JP2002259948A - 次処理決定方法、検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 次に実行する次処理を客観的かつ短時間で決
定する。 【解決手段】 サンプル対象をディジタルデータで構成
されるサンプルデータに数値化し（ステップ１１）、サ
ンプルデータを所定のデータ形式に従ってデータ圧縮し
（ステップ１２）、そのデータ圧縮したサンプルデータ
のデータ量と、サンプル対象と同じ手法に従って基準サ
ンプル対象に対して数値化およびデータ圧縮を行って生
成した基準データのデータ量との差分データ量を求め
（ステップ１３）、予め決められた複数の数値範囲のい
ずれに差分データ量が属するかを特定し、その特定した
数値範囲に予め対応させられた所定処理を次に実行する
次処理として決定する（ステップ１４〜１７）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サンプル対象を数
値化して取得したサンプルデータに基づいて次に実行す
る次処理を決定する次処理決定方法、検査対象体を撮像
した画像データに基づいて次処理を決定して実行する検
査方法、およびその検査方法に従って所定処理を実行す
る検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、各種データ記録用の磁気テープ
における磁性体層（磁性金属薄膜）の表面に微小欠陥が
存在するか否かを検査する際には、まず、光学式顕微鏡
を用いて磁性体層表面を数百倍に拡大した状態で写真撮
影する。次に、その写真の画像に基づいて、傷、ひび割
れ、突起および陥没などが形成されているか否か、析出
が発生しているか否か、および異物が付着しているか否
かを目視で確認する。この後、オペレータの主観によっ
て磁気テープの良否を判別する。

【０００３】一方、特開平１１−２４２７４６号公報に
開示された欠陥検出方法（検査方法）では、検査対象を
撮像したディジタル画像に対して、相反する２通りのデ
ータ変換処理を実行し、データ変換処理後の両画像デー
タ間の差分値を求めることにより、欠陥個所の存在の有
無を判別している。具体的には、まず、撮像したディジ
タル画像を複製して２つの画像データを生成し、一方の
画像データに対して膨張フィルタ処理を実行した後に収
縮フィルタ処理を実行すると共に、他方の画像データに
対して収縮フィルタ処理を実行した後に膨張フィルタ処
理を実行する。この場合、膨張フィルタ処理では、画像
データ中の白色に近い色（明るい色）の画素データを増
加させ、収縮フィルタ処理では、画像データ中の黒色に
近い色（暗い色）の画素データを増加させる。したがっ
て、一方の画像データでは、白色に近い色の画素で撮像
されていた欠陥個所が強調され、他方の画像データで
は、黒色に近い色の画素で撮像されていた欠陥個所が強
調される。次に、一方の画像データと、他方の画像デー
タとの差分値を求める。この後、求めた差分値と基準値
（しきい値）とを比較することにより、データ変換処理
前のディジタル画像に欠陥個所が撮像されていたか否か
を判別する。

【０００４】また、特開２０００−２５１０６９号公報
に開示された配線パターン検査方法では、例えばプリン
ト基板の配線パターンについて撮像した画像データを所
定の処理方法で２値化した後に、この２値化画像データ
に対して膨張フィルタ処理および収縮フィルタ処理を実
行することにより、配線パターンの断線や、配線パター
ン相互間の短絡を検出している。この場合、膨張処理済
みの２値化画像データでは、処理前の画像データにおい
て破線的に扱われていた極細の短絡箇所が、実際よりも
太く変換されて直線的に連結された画像データに変換さ
れる。また、収縮処理済みの２値化画像データでは、処
理前の画像データにおいて恰も接続されているかの如く
扱われていた半断線箇所が、明確に寸断された画像に変
換される。したがって、互いに接続されるべき配線パタ
ーン上の任意の基点Ｘ１，Ｘ２にそれぞれ対応する画素
Ｘ１１，Ｘ１２間が同一値の画素データの画素によって
連結されているか否かの連続性判別を実行することによ
り、画素Ｘ１１，Ｘ１２間が連結されていないときに
は、基点Ｘ１，Ｘ２間の配線パターンに断線が存在する
と判別することができる。また、互いに絶縁されるべき
配線パターン上の任意の基点Ｙ１，Ｙ２にそれぞれ対応
する画素Ｙ１１，Ｙ１２間について、連続性判別を実行
することにより、画素Ｙ１１，Ｙ１２間が連結されてい
るときには、基点Ｙ１，Ｙ２間の配線パターンに短絡が
存在すると判別することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の各検
査方法には、以下の問題点がある。すなわち、検査対象
体表面を撮影した写真に微小欠陥が撮影されているか否
かを確認する検査方法では、欠陥個所の形成数を目視で
確認してカウントするため、検査効率が非常に悪いとい
う問題点がある。また、この検査方法では、カウントさ
れた欠陥個所の形成数に基づいてオペレータの主観によ
って良品または不良品であると判別しているため、その
判別基準がオペレータ毎に異なることに起因して、検査
対象体の品質レベルを一定に保つことが困難であるとい
う問題点も存在する。

