JP2002250698A - 平面表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平面表示パネルを高分解能のラインセン
サを用いて欠陥検査し、欠陥の程度を詳細かつ精度よく
検証することができ、かつ、検査時間を短縮することが
できる平面表示パネルの欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 液晶セル１の各画素Ｒ，Ｇ，Ｂより十分
に小さい小領域を検出視野Ａとして一直線上に配列され
た受光素子１２ａからなる複数のラインセンサ１２と、
液晶セル１とラインセンサ１２との相対位置を受光素子
１２ａの配列方向Ｘに直行する方向Ｙに走査させる走査
部９と、このラインセンサ１２に接続されて受光素子１
２ａからの輝度データＤ₀ を演算処理することにより液
晶セル１の欠陥を検査する取込処理部１９とを有する平
面表示パネルの欠陥検査装置であって、前記取込処理部
１９が各ラインセンサ１２毎にその走査方向Ｙにおける
位置ずれＹ₁ …を補正するセンサ位置補正機能部１９ｃ
を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、平面表示パネル
の欠陥検査装置、特に、カラー表示用の液晶セルやプラ
ズマディスプレイパネルなどにおける欠陥検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、各種の電子機器の表示装置とし
て、平面表示パネルを用いる場合が多くとりわけカラー
表示するものが多く用いられている。これに伴って、表
示装置の製造工程のより早い時期に平面表示パネルの輝
度分布や画像欠陥や異物の混入などの欠陥を検出するこ
とが求められており、この検査工程を自動的に行うため
の種々の平面表示パネルの欠陥検査装置が発明され、実
用化に至っている。

【０００３】そして、近年は平面表示パネルのより高い
レベルの欠陥検知を行うことが求められている。つま
り、１つの画素の全体が輝点や原点になっていることを
検知するだけにとどまらず１つの画素の中の部分的な欠
陥や異物の混入の混入によって生じる欠陥が発生してい
る場合においても、その正確な欠陥の程度を検証するこ
とが求められている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、平面
表示パネルの１画素に対して十分に高い分解能を有する
ラインセンサが提供されるに至っているが、このような
高分解能のラインセンサで、平面表示パネルの全体を検
出視野に含めることができるものはなかった。このた
め、１つのラインセンサを走査させる取込動作を、その
受光素子の配列方向に移動させながら複数回行うことが
考えられるが、取込動作を複数回行うことにより、欠陥
検査に多くの時間を必要とすることが問題となる。

【０００５】また、より高分解能になればなるほど、ラ
インセンサの取付け精度や取込動作時の精度が問題とな
る。つまり、複数のラインセンサをその受光素子の配列
方向に並べて配列し、一回の走査によって平面表示パネ
ルの欠陥検査装置の全体を検出するように構成した場合
には、各ラインセンサ間の位置合わせ精度が問題となっ
て、折角のラインセンサの高分解能が十分に活かせない
ことが懸念される。

【０００６】さらに、高分解能のラインセンサを複数並
べる場合には、ラインセンサの検出視野を厳密に一直線
状に配列することが不可能となる場合もあった。例えば
駆動回路や取付け位置の関係で、ラインセンサの幅が全
検出視野の幅よりも広くなる場合にはラインセンサを千
鳥状に配列する必要が生じ検出視野も千鳥状にならざる
を得ないことがあった。

【０００７】これらの問題に加えて、高分解能のライン
センサを用いた場合には、信号の量が飛躍的に多くなる
ので、解像度が高くなればなるほど信号処理のために多
大の時間を必要とすることが懸念され、検査結果を保存
するのに、より詳細な情報を蓄積するための膨大な記憶
装置が必要となる。このため、肥大化した検査結果を信
号処理するために高速演算を実行可能とする大容量の専
用の情報処理装置を必要としていた。

【０００８】しかしながら、一つの平面表示パネルをよ
り高速に検査して検査時間を短縮することが求められて
いる。つまり、高分解能化と高速処理の両立を達成する
ことが望まれている。

【０００９】この発明は、平面表示パネルを高分解能の
ラインセンサを用いて欠陥検査し、欠陥の程度を詳細か
つ精度よく検証することができ、かつ、検査時間を短縮
することができる平面表示パネルの欠陥検査装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の平面表示パネルの欠陥検査装置は、平面表
示パネルの各画素より十分に小さい小領域を検出視野と
して一直線上に配列された受光素子からなる複数のライ
ンセンサと、平面表示パネルとラインセンサとの相対位
置を受光素子の配列方向に直交する方向に走査させる走
査部と、このラインセンサに接続されて受光素子からの
輝度データを演算処理することにより平面表示パネルの
欠陥を検査する取込処理部とを有する平面表示パネルの
欠陥検査装置であって、前記取込処理部が各ラインセン
サ毎にその走査方向における位置ずれを補正するセンサ
位置補正機能部を有することを特徴としている（請求項
１）。

【００１１】上記請求項１に記載の発明においては、１
枚の平面表示パネルを複数のラインセンサを用いて検査
するので、必要な高解像度の欠陥検査を高速に行うこと
ができる。また、取込処理部において各ラインセンサ毎
にその走査方向における位置ずれが補正されるので、各
ラインセンサが一直線状に並んでいると見なして後の処
理を行うことができ、それだけ、後の信号処理を簡素に
行うことができる。さらに、走査方向のずれが正確に補
正されることにより、ラインセンサの高分解能を十分に
活かした平面表示パネルの欠陥検査を行うことができ
る。つまり、高分解能化と高速処理の両立を達成するこ
とができる。

【００１２】そして、この発明の具体的手段として、前
記センサ位置補正機能部が基準となる全体の取込タイミ
ングに対して時間的な遅れを設けた個々のラインセンサ
の取込タイミングを生成することにより、走査方向にお
ける位置ずれを補正する取込タイミング補正部を有する
場合（請求項２）には、取込タイミング補正部の構成を
簡素化することができると共に、センサによって検出さ
れる輝度データに補正を加える必要がないので、補正に
伴う精度低下を起こすことがない。

