JP2004205144A

JP2004205144A - Ｐｄｐ用基板乾燥装置

Info

Publication number: JP2004205144A
Application number: JP2002376427A
Authority: JP
Inventors: Keiji Kawazoe; 啓司川添; Naoko Matsuda; 直子松田; Hiroyuki Naka; 裕之中
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-12-26
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2004-07-22

Abstract

【課題】乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータ又は給排気管を容易にメンテナンスすることができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【解決手段】第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５と給気管１１２と排気管１１３と上ヒータ１１１とを一体的に構成し、給排気管支持部材５１４及び給排気管支持部材５１５にローラ１１６を設ける。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレィ用基板（以下ＰＤＰ用基板）の製造において、ガラス基板上に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜を乾燥させるために使用するＰＤＰ用基板乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の前面基板上に形成された電極の膜を乾燥し、上記前面基板上に形成された透明誘電体層等の膜を乾燥させるようにしている。また、ＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の背面基板上に形成されたリブの膜を乾燥し、上記背面基板上に形成された蛍光体層等の膜を乾燥させるようにしている。上記各乾燥工程のために、長尺な横置き型乾燥炉が、それぞれ配置されている。
【０００３】
しかしながら、上記構造のものでは、平面的に複数の乾燥炉を横置きに並べているため、工場内における乾燥装置の占有面積がかなり大きくなるとともに、乾燥装置全体の表面積も、大きくなっている。その結果、乾燥装置から放散される熱量も全消費熱量のうち４０〜５０％を占める。
【０００４】
そこで、工場内における乾燥装置の占有面積及び乾燥装置全体の表面積を減少させる目的で、横置き型乾燥炉の乾燥装置に代わり、各乾燥炉を上方向に何段にも積み重ねた、縦型の多段の乾燥室より構成される多段乾燥装置が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
【０００５】
また、その何段にも積み重ねられた各乾燥室内において、搬入される基板と、該基板の上方に設けられた給排気管及びヒ−タとの距離を従来より限りなく小さくし、各乾燥室の高さを従来の横置き型乾燥炉高さより大幅に縮小することによって、多段乾燥装置全体の高さを抑えることができる。
このような多段乾燥装置によって、省スペ−ス化、省エネルギ−化を実現することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−２０３３６４号公報
【特許文献２】
特開平５−２０３３６５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように、各乾燥室の高さを大幅に縮小した結果、各乾燥室内において、搬入された基板と、該基板の上方に設けられた給排気管及びヒ−タとの距離が、手が入らないほど小さくなっているため、各乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータまたは給排気管をメンテナンスすることは、非常に困難であるといった問題があった。
【０００８】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータ又は給排気管を容易にメンテナンスすることができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１０】
本発明の第１態様によれば、搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給気管及び排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記乾燥室に上記搬出搬入口とは異なるメンテナンス用開口部に開閉可能に設けられる開閉ドアと、
上記給気管及び上記排気管を支持し、上記乾燥部内の上方で、案内機構により案内されて上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、上記給気管及び上記排気管と伴に出し入れ可能な給排気管支持部材と、
上記乾燥室内の上方で上記給気管及び上記排気管上に相対移動不可に載置された板状上側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記給気管へ上記加熱ガスを供給する外部給気管に一端が連通して接続され、他端が上記給気管に連通して分離可能に上記給気管の給気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記給気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部給気管側接続部と、
上記開閉ドアに設けられ、上記排気管から上記加熱ガスを回収する外部排気管に一端が連通して接続され、他端が上記排気管に連通して分離可能に上記排気管の排気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記排気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部排気管側接続部と、
電源部と接続され、かつ上記開閉ドアに設けられ、上記開閉ドアの閉じ位置で、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子に上記閉じ位置で当接して接続され、上記開閉ドアの開き動作により、上記上側ヒータ側接続端子から離れて接続が解除される上側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出可能とするようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１１】
本発明の第２態様によれば、上記案内機構は、
上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、
上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えた第１態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１２】
本発明の第３態様によれば、上記外部給気管側接続部は、
上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、
給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備え、
上記外部排気管側接続部は、
上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、
排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、上記係合位置から、上記排気管接続部との係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備え、
上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材及び上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるとともに上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜ける第１または第２態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１３】
第４態様によれば、上記上側電源側接続端子は、
上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触する第１〜３の態様のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１４】
第５態様によれば、上記乾燥室の下方で、上記乾燥室内を加熱する基板加熱部をさらに備えており、
上記基板加熱部は、
上記乾燥室内の両側面の下方で上記メンテナンス用開口部に向かって延びた一対の下側レールと、
上記乾燥室内の下方で上記一対の上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、出し入れ可能なヒータ支持枠と、
上記乾燥室内の下方で上記ヒータ支持枠に相対移動不可に載置された板状下側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で下側ヒータ側接続端子に接触する下側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの開き動作により、上記下側ヒータ側接続端子と上記下側電源側接続端子との接触を断ち、上記一対の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出可能とする第１〜４の態様のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１５】
第６態様によれば、上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備える第５態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、図１に示すように、直方体形状の乾燥室５０２の下面全体に配置された基台５０１上において、図１の左半分に直方体形状の上下移載空間５０６内に配置された上下移載部３００と、図１の右半分の下部に配置された排気部４００と、その排気部４００の上に配置された冷却部２００と、その冷却部２００の上に４段に積み重ねられた乾燥部１００と、乾燥部１００を動作制御している制御部６００と、４段に積み重ねられた乾燥部１００及び冷却部２００にガスを供給している給気部４２０とを備えている。
【００１８】
乾燥室５０２の外側で図１の左側下部に炉外排気口５０３と、その炉外排気口５０３の上方に配置された搬入・搬出口５０５と、図１の右側に上下に沿ってそれぞれ配置された排出管４０４及び乾燥部ガス給気管４２３及び冷却部用ガス給気管４２４と、上下移載空間５０６の天井に配置されたフィルターユニット５０４とを備えている。ここで、乾燥部ガス給気管４２３は、外部給気管の一例であり、排出管４０４は、外部排気管の一例である。
【００１９】