【０００６】一方、特開平１１−２４２７４６号公報に
開示された検査方法では、検査対象を撮像して複製した
２つの画像データに対して相反する２通りのデータ変換
処理をそれぞれ実行して両画像データ中の欠陥個所を強
調した後に、差分値を求めて基準値（しきい値）と比較
することにより、欠陥の有無を判別している。したがっ
て、オペレータの主観による判別方法とは異なり、欠陥
の有無を客観的に判別することが可能となっている。し
かし、差分値と基準値（しきい値）との比較に基づい
て、正確な判別を行うためには、欠陥個所が撮像されて
いる画像データと、欠陥個所が撮影されていない画像デ
ータの差を大きくする必要がある。したがって、画像デ
ータに対するフィルタ処理時には、画像データを画像劣
化させることなく、欠陥個所をより強調しなくてはなら
ない。このため、膨張フィルタ処理および収縮フィルタ
処理１回当りの変換量を小さくして、その変換処理を複
数回に亘って繰り返す必要がある結果、この従来の検査
方法には、検査対象についての良否判別に膨大な時間を
要するという問題点がある。

【０００７】また、特開２０００−２５１０６９号公報
に開示された検査方法では、処理済みの画像データにつ
いて、同一値の画素が連続するか否かの連続性判別を実
行することにより、短絡や断線を検出している。しか
し、連続性判別による検査方法では、連続性判別を行う
ことができるものの、例えば、磁気テープにおける磁性
体層表面に微小欠陥が存在するか否かを検出することが
困難であるという問題点が存在する。一方、磁性体層表
面についての膨張処理済みの２値化画像データと収縮処
理済みの２値化画像データとを表示部にそれぞれ表示さ
せることにより、オペレータに対して、目視によって欠
陥の有無を判別させることもできる。しかし、かかる検
査方法では、検査対象を撮影した写真に微小欠陥が撮影
されているか否かを確認する従来の検査方法と同様にし
て、オペレータの主観によって良品または不良品である
と判別することとなる。このため、その判別基準がオペ
レータ毎に異なることに起因して、検査対象体の品質レ
ベルを一定に保つことが困難になるという問題が発生す
る。

【０００８】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、次に実行する次処理を客観的かつ短時間で
決定可能な次処理決定方法を提供することを主目的とす
る。また、その次処理決定方法に従って検査対象体につ
いての所定の検査を行う検査方法および検査装置を提供
することを他の目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の次処理決定方法は、サンプル対象をディジ
タルデータで構成されるサンプルデータに数値化し、前
記サンプルデータを所定のデータ形式に従ってデータ圧
縮し、そのデータ圧縮したサンプルデータのデータ量
と、前記サンプル対象と同じ手法に従って基準サンプル
対象に対して数値化およびデータ圧縮を行って生成した
基準データのデータ量との差分データ量を求め、予め決
められた複数の数値範囲のいずれに前記差分データ量が
属するかを特定し、その特定した数値範囲に予め対応さ
せられた所定処理を次に実行する次処理として決定する
ことを特徴とする。なお、本発明におけるサンプルデー
タには、画像データや音声データなどの各種ディジタル
データが含まれる。また、画像データには、静止画デー
タおよび動画データの両者が含まれる。

【００１０】請求項２記載の次処理決定方法は、請求項
１記載の次処理決定方法において、同種の前記ディジタ
ルデータが連続するほど、または前記ディジタルデータ
の規則性が高いほどデータ量を圧縮可能なデータ圧縮手
法を前記前記所定の形式として用いて前記データ圧縮を
行うことを特徴とする。

【００１１】請求項３記載の次処理決定方法は、請求項
１または２記載の次処理決定方法において、前記サンプ
ルデータは、前記サンプル対象を撮像した画像データで
構成され、前記ディジタルデータは、前記サンプル対象
を撮像した際の画素データで構成されていることを特徴
とする。

【００１２】請求項４記載の次処理決定方法は、請求項
３記載の次処理決定方法において、前記基準サンプル対
象を経時的に変更することを特徴とする。

【００１３】請求項５記載の次処理決定方法は、請求項
４記載の次処理決定方法において、直前に撮像した前記
サンプル対象についての前記データ圧縮したサンプルデ
ータを前記基準データに順次経時的に変更することを特
徴とする。

【００１４】請求項６記載の検査方法は、検査対象体を
撮像して画素データで構成される画像データに数値化
し、当該画像データに基づいて次処理を決定して実行す
る検査方法であって、同種の前記画素データが連続する
ほど、または前記画素データの規則性が高いほどデータ
量を圧縮可能な所定のデータ形式に従って前記画像デー
タをデータ圧縮し、そのデータ圧縮した画像データのデ
ータ量と、前記検査対象体と同じ手法に従って基準撮像
画像に対して数値化およびデータ圧縮を行って生成した
基準データのデータ量との差分データ量を求め、予め決
められた複数の数値範囲のいずれに前記差分データ量が
属するかを特定し、その特定した数値範囲に予め対応さ
せられた所定処理を次に実行する次処理として決定した
後に実行することを特徴とする。

