JP2002090258A

JP2002090258A - レンズの検査方法及び装置並びにシステム

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Publication number: JP2002090258A
Application number: JP2000279874A
Authority: JP
Inventors: Akira Mori; 亮森; Fumio Yuhito; 文夫由比藤
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2000-09-14
Filing date: 2000-09-14
Publication date: 2002-03-27

Abstract

(57)【要約】【課題】レンズの欠陥検査を効果的に行う。【解決手段】洗浄・ブロー処理が行われた撮影レンズ
は、傷検査装置にセットされる。撮影レンズの下部に配
置された投光器から検査光が照射され、上部に配置され
た撮像装置において暗視野撮影が行われる。傷の部分に
おいて散乱された検査光が撮像装置によって検出され
る。階調値の高い領域（明領域）が１１０画素以上ある
ときに、撮影レンズに傷が存在すると判定する。次に、
撮影レンズは異物検査装置にセットされる。撮影レンズ
の上部に配置された投光器から検査光が照射され、撮像
装置において暗視野撮影が行われる。異物の部分におい
て反射された検査光が撮像装置によって検出される。撮
影レンズの検査領域を複数の基本領域に分割し、隣接す
る基本領域間での平均階調値の差が１２０以上あるとき
に、撮影レンズに異物が存在すると判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透明なレンズに傷や異
物等の欠陥が存在しているか否かを検査する方法及び装
置並びにシステムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カメラに用いられる撮影レンズやファイ
ンダーレンズ等の光学部品では、その表面に傷が生じて
いたり、塵埃や汚れ等の異物が存在していると、その光
学性能を著しく低下させる。このため、傷や異物の存在
を確実に検出して除去することが極めて重要である。特
に、レンズ付きフイルムユニットでは撮影レンズやファ
インダレンズの再使用が行われており、レンズの表面に
ゴミや指紋等が付着していたり、あるいは傷が付いてい
ることが多いため、全数検査を施して傷や異物の有無を
確認した上で、その再使用の可否を判断する必要があ
る。

【０００３】このようなレンズを検査する方法として
は、従来より、限度見本に基づく目視検査が施されてき
たが、検査速度を高めることができないこと、評価基準
にばらつきが生じること、という問題が生じていた。か
かる問題を解決するために、特開平８−３０４０５２号
公報には、レンズ面に対して検査光を一定方向に走査さ
せ、当該レンズを散乱透過してきた検査光を撮像して得
られる信号レベルが設定レベルを超えたときに欠陥信号
を発生するレンズの検査装置が記載されている。この検
査装置によれば、信号レベルと設定レベルとを比較する
ことにより傷や異物の存在を検出することができるた
め、効率的且つ定量的にレンズの検査を行うことができ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記公報に記載された
レンズの検査装置では、ライン状の検査光を照射しなが
ら検査を行っており、検査速度を迅速に行うことができ
なかった。また、検査光の走査方向に対して傷や異物等
の欠陥が発生している場合には、検査光が散乱されにく
くなるために検出精度が悪化してしまう。

【０００５】また、レンズの表面に異物が付着している
場合には、検査光が反射されて受光器に到達しない等の
理由から、傷が発生している場合と比べて適正な検出感
度が異なると考えられる。しかしながら、上記公報に記
載されたレンズの検査装置では、欠陥の種別に関わらず
同一の検査手段により検査を行っているため、欠陥の種
別に応じて適切な検出感度を設定することができないと
いう問題がある。

【０００６】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、傷や異物等の欠陥が存在するか否かを効果的に検
出することができるレンズの検査方法及び装置並びにシ
ステムを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載のレンズの検査方法では、被検査体で
あるレンズの一方の側より検査光を照射し、前記レンズ
の他方の側よりレンズ表面の暗視野像を撮像して当該レ
ンズ表面から散乱される間接光を光電的に検出し、一定
領域における撮像信号の信号強度が設定レベルを超えた
ときに前記レンズは不良レンズであると判定している。

