JP2001230304A - 基板センタリング装置 - Google Patents
基板センタリング装置Info
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- JP2001230304A JP2001230304A JP2000039652A JP2000039652A JP2001230304A JP 2001230304 A JP2001230304 A JP 2001230304A JP 2000039652 A JP2000039652 A JP 2000039652A JP 2000039652 A JP2000039652 A JP 2000039652A JP 2001230304 A JP2001230304 A JP 2001230304A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板センタリング装置において、カセット内
に収納されている基板中央部近傍の撓みを修正して平ら
にすると共に、位置ずれしている基板を中央に寄せるセ
ンタリングも行うこと。 【解決手段】 基板センタリング装置１を、多段の支持
アーム２Ａ上に載せられた基板Ｐを収納したカセット２
が載置される載置台３と、該載置台に載置されたカセッ
ト内に進入して基板の中央部近傍を下方から支える複数
のサポート１０と、カセットの外側から内側に水平移動
して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム１１と、
サポート及びセンタリングアームが設けられた昇降フレ
ーム５を昇降させる昇降装置とで構成する。
に収納されている基板中央部近傍の撓みを修正して平ら
にすると共に、位置ずれしている基板を中央に寄せるセ
ンタリングも行うこと。 【解決手段】 基板センタリング装置１を、多段の支持
アーム２Ａ上に載せられた基板Ｐを収納したカセット２
が載置される載置台３と、該載置台に載置されたカセッ
ト内に進入して基板の中央部近傍を下方から支える複数
のサポート１０と、カセットの外側から内側に水平移動
して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム１１と、
サポート及びセンタリングアームが設けられた昇降フレ
ーム５を昇降させる昇降装置とで構成する。
Description
【０００１】
【発明の属するの技術分野】本発明は、カセット内に収
納された基板、例えば液晶表示器用ガラス基板、半導体
ウエハ等の基板をカセットから１枚ずつロボットのハン
ドで搬出する際に、カセット内に収納されている基板中
央部近傍の撓みを搬出前に予め修正して平らにすると共
に、カセット搬送中、あるいは移動中において位置ずれ
した基板をカセット内の中央に寄せて位置修正する基板
センタリング装置に関する。
納された基板、例えば液晶表示器用ガラス基板、半導体
ウエハ等の基板をカセットから１枚ずつロボットのハン
ドで搬出する際に、カセット内に収納されている基板中
央部近傍の撓みを搬出前に予め修正して平らにすると共
に、カセット搬送中、あるいは移動中において位置ずれ
した基板をカセット内の中央に寄せて位置修正する基板
センタリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カセット内に液晶表示器用ガラス
基板、半導体ウエハ等の基板をロボットアームのハンド
により搬入する際、基板をカセット内の所定位置に載置
し、搬出時におけるハンドでの基板保持が確実に行われ
るようした装置は公知（特開平１１−３１２７２４号公
報参照。）である。この装置は、基板をカセットに搬入
するときにハンドの進入量を設定することにより、基板
を予め搬出入方向の中央に載置するものであるが、基板
の中央部近傍の撓みを修正したり、収納されている基板
を搬出入方向に対して左右に位置修正する機能を備えて
いないものである。
基板、半導体ウエハ等の基板をロボットアームのハンド
により搬入する際、基板をカセット内の所定位置に載置
し、搬出時におけるハンドでの基板保持が確実に行われ
るようした装置は公知（特開平１１−３１２７２４号公
報参照。）である。この装置は、基板をカセットに搬入
するときにハンドの進入量を設定することにより、基板
を予め搬出入方向の中央に載置するものであるが、基板
の中央部近傍の撓みを修正したり、収納されている基板
を搬出入方向に対して左右に位置修正する機能を備えて
いないものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示器用ガラス基
板、半導体ウエハ等の基板は、カセット内に多段に設け
られた支持アーム上に通常１枚ずつ載せられているが、
基板のサイズが大きいと収納保管されている間に、中央
部近傍が撓むと共に位置がずれて、基板搬出時にロボッ
トアームのハンドが基板間に進入するとき基板に接触し
たり、あるいはカセット移動中に基板の位置がずれて、
そのままハンドで支持して搬出すると、重心がずれてい
るため落下する恐れがあるという問題点があった。ま
た、このようなことを避けるために、基板に撓みが生じ
た場合、基板を１枚ずつ取り出して別のセンタリング装
置に移し替え、撓みを修正し、次いで位置修正してロボ
ットアームのハンドで中央部近傍を支持できるようにす
ることも行われているが、このようにするとカセットか
らの基板搬出サイクル、基板搬送サイクルが長くなると
いう問題点があった。
板、半導体ウエハ等の基板は、カセット内に多段に設け
