JP2004072019A - Semiconductor package - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体パッケージに関し、特に高周波信号用パターンとそれに近接して配置される接地用パターンとを備えている半導体パッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】
図16は、従来技術における半導体パッケージの平面図であり、図17は図16におけるA部の拡大図である。図を参照して、半導体パッケージはその中央部に半導体素子を搭載する部分を備えており、その内部に半導体素子の端子に電気的に接続されるパターンを備えている。
【0003】
半導体素子の端子に電気的に接続されるパターンとして、1つの高周波信号(SIG)ワイヤボンディング用パターン1と、高周波信号用パターンに近接して配置される2つの接地(GND)ワイヤボンディング用パターン3a,3bとが備えられている。また、SIGワイヤボンディング用パターン1は、SIGリード7に電気的に接続される。また、GNDワイヤボンディング用パターン3a,3bは、GNDリード5に電気的に接続される。
【0004】
図18は、図16におけるA部を裏面から見た構造を示す図である。また、図19は図16におけるA部のX−X′断面を示す図である。
【0005】
図を参照して、SIGワイヤボンディング用パターン1とSIGリード7との導通を図るため、半導体パッケージ内部にSIGビア31が設けられている。これにより、SIGワイヤボンディング用パターン1は、SIGビア31およびSIGリード接合用導体パターン15を介して、SIGリード7に電気的に接続される。
【0006】
また、GNDワイヤボンディング用パターン3a,3bは、GNDビア11を介してGNDリード接合用導体パターン9に接続される。そして、GNDリード5がGNDリード接合用導体パターン9に接続される。また、GNDビア11は複数設けられ、SIGビア31を取囲むように構成されている。
【0007】
パッケージ内層にもGNDパターン17があり、GNDビア11に接続されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図16〜図19に示されるような、パッケージ裏面に外部基板との接合用金属リード(SIGリード7およびGNDリード5)が接合されている半導体回路用パッケージにおいて、パッケージ裏面層からパッケージ内ワイヤボンディング用パターン層との導通方法としては、上述したように導体ビアによる方法が一般的である。また、SIGビア31の周囲には、GNDビア11が配置されることにより、特性インピーダンスの調整が通常行なわれている。
【0009】
今後、半導体パッケージにおいてもますます小型化が求められていくと考えられている。しかしながら、従来技術における上述したような半導体パッケージの構造を採用すると、小型化に限界があるという問題がある。たとえば、特開平4−336702号公報においても上述のような半導体パッケージの構造が開示されている。この公報の図3および第0015段落には、信号用のビアのまわりに複数の接地用ビアを設けて同軸構造を構成する技術が開示されているが、ビアを設けるスペースが必要となるため小型化に不利である。
【0010】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、小型化を図ることができる半導体パッケージを提供することを目的としている。
【0011】
この発明はさらに、特性インピーダンスの調整を容易に行なうことができる半導体パッケージを提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためこの発明のある局面に従うと、半導体パッケージは、半導体搭載部と、半導体素子の端子に電気的に接続されるパターンとを備えた半導体パッケージであって、高周波信号用(SIG)パターンと、高周波信号用パターンに近接して配置される接地用(GND)パターンと、パッケージ側面またはパッケージ裏面の外部接続パターンとを備え、高周波信号用パターンと、それに対応する外部接続パターンとはパッケージ側面のキャスタレーション部で接続されており、接地用パターンと、それに対応する外部接続パターンとはビアで接続されていることを特徴とする。
【0013】
この発明に従うと高周波信号用パターンをビアでなくキャスタレーションで接続することができるため、半導体パッケージの構造を小型化することができる。また、キャスタレーションの周囲に接地用のビアを設けると、キャスタレーションを中心とした同軸構造を維持することが可能となる。