【０００８】また、請求項２記載のレンズの検査方法で
は、被検査体であるレンズの一方の側に投光器と撮像装
置とを配置し、前記投光器よりレンズに対して検査光を
照射するとともに撮像装置においてレンズ表面の暗視野
像を撮像して当該レンズ表面から反射される間接光を光
電的に検出し、前記レンズ面を複数の検査領域に分割し
て各検査領域毎に撮像信号の平均レベルを算出し、隣接
する検査領域における平均レベルの差が設定値を超えた
ときに前記レンズは不良レンズであると判定している。

【０００９】請求項３記載のレンズの検査方法は、被検
査体であるレンズの一方の側より検査光を照射し、前記
レンズの他方の側よりレンズ表面の暗視野像を撮像して
当該レンズ表面から散乱される間接光を光電的に検出
し、一定領域における撮像信号の信号強度が設定レベル
を超えたときに前記レンズに傷が存在すると判定する第
１工程と、前記レンズの一方の側に投光器と撮像装置と
を配置し、前記投光器よりレンズに対して検査光を照射
するとともに撮像装置においてレンズ表面の暗視野像を
撮像して当該レンズ表面から反射される間接光を光電的
に検出し、前記レンズ面を複数の検査領域に分割して各
検査領域毎に撮像信号の平均レベルを算出し、隣接する
検査領域における平均レベルの差が設定値を超えたとき
に前記レンズに異物が付着していると判定する第２工程
と、からなる。

【００１０】請求項４記載のレンズの検査装置は、被検
査体であるレンズの一方の側に配置され、前記レンズの
撮像を行う撮像装置と、前記レンズの他方の側に配置さ
れ、前記撮像装置による撮像範囲から外れた位置から前
記レンズに検査光を照射する照明装置と、前記撮像装置
で得られた撮像信号の信号強度が設定レベルを超えたと
きに前記レンズは不良レンズであると判定する判定手段
と、から構成される。

【００１１】請求項５記載のレンズの検査装置は、被検
査体であるレンズの撮像を行う撮像装置と、前記レンズ
に対して前記撮像装置と同じ側に配置され、前記撮像装
置による撮像範囲から外れた位置から前記レンズに検査
光を照射する照明装置と、前記レンズを複数の微小な検
査領域に分割して各検査領域毎に撮像信号の平均レベル
を算出し、隣接する検査領域における平均レベルの差が
設定値を超えたときに前記レンズは不良レンズであると
判定する判定手段と、から構成される。

【００１２】また、請求項６記載のレンズの検査システ
ムは、被検査体であるレンズの一方の側に配置され、前
記レンズの撮像を行う第１の撮像装置と、前記レンズの
他方の側に配置され、前記第１の撮像装置による撮像範
囲から外れた位置から前記レンズに検査光を照射する第
１の照明装置と、前記第１の撮像装置で得られた撮像信
号の信号強度が設定レベルを超えたときに前記レンズに
傷が存在すると判定する第１の判定手段と、を有する第
１の欠陥検出装置と、前記レンズの撮像を行う第２の撮
像装置と、前記レンズに対して前記第２の撮像装置と同
じ側に配置され、前記第２の撮像装置による撮像範囲か
ら外れた位置から前記レンズに検査光を照射する第２の
照明装置と、前記レンズを複数の微小な検査領域に分割
して各検査領域毎に撮像信号の平均レベルを算出し、隣
接する検査領域における平均レベルの差が設定値を超え
たときに前記レンズに異物が付着していると判定する第
２の判定手段と、を有する第２の欠陥検出装置と、から
構成される。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明をレンズ付きフイル
ムユニット用撮影レンズの検査装置に適用した例につい
て説明する。図１に示すように、レンズ付きフイルムユ
ニット用撮影レンズの検査装置（以下、「検査装置」と
する）１０は、大別して、レンズ洗浄装置１１、傷検出
装置１２、異物検出装置１３、及びピント検査装置１４
から構成される。

