JP2003313654A5 - 成膜装置および成膜方法 - Google Patents
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極とを有し、
蒸着中は前記可動式の電極は前記基板への蒸着を妨げない位置に配置され、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生する際は、前記可動式の電極は前記蒸着マスクと対向する位置に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極と、防着シールドと、前記防着シールドを加熱する手段とを有し、
蒸着中は、前記可動式の電極は前記基板への蒸着を妨げない位置に配置されるとともに、前記防着シールドは前記加熱する手段により前記蒸着材料の昇華温度以上に加熱され、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生する際は、前記可動式の電極は前記蒸着マスクと対向する位置に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記蒸着マスクは導電性材料でなっていることを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記基板と接するように前記蒸着マスクは設けられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、前記蒸着材料は有機化合物であることを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、前記可動式の電極はメッシュ状またはシャワーヘッド状であることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記蒸着マスクまたは前記可動式の電極に高周波電源が接続されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極とを有する成膜装置を用い、
前記可動式の電極を前記基板への蒸着を妨げない位置に配置した状態で、前記蒸着源から蒸着材料を気化して、前記基板に前記蒸着材料を蒸着し、
前記蒸着終了後、前記基板を前記成膜室から取り出し、
前記可動式の電極を前記蒸着マスクと対向する位置に移動し、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生することを特徴とする成膜方法。
【請求項９】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極と、防着シールドと、前記防着シールドを加熱する手段とを有する成膜装置を用い、
前記可動式の電極を前記基板への蒸着を妨げない位置に配置し、前記防着シールドを前記加熱する手段により前記蒸着材料の昇華温度以上に加熱して、前記蒸着源から蒸着材料を気化して、前記基板に前記蒸着材料を蒸着し、
前記蒸着終了後、前記基板を前記成膜室から取り出し、
前記可動式の電極を前記蒸着マスクと対向する位置に移動し、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生することを特徴とする成膜方法。
【請求項１】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極とを有し、
蒸着中は前記可動式の電極は前記基板への蒸着を妨げない位置に配置され、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生する際は、前記可動式の電極は前記蒸着マスクと対向する位置に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極と、防着シールドと、前記防着シールドを加熱する手段とを有し、
蒸着中は、前記可動式の電極は前記基板への蒸着を妨げない位置に配置されるとともに、前記防着シールドは前記加熱する手段により前記蒸着材料の昇華温度以上に加熱され、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生する際は、前記可動式の電極は前記蒸着マスクと対向する位置に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記蒸着マスクは導電性材料でなっていることを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記基板と接するように前記蒸着マスクは設けられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、前記蒸着材料は有機化合物であることを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、前記可動式の電極はメッシュ状またはシャワーヘッド状であることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記蒸着マスクまたは前記可動式の電極に高周波電源が接続されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極とを有する成膜装置を用い、
前記可動式の電極を前記基板への蒸着を妨げない位置に配置した状態で、前記蒸着源から蒸着材料を気化して、前記基板に前記蒸着材料を蒸着し、
前記蒸着終了後、前記基板を前記成膜室から取り出し、
前記可動式の電極を前記蒸着マスクと対向する位置に移動し、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生することを特徴とする成膜方法。
【請求項９】
真空排気手段と連結された成膜室と、
前記成膜室に設けられた蒸着源と、前記蒸着源に対向するように基板を固定するホルダと、前記蒸着源と前記基板との間に設けられる蒸着マスクと、可動式の電極と、防着シールドと、前記防着シールドを加熱する手段とを有する成膜装置を用い、
前記可動式の電極を前記基板への蒸着を妨げない位置に配置し、前記防着シールドを前記加熱する手段により前記蒸着材料の昇華温度以上に加熱して、前記蒸着源から蒸着材料を気化して、前記基板に前記蒸着材料を蒸着し、
前記蒸着終了後、前記基板を前記成膜室から取り出し、
前記可動式の電極を前記蒸着マスクと対向する位置に移動し、
前記可動式の電極と前記蒸着マスクとの間でプラズマを発生することを特徴とする成膜方法。
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