JP2002318387A - Liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に係
わり、特にTFTアレイ基板と対向電極基板を電気的に
接続するトランスファ支柱に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a transfer column for electrically connecting a TFT array substrate and a counter electrode substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示装置は、一対の電極基板、例え
ばTFTアレイ基板と対向電極基板の間に液晶を配置
し、これらの基板の電極間に電圧を与えて液晶の動きを
制御し表示を行うものである。これら一対の基板の電極
に電圧を印加するために、従来は電源を片側の基板のみ
に接続させ、基板周辺部に配置されたトランスファ支柱
によりこれらの基板を電気的に接続し、他方の基板にも
電圧を印加していた。図4は、従来の一般的なトランス
ファ支柱を使用した液晶表示装置を模式的に示す断面図
である。図において、1は複数の薄膜トランジスタ及び
画素電極がマトリクス状に配置されたTFTアレイ基
板、2は共通電極及びカラーフィルタ等を有し、TFT
アレイ基板1と一定距離を隔てて対向配置された対向電
極基板、3は一対の基板間に配置された液晶、4は一対
の基板の間隙を規定するスペーサ、5は一対の基板を接
着すると共に液晶3の注入領域を決定するシール材で、
図示しないスペーサを含有している。さらに、6aは一
対の基板を電気的に接続するトランスファ支柱である。
従来の一般的なトランスファ支柱6aは、粘性のあるト
ランスファ材料、例えばペースト状のアクリル系または
エポキシ系有機樹脂と銀粉の混合物(以後これを銀ペー
ストと称す)を、TFTアレイ基板1または対向電極基
板2のいずれか一方の基板周辺部にディスペンサー等で
塗布し、熱を加えて硬化させ、さらに両基板を圧着する
ことにより形成されていた。また、図5は、従来の他の
トランスファ支柱を使用した液晶表示装置を模式的に示
す断面図である。図において、6bはトランスファ材料
をスパッタ法またはCVD法等により堆積し、写真製版
法によりパターン形成したトランスファ支柱である。な
お、図中、同一、相当部分には同一符号を付している。2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, a liquid crystal is arranged between a pair of electrode substrates, for example, a TFT array substrate and a counter electrode substrate, and a voltage is applied between the electrodes of these substrates to control the movement of the liquid crystal and display. Is what you do. Conventionally, in order to apply a voltage to the electrodes of the pair of substrates, a power supply is connected to only one of the substrates, these substrates are electrically connected by transfer posts arranged at the peripheral portion of the substrate, and the other substrate is connected to the other substrate. Was also applying voltage. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device using a conventional general transfer support. In the drawing, reference numeral 1 denotes a TFT array substrate on which a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are arranged in a matrix, 2 denotes a common electrode, a color filter, and the like.
A counter electrode substrate disposed opposite to the array substrate 1 at a fixed distance, 3 is a liquid crystal disposed between a pair of substrates, 4 is a spacer for defining a gap between the pair of substrates, and 5 is a device for bonding the pair of substrates. A sealing material for determining an injection region of the liquid crystal 3;
It contains a spacer not shown. Further, reference numeral 6a denotes a transfer column for electrically connecting the pair of substrates.
A conventional general transfer support 6a is formed by transferring a viscous transfer material, for example, a paste-like mixture of an acrylic or epoxy-based organic resin and silver powder (hereinafter referred to as a silver paste) to the TFT array substrate 1 or the counter electrode substrate. It was formed by applying a liquid to a peripheral portion of one of the substrates 2 using a dispenser or the like, applying heat to cure the substrate, and pressing both substrates together. FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device using another conventional transfer support. In the figure, reference numeral 6b denotes a transfer column formed by depositing a transfer material by a sputtering method or a CVD method and forming a pattern by a photoengraving method. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、銀ペー
ストよりなるトランスファ支柱6aでは、基板面内にお
ける熱圧着条件のばらつきにより、トランスファ支柱6
a材料の硬化速度に差が生じる。また、シール材5も同
様に熱圧着条件のばらつきにより硬化速度に差が生じ
る。このため、トランスファ支柱6a材料とシール材5
双方の硬化速度が異なり、それぞれにばらつきが生じた
場合、トランスファ支柱6a形成部とシール材5形成部
周辺にギャップ差が生じ、ギャップムラ等の表示不良が
発生するという問題があった。また、写真製版法により
パターン形成されたトランスファ支柱6bの場合には、
熱圧着条件の影響は受けないが、表示部内に配置された
スペーサ4やシール材5に含まれるスペーサと高さを厳
密に一致させて形成する必要があり、セルギャップ値の
制御が難しいため、実用化には至っていない。However, in the case of the transfer column 6a made of silver paste, the transfer column 6a is not provided due to variations in the thermocompression bonding conditions in the plane of the substrate.
