JP2003531502A

JP2003531502A - 無機酸化物研磨材粒子のスラリー及び銅含有表面の研磨方法

Info

Publication number: JP2003531502A
Application number: JP2001578567A
Authority: JP
Inventors: プライアー，ジェイムズ・ニール
Original assignee: WR Grace and Co Conn
Current assignee: WR Grace and Co Conn
Priority date: 2000-04-20
Filing date: 2001-04-11
Publication date: 2003-10-21
Also published as: HK1052945A1; NO20025050L; WO2001081490A2; EP1276826A2; AU2001255290A1; CN1437643A; MXPA02010167A; NO20025050D0; CA2406958A1; PL359264A1; WO2001081490A3; US6447693B1; KR20030074114A

Abstract

(57)【要約】半導体チップを製造するのに用いられる導電性金属層および絶縁層の研磨速度として相対的に同等の研磨速度を与える研磨材スラリーを製造するために加熱された、例えばオートクレーブ処理された無機酸化物のスラリーに酸化剤が加えられる。このスラリーによれば研磨能に関して比較的自在性のある研磨材スラリーも提供され、それによって新しい絶縁材料を用いてチップを製造するときに、銅研磨スラリーの研磨能の変更が可能になる。この方法を用いると、このスラリーの粒子研磨能の増加をＮ₂吸収法（BET法）で測定される粒子表面積の増加と相関させることができ、そしてスラリーを加熱して所望とされる研磨能を有するように定められた表面積を有する粒子を生成させることによって研磨能を向上（または低下）させることができる。この方法はシリカ系研磨材スラリーの製造に特に適し、そして製造されたスラリーは銅導電回路およびシリカ系絶縁層を用いて作られたチップを研磨するのに特に有用である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】発明の背景この発明の分野は、研磨材無機酸化物粒子のスラリーに関する。特に、本発明
は、電子チップ、特に導電性金属回路およびシリカ系絶縁層を含むチップを平坦
化または研磨するために用いられる無機酸化物粒子のスラリーに関する。銅が導
電層として次第に使用されることが多くなり、またテトラエトキシシラン（TEOS
）誘電体がこのような回路の絶縁層として広く使われている。

【０００２】これらの研磨材スラリーを用いる方法は化学・機械的平坦化（または研磨）法
として知られるもので、これはまた“CMP”としても知られる。機械的研磨はス
ラリー中の無機酸化物粒子の研磨能（abrasivity）によって与えられ、そしてそ
のスラリー中に含まれる化学的添加剤が、研磨される表面の溶解および除去を容
易にする追加の効果を与える。

【０００３】電子チップは研磨または平坦化されるが、それは、電子チップの最終回路を作
るのに必要とされる一連の工程中に導電層および／または絶縁層が過剰に適用さ
れるからである。電子チップを製造する食刻法（damascene process）が、この
ような研磨を用いるときの１例である。食刻法は、簡単に述べると、所望とされ
る回路に相関するチャンネルを含む絶縁層上に過剰の銅を適用するものである。
銅は絶縁層を被覆するのみならず、それらチャンネルも充填する。絶縁層上のこ
の過剰分、即ち、所謂「過装入」は研磨によって除去されなければならない。こ
の過装入が、次の材料層が適用される前に完全に除去されるそのような方法で、
堆積銅層を研磨することが望まれる。追加の層は典型的にはフォトリソグラフィ
ーで適用され、そして下にある層は、焦点の鮮鋭度を後続のフォトリソグラフィ
ー工程で最大限に大きくするために、十分に平坦化されることが必要である。

【０００４】スラリーは、また、研磨される基板の過度の引掻き傷または点食を形成させず
に、ウェーハ全体に均一な研磨を与えなければならない。高コストの研磨装置の
生産性を最大限に高めるためには、また、上記の要件を満たすと共に、研磨速度
を最大限に高めることがさらに望ましい。

【０００５】導電層も、食刻プロセス中に「ディッシング（dishing）」を最小限に抑えて
除去されなければならない（図１Ａ、１Ｂおよび／または１Ｃ）。ディッシング
は層堆積プロセス中に（図１Ａ）、または研磨プロセスが絶縁層に達するにつれ
て起こり得、そしてそれは導電層が隣接絶縁層よりも速い速度で除去されること
によって引き起こされる（図１Ｂ）。例えば、CMP法で使用されるスラリーは、
典型的には、大きさが微小な、即ちサブミクロンの無機研磨材粒子を含む。特に
、超微粉非晶質シリカ粒子は、それらの良好なコロイド安定性および最小限の引
っ掻きでの均一な研磨に基づいてCMPスラリーで有用であることが分かっている
。しかし、これらの研磨材は、一般に、銅を含むチップを研磨するための酸性の
酸化性スラリー中で用いるときに同等の研磨速度をもたらさない。具体的に説明
すると、これらの研磨材を用いて製造されるスラリーは、銅含有導電層に比較し
て、シリカ含有絶縁層について有意に低い研磨速度を与える。その結果、銅がよ
り速く除去され、従って研磨プロセスが絶縁層を露出させる正にその瞬間にその
研磨プロセスを停止させなければ、有意の（そして望ましくない）ディッシング
が起こり得る。対照的に、銅および絶縁層について同等の研磨速度を有するスラ
リーは、誘電体層が露出された後に研磨がしばらく続いたときでも、平坦な表面
をもたらす（図１Ｃ）。図１Ａ、１Ｂおよび１Ｃはまたバリヤー層の使用も図解
する。バリヤー層は、チップの加工中における金属、例えば銅の誘電体層中への
拡散を制限するために導電層の表面に適用される保護層である。バリヤーの存在
は、そのバリヤーが銅よりも有意に遅い速度で研磨されるならば、ディッシング
においてある役割を果たす可能性がある。それはディッシングを生じさせる際に
単独である役割を果たすことさえあるだろう。

