JP2001312804A - マルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置 - Google Patents
マルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置Info
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
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- Magnetic Heads (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極パッドの面積を縮小することなく、所定
の寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を増加させ
る。 【解決手段】 基板2上に形成されたMRヘッドを構成
するMR素子20に電気的に接続された複数の電極パッ
ド4、及びコイル10に電気的に接続された複数の電極
パッド6をそれぞれ隣り合う電極パッド4、6が交互に
前後方向に変位するように配列する。また、フレキシブ
ルプリント基板30側の電極パッド7,9もそれぞれ隣
り合う電極パッド6が交互に前後方向に変位するように
配列する。
の寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を増加させ
る。 【解決手段】 基板2上に形成されたMRヘッドを構成
するMR素子20に電気的に接続された複数の電極パッ
ド4、及びコイル10に電気的に接続された複数の電極
パッド6をそれぞれ隣り合う電極パッド4、6が交互に
前後方向に変位するように配列する。また、フレキシブ
ルプリント基板30側の電極パッド7,9もそれぞれ隣
り合う電極パッド6が交互に前後方向に変位するように
配列する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果膜を
用いて磁気記録媒体から情報を読み出す磁気抵抗効果型
ヘッドを多素子化したマルチチャンネル磁気抵抗効果型
ヘッド装置に関する。
用いて磁気記録媒体から情報を読み出す磁気抵抗効果型
ヘッドを多素子化したマルチチャンネル磁気抵抗効果型
ヘッド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ハードディスクやビデオテープ等の磁気
記録媒体に記録されている情報を再生するため、磁気抵
抗効果(magnetoresistance effect)を利用した磁気抵
抗効果型ヘッド(以下、MRヘッドという。)が広く使
われている。近年では、半導体の微細加工技術により、
MRヘッドのマルチチャンネル化が進んでいる。
記録媒体に記録されている情報を再生するため、磁気抵
抗効果(magnetoresistance effect)を利用した磁気抵
抗効果型ヘッド(以下、MRヘッドという。)が広く使
われている。近年では、半導体の微細加工技術により、
MRヘッドのマルチチャンネル化が進んでいる。
【0003】図3は、マルチチャンネルMRヘッド装置
11を示す図である。図3に示すように、マルチチャン
ネルMRヘッド装置11は、ウェハ基板12と、ウェハ
基板12上に形成された複数のMRヘッド13(13−
1、13−2、13−3、… )と、MRヘッド13を
構成するMR素子、及びコイルとに電気的に接続された
複数の電極パッド14、16とを備えている。電極パッ
ド14、16は、ワイヤ15、18を介して、フレキシ
ブルプリント基板40上に設けられた複数の電極パッド
17、19に電気的に接続されている。
11を示す図である。図3に示すように、マルチチャン
ネルMRヘッド装置11は、ウェハ基板12と、ウェハ
基板12上に形成された複数のMRヘッド13(13−
1、13−2、13−3、… )と、MRヘッド13を
構成するMR素子、及びコイルとに電気的に接続された
複数の電極パッド14、16とを備えている。電極パッ
ド14、16は、ワイヤ15、18を介して、フレキシ
ブルプリント基板40上に設けられた複数の電極パッド
17、19に電気的に接続されている。
【0004】このマルチチャンネルMRヘッド装置11
では、所定の情報が磁気的に記録されたハードディスク
やビデオテープ等の磁気記録媒体とMRヘッド13とが
対向するように配設し、MRヘッド13を構成するMR
素子に所定の電流を供給しながら、その抵抗の変化を信
号として利用することにより、記録媒体に記録された情
報を読み出す。MR素子が読み出した信号は、フレキシ
ブルプリント基板40を介して、このマルチチャンネル
MRヘッド装置11が設けられた、例えばハードディス
クドライブ、あるいはビデオテープレコーダ等の記録再
生装置本体内の所定の回路に供給される。
では、所定の情報が磁気的に記録されたハードディスク
