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JP2005085933A - Optical sensor, and optical logic device, and electronic device using sensor - Google Patents

Optical sensor, and optical logic device, and electronic device using sensor Download PDF

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JP2005085933A
JP2005085933A JP2003315403A JP2003315403A JP2005085933A JP 2005085933 A JP2005085933 A JP 2005085933A JP 2003315403 A JP2003315403 A JP 2003315403A JP 2003315403 A JP2003315403 A JP 2003315403A JP 2005085933 A JP2005085933 A JP 2005085933A
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JP
Japan
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optical sensor
photoelectric conversion
light
optical
electron
Prior art date
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Pending
Application number
JP2003315403A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Komatsu
隆宏 小松
Megumi Sakagami
恵 坂上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2003315403A priority Critical patent/JP2005085933A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly functional optical sensor having various characteristics such as polarization and absorption characteristics, responses to multiple wavelengths, optical transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, and side irradiation optical response; and to provide an optical logic device and an electronic device using the optical sensor. <P>SOLUTION: The optical sensor includes at least two electrodes 2, 6 provided on a substrate 1, and a photoelectric conversion region 17 composed of at least one kinds of electron-donating organic material 15 and an electron accepting material 16 provided between the electrodes, and the photoelectric conversion region 17 having the polarization and absorption characteristics. The optical sensor is hereby obtained, which has the polarization response characteristics of outputting different electric signals in response to the differences of polarization planes of incident light. Further, it is possible to obtain the optical sensor having response characteristics to multiple wavelengths of responding to multiple wavelengths by controlling the absorption characteristics of a constituent material, and to obtain the optical sensor that transmits light by imparting optical transmittance to the constituent material. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、各種位置検出や光通信等に用いられる光センサ及びそれを用いた光論理素子並びに電子デバイスに関するものである。   The present invention relates to an optical sensor used for various position detections, optical communication, and the like, an optical logic element using the same, and an electronic device.

IT(Information Technology)社会の急速な発達に伴い記録または伝達する情報量は膨大になってきており、記録容量の増大や情報伝達速度の高速化が非常に重要になってきている。そのため従来は電気、磁気等により記録されていた記録メディアは高密度化が可能な光記録方式のものへと移り変わり、また通信においてもその媒体を電気から光へと移行することで高速化を図るなど、光の重要性は増す一方である。   With the rapid development of IT (Information Technology) society, the amount of information to be recorded or transmitted has become enormous, and it has become very important to increase the recording capacity and increase the information transmission speed. For this reason, recording media that have been recorded by electricity, magnetism, etc. have been changed to optical recording systems capable of increasing the density, and also in communication, the speed is increased by shifting the medium from electricity to light. The importance of light is increasing.

このような光記録、光通信等でまず重要となるのはどのような光源を用いるかであるが、各種レーザの研究が進んだことで、直線性が高くコヒーレントな光が比較的簡単に得られるようになったことから、このレーザを中心に開発が進められている。最近ではその中でも、より短波長の青色領域の光を用いることで高密度記録を行う開発が活発に行われている。   What is important for such optical recording, optical communication, etc. is the type of light source to be used. However, research on various lasers has made it easier to obtain highly linear and coherent light. As a result, development is proceeding with a focus on this laser. Recently, among them, development for performing high-density recording by using light of a shorter wavelength blue region has been actively conducted.

光源と同様に重要であるのが光の制御と検出であり、この機能を担う光センサの重要性も益々大きなものとなってきている。   As important as the light source is the control and detection of light, and the importance of the optical sensor responsible for this function is increasing.

従来この光センサには主に無機のシリコン材料をもとに形成したフォトダイオードが用いられてきており、イメージセンサ、固体撮像素子、フォトカプラ等ほとんど全ての光センサが無機材料によって形成されている。   Conventionally, a photodiode formed mainly from an inorganic silicon material has been used for this optical sensor, and almost all optical sensors such as an image sensor, a solid-state imaging device, and a photocoupler are formed of an inorganic material. .

このように、シリコンフォトダイオードに代表されるような無機光センサは幅広い分野で使用されているが、その形成には大掛りな真空成膜装置やエッチング装置等といった従来の半導体プロセスが不可欠であるため大型化や低コスト化が困難である。さらに、無機光センサは、生態系への影響が大きいIn,Ga,As,P等の元素を含むことが多く、廃棄の環境負荷が大きいという課題を有している。   As described above, inorganic photosensors represented by silicon photodiodes are used in a wide range of fields, but conventional semiconductor processes such as large-scale vacuum film forming apparatuses and etching apparatuses are indispensable for the formation. Therefore, it is difficult to increase the size and cost. Furthermore, inorganic light sensors often contain elements such as In, Ga, As, and P, which have a great influence on the ecosystem, and have a problem that the environmental load of disposal is large.

また近年、製造が容易で、大面積のものが得られる有機光電変換素子も開発されている(例えば、特許文献1参照)。   In recent years, an organic photoelectric conversion element that can be easily manufactured and has a large area has been developed (see, for example, Patent Document 1).

ここで、一般的な有機光電変換素子について説明を行う。図5は一般的な有機光電変換素子の要部断面図である。図5に示すように有機光電変換素子は、ガラス等の光透過性の基板1上にスパッタリング法や抵抗加熱蒸着法等により形成されたITO(Indium
Tin Oxide)等の透明な導電性膜からなる陽極2と、陽極2上に電子供与性層4と電子受容性層5をそれぞれ抵抗加熱蒸着法等によって成膜した光電変換領域3、さらにその上部に抵抗加熱蒸着法等により形成された金属からなる陰極6とを備えている。
Here, a general organic photoelectric conversion element will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of a general organic photoelectric conversion element. As shown in FIG. 5, the organic photoelectric conversion element is made of ITO (Indium) formed on a light-transmitting substrate 1 such as glass by a sputtering method or a resistance heating vapor deposition method.
An anode 2 made of a transparent conductive film such as Tin Oxide), a photoelectric conversion region 3 in which an electron-donating layer 4 and an electron-accepting layer 5 are formed on the anode 2 by a resistance heating vapor deposition method, and the upper portion thereof And a cathode 6 made of metal formed by resistance heating vapor deposition or the like.

上記構成を有する有機光電変換素子に、光照射を行うと光電変換領域3にて光吸収が起こり、励起子が形成される。続いてキャリアが分離され、電子は電子受容性層5を通して陰極6へ、正孔は電子供与性層4を通して陽極2へと移動する。これにより両電極間には起電力が発生し、外部回路をつなげることで電気信号を取り出すことが可能となる。   When the organic photoelectric conversion element having the above configuration is irradiated with light, light absorption occurs in the photoelectric conversion region 3, and excitons are formed. Subsequently, carriers are separated, and electrons move to the cathode 6 through the electron-accepting layer 5 and holes move to the anode 2 through the electron-donating layer 4. As a result, an electromotive force is generated between both electrodes, and an electric signal can be taken out by connecting an external circuit.

光電変換素子は、各種の光センサとして用いられる。その一例として、イメージセンサがある。図6は従来のイメージセンサの要部断面図である。ここで7は光源、8はセルフ
ォックレンズ(商品名)、9は光センサ、10は原稿である。光源7により照射された原稿10はセルフォックレンズ8で集光され、光センサ9で読み取られる。
特開平5−145098号公報
The photoelectric conversion element is used as various optical sensors. One example is an image sensor. FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part of a conventional image sensor. Here, 7 is a light source, 8 is a SELFOC lens (trade name), 9 is an optical sensor, and 10 is a document. The original 10 irradiated by the light source 7 is condensed by the Selfoc lens 8 and read by the optical sensor 9.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-145098

上述したように、従来の光センサは単純に光を検出するものが多く、特別な機能を有するものは少なかった。例えば従来の光センサは応答する光の選択性が乏しく、ある任意の偏光面や波長の光のみに応答させることは困難であったり、また光透過性を付与することが非常に困難なため、光のセンシングのために光を分岐する必要があったり、光路の途中にセンサを配置することができないといった課題を有している。   As described above, many conventional optical sensors simply detect light, and few have special functions. For example, conventional photosensors have poor selectivity for light that responds, making it difficult to respond only to light of any arbitrary polarization plane or wavelength, or providing light transparency is very difficult, There is a problem that it is necessary to branch light for sensing light, or that a sensor cannot be arranged in the middle of the optical path.