The difference occurs in the curing speed of the material a. In addition, the sealing material 5 similarly has a difference in curing speed due to a variation in thermocompression bonding conditions. Therefore, the material of the transfer support 6a and the sealing material 5
If the two curing speeds are different from each other, and there is a variation in each, there is a problem that a gap difference occurs around the transfer pillar 6a forming portion and the seal material 5 forming portion, and display defects such as gap unevenness occur. In the case of the transfer support 6b patterned by the photoengraving method,
Although it is not affected by the thermocompression bonding conditions, it is necessary to form the spacer exactly in height with the spacer 4 disposed in the display unit or the spacer included in the sealing material 5, and it is difficult to control the cell gap value. It has not been put to practical use.
【0004】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、セルギャップを規定するスペー
サやシール材の影響を受け難く、これらとのギャップ差
による表示不良が発生しないトランスファ支柱を提案
し、液晶表示装置の表示品位及び生産性の向上を図るこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is less susceptible to the influence of a spacer or a sealing material for defining a cell gap, and does not cause display failure due to a gap difference therefrom. An object of the present invention is to propose a support and to improve display quality and productivity of a liquid crystal display device.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明に係わる液晶表示
装置は、複数の薄膜トランジスタ及び画素電極がマトリ
クス状に配置されたTFTアレイ基板と、共通電極及び
カラーフィルタを有し、TFTアレイ基板と一定距離を
隔てて対向配置された対向電極基板と、これら一対の基
板間に配置された液晶と、一対の基板間に配置され、一
対の基板の間隙を規定するスペーサと、一対の基板を接
着すると共に液晶の注入領域を決定するシール材と、一
対の基板のいずれか一方の周辺部に形成された凹部と、
この凹部に対向する他方の基板の周辺部との間に配置さ
れ一対の基板を電気的に接続するトランスファ支柱を備
えたものである。また、トランスファ支柱の高さをa、
凹部の高さをb、スペーサ直径をcとした時、a−c≧
bとなるように、トランスファ支柱及び凹部の高さを設
定したものである。また、トランスファ支柱は、金、
銀、白金または銅等の材料よりなるものである。さら
に、トランスファ支柱は、トランスファ支柱材料をスパ
ッタ法またはCVD法等により基板上に堆積し、写真製
版法によりパターン形成したものである。また、トラン
スファ支柱は、シール材よりも内側または外側のいずれ
か一方に設けられているものである。また、凹部は、凹
部が設けられる基板の厚さ、またはこの基板上の成膜層
のいずれかの膜厚を他の箇所よりも薄くすることにより
形成されているものである。A liquid crystal display device according to the present invention has a TFT array substrate on which a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are arranged in a matrix, a common electrode and a color filter, and is fixed to the TFT array substrate. A counter electrode substrate, which is disposed to be opposed at a distance, a liquid crystal, which is disposed between the pair of substrates, and a spacer, which is disposed between the pair of substrates and defines a gap between the pair of substrates, and adheres the pair of substrates. A sealing material that determines the liquid crystal injection region, and a concave portion formed in the peripheral portion of one of the pair of substrates,
A transfer column is provided between the substrate and a peripheral portion of the other substrate facing the concave portion and electrically connects the pair of substrates. Also, the height of the transfer support is a,
When the height of the recess is b and the spacer diameter is c, a−c ≧
The height of the transfer column and the concave portion is set so as to be b. Also, the transfer support is gold,
