JP2005091907A - 波長合分波器 - Google Patents

Abstract

【課題】３波以上の光の合分波を一つの光学部品で行う際の偏光面に依存する特性劣化を改善する。
【解決手段】それぞれの波長帯域の中心波長をλ１、λ２、λ３としたとき、０．９２≦λ２／λ１≦１．０８であり、０．２０≦λ３／λ１≦０．９２または１．０８≦λ３／λ１≦５．００の関係にある３波長多重光を、同一パッケージ内の１つまたは複数の光学基板により支持された２つの異なる特性の光学フィルタを一体にした波長合分波器を使って、それぞれの帯域に分波または／および合波する際に、３波長多重光は第１のフィルタＡに導かれ、フィルタＡは３波長多重光をλ３の帯域と、λ１とλ２の２波長多重光に分離し、該２波長多重光は第２のフィルタＢに導かれ、フィルタＢは２波長多重光をλ１の帯域とλ２の帯域の光に分離するものであって、該フィルタＡは光学エッジフィルタであり、該フィルタＢは光学バンドパスフィルタとする。
【選択図】図１

Description

本発明は、波長合分波器に関する。

誘電体多層膜は眼鏡レンズ表面に反射防止膜として被着して用いられたり、ガラス基板上に被着してＴＶの色分解フィルタ等として一般に用いられていた。一方、近年の機器のコンパクト化等の観点から、例えば液晶プロジェクタやカメラなどに用いられる色分解フィルタ、あるいはＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）装置等に用いられるレーザー検出用ミラーとしてプリズム形状の２つのガラス基板の間に誘電体多層膜を挟持し、誘電体多層膜に光が角度を持って入射するような構成のものが必要になってきている。また、通信分野においては、インターネットの進展に伴う通信量の増大に対処するため、波長多重光通信技術の導入が進められており、その中で、異なる波長の光を分離するため、ガラス基板上にエッジフィルタやバンドパスフィルタとなる誘電多層膜を形成したフィルタが必要となってきている。

光通信では、3端子モジュールを、カスケードに組み合わせることで、複数波長の合分波が可能になるが、合分波の数だけモジュールが必要となり、装置コストが上がり、収容面積も大きくなり、設置コストも上がることが考えられる。また、特許文献１や、非特許文献１に開示されてるように、単一モジュール内に複数のバンドパスフィルタ、エッジフィルタを組み込み、複数波長合分波するモジュールも提案されているが、光の分離角が小さいので、発信用レーザ、受信用のダイオードを組み込もうとすると、光学パスを長く取る必要がり装置が大型化して設置コストが上がるという問題が生じる。また、装置を小型化しようとすると、レーザ/ダイオードアレイを使う必要があり、コストアップの要因となる。装置コストを上げずに小型化使用とすると、光の分離角を大きくする必要があるが、この場合は、出射光のPおよびS波の乖離が大きくなり、合分波特性が劣化すると言う問題が起こる。

この高乖離角、即ち高入射角度でのPおよびS偏光に依存する特性劣化問題、即ち入射光の偏光方向により出射光の振幅波長特性が大きく乖離する問題を改善するために、特許文献２においては、誘電体多層膜フィルタの高屈折率層にSiを用いている。高屈折率層に屈折率の高いSi、Ge、ZnS、ZnSe等を用いれば振幅特性の特性差を改善できるが、前記特許文献２で開示されているように低屈折率層にTiO₂、SiO₂を用いると、85℃85％RHの高温高湿下に長時間放置すると、TiO₂、SiO₂の酸素が高屈折率層側に拡散し、Si、Ge層の屈折率の低下、低屈折率層の屈折率上昇による波長シフト、光学特性の変動を引き起こす。また、ZnS、ZnSeについてはSiO₂、TiO₂とは密着性が弱いため、剥離しやすいという問題も引き起こす。

入射媒質が屈折率1の空気であれば、偏光方向の違いによる特性差を小さくできるが、近年の光学部品では小型化のため集積度が上がっており、フィルタは他の光部品、ファイバキャピラリ、プリズム、レンズ、導波路、に直接、接合して使われることが多い。この場合、入射媒質を空気とするためには、エアーサンドイッチ構造とする必要がある。エアーサンドイッチ構造とする場合は、接合面同士に多重反射による振幅変動を抑えるため反射防止膜を形成することになる。この反射防止膜は屈折率1の空気に対し最適化されているので、接合時の樹脂等が光り通過面に回り込むと透過特性が劣化するので、樹脂が回りこまないような接合構造とする必要があり、コストアップの要因となる。また、単に樹脂接合すると歩留り劣化となる。