【００１５】なお、請求項６記載の検査方法において、
良品の前記検査対象体の基準検査面を前記基準撮像画像
として予め規定すると共に前記複数の数値範囲として良
品判定用数値範囲および不良品判定用数値範囲を予め設
定し、前記求めた差分データ量の属する前記数値範囲を
前記良品判定用数値範囲に特定したときに、前記所定処
理として良品判定処理を実行し、前記求めた差分データ
量の属する前記数値範囲を前記不良品判定用数値範囲に
特定したときに、前記所定処理として不良品判定処理を
実行するのが好ましい。

【００１６】また、前記基準検査面を所定倍率で光学的
に拡大して撮像することにより前記基準データを予め作
成し、前記検査対象体の検査面を前記所定倍率で光学的
に拡大して撮像することにより前記画像データを数値化
するのが好ましい。

【００１７】さらに、長尺フィルム状の非磁性基材、ま
たは当該非磁性基材に磁性金属薄膜が形成された金属薄
膜型磁気テープを前記検査対象体として、そのテープ面
における微少欠陥を検査する際に、適用が可能である。

【００１８】また、長尺フィルム状の非磁性基材を前記
検査対象体として、その裏面に規定範囲内の微少凹凸が
形成されているか否かを検査する際にも、適用が可能で
ある。

【００１９】請求項７記載の検査装置は、画像データ内
における同種の画素データが連続するほど、または前記
画像データ内における前記画素データの規則性が高いほ
どデータ量を圧縮可能な所定のデータ形式に従って、検
査対象体を撮像して数値化した画像データをデータ圧縮
するデータ処理部と、所定処理に予めそれぞれ対応させ
た複数の数値範囲、および前記検査対象体と同じ手法に
従って基準撮像画像に対して数値化およびデータ圧縮を
行って生成した基準データのデータ量を記憶する記憶部
と、前記データ処理部によってデータ圧縮された前記画
像データのデータ量と、前記記憶部に記憶されている前
記基準データのデータ量との差分データ量を演算する演
算部と、前記記憶部に記憶されている前記数値範囲のい
ずれに前記演算部によって演算された前記差分データ量
が属するかを特定すると共に当該特定した数値範囲に対
応する前記所定処理を次に実行する次処理として実行す
る制御部とを備えていることを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る次処理決定方法、検査方法および検査装置の好
適な実施の形態について説明する。

【００２１】最初に、本発明における次処理決定方法に
従って所定の判別処理を実行する判別装置１について、
図１，２を参照して説明する。

【００２２】判別装置１は、数値化可能なサンプル対象
に対して後述する次処理決定処理を実行することによ
り、１からＮ個（Ｎは２以上の自然数）の候補から次処
理を決定する装置であって、図１に示すように、サンプ
ルデータ生成部２、データ処理部３、記憶部４、差分デ
ータ量演算部５および判別部６を備えている。この場
合、サンプル対象として、ディジタル静止画データまた
はディジタル動画データとして撮像可能な被写体や、デ
ィジタル音声データとして録音可能な音声などが含まれ
る。

【００２３】サンプルデータ生成部２は、例えば、ディ
ジタルカメラなどで構成され、サンプル対象を数値化し
てディジタルデータで構成されるサンプルデータＤｓを
生成する。データ処理部３は、サンプルデータ生成部２
から出力されたサンプルデータＤｓに対して、同種のデ
ィジタルデータが連続するほど、またはディジタルデー
タの規則性が高いほどデータ量を圧縮可能な所定のデー
タ形式に従ってサンプルデータＤｓをデータ圧縮し、圧
縮済みサンプルデータＤCSを生成する。この場合、圧縮
済みサンプルデータＤCSのデータ形式としては、ＬＺＨ
形式やＺＩＰ形式などのデータ圧縮形式に加え、ディジ
タル静止画データのＪＰＥＧ形式やＧＩＦ形式、ディジ
タル動画データのＭＰＥＧ−２形式やＡＶＩ形式、ディ
ジタル音声データのＭＰ３形式やＡＤＰＣＭ形式などを
採用することができる。なお、これらのデータ形式は、
同種のディジタルデータが連続するほど、またはディジ
タルデータの規則性が高いほどデータ量を圧縮可能なデ
ータ圧縮形式であって、その圧縮アルゴリズムについて
は周知のため、その説明を省略する。

【００２４】記憶部４は、数値化可能なサンプル対象に
対する基準サンプル対象についてのサンプルデータを所
定のデータ形式に従って予めデータ圧縮した基準データ
のデータ量を基準データ量ＤSVとして記憶すると共に、
次処理１〜Ｎにそれぞれ対応する数値範囲１〜Ｎを記憶
する。差分データ量演算部５は、データ処理部３によっ
てデータ圧縮された圧縮済みサンプルデータＤCSのデー
タ量と、記憶部４から読み出した基準データ量ＤSVとの
差分データ量ＤCBを演算する。判別部６は、差分データ
量ＤCBが次処理１〜Ｎにそれぞれ対応する数値範囲１〜
Ｎのいずれに属するかを判別し、その判別結果に対応す
る次処理１〜Ｎのいずれかを特定する制御信号Ｓｃを出
力する。