やビデオテープ等の磁気記録媒体とMRヘッド13とが
対向するように配設し、MRヘッド13を構成するMR
素子に所定の電流を供給しながら、その抵抗の変化を信
号として利用することにより、記録媒体に記録された情
報を読み出す。MR素子が読み出した信号は、フレキシ
ブルプリント基板40を介して、このマルチチャンネル
MRヘッド装置11が設けられた、例えばハードディス
クドライブ、あるいはビデオテープレコーダ等の記録再
生装置本体内の所定の回路に供給される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図3に示すマルチチャ
ンネルMRヘッド装置11では、MRヘッド13を構成
する各MR素子に電流を供給し、及びMR素子が読み出
した信号を記録再生装置本体内の回路に供給するため
に、各MR素子に対して、それぞれ2つの電極パッド1
4を用意し、記録媒体へ記録するコイルに対して、それ
ぞれ2つの電極パッド16を用意している。このような
マルチチャンネルMRヘッド装置11において、チャン
ネル数を増加させる。すなわちMRヘッド13の数を増
加させた場合、電極パッド14、16の数もそれに伴っ
て増加させる必要があるが、基板12の幅に制約がある
ため、電極パッド14、16の面積を狭く形成する必要
があった。
ンネルMRヘッド装置11では、MRヘッド13を構成
する各MR素子に電流を供給し、及びMR素子が読み出
した信号を記録再生装置本体内の回路に供給するため
に、各MR素子に対して、それぞれ2つの電極パッド1
4を用意し、記録媒体へ記録するコイルに対して、それ
ぞれ2つの電極パッド16を用意している。このような
マルチチャンネルMRヘッド装置11において、チャン
ネル数を増加させる。すなわちMRヘッド13の数を増
加させた場合、電極パッド14、16の数もそれに伴っ
て増加させる必要があるが、基板12の幅に制約がある
ため、電極パッド14、16の面積を狭く形成する必要
があった。
【0006】電極パッド14とワイヤ15、電極パッド
16とワイヤ18とは、通常ワイヤボンディングにより
接続されるが、電極パッド14、16の面積が狭くなる
と、このような作業が困難になり、作業効率が低下す
る。一方、電極パッド14、16の面積をある程度確保
しようとすると、同一サイズの基板上に形成できる電極
パッド14、16の数が減り、したがって基板上に形成
できるMRヘッド13の数が減り、所望のチャンネル数
が得られなくなる。基板のサイズを大きくすれば、マル
チチャンネルMRヘッド装置11自体のサイズが大きく
なり、小型化が求められる装置において望ましくない。
16とワイヤ18とは、通常ワイヤボンディングにより
接続されるが、電極パッド14、16の面積が狭くなる
と、このような作業が困難になり、作業効率が低下す
る。一方、電極パッド14、16の面積をある程度確保
しようとすると、同一サイズの基板上に形成できる電極
パッド14、16の数が減り、したがって基板上に形成
できるMRヘッド13の数が減り、所望のチャンネル数
が得られなくなる。基板のサイズを大きくすれば、マル
チチャンネルMRヘッド装置11自体のサイズが大きく
なり、小型化が求められる装置において望ましくない。
【0007】本発明は上述の課題に鑑みてなされたもの
であり、電極パッドの面積を縮小することなく、所定の
寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を増加させる
ことができる磁気ヘッド装置を提供することを目的とす
る。
であり、電極パッドの面積を縮小することなく、所定の
寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を増加させる
ことができる磁気ヘッド装置を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係るマルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘ
ッド装置は、板状に切り出された基板と、上記基板上に
形成された磁気ヘッドと、上記基板上に形成され、上記
磁気ヘッドに電気的に接続された複数の電極パッドとを
備え、上記複数の電極パッドは、隣り合う電極パッドが
交互に前後方向へ変位されて配列されている。
めに、本発明に係るマルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘ
ッド装置は、板状に切り出された基板と、上記基板上に
形成された磁気ヘッドと、上記基板上に形成され、上記
磁気ヘッドに電気的に接続された複数の電極パッドとを
備え、上記複数の電極パッドは、隣り合う電極パッドが
交互に前後方向へ変位されて配列されている。
【0009】また、本発明に係るマルチチャンネル磁気
抵抗効果型ヘッド装置は、上記基板に設けられた複数の
電極パッドに電気的に接続される同数の電極パッドを有
するフレキシブルプリント基板を備え、上記フレキシブ
