JP2005093987A - テープ接着装置およびテープ接着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ワークに対しテープ部材を良好に接着可能であり、工程の簡略化およびコストの削減を図れるテープ接着装置及びテープ接着方法を提供すること。
【解決手段】 テープ部材１２をワーク１１に接着するテープ接着装置１０であり、上面にワーク１１を載置するゴムシート２５と、ゴムシート２５の上面側に位置する第１の真空室５０と、ゴムシート２５の下面側に位置する第２の真空室５１と、第１及び第２の真空室５０，５１との間で空気を導通させずにゴムシート２５を保持する保持部材２６と、テープ部材１２を張設状態で保持し、ワーク１１の上部にテープ部材１２を位置させるテープ保持手段２８と、第１の真空室５０を真空吸引する第１の吸引手段３６と、第１の真空室５０に空気を導入する第１の空気導入手段３７と、第２の真空室５１を真空吸引する第２の吸引手段３６と、第２の真空室５１に空気を導入する第２の空気導入手段４１と、を具備する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着装置およびテープ接着方法に関する。

半導体の製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の表面に回路パターンを形成した後に、ウエハ裏面を研磨して薄型化を図り、形成される半導体チップの小型化・薄型化に対応することがある。また、薬液を用いてケミカルエッチング処理を施して、該ウエハの薄型化を図る製造工程を行う場合もある。

かかる製造工程においては、ウエハ表面に粘着状の保護テープ（以下、テープ部材という。）を貼り付けている。それによって、ウエハ表面が汚染されたり、該ウエハの表面に傷がついて回路が損傷するのを防いでいる。

このようなウエハ表面に、テープ部材を接着させるテープ接着装置としては、特許文献１記載のものがある。この特許文献１記載のテープ接着装置では、本体側の部屋および上蓋側の部屋の両方とも真空にしている状態から、上蓋側の部屋を大気圧に切り替える。それによって、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、その差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対してテープ部材を接着させている。

また、他の貼付装置としては、特許文献２記載のものがある。この特許文献２記載のものでは、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台の中央部をテープ部材側に向けて撓ませている。これと共に、中央部を撓ませた基台を、ウエハに貼付されたテープ部材に押し付けながら、昇降装置の駆動によりウエハを持ち上げている。このようにすることで、テープ部材の中央側から外方に向けて空気を押し出しながら、ウエハに対してテープ部材を接着している。

特開２００３−７８０８号公報（段落番号０００７、図２〜４参照） 特開２０００−３４９０４７号公報（要約、図１〜図５参照）

上述の特許文献１記載の構成は、着想レベルに留まっていて、その構成が具体的でない。そのため、かかる構成に基づいて実際に実施しようとした場合には、種々の不具合が生じる。例えば、特許文献１記載の構成では、ゴムシートが上部に位置しているため、該ゴムシートの自重による弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取付作業が困難となる、という課題を有している。

特に、テープ部材の接着を効率的に行うためには、テープ部材をウエハに接着する作業を開始する初期位置では、ゴムシートに対して接触しているテープ部材と、ウエハとの間の隙間が小さいのが通常である。かかる隙間が小さい状態において、ゴムシートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウエハにテープ部材が接着し、かかる接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。

また、特許文献１記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押しネジの全てを回転させる必要があり、押しネジを同時に回転させる必要がある場合、困難な作業となる。さらに、特許文献１記載の構成では、上蓋を取り除いた状態で、テープ部材やウエハを設置する必要がある。このため、工数が余分に掛かるものとなっている。

また、特許文献２記載の構成では、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウエハが貼付されたテープ部材に対して基台を接着させると共に、この接着状態から、さらにウエハが貼付されたテープ部材および基台を持ち上げている。このため、２段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト的にも好ましくない。また、ウエハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となるので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、ゴムシートの弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を良好に接着できると共に、工程の簡略化およびコストの削減を図ることが可能なテープ接着装置、およびテープ接着方法を提供しよう、とするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、上面にワークを載置する伸縮シート部材と、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる密閉可能な第１の真空室と、伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる密閉可能な第２の真空室と、第１の真空室と第２の真空室との間で空気が導通しない状態で、伸縮シート部材を保持する保持部材と、テープ部材を張設状態で保持すると共に、伸縮シート部材に載置されているワークの上部にテープ部材を位置させるためのテープ保持手段と、第１の真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、第１の真空室の内部に空気を導入するための第１の空気導入手段と、第２の真空室の内部を真空吸引する第２の吸引手段と、第２の真空室の内部に空気を導入するための第２の空気導入手段と、を具備するものである。

このような構成とすることで、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部には、テープ保持手段によって張設された状態でテープ部材が位置する。そして、この状態で、第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させ、第１の真空室及び第２の真空室の真空排気を行う。その後に、第２の空気導入手段を作動させて、第２の真空室の内部に空気を導入する。すると、真空状態が維持されている第１の真空室と、空気が導入された第２の真空室との間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、第１の真空室の内部に向かって膨張する。そして、この膨張によって、伸縮シート部材はワークを持ち上げ、かかる持ち上げによってワークがテープ部材に接触する。

その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークは張設状態にあるテープ部材の張力に抗しながら、さらに持ち上げられる。それによって、ワークの全面に対して良好にテープ部材を接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。

また、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、該伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。そのため、ゴムシートの弛みの除去のために、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要が無くなり、構成が簡単となる。また、テープ接着装置が製造し易くなる。さらに、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークを上方のテープ部材へ移動させる特別な構成を要さずに済む。このため、簡易な構成で、ワークをテープ部材に向けて移動させることができる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、第１の吸引手段、第２の吸引手段、第１の空気導入手段および第２の空気導入手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、この制御手段は、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させて、第１の真空室及び第２の真空室の真空吸引を行い、真空吸引の後に、第２の空気導入手段を作動させて第２の真空室に空気を導入し、この空気の導入によって、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材に接着させる、こととしたものである。

このように構成した場合には、制御手段による作動制御により、まず第１の吸引手段及び第２の吸引手段の作動が開始され、真空吸引が行われる。そして、かかる真空吸引の後に、制御手段による作動制御により、第２の空気導入手段が作動する。それによって、第２の真空室に空気が導入される。そして、この空気の導入により、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させることができる。伸縮シート部材が膨張すると、ワークをテープ部材に向けて持ち上げることができる。それによって、ワークをテープ部材に対して接着させることができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、制御手段は、第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させるに際して、先に第２の吸引手段を作動させ、後に第１の吸引手段を作動させることとしたものである。

このように構成した場合には、先に第２の吸引手段が作動することによって、第１の真空室に対して第２の真空室の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、下面側の第２の真空室側に向かって膨張する。このようにすれば、伸縮シート部材が、先に第１の真空室側に向かって膨張することがなくなる。このため、第２の空気導入手段が作動して空気を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、蓋体部を本体部に対して閉じた場合に、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と伸縮シート部材との間に、第１の真空室が形成されると共に、本体部に存在する空間部と、伸縮シート部材との間に、第２の真空室が形成される、こととしたものである。

このように構成した場合には、蓋体部が本体部に対して開閉自在となる。このようにすれば、蓋体部の開閉によって、ワーク及びテープ部材の設置、及びテープ部材が接着された状態のワークの取り出しを、容易に行うことができる。また、シール部材の存在により、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞することができる。このため、第１の吸引手段及び第２の吸引手段の作動時には、第１の真空室及び第２の真空室を、真空度が高い状態まで吸引することができる。また、伸縮シート部材の下面側には、当初から第２の真空室が存在する状態となる。また、蓋体部を本体部に対して閉じた場合には、この蓋体部と伸縮シート部材との間に第１の真空室が形成される。

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面は、伸縮シート部材の膨張によるワークおよびテープ部材の上方へ向かう移動を、上方から押さえるものである。

このように構成した場合には、伸縮シート部材が膨張すると、ワークおよびテープ部材が持ち上げられる。この持ち上げによって、テープ部材が所定の高さ位置に到達すると、上底面にぶつかって、テープ部材が上方から押さえられる。このため、テープ部材は、上方から押さえられると共に、下方からワークによって持ち上げられる状態で、接着が実行される。すなわち、テープ部材を上方から押さえながら、ワークを上方に持ち上げて押し付けるので、ワークとテープ部材との間の接着を、強固かつ確実なものとすることができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、蓋体部と本体部との境界部分には、蓋体部が本体部に対して閉じた状態を検出するセンサが設けられていると共に、このセンサは、制御手段に対して検知信号を送信可能としていて、制御手段はセンサから蓋体部の閉じた状態に対応する検知信号を受信した場合のみ、第１の吸引手段又は第２の吸引手段を作動させるものである。

このように構成した場合には、センサは、蓋体部が本体部に対して閉じた状態を検知可能となる。そして、この検知に基づく検知信号を、制御手段に送信することで、該制御手段は、閉じた状態となったことを認識可能となる。そして、制御手段は、閉じた状態を認識しない限り、第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させることがない。このため、蓋体部が確実に閉塞された場合のみ、真空吸引を行うことができ、該真空吸引の無駄を防止することができる。

また、誤って蓋体部と本体部との間に異物が挟まれた場合でも、第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させることがないため、この異物を容易に取り除くことができる。このため、蓋体部と本体部との間に、破損が生じるのを防止することができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ保持手段は、保持部材に対してピン部材を介して取り付けられているものである。このように構成した場合には、テープ保持手段と保持部材との間に、ピン部材が介在し、このピン部材が存在しない部位には、隙間が生じる。そして、この隙間から、第１の吸引手段によって、テープ保持手段と保持部材との間の空間に存在する空気を吸引排気することができる。すなわち、ワークとテープ部材との間に存在する空気を、良好に吸引排気することができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、ワークは、ガラス基板であり、ピン部材には、保持部材に設けられると共にテープ保持手段と対向する側に向かって突出する第１の支持部材と、保持部材に設けられると共にテープ保持手段と対向する側に向かって突出し、かつ第１の支持部材よりも突出長さの長い複数の第２の支持部材と、が設けられているものである。

このように構成した場合には、第１の支持部材および第２の支持部材によってテープ保持手段が支持される。このため、テープ保持手段に固定されているテープ部材は、第１の支持部材の近傍においては、高さ位置が低くなり、第２の支持部材の近傍においては、高さ位置が高くなる。そのため、テープ部材は、その全体が第２の支持部材で支持されている場合と比較して、高さ位置を下げることができ、テープ部材のたわみを考慮すれば、該テープ部材の上方において、スペース的に余裕を持たせることが可能となる。また、蓋体部に存在する凹部の深さを必要以上に深くせずに済む。このため、スペース的な余裕が少ない場合には、凹部を切削する等して深くすることができ、任意に調整可能となる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、蓋体部には、本体部に対する開閉を補助する開閉補助手段が設けられているものである。このように構成した場合には、蓋体部を開閉するに際して、開閉補助手段が作用する。そのため、作業者が蓋体部を開閉する動作を行い易くなり、作業者の負担を軽減することが可能となる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、開閉補助手段は、蓋体部の回動支点から該蓋体部が設けられている側とは反対側に向かって延伸する取付軸と、この取付軸に取り付けられるウエイトと、取付軸に設けられる突出部分と、本体部に対して回動自在に設けられ、蓋体部の開き動作に伴って取付軸が移動する側に設けられると共に、取付軸に向かって延伸するアームと、アームのうち突出部分が突き当たる部位に設けられ、該突出部分が嵌め込まれると共に、この突出部分が嵌め込まれた際にアームの回動を規制し、該突出部分の嵌め込み状態を維持して蓋体部の開放状態を維持可能な切欠部と、を具備するものである。