It is made of a material such as silver, platinum or copper. Further, the transfer support is formed by depositing a transfer support material on a substrate by a sputtering method, a CVD method, or the like, and forming a pattern by a photoengraving method. The transfer support is provided on either the inside or the outside of the sealing material. In addition, the concave portion is formed by making the thickness of the substrate on which the concave portion is provided or the thickness of any one of the film formation layers on the substrate smaller than other portions.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下に、本発明の
実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明
の実施の形態1における液晶表示装置を模式的に示す断
面図、図2は図1に示す液晶表示装置の構造を示す断面
図である。図において、1は複数の薄膜トランジスタ
(図3参照)及び画素電極がマトリクス状に配置された
TFTアレイ基板、2は共通電極及びカラーフィルタ等
を有し、TFTアレイ基板1と一定距離を隔てて対向配
置された対向電極基板、3は一対の基板間に配置された
液晶、4は一対の基板間に配置され、一対の基板の間隙
すなわちセルギャップを規定するスペーサ、5は一対の
基板を接着すると共に液晶3の注入領域を決定するシー
ル材で、図示しないスペーサを含有している。また、6
は一対の基板間周辺部の所定位置に設けられ、一対の基
板を電気的に接続するトランスファ支柱、7は一対の基
板のいずれか一方、本実施の形態ではTFTアレイ基板
1のトランスファ支柱6の配置箇所に設けられた凹部、
8は一対の基板の対向面上にそれぞれ設けられた配向制
御膜、9はTFTアレイ基板1周辺部に設けられたIT
O膜17aよりなる引き出し電極、18aは後述の層間
絶縁膜を形成している窒化シリコン膜である。また、図
3は、TFTアレイ基板1に形成された薄膜トランジス
タの構造を示す断面図である。図において、11は透明
絶縁性基板、12はゲート電極、14はゲート電極12
上にゲート絶縁膜13を介して設けられた半導体層で、
この半導体層13とソース電極15及びドレイン電極1
6により薄膜トランジスタが構成されている。さらに、
17はITO膜17aよりなる画素電極、18はドレイ
ン電極16と画素電極17を接続するためのコンタクト
ホール19を有する窒化シリコン膜18aよりなる層間
絶縁膜である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view schematically showing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the liquid crystal display device shown in FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a TFT array substrate on which a plurality of thin film transistors (see FIG. 3) and pixel electrodes are arranged in a matrix, and 2 has a common electrode, a color filter, and the like, and faces the TFT array substrate 1 at a certain distance. The disposed counter electrode substrate, 3 is a liquid crystal disposed between a pair of substrates, 4 is disposed between a pair of substrates, and a spacer that defines a gap between the pair of substrates, that is, a cell gap, and 5 adheres the pair of substrates. In addition, it is a sealing material for determining an injection region of the liquid crystal 3 and includes a spacer (not shown). Also, 6
Is provided at a predetermined position in a peripheral portion between the pair of substrates, and is a transfer column electrically connecting the pair of substrates. Reference numeral 7 is one of the pair of substrates. In the present embodiment, the transfer column is a transfer column 6 of the TFT array substrate 1. A concave portion provided at the arrangement location,
Reference numeral 8 denotes an alignment control film provided on each of the opposing surfaces of the pair of substrates. Reference numeral 9 denotes an IT control
An extraction electrode 18a made of an O film 17a and a silicon nitride film 18a forming an interlayer insulating film described later. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure of a thin film transistor formed on the TFT array substrate 1. In the figure, 11 is a transparent insulating substrate, 12 is a gate electrode, 14 is a gate electrode 12
A semiconductor layer provided thereon with a gate insulating film 13 interposed therebetween;
The semiconductor layer 13 and the source electrode 15 and the drain electrode 1
6 constitute a thin film transistor. further,
Reference numeral 17 denotes a pixel electrode made of an ITO film 17a, and reference numeral 18 denotes an interlayer insulating film made of a silicon nitride film 18a having a contact hole 19 for connecting the drain electrode 16 and the pixel electrode 17.