【０００６】上記材料の除去速度が異なる結果、公知の研磨材スラリーを用いるCMP法は、
一般に、ウェーハ全体に均一な研磨を与えない。従って、例えば食刻法では、第
一研磨材スラリーを用いて過装入された銅の大部分を除去することが一般に望ま
しい。これらの第一スラリーは銅の除去を加速する攻撃性の化学的添加剤、例え
ばグリシンと過酸化水素との混合物を含むので、それらスラリーが主に有効であ
る。この第一スラリーによる研磨を停止させるべき時期に関しては、ある種の問
題が存在する。これについては、多くのオペレーターは、バリヤー層が初めて露
出されるときにそのプロセスを停止させると言えば十分であろう。攻撃性スラリ
ーによる研磨後に、その研磨をもっと細かいレベルで仕上げ処理して、銅が導電
線の外側チップ上のあらゆる場所から確実、完全に除去されるようにするために
、グリシンを含まない第二スラリーが用いられる。

【０００７】しかし、上記２つのスラリーのどちらにも、前記のディッシング効果を引き起
こす傾向がある。第一スラリーを用いる研磨がバリヤー層に達するまで行われる
ときに少なくともある程度のディッシングが起こり、そしてそのディッシングは
残存するか、または第二研磨工程後に増強されさえする。

【０００８】さらに、新しい絶縁材料およびバリヤー材料がしばしば開発されている。これ
らの新材料は一般的には異なる性質を有し、その結果異なる研磨速度を示す。従
って、これらの材料を導入するときは、そのプロセスのオペレーターは現存研磨
スラリーの研磨能を調節するか、または現存スラリー系を適切な研磨能を有する
他のスラリー系で完全に置き換えるかのいずれかをすることが必要である。現存
スラリーを調節することが、代替スラリーを見つけ出すことよりも望ましいと思
われる。しかし、導電性表面、例えば銅を研磨する常用のスラリーを変えても、
望まれる選択性はもたらされないことが見いだされている。過去において、アル
ミナスラリーおよび煙霧シリカスラリーが銅表面を研磨するために用いられた。

【０００９】 Neville等に付与された米国特許第５，５２７，４２３号明細書が、そのよう
なスラリーの例を開示している。Neville等に付与された米国特許第’４２３号
明細書は、煙霧シリカまたは煙霧アルミナ粒子を安定な水性媒体中に分散して含
むCMPスラリーを開示している。Nevilleは、また、沈降アルミナを使用できると
も述べている。Neville等は、これら粒子は約４０〜約４３０ｍ²／ｇの範囲の表
面積、約１．０ミクロン未満の凝集体粒径分布および約０．４ミクロン未満の平
均凝集体直径を有することを開示している。この米国特許は、また、過酸化水素
またはアルカリ性物質のような試剤のCMPスラリーに対する添加を教示する文献
についても議論している。過酸化水素および／または酸性若しくはアルカリ性の
他の添加剤を含むCMPスラリーを開示する他の特許を挙げると、Feller等に付与
された米国特許第５，７００，８３８号、Cossaboon等に付与された米国特許第
５，７６９，６８９号、Kiddに付与された米国特許第５，８００，５７７号およ
びOswaldに付与された米国特許第３，５２７，０２８号がある。これらスラリー
のようなスラリーは、一般に、無機酸化物粒子を選択し、そして研磨に対して研
磨材粒子の固有の研磨性に頼るか、または研磨材、および／またはスラリーによ
って与えられる研磨効果を調節するためにスラリーに追加の添加剤を加えるとい
う着想に基づくものである。

【００１０】 Payneに付与された米国特許第４，３０４，５７５号明細書は、半導体ウェー
ハを機械的に研磨する際に研磨材材料として使用するための水性シリカゾルの製
造法を開示している。このゾルを製造するPayneの方法は、相対的に小さい粒子
と相対的に大きい粒子との混合物を含む初めのアルカリ性水性シリカゾルを加熱
することを含む。Payneは、その小さい方の粒子は溶解し、そしてそれより大き
い粒子の上に再堆積し、それによってシリカ粒子の大部分が出発混合ゾル中の大
きい方のシリカ粒子よりも有意に大きい寸法を有する水性シリカゾルが生成せし
められると述べている。Payneの材料は、１００ミリミクロン未満の平均粒径を
有する、好ましくは約１８０ミリミクロンの最終粒径を有するゾルから製造され
る。同様の開示が、同様にPayneに付与された米国特許第４，３５６，１０７号
明細書に述べられている。

【００１１】電子チップを製造するために使用される銅層と他の色々な層との間で相対的に
同等の選択性を与える研磨材スラリーを見いだすことが依然として望ましいこと
である。研磨材粒子の研磨性（abrasiveness）が、スラリーの化学的構成を変え
ることに頼る、或いは研磨材粒子用の新出発材料に頼る必要なしに、直ぐに研磨
要件を満たすよう容易に調節できるそのような方法で研磨材スラリーを製造する
方法を案出することも望まれている。

【００１２】発明の概要本発明においては、酸化剤が、微小な多孔性の無機酸化物粒子を、例えばオー
トクレーブ中で、その粒子の研磨能を変え、および／または向上させるように加
熱することによって製造されたそのような微小な多孔性無機酸化物粒子のスラリ
ーと組み合わされる。これらのスラリーは０．１〜約０．５ミクロンの範囲内の
中央粒径を有し、そして粒径分布の実質的に全てが１ミクロン未満であるのが好
ましい。この加熱法（酸化剤なし）で製造されたスラリーは、水および上記無機
酸化物粒子より成るアルカリ性スラリー（例えば、ｐＨ１０．８）がシリカを２
００psi・rpmにおいて少なくとも１２０ｍｍ／分の速度で除去するような研磨性
を有する。この測定は、固形分含有量１２．６重量％、ｐＨ約１０．８において
、SUBA 500パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャー（Strasbaugh 6CA pol
isher）を研磨時間２分で用いて行われた。これらのスラリーに加えられる酸化
剤に、この技術分野で公知のもの、例えば過酸化水素がある。酸化剤をこのよう
にして製造された無機酸化物粒子のスラリーに加え、そして好ましくはそのスラ
リーのｐＨを適切に調整すると、その結果得られるスラリーは、通常の絶縁層お
よびバリヤー層を研磨する速度に対して相対的に同等の速度で銅を研磨すること
も見いだされた。