このように構成した場合には、取付軸にウエイトが取り付けられているので、少ない力で蓋体部を開くことができる。また、蓋体部を閉じる場合も、蓋体部の自重によって急激に閉まることがなく、蓋体部および本体部を破損する、といった不具合を防止することが可能となる。さらに、アームに設けられている切欠部に、突出部分が嵌まり込み、該突出部分の嵌まり込み状態においては、アームの回動が規制され、蓋体部の開放状態を良好に維持可能となる。そのため、蓋体部を手で押さえる等して、該蓋体部の開放状態を維持する必要がなく、その分だけ作業者はワークの搬送等、他の作業を行うことができ、利便性が向上する。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が塗布されていて、蓋体部には、加熱手段が設けられていると共に、ワークへのテープ部材の接着に際して該加熱手段によってテープ部材を加熱するものである。このように構成した場合には、テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が表面に塗布されているため、加熱手段により加熱されると、ワークに対する接着性が高められる。その状態で、ワークに対してテープ部材が押し付けられると、該ワークに対してテープ部材を良好に接着することが可能となる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、加熱手段は、蓋体部のうち凹部と隣接する収納部に複数設けられていると共に、複数の加熱手段は、この収納部において放射状に配置されているものである。このように構成した場合には、加熱手段を用いて、テープ部材の全体を良好に加熱することが可能となる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることが可能となる。

さらに、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、伸縮シート部材の上面にワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部にテープ部材を張設状態で位置させた状態で、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップによって、第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する第１の空気導入ステップと、第１の空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する第２の空気導入ステップと、を具備するものである。

このようにした場合には、吸引ステップにおいては、第１の真空室と第２の真空室との真空吸引が為される。かかる吸引ステップの後に、真空到達度検出ステップにおいて真空度の到達の検出を行う。そして、設定された真空度に到達したことが検出されると、今度は第１の空気導入ステップにおいて第２の空気導入手段を作動させて、第２の真空室に空気を導入する。それによって、伸縮シート部材は、その上面側である第１の真空室側に向かって膨張を開始する。

この後に、接着ステップが開始され、伸縮シート部材の膨張によってワークが持ち上げられて、テープ部材に接着される。かかる膨張を、所定時間だけ継続実行すれば、膨張の継続によって、ワークの全面に亘ってテープ部材が接着される。この接着の後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入すれば、第１の真空室および第２の真空室が、共に大気圧に等しい状態となる。そして、ワークに対するテープ部材の接着が終了する。

このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。また、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、該伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。そのため、弛みを除去するために、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要が無くなり、接着が簡単となり、またテープ接着装置が製造し易くなる。さらに、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークを上方のテープ部材へ移動させる特別なステップを要さずに済む。このため、簡易な方法で、ワークをテープ部材に向けて移動させることができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、吸引ステップは、第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させるに際して、先に第２の吸引手段を作動させ、後に第１の吸引手段を作動させるものである。

このようにした場合には、先に第２の吸引手段が作動することによって、第１の真空室に対して第２の真空室の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、下面側の第２の真空室側に向かって膨張する。このようにすれば、伸縮シート部材が、先に第１の真空室側に向かって膨張することがなくなる。このため、第２の空気導入手段が作動して空気を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が塗布されていると共に、接着ステップでのワークに対するテープ部材の接着に先立って、テープ部材を加熱する加熱ステップを具備するものである。

このように構成した場合には、テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が表面に塗布されているため、加熱ステップにおいて加熱されると、ワークに対する接着性が高められる。その状態で、接着ステップにおいて、ワークに対してテープ部材が押し付けられると、該ワークに対してテープ部材を良好に接着することが可能となる。

本発明によると、伸縮シート部材の弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を良好に接着することが可能となる。また、工程の簡略化およびコストの削減を図ることも可能となる。

（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態に係るテープ接着装置１０について、図１から図７に基づいて説明する。図１は、図２に示す蓋体部６０を透視した状態の本体部２０の平面図で、ゴムシート２５上にウエハ１１を載置した状態を示す図である。また、図２はテープ接着装置の一部の内部構成（ゴムシート２５等）を透過した状態の側面図である。また、図３は、図１のテープ接着装置１０の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。

図１に示すように、本体部２０の平面形状は、例えば略正方形といった方形を為している。本体部２０の底面には、複数（例えば４本）の支持脚２１（図２参照）が取り付けられている。また、図２に示すように、テープ接着装置１０は、本体部２０と、この本体部２０に対して回動自在に設けられている蓋体部６０とを有している。

本体部２０の内部には、蓋体部６０に対して近接対向する本体上面部２２が設けられている。本体上面部２２は、真空吸引時に負荷される圧力（特に蓋体部６０側から負荷される垂直荷重）を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。また、本体部２０を支えると共にその一部となる側壁および底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。

本体上面部２２の中央部分には、孔部２３（図３参照）が設けられている。この孔部２３は、後述するように、ゴムシート２５で覆われている。また、図１〜図３に示すように、本体上面部２２には、シールリング２４が取り付けられている。シールリング２４は、Ｏリング状の部材であり、蓋体部６０側のリング当接部６３に当接する。それによって、テープ接着装置１０の内部を、外部（大気）から密閉し、このテープ接着装置１０の内部を真空吸引可能となっている。

また、本体上面部２２のうち、シールリング２４よりも中央部側（図１参照；以下、内径部２２ａという。）には、孔部２３を覆うように、伸縮シート部材としてのゴムシート２５が設けられている。このゴムシート２５は、その上面に、ワークとしてのウエハ１１が搭載される部材である。そして、ウエハ１１が搭載された状態で、後述するようにゴムシート２５を上側に膨らませることにより、ウエハ１１が後述するテープ部材１２に向かって上昇することとなる。

ゴムシート２５は、例えばクロロプレンといった、気泡の発生を低減できる材質によって構成されている。しかしながら、ゴムシート２５の材質は、かかるクロロプレンに限られるものではなく、通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート２５の好ましい材質としては、上述のクロロプレンのような、気泡の発生を防ぐことができる材質である。

なお、このゴムシート２５の存在により、テープ接着装置１０の内部は、２つの空間に区切られる（図３参照）。以下の説明においては、蓋体部６０を閉じた状態において、ゴムシート２５よりも上側の空間を第１の真空室５０とし、ゴムシート２５よりも下側の空間を第２の真空室５１とする。また、第２の真空室５１は、本体部２０の内部に存在する空間部５１ａを利用している。なお、第１の真空室５０は、テープ部材１２と蓋体部６０との間の空間と、テープ部材１２とゴムシート２５との間の空間とに区分されるが、両空間は連通しており、全体として第１の真空室５０を構成している。

また、本実施の形態では、ゴムシート２５の上面に搭載されるウエハ１１は、その直径が１２インチとなっている。しかしながら、ウエハ１１のサイズは特に限定されず、例えば８インチウエハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウエハ１１のサイズを変更する場合には、それに応じて他の部材（ゴムシート２５、押さえリング２６、テープフレーム２８等）のサイズも変更されることになる。しかしながら、例えば８インチウエハ等の小さいサイズのウエハ１１への接着に対して、本実施の形態のテープ接着装置１０を利用しても良い。

図４に示すように該ゴムシート２５の上部であって外周縁部には、外観が略リング状となっている、保持部材としての押さえリング２６が取り付けられている。押さえリング２６は、ゴムシート２５を押さえつけるためのものである。この押さえリング２６は、内径部２２ａに対して、例えばネジ２６ａ（図１参照）によって、その上方側から押さえつけるものであって、周方向に沿って適宜の間隔で固定されている。なお、このネジ２６ａによる固定に際しては、該ネジ２６ａがゴムシート２５を貫通する状態となる。そのため、ゴムシート２５に対して、予めネジ２６ａの貫通孔に対応する孔を形成するようにしても良い。なお、後述するピン部材２７を取り付けるためのネジ（不図示）を、押さえリング２６の取り付けのために兼用する構成としても良い。

図４に示すように、押さえリング２６の上面部分には、ピン部材２７が周方向に適宜の間隔をあけて取り付けられている。このピン部材２７には、その上部に、テープ保持手段としてのテープフレーム２８が取り付けられる。テープフレーム２８は、例えば紫外線硬化型のＵＶ（Ultra Violet light）テープといったテープ部材１２の張設状態を維持するためのものである。そのため、テープフレーム２８の上面は、テープ部材１２で覆われた状態となる。なお、テープ部材１２を、テープフレーム２８に張設する場合、該テープ部材１２の粘着面が、下方側（ウエハ１１側）を向いた状態で張設する。

また、テープフレーム２８には、複数（図１においては、略９０度前後の間隔で４本）の位置決めピン２９が取り付けられている。さらに、テープフレーム２８には、少なくとも一本以上（図１においては、２本）の回り止めピン３０が取り付けられている。

また、テープフレーム２８には、位置決めピン２９に対応して、複数の切欠部３１（図１においては、略９０度間隔で４箇所）が設けられている。切欠部３１は、テープフレーム２８の外周側の一部を切り取った状態となっている。この切欠部３１の縁部に、上述の位置決めピン２９が当接する状態で位置することにより、テープフレーム２８の平面方向に向かう位置ずれを防止することができる。それによって、テープ部材１２をウエハ１１へ接着する際に、位置ずれが生じるのを防止可能となる。

また、テープフレーム２８には、回り止めピン３０に対応して、ピン挟持部３２（図１においては、手前側の切欠部３１を挟む状態で２箇所）が設けられている。このピン挟持部３２は、テープフレーム２８の一部を、例えば略三角形状に切り取った状態に形成されている。それによって、該ピン挟持部３２の縁部に、回り止めピン３０が接触して、テープフレーム２８が時計回り及び反時計回りに向かう回転を規制することができる。なお、かかる回転防止によっても、テープ部材１２とウエハ１１との接着の際の、位置ずれを防止可能となる。

