JP2004122120A - 液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】　印字品質の劣化を招くことなく、機能液の多彩な液滴吐出を可能とすることによりワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器を提供する。
【解決手段】　互いに仕様が異なる複数種の液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）と、液滴吐出ヘッド８に対して電気的な負荷を与える複数のダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃと、駆動する液滴吐出ヘッド８の種類に応じて、液滴吐出ヘッド８に接続するダミー負荷回路を切り替えるアナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃとを備える。
【選択図】　図５

Description

　本発明は、基板等のワークに対して液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出を行う液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器に関する。

　カラー印刷が可能なインクジェットプリンタ等の液滴吐出装置は、キャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが設けられており、この液滴吐出ヘッド各々に異なる色のインク（液滴）が導入される。かかる構成の液滴吐出装置においては、印刷データに従って各々のヘッドを個別に駆動し、各色の液滴吐出を制御することによりカラー印刷が行われる。このように、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置が案出されているが、かかる構成の液滴吐出装置に設けられる液滴吐出ヘッドは仕様が同じものが搭載される。複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の詳細については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
特開２００１-２７７６５８号公報

　ところで、機能液の吐出対象となるワークによっては、複数種の機能膜等を形成するために、粘性の異なる複数種の機能液を吐出する必要がある場合がある。例えば、プレパラート上の検体に染色剤を塗布し、これをコーティング材で封止固着させて、カバーグラスを省略するプレパラートの作成技術等である。この技術においては、液滴吐出ヘッドにより低粘性の検体染色剤（機能液）の吐出と、高粘性のコーティング材（機能液）の吐出とを行う必要がある。

　低粘性の検体染色剤を吐出する場合と高粘性のコーティング材を吐出する場合とでは、仕様の異なる機能液滴ヘッドを用いる必要が生じる。このために、単純に考えると、各々が仕様の異なる液滴吐出ヘッドを搭載した２台の液滴吐出装置を用いるか、又は１台の液滴吐出装置に対して液滴吐出ヘッド（機能液供給系を含む）を適宜交換して用いる必要がある。

　しかしながら、前者の液滴吐出装置を用いるとワークの他の液滴吐出装置への搬送に時間を要し、後者の液滴吐出装置を用いると液滴吐出ヘッド等の付け替え（交換）に時間を要するため、全体として各ワークに対する液滴吐出処理が極めて煩雑になる。かかる問題点を解決するためには、１つの液滴吐出装置に異なる仕様の液滴吐出ヘッドを設けた構成とし、更に装置構成の簡単化を図るため、液滴吐出ヘッドの駆動回路を共通化した構成とすることが好ましい。

　液滴吐出ヘッドの駆動回路には浮遊容量等に起因する印字品質の劣化を防止するためダミー負荷回路が設けられる。このダミー負荷の最適値はヘッドの仕様に応じて異なるが、上述のように仕様の異なる液滴吐出ヘッドを共通化した駆動回路で駆動すると、ヘッドの種類によってはダミー負荷を最適な値に設定することができず、印字品質の劣化が引き起こされるという問題があった。

　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、印字品質の劣化を招くことなく、機能液の多彩な液滴吐出を可能とすることによりワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器を提供することを目的とする。

　上記課題を解決するために、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、複数種の液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段と、前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液滴の種類に応じて、複数の前記制御手段のうちの何れかを選択する選択手段とを備え、前記選択手段により選択された前記制御手段を介して前記駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに印加することを特徴としている。
　この発明によれば、吐出される液滴の種類に応じて制御手段を選択し、選択した制御手段を介して駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加するようにしているため、駆動する液滴吐出ヘッドに応じて駆動波形の発振を抑えるための最適な回路が選択され、印字品質の劣化を招くことなく、しかも種々機能液の多彩な液滴吐出が可能となる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業が不要であるため、ワーク処理を効率良く行うことができる。
　ここで、前記選択手段は、前記制御手段と前記液滴吐出ヘッドとに接続された複数の電気的スイッチを備え、当該電気的スイッチの接続状態を切り替えることにより、前記液滴吐出ヘッドに接続する複数の前記制御手段の内の何れかを選択することが好適である。
　また、前記選択手段は、前記制御手段と前記液滴吐出ヘッドとの電気的接続状態を切り替える複数の機械的スイッチを備えることが好適である。
　更に、前記電気的スイッチは、アナログスイッチであることが好ましく、前記機械的スイッチは、ユーザにより操作されるディップスイッチであることが好ましい。
　また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記複数種の液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジと、前記複数種の液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、前記キャリッジを介して前記複数種の液滴吐出ヘッドを、前記ワークに対して相対的に移動させる移動機構と、前記移動機構に同期させて前記液滴吐出ヘッドの何れかの吐出駆動を制御する吐出駆動制御手段とを備えることを特徴としている。
　上記課題を解決するために、本発明の第２の観点による液滴吐出装置は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、各々が互いに仕様が異なる液滴吐出ヘッドを備え、交換可能に構成されたヘッドユニットと、搭載されたヘッドユニットに設けられた前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動装置とを備え、前記ヘッドユニットの各々は、設けられた前記液滴吐出ヘッドの電気的特性に応じて選択される駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段を備えることを特徴としている。
　この発明によれば、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの電気的特性に応じて選択される駆動波形の発振を抑えるための回路とをヘッドユニットとして構成し、当該ヘッドユニットを駆動装置に対して交換可能に構成しているため、ヘッドユニットを交換（装着）するだけで駆動装置に対して液滴吐出ヘッド及び駆動波形の発振を抑えるための回路が接続され、印字品質の劣化を招くことなく液滴吐出が可能となる。また、各々が異なる特性を有する液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットであっても、同一の駆動装置に接続することが可能であるため、装置コストを低減することができる。
　ここで、上記第１及び第２の観点による液滴吐出装置において、前記制御手段は、電気的抵抗成分と電気的容量成分とを含むことが好適である。
　上記課題を解決するために、本発明の第１の観点による液滴吐出方法は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出方法において、互いに仕様が異なる複数の液滴吐出ヘッドから駆動すべき液滴吐出ヘッドを選択するヘッド選択工程と、前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液滴の種類に応じて、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段のうちのいずれかを選択する制御手段選択工程と、前記制御手段選択工程で選択した制御手段を介して前記ヘッド選択工程で選択した液滴吐出ヘッドに対して駆動信号を供給し、前記液滴を吐出させる駆動工程とを含むことを特徴としている。
　上記課題を解決するために、本発明の第２の観点による液滴吐出方法は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出方法において、液滴吐出ヘッドと当該液滴吐出ヘッドの電気的特定に応じた制御手段とを備えるヘッドユニットを搭載するヘッドユニット搭載工程と、前記ヘッドユニット搭載工程で搭載されたヘッドユニットが備える前記制御手段を介して前記液滴吐出ヘッドに対して駆動信号を供給し、前記液滴を吐出させる駆動工程とを含むことを特徴としている。
　本発明の成膜装置は、上記の何れかに記載の液滴吐出装置を備えることを特徴としている。
　本発明の成膜方法は、上記の何れかの液滴吐出装置又は上記の何れかの液滴吐出方法を用いて、前記液滴を吐出して成膜する工程を含むことを特徴としている。
　本発明のデバイス製造方法は、所定箇所に機能性を有するパターンが形成されたワークを備えたデバイスの製造方法であって、前記ワークの所定箇所に、上記の何れかの液滴吐出装置又は上記の何れかの液滴吐出方法を用いて、前記液滴を吐出して前記ワークに前記パターンを形成する工程を含むことを特徴としている。
　本発明の電子機器は、上記の何れかの液滴吐出装置又は上記の何れかの液滴吐出方法を用いて製造される。