【００１４】図２及び図３に示すように、傷検出装置１
２及び異物検出装置１３には、撮影レンズ１４に検査光
を照射する投光器１５，１６と、撮影レンズ１４のレン
ズ面１４ａを撮像する撮像装置２０，２１とが備えられ
る。被検査体である撮影レンズ１４は、専用のパレット
２２に形成された窪みの中に入り込んで保持される。図
示しないパレット移動機構によってパレット２２がスラ
イドすることにより、撮影レンズ１４が傷検出装置１２
から異物検出装置１３へと移動する。

【００１５】図４に示すように、傷検出装置１２では、
撮影レンズ１４は凸状のレンズ面１４ａを上方に向けた
状態で投光器１５と撮像装置２０との間に配置される。
また、パレット２２の下面には略円筒形状の開口２３が
形成されており、投光器１５からの検査光が撮影レンズ
１４の底面より照射される。なお、投光器１５から照射
される検査光のケラレを防止するために、撮影レンズ１
４側の開口径が小さくされており、本実施形態では８ｍ
ｍ厚のパレット２２に対して、撮影レンズ１４側の開口
径が７．５ｍｍ、投光器１５側の開口径が１３ｍｍとな
っている。

【００１６】撮像装置１２は、２次元状に受光素子（画
素）が配列されたＣＣＤイメージセンサ２４と、このＣ
ＣＤイメージセンサ２４の前面に取り付けられた接写リ
ング２５及び結像レンズ２６とから構成され、これらの
中心が撮影レンズ１４の光軸Ｌと一致するように配置さ
れる。撮影レンズ１４の光学像は、結像レンズ２６によ
ってＣＣＤイメージセンサ２４の光電面に結像され、入
射光の光強度に比例した光電変換信号が傷判定部３０に
送られる。

【００１７】なお、結像レンズ２６の焦点距離は１６〜
５０ｍｍの範囲内で、また、接写リング２５は６〜４０
ｍｍの範囲内で設定することができ、本実施形態では結
像レンズ２６の焦点距離を５０ｍｍと、また、接写リン
グ２５を３０ｍｍとしている。また、パレット１４の上
面とＣＣＤイメージセンサ２４との間隔Ｌ１は、３０〜
２００ｍｍの範囲内で設定することができ、本実施形態
では１３０ｍｍと定められている。

【００１８】投光器１５は、その発光面がパレット１４
の下面から距離Ｌ２だけ離れた位置に固定されている。
投光器１５の内部には赤色ＬＥＤが備えられ、撮影レン
ズ１４に対して均一な検査光を照射する。発光面の中央
部には遮光マスク３１が取り付けられており、撮像装置
２０による撮像領域に投光器１５が含まれるのを防止す
る。このため、ＣＣＤイメージセンサ２４の受光面には
投光器１５からの検査光が直接照射されず、撮影レンズ
１４において散乱された間接光が照射される。したがっ
て、撮像装置２０では、撮影レンズ１４の暗視野像が得
られる。なお、検査光がＣＣＤイメージセンサ２４に直
接照射されなければ、遮光マスク３１の直径Ｌ３を１０
〜２０ｍｍの範囲内で適宜変更することができ、本実施
形態では１２ｍｍと定められている。

【００１９】傷判定部３０では、ＣＣＤイメージセンサ
２４から送られる撮像信号を基にして、撮影レンズ１４
に傷があるか否かを検出する。上述したように、ＣＣＤ
イメージセンサ２４には検査光が直接的に照射されない
ようになっている。図５に示すように、傷のない正常な
撮影レンズ１４を検査する場合には、ＣＣＤイメージセ
ンサ２４には暗視野像が写し込まれるため、明度の高い
画素は検出されない。