また、ゴムシート２５、ウエハ１１、押さえリング２６、ピン部材２７、テープフレーム２８およびテープ部材１２の位置関係について、図４に示す。この図に示すように、ゴムシート２５にウエハ１１が搭載された状態では、テープ部材１２とウエハ１１との間に、所定の隙間５０ａが存在する。しかしながら、隙間５０ａは、後述するようにゴムシート２５を膨らませた場合、該ゴムシート２５に搭載されているウエハ１１が持ち上げられて、ウエハ１１とテープ部材１２とが良好に接着される程度に設定されている。

また、図３に示すように、第１の真空室５０を真空吸引するために、該第１の真空室５０の内部には、空気管路３３の端部側が配置されている。この空気管路３３の一端部３３ａは、４本に分岐している（図３は、断面図のため、２本のみ表示）。そして、分岐している夫々の空気管路３３の開口部３４が、図３に示すように、第１の真空室５０の内部に存在している。なお、開口部３４は、本実施の形態では、図１に示す平面図において、略９０度間隔となるように配置されている。また、開口部３４は、シールリング２４の内部側である内径部２２ａであってテープフレーム２８とシールリング２４の間に存在している。また、空気管路３３は、内径部２２ａを貫通していて、第２の真空室５１の内部、又は本体部２０の外部において、分岐状態から、１つに合流している（図１、図３参照）。

また、空気管路３３の他端部３３ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから突出している。そして、この他端部３３ｂに対して、管部材３５の一端部を接続し、該管部材３５の他端部３５ｂを真空ポンプ３６に接続する。それによって、真空ポンプ３６が作動すると、第１の真空室５０を真空吸引することが可能となっている。

また、管部材３５の中途部分には、第１の弁部材３７が設けられている。この第１の弁部材３７は、第１の真空室５０の内部を真空吸引するために、真空ポンプ３６側と連通するように切り替えられる（以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。）と共に、大気導入側へ開放するように切り替える（図３において突出管部３５ａ側への切り替え；以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。）ことも可能となっている。第１の弁部材３７の切り替えにより、管部材３５が大気導入側へ開放されると、該管部材３５を介して、第１の真空室５０の内部に、大気が導入される。また、第１の弁部材３７としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。

また、真空ポンプ３６は、本実施の形態では、本体部２０の外部に設けられている。しかしながら、本体部２０の内部に、真空ポンプ３６を内蔵する構成を採用しても良い。なお、この真空ポンプ３６、空気管路３３、管部材３５、第１の弁部材３７等によって、第１の吸引手段が構成される。また、第１の弁部材３７、空気管路３３、管部材３５、突出管部３５ａ等によって、第１の空気導入手段が構成される。

また、これらの真空ポンプ３６、および第１の弁部材３７は、後述する制御装置７０に接続されていて、該制御装置７０からの制御指令に対応した信号を受信した後に作動する。

また、第２の真空室５１の内部にも、上述の空気管路３３と同様に、空気管路３８が設けられている。この空気管路３８は、空気管路３３とは異なり、第２の真空室５１の内部に１本のみ設けられている。また、空気管路３８の開口部３９は、第２の真空室５１の内部の中心に存在している。

なお、上述の空気管路３３と同様に、空気管路３８の他端部３８ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから突出していると共に、この他端部３８ｂに対して、管部材４０の一端側が接続されている。また、管部材４０の他端部は、真空ポンプ３６に接続されている。それにより、真空ポンプ３６が作動すると、第２の真空室５１を真空吸引することを可能としている。

また、管部材４０の中途部分にも、第２の弁部材４１が設けられている。この第２の弁部材４１も、上述の第１の弁部材３７と同様に、真空ポンプ３６側と連通するように切り替えられると共に、突出管部４０ａを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。第２の弁部材４１の切り替えにより、管部材４０が大気導入側へ開放されると、該管部材４０を介して、第２の真空室５１の内部に、大気が導入される。なお、第２の弁部材４１も、制御装置７０に電気的に接続されている。

なお、真空ポンプ３６、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０によって、第２の吸引手段が構成される。また、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０、突出管部４０ａ等によって、第２の空気導入手段が構成される。

また、本実施の形態では、真空ポンプ３６は１つのみ設けられている。また、第１及び第２の弁部材３７，４１を大気導入側および吸引側に切り替えることによって、第１の真空室５０又は第２の真空室５１のうちのいずれか、又は第１及び第２の真空室５０，５１の両方の真空吸引や大気圧化を可能としている。

しかしながら、真空ポンプ３６は、１つには限られるものではなく、第１の吸引手段及び第２の吸引手段の夫々に対応させて、２つ以上設けられている構成であっても良い。また、第１の弁部材３７、および第２の弁部材４１といった三方弁を用いずに、吸引側の弁部材及び大気導入側の弁部材の両方を、夫々の管部材３５及び管部材４０に設けるようにしても良い。このようにしても、第１の真空室５０及び第２の真空室５１の吸引を良好に切り替えることができる。

さらに、図２に示すように、本体部２０の側壁の外面には、真空計４２が取り付けられている。この真空計４２は、本実施の形態では、２つ設けられている。かかる真空計４２のうちの１つは、第１の真空室５０の内部の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４２ａという）。また、真空計４２のうちの他の１つは、第２の真空室５１の内部の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４２ｂという。）。なお、かかる２つの真空計４２ａ，４２ｂも、制御装置７０に接続されている。

また、本体上面部２２のうち、例えば後述する蝶番６１から最も離間している２つのコーナ部分のうち、一方のコーナ部分２２ｂ（図１参照）には、センサ４３が設けられている。センサ４３は、例えば磁気センサを用いていて、本体部２０に対して蓋体部６０が、所定だけ近接するまで閉じたか否かを検出するものである。なお、このセンサ４３も、制御装置７０に接続されていて、この制御装置７０に対して蓋体部６０が閉じているか否かの検出信号を送信する。そして、制御装置７０は、蓋体部６０が閉じている状態に対応した検出信号を受信したときのみ、真空ポンプ３６等に対して作動に対応した信号を送信する。

次に蓋体部６０の構成について説明する。図１、図３および図５に示すように、蓋体部６０は、本体部２０に対して蝶番６１を介して接続されている。すなわち、蝶番６１を支点として、蓋体部６０は回動可能となっている。また、蓋体部６０には、２つのダンパ部材６２の各一端側６２ａが取り付けられている。また、ダンパ部材６２の各他端側６２ｂは、本体上面部２２に取り付けられている。このダンパ部材６２は、伸縮自在となっていると共に、内部に存在する粘性体（油等）の粘性抵抗によって、急激に蓋体部６０が本体部２０に対して降下するのを防止している。

なお、ダンパ部材６２は、バネ部材（不図示）も内蔵していて、蓋体部６０が開いた状態（例えば、図５（ａ）に示す状態）を維持可能となっている。しかしながら、蓋体部６０が開いた状態を維持する必要がない場合には、バネ部材を省略する構成としても良い。

ここで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させて閉じた状態（図２、図３および図５（ｂ）に示す状態）において、蓋体部６０と本体部２０との間でのロックを行うためのロック機構を設けるようにしても良い（本実施の形態では、ロック機構は設けられていない）。かかるロック機構を設ける場合には、このロック機構のうち、一方の部材は蓋体部６０に取り付けられていると共に、他方の部材は、本体上面部２２に取り付けられる。なお、ロック機構を設ける場合には、蝶番６１から離間する部位に設けられる。

また、図２及び図３に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０のシールリング２４に当接する部分は、リング当接部６３となっている。リング当接部６３は、シールリング２４との当接によって、第１の真空室５０を密閉する。なお、かかる密閉を良好にするために、リング当接部６３は、本実施の形態では同一平面をなす、平板状の部分から構成されている。

図３及び図４に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０と対向する対向面であって、リング当接部６３よりも内径側の部位には、凹部６４が形成されている。この凹部６４は、リング当接部６３よりも窪んだ状態に形成されている。この凹部６４は、上述の内径部２２ａに対応する大きさを有している。このため、蓋体部６０を閉じて、シールリング２４がリング当接部６３に当接する密閉状態となると、この凹部６４、シールリング２４、内径部２２ａ、およびゴムシート２５で囲まれた空間が出現する。そして、この空間が、第１の真空室５０となる。

また、凹部６４のうち、上方に位置する底面（以下、上底面６４ａという。）は、ゴムシート２５が膨張する際に、テープ部材１２が上方へ移動するのを押さえる（受け止める）部分となる。このため、凹部６４は、テープ部材１２を受け止めて、該テープ部材１２のウエハ１１に対する接着を良好に行える深さに設定されている。

また、蓋体部６０の側壁部分であって蝶番６１と対向する部分には、取手６５ａが取り付けられている。そのため、作業者は取手６５ａを把持して蓋体部６０を容易に開閉することができる。なお、本体部２０の側壁部分には、相対向するように２つずつ、計４つの取手６５ｂが設けられている。この取手６５ｂを持つことで、テープ接着装置１０を容易に移動させることができる。

また、図３に示すように、テープ接着装置１０には、制御手段としての制御装置７０が設けられている。制御装置７０は、上述したように、真空ポンプ３６、第１及び第２の弁部材３７，４１、センサ４３、真空計４２に対して電気的に接続されている。この制御装置７０には、オン作動を行うための操作ボタン（不図示）が連結されている。このため、センサ４３がオン作動を許可する蓋体部６０の閉塞状態において、作業者が操作ボタンを押すと、真空ポンプ３６が作動する。この真空ポンプ３６の作動により、第１の真空室５０または第２の真空室５１が予め設定している真空度に到達した場合には、制御装置７０は、第１の弁部材３７又は第２の弁部材４１を、大気導入側に切り替え作動させるように、制御信号を発する。

ここで、制御装置７０は、初めに第２の弁部材４１を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えた状態を維持して、所定時間だけ第２の真空室５１の真空吸引を行うように、第１及び第２の弁部材３７，４１の夫々に対して制御信号を発する。そして、所定時間経過後に、第１の弁部材３７に対して制御信号を発し、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、第１の真空室５０と共に第２の真空室５１の真空吸引を行う。

また、制御装置７０は、第１の真空室５０および第２の真空室５１が、所定の真空度に到達した場合に、第２の弁部材４１に対して、大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。それによって、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が開始される。さらに、この状態から所定時間経過して接着が終了した後に、制御装置７０は、第１の弁部材３７に対して大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。かかる切り替えにより、第１及び第２の真空室５０，５１の両方とも、大気圧と等しい状態となり、接着動作が終了する。

なお、上述の所定の真空度としては、約２０Ｐａ程度とする場合が、その一例として挙げられる。しかしながら、所定の真空度はこれに限られるものではなく、大気圧よりも低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、制御装置７０は、接着が終了した後には、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替える作動と共に、真空ポンプ３６を停止させるように、真空ポンプ３６に対して制御指令を発するように構成しても良い。しかしながら、この場合には、真空ポンプ３６を動作継続させる場合と比較して、次の真空吸引の際の吸引時間が、多少長くなる。

