JP2005058999A - 窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法 - Google Patents

Abstract

【課題】金属ケイ素粒子を出発原料とし、高強度で、除塵や脱塵に最適な窒化ケイ素質フィルタの製造法を提供する。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成剤とを含むハニカム成形体を窒素雰囲気中で熱処理して金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子が純度９７質量％以上で、かつ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を合計で０．１〜１質量％含むことを特徴とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
【選択図】なし

Description

本発明は、高温排気ガス中に含まれる粉塵等を除去するために好適な窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法に関する。

窒化ケイ素は、耐熱性、耐食性、耐薬品性、機械的強度等に優れた特性を有しており、高温や腐食性環境下での集塵、脱塵用フィルタやディーゼルエンジンから排出される微粒子（以下、パティキュレートという）の除去用フィルタ（以下、ＤＰＦという）として期待されている。このような窒化ケイ素質フィルタの製造法は、出発原料で大別すると窒化ケイ素粒子を出発原料とする製造法（特許文献１参照。）と金属ケイ素粒子を出発原料とする製造法（特許文献２〜４参照。）とに分けられる。金属ケイ素粒子を出発原料とし、窒化により窒化ケイ素とする製造法は、一般に、窒化ケイ素粒子を出発原料とする製造法に比べて原料費用が安価であるため製造原価の点で優れる特徴がある。

金属ケイ素粒子を出発原料とする窒化ケイ素質フィルタ製造法において、得られる窒化ケイ素質フィルタの特性は、金属ケイ素を窒化して窒化ケイ素とする窒化反応の制御に影響される。このため、特許文献２には、酸化鉄、酸化鉛、ニッケルカルボニル等の窒化促進剤を、生成する乾燥集合体の最終容量を基準として約０．１〜７体積％添加する方法が提案されている。特許文献３には、窒化促進剤として鉄と希土類元素酸化物とを併用する方法が提案されている。しかし、これら窒化促進剤を使用する方法では、窒化促進剤の添加量が少ない場合には、金属ケイ素粒子との混合が不均一になり窒化促進剤が偏在しやすい。窒化促進剤の偏在により、窒化促進剤が偏在している部分では窒化に伴う発熱が局所的に異常発熱となりやすく、一方、窒化促進剤が所定量より少ない部分では窒化が進まず金属ケイ素粒子のまま残留しやすい。その結果、窒化ケイ素質フィルタ内に欠陥が発生したり、特性が不均質となりやすい。

また、特許文献２および特許文献３のいずれも、原料である金属ケイ素粒子の粒度以外の純度等については提案されていない。同様に、特許文献４にも金属ケイ素粒子の平均粒子直径（以下、粒子直径を粒径という）については提案されているものの、金属ケイ素粒子の純度については具体的に提案されていない。いずれにせよ、気孔率が大きく、機械的強度の高い、圧力損失（以下、圧損と略す）の低い窒化ケイ素質フィルタを製造するために好適な金属ケイ素粒子については提案されていない。

特開平８−５９３６４号公報（第１〜７頁） 特許第３３２１６２１号公報（請求項９、第４頁） 米国特許第５００４７０９号公報（第１〜４頁） 国際公開第０１／４７８３３号パンフレット（第３頁）

本発明は、金属ケイ素粒子を出発原料とし、機械的特性に優れ、低圧損で、特にパティキュレートの捕集効率が高く、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法の提供を目的とする。

本発明は、金属ケイ素粒子と、気孔形成剤とを含むハニカム成形体を窒素雰囲気中で熱処理して金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子が純度９７質量％以上で、かつ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を合計で０．１〜１質量％含むことを特徴とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法を提供する。

本発明では、金属ケイ素粒子自身が窒化促進効果のある金属元素を特定量含むことから、窒化促進剤を添加しなくても低温度から窒化が開始され、しかも金属ケイ素粒子が残留することもなく窒化ケイ素質ハニカムフィルタを提供できる。窒化促進剤を添加する方法では、金属ケイ素粒子中の不純物の成分、量に応じて窒化特性が変わるため、金属ケイ素粒子の原料ロットによる影響を受けて窒化ケイ素質ハニカムフィルタの不良品率が増加したり品質が低下するおそれがあるが、本発明では、金属ケイ素粒子そのものを管理するため、不良品率を低減して安定して製造でき、しかも高品質を維持できる特徴がある。

また、金属ケイ素粒子を出発原料とする製造法では、窒化に伴う発熱制御が重要で、発熱制御が適切でないと欠陥が発生しやすい。本発明では、前述したように、低温度から窒化が開始されるため、発熱制御が容易で欠陥が発生しにくいため、気孔率、機械的強度の大きい、均質性の高い窒化ケイ素質ハニカムフィルタが簡便に製造できる。