上記、偏光面による特性差を解消するために入射光の偏光面を揃えるという方法もあるが、偏光子を使って、どちらかの偏光のみを取り出すと、光量の減少を招く。また、S波とP波に分離後、S波をP波に、もしくはP波をS波に変換して偏光状態を揃えると、偏光面変換分品が新たに必要となり、装置の大型化、コスト上昇を招く。

特開平８−８２７１１号公報 特開２０００−１６２４１３号公報 藤井陽一著 「光工学」 アグネ承風社 １９９３年（１６９頁）

上記のような状況に鑑みて本発明はなされたもので、３波以上の光の合分波を一つの光学部品で行う際の偏光面に依存する特性劣化を改善し、もって小型で合分波特性に優れ、かつ保存特性に優れた多層膜フィルタおよび合分波用光学部品を提供することを目的とする。

本発明は、それぞれの波長帯域の中心波長をλ１、λ２、λ３としたとき、０．９２≦λ２／λ１≦１．０８であり、０．２０≦λ３／λ１≦０．９２または１．０８≦λ３／λ１≦５．００の関係にある３波長多重光を、同一パッケージ内の１つまたは複数の光学基板により支持された２つの異なる特性の光学フィルタを一体にした波長合分波器を使って、それぞれの帯域に分波または／および合波する際に、図８に示すように３波長多重光は第１のフィルタＡに導かれ、フィルタＡは３波長多重光をλ３の帯域と、λ１とλ２の２波長多重光に分離し、この２波長多重光は第２のフィルタＢに導かれ、フィルタＢは２波長多重光をλ１の帯域とλ２の帯域の光に分離するとき、フィルタＡは光学エッジフィルタであり、フィルタＢは光学バンドパスフィルタとすることで、入射光の偏光面、S波、P波により、出射光の振幅波長特性が乖離する問題を改善できることを見出した。

この際、フィルタＡは３波長多重光のλ３の帯域を反射し、λ１とλ２の２波長多重光を透過し、フィルタＢはフィルタＡを透過した２波長多重光のうち、λ２の帯域を反射し、λ１の帯域を透過し、フィルタＡの入射媒質の屈折率をｎＡ、フィルタＡへの３波長多重光とフィルタＡ面の法線とのなす角をθＡとし、同様に、フィルタＢの入射媒質の屈折率をｎＢ、フィルタＢへの２波長多重光とフィルタＢ面の法線とのなす角をθＢとしたとき、θＡ≧１５度かつｎＡ・ＳｉｎθＡ≦０．９５かつθＢ≦１５度かつｎＢ・ＳｉｎθＢ≦０．８５とすることが望ましい。

また、フィルタＡとフィルタＢとのなす角をαとしたとき、６０度≦α≦１２０度である。θＡの角度は、１５度より小さいと３波長多重光と1310nmの送信光との角度差が小さくなるため、それぞれの素子が接近し配置が難しくなるため、θＡは１５度以上にするのがよい。一方、θＡを大きくするとフィルタＡへの入射角が大きくなるためフィルタＡに成膜されているエッジフィルタのＰ偏光の反射率が低下する。筆者らの検討によれば、θＡの上限は基板Ａの屈折率nAと関係し、nA・ＳｉｎθＡを０．９５以下にしないとＰ偏光において十分な反射率が得られないことが明らかとなった。

従って、ｎＡは低い方がθＡの設計の自由度が大きくなり、また、同じθＡを使用するならｎＡが低いほどＰ偏光の反射率は大きくなるため、ｎＡは低い方が好ましい。入射角度θＡは好ましくは２０度以上であり、ｎＡ・ＳｉｎθＡは好ましくは０．８以下とするのが良い。また、フィルタＡの出射媒質とフィルタＢの入射媒質を共に空気とした場合、入射角θＢを得るためのαは、下記の（数１）から求めることができる。

（数１） α＝θＢ＋arcsin(ｎＡ・sinθＡ)

従って、基板Ａの屈折率ｎＡとフィルタＡへの入射角θＡを設定しておけば、所望のθＢを得るためのフィルタＡとフィルタＢのなす角αを計算により求めることができる。筆者らの検討によれば有効なαの範囲は６０度≦α≦１２０度であり、好ましくは、７０度≦α≦１００度である。

