JP2005102431A5 - - Google Patents
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- 電気−機械エネルギ変換素子に周波信号を印加して弾性体に振動を励起し、前記弾性体と前記弾性体に接触する接触体とを相対駆動する振動型アクチュエータの制御装置であって、
前記周波信号を生成する信号生成手段と、
前記弾性体の振動状態を検出する振動検出手段と、
前記信号生成手段において生成される信号と前記振動検出手段からの出力信号との位相差を検出する位相差検出手段と、
前記接触体の速度を検出する速度検出手段と、
前記信号生成手段において生成される前記周波信号の周波数と電圧を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、
前記速度検出手段にて検出された前記接触体の速度が目標速度よりも遅い場合には、前記接触体の速度を前記目標速度に近づけるように前記周波信号の電圧を変更することなく前記周波信号の周波数を下げ、
前記周波信号の周波数を下げることによって、前記接触体の速度が前記目標速度に到達する前に前記位相差検出手段により検出された位相差が第1の位相差に達した場合には、前記周波信号の周波数を下げずに前記周波信号の電圧を高くすることを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。 - 前記制御手段は、前記接触体の駆動を開始する際には、前記周波信号の電圧を、前記弾性体が共振状態となっても、前記接触体の速度が前記目標値に達しない第1の値に設定することを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
- 前記制御手段は、前記周波信号の電圧に応じて前記第1の位相差の値を変更することを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
- 前記制御手段は、前記接触体の速度が前記目標速度に到達する前に前記位相差検出ユニットにより検出された位相差が第1の位相差に達した場合には、前記周波信号の周波数を下げずに、前記周波信号の電圧を前記第1の値よりも高い第2の値に設定し、
前記周波信号の電圧が前記第2の値に設定されている状態で、前記位相差検出ユニットにより検出された位相差が前記第1の位相差よりも前記弾性体が共振状態から遠ざかることを示す第2の位相差に達した場合には、前記周波信号の電圧を前記第2の値よりも低くすることを特徴とする請求項3に記載の振動型アクチュエータの制御装置。 - 前記制御手段は、前記周波信号の電圧に応じて前記第2の位相差の値を変更することを特徴とする請求項4に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
- 前記信号生成手段は、パルス信号を生成するパルス生成部と、前記パルス信号を用いて前記周波信号を生成するドライバ部とを有し、
前記制御手段は、前記パルス信号のパルス幅を増減させることにより前記周波信号の電圧を制御することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の振動型アクチュエータの制御装置。 - 請求項1から6のいずれか1つに記載の制御装置を有し、
前記制御装置により制御される振動型アクチュエータを駆動源とすることを特徴とする振動型アクチュエータを用いた装置。 - 電気−機械エネルギ変換素子に周波信号を印加して弾性体に振動を励起し、前記弾性体と前記弾性体に接触する接触体とを相対駆動する振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記周波信号を生成する信号生成ステップと、
前記弾性体の振動状態を検出する振動検出ステップと、
前記信号生成ステップにおいて生成される信号と前記振動検出ステップにより検出された振動状態を示す信号との位相差を検出する位相差検出ステップと、
前記接触体の速度を検出する速度検出ステップと、
前記信号生成ステップにおいて生成される前記周波信号の周波数と電圧を制御する制御ステップとを有し、
前記制御ステップにおいて、
前記速度検出ステップにて検出された前記接触体の速度が目標速度よりも遅い場合には、前記接触体の速度を前記目標速度に近づけるように前記周波信号の電圧を変更することなく前記周波信号の周波数を下げ、
前記周波信号の周波数を下げることによって、前記接触体の速度が前記目標速度に到達する前に前記位相差検出手段により検出された位相差が第1の位相差に達した場合には、前記周波信号の周波数を下げずに前記周波信号の電圧を高くすることを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。 - 前記制御ステップにおいて、前記接触体の駆動を開始する際には、前記周波信号の電圧を、前記弾性体が共振状態となっても、前記接触体の速度が前記目標値に達しない第1の値に設定することを特徴とする請求項8に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
- 前記制御ステップにおいて、前記周波信号の電圧に応じて前記第1の位相差の値を変更することを特徴とする請求項8又は9に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
- 前記制御ステップにおいて、前記接触体の速度が前記目標速度に到達する前に前記位相差検出ステップにより検出された位相差が第1の位相差に達した場合には、前記周波信号の周波数を下げずに、前記周波信号の電圧を前記第1の値よりも高い第2の値に設定し、
前記周波信号の電圧が前記第2の値に設定されている状態で、前記位相差検出ステップにより検出された位相差が前記第1の位相差よりも前記弾性体が共振状態から遠ざかることを示す第2の位相差に達した場合には、前記周波信号の電圧を前記第2の値よりも低くすることを特徴とする請求項10に記載の振動型アクチュエータの制御方法。 - 前記制御ステップにおいて、前記周波信号の電圧に応じて前記第2の位相差の値を変更することを特徴とする請求項11に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003334186A JP4314088B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 振動型アクチュエータの制御装置および制御方法、振動型アクチュエータを駆動源とする装置 |
US10/940,719 US7183691B2 (en) | 2003-09-25 | 2004-09-15 | Control apparatus for vibration type actuator and control method thereof |
CNB2004100117187A CN100438305C (zh) | 2003-09-25 | 2004-09-24 | 振动型驱动器的控制装置和控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003334186A JP4314088B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 振動型アクチュエータの制御装置および制御方法、振動型アクチュエータを駆動源とする装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005102431A JP2005102431A (ja) | 2005-04-14 |
JP2005102431A5 true JP2005102431A5 (ja) | 2006-11-09 |
JP4314088B2 JP4314088B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=34373154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003334186A Expired - Fee Related JP4314088B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 振動型アクチュエータの制御装置および制御方法、振動型アクチュエータを駆動源とする装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7183691B2 (ja) |