【００２５】この判別装置１による次処理決定処理で
は、図２に示すように、まず、サンプルデータ生成部２
が、サンプル対象についてのサンプルデータＤｓを生成
してデータ処理部３に出力する（ステップ１１）。次
に、データ処理部３が、サンプルデータＤｓを所定のデ
ータ形式に従ってデータ圧縮することにより、圧縮済み
サンプルデータＤCSを生成して差分データ量演算部５に
出力する（ステップ１２）。次いで、差分データ量演算
部５が、入力された圧縮済みサンプルデータＤCSのデー
タ量と、記憶部４から読み出した基準データ量ＤSVとに
基づいて差分データ量ＤCBを演算して判別部６に出力す
る（ステップ１３）。続いて、判別部６が、記憶部４か
ら読み出した数値範囲１〜Ｎのいずれに差分データ量Ｄ
CBが属するかを判別し（ステップ１４）、その判別結果
に応じた制御信号Ｓｃを図外の外部装置に出力する。こ
れにより、外部装置が、入力した制御信号Ｓｃに応じた
各種処理（次処理１〜Ｎのいずれか）を実行する（ステ
ップ１５〜１７）。

【００２６】このように、この判別装置１によれば、サ
ンプル対象について生成した圧縮済みサンプルデータＤ
CSのデータ量と、基準サンプル対象について生成した基
準データの基準データ量ＤSVとの差分データ量ＤCBを演
算し、その差分データ量ＤCBが数値範囲１〜Ｎのいずれ
に属するかを判別して、その判別結果に応じた制御信号
Ｓｃを出力ことにより、例えばオペレータの主観による
次処理の決定方法とは異なり、サンプル対象に基づいて
次処理を客観的に決定することができる。具体的には、
例えば、変化がない状態のサンプル対象を基準サンプル
対象（例えば、無人の室内の画像）として予め規定した
場合、実際のサンプル対象（室内の実画像）が基準サン
プル対象から変化した際には、サンプルデータＤｓにお
ける画素データの連続性または規則性が必ず変化する。
したがって、圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量と
基準データ量ＤSVとの差分が必ず発生する。このため、
差分データ量ＤCBのデータ量に応じて、警報音の発生処
理、通報処理などの次処理を予め規定しておくことで、
次処理を客観的かつ短時間で決定することができる。

【００２７】次に、本発明における検査方法に従って所
定の検査を実行する表面検査装置２１を例に挙げて、本
発明における次処理決定方法の一実施の形態について説
明する。

【００２８】表面検査装置２１は、各種データ記録用の
磁気テープＴにおける磁性体層表面に微小欠陥が存在す
るか否かを検査する検査装置であって、磁性体蒸着装置
３１に配設されたディジタルビデオカメラＣによって撮
像された磁気テープＴの表面についての画像データＤｐ
を入力し、この画像データＤｐに基づいて所定の表面検
査処理を実行する。この表面検査装置２１は、図３に示
すように、画像データ処理部２２、制御部２３、ＲＡＭ
２４、ＲＯＭ２５およびＦＤＤ２６を備え、装置外部の
モニターＭに判別結果を表示可能に構成されている。画
像データ処理部２２は、ディジタルビデオカメラＣによ
って撮像された画像データＤｐを順次入力し、１つの静
止画面についての画像データＤｐを所定の圧縮アルゴリ
ズムに従ってデータ圧縮することにより、圧縮済み画像
データＤCPを順次生成して制御部２３に出力する。

【００２９】制御部２３は、画像データ処理部２２によ
って生成された複数の静止画についての圧縮済み画像デ
ータＤCPを連結することにより、ＭＰＥＧ−２形式のデ
ィジタル動画データを生成してモニターＭに表示する。
また、制御部２３は、直前に記憶させた基準データ量Ｄ
SV（圧縮済み画像データＤCPのデータ量）をＲＡＭ２４
から読み出し、最新に入力された圧縮済み画像データＤ
CPのデータ量と、読み出した基準データ量ＤSVとの差分
データ量ＤCBを演算する。さらに、制御部２３は、その
最新に入力した圧縮済み画像データＤCPのデータ量を新
たな基準データ量ＤSVとしてＲＡＭ２４に記憶させると
共に、演算した差分データ量ＤCBが、予め規定された許
容範囲内であるか否かを判別する。

【００３０】ＲＡＭ２４は、本発明における記憶部に相
当し、制御部２３から出力された圧縮済み画像データＤ
CPのデータ量を基準データ量ＤSVとして記憶すると共
に、後述する表面検査処理に際して判別基準として用い
る数値範囲データ（許容範囲に関するデータ）を記憶す
る。ＲＯＭ２５は、制御部２３の動作プログラムを記憶
する。ＦＤＤ２６は、例えば３．５インチのフロッピー
（登録商標）ディスク用ドライブ装置であって、予め作
成した基準データ量ＤSV（圧縮済み画像データＤCPのデ
ータ量）のフロッピーディスクからの読込みや、表面検
査装置２１内で生成した圧縮済み画像データＤCPのデー
タ量についての基準データ量ＤSVとしてのフロッピーデ
ィスクに対する書込みが可能に構成されている。