【0007】本実施の形態における液晶表示装置の製造
方法を図2及び図3を用いて説明する。まず、TFTア
レイ基板1を作成する。透明絶縁性基板11上にスパッ
タ法等によりCr等からなる金属膜を堆積した後、パタ
ーニングしてゲート電極12及びゲート配線(図示せ
ず)を形成する。次に、プラズマCVD法等によりゲー
ト絶縁膜13、半導体層14を堆積後、半導体層14を
パターニングする。次にCr等からなる金属膜をスパッ
タ法等により堆積し、パターニングしてドレイン電極1
6、ソース電極15及びソース配線(図示せず)を形成
する。続いて、プラズマCVD法等により膜厚0. 1μ
mの窒化シリコン膜18aからなる層間絶縁膜18を成
膜し、コンタクトホール19を形成する。なお、この
時、窒化シリコン膜18aが後に基板周辺部に形成され
る引き出し電極9の領域を覆わないようにすることで、
トランスファ支柱6位置に相当する箇所に高さ0. 1μ
mの凹部7が形成される。さらに、スパッタ法等により
ITO膜17aを0. 05〜0. 1μmの厚さに成膜、
パターニングして画素電極17を形成し、コンタクトホ
ール19を介してドレイン電極16と接続する。また、
この時、基板周辺部にITO膜17aよりなる引き出し
電極9も形成する。以上の工程により、液晶3に電圧を
印加する画素を有するTFTアレイ基板1が完成する。A method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. First, the TFT array substrate 1 is formed. After depositing a metal film made of Cr or the like on the transparent insulating substrate 11 by a sputtering method or the like, patterning is performed to form a gate electrode 12 and a gate wiring (not shown). Next, after depositing the gate insulating film 13 and the semiconductor layer 14 by a plasma CVD method or the like, the semiconductor layer 14 is patterned. Next, a metal film made of Cr or the like is deposited by sputtering or the like, and is patterned to form a drain electrode 1.
6, a source electrode 15 and a source wiring (not shown) are formed. Subsequently, a film thickness of 0.1 μm is formed by a plasma CVD method or the like.
Then, a contact hole 19 is formed by forming an interlayer insulating film 18 made of a silicon nitride film 18a having a thickness of m. At this time, by preventing the silicon nitride film 18a from covering the region of the lead electrode 9 formed in the peripheral portion of the substrate later,
0.1μ height at the position corresponding to the transfer post 6 position
m concave portions 7 are formed. Further, an ITO film 17a is formed to a thickness of 0.05 to 0.1 μm by a sputtering method or the like.
The pixel electrode 17 is formed by patterning, and is connected to the drain electrode 16 via the contact hole 19. Also,
At this time, a lead electrode 9 made of an ITO film 17a is also formed around the substrate. Through the above steps, the TFT array substrate 1 having pixels for applying a voltage to the liquid crystal 3 is completed.
【0008】次に、対向電極基板2を作成する。透明絶
縁性基板上に、R、G、B3色の着色層を有するカラー
フィルタ層及び遮光層(いずれも図示せず)等を形成
し、さらに基板全面にITO膜よりなる共通電極(図示
せず)を形成する。次に、対向電極基板2周辺部の複数
の所定位置、本実施の形態では後に形成されるシール材
5よりも外側に銀(Ag)をスパッタ法により堆積し、
写真製版法によりパターン形成して高さ4. 6μmのト
ランスファ支柱6を形成する。Next, a counter electrode substrate 2 is formed. A color filter layer having R, G, and B color layers and a light-shielding layer (all not shown) are formed on a transparent insulating substrate, and a common electrode (not shown) made of an ITO film is formed on the entire surface of the substrate. ) Is formed. Next, silver (Ag) is deposited by sputtering at a plurality of predetermined positions around the counter electrode substrate 2, in this embodiment, outside the sealing material 5 formed later.
A transfer support 6 having a height of 4.6 μm is formed by pattern formation by photolithography.
