JP2001257451A - Printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents
Printed wiring board and method of manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板お
よびプリント配線板の製造方法にかかわり、特には、小
型高密度化に適したプリント配線板に求められる高い絶
縁信頼性を確保するための技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board and a method for manufacturing the printed wiring board, and more particularly, to a technique for securing high insulation reliability required for a printed wiring board suitable for miniaturization and high density. It is about.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、電子機器の小型高密度化に伴っ
て、産業用のみならず、広く民生用の分野においても、
小型高密度化に適したプリント配線板を求める要望が強
まっている。2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become smaller and higher in density, not only in industrial fields, but also in consumer fields.
There is an increasing demand for printed wiring boards suitable for miniaturization and high density.
【0003】このような要望に応えて創案されたプリン
ト配線板の一例として、特開平6−268345号公報
で開示されている全層IVH樹脂多層プリント配線板が
ある(IVH:インタースティシャルヴィアホール)。
以下、その概要を説明する。As an example of a printed wiring board created in response to such a demand, there is an all-layer IVH resin multilayer printed wiring board disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-268345 (IVH: interstitial via hole). ).
The outline will be described below.
【0004】まず、図9(a)に示すように、両面の表
面上に離型性フィルム12が接着された被圧縮性を有す
るプリプレグを絶縁基材11として用意する。なお、離
型性フィルム12としてはポリエチレンテレフタレート
などがある。絶縁基材11としては芳香族ポリアミド繊
維にエポキシ樹脂を含浸させたものがある。First, as shown in FIG. 9A, a compressible prepreg having a release film 12 adhered on both surfaces thereof is prepared as an insulating base material 11. Note that the release film 12 includes polyethylene terephthalate and the like. As the insulating base material 11, there is a material obtained by impregnating an aromatic polyamide fiber with an epoxy resin.
【0005】次に、絶縁基材11に対してレーザー加工
法を利用して所定の位置ごとに貫通孔13を形成する。Next, through holes 13 are formed at predetermined positions in the insulating base material 11 by using a laser processing method.
【0006】次に、図9(b)に示すように、スキージ
などを用いて絶縁基材11の貫通孔13内に導電性ペー
スト14を充填する。この導電性ペースト14には、導
電性粉15が含有されている。Next, as shown in FIG. 9B, a conductive paste 14 is filled in the through holes 13 of the insulating base material 11 using a squeegee or the like. This conductive paste 14 contains conductive powder 15.
【0007】次に、図9(c)に示すように、絶縁基材
11に接着されていた離型性フィルム12を剥離して除
去する。Next, as shown in FIG. 9C, the release film 12 adhered to the insulating base material 11 is peeled off and removed.
【0008】次に、図9(d)に示すように、絶縁基材
11の上下両方の表面上に銅箔16,17を積層する。
そして、絶縁基材11および銅箔16,17を厚み方向
に沿って圧縮しながら加熱する。これにより、絶縁基材
11と、導電性ペースト14に含有されて貫通孔13内
に充填された導電性粉15とがともに圧縮され、かつ、
絶縁基材11の表面上に銅箔16,17が被着される。
これを半製品のプリント配線板A0とする。Next, as shown in FIG. 9D, copper foils 16 and 17 are laminated on both upper and lower surfaces of the insulating base material 11.
Then, the insulating base material 11 and the copper foils 16 and 17 are heated while being compressed in the thickness direction. Thereby, the insulating base material 11 and the conductive powder 15 contained in the conductive paste 14 and filled in the through holes 13 are both compressed, and
Copper foils 16 and 17 are adhered on the surface of the insulating base material 11.
This is referred to as a semi-finished printed wiring board A0.
【0009】次に、図9(e)に示すように、絶縁基材
11の表面上に被着されている銅箔16,17をエッチ
ングして配線パターン18,19を形成する。これによ
り、絶縁基材11を挟んで対向する配線パターン18,
19どうしが絶縁基材11の貫通孔13内に充填された
導電性粉15を介して導通接続される。これを半製品の
プリント配線板A1とする。Next, as shown in FIG. 9E, wiring patterns 18 and 19 are formed by etching the copper foils 16 and 17 applied on the surface of the insulating base material 11. Thereby, the wiring patterns 18 opposed to each other with the insulating base material 11 interposed therebetween,
19 are electrically connected to each other via the conductive powder 15 filled in the through holes 13 of the insulating base material 11. This is referred to as a semi-finished printed wiring board A1.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】電子機器の小型高密度
化に対応するプリント配線板にあっては、同一面で隣接
する配線パターン18,18間の距離はより短いものに
なる。例えば、100μmとか50μmあるいは25μ
mといった具合に微細化している。In the case of a printed wiring board corresponding to the miniaturization and high density of electronic equipment, the distance between adjacent wiring patterns 18 on the same surface becomes shorter. For example, 100μm, 50μm or 25μ
m and so on.