ルプリント基板上に配設された電極パッドは、隣り合う
電極パッドが交互に前後方向へ変位されて配列されてい
る。
抵抗効果型ヘッド装置は、上記基板に設けられた複数の
電極パッドに電気的に接続される同数の電極パッドを有
するフレキシブルプリント基板を備え、上記フレキシブ
ルプリント基板上に配設された電極パッドは、隣り合う
電極パッドが交互に前後方向へ変位されて配列されてい
る。
【0010】磁気ヘッドが形成された基板上の電極パッ
ド、及び磁気ヘッドが読み出した信号を所定の回路に供
給するフレキシブルプリント基板上の電極パッドを、交
互に前号方向へ変位させて配列することにより、電極パ
ッドの面積を縮小することなく、多数の電極パッドを形
成することができる。
ド、及び磁気ヘッドが読み出した信号を所定の回路に供
給するフレキシブルプリント基板上の電極パッドを、交
互に前号方向へ変位させて配列することにより、電極パ
ッドの面積を縮小することなく、多数の電極パッドを形
成することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るマルチチャン
ネル磁気抵抗効果型ヘッド装置の実施の形態について、
図面を参照して詳細に説明する。
ネル磁気抵抗効果型ヘッド装置の実施の形態について、
図面を参照して詳細に説明する。
【0012】図1は、本発明を適用したマルチチャンネ
ル磁気抵抗効果型ヘッド装置(以下、単にMRヘッド装
置という。)1の平面図である。このMRヘッド装置1
は、略矩形の板状に切り出されたウェハ基板2と、ウェ
ハ基板2の素子形成面上に周知の手法を用いて、所定の
間隔で一列に形成された複数のマルチチャンネル磁気抵
抗効果型ヘッド(以下、単にMRヘッドという。)3
(3−1、3−2、…、3−9)と、これらMRヘッド
3の所定の電極に低抵抗金属パターンを介して接続され
た複数の電極パッド4、6とを備える。
ル磁気抵抗効果型ヘッド装置(以下、単にMRヘッド装
置という。)1の平面図である。このMRヘッド装置1
は、略矩形の板状に切り出されたウェハ基板2と、ウェ
ハ基板2の素子形成面上に周知の手法を用いて、所定の
間隔で一列に形成された複数のマルチチャンネル磁気抵
抗効果型ヘッド(以下、単にMRヘッドという。)3
(3−1、3−2、…、3−9)と、これらMRヘッド
3の所定の電極に低抵抗金属パターンを介して接続され
た複数の電極パッド4、6とを備える。
【0013】このMRヘッド装置1においては、後述す
るように、MRヘッド3を構成するMR素子に所定の電
流を供給し、また、MR素子の抵抗値の変化を検出する
ために、1つのMR素子に対してそれぞれ2つの電極パ
ッド4が用意され、媒体へ記録するコイルに対してそれ
ぞれ2つの電極パッド6が用意されている。これら複数
の電極パッド4、6は、それぞれ隣り合う電極パッド
4、6が交互に前後方向へ変位されて配列されている。
るように、MRヘッド3を構成するMR素子に所定の電
流を供給し、また、MR素子の抵抗値の変化を検出する
ために、1つのMR素子に対してそれぞれ2つの電極パ
ッド4が用意され、媒体へ記録するコイルに対してそれ
ぞれ2つの電極パッド6が用意されている。これら複数
の電極パッド4、6は、それぞれ隣り合う電極パッド
4、6が交互に前後方向へ変位されて配列されている。
【0014】また、このMRヘッド装置1は、MRヘッ
ド3を構成するMR素子に所定の電流を供給し、あるい
は、MR素子が読み出した信号を、このMRヘッド装置
1を備える例えばハードディスクドライブ、あるいはビ
デオテープレコーダ等の記録再生装置内に設けられた所
定の回路に供給するためのフレキシブルプリント基板3
0を備える。フレキシブルプリント基板30には、ウェ
ハ基板2上に設けられた電極パッド4、6と同数の電極
パッド7,9が形成されており、電極パッド7,9は、
ワイヤ5,8を介して基板2上の電極パッド4、6に電
気的に接続されている。これら複数の電極パッド7,9
も電極パッド4、6と同様、それぞれ隣り合う電極パッ
ド6が交互に前後方向に変位されて配列されている。
ド3を構成するMR素子に所定の電流を供給し、あるい
は、MR素子が読み出した信号を、このMRヘッド装置
1を備える例えばハードディスクドライブ、あるいはビ
デオテープレコーダ等の記録再生装置内に設けられた所
定の回路に供給するためのフレキシブルプリント基板3
0を備える。フレキシブルプリント基板30には、ウェ
ハ基板2上に設けられた電極パッド4、6と同数の電極
パッド7,9が形成されており、電極パッド7,9は、
ワイヤ5,8を介して基板2上の電極パッド4、6に電
気的に接続されている。これら複数の電極パッド7,9
も電極パッド4、6と同様、それぞれ隣り合う電極パッ
ド6が交互に前後方向に変位されて配列されている。
【0015】図2は、図1に示すMRヘッド装置1のM
Rヘッド3を拡大して示す図である。MR素子20は、
図面省略するが、基板2の記録媒体に望む位置に形成さ