【００３１】一方、図４に示すように、磁性体蒸着装置
３１は、非磁性基材Ｔａの表面に磁性体（強磁性体金
属）を蒸着する装置であって、真空ポンプ３２ａによっ
て内部空間を真空状態に維持される真空槽３２の内部
に、供給側リール３３、冷却ドラム３４、電子銃３５、
シャッタ３６、ガス供給ノズル３７、巻取り側リール３
８およびディジタルビデオカメラ（ＣＣＤカメラ）Ｃが
配設されて構成されている。なお、ディジタルビデオカ
メラＣを真空槽３２の外部に配設してもよい。

【００３２】供給側リール３３には、例えば厚み７μ程
度のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる長
尺フィルム状の非磁性基材Ｔａが巻回されている。冷却
ドラム３４は、非磁性基材Ｔａを所定温度に冷却しつつ
磁性体蒸着位置に搬送する。電子銃３５は、図示しない
ルツボ内に供給されている強磁性体金属（例えばＣｏ）
の表面に電子ビーム３５ａを照射することにより、非磁
性基材Ｔａの表面に強磁性体金属を蒸着して強磁性金属
薄膜（磁性体層）を形成する。シャッタ３６は、非磁性
基材Ｔａに対する強磁性金属の蒸着開始初期および終期
において電子ビーム３５ａを遮ることにより、強磁性金
属の不要な蒸着を阻止する。ガス供給ノズル３７は、非
磁性基材Ｔａの表面に向けて例えば酸素主成分のガスを
供給することにより、強磁性金属の蒸着を安定化させ
る。ディジタルビデオカメラＣは、強磁性金属薄膜が形
成された非磁性基材Ｔａ（磁気テープＴ）の表面を撮像
して画像データＤｐを生成し、生成した画像データＤｐ
を表面検査装置２１に出力する。このディジタルビデオ
カメラＣは、光学系のレンズを備えており、磁気テープ
Ｔの表面を所定倍率（例えば数百倍〜数千倍）で拡大し
て撮像する。したがって、等倍撮影した画像データや、
ディジタル処理によって拡大した画像データとは異な
り、微小欠陥個所を含む画像データが高精度、かつ短時
間で撮像される。

【００３３】次いで、表面検査装置２１による磁気テー
プＴの表面検査方法について、図５を参照して説明す
る。

【００３４】まず、磁性体蒸着装置３１内のディジタル
ビデオカメラＣによって磁気テープＴの表面を撮像し、
画像データＤｐを生成する（ステップ５１）。次に、画
像データ処理部２２が、画像データＤｐを所定の圧縮ア
ルゴリズム（例えばＭＰＥＧ−２形式）に従ってデータ
圧縮することにより、圧縮済み画像データＤCPを生成し
て制御部２３に出力する（ステップ５２）。次いで、制
御部２３が、入力した圧縮済み画像データＤCPのデータ
量を基準データ量ＤSVとしてＲＡＭ２４に記憶させると
共に（ステップ５３）、直前に記憶させた基準データ量
ＤSVをＲＡＭ２４から読み出す（ステップ５４）。続い
て、最新に入力した圧縮済み画像データＤCPのデータ量
（ＲＡＭ２４に先に記憶させたデータ量）と、ＲＡＭ２
４から読み出した基準データ量ＤSVとの差分データ量Ｄ
CBを演算する（ステップ５５）。次に、演算した差分デ
ータ量ＤCBが、ＲＡＭ２４から読み出した数値範囲デー
タに対応する数値範囲内（すなわち許容範囲、一例とし
て３０ｋｂ以内）であるか否かを判別する（ステップ５
６）。

【００３５】この場合、生成されている磁気テープＴ
に、傷、ひび割れ、突起および陥没などが形成されてい
るとき、析出が発生しているとき、または異物が付着し
ているときには、その磁気テープＴを撮像した画像デー
タＤｐは、欠陥が発生していない磁気テープＴを撮像し
た画像データＤｐと比較して、同種の画素データの連続
性や規則性が低下する。このため、その際に撮像した最
新の圧縮済み画像データＤCPの生成時におけるデータ圧
縮率が低下する。したがって、欠陥個所が撮影されてい
ない画像データＤｐをデータ圧縮した基準データの基準
データ量ＤSV（圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ
量）と比較して大きいデータ量となる。この結果、基準
データ量ＤSVと、最新の圧縮済みサンプルデータＤCSの
データ量との差分量としての差分データ量ＤCBが大きく
なって許容範囲を外れることになる。なお、画像データ
Ｄｐの圧縮処理の際には、欠陥個所が数多く撮像されて
いるほど、また、撮像された欠陥個所が大きいほど、デ
ータ圧縮率が低下する。このため、許容範囲は、磁気テ
ープＴの製品規格として許容できる程度の欠陥によって
磁気テープＴが不良品と誤判別されないように予め設定
されている。

