JP2003166656A

JP2003166656A - ディスクバルブ

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Publication number: JP2003166656A
Application number: JP2001364771A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Ikeda; 泰志池田
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2001-11-29
Filing date: 2001-11-29
Publication date: 2003-06-13
Anticipated expiration: 2021-11-29
Also published as: JP4091761B2

Abstract

(57)【要約】【課題】互いに摺動する弁体の摺動面が平坦度１μｍ以
下で、かつ算術平均粗さ（Ｒａ）で０．２μｍの平滑面
を備えたディスクバルブにおいて、スティックスリップ
現象や異音の発生がなく、長期間にわたって滑らかな摺
動特性が得られるディスクバルブを提供する。【解決手段】互いに摺動する２枚の弁体２０、３０のう
ち、一方の弁体２０の摺接面２１にダイヤモンド状硬質
炭素膜２４を被着するとともに、他方の弁体３０を、ビ
ッカース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａの範囲にあ
るセラミック焼結体により形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シングルレバー混
合栓、サーモスタット混合栓をはじめとする水栓や湯水
混合栓、医療用サンプリングバルブ、薬液用バルブ等を
構成する可動弁体と固定弁体とからなるディスクバルブ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
水栓や湯水混合栓、あるいは医療用サンプリングバルブ
や薬液用バルブを構成するディスクバルブは、２枚の円
盤状をした弁体を互いに摺接させた状態で相対摺動させ
ることによって、各弁体に形成した流体通路の開閉を行
うようになっている。そして、この種のディスクバルブ
は互いが絶えず摺り合わされた状態で使用されることか
ら、ディスクバルブを構成する可動弁体や固定弁体は耐
摩耗性及び耐食性に優れるアルミナ質焼結体により形成
したものが用いられていた。

【０００３】また、上記ディスクバルブは、弁体同士の
操作力を低減するために弁体間にグリース等の潤滑剤を
介在させて使用されていた。

【０００４】ところが、潤滑剤を使用したディスクバル
ブでは、弁体同士の摺動により比較的短い期間で潤滑剤
が流出して無潤滑状態となるため、摺接面間で引っかか
りや異音を生じるとともに、徐々にレバーの操作力が上
昇して、ついには互いの弁体同士が貼り付いて動かなく
なるリンキング（凝着）を生じるといった課題があっ
た。しかも、潤滑剤の種類によっては長期使用中に劣化
し、ゴミ等の付着が発生して摺動特性を悪化させる恐れ
があるとともに、吐水時に潤滑剤が流出すると人体に害
を与える恐れもあった。

【０００５】そこで、近年、無潤滑状態でも摺動させる
ことが可能なディスクバルブとして、互いに摺動する弁
体のうち、少なくともいずれか一方の弁体の摺動面に自
己潤滑性を有するとともに、耐摩耗性に優れたダイヤモ
ンド状硬質炭素膜を被着したディスクバルブが提案され
ている（特開平３−２２３１９０号公報）。

【０００６】しかしながら、ダイヤモンド状硬質炭素膜
は、弁体を形成するセラミック焼結体との密着性がそれ
ほど良くないために、弁体の表面を若干粗くすることに
よりアンカー効果でもって弁体との密着力を向上させる
ようになっていた。

【０００７】ところが、水栓や湯水混合栓等のように浄
水器を組み付けたものにあっては、水栓や湯水混合栓内
部の水圧が上昇して摺接面間に若干の隙間ができ、水漏
れを生じる恐れがあるために、弁体の摺接面をより平滑
に仕上げるとともに、弁体同士の押圧力を高める必要が
あるが、ダイヤモンド状硬質炭素膜の表面を平滑に仕上
げるためには弁体の表面も平滑に仕上げなければなら
ず、その結果、ダイヤモンド状硬質炭素膜の密着力が得
られず、剥離するといった問題があった。

【０００８】そこで、平滑に仕上げた弁体表面にダイヤ
モンド状硬質炭素膜を形成するために、特開平５−７９
０６９号公報、特開平６−２２７８８２号公報、特開平
９−２９２０３９号公報、特開平１０−８９５０６号公
報では、弁体とダイヤモンド状硬質炭素膜との間に中間
層を介在させて接合することにより密着性を高めるよう
にしたディスクバルブが提案されている。