以上のような構成を有するテープ接着装置１０の作用（動作）について、以下に説明する。なお、この作用（動作）については、図６に示す動作フローに基づいて、実行される。

最初に作業者は、テープフレーム２８に対してテープ部材１２を張設する。この場合、テープ部材１２の粘着面が、下方を向く状態で張設する。一定の張力でテープ部材１２をテープフレーム２８に張設した後に、続いてテープフレーム２８を押さえリング２６上に設置する（ステップＳ１０）。この場合、テープフレーム２８を押さえリング２６のピン部材２７上に設置するが、位置決めピン２９が切欠部３１に差し掛かる状態とすると共に、回り止めピン３０がピン挟持部３２に位置するようにして、設置する。この状態で、ウエハ１１とテープ部材１２の設置が終了する。

続いて、センサ４３によって蓋体部６０が閉じたことが検出されるまで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させる（ステップＳ１１）。この場合、作業者が、蓋体部６０を所定だけ下方に向けて抑えつけるようにしても良い。そして、センサ４３がこの降下による蓋体部６０の閉塞状態を検出したか否かを、制御装置７０は判断する（ステップＳ１２）。そして、センサ４３が閉塞状態を検出した場合には、制御装置７０は真空ポンプ３６の作動を許可し、作業者が操作ボタンを押したときに、真空ポンプ３６が作動可能となる。

作業者が操作ボタンを押すと、制御装置７０がその押し込みを検知して、真空ポンプ３６に対して作動のための指令を発する。それにより、真空ポンプ３６が作動して、第１の真空室５０および第２の真空室５１の真空吸引を行う（吸引ステップに対応）。なお、この場合、初めは第２の弁部材４１を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えて、第２の真空室５１のみの真空吸引を行う（ステップＳ１３）。そして、かかる第２の真空室５１の真空吸引を所定時間行った後に、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、第１の真空室５０および第２の真空室５１の両方に対して真空吸引を行う（ステップＳ１４）。

なお、本実施の形態では、ロック機構が設けられていない。しかしながら、真空ポンプ３６が作動して、第１の真空室５０および第２の真空室５１が大気圧よりも低くなると、テープ接着装置１０の周囲から大気圧が付与される。それによって、シールリング２４とリング当接部６３との間の密着度が向上し、ロック機構によらずとも、第１の真空室５０および第２の真空室５１を確実に密閉することが可能となっている。

所定時間、真空ポンプ３６が真空吸引を行うと、第１の真空室５０および第２の真空室５１が、所定の真空度に達したことが、真空計４２によって検出される（ステップＳ１５；真空度到達検出ステップに対応）。かかる真空計４２が所定の真空度を検出すると、所定の検出信号を制御装置７０に対して送信する。すると、制御装置７０は、真空ポンプ３６の作動を維持したままで、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替える（ステップＳ１６；第１の空気導入ステップに対応）。それによって、第２の真空室５１には、突出管部４０ａを介して大気が導入される。

第２の真空室５１に大気が導入されると、第１の真空室５０と第２の真空室５１との間の圧力差によって、ゴムシート２５が第１の真空室５０側に向かって膨張する。この場合、ゴムシート２５の膨張によってウエハ１１が持ち上げられ、該ウエハ１１の上面がテープ部材１２に接触する。そして、ウエハ１１の上面に対して、テープ部材１２の接着が開始される（ステップＳ１７；接着ステップに対応）。

ここで、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間における、接着の態様には、図７（ａ），（ｂ）に示すような、２通りがある。まず、その１通り目としては、図７（ａ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜せずに平行な状態を維持して、該ウエハ１１の上面の略中央部分から、テープ部材１２に接着する場合である。この場合には、テープ部材１２の中央部分が、その自重によってわずかに下方に向かって弛んでいること、およびゴムシート２５の膨張によってウエハ１１が徐々に持ち上げられる場合に、該ウエハ１１の中央部分に対してウエハ１１の周辺部がわずかに撓むことによって、テープ部材１２の中央部分から接着が開始される。

そして、ウエハ１１が徐々に持ち上げられると、それに従って、テープ部材１２の中央から徐々に周辺部分に向かって接着が開始される。しかも、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張に伴なって持ち上げられる場合、テープフレーム２８に張設されているテープ部材１２の張力に抗しながら、ウエハ１１が該テープ部材１２に接触する。なお、かかる張力に抗しながら、ウエハ１１がテープ部材１２に接触することにより、テープ部材１２が弛んで気泡が入り込む状態で接着されるのを防ぐことができ、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着性が良好な状態となる。

ここで、ウエハ１１が所定だけ持ち上げられると、テープ部材１２の上面が、上底面６４ａに当接し、上方に向かってこれ以上移動しなくなる。そのため、テープ部材１２は、上方から抑えられつつ、下方からウエハ１１がテープ部材１２の張力に抗しながら持ち上げられる。それにより、接着がその中央部分から、周辺部分に向かって確実に実行される。なお、この状態のまま、所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。

以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の中央部分から外方に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においては、真空ポンプ３６は、第１の真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。

また、接着の態様の２通り目としては、図７（ｂ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜した状態で、該傾斜しているウエハ１１のうちの最も高い部分（以下、上端とする。）から、テープ部材１２に接着する場合である。この場合には、まず傾斜しているウエハ１１のうち、上端からテープ部材１２に対する接着が開始される。この場合も、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張に伴なって持ち上げられると、テープフレーム２８に張設されているテープ部材１２の張力に抗しながら、該テープ部材１２に接触する。

その状態で、ゴムシート２５が徐々に膨張して、ウエハ１１がテープ部材１２の張力に抗しながら持ち上げられると、該テープ部材１２への接触部分を支点としつつ、ウエハ１１が回動して傾斜角度が徐々に狭まっていく。

ここで、この接着態様の場合にも、ウエハ１１の上端が所定だけ、テープ部材１２の張力に抗しながら持ち上げられると、テープ部材１２の上面が、上底面６４ａに当接する。そして、テープ部材１２の上面が、上方に向かってこれ以上移動しなくなる。この状態で、ゴムシート２５が徐々に膨張すると、ウエハ１１の上端が上底面６４ａによって移動規制されていることから、ウエハ１１の傾斜角度が徐々に狭まる状態で、該ウエハ１１が持ち上げられる。そして、このウエハ１１の持ち上げは、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなるまで実行される。なお、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなって所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。

以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の上端から、他方側の端部に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においても、真空ポンプ３６は、第１の真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。

以上のようにして、制御装置７０は、第１の弁部材３７の吸引側への切り替え状態を継続したまま、第２の弁部材４１の大気導入側への切り替えを、所定時間継続させる（ステップＳ１８）。それによって、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。ステップＳ１８において、制御装置７０が所定時間経過したと判断した場合には、制御装置７０は、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替える（ステップＳ１９；第２の空気導入工程に対応）。それによって、第１の真空室５０には、大気が導入され、ゴムシート２５の膨張状態が解かれる。このため、ウエハ１１は、その上面がテープ部材１２に接着された状態を維持したまま、下降する。

なお、ステップＳ１９において、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えた場合、真空ポンプ３６の作動は継続したままの状態を維持している。それによって、次のウエハ１１に対する接着作業に、素早く対応可能となっている。しかしながら、かかる作動を停止させるようにしても良い。

その後に、作業者は蓋体部６０を開く。そして、作業者は、テープフレーム２８ごと、テープ部材１２が接着された状態のウエハ１１を取り出す（ステップＳ２０）。以上のようにして、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了する。

なお、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了した以後は、例えばダイシングプロセスといった、次工程に進行する。

このような構成のテープ接着装置１０によると、ゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面に対してテープ部材１２を接着させることができる。このため、簡易な構成でありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、確実にウエハ１１の上面に対してテープ部材１２を接着させることができる。特に、ゴムシート２５を用いていることにより、テープ部材１２に対してウエハ１１が、いわゆる片当たりの状態で接触したとしても、ゴムシート２５の弾性変形によって、容易にウエハ１１の姿勢を持ち直すことができる。このため、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着性を、良好とすることができる。

また、ゴムシート２５の上面に、ウエハ１１を載置している。このため、ゴムシート２５の下面にワーク（ウエハ１１）を位置させていた場合と比較して、該ゴムシート２５の弛みの影響を除去することができる。そのため、弛みの影響を除去するために、ゴムシート２５に大きな張力を付与する構成を備えなくて済み、構成の簡略化を図ることができる。また、ゴムシート２５に付与する張力が小さくて済むので、テープ接着装置１０を製造する作業者の工数を削減することができる。また、ゴムシート２５を押さえリング２６で押さえつける際に、気密性を向上させることができる。

さらに、ゴムシート２５の膨張を利用するため、ウエハ１１を上方のテープ部材１２へ移動させる特別な構成を要さずに済む。このため、簡易な構成で、ウエハ１１をテープ部材１２に向けて上方へ移動させることができる。

また、ゴムシート２５がウエハ１１を持ち上げて、テープ部材１２にこのウエハ１１が接触する場合には、該テープ部材１２のテープフレーム２８での張設状態に抗して、ウエハ１１が接触する。このため、テープ部材１２が弛みながらウエハ１１の上面に接着されることが無くなり、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着面に気泡が入り込むのを防止することができる。また、テープ部材１２が、自身の重みでその中央が下方に膨らむ状態となったとしても、ウエハ１１との接触が中央から始まり、好ましい接触となる。そのため、良好な接着を達成することができる。

さらに、制御装置７０は、真空ポンプ３６、第１及び第２の弁部材３７，４１、センサ４３、真空計４２に接続されていて、これらの作動を制御することができる。特に、制御装置７０は、真空ポンプ３６を作動させて、第１の真空室５０及び第２の真空室５１の真空吸引を行い、この真空吸引の後に、第２の弁部材４１を大気導入側に作動させて、第２の真空室５１に大気を導入している。それによって、ゴムシート２５を第１の真空室５０側に向かって膨張させることができ、弛みを除去したゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面に対して、確実にテープ部材１２を接着させることが可能となる。

また、制御装置７０は、第１の真空室５０および第２の真空室５１の真空吸引を行うに際して、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えると共に、第２の弁部材４１を真空吸引側に切り替えて、先に第２の真空室５１の排気を行っている。このため、第１の真空室５０に対して第２の真空室５１の圧力が最初は低下する。そのため、ゴムシート２５は、下面側の第２の真空室５１側に向かって膨張する。このようにすれば、ゴムシート２５が、先に第１の真空室５０側に向かって膨張することがなくなる。このため、第２の弁部材４１が大気導入側に切り替え作動される前の段階で、ウエハ１１とテープ部材１２とが接着されてしまうのを防ぐことができる。

さらに、蓋体部６０は本体部２０に対して開閉自在に設けられている。このため、蓋体部６０を蝶番６１を介して回動させることができる。それによって、蓋体部６０が開放された状態で、ウエハ１１およびテープ部材１２を容易に設置したり、テープ部材１２が接着されたウエハ１１を、容易に取り出したりすることができる。

