JP2001330854A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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Abstract
表示装置において、最終導電層による対向電極バスライ
ン間の短絡箇所をなくすことにより、成膜工程を省き、
フォトマスク枚数を削減することでトータルコストを低
減し、且つ、歩留まりを向上させることを目的とする。 【解決手段】 横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジ
スタアレイが形成された基板において、ゲート配線とこ
れに略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、
前記ゲート配線は駆動ICに接続され、前記対向電極のバ
スラインは基板の一辺に引き出され、駆動IC下面のパネ
ル基板上で電気的に1つにまとめる構成とする。
Description
クス型液晶表示装置および、製造方法に関する。特に、
横電界方式のアクティブマトリクス型液晶表示装置に関
する。
伴い液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要
が増加する傾向にある。
動作方式のものが用いられるが、とりわけアクティブマ
トリクス型液晶表示素子が、フルカラーの高精細な表示
装置として注目され、精力的に研究開発されてきた。さ
らに最近、横電界方式(IPS型;In −Plane Swi
tching)の液晶表示装置が、広視野角表示が実現できる
液晶表示装置として注目され研究されている(特許番号
第2952744号公報)。
ネルは、液晶分子の配列状態を画素毎に制御するための
電極対を同一基板上に設けて、液晶分子に対して横方向
から電界を加えるようにしている。このような電界が加
わっているとき、液晶分子は常に基板に対して平行な状
態で配向方向が変わるため、従来のTN方式の液晶表示
パネルに比べて視角特性が格段に改善される。
分の構成を示す平面図と断面図である。図7(b)の断
面図に示すように、ガラスなどを用いたアレイ基板70
7は、カラーフィルタのついた対向基板705と対向し
て配置され、アレイ基板と対向基板間に液晶706が封
入されている。また図7(a)の平面図に示すように、
アレイ基板の上面側には、一定の間隔を保ってゲート配
線704及びこれと平行するように対向電極のバスライ
ン708が設けられている。アレイ基板上にはゲート配
線704及び対向電極701を覆うようにして透明の絶
縁膜が形成されている。そして、ゲート配線を覆う絶縁
膜上には選択的にシリコン層が設けられ薄膜トランジス
タ(TFT)を形成している。TFTは、画素電極70
2と信号線703(ソース線)の間のスイッチング素子
として機能している。
4と直交する信号線703に接続され、ソース電極は、
画素電極702に接続されている。画素電極702及び
対向電極701は、互いに向き合う櫛型形状をしており
基板にほぼ平行な電界を印加することにより、液晶分子
の配列状態を画素毎に制御する。
ルの数画素分の構成図を示している。
電極バスライン803は、おおむね平行になるよう構成
されている。
1及びゲート配線802は、例えば、フィルムキャリア
を用いたTCP実装により実装された駆動ICから信号
線801に映像信号が供給され、ゲート配線802の先
端部の端子電極に例えば半導体チップを直接接続するC
OG(Chip on Glass)実装により実装された駆動IC
からゲート配線に走査信号が供給され、画像表示部に画
像が表示される。このように外部回路に接続するため
に、アレイ基板上には、ゲート配線用あるいは信号線用
の接続端子が具備されている。
明する為の図であり、基板の全体を表した平面の概略お
よび断面を示している。
対向電極バスラインは、成膜回数を減らしてコスト的に
有利なものとするために、同一の導電体層(第1の金属
層203)で形成される。この時、対向電極のバスライ