【０００９】しかしながら、互いに摺動する弁体の摺動
面における表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．２μ
ｍ未満の平滑面としてダイヤモンド状硬質炭素膜とアル
ミナ質焼結体を摺動させると、スティックスリップ現象
と呼ばれる動作時の微妙な引っかかりや、操作時にキュ
ッ、キュッといった異音が発生するといった課題があっ
た。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、上記課題を鑑
み、本発明のディスクバルブは、互いに摺動する２枚の
弁体のうち、一方の弁体の摺接面にダイヤモンド状硬質
炭素膜を被着するとともに、他方の弁体を、ビッカース
硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａであるセラミック焼
結体により形成したことを特徴とする。

【００１１】上記セラミック焼結体としては、その主成
分が、ＭｇＯ、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃のうち、二つ以上の
成分からなる複合酸化物からなるものを用いることが良
く、好ましくは、上記複合酸化物が、ステアタイト（Ｍ
ｇＯ・ＳｉＯ₂）、コージライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ₂Ｏ
₃・５ＳｉＯ₂）、ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ₂）
のいずれか一種からなるものを用いることが好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。

【００１３】図１は本発明のディスクバルブを備えたフ
ォーセットバルブを示す図で、（Ａ）はバルブが閉じた
状態を示す斜視図であり、（Ｂ）はバルブを開いた状態
を示す斜視図である。また、図２は本発明のディスクバ
ルブのみを示す斜視図である。

【００１４】可動弁体２０は上下面を貫通する流体通路
２２を備えた円盤状をしたもので、アルミナ質焼結体に
より形成するとともに、その表面には中間層２３を介し
てダイヤモンド状硬質炭素膜２４を被着して摺接面２１
を形成してある。

【００１５】また、固定弁体３０は上下面を貫通する流
体通路３２を備え、可動弁体２０より大きな円盤状をし
たもので、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰ
ａのセラミック焼結体により形成してあり、一方の主面
を摺接面３１としてある。なお、ビッカース硬度（Ｈｖ
1.0）はＪＩＳＲ１６１０に準拠し、荷重１０００ｇ
にて測定した値である。

【００１６】また、各弁体２０，３０の摺接面２１、３
１は、水漏れ防止するためにその平面度を１μｍ以下と
するとともに、表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．
２μｍ以下としてある。

【００１７】そして、これらの可動弁体２０と固定弁体
３０とを無潤滑状態で互いの摺接面２１、３１同士を摺
接させ、レバー４０を動かすことによって、可動弁体２
０を矢印の方向に摺動させることにより、互いの弁体２
０、３０に備える流体通路２２、３２の開閉を行い、供
給流体の流量調整を行うようになっている。

【００１８】この時、可動弁体２０の摺接面２１には自
己潤滑性に優れるとともに、高硬度を有するダイヤモン
ド状硬質炭素膜２４を被着してあることから、無潤滑状
態にも関わらず固定弁体３０を大きく摩耗させることな
くレバー操作力を低減して滑らかに摺動させることがで
きる。

【００１９】また、双方の摺接面２１、３１は、算術平
均粗さ（Ｒａ）で０．２μｍ以下の平滑面としてあるも
のの、ダイヤモンド状硬質炭素膜２４と摺動する固定弁
体３０をビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａ
と比較的小さな硬度を有するセラミック焼結体により形
成してあることから、ダイヤモンド状硬質炭素膜２４と
の摺動によって固定弁体３０の摺接面３１を徐々に摩耗
させることができるため、摺動界面の剪断が容易で、か
つ摩擦係数を低減させることができるため、スティック
スリップ現象や異音の発生を効果的に防止し、長期間に
わたって滑らかに摺動させることができる。

【００２０】即ち、双方の弁体２０、３０の摺接面２
１、３１を算術平均粗さ（Ｒａ）で０．２μｍ以下、好
ましくは０．１μｍ以下とし、かつその平面度を１μｍ
以下としたのは、双方の弁体２０，３０の摺接面２１，
３１における表面状態が上述した範囲を超えて粗くなる
と、特に浄水器を組み付けたものにあっては、弁体２
０、３０間に大きな水圧が加わり、水漏れを生じ恐れが
あるからである。