本発明の高屈折率膜の材料としては、酸化Ta、酸化Ti、酸化Ce、酸化Hf、酸化Zr、酸化Nb、酸化Y、酸化Crなどの酸化物、窒化Si、窒化Ge等の窒化物、炭化Siなどの炭化物、ZnS、ZnSe、GaP、InP、GaAs、GaAl、GaNなどの半導体およびこれらの混合材から選ばれる少なくとも１種が、低屈折率膜の材料としては酸化Si、酸化Al、酸化Mg、酸化Geなどの酸化物、フッ化Ca、フッ化Ba、フッ化Ce、フッ化Mg、フッ化Na、フッ化Nd、Na₅Al₃F₁₄、Na₃AlF₆などのフッ化物、およびこれらの混合材から選ばれる少なくとも１種がある。なお、各屈折率膜は同種のものを用いることが好ましいが、屈折率が近似した材料であれば、一部を他の材料からなる屈折率膜に置換することも可能である。また、高温高湿環境下での保存特性向上のためには、酸化物、窒化物、炭化物、フッ化物を用いることが望ましい。

本発明の誘電体多層薄膜フィルタは、真空成膜法で作製される。真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法、レーザブレイション法など各種成膜法を用いることができる。真空蒸着法を用いる場合、膜質を改善するため蒸気流の一部をイオン化するとともに基板側にバイアスを印加するイオンプレーティング法、クラスタイオンビーム法、別イオン銃を用いて基板にイオンを照射するイオンアシスト蒸着法を用いると有効である。スパッタ法としては、ＤＣ反応性スパッタ法、ＲＦスパッタ法、イオンビームスパッタ法などがある。また、化学的気相法としては、プラズマ重合法、光アシスト気相法、熱分解法、有機金属化学気相法などがある。なお、各屈折率膜の膜厚は膜形成時の蒸着時間等を変えることで、所望の膜厚とすることができる。

また、基板には石英ガラス、硼珪酸ガラス、などの光学ガラス、結晶化ガラス以外ににも、Siウエハー、GaAsウエハー、GaInウエハー、SiCウエハーなどの半導体基板、LiNbO₃、LiTaO₃、TiO₂、SrTiO₃、Al₂O₃、MgOなどの酸化物単結晶、多結晶基板、CaF₂、MgF₂、BaF₂、LiFなどのフッ化物単結晶基板、多結晶基板、NaCl、KBｒ、KClなどの塩化物、臭化物単結晶、他結晶基板、アクリル、アモルファスポリオレフィン、ポリカーボネイトなどのプラスチック等、使用帯域で透明な基板であれば、何れでも適用できる。

本発明によれば、低コストで特性の優れた３波長多重光を３つの帯域の信号光に分波・合波する波長合分波器を提供することができる。

以下本発明の実施例を図面に沿って説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。実施例で説明するフィルタに用いる材料には、屈折率が１．４６の酸化Si、２．２１の酸化Nb、基板には石英ガラス(屈折率1.44)を用いた。空気の屈折率は1.00とした。
また、本実施例による波長合分波器が扱う帯域は、表１によるものとする。

すなわちλ１の帯域は1540〜1560nmの範囲の光を受信用に使用し、その中心波長は1550nmである。同様に、λ２の帯域は1480〜1500nmの範囲の光を受信用に使用し、その中心波長は1490nmである。更に、λ３の帯域は1260〜1360nmの範囲の光を送信用に使用し、その中心波長は1310nmである。そして、使用する帯域のそれぞれの中心波長の間には、λ２／λ１＝０．９６、λ３／λ１＝０．８５の関係がある。

表１のような関係にある３つの帯域を取り扱う波長合分波器においては、接近したλ１とλ２の帯域と、それより離れたλ３の帯域とをそれぞれうまく取り扱えるような構成を取る必要がある。一般に０．９２≦λ２／λ１≦１．０８の範囲にあるような接近した２つの帯域を分離する場合、光学エッジフィルタより光学バンドパスフィルタを使用した方が、透過／反射の遷移幅を急峻にすることができ好ましい。

しかし、このような光学バンドパスフィルタにλ１・λ２の帯域から離れたλ３の帯域を投入すると、大きな透過率や反射率が得られにくく、特性が安定しないことが分かった。

一方光学エッジフィルタは離れた２波の帯域の光を分離するには適しており、透過帯域を非常に広くとることができるが、接近した２波を分離しようとした場合には層数が多くなり、製造が難しくなり使用に適さない。そこで本発明者らは、表１のように接近した２波λ１・λ２と離れた１波λ３を分離する場合には、最初に光学エッジフィルタでλ３を分離し、残りのλ１とλ２を光学バンドパスフィルタに導き、そこで両者を分離すれば低コストで性能に優れた波長合分波器が実現できると考えた。