【0009】次に、TFTアレイ基板1と対向電極基板
2の表面にそれぞれ配向制御膜8を0. 05μmの厚さ
に形成し、所定の方向にラビング゛処理を行う。この
時、TFTアレイ基板1の引き出し電極9の部分と、対
向電極基板2のトランスファ支柱6の部分には配向制御
膜8を形成せず、引き出し電極9及びトランスファ支柱
6を露出させる。続いて、これらの基板のいずれか一方
に、セルギャップを規定する直径4. 4μmのビーズ状
のスペーサ4を散布する。さらに、これらの基板のいず
れか一方に基板間隔を保持するためのスペーサを含むシ
ール材5を塗布する。本実施の形態では、エポキシ樹脂
に4. 5μmのガラス製マイクロロッドを含むシール材
5を用いた。次に、TFTアレイ基板1および対向電極
基板2を画素が一致するように重ね合わせ、基板全面に
ほぼ均一な圧力及び熱を加えながらシール材5を硬化し
て二枚の基板を接着させる。この時、TFTアレイ基板
1に形成された引き出し電極9と対向電極基板2に形成
されたトランスファ支柱6が接続され、これら一対の基
板は電気的にも接続される。その後、基板を所定の大き
さに切り出し、基板間に液晶3を封入し、所定のプロセ
スを経ることにより本実施の形態における液晶表示装置
が完成する。Next, an alignment control film 8 is formed on the surface of the TFT array substrate 1 and the counter electrode substrate 2 to a thickness of 0.05 μm, respectively, and a rubbing treatment is performed in a predetermined direction. At this time, the orientation control film 8 is not formed on the portion of the extraction electrode 9 of the TFT array substrate 1 and the portion of the transfer support 6 of the counter electrode substrate 2, and the extraction electrode 9 and the transfer support 6 are exposed. Subsequently, a bead-shaped spacer 4 having a diameter of 4.4 μm, which defines a cell gap, is sprayed on one of these substrates. Further, a sealing material 5 including a spacer for keeping a space between the substrates is applied to one of the substrates. In the present embodiment, a sealing material 5 including a 4.5 μm glass microrod is used as the epoxy resin. Next, the TFT array substrate 1 and the counter electrode substrate 2 are overlapped so that the pixels coincide with each other, and the sealing material 5 is cured while applying substantially uniform pressure and heat to the entire surface of the substrate, and the two substrates are bonded. At this time, the extraction electrode 9 formed on the TFT array substrate 1 and the transfer support 6 formed on the counter electrode substrate 2 are connected, and the pair of substrates is also electrically connected. Thereafter, the substrate is cut out to a predetermined size, the liquid crystal 3 is sealed between the substrates, and the liquid crystal display device according to the present embodiment is completed through a predetermined process.
【0010】本実施の形態では、トランスファ支柱6の
高さをa、凹部7の高さをb、スペーサ4直径すなわち
セルギャップ値をcとした時、a=4. 6μm、b=
0. 1μm、c=4. 4μmであり、a−c≧bとなる
ようにトランスファ支柱6及び凹部7の高さを設定して
いる。セルギャップ値cは、パネル設計の時点で決定さ
れる定数であり変更できない値である。一方、トランス
ファ支柱6の高さa、凹部7の高さbはセルギャップ値
cによって決まり、セルギャップ値cのパネルになるよ
うに制御するために変更することができる値である。セ
ルギャップの補正を行う際に、a−c≧bの場合にはス
ペーサ径を小さくする等の方法で補正できるが、a−c
<bの場合には、例えばTFTアレイ基板1のITO膜
層の膜厚またはトランスファ支柱6の高さa等を変更す
る必要があり、前者の方が補正が容易であるため、本実
施の形態ではa−c≧bとした。このように、トランス
ファ支柱6の高さaをセルギャップ値cよりも高く形成
し、一方、トランスファ支柱6位置に相当する箇所にト
ランスファ支柱6とセルギャップ値の差分と同等もしく
は小さい高さの凹部7を形成することで、セルギャップ
を規定するスペーサ4及びシール材5に含まれるスペー
サの影響を受け難く、スペーサ4やシール材5に含まれ
るスペーサとのギャップ差による表示不良が発生しない
表示品位の高い液晶表示装置が得られる。また、本実施
の形態におけるトランスファ支柱6は、トランスファ支
柱材料である銀をスパッタ法により対向電極基板2上に
堆積し、写真製版法によりパターン形成したものである
ため、従来の銀ペーストからなるトランスファ支柱のよ
うに、熱圧着条件の影響を受けないため、高さの制御が
容易であり、パネル組立工程における製品の歩留まりが
向上する。In the present embodiment, when the height of the transfer support 6 is a, the height of the recess 7 is b, and the diameter of the spacer 4, that is, the cell gap value is c, a = 4.6 μm and b =
0.1 μm, c = 4.4 μm, and the height of the transfer column 6 and the concave portion 7 are set so that a−c ≧ b. The cell gap value c is a constant determined at the time of panel design and cannot be changed. On the other hand, the height a of the transfer support 6 and the height b of the concave portion 7 are determined by the cell gap value c, and are values that can be changed to control the panel to have the cell gap value c. When the cell gap is corrected, when a−c ≧ b, the correction can be performed by a method such as reducing the spacer diameter.