また、蓋体部６０と本体部２０との間にはシールリング２４が設けられている。このため、蓋体部６０と本体部２０との間を気密に閉塞することができる。このため、真空ポンプ３６の作動、および第１及び第２の弁部材３７，４１の真空吸引側への切り替え作動の場合には、初めに蓋体部６０と本体部２０との間に多少隙間が生じていても、吸引動作が進行するにつれて、大気圧による圧力が高まり、シールリング２４とリング当接部６３との間の接着状態を強固なものとすることで、蓋体部６０と本体部２０との間を気密に閉塞することができる。

さらに、蓋体部６０には、この蓋体部６０の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部６４が形成されている。それにより、テープ部材１２が所定の高さ位置に到達すると、上底面６４ａにぶつかって上方から押さえられると共に、テープ部材１２は下方からウエハ１１によって持ち上げられる状態となり、その状態で接着が実行される。すなわち、テープ部材１２を上方の上底面６４ａで押さえながら、ウエハ１１を上方に持ち上げて押し付けるので、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着を、強固かつ確実なものとすることができる。

なお、真空吸引時に蓋体部６０が強く吸引されることで、蓋体部６０の中央、すなわち上底面６４ａの略中央が、ウエハ１１側に向かって撓む場合がある。このような場合においては、該撓みは、ウエハ１１とテープ部材１２との接触を好ましい状態とするように作用する。

また、本体上面部２２には、センサ４３が設けられている。このため、蓋体部６０が本体部２０に対して閉じた状態となったことを、このセンサ４３によって検知可能となる。そして、この検知に基づく検知信号を、制御装置７０に送信し、閉じた状態に対応する検知信号を制御装置７０が受信しない限り、真空ポンプ３６を作動させることがない。このため、蓋体部６０が確実に閉塞された場合のみ、真空吸引を行うことができ、該真空吸引の無駄を防止することができる。

また、誤って蓋体部６０と本体部２０との間に異物が挟まれた場合でも、真空ポンプ３６を作動させることがないため、この異物を容易に取り除くことができる。このため、蓋体部６０と本体部２０との間に、破損が生じるのを防止することができる。

さらに、テープフレーム２８は、押さえリング２６に対して、ピン部材２７を介して取り付けられている。このため、テープフレーム２８と押さえリング２６との間に、隙間を生じさせることができる。そして、この隙間から、テープ部材１２とウエハ１１との間の空間に存在する空気を、真空ポンプ３６を作動させて吸引排気することができる。そのため、ウエハ１１の上面にテープ部材１２を接着する際に、かかる接着の部分に気泡が入り込むのを防止することができる。

（第２の実施の形態）
以下、本発明の第２の実施の形態について、図８から図１４に基づいて説明する。図８は、本実施の形態に係るテープ接着装置１００を示すと共に、図１１に示す蓋体部６０を透視した状態の本体部２０の平面図である。また、図９はテープ接着装置１００の一部の内部構成（解除レバー１３５等）を透視した状態の側面図である。また、図１０は、テープ接着装置１００の構成を示す正面図である。また、図１１は、テープ接着装置１００のうち蓋体部６０およびバランサ機構１１０を中心とした構成を示す平面図である。

本実施の形態のテープ接着装置１００は、ワークとしてガラス基板１０１を用いていて、このガラス基板１０１の上面にテープ部材１２を接着している。そのため、テープ接着装置１００は、基本的な構成は、上述の第１の実施の形態におけるテープ接着装置１０と同様となっている。そのため、上述の第１の実施の形態で説明したのと同様の部分については、その説明を省略する。

なお、本実施の形態でガラス基板１０１に接着されるテープ部材１２は、上述の第１の実施の形態におけるテープ部材１２と同様の、紫外線硬化型のＵＶテープ（シート）である。そのため、ガラス基板１０１にテープ部材１２を接着した後に、紫外線を照射すれば、テープ部材１２が硬化し、ガラス基板１０１から剥がれ易くなる性質を備えている。しかしながら、テープ部材１２は、紫外線硬化型には限られず、偏光フィルムをテープ部材１２として利用しても良い。また、偏光フィルムと機能的には同じである偏光板をテープ部材１２としても良い。また、ガラス基板１０１は、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等に用いられるマザーガラス基板であり、大型のサイズ（例えば、２５インチ〜３５インチ、もしくはそれ以上）となっている。しかしながら、ガラス基板１０１は、小型のサイズであっても良い。また、本実施の形態では、ガラス基板１０１は、その平面形状が矩形状を為している。しかしながら、ガラス基板１０１は、その平面形状が円形状、楕円形状等、矩形状以外の他の形状を為していても良い。

図８に示すように、テープ接着装置１００の平面形状は、略矩形を為すように設けられている。すなわち、本体部２０、本体上面部２２、孔部２３、ゴムシート２５、蓋体部６０、凹部６４等は、その平面形状が略矩形状に形成されている。また、シールリング２４、押さえリング２６、テープフレーム２８等は、コーナ部分がＲを有する矩形リング状に設けられている。同様に、孔部２３および凹部６４等も、コーナ部分がＲを有する矩形状に設けられている。

また、図８に示すように、本実施の形態における本体部２０は、全体の平面形状が略矩形を為すように設けられている。そのため、本体部２０の本体上面部２２等もその平面形状が略矩形状を為すように設けられている。

また、図９および図１１等に示すように、本実施の形態のテープ接着装置１００には、開閉補助手段の一部をなすバランサ機構１１０が設けられている。バランサ機構１１０は、大面積のガラス基板１０１に対応させて大面積・重量化した蓋体部６０の開閉を、容易にするための機構である。このバランサ機構１１０は、図１１に示すように、蝶番６１を挟んで、蓋体部６０とは反対側の部位にウエイト１１１を取付可能な機構である。また、バランサ機構１１０は、略矩形のハウジング１１２を備えていて、このハウジング１１２の内部に、ウエイト１１１、取付軸１１４等の各部材が収納される。

また、図９および図１１に示すように、バランサ機構１１０は、取付固定部１１３を有している。取付固定部１１３は、蓋体部６０のうち、上面側かつ後端側（蝶番６１が設けられている側）であって、一対の蝶番６１の間の部位に取り付けられている。また、取付固定部１１３の後端側（蓋体部６０から離間する側）には、取付軸１１４が取り付けられている。すなわち、取付軸１１４は、取付固定部１１３を介して、蓋体部６０に取り付けられている。取付軸１１４は、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとを有している。そして、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとに、それぞれウエイト１１１を取り付け可能としている。

なお、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとの間に存在する段差部分１１４ｃでは、小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１を受け止め可能となっている。また、本実施の形態では、大径部１１４ａに取り付けられるウエイト１１１は、小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１よりも軽い。しかしながら、大径部１１４ａおよび小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１の重量は、適宜選択可能である。

また、大径部１１４ａのうち、段差部分１１４ｃから所定の寸法だけ蓋体部６０に向かう部位には、カラー１１５が取り付けられている。カラー１１５は、上述のウエイト１１１の取り付け位置を定めるためのものである。また、大径部１１４ａのうち、カラー１１５よりも蓋体部６０側の所定の部位には、カラー１１６が取り付けられている。このカラー１１６には、後述するジョイントピン１３３が係止される。また、カラー１１６の外周面には、突出部分に対応する係止ピン１１７が、外径側に向かって突出している。係止ピン１１７は、後述する切欠部１３４に入り込む部分である。なお、係止ピン１１７は、本実施の形態では、本体上面部２２に対して略平行を為す状態で延伸している。

また、小径部１１４ｂの先端部分には、留めリング１１８が取り付けられる。留めリング１１８は、蓋体部６０の開閉に伴って取付軸１１４が回動しても、ウエイト１１１が取付軸１１４から抜けずに取付状態を維持するための部材である。

また、図９および図１２に示すように、本体部２０の内部には、開閉補助手段の一部をなす支持台１２０が設けられていて、この支持台１２０には回転軸１２２を挿通させる挿通孔１２１が設けられている。回転軸１２２は、開閉補助手段の一部をなすアーム１３０を回動自在に支持する。このアーム１３０の下端側には、軸孔１３１が形成されていて、軸孔１３１には、挿通孔１２１を挿通する回転軸１２２が挿通する。それによって、アーム１３０は、支持台１２０に対して回動自在に支持される。なお、本実施の形態では、アーム１３０は、本体部２０の中心線Ｌ（図８参照）を挟んで一対設けられる。そのため、支持台１２０も、本体部２０の内部において一対設けられている。また、回転軸１２２は、一対の支持台１２０の両方を貫く長さ寸法を有している。

図１２は、アーム１３０付近の構成を示す部分側面図である。図１２に示すように、一対のアーム１３０は、細長の板状部材のうち、その短片（図１２における上端部分）が、その長片に対して鈍角を為して折れ曲がる外観を呈している。このアーム１３０の一端側（下端側）には、上述した軸孔１３１が形成されているが、該アーム１３０の他端側（上端側）にも、通孔１３２が形成されている。ここで、通孔１３２が設けられているアーム１３０の上端側は、蓋体部６０の閉じ状態において、取付軸１１４よりも上方に位置している。また、通孔１３２には、一対のアーム１３０の両方に跨る、ジョイントピン１３３が差し込まれる。かかるジョイントピン１３３の存在により、一対のアーム１３０の両方が一体的に回動可能となっている。

ここで、ジョイントピン１３３は、取付軸１１４の上方側において、一対のアーム１３０の両方に跨るように掛け渡されている。そのため、ジョイントピン１３３は、常に取付軸１１４の上方に位置している。また、蓋体部６０の閉じ状態においては、ジョイントピン１３３は、上述したカラー１１６に係止する状態となる。

また、図１２に示すように、アーム１３０には、切欠部１３４が設けられている。この切欠部１３４は、アーム１３０の略中央部分に設けられている。図１２においては、切欠部１３４は、アーム１３０のうち後端側（蓋体部６０から離間する側）の側面から切り欠かれていると共に、下方から上方に向かうように切り欠かれている。それにより、アーム１３０には、切り欠きの頂部１３０ａよりも下方に位置する下方突出部１３０ｂが存在する構成となる。このため、切欠部１３４に係止ピン１１７が入り込むと、該係止ピン１１７の後端側への移動が下方突出部１３０ｂの存在により規制される。それにより、切欠部１３４に係止ピン１１７が入り込んだ状態が維持され、蓋体部６０の開放状態を維持可能となる。

また、図９および図１２に示すように、アーム１３０には、解除レバー１３５の一端側１３５ａが連結されている。解除レバー１３５の一端側１３５ａは、アーム１３０のうち切欠部１３４よりも下方側において連結されている。また、解除レバー１３５の他端側１３５ｂは、本体部２０のうち、手前側の側面から突出している。この他端側１３５ｂには、鍔部を有する把持部１３６が取り付けられている。そのため、把持部１３６を手前側に引くことにより、回転軸１２２を支点としてアーム１３０を手前側に向けて回動させることが可能となる。なお、係止ピン１１７が切欠部１３４に嵌まり込んだ状態において、アーム１３０を手前側に回動させると共に蓋体部６０を手で僅かに持ち上げる等することにより、該係止ピン１１７の切欠部１３４への嵌まり込みを解除することが可能となる。