　以下、図面を参照して本発明の実施形態による液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器について詳細に説明する。

〔第１実施形態〕
　図１は、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機台２上に設置された移動機構としてのＸ軸テーブル３及びＹ軸テーブル４を備える。Ｘ軸テーブル３上には、移動自在にメインキャリッジ５が取り付けられており、このメインキャリッジ５にはヘッドユニット６が設けられている。尚、詳細は後述するが、ヘッドユニット６には、サブキャリッジ７を介して、仕様の異なる複数種（本実施形態では、３種類）の液滴吐出ヘッド８（８ａ，８ｂ，８ｃ）が搭載されている。また、ワークとしての基板Ｗは、Ｙ軸テーブル４に搭載されている。

　また、液滴吐出装置１は、複数種の液滴吐出ヘッド８の各々に機能液を供給する機能液滴供給機構としての機能液供給装置９を備えるとともに、Ｘ軸テーブル３及びＹ軸テーブル４並びに複数種の液滴吐出ヘッド８等の駆動を制御する制御手段としての制御装置１０を備えている。この制御装置１０には、複数種の液滴吐出ヘッド８の吐出パターンデータを生成するためのパーソナルコンピュータ１１が接続されている。

　尚、図１においては図示を省略しているが、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド８の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニット、液滴吐出ヘッド８のノズル面をワイピングするワイピングユニット、及び液滴吐出ヘッド８の機能液吸引及び保管を行うクリーニングユニット等のユニットを備えている。

　Ｘ軸テーブル３は、モータ１２と、モータ１２によって駆動されるＸ軸スライダ１３とを含んで構成されるＸ軸方向の駆動系を備え、これに上記のメインキャリッジ５を移動自在に搭載して構成されている。また、Ｙ軸テーブル４は、モータ１４と、モータ１４によって駆動されるＹ軸スライダ１５とを含んで構成されるＹ軸方向の駆動系を備え、これに吸着テーブル等からなるセットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。そして、セットテーブル１６上に基板Ｗが位置決めされた状態で保持される。

　本実施形態の液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル３の駆動による液滴吐出ヘッド８の移動に同期して各液滴吐出ヘッド８を駆動（機能液滴の選択的吐出）するように構成されている。つまり、液滴吐出ヘッド８のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル３のＸ方向への往復運動により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル４による基板ＷのＹ軸方向への往復運動により行われる。そして、上記走査に同期した各液滴吐出ヘッド８の駆動は、上記のパーソナルコンピュータ１１で作成された吐出パターンデータに基づいて行われる。

　機能液供給装置９は、液滴吐出ヘッド８の各々に対応した３種類のサブタンク１７（１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）と、サブタンク１７に接続された３種類のメインタンク及び各メインタンクの機能液を対応するサブタンク１７に送液する圧力送液装置（何れも図示省略）とを備えている。各メインタンクの機能液は、対応する第１サブタンク１７ａ、第２サブタンク１７ｂ、及び第３サブタンク１７ｃにそれぞれ圧力液送される。各サブタンク１７で圧力的に縁切りされた機能液は、それぞれ対応する各液滴吐出ヘッド８のポンプ作用により、各液滴吐出ヘッド８に送液される。尚、図示では省略しているが、上記の圧力送液装置も上記の制御装置１０により制御される。

　ここで、本実施形態の液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成について説明する。図２は、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成を示す図である。図２に示すように、ヘッドユニット６は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ９と、サブキャリッジ９に精度良く位置決め固定した３種類の液滴吐出ヘッド８とを含んで構成される。