【００２１】また、固定弁体３０に、ビッカース硬度
（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａのセラミック焼結体を用
いたのは、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が１２ＧＰａを
超えると、ダイヤモンド状硬質炭素膜２４と硬質材同士
の摺動となることから、スティックスリップ現象や異音
の発生を抑える効果が小さく、逆に、ビッカース硬度
（Ｈｖ1.0）が５ＧＰａ未満となると、セラミック焼結
体の摩耗が早く、実用に供する程度の寿命が得られなく
なるからである。なお、好ましくはビッカース硬度（Ｈ
ｖ1.0）が５〜１０ＧＰａの範囲にあるセラミック焼結
体を用いることが良い。

【００２２】ところで、このようなビッカース硬度（Ｈ
ｖ1.0）が５〜１２ＧＰａの範囲にあるセラミック焼結
体としては、その主成分が、ＭｇＯ、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ
₃のうち二つ以上の成分からなる複合酸化物よりなるも
のを用いることが良く、その中でもステアタイト（Ｍｇ
Ｏ・ＳｉＯ₂）、コージライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ₂Ｏ ₃
・５ＳｉＯ₂）、ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ₂）、
フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）を挙げること
ができる。

【００２３】このように、主成分が、ＭｇＯ、Ｓｉ
Ｏ₂、Ａｌ₂Ｏ₃のうち二つ以上の成分からなる複合酸化
物よりなるものは、アルミナを主成分とするものと比較
して摺接面に存在する硬質のＡｌ₂Ｏ₃粒子の量が少ない
ため、硬質のダイヤモンド状硬質炭素膜２４との摺動に
よって摩耗したとしても均一に摩耗させることができる
とともに、相手材との引っかかりを少なくすることがで
きるため、異音の発生やスティックスリップ現象を効果
的に防止することができる。

【００２４】特に、複合酸化物としてステアタイト（Ｍ
ｇＯ・ＳｉＯ₂）を用いたものにおいては、その構成成
分が、ＭｇＯとＳｉＯ₂からなり、比較的硬い結晶であ
るＡｌ₂Ｏ₃粒子が介在しないので、より均一に摩耗させ
ることができるため、異音の発生やスティックスリップ
現象を効果的に防止することができるとともに、お湯等
に曝されても特性劣化等を生じることがなく、ダイヤモ
ンド状硬質炭素膜２４と摺動する相手材として好適であ
る。

【００２５】なお、固定弁体３０を形成するビッカース
硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａのセラミック焼結体
として、ステアタイト（ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）を用いる場
合、滑石や凍石（タルク）を主原料とし、これにカオリ
ン、ロウ石などを５〜１５％程度加えた粉末を用いる
か、ＭｇＳｉＯ₃やＭｇ₂ＳｉＯ₄、ＭｇＯ・ＳｉＯ₂で表
される複合酸化物からなるステアタイト粉末を用いて所
定形状に成形した後、１２００〜１４５０℃の温度範囲
の大気雰囲気中にて焼成したものを用いれば良い。

【００２６】また、コージライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ₂
Ｏ₃・５ＳｉＯ₂）を用いる場合、２ＭｇＯ・２Ａｌ₂Ｏ₃
・５ＳｉＯ₂で表される複合酸化物からなるコージライ
ト粉末や、粘土、長石などを添加して、所定形状に成形
した後、１２００〜１４５０℃の温度範囲の大気雰囲気
中で焼成したもの、あるいは、平均粒径が１０μｍ以下
のコージライト粉末を１０〜５０重量％、希土類元素酸
化物粉末を０．５〜１０重量％、残部をα型含有率が８
０％以上の窒化珪素粉末となるように秤量混合したもの
を所定形状に成形した後、真空もしくはＡｒ、Ｎ₂など
の不活性ガス雰囲気で１３００〜１７００℃、好ましく
は１４００〜１６００℃の温度範囲で焼成したものを用
いればよい。

【００２７】さらに、ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ
₂）を用いる場合、純粋なカオリン素地またはケイ線石
族鉱物を主原料とするか、３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ₂で表
される複合酸化物からなるムライト粉末を用いて、所望
の形状に成形した後、１３００〜１６５０℃の温度範囲
の大気雰囲気中で焼成したものを用いれば良い。