【００２０】一方、撮影レンズ１４に傷３２が発生して
いる場合には、図６に示すように、投光器１５から照射
された検査光が傷３２において散乱され、ＣＣＤイメー
ジセンサ２４に照射される。この場合には、図７に示す
ように、傷３２が発生している箇所に対応する画素から
の信号強度が高くなり、傷３２の大きさに応じた明るい
領域（明領域）３３が検出される。なお、図７において
は、発生箇所を明確にするために明領域３３を黒色で表
し、その他の暗い領域（暗領域）３４を白色で表してい
る。

【００２１】傷判定部３０では、撮影レンズ１４の中心
を基準とした直径６ｍｍの円を検査領域３８と定め、当
該検査領域に対応する画素からの信号強度を８ビットの
階調値（０〜２５５）で表現する。そして、階調値が１
４０以上である画素を明画素と定め、明画素が１１０画
素以上連続する領域があるか否かを判定する。傷判定部
３０は、１１０画素以上の明画素領域があることを検出
したときは撮影レンズ１４に傷が発生していると判定
し、そうでない場合には傷が発生していないと判定す
る。

【００２２】なお、本実施形態では、明画素を定める際
の階調値を１４０と定め、傷が発生していると判定する
際の明画素数を１１０と定めているが、これらの値は検
出感度に応じて適宜変更することができる。

【００２３】図８に示すように、異物検出装置１３側の
撮像装置２１は、ＣＣＤイメージセンサ３５、接写リン
グ３６、結像レンズ３７から構成され、それぞれ傷検出
装置１２に用いられているものと同様である。投光器１
６は、パレット２２と撮像装置２１との間に配置されて
おり、光軸Ｌを中心とした略円環状の形状をなしてい
る。投光器１６の内部にはＬＥＤが組み込まれており、
その内環側に設けられた発光面から検査光が照射され
る。

【００２４】投光器１６の発光面は撮影レンズ１４の方
向に向けられており、ＣＣＤイメージセンサ３５には、
投光器１６からの直接光は照射されず、撮影レンズ１４
において散乱された間接光が照射され、入射光の光強度
に比例した光電変換信号が異物判定部４０に送られる。
したがって、撮像装置２１では、撮影レンズ１４の暗視
野像が得られる。

【００２５】ここで、撮像装置２１の撮像範囲に投光器
１６が含まれないようにするために、投光器１６の内径
Ｌ４はある程度大きくする必要があるが、この値を過度
に大きくすると、撮影レンズ１４に照射される光量が低
下して検出精度が低下する。このため、内径Ｌ４の値は
１３０〜１８０ｍｍの範囲内で定めることが好ましく、
本実施形態では１３０ｍｍとされている。また、上記と
同様の理由から、パレット２２の上面と投光器１６との
間隔Ｌ５は１０〜３０ｍｍの範囲で定めることが好まし
く、本実施形態では１６ｍｍと定められている。

【００２６】異物判定部４０では、ＣＣＤイメージセン
サ３５から送られてくる光電変換信号に基づき、レンズ
面１４ａに塵埃や汚れ等の異物が付着しているか否かを
検出する。上述のように、撮像装置２１では撮影レンズ
１４の暗視野像を撮像しており、異物の付着していない
撮影レンズ１４を検査する場合には、図９に示すよう
に、検査光は撮影レンズ１４を透過してＣＣＤイメージ
センサ３５に直接照射されないため、各画素における信
号強度は小さくなる。

【００２７】これに対し、図１０に示すように、異物４
１が付着している撮影レンズ１４を検査する場合には、
投光器１６から発せられた検査光は異物４１において反
射され、ＣＣＤイメージセンサ３５の受光面に到達す
る。このため、異物４１が付着している領域は明るく写
り、当該領域に対応する画素からの信号強度が高くな
る。