【００１３】また、この発明のさらに具体的手段とし
て、前記取込タイミング補正部が、平面表示パネルの取
込に先立ってラインセンサの受光素子に平行に配置され
た平面表示パネルの取込を行なうことにより求められ
る、各ラインセンサの取込タイミングの位置ずれ量を記
録するタイミング制御指示レジスタを有する場合（請求
項３）には、各ラインセンサの実際の位置ずれ量を実測
して求めることができ、現状にあわせた厳密な位置ずれ
補正を行うことができる。

【００１４】さらに、隣合う二つのラインセンサの検出
視野によって検出される小領域に重なり部分を設ける場
合（請求項４）には、ラインセンサの受光素子の配列方
向に生じる僅かな位置ずれによって検出できない部分が
生じることを防止できる。また、ラインセンサの取付け
位置の微調整を容易に行うことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】発明の実施の形態を、図面を参照
しながら説明する。図１〜図１０は、この発明の一実施
例を示すもので、まず、図１はこの発明の平面表示パネ
ルの欠陥検査装置（以下、単に欠陥検査装置という）の
全体構成を概略的に示す図である。図１において、１は
検査対象となる平面視矩形状の平面表示パネルで、例え
ば液晶表示装置の液晶セルで、その平面構造は、例えば
図２（Ａ）に模式的に示すように、複数（多数）の矩形
状の画素Ｒ（赤），Ｇ（緑）、Ｂ（青）を縦横に配列し
てなるもので、これらの画素の大きさは、例えばＸ方向
の長さが６０μｍ、Ｙ方向の長さが２００μｍである。
そして、ＢＭは、図８にも示すように、発光に寄与しな
いブラックマトリックスで、各画素Ｒ，Ｇ，Ｂを区画す
るように設けられている。また、前記液晶セル１の断面
構造は、図２（Ｂ）に示すように、上下２枚のガラス板
２，３間に液晶４を設けるとともに、ガラス板２，３の
上面、下面にそれぞれ上偏向板５、下偏向板６を設けて
なる。このように構成された液晶セル１は水平に保持さ
れる。なお、バックライト光源は、後述する欠陥検査装
置本体７側に設けられている。

【００１６】再び図１において、７は欠陥検査装置本体
で、大きくは、ラインセンサユニット８と、走査部の一
例としてラインセンサユニット８を水平に保持し直線的
に移動させるユニット載置フレーム９とからなる。な
お、本例のユニット載置フレーム９は、図５（Ａ）に示
すように、支点９ａを中心に全体の据え付け角度を微調
整する角度アジャスタ９ｂが設けられている。これはす
なわち図５（Ｂ）に示されるように、搬送された液晶セ
ル１に対して、ラインセンサユニット８の検出視野Ａが
斜めに位置するときにこれを補正する調整機構である。

【００１７】前記ラインセンサユニット８は、保持部材
８ａに複数のカメラ１０Ａを垂直に配置してなる垂直ラ
インセンサユニット８Ａと、保持部材８ｂに複数のカメ
ラ１０Ｂを垂直方向のカメラ１０Ａに対してスキャン方
向Ｙにおいて所定の角度θだけ傾けた方向に配置してな
る斜めラインセンサユニット８Ｂとからなる。

【００１８】より詳しくは、前記カメラ１０Ａ，１０Ｂ
はそれぞれ筒体１１Ａ，１１Ｂの上方側にラインセンサ
１２を備えるとともに下方に検出視野を拡大するための
レンズ１３Ａ，１３Ｂを備えている。これらのカメラ１
０Ａ，１０Ｂは、常に、液晶セル１の同じ座標（同じポ
イント）を検出できるように、筒体１１Ａ，１１Ｂの長
さやレンズ１３Ａ，１３Ｂの焦点距離が設定されるよう
にしてある。

【００１９】そして、ラインセンサ１２は、図３に示す
ように、縦横の寸法が例えば７μｍ×７μｍの大きさの
モノクロの受光素子１２ａを例えば７５００個一直線状
に配置してなるものである。また、例えば垂直ラインセ
ンサユニット８Ａにおけるラインセンサ１２は、前記レ
ンズ１３Ａを通して液晶セル１を観察した場合、個々の
受光素子１２ａは、図６に示すように、縦横の寸法が各
画素Ｒ，Ｇ，Ｂより十分に小さい例えば１２μｍ×１２
μｍの検出視野Ａ₁ ……（総称するときはＡで表す）を
有する。

【００２０】そして、図４（Ａ）に示すように、垂直ラ
インセンサユニット８Ａは、前記構成からなるカメラ１
０Ａを例えば６台、それらのラインセンサ１２が複数の
受光素子１２ａの配列方向がＸ方向と一致するようにし
て保持部材８ａにほゞ一直線状に並設して構成される。
なお、１２１，１２２…はＸ方向に配列された各カメラ
１０Ａのラインセンサ１２による検出視野を示してい
る。同様に、図示は省略するが、斜めラインセンサユニ
ット８Ｂは、前記構成からなるカメラ１０Ｂを例えば４
台、それらのラインセンサ１２が複数の受光素子１２ａ
の配列方向がＸ方向と一致するようにして保持部材８ｂ
に一直線状に並設して構成される。

【００２１】なお、後で説明するように、垂直ラインセ
ンサユニット８Ａは、液晶セル１の輝度を検出するもの
であり、斜めラインセンサユニット８Ｂは、垂直ライン
センサユニット８Ａと共働して、図８に示すように、ガ
ラス板２と上偏向板５との間の異物１４ｂまたはガラス
板３と下偏向板６との間の異物１４ｃ（これらの異物を
偏ゴミという）を検出するものである。なお、これらの
偏ゴミ１４ａ，１４ｂの検出原理については後述する。

【００２２】前記ユニット載置フレーム９は、上記構成
のラインセンサユニット８を、そのＸ方向（センサ配列
方向）の両端において水平に保持し、これをＹ方向に直
線的に移動させることにより、平面表示パネル１とライ
ンセンサ１２との相対位置を受光素子１２ａの配列方向
Ｘに直交する方向Ｙ（センサ走査方向）に走査させるも
のである。なお、本発明はセンサ配列方向Ｘとセンサ走
査方向Ｙがちょうど９０°になっていることが望ましい
が、これに限定されるものではなく、本明細書における
直交には９０°から少しずれた角度も含まれる。