図１は、上記の考えを実現するために考案された本発明による波長合分波器の１例である。波長合分波器１は、２つの光学基板、基板Ａと基板Ｂをなす角αで接着等の方法でＶ字状に固定することにより構成される。基板ＡにはＶ字状の内側の面にフィルタＡを配置し、もう一方の基板ＢにはＶ字状の内側の面にフィルタＢを配置し、基板Ａと基板Ｂが固定されることにより一体となっている。入出射光である３波長多重光は、まず、フィルタＡでλ３の帯域を分離し、分離された残りのλ１とλ２の帯域である２波長多重光はフィルタＢに導かれ、フィルタＢはλ１とλ２の帯域の光に分離する。

ここでフィルタＡとして長波長透過型の光学エッジフィルタを配置し、フィルタＢとして光学バンドパスフィルタを配置する。図１では基板Ａと基板Ｂの接合面にフィルタＢが配置されているが、この接合面にはフィルタＢは配置されていなくても良い。フィルタAおよびフィルタBは先に述べた真空成膜法で、基板上に形成した。

基板Ａには、３波長多重光を入射しやすくするために切削面Ａを設けているが、これは設けなくても良い。切削面Ａを設ける場合、切削面Ａの角度は３波長多重光に垂直もしくはそれよりも１〜１０度傾いた角度とすることができる。切削面Ａには波長合分波器１に接続する送受信光である３波長多重光を入射・出射させる。これには光ファイバ等により導かれた３波長多重光を、コリメータレンズ等を使用して平行光をフィルタＡに導く方法や、光ファイバのフェルールを切削面Ａに接着または融着等の方法で固定し光ファイバのＮＡにより定められる広がり角を持つ拡散光をフィルタＡに導く方法などをとることができる。

入出力信号光である３波長多重光は、フィルタＡの法線に対してθＡの角度で入射するように設定する。その際、３波長多重光のうちの1550nmと1490nmの帯域の光は、フィルタＡを透過しフィルタＢに導かれる。もし1310nmの帯域の光が３波長多重光に混入してきた場合には、角度θＡで反射され、基板Ａから出射する。送信に使用する1310nmの帯の光は、光学基板Ａを透過し、角度θＡでフィルタＡに入射し、角度θＡで反射後に３波長多重光を送ってきた光ファイバに入射するよう角度づけされる。

θＡの角度は、１５度より小さいと３波長多重光と1310nmの送信光との角度差が小さくなるため、それぞれの素子が接近し配置が難しくなるため、θＡは１５度以上にするのがよい。一方、θＡを大きくするとフィルタＡへの入射角が大きくなるためフィルタＡに成膜されているエッジフィルタのＰ偏光の反射率が低下する。

本検討によれば、θＡの上限は基板Ａの屈折率nAと関係し、nA・ＳｉｎθＡを０．９５以下にしないとＰ偏光において十分な反射率が得られないことが明らかとなった。従って、ｎＡは低い方がθＡの設計の自由度が大きくなり、また、同じθＡを使用するならｎＡが低いほどＰ偏光の反射率は大きくなるため、ｎＡは低い方が好ましい。入射角度θＡは好ましくは２０度以上であり、ｎＡ・ＳｉｎθＡは好ましくは０．８以下とするのが良い。

本実施例では、光学基板を石英とし、θＡを３０度に設定した。従って、nA・ｓｉｎθＡ＝０．７２としている。なお、1310nm帯の送信光は、基板に対してP偏光を入射すると、基板表面の反射を低減できるため、送信損失を低減できるため好ましい。

また、1310nm帯の送信光は基板Ａの表面で屈折してフィルタＢに入射するため、その角度を見込んで送信光の基板表面への入射角を決めなければならない。従って、基板Ａの屈折率nAのばらつきは小さい方が好ましい。もし、ｎＡのばらつきをある程度見込まなければならない場合は、フィルタＡの裏面を送信光の入射光に対して垂直になるよう角度づけをすることにより、基板Ａの屈折率のばらつきによる、送信光の入射角の変動を抑えることができる。