　図２に示すように、液滴吐出ヘッド８は、第１吐出ヘッド８ａ、第２吐出ヘッド８ｂ、及び第３吐出ヘッド８ｃからなる。第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ各々の最外端に位置する吐出ノズルを基準ノズルＮ１〜Ｎ３とすると、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの各々に設けられる吐出ノズルは、基準ノズルＮ１〜Ｎ３が主走査方向（Ｘ方向）に平行な仮想線Ｌ上に並ぶように、副操作方向（Ｙ方向）に整列配置されている。また、Ｘ方向におけるサブキャリッジ９の中間位置であって、Ｙ方向における両端部には、位置決め用の一対の基準ピンＰ１，Ｐ２が設けられている。

　上述した基準ノズルＮ１〜Ｎ３は、例えば、第１吐出ヘッド８ａの両ノズル列間の着弾位置の補正（吐出パターンデータの補正）や、第１吐出ヘッド８ａ、第２吐出ヘッド８ｂ、及び第３吐出ヘッド８ｃの相互間における着弾位置の補正等における位置決め基準として用いられる。また、各吐出ヘッド８ａ，８ｂ，８ｃのサブキャリッジ９への固定も、基準ノズルＮ１〜Ｎ３を基準として位置決めされる。一方、上述した一対の基準ピンＰ１，Ｐ２は、ヘッドユニット６の位置決め基準として用いられる。

　上述した３種類の液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）は、相互に仕様の異なるものである。例えば、第１吐出ヘッド８ａは、１８０個の吐出ノズルを列設した２本のノズル列を有する仕様であり、第２吐出ヘッド８ｂは、９６個の吐出ノズルを列設した３本のノズル列を有する仕様であり、第３吐出ヘッド８ｃは、３個の吐出ノズルを列設した１本のノズル列を有する仕様である。

　このように、仕様の異なる液滴吐出ヘッド８を複数備えるのは、例えば種類の異なる液滴を、液滴の量（重量、体積）を変えて基板Ｗに吐出するためである。ここで、液滴吐出装置を用いた基板処理例について説明する。図３は、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置を用いた第１の基板処理例を示す図である。

　図３に示すように、バンクＢ１が形成されたマトリクス状の描画エリアＲ１が設定されたワークとしての基板Ｗの各凹部Ｋ１に、揮発性の第１機能液Ｄ１を吐出するとともに、各凹部Ｋ１に第１機能液Ｄ１を封止すべく描画エリアＲ１全体にオーバーコート用の第２機能液Ｄ２を吐出し、更に第１機能液Ｄ１及び第２機能液Ｄ２に吐出不良が生じた場合、不良品として基板ＷのマーキングエリアＲ２に第３機能液Ｄ３による不良マークを描画する場合を考える。

　この場合、例えば第１吐出ヘッド８ａに上記した揮発性の第１機能液Ｄ１が導入され、第２吐出ヘッド８ｂにオーバーコート用の第２機能液Ｄ２が導入され、第３吐出ヘッド８ｃにマーキング用の第３機能液Ｄ３が導入され、基板Ｗと液滴吐出ヘッド８との相対位置を変えつつ、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃから液滴を吐出させる。尚、第１機能液Ｄ１は比較的粘度が低く、第２機能液Ｄ２は比較的粘度が高いものを用い、更にマーキング用の第３機能液Ｄ３は、第２機能液Ｄ２と略同一の粘性を有するものが用いられる。

　図４は、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置を用いた第２の基板処理例を示す図である。図４に示すように、バンクＢ１が形成されたマトリクス状の描画エリアＲ１が設定されたワークとしての基板Ｗの各凹部Ｋ１に、２液タイプの発光機能液（或いはカラーフィルタのフィルタ機能液）であるＡ機能液（発光剤）Ｄ１１とＢ機能液（硬化剤）Ｄ１２とを順次吐出するとともに、上記と同様に、マーキングエリアＲ２に第３機能液Ｄ３による不良マークを描画する場合を考える。

　この場合には、例えば第１吐出ヘッド８ａにＡ機能液Ｄ１１が導入され、第２吐出ヘッド８ｂにＢ機能液Ｄ１２が導入され、第３吐出ヘッド８ｃに第３機能液Ｄ３が導入され、基板Ｗと液滴吐出ヘッド８との相対位置を変えつつ、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃから液滴を吐出させる。このように、複数の液滴ヘッドを備えることにより、微小な異なる種類の液滴をドット状に精度良く吐出することができるため、例えば機能液（吐出対象液）に特殊なインク、発光性又は感光性の樹脂等を用いれば、各種部品の製造分野へ応用することが可能である。

　尚、図３及び図４で示した基板処理例においては、第１機能液Ｄ１〜第３機能液Ｄ３の種類と、その吐出形態とを考慮し、第１吐出ヘッド８ａは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が少なく、第２吐出ヘッド８ｂは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が多く、第３吐出ヘッド８ｃは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が極端に多い仕様になっている。

　図１に戻り、制御装置１０は、制御部１８、ヘッドドライバ１９、Ｘ軸モータドライバ２０、及びＹ軸モータドライバ２１を備え、液滴吐出装置１の構成装置を統括制御する。制御部１８は、パーソナルコンピュータ１１に接続されており、、パーソナルコンピュータ１１から出力される制御命令に応じて、ヘッドドライバ１９、Ｘ軸モータドライバ２０、及びＹ軸モータドライバ２１を駆動する。ヘッドドライバ１９は、液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）を駆動する。

　ここで、ヘッドドライバ１９の内部構成について説明する。図５は、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。尚、図５においては、本発明を説明する上で必要な構成のみを図示している。図５に示すように、ヘッドドライバ１９は液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）を駆動するための駆動波形ＣＯＭを増幅するための増幅器３０、ダミー負荷の制御手段であるダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃ、及びアナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃとを含んで構成される。