また、図８、図１１および図１３に示すように、本実施の形態のテープ接着装置１００には、開閉ロック手段としてのロック機構１４０が設けられている。ロック機構１４０は、蓋体部６０の閉じ状態を確実にするための部材である。図１３に示すように、ロック機構１４０は、蓋体部６０に設けられている受け部１４１と、本体部２０に設けられているロック本体部１４２と、レバー部１４３と、を有している。このうち、受け部１４１には、孔部１４４が形成されている。孔部１４４には、後述するロックピン１４５が入り込む。

また、ロック本体部１４２には、レバー部１４３が設けられている。レバー部１４３には、ロックピン１４５が連動するように設けられている。すなわち、レバー部１４３を作業者が把持し、該レバー部１４３を例えば１８０度程度回転させると、ロックピン１４５が受け部１４１側の孔部１４４に入り込む。それにより、蓋体部６０の開放が、ロックされる。また、ロックピン１４５が孔部１４４に入り込んでいる状態から、レバー部１４３を例えば１８０度程度回転させると、孔部１４４に入り込んでいるロックピン１４５が、該孔部１４４から抜ける。なお、ロックピン１４５を孔部１４４に出入させる方式としては、例えばネジ方式、回転によりバネの付勢力を解除する方式、カム方式等、種々の方式を用いることが可能である。

また、ロック機構１４０としては、ロックピン１４５を孔部１４４に出入させる方式を用いなくても良く、スライドロック方式等、他の方式を用いても良い。

図１４は、図８のＡ−Ａ線に沿う側断面図を右側、図８のＢ−Ｂ線に沿う側断面図を左側に配置し、短ピン１５０と長ピン１５１の中心線Ｘを境界線として繋ぎ合わせた半断面図である。図８および図１４に示すように、本実施の形態においては、押さえリング２６には、ピン部材および第１の支持部材としての短ピン１５０と、ピン部材および第２の支持部材としての長ピン１５１とが設けられている。短ピン１５０は、押さえリング２６の上面から上方に向かい、略１ｍｍ程度突出しているピン部材である。また、長ピン１５１は、同じく押さえリング２６の上面から上方に向かい、略１．７ｍｍ程度突出しているピン部材である。

なお、短ピン１５０と長ピン１５１の突出長さは、この長さに限られるものではなく、長ピン１５１の長さが短ピン１５０よりも長く、かつテープ部材１２が当初は上底面６４ａに接触しないものの、ゴムシート２５の膨張に際してテープ部材１２が上底面６４ａに接触するものであれば、どのような長さであっても良い。

ここで、本実施の形態では、押さえリング２６には、短ピン１５０と長ピン１５１とが、合計１０本設けられている（図８参照）。このうち、押さえリング２６の左側長手片２６ｂと右側長手片２６ｃには、短ピン１５０と長ピン１５１とが、それぞれ合計３本設けられている。また、押さえリング２６の上側短手片２６ｄと下側短手片２６ｅには、短ピン１５０と長ピン１５１とが、それぞれ合計２本設けられている。また、左側長手片２６ｂには、下方部に長ピン１５１が、中央部と上方部には短ピン１５０が配置されている。また、右側長手片２６ｃには、上方部に長ピン１５１が、中央部と下方部には短ピン１５０が配置されている。さらに、上側短手片２６ｄには、左側部に長ピン１５１が、右側部には短ピン１５０が配置されていると共に、下側短手片２６ｅには、右側部に長ピン１５１が、左側部には短ピン１５０が配置されている。

このように配置された、４本の長ピン１５１を結ぶと、長方形に近い形状の平行四辺形が形成される。

以上のような構成を有するテープ接着装置１００の作用（動作）について、以下に説明する。なお、テープ接着装置１００の作用（動作）も、基本的には上述の第１の実施の形態で述べたテープ接着装置１０の動作と同様であるため、共通する部分の説明については省略または略記する。

最初に作業者は、ゴムシート２５の上部にガラス基板１０１を載置する。次に、テープフレーム２８に対してテープ部材１２を張設する。その後に、テープフレーム２８を押さえリング２６上に設置する（ステップＳ１０；図６参照）。

この場合、押さえリング２６に設けられている短ピン１５０と長ピン１５１の上部に、テープフレーム２８が設置されるが、短ピン１５０と長ピン１５１の長さの相違により、テープフレーム２８は、長ピン１５１に当接している４箇所の近傍以外の部分（短ピン１５０との当接部分および短ピン１５０と長ピン１５１との間の部分）が、下方に向かって撓む。なお、テープフレーム２８に張設されているテープ部材１２も、テープフレーム２８に長ピン１５１が当接している４箇所の近傍以外の部分が、下方に向かって撓む。以上のようにして、ガラス基板１０１とテープ部材１２の設置が終了する。

次に、作業者は、把持部１３６を把持して、手前側に引く。この場合、作業者は蓋体部６０を軽く後端側に押す（図９において時計回りに回動させる）ようにするのが好ましい。すると、解除レバー１３５を介してアーム１３０が手前側に向かう力を受けるため、該アーム１３０は回転軸１２２を支点として手前側に向かって回転する。このとき、蓋体部６０が僅かに持ち上がる（図９において僅かに時計回りに回動する）ことにより、係止ピン１１７は、下方突出部１３０ｂの下端側を乗り越える。そして、切欠部１３４に対する係止ピン１１７の嵌め込みが解かれる。それによって、蓋体部６０は、閉じ方向に向かって回転する（図９において反時計回りに回動する）ことが可能となる。

続いて、センサ４３によって蓋体部６０が閉じたことが検出されるまで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させる（ステップＳ１１；図６参照）。そして、蓋体部６０を閉じた後に、ロック機構１４０のレバー部１４３を回転させる。それにより、ロックピン１４５が孔部１４４に入り込み、蓋体部６０のリング当接部６３（図３参照）がシールリング２４に押し付けられると共に、蓋体部６０がロックされる。なお、以降の各ステップは、上述した第１の実施の形態で述べたステップ（図６参照）と同様となっている。そして、各ステップを経過すると、ガラス基板１０１とテープ部材１２との間に気泡が入り込まないようにして、ガラス基板１０１に対してテープ部材１２を確実に接着することができる。

このような構成のテープ接着装置１００によれば、ワークとしてガラス基板１０１を用いた場合でも、上述の第１の実施の形態の場合と同様に、ゴムシート２５の膨張を利用して、該ガラス基板１０１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。すなわち、簡易な構成でありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、ガラス基板１０１の上面に確実にテープ部材１２を接着させることができる。

また、テープ接着装置１００には、バランサ機構１１０が設けられている。そのため、作業者が蓋体部６０を開閉する動作を行い易くなり、作業者の負担を軽減することができる。特に、バランサ機構１１０は、取付軸１１４を具備し、この取付軸１１４にウエイト１１１が取り付けられるので、蝶番６１を挟んで蓋体部６０とウエイト１１１との重量的なバランスを保つことが可能となる。そのため、蓋体部６０の開閉動作を一層行い易くなる。

また、バランサ機構１１０は、アーム１３０を具備し、このアーム１３０には係止ピン１１７が嵌まり込む切欠部１３４が設けられている。このため、蓋体部６０を開放させ、係止ピン１１７が切欠部１３４に入り込んで突き当たると、係止ピン１１７は下方突出部１３０ｂの存在により、該切欠部１３４から抜けるのが防止され、入り込みが維持される。それによって、アーム１３０の回動が阻止され、蓋体部６０の開放状態を維持可能となり、作業者は蓋体部６０を手で押さえる等して、蓋体部６０の開放状態を維持する必要がなくなる。そのため、作業者は他の作業を行うことができ、テープ接着装置１００は利便性に優れる。

さらに、押さえリング２６には、短ピン１５０と長ピン１５１が設けられていて、これら短ピン１５０と長ピン１５１とによってテープフレーム２８が支持される。そのため、テープフレーム２８に固定されているテープ部材１２は、長ピン１５１の支持部位の近傍においては、高さ位置が高くなり、それ以外の部分においては、高さ位置が低くなる。そのため、テープ部材１２がガラス基板１０１へ接触するのを長ピン１５１で防止できると共に、短ピン１５０を設けることにより、テープ部材１２の全体が長ピン１５１で支持されている場合と比較して、テープ部材１２の高さ位置を下げることができる。この場合、テープ部材１２の撓みを考慮すれば、該テープ部材１２の上方において、スペース的に余裕を持たせることが可能となる。

また、蓋体部６０に存在する凹部６４の深さを必要以上に深くせずに済む。このため、スペース的な余裕が少ない場合には、凹部６４を切削する等して深くすることができ、任意に調整可能となる。すなわち、テープ部材１２を上方から押さえ付ける上底面６４ａの深さを適切に調整すれば、ゴムシート２５の膨張によって持ち上げられるガラス基板１０１と、テープ部材１２との間の接着性を良好にすることが可能となる。

また、上述の実施の形態では、テープ接着装置１００には、ロック機構１４０が設けられている。そのため、テープ部材１２の接着作業中に、蓋体部６０が開放するのを防止でき、蓋体部６０の閉じ状態を確実に維持することができる。

（第３の実施の形態）
以下、本発明の第３の実施の形態について、図１５から図１８に基づいて説明する。図１５は、本実施の形態に係るテープ接着装置２００のうち、本体部２０から蓋体部６０を見た状態を示す平面図である。また、図１６はテープ接着装置２００の一部の内部構成（解除レバー等）を透視した状態を示す側面図である。また、図１７は、テープ接着装置２００の構成を示す背面図である。また、図１８は、テープ接着装置２００のうち蓋体部６０の内部構成を透視した状態を示す側面図である。

本実施の形態におけるテープ接着装置２００は、上述の第１の実施の形態におけるテープ接着装置１０と比較して、蓋体部６０側が変更されている。また、テープ部材１２には、その接着面に、加熱により粘着性が向上する材質（例えば、加熱硬化型の接着剤等）が塗布されている。そのため、後述するような加熱により、テープ部材１２がウエハ１１に対して接着し易い状態となる。以下、その詳細について説明する。

なお、テープ部材１２としては、その表面に加熱硬化型の接着剤が塗布されるものには限られず、加熱により粘着性が向上するテープ部材１２であれば、どのような物であっても良い。

