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JP2000055564A - ロ―ラ―ハ―スキルン - Google Patents

ロ―ラ―ハ―スキルン

Info

Publication number
JP2000055564A
JP2000055564A JP11233644A JP23364499A JP2000055564A JP 2000055564 A JP2000055564 A JP 2000055564A JP 11233644 A JP11233644 A JP 11233644A JP 23364499 A JP23364499 A JP 23364499A JP 2000055564 A JP2000055564 A JP 2000055564A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
furnace
atmosphere
furnace chamber
rollers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11233644A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Urushizaki
雅紀 漆崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP11233644A priority Critical patent/JP2000055564A/ja
Publication of JP2000055564A publication Critical patent/JP2000055564A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】ローラーの隙間からの雰囲気ガスの漏洩をなく
し、雰囲気調整の容易化と安全性の向上とを図ることが
できるローラーハースキルンを提供する。 【構成】炉室の内部に雰囲気ガスが供給されるローラー
ハースキルンの炉体1の外側に、シールカバー5を設
け、ローラー3の隙間から漏れる炉内の雰囲気と外気と
をシールする。シールカバー5はガスパージ式とし、炉
体1の両側に設けることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子部品等の焼
成に用いられるローラーハースキルンに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】製品をローラーにより移送しつつ焼成を
行うローラーハースキルンは古くから知られているが、
最近ではこのローラーハースキルンの炉室の内部を水素
ガスによる還元性雰囲気とし、電子部品等の還元焼成を
行うローラーハースキルンが開発されている。
【0003】ところが一般にローラーハースキルンで
は、製品を移送するための多数のローラーの端部を炉体
の外部に露出させて駆動する必要があるため、各ローラ
ーが炉体を貫通する部分の隙間から多少の雰囲気ガスが
洩れることが避けられない。このために種々のシール手
段が用いられてきたが、雰囲気ガスの漏洩を完全に防止
することはできず、その分だけ炉内の雰囲気調整が困難
になるという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決し、ローラーの隙間からの雰囲気ガスの
漏洩をなくし、雰囲気調整の容易化を図ることができる
ローラーハースキルンを提供するためになされたもので
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明は、ローラーの端部を炉体の外部に
露出させたローラーハースキルンにおいて、炉室の内部
に雰囲気ガスを供給するとともに、炉体の外側にシール
カバーを設け、ローラーの隙間から漏れる炉内の雰囲気
と外気とをシールしたことを特徴とするものである。な
お、シールカバーはガスパージ式のものであることが好
ましく、またシールカバーを炉体の両側に設けることが
好ましい。更に、炉室の入口と出口にもそれぞれガスボ
ックスを設け、炉の出入口からの外気の進入を防止する
ことが好ましく、これらのガスボックスの内部を多数の
仕切り板により細かく区画するとともに、その内部に窒
素ガス等を供給した構造とすることが好ましい。
【0006】本発明のローラーハースキルンにおいて