れ、電極パッド21,21に電気的に接続され、さら
に、この電極パッド21,21は、電極配線22を通し
て、上述した電極4,4に電気的に接続される。この電
極パッド4,4に電流を流しながら、磁気抵抗効果を利
用して磁気の変化をヘッドの抵抗値に変換し、記録媒体
に記録されたデータを検出する。また、コイル10は、
記録媒体への記録を行い、電極配線23,23を通して
電極パッド6,6に電気的に接続されている。これらコ
イル10、電極パッド21、電極配線22,23は、例
えば銅(Cu)や金(Au)等の低抵抗金属膜が用いら
れる。
Rヘッド3を拡大して示す図である。MR素子20は、
図面省略するが、基板2の記録媒体に望む位置に形成さ
れ、電極パッド21,21に電気的に接続され、さら
に、この電極パッド21,21は、電極配線22を通し
て、上述した電極4,4に電気的に接続される。この電
極パッド4,4に電流を流しながら、磁気抵抗効果を利
用して磁気の変化をヘッドの抵抗値に変換し、記録媒体
に記録されたデータを検出する。また、コイル10は、
記録媒体への記録を行い、電極配線23,23を通して
電極パッド6,6に電気的に接続されている。これらコ
イル10、電極パッド21、電極配線22,23は、例
えば銅(Cu)や金(Au)等の低抵抗金属膜が用いら
れる。
【0016】電極パッド4、6は、上述のとおり、ワイ
ヤ5,8を介してフレキシブルプリント基板30の電極
パッド7,9に接続されており、フレキシブルプリント
基板20は、さらに所定の回路に接続されている。この
ような配線構造により、MR素子20に電流が供給され
るとともに、MR素子20の抵抗値の変化を示す信号、
すなわち、MR素子20が例えばハードディスクやビデ
オテープ等の磁気記録媒体から検出したデータを示す信
号が、所定の回路に供給される。
ヤ5,8を介してフレキシブルプリント基板30の電極
パッド7,9に接続されており、フレキシブルプリント
基板20は、さらに所定の回路に接続されている。この
ような配線構造により、MR素子20に電流が供給され
るとともに、MR素子20の抵抗値の変化を示す信号、
すなわち、MR素子20が例えばハードディスクやビデ
オテープ等の磁気記録媒体から検出したデータを示す信
号が、所定の回路に供給される。
【0017】このMRヘッド装置1においては、上述の
とおり、ウェハ基板2上に設けられた複数の電極パッド
4、4、6、6が千鳥状に、すなわち、隣り合う電極パ
ッド4、4、6、6が互いに前後方向に変位されて形成
されている。この変位の寸法は、電極パッド4、6の幅
を広くしても、隣り合う電極パッド4、6が重ならない
ように、少なくとも電極パッド4、6の長さ、すなわ
ち、前後方向の寸法よりも大きくとられている。したが
って、電極パッド4、6の幅を広くとることができ、所
望の面積を有する電極パッド4、6が形成できる。
とおり、ウェハ基板2上に設けられた複数の電極パッド
4、4、6、6が千鳥状に、すなわち、隣り合う電極パ
ッド4、4、6、6が互いに前後方向に変位されて形成
されている。この変位の寸法は、電極パッド4、6の幅
を広くしても、隣り合う電極パッド4、6が重ならない
ように、少なくとも電極パッド4、6の長さ、すなわ
ち、前後方向の寸法よりも大きくとられている。したが
って、電極パッド4、6の幅を広くとることができ、所
望の面積を有する電極パッド4、6が形成できる。
【0018】すなわち、この実施の形態においては、1
つのMR素子20に対して2つの電極パッド4、1つの
コイル10に対して2つの電極パッドを設けており、M
Rヘッド装置1の多チャンネル化に応じてMRヘッド3
の数を増加させれば、その数の4倍の電極パッド4、6
が必要となる。本発明によれば、ウェハ基板2の寸法を
大きくすることなく、一定面積の電極パッド4、6を従
来より多く形成することができるため、MRヘッド装置
1のチャンネル数の増加に対応できる。
つのMR素子20に対して2つの電極パッド4、1つの
コイル10に対して2つの電極パッドを設けており、M
Rヘッド装置1の多チャンネル化に応じてMRヘッド3
の数を増加させれば、その数の4倍の電極パッド4、6
が必要となる。本発明によれば、ウェハ基板2の寸法を
大きくすることなく、一定面積の電極パッド4、6を従
来より多く形成することができるため、MRヘッド装置
1のチャンネル数の増加に対応できる。
【0019】一方、この実施の形態では、フレキシブル
プリント基板30に設けられた電極パッド7,9も、ウ
ェハ基板2上の電極パッド4、6と同様、隣り合う電極
パッド7,7,9,9が互いに前後方向に変位されて形
成されている。したがって、フレキシブルプリント基板
30においても、電極パッド7,9の面積を狭くするこ
となく、より多くの電極パッド7,9を形成することが
できる。
プリント基板30に設けられた電極パッド7,9も、ウ
ェハ基板2上の電極パッド4、6と同様、隣り合う電極