【００２３】そして、図１において、１５はラインセン
サユニット８を動作させるためのセンサ駆動ユニット、
１６はセンサ載置フレーム９を動作させ、ラインセンサ
ユニット８を移動制御するためのフレーム駆動ユニッ
ト、１７は液晶セル１に所定のパターンを表示させるた
めの信号発生ユニットである。

【００２４】より詳しくは、前記フレーム駆動ユニット
１６は、センサ載置フレーム９を制御し、後述するクロ
ック同期信号Ｃ（図４参照）に合わせて指示された速度
でラインセンサユニット８を平行移動させる位置制御ユ
ニット１６ａと、ラインセンアユニット８の正確な位置
検出を行なう位置検出ユニット１６ｂとからなる。例え
ば、位置制御ユニット１６ａは、一つのクロック同期信
号Ｃに対して０．５μｍの移動距離を保つように等速度
の駆動を行なう。そして、位置検出ユニット１６ｂは、
ラインセンサユニット８が液晶セル１上を移動するとき
に全体の取込タイミングを合わせるために、所定の間隔
（例えば１２μｍ）毎に基準となるスキャン同期信号Ｓ
を出力する。

【００２５】また、図１において、１８は前記各ユニッ
ト１５〜１７を制御するための制御信号を出力する情報
処理装置（以下、パソコンという）、１９はパソコン１
８に接続されてパソコン１８からの制御信号を受けると
ともに前記位置検出ユニット６ｂからの信号Ｓ，Ｃおよ
びラインセンサ１２からの輝度データＤ₀ を入力して画
像処理し、液晶セル１の各部の輝度を示す画像データＤ
をパソコン１８に出力する取込処理部である。

【００２６】前記取込処理部１９は、各ラインセンサ１
２の輝度データＤ₀ のうち各画素に対応するものを割り
付けるセンサ出力割付機能部１９ａ、各画素に対応しな
い部分をブラックマトリックスとして設定するブラック
マトリックス設定機能部１９ｂ、各ラインセンサ１２の
位置補正を行なうセンサ位置補正機能部１９ｃ、各画素
内に生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部１９
ｄおよび前記欠陥部の深さ方向の位置を検知する偏ゴミ
検知機能部１９ｅを備えている。

【００２７】前記取込処理部１９は、例えば図６に示す
ように構成されている。すなわち、取込処理部１９は、
取込ボード２０とこれに接続される演算処理部２１とか
らなり、例えば、一つの演算処理部２１に対して適宜数
（図示例は１枚）の取込ボード２１が接続されている。
そして、取込ボード２０は、ラインセンサ１２およびセ
ンサ載置フレーム９の位置検出ユニット１６ｂに接続さ
れてラインセンサ１２を制御するとともに、このライン
センサ１２から得られた画像データから液晶セル１の検
査に重要な情報だけを抽出する信号処理を行う。また、
演算処理部２１は、ＣＰＵ２１ａおよびメモリ２１ｂを
備えている。

【００２８】そして、前記取込ボード２０は、例えば取
込タイミング補正部２２、シェーディング補正部２３、
平均化処理部２４および欠陥記録部２５を備えている。
また、２６は取込ボード２０を演算処理部２１に接続す
るための入出力制御部である。

【００２９】前記取込タイミング補正部２２は、例えば
タイミング制御回路２２ａおよびタイミング制御指示レ
ジスタ２２ｂを備えている。そして、タイミング制御回
路２２ａは、位置検出ユニット１６ａから得られる基準
となる全体の取込タイミングとしてのスキャン同期信号
Ｓにタイミング制御指示レジスタ２２ｂに示される時間
だけの遅延時間を設けて、各ラインセンサ１２毎の取込
タイミングを示すスキャン同期信号Ｓ’の生成を行う。
なお、この実施例では遅延時間をクロック信号Ｃのカウ
ント数として表現するので、タイミング制御指示レジス
タ２２ｂには数値が入力される。すなわち、前記取込タ
イミング補正部２２が前記カメラ位置補正機能部１９ｃ
の要部を構成する。

【００３０】前記シェーディング補正部２３は、例えば
シェーディング補正回路２３ａおよびシェーディング補
正用メモリ２３ｂを備えている。そして、シェーディン
グ補正用メモリ２３ｂは、ラインセンサ１２の各受光素
子１２ａによる受光特性のばらつきを補正する補正値を
記憶する。また、シェーディング補正回路２３ａは、ラ
インセンサ１２から入力される輝度の測定値データＤ₀
をシェーディング補正用メモリ２３ｂに記憶された補正
値によって補正処理することによりその零レベルおよび
最大値レベルを補正する。そして、補正された輝度の生
画像データＤ₁は、平均化処理部２４および欠陥記録部
２５に出力される。

【００３１】前記平均化処理部２４は、例えば平均化演
算部２４ａおよび平均化指示メモリ２４ｂを備えてい
る。そして、平均化指示メモリ２４ｂは、ラインセンサ
１２によって測定される生画像データＤ₁ のうち液晶セ
ル１のブラックマトリックスＢＭを除く部分を指示す
る。また、平均化演算部２４ａは、平均化指示メモリ２
４ｂに記録された指示にしたがって液晶セル１の画素
Ｒ，Ｇ，Ｂ毎に輝度の平均値を算出し、平均化画像デー
タＤ₂ として出力する。

【００３２】さらに、前記平均化指示メモリ２４ｂに
は、各受光素子１２ａが輝度を検出する検出視野Ａの全
体が一つの画素Ｒ（もしくはＧ、またはＢ）内に入る場
合のみを平均化の対象として、それ以外の部分をブラッ
クマトリックスＢＭとする指示データを記憶する。すな
わち、平均化処理部２４が前記センサ出力割付機能部１
９ａおよびブラックマトリックス設定機能部１９ｂの要
部を構成する。