しかも、本製造法で得られる窒化ケイ素質フィルタは高強度で耐熱性、耐食性および耐薬品性にも優れていることから、特に、強度、耐熱性、耐食性、耐久性等が要求されるＤＰＦとして好適である。

本発明者は、金属ケイ素粒子を出発原料とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタ（以下、単にハニカムフィルタと略す）の製造法において、金属ケイ素粒子の原料ロットにより製造物であるハニカムフィルタの良品率や特性が変化すること、その原因の解明を進める中で金属ケイ素粒子中の特定微量成分が窒化反応のばらつきに影響を及ぼしていること、を見出し本発明に至った。

本発明のハニカムフィルタの製造法（以下、本製造法という）は、金属ケイ素粒子と、気孔形成剤とを含むハニカム成形体を窒素雰囲気中で熱処理して金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子が、純度９７質量％以上で、かつ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を０．１〜１質量％含むことを特徴とする。一般に使用される金属ケイ素粉末は、本件特許で規定される金属ケイ素粉末よりＦｅ等の金属元素の含有量の多いグレードと、Ｆｅ等の金属元素の含有量の小さいグレードに２分される。すなたち、本件特許で規定される金属ケイ素粉末は、Ｆｅ等の金属元素の含有量としては、その中間にある。

本製造法において、金属ケイ素粒子の純度は９７質量％以上であるが、これは金属ケイ素粒子の純度が９７質量％未満であると得られるハニカムフィルタの窒化ケイ素粒子量が少なく、耐熱性、耐食性などの特性が低下するおそれがある。金属ケイ素粒子の純度が９７．５質量％以上であると好ましく、９８質量％以上であるとさらに好ましく、金属ケイ素粒子の純度が９８．５質量％以上であると特に好ましい。

本製造法において、金属ケイ素粒子は、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を合計で０．１〜１質量％含む。金属ケイ素粒子中のＦｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素の合計の含有量が０．１質量％未満であると、金属ケイ素粒子の窒化促進効果が得られないおそれがある。一方、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素の合計の含有量が１質量％を超えるとハニカムフィルタの特性に悪影響を及ぼすおそれがある。金属ケイ素粒子中のＦｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素の合計の含有量の下限が０．２質量％であると好ましく、前記含有量の下限が０．３質量％であるとさらに好ましい。前記含有量の上限が０．９質量％であると好ましく、前記含有量の上限が０．８質量％であるとさらに好ましい。

本製造法において金属ケイ素に含まれるＳｉ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉ以外の金属元素の含有量が２質量％以下であるとハニカムフィルタの特性に悪影響がないため好ましい。

本製造法において、金属ケイ素粒子に含まれる成分がＦｅおよびＣａの金属元素を合計で０．１〜１質量％含むものであると、少ない含有量で金属ケイ素粒子の窒化促進効果が得られるため好ましい。金属ケイ素粒子に含まれる成分がＦｅおよびＣａの金属元素を合計で０．１〜１質量％含むもので、かつＦｅの金属元素の含有量がＣａの金属元素の含有量より多いものであると、当該金属ケイ素粒子の調製が容易であるため好ましい。Ｆｅの含有量が少ない金属ケイ素粒子の入手は容易でないが、Ｃａの含有量が少ない金属ケイ素粒子の入手は容易である。Ｃａ含有量の少ない金属ケイ素粒子にＦｅ含有量の多い金属ケイ素粒子を配合して調製する方法が好適な調製法として挙げられる。例えば、Ｃａの含有量が０．１質量％未満、Ｆｅの含有量が０．１〜１質量％の金属ケイ素粒子などが好適なものとして挙げられる。

なお、金属ケイ素粒子中の成分、量を特定する方法としては、特に制限されないが、蛍光Ｘ線分析法や原子吸光分析法、ＩＣＰ発光分析法、原子蛍光分析法などの定量分析法が好ましい測定法として挙げられる。

本製造法において使用する金属ケイ素粒子の代表的な製造法は、ＳｉＯ_２サンドを還元して金属ケイ素の塊とし、これを機械的に粉砕して、必要に応じて分級、混合して所定の金属ケイ素粒子とする方法が挙げられる。この場合、金属ケイ素粒子中に含まれる不純物の成分、量は、ＳｉＯ_２サンドの産地により異なるため、必ずしも所定成分を所定量含む金属ケイ素粒子とならない場合がある。そのような場合には、酸処理によって純度を高めた高純度の金属ケイ素粒子を混ぜて、金属ケイ素粒子全体で所定成分を所定量含むように調製する。