【0011】しかし、配線パターン18の端面から金属
構成原子が移動して、隣接する相手側の配線パターン1
8へ近づくようにしみだしていくイオンマイグレーショ
ンが発生する。However, the metal constituent atoms move from the end face of the wiring pattern 18, and the adjacent wiring pattern 1
Ion migration occurs so as to approach 8.
【0012】同一面で隣接する配線パターン18,18
どうし間の間隔が小さくなればなるほど、このマイグレ
ーションによる短絡不良や断線不良の可能性が増大す
る。Wiring patterns 18, 18 adjacent on the same surface
The smaller the distance between the two, the greater the possibility of short-circuit failure or disconnection failure due to this migration.
【0013】そこで、上記の従来技術において、配線パ
ターン18,18のマイグレーション抑制のために、絶
縁基材11に被着した銅箔16の表面に対してマイグレ
ーション抑制層を形成することが考えられる。In order to suppress the migration of the wiring patterns 18, 18, it is conceivable to form a migration suppressing layer on the surface of the copper foil 16 adhered to the insulating base material 11 in the above-mentioned prior art.
【0014】しかし、配線パターン18の形成のために
銅箔16に対してエッチングを行う段階で、マイグレー
ション抑制層も除去されてしまうから、形成された配線
パターン18における絶縁基材11と平行でない面すな
わち配線パターン18の端面は、マイグレーション抑制
層で覆われていない状態となってしまう。したがって、
配線パターン18の端面においてマイグレーションが発
生する可能性が高くなり、プリント配線板における絶縁
信頼性の確保がむずかしくなる。However, when the copper foil 16 is etched to form the wiring pattern 18, the migration suppressing layer is also removed, so that the surface of the formed wiring pattern 18 that is not parallel to the insulating base 11 is formed. That is, the end face of the wiring pattern 18 is not covered with the migration suppressing layer. Therefore,
The possibility that migration occurs on the end face of the wiring pattern 18 increases, and it becomes difficult to secure insulation reliability in the printed wiring board.
【0015】本発明は上記した課題の解決を図るべく創
作したものであって、耐マイグレーション性を優れたも
のにすることにより高い絶縁信頼性を確保することが可
能となるプリント配線板およびプリント配線板の製造方
法を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a printed wiring board and a printed wiring which can ensure high insulation reliability by improving migration resistance. It is intended to provide a method for manufacturing a board.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】上記した課題の解決を図
ろうとするプリント配線板についての本発明は、配線パ
ターンの少なくとも端面にマイグレーション抑制層を形
成してあることを特徴とするものである。マイグレーシ
ョン抑制層としては、有機防錆剤層、金属層、化合物層
などがある。なお、配線パターンとしては、銅からなる
配線パターンが好適な対象となるが、必ずしもそれにと
らわれる必要性はなく、配線パターンを構成している材
質は任意とする。According to the present invention, there is provided a printed wiring board for solving the above-mentioned problems, wherein a migration suppressing layer is formed on at least an end face of the wiring pattern. Examples of the migration suppressing layer include an organic rust inhibitor layer, a metal layer, and a compound layer. The wiring pattern is preferably a wiring pattern made of copper, but is not necessarily limited to the wiring pattern, and the material forming the wiring pattern is arbitrary.
【0017】配線パターンの端面にマイグレーション抑
制層を形成してあることにより、配線パターンの耐マイ
グレーション性を向上させることができ、その結果とし
て、高密度集積型のプリント配線板において、その微細
化配線のために隣接配線パターンの間隔が相当に小さく
なっているとしても、高い絶縁信頼性をもたせることが
できる。Since the migration suppressing layer is formed on the end face of the wiring pattern, the migration resistance of the wiring pattern can be improved. As a result, the fine wiring of the high-density integrated printed wiring board can be improved. Therefore, even if the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced, high insulation reliability can be provided.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を総括
的に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be generally described.
【0019】本願第1の発明のプリント配線板は、絶縁
基材上に配線パターンが形成されているプリント配線板
であって、前記配線パターンの端面にマイグレーション
抑制層が形成されていることを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board having a wiring pattern formed on an insulating base material, wherein a migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern. And
【0020】この第1の発明による作用は、上記の〔課
題を解決するための手段〕の項で説明したのと実質的に
同様のものとなる。すなわち、微細化配線のために隣接
配線パターンの間隔が相当に小さくなっている高密度集
積型のプリント配線板においても、高い絶縁信頼性をも
たせることが可能となる。The operation according to the first aspect of the present invention is substantially the same as that described in the above section [Means for Solving the Problems]. That is, high insulation reliability can be provided even in a high-density integrated type printed wiring board in which the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced due to miniaturized wiring.