また、従来の光センサはでは、同一センサで複数の波長領域の光を個別に検出することは困難であった。そのため複数の波長領域の光を検出するためには、その数に応じた光センサを配置する必要があり、省スペース化の妨げやコスト高を招くという課題を有している。   Further, in the conventional optical sensor, it is difficult to individually detect light in a plurality of wavelength regions with the same sensor. For this reason, in order to detect light in a plurality of wavelength regions, it is necessary to arrange optical sensors corresponding to the number, and there is a problem in that space saving is hindered and cost is increased.

さらに、従来の光センサを用いたイメージセンサでは、図6に示すように、光センサ9の受光部が光透過性を持たないため、光センサ9に対して斜め方向に光源7を配置し、原稿10を照射する必要があった。そのため光センサ9と原稿10とは必然的に空間的な距離を要し、解像度を保つためにセルフォックレンズ8等の各種光学系が必要となる。このような構成のため、従来のイメージセンサは必要以上に大きなものとなる。   Further, in the image sensor using the conventional optical sensor, as shown in FIG. 6, the light receiving portion of the optical sensor 9 does not have light transmission, so the light source 7 is disposed obliquely with respect to the optical sensor 9, It was necessary to irradiate the original 10. For this reason, the optical sensor 9 and the document 10 inevitably require a spatial distance, and various optical systems such as the SELFOC lens 8 are required to maintain the resolution. Due to such a configuration, the conventional image sensor becomes larger than necessary.

また、従来の光センサの多くは光透過性を有していないため、検出に用いた光は再利用することができなかった。そのため利用する光と検出するための光は分岐する必要があり、これにより光学部品数が多くなり、小型化が困難になるという課題を有している。   In addition, since many of the conventional optical sensors do not have optical transparency, the light used for detection cannot be reused. For this reason, the light to be used and the light to be detected need to be branched, which increases the number of optical components and makes it difficult to reduce the size.

本発明は上記課題を解決するものであり、偏光吸収特性や複数波長応答性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性等様々な特性を付与した高機能な光センサ及びそれを用いた光論理素子並びに電子デバイスを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems, and a highly functional optical sensor having various characteristics such as polarization absorption characteristics, multiple wavelength responsiveness, light transmission, photoelectric conversion efficiency distribution, and lateral irradiation light responsiveness, and the same It is an object of the present invention to provide an optical logic element and an electronic device using the above.

本発明の光センサは、光電変換領域を構成する有機材料等に様々な特性を付与した有機光電変換素子からなる。   The optical sensor of the present invention is composed of an organic photoelectric conversion element in which various characteristics are imparted to an organic material or the like constituting a photoelectric conversion region.

本発明の光センサはこの有機光電変換素子の光電変換領域に偏光吸収特性を付与している。これにより入射光の偏光面の違いに応じて異なった電気信号を出力する偏光応答特性を有する光センサを得ることができる。   The optical sensor of the present invention imparts polarization absorption characteristics to the photoelectric conversion region of the organic photoelectric conversion element. As a result, an optical sensor having a polarization response characteristic that outputs different electrical signals according to the difference in polarization plane of incident light can be obtained.

また本発明の光センサは構成材料の吸収特性を制御することにより複数の波長に応答する複数波長応答性を持つ光センサを得ることや、構成材料に光透過性を持たせることで光を透過する光センサを得ることが可能である。   In addition, the optical sensor of the present invention can obtain an optical sensor having a multi-wavelength response that responds to a plurality of wavelengths by controlling the absorption characteristics of the constituent materials, and can transmit light by making the constituent materials have optical transparency. An optical sensor can be obtained.

さらに本発明の光センサは基板や電極の光透過特性や光電変換領域の膜厚を制御することにより、同一センサ内部で光電変換効率に分布を持たせることが可能になったり、側面入射光に応答させることが可能になる。   Furthermore, the optical sensor of the present invention can control the light transmission characteristics of the substrate and the electrode and the film thickness of the photoelectric conversion region, so that the photoelectric conversion efficiency can be distributed within the same sensor, or the side incident light can be distributed. It becomes possible to respond.

本発明によれば、偏光応答特性、複数波長応答性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性等を付与することにより、高機能な光センサ及びそれを用いた電子デバイス
を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a highly functional optical sensor and an electronic device using the same by imparting polarization response characteristics, multiple wavelength response, light transmission, photoelectric conversion efficiency distribution, side irradiation light response, and the like. Can be provided.

上記課題を解決するためになされた請求項1の発明は、基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有し、入射光の偏光面の違いに応じて異なった電気信号を出力することができる偏光応答特性を有する光センサであることを特徴としたものであり、素子自体が偏光応答特性を持つことで偏光子が不要になり小型の偏光センサを得ることができる。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is directed to an electron including at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, fullerenes and / or carbon nanotubes. It has a photoelectric conversion region composed of a receptive material, and is a photosensor having a polarization response characteristic that can output different electrical signals according to the difference in the polarization plane of incident light. In addition, since the element itself has a polarization response characteristic, a polarizer is unnecessary and a small polarization sensor can be obtained.

上記課題を解決するためになされた請求項2の発明は、請求項1の発明の光センサにおいて、偏光応答特性を有する光センサからの電流出力の最大値をImaxと最小値をIminとしたときImax/Iminが2よりも大きいことを特徴としたものであり、素子自体が偏光応答特性を持つことで偏光子が不要になり小型の偏光センサを得ることができるとともに、2倍以上の出力比を有することで光スイッチ等の偏光を利用した電子デバイスの信頼性を向上させることが可能となる。   The invention of claim 2 made to solve the above-described problem is that, in the optical sensor of claim 1, when the maximum value of the current output from the optical sensor having polarization response characteristics is Imax and the minimum value is Imin. Imax / Imin is larger than 2, and the element itself has a polarization response characteristic, so that a polarizer is not required and a small polarization sensor can be obtained, and an output ratio more than doubled. It becomes possible to improve the reliability of an electronic device using polarized light such as an optical switch.

上記課題を解決するためになされた請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明の光センサにおいて、光電変換領域における電子供与性有機材料が配向されていることを特徴としたものであって、電子供与性有機材料を配向させることにより容易に光電変換領域に偏光吸収特性を付与することが可能となり、偏光応答特性を有する光センサを提供することが可能となる。この電子供与性有機材料の配向方法はラビング法、延伸法等、材料を配向させることができるものであればどのようなものであってもよいが、電子供与性有機材料として高分子材料を用いた場合などには、ラビング法を用いるのが簡便で好ましい。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 3 is characterized in that in the optical sensor of claim 1 or claim 2, the electron donating organic material in the photoelectric conversion region is oriented. In addition, by orienting the electron donating organic material, it is possible to easily impart polarization absorption characteristics to the photoelectric conversion region, and it is possible to provide an optical sensor having polarization response characteristics. The electron donating organic material may be oriented by any method that can orient the material, such as a rubbing method or stretching method, but a polymer material is used as the electron donating organic material. In such a case, it is convenient and preferable to use the rubbing method.

上記課題を解決するためになされた請求項4の発明は、基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有し、複数の異なる波長の光を吸収して、各々の波長に応じた異なる電気信号を出力することが可能で、かつそれぞれの電気信号が区別可能であることを特徴としたものである。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 4 is directed to an electron including at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, fullerenes and / or carbon nanotubes. It has a photoelectric conversion region made of a receptive material, absorbs light of multiple different wavelengths, and can output different electrical signals according to each wavelength, and each electrical signal can be distinguished It is characterized by being.

従来の光センサでは不連続で広範囲の波長領域の光を吸収し、検知することは困難であった。つまり検知する波長を複数個有し、その間の波長の光は検知せずに透過するといったことは難しかった。この原因は主に構成材料の光吸収特性によるものであるが、本発明の光センサでは、例えば電子供与性材料を2種類混合することによって全く異なる波長領域の光を同一素子で検出することも可能となる。また材料選択によってはある波長領域の光には全く反応しないようにすることも可能である。   It has been difficult for conventional optical sensors to absorb and detect light in a discontinuous and wide wavelength range. In other words, it is difficult to have a plurality of wavelengths to be detected and transmit light having a wavelength between them without detection. This cause is mainly due to the light absorption characteristics of the constituent materials. However, in the optical sensor of the present invention, for example, by mixing two types of electron donating materials, light in completely different wavelength regions can be detected by the same element. It becomes possible. Further, depending on the material selection, it is possible to prevent any reaction to light in a certain wavelength region.