In the case of <b, for example, it is necessary to change the thickness of the ITO film layer of the TFT array substrate 1 or the height a of the transfer support 6, and the former is easier to correct. Then, a−c ≧ b. As described above, the height a of the transfer support 6 is formed to be higher than the cell gap value c, while the concave portion having a height equal to or smaller than the difference between the transfer support 6 and the cell gap value is provided at a position corresponding to the position of the transfer support 6. By forming 7, the display quality is less affected by the spacers 4 defining the cell gap and the spacers included in the sealing material 5 and the display quality does not occur due to the gap difference between the spacers 4 and the spacers included in the sealing material 5. , A liquid crystal display device having a high The transfer support 6 in the present embodiment is formed by depositing silver, which is a material of the transfer support, on the counter electrode substrate 2 by a sputtering method and forming a pattern by a photoengraving method. Unlike the columns, they are not affected by the thermocompression bonding conditions, so that the height can be easily controlled, and the yield of products in the panel assembly process is improved.
【0011】なお、本実施の形態では、対向電極基板2
のシール材5よりも外側に銀をスパッタ法により堆積し
トランスファ支柱6を形成したが、トランスファ支柱6
はTFTアレイ基板1に形成してもよい。また、凹部7
も、一対の基板のどちらに形成してもよい。また、トラ
ンスファ支柱6の位置は、シール材5よりも内側または
外側のどちらでもよいが、外側の方がよりスペーサ4等
の影響を受け難いため望ましい。さらに、トランスファ
支柱6の材料としては、銀の他に、金、白金または銅
等、導電性の高い材料を用いることができる。また、ト
ランスファ支柱6を形成する方法としては、スパッタ法
の他に、プラズマCVD法等でもよい。また、本実施の
形態では、窒化シリコン膜18aが引き出し電極9の領
域を覆わないようにすることで、トランスファ支柱6位
置に相当する箇所に高さ0. 1μmの凹部7を形成した
が、凹部7は、凹部7が設けられる基板の厚さ、または
この基板上の成膜層のいずれかの膜厚を他の箇所よりも
薄くすることにより形成してもよい。In this embodiment, the counter electrode substrate 2
Silver was deposited on the outer side of the sealing material 5 by sputtering to form the transfer column 6, but the transfer column 6 was formed.
May be formed on the TFT array substrate 1. Also, the recess 7
May be formed on either of the pair of substrates. Further, the position of the transfer support 6 may be either inside or outside of the sealing material 5, but it is preferable that the outside is less affected by the spacer 4 and the like. Further, as the material of the transfer support 6, a highly conductive material such as gold, platinum, or copper can be used in addition to silver. Further, as a method of forming the transfer column 6, a plasma CVD method or the like may be used instead of the sputtering method. Further, in the present embodiment, the recess 7 having a height of 0.1 μm is formed at a position corresponding to the position of the transfer column 6 by preventing the silicon nitride film 18 a from covering the region of the extraction electrode 9. 7 may be formed by making the thickness of the substrate on which the concave portion 7 is provided or the thickness of any one of the film formation layers on this substrate smaller than other portions.
【0012】[0012]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、一対の
基板間周辺部の所定位置にトランスファ支柱を、また、
一対の基板のいずれか一方のトランスファ支柱位置に相
当する箇所に凹部を設け、トランスファ支柱の高さを
a、凹部の高さをb、スペーサ直径をcとした時、a−
c≧bとなるようにトランスファ支柱及び凹部の高さを
設定することにより、セルギャップを規定するスペーサ
及びシール材の影響を受け難く、スペーサやシール材と
のギャップ差による表示不良が発生しない表示品位の高
い液晶表示装置が得られる。As described above, according to the present invention, a transfer column is provided at a predetermined position in a peripheral portion between a pair of substrates.
When a recess is provided at a position corresponding to one of the transfer posts on a pair of substrates, and the height of the transfer post is a, the height of the recess is b, and the spacer diameter is c, a-
By setting the height of the transfer column and the concave portion so that c ≧ b, the display is less likely to be affected by the spacer and the sealing material that define the cell gap, and the display failure does not occur due to the gap difference between the spacer and the sealing material. A high-quality liquid crystal display device can be obtained.
【0013】また、本発明によるトランスファ支柱は、
トランスファ支柱材料をスパッタ法またはCVD法等に
より基板上に堆積し、写真製版法によりパターン形成し
たものであり、従来のトランスファ材料のように熱圧着
条件の影響を受けないため、高さの制御が容易であり、
生産性が向上する。[0013] Further, the transfer support according to the present invention comprises:
Transfer pillar material is deposited on the substrate by sputtering or CVD, and patterned by photoengraving. The height is controlled because it is not affected by the thermocompression bonding conditions unlike conventional transfer materials. Easy,
Productivity is improved.