【0021】本願第2の発明のプリント配線板は、上記
の第1の発明において、前記マイグレーション抑制層が
有機防錆剤層とされていることを特徴とする。有機防錆
剤層には、配線パターンの構成金属に対しての耐腐食性
があるとともに、マイグレーション抑制作用においても
優れたものがあり、そのような有機防錆剤層をマイグレ
ーション抑制層として配線パターンの端面に形成するこ
とにより、微細化配線のために隣接配線パターンの間隔
が相当に小さくなっている高密度集積型のプリント配線
板においても、高い絶縁信頼性をもたせることが可能と
なる。A printed wiring board according to a second aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first aspect, wherein the migration suppressing layer is an organic rust preventive layer. Some organic rust preventive layers have corrosion resistance to the constituent metals of the wiring pattern and also have an excellent migration suppressing effect. Such an organic rust preventive layer is used as a migration suppressing layer for the wiring pattern. In this case, high insulation reliability can be provided even in a high-density integrated printed wiring board in which the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced due to miniaturized wiring.
【0022】本願第3の発明のプリント配線板は、上記
の第2の発明において、前記有機防錆剤層が、少なくと
も1種類の1,2,3−ベンゾトリアゾールまたはベン
ゾトリアゾール系化合物とされているというものであ
る。1,2,3−ベンゾトリアゾールやベンゾトリアゾ
ール系化合物は、有機防錆剤の中でも配線パターンの構
成金属、特に銅に対するマイグレーション抑制作用が非
常に優れたものであり、微細化配線のために隣接配線パ
ターンの間隔が相当に小さくなっている高密度集積型の
プリント配線板においても、高い絶縁信頼性をもたせる
ことの実効性が高いものとなる。The printed wiring board according to a third aspect of the present invention is the printed wiring board according to the second aspect, wherein the organic rust preventive layer is at least one kind of 1,2,3-benzotriazole or a benzotriazole compound. It is that there is. 1,2,3-Benzotriazole and benzotriazole-based compounds have a very excellent migration inhibitory effect on constituent metals of wiring patterns, particularly copper, among organic rust preventives. Even in a high-density integrated type printed wiring board in which the interval between patterns is considerably small, it is highly effective to provide high insulation reliability.
【0023】本願第4の発明のプリント配線板は、上記
の第1の発明において、前記マイグレーション抑制層
が、前記配線パターンよりも耐マイグレーション性に優
れている金属層とされていることを特徴とする。マイグ
レーション抑制層を耐マイグレーション性に優れた金属
層となしてあるので、金属である配線パターンとマイグ
レーション抑制層の金属層との接合性を高めることが可
能であり、そのように接合性の高い金属層をマイグレー
ション抑制層として配線パターンの端面に形成すること
により、微細化配線のために隣接配線パターンの間隔が
相当に小さくなっている高密度集積型のプリント配線板
においても、高い絶縁信頼性をもたせることが可能とな
る。A printed wiring board according to a fourth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first aspect, wherein the migration suppressing layer is a metal layer having better migration resistance than the wiring pattern. I do. Since the migration suppressing layer is made of a metal layer having excellent migration resistance, it is possible to enhance the bonding property between the wiring pattern, which is a metal, and the metal layer of the migration suppressing layer. By forming a layer on the end face of the wiring pattern as a migration suppressing layer, high insulation reliability can be achieved even in a high-density integrated printed wiring board in which the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced due to miniaturized wiring. It is possible to give.
【0024】本願第5の発明のプリント配線板は、上記
の第4の発明において、前記金属層が、ニッケル、パラ
ジウム、白金、亜鉛、カドミウムからなる群のうちから
任意に選択された1つまたは複数の金属よりなる金属層
とされているというものである。ニッケル、パラジウ
ム、白金、亜鉛、カドミウムは、銅よりもマイグレーシ
ョンを起こしにくく、微細化配線のために隣接配線パタ
ーンの間隔が相当に小さくなっている高密度集積型のプ
リント配線板においても、高い絶縁信頼性をもたせるこ
との実効性が高いものとなる。The printed wiring board according to a fifth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the fourth aspect, wherein the metal layer is one or arbitrarily selected from the group consisting of nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium. It is a metal layer made of a plurality of metals. Nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium are less likely to migrate than copper and have high insulation even in high-density integrated printed wiring boards where the distance between adjacent wiring patterns is considerably smaller due to miniaturized wiring. The effectiveness of providing reliability is high.