【００１３】上記のように、上記多孔性粒子のオートクレーブ処理スラリーは、その粒子に
向上した研磨性を与える。これは標準研磨条件でのシリカ基板の増加した除去速
度に反映される。粒子研磨能のこの向上は、Ｎ₂吸収法（BET法）で測定される粒
子表面積の減少に強く相関する。このような相関関係は、スラリーの研磨能を簡
単に変える方法を提供するのに利用することができる。粒子研磨能のこの増加と
それに関連した粒子表面積の減少は、オートクレーブ処理プロセス中にシリカが
移動を起こし、それによってシリカが多孔性粒子内の鋭く凸になっている表面か
ら優先的に溶解され、そしてその多孔性粒子を構成するシリカサブユニット（単
位粒子：ultimate particles）の接合部における鋭く凹になっている表面の所で
再堆積されることに起因すると考えられる。この再堆積が、かくして、多孔性シ
リカ粒子を強化してその研磨能を増加させるのである。オートクレーブ処理との
関連で上昇した温度は、シリカの溶解性を高めることによってこの溶解−再堆積
プロセスを加速する働きをする。同様のプロセスは室温または周囲圧力での沸点
（〜１００℃）までの温度に保持されているシリカ粒子のアルカリ性の水性懸濁
液中でも起こるが、それにははるかに長い時間を要するだろう。それ故、本発明
では、粒子の研磨能を、無機酸化物を粒子の細孔構造内に再堆積させるために使
用される加熱条件を変えることによって、広い性質の範囲にわたって変えること
ができる。従って、この粒子の研磨能は、新絶縁材料が銅の導電層と組み合わさ
れているときに調節することができる。

【００１４】詳細な説明本発明のスラリーを製造するに当たっての最初の工程は、無機酸化物粒子のス
ラリーを形成し、次いで化学・機械的研磨、例えば銅導電層およびシリカ絶縁層
の研磨に適した粒径分布を有する粒子を含む分散液を調製するに足る条件と方法
で粒子を微粉砕し、そしてスラリーから分離することを含む。

【００１５】（１）親無機酸化物粒子スラリーの製造に適した無機酸化物に、沈降無機酸化物および無機酸化物ゲル
がある。無機酸化物は可溶性であることが好ましい。僅かに可溶性の無機酸化物
も、以下において後に説明される加熱工程が選択された無機酸化物を可溶化する
のに必要とされるｐＨ条件において、その無機酸化物の研磨能を変えるべく適切
に調整されるならば、同様に使用することができる。

【００１６】初めの無機酸化物スラリーは、本発明では、「親無機酸化物」、「親粒子」ま
たは「親分散液」と称される。非晶質シリカゲルが特に適した親無機酸化物であ
る。分散液は、また、SiO₂・Al₂O₃、MgO・SiO₂・Al₂O₃を含めて混合無機酸化物
から調製することもできる。混合無機酸化物は、常用のブレンド法または共ゲル
化法で製造される。

【００１７】ゲルを含む態様では、分散液は、限定されるものではないが、SiO₂、Al₂O₃、A
lPO₄、MgO、TiO₂およびZnO₂を含むゲルのような多孔性無機酸化物ゲルから誘導
される。ゲルはヒドロゲル、エーロゲルまたはキセロゲルであることができる。
ヒドロゲルは、水中で形成され、その結果その細孔が水で満たされているアクア
ゲルとしても知られる。キセロゲルは、水が除去されているヒドロゲルである。
エーロゲルは、水が除去されているときにゲル構造の何らかの崩壊または変化を
最小限に抑えるそのような方法で液体が除去されたタイプのキセロゲルである。
Syloid（登録商標）グレードのゲル、例えばグレード７４、２２１、２３４、２
４４、Ｗ３００、およびGenesis^TMシリカゲルとして商業的に入手できるシリカ
ゲルが適した親無機酸化物である。

【００１８】無機酸化物ゲルを製造する方法はこの技術分野で周知である。例えば、シリカ
ゲルは、ケイ酸アルカリ金属（例えば、ケイ酸ナトリウム）の水溶液を硝酸また
は硫酸のような強酸と混合することによって製造される。ここで、その混合は、
約３０分未満の時間でヒドロゲルになる透明なシリカゾル、即ちマクロゲルを形
成するのに適した攪拌条件下で行われる。この結果得られたゲルは次に洗浄され
る。形成された無機酸化物、即ちSiO₂のヒドロゲル中濃度は、通常は約１０〜約
５０重量パーセント、好ましくは約２０〜約３５重量パーセント、最も好ましく
は約３０〜約３５重量パーセントの範囲内であり、この場合そのゲルのｐＨは約
１〜約９、好ましくは１〜約４である。広範囲の混合温度が用い得るが、この範
囲は典型的には約２０〜約５０℃である。

【００１９】新しく形成されたヒドロゲルは、望ましくない塩類を浸出する連続的に移動し
ている水流の中に浸漬することによって簡単に洗浄され、あとに約９９．５重量
パーセント以上の純度の無機酸化物を残す。

【００２０】好ましい親シリカゲルの多孔度は色々な値を取ることができるが、それはゲル
を洗浄するのに用いられる水のｐＨ、温度および洗浄期間によって影響される。
６５〜９０℃、８〜９のｐＨで１５〜３６時間洗浄されたシリカゲルは、通常、
２５０〜４００の表面積（ＳＡ）を有し、そして１．４〜１．７ｃｃ／ｇｍの細
孔容積（ＰＶ）を有するエーロゲルを形成する。ｐＨ３〜５、５０〜６５℃で１
５〜２５時間洗浄されたシリカゲルは、７００〜８５０のＳＡを有し、そして０
．６〜１．３のＰＶを有するエーロゲルを形成する。これらの測定値はＮ₂多孔
度分析法でもたらされる。

【００２１】アルミナのような他の無機酸化物ゲルおよびシリカ／アルミナ共ゲルのような
混合無機酸化物ゲルを製造する方法も、この技術分野で周知である。このような
ゲルを製造する方法は米国特許第４，２２６，７４３号明細書に開示されるが、
その内容はこの特許をここで参照することにより本明細書に含められる。

【００２２】シリカ類およびアルミナ類のような煙霧無機酸化物も、親無機酸化物として選
択することができる。煙霧シリカおよび同アルミナの製造法は明確に記録されて
いる方法であって、四塩化ケイ素または塩化アルミニウムのような適切な供給原
料の蒸気の、水素と酸素との炎の中での加水分解を含む。