一方、フィルタＡを透過し1550nmと1490nmの２波長多重光になった光は、フィルタＢの面の法線とのなす角θＢでフィルタＢに入射する。フィルタＢは、1550nmと1490nmの帯域のどちらかを透過し、もう一方を反射するような光学バンドパスフィルタにすることにより、２波長透過光を分離することができる。本実施例では、1550nmの帯域の光を透過し、1490nmの帯域を反射するようにバンドパスフィルタを設計した。

θＢの角度は、１５度より小さいとλ２の帯域光とフィルタＢとの角度差が小さくなり、また、３波長多重光とλ２との角度差が小さくなり素子の配置が難しくなるため、θＢは１５度以上にするのが良い。一方、θＢを大きくするとフィルタＢへの入射角が大きくなるためフィルタＢに成膜されているバンドパスフィルタの特性が悪化する。筆者らの検討によれば、θＢの上限はフィルタＢの入射媒質の屈折率nＢとも関係があり、nＢ・ＳｉｎθＡを０．８５以下にしないとバンドパスフィルタの透過帯域の特性を平坦にすることが難しく、またＰ偏光も反射率も十分な値が得られないことが明らかとなった。ここでもフィルタＢの入射媒質の屈折率ｎＢは小さいほどθＢの設計の自由度は大きくなり、更に、フィルタＢの透過帯域の平坦さや反射帯域のＰ偏光の反射率を上げられるため、小さい方が良い。入射角θＢは好ましくは２０度以上であり、ｎＢ・ＳｉｎθＢは好ましくは０．７以下とするのが良い。本実施例ではフィルタＢの入射媒質は空気としたためnB=１であり、θＢを３０度とすると、ｎＢ・ＳｉｎθＢは０．５である。

本実施例のごとくフィルタＡの出射媒質とフィルタＢの入射媒質を共に空気とした場合、入射角θＢを得るためのαは、（数１）から求めることができる。

従って、基板Ａの屈折率ｎＡとフィルタＡへの入射角θＡを設定しておけば、所望のθＢを得るためのフィルタＡとフィルタＢのなす角αを計算により求めることができる。筆者らの検討によれば有効なαの範囲は６０度≦α≦１２０度であり、好ましくは、７０度≦α≦１００度である。

本実施例では、θＡ＝３０度、nA＝１．４４であるから、θＢを３０度とするために、α＝７６．１度とした。ここで、nＢ・ｓｉｎθＢ＝０．５である。

なお、本実施例ではフィルタＡの出射媒質とフィルタＢの入射媒質は共に空気としたが、フィルタＢの出射面に別の光学基板等の光学素材を配置する等の構成にすることにより、フィルタＡの出射媒質とフィルタＢの入射媒質を異ならせても良く、その場合、そこに配置する光学素材の屈折率・形状によりθＢの角度を変えることが可能である。

また、フィルタＢを透過したλ１の帯域の光は、裏面Ｂで反射率数パーセントの割合で反射後フィルタＢを透過してλ２の方向に到達することがあり、このλ１の帯域の光がλ２の受光素子に混合した場合、クロストークが発生することがある。このクロストークが問題となる場合には、裏面ＢにＡＲコートを施すか、裏面Ｂを反射した光が散乱されるように基板Ｂを切削面Ｂの形状に粗面に切削しておく方法がある。対策としてはどちらも有効である、コストの安い方法を選択することができる。

なお、基板Ｂの屈折率は1550nm帯域の光であるλ１の出射角に影響する。基板Ｂの屈折率のばらつきが大きい場合、λ１の出射角がばらつくため、基板Ｂに使用する材料は屈折率のばらつきが小さい材料を使用するのがよい。基板Ｂの屈折率の値については、フィルタＡおよびフィルタＢの特性には影響を与えないため特に問題にはならない。ただし、裏面ＢにＡＲコートを施さない場合には、裏面Ｂでの反射を抑えるために、基板Ｂの屈折率は低い方が良い。

図４は、本実施例のフィルタＡで用いる長波長透過型の光学エッジフィルタの特性である。入射媒質は石英(屈折率１．４４)、入射角度θＡ＝３０度、出射媒質は空気である。使用した低屈折率材は、屈折率が1.46の酸化Si、高屈折率材は、屈折率が、2.21の酸化Nbである。

図５は、本実施例のフィルタＢに用いる光学バンドパスフィルタの特性である。入射媒質は空気、入射角度θＡ＝３０度、出射媒質は石英、高屈折率材は酸化Nb、低屈折率材は酸化Siである。使用した材料の屈折率は、高屈折率膜が２．２１、低屈折率膜が１．４６、石英が１．４４である。