上記課題を解決するためになされた請求項5の発明は、基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、光センサの少なくとも一部が光透過性を有することを特徴としたものである。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 5 is directed to an electron including at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, fullerenes and / or carbon nanotubes. An optical sensor having a photoelectric conversion region made of a receptive material, wherein at least a part of the optical sensor has optical transparency.

従来の光センサの多くは光透過性を有していないため、検出に用いた光は再利用することができなかった。そのため利用する光と検出するための光は分岐してやる必要があり、これにより光学部品数が多くなり、小型化が困難になるという課題を有していた。しかしながら本発明の光センサはそれ自身が光透過性を有しており検出に用いた光以外の光を透過することができるため、検出用に光を分岐する必要がなくなる。また従来のイメージセンサ等では原稿を照射するための光源と受光部とは別々に配置する必要があったが、本発
明の光センサは光透過性を有しているため光源部と積層することが可能となり、大幅な省スペース化も可能となる等、光センサに光透過性を付与することによってその応用範囲を各段に広げることが可能となる。
Many of the conventional photosensors do not have optical transparency, so that the light used for detection cannot be reused. For this reason, the light to be used and the light to be detected need to be branched, which increases the number of optical components and makes it difficult to reduce the size. However, the optical sensor of the present invention itself has optical transparency and can transmit light other than the light used for detection, so that it is not necessary to branch the light for detection. Further, in a conventional image sensor or the like, it is necessary to separately arrange a light source and a light receiving unit for irradiating a document. However, since the optical sensor of the present invention is light transmissive, it is laminated with the light source unit. It is possible to expand the application range to each stage by imparting optical transparency to the optical sensor, such as enabling a large space saving.

上記課題を解決するためになされた請求項6の発明は、基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、光センサの光電変換効率が同一センサ内で分布を有していることを特徴としたものであり、電気出力の大小により光が照射された位置の情報を得ること等ができる。例えばセンサ内の中心部の変換効率を高くし、中心から離れるに従って変換効率が低下するように作製した光センサを用いると、照射光の中心からのズレを電気出力の低下として検出することが可能となる。なお変換効率の分布は基板の透過率や電極の反射率に分布を持たせたり、光電変換領域の膜厚に分布を付与することで得ることができる。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 6 is directed to an electron including at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, fullerenes and / or carbon nanotubes. An optical sensor having a photoelectric conversion region made of a receptive material, characterized in that the photoelectric conversion efficiency of the optical sensor has a distribution within the same sensor. It is possible to obtain information on the position irradiated with. For example, when using a photosensor that increases the conversion efficiency at the center of the sensor and reduces the conversion efficiency as you move away from the center, it is possible to detect deviation from the center of the irradiated light as a decrease in electrical output. It becomes. The distribution of conversion efficiency can be obtained by giving a distribution to the transmittance of the substrate and the reflectance of the electrode, or by giving a distribution to the film thickness of the photoelectric conversion region.

上記課題を解決するためになされた請求項7の発明は、請求項6の発明の光センサにおいて、光電変換効率の分布がセンサの中心部から外側に向かって変化していることを特徴としたものであり電気出力の大小により光が照射された位置の情報を得ること等ができる。   The invention of claim 7 made to solve the above problem is characterized in that, in the optical sensor of the invention of claim 6, the distribution of photoelectric conversion efficiency changes from the center of the sensor toward the outside. It is possible to obtain information on the position irradiated with light depending on the magnitude of the electrical output.

上記課題を解決するためになされた請求項8の発明は、基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、電極及び光電変換領域の積層方向に対する側方部を受光部としたことを特徴としたものであり、光電変換素子の断面積と同等の大きさを有する非常に小型の光センサを得ることが可能となる。また互いに吸収波長の異なる光センサを複数個積層したものを用いることにより多波長応答性を有する光センサを容易に形成することが可能となる。   The invention of claim 8 made to solve the above-mentioned problems is an electron comprising at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, fullerenes and / or carbon nanotubes. An optical sensor having a photoelectric conversion region made of a receptive material, characterized in that a side portion with respect to the stacking direction of the electrode and the photoelectric conversion region is a light receiving portion, and a cross-sectional area of the photoelectric conversion element It is possible to obtain a very small optical sensor having the same size as the above. In addition, it is possible to easily form an optical sensor having multi-wavelength response by using a plurality of stacked optical sensors having different absorption wavelengths.

上記課題を解決するためになされた請求項9の発明は、請求項1から請求項8の光センサの機能のうち少なくとも2つを併せ持つことを特徴としたものであり、偏光応答特性、複数波長応答性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性のうち複数個の機能を一つのセンサが持つことで、小型で多機能なセンサを提供することが可能となる。   The invention of claim 9 made to solve the above-mentioned problems is characterized by having at least two of the functions of the photosensors of claims 1 to 8, and has a polarization response characteristic and a plurality of wavelengths. Since one sensor has a plurality of functions among responsiveness, light transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, and side irradiation light responsiveness, a small and multifunctional sensor can be provided.

上記課題を解決するためになされた請求項10の発明は、請求項1から9に記載の光センサにおいて、光電変換領域が少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料との混合物からなることを特徴としたものであり、高機能な光センサを、混合溶液を塗布法等によって簡単に作製することができる。   The invention of claim 10, which has been made to solve the above problems, is the photosensor according to claim 1, wherein the photoelectric conversion region has at least one kind of electron-donating organic material, fullerenes and / or carbon nanotubes. It is characterized by comprising a mixture with an electron-accepting material containing, and a highly functional optical sensor can be easily produced by applying a mixed solution or the like.

上記課題を解決するためになされた請求項11の発明は、請求項1から請求項10の発明の光センサを少なくとも一つ用いたことを特徴とする光論理素子としたものであり、偏光応答特性、波長選択性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性を有する光センサを各種組み合わせることにより小型、薄型の光論理素子を安価で作製することが可能となる。   The invention of claim 11 made to solve the above-mentioned problem is an optical logic element characterized by using at least one photosensor of the invention of claims 1 to 10 and has a polarization response. By combining various types of optical sensors having characteristics, wavelength selectivity, light transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, and side irradiation light responsiveness, a small and thin optical logic element can be manufactured at low cost.

上記課題を解決するためになされた請求項12の発明は、請求項4の発明の光センサを用いた電子デバイスであって、1つの波長で情報の書き込みを行い、それとは異なる波長で情報の消去を行うことが可能であることを特徴としたものであり、電子デバイスに照射する光の波長を変えるだけで簡単に情報の書き込み、消去が可能となり低コストで高精細な情報表示デバイス等を提供することが可能となる。   The invention of claim 12 made to solve the above-mentioned problem is an electronic device using the optical sensor of claim 4 of the invention, wherein information is written at one wavelength, and information is written at a different wavelength. It is characterized by being capable of erasing, and it is possible to easily write and erase information simply by changing the wavelength of the light irradiating the electronic device. It becomes possible to provide.

以下、本発明の光センサの実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the optical sensor of the present invention will be described in detail.

本発明の光センサに用いられる基板は、機械的、熱的強度を有し、照射光を有効に透過するものであれば特に限定されるものではない。   The substrate used in the optical sensor of the present invention is not particularly limited as long as it has mechanical and thermal strength and effectively transmits the irradiation light.

例えば、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルスルフォン、ポリフッ化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリアクリレート、非晶質ポリオレフィン、フッ素系樹脂等の可視光領域について透明度の高い材料を用いることができ、これらの材料をフィルム化した可撓性を有するフレキシブル基板であっても良い。また、高分子材料を使用する場合には、その耐湿性を向上させる目的で、透過率を極力損なわない程度に各種金属、金属酸化物等からなる被膜を基板の外表面に設けることも有効である。   For example, a material having high transparency in the visible light region such as glass, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyether sulfone, polyvinyl fluoride, polypropylene, polyethylene, polyacrylate, amorphous polyolefin, and fluorine resin should be used. The flexible substrate which has the flexibility which made these materials into a film may be sufficient. In the case of using a polymer material, it is also effective to provide a coating made of various metals, metal oxides, etc. on the outer surface of the substrate to the extent that the transmittance is not impaired as much as possible in order to improve its moisture resistance. is there.