【００３６】差分データ量ＤCBが許容範囲を外れている
と判別したときには、制御部２３は、磁気テープＴの表
面に許容範囲を超える欠陥が発生しているものと判別し
（ステップ５７）、その判別結果をモニターＭに表示さ
せると共に、表面検査処理を終了して磁性体蒸着装置３
１を停止させる。これにより、一般的には、インカセッ
ト等の最終工程を経た状態で初めて電磁変換特性などに
よって磁気テープＴの特性を検査している従来の磁気テ
ープ検査方法と比較して、上流工程で磁気テープＴの良
否を検査できるため、磁気テープＴの生産歩留まりを大
幅に向上させることができる。一方、差分データ量ＤCB
が許容範囲内であると判別したときには、制御部２３
は、磁気テープＴの表面に欠陥が発生していないか、発
生していても許容範囲内の欠陥であると判別し（ステッ
プ５８）、ステップ５１に戻って、表面検査処理を続行
する。この後の表面検査処理においては、直前に行った
表面検査処理において許容範囲を外れた欠陥が存在しな
いと判別された画像データＤｐについての圧縮済みサン
プルデータＤCSのデータ量が基準データ量ＤSVとして使
用される。

【００３７】このように、この表面検査装置２１によれ
ば、磁気テープＴの表面を撮像した画像データＤｐをデ
ータ圧縮して圧縮済みサンプルデータＤCSを生成し、そ
の圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量と、直前に生
成した圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量（基準デ
ータ量ＤSV）との差分データ量ＤCBが許容範囲を外れた
ときに磁気テープＴに許容範囲を外れた欠陥が発生して
いると判別することにより、検査対象体の表面を撮影し
た写真に基づいて微小欠陥が発生しているか否かを目視
によって確認する従来の検査方法と比較して、磁気テー
プＴの良否を客観的に判別することができる。また、表
面検査装置２１によれば、画像データＤｐに対するデー
タ圧縮を１回実行するだけで、基準データ量ＤSVと比較
する対象の圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量を求
めることができるため、特開平１１−２４２７４６号公
報に開示された検査方法と比較して、検査時間を大幅に
短縮することができる。

【００３８】さらに、表面検査装置２１では、差分デー
タ量ＤCBが規定範囲内のデータ量か否かに基づいて良否
判別を行うため、磁気テープＴの表面検査のみならず、
配線パターンの断線や短絡の有無も検査することができ
る。この場合、良品のプリント基板を撮像した画像デー
タＤｐをデータ圧縮した圧縮済みサンプルデータＤCS
と、断線または短絡が発生しているプリント基板を撮像
した画像データＤｐをデータ圧縮した圧縮済みサンプル
データＤCSとでは、画素データ（ディジタルデータ）の
連続性や規則性が互いに異なるため、そのデータ圧縮率
も互いに異なる。このため、良品のプリント基板につい
ての圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量を基準デー
タ量ＤSVとして使用し、その基準データ量ＤSVと、検査
対象のプリント基板についての圧縮済みサンプルデータ
ＤCSのデータ量との差分データ量ＤCBを演算し、その差
分データ量ＤCBが許容範囲内のデータ量か否かを判別す
ることにより、検査対象のプリント基板の良否を迅速か
つ良好に判別することができる。

【００３９】なお、本発明は、上記した発明の実施の形
態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、本発明の
実施の形態における表面検査装置２１では、判別の直前
に生成してＲＡＭ２４に記憶させた圧縮済みサンプルデ
ータＤCSのデータ量を基準データ量ＤSVとして使用する
例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、予
め生成しておいた良品の磁気テープＴについての圧縮済
みサンプルデータＤCSのデータ量を基準データ量ＤSVと
してＦＤＤ２６を介してフロッピーディスクに予め記録
させ、表面検査処理時に、ＦＤＤ２６を介して読み込ん
だ基準データ量ＤSVをＲＡＭ２４に記憶させて、この基
準データ量ＤSVを用いて判別処理を行うこともできる。
さらに、本発明は、平滑であるべき検査対象における欠
陥有無の検査に限定されず、許容範囲内の微小凹凸が形
成されているべき検査対象（例えば磁気テープＴの裏
面）が、許容範囲を外れて過度に平滑となっているか否
かの検査にも適用することができる。この場合、正常に
面荒れしている検査対象についての圧縮済みサンプルデ
ータＤCSのデータ量よりも、過度に平滑されている検査
対象についての圧縮済みサンプルデータＤCSのデータ量
が小さくなるため、その欠陥の発生を確実に検出するこ
とができる。また、欠陥の程度に応じて数値範囲を多段
階に予め規定すると共にその多段階の数値範囲に対応さ
せて複数の次処理を予め規定しておくこともできる。か
かる構成を採用した場合、次に実行する処理を欠陥の程
度に応じて柔軟に規定することができる。さらに、表面
検査装置２１では、ＭＰＥＧ−２形式のディジタル動画
データを生成する過程において、その圧縮済みサンプル
データＤCSのデータ量と基準データ量ＤSVとの差分デー
タ量ＤCBを表面検査に用いる例について説明したが、本
発明はこれに限定されず、各種データ形式に従ったデー
タ圧縮方式を採用することができる。

