192a and 192b, and the signal input terminal 193a are opposed to the first conductor layer 12. The fourth conductor layer 19 is formed as a resonance pattern conductor layer composed of a conductor pattern having a signal output terminal 193b and a ground electrode 194 and a conductor pattern to be the ground electrode 195.

共振電極191aと共振電極191bは、互いに所定の間隔を隔てて、それぞれの長手方向がほぼ平行となるように形成する。また、共振電極191a,191bの一端は接地電極194に接続し、他方は開放端とする。この共振電極191aの開放端側には、共振電極191aに対して略直交する方向に信号入力端子193aを設ける。また、共振電極191bの開放端側にも同様に信号出力端子193bを設ける。さらに、共振電極191aにオープンスタブ191a-sを共振電極191b側に突出させて設け、共振電極191bにオープンスタブ191b-sを共振電極191a側に突出させて設ける。   The resonance electrode 191a and the resonance electrode 191b are formed so as to be substantially parallel to each other at a predetermined interval from each other. One end of each of the resonance electrodes 191a and 191b is connected to the ground electrode 194, and the other is an open end. A signal input terminal 193a is provided on the open end side of the resonance electrode 191a in a direction substantially orthogonal to the resonance electrode 191a. Similarly, a signal output terminal 193b is provided on the open end side of the resonance electrode 191b. Further, an open stub 191a-s is provided on the resonance electrode 191a so as to protrude toward the resonance electrode 191b, and an open stub 191b-s is provided on the resonance electrode 191b so as to protrude toward the resonance electrode 191a.

共振電極191aのオープンスタブ191a-s形成側とは逆側の位置に、共振電極191aから突出したコンデンサ電極192aを形成する。また、共振電極191bのオープンスタブ191b-s形成側とは逆側の位置に、共振電極191bから突出したコンデンサ電極192bを形成する。さらに、第4誘電体層18を介して、第4導体層19と平行して対向するように第3導体層17を設ける。   A capacitor electrode 192a projecting from the resonance electrode 191a is formed at a position opposite to the open stub 191a-s formation side of the resonance electrode 191a. In addition, a capacitor electrode 192b protruding from the resonance electrode 191b is formed at a position opposite to the open stub 191b-s formation side of the resonance electrode 191b. Furthermore, the third conductor layer 17 is provided so as to face the fourth conductor layer 19 in parallel with the fourth dielectric layer 18 interposed therebetween.

第3導体層17は、接地電極174にコンデンサ電極172a,172bが接続されている導体パターンとコンデンサ電極173とされる導体パターンと接地電極175とされる導体パターンからなるものである。コンデンサ電極172aは、コンデンサ電極192aと対向するように形成する。このコンデンサ電極192aと第4誘電体層18とコンデンサ電極172aによって、コンデンサC1を構成する。また、コンデンサ電極172bは、コンデンサ電極192bと対向するように形成する。このコンデンサ電極192bと第4誘電体層18とコンデンサ電極172bによってコンデンサC2を構成する。さらに、接地電極174は、共振電極191a,191bと対向する領域がスロットとなるように、接地電極194と同様な形状とする。   The third conductor layer 17 includes a conductor pattern in which the capacitor electrodes 172a and 172b are connected to the ground electrode 174, a conductor pattern to be the capacitor electrode 173, and a conductor pattern to be the ground electrode 175. The capacitor electrode 172a is formed to face the capacitor electrode 192a. The capacitor electrode 192a, the fourth dielectric layer 18, and the capacitor electrode 172a constitute a capacitor C1. The capacitor electrode 172b is formed to face the capacitor electrode 192b. The capacitor electrode 192b, the fourth dielectric layer 18, and the capacitor electrode 172b constitute a capacitor C2. Further, the ground electrode 174 has the same shape as the ground electrode 194 so that the region facing the resonance electrodes 191a and 191b is a slot.

共振電極191aは、ビアホール(via hole)やスルーホール(through hole)等の導体層接続部(以下単に「ビア」という)20によってコンデンサ電極173と接続する。コンデンサ電極173は、誘電体で構成された第4誘電体層18を介して共振電極191bのパターン面と平行して対向するように形成して、コンデンサ電極173と共振電極191bによってコンデンサC3を構成する。また、ビア21によって、第1導体層12と接地電極174,175,194,195および第2導体層14を導通させる。   The resonant electrode 191a is connected to the capacitor electrode 173 through a conductor layer connecting portion (hereinafter simply referred to as “via”) 20 such as a via hole or a through hole. The capacitor electrode 173 is formed so as to face the pattern surface of the resonance electrode 191b through the fourth dielectric layer 18 made of a dielectric material, and the capacitor C3 is configured by the capacitor electrode 173 and the resonance electrode 191b. To do. Further, the first conductor layer 12, the ground electrodes 174, 175, 194, 195 and the second conductor layer 14 are electrically connected by the via 21.

第1誘電体層13は、積層基板11のベースとなる層であり、第1誘電体層13の一方の面側に第1導体層12を形成し、逆面側に第2導体層14を形成する。第2導体層14では、共振電極191a,191bと対向する領域を含むようにスロットを形成して、このスロットに第2誘電体層15を設ける。   The first dielectric layer 13 is a layer serving as a base of the multilayer substrate 11. The first conductor layer 12 is formed on one surface side of the first dielectric layer 13, and the second conductor layer 14 is formed on the opposite surface side. Form. In the second conductor layer 14, a slot is formed so as to include a region facing the resonance electrodes 191a and 191b, and the second dielectric layer 15 is provided in this slot.