【００２８】また、フォルステライト（２ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ₂）を用いる場合、凍石（タルク）とＭｇＯあるい
は、純粋なＭｇＯとＳｉＯ₂から合成するか、ＭｇＳｉ
Ｏ₃やＭｇ₂ＳｉＯ₄、２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂で表される複合
酸化物からなるフォルステライト粉末を用いて、所望の
形状に成形した後、１２００〜１４５０℃の温度範囲の
大気雰囲気中で焼成したものを用いれば良い。

【００２９】一方、可動弁体２０に形成するダイヤモン
ド状硬質炭素膜２４は、実質的に炭素からなり、若干の
結晶質を含んでいても良いが基本的に非晶質構造をした
もので、規則的な結晶構造を持つダイヤモンド、立方晶
窒化硼素（ｃＢＮ）、六方晶窒化硼素（ｈＢＮ）とは異
なる組成のものである。

【００３０】このダイヤモンド状硬質炭素膜２４をグラ
ファイトやダイヤモンドの同定によく用いられるラマン
分光分析装置を使って調べると、ダイヤモンドのピーク
位置である１３３３ｃｍ^-1と、グラファイトのピーク位
置である１５５０ｃｍ^-1の近傍にそれぞれピークを有す
るものである。なお、本発明のディスクバルブに用いる
ダイヤモンド状硬質炭素膜２４は、ピークがダイヤモン
ドあるいはグラファイトのいずれか一方に偏っていても
良く、好ましくはダイヤモンドのピーク位置に偏ってい
る方が良い。

【００３１】このようなダイヤモンド状硬質炭素膜２４
は、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が２０〜５０ＧＰａと
非常に硬い硬度を有しているため、固定弁体３０との摺
動においても殆ど摩耗することがない。

【００３２】さらに、ダイヤモンド状硬質炭素膜２４中
に、ジルコニウム、タングステン、チタンのうち少なく
とも一種以上の金属と珪素を含有させても構わない。こ
のようにジルコニウム、タングステン、チタンのうち少
なくとも一種以上の金属と珪素を含有させることによ
り、膜内部における残留応力を低減して結合力を高める
ことができる。その為、可動弁体２０との密着力をより
強固なものとすることができるとともに、ビッカース硬
度（Ｈｖ1.0）で５５ＧＰａ以上の高硬度を持った膜と
することができる。なお、ジルコニウム、タングステ
ン、チタンのうち少なくとも一種以上の金属と珪素を含
有させたダイヤモンド状硬質炭素膜２４は、これらの成
分を含まないダイヤモンド状硬質炭素膜２４とは異な
り、ラマン分光分析装置における測定では１４８０ｃｍ
^-1の近傍に一つにピークを有するものである。

【００３３】また、可動弁体２０とダイヤモンド状硬質
炭素膜２４との密着性を高めるために使用する中間層２
３としては、両者の密着性を高めることができるもので
はあれば特に限定するものではなく、例えば、可動弁体
２０側からＴｉ膜とＳｉ膜をこの順序で積層した中間層
２３を用いれば良い。

【００３４】なお、可動弁体２０にダイヤモンド状硬質
炭素膜２４と中間層２３を被着する手段としては、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法、ＰＶＤ法、Ｃ
ＶＤ法等の薄膜形成手段を用いることができ、例えば低
温で成膜が可能なプラズマＣＶＤ法により被着するに
は、まず、チャンバー室内に各被膜を被着するためのソ
ースガスとキャリアガスを供給し、可動弁体２０を配置
したカソード（陽極）電極とアノード（陰極）電極との
間に電圧を印加することでカソード（陽極）電極から引
き出された電子をソースガス及びキャリアガスと衝突さ
せてプラズマを発生させ、プラズマ中のソースガス成分
を可動弁体２０の表面に堆積させれば良い。そして、チ
ャンバー室に供給するソースガスとキャリアガスを置き
換えて可動弁体２０の表面側からＴｉ膜、Ｓｉ膜、ダイ
ヤモンド状硬質炭素膜２４といった順序で被着すること
により成膜することができる。

【００３５】また、ダイヤモンド状硬質炭素膜２４及び
中間層２３を被着する可動弁体２０はセラミック焼結体
により形成することが好ましい。即ち、可動弁体２０を
樹脂で形成したものではダイヤモンド状硬質炭素膜２４
を被着することができず、また、金属で形成したもので
はセラミック焼結体に比べ硬度が小さいことから、固定
弁体３０との押圧力により変形し、その表面に被着する
ダイヤモンド状硬質炭素膜２４を破損させてしまう恐れ
があるからである。