【００２３】親分散液用に無機酸化物がいったん選択されれば、その選択された無機酸化物
のスラリー用分散媒体が選ばれる。スラリーは、排液されているが、未だ乾燥さ
れておらず、そして追加の水が加えられる無機酸化物ゲル中の残留水を利用して
調製することができる。もう１つの態様では、乾燥された無機酸化物、例えばキ
セロゲルが水の中に分散される。この親分散液は、一般に、湿式微粉砕できる状
態にあるべきである。親粒子の大きさは、使用されるミルが所望とされる粒径分
布を有する分散液を生成させ得るほど十分な大きさであることが必要なだけであ
る。ほとんどの態様で、親分散液はほぼ１０〜４０ミクロンの範囲内の中央粒径
を有する。排液無機酸化物ゲルから製造された態様では、その排液ゲルはまずゲ
ルチャンクに粉砕され、これを予備微粉砕して１０〜４０ミクロンの範囲内にあ
る粒子の分散液を生成させることができる。

【００２４】（２）微粉砕および遠心分離親分散液は次に微粉砕される。微粉砕は「湿式」、即ち分散媒体として選ばれ
た液体媒体中で行われる。一般的な微粉砕条件は、供給材料、滞留時間、インペ
ラー速度および微粉砕用媒体の粒径に応じて変わることができる。適した条件お
よび滞留時間は実施例で説明されている。これらの条件は、特定の粒径分布、典
型的には１ミクロン未満の粒径分布を得るように変えることができる。これらの
条件を選択し、変える方法はこの技術分野の当業者には公知である。

【００２５】親無機酸化物粒子を微粉砕するために用いられる微粉砕装置は、材料を機械的
作用で激しく微粉砕することができるタイプのものであるべきである。このよう
なミルは商業的に入手でき、ハンマーミルおよびサンドミルがこの目的に特に適
している。ハンマーミルは必要な機械的作用を高速の金属ブレードで与え、また
サンドミルはジルコニアまたは砂のビーズのような媒体を急速にチャーニングす
ることによりその作用を与える。インパクトミルも使用できる。インパクトミル
およびハンマーミルは、両者とも、無機酸化物の金属ブレードによる衝撃によっ
て粒径を減少させる。

【００２６】微粉砕されたスラリーは次に遠心分離されて、その分散液を、最終生成物の粒
子を含む上澄み液相と、最終研磨材スラリーを調製するために通常は除去される
より大きい粒子を含む沈降相とに分離する。上澄み液相は沈降相から、例えばデ
カントすることによって取り除かれ、その上澄み液が本発明に従ってさらに加工
される。この相分離には通常の遠心分離器が使用できる。本発明に適した商業的
に入手できる遠心分離器は、後記の実施例で明らかにされている。ある場合に、
最初の遠心分離後に残る大きな粒子をさらに除去するために、上澄み液を２回、
３回またはそれより多くの回数遠心分離することが好ましいだろう。

【００２７】微粉砕および遠心分離により回収されたスラリーの粒子は多孔性である。これ
らの工程から回収されたシリカゲルスラリーは、典型的には、親無機酸化物より
も小さい細孔容積を有する。他の親無機酸化物の微粉砕および遠心分離により回
収された粒子の多孔度は、無機酸化物およびその無機酸化物が製造される方法に
依存する。例えば、親沈降および煙霧無機酸化物から製造されたスラリーは、そ
の親無機酸化物よりも小さい細孔容積を有する。

【００２８】（３）スラリーの加熱処理遠心分離されたスラリーは、次に、無機酸化物粒子の細孔構造内における無機
酸化物の分布を変更および調整し、それによってその酸化物粒子の硬度または研
磨性を変えるに足る条件下で熱処理される。先に指摘したように、オートクレー
ブ中の条件のような加熱条件では、無機酸化物、例えばシリカは、鋭く凸になっ
ている表面、即ち細孔の縁（リム）の周りに見いだされる表面から優先的に溶解
し、そしてその無機酸化物粒子の細孔を形成する単位粒子の接合部における表面
のような鋭く凹になっている表面の所に再堆積すると考えられる。無機酸化物を
これらの接合部に再堆積させることが粒子構造を強化し、その結果より堅く、よ
り研磨性の高い粒子がもたらされると考えられる。

【００２９】遠心分離されたスラリーをオートクレーブ中で処理することは、本発明のスラ
リーを製造するために使用できる熱処理の１つの方法である。「オートクレーブ
」とは、スラリーの溶液相の周囲圧力における沸点よりも高い温度でスラリーを
加熱できるようにする圧力反応器を意味する。水性スラリーの場合、この温度は
約１００℃である。このスラリーのｐＨはそのスラリーがオートクレーブに入れ
られる前に調整されるが、それはスラリーのために選択された無機酸化物に依存
する。ｐＨは無機酸化物の溶解性を最適なものにし、それによってオートクレー
ブ中における滞留時間を短くするように調整される。しかし、ｐＨは、可溶化さ
れた無機酸化物の量が、スラリーが周囲温度まで冷却されるときに二次無機酸化
物粒子の求められていない凝集や沈殿をもたらすほどのものであってはならない
。例えば、シリカのスラリーは熱処理前に８〜１０のｐＨに調整することができ
るが、その最終ｐＨは最終スラリーによって平坦化される基板に依存する。

【００３０】使用されるオートクレーブ条件は、スラリーのために選択された無機酸化物の
タイプおよびその所望とされる硬度に依存する。使用されるオートクレーブ条件
が厳しくなればなるほど、例えばオートクレーブ中の温度が高くなればなるほど
、および／またはオートクレーブ中の滞留時間が長くなればなるほど粒子は堅く
なり、それによって粒子の研磨性は高くなる。水系スラリーでは、オートクレー
ブに用いられる温度は少なくとも１００℃であるべきである。ケイ素含有層を研
磨するためのシリカ系研磨材スラリーを製造するとき、そのスラリーは１２０〜
１８０℃で２０〜３０時間加熱することができる。シリカの態様は、一般に、２
００℃より高い温度では不安定になり、従ってその不安定性を低くするために界
面活性剤をその目的研磨材スラリーに加えることができない場合は、そのような
態様はさけるべきである。同様に、無機酸化物を１００℃未満の温度に加熱する
ことは、その無機酸化物の再堆積に影響を与えるのにより長い加熱時間を必要と
する。