このように、スロットを設けることで、共振電極191a,191bと第1導体層12との間に他の導体層が設けられていないので、一対の平行する共振電極191a,191bの電磁界結合状態が他の導体層によって変化されてしまうことがない。   Thus, by providing the slot, since no other conductor layer is provided between the resonance electrodes 191a and 191b and the first conductor layer 12, the electromagnetic coupling state of the pair of parallel resonance electrodes 191a and 191b. Is not changed by other conductor layers.

図4は、誘電体フィルタ10の等価回路を示している。この誘電体フィルタ10は、オープンスタブ191a-sが設けられている共振電極191aのインダクタンスLaと浮遊容量Caの並列回路に、コンデンサC1が並列接続されて回路PRaが構成される。また、オープンスタブ191b-sが設けられている共振電極191bのインダクタンスLbと浮遊容量Cbの並列回路に、コンデンサC2が並列接続されて回路PRbが構成される。この回路PRaと回路PRbがコンデンサC3を介して容量結合したものとなる。このため、共振電極191a,191bの長手方向の長さやコンデンサC1,C2,C3の容量を調整すれば、信号入力端子193aから高周波信号RFinを入力したとき、高周波信号RFinに対してフィルタ処理が行われて、所望の周波数帯の信号を通過させた信号を信号出力端子193bから取り出すことができる。また、オープンスタブ191a-s,191b-sの長さ(共振電極191a,191bから突出した長さ)を可変してインピーダンスを調整することで、整合回路を設けなくとも、伝送路を整合させることができる。さらに、オープンスタブ191a-s,191b-sとコンデンサ電極の形成位置を一致させることで、オープンスタブやコンデンサ電極を設けたことによる電磁界の影響を集中させることができる。このため、オープンスタブとコンデンサ電極が、共振電極の長手方向で異なる位置に形成された場合に比べて、インピーダンスのずれや損失を少なくできる。   FIG. 4 shows an equivalent circuit of the dielectric filter 10. In this dielectric filter 10, a circuit PRa is configured by connecting a capacitor C1 in parallel to a parallel circuit of an inductance La of a resonance electrode 191a provided with an open stub 191a-s and a stray capacitance Ca. In addition, a circuit PRb is configured by connecting a capacitor C2 in parallel to a parallel circuit of the inductance Lb of the resonant electrode 191b and the stray capacitance Cb provided with the open stub 191b-s. The circuit PRa and the circuit PRb are capacitively coupled through the capacitor C3. For this reason, if the longitudinal lengths of the resonance electrodes 191a and 191b and the capacitances of the capacitors C1, C2 and C3 are adjusted, when the high frequency signal RFin is input from the signal input terminal 193a, the high frequency signal RFin is filtered. Thus, a signal through which a signal in a desired frequency band is passed can be taken out from the signal output terminal 193b. Further, by adjusting the impedance by changing the length of the open stubs 191a-s, 191b-s (the length protruding from the resonant electrodes 191a, 191b), the transmission lines can be matched without providing a matching circuit. Can do. Further, by matching the formation positions of the open stubs 191a-s and 191b-s with the capacitor electrodes, it is possible to concentrate the influence of the electromagnetic field due to the provision of the open stubs and the capacitor electrodes. For this reason, impedance deviation and loss can be reduced as compared with the case where the open stub and the capacitor electrode are formed at different positions in the longitudinal direction of the resonance electrode.

この誘電体フィルタ10では、コンデンサC1,C2の静電容量を大きくすると、共振電極191a,191bを用いて構成される共振器の共振周波数を低周波側に移動させることができる。すなわち、誘電体フィルタ10の通過域を低周波側に移動させることができる。また、コンデンサC1,C2の容量を小さくすることで共振周波数を高周波側に移動させることができる。すなわち、誘電体フィルタ10の通過域を高周波側に移動させることができる。   In the dielectric filter 10, when the capacitances of the capacitors C1 and C2 are increased, the resonance frequency of the resonator configured using the resonance electrodes 191a and 191b can be moved to the low frequency side. That is, the pass band of the dielectric filter 10 can be moved to the low frequency side. Further, the resonance frequency can be moved to the high frequency side by reducing the capacitance of the capacitors C1 and C2. That is, the pass band of the dielectric filter 10 can be moved to the high frequency side.

さらに、コンデンサC3はトラップとして機能するものであり、コンデンサC3の容量を大きくすることでトラップする周波数(ノッチ点)を低周波側に移動させることができるとともに、コンデンサC3の容量を小さくすることでノッチ点を高周波側に移動させることができる。   Further, the capacitor C3 functions as a trap. By increasing the capacitance of the capacitor C3, the trapping frequency (notch point) can be moved to the low frequency side, and by reducing the capacitance of the capacitor C3. The notch point can be moved to the high frequency side.

次に、図3に示す分解斜視図を用いて、誘電体フィルタの生成手順を説明する。誘電体フィルタ10は、いわゆるプリント配線基板をベース基板として用いるものとする。例えば、誘電体基板の両面に導体層が設けられたプリント配線基板をベース基板として用いる。   Next, a procedure for generating a dielectric filter will be described with reference to an exploded perspective view shown in FIG. The dielectric filter 10 uses a so-called printed wiring board as a base substrate. For example, a printed wiring board in which a conductor layer is provided on both surfaces of a dielectric substrate is used as the base substrate.