【００３３】前記欠陥記録部２５は、例えば欠陥検出処
理部２５ａ、欠陥検出指示メモリ２５ｂおよび詳細記録
メモリ２５ｃを備えている。そして、欠陥検出処理部２
５ｂは、ラインセンサ１２によって測定される生画像デ
ータＤ₁ のうち液晶セル１のブラックマトリックスＢＭ
を除いた各画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内に相当する部分を指示す
る。また、欠陥検出処理部２５ａは、欠陥検出処理部２
５ｂに記録された画素内に相当する部分において、生画
像データＤ₁ が所定の閾値を超えた値となる場合にこの
生画像データＤ₁ をそのＸ方向およびＹ方向の位置座標
ｘ，ｙとともに詳細記録メモリ２５ｃに記録する機能を
有する。すなわち、欠陥記録部２５が前記欠陥検知機能
部１９ｄの要部を構成する。

【００３４】前記入出力制御部２６は、少なくとも演算
処理部２１からの指示にしたがって、タイミング制御指
示レジスタ２２ｂ、シェーディング補正メモリ２３ｂ、
平均化指示メモリ２４ｂ、欠陥検出指示メモリ２５ｂに
対して各設定値を書き込む機能と、生画像データＤ₁ ，
平均化画像データＤ₂ および詳細記録メモリ２４ｃに記
録された欠陥部詳細データＤ₃ を選択的に読み出す機能
を備えている。そして、この実施例の入出力制御部２６
には、画像データＤ₁ 〜Ｄ₃ を演算処理部２１内のメモ
リ１１ｂにＤＭＡ転送する機能を備えている。

【００３５】すなわち、この発明の欠陥検査装置は、取
込ボード２０が、ラインセンサ１２からの生画像データ
Ｄ₁ をそのまま演算処理部２１側に出力するのではな
く、液晶セル１を構成する画素Ｒ，Ｇ，Ｂ内にそれぞれ
位置する部分の測定値を、平均化処理部２４（ハードウ
ェア）において平均化演算を行って平均化画像データＤ
₂ を求め、通常はこの平均化画像データＤ₂ だけを演算
処理部２４に出力するようなハードウェア構成を備えて
いる。

【００３６】したがって、ラインセンサ１２の解像度を
液晶セル１の画素に対して十分に細かく設定したとして
も演算処理部２１に対して膨大なデータを転送する必要
も、演算処理部２１が膨大なデータを記憶したり、ソフ
トウェアによる演算処理を行なう必要もなくすことがで
きる。例えば、ＸＧＡ（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｇｒａｐｈ
ｉｃｓ Ａｒｒａｙ：１０２４×７６８ドッド表示）程
度の液晶セル１を検査した場合にも、全平均化画像デー
タＤ₂ を合わせてを２００万程度に抑えることができ
る。

【００３７】また、何らかの欠陥を検知した場合には、
詳細記録メモリ２５ｃが欠陥の生じた部分（輝点、滅
点、不純物の混入部分）の生画像データＤ₁ だけを、そ
の座標ｘ，ｙとともに記録しており、取込ボード２０は
この詳細記録メモリ２５ｃから欠陥部詳細データＤ₃ を
演算処理部２１に出力する機能を有している。

【００３８】したがって、この欠陥部詳細データＤ₃ を
解析することにより、演算処理部２１は、液晶セル１の
各画素Ｒ，Ｇ，Ｂに対して十分に細かい解像度で欠陥を
検査することができる。すなわち、一つの画素Ｒ，Ｇ，
Ｂ内の所定部分において生じている輝度の不均一や、不
純物の混入状態やその程度などを詳細に測定することが
可能となる。

【００３９】そして、前記演算処理部２１は、メモリ２
１ｂに記録されている各データＤ₂，Ｄ₃ を解析し、液
晶セル１の欠陥の程度を検証し、検査結果データＤを例
えば前記パソコン１８に出力する機能を有している。と
りわけ、前記欠陥部詳細データＤ₃ を解析し、これが輝
点や滅点に相当するものか、異物（ゴミ）の混入による
ものかを分析し、その欠陥の程度（欠陥数、欠陥ランク
など）に応じた多段階の評価を付ける機能を有してい
る。

【００４０】また、ゴミの混入による欠陥が生じている
場合には、垂直ラインセンサユニット８Ａから得られた
欠陥部詳細データＤ₃ と斜めラインセンサユニット８Ｂ
から得られた欠陥部詳細データＤ₃ とを比較して、ゴミ
の深さ位置を示すデータを検査結果データＤとして出力
する。

【００４１】これによって、パソコン１８側では偏ゴミ
によって生じている欠陥が単に液晶セル１の表面や裏面
に付着した程度のゴミであるのか、内部に潜入したもの
であるのかを知ることができる。

【００４２】なお、パソコン１８の処理速度が早い場合
には、前記ユニット１５〜１７や取込処理部１９の機能
の一部または全部を、パソコン１８に内蔵させるように
してもよい。

【００４３】次に、上記欠陥検査装置の作動について、
図５および図８をも参照しながら詳細に説明する。今、
製造ラインから複数の液晶セル１が一つのロットとして
供給されるものとし、これらを順次検査する手順につい
て説明する。

【００４４】図７は、前記欠陥検査装置による検査手順
の一例を示すもので、まず、製造ラインから供給される
第１番目の液晶セル１が欠陥検査装置本体７のバックラ
イト光源の上方にローディング（載置）される（ステッ
プＳ１）。このとき、図２に示した液晶セル１のＸ方向
を、ラインセンサユニット８におけるラインセンサ１２
の配列方向Ｘと一致させる。

【００４５】前記ローディングされた液晶セル１は、そ
の載置位置が欠陥検査に適切な例えば精度５μｍの許容
範囲内のずれに収まるように、自動的にアライメント
（位置補正）される（ステップＳ２）。

【００４６】前記アライメントされた液晶セル１に形成
されている接触電極（電極パターン）に対して、信号発
生ユニット１７に接続された接触電極（電極ピン）をプ
ロービング（接続）する（ステップＳ３）。なお、この
実施例では、平面表示パネルの一例として液晶セル１を
例示しているので、電極パターンと電極ピンとを接続す
るようにしているが、平面表示パネルが液晶モジュール
やプラズマディスプレイなどの場合にはコネクタの接続
に置き換えることができることはいうまでもない。