【0025】本願第6の発明のプリント配線板は、上記
の第4・第5の発明において、前記マイグレーション抑
制層としての前記金属層に連なる状態で、前記配線パタ
ーンにおける前記絶縁基材の表面に平行な表層部分にも
同じ金属層が形成されているというものである。有機防
錆剤層の場合には、絶縁基材の表面に平行な表層部分に
有機防錆剤層が残っていると、当該のプリント配線板に
実装される部品などとの電気的接続に悪影響を及ぼすこ
とが起こり得る。したがって、そのような悪影響を及ぼ
す可能性があるときは、表面連続性有機防錆剤層のうち
絶縁基材の表面に平行な抑制層表層部分については、な
るべくこれを除去することが望ましい。しかし、金属層
の場合には、有機防錆剤層とは違って、そのようなおそ
れが少ない場合が多く、このような場合には、除去する
ことなく、そのまま残しておくことも可能となってい
る。除去しないことで、工数を減らし、コストダウンに
とって有利となる。The printed wiring board according to the sixth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the fourth or fifth aspect, wherein the printed wiring board is provided on the surface of the insulating base in the wiring pattern so as to be continuous with the metal layer as the migration suppressing layer. The same metal layer is also formed on the parallel surface layer. In the case of the organic rust preventive layer, if the organic rust preventive layer remains on the surface layer parallel to the surface of the insulating base material, it adversely affects the electrical connection with components mounted on the printed wiring board. Can occur. Therefore, when there is a possibility of such an adverse effect, it is desirable to remove as much as possible the surface layer portion of the suppression layer in the surface continuity organic rust inhibitor layer that is parallel to the surface of the insulating base material. However, in the case of the metal layer, unlike the organic rust preventive layer, such a risk is often small, and in such a case, it is possible to leave the metal layer without removing it. ing. Not removing it is advantageous for reducing man-hours and cost.
【0026】本願第7の発明のプリント配線板は、上記
の第1の発明において、前記マイグレーション抑制層
が、前記配線パターンよりも耐マイグレーション性に優
れている金属の酸化物または窒化物または硫化物を主成
分とする化合物層とされていることを特徴とする。マイ
グレーション抑制層を耐マイグレーション性に優れた金
属の酸化物または窒化物または硫化物を主成分とする化
合物層となしてあるので、金属である配線パターンとマ
イグレーション抑制層の化合物層との接合性を高めるこ
とが可能であり、また、単なる金属層に比べて上記の化
合物層はよりマイグレーション抑制作用が高いので、そ
のような化合物層をマイグレーション抑制層として配線
パターンの端面に形成することにより、微細化配線のた
めに隣接配線パターンの間隔が相当に小さくなっている
高密度集積型のプリント配線板においても、高い絶縁信
頼性をもたせることが可能となる。The printed wiring board according to a seventh aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first aspect, wherein the migration suppressing layer is a metal oxide, nitride, or sulfide having a higher migration resistance than the wiring pattern. And a compound layer mainly composed of Since the migration suppressing layer is made of a compound layer mainly composed of a metal oxide, nitride or sulfide having excellent migration resistance, the bonding property between the metal wiring pattern and the compound layer of the migration suppressing layer is improved. Since the above compound layer has a higher migration suppressing effect than a simple metal layer, by forming such a compound layer as a migration suppressing layer on the end face of the wiring pattern, miniaturization can be achieved. Even in a high-density integrated type printed wiring board in which the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced due to wiring, high insulation reliability can be provided.
【0027】本願第8の発明のプリント配線板は、上記
の第7の発明において、前記化合物層が、ニッケル、パ
ラジウム、白金、亜鉛、カドミウムからなる群のうちか
ら任意に選択された1つまたは複数の金属についての酸
化物または窒化物または硫化物とされているというもの
である。ニッケル、パラジウム、白金、亜鉛、カドミウ
ムは、銅よりもマイグレーションを起こしにくく、微細
化配線のために隣接配線パターンの間隔が相当に小さく
なっている高密度集積型のプリント配線板においても、
高い絶縁信頼性をもたせることの実効性が高いものとな
る。The printed wiring board according to an eighth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the seventh aspect, wherein the compound layer is one or arbitrarily selected from the group consisting of nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium. It is said to be an oxide or nitride or sulfide of a plurality of metals. Nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium are less likely to migrate than copper, and even in high-density integrated printed wiring boards where the distance between adjacent wiring patterns is considerably smaller due to miniaturized wiring,
It is highly effective to provide high insulation reliability.
【0028】本願第9の発明のプリント配線板は、上記
の第1〜第8の発明において、前記絶縁基材には貫通孔
が形成され、前記貫通孔には導電性ペーストが充填さ
れ、前記絶縁基材の表面に形成された配線パターンが前
記導電性ペーストに接合されていることを特徴とする。
なお、一般的に、導電性ペーストには導電性粉が含有さ
れている。これは、垂直配線としてのヴィア接合を行う
ことで、両面配線板となしたもののことである。また、
これは、後述の多層配線構造のプリント配線板への展開
ともなる。両面配線板や多層配線構造のプリント配線板
は、高密度集積型のプリント配線板の典型であり、その
微細化配線のために隣接配線パターンの間隔が相当に小
さくなっているが、それに対応して、高い絶縁信頼性を
もたせることが可能となる。The printed wiring board according to a ninth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first to eighth aspects, wherein a through hole is formed in the insulating base material, and the through hole is filled with a conductive paste. A wiring pattern formed on the surface of the insulating base is joined to the conductive paste.