られた支持アーム上に通常１枚ずつ載せられているが、
基板のサイズが大きいと収納保管されている間に、中央
部近傍が撓むと共に位置がずれて、基板搬出時にロボッ
トアームのハンドが基板間に進入するとき基板に接触し
たり、あるいはカセット移動中に基板の位置がずれて、
そのままハンドで支持して搬出すると、重心がずれてい
るため落下する恐れがあるという問題点があった。ま
た、このようなことを避けるために、基板に撓みが生じ
た場合、基板を１枚ずつ取り出して別のセンタリング装
置に移し替え、撓みを修正し、次いで位置修正してロボ
ットアームのハンドで中央部近傍を支持できるようにす
ることも行われているが、このようにするとカセットか
らの基板搬出サイクル、基板搬送サイクルが長くなると
いう問題点があった。
【０００４】そこで、本発明は、前述したような従来技
術の問題点を解消し、カセット内に収納されている基板
中央部近傍の撓みを修正して平らにすると共に、位置ず
れしている基板を中央に寄せるセンタリングも行うこと
ができるセンタリング装置を提供することを目的とす
る。
術の問題点を解消し、カセット内に収納されている基板
中央部近傍の撓みを修正して平らにすると共に、位置ず
れしている基板を中央に寄せるセンタリングも行うこと
ができるセンタリング装置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、多段の支持アーム上に載せられた基板を
収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載
置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方
から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側
に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアー
ムと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇
降フレームを昇降させる昇降装置とからなる基板センタ
リング装置、という構成としたものである。
に、本発明は、多段の支持アーム上に載せられた基板を
収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載
置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方
から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側
に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアー
ムと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇
降フレームを昇降させる昇降装置とからなる基板センタ
リング装置、という構成としたものである。
【０００６】
【作用】上記の構成からなる基板センタリング装置は、
載置台に載置されたカセット内で基板の中央部近傍が撓
み、また、中央より位置がずれている場合、サポート及
びセンタリングアームが設けられた昇降フレームを昇降
装置により上昇させることにより、カセット内に複数の
サポートを下方から進入させて基板の中央部近傍を下方
から支えて撓みを修正して平らにすると共に、フレーム
に設けられたセンタリングアームをカセットの外側から
内側に水平移動して基板を中央に寄せる位置修正を行う
ものである。
載置台に載置されたカセット内で基板の中央部近傍が撓
み、また、中央より位置がずれている場合、サポート及
びセンタリングアームが設けられた昇降フレームを昇降
装置により上昇させることにより、カセット内に複数の
サポートを下方から進入させて基板の中央部近傍を下方
から支えて撓みを修正して平らにすると共に、フレーム
に設けられたセンタリングアームをカセットの外側から
内側に水平移動して基板を中央に寄せる位置修正を行う
ものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、実施例に
基づき図１〜図５を参照して説明する。基板センタリン
グ装置１は、図１〜図３に示されるように、カセット２
が載置される載置台３を備え、この載置台３は、本体フ
レーム４上方に設けられ、また、本体フレーム４には、
載置台３下方に位置して昇降フレーム５が昇降可能に設
けられている。この昇降フレーム５は、ギヤドモータ
６、ボールねじ７、該昇降フレーム５に取り付けられた
ナット部８とで構成される昇降装置により本体フレーム
４に沿って昇降する。この昇降フレーム５には、基板Ｐ
下方に当接するサポートを構成する複数の押上棒１０が
立設されると共に、昇降装置により上昇したときカセッ
ト２が中間に位置するようにセンタリングアーム１１，
１１が対峙して移動可能に設けられる。このセンタリン
グアーム１１，１１は、昇降フレーム５に設けられたリ
ニアガイドレール１２，１２に案内されるリニアガイド
ブロック（ボールベアリング入りガイドブロック）１
３，１３を備えた水平移動フレーム１４，１４に取り付
けられる。そして、この水平移動フレーム１４は、昇降
フレーム５に対峙して設けられているエアシリンダ１５
のピストンロッド１６に連結され、エアシリンダ１５，
１５が作動することにより、図１に示される矢印Ｘ方向
に水平移動するようになっている。また、センタリング