【００４７】なお、この実施例のように、液晶セル１の
検査を行う場合には、裏面にバックライトを設けてある
が、反射型の液晶セル１の場合には、バックライトに代
えて液晶セル１の裏面に光反射板を設け、ラインセンサ
１２側に光源を設ける。

【００４８】前記プロービングされた液晶セル１に対し
て、信号発生ユニット１７から適宜の電力および電気信
号を供給し、液晶セル１に所定の検査パターンを表示さ
せる（ステップＳ４）。前記検査パターンは、画素Ｒ，
Ｇ，Ｂのそれぞれの点灯、全色（白色）点灯、黒色など
種々考えられるが、例えば、ロットの最初（第１番目）
の液晶セル１を検査する場合には、液晶セル１の周囲１
ドットと、中心を通る縦と横の１ドットの白線（赤、
緑、青の３画素の全てを点灯）を表示した田字型のパタ
ーンを表示させることができる。

【００４９】そして、前記液晶セル１は、ロットの最初
（第１番目）の液晶セル１であるので、ステップＳ５に
おいてＹＥＳ方向に進み、プレスキャンおよび原点確認
が行われる（ステップＳ６）。ここでいうプレスキャン
は、本測定の前に行うスキャンのことである。すなわ
ち、前記検査パターンを表示した状態で、ラインセンサ
ユニット８をスキャン方向Ｙに移動させて、各ラインセ
ンサ１２からの輝度データＤ₀ を取り込み、液晶セル１
の全体を読み込んで同時に液晶セル１の大きさ、画素
数、ブラックマトリックスＢＭの大きさなどを確認する
のである。また同時に、液晶セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂの
開始端部である原点位置を確認（原点確認）する。

【００５０】前記原点確認について、説明の便宜上、垂
直ラインセンサユニット８Ａについて述べる。図９に示
すように、ホームポジションに位置するラインセンサユ
ニット８を矢印Ｙ方向に移動させ、垂直ラインセンサユ
ニット８Ａの６個のラインセンサ１２の検出視野１２１
〜１２６（１２５，１２６は図示していない）で、液晶
セル１をスキャンしたとき、ホームポジションからどれ
だけ移動したときに液晶セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂからの
光を最初に検出するかを確認する。そして、この確認し
た位置を検査開始点（原点位置）ＳＰとして記録する、
この原点位置ＳＰは、ラインセンサユニット８を移動さ
せるためにフレーム駆動ユニット９に供給されるクロッ
ク同期信号Ｃのパルス数または検出タイミングによって
記録される。

【００５１】ところで、前記垂直ラインセンサユニット
８Ａの６個のラインセンサ１２による検出視野１２１〜
１２６は、保持部材８ａに対してその配列方向Ｘにおい
て全て（この場合６個）が、正しく一直線状になるよう
に取り付けられ、一つの一直線を形成するように配列さ
れるのが理想的ではあるが、保持部材８ａなどにおける
加工寸法誤差や取付け誤差などによって、配列状態が図
９に示すように、スキャン方向Ｙにおいて多少の凸凹が
生じ、配置状態にバラツキが生じている。

【００５２】ちなみに、図示例では、検出視野１２２が
スキャン方向Ｘにおいて最も突出し、以下、１２４、１
２１，１２３の順に後退している。このような状態で
は、検出視野１２１〜１２６を有する複数のラインスキ
ャナ１２における検出タイミングにズレが生じ、全ての
ラインセンサ１２が前記原点位置ＳＰ（すなわち、基準
となる全体の取込タイミング）で検査を開始することが
できない。

【００５３】そこで、複数のラインセンサ１２における
ズレ量Ｙ₁ 〜Ｙ₆ を予め測定しておくことにより、その
ズレ量Ｙ₁ 〜Ｙ₆ に見合った分だけずらして（遅延させ
て）各検出視野１２１〜１２６を有するラインセンサ１
２の検査を行えばよい。なお、本例では、このズレ量Ｙ
₁ 〜Ｙ₆ は図６に示すタイミング指示レジスタ２２ｂに
記録されるクロック同期信号Ｃのカウント数によって補
正され、図９に示す例では、検出視野１２２を有するラ
インスキャナ１２が全体の取込タイミングの基準となる
ので、そのズレ量Ｙ₂ は０となる。

【００５４】つまり、前記取込タイミング補正部２２に
よって、基準となる全体の取込タイミングを示すスキャ
ン同期信号Ｓに対して時間的な遅れを設けた個々のライ
ンセンサの取込タイミングを示すスキャン同期信号Ｓ’
を生成することにより、走査方向における位置ずれを正
確かつ容易に補正することができる。

【００５５】なお、本例におけるＹ方向の位置ずれの補
正量はクロック同期信号Ｃのカウント数によって調節さ
れているので、その補正精度は１クロックの同期信号Ｃ
によって進むセンサ走査方向Ｙの移動量つまり０．５μ
ｍであり、各受光素子１２ａの検出視野Ａ₁ ，Ａ₂ …の
幅１２μｍに比べて十分に小さいので、この取込タイミ
ングの補正によって精度よく効率的に位置ずれを補正す
ることが可能となる。しかしながら、本発明は位置ずれ
補正をクロック同期信号Ｃのカウント数によって行うこ
とを限定するものではない。すなわち、補正時間を別途
の方法で計測して行ってもよい。何れにしても補正精度
は検出視野ＡのＹ方向の幅に比べて十分に小さいことが
望ましい。

【００５６】また、各ラインセンサ１２のＸ方向の位置
合ずれは機械的に調節することができる。このとき、隣
合う二つのラインセンサの検出視野によって検出される
小領域に重なり部分を設けるように配置することによ
り、全体としての検出視野Ａに非検出部分が生じないよ
うにしながら、Ｘ方向の位置合ずれを容易に微調整する
ことができる。