In general, the conductive paste contains conductive powder. This means that a double-sided wiring board is formed by performing via bonding as vertical wiring. Also,
This is also the development of a multilayer wiring structure described later on a printed wiring board. Double-sided wiring boards and printed wiring boards with a multilayer wiring structure are typical of high-density integrated type printed wiring boards, and the spacing between adjacent wiring patterns has been considerably reduced due to the finer wiring. As a result, high insulation reliability can be provided.
【0029】本願第10の発明のプリント配線板は、上
記の第1〜第9の発明において、前記絶縁基材の上下の
表面に形成された配線パターンどうしが前記絶縁基材に
形成の貫通孔に充填された導電性ペースト内の導電性粉
を介して電気的に接続されたものが複数層積層されて一
体化されて多層配線構造に構成されていることを特徴と
する。これは、垂直配線としてのヴィア接合を多層的に
繰り返すことで、多層配線構造のプリント配線板となし
たもののことである。多層配線構造のプリント配線板
は、高密度かつ高集積型のプリント配線板の典型であ
り、その微細化配線のために隣接配線パターンの間隔が
著しく小さくなっているが、それに対応して、高い絶縁
信頼性をもたせることが可能となる。A printed wiring board according to a tenth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first to ninth aspects, wherein the wiring patterns formed on the upper and lower surfaces of the insulating base are formed with through holes formed in the insulating base. A plurality of layers electrically connected via conductive powder in a conductive paste filled in a plurality of layers and integrated to form a multilayer wiring structure. This is a printed wiring board having a multilayer wiring structure by repeating via bonding as vertical wiring in multiple layers. Printed wiring boards having a multilayer wiring structure are typical of high-density and highly integrated type printed wiring boards, and the spacing between adjacent wiring patterns is extremely small due to the miniaturized wiring. It is possible to provide insulation reliability.
【0030】第11以下の発明は、プリント配線板の製
造方法についてのものである。The eleventh and subsequent inventions relate to a method for manufacturing a printed wiring board.
【0031】本願第11の発明のプリント配線板の製造
方法は、絶縁基材の表面に配線パターンを形成する工程
と、前記配線パターンの端面にマイグレーション抑制層
を形成する工程とを含むことを特徴としている。The method of manufacturing a printed wiring board according to the eleventh aspect of the present invention includes a step of forming a wiring pattern on a surface of an insulating base material, and a step of forming a migration suppressing layer on an end face of the wiring pattern. And
【0032】本願第12の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11の発明において、有機防錆剤溶液
の塗布または噴霧をもって前記配線パターンの端面に前
記マイグレーション抑制層を形成するというものであ
る。According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a printed wiring board according to the eleventh aspect, the migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern by applying or spraying an organic rust inhibitor solution. It is.
【0033】本願第13の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11の発明において、前記配線パター
ンを形成した絶縁基材を有機防錆剤溶液に浸漬すること
をもって前記配線パターンの端面に前記マイグレーショ
ン抑制層を形成するというものである。The method for manufacturing a printed wiring board according to the thirteenth aspect of the present invention is the method according to the eleventh aspect, wherein the insulating base material on which the wiring pattern is formed is immersed in an organic rust inhibitor solution to form an end face of the wiring pattern. Then, the migration suppressing layer is formed.
【0034】本願第14の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11の発明において、金属のメッキを
もって前記配線パターンの端面に前記マイグレーション
抑制層を形成するというものである。According to a fourteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a printed wiring board according to the eleventh aspect, the migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern by metal plating.
【0035】本願第15の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11の発明において、金属のメッキを
した上で、前記金属を酸化または窒化または硫化するこ
とをもって前記配線パターンの端面に前記マイグレーシ
ョン抑制層を形成するというものである。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a printed wiring board according to the eleventh aspect, the metal is plated, and then the metal is oxidized, nitrided or sulfurized to form an end face of the wiring pattern. The migration suppressing layer is formed.
【0036】以上の第11〜第15の発明によると、前
述のような理由により、高密度集積型のプリント配線板
の製造に当たり、その微細化配線のために隣接配線パタ
ーンの間隔が相当に小さくなっているにもかかわらず、
高い絶縁信頼性を有する高密度集積型のプリント配線板
を製造することが可能となる。According to the eleventh to fifteenth aspects of the present invention, when manufacturing a high-density integrated printed wiring board for the above-described reason, the distance between adjacent wiring patterns is considerably small due to miniaturized wiring. Despite becoming
It is possible to manufacture a high-density integrated printed wiring board having high insulation reliability.