搬入・搬出口５０５は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外においてガラス基板１０上に被乾燥物の一例として電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等の膜が形成されたＰＤＰ用基板１０を上記乾燥室５０２内に搬入する搬入口であり、かつ、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００内で乾燥後のＰＤＰ用基板１０をＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に搬出する搬出口である。
【００２０】
上下移載部３００は、ＰＤＰ用基板１０を出し入れする基板移載部３１０と、基板移載部３１０を昇降させる上下駆動部３２０を備えている。
【００２１】
基板移載部３１０は、四角筒の形状しており、搬入・搬出口５０５と、４段の各乾燥部１００と、冷却部２００とに対してＰＤＰ用基板１０を出し入れするように駆動する。
【００２２】
上下駆動部３２０は、基板移載部３１０を、乾燥部１００の４段それぞれに対向する４つの位置と、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する位置とに適宜上昇下降して、位置決めして停止する。尚、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する基板移載部３１０の位置を基準位置２０とする。
【００２３】
上下駆動部３２０は、上下方向に平行に配設された上下駆動軸３２１ａと３２１ｂと、制御部６００に接続されかつ上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを同期して上下に移動させるように駆動する上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを備えている。よって、上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを駆動することにより基準位置２０を含む上記５つの位置に位置決めして停止することができる。上下駆動軸３２１ａと３２１ｂの各上端に基板移載部３１０の底面が取り付けられ、各下端はフリーとなっていて、上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとの上下軸の途中に上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂが乾燥室５０２に固定されている。２つの上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを、制御部６００の制御の下に正逆同期回転させて上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを昇降させることにより、基板移載部３１０を上記所定位置に位置決め停止可能としている。
【００２４】
以下、図１において左側を正面側とし、右側を背面側とする。
基板移載部３１０は、筐体３１５と、搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、乾燥部側受け渡し口３１３と、ローラ３１１と、ヒータ３１４とを備えている。
【００２５】
筐体３１５は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側に開口があり、正面側開口部に搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、背面側開口部に乾燥部側受け渡し口３１３とを備えている。
【００２６】
ローラ３１１は、筐体３１５内部において上記両側の受け渡し口３１２、３１３間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、ＰＤＰ用基板１０を両側の上記受け渡し口３１２、３１３へそれぞれ移動させるように制御部６００の制御の下で例えば、図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。
【００２７】
ヒータ３１４は、筐体３１５内部を一定温度に加熱して保持するために、筐体３１５内側上面のほぼ全体に設けられている。
【００２８】
一方、上下移載空間５０６の天井にはフィルターユニット５０４が設けられ、フィルターユニット５０４を通った清浄なエアーが、上下移載空間５０６を通って、乾燥室５０２の下部に設けられた排気口５０３より排気されることで、乾燥室５０２内を清浄に保つようにしている。
【００２９】
上記乾燥部１００は、上下移載部３００から送られてくるＰＤＰ用基板１０上の電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等を、乾燥させるためにそれぞれ適した温度を維持するようにそれぞれ異なる温度、例えば大略１２０℃前後、大略１６０℃前後、大略１００℃前後にそれぞれ温度管理された室であり、独立した各室は、断熱材１０８を介して重ねて配置されている。
【００３０】
各乾燥部１００は、筐体１０１と、正面扉１０２と、背面メンテナンス用扉１０３と、揺動ローラ１０４と、正面ヒータ１０５と、背面ヒータ１０６と、側面ヒータ１０７と、上部ヒータユニット１１０と、下部ヒータユニット１２０と、給配気管連結部１８０と、ヒータ電源連結部１９０とを備えている。ここで、背面メンテナンス用扉１０３は、開閉ドアの一例である。
【００３１】
筐体１０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口１０１ａと背面側開口１０１ｂとを備えており、正面側開口１０１ａに配置された正面扉１０２と、背面側開口１０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉１０３とを備えている。ここで、正面側開口１０１ａは搬出搬入口の一例である。
【００３２】
正面扉１０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口１０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ１６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口１０１ａに配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉１０２が開閉することで、乾燥部１００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となっている。
【００３３】
正面ヒータ１０５は、正面扉１０２の内側に溶剤の結露が生じないように正面扉１０２の内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉１０２の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３４】
背面メンテナンス用扉１０３は、乾燥部１００のメンテナンスを行うために、背面側開口１０１ｂに開閉可能かつ密閉可能に背面側開口１０１ｂに配置されている。ここで、背面側開口１０１ｂは、メンテナンス用開口部の一例である。
【００３５】
背面ヒータ１０６は、背面扉１０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉１０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉１０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３６】
側面ヒータ１０７も、筐体１０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体１０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体１０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。
【００３７】
揺動ローラ１０４は、筐体１０１の内部において、上記両側の扉１０２、１０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また、ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ１０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ１０４の配置ピッチを表す。
【００３８】
上部ヒータユニット１１０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、筐体１０１内側上面のほぼ全体に設けられており、給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３及び排出管４０４に接続されている。ここで、給排気管連結部１８０は、外部給気管側接続部または外部排気管側接続部の一例である。
【００３９】
下部ヒータユニット１２０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、上部ヒータユニット１１０に相対するように揺動ローラ１０４の下方に設けられている。なお、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０の詳細は後述する。
【００４０】
このような乾燥部１００の構成は、４段における他の段の乾燥部１００の構成と同一である。
【００４１】
４段の乾燥部１００の最下部に配置されている乾燥部１００のさらに下方に断熱材１０８を介して配置された冷却部２００は、筐体２０１と、正面扉２０２と、背面メンテナンス用扉２０３と、揺動ローラ２０４と、正面ヒ−タ２０５と、背面ヒータ２３６と、側面ヒータ２０７と、下部冷却プレート２０６と、上部ヒータ２１１とを備えている。
【００４２】
筐体２０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口２０１ａと背面側開口２０１ｂとを備えており、正面側開口２０１ａに配置された正面扉２０２と、背面側開口２０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉２０３とを備えている。
【００４３】
正面扉２０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口２０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ２６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口に配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉２０２が開閉することで、冷却部２００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となる。正面ヒータ２０５は、正面扉２０２内側に溶剤の結露が生じないように正面扉２０２内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉２０２内側のほぼ全体に設けられている。
【００４４】
背面メンテナンス用扉２０３は、冷却部２００のメンテナンスを行うために、背面側開口２０１ｂの上端縁部に配置されたヒンジ２６２により開閉可能かつ密閉可能に背面側開口２０１ｂに配置される。背面ヒータ２０６は、背面扉２０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉２０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉２０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００４５】