ン213は、2本のゲート配線214で挟まれる様に形
成される。
いられる為、1本1本別々に駆動ICチップ202に接続
される様になっている。
にする必要があるので、各対向電極バスライン213は
その端部で他の対向電極バスラインと導通を取られる。
尚、第1の金属層203で形成された対向電極は、ゲー
ト配線に挟まれているので第3の金属層201を介し
て、第2の金属層205で形成された短絡用共通ライン
215に接続され、対向電極バスライン間の導通を取ら
れる。これにより、基板全体の対向電極を同電位とされ
る。
ート配線214と対向電極のバスライン213上には、
絶縁膜が形成されている。
体を覆う保護膜層の2つの層がある。2つの絶縁層を同
時にパターニングしてTFTの製造を行う場合には、画素
電極をソースドレイン電極のレベルに設け、更に表示部
には不要な、第3の導電体層207によるジャンパ20
1により、対向電極バスライン213と第2の金属層で
形成された対向電極短絡ライン215をつなぐ必要があ
った。
される。
縁基板上にスパッタリングで第1の金属層203として
Alなどの金属膜を成膜する。そして第1のマスクを用い
フォトリソグラフ工程を行い、エッチングによりパター
ン形成し、ゲート配線211、対向電極210、対向電
極バスライン213を形成する。次いでプラズマCVD法
でシリコンチッ化層を成膜し絶縁層を形成する。さらに
プラズマCVD法で半導体層204であるシリコン層とn
+シリコン層を順次成膜し、第2のマスクを用いフォト
リソグラフでアイランドを形成しTFTのチャンネル部
を形成する。続いて、スパッタリング法で第2の金属層
205としてAlなどの金属層を形成し、第3のマスクを
用いてフォトリソグラフでエッチングによりパターン形
成し、ソース電極、ドレイン電極、および画素電極20
9を形成し、さらに、n+シリコン層をエッチングして
TFT部212を形成する。次いでシリコンチッ化層をプ
ラズマCVD法で成膜し絶縁保護層206を形成し、第4
のマスクを用いフォトリソグラフでエッチングによりパ
ターン形成し、電極取り出し用開口部を形成する。最後
に、スパッタリング法で第3の金属層であるITOなどの
導電層207を形成し、第5のマスクを用いフォトリソ
グラフでエッチングによりパターン形成し、第1の金属
層で形成された電極と第2の金属層で形成された電極の
接続(ジャンパ201)や、第1の金属層で形成された
電極間の接続に用いていた。
ラインなどはそれぞれ基板の周辺まで延在されて端部に
は外部端子が構成されている。この外部端子にそれぞれ
接続されて映像駆動回路、ゲート走査駆動回路、これら
を構成する複数個の駆動ICチップがアレイ基板の周辺部
もしくは、プリント基板に外付けされるような構成にな
っている。
し、また、表示にかかわらない導電体層を1つ装備する
ことになる。
示装置のアレイ基板においては、対向電極とゲート配線
が同一レイヤー上に形成されている。上記基板作製方式
においては、電極間で短絡させるための導通用ホールを
電極上の絶縁層に開け、第3の金属層(例えば、ITO等の
導電膜)を用いて各対向電極バスライン間を短絡させて
いるため、この方法では最終導電層であるITOをパター
ニングして導通用電極を形成する工程が必要となってい
た。すなわち、アレイ基板作成のために、合計5枚のフ
ォトマスクが必要であった。
ロセスコストの増加や不良発生の機会を増加させる。5
枚マスク製法は4枚マスクと比較して、必然的に工程数
が長くなるためコスト増や歩留まりの低下という問題が
存在していた。
合においては、順スタガ形状の4枚マスクによる製造方
法が提案されてている。しかし、この順スタガ形状のTF
Tでは、基板側からの光の入射が多く、光リークの問題
が生じる。
のである。
晶表示装置において、最終導電層による対向電極バスラ
イン間の短絡箇所をなくすことにより、ITO工程を省
き、フォトマスク枚数を削減することでトータルコスト
を低減し、且つ、歩留まりを向上させることにある。
本発明は、下記のような手段を採用する。