【００３１】先に指摘したように、加熱の厳しさが増すと、それにつれて粒子の研磨性が高
まり、そしてそれら粒子について測定されるBET表面積が減少する。前記で述べ
たとおり、表面積の減少は、無機酸化物が溶解し、単位粒子間の接合部に再配置
されるときに引き起こされると考えられる。後記の実施例におけるデータは、細
孔容積と表面積はオートクレーブ処理後に低下されることを示し、従って再配置
は細孔容積、および細孔が失われることに関連する表面積を犠牲にして起こると
考えられる。１２０ｍ²／ｇ未満、好ましくは６０ｍ²／ｇ未満のBET表面積を有
する粒子が本発明により製造することができる。これら粒子の細孔容積は、典型
的には、窒素ポロシメトリーで０．９６７Ｐ／Ｐｏにおいて測定して０．２〜０
．６ｃｃ／ｇの範囲にある。

【００３２】従って、選択された無機酸化物スラリーに目的の研磨能を与える方法は、銅の
導電性表面を有する使用予定の基板、例えばシリカ基板の研磨速度（１つまたは
複数）で測定される研磨能または研磨性をまず確認することによって実施するこ
とができる。それら粒子のBET表面積も測定される。次いで、仕上げられるべき
基板について研磨能または研磨速度をいったん選択してしまえば、測定可能なBE
T表面積を有する多孔性無機酸化物のスラリーを調製し、次に確認され、目的の
研磨能に関連した粒子BET表面積を得るようにそのスラリーを加熱することによ
って適切なスラリーを再現することができる。指摘したように、本発明で言及さ
れる表面積は、慣用のN₂BET表面積法を用いて測定されるものである。これらス
ラリーの表面積（および細孔容積）を測定するために、ｐＨが乾燥中に起こり得
る表面積の減少を最小限に抑えるように調整される。スラリーは、また、これら
の測定を行うために乾燥されなければならず、そして常用の方法を用いて、例え
ばスラリーを約９０〜約１３０℃まで昇温し、そのスラリーを粉末になるまで乾
燥すべく十分に長い期間加熱して乾燥される。

【００３３】後記の実施例は、ケイ素誘電体の除去速度によって測定されるシリカスラリー
の研磨能が比較的広い硬度範囲に沿って変えることができることを示している。
後記の実施例は、１分につき少なくとも１５０ｍｍ、少なくとも２００ｍｍおよ
び少なくとも２５０ｍｍのシリカ除去速度を得ることができることを示している
。この方法は、製造者が種々の材料を研磨することで表面仕上げするときに、か
つそれら材料が各々異なる研磨材料および／または研磨速度を必要とするときに
利点がある。本出願人の発明によれば、これらの材料を研磨するのに用いられる
スラリーは、他の本質的な研磨材を加える必要なしに、１種の材料、例えばシリ
カから製造することができる。従って、スラリーをいったん適切なｐＨに調整し
てしまえば、本発明のスラリーは分散媒体と本発明の無機酸化物粒子より本質的
に成ることができる。

【００３４】（４）最終研磨材スラリー先に指摘したように、最終研磨材スラリーの粒径分布は実質的に全て１ミクロ
ン未満であるのがよい。後記のデータは、加熱後のスラリーの粒径分布は微粉砕
後のスラリーの分布と実質的に同じであることを示している。好ましい態様は、
０．５ミクロン未満で、かつ０．１〜約０．３ミクロンの範囲内の中央粒径を有
する。粒径分布は慣用の光散乱計装および方法を用いて測定される。実施例に報
告される粒径は、Horiba Instruments, Inc.からのLA900レーザー散乱粒径分析
器で測定された。

【００３５】分散液の固形分含有量は色々であって、それは供給粒子分散液の固形分含有量
に依存する。分散液の固形分含有量は一般的には１〜３０重量％の範囲内である
が、本発明には他の全ての範囲が包含される。シリカ絶縁性誘電体層を研磨する
スラリーとしてシリカゲルを用いるときは、１０〜２０重量％の範囲内の固形分
含有量が特に適している。分散液の固形分含有量および分散液の粘度は、一般に
、研磨されるべきウェーハとウェーハを研磨するために用いられる研磨パッドと
の間で分散液が容易に流動するそのようなものであるべきである。

【００３６】スラリーのｐＨは、選択される無機酸化物およびスラリーにより平坦化される
べき基板に依存性である。本発明のシリカスラリーは、シリカ誘電体絶縁層と共
に使用されるとき、銅を研磨するのに特に適している。テトラエトキシシラン（
TEOS）から製造されたシリカ誘電体層が実例である。銅の研磨用スラリーは、通
常４〜６の範囲内のｐＨに調整されるが、それらスラリーは３〜６．５というも
っと一般的なｐＨ範囲にわたって使用可能である。ｐＨは、シリカから製造され
る基本的な研磨材粒子分散液のｐＨを下げるために、硝酸のような標準的なｐＨ
調節剤を用いて調整することができる。先に示したように、安定なシリカ分散液
は、典型的には約９〜１０のｐＨを有する。このｐＨは、最終スラリーが調製さ
れるときに目的のｐＨに調節することもできるし、或いは使用直前に調節するこ
ともできる。スラリーが使用される充分前の時点に適切なｐＨに調節されるスラ
リーでは、そのスラリーの安定性を維持するために安定剤を加えることができる
。

【００３７】本発明で使用される酸化剤は、無機または有機のペル化合物であるのが好まし
い。Hawley's Condensed Chemical Dictionaryが定義するペル化合物は、少なく
とも１個のペルオキシ基（-O-O-）を含む化合物、または元素をその最高酸化状
態で含む化合物である。少なくとも１個のペルオキシ基を含む化合物の例を挙げ
ると、限定されるものではないが、過酸化水素、尿素・過酸化水素、二過硫酸塩
（S₂O₈=）、過酢酸、過炭酸塩、ベンゾイルペルオキシドおよびジ−ｔ−ブチル
ペルオキシドのような有機過酸化物、それらの混合物、並びにそのままかまたは
それらそれぞれの酸、塩および付加物の形をしたもののいずれかがある。他の適
した酸化剤として、過ヨウ素酸、過ヨウ素酸塩、過臭素酸、過臭素酸塩、過塩素
酸、過塩素酸塩、過硼素酸、過硼素酸塩、過マンガン酸、過マンガン酸塩および
クロム酸塩が挙げられる。