揺動ローラ２０４は、筐体２０１の内部において、上記両側の扉２０２、２０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体２０１内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また、ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ２０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ２０４の配置ピッチを表す。
【００４６】
上部ヒータ２１１は、筐体２０１内部の上面に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の上面を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、筐体２０１内部の上面のほぼ全体に設けられて、上部ヒータ２１１に相対するように揺動ローラ２０４の下方に板状の下部冷却プレート２０６が複数、例えば３個、ＰＤＰ用基板１０を冷却するために設けられている。
【００４７】
側面ヒータ２０７も、筐体２０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体２０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。ここで、冷却工程とは、ＰＤＰ基板１０を冷却部２００内で冷却している間をいう。
【００４８】
冷却プレート２０６には、冷却部２００内にガスを給気するための給気穴２４１が複数個形成され、給気穴２４１に連通するように冷却部用ガス給気管４２４接続されている。また、冷却部２００内のガスを外部へ排気する排気管２１３が、冷却部２００の下部に設けられ、排出管４０４に連通して接続されている。
【００４９】
給気穴２４１と冷却部用ガス給気管４２４とが連通することにより、冷却部用ガス給気管４２４から下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１を通じてガスを冷却部２００内に供給可能となり、また排気管２１３と排出管４０４とが連通することにより、冷却部内のガスを各排気穴２４２から排気管２１３を経て排出管４０４へ排気可能となっている。
【００５０】
給気部４２０は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の装置外に配設されるガスを送り出す装置、例えば、ボンプであるガス供給源４２１と、そのガスを加熱する予熱ヒータ４３８とを備えている。
【００５１】
ガス供給源４２１は、各乾燥部１００内の各上部ヒータユニット１１０と給排気管連結部１８０を介して連通している４本の乾燥部用ガス給気管４２３が合流して１本となった乾燥部用ガス給気管４２３の端部に連通して接続される。合流前の各ガス給気管４２３には図示しない開閉弁がそれぞれ設けられている。
【００５２】
予熱ヒータ４３８は、４本の乾燥部用ガス給気管４２３が合流して一本となった乾燥部用ガス給気管４２３に配置される。このように配置されたガス供給源４２１は、例えば、乾燥部１００内の設定温度が１００℃のときは、予熱ヒータ４３８によって熱せられた大略８０℃〜１００℃前後のガスを各乾燥部１００内に、各上部ユニット１１０を通じて供給することが可能となっている。
【００５３】
一方、冷却部２００内の下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１と連通している冷却部用ガス給気管４２４は、乾燥部用ガス給気管４２３に配置されている予熱ヒータ４３８とガス供給源４２１との間で分岐した管である。よって、ガス供給源４２１は、熱せられていないガス、例えば常温のガスを冷却部用ガス給気管４２４と下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１を通じて供給することが可能となっている。
【００５４】
乾燥部１００及び冷却部２００に供給されるガスの一例としては空気を用いることができ、被乾燥物に応じてＯ_２の多く含まれた空気や、Ｎ_２の多く含まれた不活性ガス等を用いる。
【００５５】
上記被乾燥物とは、背面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜のことをいい、また前面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極または透明誘電体層の膜のことをいう。
【００５６】
排気部４００は、溶剤ガス結露用熱交換器４０１と、結露収集容器４０２と、熱排気ファン４０３と、接続排気管４０５とを備えている。
【００５７】
排気部４００の背面側に配置された溶剤ガス結露用熱交換器４０１の一端が排出管４０４と接続し、他端が接続排気管４０５を介して熱排気ファン４０３の一端と接続し、熱排気ファン４０３の他端は外部排気管４０６と接続している。
【００５８】
溶剤ガス結露用熱交換器４０１と一端にて接続している熱排気ファン４０３は、各乾燥部１００内部と冷却部２００内部より上部ヒータユニット１１０及び排気管２１３と排出管４０４と溶剤ガス結露用熱交換器４０１とを通じて熱排気ファン４０３内にガスを吸い込むようにしている。そのガスが溶剤ガス結露用熱交換器４０１を通過するときに、ガスに含まれている溶剤が、溶剤ガス結露用熱交換器４０１により冷却されて液化し、溶剤ガス結露用熱交換器４０１の下方に配置された結露収集容器４０２に溜められるようにしている。よって、熱排気ファン４０３の他端に連通している外部排気管４０６より、溶剤の含まれてないガスが排気されるようになっている。なお、各乾燥部１００の排気管１１３に連結されている排出管４０４には、図示しない開閉弁をそれぞれ設けても良い。
【００５９】
一方、上部ヒータユニット１１０は、詳細には以下のように構成されている。図２〜図５において、上記上部ヒータユニット１１０は、上ヒータ１１１と、第１給排気管支持部材５１４と、第２給排気支持部材５１５と、給気管１１２と、排気管１１３と、給気管接続部の一例としての集中給気管１５５と、集中排気管１５６と、上ヒータ支持部材１１５と、ローラ１１６と、ピン１１７と、レール１３１及び１３２と、案内ブロック１３０ａ及び１３０ｂとを備えている。ここで、ローラ１１６、レール１３１、及びレール１３２とより構成する機構は、案内機構の一例でである。上ヒータ１１１は、板状上側基板加熱用ヒータの一例である。第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５とより構成される支持枠は、給排気管支持枠の一例である。
【００６０】
レール１３１と１３２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１３１ａと１３２ａとがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の上方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに筐体１０１の内面の側面へ固定して設けられている。
【００６１】
第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５は、縦断面が四角枠の部材で、互いに平行にかつレール１３１、１３２の内側で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに配置されている。第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５の正面側の一端は閉じられており、内部には第１通路５１４ａ及び第２通路５１５ａが形成されている。
【００６２】
第１給排気管支持部材５１４の背面側の他端には、集中給気管１５５が固定して設けられている。集中給気管１５５は、第１通路５１４ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３に連通して接続されている。また、第２給排気管支持部材５１５の背面側の他端には、集中排気管１５６が固定して設けられている。集中排気管１５６は、第２通路５１５ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。集中給気管１５５及び集中排気管１５６の接続部の先端形状については、後に給排気管連結部１８０を説明する際に説明する。
【００６３】
ガスを乾燥部１００内に給気する給気管１１２及び溶剤を含んだガスを乾燥部１００内から排気する排気管１１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交するように計５本設けられており、各々が等間隔にかつ平行となるように配置されている。給気管１１２の一端は、第１給排気管支持部材５１４に固定して設けられ、他端は第２給排気管支持部材５１５に固定して設けられている。同様に、排気管１１３の一端は、第１給排気管支持部材５１４に固定して設けられ、他端は第２給排気管支持部材５１５に固定して設けられている。各給気管１１２及び各排気管１１３は、各給気管１１２及び各排気管１１３の上面が、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の上面５１４ｂ及び上面５１５ｂより下方となるように、接続されている。なお、正面扉１０２側から排気管１１３、給気管１１２、給気管１１２、給気管１１２、排気管１１３の順で配置されている。また、３本の給気管１１２は、第１通路５１４ａに連通するが、第２通路５１５ａには連通せず、２本の排気管１１３は、第２通路５１５ａに連通するが、第１通路５１４ａには連通していない。従って、ガス給気源４２１より乾燥用ガス給気管４２３内に供給されるガスは、予熱ヒータ４３８を通って乾燥用ガス給気管４２３内で加熱され、加熱されたガスは、給排気管連結部１８０、集中給気管１５５、及び第１通路５１４ａを通って、各給気管１１２に形成された複数の給気穴１４１より乾燥部１００内に給気されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤が含まれたガスは、各排気管１１３に形成された各排気穴１４２より第２通路５１５ａに入り、集中排気管１５６と給排気管連結部１８０を通って排出管４０４から排気可能となっている。
【００６４】
各給気管１１２の各給気穴１４１は、図５に示すように、各給気管１１２の円周上で上下の軸１７０から傾いた、例えば時計回りに４５度の位置と、反時計回りに４５度の位置に、給気管１１２の長手方向に沿って等間隔で、千鳥状に複数個の給気穴１４１が形成される。
【００６５】
また、各排気管１１３の各排気穴１４２は、上記給気管１１２の隣り合わせに配置された排気管１１３において、排気管１１３の円周上で上下の軸１７１から傾いた、例えば時計回りに４５度の位置と、反時計回りに４５度の位置に、長手方向に沿って等間隔で、千鳥状に複数個形成される。なお、排気管１１３は排気穴１４２を設ける代わりに、ステンレス粒子からなる多孔質の燒結パイプを用いても、ＰＤＰ用基板１０上で必要な風速と風量が得られる。
【００６６】
このような給気管１１２と排気管１１３とが隣り合わせに配置された場合において、上下の軸１７０から反時計回りに４５度の位置に形成された給気穴１４１と、上下の軸１７１から時計回りに４５度の位置に形成された排気穴１４２とはパイプ長手方向に沿って位相が異なる関係になっている。その結果、給気穴１４１から供給されたガスが隣に配置された排気管１１３の排気穴１４２に直接吸い込まれず、一旦、乾燥部１００内に流出した後、排気穴１４２に吸い込まれるようになっている。