【0014】
好ましくは半導体パッケージは、高周波信号用パターンの両側に接地用パターンが形成されるように構成される。
【0015】
このように、高周波信号用パターンの両側に接地用パターンを形成することで、特性インピーダンスの調整がさらに容易になる。
【0016】
好ましくは半導体パッケージは、接地用パターンと、それに対応する外部接続パターンとを接続するパッケージ側面のキャスタレーションをさらに備える。
【0017】
このように、高周波信号線をつなぐキャスタレーションの隣にさらに接地用のキャスタレーションを設けることで、特性インピーダンスの調整がさらに容易になる。
【0018】
【発明の実施の形態】
[第1の実施の形態]
図1〜図4は、本発明の第1の実施の形態における半導体パッケージの構造を示す図であり、図16〜図19に対応する図である。
【0019】
図を参照して、本実施の形態における半導体パッケージの構造が従来技術における半導体パッケージの構造と異なる部分は、本実施の形態においてはパッケージ裏面層とパッケージ内のSIGワイヤボンディング用パターン1との導通を、パッケージ側面に設置するSIGキャスタレーション13により行なっているところである。これにより、SIGキャスタレーション13と特性インピーダンス調整用のGNDビア11とを、従来技術に示される構造に比べ狭い領域に設置することが可能となる。これにより、半導体パッケージ全体としての小型化を図ることが可能となる。
【0020】
すなわち、SIGビア31(図19)を用いる場合と比較して、SIGキャスタレーション13(図4)を用いることで、GNDビア11からパッケージ外周までの距離を図19におけるW1から図4におけるW2に減少させることが可能である。
【0021】
また、キャスタレーションの周囲に接地用のビアを設けるので同軸構造を維持することが可能である。
【0022】
なお、本実施の形態においてはSIGリード7の両側にGNDリード5を設けることとしたが、このようにSIGリードの両隣にGNDリードを設けず、片方のみにGNDリードを設けるようにしてもよい。
【0023】
[第2の実施の形態]
図5〜図8は、本発明の第2の実施の形態における半導体パッケージの構造を示す図であり、第1の実施の形態における図1〜図4に対応する図である。本実施の形態における半導体パッケージが第1の実施の形態におけるそれと異なる点は、SIGリード7をL字形に曲げることで、パッケージの側面に(SIGキャスタレーション13が存在する部分に)接合させた点である。
【0024】
[第3の実施の形態]
図9〜図12は、本発明の第3の実施の形態における半導体パッケージの構造を示す図であり、第1の実施の形態における図1〜図4に対応する図である。
【0025】
本実施の形態においては、GNDワイヤボンディング用パターン3a,3bとGND用導体パターン9を接続するために、GNDビア11のみならず、GNDキャスタレーション21a,21bを用いている。このように、パッケージ側面にGNDキャスタレーション21a,21bを設けることで、特性インピーダンスの調整がさらに容易になる。
【0026】
また、本実施の形態においてはGNDリード5もSIGリード7と同じくL字形に曲げることでパッケージの側面に接合させるようにしている。なお、第1の実施の形態と同じくSIGリード7およびGNDリード5をパッケージの裏面に接合するようにしてもよい。
【0027】
[第4の実施の形態]
図13は、本発明の第4の実施の形態における半導体パッケージの構造を示す図であり、第1の実施の形態における図1に対応する図である。
【0028】
図に示されるように、本実施の形態においては半導体パッケージから3本のGNDリード5および2本のSIGリード7a,7bが突出している。すなわち、信号線とGNDリード(またはGNDリード、信号線およびGNDリード)の組は、1対以上であれば本願発明を実施することが可能である。
【0029】
図14および図15は、このように2本のSIGリードと3本のGNDリードとで半導体パッケージを構成した構造を示す図である。なお、図14は本発明の第1の実施の形態に対応しており、図15は第2の実施の形態に対応している。
【0030】
図を参照して、半導体パッケージは以下の部材により構成される。
・パッケージ本体である誘電体部(53)
・半導体集積回路が実装されるキャビティ部(61)
・外部基板接合用リード部(5,7a,7b)