本製造法は、上述したような特定の金属ケイ素粒子（以下、単に特定金属ケイ素粒子と略す）と、気孔形成剤とを含むハニカム成形体を使用する。本明細書において、ハニカム成形体とは、ハニカム形状を有する成形体をいう。

本製造法において、ハニカム成形体中、特定金属ケイ素粒子の含有量を６０〜９５質量％とし、気孔形成剤の含有量を５〜４０質量％とするのが好ましい。ハニカム成形体中の金属ケイ素粒子の含有量が、６０質量％未満であると得られる窒化ケイ素質フィルタの気孔率が大きくなりすぎ、機械的強度が不足して実用に耐えられないおそれがあり、一方、前記成形体中の金属ケイ素粒子の含有量が、９５質量％を超えると窒化ケイ素質フィルタの気孔率が小さくなりすぎフィルタとしての機能を果たすことができないおそれがある。

本製造法において、特定金属ケイ素粒子の平均粒径が１０〜７５μｍであると好ましい。特定金属ケイ素粒子の平均粒径が１０μｍ未満であると、得られるフィルタの平均細孔直径（以下、細孔直径を細孔径と略す）が５μｍ以下となるため好ましくない。また、金属ケイ素粒子の平均粒径が７５μｍを超えると、得られる窒化ケイ素質フィルタの平均細孔径は大きくなるが、窒化が必ずしも充分ではないので好ましくない。特定金属ケイ素粒子の平均粒径が１５〜６５μｍであるとさらに好ましく、特定金属ケイ素粒子の平均粒径が２０〜６０μｍであると特に好ましい。

本製造法に用いる金属ケイ素粒子は、平均粒径１０〜７５μｍのほかに、粒径１〜１００μｍの範囲にあるものが全金属ケイ素粒子中７０質量％以上である。粒径１〜１００μｍの範囲にあるものが全金属ケイ素粒子中７０質量％以上であると、得られる窒化ケイ素質フィルタの細孔径５μｍ以下の細孔が少なくなり、圧損を減らし、しかも凝集粒径が１０μｍ以上とされるパティキュレートなどを効率よく捕集できる。粒径１〜１００μｍの範囲にあるものが全金属ケイ素粒子中８５質量％以上であると好ましく、前記範囲にあるものが全金属ケイ素粒子中９５質量％以上であるとさらに好ましい。

本製造法において、特定金属ケイ素粒子が粒径１０〜９０μｍの範囲にあるものが７５質量％以上であると好ましい。特定金属ケイ素粒子が粒径２０〜８０μｍの範囲にあるものが７５質量％以上であるとさらに好ましい。金属ケイ素粒子が粒径２０〜８０μｍの範囲にあるものが９５質量％以上であると特に好ましい。このような特定範囲の粒度分布を有する金属ケイ素粒子は、気流分級やふるいなどの分級手段を適宜使用することにより得られる。なお、本明細書において、粒径、平均粒径はレーザー回折式粒度分布測定機によって求めた値をいうものとする。

本製造法において、気孔形成剤としては気孔を形成できるものであれば特に制限されないが、酸化物セラミックス中空粒子（以下、単に中空粒子と略す）および／または飛散型気孔形成剤であると少ない添加量で所望の気孔を形成できるため好ましい。気孔形成剤の含有量はハニカム成形体中５〜４０質量％であると好ましい。

ハニカム成形体中の気孔形成剤の含有量が５質量％未満であると、窒化ケイ素質フィルタの気孔率が小さくなりすぎフィルタとしての機能を果たすことができないおそれがある。一方、前記成形体中の気孔形成剤の含有量が４０質量％を超えると窒化ケイ素質フィルタの気孔率が大きくなりすぎ、機械的強度が不足して実用に耐えられないおそれがある。

前記中空粒子としては、熱処理時に気孔を形成し、しかも熱処理過程で生成する窒化ケイ素粒子に対して焼結助剤的な働きをするものであれば結晶質、非晶質のいずれも好適に使用される。中空粒子は、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、ＭｇおよびＹからなる群から選ばれる１種以上の金属の酸化物を主成分とすると焼結助剤的な効果が高いため好ましい。中空粒子は、中空であれば外皮に相当する部分が緻密質でもよいし多孔質でもよいが、外皮の相当する部分が緻密質のものが入手性の点で好ましい。また、中空粒子は、外形が球状粒子であると入手しやすいので好ましいが、球状粒子以外の粒子でも中空であればよい。