アーム１１の先端には、押上棒１０先端より相対的に上
方に位置して、基板Ｐの側面に当接する当接部１１Ａが
設けられ、その水平移動により基板Ｐを押圧してカセッ
ト２をずらせ、中央側に位置を修正する。
基づき図１〜図５を参照して説明する。基板センタリン
グ装置１は、図１〜図３に示されるように、カセット２
が載置される載置台３を備え、この載置台３は、本体フ
レーム４上方に設けられ、また、本体フレーム４には、
載置台３下方に位置して昇降フレーム５が昇降可能に設
けられている。この昇降フレーム５は、ギヤドモータ
６、ボールねじ７、該昇降フレーム５に取り付けられた
ナット部８とで構成される昇降装置により本体フレーム
４に沿って昇降する。この昇降フレーム５には、基板Ｐ
下方に当接するサポートを構成する複数の押上棒１０が
立設されると共に、昇降装置により上昇したときカセッ
ト２が中間に位置するようにセンタリングアーム１１，
１１が対峙して移動可能に設けられる。このセンタリン
グアーム１１，１１は、昇降フレーム５に設けられたリ
ニアガイドレール１２，１２に案内されるリニアガイド
ブロック（ボールベアリング入りガイドブロック）１
３，１３を備えた水平移動フレーム１４，１４に取り付
けられる。そして、この水平移動フレーム１４は、昇降
フレーム５に対峙して設けられているエアシリンダ１５
のピストンロッド１６に連結され、エアシリンダ１５，
１５が作動することにより、図１に示される矢印Ｘ方向
に水平移動するようになっている。また、センタリング
アーム１１の先端には、押上棒１０先端より相対的に上
方に位置して、基板Ｐの側面に当接する当接部１１Ａが
設けられ、その水平移動により基板Ｐを押圧してカセッ
ト２をずらせ、中央側に位置を修正する。
【０００８】カセット２は、その内部に多数の基板Ｐが
収納され、基板Ｐは多段に設けられた支持アーム２Ａに
載せられ、図５に示されるように、カセット２の底面は
格子状枠２Ｂで形成され、この格子状枠２Ｂの間を押上
棒１０が進入し、カセット２内の最下方にある基板Ｐの
中央部近傍を下から支えるものである。
収納され、基板Ｐは多段に設けられた支持アーム２Ａに
載せられ、図５に示されるように、カセット２の底面は
格子状枠２Ｂで形成され、この格子状枠２Ｂの間を押上
棒１０が進入し、カセット２内の最下方にある基板Ｐの
中央部近傍を下から支えるものである。
【０００９】次に、基板センタリング装置１の作用につ
いて説明する。基板Ｐが収納されたカセット２は、移載
機（図示略）により載置台３に載置される。ここで、ギ
ヤドモータ６が駆動され、ボールねじ７の回転により昇
降フレーム５が上昇し、それに伴って押上棒１０及びセ
ンタリングアーム１１がカセット２内に収納されている
最下方にある基板Ｐのところまで上昇すると位置検出セ
ンサが検知し停止する。このとき、最下方にある基板Ｐ
の中央部近傍が撓んでいる場合は、押上棒１０でその下
部を支えることにより平らにされる。次いで、エアシリ
ンダ１５，１５が作動し、ピストンロッド１６，１６が
引き込まれ、中央部側にセンタリングアーム１１，１１
が水平移動し、センタリングアーム１１に備えられてい
る当接部１１Ａが、カセット２の外側から内側に水平に
進入して基板Ｐの端部に当接する。それにより、基板Ｐ
が搬出方向に対して左右いずれかにずれている場合は中
央側に寄せられる。中央側に寄せられた最下方の基板Ｐ
は、その下側に差し込まれたロボットアームのハンドＨ
により搬出されることになる。このように、最下方の基
板Ｐを搬出した後、その上段にある基板Ｐを搬出するた
めに、昇降装置により、再び昇降フレーム５、押上棒１
０及びセンタリングアーム１１を上昇させ、撓み修正、
位置修正の作動を行うようにする。
いて説明する。基板Ｐが収納されたカセット２は、移載
機（図示略）により載置台３に載置される。ここで、ギ
ヤドモータ６が駆動され、ボールねじ７の回転により昇
降フレーム５が上昇し、それに伴って押上棒１０及びセ
ンタリングアーム１１がカセット２内に収納されている
最下方にある基板Ｐのところまで上昇すると位置検出セ
ンサが検知し停止する。このとき、最下方にある基板Ｐ
の中央部近傍が撓んでいる場合は、押上棒１０でその下
部を支えることにより平らにされる。次いで、エアシリ
ンダ１５，１５が作動し、ピストンロッド１６，１６が
引き込まれ、中央部側にセンタリングアーム１１，１１
が水平移動し、センタリングアーム１１に備えられてい
る当接部１１Ａが、カセット２の外側から内側に水平に
進入して基板Ｐの端部に当接する。それにより、基板Ｐ
が搬出方向に対して左右いずれかにずれている場合は中
央側に寄せられる。中央側に寄せられた最下方の基板Ｐ
は、その下側に差し込まれたロボットアームのハンドＨ
により搬出されることになる。このように、最下方の基
板Ｐを搬出した後、その上段にある基板Ｐを搬出するた
めに、昇降装置により、再び昇降フレーム５、押上棒１
０及びセンタリングアーム１１を上昇させ、撓み修正、
位置修正の作動を行うようにする。
【００１０】上記のように構成されている基板センタリ
ング装置１は、載置台３に載置されたカセット２内に下
方から進入して基板Ｐの中央部近傍を下方から支える複
数の押上棒（サポート）１０、及びカセット２の外側か
ら内側に水平に進入して基板Ｐを中央側に水平移動させ
るセンタリングアーム１１が、昇降フレーム５に設けら
れているので、基板Ｐの中央部近傍が撓んでいる場合、
カセット２内に押上棒１０を下方から進入させて基板Ｐ
を支えることにより、撓みを修正して平らにすることが