【００３８】一過硫酸塩（SO₅=）も適した酸化剤であって、これには以下に示される、酸化
性SO₅=基を含む化合物がある。

【００３９】

【化１】

【００４０】上記の式におけるＸ₁およびＸ₂は、各々独立に、H、(Si(R')₃、NH₄、N(R")₄、
およびLi、NaおよびKのようなアルカリ金属であり、Ｒ'は好ましくは１〜１０個
の炭素原子を有するアルキル基であり、そしてＲ"はH、アルキル基、アリール基
、または、例えばN(R")₄がNMe₄、NBu₄、NMeBu₃、NHEt₃等々である場合を含めて
上記基の混合物である。一過硫酸塩の適した類にKHSO₅、KHSO₄およびK₂SO₄の組
み合わせがある。もう１つの適した一過硫酸塩系酸化剤は、過硫酸アンモニウム
である。他の酸化剤に、硝酸および硝酸誘導体；フェリシアン化カリウムのよう
な遷移金属の塩類；およびニトロベンゼンのような有機酸化剤がある。

【００４１】酸化剤は、化学・機械的研磨スラリー全体に約０．１〜約２０．０重量パーセ
ントの範囲の量で存在していることができる。酸化剤は、スラリー中に約０．２
〜約１０．０重量パーセントの範囲の量で存在することが好ましい。

【００４２】先に指摘したように、本発明の分散液は、導電性金属表面が誘電体絶縁層およ
び／またはバリヤー層と共に作成される集積回路の一部である半導体ウェーハ上
のこれら導電性金属表面を研磨するために設計されるのが好ましい。前に議論し
たとおり、これらの層は、異なる速度で研磨し、それによって図１に図解される
ディッシングの可能性を生む材料を含む。本発明のスラリーは研磨に特に適して
いるが、タングステンのような他の導電性金属上で使用することもできる。それ
らは、半導体が銅、並びにシリカ系誘電体層、例えばTEOSから作られた層、およ
びタンタル（Ta）または窒化タンタル（TaN）を含むもののようなバリヤー層か
ら構成される食刻法において特に適している。本発明のスラリーは、過装入され
た銅を除去するための単独のスラリーとして、または食刻法の議論に関して先に
説明した第一若しくは第二スラリーとして使用することができる。

【００４３】一般に、本発明のスラリーは、銅、TEOS、および存在する全てのTaまたはTaN
で、一般的には、相対的に同等の除去速度を与え、この場合（本発明を用いて研
磨するとき）各々の研磨速度は他方の少なくとも７０％であり、即ちTEOSおよび
TaNを除去する除去速度は、銅の除去速度から３０％より大きくは違わない。実
際、後記の実施例は、一方の速度が他方の速度の少なくとも８０％、即ちその速
度が２０％より大きくは違わない、銅、TEOSおよびTaNについての選択性速度を
示している。

【００４４】本発明の分散液には、これを酸化性成分の硬化、凝集および分解に対して安定
化するために、界面活性剤、高分子系安定剤または他の表面活性分散剤のような
様々な添加剤を加えることができる。適した界面活性剤の例は、Kirk-OthmerのE
ncyclopedia of Chemical Technology、第３版、第２２巻（John Wiley & Sons
、１９８３年）；SisletおよびWood著・Encyclopedia of Surface Active Agent
s（Chemical Publishing Co., Inc.、１９６４年）、並びに、例えばMcCucheon'
s Emulsifiers & Detergents, North American and International Edition（Mc
Cucheon Division、The MC Publishing Co.、１９９１年）；Ash著・The Conden
sed Encyclopedia of Surfactants（Chemical Publishing Co., Inc.、１９８９
年）；Ash著・What Every Chemical Technologists Wants to Know About … Em
ulsifiers and Wetting Agents、第１巻（Chemical Publishing Co., Inc.、１
９８８年）；Tadros著・Surfactants（Academic Press、１９８４年）；Napper
著・Polymeric Stabilization of Colloidal Dispersion（Academic Press、１
９８３年）；およびRosen著・Surfactants & Interfacial Phenomena、第２版（
John Wiley & Sons、１９８９年）を含めて入手可能な製造文献に開示される。
これら文献は全てここで参照することにより本明細書に含められる。ポリジメチ
ルシロキサンおよびポリオキシアルキレンエーテルの共重合体より成る界面活性
剤が適している。このような安定剤は０．００１〜約０．２重量％の範囲の量で
使用される。

【００４５】本発明のスラリーは、常用の研磨装置およびパッドと共に使用できる。以下の
実施例は、SUBA 500パッドまたはSUBA ICI 400パッドを使用するストラスバウ６
ＣＡポリシャー装置を用いて本発明の性能を例証するものである。これらの実施
例は、しかし、本発明のある種特定の態様を単に例示説明するものであって、い
かなる意味でも付記される特許請求の範囲に記載される本発明の範囲を限定しよ
うとするものではない。

【００４６】具体的実施例実施例１〜３は、本発明の分散液の研磨性を絶縁層の除去速度に関して調整す
る際の自在性示す。

【００４７】実施例１ベースシリカゲルスラリーの製造中密度（intermediate density：ＩＤ）含水ゲルの水性懸濁液約３０ガロンを
製造した。用語「ＩＤゲル」は、初めにヒドロゲルを形成した後５〜１０のｐＨ
範囲で洗浄され、その結果より酸性の条件下で洗浄されるヒドロゲルから製造さ
れたゲルよりも僅かに小さい密度を有するヒドロゲルを意味するために用いられ
る。これらの酸性条件洗浄ゲルはレギュラー密度（regular density：ＲＤ）ゲ
ルと称される。

【００４８】スラリーは、ＩＤヒドロゲルを分散し、それをACMミル中で微粉砕し、そして
そのヒドロゲルを部分的に乾燥して総揮発分含有量５５重量％の含水シリカゲル
を調製することによって製造された。

【００４９】次に、上記含水ゲルスラリーを、NETZSCH媒体ミル（１２リットル、１．２ｍ
ｍのケイ酸ジルコニウム媒体）中で、１分当たり１ガロンの速度でさらに微粉砕
した。