前記飛散型気孔形成剤としては、熱処理時に分解などして飛散し、気孔を形成するものであれば有機物、無機物のいずれにも好適に使用される。飛散型気孔形成剤が有機高分子粒子、特に熱分解性の高分子粒子であると熱処理過程で分解、飛散し、焼結体内に残留物を残さず得られる窒化ケイ素質フィルタの特性を損なわないため好ましい。
熱分解して焼失する働きのものであれば好適に使用される。たとえば、アクリル樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。

前記中空粒子や前記有機高分子粒子の平均粒径が１０〜１００μｍであると、得られる窒化ケイ素質フィルタの気孔率が大きく、しかも強度も確保されるため好ましい。前記中空粒子等の平均粒径が１０μｍ未満であると、気孔形成への寄与が低下し、一方、前記竜空粒子等の平均粒径が１００μｍを超えると得られる窒化ケイ素質フィルタの強度が不充分であるため好ましくない。

本製造法において、特定金属ケイ素、気孔形成剤以外に窒化促進効果のある酸化鉄粒子などを含んでいてもよい。

本製造法において、気孔形成剤と金属ケイ素粒子との混合には、ボールミルやミキサーなどの一般的な混合手段が使用でき、気孔形成剤と金属ケイ素粒子とを含む成形体を作成する方法としては、プレス成形、押出成形、鋳込成形などの通常のセラミックス成形法が適宜採用される。なお、成形に際して、有機バインダーを加えてもよい。このような有機バインダーとしては、ポリビニルアルコールまたはその変成物、でんぷんまたはその変成物、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシルメチルセルロース、ポリビニルピロリドン、アクリル樹脂またはアクリル系共重合体、酢酸ビニル樹脂または酢酸ビニル系共重合体、等の有機物を使用できる。

本製造法において、ハニカム成形体を熱処理する条件としては、窒素雰囲気下で２段階の熱処理とし、金属ケイ素粒子の窒化に適した第１段および生成した窒化物である窒化ケイ素粒子の焼結に適した第２段に分けるのが好ましい。

第１段の熱処理条件としては、窒素雰囲気下で１１５０〜１４００℃で４〜１２時間保持するのが好ましい。温度が１１５０℃未満であると金属ケイ素粒子の窒化が起こらず、一方、温度が１４００℃を超えると金属ケイ素の融点（１４１０℃）付近で金属ケイ素粒子が融解し、焼結体の形状を保持できないため好ましくない。温度保持時間が４時間未満であると金属ケイ素粒子の窒化が不充分となり好ましくなく、また温度保持時間が１２時間を超えると窒化反応がそれ以上ほとんど進行しなくなり、運転費用がかさむため好ましくない。

第２段の熱処理条件としては、窒素雰囲気下で１５００〜１８００℃で１〜１２時間保持することが好ましい。温度が１５００℃未満であると窒化ケイ素粒子の焼結が進まないため好ましくなく、１８００℃を超えると窒化ケイ素粒子が分解するので好ましくない。温度保持時間が１時間未満であると粒子同士の結合が充分に進行しないため好ましくなく、一方、１２時間を超えると特に、高温では窒化ケイ素が分解しやすくなり好ましくない。なお、第１段の熱処理と第２段の熱処理は、中間で温度をいったん下げても、または温度を下げることなく連続で実施してもよい。

熱処理時の昇温速度は、成形体の大きさ、形状等により適宜選択されるが、５０〜６００℃／ｈであると窒化率、気孔径の点で好ましい。昇温過程であっても、第１段および第２段で規定する温度範囲にある場合は、その経過時間はそれぞれ第１段および第２段の保持時間に加えるものとする。ここで窒素雰囲気とは、実質的に窒素のみを含み酸素を含まない雰囲気をいうが、他の不活性気体を含んでいてもよい。窒素分圧は５０ｋＰａ以上が好ましい。

以下に実施例（例１、例２）と比較例（例３）を示す。得られた多孔体は以下に示す評価法によって評価した。
［評価方法］
気孔率：アルキメデス法で算出した。
平均細孔径：水銀ポロシメータ（ユアサアイオニクス社製、ＡＵＴＯＳＣＡＮ−３３）で測定した。
結晶相：Ｘ線回折装置（リガク社製、商品名：ガイガーフレックスＲＡＤ−ＩＩＡ）により同定した。
室温強度：ハニカム形状に作製したフィルタから、縦横が７×７セルからなり、長さ１２ｍｍの試験片を切り出し、押出方向と平行に荷重を印加速度０．５ｍｍ／分で印加して圧縮強度として測定した。
粒度測定：レーザ回折式粒度分布測定機（日機装社製、商品名：マイクロトラックＨＲＡ）
金属ケイ素粒子中の不純物量：蛍光Ｘ線分析による。