さらに、用途によっては特定波長のみを透過する材料、光−光変換機能をもった特定の波長の光へ変換する材料などであってもよい。また、基板は絶縁性であることが好ましいが、特に限定されるものではなく、光センサの動作を妨げない範囲、或いは用途によって、導電性を有していても良い。   Further, depending on the application, a material that transmits only a specific wavelength, a material that converts light of a specific wavelength having a light-light conversion function, or the like may be used. Further, the substrate is preferably insulative, but is not particularly limited, and may have conductivity depending on a range that does not hinder the operation of the optical sensor or an application.

光センサの電極のうち少なくとも一つは光を透過する必要があり、この透過率が光電変換特性に大きく影響する。そのため上記光センサの陽極としては、ITO、ATO(SbをドープしたSnO2)、AZO(AlをドープしたZnO)等をスパッタリング法や、イオンビーム蒸着法等によって成膜したいわゆる一般に透明電極と呼ばれるものが用いられる。また補助電極の併設等によりAu、Ag等の各種金属材料薄膜や比較的高抵抗の塗布型ITO、さらにはPEDOT(Poly(3,4−ethylenedioxythiophene))やPPV(Poly(phenylene vinylene))、ポリフルオレン等の各種導電性高分子化合物等も用いることができる。 At least one of the electrodes of the optical sensor needs to transmit light, and this transmittance greatly affects the photoelectric conversion characteristics. Therefore, as the anode of the above-mentioned optical sensor, ITO, ATO (Sb-doped SnO 2 ), AZO (Al-doped ZnO) or the like is generally called a transparent electrode formed by sputtering or ion beam evaporation. Things are used. In addition, by providing auxiliary electrodes, various metal material thin films such as Au and Ag, relatively high resistance coating type ITO, PEDOT (Poly (3,4-ethylene dioxy thiophene)), PPV (Poly (phenylene vinyl)), poly Various conductive polymer compounds such as fluorene can also be used.

電子供与性有機材料としては、フェニレンビニレン、フルオレン、カルバゾール、インドール、ピレン、ピロール、ピコリン、チオフェン、アセチレン、ジアセチレン等の重合体や、その誘導体が用いられる。また、高分子に限定されるものではなく、例えばポルフィン、テトラフェニルポルフィン銅、フタロシアニン、銅フタロシアニン、チタニウムフタロシアニンオキサイド等のポリフィリン化合物や、1,1−ビス{4−(ジ−P−トリルアミノ)フェニル}シクロヘキサン、4,4’,4’’−トリメチルトリフェニルアミン、N,N,N’,N’−テトラキス(P−トリル)−P−フェニレンジアミン、1−(N,N−ジ−P−トリルアミノ)ナフタレン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)−2−2’−ジメチルトリフェニルメタン、N,N,N’,N’−テトラフェニル−4,4’−ジアミノビフェニル、N、N’−ジフェニル−N、N’−ジ−m−トリル−4、4’−ジアミノビフェニル、N−フェニルカルバゾ−ル等の芳香族第三級アミンや、4−ジ−P−トリルアミノスチルベン、4−(ジ−P−トリルアミノ)−4’−〔4−(ジ−P−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン等のスチルベン化合物や、トリアゾール誘導体や、オキサジアゾール誘導体や、イミダゾール誘導体や、ポリアリールアルカン誘導体や、ピラゾリン誘導体や、ピラゾロン誘導体や、フェニレンジアミン誘導体や、アニールアミン誘導体や、アミノ置換カルコン誘導体や、オキサゾール誘導体や、スチリルアントラセン誘導体や、フルオレノン誘導体や、ヒドラゾン誘導体や、シラザン誘導体や、ポリシラン系アニリン系共重合体や、高分子オリゴマーや、スチリルアミン化合物や、芳香族ジメチリディン系化合物や、ポリ3−メチルチオフェン等も用いられる。   As the electron-donating organic material, polymers such as phenylene vinylene, fluorene, carbazole, indole, pyrene, pyrrole, picoline, thiophene, acetylene, diacetylene, and derivatives thereof are used. Moreover, it is not limited to a polymer, for example, porphyrin compounds such as porphine, tetraphenylporphine copper, phthalocyanine, copper phthalocyanine, titanium phthalocyanine oxide, 1,1-bis {4- (di-P-tolylamino) phenyl } Cyclohexane, 4,4 ′, 4 ″ -trimethyltriphenylamine, N, N, N ′, N′-tetrakis (P-tolyl) -P-phenylenediamine, 1- (N, N-di-P— Tolylamino) naphthalene, 4,4′-bis (dimethylamino) -2-2′-dimethyltriphenylmethane, N, N, N ′, N′-tetraphenyl-4,4′-diaminobiphenyl, N, N ′ Aromatic tertiary compounds such as -diphenyl-N, N'-di-m-tolyl-4,4'-diaminobiphenyl, N-phenylcarbazole Stilbene compounds such as amines, 4-di-P-tolylaminostilbene, 4- (di-P-tolylamino) -4 ′-[4- (di-P-tolylamino) styryl] stilbene, triazole derivatives, oxa Diazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, annealed amine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives Further, hydrazone derivatives, silazane derivatives, polysilane aniline copolymers, polymer oligomers, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, poly-3-methylthiophene, and the like are also used.

電子受容性材料としてはC60、C70をはじめとするフラーレンやカーボンナノチューブ、及びそれらの誘導体や、1,3−ビス(4−tert−ブチルフェニル−1,3,4−オキサジアゾリル)フェニレン(OXD−7)等のオキサジアゾール誘導体、アント
ラキノジメタン誘導体、ジフェニルキノン誘導体等が用いられる。
As an electron-accepting material, fullerenes such as C60 and C70, carbon nanotubes, derivatives thereof, 1,3-bis (4-tert-butylphenyl-1,3,4-oxadiazolyl) phenylene (OXD-7) Oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane derivatives, diphenylquinone derivatives and the like.

陰極としては発生した電荷を外部回路に効率良く取り出すことができるものであればどのようなものであってもよく、Al、Au、Cr、Cu、In、Mg、Ni、Si、Ti等の金属や、Mg−Ag合金、Mg−In合金等のMg合金や、Al−Li合金、Al−Sr合金、Al−Ba合金等のAl合金等が用いられる。また短絡電流の改善を図るため、有機層と陰極との間に金属酸化物、金属弗化物等を導入する手法も好適に用いられる。   Any cathode can be used as long as the generated charge can be efficiently taken out to an external circuit. A metal such as Al, Au, Cr, Cu, In, Mg, Ni, Si, Ti, etc. Alternatively, Mg alloys such as Mg—Ag alloy and Mg—In alloy, Al alloys such as Al—Li alloy, Al—Sr alloy, and Al—Ba alloy are used. In order to improve the short circuit current, a method of introducing a metal oxide, a metal fluoride or the like between the organic layer and the cathode is also preferably used.

このような材料を用いて有機光電変換素子を作製するときの作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法等の各種真空プロセスや、スピンコート法、ディッピング法等のウエットプロセス等どのようなものであってもよく、使用する材料、構成等に合ったものを任意に選択することが可能である。   As a manufacturing method when an organic photoelectric conversion element is manufactured using such a material, there are various vacuum processes such as a vacuum deposition method and a sputtering method, and wet processes such as a spin coating method and a dipping method. It may be possible, and it is possible to arbitrarily select a material suitable for the material, configuration, etc. to be used.

以下、本発明の実施の形態について、各図に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
本発明の実施の形態1における光センサについて述べる。
(Embodiment 1)
An optical sensor according to Embodiment 1 of the present invention will be described.