示装置の薄膜トランジスタアレイが形成された基板にお
いて、ゲート配線とこれに略平行に形成された対向電極
のバスラインを有し、ゲート配線は駆動ICに接続され、
対向電極のバスラインは基板の一辺に引き出され、駆動
IC下面のパネル基板上で電気的に1つにまとめられてい
ることを特徴とする。
示装置の薄膜トランジスタアレイが形成された基板にお
いて、ゲート配線とこれに略平行に形成された対向電極
のバスラインを有し、ゲート配線は駆動ICに接続され、
対向電極のバスラインは基板の一辺に引き出され、駆動
IC下面を通過し表示部外のパネル端部から接続端子を介
して、基板外で電気的に1つにまとめられていることを
特徴とする。
装されていることが更に好ましい。
示装置の薄膜トランジスタアレイが形成された基板にお
いて、ゲート配線とこれに略平行に形成された対向電極
のバスラインを有し、対向電極のバスラインは基板の同
一辺に引き出され、ゲート配線と対向電極のバスライン
は、多層回路基板でゲート配線対向電極バスラインを層
間で区分して配線されていることを特徴とする。
示装置の薄膜トランジスタアレイが形成された基板にお
いて、ゲート配線とこれに略平行に形成された対向電極
のバスラインを有し、対向電極のバスラインは基板の同
一辺に引き出され、ゲート配線が外部回路に接続されて
いる端子部の外側のパネル基板上において、対向電極の
バスラインが電気的に接続されて外部に取り出されてい
ることを特徴とする。
スラインが同一辺に引き出されていることが更に好まし
い。
示装置の薄膜トランジスタアレイが形成された基板にお
いて、ゲート配線とこれに略平行に形成された対向電極
のバスラインを有し、ゲート配線は基板の1辺より取り
出され、対向電極のバスラインはその反対側の辺から取
り出されるか、その対辺で相互に電気接続されているこ
とを特徴とする。
図面に基づいて説明する。
の特徴と製造工程を以下に簡単に記載する。
は、複数の平行なゲート配線802と信号線801が交
差して形成され、交差部には能動スイッチング素子とし
てTFT804が形成されている。平行するそれぞれ2
本のゲート配線と信号線で区画する領域には画素電極と
対向電極が形成されてマトリックス状に配置されTFT
に接続されている。
ンとゲート配線の配置を示す実施例について説明する。
電圧を供給する両側給電パネルを示している。上段の平
面図では、アレイ基板の全体像を示すために、各画素毎
の画素電極と対向電極は省略してある。中段の図は、ア
レイ基板を構成する層の断面を示したもの、また下段の
図は、フォトリソグラフで加工された後のアレイ基板の
断面図を示したものである。
2とゲート配線103の2種類の電極が、一定の間隔を
保って互いに略平行にストライプの形状をして配置され
ている。この対向電極バスラインとゲート配線は、いず
れも第1の導電層107で形成されている。ゲート配線
103は駆動用回路に接続する為、基板両側の端辺にあ
る接続端子部から取り出されている。駆動用IC105
は、アレイ基板106の上に直接実装されたCOG構造を
取っている。一方、対向電極バスライン102は、基板
片側のゲート配線が取り出されている接続端子の間をぬ
って、ゲート配線が接続されているICチップ105の下
面で対向電極短絡ライン104によって導通が取られる
構成とした。対向電極バスラインは、短絡されたあと外
部回路に取り出されている。
下のようにして作製される。先ず、コーニング社製のガ
ラス基板(商品コード1737)の片面上に、真空成膜
装置を用いて膜厚0.2μm程度のAl薄膜金属層による第
1の金属層107を被着し、第1のマスクを用いて、ゲ
ート配線103と対向電極112、対向電極バスライン
102とを選択的に形成する。このとき同時に、対向電
極バスライン102を短絡するための対向電極短絡ライ
ン104も形成する。
D装置を用いてゲート絶縁層となる窒化シリコン層(S
iNx)、不純物をほとんど含まずトランジスタのチャ
ネルとなる非晶質シリコン(a−Si)の半導体層10
8および、n+a−Si層の3種類の薄膜層を、膜厚0.