［例１（実施例）］
粒径１〜１００μｍの金属ケイ素粒子が９９質量％以上で、平均粒径２３μｍの金属ケイ素粒子Ａ（エルケム社製、商品名：シルグレインＦタイプ、純度及び不純物の内訳は表１の粒子Ａに記載）７７質量％と、気孔形成剤として平均粒径４５μｍの球状のシリカ−アルミナ系ガラス質中空粒子２３質量％とからなる成形体用粉末１００質量部に対して、メチルセルロース１８質量部、イオン交換水５５質量部を添加し押出成形原料とした。

前記押出成形原料を真空押出機でハニカム形状の成形体に押出成形後１００℃で乾燥した。乾燥させたハニカム成形体を窒素雰囲気中で昇温速度２℃／分で１３５０℃まで昇温後、４時間保持して第１段階の熱処理を行い、さらに昇温速度４℃／分で温度１７００℃とし、４時間保持して多孔質の窒化ケイ素質ハニカム焼結体を得た。得られた多孔体をＸ線回折測定した結果、窒化ケイ素の回折ピークは同定されたが、金属ケイ素の回折ピークは同定されなかった。また、得られた多孔体の細孔特性は、気孔率が６０％であった。得られた多孔体の室温強度は１５ＭＰａであった。また、外観を目視で観察したがクラック等の欠陥は観察されなかった。

［例２（実施例）］
例１において、金属ケイ素粒子Ａの代わりに粒径１〜１００μｍの金属ケイ素粒子が９９質量％以上で、平均粒径２０μｍの金属ケイ素粒子Ｂ（山石金属社製、商品名：３５０、純度及び不純物の内訳は表１の粒子Ｂに記載）に変更した以外は例１と同様にした。得られた多孔体の細孔特性は、気孔率が５８％、平均細孔径が１１μｍであった。得られた多孔体の室温強度は１８ＭＰａであった。この場合も外観を目視で観察したがクラック等の欠陥は観察されなかった。

［例３（比較例）］
例１において、金属ケイ素粒子Ａの代わりに粒径１〜１００μｍの金属ケイ素粒子が９９質量％以上で、平均粒径２１μｍの金属ケイ素粒子Ｃ（エルケム社製、商品名：シルグレインスタンダードタイプ、純度及び不純物の内訳は表１の粒子Ｃに記載）に変更した以外は例１と同様にした。得られた多孔体の細孔特性は、気孔率が６０％、平均細孔径が１１μｍであった。得られた多孔体の室温強度は７ＭＰａであった。この場合、外観を目視で観察したが内部に多数のクラックが観察された。

本発明は、特定の粒度分布を有する金属ケイ素を出発原料として、これを窒化して窒化ケイ素とすることを特徴とする窒化ケイ素質フィルタの製造法であるので、機械的特性に優れ、特に低圧損でパティキュレートの捕集効率が高く、ＤＰＦとして好適なフィルタの製造法に適用できる。

Claims (8)

1. 金属ケイ素粒子と、気孔形成剤とを含むハニカム成形体を窒素雰囲気中で熱処理して金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子が純度９７質量％以上で、かつ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を合計で０．１〜１質量％含むことを特徴とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
2. 前記金属ケイ素粒子がＦｅおよびＣａの金属元素を合計で０．１〜１質量％含む請求項１記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
3. 前記金属ケイ素粒子中、Ｓｉ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｕ、ＣｒおよびＴｉ以外の金属元素の含有量が２質量％以下である請求項１または２記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
4. 前記金属ケイ素粒子の平均粒子直径が１０〜７５μｍである請求項１、２または３記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
5. 前記金属ケイ素粒子中、粒子直径１〜１００μｍの金属ケイ素粒子が全金属ケイ素粒子中７０質量％以上である請求項１、２、３または４記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
6. ハニカム成形体が金属ケイ素粒子６０〜９５質量％と、気孔形成剤５〜４０質量％とを含む請求項１〜５のいずれか記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
7. 前記気孔形成剤として、金属の酸化物セラミックス中空粒子および／または飛散型気孔形成剤を用いる請求項６記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。
8. 前記熱処理条件が、成形体を温度１１５０〜１４００℃の窒素雰囲気中で、４〜１２時間保持して第１段階の熱処理を行った後、さらに温度１５００〜１８００℃の範囲で１〜１２時間保持して第２段階の熱処理を行うものである請求項１〜７のいずれか記載の窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。