【００２８】異物判定部４０では、図１１に示すよう
に、レンズ面に対して、０．５ｍｍ幅の向きの異なる複
数の領域４２を定め、各領域４２に対して、長さ０．１
ｍｍの長方形状の領域を基本領域４３として規定する。
そして、ＣＣＤイメージセンサ３５の各画素からの信号
強度を８ビットの階調値（０〜２５５）で表現し、各々
の基本領域４３に対応する階調値の平均値（平均階調
値）を算出する。隣接する基本領域間における平均階調
値の差が１２０を越えた場合に、撮影レンズ１４に異物
が付着していると判定する。一方、隣接する全ての基本
領域間における平均階調値の差が１２０以下であるとき
は、撮影レンズ１４には異物が付着していないと判定さ
れ、当該撮影レンズ１４は再利用に供される。

【００２９】なお、本実施形態では異物の付着を判定す
る際の平均階調値の差を１２０と設定しているが、この
値は検出感度に応じて適宜変更することができる。ま
た、基本領域４３の大きさを幅０．５ｍｍ、長さ０．１
ｍｍの長方形と定めているが、この値は検出すべき異物
の大きさに応じて適宜変更することができる。

【００３０】次に、図１２のフローチャートを用いて、
上記構成による作用について説明する。検査工場に持ち
込まれたユニット本体は、シャッタ機構やストロボ機構
等の個々の部品に分解される。この際、撮影レンズ１４
もユニット本体から取り外され、表面に付着した塵埃や
皮脂を除去するために洗浄・ブロー処理が行われる。

【００３１】洗浄・ブロー処理が完了した撮影レンズ１
４は、パレット２２の上に保持されて傷検査装置１２へ
と搬送される。傷検査装置１２では、撮影レンズ１４に
対して投光器１５から検査光が照射され、撮像装置２０
において暗視野撮影が行われる。撮影レンズ１４に傷が
存在する場合には、傷の部分において検査光が散乱さ
れ、ＣＣＤイメージセンサ２４に照射される。ＣＣＤイ
メージセンサ２４において得られた光電変換信号は傷判
定部３０に送られる。傷判定部３０では、上述したよう
に、階調値１４０以上の画素を明画素と定め、この明画
素が１１０以上連続しているか否かを検出することによ
り、撮影レンズ１４に傷が生じているか否かを判定す
る。

【００３２】判定の結果、撮影レンズ１４に傷が生じて
いると認められた場合には、再使用することができない
ため、溶融・ペレット化される。一方、傷の発生が認め
られなかった撮影レンズ１４は、異物検出装置へと送ら
れる。

【００３３】異物検出装置１３では、撮影レンズ１４の
上部に配された投光器１６より円環状の検査光が照射さ
れ、撮像装置２１において暗視野撮影が行われる。撮影
レンズ１４の表面に異物が付着している場合には、異物
が存在する部分において検査光が反射されてＣＣＤイメ
ージセンサ３５に到達する。ＣＣＤイメージセンサに３
５で得られた光電変換信号は異物判定部４０へ送られ
る。異物判定部４０では、上述のように、レンズ面１４
ａを複数の基本領域４３に分割し、隣接する２領域にお
ける平均階調値の差が１２０以上あるか否かを検出する
ことにより、撮影レンズ１４に異物が付着しているか否
かを判定する。

【００３４】判定の結果、異物が付着していると判断さ
れた撮影レンズ１４に対しては、溶融・ペレット化され
る。あるいは、レンズ洗浄・ブロー処理を行った後に、
同様のレンズ検査を再び行っても良い。一方、異物の付
着が認められないと判断された撮影レンズ１４は、ピン
ト検査等の工程を経た後、再利用に供される。

【００３５】このように、検査光を撮影レンズ１４の前
面に照射することにより、ライン状の検査光を照射する
従来の方式に比べて、レンズの欠陥検査を即座に行うこ
とができる。また、欠陥の検出精度は、欠陥の存在する
向きに依存しないため、撮影レンズ１４の欠陥検査を効
率よく行うことができる。