なお、リードは信号線(SIG)用リード(5)とGND用リード(7a,7b)があり、SIGリード(7a,7b)の両端、または片方の隣に特性インピーダンス調整のためにGNDリード(5)が設置されている。また、SIGリードおよびGNDリード以外の複数のリード(57)も備えられている。たとえば電源供給用のリードなどである。
【0031】
・外部基板接合用リード部とパッケージとをはんだなどの接合材料により接合するための導体パターン部(9,15)
SIGリード接合用導体パターン部(15)は、パッケージ裏面またはパッケージ側面に設置されており、図14ではパッケージ裏面に設置している例である。また、図15はパッケージ側面に設置した例である。
【0032】
・パッケージ内に実装された半導体集積回路と、ワイヤボンディング、フリップチップ接続などにより電気的に導通されるための導体パターン層(1)
・パッケージ側面部に設置されたキャスタレーション部(13)
キャスタレーション部は導体パターン部(15)と導体パターン層(1)とを、直接またはパッケージ内部に設置された導体層を介して電気的に導通させる。また、図15に示されるように、このキャスタレーション部(13)が導体パターン層(1)の外部基板接続用リード接合パターンともなり得る。
【0033】
・光ファイバなどをパッケージ外部から挿入するための穴部(55)
・穴部(55)に接続された、穴部を持った金属もしくは誘電体部材(光ファイバなどを挿通させるための部材)(51)
・パッケージ上部にろう付けなどで接合され、パッケージ内部を気密封止するための金属あるいは誘電体などの蓋部がろう付けなどでその表面に接合される金属または誘電体部材(59)
・パッケージ内層に設置されたGND用導体パターン層(17)
・パッケージ裏面のGND用導体パターン部(9)と、誘電体部材(59)とを電気的に導通させるためのビア部(11)
このビア部は、信号線用キャスタレーション周辺においては、信号線キャスタレーション部の特性インピーダンスを調整するように設置される。
【0034】
[実施の形態における効果]
上述のように、本発明の実施の形態においては、パッケージ裏面またはパッケージ側面に、外部基板との導通用金属リードが接続され、リード接合部とパッケージ内部に設置されるワイヤボンディング層導体パターンとの電気的導通が、パッケージ側面のキャスタレーションにより行なわれている。これにより、パッケージの小型化を図ることができ、また信号線用の外部接続用リードの両隣あるいは片方のみの隣にGND用リードが設置されていることにより、特性インピーダンスの調整が容易である。
【0035】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における半導体パッケージの平面図である。
【図2】図1のA部の拡大図である。
【図3】図1のA部の裏面の構造を示す図である。
【図4】図1のA部のX−X′断面図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態における半導体パッケージの平面図である。
【図6】図5のA部の拡大図である。
【図7】図5のA部の裏面の構造を示す図である。
【図8】図5のA部のX−X′断面図である。
【図9】本発明の第3の実施の形態における半導体パッケージの平面図である。
【図10】図9のA部の拡大図である。
【図11】図9のA部の裏面の構造を示す図である。
【図12】図9のA部のX−X′断面図である。
【図13】本発明の第4の実施の形態における半導体パッケージの平面図である。
【図14】SIGリードを複数有する半導体パッケージの第1の構造を示す図である。
【図15】SIGリードを複数有する半導体パッケージの第2の構造を示す図である。
【図16】従来の半導体パッケージの平面図である。
【図17】図16のA部の拡大図である。
【図18】図16のA部の裏面の構造を示す図である。
【図19】図16のA部のX−X′断面図である。
【符号の説明】
1 SIGワイヤボンディング用パターン、3a,3b GNDワイヤボンディング用パターン、5 GNDリード、7 SIGリード、9 GNDリード接合用導体パターン、11 GNDビア、13 SIGキャスタレーション、15SIGリード接合用導体パターン、17 パッケージ内層GNDパターン、21a,21b GNDキャスタレーション。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a semiconductor package having a high-frequency signal pattern and a grounding pattern arranged close to the pattern.