【００６７】
第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の外側面側の基板搬送方向沿いの両端部には、それぞれ、ピン１１７を介して回転自在にローラ１１６が取り付けられている。すなわち、ローラ１１６は、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５のそれぞれの背面側の外側面及び正面側の外側面に各々１個ずつ計４個設けられ、レール１３１及び１３２の走行面１３１ａ及び１３２ａ上で第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５を伴って、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、ローラ１１６が走行面１３１ａ及び１３２ａより脱落しないように、案内ブロック１３０ａ及び１３０ｂが、レール１３１及び１３２の走行面１３１ａ、１３２ａの側面側に、走行面１３１ａ、１３２ａ上に沿ってレール１３１及び１３２と平行に配置されている。
【００６８】
第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面には、角材のヒータ支持部材１１５が取り付けられている。ヒータ支持部材１１５は、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面の正面側及び背面側に各々１個ずつ計４個配置されている。そして、大略長方形の板状の上ヒータ１１１が、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向両側で２個ずつのヒータ支持部材１１５に少し隙間を設けて挟まれるように、かつ第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面に少し隙間を設けて挟まれるように、給気管１１２と排気管１１３との上に自重で載置されている。よって、上ヒータ１１１は、ヒータ支持部材１１５、第１給排気管支持部材５１４、及び第２給排気管支持部材５１５によりＰＤＰ用基板１０の搬送方向及び該搬送方向と直交する方向に移動が規制されている。
【００６９】
即ち、各給気穴１４１より給気されたガスは、給気管１１２の上に載置された上ヒータ１１１に当たって加熱される。その加熱されたガスは、ＰＤＰ用基板１０上の膜に接触してこの膜を乾燥させる。そして、その乾燥により蒸発した溶剤を含むガスは、各排気穴１４２から排気管１１３内に吸引される。上ヒータ１１１は、ヒータ支持部材１１５、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の間に隙間を有し、給気管１１２と排気管１１３との上に自重で載置されているだけであるので、たとえ上ヒータ１１１が熱で膨張したとしても、上ヒータ１１１と、給気管１１２と排気管１１３とヒータ部材１１５と第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５との相対移動が可能となり、これらの部材に対して上ヒータ１１１の熱膨張による歪みを生じさせない。
【００７０】
なお、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中に上ヒータ１１１が故障した場合には、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の上ヒータ１１１が故障したかが操作盤に表示されるようになっている。
【００７１】
第１給排気管支持部材５１４または第２給排気管支持部材５１５を乾燥部１００内から引き出すと、４個のローラ１１６がレール１３１及び１３２上を円滑に回転して、第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５と給気管１１２と排気管１１３と上ヒータ１１１とを一体的かつ同時にかつ円滑に取り出すことができるようになっている。
【００７２】
一方、上部ヒータユニット１１０の集中給気管１５５と、乾燥部ガス供給管４２３とを接続し、又は、集中排気管１５６と排出管４０４とを接続している給排気管連結部１８０について説明する。なお、給排気管連結部１８０は、給気管側と排気管側とで同一構造のものである。
【００７３】
給排気管連結部１８０は、集中給気管１５５または集中排気管１５６の一端が挿入されて連結される筒状のソケット１８１と、第１圧縮バネ１８２と、スリーブ１８３と、鋼球１８４と、Ｏリング１８５とを備えている。ここで、給排気管連結部１８０は、外部給気管側接続部又は外部排気管側接続部の一例であり、ソケット１８１は、外部給気管側接続部材又は外部排気管側接続部材の一例である。ここで、図６及び図７において、図６及び図７の左側はＰＤＰ用基板装置５００の正面側（乾燥部正面側）、図６及び図７の右側は背面側（乾燥部背面側）とし、集中給気管１５５、集中排気管１５６及びソケット１８１の軸方向はＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに配置されている。また、図６〜図８において、背面側メンテナンス用扉１０３に対して左側は乾燥部１００の内側を示し、右側は乾燥部１００の外側を示す。
【００７４】
ソケット１８１は、段付きの円筒部材であって、乾燥部正面側から乾燥部背面側に向かう基板搬送方向沿いに、小径部１８１ａと、小径部１８１ａに隣接して配置されかつ外径が小径部１８１ａより大きい中径部１８１ｂと、中径部１８１ｂに隣接して配置されかつ外径が中径部１８１ｂより大きい大径部１８１ｃとが一体的に連結されて構成されている。小径部１８１ａの乾燥部正面側の一端部は、背面側メンテナンス用扉１０３に形成された穴１０３ａに嵌合固定される一方、大径部１８１ｃは乾燥部用ガス給気管４２３に固定的に連結されている。
【００７５】
上記ソケット１８１の小径部１８１ａは、集中給気管１５５の接続端部１５５ａ又は集中排気管１５６の接続端部１５６ａが抜き出し可能に挿入される接続端部挿入用大径穴１８１ｈをその内部に貫通して有する。上記ソケット１８１の中径部側の端部には、大径穴１８１ｈより若干小さい内径でかつ集中給気管１５５の接続端部先端部１５５ｂ又は集中排気管１５６の接続端部先端部１５６ｂが抜き出し可能に挿入される先端部挿入用小径穴１８１ｋを有しており、大径穴１８１ｈと小径穴１８１ｋとの境界に係止段部１８１ｆが形成されて、集中給気管１５５の接続端部１５５ａと接続端部先端部１５５ｂとの境界に形成された係合段部１５５ｃ又は集中排気管１５６の接続端部１５６ａと接続端部先端部１５６ｂとの境界に形成された係止段部１５６ｃが係止段部１８１ｆに係止されることにより、鋼球保持溝１５５ｅと後述する鋼球保持穴１８１ｇとが対向して位置決めされて、鋼球１８４による係合が確実に行なえるようにしている。ここで、接続端部挿入用大径穴１８１ｈ及び先端部挿入用小径穴１８１ｋは、外部給気管側通路の一例である。
【００７６】
一方、ソケット１８１の小径部１８１ａの外面には、円筒状のスリーブ１８３が摺動可能に嵌合されている。
【００７７】
上記中径部１８１ｂの外面には、スリーブ１８３の中径部側の端部が摺動可能に移動可能となっている。中径部１８１ｂの内部には、小径穴１８１ｋ及び乾燥部用ガス給気管４２３に連通する、連通通路１８１ｍが形成されている。
【００７８】
上記大径部１８１ｃは、スリーブ１８３の大径部側の端部１８３ｅが当て止められるスリーブ当接用段部１８１ｅを有する。大径部１８１ｃの内部には、小径穴１８１ｋ及び乾燥部用ガス給気管４２３に連通する、連通通路１８１ｍが形成されている。
【００７９】
鋼球１８４は、ソケット１８１の小径部１８１ａの中間部に、ソケット１８１の軸に対して対称に複数配置された鋼球保持穴部１８１ｇ内に嵌合されている。穴部１８１ｇは、内側に向かうに従い内径が小さくなるような、すり鉢状に形成されることにより、鋼球１８４が内側に脱落しない一方、穴部１８１ｇの底部の開口より鋼球１８４の一部が突出することにより、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａ又は１５６ａの外面に圧接して、大径穴１８１ｈ内から接続端部１５５ａ又は１５６ａが抜き出し不自在となるように係合可能となっている。
【００８０】
スリーブ１８３は、ソケット１８１の外面に対して係合位置（図６のスリーブ１８３の正面側端面１８３ｆが実線の位置４０にある位置）と係合解除位置（図６のスリーブ１８３の正面側端面１８３ｆが２点鎖線の位置４１にある位置）との間で摺動可能に嵌合配置される円筒の部材である。スリーブ１８３の内側には、ソケット１８１の小径部１８１ａの外面が嵌合可能でかつ貫通した小径穴１８３ａと、ソケット１８１の小径穴１８３ａに連続して形成されかつソケット１８１の中径部１８１ｂの外面が嵌合可能でかつ貫通した中径穴１８３ｂとを有している。中径穴１８３ｂとソケット１８１の小径部１８１ａの外面との間でかつ中径穴１８３ｂの端面１８３ｃとソケット１８１の中径部１８１ｂのバネ係止用段部１８１ｄとの間には、第１圧縮バネ１８２が配置されて、ソケット１８１の中径部１８１ｂの段部１８１ｄに対して、スリーブ１８３を、常時、乾燥部正面側に向けて第１圧縮バネ１８２の付勢力で付勢することにより、スリーブ１８３が係合位置４０に位置するようにしている。スリーブ１８３の係合位置４０では、スリーブ１８３の乾燥部正面側の端部で鋼球１８４を鋼球保持穴１８１ｇ内に嵌り込むように押圧し続けて、鋼球１８４が、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａの外面の鋼球保持溝１５５ｅに係合するようにしている。
【００８１】
スリーブ１８３の小径穴１８３ａの乾燥部正面側の端縁には、鋼球１８４に係合可能な穴部１８３ｄが形成されており、背面側メンテナンス用扉１０３の外側からの外力により、スリーブ１８３が、第１圧縮バネ１８２の付勢力に抗して、ソケット１８１の大径部１８１ｃ側に押しやられて係合解除位置に位置させられるとき、穴部１８３ｄが鋼球保持穴１８１ｇに連結されるように位置して、鋼球保持穴１８１ｇ内の鋼球１８４が鋼球保持穴１８１ｇの外側向きに穴部１８３ｄ内まで移動可能として、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａ又は１５６ａの外面に対する鋼球１８４の係合を解除し、かつ、鋼球保持穴１８１ｇの外側に鋼球１８４が脱落しようとするのを、スリーブ１８３の穴部１８３ｄにより係合して阻止するようにしている。
【００８２】
また、ソケット１８１の小径部１８１ａの小径穴１８１ｋの内周面には、Ｏリング１８５を配置する溝１８１ｎが形成されており、該溝１８１ｎにＯリング１８５が配置されて、先端部挿入用小径穴１８１ｋ内に嵌合された接続端部先端部１５５ｂ又は１５６ｂの外周面と小径穴１８１ｋの内周面との間を密閉するようにしている。
【００８３】
従って、上記構成によれば、第１圧縮バネ１８２の付勢力により、スリーブ１８３は常時、係合位置４０に位置し、ソケット１８１と、ソケット１８１内に挿入されている接続端部１５５ａまたは１５６ａとが鋼球１８４により係合されて、接続端部１５５ａまたは１５６ａは、ソケット１８１内に抜け止め保持される。一方、背面側メンテナンス用扉１０３の外側からの外力（例えば、指）でスリーブ１８３を第１圧縮バネ１８２の付勢力に抗してソケット１８１の大径部１８１ｃ側に移動させることで、鋼球１８４と接続端部１５５ａまたは１５６ａとの係合が解除され、ソケット１８１内から接続端部１５５ａまたは１５６ａを抜き出せるようになっている。
【００８４】