ベース基板の一方の導体層を第1導体層12、他方の導体層を第2導体層14とする。この第1導体層12と第2導体層14は、例えば銅からなるビア21によって電気的に接続する。ビア21は、誘電体基板の一部に、この誘電体基板を貫通する孔をドリル加工やレーザー加工あるいはプラズマエッチング加工等により穿設する。この穿設された孔にビアメッキ、例えば硫酸銅溶液を用いた電解メッキにより銅からなる導電膜を成膜することで形成できる。   One conductor layer of the base substrate is a first conductor layer 12, and the other conductor layer is a second conductor layer 14. The first conductor layer 12 and the second conductor layer 14 are electrically connected by a via 21 made of, for example, copper. The via 21 is formed in a part of the dielectric substrate by drilling, laser processing, plasma etching processing or the like through the dielectric substrate. A conductive film made of copper can be formed in the hole thus formed by via plating, for example, electrolytic plating using a copper sulfate solution.

誘電体基板は、第1誘電体層13に相当するものであり、誘電損失の少ない(低tanδ)材料、すなわち高周波特性に優れた材料により形成されていることが好ましい。このような材料としては、例えばポリフェニールエチレン(PPE)や、ビスマレイドトリアジン(BT−resin)、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、液晶ポリマー(LCP)、ポリノルボルネン(PNB)等の有機材料や、セラミックあるいはセラミックと有機材料との混合材料等を挙げることができる。また、第1誘電体層13は、上述した材料の他に、耐熱性及び耐薬品性を有する材料により形成されていることが好ましく、このような材料からなる誘電基板として、廉価なエポキシ系基板FR−5等を挙げることができる。このように、廉価な有機材料を第1誘電体層13として用いることで、従来のような比較的高価とされるSi基板やガラス基板を用いた場合と比べて、コストの低減化が図られている。   The dielectric substrate corresponds to the first dielectric layer 13 and is preferably formed of a material with low dielectric loss (low tan δ), that is, a material excellent in high frequency characteristics. Examples of such materials include organic materials such as polyphenylethylene (PPE), bismaleidotriazine (BT-resin), polytetrafluoroethylene, polyimide, liquid crystal polymer (LCP), polynorbornene (PNB), and ceramics. Or the mixed material of a ceramic and an organic material etc. can be mentioned. The first dielectric layer 13 is preferably formed of a material having heat resistance and chemical resistance in addition to the materials described above, and an inexpensive epoxy substrate is used as a dielectric substrate made of such a material. FR-5 etc. can be mentioned. Thus, by using an inexpensive organic material as the first dielectric layer 13, the cost can be reduced as compared with the case of using a relatively expensive Si substrate or glass substrate as in the past. ing.

第2導体層14には、共振電極191a,191bと対向する領域を含むようにスロットを形成する。例えばエッチング法を用いてスロット部分の導体を除去する。   A slot is formed in the second conductor layer 14 so as to include a region facing the resonance electrodes 191a and 191b. For example, the conductor in the slot portion is removed using an etching method.

スロットが形成された第2導体層14上には、誘電率の高い絶縁材料例えばエポキシ系樹脂を用いた絶縁膜を形成する。なお、絶縁膜は、ベース基板の両面側に形成しても良い。この場合、第1導体層12上に形成された絶縁膜によって第1導体層12を保護することができる。絶縁膜形成後、第2導体層14上に形成された絶縁膜を、第2導体層14が露出するまで研磨する。これにより、第2誘電体層15を形成できるとともに、第2導体層14と第2誘電体層15との段差がなくなり、ビルドアップ形成面として用いられる平坦化面を形成できる。   An insulating film using an insulating material having a high dielectric constant, such as an epoxy resin, is formed on the second conductor layer 14 in which the slots are formed. Note that the insulating film may be formed on both surfaces of the base substrate. In this case, the first conductor layer 12 can be protected by the insulating film formed on the first conductor layer 12. After the insulating film is formed, the insulating film formed on the second conductor layer 14 is polished until the second conductor layer 14 is exposed. As a result, the second dielectric layer 15 can be formed, and the step between the second conductor layer 14 and the second dielectric layer 15 can be eliminated, and a planarized surface used as a build-up formation surface can be formed.

ビルドアップ形成面上には、第3誘電体層16が積層され、この第3誘電体層16上に、薄膜形成技術や厚膜形成技術によって、コンデンサや共振電極が形成される。この第3誘電体層16は、低誘電損失(低tanδ)の材料、すなわち高周波特性に優れた有機材料により形成されていることが好ましく、また、耐熱性及び耐薬品性を有する有機材料により形成されていることが好ましい。このような有機材料としては、例えばベンゾシクブテン(BCB)や、ポリイミド、ポリノルボルネン(PNB)、液晶ポリマー(LCP)、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等を挙げることができる。そして、第3誘電体層16は、このような有機材料を、例えばスピンコート法や、カーテンコート法、ロールコート法、ディップコート法等の塗布均一性及び膜厚制御に優れた方法を用いて、ビルドアップ形成面上に精度良く形成することができる。   A third dielectric layer 16 is laminated on the buildup formation surface, and a capacitor and a resonance electrode are formed on the third dielectric layer 16 by a thin film formation technique or a thick film formation technique. The third dielectric layer 16 is preferably formed of a material having a low dielectric loss (low tan δ), that is, an organic material having excellent high frequency characteristics, and is formed of an organic material having heat resistance and chemical resistance. It is preferable that Examples of such an organic material include benzocyclbutene (BCB), polyimide, polynorbornene (PNB), liquid crystal polymer (LCP), epoxy resin, and acrylic resin. The third dielectric layer 16 is made of such an organic material using a method excellent in coating uniformity and film thickness control, such as spin coating, curtain coating, roll coating, dip coating, or the like. It can be formed with high accuracy on the build-up forming surface.