【００３６】また、傷の検査と異物の検査とに分けて行
うことにより、欠陥の種類ごとに検出感度を設定できる
ため、欠陥の存在する撮影レンズ１４の検出精度を高め
ることができる。また、撮影レンズ１４の下部から照射
された検査光が異物によって反射された結果、欠陥を検
出できないような場合でも、撮影レンズ１４の上部から
光照射してその反射光を検出することにより、欠陥の存
在を的確に検出することができる。

【００３７】本実施例では、明画素が連続して１１０画
素以上ある時に傷が発生していると判定しているが、微
小な傷（１１０画素未満である場合）であっても、その
発生回数が多くなれば光学性能を低下させるため、再使
用しないことが好ましい。従って、微小な傷に対しては
複数回の検出で不良品と判定し、大きな傷に対しては１
回の検出で不良品と判定するように傷検出部３０を構成
することにより、不良レンズの検出精度を向上すること
ができる。

【００３８】本実施例では、異物の存在を検出する際、
図１１に示すようなライン状の領域４２から基本領域４
３を規定しているが、図１３に示すように、レンズ面１
４ａの中心を基準とした複数の同心円を規定し、２つの
同心円に挟まれた円環状の領域を複数に分割することに
より、基本領域を定めても良い。また、上記実施形態で
は、照明装置として赤色ＬＥＤを用いたが、撮影レンズ
１４に均一な検査光を照射できるものであれば、ハロゲ
ンランプ等を用いても良い。

【００３９】本実施例では、傷検出と異物検出とを別々
に行っているが、いずれか一方のみ行うようにしても良
い。また、本実施例では、傷検出装置１２による検査の
後に異物検出装置１３による検査を行っているが、検査
の順番を逆にしても良い。また、本実施例において、傷
検出装置１２及び異物検出装置１３の外周を黒色の遮光
幕で覆うことにより、外光がＣＣＤイメージセンサ２
４，３５に照射されるのを防止することができるため、
不良レンズの検出精度が向上する。

【００４０】なお、本実施例では、単玉の凸レンズの検
査を行う場合について説明したが、本発明はこれに限定
されず、暗視野撮影を行うことのできるように光学系を
配置することにより、凹レンズや、複数枚のレンズを組
み合わせてなるレンズ系に対しても、総合的に検査を行
うことができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検査体であるレンズの全面に検査光を同時に照射し
て、その暗視野像を撮像するようにしたから、欠陥検査
を迅速に行うことができる。また、欠陥の存在する向き
によって検出感度が変動することがないため、欠陥の存
在を効果的に検出することができる。

【００４２】また、被検査体であるレンズの両面側から
検査光を照射し、レンズの暗視野像を撮像するようにし
たから、レンズに存在する欠陥の種類に応じて異なる検
出感度を設定できる。したがって、欠陥検査を効果的に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】撮影レンズ検査装置の構成を示す概略図であ
る。