次に、上部ヒータユニット１１０に備えられている上ヒータ１１１と制御部６００との電気的接続を行うヒータ電源連結部１９０について説明する。
【００８５】
ヒータ電源連結部１９０は、上記背面側メンテナンス用扉１０３と一体的に分離可能な可動側電極保持部材１９５と、導電性第２圧縮バネ１９２と、連結用固定ネジ１９１と、絶縁部材１９６と、可動側電極１９３と、乾燥部１００内の上ヒータ１１１に固定して設けられる固定側電極１９４と、固定電極保持部材１９７とを備えている。ここで、可動側電極１９３は、上側電源側接続端子及び下側電源側接続端子の一例であり、固定側電極１９４は、上側ヒータ側接続端子及び下側ヒータ側接続端子の一例であり、導電性第２圧縮バネは圧縮バネの一例である。
【００８６】
可動側電極保持部材１９５は、軸心が基板搬送方向に沿った大略筒形状の導電体より構成されており、一端部が背面メンテナンス用扉１０３の貫通穴１０３ｂ内に絶縁部材１９６を介して固定され、他端部は乾燥部１００の外に露出している。可動側電極保持部材１９５の内部には、その他端から中央部にかけてバネ収納貫通穴１９５ｂを軸心に沿って有しており、バネ収納貫通穴１９５ｂの底部から可動側電極保持部材１９５の一端に向けて、バネ収納貫通穴１９５ｂより小さな内径の可動側電極収納貫通穴１９５ｃを軸心に沿って有している。なお、バネ収納貫通穴１９５ｂの内周面の他端部側にはメネジ部１９５ａが形成されている。
【００８７】
可動側電極１９３は、バネ収納貫通穴１９５ｂ内に移動可能に嵌合された導電性円板部１９３ａと、円板部１９３ａに固定されかつ円板部１９３ａより小径でバネ収納貫通穴１９５ｂから可動側電極収納貫通穴１９５ｃを貫通して背面側メンテナンス用扉１０３の乾燥部内部側に露出可能となっている導電性円柱部１９３ｂとより構成されている。
【００８８】
導電性第２圧縮バネ１９２は、バネ収納貫通穴１９５ｂ内に収納され、導電性固定ネジ１９１がバネ収納貫通穴１９５ｂの他端のメネジ部１９５ａにねじ込まれることにより、固定ネジ１９１と可動側電極１９３の円板部１９３ａとの間に第２圧縮バネ１９２が挟み込まれた状態となり、固定ネジ１９１に対して第２圧縮バネ１９２の付勢力が可動側電極１９３の円板部１９３ａに基板搬送方向の乾燥部正面側に向けて作用して、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂを基板搬送方向の乾燥部正面側に向けて突出させるように働く。また、固定ネジ１９１は電源部６１０と接続されており、電流が固定ネジ１９１から第２圧縮バネ１９２を通って可動電極１９３に流れるようになっている。
【００８９】
固定側電極１９４は、可動側電極保持部材１９７の軸心と大略一致するように基板搬送方向沿いに乾燥部側に固定された大略筒形状の導電体より構成されている。固定側電極１９４は、その一端がケーブルを介して上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１に接続され、他端の固定側電極接触面１９４ａは、第２圧縮バネ１９２で付勢された可動側電極１９３の端面である可動側電極接触面１９３ｄに当接可能となっている。すなわち、背面側メンテナンス用扉１０３が閉じ位置に位置したとき、第２圧縮バネ１９２の付勢力により、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａに圧接して、電気的な導通を確保しつつ接触するようにしている。この結果、可動側電極接触面１９３ｄと固定側電極接触面１９４ａとが接触することで、電源６１０から、可動側電極保持部材１９５、可動電極１９３、固定電極１９４を通って、上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１に電流が流れるようになっている。一方、背面側メンテナンス用扉１０３が閉じ位置から離れる開き動作を開始した直後には、固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａから可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが離れて、両者の物理的接触が解除されると同時的に電気的導通が断たれるようになっている。なお、固定側電極接触面１９４ａは、細かい凹凸が形成されており、より確実に、可動側電極接触面１９３ｄと接触できるようになっている。なお、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１１０が乾燥部１００の外側に引き出せるように、背面側開口１０１ｂの開口を確保すべく背面メンテナンス用扉１０３を開き位置まで開くようになっている。
【００９０】
なお、背面側メンテナンス用扉１０３に給排気管連結部１８０とヒータ電源連結部１９０とを別々に設けたが、図８、図９に示すように、集中給気管１５５の接続端部１５５ａまたは集中排気管１５６の接続端部１５６ａが挿入されるソケット１８１に上ヒータ１１１または下ヒータ１２１の電気のケーブル１９８を内蔵する構造としたケーブル内蔵ソケット１８６としても良い。
【００９１】
次に、下部ヒータユニット１２０について、図１０〜図１２を基に説明する。
【００９２】
下部ヒータユニット１２０は、下ヒータ１２１と、ヒータ支持枠１２４と、ヒータ枠１２５と、第２ローラ１２６と、第２ピン１２７と、第２レール１５１、１５２と、第２案内ブロック１５０ａ、１５０ｂとを備えている。ここで、第２ローラ１２６は下側ローラの一例であり、第２レール１５１、１５２は、下側レールの一例であり、下ヒータ１２１は板状下側基板加熱用ヒータの一例である。
【００９３】
各第２レール１５１と１５２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１５１ａと１５２ａとがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の下方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに筐体１０１の内面の側面へ固定して設けられている。
【００９４】
ヒータ支持枠１２４は、板材により大略長方形の枠になるように形成され、ヒータ支持枠１２４におけるＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いの両側縁部の外側の２ヶ所に第２ローラ１２６が第２ピン１２７で回転自在に取り付けられている。第２ローラ１２６は、各第２レール１５１、１５２の走行面１５１ａ、１５２ａ上でヒータ支持枠１２４を伴って、ＰＤＰ用基板搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、第２ローラ１２６が走行面１５１ａ、１５２ａより脱落しないように、第２案内ブロック１５０ａ、１５０ｂが、レール１５１及び１５２の走行面１５１ａ、１５２ａの側面側に、走行面１５１ａ、１５２ａ上に沿ってレール１５１及びレール１５２と平行に配置されている。棒状の角材により形成された大略長方形のヒータ枠１２５は、ヒータ支持枠１２４の上に固定して設けられて、大略長方形の板状の下ヒータ１２１が、ヒータ枠１２５内に少し隙間を設けてヒータ支持枠１２４の上に自重で載置されて、下ヒータ１２１は、ヒータ枠１２５によりＰＤＰ用基板１０の搬送方向及び該搬送方向と直交する方向に移動が規制されている。
【００９５】
また、下ヒータ１２１は、ヒータ枠１２５との間に隙間を介してヒータ支持枠１２４の上に載置されているだけであるため、たとえ下ヒータ１２１が熱で膨張したとしても、下ヒータ１２１とヒータ支持枠１２４とヒータ枠１２５との相対移動は可能となり、それらの部材に対して熱膨張による歪みを生じさせない。
【００９６】
ヒータ支持枠１２４を乾燥部１００内から引き出すことで、ヒータ支持枠１２４に取り付けられた４個の第２ローラ１２６が一対の第２レール１５１、１５２上を円滑に回転して、ヒータ支持枠１２４の上に載置された下ヒータ１２１とを一体的かつ同時かつ円滑に取り出すことができるようになっている。
【００９７】
また、下部ヒータユニット１２０の下ヒータ１２１は、上述した上部ヒータユニット１１０と同様にヒータ電源連結部１９０によって制御部６００と接続されている。つまり、背面側メンテナンス用扉１０３の開き動作を開始した直後には、固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａから可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが離れて、両者の物理的接触が解除されると同時的に電気的導通が断たれるようになっている。このように、各乾燥部１００におけるそれぞれの背面側メンテナス用扉１０３において、給気用と排気用の２個の給排気管連結部１８０と、上ヒータ１１１用と下ヒータ１２１用の２個のヒータ電源連結部１９０とを備えている。
【００９８】
また、図１６に示すように、下ヒータ１２１は、ヒータ本体１８８と、ヒータ本体とは異なる材質の部材１８９とが貼り合わされていて、ヒータ本体１８８の熱膨張係数と部材１８９の熱膨張係数とが異なるため、下ヒータ１２１は加熱されると反ってしまう。下ヒータ１２１の反りによって、ＰＤＰ用基板１０下面の熱分布は均一でなくなる。その結果ＰＤＰ用基板１０は均一に乾燥しなくなり、ＰＤＰ用基板１０の品質に悪影響を及ぼす。
【００９９】
そこで、図１１、図１２に示すように、下ヒータ１２１が長手方向に沿って反るとした場合、長手方向沿いで下ヒータ１２１にリブ１３５を設けて、さらに長手方向に直交する方向に等間隔でリブ１３５を下ヒータ１２１に設けることで、下ヒータ１２１の長手方向沿いの反りは軽減される。また、溶接によって下ヒータにリブ１３５を設ける際、長手方向に等間隔に溶接を行うのが好ましい。なお、図１０において、リブ１３５の図示を省略している。
【０１００】
また、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中、下ヒータ１２１が故障した場合、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の下ヒータ１２１が故障したかが操作盤に表示されるようになっている。
【０１０１】
また、冷却部２００内の背面側メンテナンス用扉２０３に給排気管連結部１８０を設けて、冷却プレート２０６に通じる管（図２の集中給気管１５５に相当する管）と、冷却部用ガス給気管４２４とを給排気管連結部１８０により接続し、排気管２１３と排出管４０４とを給排気管連結部１８０により接続しても良い。
【０１０２】
次に、筐体１０１から背面側メンテナンス用扉１０３を取り外した後、上部ヒータユニット１１０を乾燥部１００外に取り出す場合または、下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００外に取り出す場合、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０を受ける台車８００について、図１３をもとに説明する。
【０１０３】
台車８００は、台車フレーム８０１と、台車フレーム８０１の底に取り付けられた回転自在の４個の車輪８０２と、台車フレーム８０１に対して図示しないモータの回転駆動により昇降可能な昇降部８０３とを備えている。
【０１０４】
昇降部８０３は、例えば、図示しないモータの回転駆動により台車フレーム８０１に対して昇降し適宜位置決め可能となっており、ローラ受けレール８０４及び８０５を備えている。
【０１０５】