できると共に、カセット内２で基板Ｐが中央より位置が
ずれている場合、昇降フレーム５に設けられたセンタリ
ングアーム１１をカセット２の外側から内側に水平移動
して基板Ｐを中央に寄せる位置修正（センタリング）を
行うことができる。
ング装置１は、載置台３に載置されたカセット２内に下
方から進入して基板Ｐの中央部近傍を下方から支える複
数の押上棒（サポート）１０、及びカセット２の外側か
ら内側に水平に進入して基板Ｐを中央側に水平移動させ
るセンタリングアーム１１が、昇降フレーム５に設けら
れているので、基板Ｐの中央部近傍が撓んでいる場合、
カセット２内に押上棒１０を下方から進入させて基板Ｐ
を支えることにより、撓みを修正して平らにすることが
できると共に、カセット内２で基板Ｐが中央より位置が
ずれている場合、昇降フレーム５に設けられたセンタリ
ングアーム１１をカセット２の外側から内側に水平移動
して基板Ｐを中央に寄せる位置修正（センタリング）を
行うことができる。
【００１１】以上、実施例において、カセット内に収納
されている基板が撓み、中央からずれている場合、これ
を修正する手段として、昇降装置に昇降されるフレーム
に、押上棒（サポート）及びセンタリングアームが設け
られたものについて説明したが、押上棒を設けないで、
センタリングアームにカセット内側方向に延出する水平
アーム（サポート）を縦方向に多段に設けてもよい。こ
の場合、各水平アームは、ロボットアームのハンドと接
触しない程度の長さのものである。このようにした場
合、カセットの外側から内側方向にセンタリングアーム
を水平移動させてカセット内の各基板間に水平アームを
差し入れ、次いで上昇させることにより、カセット内の
支持アーム上に載せられている複数の基板を一度に下側
から支えると同時に中央に寄せることができる。
されている基板が撓み、中央からずれている場合、これ
を修正する手段として、昇降装置に昇降されるフレーム
に、押上棒（サポート）及びセンタリングアームが設け
られたものについて説明したが、押上棒を設けないで、
センタリングアームにカセット内側方向に延出する水平
アーム（サポート）を縦方向に多段に設けてもよい。こ
の場合、各水平アームは、ロボットアームのハンドと接
触しない程度の長さのものである。このようにした場
合、カセットの外側から内側方向にセンタリングアーム
を水平移動させてカセット内の各基板間に水平アームを
差し入れ、次いで上昇させることにより、カセット内の
支持アーム上に載せられている複数の基板を一度に下側
から支えると同時に中央に寄せることができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、載置台
に載置されたカセット内に下方から進入して基板の中央
部近傍を下方から支える複数のサポート、及び該サポー
トが設けられたフレームを昇降させる昇降装置を備えて
いるので、カセット内で基板の中央部近傍が撓んでいる
場合、カセット内に複数のサポートが下方から進入させ
て基板の内側平面部を支えて撓みを修正して平らにする
ことができる。それと同時に、カセットの外側から内側
に移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム、
及びセンタリングアームが設けられたフレームを昇降さ
せる昇降装置を備えているので、カセット内で基板が中
央より位置がずれている場合、昇降装置により上昇した
位置で、フレームに設けられたセンタリングアームをカ
セットの外側から内側に水平移動して基板を中央に寄せ
る位置修正（センタリング）を行うことができる。さら
に、以上のように、基板の撓みを修正して平らにすると
同時にセンタリングを行うことができるので、搬送サイ
クルの大幅な短縮を行うことができる。
に載置されたカセット内に下方から進入して基板の中央
部近傍を下方から支える複数のサポート、及び該サポー
トが設けられたフレームを昇降させる昇降装置を備えて
いるので、カセット内で基板の中央部近傍が撓んでいる
場合、カセット内に複数のサポートが下方から進入させ
て基板の内側平面部を支えて撓みを修正して平らにする
ことができる。それと同時に、カセットの外側から内側
に移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム、
及びセンタリングアームが設けられたフレームを昇降さ
せる昇降装置を備えているので、カセット内で基板が中
央より位置がずれている場合、昇降装置により上昇した
位置で、フレームに設けられたセンタリングアームをカ
セットの外側から内側に水平移動して基板を中央に寄せ
る位置修正（センタリング）を行うことができる。さら
に、以上のように、基板の撓みを修正して平らにすると
同時にセンタリングを行うことができるので、搬送サイ
クルの大幅な短縮を行うことができる。
【００１３】以上のように、基板の撓み修正と中央への
位置修正ができるので、カセットから基板を１枚ずつ搬
出する場合、ロボットアームのハンドが基板に接触しな
いようにすることができ、ハンドにより基板の重心を中
心にして支持することができ、搬出中あるいは搬送中に
基板がハンドから落下するのを防止することができる。
位置修正ができるので、カセットから基板を１枚ずつ搬
出する場合、ロボットアームのハンドが基板に接触しな
いようにすることができ、ハンドにより基板の重心を中
心にして支持することができ、搬出中あるいは搬送中に
基板がハンドから落下するのを防止することができる。