【0037】本願第16の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11〜第15の発明において、前記配
線パターンにおける前記絶縁基材の表面に平行な表層部
分から前記配線パターンの端面にわたって前記マイグレ
ーション抑制層を形成するというものである。これは、
上記第6の発明のプリント配線板に対応し、表面連続性
金属層のうち絶縁基材の表面に平行な抑制層表層部分つ
いては、そのまま残しておくことによる工数削減により
コストダウンを図ることが可能となる。The method of manufacturing a printed wiring board according to a sixteenth aspect of the present invention is the method according to the eleventh to fifteenth aspects, wherein the wiring pattern extends from a surface layer portion parallel to a surface of the insulating base material to an end face of the wiring pattern. The migration suppressing layer is formed. this is,
Corresponding to the printed wiring board of the sixth aspect, the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base in the surface continuity metal layer can be reduced in cost by reducing the number of steps by leaving it as it is. Becomes
【0038】本願第17の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第16の発明において、前記マイグレー
ション抑制層のうち前記配線パターンにおける前記絶縁
基材の表面に平行な表層部分に形成した抑制層表層部分
を研磨等によって除去するというものである。これは、
上記第16の発明と対照的である。有機防錆剤層の場合
には、絶縁基材の表面に平行な層部分に有機防錆剤層が
残っていると、当該のプリント配線板に実装される部品
などとの電気的接続に悪影響を及ぼすことが起こり得
る。したがって、その抑制層表層部分を研磨等で除去す
ることにより、部品実装に支障を来さないようになって
いる。The method for manufacturing a printed wiring board according to a seventeenth aspect of the present invention is the method for manufacturing a printed wiring board according to the sixteenth aspect, wherein the migration suppressing layer is formed on a surface layer portion of the wiring pattern parallel to the surface of the insulating base material. The surface of the layer is removed by polishing or the like. this is,
This is in contrast to the sixteenth aspect. In the case of an organic rust preventive layer, if the organic rust preventive layer remains in a layer part parallel to the surface of the insulating base material, it adversely affects the electrical connection with components mounted on the printed wiring board. Can occur. Therefore, by removing the surface layer of the suppression layer by polishing or the like, it is possible to prevent trouble in component mounting.
【0039】本願第18の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11〜第17の発明において、前記絶
縁基材の表面に配線パターンを形成する工程に先立っ
て、前記絶縁基材に貫通孔を形成する工程と、導電性ペ
ーストを前記貫通孔に充填する工程とを含み、前記絶縁
基材の表面に配線パターンを形成する工程においては前
記貫通孔内の導電性ペーストに接合する状態で前記配線
パターンを形成するというものである。これによると、
上記の第9の発明のプリント配線板(両面配線板)に対
応して高い絶縁信頼性を有する高密度集積型のプリント
配線板を製造することが可能となる。The method for manufacturing a printed wiring board according to the eighteenth aspect of the present invention is the method according to the eleventh to seventeenth aspects, wherein the step of forming a wiring pattern on the surface of the insulating base material is performed on the insulating base material. Forming a through-hole and filling the through-hole with a conductive paste; and forming a wiring pattern on the surface of the insulating base in a state of bonding to the conductive paste in the through-hole. To form the wiring pattern. according to this,
It is possible to manufacture a high-density integrated printed wiring board having high insulation reliability corresponding to the printed wiring board (double-sided wiring board) of the ninth aspect.
【0040】本願第19の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第18の発明において、前記導電性ペー
ストに接合する状態で前記絶縁基材の表面に金属箔を積
層し、前記金属箔を積層した前記絶縁基材を圧縮しなが
ら加熱して前記金属箔を前記絶縁基材に被着し、前記圧
着した金属箔をフォトリソグラフィ法によって処理する
ことにより前記配線パターンを形成してあるというもの
である。なお、フォトリソグラフィ法は、配線パターン
上に感光性レジスト層を設けたのち、配線パターンを露
光、現像して前記レジスト層を選択的に除去することに
より、配線パターンを形成するものである。金属箔とし
ては銅箔が好ましい。The method for manufacturing a printed wiring board according to a nineteenth aspect of the present invention is the method according to the eighteenth aspect, wherein a metal foil is laminated on the surface of the insulating base material in a state of being bonded to the conductive paste. It is said that the wiring pattern is formed by applying heat to the insulating base material while compressing the insulating base material, applying the metal foil to the insulating base material, and processing the pressed metal foil by a photolithography method. Things. In the photolithography method, after a photosensitive resist layer is provided on a wiring pattern, the wiring pattern is exposed and developed to selectively remove the resist layer, thereby forming a wiring pattern. Copper foil is preferred as the metal foil.