ローラ受けレール８０４と８０５は、互いに平行な縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ受け面８０４ａ、８０５ａがお互い近接されるように、かつ上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０のローラ１１６及びローラ１２６がローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上を自在に走行可能となるように配置されている。よって、図示しないモータの駆動、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させ、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０を取り出す予定の乾燥部１００に設けられている上部ヒータユニット１１０のローラ走行面１３１ａ及び１３２ａの位置に適宜位置決めし、上部ヒータユニット１１０をローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上に移載可能となっている。また、図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させ、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を各乾燥部１００に設けられている下部ヒータユニット１２０のローラ走行面１５１ａ及び１５２ａの位置に適宜位置決めし、下部ヒータユニット１２０をローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上に移載可能となっている。
【０１０６】
図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を昇降させることで、ローラ受けレール８０４、８０５上に載置された上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をメンテナンスし易い位置に昇降できるようになっている。
【０１０７】
また、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をローラ受けレール８０４、８０５上に載置したまま、作業者がメンテナンスを行う別の場所に台車８００ごと車輪８０２の回転を伴って移動し、該場所にて図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を昇降させることで、ローラ受けレール８０４、８０５上に載置された上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をメンテナンスし易い位置に昇降できるようになっている。
【０１０８】
以上のように構成されたＰＤＰ用基板乾燥装置５００の各乾燥部１００、冷却部２００、上下移載部３００、排気部４００、給気部４２０のそれぞれの動作は、制御部６００に格納されている動作制御プログラムによって動作制御されている。
【０１０９】
なお、上記のように構成された、上記ＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、以下の如く動作する。
【０１１０】
まず、乾燥対象のＰＤＰ用基板１０が、搬入・搬出口５０５を通って、基板移載部３１０のローラ３１１の回転により基板移載部３１０に搬入される。ＰＤＰ用基板１０が搬入された基板移載部３１０、上下駆動モータ３２２ａ、３２２ｂの同期回転により、昇降し、所定の温度設定された乾燥部１００に対向する位置で位置決め停止される。位置決め停止が完了すると、基板移載部３１０のローラ３１１及び、乾燥部１００のローラ１０４の回転によって、ＰＤＰ用基板１０は乾燥部１００内に搬入される。上記乾燥部１００の正面扉１０２が閉じられた後、乾燥部１００内の温度があらかじめ定められた温度になるように、各乾燥部１００に設けられた上ヒータ１１１と下ヒータ１２１とを制御部６００によって温度制御する。
【０１１１】
また、上記乾燥部１００内の温度を維持している間、ガスが各給気管１１２に形成された各給気穴１４１より上ヒータ１１１に向かって供給されることで、ＰＤＰ用基板１０上の膜にガスが直接当たることなく、また、乾燥部１００内の溶剤濃度を大略均一に保ちながら乾燥部１００内を流れ、ガスがＰＤＰ用基板１０の膜より蒸発した溶剤を同伴して各排気穴１４２を通って各排気管１１３へ吸い込まれ、排出管４０４を通って、乾燥部１００内より排気される。乾燥部１００内に搬入されたＰＤＰ用基板１０は、所定時間で乾燥が終了し、再び基板移載部３１０に移載され、冷却部２００に同様に搬入される。冷却部２００内で冷却されたＰＤＰ用基板１０は、基板移載部３１０を通って、基板搬入・搬出口５０５から搬出される。
【０１１２】
上述のように動作するＰＤＰ用基板乾燥装置５００の乾燥部１００において、上部ヒータユニット１１０及び、下部ヒータユニット１２０に取り付けられている上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１は、故障によりまたは定期的にメンテナンスを行う必要がある。
【０１１３】
そこで、上ヒータ１１１または下ヒータ１２１をメンテナンスする際、各乾燥部１００の高さは低いため、乾燥部１００内に手を入れてメンテナスを行うのは困難であるため、上ヒータ１１１の備えられている上部ヒータユニット１１０または下ヒータ１２１の備えられている下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００内から外へ引き出して、乾燥部１００外でメンテナンスを行う動作について以下に説明する。
【０１１４】
まず、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中に上ヒータ１１１が故障した場合について述べる。上ヒータ１１１が故障した場合、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の上ヒータ１１１が故障したかが操作盤に表示される。
【０１１５】
故障した上ヒータ１１１が備えられている乾燥部１００に通じる乾燥用ガス給気管４２３に備えられた図示しない開閉弁を閉じて、乾燥用ガス給気管４２３からの給気を止めるとともに、排出管４０４に図示しない開閉弁を備えた場合、これを閉じて、排出管４０４からの排気を止める。
【０１１６】
故障した上ヒータ１１１が備えられている乾燥部１００における背面メンテナンス用扉１０３を乾燥部１００に対して閉じ位置にある状態で、給気管１１２側の給排気管連結部１８０と排気管１１３側の給排気管連結部１８０のそれぞれにおいて、ソケット１８１に対してスリーブ１８３を係合位置４０から係合解除位置４１に位置させる。これらの係合解除位置４１で作業者が位置保持したまま、若しくは、何らかの係合機構でもって係合解除位置４１にそれぞれ位置保持したまま、背面側メンテナンス用扉１０３を開く動作を開始する。この背面側メンテナンス用扉１０３は、最初のうちは、並行移動させることにより、給気管１１２側及び排気管１１３側のソケット１８１内にそれぞれ挿入されていた集中給気管１５５及び集中排気管１５６を抜き出させる。このとき、同時的に、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄと固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａとの接触を離す。これにより、給気管側ではガス供給源４２１と乾燥部用ガス給気管４２３との接続を解除するとともに、排気部４００と排出管４０４との接続を解除し、さらに、固定側電極１９４言い換えれば上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１と、電源部６１０との電気的接続を解除する。よって、可動電極１９３と固定電極１９４との接触が断たれて、上ヒータ１１１は電源と接続されなくなり、上ヒータ１１１の温度が次第に降下する。
【０１１７】
その後、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０が乾燥部１００の外側に引き出せるように、背面側開口１０１ｂの開口を確保すべく背面メンテナンス用扉１０３を開き位置まで開く。
【０１１８】
以上の準備が終了すると、作業者が、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の背面側に台車８００を待機させ、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させて、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を当該乾燥部１００に設けられている上部ヒータユニット１１０のローラ走行面１３１ａ及び１３２ａの位置に合わす。
【０１１９】
次いで、第１給排気管支持部材５１４または第２給排気管支持部材５１５を乾燥部１００内から引き出すと、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５に取り付けられたローラ１１６が一対の乾燥部１００に設けられたレール１３１、１３２上及びローラ受け８０４、８０５上を回転して、第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５と給気管１１２と排気管１１３と上ヒータ１１１とを一体的かつ同時にかつ円滑に乾燥部１００内から台車のローラ受け８０４、８０５に移載させることができる。
【０１２０】
上部ヒータユニット１１０をローラ受けレール８０４、８０５上に載置したまま、作業者が、メンテナンスを行う場所に台車８００ごと車輪８０２の回転を伴って移動し、該場所にてメンテナンスを行う。
【０１２１】
また、下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００から取り出す場合も、上部ヒータユニット１１０を取り出す場合と同様に、ヒータ支持枠１２４を乾燥部１００から引き出すことで、ヒータ支持枠１２４に取り付けられたローラ１２６が一対のレール１５１、１５２上及びローラ受け８０４、８０５上を回転して、ヒータ支持枠１２４の上に載置された下ヒータとを一体的かつ同時かつ円滑に乾燥部１００内から台車のローラ受け８０４、８０５に移載させることができる。
【０１２２】
従って、乾燥部１００内から上部ヒータユニット１１０を取り出すことで、上ヒータ１１１と給気管１１２と排気管１１３とを同時に取り出すことができ、メンテナスの行い易い場所で、上ヒータ１１１または給気管１１２または排気管１１３のメンテナンスを容易に行うことができるようになる。
【０１２３】
また、乾燥部１００内から下部ヒータユニット１２０を取り出すことで、メンテナスの行い易い場所で、下ヒータ１２１のメンテナンスを容易に行うことができるようになる。
【０１２４】
また、各々の乾燥部１００のメンテナンス用背面扉１０３が独立して開閉しすることができ、背面メンテナンス用扉１０３を開けると同時に上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１の電源が切れるようになっているため、メンテナンスを行っている乾燥部１００以外の他の乾燥部１００を稼動し続けることが可能となり、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動率低下を軽減でき、かつ安全にメンテナンスを行うことが可能である。