　ダミー負荷回路３１ａは、電気抵抗とコンデンサとを直列接続した回路であり、その抵抗値及び容量値は、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの電気的特性に応じて設定される。アナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃは、印刷データＤＡＴＡに応じて開閉する電気的スイッチであり、本発明にいう切替手段の一部に相当する。

　アナログスイッチ３２ａ，３３ａが直列接続された回路、アナログスイッチ３２ｂ，３３ｂが直列接続された回路、及びアナログスイッチ３２ｃ，３３ｃが直列接続された回路が並列接続され、増幅器３０と液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）とが接続されている。尚、ダミー負荷回路３１ａはアナログスイッチ３２ａ，３３ａに接続され、ダミー負荷回路３１ｂはアナログスイッチ３２ｂ，３３ｂに接続され、ダミー負荷回路３１ｃはアナログスイッチ３２ｃ，３３ｃに接続されている。

　液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）は、設けられている吐出ノズルの数と同数のアナログスイッチ３５とピエゾ素子等の圧力発生素子３６とを備えている。全てのアナログスイッチ３５は、ヘッドドライバ１９に設けられたアナログスイッチ３３ａ〜３３ｃに接続されおり、ダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃを介した駆動波形ＣＯＭを圧力発生素子３６に供給するよう構成されている。

　また、アナログスイッチ３５の各々には印刷データＤＡＴＡが供給されており、この印刷データＤＡＴＡに応じて開状態及び閉状態が制御される。例えば、印刷データＤＡＴＡの値として「１」が供給されたアナログスイッチ３５が開状態となり、ダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃを介した駆動波形ＣＯＭが開状態にあるアナログスイッチ３５を介して圧力発生素子３６に供給され、これにより圧力発生素子３６から液滴が吐出される。

　上述したように、印刷データＤＡＴＡは、液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）が備える全てのアナログスイッチ３５に供給されているため、この印刷データＤＡＴＡの値によって駆動すべき液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）を選択することも可能である。また、印刷データＤＡＴＡは前述したアナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃにも供給されている。

　アナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃは、印刷データＤＡＴＡによって、それぞれ個別に開閉状態が設定されるように構成されている。このため、アナログスイッチ３２ａ，３３ａ、アナログスイッチ３２ｂ，３３ｂ、及びアナログスイッチ３２ｃ，３３ｃの何れか１つ（一対）を開状態とすることで、液滴吐出ヘッド８にダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃの何れか１つのみを接続することができる。

　また、アナログスイッチ３２ａ，３３ａ、アナログスイッチ３２ｂ，３３ｂ、及びアナログスイッチ３２ｃ，３３ｃの複数（複数対）を開状態とすることで、ダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃの複数を液滴吐出ヘッド８に接続することができる。このように、複数のダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃを液滴吐出ヘッド８に接続すれば、予め用意しておいた電気的負荷（ダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃ個々の負荷）以外の電気負荷を液滴吐出ヘッド８に接続することができる。このため、液滴吐出ヘッド８における負荷変動が生じた場合であっても、液滴を安定して吐出させることができる。

　通常の印刷データＤＡＴＡは、圧力発生素子３６の圧力発生動作を制御して液滴の吐出制御を行わしめるために用いられるが、本実施形態では、これ以外に、印刷データＤＡＴＡの内容によって、駆動すべき液滴吐出ヘッド８の選択、液滴吐出ヘッド８に接続するダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃの切り替えを行っている。尚、液滴の吐出を行っている最中には、印刷データＤＡＴＡによる液滴吐出ヘッド８及びダミー負荷回路３１ａ，３１ｂの切り替えは行われない点に注意されたい。

　上記構成において、基板Ｗに対する液滴の吐出動作を開始する前に、制御部１８からヘッドドライバ１９へ液滴吐出ヘッド８を選択する制御信号が出力される。この制御信号に基づいて、ヘッドドライバ１９は液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの何れか）を選択する（切り替える）旨を示す印刷データＤＡＴＡを出力する。この印刷データＤＡＴＡが出力されると、駆動すべき液滴吐出ヘッドが選択される（ヘッド選択工程）。ここでは、第１吐出ヘッド８ａが選択されたとする。

　液滴吐出ヘッドが選択されると、次にヘッドドライバ１９は、制御部１８から出力される制御信号に基づいて、選択された液滴吐出ヘッドに接続すべきダミー負荷回路を選択する（切り替える）旨を示す印刷データＤＡＴＡを出力する（ダミー負荷選択工程）。この印刷データＤＡＴＡに基づいてナログスイッチ３２ａ，３３ａ、アナログスイッチ３２ｂ，３３ｂ、及びアナログスイッチ３２ｃ，３３ｃの１つ（一対）又は複数（複数対）が開状態となり、ダミー負荷回路３１ａ〜３１ｃの１つ又は複数が選択された液滴吐出ヘッドに対して電気的に接続される。

　液滴吐出ヘッド８及びダミー負荷回路の選択が終了すると、例えば、図３に示した基板処理においては、モータ１２を駆動してヘッドユニット６をＸ方向に走査し、選択されたダミー負荷回路を介して駆動波形ＣＯＭが第１吐出ヘッド８ａに供給されることにより、各凹部Ｋ１に第１機能液Ｄ１が吐出される（駆動工程）。続いて、上記と同様に制御部１８から出力される制御信号に従って、印刷データＤＡＴＡによる液滴吐出ヘッド８及びダミー負荷回路の選択が行われる。ここでは、第２吐出ヘッド８ｂが選択されたとする。選択が終了すると、続いて第２吐出ヘッド８ｂにより描画エリアＲ１に第２機能液Ｄ２をべた塗り様に吐出する。