次に、第3誘電体層16上に、例えばニッケルや銅等からなる導電膜を全面に亘って成膜する。その後、上述したように、フォトリソグラフィ技術を用いて、第3導体層17の導体パターンを形成する。すなわち、所定の形状にパターニングされたフォトレジストをマスクとして、この導電膜をエッチングすることによって、コンデンサ電極172a,172bを有する導体パターンとコンデンサ電極173とされる導体パターンと接地電極175とされる導体パターンを形成する。例えば硫酸銅溶液を用いた電解メッキにより、数μm程度の銅からなる導電膜を成膜してエッチングすることにより、コンデンサ電極172a,172b,173と接地電極175を形成する。また、第3誘電体層16にビア21を設けて、第2導体層14とコンデンサ電極172a,172bおよび接地電極175を接続する。   Next, a conductive film made of, for example, nickel or copper is formed on the third dielectric layer 16 over the entire surface. Thereafter, as described above, a conductor pattern of the third conductor layer 17 is formed by using a photolithography technique. That is, by etching this conductive film using a photoresist patterned in a predetermined shape as a mask, a conductor pattern having capacitor electrodes 172a and 172b, a conductor pattern serving as capacitor electrode 173, and a conductor serving as ground electrode 175 are used. Form a pattern. Capacitor electrodes 172a, 172b, and 173 and a ground electrode 175 are formed by forming and etching a conductive film made of copper having a thickness of about several μm, for example, by electrolytic plating using a copper sulfate solution. Also, vias 21 are provided in the third dielectric layer 16 to connect the second conductor layer 14 to the capacitor electrodes 172a and 172b and the ground electrode 175.

コンデンサ電極172a,172b,173や接地電極175が形成された第3誘電体層16上に、上述した有機材料からなる第4誘電体層18を形成した後に、例えばニッケルや銅等からなる導電膜を全面にわたって成膜する。その後、上述のようにフォトリソグラフィ技術を用いて、共振電極191a,191bやコンデンサ電極192a,192b、信号入力端子193a、信号出力端子193b、接地電極194を有する導体パターンと接地電極195とされる導体パターンを形成する。また、第4誘電体層18にビア21を設けて、第3導体層17のコンデンサ電極172a,172bと第4導体層19の接地電極194を接続し、第3導体層17の接地電極175と第4導体層19の接地電極195を接続する。   After the fourth dielectric layer 18 made of the above-described organic material is formed on the third dielectric layer 16 on which the capacitor electrodes 172a, 172b, 173 and the ground electrode 175 are formed, a conductive film made of, for example, nickel or copper Is formed over the entire surface. After that, using the photolithography technique as described above, the conductor pattern including the resonance electrodes 191a and 191b, the capacitor electrodes 192a and 192b, the signal input terminal 193a, the signal output terminal 193b, and the ground electrode 194 and the ground electrode 195 is used. Form a pattern. Also, vias 21 are provided in the fourth dielectric layer 18, the capacitor electrodes 172 a and 172 b of the third conductor layer 17 are connected to the ground electrode 194 of the fourth conductor layer 19, and the ground electrode 175 of the third conductor layer 17 is connected to the ground electrode 175 of the third conductor layer 17. The ground electrode 195 of the fourth conductor layer 19 is connected.

このように、薄膜パターニング技術を使用することで共振電極の配線幅や配線間隔を従来よりも細くすることができる。例えば電極や誘電体層の厚さを10μm〜30μm程度と薄くして、共振電極の配線幅を5μm〜20μm程度、共振電極の間隔を5μmから20μm程度にすることができる。そのため、共振器の自己インダクタンスや相互インダクタンスMが大きくなり、共振電極の配線長を短くできる。すなわち、誘電体フィルタを小型化することが可能となる。また、共振電極と接地電極との間にコンデンサが追加されるので、このコンデンサの静電容量を調整することによって、通過域を所望の周波数に調整することができる。さらに、共振電極の間に設けたコンデンサを調整することによってトラップを入れることができるので、誘電体フィルタの阻止帯域周波数を調整することも可能となる。   As described above, by using the thin film patterning technique, the wiring width and the wiring interval of the resonance electrode can be made thinner than the conventional one. For example, the thickness of the electrode or dielectric layer can be reduced to about 10 μm to 30 μm, the wiring width of the resonance electrode can be set to about 5 μm to 20 μm, and the interval between the resonance electrodes can be set to about 5 μm to 20 μm. Therefore, the self-inductance and mutual inductance M of the resonator are increased, and the wiring length of the resonant electrode can be shortened. That is, the dielectric filter can be reduced in size. In addition, since a capacitor is added between the resonance electrode and the ground electrode, the pass band can be adjusted to a desired frequency by adjusting the capacitance of the capacitor. Furthermore, since a trap can be inserted by adjusting a capacitor provided between the resonant electrodes, it is possible to adjust the stop band frequency of the dielectric filter.

また、薄膜をもちいて積層基板を形成することから誘電体フィルタの薄型化も可能となる。例えば、200μm〜800μm程度の厚さのベース基板を用いて、このベース基板上にビルトアップ形成面を設けるものとする。さらに、このビルドアップ形成面上に導体層や誘電体層を積層して、共振電極やコンデンサが形成されている10μm〜30μm程度の厚さの積層基板を形成することで、薄型化された誘電体フィルタを構成できる。   In addition, since the multilayer substrate is formed using a thin film, the dielectric filter can be thinned. For example, a base substrate having a thickness of about 200 μm to 800 μm is used, and a built-up formation surface is provided on the base substrate. Furthermore, a conductor layer or a dielectric layer is laminated on the build-up formation surface to form a laminated substrate having a thickness of about 10 μm to 30 μm on which a resonance electrode and a capacitor are formed, thereby reducing the thickness of the dielectric. A body filter can be constructed.