【００４０】また、本発明におけるサンプル対象として
は、動画データ化、静止画データ化、または音声データ
化が可能な各種対象が含まれる。具体的には、ディジタ
ル静止画データを用いた次処理決定方法を好適に採用で
きる検査として、光磁気ディスクや光ディスクの製造時
におけるスパッタ処理後の表面平滑性検査、フロッピー
ディスク製造時における磁性体層形成後の欠陥有無検査
や平滑性検査、磁気媒体に対する読み書き用ヘッドに対
するメッキ処理後の表面荒れ検査やスパッタ処理後の表
面平滑性検査などが挙げられる。また、ディジタル動画
データを用いた次処理決定方法を好適に採用できる検査
としては、高速で移動する検査対象の表面検査が挙げら
れる。具体的には、本発明の実施の形態に示した磁気テ
ープＴの表面検査に加え、テープ基材に対するダイアモ
ンドライクカーボン（ＤＬＣ）層形成後の傷などの不良
個所有無の検査、磁気テープに対するトップコートやバ
ックコート塗布後における塗布ムラ検査、テープ基材の
オリゴマー析出有無の検査、磁気テープに対する磁性体
塗布後（バインダー後）の表面平滑性検査などが挙げら
れる。さらに、ディジタル音声データを用いた判別処理
に適した検査（制御）としては、鋳造製品に対する検打
音響試験によるクラック有無の検査や、音声感知式の防
犯システムなどが挙げられる。

【００４１】加えて、本発明における次処理決定方法
は、本発明の実施の形態に示した表面検査処理などの各
種検査処理に対する適用のみならず、広く適用が可能で
ある。例えば、定地撮影したディジタル動画データまた
はディジタル静止画データに基づく気象観測や、惑星の
消滅や恒星の誕生などを観測する天体観測にも適用でき
る。また、上空から見た地形（サンプル対象）を上空写
真として撮像し、その上空写真の画像データをデータ圧
縮したデータ量と、過去に撮影した上空写真の画像デー
タをデータ圧縮した基準のデータ量との差分データを求
め、その差分データ量に応じて、所定処理として新たな
地図作製処理の実行可否を決定することもできる。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の次処理決
定方法によれば、所定のデータ形式に従ってデータ圧縮
したサンプルデータのデータ量と基準データのデータ量
との差分データ量が、所定処理に予めそれぞれ対応させ
た複数の数値範囲のいずれに属するかを特定し、特定し
た数値範囲に対応する所定処理を次に実行する次処理と
して決定することにより、オペレータの主観によって次
処理（例えば良否判別）を決定する方法とは異なり、次
処理を客観的かつ短時間で決定することができる。

【００４３】また、請求項２記載の次処理決定方法によ
れば、同種のディジタルデータが連続するほど、または
ディジタルデータの規則性が高いほどデータ量を圧縮可
能なデータ圧縮手法を所定の形式として用いてデータ圧
縮を行うことにより、サンプル対象の変化量をサンプル
データにおけるデータ量の変化に精度良く反映させるこ
とができる。

【００４４】また、請求項３記載の次処理決定方法によ
れば、サンプル対象を撮像した画像データでサンプルデ
ータを構成し、サンプル対象を撮像した際の画素データ
でディジタルデータを構成したことにより、撮像対象体
の画像変化に応じて差分データ量が変化するため、その
差分データ量の変化をトリガーとして、次処理を決定す
ることができる。

【００４５】さらに、請求項４，５記載の次処理決定方
法によれば、基準サンプル対象を経時的に変更すること
により、基準サンプル対象がダイナミックに変化する場
合であっても、経時的に変更した基準サンプル対象につ
いての基準データに基づいて次処理を迅速かつ適正に決
定することができる。

【００４６】また、請求項６記載の検査方法によれば、
所定のデータ形式に従ってデータ圧縮した画像データの
データ量と基準撮像画像についての基準データのデータ
量との差分データ量が、所定処理に予めそれぞれ対応さ
せた複数の数値範囲のいずれに属するかを特定し、特定
した数値範囲に対応する所定処理を次に実行することに
より、検査対象体の良否を判別することができると共
に、その良否判別結果に適した所定処理を客観的かつ迅
速に実行することができる。

【００４７】この場合、基準検査面を所定倍率で光学的
に拡大して撮像することにより基準データおよび画像デ
ータを生成することにより、等倍で撮像した画像データ
や、ディジタル処理によって拡大処理した画像データを
用いる検査方法と比較して、微小欠陥の有無を高精度か
つ短時間で検査することができる。

【００４８】また、長尺フィルム状の非磁性基材、また
は非磁性基材に磁性金属薄膜が形成された金属薄膜型磁
気テープを検査対象体として、そのテープ面における微
少欠陥を検査することにより、例えば、磁気テープの表
面を撮影した写真に基づいて微小欠陥が発生しているか
否かを目視によって確認する従来の検査方法と比較し
て、金属薄膜型磁気テープ等の良否を、客観的かつ短時
間で、しかも容易に検査することができる。

【００４９】さらに、長尺フィルム状の非磁性基材を検
査対象体として、その裏面に規定範囲内の微少凹凸が形
成されているか否かを検査することにより、目視による
検査が困難な非磁性基材の面荒れ度検査を確実かつ短時
間で、しかも容易に行うことができる。

【００５０】また、請求項７記載の検査装置によれば、
制御部が、記憶部に記憶されている数値範囲のいずれに
演算部によって演算された差分データ量が属するかを特
定することにより、検査対象における欠陥の有無や、欠
陥の程度を判別することができ、また、特定した数値範
囲に対応する所定処理を次処理として実行することによ
り、欠陥の有無や程度についての判別結果に適した処理
を確実かつ短時間で実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る判別装置１の構成を
示すブロック図である。