図１５に示すように、蓋体部６０の内部には、ヒータユニット２１０が内蔵されている。ヒータユニット２１０は、蓋体部６０に存在する凹部６４に熱を与えるものであり、凹部６４からの輻射熱または該凹部６４への接触によってテープ部材１２を加熱する。そのため、ヒータユニット２１０は、蓋体部６０のうち凹部６４の上底面６４ａと近接する部位（図１８においては、凹部６４に隣接する上方側の部位；以下、この部位を収納部２２０と呼ぶ。）に内蔵されている。また、ヒータユニット２１０は、加熱手段としての複数のヒータ２１１（本実施の形態では８本）から構成されていると共に、複数のヒータ２１１が、収納部２２０の径方向の中心から外径側に向かうように放射状に配置されている。

また、ヒータ２１１としては、例えばカートリッジヒータが用いられている。しかしながら、ヒータ２１１はカートリッジヒータに限られるものではなく、ハロゲンヒータ、赤外線ヒータ等、各種のヒータを用いても良い。また、カートリッジヒータ以外のシースヒータ（例えば、シーズヒータ等）を用いるようにしても良い。

このヒータ２１１は、収納部２２０の内部において、別個の固定手段（図１４に示すカートリッジホルダ２１４等）を介して取り付けられている。しかしながら、固定手段は、カートリッジホルダ２１４には限られず、どのような固定手法を用いても良い。また、ヒータ２１１に向かう配線２１２は、該ヒータ２１１よりも収納部２２０（凹部６４）の径方向中央部分に位置している。また、図１８に示すように、配線２１２は、収納部２２０（凹部６４）の径方向の中央部分において、上方側に向かって延伸している。そして、配線２１２は、蓋体部６０のうちヒータ２１１と干渉しない上方側に位置した状態で外径側に向かって延伸しており、端子台（不図示）を介して電源供給側（不図示）に接続されている。

図１８に示すように、収納部２２０の上面側には、断熱材２１３ａが取り付けられている。また、図１５に示すように、ダンパ部材６２の一端側６２ａ（手前側の取手６５ｂの近傍）にも、断熱材２１３ｂが取り付けられている。さらに、テープ接着装置２００の手前側（取手６５ａ側）にも、断熱材２１３ｃが取り付けられている。それにより、蓋体部６０の上面側および作業者が把持することが多い取手６５ａ，６５ｂが、ヒータ２１１によって加熱されるのを防いでいる。

なお、本実施の形態では、ヒータ２１１はテープ部材１２を略７０度程度、最大でも略１００度程度まで加熱することが可能である。しかしながら、ヒータ２１１による加熱温度は、これには限られず、例えばテープ部材１２の接着面に塗布される加熱硬化型の接着剤の種類によっては、該接着面を略２００度程度まで加熱するようにしても良い。

ここで、本実施の形態における、ウエハ１１に対するテープ部材１２の接着手順は、加熱する部分以外は、上述の第１の実施の形態で述べたのと同様となっている。すなわち、ヒータ２１１が、加熱に適する温度になった後には、上述の第１の実施の形態で述べたのと、同様のステップが実行される。そのため、テープ接着装置２００を用いて、テープ部材１２を接着する際の動作の説明については、省略する。

なお、本実施の形態では、ウエハ１１、およびテープ部材１２が取り付けられているテープフレーム２８を本体部２０の内部に設置し、蓋体部６０を閉じると、自動的に加熱ステップが実行される。この加熱ステップにおいては、凹部６４を構成する所定の肉厚の部分（プレート状の上底面６４ａ）がヒータ２１１によって加熱される。すなわち、面積の大きな上底面６４ａが加熱され、該上底面６４ａの全体に亘って略均一の温度となった後に、上底面６４ａからの輻射熱によってテープ部材１２が加熱される。そのため、テープ部材１２は、かかる上底面６４ａを介して、間接的かつ均一に加熱される状態となる。

また、本実施の形態では、ヒータ２１１は、蓋体部６０の開閉に係らず、常に作動している。しかしながら、加熱温度によっては、蓋体部６０が開放している状態をセンサ４３が検知し、その検知信号が制御装置７０によって検知されたときに、ヒータ２１１の作動を停止させるようにしても良い。

このような構成を有するテープ接着装置２００においては、加熱によりテープ部材１２のウエハ１１に対する接着性（粘着性）が良好となる。このため、テープ部材１２をウエハ１１に対して強固に接着させることが可能となる。

また、ヒータ２１１は、収納部２２０の径方向の中心から外径側に向かうように放射状に配置されている。そのため、テープ部材１２の全周に亘って、均一に加熱することが可能となる。また、かかる放射状の配置を採用することにより、テープ部材１２の内径側と外径側とにおいて、加熱にムラが生じるのを抑えることが可能となる。また、テープ部材１２は、上底面６４ａを介して間接的に加熱される。そのため、テープ部材１２がヒータ２１１によって直接的に加熱される場合と比較して、加熱ムラが生じるのを抑えることができ、一層均一に加熱することができる。

さらに、収納部２２０の上面側、ダンパ部材６２の一端側６２ａ、およびテープ接着装置２００の手前側には、断熱材２１３ａ〜２１３ｃが、それぞれ取り付けられている。このため、作業者が手で把持する機会の多い取手６５ａ，６５ｂが、ヒータ２１１によって加熱されるのを防ぐことが可能となり、作業者が作業し易くなり、生産能率を向上させることができる。

以上、本発明の第１から第３の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の各実施の形態では、ゴムシート２５の上面にウエハ１１、ガラス基板１０１等のワークを載置している。しかしながら、かかるゴムシート２５の上面に、例えば樹脂を材質とするシート状部材を載置し、このシート状部材の上部に、ワークを載置するようにしても良い。このようにすれば、ゴムシート２５がこすれる等によって生じる、ワークに対する塵埃の付着を防止することができ、後の洗浄処理装置を用いた洗浄工程等を削減することが可能となる。

また、テープフレーム２８に、取り出しを容易にするための、外径側に向かって突出する把持部を設けるようにしても良い。それによって、作業者が、テープフレーム２８およびこのテープフレーム２８に取り付けられているテープ部材１２およびワークを、容易に外部に取り出すことが可能となる。

さらに、テープフレーム２８の下面側に、回動させる舌片部材を取り付けるようにしても良い。回動式の舌片部材は、接着終了後に回動させてワークの下面側に当接するようにする。このようにすれば、ワークの自重を舌片部材で支えることができる。それにより、仮にワークとテープ部材１２との間に接着力が弱い部分があったとしても、ワークとテープ部材１２との間でテープの剥離が生じるのを防止することができる。

また、上述の各実施の形態では、シールリング２４を本体上面部２２に取り付けている。しかしながら、シールリング２４は、蓋体部６０側に取り付けるようにしても良い。このように構成した場合には、本体上面部２２にリング当接部が設けられることになる。

さらに、上述の各実施の形態では、伸縮シート部材として、ゴムシート２５を用いた場合について説明している。しかしながら、伸縮シート部材は、ゴムシート２５に限られるものではなく、例えばエラストマー樹脂等の樹脂を材質とする等、ゴム材質以外の材質から構成されていても良い。また、上述の実施の形態では、保持部材として、押さえリング２６を用いる場合について説明している。しかしながら、保持部材は押さえリング２６に限られるものではなく、例えば内径部２２ａに塗布する接着剤等の接着性を有する材質を、保持部材として用いても良い。また、保持部材の形状は、リング状に限られるものではなく、外径が多角形をなすリング形状等、種々の形状を採用することが可能である。

また、上述の各実施の形態では、テープ保持手段としてテープフレーム２８を用いる場合について説明している。しかしながら、テープ保持手段は、テープフレーム２８に限られず、例えば一対の棒状部材をテープ保持手段として用いても良い。この場合には、一対の棒状部材の間に、張力を付与した状態でテープ部材１２を張設する構成となる。

また、制御手段としては、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。さらに、シール部材は、本体部２０と蓋体部６０との間を気密に閉塞できる構成であれば、どのような形状・構成であっても良い。また、ワークとしては、ウエハ以外に液晶等の表示部材や特殊ガラス材、有機ＥＬ用のガラス基板等を採用しても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大気（空気）を導入しているが、空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、真空状態に比べ高圧な状態とするようにしても良い。

また、上述の第２の実施の形態では、突出部分として、係止ピン１１７を用いた場合について説明している。しかしながら、突出部分は係止ピン１１７には限られず、切欠部１３４に嵌まり込むものであれば、どのような部材であっても良い。また、係止ピン１１７と切欠部１３４の凹凸関係を逆にしても良い。

さらに、上述の第２の実施の形態では、開閉補助手段として、バランサ機構１１０、支持台１２０、およびアーム１３０を用いている。しかしながら、開閉補助手段は、これらに限られない。例えば、蓋体部６０を作業者が取手６５ａ〜６５ｃ等を手で把持して開閉させる開閉補助手段を採用せずに、モータや油圧ジャッキ等の駆動手段を備える開閉補助手段を採用しても良い。また、真空ポンプ３６を利用して空気をエアーシリンダに供給するエアーアクチュエータを備える開閉補助手段を採用しても良い。また、蓋体部６０が軽い等の場合には、開閉補助手段を省略する構成を採用しても良い。

また、上述の第２の実施の形態では、開閉ロック手段として、ロック機構１４０を用いた場合について説明している。しかしながら、開閉ロック手段は、ロック機構１４０には限られない。例えば、本体部２０側に差込穴を設けると共に、蓋体部６０側にバネによる付勢力を受けながら回動する爪部を設け、蓋体部６０を閉じた場合に爪部が差込穴に嵌まり込むようにし、爪部の差込穴の内部での係止によって、蓋体部６０の開放がロックされるように構成しても良い。また、開閉ロック手段を省略する構成を採用しても良い。

さらに、上述の実施の形態では、ピン部材および第１の支持部材として短ピン１５０を、ピン部材および第２の支持部材として長ピン１５１をそれぞれ押さえリング２６に設けている。しかしながら、短ピン１５０および長ピン１５１が、押さえリング２６に設けられる構成には限られず、テープフレーム２８のうち押さえリング２６と対向する部分に短ピン１５０および長ピン１５１を設けるようにしても良い。また、テープフレーム２８のうち押さえリング２６と対向する部分に、凸部分を形成し、かかる凸部分のうち突出長さの長いものを第１の支持部材、凸部分のうち突出長さの短いものを第２の支持部材としても良い。

また、上述の第３の実施の形態では、加熱手段としてテープ部材１２を加熱するためのヒータ２１１を用いた場合について説明している。しかしながら、ゴムシート２５の耐熱性が優れる場合には、ガラス基板１０１側を加熱するようにしても良い。

また、上述の第２の実施の形態において、テープ部材１２が偏光フィルムである場合、テープ接着装置１００の内部にテープ部材１２を剥離させるための剥離機構を設けるようにしても良い。ここで、剥離機構としては、テープ部材１２を吸引保持する吸引保持機構を設けたり、テープ部材１２の端部を摘んで剥がす等、種々の構成を採用することができる。この場合、剥離機構を用いて、テープ接着装１００の内部でテープ部材１２を離ケイ（剥離）させると、ガラス基板１０１の表面（上面部または四隅部分）に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では、クリーンルーム内でテープ部材１２を剥離させても、ガラス基板１０１の表面に埃が付着するのを防止することが困難であるが、本実施の形態のテープ接着装置１００を利用する場合、真空内部においてテープ部材１２の剥離が為されるため、ガラス基板１０１に埃が付くのを、一層確実に防ぐことができる。