【００５０】この微粉砕スラリーを、次に、Dorr-Oliverディスク−ノズル型遠心分離器（
ディスク直径９．３インチ）を約９０００rpm（約１０，０００Ｇに相当する）
で用いて遠心分離した。この結果得られたスラリーをベースシリカスラリーＡと
称した。ベースシリカスラリーＡは、粒子の９０％が０．４ミクロン以下である
と測定された。

【００５１】含水シリカゲルスラリーが５０重量％の総揮発分含有量を有していたことを除
いて、同様のゲルの第二試料を調製した。この含水ゲルスラリーを、次に、０．
２〜０．２５ガロン／分で供給しながら同じNETZSCHミルを用いて媒体微粉砕し
た。次いで、この微粉砕スラリーをさらに厳しい条件下で遠心分離して、ベース
シリカスラリーＢと称されるさらに小さい粒径のコロイドを生成させた。具体的
に言うと、このスラリーは約１，５００Ｇにおいて９０分の第二時間遠心分離さ
れた。シリカスラリーＢの粒径分布は、９０％の粒子が０．２ミクロン以下であ
ると測定された。

【００５２】

【表１】

【００５３】実施例２サブミクロンシリカゲル懸濁液のオートクレーブ処理ベースシリカスラリーＡの３つの３ガロン試料、およびベースシリカスラリー
Ｂの１つの３ガロン試料を約１２．７％固形分まで希釈し、ｐＨを９．５に調整
し（KOH）、次いでステンレス鋼製ボンベの中に封入し、次に以下の表に与えら
れる時間／温度条件において熟成した。オートクレーブ処理製品の粒径、ｐＨお
よびＮ₂ポロシメトリー評価も与えられる。スラリーを乾燥前およびN₂ポロシメ
トリーの測定を行う前にｐＨ６に調整した。この調整で、表面積を測定するのに
必要な乾燥プロセス中の表面積の減少が最小限に抑えられ、それによって測定が
より正確になされる。試料は、これらの測定のために、常用の方法を用いて、例
えばスラリーを乾燥に至るまで１０５℃に昇温、加熱して乾燥された。オートク
レーブ処理は、ベースシリカ懸濁液の各々について有意の表面積損失をもたらす
が、粒径には実質的に変化をもたらさない。

【００５４】

【表２】

【００５５】実施例３ SiO₂研磨速度についてのオートクレーブ処理スラリーの評価研磨速度の評価の前に、ベースシリカスラリーＡの試料をＤＩ水で１２．７％
固形分まで希釈した。これは図１中でベースシリカＡについて報告されているデ
ータである。次に、この試料、並びにオートクレーブ処理スラリーＡ−１〜Ａ−
３およびＢ−１を、各々、KOHで１０．７〜１０．９のｐＨ範囲に調整した。こ
れらの試料および煙霧シリカの市販スラリー（Rodel社からのILD 1300スラリー
）の試料を、４インチのSiO₂被覆Siウェーハを用いてSiO₂除去速度について評価
した。研磨速度試験は、SUBA 500パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャー
を使用し、２分の研磨時間を用いて行われた。研磨パッドの中心とウェーハの中
心との間の距離は５インチに設定された。異なる研磨条件（研磨パッドの圧力（
Ｐ）および角速度（Ｖ））が用いられた。これらの条件および結果は図２に報告
され、その図２はベースシリカスラリーの、研磨の厳しさ（研磨パッドの角速度
の圧力倍）の関数としてのSiO₂研磨（除去）速度を示す。圧力はポンド／平方イ
ンチ（psi）として与えられ、また角速度は回転数／分（rpm）として与えられて
いる。

【００５６】データは、オートクレーブの厳しさが増すと共に研磨速度が有意に高まること
を示している。それら速度は、非オートクレーブ処理シリカゲル製品の場合の商
業的研磨スラリー速度の約５０％から、その商業的研磨スラリー速度についての
速度の約２倍に及ぶ。

【００５７】さらに、観察研磨速度と、オートクレーブ処理シリカゲルスラリーの逆数とし
ての表面積との間の強い相関関係が図３に示される。このデータは、無機酸化物
粒子の研磨性は、オートクレーブを用い、かつその条件をある特定の表面積およ
びその特定の表面積に関連した研磨性を得るように変えてその無機酸化物粒子の
表面積を変更することによって調整できることを示している。

【００５８】実施例４銅研磨用研磨材スラリーの製造約５０ガロンのシリカキセロゲル粉末（Grace Syloid 63）を水性スラリー（
〜２０％固形分）として懸濁させ、そしてKOHでｐＨ９．０に調整した。次に、
このスラリーを媒体微粉砕し、そして遠心分離すると、０．２１μの中央粒径を
有する約１２％固形分のスラリーがもたらされた。このスラリー２４ガロンを次
に１５０℃で２７時間オートクレーブ処理した。この結果得られたオートクレー
ブ処理スラリー、および上記製造からの、オートクレーブ処理がなされなかった
第二スラリー（即ち、以下においては「非オートクレーブ処理スラリー」と称さ
れる）を硝酸でｐＨ４に調整した。これらスラリーに濃過酸化水素をSiO₂１０％
およびH₂O₂５％という最終スラリー濃度をもたらす量で加えた。これらスラリー
の分析は以下の表に与えられる。

【００５９】

【表３】

【００６０】実施例５銅、バリヤー（TaN）および絶縁（TEOS）の除去速度オートクレーブ処理および非オートクレーブ処理の両スラリーを、銅、バリヤ
ーおよびSiO₂誘電体（TEOS）の除去速度について評価した。これらの評価は、溝
つきICI 400パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャーを６psiおよび４０rp
mの条件で使用してなされた。比較のために、商業的に入手できるコロイドシリ
カ系のKlebosol 30H25スラリーも評価した。この試料の化学的分析値および粒径
分析値は入手できない。研磨速度データは次の表に与えられる。銅の除去速度に
対して標準化された値が、括弧の中に与えられている。