は、炉体の外側に設けたシールカバーによりローラーの
隙間から漏れる炉内の雰囲気をシールすることができる
ので、炉室内の雰囲気調整が容易である。
【0007】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照しつつ、本発明
の好ましい実施形態を示す。図1、図2は本発明の実施
形態を示すもので、1はローラーハースキルンの炉体、
2は炉室、3は炉室2の全長にわたって一定ピッチで設
けられた多数のローラーである。図2に示すようにロー
ラー3は台板4に載せた製品Wを移送するためのもの
で、通常のローラーハースキルンではローラー3の端部
および駆動部は炉体1の外部に露出しているが、本実施
形態のローラーハースキルンでは炉体1の両側にガスパ
ージ式のシールカバー5、5が設けてあり、ローラー3
の隙間から漏れる炉内の雰囲気と外気とをシールしてい
る。このため、炉内の雰囲気ガスの漏洩による雰囲気変
動がないので雰囲気調整が容易である。また雰囲気ガス
に水素ガスが含まれる場合にも、危険性がない。
【0008】炉室2のローラー3を挟む上下位置には、
加熱用ヒーター6、7が適当な間隔で設置され、ローラ
ー3上を走行する製品Wを上下両面から加熱するように
なっている。この例では加熱源として電気ヒーターが使
用されているが、ラジアントチューブのような他の加熱
源を使用することもできる。
【0009】図1に示すように、炉室2は上下の隔壁
8、9により長手方向に区画されている。そして炉室2
の各区画には、ガス供給管10が設けられている。このガ
ス供給管10は上方の加熱用ヒーター6よりも製品Wに近
い位置に設けられており、その斜め下側に透設されたガ
ス供給口から、水素ガスと窒素ガスとを混合した還元焼
成のための雰囲気ガスを、ローラー3上を走行する製品
Wに向かって斜め方向に噴出している。なお、ガス供給
管10は少なくとも昇温ゾーンに設置されるが、その他の
ゾーンには他の形式の雰囲気ガス供給手段を設けてもよ
い。
【0010】図1に示すように、ガス供給管10は各区画
内の比較的出口側(右側)に近い位置に設けられてい
る。これは炉室2の内部では出口から入口側に向かうガ
ス流が生ずるため、そのガス流に乗せて雰囲気ガスを噴
出するためである。また、ガス供給管10を回転させるこ
とにより、ガス供給口からの雰囲気ガスの噴出方向の調
節が可能である。このようにして製品Wの表面付近に滞
留しているバインダーガスを吹き飛ばことができるが、
製品Wが小型の電子部品であるときにはその流速を調整
し、製品Wが吹き飛ばされないようにする必要がある。
ガス供給口からの雰囲気ガスの噴出速度は例えば秒速15
m程度であるが、製品Wの表面では秒速5m以下となっ
ている。
【0011】また図2に示すように、炉室2の下部には
炉室内の雰囲気ガスを吸引排気するガス排出口11が設け
られている。これらのガス排出口11は各区画の比較的入
口側に設けられており、上記のガス流に乗って入口側に
移動してくるバインダーガスを含む雰囲気ガスを吸引
し、炉外に排気する。前記したようにバインダーガスは
重く炉室2の下部に滞留し易いので、このように炉室2
の下部にガス排出口11を設ければ、製品Wから発生した
バインダーガスを効率よく炉外へ除去することができ
る。
【0012】 なお図1に示すように、炉室2の入口と
出口にそれぞれガスボックス12、13を設け、その内部を
多数の仕切り板により細かく区画するとともに、その内
部に窒素ガス等を供給しておけば、炉の出入口からの外
気の進入を簡便かつ確実に防止することができる。この
ため、ローラーハースキルンで雰囲気焼成を行う上で更
に便利である。
【0013】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のローラ
ーハースキルンは、炉体の外側に設けたシールカバーに
よりローラーの隙間から漏れる炉内の雰囲気を外気に対
してシールすることができるので、炉室内の雰囲気調整
が容易であるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示す中央縦断面図である。
【図2】本発明の実施形態を示す炉幅方向の断面図であ
る。
【符号の説明】
1 炉体、2 炉室、3 ローラー、4 台板、5 シ
ールカバー、6 加熱用ヒーター、7 加熱用ヒータ
ー、8 隔壁、9 隔壁、10 ガス供給管、11ガス排出
口、12 ガスボックス、13 ガスボックス、W 製品