【０１２５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、図１４、図１５に示すように、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００における乾燥部１００の側面に側面開口７０１ｃを形成し、側面側メンテナンス用扉７４０を設けて、背面側からでなく側面側から取り出せる上部ヒータユニット７００を構成することもできる。ここで、側面開口７０１ｃは、メンテナンス用開口部の一例であり、側面側メンテナンス用扉７４０は、開閉ドアの一例である。また、側面側メンテナンス用扉７４０が設けられる側の側面側（図１４の右側）を第１側面側５０とし、反対側の側面側（図１４の左側）を第２側面側５１とする。
【０１２６】
上部ヒータユニット７００は、上ヒータ７４１と、第３給排気管支持部材７１０と、第４給排気管支持部材７１１と、第５給排気管支持部材７１２と、第６給排気管支持部材７１３と、給気管接続部の一例としての集中給気管７５１と、集中排気管７５２と、第３ローラ７１６と、第３ピン７１７と、第３レール７３１、７３２と、第３案内ブロック７３０ａ、７３０ｂとを備えている。ここで、第３ローラ７１６、第３レール７３１及び第３レール７３２は、案内機構の一例であり、第３ローラ７１６は上側ローラの一例であり、第３レール７３１、７３２は、上側レールの一例である。また、第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、給排気管支持部材の一例であり、上ヒータ７４１は、板状上側基板加熱用ヒ−タの一例である。
【０１２７】
第３レール７３１と７３２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１３１ａ、１３２ａがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の上方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交する方向沿いに筐体１０１の内側面に固定して設けられている。
【０１２８】
第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、断面が四角枠の部材で、第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１にて対辺をなし、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３にて対辺をなす大略長方形の第２給排気管支持枠７５０になるように乾燥部１００内に配置されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１は、第３レール７３１、７３２の内側で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交する方向に延在して配置されている。第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に沿って延在して配置されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の第２側面側５１の一端は閉じられており、内部には第３通路７１０ａ及び第４通路７１０ａが形成されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の第１側面側５０の他端には、集中排気管７５２がそれぞれ固定して設けられている。第３給排気管支持部材７１０に接続された集中排気管７５２は、第３通路７１０ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。第４給排気管支持部材７１１に接続された集中排気管７５２は、第４通路７１１ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。
【０１２９】
一方、第５給排気管支持部材７１２は、両端を閉じられて、内部には第５通路７１２ａが形成されている。第６給排気管支持部材７１２の内部には、第６通路７１３ａが第３通路７１０ａと第４通路７１１ａとに連通して形成されている。つまり、第３通路７１０ａと第４通路７１１ａと第６通路７１３ａとが連通し、第５通路７１２ａは他の通路に連通していないようになっている。
【０１３０】
集中給気管７５１は、第５給排気管支持部材７１２の第１側面側５０の面に２箇所、第５通路７１２ａに連通して設けられている。
【０１３１】
給気管１１２及び排気管１１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交するように計５本設けられており、各々が等間隔にかつ平行となるように配置されている。各給気管１１２の一端は、第５給排気管支持部材７１２に固定して設けられ、他端は第６給排気管支持部材７１３に固定して設けられている。同様に、各排気管１１３の一端は、第５給排気管支持部材７１２に固定して設けられ、他端は第６給排気管支持部材７１３に固定して設けられている。第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、各給気管１１２及び各排気管１１３の上面が、第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３の上面７１０ｂ、上面７１１ｂ、上面７１２ｂ及び上面７１３ｂより下方となるように、接続されている。なお、正面扉１０２側から排気管１１３、給気管１１２、給気管１１２、給気管１１２、排気管１１３の順で配置されている。また、各給気管７２２及び各排気管７２３にはＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交してそれぞれ第２給気通路７２２ａ及び第２排気通路７２３ａが形成されており、各第２給気通路７２２ａは第５通路７１２ａに連通するが、第６通路７１３ａには連通せず、各排気通路７２３ａは、第６通路７１３ａに連通するが、第５通路７１２ａには連通していない。従って、集中給気管７５１に給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３を連通して接続することで、ガス給気源４２１より供給されるガスは、予熱ヒータ４３８を通って乾燥用ガス給気管４２３内で加熱され、加熱されたガスは、給排気管接続部１８０、集中給気管７５１及び第５通路７１２ａを通って、各給気管７２２に形成された複数の給気穴１４１より乾燥部１００内に給気されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤が含まれたガスは、各排気管７２３に形成された各排気穴１４２より第６通路７１３ａに入り、第４通路７１１ａ、第６通路７１３ａ、集中排気管７５２及び給排気管連結部１８０を通って排出管４０４から排気可能となっている。
【０１３２】
第３給排気管支持部材７１０の第２側面側５１及び第４給排気管支持部材７１１の第１側面側５０には、ピン７１７を介して回転自在にローラ７１６が取り付けられている。ローラ７１６は、第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の背面側及び正面側に各々１個ずつ計４個設けられ、レール７３１及び７３２の走行面７３１ａ、７３２ａ上で第２給排気管支持枠７５０を伴って搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、ローラ７１６が走行面７３１ａ及び７３２ａより脱落しないように、案内ブロック７３０ａ及び７３０ｂがレール７３１及び７３２の走行面７３１ａ、７３２ａ上に沿って平行に配置されている。
【０１３３】
大略長方形の板状の上ヒータ７４１が、第２給排気管支持枠７５０内に少し隙間を設けて各給気管７２２、各排気管７２３の上に自重で載置されて、第２給排気管支持枠７５０で移動が規制されている。
【０１３４】
第２給排気管支持枠７５０を乾燥部１００内から引き出すと、４個のローラ７１６がレール７３１及び７３２上を円滑に回転して、第２給排気管支持枠７５０と給気管７２２と排気管７２３と上ヒータ７４１とを一体的かつ同時にかつ円滑にＰＤＰ用基板乾燥装置５００の側面側から取り出すことができるようになっている。
【０１３５】
また、上部ヒータユニット７００は側面メンテナンス用扉７４０側より取り出すと記載したが、背面メンテナンス用扉１０３側より取り出しても良い。
【０１３６】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【０１３７】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、給排気管支持部材、給気管、排気管及び板状上側基板加熱用ヒ−タを一体的に構成し、案内機構により案内可能とする一方、開閉ドアを開くとき、給気管の給気管接続部を加熱ガスを供給する外部給気管に接続された上記開閉ドアの外部給気管側接続部から分離可能とし、排気管の排気管接続部を加熱ガスを回収する外部排気管に接続された上記開閉ドアの外部排気管側接続部から分離可能とし、さらに、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子を電源に接続された上記開閉ドアの上側電源側接続端子から分離可能に構成している。その結果、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出できる。従って、乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータ又は給排気管を容易にメンテナンスすることができる。また、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜けると同時的に上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記基板加熱用ヒータに電気が通じなくなり、上記基板加熱用ヒータの温度が下がっていくことで、より安全にメンテナンスを行うことができる。
【０１３８】
本発明の上記第２態様によれば、上記案内機構は、上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えることで、上記上側レール上を上記上側ローラの回転を伴って上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材とを一体的に取り出すことで、取り出し時の摩擦を少なくでき、その結果、安定して、かつ円滑に取り出すことができる。
【０１３９】
本発明の上記第３態様によれば、上記外部給気管側接続部は、上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備えることで、上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるようになる。また、上記外部排気管側接続部は、上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記排気管接続部との上記係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備えることで、上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜けるようになる。従って、上記外部給気管通路内に上記給気管接続部を挿入して接続し、また上記外部排気管通路内に上記排気管接続部を挿入して接続することで、より確実に接続することができるようになる。また、係合位置及び係合解除位置があることで、より確実な給気管と外部給気管との接続及び接続解除することができ、また排気管と外部排気管との接続及び接続解除することができる。
【０１４０】