3、0.2、0.03μmで順次被着し、第2のマスクを用い
て、チャネル部のa-Siを選択的に残す。
程度のアルミ薄膜による第2の金属層109を被着し、
第3のマスクを用いて、信号線(ソース配線)と画素
(ドレイン)電極112とを選択的に形成し、さらにチ
ャネル部のn+a-Si層のエッチングも行いTFT部114
を形成する。次に、プラズマCVD装置を用いて絶縁保
護膜110として窒化シリコン層を堆積する。
信号を供給できるようにガラス基板の周辺部にてゲート
配線取り出し端子113上の絶縁保護膜110を、第4
のマスクを用いて選択的に除去し、端子を露出してお
く。このとき同時に信号線の取り出し端子(図示せず)
も露出させる。以上の方法により、4枚のマスクでアレ
イ基板を形成することが可能となった。
ブラックマトリクス、カラーフィルタ、配向膜が形成さ
れる。ブラックマトリクスはゲート配線、信号線からな
るバスラインと、画素電極の端部とを覆うように配置す
る。
晶層が挟持されるように、パネルを組み立てた。
示す様に、外部回路を取りつけて画像表示させたとこ
ろ、従来と同様に品位の高い表示を行うことが出来た。
っており、歩留まりを向上させることが出来た。
に、対向電極バスライン306をアレイ基板に直接実装
されたCOG構造のICチップ301の外側に引き出して外
部に設けたプリント基板上(図示せず)で導通させた。
ライン306に、基板一辺で外部回路に取り出す為の接
続端子304が形成されている。
外側に設けた。また、対向電極バスライン306は、IC
チップ301とは接続せずにICチップの下部を通過し、
さらにICチップの外側において接続端子304と接続
し、図示していないが外部回路(例えばプリント基板)
に取り出して導通を取った。
成できるので4枚のマスクでアレイ基板を形成すること
が可能となった。
画像を表示させたところ従来と同様に品位の高い表示を
することが出来た。
ており、歩留まりを向上させることが出来た。
に、対向電極バスライン403が、COG実装されたI
Cチップ406の下部を通過して、ICチップより外部
の基板端部において対向電極短絡ライン407により短
絡される。
は対向電極バスライン403と同一の金属層により形成
できるので、4枚のマスクでアレイ基板を形成すること
が可能となった。
表示させたところ従来と同様に品位の高い表示をするこ
とが出来た。
ており、歩留まりを向上させることが出来た。
505と対向電極バスライン508は、基板の同じ辺
(図では左辺)で外部回路に取り出す為の接続端子50
4,503に接続されている。
501が搭載されたプリント基板にフレキシブルプリン
ト基板507を介して接続されており、右側にはガラス
基板に直接ICチップがCOG実装されている。
において駆動ICチップ501に接続した。一方、対向電
極バスライン508はプリント基板上においてICチップ
とは接続せずにICチップの下部を通過して導通を取っ
た。
レイ基板を形成することが可能である。
表示させたところ従来と同様に品位の高い表示をするこ
とが出来た。
フレキシブルプリント基板を形成したものに比して液晶
表示装置をコンパクトにすることが出来る。
ており、歩留まりを向上させることが出来た。
905は、基板両辺で外部回路に取り出す為の接続端子
に接続されている。
搭載されたプリント基板がフレキシブルプリント基板9
07を介して接続されており、対辺にはガラス基板に直
接ICチップがCOG実装されている。
チップに接続した。一方、対向電極バスライン908は
フレキシブルプリント基板907には接続せずにフレキ
シブル基板の下部のアレイ基板上において導通を取っ
た。
基板を形成することが可能となった。
表示させたところ従来と同様に品位の高い表示をするこ
とが出来た。
ており、歩留まりを向上させることが出来た。
フレキシブルプリント基板を形成したものに比して液晶
表示装置をコンパクトにすることが出来る。
ト配線604は、基板両側で外部回路に取り出す為の接
続端子に接続されている。対向電極バスライン602
は、基板片側の2層プリント基板601と接続される側
で接続端子に取り出される。
引き出し線は、プリント基板601上の駆動IC607に
接続されている。一方、対向電極バスラインからの引き
出しラインは、同プリント基板のゲート配線に接続した
層とは別の層で集約し導通を取った。(例えば、図6−
bに示す様にプリント基板の下面にスルーホールを通し
て落とせば良い。)尚、プリント基板には、2層構造の
ものを用いた。
基板を形成することが可能となった。
ルを組んで表示させたところ従来と同様に品位の高い表
示をすることが出来た。
ており、歩留まりを向上させることが出来た。
フレキシブルプリント基板を形成したものに比して液晶
表示装置をコンパクトにすることが出来る。
おいて、対向電極バスラインが引き出されているのとは
逆側の駆動回路を除いて、片側給電構成としても良い。
この場合も4枚のマスクでアレイ基板を作製することが
出来る。また、この様にゲート引き出しと対向電極バス
ライン引出しを同一辺にすることにより表示装置をコン
パクトにすることが可能である。
同一電位の対向電極を形成することができ、4枚のマス
クでアレイ基板を形成することが可能となりマスクの枚
数を減らすことが可能となった。またアレイ基板作製時
のマスク枚数が減っており、歩留まりを向上させること
が出来た。
ICをフレキシブルプリント基板507上に形成すること
で、プリント基板を除くことも可能である。
ICをフレキシブルプリント基板907上に形成すること
で、プリント基板を除くことも可能である。
線1003は基板の1辺より取り出し、対向電極バスラ
イン1002はそれとは反対側にある辺に引き出した。
各配線はこのまま外部回路に取り出してもよいが、接続
ポイントを少なくするために、アレイ基板上で対向電極
短絡ライン1004により電気的に接続し1つにまとめ
て外部回路と接続した。このような構成にすれば、ゲー
ト配線と対向電極バスラインがクロスオーバーする箇所
が存在しないのでコンタクトを取る必要が無くマスク枚
数も減らすことが出来る。
分を半分とすることが出来るので、コンパクトにするこ
とが出来る。
基板を形成することが可能となる。したがって、アレイ
基板作製時のマスク枚数が減っており、歩留まりを向上
させることが出来、トータルのコストを削減することが
出来た。
する図
する図
Claims (6)
- 【請求項1】横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジス
タアレイが形成された基板において、ゲート配線とこれ
に略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、前
記ゲート配線は前記基板の辺部に実装された駆動ICに接
続され、前記対向電極のバスラインは前記基板の一辺に
引き出され、前記駆動IC下面の前記基板上で電気的に1
つにまとめられていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジス
タアレイが形成された基板において、ゲート配線とこれ
に略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、前
記ゲート配線は前記基板の辺部に実装された駆動ICに接
続され、前記対向電極のバスラインは前記基板の一辺に
引き出され、前記駆動IC下面を通過し前記基板端部から
接続端子を介して、基板外で電気的に1つにまとめられ
ていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項3】前記駆動ICのチップが前記基板にCOG法
により直接実装されていることを特徴とする、請求項1
または2に記載の液晶表示装置。 - 【請求項4】横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジス
タアレイが形成された基板において、ゲート配線とこれ
に略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、前
記ゲート配線と前記対向電極のバスラインは前記基板の
同一辺に引き出されて多層回路基板に接続され、前記ゲ
ート配線と前記対向電極のバスラインは、前記多層回路
基板において層間で区分して配線されていることを特徴
とする液晶表示装置。 - 【請求項5】横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジス
タアレイが形成された基板において、ゲート配線とこれ
に略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、前
記ゲート配線と前記対向電極のバスラインは前記基板の
同一辺に引き出され、前記ゲート配線は接続端子を介し
て外部回路に接続されており、前記接続端子の外側の前
記基板上において、前記対向電極のバスラインが電気的
に1つにまとめられて基板外部に取り出されていること
を特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項6】横電界方式液晶表示装置の薄膜トランジス
タアレイが形成された基板において、ゲート配線とこれ
に略平行に形成された対向電極のバスラインを有し、前
記ゲート配線は前記基板の1辺より取り出され、前記対
向電極のバスラインは前記基板の反対側の辺から個別に
取り出されるか、その辺で相互に電気接続されているこ
とを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000150965A JP2001330854A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000150965A JP2001330854A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001330854A true JP2001330854A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18656593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000150965A Pending JP2001330854A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001330854A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466392B1 (ko) * | 2001-05-30 | 2005-01-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 프린지 필드 스위칭 액정표시장치의 제조방법 |
KR100494709B1 (ko) * | 2002-04-19 | 2005-06-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 자기정렬 전극을 가지는 액정표시소자의 제조방법 |
KR100697603B1 (ko) | 2004-06-10 | 2007-03-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계 방식 액정표시장치와 그 제조방법 |
US9583056B2 (en) | 2014-03-27 | 2017-02-28 | Au Optronics Corporation | Pixel structure and driving method for pixel |
-
2000
- 2000-05-23 JP JP2000150965A patent/JP2001330854A/ja active Pending
Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
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KR100494709B1 (ko) * | 2002-04-19 | 2005-06-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 자기정렬 전극을 가지는 액정표시소자의 제조방법 |
KR100697603B1 (ko) | 2004-06-10 | 2007-03-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계 방식 액정표시장치와 그 제조방법 |
US9583056B2 (en) | 2014-03-27 | 2017-02-28 | Au Optronics Corporation | Pixel structure and driving method for pixel |
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