【図２】判別装置１による次処理決定処理のフローチャ
ートである。

【図３】本発明の他の実施の形態に係る表面検査装置２
１および磁性体蒸着装置３１の構成を示すブロック図で
ある。

【図４】検査対象の磁気テープＴを製造する磁性体蒸着
装置３１のブロック図である。

【図５】表面検査装置２１による表面検査処理のフロー
チャートである。

【符号の説明】

１ 判別装置 ２ サンプルデータ生成部 ３ データ処理部 ４ 記憶部 ５ 差分データ量演算部 ６ 判別部 １１ サンプルデータＤｓの生成処理 １２ データ圧縮処理 １３ 差分データ量ＤCBの演算処理 １４ 差分データ量ＤCBが属する数値範囲の特定処理 １５〜１７ 次処理の実行 ２１ 表面検査装置 ２２ 画像データ処理部 ２３ 制御部 ２４ ＲＡＭ ２６ ＦＤＤ ３１ 磁性体蒸着装置 Ｃ ディジタルビデオカメラ ＤCB 差分データ量 ＤCP 圧縮済み画像データ ＤCS 圧縮済みサンプルデータ Ｄｐ 画像データ Ｄｓ サンプルデータ ＤSV 基準データ量 Ｓｃ 制御信号 Ｔ 磁気テープ Ｔａ 非磁性基材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5B057 AA01 BA02 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB18 CE20 CG01 CH18 DB02 DB09 DC30 DC33 DC36 5L096 AA06 BA03 CA02 CA14 EA24 FA22 HA07 JA24 KA07

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サンプル対象をディジタルデータで構成
   されるサンプルデータに数値化し、 前記サンプルデータを所定のデータ形式に従ってデータ
   圧縮し、 そのデータ圧縮したサンプルデータのデータ量と、前記
   サンプル対象と同じ手法に従って基準サンプル対象に対
   して数値化およびデータ圧縮を行って生成した基準デー
   タのデータ量との差分データ量を求め、 予め決められた複数の数値範囲のいずれに前記差分デー
   タ量が属するかを特定し、 その特定した数値範囲に予め対応させられた所定処理を
   次に実行する次処理として決定することを特徴とする次
   処理決定方法。
2. 【請求項２】 同種の前記ディジタルデータが連続する
   ほど、または前記ディジタルデータの規則性が高いほど
   データ量を圧縮可能なデータ圧縮手法を前記前記所定の
   形式として用いて前記データ圧縮を行うことを特徴とす
   る請求項１記載の次処理決定方法。
3. 【請求項３】 前記サンプルデータは、前記サンプル対
   象を撮像した画像データで構成され、前記ディジタルデ
   ータは、前記サンプル対象を撮像した際の画素データで
   構成されていることを特徴とする請求項１または２記載
   の次処理決定方法。
4. 【請求項４】 前記基準サンプル対象を経時的に変更す
   ることを特徴とする請求項３記載の次処理決定方法。
5. 【請求項５】 直前に撮像した前記サンプル対象につい
   ての前記データ圧縮したサンプルデータを前記基準デー
   タに順次経時的に変更することを特徴とする請求項４記
   載の次処理決定方法。
6. 【請求項６】 検査対象体を撮像して画素データで構成
   される画像データに数値化し、当該画像データに基づい
   て次処理を決定して実行する検査方法であって、 同種の前記画素データが連続するほど、または前記画素
   データの規則性が高いほどデータ量を圧縮可能な所定の
   データ形式に従って前記画像データをデータ圧縮し、 そのデータ圧縮した画像データのデータ量と、前記検査
   対象体と同じ手法に従って基準撮像画像に対して数値化
   およびデータ圧縮を行って生成した基準データのデータ
   量との差分データ量を求め、 予め決められた複数の数値範囲のいずれに前記差分デー
   タ量が属するかを特定し、 その特定した数値範囲に予め対応させられた所定処理を
   次に実行する次処理として決定した後に実行することを
   特徴とする検査方法。
7. 【請求項７】 画像データ内における同種の画素データ
   が連続するほど、または前記画像データ内における前記
   画素データの規則性が高いほどデータ量を圧縮可能な所
   定のデータ形式に従って、検査対象体を撮像して数値化
   した画像データをデータ圧縮するデータ処理部と、 所定処理に予めそれぞれ対応させた複数の数値範囲、お
   よび前記検査対象体と同じ手法に従って基準撮像画像に
   対して数値化およびデータ圧縮を行って生成した基準デ
   ータのデータ量を記憶する記憶部と、 前記データ処理部によってデータ圧縮された前記画像デ
   ータのデータ量と、前記記憶部に記憶されている前記基
   準データのデータ量との差分データ量を演算する演算部
   と、 前記記憶部に記憶されている前記数値範囲のいずれに前
   記演算部によって演算された前記差分データ量が属する
   かを特定すると共に当該特定した数値範囲に対応する前
   記所定処理を次に実行する次処理として実行する制御部
   とを備えていることを特徴とする検査装置。