素子構成は図5の従来のものと同一である。   The element configuration is the same as that of the prior art shown in FIG.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、光電変換領域3が入射光の偏光面の違いに応じて異なる電気信号を出力することができる偏光応答特性を有している点である。有機光電変換素子を用いた光センサでは、電子供与性有機材料に光が吸収されてはじめて光電変換することができる。そのため電子供与性材料を一軸配向し、吸収のモーメントを揃えると偏光面によって吸収される光とされない光ができ、入射光の偏光面に応じて異なる電気信号を出力する偏光応答特性を付与することが可能となる。通常の高分子材料等からなる電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域はスピンコート法等によって形成されるため形成された光電変換領域はその吸収特性が等方的であり、吸収特性はどの方向の光に対しても同様である。しかしながらこの電子供与性有機材料をラビング法や延伸法によって一軸配向させることによって光の吸収モーメントを一方向に揃えることでこの吸収のモーメントと同じ偏光面を持つ光のみを吸収させることが可能になる。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that the photoelectric conversion region 3 has a polarization response characteristic that can output different electrical signals according to the difference in the polarization plane of incident light. . In an optical sensor using an organic photoelectric conversion element, photoelectric conversion can be performed only when light is absorbed by the electron donating organic material. Therefore, if the electron donating material is uniaxially oriented and the moments of absorption are aligned, light that cannot be absorbed by the polarization plane can be generated, and a polarization response characteristic that outputs different electrical signals depending on the polarization plane of incident light is given. Is possible. A photoelectric conversion region formed of an electron-donating organic material made of a normal polymer material and the like and an electron-accepting material containing fullerenes and / or carbon nanotubes is formed by a spin coat method or the like, and thus formed photoelectric conversion. The region has an isotropic absorption characteristic, and the absorption characteristic is the same for light in any direction. However, by aligning the light absorption moment in one direction by uniaxially orienting this electron-donating organic material by rubbing or stretching, it is possible to absorb only light having the same plane of polarization as this absorption moment. .

なおこの偏光応答特性を有効に利用するためには、光センサからの電流出力Imax/Iminを2以上とすることが好ましく、これにより偏光面の違いを利用した光スイッチの信頼性の向上等、検出の信頼性の高い光センサを得ることができる。   In order to effectively use this polarization response characteristic, it is preferable to set the current output Imax / Imin from the optical sensor to 2 or more, thereby improving the reliability of the optical switch using the difference in polarization plane, etc. An optical sensor with high detection reliability can be obtained.

(実施の形態2)
本発明の実施の形態2における光センサについて述べる。
(Embodiment 2)
An optical sensor according to Embodiment 2 of the present invention will be described.

素子構成は図5の従来のものと同一である。   The element configuration is the same as that of the prior art shown in FIG.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、光電変換領域が複数の異なる波長の光を吸収し、各々の波長に応じた異なる電気信号を出力することが可能で、かつそれぞれの電気信号が区別可能である点である。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that the photoelectric conversion region absorbs light of a plurality of different wavelengths and can output different electric signals according to each wavelength, and each electric The signal is distinguishable.

上述したように、従来の光センサはでは、同一センサで複数の波長領域の光を個別に検出することは困難であった。そのため複数の波長領域の光を検出するためには、その数に応じた光センサを配置する必要があり、省スペース化の妨げやコスト高を招くという課題を有していた。   As described above, it has been difficult for conventional optical sensors to individually detect light in a plurality of wavelength regions using the same sensor. For this reason, in order to detect light in a plurality of wavelength regions, it is necessary to arrange optical sensors corresponding to the number of light beams, and there is a problem that space saving is hindered and cost is increased.

本発明の光センサはこの課題を解決するものであり、電子供与性有機材料の吸収特性を制御したり、場合によっては電子供与性有機材料を複数混合することによって異なる波長領域の光を検出することが可能となる。さらに吸収波長の異なる複数の電子供与性有機材料を用いた場合、入射光の波長に応じて開放端電圧が変化することから、この違いを利用し入射光を区別する光センサを得ることもできる。   The optical sensor of the present invention solves this problem, and detects light in different wavelength regions by controlling the absorption characteristics of the electron-donating organic material or, in some cases, mixing a plurality of electron-donating organic materials. It becomes possible. Furthermore, when a plurality of electron-donating organic materials having different absorption wavelengths are used, the open-end voltage changes according to the wavelength of the incident light. Therefore, it is possible to obtain an optical sensor that distinguishes incident light using this difference. .

またこの光センサを使用することにより一つの素子で情報の書き込み、消去を担う電子デバイスを作製することも可能である。例えば波長αを吸収することで情報を表示する信号を出力し、波長βで消去する信号を出力する光センサをマトリクス状に配置し、光透過性を有する表示素子と組み合わせることで瞬時に入力、消去が可能な情報表示デバイスを提供することができる。すなわちこの情報表示デバイスに波長αの光を出すことができる書き込み手段を用いて情報入力表示デバイス上に情報を書き込むと光センサがこの光を感知して情報を表示することができ、またその後波長βの光を出すことができる消去手段を用いて情報表示デバイス上の情報をなぞると光センサがこの光を感知して情報を消去することが可能となる。このように一つの光センサが異なる波長の光を別々に検知することができれば、配置する光センサの数を低減することができるため高精細の情報表示デバイスを提供すること等が可能となる。   In addition, by using this optical sensor, it is possible to manufacture an electronic device that performs writing and erasing of information with a single element. For example, a signal that displays information by absorbing the wavelength α is output, an optical sensor that outputs a signal to be erased at the wavelength β is arranged in a matrix, and input instantaneously by combining with a display element having optical transparency, An information display device that can be erased can be provided. That is, when information is written on the information input display device using a writing means capable of emitting light of wavelength α to the information display device, the light sensor can detect the light and display the information, and then display the wavelength. When information on the information display device is traced using an erasing means capable of emitting β light, the light sensor can detect the light and erase the information. As described above, if one optical sensor can separately detect light of different wavelengths, the number of optical sensors to be arranged can be reduced, so that a high-definition information display device can be provided.

(実施の形態3)
本発明の実施の形態3における光センサについて述べる。
(Embodiment 3)
An optical sensor according to Embodiment 3 of the present invention will be described.

図1は本発明の実施の形態3における光センサの要部断面図である。図1において基板1、電極2、光電変換領域3、陰極6という構成は従来例と同様である。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of an optical sensor according to Embodiment 3 of the present invention. In FIG. 1, the configuration of the substrate 1, the electrode 2, the photoelectric conversion region 3, and the cathode 6 is the same as that of the conventional example.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、光センサの一部分が光を透過し、さらに/または光を検出して電気信号を出力することが可能な光透過部22を有している点である。有機光電変換素子を形成する材料の多くは光透過性を有している。通常の素子で光透過性がないのは金属材料を用いている陰極のみであるが、この陰極も10nm程度の金属超薄膜やインジウム酸化物(ITO)を用いることにより光透過性を付与することが可能であり、このような陰極を用いることで光透過部22を有した光透過性の光センサを形成することができる。このような光透過性の光センサを用いれば光を検出するために一部の光を吸収し、残りの光を透過することができ、光の有効利用が可能となる。なお本実施の形態では光センサの一部分が光透過部22である場合について説明を行ったが、光センサ全体が光透過してもなんら問題はない。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that a part of the optical sensor transmits light and / or has a light transmission part 22 that can detect light and output an electric signal. It is a point. Many of the materials forming the organic photoelectric conversion element have light transmittance. In a normal element, only a cathode using a metal material has no light transmission, but this cathode also provides light transmission by using a metal ultra-thin film of about 10 nm or indium oxide (ITO). By using such a cathode, it is possible to form a light transmissive optical sensor having the light transmissive portion 22. If such a light-transmitting optical sensor is used, a part of the light can be absorbed and the remaining light can be transmitted in order to detect the light, and the light can be effectively used. In the present embodiment, the case where a part of the optical sensor is the light transmitting portion 22 has been described. However, there is no problem even if the entire optical sensor transmits light.

またこのような光透過性の光センサを用いれば従来広く用いられてきたイメージセンサの小型化も可能になる。上述したように、図6に示した従来のイメージセンサでは、受光部が光透過性を持たないため、受光部に対して斜め方向に光源を配置し原稿を照射する必要があった。そのため受光部と原稿とは必然的に距離ができてしまい、解像度を保つためにセルフォックレンズ等の各種光学系が必要となっていた。このような構成のため、従来のイメージセンサは必要以上に大きなものであった。   Further, if such a light transmissive optical sensor is used, it is possible to reduce the size of an image sensor that has been widely used. As described above, in the conventional image sensor shown in FIG. 6, since the light receiving portion does not have light transmittance, it is necessary to arrange the light source obliquely with respect to the light receiving portion and irradiate the original. For this reason, the light receiving unit and the original are inevitably separated from each other, and various optical systems such as a SELFOC lens are necessary to maintain the resolution. Due to such a configuration, the conventional image sensor is larger than necessary.