　また、図４に示した基板処理においては、ヘッドユニット６の走査において、第１吐出ヘッド８ａを第２吐出ヘッド８ｂに先行させ（一方向のみの走査）、第１吐出ヘッド８ａにより各凹部Ｋ１にＡ機能液Ｄ１１を吐出し、その直後に第２吐出ヘッド８ｂによりＡ機能液Ｄ１１上にＢ機能液Ｄ１２を吐出する。尚、マーキング用の第３吐出ヘッド８ｃは、上記の基板処理の後、不図示の基板認識カメラによりドット抜けを画像認識し、その認識結果により適宜駆動するようにしている。第３吐出ヘッド８ｃによるマーキングは、不良品を仕分けするための画像認識用であり、機能液の滴吐出量が極端に多い第３吐出ヘッド８ｃにより、短時間で描画可能である。

　以上説明したように、本発明の第１実施形態においては、選択される液滴吐出ヘッドに応じて最適なダミー負荷を選択し、このダミー負荷を介して駆動波形ＣＯＭを液滴吐出ヘッドに供給しているため、吐出量のばらつき等の印字品質の劣化を招くことなく、機能液の多彩な液滴吐出が可能となる。この結果として、基板処理を効率良く行うことができる。特に、図３に例示した基板処理では、揮発性の第１機能液Ｄ１が揮発する前にこれを第２機能液Ｄ２で封止することができる。また、図４の例示では、２液タイプの機能液であるＡ機能液Ｄ１１とＢ機能液Ｄ１２を、時間を経ずして混合することができる。

　以上、本発明の第１実施形態による液滴吐出装置について説明した。上述した実施形態では、電気的スイッチとしてアナログスイッチを設ける場合を例に挙げて説明したが、本発明はアナログスイッチに制限されずトランジスタ、ＦＥＴ等の電気的スイッチであっても良い。

〔第２実施形態〕
　次に、本発明の第２実施形態による液滴吐出装置について説明する。図６は、本発明の第２実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。尚、図６においては、図５と同様に、本発明を説明する上で必要な構成のみを図示している。また、本発明の第２実施形態による液滴吐出装置の全体構成及び液滴吐出ヘッドの構成は、図１及び図２に示した構成と同様であるため、その説明を省略する。

　図６に示した本発明の第２実施形態による液滴吐出装置に設けられたヘッドドライバ１９が、図５に示した本発明の第１実施形態による液滴吐出装置に設けられたヘッドドライバと異なる点は、図５中のアナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃに代えて、ディップスイッチ４０ａ〜４０ｃ，４１ａ〜４１ｃを設けた点である。ディップスイッチ４０ａ〜４０ｃ，４１ａ〜４１ｃは、本発明にいう機械的スイッチに相当するものであり、ユーザにより操作されてオン状態、オフ状態が設定される。これらのディップスイッチ４０ａ〜４０ｃ，４１ａ〜４１ｃのオン状態、オフ状態を設定することにより、液滴吐出ヘッド８に接続するダミー負荷を選択することが可能となる。

　上記構成において、基板Ｗに対する液滴の吐出動作を開始する前に、ユーザはディップスイッチの１つ（一対）又は複数（複数対）を操作して液滴吐出ヘッド８に接続するダミー負荷を選択する（ダミー負荷選択工程）。次に、制御部１８からヘッドドライバ１９へ液滴吐出ヘッド８を選択する制御信号が出力される。尚、この制御信号は、上記工程で選択したダミー負荷に適した液滴吐出ヘッド８を選択する旨を示すものである。言い換えると、ユーザは、予め選択する液滴吐出ヘッド８を決定しておき、この液滴吐出ヘッド８に適したダミー負荷を上記の工程でディップスイッチを操作して選択し、予め決定した液滴吐出ヘッド８を選択する制御信号が制御部１８から出力される。

　この制御信号に基づいて、ヘッドドライバ１９は液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの何れか）を選択する（切り替える）旨を示す印刷データＤＡＴＡを出力する。この印刷データＤＡＴＡが出力されると、駆動すべき液滴吐出ヘッドが選択される（ヘッド選択工程）。ここでは、第１吐出ヘッド８ａが選択されたとする。

　駆動すべき液滴吐出ヘッドが選択されると、上記第１実施形態と同様に、図３に示した基板処理においては、モータ１２を駆動してヘッドユニット６をＸ方向に走査し、選択されたダミー負荷回路を介して駆動波形ＣＯＭが第１吐出ヘッド８ａに供給されることにより、各凹部Ｋ１に第１機能液Ｄ１が吐出される（駆動工程）。続いて、上記と同様に制御部１８から出力される制御信号に従って、印刷データＤＡＴＡによる液滴吐出ヘッド８及びダミー負荷回路の選択が行われる。ここでは、第２吐出ヘッド８ｂが選択されたとする。選択が終了すると、続いて第２吐出ヘッド８ｂにより描画エリアＲ１に第２機能液Ｄ２をべた塗り様に吐出する。

　また、図４に示した基板処理においては、ヘッドユニット６の走査において、第１吐出ヘッド８ａを第２吐出ヘッド８ｂに先行させ（一方向のみの走査）、第１吐出ヘッド８ａにより各凹部Ｋ１にＡ機能液Ｄ１１を吐出し、その直後に第２吐出ヘッド８ｂによりＡ機能液Ｄ１１上にＢ機能液Ｄ１２を吐出する。これにより。駆動すべき液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの何れか）に最適なダミー負荷が接続され、安定した液滴の吐出が行われる。

　以上、本発明の第２実施形態による液滴吐出装置について説明した。上述した実施形態では、機械的スイッチとしてディップスイッチを設ける場合を例に挙げて説明したが、本発明はディップスイッチに制限されずダミー負荷回路と液滴吐出ヘッドとの電気的接続状態を切り替えるものであれば任意のものを適用することができる。また、上記実施形態においては、ユーザが手作業でディップスイッチを操作する場合を例に挙げたが、モータ、アクチュエータ等を用いて機械的スイッチのオン状態、オフ状態を設定するようにしても良い。