【図1】 本発明の実施の形態1である液晶表示装置を
模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の実施の形態1である液晶表示装置の
構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a structure of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図3】 本発明の実施の形態1である液晶表示装置の
薄膜トランジスタを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a thin film transistor of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
【図4】 従来の一般的なトランスファ支柱を使用した
液晶表示装置を模式的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device using a conventional general transfer support.
【図5】 従来の他のトランスファ支柱を使用した液晶
表示装置を模式的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device using another conventional transfer support.
1 TFTアレイ基板、2 対向電極基板、3 液晶、
4 スペーサ、5 シール材、6、6a、6b トラン
スファ支柱、7 凹部、8 配向制御膜、9 引き出し
電極、11 透明絶縁性基板、12 ゲート電極、13
ゲート絶縁膜、14 半導体層、15 ソース電極、
16 ドレイン電極、17 画素電極、17a ITO
膜、18 層間絶縁膜、18a 窒化シリコン膜、19
コンタクトホール。1 TFT array substrate, 2 counter electrode substrate, 3 liquid crystal,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 Spacer, 5 sealing material, 6, 6a, 6b transfer support, 7 recess, 8 orientation control film, 9 extraction electrode, 11 transparent insulating substrate, 12 gate electrode, 13
Gate insulating film, 14 semiconductor layers, 15 source electrodes,
16 drain electrode, 17 pixel electrode, 17a ITO
Film, 18 interlayer insulating film, 18a silicon nitride film, 19
Contact hole.
Claims (6)
マトリクス状に配置されたTFTアレイ基板、 共通電極及びカラーフィルタを有し、上記TFTアレイ
基板と一定距離を隔てて対向配置された対向電極基板、 上記一対の基板間に配置された液晶、 上記一対の基板間に配置され、上記一対の基板の間隙を
規定するスペーサ、 上記一対の基板を接着すると共に上記液晶の注入領域を
決定するシール材、 上記一対の基板のいずれか一方の周辺部に形成された凹
部と、この凹部に対向する他方の基板の周辺部との間に
配置され上記一対の基板を電気的に接続するトランスフ
ァ支柱を備えたことを特徴とする液晶表示装置。1. A TFT array substrate having a plurality of thin film transistors and pixel electrodes arranged in a matrix, a common electrode and a color filter, and a counter electrode substrate arranged to face the TFT array substrate at a predetermined distance. A liquid crystal arranged between a pair of substrates, a spacer arranged between the pair of substrates and defining a gap between the pair of substrates, a sealant for bonding the pair of substrates and determining an injection region of the liquid crystal, A transfer post is provided between a concave portion formed on one of the peripheral portions of the pair of substrates and a peripheral portion of the other substrate facing the concave portion and electrically connects the pair of substrates. A liquid crystal display device characterized by the above-mentioned.
さをb、スペーサ直径をcとした時、a−c≧bとなる
ように、上記トランスファ支柱及び上記凹部の高さを設
定したことを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。2. The height of the transfer column and the concave portion is set so that a−c ≧ b, where a is the height of the transfer column, b is the height of the concave portion, and c is the spacer diameter. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein:
は銅等の材料よりなることを特徴とする請求項1または
請求項2に記載の液晶表示装置。3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the transfer support is made of a material such as gold, silver, platinum, or copper.
支柱材料をスパッタ法またはCVD法等により基板上に
堆積し、写真製版法によりパターン形成したものである
ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に
記載の液晶表示装置。4. The transfer post according to claim 1, wherein said transfer post material is deposited on a substrate by a sputtering method, a CVD method, or the like, and is patterned by a photoengraving method. The liquid crystal display device according to claim 1.
側または外側のいずれか一方に設けられていることを特
徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の液
晶表示装置。5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the transfer support is provided inside or outside of the sealing material.
さ、またはこの基板上の成膜層のいずれかの膜厚を他の
箇所よりも薄くすることにより形成されていることを特
徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の液
晶表示装置。6. The concave portion is formed by making the thickness of the substrate on which the concave portion is provided or the thickness of one of the film formation layers on the substrate smaller than other portions. The liquid crystal display device according to claim 1.
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