しかしながら本実施の形態3における光透過性の光センサを使用すれば、光源と受光部とを積層し、受光部越しに原稿を照射して、原稿からの反射光を受光部によって読み取る新しい方式のイメージセンサを実現することが可能となる。   However, if the light-transmitting optical sensor in the third embodiment is used, a light source and a light receiving unit are stacked, the original is irradiated through the light receiving unit, and the reflected light from the original is read by the light receiving unit. An image sensor can be realized.

図2は本発明の実施の形態3における光センサを用いたイメージセンサの要部断面図である。ここで11は基板、12は光源、13は光センサ、14は原稿である。このように光透過性の光センサ13を用いることによって光源12と光センサ13とを積層すること
が可能となり、場合によってはセルフォックレンズ8等も不要になるため大幅な小型、薄型化が可能になる。
FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part of an image sensor using the optical sensor according to Embodiment 3 of the present invention. Here, 11 is a substrate, 12 is a light source, 13 is an optical sensor, and 14 is a document. By using the light-transmitting optical sensor 13 in this way, the light source 12 and the optical sensor 13 can be stacked. In some cases, the SELFOC lens 8 or the like is not required, and thus the size and thickness can be significantly reduced. become.

(実施の形態4)
本発明の実施の形態4における光センサについて述べる。
(Embodiment 4)
An optical sensor according to Embodiment 4 of the present invention will be described.

素子構成は図5の従来のものと同一である。   The element configuration is the same as that of the prior art shown in FIG.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、同一センサ内で光電変換効率に分布がある点である。これにより光センサから出力される電気信号の強弱により、センサのどの部分に光照射されているのかを判別することが可能となる。例えばセンサの中心部が最も変換効率が高く、中心から離れるに従って変換効率が低下するようにセンサを作製した場合、入射光の中心からのずれを電気信号の減衰として検出することが可能となる。このような変換効率の分布は基板の透過率や、光電変換領域の膜厚に分布を付与する方法で実現可能である。なお本発明における光電変換効率の分布とは意図的につくりだすものを指し、デバイス作製上のバラツキでやむを得ず光電変換効率に分布が生じるものについては含まない。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that the photoelectric conversion efficiency is distributed within the same sensor. Accordingly, it is possible to determine which part of the sensor is irradiated with light based on the strength of the electrical signal output from the optical sensor. For example, when the sensor is fabricated such that the center of the sensor has the highest conversion efficiency and the conversion efficiency decreases with increasing distance from the center, the deviation from the center of the incident light can be detected as the attenuation of the electrical signal. Such a distribution of conversion efficiency can be realized by a method of giving a distribution to the transmittance of the substrate and the film thickness of the photoelectric conversion region. In addition, the distribution of photoelectric conversion efficiency in the present invention refers to what is intentionally created, and does not include the case where distribution in the photoelectric conversion efficiency is unavoidable due to variations in device fabrication.

(実施の形態5)
本発明の実施の形態5における光センサについて述べる。
(Embodiment 5)
An optical sensor according to Embodiment 5 of the present invention will be described.

素子構成は図5の従来のものと同一である。   The element configuration is the same as that of the prior art shown in FIG.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、電極及び光電変換領域の積層方向に対する側方部より照射される光を検出する点である。通常の光センサでは入射光はまず基板及び電極を通過した後に光電変換領域へと到達する。そのため基板や電極の吸収による光ロスを防ぐことができない他、電極や光電変換領域といった各構成要素の小型化にも限界があった。しかしながら本発明の光センサは素子作製時の各構成要素の積層方向に対して側方から光を照射することによってこれらの課題を解決することができる。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that it detects the light irradiated from the side portion with respect to the stacking direction of the electrode and the photoelectric conversion region. In an ordinary optical sensor, incident light first reaches the photoelectric conversion region after passing through the substrate and the electrode. For this reason, light loss due to absorption of the substrate and electrodes cannot be prevented, and there is a limit to miniaturization of each component such as electrodes and photoelectric conversion regions. However, the optical sensor of the present invention can solve these problems by irradiating light from the side with respect to the stacking direction of each component at the time of device fabrication.

これは例えば通常の光センサと同様に基板上に陽極、光電変換領域、陰極の順に積層したものを用い、側方から光照射するだけで実現可能である。これにより入射光は直接光電変換領域へと到達し光起電力を発生することが可能となる。特にこのような構成の光センサの場合には電極に光透過性は不要であり、全ての電極を反射率の高い金属材料で形成することも可能である。さらにこの光センサを用いることにより、狭ピッチでのRGB光センサの配置等も可能となる。   This can be realized, for example, by using a layer in which an anode, a photoelectric conversion region, and a cathode are stacked in this order on a substrate in the same manner as a normal optical sensor and irradiating light from the side. As a result, the incident light directly reaches the photoelectric conversion region and can generate a photovoltaic force. In particular, in the case of the optical sensor having such a configuration, the electrodes need not be light transmissive, and all the electrodes can be formed of a metal material having high reflectance. Furthermore, by using this optical sensor, it is possible to arrange RGB optical sensors at a narrow pitch.

(実施の形態6)
本発明の実施の形態6における光センサについて述べる。
(Embodiment 6)
An optical sensor according to Embodiment 6 of the present invention will be described.

素子構成は図5の従来のものと同一である。   The element configuration is the same as that of the prior art shown in FIG.

本発明の光センサが従来例と異なっているのは、偏光応答特性、複数波長応答性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性のうち複数個の機能を一つのセンサが有している点である。これにより小型で多機能な光センサを得ることができる。例えば偏光応答特性と光透過性を併せ持つセンサでは、光路の途中で偏光面のずれを確認することが可能になったり、また複数波長応答性と光透過性を併せ持つセンサでは応答しない波長の光を透過して、その光を別の用途に使用することができる。このように一つのセンサに複数個の機能を付与することにより、従来のただ光を検出するだけのセンサではなく、光を有効に利用したセンサを提供することが可能となる。   The optical sensor of the present invention is different from the conventional example in that one sensor has a plurality of functions among polarization response characteristics, multiple wavelength responsiveness, light transmission, photoelectric conversion efficiency distribution, and lateral illumination light responsiveness. It is a point. Thereby, a small and multifunctional optical sensor can be obtained. For example, in a sensor having both polarization response characteristics and light transmission, it becomes possible to check the deviation of the polarization plane in the middle of the optical path, and in a sensor having both multi-wavelength response and light transmission, light of a wavelength that does not respond. Once transmitted, the light can be used for other applications. Thus, by providing a plurality of functions to one sensor, it is possible to provide a sensor that effectively uses light, instead of a conventional sensor that merely detects light.

(実施の形態7)
本発明の実施の形態7における光センサについて述べる。
(Embodiment 7)
An optical sensor according to Embodiment 7 of the present invention will be described.

図3は本発明の実施の形態7における光センサの要部断面図である。図3において基板1、陽極2、陰極6という構成は従来例と同様である。   FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of an optical sensor according to Embodiment 7 of the present invention. In FIG. 3, the configuration of the substrate 1, the anode 2, and the cathode 6 is the same as the conventional example.

本実施の形態7の光センサが従来と異なっているのは、偏光応答特性、複数波長応答特性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答特性等を有する光センサの光電変換領域17が、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含んだ電子受容性材料16と電子供与性有機材料15との混合物からなっている点である。   The optical sensor of the seventh embodiment is different from the conventional one in that the photoelectric conversion region of the optical sensor having polarization response characteristics, multiple wavelength response characteristics, light transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, side irradiation light response characteristics, etc. Reference numeral 17 denotes a point made of a mixture of an electron accepting material 16 containing fullerenes and / or carbon nanotubes and an electron donating organic material 15.

ここで、「混合」とは、液体または固体状の材料を容器に入れ、必要であれば溶剤を加えた上で攪拌などすることで混ざり合った状態をいい、これをスピンコート法等によって成膜したものも含む。   Here, “mixing” refers to a state where liquid or solid materials are mixed in a container and, if necessary, added with a solvent and stirred to form a mixture by spin coating or the like. Also includes membranes.