【００５７】このような調整動作によって、各ラインセ
ンサ１２のＹ方向のズレ量が補正されることにより、ラ
インセンサユニット８Ａの全体としての検出視野Ａは図
４（Ｂ）に示すように一直線上に並んでいると考えて、
以下の信号処理を行うことができる。なお、これら各ラ
インセンサ１２のＸ方向およびＹ方向の位置の微調整は
欠陥検査装置本体７のハード構成のメンテナンスを行な
うとき以外は実行する必要がない。また平面表示パネル
１のプレスキャンと同時に行う必要もない。すなわち、
平面表示パネル１を載置しなくてもバックライトの端部
など、一直線上に配置されるものを検出できればよい。

【００５８】また、前記プレスキャンによって得られる
データに基づいて、搬送される平面表示パネル１に対す
る検出視野Ａの平行度（Ｘ方向）および走査方向Ｙの平
行度を厳密に調節してもよい。この場合、図５に示した
角度アジャスタ９ｂを用いてその平行度の微調整を行な
う。なお、角度アジャスタ９ｂによる調整はサーボモー
タなどを用いて自動調整されることが望ましいが、これ
を手動にて行ってもよい。

【００５９】前記プレスキャンによって得られるデータ
に基づいて、各ラインセンサ１２のどの受光素子１２ａ
からの輝度データＤ₀ が液晶セル１の各画素Ｒ，Ｇ，Ｂ
の内部に対応する検査領域であり、どの光検出素子から
の輝度データＤ₀ が画素内に対応しないブラックマトリ
ックスの部分に位置するものであるかを割り付ける。こ
の割り付けは、プレスキャンによって得られる前記生画
像データＤ₁ を用いて行われる。これについて、図８を
参照しながら説明する。

【００６０】すなわち、図６において、Ａ₁ ，Ａ₂ ，…
…はラインセンサ１２の各受光素子１２ａが輝度を検出
する検出視野を示しており、Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁，……は
それぞれ赤，緑，青の画素を示している。そして、ライ
ンセンサ１２をスキャン方向Ｙに移動させながらスキャ
ン同期信号Ｓ’（図６参照）による輝度データＤ₀ の取
り込みを行うことにより、検出視野Ａ₁ ，Ａ₂ ……が、
順次、液晶セル１上の所定の小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ₀₆₀₁，
……，Ｂ₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆に位置した状態で、その光量を測
定する。

【００６１】この場合、小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ₀₆₀₁，…
…，Ｂ₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆の大きさは、前記検出視野Ａ₁ ，Ａ
₂ ，……の大きさに等しい。そして、画素Ｒ₁₁について
は、検出視野Ａ₁ ，Ａ₂ ，……が、例えば画素Ｒ₁₁とブ
ラックマトリックスＢＭの部分の両方に跨がっているよ
うな小領域を除いた小領域Ｂ₀₂₀₁，〜Ｂ₀₆₀₁，……，Ｂ
₀₂₁₆〜Ｂ₀₆₁₆が、輝度を平均化するための領域として平
均化指示メモリ２４ｂに設定される。また同じ領域が欠
陥検出を行うための領域として欠陥検出指示メモリ２５
ｂに設定される。

【００６２】つまり、平均化処理および欠陥検出処理を
行う場合、前記ラインセンサの受光素子のセンサデータ
の取り扱いに際して、検出視野Ａ₁ ，Ａ₂ ，……が液晶
セル１の一つの画素Ｒ，Ｇ，Ｂおよびブラックマトリッ
クスＢＭの両方に跨がる受光素子１２ａからの輝度につ
いては、処理の対象から外すようにしているのである。

【００６３】他の画素Ｇ₁₁，Ｂ₁₁，……についてもそれ
ぞれそれらの輝度を平均化および欠陥検出を行なうため
の領域として平均化指示メモリ２４ｂおよび欠陥検出指
示メモリ２５ｂに設定される。そして、平均化演算部２
４ａはこの平均化指示メモリ２４ｂに設定された各小領
域における輝度の平均値をハードウェアによって順次求
めて平均化画像データＤ₂ を生成する一方、欠陥検出処
理部２５ａは欠陥検出指示メモリ２５ｂに設定された各
小領域における輝度を所定の閾値と比較して欠陥部詳細
データＤ₃ を生成するように構成している。

【００６４】そして、前記指示メモリ２４ｂ，２５ｂの
内容は、図８に示すように、センサ配置方向Ｘにおける
各１ビットのマスクデータＭｘ（１または０）と、スキ
ャン方向Ｙにおける各１ビットのマスクデータＭｙ（１
または０）とによって表すことができる。この場合、両
マスクデータＭｘ，Ｍｙの論理積を取ることにより、各
画素Ｒ₁₁，Ｇ₁₁，Ｂ₁₁…内の小領域（以下、検査領域と
いう）を特定することができる。また、基本的に平均化
指示メモリ２４ｂと欠陥検出指示メモリ２５ｂに記録さ
れる検査領域を特定する両マスクデータＭｘ，Ｍｙは、
同一の小領域を示すものであるから、前記マスクデータ
Ｍｘ，Ｍｙを単一のメモリに記憶してもよいことはいう
までもない。

【００６５】なお、割り付けられたブラックマトリック
スＢＭや検査領域の割り付けは、次に同種の液晶セル１
を検査するときのために保存される。したがって、同じ
ロットの２番目以降の液晶セル１の検査においては、ス
テップＳ６を飛ばして、後述する本計測（ステップＳ
７）に移行する。

【００６６】上述のようにして、プレスキャンを行い、
原点確認および受光素子１２ａの割り付けを行った後、
ラインセンサユニット８を原点位置ＳＰから液晶セル１
の画素の終端部までスキャン方向Ｙに移動させながら輝
度データＤ₀ を採取（輝度計測）し（ステップＳ７）、
計測した輝度データＤ₀ を取り込み（ステップＳ８）、
液晶セル１の本計測が行われる。これらのステップＳ
７，８による本計測は、は１つの液晶セル１に対して繰
り返し行われる。

【００６７】前記計測動作（ステップＳ７）としては、
例えば、前記信号発生ユニット１７によって液晶セル１
の全面を白色点灯させながら輝度計測することにより、
赤、緑、青の三原色の各画素において生じる滅点（画素
の少なくとも一部が点灯しない点）やゴミの混入などを
検知することができる。また、信号発生ユニット１７に
よって液晶セル１の全面に黒を表示させながら輝度計測
することにより、赤、緑、青の三原色の各画素において
生じる輝点（画素の少なくとも一部が不必要に点灯する
点）やゴミの混入などを検知することができる。