【0041】本願第20の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11〜第19の発明において、前記絶
縁基材の上下の表面に形成された配線パターンどうしが
前記絶縁基材に形成の貫通孔に充填された導電性ペース
ト内の導電性粉を介して電気的に接続されたものを複数
層積層し一体化して多層配線構造に構成するというもの
である。これは、上記の第10の発明のプリント配線板
に対応して高い絶縁信頼性を有する高密度かつ高集積型
のプリント配線板を製造することが可能となる。According to a twentieth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a printed wiring board according to the eleventh to nineteenth aspects, the wiring patterns formed on the upper and lower surfaces of the insulating base are formed on the insulating base. A plurality of layers electrically connected via conductive powder in a conductive paste filled in the through-hole are laminated and integrated to form a multilayer wiring structure. This makes it possible to manufacture a high-density and highly integrated printed wiring board having high insulation reliability corresponding to the printed wiring board of the tenth aspect.
【0042】本願第21の発明のプリント配線板の製造
方法は、上記の第11〜第20の発明において、有機防
錆剤溶液混合エッチング液を用いることにより、配線パ
ターンのパターニングと、前記配線パターンの端面に対
するマイグレーション抑制層の形成とを同時に行うとい
うものである。配線パターンのパターニングとマイグレ
ーション抑制層の形成とを同時に行うので、生産性の向
上を図ることが可能となる。The method for manufacturing a printed wiring board according to the twenty-first aspect of the present invention is directed to the method for manufacturing a printed wiring board according to the eleventh to twentieth aspects of the present invention, by using an organic rust inhibitor solution mixed etching solution. And the formation of the migration suppressing layer on the end face of the substrate at the same time. Since the patterning of the wiring pattern and the formation of the migration suppressing layer are performed at the same time, the productivity can be improved.
【0043】(具体的な実施の形態)以下、本発明にか
かわるプリント配線板およびプリント配線板の製造方法
の具体的な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明す
る。(Specific embodiments) Specific embodiments of a printed wiring board and a method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【0044】(実施の形態1)実施の形態1は、プリン
ト配線板のうちの両面配線板についてのものであり、ま
た、配線パターンの端面に形成するマイグレーション抑
制層を有機防錆剤層となすものである。(Embodiment 1) Embodiment 1 relates to a double-sided wiring board among printed wiring boards, and a migration suppressing layer formed on an end face of a wiring pattern is formed as an organic rust inhibitor layer. Things.
【0045】図1(a)〜(g)は実施の形態1にかか
わるプリント配線板(両面配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図、図2は製品としてのプリント配線
板の断面図である。以下、順を追って説明する。1 (a) to 1 (g) are cross-sectional views illustrating process steps of a method for manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to Embodiment 1, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a printed wiring board as a product. FIG. Hereinafter, description will be made in order.
【0046】まず、図1(a)に示すように、絶縁基材
11の上下両方の表面上に離型性フィルム12を接着し
たものを用意する。なお、絶縁基材11としては、芳香
族ポリアミド繊維にエポキシ樹脂を含浸させた被圧縮性
を有し内部に多数の空孔部を分散したプリプレグが好適
である。上記の離型性フィルム12が接着された絶縁基
材11に対して、レーザー加工法を利用して所定の位置
ごとに貫通孔13を形成する。First, as shown in FIG. 1 (a), a material in which a release film 12 is bonded on both upper and lower surfaces of an insulating base material 11 is prepared. Note that, as the insulating base material 11, a prepreg in which aromatic polyamide fibers are impregnated with an epoxy resin and which has compressibility and has a large number of pores dispersed therein is preferable. Through holes 13 are formed at predetermined positions in the insulating base material 11 to which the release film 12 is adhered by using a laser processing method.
【0047】次に、図1(b)に示すように、スキージ
などを用いて絶縁基材11の貫通孔13内に導電性ペー
スト14を充填する。この導電性ペースト14には、導
電性粉15が含有されている。Next, as shown in FIG. 1B, the conductive paste 14 is filled in the through holes 13 of the insulating base material 11 using a squeegee or the like. This conductive paste 14 contains conductive powder 15.
【0048】次に、図1(c)に示すように、絶縁基材
11に接着されていた離型性フィルム12を剥離して除
去する。Next, as shown in FIG. 1C, the release film 12 adhered to the insulating base material 11 is peeled and removed.
【0049】次に、図1(d)に示すように、絶縁基材
11の上下両方の表面上に銅箔16,17を積層する。
そして、絶縁基材11および銅箔16,17を厚み方向
に沿って圧縮しながら加熱する。これにより、絶縁基材
11と導電性ペースト14に含有されて貫通孔13内に
充填された導電性粉15とがともに圧縮され、かつ、絶
縁基材11の表面上に銅箔16,17が被着される。こ
れが半製品のプリント配線板A0である。Next, as shown in FIG. 1D, copper foils 16 and 17 are laminated on both upper and lower surfaces of the insulating base material 11.