【００６１】

【表４】

【００６２】オートクレーブ処理スラリーに関し、バリヤーおよびTEOSの両研磨速度は銅の
研磨速度の１５％以内である。非オートクレーブ処理シリカスラリーおよびKleb
osolスラリーは、銅の研磨速度の４０％未満の誘電体研磨速度を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によって有せしめられる銅（Cu）、シリカ（SiO₂）およびバリヤー（例
えば、TaN）についての研磨性の同等の選択性、例えば等しい選択性を図解する
のみならず、常用の研磨材スラリーによって生じせしめられる「ディッシング」
効果を図解する。

【図２】加熱条件の厳しさを本発明に従って増すことがスラリー化粒子の表面積を減少
させ、そしてまたそれら粒子の研磨性を向上させることを例証しているグラフで
ある。Ａ１〜Ａ３の結果は、本発明に従って製造されたスラリーの結果である。
それらスラリーからの研磨速度は、BET表面積１０５ｍ²／ｇの煙霧シリカ（Rode
l ILD 1300）を含む従来技術の化学・機械的研磨スラリーからの研磨速度に比較
されている。報告されている研磨速度は、シリカ誘電体材料が、研磨装置によっ
て与えられる色々な圧力（psi）および角速度による速度（rpm）における１分あ
たりのナノメートル数での速度で除去されるその速度によって説明されている。
参照される圧力（Ｐ）は、研磨パッドとウェーハとの間の圧力である。参照され
る速度（Ｖ）は、研磨パッドが研磨中に回転せしめられる角速度である。

【図３】材料除去速度に反映されるスラリーの研磨性は、一定Ｐ・Ｖにおいてスラリー
の粒子表面積（ＳＡ）に関係していることを示すグラフである。表面積は、測定
された実際のBET表面積の逆数としてプロットされている。

【手続補正書】

【提出日】平成１５年４月１０日（２００３．４．１０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）分散媒体、（Ｂ）無機酸化物粒子（ここで、これら粒子のスラリーは、水およびそれら無機
酸化物粒子より成る固形分含有量１２．６重量％およびｐＨ約１０．８を有する
スラリーが、SUBA 500パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャーを２分間の
研磨時間で用いると、２００psi・rpmにおいてシリカを少なくとも１２０ｎｍ／
分の速度で除去するような研磨性を有する）、および（Ｃ）酸化剤を含むスラリー。
【請求項２】無機酸化物粒子が４０〜１２０ｍ²／ｇの範囲内のBET表面積
を有し、そしてシリカの除去速度が１５０〜２５０ｎｍ／分の範囲内である、請
求項１に記載のスラリー。
【請求項３】分散媒体が水であり、そして無機酸化物粒子がシリカから成
る、請求項２に記載のスラリー。
【請求項４】シリカがシリカゲルから成る、請求項３に記載のスラリー。
【請求項５】シリカが６０ｍ²／ｇ以下のBET表面積を有する、請求項１に
記載のスラリー。
【請求項６】シリカが０．２〜０．６ｃｃ／ｇの細孔容積を有する、請求
項２に記載のスラリー。
【請求項７】無機酸化物粒子の中央粒径が０．１〜約０．５の範囲内であ
り、そして粒径分布が実質的に全て１ミクロン未満である、請求項１に記載のス
ラリー。
【請求項８】無機酸化物粒子がシリカゲル、煙霧シリカ、沈降シリカおよ
びアルミナより成る群から選ばれる、請求項１に記載のスラリー。
【請求項９】スラリーがシリカゲルを少なくとも１００℃まで昇温、加熱
することによって製造される、請求項８に記載のスラリー。
【請求項１０】スラリーがオートクレーブ中で製造される、請求項９に記
載のスラリー。
【請求項１１】酸化剤が過酸化水素から成る請求項１に記載のスラリー。
【請求項１２】（１）導電性金属表面および（２）その導電性表面以外の
少なくとも１つの表面を含む半導体ウェーハの研磨方法であって、その研磨法が
（ａ）上記ウェーハを研磨パッドと接触させ、（ｂ）酸化剤および無機酸化物粒子を含むスラリーを上記のウェーハと研磨パッ
ドとの間の界面に与え、ここで上記無機酸化物粒子は、この無機酸化物粒子およ
び水より成る固形分含有量１２．６重量％およびｐＨ約１０．８のスラリーが、
SUBA 500パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャーを２分間の研磨時間で用
いると、２００psi・rpmにおいてシリカを少なくとも１２０ｎｍ／分の速度で除
去するようなものであり、そして（ｃ）上記の他の層（２）を、上記ウェーハから上記導電性金属表面（１）が除
去される速度の少なくとも３０％以内の速度で除去する工程を含む上記の方法。
【請求項１３】絶縁層が誘電性であって、ケイ素を含む、請求項１２に記
載の方法。
【請求項１４】無機酸化物粒子がシリカゲル、煙霧シリカ、沈降シリカお
よびアルミナより成る群から選ばれる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】スラリーがシリカゲルを少なくとも１００℃まで昇温、加
熱することによって製造される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】スラリーがオートクレーブを用いて製造される、請求項１
５に記載の方法。
【請求項１７】（ｃ）が少なくとも＞１００〜１５０ｎｍ／分の除去速度
を有する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】無機酸化物粒子が４０〜１２０ｍ²／ｇの範囲内のBET表面
積を有する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】無機酸化物粒子が６０ｍ²／ｇ以下のBET表面積を有する、
請求項１５に記載の方法。
【請求項２０】無機酸化物粒子が０．２〜０．６ｃｃ／ｇの範囲内の細孔
容積を有する、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】酸化剤が過酸化水素である、請求項１２に記載の方法。
【請求項２２】（Ａ）分散媒体、（Ｂ）４０〜１２０ｍ²／ｇの範囲内のBET表面積、０．２〜０．６ｃｃ／ｇの範
囲内の細孔容積、および０．１〜０．５ミクロンの範囲内の中央粒径を有する無
機酸化物粒子、および（Ｃ）酸化剤を含むスラリー。
【請求項２３】スラリーが１〜３０％の固形分を含む、請求項２２に記載
のスラリー。
【請求項２４】スラリーが、ｐＨ４および固形分含有量１０％において、
溝付きICI 400パッドを備えるストラスバウ６ＣＡポリシャーを６psiおよび５０
rpmにおいて用いると、同一条件でテトラエトキシシランを除去する速度とは多
くても３０％異なる速度で銅を除去する、請求項２３に記載のスラリー。