図６は、本実施例の波長合分波器において、1310nmの帯域の送信信号の特性である。使用する帯域である1260〜1360nmの範囲において、Ｐ偏光・Ｓ偏光とも透過損失が低く、良好な合波特性となっている。なお、Ｓ偏光の透過損失はほぼ０ｄＢで推移している。

図７は、本実施例の波長合分波器において、1490nmと1550nmの帯域の受信信号の特性である。1490nmの受信光においては1480〜1300nmの範囲で、1550nmの受信光においては1540〜1560nmの範囲において、両方の帯域においてＰ偏光・Ｓ偏光とも透過損失が低く、良好な分波特性となっている。

図２は、本発明を実施する別の例である。Ｖ字の組み方が異なっているが光学的にはすべて図１と同じである。従って、本実施例においては、実施例１と同様の光学特性を得ることができる。

図３は、本発明を実施する別の例である。
基板Ａは石英、フィルタＡへの入射角３０度であり、基板Ｂは石英、フィルタＢへの入射角は３０度であり、フィルタＡとフィルタＢのなす角αは６０度である。
本実施例においても、上記実施例１及び２と同等の効果を得ることができる。

本発明は、３つの異なる波長を合波及び／または分波する波長合分波器に適用できる。

波長合分波器を示した図である。 波長合分波器を示した図である。 波長合分波器を示した図である。 光学エッジフィルタの特性を示した図である。 光学バンドパスフィルタの特性を示した図である。 波長合分波器の送信信号の特性を示した図である。 波長合分波器の受信信号の特性を示した図である。 波長合分波器を示した図である。

符号の説明

１ 波長合分波器
１０ 基板Ａ
１１ フィルタＡ
１２ フィルタＡ面の法線と３波長多重光とのなす角θＡを示す
１３ 切削面Ａ
２０ 基板Ｂ
２１ フィルタＢ
２２ フィルタＢ面の法線と２波長多重光とのなす角θＢを示す
２３ フィルタＡとフィルタＢとのなす角αを示す
２４ 裏面Ｂ
２５ 切削面Ｂ
３０ ３波長多重光
３１ λ１の帯域光であり、1550nm帯の受信信号光を示す
３２ λ２の帯域光であり、1490nm帯の受信信号光を示す
３３ λ３の帯域光であり、1310nm帯の送信信号光を示す
３４ ２波長多重光

Claims (3)

1. ３つの波長帯域からなる３波長多重光をそれぞれの帯域に分波または／および合波する機能を有し、それぞれの波長帯域の中心波長をλ１、λ２、λ３としたとき、０．９２≦λ２／λ１≦１．０８であり、０．２０≦λ３／λ１≦０．９２または１．０８≦λ３／λ１≦５．００の関係にあり、１つまたは複数の光学基板により支持された２つの異なる特性の光学フィルタを一体にした波長合分波器であって、３波長多重光は第１のフィルタＡに導かれ、前記フィルタＡは３波長多重光をλ３の帯域と、λ１とλ２の２波長多重光に分離し、２波長多重光は第２のフィルタＢに導かれ、前記フィルタＢは２波長多重光をλ１の帯域とλ２の帯域の光に分離するとき、前記フィルタＡは光学エッジフィルタであり、前記フィルタＢは光学バンドパスフィルタであることを特徴とする波長合分波器。
2. 請求項１記載の波長合分波器において、前記フィルタＡは３波長多重光のλ３の帯域を反射し、λ１とλ２の２波長多重光を透過し、前記フィルタＢは前記フィルタＡを透過した２波長多重光のうち、λ２の帯域を反射し、λ１の帯域を透過し、前記フィルタＡの入射媒質の屈折率をｎＡ、前記フィルタＡへの３波長多重光とフィルタＡ面の法線とのなす角をθＡとし、同様に、前記フィルタＢの入射媒質の屈折率をｎＢ、前記フィルタＢへの２波長多重光とフィルタＢ面の法線とのなす角をθＢとしたとき、θＡ≧１５度、ｎＡ・ＳｉｎθＡ≦０．９５、θＢ≦１５度、ｎＢ・ＳｉｎθＢ≦０．８５であることを特徴とした請求項１記載の波長合分波器。
3. 請求項２記載の波長合分波器において、前記フィルタＡと前記フィルタＢとのなす角をαとしたとき、６０度≦α≦１２０度であることを特徴とした請求項２記載の波長合分波器。
   

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