【００３６】これに対し、セラミック焼結体は高硬度を
有することから固定弁体３０との押圧力により変形する
ことがないため、その表面に被着するダイヤモンド状硬
質炭素膜２４を破損させることがなく、また、高い加工
精度が得られることから、可動弁体２０の表面を滑らか
な面に仕上げ、その表面に被着するダイヤモンド状硬質
炭素膜２４の表面を可動弁体２０の表面に倣った平滑か
つ平坦な面とすることができる。

【００３７】なお、可動弁体２０を形成するセラミック
焼結体としては、アルミナを主成分とするセラミック焼
結体により構成するのが好ましい。アルミナ質焼結体
は、ヤング率が２５０〜４００ＧＰａで、かつビッカー
ス硬度（Ｈｖ1.0）が１２ＧＰａより大きな値を有する
ため、固定弁体３０との押圧力を大きくしても摺接面２
１を変形させることがなく、また、耐薬品性にも優れる
ことから長期間に渡って使用可能なフォーセットバルブ
１１を提供することができる。

【００３８】可動弁体２０を構成するセラミック焼結体
として、アルミナ質焼結体を用いる場合、主原料のＡｌ
₂Ｏ₃に対し、ＳｉＯ₂、ＭｇＯ、ＣａＯのうち１種以上
の焼結助剤を添加して１５００〜１７００℃の温度で焼
成すれば良い。

【００３９】以上の本発明の実施形態では、固定弁体３
０を、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１０ＧＰａの
範囲にあるセラミック焼結体により形成し、可動弁体２
０にはダイヤモンド状硬質炭素膜２４を被着した２枚の
弁体２０、３０として説明したが、固定弁体３０と可動
弁体２０の材質を逆にして用いたものであっても同様の
効果を得ることができる。

【００４０】また、本発明の実施形態では、フォーセッ
トバルブ１１を例にとって説明したが、医療用サンプリ
ングバルブ、薬液用バルブに使用できることは勿論のこ
と、さらにはボールバルブやその他の各種弁部材、ある
いはメカニカルシール、軸受けなど様々な摺動部材にも
適用できることは言うまでもない。

【００４１】

【実施例】以下、本発明の実施例を示す。

【００４２】図１に示すフォーセットバルブ１１を試作
し、固定弁体３０の材質を変化させたときの摺動特性に
ついて調べる実験を行った。

【００４３】本発明のフォーセットバルブ１１を構成す
る可動弁体２０にはＡｌ₂Ｏ₃純度が９６％のアルミナ質
焼結体を用い、その表面にプラズマＣＶＤ法によってＴ
ｉ膜とＳｉ膜をこの順序で積層した中間層２３を介して
ダイヤモンド状硬質炭素膜２４を被着したものを使用し
た。なお、可動弁体２０は、外径２５ｍｍ、厚み５ｍｍ
の円板状体とした。

【００４４】また、固定弁体３０には、ステアタイト質
焼結体、コージライト質焼結体、ムライト質焼結体、フ
ォルステライト質焼結体、Ａｌ₂Ｏ₃純度が９６％のアル
ミナ質焼結体、及びアルミナ質焼結体上にダイヤモンド
状硬質炭素膜２４（ＤＬＣ）を被着したもの、ポリフェ
ニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテル
ケトン（ＰＥＥＫ）の８種類を用意し、それぞれ外径３
２ｍｍ、厚み５ｍｍの円盤状体とした。

【００４５】そして、双方の弁体２０，３０の摺接面２
１，３１に研磨加工を施して平坦度を１μｍ以下、表面
粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．２μｍ以下とした。

【００４６】このようにして形成した双方の弁体２０、
３０を、互いの摺接面２１、３１が接するようにケーシ
ングによって軸力３０ｋｇｆの力で押さえつけながらフ
ォーセット１１（給水栓）にセットし、８０℃の温水を
１ｋｇ／ｃｍ²の圧力で注入した状態のもとで、操作レ
バー４０を操作するのに必要なレバー押し付け力をプッ
シュプルゲージで測定し、その値を操作レバー４０の操
作力とした。