このような混合型の光センサは光電変換領域17の全体で光吸収、励起、電子の授受を行うことで、非常に簡単な構造でありながら、比較的高い変換効率を示すことから、さらに変換効率を向上させた光センサを提供することも可能である。   Such a mixed-type optical sensor absorbs light, excites, and exchanges electrons throughout the photoelectric conversion region 17 and exhibits a relatively high conversion efficiency while having a very simple structure. It is also possible to provide an optical sensor with improved efficiency.

(実施の形態8)
本発明の実施の形態8における光論理素子について述べる。
(Embodiment 8)
An optical logic element according to Embodiment 8 of the present invention will be described.

本発明の光論理素子は実施の形態1から4に記載の偏光応答特性、波長選択性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性またはそれらを併せ持つ光センサを少なくとも1つ用いており、これにより素子への光入力によって異なる信号を出力することが可能となる。例えば2つの波長に応答し、それぞれ異なった出力を発生する光センサを用いた場合、応答する波長の光が1つ照射されるか2つ照射されるかによってAND、OR等の出力を得ることができる。また用いる光センサが光透過性を有している場合は、それぞれの光センサを積層することでさらに複雑な論理回路を設計することも可能である。   The optical logic element of the present invention uses at least one of the polarization response characteristics, wavelength selectivity, light transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, side irradiation light response characteristics described in the first to fourth embodiments, or a combination of these. This makes it possible to output different signals depending on the optical input to the element. For example, when using an optical sensor that responds to two wavelengths and generates different outputs, outputs of AND, OR, etc. are obtained depending on whether one or two light beams with the corresponding wavelength are emitted. Can do. In addition, in the case where the optical sensor to be used has optical transparency, it is possible to design a more complicated logic circuit by stacking the optical sensors.

(実施の形態9)
本発明の実施の形態9における電子デバイスについて述べる。
(Embodiment 9)
An electronic device according to Embodiment 9 of the present invention will be described.

図4(a)及び(b)は光センサと表示素子とを組み合わせた電子デバイスの平面図である。   4A and 4B are plan views of an electronic device in which an optical sensor and a display element are combined.

図4(a)において18は書き込み用光センサ、19は消去用光センサ、20は表示素子である。この電子デバイスにおいて、情報書き込み手段から照射された書き込み用光線は、表示素子20を透過した後書き込み用光センサ18によって検知され、この情報に基づき表示素子20の対応する画素を点灯させる。これにより任意の手書きの情報を表示素子20に表示させることが可能である。またこの情報を消去する場合には、書き込みの場合と同様にして情報消去手段からの光を消去用光センサ19に照射する。   In FIG. 4A, 18 is a writing optical sensor, 19 is an erasing optical sensor, and 20 is a display element. In this electronic device, the writing light beam irradiated from the information writing means is detected by the writing light sensor 18 after passing through the display element 20, and the corresponding pixel of the display element 20 is turned on based on this information. Thereby, arbitrary handwritten information can be displayed on the display element 20. When erasing this information, the erasing optical sensor 19 is irradiated with light from the information erasing means as in the case of writing.

以上のような電子デバイスによって手書き入力にも対応する情報表示デバイスを提供することが可能ではあるが、書き込み用と消去用の2つのセンサを別々に配置する必要があるため高精細化に問題がある。そこで本実施の形態の電子デバイスでは図4(b)に示すように複数の異なる波長の光を吸収し、各々の波長に応じた異なる電気信号を出力することが可能な光センサを使用している。図4(b)において21は2つの異なる波長に個別に応答することが可能な2波長応答センサである。この2波長応答センサ21は1つのセ
ンサで書き込みと消去の2種類の光に個別に応答することができるためセンサの数を半分に減らすことができ、受光エリアを小さくすることが可能であるため表示素子20も含めた高精細化に対応することができる。
Although it is possible to provide an information display device that supports handwriting input by the electronic device as described above, it is necessary to separately arrange two sensors for writing and erasing, which causes a problem in high definition. is there. Therefore, in the electronic device of the present embodiment, as shown in FIG. 4B, an optical sensor that can absorb light of a plurality of different wavelengths and output different electrical signals according to each wavelength is used. Yes. In FIG. 4B, reference numeral 21 denotes a two-wavelength response sensor capable of individually responding to two different wavelengths. Since this two-wavelength response sensor 21 can individually respond to two types of light of writing and erasing with one sensor, the number of sensors can be reduced to half and the light receiving area can be reduced. It is possible to cope with high definition including the display element 20.

ガラス基板上に、スパッタリング法により膜厚150nmのITO膜を成膜した後、そのITO膜上部にレジスト材(東京応化製、OFPR−800)をスピンコート法により塗布して厚さ5μmのレジスト膜を形成し、マスキング、露光、現像してレジストを所定の形状にパターニングした。次にこのガラス基板を60℃、18Nの塩酸水溶液中に浸漬し、レジスト膜が形成されていない部分のITO膜をエッチングした後水洗し、最後にレジスト膜も除去することで所定のパターンのITO膜からなる第一電極を有するガラス基板を得た。   An ITO film having a film thickness of 150 nm is formed on a glass substrate by sputtering, and a resist material (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., OFPR-800) is applied on the ITO film by spin coating to form a resist film having a thickness of 5 μm. The resist was patterned into a predetermined shape by masking, exposing and developing. Next, this glass substrate is immersed in an aqueous hydrochloric acid solution of 18N at 60 ° C., the ITO film where the resist film is not formed is etched, washed with water, and finally the resist film is removed to remove the ITO film of a predetermined pattern. A glass substrate having a first electrode made of a film was obtained.

次に、これらのガラス基板を、洗剤(フルウチ化学社製、セミコクリーン)による5分間の超音波洗浄、純水による10分間の超音波洗浄、アンモニア水1(体積比)に対して過酸化水素水1と水5を混合した溶液による5分間の超音波洗浄、70℃の純水による5分間の超音波洗浄の順に洗浄処理した後、窒素ブロアーでガラス基板に付着した水分を除去し、さらに250℃に加熱して乾燥した。   Next, these glass substrates were subjected to ultrasonic cleaning for 5 minutes with detergent (Semico Clean, manufactured by Furuuchi Chemical Co., Ltd.), ultrasonic cleaning for 10 minutes with pure water, and hydrogen peroxide against 1 ammonia (volume ratio). After 5 minutes of ultrasonic cleaning with a mixture of water 1 and 5 and 5 minutes of ultrasonic cleaning with pure water at 70 ° C., water attached to the glass substrate is removed with a nitrogen blower. Heat to 250 ° C. to dry.

続いてこの基板上にポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネート(PEDT/PSS)を0.45μmのフィルターを通して滴下し、スピンコート法によって均一に塗布した。これを200℃のクリーンオーブン中で10分間加熱することでバッファ層を形成した。   Subsequently, poly (3,4) ethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDT / PSS) was dropped on the substrate through a 0.45 μm filter and uniformly applied by spin coating. This was heated in a clean oven at 200 ° C. for 10 minutes to form a buffer layer.

次に、ポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)と[5,6]−フェニル C61 ブチリックアシッドメチルエステル([5,6]−PCBM)の重量比1:4のクロロベンゼン溶液を垂直スピンコート法を用い、溶液が基板内で一方向のみに塗り広げられるように成膜し、その後100℃のクリーンオーブン中で30分間加熱処理することで一方向に配向した約100nmの光電変換領域を形成した。   Next, poly (2-methoxy-5- (2′-ethylhexyloxy) -1,4-phenylenevinylene) (MEH-PPV) and [5,6] -phenyl C61 butyric acid methyl ester ([5,6 ] -PCBM) 1: 4 chlorobenzene solution was formed using the vertical spin coating method so that the solution was spread in only one direction in the substrate, and then heated in a clean oven at 100 ° C. for 30 minutes. By processing, a photoelectric conversion region of about 100 nm oriented in one direction was formed.

最後に、この光電変換領域上部に0.27mPa(=2×10-6Torr)以下の真空度まで減圧した抵抗加熱蒸着装置内にて、LiFを約1nm、続いてAlを約100nmの膜厚で成膜し、偏光応答特性を有する光センサを得た。 Finally, the film thickness of LiF is about 1 nm, and then Al is about 100 nm in a resistance heating vapor deposition apparatus whose pressure is reduced to 0.27 mPa (= 2 × 10 −6 Torr) or less above the photoelectric conversion region. The optical sensor having a polarization response characteristic was obtained.