ところで、共振電極の配線長とコンデンサの静電容量の関係には相関があり、共振電極の配線長を短くすると、静電容量の大きなコンデンサが必要となる。そのため、基板上の占有面積に対して静電容量が大きいコンデンサを用いるものとすれば、さらに誘電体フィルタを小型化することができる。   By the way, there is a correlation between the wiring length of the resonance electrode and the capacitance of the capacitor, and if the wiring length of the resonance electrode is shortened, a capacitor having a large capacitance is required. Therefore, if a capacitor having a large capacitance with respect to the occupied area on the substrate is used, the dielectric filter can be further downsized.

次に、第4誘電体層18を利用したコンデンサよりも、占有面積に対する静電容量が大きいコンデンサを用いる場合について説明する。図5は、誘電体フィルタの他の構成を示しており、コンデンサとして、例えば酸化タンタル(Ta25)を誘電体として用いた酸化タンタルコンデンサを用いている。また、図6は、酸化タンタルコンデンサ部分の一部断面概略図(図5のB−B’位置)である。 Next, a case where a capacitor having a larger capacitance with respect to the occupied area than a capacitor using the fourth dielectric layer 18 is described. FIG. 5 shows another configuration of the dielectric filter. As the capacitor, for example, a tantalum oxide capacitor using tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) as a dielectric is used. FIG. 6 is a partial sectional schematic view of the tantalum oxide capacitor portion (BB ′ position in FIG. 5).

酸化タンタルコンデンサは、一方の電極となるコンデンサ電極172a,172b,173上に窒化タンタル(TaN)膜17uを形成する。窒化タンタル膜17uは、CVD(Chemical Vapor Deposition)やスパッタリングあるいは蒸着法等によって形成できる。この窒化タンタル膜17uの表層部を陽極酸化して、高誘電率かつ低損失な高誘電体材料である酸化タンタル(Ta25)膜17tとする。さらに、酸化タンタル膜上に酸化タンタルコンデンサの他方の電極となる配線膜17sを形成して、この配線膜17sをコンデンサ電極192a,192b、共振電極191bと接続することで得られる。配線膜17sとコンデンサ電極192a,192b、共振電極191bの接続は、例えば配線膜の形成後に上述の第4誘電体層18を形成して、この第4誘電体層18にビア20,21を形成する際に、配線膜とコンデンサ電極192a,192b、共振電極191bを接続するためのビア22を設けるものとすれば良い。 In the tantalum oxide capacitor, a tantalum nitride (TaN) film 17u is formed on capacitor electrodes 172a, 172b, and 173 which are one electrode. The tantalum nitride film 17u can be formed by CVD (Chemical Vapor Deposition), sputtering or vapor deposition. The surface layer portion of the tantalum nitride film 17u is anodized to form a tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) film 17t which is a high dielectric constant and low loss high dielectric material. Further, a wiring film 17s to be the other electrode of the tantalum oxide capacitor is formed on the tantalum oxide film, and this wiring film 17s is connected to the capacitor electrodes 192a and 192b and the resonance electrode 191b. For the connection between the wiring film 17s, the capacitor electrodes 192a and 192b, and the resonance electrode 191b, for example, the above-described fourth dielectric layer 18 is formed after the wiring film is formed, and vias 20 and 21 are formed in the fourth dielectric layer 18. In this case, the via 22 for connecting the wiring film, the capacitor electrodes 192a and 192b, and the resonance electrode 191b may be provided.

コンデンサとして酸化タンタルコンデンサを用いた場合、第4誘電体層18を利用してコンデンサを形成する場合に比べて、同じ静電容量を得るときの占有面積が小さくなるため、誘電体フィルタを小型化できる。さらに、コンデンサは、高周波領域で用いられると、電極パターン等によって生じた残留インダクタンスとによって自己共振を起こし、コンデンサとしての働きがなくなる。このため、通過域よりも自己共振周波数を高くなるように設定すれば、通過域よりも高い周波数での阻止レベルを大きくすることが可能となる。   When a tantalum oxide capacitor is used as the capacitor, the area occupied when obtaining the same capacitance is reduced compared to the case where the capacitor is formed using the fourth dielectric layer 18, so the dielectric filter is downsized. it can. Furthermore, when the capacitor is used in a high frequency region, it causes self-resonance due to the residual inductance caused by the electrode pattern and the like, and the function as a capacitor is lost. For this reason, if the self-resonance frequency is set to be higher than that of the pass band, it is possible to increase the blocking level at a frequency higher than that of the pass band.

さらに、上述の実施の形態では、共振電極191a,191bの一方の面側の第1導体層12を接地導体層としたが、ストリップラインと同様に、誘電体層を介して共振電極191a,191bの他方の面側にも接地導体層を設けて、積層基板内に電磁界を閉じこめる構造としても良い。   Further, in the above-described embodiment, the first conductor layer 12 on one surface side of the resonance electrodes 191a and 191b is the ground conductor layer. However, similarly to the strip line, the resonance electrodes 191a and 191b are interposed via the dielectric layer. Alternatively, a ground conductor layer may be provided on the other side of the substrate so that an electromagnetic field is confined in the laminated substrate.