JP (1) | JP4314088B2 (ja) |
CN (1) | CN100438305C (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7723899B2 (en) | 2004-02-03 | 2010-05-25 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Active material and light emitting device |
US7538473B2 (en) * | 2004-02-03 | 2009-05-26 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Drive circuits and methods for ultrasonic piezoelectric actuators |
CN1981427B (zh) * | 2004-07-07 | 2011-06-01 | 精工爱普生株式会社 | 压电致动器和钟表 |
JP4658587B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2011-03-23 | ローム株式会社 | モータ駆動装置 |
US7227294B2 (en) * | 2005-04-29 | 2007-06-05 | Symbol Technologies, Inc. | Piezoelectric motor drive circuit and method |
KR100820811B1 (ko) * | 2005-05-30 | 2008-04-10 | 엘지전자 주식회사 | 휴대 단말기에 장착된 카메라의 렌즈 구동 장치 |
JP4498265B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | モータ駆動装置、制御方法、及びプログラム |
JP2007215390A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-08-23 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの駆動制御方法、圧電アクチュエータの駆動制御装置、および電子機器 |
JP4894308B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2012-03-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置 |
JP4795158B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-10-19 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
CN101181705B (zh) * | 2006-11-14 | 2011-12-28 | 合世生医科技股份有限公司 | 压电致能产生系统及其产生方法 |
JP5153170B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2013-02-27 | オリンパス株式会社 | 超音波モータの駆動装置およびその方法 |
DE102007016642B4 (de) * | 2007-04-05 | 2015-12-17 | Austriamicrosystems Ag | Elektromechanisches System und Verfahren zum Betrieb eines elektromechanischen Systems |
JP4631921B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2011-02-16 | ソニー株式会社 | 圧電素子の駆動装置および圧電素子駆動周波数の制御方法 |
DE102008046891B4 (de) * | 2008-07-08 | 2014-10-30 | Abb Technology Ag | Messeinrichtung vom Vibrationstyp |
US8698374B2 (en) * | 2009-05-15 | 2014-04-15 | New Scale Technologies | Automated drive frequency control for resonant actuator systems and methods thereof |
US8450905B2 (en) * | 2009-07-23 | 2013-05-28 | New Scale Technologies | Methods for controlling velocity of at least partially resonant actuators systems and systems thereof |
JP5553564B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2014-07-16 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ制御装置および撮像装置 |
EP2505870A1 (en) * | 2009-11-25 | 2012-10-03 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Vibration damping device and vehicle provided therewith |
JP5704826B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2015-04-22 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
JP5791343B2 (ja) * | 2010-05-31 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 振動型モータの制御方法および振動型モータの駆動装置 |
JP5679781B2 (ja) | 2010-11-26 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御装置 |
JP5884303B2 (ja) | 2011-06-07 | 2016-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
JP5799596B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2015-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
TWI502135B (zh) * | 2012-05-21 | 2015-10-01 | 緯創資通股份有限公司 | 風扇控制系統及其風扇控制之方法 |
JP6226559B2 (ja) | 2012-05-30 | 2017-11-08 | キヤノン株式会社 | 超音波モータおよび、超音波モータの駆動方法 |
JP2014018027A (ja) | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Canon Inc | 振動型アクチュエータ、撮像装置、及びステージ |
JP6112835B2 (ja) * | 2012-11-26 | 2017-04-12 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 |
JP6399824B2 (ja) * | 2014-06-30 | 2018-10-03 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御装置及び制御方法、撮像装置 |