【００６８】また、前記計測動作（ステップＳ７）にお
いては、液晶セル１の全面に赤のみ、緑のみ、青のみを
表示させながら、前記検査を行ったり、所定の絵柄やパ
ターンを表示させながら検査することもある。いずれに
しても輝点を検知する場合には、測定した輝度が上限と
なる閾値以上の閾値を越えるものを輝点として検知し、
滅点を検知する場合には測定した輝度が下限となる閾値
以下であるものを閾値を越えた滅点として検知するよう
に、検査動作のレシピ（項目や内容）を設定する。

【００６９】そして、前記データ取込動作（ステップＳ
８）においては、センサ位置補正機能部１９ｃが、プレ
スキャン原点確認動作（ステップＳ６）において確認し
た各ラインセンサ１２の位置ずれ量に合わせて輝度デー
タＤ₀ を取り込むタイミングを合わせる。また、前記セ
ンサ出力割付機能部９ａは前記プレスキャン原点確認ス
テップＳ₅ において確認した各画素内の全輝度データＤ
₀ の平均値をリアルタイムに算出して、後述する平均化
画像データＤ₂ を算出する。

【００７０】なお、欠陥検知機能部１９ｄは、前記プレ
スキャン原点確認動作（ステップＳ６）において確認し
た各画素内において輝度データＤ₀ は前記レシピで定め
た設定を超えたときにこれを欠陥として検知して、その
ときの輝度データＤ₀ から欠陥部詳細データＤ₃ を記録
する。

【００７１】そして、前記データ取込動作（ステップＳ
８）によって取り込まれたんだデータＤ₂ ，Ｄ₃ をまと
めて演算処理することにより、検査結果データＤ₄ を求
める（ステップＳ９）。このデータ処理動作（ステップ
Ｓ９）においては、偏ゴミ検知機能部１９ｅが垂直ライ
ンセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサユニット
８Ｂからそれぞれ得られた欠陥部詳細データＤ₃ を比較
することにより、液晶セル１に生じた偏ゴミ１４ｂ，１
４ｃの混入位置を判定し、これを前記検査結果データＤ
₄ に含めるようにしている。

【００７２】ここで、前記偏ゴミ１４ｂ，１４ｃの混入
位置の検出原理を、図１０を参照しながら説明する。な
お、図中、符号２７はバックライト光源である。まず、
図１に示す構成の液晶セル１に付着する異物としては、
図１０に示すように、上偏向板５外面に付着する異物
（ゴミ）１４ａ，上偏向板５と上ガラス板２との間の異
物１４ｂ、液晶４内の異物１４ｃ、下ガラス板３と下偏
向板６との間の異物１４ｄ、下偏向板６の外面に付着す
る異物１４ｅがある。これらの異物１４ａ〜１４ｅのう
ち、異物１４ａ，１４ｅは予め拭き取るなどして除去す
るので、検出から除外する。また、異物１４ｃは仮に検
出できたとしても、異物か他の欠陥かの判別が困難であ
るため、これも検出から除外する。このため、本検査に
おいては、異物１４ｂ，１４ｃのみの検出が行われる。

【００７３】すなわち、垂直ラインセンサユニット８Ａ
および斜めラインセンサユニット８Ｂで検出される液晶
セル１の画素Ｒ，Ｇ，Ｂの座標が一致するように調整す
る（光学的に一致してない場合は、ソフト処理で行
う）。ラインセンサユニット８をＹ方向に移動させてス
キャンを行ったとき、異物１４ｃについては、垂直ライ
ンセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサユニット
８Ｂの検出座標が互いに一致する。しかし、異物１４
ａ，１４ｂについては、斜めラインセンサユニット８Ｂ
による検出は、垂直ラインセンサユニット８Ａによる検
出よりも若干遅れる。また、異物１４ｄ，１４ｅについ
ては、斜めラインセンサユニット８Ｂによる検出は、垂
直ラインセンサユニット８Ａによる検出よりも若干進
む。この遅れ量また進み量は、ガラス基板２，３や偏向
板５，６の厚みによって一義的に決まる。したがって、
垂直ラインセンサユニット８Ａおよび斜めラインセンサ
ユニット８Ｂの検出タイミングの前後を判別することに
より、異物１４ｂ，１４ｃの深さ位置を特定することが
できる。

【００７４】上述のようにして取込処理部１９によって
得られたデータは、検査結果を表すデータＤとしてパソ
コン１８に入力され、パソコン１８に付設された表示装
置に表示されたり、プリンタなどによって印字出力され
る（ステップＳ１０）。この検査結果の出力は、上記出
力方法のほか、音声案内であっても生産ラインを監視す
る上位コンピュータに対するデータ通信であってもよ
い。

【００７５】そして、液晶セル１の検査結果は段階的な
採点によって行われることが望ましく、例えば、完全無
欠である場合を最上評価として、事実上全く問題になら
ない程度のものであるか、微細な欠陥が有るものの凝視
しなければ判別できない程度のものであるかなど多段階
に分けた採点を行うことが望ましい。さらに、欠陥が生
じている部分の欠陥部詳細データＤ₃ を画面に表示する
などして出力することが望ましい。

【００７６】前記測定が終了した液晶セル１は、欠陥検
査装置本体７からアンローディングされて、例えば製造
工程の下流側に搬送される（ステップＳ１１）。

【００７７】そして、第２番目以降の液晶セル１を検査
する場合には、ステップＳ２における液晶セル１のアラ
イメントによる位置補正を確実に行うことにより、プレ
スキャン（ステップＳ６）が省略され、ステップＳ７以
降の本測定に入り、上記と同様にして欠陥の有無が検査
される。

【００７８】さらに、前記原点確認ステップＳ６におい
て上端部の位置ずれおよび／または液晶セル１に対する
検出視野Ａの角度の微細なズレを検知し、これを補正す
るために、ラインセンサユニット８を、例えば５００μ
ｍ程度の僅かな距離だけスキャン方向Ｙに移動して行っ
てもよい。この場合は、スキャン方向Ｙにおける位置ず
れおよび／または角度のズレを厳密に合わせることが可
能となる。