また、上述の第２の実施の形態において、テープ部材１２がＵＶ硬化型のテープである場合、テープ接着装置１００の内部にテープ部材１２を剥離させるための剥離機構を設けるようにしても良い。ここで、剥離機構としては、テープ部材１２を剥がすための吸引保持機構、またはテープ部材１２の端部を摘んで剥がす等の機構を、テープ接着装置１００の内部に設けるようにしても良い。また、吸引保持機構を設ける場合、上述した真空ポンプ３６の吸引を利用する構成を採用しても良い。このような剥離機構を具備することにより、真空吸引されるテープ接着装置１００の内部において、テープ部材１２を剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為されるに際して、ガラス基板１０１の表面に埃が付着するのを防ぐことができる。

また、上述の各実施の形態のテープ接着装置１０，１００，２００において、テープ部材１２がＵＶ硬化型のテープを用いる場合、例えば蓋体部６０または本体部２０の内部に、紫外線を照射する紫外線照射装置を設け、ガラス基板１０１に向けて紫外線を照射するようにしても良い。この場合、紫外線の照射によってテープ部材１２を硬化させる工程までを、テープ接着装置１０，１００，２００の内部で行うことができる。

また、テープ部材１２としては、保護のためのテープ、ＵＶ硬化型テープ、偏光フィルムには限られず、透明電極等、ワークに接着される各種の部材をテープ部材１２としても良い。

また、別途、ウエハ１１やガラス基板１０１にテープ部材１２を接着した後に、テープ部材１２を切断するための機構を、テープ接着装置１０，１００，２００の内部に設けるようにしても良い。

本発明のテープ接着装置およびテープ接着方法は、ウエハを用いた半導体集積回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することができる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。

本発明の第１の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、ウエハをゴムシート上に配置した状態で蓋体部を透視して示す平面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。 図１のテープ接着装置の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。 図１のテープ接着装置のうち、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成を拡大した状態を示す部分的な側断面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、（ａ）は蓋体部を開いた状態を示す内部を一部透視した側面図であり、（ｂ）は蓋体部を閉じた状態を示す正面側から見た要部断面図である。 図１のテープ接着装置を用いて、ウエハに対してテープ部材を接着する場合の動作フローを示す図である。 図１のテープ接着装置を用いて、ウエハを持ち上げてテープ部材に接着させる場合の接着の態様を示すイメージ図であり、（ａ）はテープ部材に対してウエハの中央部分から接着が開始される場合を示す図であり、（ｂ）はテープ部材に対して傾斜しているウエハの上端から接着が開始される場合を示す図である。 本発明の第２の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を透視して示す平面図である。 図８のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。 図８のテープ接着装置の構成を示す正面図である。 図８のテープ接着装置のうち蓋体部を中心とした構成を示す平面図である。 図８のテープ接着装置のうち、アーム付近の構成を示す部分側面図である。 図８のテープ接着装置のうち、ロック機構付近の構成を示す部分側面図である。 図８のテープ接着装置のＡ−Ａ線に沿う側断面図を右側、Ｂ−Ｂ線に沿う側断面図を左側に配置し、短ピンと長ピンの中心線Ｘを境界線として繋ぎ合わせた半断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を透視して示す平面図である。 図１５に示すテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示す側面図である。 図１５のテープ接着装置の構成を示す背面図である。 図１５のテープ接着装置のうち、蓋体部の内部構成を透視した状態を示す側面図である。

符号の説明

１０，１００，２００…テープ接着装置
１１…ウエハ（ワーク）
１２…テープ部材
２０…本体部
２２…本体上面部
２２ａ…内径部
２３…孔部
２４…シールリング
２５…ゴムシート
２６…押さえリング（保持部材）
２７…ピン部材
２８…テープフレーム（テープ保持手段）
３３…空気管路（第１の吸引手段の一部、第１の空気導入手段の一部）
３５…管部材（第１の吸引手段の一部、第１の空気導入手段の一部）
３６…真空ポンプ（第１の吸引手段の一部、第２の吸引手段の一部）
３７…第１の弁部材（第１の吸引手段の一部、第１の空気導入手段の一部）
３８…空気管路（第２の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
４０…管部材（第２の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
４１…第２の弁部材（第２の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
４２（４２ａ，４２ｂ）…真空計
５０…第１の真空室
５１…第２の真空室
６０…蓋体部
６１…蝶番
６２…ダンパ部材
６３…リング当接部
６４…凹部
６４ａ…上底面
７０…制御装置（制御手段）
１０１…ガラス基板（ワークに対応）
１１０…バランサ機構（開閉補助手段の一部）
１１１…ウエイト
１１４…取付軸
１１７…係止ピン（突出部分に対応）
１２０…支持台（開閉補助手段の一部）
１２２…回転軸
１３０…アーム（開閉補助手段の一部）
１３３…ジョイントピン
１３４…切欠部
１４０…ロック機構（開閉ロック手段）
１５０…短ピン（ピン部材および第１の支持部材に対応）
１５１…長ピン（ピン部材および第２の支持部材に対応）
２１０…ヒータユニット
２１１…ヒータ（加熱手段に対応）
２２０…収納部

Claims (16)

1. テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
   上面に上記ワークを載置する伸縮シート部材と、
   上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる密閉可能な第１の真空室と、
   上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる密閉可能な第２の真空室と、
   上記第１の真空室と上記第２の真空室との間での空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
   上記テープ部材を張設状態で保持すると共に、上記伸縮シート部材に載置されている上記ワークの上部に上記テープ部材を位置させるためのテープ保持手段と、
   上記第１の真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、
   上記第１の真空室の内部に空気を導入するための第１の空気導入手段と、
   上記第２の真空室の内部を真空吸引する第２の吸引手段と、
   上記第２の真空室の内部に空気を導入するための第２の空気導入手段と、
   を具備することを特徴とするテープ接着装置。
2. 前記第１の吸引手段、前記第２の吸引手段、前記第１の空気導入手段および前記第２の空気導入手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、
   この制御手段は、
   前記第１の吸引手段および前記第２の吸引手段を作動させて、前記第１の真空室及び前記第２の真空室の真空吸引を行い、
   上記真空吸引の後に、前記第２の空気導入手段を作動させて前記第２の真空室に空気を導入し、
   この空気の導入によって、前記伸縮シート部材を前記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、
   前記伸縮シート部材の膨張によって、前記ワークを前記テープ部材に向かって持ち上げて前記テープ部材に接着させる、
   ことを特徴とする請求項１記載のテープ接着装置。
3. 前記制御手段は、前記第１の吸引手段及び第２の吸引手段を作動させるに際して、先に前記第２の吸引手段を作動させ、後に前記第１の吸引手段を作動させることを特徴とする請求項２記載のテープ接着装置。
4. 前記テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、
   上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、
   上記蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と前記伸縮シート部材との間に、前記第１の真空室が形成されると共に、
   上記本体部に存在する空間部と、前記伸縮シート部材との間に、前記第２の真空室が形成される、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
5. 前記蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面は、前記伸縮シート部材の膨張による前記ワークおよび前記テープ部材の上方へ向かう移動を、上方から押さえることを特徴とする請求項４記載のテープ接着装置。
6. 前記蓋体部と前記本体部との境界部分には、前記蓋体部が前記本体部に対して閉じた状態を検出するセンサが設けられていると共に、このセンサは、前記制御手段に対して検知信号を送信可能としていて、前記制御手段は上記センサから前記蓋体部の閉じた状態に対応する検知信号を受信した場合のみ、前記第１の吸引手段又は第２の吸引手段を作動させることを特徴とする請求項４又は５記載のテープ接着装置。
7. 前記テープ保持手段は、前記保持部材に対してピン部材を介して取り付けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
8. 前記ワークは、ガラス基板であり、
   前記ピン部材には、
   前記保持部材に設けられると共に前記テープ保持手段と対向する側に向かって突出する第１の支持部材と、
   前記保持部材に設けられると共に前記テープ保持手段と対向する側に向かって突出し、かつ上記第１の支持部材よりも突出長さの長い複数の第２の支持部材と、
   が設けられていることを特徴とする請求項７記載のテープ接着装置。
9. 前記蓋体部には、前記本体部に対する開閉を補助する開閉補助手段が設けられていることを特徴とする請求項４から７のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
10. 前記開閉補助手段は、
    前記蓋体部の回動支点から該蓋体部が設けられている側とは反対側に向かって延伸する取付軸と、
    この取付軸に取り付けられるウエイトと、
    上記取付軸に設けられる突出部分と、
    前記本体部に対して回動自在に設けられ、前記蓋体部の開き動作に伴って上記取付軸が移動する側に設けられると共に、上記取付軸に向かって延伸するアームと、
    上記アームのうち上記突出部分が突き当たる部位に設けられ、該突出部分が嵌め込まれると共に、この突出部分が嵌め込まれた際に上記アームの回動を規制し、該突出部分の嵌め込み状態を維持して前記蓋体部の開放状態を維持可能な切欠部と、
    を具備することを特徴とする請求項９記載のテープ接着装置。
11. 前記蓋体部と前記本体部の間には、前記蓋体部の閉じ状態において該蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設けられていることを特徴とする請求項４から１０のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
12. 前記テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が塗布されていて、前記蓋体部には、加熱手段が設けられていると共に、前記ワークへの前記テープ部材の接着に際して該加熱手段によって前記テープ部材を加熱することを特徴とする請求項５から１１のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
13. 前記加熱手段は、前記蓋体部のうち前記凹部と隣接する収納部に複数設けられていると共に、複数の前記加熱手段は、この収納部において放射状に配置されていることを特徴とする請求項１２記載のテープ接着装置。
14. テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、
    伸縮シート部材の上面に上記ワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部に上記テープ部材を張設状態で位置させた状態で、上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
    上記吸引ステップによって、上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、
    上記真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する第１の空気導入ステップと、
    上記第１の空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
    上記接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する第２の空気導入ステップと、
    を具備することを特徴とするテープ接着方法。
15. 前記吸引ステップは、前記第１の吸引手段及び前記第２の吸引手段を作動させるに際して、先に前記第２の吸引手段を作動させ、後に前記第１の吸引手段を作動させることを特徴とする請求項１４記載のテープ接着方法。
16. 前記テープ部材には、加熱硬化型の接着剤が塗布されていると共に、前記接着ステップでの前記ワークに対する前記テープ部材の接着に先立って、前記テープ部材を加熱する加熱ステップを具備することを特徴とする請求項１４または１５記載のテープ接着方法。

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