【図２】傷検出装置の斜視図である。

【図３】異物検出装置の斜視図である。

【図４】傷検出装置の概略図である。

【図５】傷検出装置による検査において、傷のないレン
ズに検査光を照射したときの様子を示す説明図である。

【図６】傷検出装置による検査において、検査光が傷の
部分から散乱される様子を示す説明図である。

【図７】撮影レンズの検査範囲に明領域が発生している
様子を示す説明図である。

【図８】異物検出装置の概略図である。

【図９】異物検出装置による検査において、異物の付着
していないレンズに検査光を照射したときの様子を示す
説明図である。

【図１０】異物検出装置による検査において、検査光が
異物の部分から反射される様子を示す説明図である。

【図１１】検査領域の区切り方を示す説明図である。

【図１２】撮影レンズの検査手順を示すフローチャート
である。

【図１３】検査領域の別の区切り方を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１０撮影レンズ検査装置１２傷検出装置１３塵埃検出装置１４撮影レンズ１５，１６投光器２０，２１撮像装置２２パレット３０傷検出部３２傷４０異物検出部４１異物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体であるレンズの一方の側より検
査光を照射し、前記レンズの他方の側よりレンズ表面の
暗視野像を撮像して当該レンズ表面から散乱される間接
光を光電的に検出し、一定領域における撮像信号の信号
強度が設定レベルを超えたときに前記レンズは不良レン
ズであると判定することを特徴とするレンズの検査方
法。
【請求項２】被検査体であるレンズの一方の側に投光
器と撮像装置とを配置し、前記投光器よりレンズに対し
て検査光を照射するとともに撮像装置においてレンズ表
面の暗視野像を撮像して当該レンズ表面から反射される
間接光を光電的に検出し、前記レンズ面を複数の検査領
域に分割して各検査領域毎に撮像信号の平均レベルを算
出し、隣接する検査領域における平均レベルの差が設定
値を超えたときに前記レンズは不良レンズであると判定
することを特徴とするレンズの検査方法。
【請求項３】被検査体であるレンズの一方の側より検
査光を照射し、前記レンズの他方の側よりレンズ表面の
暗視野像を撮像して当該レンズ表面から散乱される間接
光を光電的に検出し、一定領域における撮像信号の信号
強度が設定レベルを超えたときに前記レンズに傷が存在
すると判定する第１工程と、前記レンズの一方の側に投光器と撮像装置とを配置し、
前記投光器よりレンズに対して検査光を照射するととも
に撮像装置においてレンズ表面の暗視野像を撮像して当
該レンズ表面から反射される間接光を光電的に検出し、
前記レンズ面を複数の検査領域に分割して各検査領域毎
に撮像信号の平均レベルを算出し、隣接する検査領域に
おける平均レベルの差が設定値を超えたときに前記レン
ズに異物が付着していると判定する第２工程と、からなることを特徴とするレンズの検査方法。
【請求項４】被検査体であるレンズの一方の側に配置
され、前記レンズの撮像を行う撮像装置と、前記レンズ
の他方の側に配置され、前記撮像装置による撮像範囲か
ら外れた位置から前記レンズに検査光を照射する照明装
置と、前記撮像装置で得られた撮像信号の信号強度が設
定レベルを超えたときに前記レンズは不良レンズである
と判定する判定手段と、からなることを特徴とするレン
ズの検査装置。
【請求項５】被検査体であるレンズの撮像を行う撮像
装置と、前記レンズに対して前記撮像装置と同じ側に配
置され、前記撮像装置による撮像範囲から外れた位置か
ら前記レンズに検査光を照射する照明装置と、前記レン
ズを複数の微小な検査領域に分割して各検査領域毎に撮
像信号の平均レベルを算出し、隣接する検査領域におけ
る平均レベルの差が設定値を超えたときに前記レンズは
不良レンズであると判定する判定手段と、からなること
を特徴とするレンズの検査装置。
【請求項６】被検査体であるレンズの一方の側に配置
され、前記レンズの撮像を行う第１の撮像装置と、前記
レンズの他方の側に配置され、前記第１の撮像装置によ
る撮像範囲から外れた位置から前記レンズに検査光を照
射する第１の照明装置と、前記第１の撮像装置で得られ
た撮像信号の信号強度が設定レベルを超えたときに前記
レンズに傷が存在すると判定する第１の判定手段と、を
有する第１の検査装置と、前記レンズの撮像を行う第２の撮像装置と、前記レンズ
に対して前記第２の撮像装置と同じ側に配置され、前記
第２の撮像装置による撮像範囲から外れた位置から前記
レンズに検査光を照射する第２の照明装置と、前記レン
ズを複数の微小な検査領域に分割して各検査領域毎に撮
像信号の平均レベルを算出し、隣接する検査領域におけ
る平均レベルの差が設定値を超えたときに前記レンズに
異物が付着していると判定する第２の判定手段と、を有
する第２の検査装置と、からなることを特徴とするレンズの検査システム。