パッド7,7,9,9が互いに前後方向に変位されて形
成されている。したがって、フレキシブルプリント基板
30においても、電極パッド7,9の面積を狭くするこ
となく、より多くの電極パッド7,9を形成することが
できる。
【0020】ウェハ基板2上の電極パッド4、6とフレ
キシブルプリント基板30上の電極パッド7,9とは、
ワイヤ5,8により電気的に接続されている。ワイヤ
5,8は、電極パッド4及び電極パッド7、電極パッド
6及び電極パッド9にそれぞれワイヤボンディングによ
り結線されている。この結線の作業時に、電極パッド
4,6、7,9の面積が狭い場合、作業効率が低下し、
接続不良等も生じやすいという問題があった。本発明で
は、上述のとおり、電極パッド4、6、7,9の面積
を、より広く形成することができるため、このようなボ
ンディング作業の効率を向上させ、接続不良等の不良率
を低下させることができる。
キシブルプリント基板30上の電極パッド7,9とは、
ワイヤ5,8により電気的に接続されている。ワイヤ
5,8は、電極パッド4及び電極パッド7、電極パッド
6及び電極パッド9にそれぞれワイヤボンディングによ
り結線されている。この結線の作業時に、電極パッド
4,6、7,9の面積が狭い場合、作業効率が低下し、
接続不良等も生じやすいという問題があった。本発明で
は、上述のとおり、電極パッド4、6、7,9の面積
を、より広く形成することができるため、このようなボ
ンディング作業の効率を向上させ、接続不良等の不良率
を低下させることができる。
【0021】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るマルチチャ
ンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置では、基板上に形成さ
れ、磁気ヘッド素子に電気的に接続された複数の電極パ
ッドを隣り合う電極パッドが交互に前後方向へ変位する
よう配列するので、電極パッドの面積を縮小することな
く、所定の寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を
増加させることができる。したがって、マルチチャンネ
ル磁気抵抗効果型ヘッド装置のチャンネル数の増加に対
応できる。また、電極パッドの面積を狭くする必要がな
いため、ワイヤボンディング等の作業効率も良好に保つ
ことができる。
ンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置では、基板上に形成さ
れ、磁気ヘッド素子に電気的に接続された複数の電極パ
ッドを隣り合う電極パッドが交互に前後方向へ変位する
よう配列するので、電極パッドの面積を縮小することな
く、所定の寸法の基板上に形成できる電極パッドの数を
増加させることができる。したがって、マルチチャンネ
ル磁気抵抗効果型ヘッド装置のチャンネル数の増加に対
応できる。また、電極パッドの面積を狭くする必要がな
いため、ワイヤボンディング等の作業効率も良好に保つ
ことができる。
【図1】本発明を適用したマルチチャンネル磁気抵抗効
果型ヘッド装置の平面図である。
果型ヘッド装置の平面図である。
【図2】図1に示すマルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘ
ッド装置の磁気ヘッド素子の拡大図である。
ッド装置の磁気ヘッド素子の拡大図である。
【図3】従来のマルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド
装置の平面図である。
装置の平面図である。
1 マルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置 2 ウェハ基板 3 MRヘッド 4、6 電極パッド 30 フレキシブルプリント基板 7,9 電極パッド 5,8 ワイヤ
Claims (2)
- 【請求項1】 板状に切り出された基板と、 上記基板上に形成された複数の磁気ヘッドと、 上記基板上に形成され、上記磁気ヘッドに電気的に接続
された複数の電極パッドとを備え、 上記複数の電極パッドは、隣り合う電極パッドが交互に
前後方向へ変位されて配列されていることを特徴とする
マルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置。 - 【請求項2】 上記基板に設けられた複数の電極パッド
に電気的に接続される同数の電極パッドを有するフレキ
シブルプリント基板を備え、 上記フレキシブルプリント基板上に配設された電極パッ
ドは、隣り合う電極パッドが交互に前後方向へ変位され
て配列されていることを特徴とするマルチチャンネル磁
気抵抗効果型ヘッド装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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