【００７９】また、上述の例では搬送された液晶セル１
の角度のズレを図５（Ａ）に示す角度アジャスタ９ｂに
よって補正する例を開示しているが、本発明はこれに限
られるものではない。すなわち、ラインセンサユニット
８の受光素子の配列方向Ｘを、液晶セル１の角度に合わ
せて走査方向Ｙに対する直角から少し傾けた状態で走査
して、検出した輝度データＤ₀ をＸ方向に適宜シフトす
ることによって、傾きを補正するなど種々の変形が考え
られる。

【００８０】さらに、上記実施例では、液晶セル１を固
定し、ラインセンサユニット８を直線的に移動させるも
のであったが、この発明はこれに限られるものではな
く、ラインセンサユニット８を固定し、液晶セル１を直
線的に移動させるようにしてもよい。

【００８１】そして、この発明の欠陥検査装置は、液晶
セルのほか、プラズマディスプレイパネルなど他の平面
表示パネルの欠陥検査にも同様に適用できることは言う
までもない。

【００８２】

【発明の効果】この発明の欠陥検査装置は、複数のライ
ンセンサを用いて高精度かつ高速に平面表示パネルの欠
陥検査を行うことができる。また、取込処理部において
各ラインセンサ毎にその走査方向における位置ずれが補
正されるので、各ラインセンサが一直線状に並んでいる
と見なして後の処理を行うことができ、それだけ、後の
信号処理を簡素に行うことができる。さらに、走査方向
のずれが正確に補正されることにより、ラインセンサの
高分解能を十分に活かした平面表示パネルの欠陥検査を
行うことができ、高分解能化と高速処理の両立を達成す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の平面表示パネルの欠陥検査装置の一
例を概略的に示す全体構成図である。

【図２】前記欠陥検査装置で検査される平面表示パネル
としての液晶セルの構成を概略的に示す図で、（Ａ）は
平面図、（Ｂ）は縦断面図である。

【図３】前記欠陥検査装置で用いられるラインセンサの
一例を概略的に示す図である。

【図４】前記ラインセンサと平面表示パネルの位置関係
を概略的に示す図である。

【図５】前記ラインセンサを走査させる走査部の構成を
概略的に示す図である。

【図６】前記欠陥検査装置における信号処理系統を概略
的に示す図である。

【図７】前記欠陥検査装置による検査手順の一例を示す
図である。

【図８】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明する
ための図である。

【図９】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明する
ための図である。

【図１０】前記欠陥検査装置の動作および機能を説明す
るための図である。

【符号の説明】

１…平面表示パネル、９…ユニット載置フレーム（走査
部）、１２…ラインセンサ、１２ａ…受光素子、１９…
取込処理部、１９ｃ…センサ位置補正機能部、２２…取
込タイミング補正部、２２ｂ…タイミング制御指示レジ
スタ、１２１…各ラインセンサの検出視野、Ｒ，Ｇ，Ｂ
…画素、Ｄ₀ …輝度データ、Ａ…検出視野、Ｓ…スキャ
ン同期信号（全体の取込タイミング）、Ｓ’…スキャン
同期信号（各ラインセンサの取込タイミング）、Ｘ…セ
ンサ配列方向、Ｙ…センサ走査方向、Ｙ₁ 〜Ｙ₆ …位置
ずれ量。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０６Ｔ 1/00 ４２０ Ｇ０６Ｔ 1/00 ４２０Ｇ ５Ｃ０６１ 1/60 ４５０ 1/60 ４５０Ｈ ５Ｌ０９６ 7/60 １５０ 7/60 １５０Ｂ Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｚ (72)発明者 坂本 淳一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤井 史高 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 芳孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 米浪 徹 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA02 AA20 AA49 BB02 CC25 DD03 DD06 EE00 FF02 FF42 FF67 GG15 HH13 HH15 JJ02 JJ05 JJ08 JJ09 JJ25 MM07 PP02 PP05 QQ03 QQ23 QQ24 QQ25 QQ28 QQ42 QQ51 RR06 2G051 AA90 AB01 AB02 CA03 CA04 CA07 DA01 DA07 EA12 EA23 EC03 2H088 FA13 HA14 HA18 HA24 HA28 MA20 5B047 AA12 AB02 BB03 BC01 CB17 EB03 5B057 AA03 BA02 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB16 CE11 DA03 DB02 DB09 DC22 5C061 BB01 CC05 EE21 5L096 AA06 BA03 CA14 CA16 EA35 FA17 FA69

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面表示パネルの各画素より十分に小さ
   い小領域を検出視野として一直線上に配列された受光素
   子からなる複数のラインセンサと、平面表示パネルとラ
   インセンサとの相対位置を受光素子の配列方向に直交す
   る方向に走査させる走査部と、このラインセンサに接続
   されて受光素子からの輝度データを演算処理することに
   より平面表示パネルの欠陥を検査する取込処理部とを有
   する平面表示パネルの欠陥検査装置であって、前記取込
   処理部が各ラインセンサ毎にその走査方向における位置
   ずれを補正するセンサ位置補正機能部を有することを特
   徴とする平面表示パネルの欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 前記センサ位置補正機能部が基準となる
   全体の取込タイミングに対して時間的な遅れを設けた個
   々のラインセンサの取込タイミングを生成することによ
   り、走査方向における位置ずれを補正する取込タイミン
   グ補正部を有する請求項１に記載の平面表示パネルの欠
   陥検査装置。
3. 【請求項３】 前記取込タイミング補正部が、平面表示
   パネルの取込に先立ってラインセンサの受光素子に平行
   に配置された平面表示パネルの取込を行なうことにより
   求められる、各ラインセンサの取込タイミングの位置ず
   れ量を記録するタイミング制御指示レジスタを有する請
   求項２に記載の平面表示パネルの欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 隣合う二つのラインセンサの検出視野に
   よって検出される小領域に重なり部分を設ける請求項１
   〜３の何れかに記載の平面表示パネルの欠陥検査装置。