【００４７】ただし、本実験の評価基準は、２０万回の
摺動において最大操作力が７Ｎ以下のものを優れたもの
とした。また、スティックスリップ現象や、キュッ、キ
ュッという異音発生の有無、リーク発生の有無について
も発生した時点での摺動回数で記録し、評価した。

【００４８】双方の弁体２０、３０の組み合わせは表１
に、それぞれの評価結果は表２に示す通りである。

【００４９】

【表１】

【００５０】

【表２】

【００５１】この結果、固定弁体３０に、ビッカース硬
度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａの範囲にあるステアタ
イト、コージライト、ムライトを主成分とするセラミッ
ク焼結体を用いたものは、２０万回摺動させたとしても
スティックスリップ現象や異音及び水漏れの発生がな
く、長期間にわたって滑らかな摺動特性を得ることがで
きた。

【００５２】この中でも特に、固定弁体３０に、ビッカ
ース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜７ＧＰａの範囲にあるステ
アタイト又はコージライトを主成分とするセラミック焼
結体を用いたものは、操作力を小さくすることができる
ため、特に優れていた。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、互いに
摺動する２枚の弁体のうち、一方の弁体の摺接面にダイ
ヤモンド状硬質炭素膜を被着するとともに、他方の弁体
を、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が５〜１２ＧＰａのセ
ラミック焼結体より形成してディスクバルブを構成する
ようにしたことから、無潤滑状態での摺動にもかかわら
ず、操作力の上昇やスティックスリップ現象あるいは異
音の発生がなく、長期間にわたって滑らかな摺動特性を
長期間にわたって得ることができ、ビッカース硬度（Ｈ
ｖ1.0）が５〜１２ＧＰａのセラミック焼結体として、
その主成分が、ＭｇＯ、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃のうち、二
つ以上の成分からなる複合酸化物、特にステアタイト
（ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、コージライト（２ＭｇＯ・２Ａ
ｌ₂Ｏ₃・５ＳｉＯ₂）、ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２Ｓｉ
Ｏ₂）のいずれか一種からなるものを用いることにより
上記効果を奏することができるとともに、これらの中で
もステアタイト（ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）又はコージライト
（２ＭｇＯ・２Ａｌ₂Ｏ₃・５ＳｉＯ₂）を主成分とする
セラミック焼結体を用いることによりより小さな操作力
で摺動させることができ、好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のディスクバルブを備えたフォーセット
バルブを示す図で、（Ａ）はバルブが閉じた状態を示す
斜視図であり、（Ｂ）はバルブを開いた状態を示す斜視
図である。

【図２】本発明のディスクバルブのみを示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１１・・・フォーセットバルブ２０・・・可動弁体２１，３１・・・摺接面２２，３２・・・流体通路２３・・・中間層２４・・・ダイヤモンド状硬質炭素膜３０・・・固定弁体４０・・・操作レバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3H053 AA02 AA22 AA33 BA16 BA38 BB17 BB38 DA02 3H067 AA13 CC02 CC23 CC39 CC45 DD03 DD12 DD24 EA02 EA23 EA29 EB23 EB29 FF02 GG13 GG25 GG28 4G030 AA07 AA36 AA37 BA19 BA33 CA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに摺動する２枚の弁体のうち、一方の
弁体の摺接面にダイヤモンド状硬質炭素膜を被着すると
ともに、他方の弁体を、ビッカース硬度（Ｈｖ1.0）が
５〜１２ＧＰａの範囲にあるセラミック焼結体により形
成したことを特徴とするディスクバルブ。
【請求項２】上記セラミック焼結体の主成分が、Ｍｇ
Ｏ、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃のうち、二つ以上の成分からな
る複合酸化物であることを特徴とする請求項１に記載の
ディスクバルブ。
【請求項３】上記複合酸化物が、ステアタイト（ＭｇＯ
・ＳｉＯ₂）であることを特徴とする請求項２に記載の
ディスクバルブ。
【請求項４】上記複合酸化物が、コージライト（２Ｍｇ
Ｏ・２Ａｌ₂Ｏ₃・５ＳｉＯ₂）であることを特徴とする
請求項２に記載のディスクバルブ。
【請求項５】上記複合酸化物が、ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃
・２ＳｉＯ₂）であることを特徴とする請求項２に記載
のディスクバルブ。