JP6528391B2 (ja) * | 2014-11-25 | 2019-06-12 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置、ヘッドユニット、容量性負荷駆動用集積回路装置および容量性負荷駆動回路 |
US20160276973A1 (en) * | 2015-02-13 | 2016-09-22 | Resonant Systems, Inc. | Oscillating-resonant-module controller |
JP6723858B2 (ja) * | 2015-08-19 | 2020-07-15 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ制御装置及びそれを有するレンズ装置及び撮像装置 |
KR102709777B1 (ko) * | 2016-02-11 | 2024-09-26 | 피직 인스트루멘테 (페이) 게엠베하 운트 코. 카게 | 전기 기계 소자를 액추에이팅하는 방법 및 장치 |
DE102016011803B4 (de) * | 2016-10-04 | 2020-07-02 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Testvorrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines in einem Gerät angeordneten Vibrationsmotors |
CN108398979B (zh) * | 2018-02-28 | 2020-05-26 | 河南师范大学 | 一种实现超声电机频率跟踪的微型装置及方法 |
JP7191635B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2022-12-19 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置、振動型アクチュエータの駆動制御装置と駆動制御方法及び装置 |
JP7286364B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2023-06-05 | キヤノン株式会社 | 駆動制御装置、電子機器、駆動制御方法、およびプログラム |
JP7263874B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置の制御方法および圧電駆動装置 |
WO2022085678A1 (ja) * | 2020-10-22 | 2022-04-28 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置及び振動型駆動装置の駆動方法 |
JP7520687B2 (ja) | 2020-10-22 | 2024-07-23 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置及び駆動方法 |
JP2022095024A (ja) | 2020-12-16 | 2022-06-28 | キヤノン株式会社 | 学習データ生成装置、学習データ生成方法及びコンピュータプログラム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63178774A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-22 | Canon Inc | 振動波モ−タ−の駆動回路 |
JP2637467B2 (ja) * | 1988-05-06 | 1997-08-06 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエーター装置 |
US5710491A (en) * | 1988-10-19 | 1998-01-20 | Nikon Corporation | Driving control device for vibration wave motor |
JPH04200282A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-21 | Nikon Corp | 超音波モータの駆動装置 |
JP2972010B2 (ja) * | 1992-01-08 | 1999-11-08 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエーター駆動制御装置 |
JPH06189566A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-07-08 | Canon Inc | 振動波モータの駆動制御装置 |
JP3437359B2 (ja) * | 1996-01-08 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置の制御装置 |
US6054795A (en) * | 1996-04-24 | 2000-04-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus for vibration type actuator device |
JPH11168888A (ja) | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Canon Inc | 振動型駆動装置の制御装置、振動装置の制御装置およびこれらを備えた装置 |
JP3768665B2 (ja) | 1997-12-12 | 2006-04-19 | キヤノン株式会社 | 周波信号生成回路及び振動型アクチュエータの駆動装置 |
US6100654A (en) | 1998-01-29 | 2000-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving device for a vibration type motor |
US6229402B1 (en) | 1998-05-28 | 2001-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving circuit for vibration type actuator apparatus |
JP2000032783A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Canon Inc | 振動波装置の駆動制御装置および振動波モータ装置 |
JP4428747B2 (ja) * | 1999-02-22 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ駆動制御装置、駆動制御方法、及び記憶媒体 |
JP2002305884A (ja) | 2001-03-30 | 2002-10-18 | Canon Inc | 振動波モーターの制御装置及び振動波モータを備えた機器 |
JP2004129458A (ja) | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御装置、振動型アクチュエータシステム、振動型アクチュエータの制御方法 |
JP4541785B2 (ja) | 2003-09-01 | 2010-09-08 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ駆動制御装置および振動型アクチュエータ駆動制御方法 |
-
2003
- 2003-09-25 JP JP2003334186A patent/JP4314088B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-15 US US10/940,719 patent/US7183691B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-24 CN CNB2004100117187A patent/CN100438305C/zh not_active Expired - Fee Related
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