〔第３実施形態〕
　次に、本発明の第３実施形態による液滴吐出装置について説明する。図７は、本発明の第３実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。尚、図７においては、図５及び図６と同様に、本発明を説明する上で必要な構成のみを図示している。

　前述した第１実施形態及び第２実施形態においては、ヘッドユニット６に仕様の異なる複数種の液滴吐出ヘッド８（８ａ，８ｂ，８ｃ）を搭載するとともに、ヘッドドライバ１９にダミー負荷３１ａ〜３１ｃを設けた構成とし、駆動すべき液滴吐出ヘッドに応じて接続するダミー負荷をアナログスイッチ３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃ又はディップスイッチ４０ａ〜４０ｃ，４１ａ〜４１ｃにより選択していた。

　これに対して本実施形態においては、ヘッドドライバ１９についてダミー負荷回路及びアナログスイッチ等を省略し、吐出ノズルの数と同数のアナログスイッチ３５及びピエゾ素子等の圧力発生素子３６からなる１つの液滴吐出ヘッド４５、並びに、ダミー負荷回路４６を備えたヘッドユニット４７をヘッドドライバ１９に接続する構成としている。各ヘッドユニット４７が備える液滴吐出ヘッド４５は互いに仕様が異なり、ダミー負荷回路４６は液滴吐出ヘッド４５の仕様に合わせたものが設けられている。

　このように、本実施形態においては、ヘッドユニット４７側に液滴吐出ヘッド４５の仕様に合わせたダミー負荷回路４６を設け、駆動すべき液滴吐出ヘッド４５が設けられたヘッドユニット４７を搭載（交換）することで、液滴吐出ヘッド４５とヘッドドライバ１９とが電気的に接続されるように構成している。かかる構成とすれば、ユーザが選択した液滴吐出ヘッド４５を搭載するだけでヘッドドライバ１９と液滴吐出ヘッド４５との間に、液滴吐出ヘッド４５に最適なダミー負荷回路４６が接続され、液滴の吐出を安定して行うことができる。

　上記構成において、基板Ｗに対する液滴の吐出動作を開始する前に、ユーザは吐出する液滴の吐出量等に応じて装着するヘッドユニット４７を選択してメインキャリッジ５（図１参照）に搭載する（ヘッドユニット搭載工程）。かかる作業を行うことで、ヘッドドライバ１９とダミー負荷回路４６及び液滴吐出装置４５とが電気的に接続される。ヘッドユニット４７の搭載が完了すると、制御部１８がモータ１２を駆動してヘッドユニット６をＸ方向に走査し、ダミー負荷回路を介して駆動波形ＣＯＭがヘッドユニット４７に供給されることにより、ワークＷ上に吐出される（駆動工程）。

　本実施形態においては、ヘッドユニット４７の交換を伴うため、図３及び図４に示した第１機能液Ｄ１〜第３機能液Ｄ３を液滴吐出ヘッドを切り替えつつ連続的に吐出する動作には余り適さない。しかしながら、例えばマイクロレンズアレイ等の製造等のような液滴吐出ヘッドの交換を伴わないデバイス製造においては、安定した液滴吐出を行うことができる。

〔成膜装置及び方法、デバイス製造方法、電子機器〕
　以上、本発明の実施形態による液滴吐出装置について説明したが、この液滴吐出装置は膜を形成する成膜装置又はマイクロレンズアレイ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマ型表示装置、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ：Field Emission Display）等のデバイス製造装置として用いることができる。図８及び図９は、それぞれ、本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。液滴吐出装置において、図８及び図９に示す透明基板からなる対象物Ｗ１の所定の位置に液滴吐出ヘッドから感光性の透明樹脂（液状粘性物）を吐出した後、紫外線硬化させて、透明基板上の所定位置に所定の大きさのマイクロレンズＬを形成すれば、光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイ５０ａ，５０ｂを製造することができる。

　ここで、図８に示すマイクロレンズアレイ５０ａでは、マイクロレンズＬがＸ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列されている。また、図９に示すマイクロレンズアレイ５０ｂでは、マイクロレンズＬがＸ方向及びＹ方向に不規則に分散して形成されている。尚、マクロレンズアレイは、光インタコネクション装置の他、液晶パネルにも用いられているが、この液晶装置用のマイクロレンズを製造するにあたっても、本発明を適用したインクジェット式装置を用いれば、フォトリソグラフィ技術を用いる必要がないので、マイクロレンズアレイの生産効率を向上することができる。

　図１０は、本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図であり、図１１（ａ），（ｂ）はそれぞれ、カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。図１０において、液晶装置６０では、例えば、カラーフィルタ基板６１とＴＦＴアレイ基板６１とが所定の間隙を介して貼り合わされ、かつ、これらの基板間には電気光学物質としての液晶６３が封入されている。ＴＦＴアレイ基板６１において、透明基板６４の内側の面には、画素スイッチング用のＴＦＴ（図示せず）及び画素電極６５がマトリクス状に配置され、その表面に配向膜６６が形成されている。これに対して、カラーフィルタ基板６１において、透明基板６７には、画素電極６５に対向する位置にＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂが形成され、その表面に平坦化膜６８、対向電極７０、及び配向膜７１が形成されている。

　カラーフィルタ基板６１において、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂは、周りが１段又は段付きのバンク６８で囲まれ、このバンク６８の内側に形成されている。ここで、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂは、図１１（ａ）に示すデルタ配列、又は図１１（ｂ）に示すストライプ配列等、所定のレイアウトに配置される。