この光センサに偏光を照射したことろ、Imax/Imin=3であり、偏光面の回転に応じて電気出力が変化する偏光応答特性を有することが確認できた。   When this optical sensor was irradiated with polarized light, Imax / Imin = 3, and it was confirmed that it had a polarization response characteristic in which the electrical output changes according to the rotation of the polarization plane.

実施例1と同様にしてバッファ層まで形成した後、ポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)と[5,6]−フェニル C61 ブチリックアシッドメチルエステル([5,6]−PCBM)の重量比1:4のクロロベンゼン溶液を通常のスピンコート法によって塗布し、約100nmの光電変換領域を形成した。この上部に0.27mPa(=2×10-6Torr)以下の真空度まで減圧した抵抗加熱蒸着装置内にて、LiFを約1nm、続いてAuを約10nmの膜厚で成膜し、光透過性を有する光センサを得た。この時の素子部の光透過性は500nm付近で約30%程度であった。この光センサにNd−YAGレーザの2倍波(532nm)を照射したところ、センサ部では光起電力を発生しつつ、残りの光は素子部を通過し背面から出てきており、光透過性の光センサができていることが確認できた。 After the buffer layer was formed in the same manner as in Example 1, poly (2-methoxy-5- (2′-ethylhexyloxy) -1,4-phenylenevinylene) (MEH-PPV) and [5,6] -phenyl A chlorobenzene solution of C61 butyric acid methyl ester ([5,6] -PCBM) in a weight ratio of 1: 4 was applied by an ordinary spin coating method to form a photoelectric conversion region of about 100 nm. On top of this, LiF is deposited to a thickness of about 1 nm and then Au is deposited to a thickness of about 10 nm in a resistance heating vapor deposition apparatus depressurized to a vacuum of 0.27 mPa (= 2 × 10 −6 Torr) or less. A transparent optical sensor was obtained. At this time, the light transmittance of the element portion was about 30% around 500 nm. When this optical sensor was irradiated with a second harmonic wave (532 nm) of an Nd-YAG laser, a photoelectromotive force was generated in the sensor part, and the remaining light passed through the element part and came out from the back surface, and thus the optical transparency. It was confirmed that the optical sensor was completed.

本発明にかかる光センサは、偏光応答特性、複数波長応答性、光透過性、光電変換効率分布、側方照射光応答性を有し、各種位置検出や光通信さらには光論理素子等に用いられる光センサとして有用である。   The optical sensor according to the present invention has polarization response characteristics, multiple wavelength responsiveness, light transmittance, photoelectric conversion efficiency distribution, and lateral illumination light responsiveness, and is used for various position detection, optical communication, and optical logic elements. It is useful as an optical sensor.

本発明の実施の形態3における光センサの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the optical sensor in Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態3における光センサを用いたイメージセンサの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the image sensor using the optical sensor in Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態7における光センサの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the optical sensor in Embodiment 7 of this invention (a),(b)共に、本発明の実施の形態9における光センサと表示素子とを組み合わせた電子デバイスの平面図(A), (b) is a top view of the electronic device which combined the optical sensor and display element in Embodiment 9 of this invention 一般的な有機光電変換素子の要部断面図Cross section of the main part of a typical organic photoelectric conversion device 従来のイメージセンサの要部断面図Cross section of the main part of a conventional image sensor

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 陽極
3 光電変換領域
4 電子供与性層
5 電子受容性層
6 陰極
7 光源
8 セルフォックレンズ
9 光センサ
10 原稿
11 基板
12 光源
13 光センサ
14 原稿
15 電子供与性有機材料
16 電子受容性材料
17 光電変換領域
18 書き込み用光センサ
19 消去用光センサ
20 表示素子
21 2波長応答センサ
22 光透過部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Anode 3 Photoelectric conversion area 4 Electron donating layer 5 Electron accepting layer 6 Cathode 7 Light source 8 Selfoc lens 9 Optical sensor 10 Original 11 Substrate 12 Light source 13 Optical sensor 14 Original 15 Electron donating organic material 16 Electron accepting Material 17 Photoelectric conversion region 18 Optical sensor for writing 19 Optical sensor for erasing 20 Display element 21 Two-wavelength response sensor 22 Light transmitting portion

Claims (12)

基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有し、入射光の偏光面の違いに応じて異なった電気信号を出力する偏光応答特性を有することを特徴とする光センサ。 A photoelectric conversion region comprising at least two electrodes on the substrate, at least one electron-donating organic material between the electrodes, and an electron-accepting material including fullerenes and / or carbon nanotubes; An optical sensor characterized by having a polarization response characteristic that outputs different electrical signals according to the difference in polarization plane. 前記偏光応答特性を有する光センサからの電流出力の最大値をImax、最小値をIminとしたときImax/Iminが2以上であることを特徴とする請求項1に記載の光センサ。 2. The optical sensor according to claim 1, wherein Imax / Imin is 2 or more, where Imax is a maximum value of current output from the optical sensor having the polarization response characteristic and Imin is a minimum value. 前記光電変換領域において電子供与性有機材料が配向されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光センサ。 3. The photosensor according to claim 1, wherein an electron donating organic material is oriented in the photoelectric conversion region. 基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有し、複数の異なる波長の光を吸収して、各々の波長に応じた異なる電気信号を出力することが可能で、かつそれぞれの電気信号が区別可能であることを特徴とする光センサ。 A photoelectric conversion region comprising at least two electrodes on the substrate, at least one electron-donating organic material between the electrodes, and an electron-accepting material including fullerenes and / or carbon nanotubes; An optical sensor characterized in that it can absorb light of different wavelengths and output different electrical signals according to each wavelength, and that each electrical signal can be distinguished. 基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、前記光センサの少なくとも一部が光透過性を有することを特徴とする光センサ。 An optical sensor having a photoelectric conversion region comprising at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, and an electron accepting material containing fullerenes and / or carbon nanotubes. An optical sensor characterized in that at least a part of the optical sensor is light transmissive. 基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、前記光センサの光電変換効率が同一センサ内で分布を有していることを特徴とする光センサ。 An optical sensor having a photoelectric conversion region comprising at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, and an electron accepting material containing fullerenes and / or carbon nanotubes. The photoelectric conversion efficiency of the optical sensor has a distribution within the same sensor. 前記光電変換効率の分布がセンサの中心部から外側に向かって変化することを特徴とする請求項6に記載の光センサ。 The optical sensor according to claim 6, wherein the distribution of the photoelectric conversion efficiency changes from the center of the sensor toward the outside. 基板上に少なくとも2つの電極と、その電極間に少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料とからなる光電変換領域とを有する光センサであって、前記電極及び光電変換領域の積層方向に対する側方部を受光部としたことを特徴とする光センサ。 An optical sensor having a photoelectric conversion region comprising at least two electrodes on a substrate, at least one electron donating organic material between the electrodes, and an electron accepting material containing fullerenes and / or carbon nanotubes. An optical sensor, wherein a side portion of the electrode and the photoelectric conversion region with respect to the stacking direction is a light receiving portion. 請求項1から8のいずれかに記載の光センサの機能のうち少なくとも2つを併せ持つことを特徴とする光センサ。 An optical sensor having at least two of the functions of the optical sensor according to claim 1. 請求項1から9のいずれかに記載の光センサにおいて、光電変換領域が少なくとも一種の電子供与性有機材料と、フラーレン類及び/またはカーボンナノチューブ類を含む電子受容性材料との混合物からなることを特徴とする光センサ。 10. The optical sensor according to claim 1, wherein the photoelectric conversion region is made of a mixture of at least one electron donating organic material and an electron accepting material containing fullerenes and / or carbon nanotubes. Features an optical sensor. 請求項1から10のいずれかに記載の光センサを少なくとも1つ用いたことを特徴とする光論理素子。 An optical logic element using at least one optical sensor according to claim 1. 請求項4に記載の光センサを用いた電子デバイスであって、1つの波長で情報の書き込みを行い、それとは異なる波長で情報の消去を行う手段を設けたことを特徴とする電子デバ
イス。
5. An electronic device using the optical sensor according to claim 4, further comprising means for writing information at one wavelength and erasing information at a different wavelength.
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