[0002]
[Prior art]
FIG. 16 is a plan view of a conventional semiconductor package, and FIG. 17 is an enlarged view of a portion A in FIG. Referring to the drawing, a semiconductor package has a portion for mounting a semiconductor element at a central portion thereof, and has a pattern inside thereof electrically connected to terminals of the semiconductor element.
[0003]
As a pattern electrically connected to the terminal of the semiconductor element, one high-frequency signal (SIG) wire bonding pattern 1 and two ground (GND) wire bonding patterns 3a arranged close to the high-frequency signal pattern , 3b. The SIG wire bonding pattern 1 is electrically connected to the SIG lead 7. The GND wire bonding patterns 3a and 3b are electrically connected to the GND leads 5.
[0004]
FIG. 18 is a diagram showing a structure of the portion A in FIG. 16 as viewed from the back surface. FIG. 19 is a diagram showing a cross section taken along line XX 'of the portion A in FIG.
[0005]
Referring to the figure, an SIG via 31 is provided inside a semiconductor package to achieve conduction between SIG wire bonding pattern 1 and SIG lead 7. Thus, the SIG wire bonding pattern 1 is electrically connected to the SIG lead 7 via the SIG via 31 and the SIG lead bonding conductor pattern 15.
[0006]
Further, the GND wire bonding patterns 3 a and 3 b are connected to the GND lead
[0007]
There is also a GND pattern 17 in the package inner layer, which is connected to the GND via 11.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
As shown in FIGS. 16 to 19, in a semiconductor circuit package in which bonding metal leads (SIG lead 7 and GND lead 5) to the external substrate are bonded to the back surface of the package, wire bonding in the package is performed from the package back surface layer. As described above, a method of conducting with the conductive pattern layer is generally a method using a conductive via. Adjustment of the characteristic impedance is usually performed by disposing the GND via 11 around the SIG via 31.
[0009]
In the future, it is considered that miniaturization of semiconductor packages will be required more and more. However, when the above-described structure of the semiconductor package in the related art is adopted, there is a problem that miniaturization is limited. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-336702 discloses the structure of the semiconductor package as described above. FIG. 3 and the 0015 paragraph of this publication disclose a technique of providing a plurality of grounding vias around a signal via to form a coaxial structure. However, since a space for providing the via is required, a small size is required. It is disadvantageous for conversion.
[0010]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to provide a semiconductor package that can be reduced in size.
[0011]
Another object of the present invention is to provide a semiconductor package that can easily adjust characteristic impedance.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor package including a semiconductor mounting portion and a pattern electrically connected to a terminal of a semiconductor element. ) Pattern, a ground (GND) pattern arranged close to the high-frequency signal pattern, and an external connection pattern on the package side surface or the package back surface. The high-frequency signal pattern and the corresponding external connection pattern The ground pattern and the corresponding external connection pattern are connected by a via through a castellation portion on the side surface of the package.
[0013]
According to the present invention, high-frequency signal patterns can be connected by castellations instead of vias, so that the structure of a semiconductor package can be reduced in size. Further, if a ground via is provided around the castellation, it becomes possible to maintain a coaxial structure centered on the castellation.
[0014]
Preferably, the semiconductor package is configured such that grounding patterns are formed on both sides of the high-frequency signal pattern.
[0015]
As described above, by forming the grounding pattern on both sides of the high-frequency signal pattern, the adjustment of the characteristic impedance is further facilitated.
[0016]
Preferably, the semiconductor package further includes a castellation on the side surface of the package for connecting the ground pattern and the corresponding external connection pattern.