　このような構成のカラーフィルタ基板６１を製造するにあたっては、まず、透明基板６７の表面にバンク６８を形成した後、上述した第１実施形態〜第３実施形態で説明した液滴吐出装置を用いて、各バンク６８の内側に所定色の樹脂（液状粘性物）を供給した後、紫外線硬化又は熱硬化させて、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂを形成する。従って、フォトリソグラフィ技術を用いずにカラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂを形成できるので、カラーフィルタ基板６１の生産性を向上することができる。

　図１２は、有機ＥＬ装置の構成の一例を示す断面図である。図１２に示すように、有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向基板）、及び封止用基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示省略）の配線及び駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１及び発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には、封止用基板３７１が積層されている。

　有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。

　発光素子形成工程は、凹部開口３４４、即ち画素電極３３１上に正孔注入／輸送層３５２及び発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入／輸送層形成工程と発光層形成工程とを有している。そして、正孔注入／輸送層形成工程は、正孔注入／輸送層３５２を形成するための第１組成物（機能液）を各画素電極３３１上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（機能液）を正孔注入／輸送層３５２の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。この発光素子形成工程では、液滴吐出装置を用いて上記発光素子を形成する。

　図１３は、プラズマ型表示装置の構成の一部を示す分解斜視図である。図１３に示す通り、プラズマ型表示装置４００は、互いに対向して配置された基板４０１，４０２及びこれらの基板４０１，４０２の間に形成される放電表示部４１０を含んで構成される。放電表示部４１０は、複数の放電室４１６が集合されたものである。複数の放電室４１６のうち、赤色放電室４１６（Ｒ）、緑色放電室４１６（Ｇ）、青色放電室４１６（Ｂ）の３つの放電室４１６が対になって１画素を構成するように配置されている。

　基板４０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極４１１が形成され、アドレス電極４１１と基板４０１の上面とを覆うように誘電体層４１９が形成されている。誘電体層４１９上には、アドレス電極４１１，４１１間に位置し、且つ各アドレス電極４１１に沿うように隔壁４１５が形成されている。隔壁４１５は、アドレス電極４１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極４１１と直交する方向に延設された隔壁とを含む。また、隔壁４１５によって仕切られた長方形状の領域に対応して放電室４１６が形成されている。また、隔壁４１５によって区画される長方形状の領域の内側には蛍光体４１７が配置されている。蛍光体４１７は、赤、緑、青の何れかの蛍光を発光するものであり、赤色放電室４１６（Ｒ）の底部には赤色蛍光体４１７（Ｒ）が、緑色放電室４１６（Ｇ）の底部には緑色蛍光体４１７（Ｇ）が、青色放電室４１６（Ｂ）の底部には青色蛍光体４１７（Ｂ）がそれぞれ配置されている。

　一方、基板４０２には、先のアドレス電極４１１と直交する方向に複数の表示電極４１２がストライプ状に所定の間隔で形成されている。更に、これらを覆うように誘電体層４１３、及びＭｇＯ等からなる保護膜４１４が形成されている。基板４０１と基板４０２とは、アドレス電極４１１と表示電極４１２とを互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされている。アドレス電極４１１及び表示電極４１２は、図示略の交流電源に接続されている。各電極に通電することにより、放電表示部４１０において蛍光体４１７が励起発光してカラー表示が可能となる。本発明の実施形態による液滴吐出装置は、隔壁４１５によって区画される長方形状の領域の内側に蛍光体４１７を配置するために用いられる。

　図１４は、電界放出素子を備えた電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）の構成を示す図であって、（ａ）はＦＥＤを構成するカソード基板とアノード基板の配置関係を概略的に示す分解斜視図であり、（ｂ）はＦＥＤのカソード基板に設けられる駆動回路の概略構成を示す回路図であり、（ｃ）はカソード基板の要部を示す斜視図である。図１４（ａ）に示す通り、ＦＥＤ５００は、カソード基板５００ａとアノード基板５００ｂとを対向配置した構成である。

　カソード基板５００ａは、図１４（ａ），（ｂ）に示す通り、ゲート線５０１と、エミッタ線５０２と、ゲート線５０１及びエミッタ線５０２に接続された電界放出素子５０３とからなる所謂単純マトリクス駆動回路を備えている。ゲート線５０１にはゲート信号Ｖ_１，Ｖ_２，…，Ｖ_ｍが供給され、エミッタ線５０２には、エミッタ信号Ｗ_１，Ｗ_２，…，Ｗ_ｎが供給される。また、アノード基板５００ｂは、電子が当ることにより発光する性質を有する蛍光体を備えており、この蛍光体として赤、緑、青の何れかの蛍光を発光する蛍光体が設けられている。

　図１４（ｃ）に示す通り、電界放出素子５０３はエミッタ線５０２に接続されたエミッタ電極５０３ａと、ゲート線５０１に接続されたゲート電極５０３ｂとを備えた構成である。また、エミッタ電極５０３ａは、エミッタ電極５０３ａ側からゲート電極５０３ｂに向かって小径化するエミッタティップ５０５と呼ばれる突起部を備えており、このエミッタティップ５０５に対応した位置にはゲート電極５０３ｂに孔部５０４が形成されており、この孔部５０４内にエミッタティップ５０５の先端が配置されている。

　電界放出素子５０３に設けられたエミッタ電極５０３ａとゲート電極５０３ｂとの間に電圧を供給すると、電界の作用によってエミッタティップ５０５から孔部５０４に向かって電子５１０が移動し、エミッタティップ５０５の先端から電子５１０が放出される。能出された電子５１０が、カソード基板５００ａに対向配置されたアノード基板５００ｂの蛍光体に当たることで蛍光体が発光する。このため、ゲート線５０１のゲート信号Ｖ_１，Ｖ_２，…，Ｖ_ｍ、及びエミッタ線５０２のエミッタ信号Ｗ_１，Ｗ_２，…，Ｗ_ｎを制御してＦＥＤ５００を駆動すれば所望の色を表示させることが可能になる。本発明の実施形態による液滴吐出装置は、アノード基板５００ｂに蛍光体を配置するために用いられる。