このように、共振電極にオープンスタブを設けることで、伝送路の整合を図ることができ、所望の周波数での反射を少なくした誘電体フィルタを生成できる。すなわち、外部に整合回路を設ける必要がないことから、誘電体フィルタを安価に構成できる。また、共振電極と対向する領域を含むようにスロットを形成することで、接地電極と共振電極との間に他の信号配線パターン等が設けられることがないので、所望のフィルタ特性である小型の誘電体フィルタを得ることができる。また、スロット部分に誘電率の高い絶縁材料を用いて第2誘電体層15を構成しているので、波長短縮効果により共振電極の配線長を短縮できる。   Thus, by providing an open stub in the resonant electrode, it is possible to match the transmission path and generate a dielectric filter with less reflection at a desired frequency. That is, since it is not necessary to provide an external matching circuit, the dielectric filter can be configured at low cost. In addition, since the slot is formed so as to include the region facing the resonance electrode, no other signal wiring pattern or the like is provided between the ground electrode and the resonance electrode. A dielectric filter can be obtained. In addition, since the second dielectric layer 15 is formed using an insulating material having a high dielectric constant in the slot portion, the wiring length of the resonant electrode can be shortened due to the wavelength shortening effect.

さらに、薄膜パターニング技術を用いることで、共振電極の配線や間隔を小さくすることが可能となり、電磁界結合を強めて損失を低く抑えることができるとともに、精度の向上かつ薄型化が可能となる。また、コンデンサを内蔵していることから、外付けコンデンサ部品を用いる場合に比べて寄生容量等を抑えることができるとともに、外付け部品を少なくできるので、小型化や低コスト化も可能となる。   Furthermore, by using the thin film patterning technique, it is possible to reduce the wiring and interval of the resonance electrode, to increase the electromagnetic coupling, to suppress the loss, and to improve accuracy and reduce the thickness. In addition, since the capacitor is built in, parasitic capacitance and the like can be suppressed as compared with the case where an external capacitor component is used, and the number of external components can be reduced, so that downsizing and cost reduction are possible.

図7は、誘電体フィルタの実施例を示している。共振電極の配線長Lを600μm、共振電極の配線幅Wを50μm、共振電極の間隔Gを130μm、共振電極とスロット領域の端部との間隔Sを200μmとして、コンデンサC1,C2の静電容量を4.6pF、コンデンサC3の静電容量を3.7pF、スタブの幅pを240μm、長さdを40μmとしたとき、誘電体フィルタの通過特性は図8、反射特性は図9に示す実線のようになる。なお、図8および図9の破線は、スタブを設けていない場合の特性を示している。   FIG. 7 shows an embodiment of a dielectric filter. Resonance electrode wiring length L is 600 μm, resonance electrode wiring width W is 50 μm, the distance G between the resonance electrodes is 130 μm, and the distance S between the resonance electrode and the end of the slot region is 200 μm. Is 4.6 pF, the capacitance of the capacitor C3 is 3.7 pF, the width p of the stub is 240 μm, and the length d is 40 μm, the pass characteristic of the dielectric filter is shown in FIG. 8, and the reflection characteristic is shown in FIG. become that way. The broken lines in FIGS. 8 and 9 indicate the characteristics when no stub is provided.

この図8で示されているように、通過域が2.5GHzで、損失が−1.5dBと低損失の誘電体フィルタを構成できる。また、図9に示されているように、通過域の中心周波数における反射を−10dB以上改善することができる。   As shown in FIG. 8, a low-loss dielectric filter having a passband of 2.5 GHz and a loss of -1.5 dB can be configured. Further, as shown in FIG. 9, reflection at the center frequency of the pass band can be improved by -10 dB or more.

以上のように、本発明にかかる共振器および誘電体フィルタは、マイクロ波やミリ波等の高周波信号から所望の周波数の信号を通過させるときに有用であり、携帯電話や無線LAN,GPSなど高周波信号を用いる携帯用機器に好適である。   As described above, the resonator and the dielectric filter according to the present invention are useful when passing a signal of a desired frequency from a high-frequency signal such as a microwave or a millimeter wave, and a high-frequency such as a mobile phone, a wireless LAN, or a GPS. It is suitable for a portable device using a signal.

誘電体フィルタの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a dielectric material filter. 誘電体フィルタの断面概略図である。It is a section schematic diagram of a dielectric filter. 誘電体フィルタの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a dielectric filter. 等価回路を示す図である。It is a figure which shows an equivalent circuit. 誘電体フィルタの他の構成を示す図である。It is a figure which shows the other structure of a dielectric material filter. 酸化タンタルコンデンサ部分の一部断面概略図である。It is a partial cross section schematic diagram of a tantalum oxide capacitor portion. 誘電体フィルタの実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of a dielectric material filter. 実施例の通過特性を示す図である。It is a figure which shows the passage characteristic of an Example. 実施例の反射特性を示す図である。It is a figure which shows the reflective characteristic of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・誘電体フィルタ、11・・・積層基板、12・・・第1導体層、13・・・第1誘電体層、14・・・第2導体層、15・・・第2誘電体層、16・・・第3誘電体層、17・・・第3導体層、18・・・第4誘電体層、19・・・第4導体層、20,21,22・・・ビア、172a,172b,173,192a,192b・・・コンデンサ電極、174,175,194,195・・・接地電極、191a,191b・・・共振電極、191a-s,191b-s・・・オープンスタブ、193a・・・信号入力端子、193b・・・信号出力端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Dielectric filter, 11 ... Multilayer substrate, 12 ... 1st conductor layer, 13 ... 1st dielectric layer, 14 ... 2nd conductor layer, 15 ... 2nd dielectric Body layer, 16 ... third dielectric layer, 17 ... third conductor layer, 18 ... fourth dielectric layer, 19 ... fourth conductor layer, 20, 21, 22 ... via , 172a, 172b, 173, 192a, 192b ... capacitor electrodes, 174, 175, 194, 195 ... ground electrodes, 191a, 191b ... resonant electrodes, 191a-s, 191b-s ... open stubs , 193a: signal input terminal, 193b: signal output terminal