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ローラーの端部を炉体の外部に露出させ
    たローラーハースキルンにおいて、炉室の内部に雰囲気
    ガスを供給するとともに、炉体の外側にシールカバーを
    設け、ローラーの隙間から漏れる炉内の雰囲気と外気と
    をシールしたことを特徴とするローラーハースキルン。
  2. 【請求項2】 シールカバーがガスパージ式のものであ
    る請求項1記載のローラーハースキルン。
  3. 【請求項3】 シールカバーを炉体の両側に設けた請求
    項1記載のローラーハースキルン。
  4. 【請求項4】 炉室の入口と出口にもそれぞれガスボッ
    クスを設け、炉の出入口からの外気の進入を防止した請
    求項1記載のローラーハースキルン。
  5. 【請求項5】 ガスボックスの内部を多数の仕切り板に
    より細かく区画するとともに、その内部に窒素ガス等を
    供給した請求項4記載のローラーハースキルン。
JP11233644A 1999-08-20 1999-08-20 ロ―ラ―ハ―スキルン Pending JP2000055564A (ja)

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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006061903A1 (ja) * 2004-12-09 2006-06-15 International Customer Service ガス雰囲気熱処理装置
CN102519244A (zh) * 2005-09-20 2012-06-27 光洋热系统株式会社 位于辊道炉床式热处理炉中的防尘装置
JP2014215033A (ja) * 2013-04-24 2014-11-17 日本碍子株式会社 熱処理方法及び熱処理装置
CN104422277A (zh) * 2013-08-26 2015-03-18 日本碍子株式会社 热处理炉
JP2017032219A (ja) * 2015-08-03 2017-02-09 住友電工焼結合金株式会社 ローラーハース炉およびローラーハース炉による熱処理品の製造方法
CN107741156A (zh) * 2017-11-21 2018-02-27 湖南金炉科技有限责任公司 辊道窑断辊检测系统
WO2019054296A1 (ja) * 2017-09-13 2019-03-21 住友化学株式会社 リチウム二次電池用正極活物質の製造方法
CN109708478A (zh) * 2017-10-25 2019-05-03 Ngk(苏州)热工技术有限公司 气氛置换方法及装置和附带气氛置换装置的烧成炉
CN110953879A (zh) * 2019-12-27 2020-04-03 佛山市天禄智能装备科技有限公司 一种辊道窑
CN112648842A (zh) * 2020-09-09 2021-04-13 宣城鸿海装备科技有限公司 一种锂电池硅碳负极材料气氛保护辊道炉设备

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006061903A1 (ja) * 2004-12-09 2006-06-15 International Customer Service ガス雰囲気熱処理装置
CN102519244A (zh) * 2005-09-20 2012-06-27 光洋热系统株式会社 位于辊道炉床式热处理炉中的防尘装置
CN102519244B (zh) * 2005-09-20 2015-03-04 光洋热系统株式会社 位于辊道炉床式热处理炉中的防尘装置
JP2014215033A (ja) * 2013-04-24 2014-11-17 日本碍子株式会社 熱処理方法及び熱処理装置
CN104422277A (zh) * 2013-08-26 2015-03-18 日本碍子株式会社 热处理炉
JP2017032219A (ja) * 2015-08-03 2017-02-09 住友電工焼結合金株式会社 ローラーハース炉およびローラーハース炉による熱処理品の製造方法
JP2022133367A (ja) * 2017-09-13 2022-09-13 住友化学株式会社 リチウム二次電池用正極活物質の製造方法
JP7356786B2 (ja) 2017-09-13 2023-10-05 住友化学株式会社 リチウム二次電池用正極活物質の製造方法
WO2019054296A1 (ja) * 2017-09-13 2019-03-21 住友化学株式会社 リチウム二次電池用正極活物質の製造方法
JP2019053846A (ja) * 2017-09-13 2019-04-04 住友化学株式会社 リチウム二次電池用正極活物質の製造方法
CN109708478A (zh) * 2017-10-25 2019-05-03 Ngk(苏州)热工技术有限公司 气氛置换方法及装置和附带气氛置换装置的烧成炉
CN109708478B (zh) * 2017-10-25 2021-07-06 Ngk(苏州)热工技术有限公司 气氛置换方法及装置和附带气氛置换装置的烧成炉
CN107741156A (zh) * 2017-11-21 2018-02-27 湖南金炉科技有限责任公司 辊道窑断辊检测系统
CN110953879A (zh) * 2019-12-27 2020-04-03 佛山市天禄智能装备科技有限公司 一种辊道窑
CN112648842A (zh) * 2020-09-09 2021-04-13 宣城鸿海装备科技有限公司 一种锂电池硅碳负极材料气氛保护辊道炉设备

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030207