本発明の上記第４態様によれば、上記上側電源側接続端子は、上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触するように構成している。その結果、上記開閉ドアの閉じ動作により、上記圧縮バネにより付勢された上記上側電源側接続端子が上記上側ヒータ側接続端子に確実に接触することで、装置の信頼性の向上が図れる。
【０１４１】
本発明の上記第５態様によれば、板状下側基板加熱用ヒータ及びヒータ支持枠を一体的に構成し、上記乾燥室内の下側レールと上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して出し入れ可能なヒータ支持枠とする一方、上記開閉ドアを開くとき、上記板状下側基板加熱ヒータの下側ヒータ側接続端子を電源に接続された上記開閉ドアの下側電源側接続端子から分離可能にし、さらに、上記下側電源側接続端子は圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記下側ヒータ側接続端子に接触する構成としている。その結果、上記開閉ドアの開き動作により、上記下側電源側接続端子が上記下側ヒータ側接続端子から離れることで、上記の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出できる。従って、乾燥室内に設置されている板状下側基板加熱ヒータを容易にメンテナンスすることができる。
【０１４２】
本発明の上記第６態様によれば、上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備えることで、上記板状下側基板加熱用ヒータの熱による長手方向沿いの反りは軽減される。この結果、ＰＤＰ用基板の下面の熱分布は大略均一となり、ＰＤＰ用基板の乾燥後の品質を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の構成を示す一部断面を有する右側面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す一部断面平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す図２における一部断面のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す図３における左側部分Ｂの一部断面の部分拡大図である。
【図５】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットにおける給気管及び排気管を表す断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気管連結部において、ソケットとプラグが鋼球によって係合された状態を表す一部断面側面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気管連結部において、プラグの溝から鋼球が外れ、ソケットとプラグの鋼球を介しての係合が外れた状態を表す一部断面側面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気連結部における、給排気の配管と上ヒータの電気のケーブルとを一緒にまとめたケーブル内蔵配管の構成を表すケーブル内蔵配管の軸方向に沿った断面図である。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気連結部における、図８のケーブル内蔵配管の縦断面図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットの構成を示す一部断面正面図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおける下ヒータ底面にリブを設けた構成を示す正面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおけるリブを設けた下ヒータを表す図１１のＣ矢視図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置における上部ヒータユニット及び下部ヒータユニットを乾燥部から取り出す際に用いる台車の構成を表す斜視図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態の第１の変形例におけるＰＤＰ用基板乾燥装置の側面側より取り出せる上部ヒータユニットの構成を示す一部断面平面図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態の第１の変形例における図１４に示す上部ヒータユニットの一部断面のＤ−Ｄ矢視図である。
【図１６】従来のＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおける下ヒータ加熱時の下ヒータの反りを表す一部断面正面図である。
【符号の説明】
１０…ＰＤＰ用基板、４０…係合位置、４１…係合解除位置、１００…乾燥部、１０１ａ…正面開口、１０１ｂ…背面開口、１０３…背面側メンテナンス用扉、１１０…上部ヒータユニット、１１１…上ヒータ、１１２…給気管、１１３…排気管、１１６…ローラ、１２０…下部ヒータユニット、１２１…下ヒータ、１２４…ヒータ支持枠、１２６…第２ローラ、１３１…レール、１３２…レール、１５１…第２レール、１５２…第２レール、１５５…集中給気管、１５６…集中排気管、１８０…給排気管連結部、１８１…ソケット、１８１ｈ…接続端部挿入用大径穴、１８１ｋ…先端部挿入用小径穴、１８４…鋼球、１９０…ヒータ電源連結部、１９２…導電性第２圧縮バネ、１９３…可動側電極、１９４…固定側電極、４０４…排出管、４２３…乾燥部用ガス給気管、５１４…第１給排気管支持部材、５１５…第２給排気管支持部材、６１０…電源部、７０１ｃ…側面開口、７１６…第３ローラ、７２２…給気管、７２３…排気管、７３１…第３レール、７３２…第３レール、７４０…側面側メンテナンス用扉、７４１…上ヒータ、７５０…第２給排気管支持枠、７５１…集中給気管、７５２…集中排気管。

Claims

搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給気管及び排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記乾燥室に上記搬出搬入口とは異なるメンテナンス用開口部に開閉可能に設けられる開閉ドアと、
上記給気管及び上記排気管を支持し、上記乾燥室内の上方で、案内機構により案内されて上記乾燥室内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、上記給気管及び上記排気管と伴に出し入れ可能な給排気管支持部材と、
上記乾燥室内の上方で上記給気管及び上記排気管上に相対移動不可に載置された板状上側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記給気管へ上記加熱ガスを供給する外部給気管に一端が連通して接続され、他端が上記給気管に連通して分離可能に上記給気管の給気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記給気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部給気管側接続部と、
上記開閉ドアに設けられ、上記排気管から上記加熱ガスを回収する外部排気管に一端が連通して接続され、他端が上記排気管に連通して分離可能に上記排気管の排気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記排気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部排気管側接続部と、
電源部と接続され、かつ上記開閉ドアに設けられ、上記開閉ドアの閉じ位置で、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子に上記閉じ位置で当接して接続され、上記開閉ドアの開き動作により、上記上側ヒータ側接続端子から離れて接続が解除される上側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出可能とするようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置。
上記案内機構は、
上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、
上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えた請求項１に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
上記外部給気管側接続部は、
上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、
給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備え、
上記外部排気管側接続部は、
上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、
排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、上記係合位置から、上記排気管接続部との係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備え、
上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材及び上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるとともに上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜ける請求項１または２に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
上記上側電源側接続端子は、
上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触する請求項１〜３のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
上記乾燥室の下方で、上記乾燥室内を加熱する基板加熱部をさらに備えており、
上記基板加熱部は、
上記乾燥室内の両側面の下方で上記メンテナンス用開口部に向かって延びた一対の下側レールと、
上記乾燥室内の下方で上記一対の上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、出し入れ可能なヒータ支持枠と、
上記乾燥室内の下方で上記ヒータ支持枠に相対移動不可に載置された板状下側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で下側ヒータ側接続端子に接触する下側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの開き動作により、上記下側ヒータ側接続端子と上記下側電源側接続端子との接触を断ち、上記一対の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出可能とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備える請求項５に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。