Claims (11)

誘電体層と導体層を複数積層してなる積層基板の一方の面側に接地導体層が形成されており、一端が前記接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた一対の平行する共振電極を有する共振パターン導体層が前記誘電体層を介して前記接地導体層と対向して設けられて、一方の前記共振電極の開放端側を信号入力端子として用い、他方の前記共振電極の開放端側を信号出力端子として用いる共振器において、
前記共振電極に、オープンスタブを他の共振電極側に突出させて設けた
ことを特徴とする共振器。
A ground conductor layer is formed on one side of a laminated substrate formed by laminating a plurality of dielectric layers and conductor layers, one end being a short-circuited end connected to the ground conductor layer and the other end being an open end A resonance pattern conductor layer having a pair of parallel resonance electrodes is provided to face the ground conductor layer through the dielectric layer, and the open end side of one of the resonance electrodes is used as a signal input terminal, and the other In the resonator using the open end side of the resonance electrode as a signal output terminal,
A resonator having an open stub protruding from the resonance electrode toward the other resonance electrode.
一方の端子が前記接地導体層に接続されて、他方の端子が前記信号入力端子あるいは開放端側を前記信号入力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第1コンデンサと、一方の端子が前記接地導体層に接続されて、他方の端子が前記信号出力端子あるいは開放端側を前記信号出力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第2コンデンサを設けた
ことを特徴とする請求項1記載の共振器。
A first capacitor having a multilayer structure in which one terminal is connected to the ground conductor layer and the other terminal is connected to the signal input terminal or a resonance electrode using the open end side as the signal input terminal, and one terminal is 2. A second capacitor having a multilayer structure connected to the ground conductor layer and having the other terminal connected to the signal output terminal or a resonance electrode using the open end side as the signal output terminal is provided. 1. The resonator according to 1.
前記第1コンデンサの他方の端子は、開放端側を前記信号入力端子として用いる共振電極と接続し、
前記第2コンデンサの他方の端子は、開放端側を前記信号出力端子として用いる共振電極と接続し、
前記オープンスタブは、前記第1および第2コンデンサの他方の端子の接続位置に設けた
ことを特徴とする請求項2記載の共振器。
The other terminal of the first capacitor is connected to a resonance electrode using the open end side as the signal input terminal,
The other terminal of the second capacitor is connected to a resonance electrode using the open end side as the signal output terminal,
The resonator according to claim 2, wherein the open stub is provided at a connection position of the other terminal of the first and second capacitors.
前記第1および第2コンデンサは、誘電体として酸化タンタルを用いたコンデンサである
ことを特徴とする請求項2記載の共振器。
The resonator according to claim 2, wherein the first and second capacitors are capacitors using tantalum oxide as a dielectric.
前記接地導体層と前記共振パターン導体層との間に位置する前記導体層には、前記共振電極と対向する領域を含むようにスロットを形成した
ことを特徴とする請求項1記載の共振器。
The resonator according to claim 1, wherein a slot is formed in the conductor layer located between the ground conductor layer and the resonance pattern conductor layer so as to include a region facing the resonance electrode.
誘電体層と導体層を複数積層してなる積層基板の一方の面側に接地導体層が形成されており、一端が前記接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた一対の平行する共振電極を有する共振パターン導体層が前記誘電体層を介して前記接地導体層と対向して設けられて、一方の前記共振電極の開放端側を信号入力端子として用い、他方の前記共振電極の開放端側を信号出力端子として用い、前記信号入力端子に入力された信号から所望の周波数帯の信号を通過させて前記信号出力端子から出力する誘電体フィルタにおいて、
前記共振電極に、オープンスタブを他の共振電極側に突出させて設けた
ことを特徴とする誘電体フィルタ。
A ground conductor layer is formed on one side of a laminated substrate formed by laminating a plurality of dielectric layers and conductor layers, one end being a short-circuited end connected to the ground conductor layer and the other end being an open end A resonance pattern conductor layer having a pair of parallel resonance electrodes is provided to face the ground conductor layer through the dielectric layer, and the open end side of one of the resonance electrodes is used as a signal input terminal, and the other In the dielectric filter that uses the open end side of the resonance electrode as a signal output terminal, passes a signal in a desired frequency band from the signal input to the signal input terminal, and outputs the signal from the signal output terminal.
A dielectric filter characterized in that an open stub is provided on the resonance electrode so as to protrude toward the other resonance electrode.
一方の端子が前記接地導体層に接続されて、他方の端子が前記信号入力端子あるいは開放端側を前記信号入力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第1コンデンサと、一方の端子が前記接地導体層に接続されて、他方の端子が前記信号出力端子あるいは開放端側を前記信号出力端子として用いる共振電極と接続される積層構造の第2コンデンサを設け、
前記第1および第2コンデンサの静電容量を調整して、前記信号入力端子に入力された信号から所望の周波数帯の信号を通過させて前記信号出力端子から出力させる
ことを特徴とする請求項6記載の誘電体フィルタ。
A first capacitor having a multilayer structure in which one terminal is connected to the ground conductor layer and the other terminal is connected to the signal input terminal or a resonance electrode using the open end side as the signal input terminal, and one terminal is A second capacitor having a multilayer structure connected to the ground conductor layer and connected to the resonance electrode using the other terminal as the signal output terminal or the open end side as the signal output terminal;
The capacitance of the first and second capacitors is adjusted, and a signal in a desired frequency band is passed from the signal input to the signal input terminal and output from the signal output terminal. 6. The dielectric filter according to 6.
前記第1コンデンサの他方の端子は、開放端側を前記信号入力端子として用いる共振電極と接続し、
前記第2コンデンサの他方の端子は、開放端側を前記信号出力端子として用いる共振電極と接続し、
前記オープンスタブは、前記第1および第2コンデンサの他方の端子の接続位置に設けた
ことを特徴とする請求項7記載の誘電体フィルタ。
The other terminal of the first capacitor is connected to a resonance electrode using the open end side as the signal input terminal,
The other terminal of the second capacitor is connected to a resonance electrode using the open end side as the signal output terminal,
8. The dielectric filter according to claim 7, wherein the open stub is provided at a connection position of the other terminal of the first and second capacitors.
一方の端子が前記信号入力端子あるいは開放端側を前記信号入力端子として用いる共振電極と接続されて、他方の端子が前記信号出力端子あるいは開放端側を前記信号出力端子として用いる共振電極に接続された積層構造の第3コンデンサを設け、
前記第3コンデンサの静電容量を調整して、前記信号入力端子に入力された信号に対して阻止する周波数帯を設定する
ことを特徴とする請求項7記載の誘電体フィルタ。
One terminal is connected to the resonance electrode using the signal input terminal or the open end side as the signal input terminal, and the other terminal is connected to the resonance electrode using the signal output terminal or the open end side as the signal output terminal. A third capacitor having a multilayer structure is provided,
The dielectric filter according to claim 7, wherein a frequency band for blocking a signal input to the signal input terminal is set by adjusting a capacitance of the third capacitor.
前記第1乃至第3コンデンサは、誘電体として酸化タンタルを用いたコンデンサである
ことを特徴とする請求項9記載の誘電体フィルタ。
The dielectric filter according to claim 9, wherein the first to third capacitors are capacitors using tantalum oxide as a dielectric.
前記接地導体層と前記共振パターン導体層との間に位置する前記導体層には、前記共振電極と対向する領域を含むようにスロットを形成した
ことを特徴とする請求項6記載の誘電体フィルタ。
7. The dielectric filter according to claim 6, wherein a slot is formed in the conductor layer located between the ground conductor layer and the resonance pattern conductor layer so as to include a region facing the resonance electrode. .
JP2003341466A 2003-09-30 2003-09-30 Resonator and dielectric filter Pending JP2005109950A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003341466A JP2005109950A (en) 2003-09-30 2003-09-30 Resonator and dielectric filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003341466A JP2005109950A (en) 2003-09-30 2003-09-30 Resonator and dielectric filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005109950A true JP2005109950A (en) 2005-04-21