　上記の液晶装置、有機ＥＬ装置、プラズマ型表示装置、ＦＥＤ等のデバイスは、ノート型コンピュータ及び携帯電話等の電子機器に設けられる。だだし、本発明にいう電子機器は、上記のノート型コンピュータ及び携帯電話に限られる訳ではなく、種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。

本発明の第１実施形態による液滴吐出装置の概略構成を示すブロック図である。 本発明の第１実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成を示す図である。 本発明の第１実施形態による液滴吐出装置を用いた第１の基板処理例を示す図である。 本発明の第１実施形態による液滴吐出装置を用いた第２の基板処理例を示す図である。 本発明の第１実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。 本発明の第２実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。 本発明の第３実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドドライバ及び液滴吐出ヘッドの電気的構成を示す図である。 本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。 本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。 本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図である。 カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。 有機ＥＬ装置の構成の一例を示す断面図である。 プラズマ型表示装置の構成の一部を示す分解斜視図である。 電界放出素子を備えた電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）の構成を示す図である。

符号の説明

　３……Ｘ軸テーブル（移動機構）
　４……Ｙ軸テーブル（移動機構）
　５……キャリッジ
　８……液滴吐出ヘッド
　８ａ……第１吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
　８ｂ……第２吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
　８ｃ……第３吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
　９……機能液供給装置（機能液供給機構）
　１０……制御装置（吐出駆動制御手段）
　３０……駆動装置
　３１ａ〜３１ｃ……ダミー負荷回路（制御手段）
　３２ａ〜３２ｃ……アナログスイッチ（電気的スイッチ）
　３３ａ〜３３ｃ……アナログスイッチ（電気的スイッチ）
　４０ａ〜４０ｃ……ディップスイッチ（機械的スイッチ）
　４１ａ〜４１ｃ……ディップスイッチ（機械的スイッチ）
　４５……液滴吐出ヘッド
　４６……ダミー負荷回路（制御手段）
　４７……ヘッドユニット
　Ｗ……ワーク

Claims (14)

1. 　ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、
   　複数種の液滴吐出ヘッドと、
   　前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段と、
   　前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液滴の種類に応じて、複数の前記制御手段のうちの何れかを選択する選択手段と
   を備え、
   　前記選択手段により選択された前記制御手段を介して前記駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに印加することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 　前記選択手段は、前記制御手段と前記液滴吐出ヘッドとに接続された複数の電気的スイッチを備え、当該電気的スイッチの接続状態を切り替えることにより、前記液滴吐出ヘッドに接続する複数の前記制御手段の内の何れかを選択することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
3. 　前記選択手段は、前記制御手段と前記液滴吐出ヘッドとの電気的接続状態を切り替える複数の機械的スイッチを備えることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
4. 　前記電気的スイッチは、アナログスイッチであることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
5. 　前記機械的スイッチは、ユーザにより操作されるディップスイッチであることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出装置。
6. 　前記複数種の液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジと、
   　前記複数種の液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、
   　前記キャリッジを介して前記複数種の液滴吐出ヘッドを、前記ワークに対して相対的に移動させる移動機構と、
   　前記移動機構に同期させて前記液滴吐出ヘッドの何れかの吐出駆動を制御する吐出駆動制御手段と
   　を備えることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液滴吐出装置。
7. 　ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、
   　各々が互いに仕様が異なる液滴吐出ヘッドを備え、交換可能に構成されたヘッドユニットと、
   　搭載されたヘッドユニットに設けられた前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動装置とを備え、
   　前記ヘッドユニットの各々は、設けられた前記液滴吐出ヘッドの電気的特性に応じて選択される駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
8. 　前記制御手段は、電気的抵抗成分と電気的容量成分とを含むことを特徴とする請求項１から請求項７記載の液滴吐出装置。
9. 　ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出方法において、
   　互いに仕様が異なる複数の液滴吐出ヘッドから駆動すべき液滴吐出ヘッドを選択するヘッド選択工程と、
   　前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液滴の種類に応じて、前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段のうちのいずれかを選択する制御手段選択工程と、
   　前記制御手段選択工程で選択した制御手段を介して前記ヘッド選択工程で選択した液滴吐出ヘッドに対して駆動信号を供給し、前記液滴を吐出させる駆動工程と
   　を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
10. 　ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出方法において、
    　液滴吐出ヘッドと当該液滴吐出ヘッドの電気的特定に応じた制御手段とを備えるヘッドユニットを搭載するヘッドユニット搭載工程と、
    　前記ヘッドユニット搭載工程で搭載されたヘッドユニットが備える前記制御手段を介して前記液滴吐出ヘッドに対して駆動信号を供給し、前記液滴を吐出させる駆動工程と
    　を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
11. 　請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液滴吐出装置を備えることを特徴とする成膜装置。
12. 　請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液滴吐出装置又は請求項９若しくは請求項１０記載の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を吐出して成膜する工程を含むことを特徴とする成膜方法。
13. 　所定箇所に機能性を有するパターンが形成されたワークを備えたデバイスの製造方法であって、
    　前記ワークの所定箇所に、請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液滴吐出装置又は請求項９若しくは請求項１０記載の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を吐出して前記ワークに前記パターンを形成する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
14. 　請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置又は請求項９若しくは請求項１０記載の液滴吐出方法を用いて製造されたデバイスを備えた電子機器。
    

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