[0017]
As described above, by providing the castellations for grounding next to the castellations connecting the high-frequency signal lines, the adjustment of the characteristic impedance is further facilitated.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[First Embodiment]
FIGS. 1 to 4 are views showing the structure of a semiconductor package according to the first embodiment of the present invention, and correspond to FIGS. 16 to 19.
[0019]
Referring to the drawings, the difference between the structure of the semiconductor package of the present embodiment and the structure of the semiconductor package of the prior art is that, in the present embodiment, the conduction between the package back layer and the SIG wire bonding pattern 1 in the package is different. Is performed by the SIG castellation 13 installed on the side surface of the package. Thus, the SIG castellations 13 and the
[0020]
That is, as compared with the case where the SIG via 31 (FIG. 19) is used, the distance from the GND via 11 to the outer periphery of the package is changed from W1 in FIG. 19 to W2 in FIG. 4 by using the SIG castellation 13 (FIG. 4). It is possible to reduce it.
[0021]
Further, since a via for grounding is provided around the castellation, it is possible to maintain the coaxial structure.
[0022]
In the present embodiment, the GND leads 5 are provided on both sides of the SIG lead 7. However, the GND leads may not be provided on both sides of the SIG lead, and the GND lead may be provided on only one side. .
[0023]
[Second embodiment]
FIGS. 5 to 8 are views showing the structure of the semiconductor package according to the second embodiment of the present invention, corresponding to FIGS. 1 to 4 in the first embodiment. The difference between the semiconductor package of the present embodiment and that of the first embodiment is that the SIG lead 7 is bent into an L-shape to be joined to the side surface of the package (to the portion where the SIG castellation 13 exists). It is.
[0024]
[Third Embodiment]
9 to 12 are views showing the structure of the semiconductor package according to the third embodiment of the present invention, and correspond to FIGS. 1 to 4 in the first embodiment.
[0025]
In the present embodiment, not only the GND via 11 but also GND castellations 21a and 21b are used to connect the GND wire bonding patterns 3a and 3b and the
[0026]
Further, in the present embodiment, the
[0027]
[Fourth Embodiment]
FIG. 13 is a diagram illustrating a structure of a semiconductor package according to a fourth embodiment of the present invention, and is a diagram corresponding to FIG. 1 according to the first embodiment.
[0028]
As shown in the figure, in this embodiment, three GND leads 5 and two SIG leads 7a and 7b protrude from the semiconductor package. That is, the invention of the present application can be implemented as long as the number of pairs of signal lines and GND leads (or GND leads, signal lines, and GND leads) is one or more.
[0029]
FIGS. 14 and 15 are diagrams showing a structure in which a semiconductor package is constituted by two SIG leads and three GND leads. FIG. 14 corresponds to the first embodiment of the present invention, and FIG. 15 corresponds to the second embodiment.
[0030]
Referring to the drawing, the semiconductor package is constituted by the following members.
-Dielectric part (53) which is a package body
.Cavities (61) in which semiconductor integrated circuits are mounted
.Leads for bonding external substrates (5, 7a, 7b)
The leads include a signal line (SIG) lead (5) and a GND lead (7a, 7b). Both ends of the SIG lead (7a, 7b), or a GND lead (5) for adjusting characteristic impedance, are located adjacent to one of the two ends. 5) is installed. Also, a plurality of leads (57) other than the SIG lead and the GND lead are provided. For example, it is a lead for power supply.
[0031]
・ Conductor pattern portions (9, 15) for joining the external substrate joining lead portion and the package with a joining material such as solder.
The SIG lead bonding conductor pattern portion (15) is provided on the back surface of the package or on the side surface of the package, and FIG. 14 shows an example in which it is provided on the back surface of the package. FIG. 15 shows an example of installation on the side of the package.
[0032]
・ Conductor pattern layer (1) to be electrically connected to the semiconductor integrated circuit mounted in the package by wire bonding, flip chip connection, etc.