Family

ID=34536062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003341466A Pending JP2005109950A (en) 2003-09-30 2003-09-30 Resonator and dielectric filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005109950A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014185200A1 (en) * 2013-05-17 2014-11-20 太陽誘電株式会社 High frequency filter and high frequency module equipped with same
WO2016104551A1 (en) * 2014-12-26 2016-06-30 住友大阪セメント株式会社 Optical modulator

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014185200A1 (en) * 2013-05-17 2014-11-20 太陽誘電株式会社 High frequency filter and high frequency module equipped with same
JP2014225830A (en) * 2013-05-17 2014-12-04 太陽誘電株式会社 High frequency filter and high frequency module equipped with the same
US9859861B2 (en) 2013-05-17 2018-01-02 Taiyo Yuden Co., Ltd. High frequency filter and high frequency module equipped with same
WO2016104551A1 (en) * 2014-12-26 2016-06-30 住友大阪セメント株式会社 Optical modulator
JP2016126054A (en) * 2014-12-26 2016-07-11 住友大阪セメント株式会社 Optical modulator
US10162201B2 (en) 2014-12-26 2018-12-25 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5009931B2 (en) Thin film bandpass filter using inductor-capacitor resonator
US7187559B2 (en) Circuit board device and its manufacturing method
US6972646B2 (en) Filter circuit device and method of manufacturing the same
JP2005109951A (en) Resonator and dielectric filter
JP5009934B2 (en) Compact thin film bandpass filter
US20040130877A1 (en) Substrate for high-frequency module and high-frequency module
KR100895208B1 (en) High-frequency module substrate device
JP2003264348A (en) High frequency module
US7064630B2 (en) High-frequency module and its manufacturing method
US6975186B2 (en) Filter circuit
JP2005130376A (en) Balun
JP2005244848A (en) Balun filter
JP2005109950A (en) Resonator and dielectric filter
JP4479387B2 (en) Balun filter
JP4433904B2 (en) Balun filter
JP2005117176A (en) Band rejection filter
JP2005109948A (en) Resonator and dielectric filter
JP4321376B2 (en) Band pass filter and filter characteristic switching method
JP2005311979A (en) Band filter and high frequency module
JP2006005798A (en) Band-pass filter and method of setting filter characteristic
JP2003037465A (en) Electronic circuit wiring board