【図１】 本発明実施例の基板センタリング装置の要部
正面図である。
正面図である。
【図２】 同上基板センタリング装置の要部内側面図で
ある。
ある。
【図３】 同上基板センタリング装置の要部外側面図で
ある。
ある。
【図４】 図３を上方からみた平面図である。
【図５】 カセットから基板を搬出する説明図である。
１ 基板センタリング装置 ２ カセット ２Ａ 支持アーム ２Ｂ 格子状枠 ３ 載置台 ４ 本体フレーム ５ 昇降フレーム ６ ギヤドモータ ７ ボールねじ ８ ナット部 ９ ピロー型ユニット １０ 押上棒 １１ センタリングアーム １１Ａ 当接部 １２ リニアガイドレール １３ リニアガイドブロック １４ 水平移動フレーム １５ エアシリンダ １６ ピストンロッド １７ 天板 １８ 貫通孔 Ｐ 基板 Ｈ ハンド
Claims (1)
- 【請求項１】 多段の支持アーム上に載せられた基板を
収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載
置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方
から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側
に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアー
ムと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇
降フレームを昇降させる昇降装置とからなることを特徴
とする基板センタリング装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000039652A JP2001230304A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板センタリング装置 |
| KR1020000071543A KR20010081967A (ko) | 2000-02-17 | 2000-11-29 | 기판 센터링장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000039652A JP2001230304A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板センタリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001230304A true JP2001230304A (ja) | 2001-08-24 |
Family
ID=18563183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000039652A Pending JP2001230304A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板センタリング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001230304A (ja) |
| KR (1) | KR20010081967A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097928A1 (en) * | 2003-04-30 | 2004-11-11 | Sang-Ki Lee | Support holder of the substrate and device for centering or feeding using the same |
| JP2006001658A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 移載装置 |
| JP2008021954A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-31 | Takatori Corp | ウエハカセットからのウエハ取り出し方法及び装置 |
| JP2012084715A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Lapis Semiconductor Co Ltd | 基板の撓み補正装置および基板の取り出し方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4270434B2 (ja) | 2002-11-29 | 2009-06-03 | シャープ株式会社 | 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法 |
| KR101597331B1 (ko) * | 2014-04-14 | 2016-02-24 | 동국제강주식회사 | 후판의 열간 교정을 위한 고온 항복강도 예측방법 |
-
2000
- 2000-02-17 JP JP2000039652A patent/JP2001230304A/ja active Pending
- 2000-11-29 KR KR1020000071543A patent/KR20010081967A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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