-The castellation part (13) installed on the side of the package
The castellation portion electrically connects the conductor pattern portion (15) and the conductor pattern layer (1) directly or via a conductor layer provided inside the package. Further, as shown in FIG. 15, the castellation portion (13) can also be a lead bonding pattern for connecting an external substrate of the conductor pattern layer (1).
[0033]
.Hole (55) for inserting an optical fiber from outside the package
A metal or dielectric member (a member for inserting an optical fiber or the like) having a hole connected to the hole (55) (51)
A metal or dielectric member (59) joined to the top of the package by brazing or the like, and a metal or dielectric cover for airtightly sealing the inside of the package is joined to the surface by brazing or the like (59)
・ GND conductive pattern layer (17) installed in package inner layer
A via portion (11) for electrically connecting the GND conductor pattern portion (9) on the back surface of the package to the dielectric member (59);
The via portion is provided around the signal line castellation so as to adjust the characteristic impedance of the signal line castellation portion.
[0034]
[Effects in Embodiment]
As described above, in the embodiment of the present invention, the metal lead for conduction with the external substrate is connected to the back surface or the side surface of the package, and the lead bonding portion and the wire bonding layer conductor pattern provided inside the package are connected. Electrical continuity is achieved by castellation on the side of the package. Thus, the package can be reduced in size, and the characteristic impedance can be easily adjusted because the GND leads are provided on both sides of the external connection leads for the signal lines or only on one side.
[0035]
The embodiments disclosed this time are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a structure of a back surface of a portion A in FIG. 1;
FIG. 4 is a sectional view taken along line XX ′ of a portion A in FIG.
FIG. 5 is a plan view of a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an enlarged view of a portion A in FIG. 5;
FIG. 7 is a diagram showing a structure of a back surface of a portion A in FIG. 5;
FIG. 8 is a sectional view taken along the line XX ′ of the portion A in FIG. 5;
FIG. 9 is a plan view of a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 10 is an enlarged view of a portion A in FIG. 9;
FIG. 11 is a diagram showing a structure of a back surface of a portion A in FIG. 9;
FIG. 12 is a sectional view taken along the line XX ′ of the portion A in FIG. 9;
FIG. 13 is a plan view of a semiconductor package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a diagram showing a first structure of a semiconductor package having a plurality of SIG leads.
FIG. 15 is a diagram showing a second structure of a semiconductor package having a plurality of SIG leads.
FIG. 16 is a plan view of a conventional semiconductor package.
FIG. 17 is an enlarged view of a portion A in FIG. 16;
FIG. 18 is a diagram showing a structure of a back surface of a portion A in FIG. 16;
19 is a sectional view taken along the line XX 'of the portion A in FIG.
[Explanation of symbols]
1 SIG wire bonding pattern, 3a, 3b GND wire bonding pattern, 5 GND lead, 7 SIG lead, 9 GND lead bonding conductor pattern, 11 GND via, 13 SIG castellation, 15 SIG lead bonding conductor pattern, 17 package Inner layer GND pattern, 21a, 21b GND castellation.
Claims (3)
高周波信号用パターンと、
前記高周波信号用パターンに近接して配置される接地用パターンと、
パッケージ側面またはパッケージ裏面の外部接続パターンとを備え、
前記高周波信号用パターンと、それに対応する前記外部接続パターンとはパッケージ側面のキャスタレーション部で接続されており、
前記接地用パターンと、それに対応する前記外部接続パターンとはビアで接続されていることを特徴とする、半導体パッケージ。A semiconductor package comprising a semiconductor mounting portion and a pattern electrically connected to terminals of the semiconductor element,
A pattern for high frequency signals,
A grounding pattern arranged close to the high-frequency signal pattern,
With external connection patterns on the package side or package back,
The high-frequency signal pattern and the corresponding external connection pattern are connected by a castellation portion on a package side surface,
A semiconductor package, wherein the ground pattern and the corresponding external connection pattern are connected by a via.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051101 |