Then, the insulating base material 11 and the copper foils 16 and 17 are heated while being compressed in the thickness direction. Thereby, the insulating base material 11 and the conductive powder 15 contained in the conductive paste 14 and filled in the through holes 13 are both compressed, and the copper foils 16 and 17 are formed on the surface of the insulating base material 11. Be deposited. This is a semi-finished printed wiring board A0.
【0050】次に、図1(e)に示すように、絶縁基材
11の表面上に被着されている銅箔16,17をフォト
リソグラフィ法を用いてエッチングして配線パターン1
8,19を形成する。フォトリソグラフィ法は、すなわ
ち、感光性レジスト層でマスキングし、所要の配線パタ
ーンを描く状態で露光し現像して、感光性レジスト層を
選択的に除去した後に、エッチングを行い、さらに感光
性レジスト層を除去するものである。これにより、絶縁
基材11を挟んで対向する配線パターン18,19どう
しが絶縁基材11の貫通孔13内に充填された導電性粉
15を介して導通接続される。これが半製品のプリント
配線板A1である。ここまでは、上述した従来技術と同
様である。Next, as shown in FIG. 1E, the copper foils 16 and 17 adhered on the surface of the insulating base material 11 are etched by photolithography to form the wiring pattern 1.
8 and 19 are formed. The photolithography method involves masking with a photosensitive resist layer, exposing and developing in a state where a required wiring pattern is drawn, selectively removing the photosensitive resist layer, etching, and further etching the photosensitive resist layer. Is to be removed. As a result, the wiring patterns 18 and 19 facing each other with the insulating base material 11 therebetween are electrically connected to each other via the conductive powder 15 filled in the through holes 13 of the insulating base material 11. This is a semi-finished printed wiring board A1. Up to this point, it is the same as the above-described conventional technology.
【0051】すなわち、以上の段階までの半製品のプリ
ント配線板A1が、本実施の形態1のプリント配線板A
1における基本構成となっている。本実施の形態1にお
けるプリント配線板P1は、このような半製品のプリン
ト配線板A1に対して、さらに、図2に示すように、配
線パターン18,19における絶縁基材11と平行でな
い面すなわち配線パターン18,19の端面に、有機防
錆剤層21a,22aを備えたことに特徴がある。以
下、その製造過程を説明する。That is, the printed wiring board A1 of the semi-finished product up to the above stage is the printed wiring board A of the first embodiment.
1 is the basic configuration. The printed wiring board P1 according to the first embodiment is different from the semi-finished printed wiring board A1 in that the wiring patterns 18 and 19 are not parallel to the insulating base material 11, as shown in FIG. It is characterized in that the end faces of the wiring patterns 18 and 19 are provided with organic rust preventive layers 21a and 22a. Hereinafter, the manufacturing process will be described.
【0052】本発明のこの実施の形態1にあっては、さ
らに、図1(f)に示すように、上記の半製品のプリン
ト配線板A1を有機防錆剤溶液20に浸漬する。In the first embodiment of the present invention, the semi-finished product printed wiring board A1 is further immersed in an organic rust inhibitor solution 20, as shown in FIG.
【0053】この結果として、図1(g)に示すよう
に、絶縁基材11上の配線パターン18,19における
絶縁基材11の表面に平行な表層部分から配線パターン
18,19の端面にわたって連続する表面連続性有機防
錆剤層21,22が形成されることになる。As a result, as shown in FIG. 1 (g), the wiring patterns 18 and 19 on the insulating base material 11 extend continuously from the surface layer parallel to the surface of the insulating base material 11 to the end faces of the wiring patterns 18 and 19. The resulting surface continuity organic rust inhibitor layers 21 and 22 are formed.
【0054】次に、図2に示すように、配線パターン1
8,19の表面全面に形成されている表面連続性有機防
錆剤層21,22に対して研磨等の手段により、表面連
続性有機防錆剤層21,22のうち絶縁基材11の表面
に平行な抑制層表層部分を除去し、配線パターン18,
19の端面にのみ有機防錆剤層21a,22aを残す。
この配線パターン18,19の端面に付着している有機
防錆剤層21a,22aのことを、端面付着性有機防錆
剤層21a,22aと記載することとする。この端面付
着性有機防錆剤層21a,22aが配線パターン18,
19の端面に対するマイグレーション抑制層となってい
る。Next, as shown in FIG.
The surface continuity organic rust preventive layers 21 and 22 formed on the entire surfaces of the surfaces 8 and 19 are polished by means such as polishing, etc. The surface layer of the suppression layer parallel to
The organic rust preventive layers 21a and 22a are left only on the 19 end faces.
The organic rust preventive layers 21a and 22a adhering to the end faces of the wiring patterns 18 and 19 will be referred to as end face adhering organic rust preventive layers 21a and 22a. The end surface-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a are
19 serves as a migration suppressing layer for the end face.
【0055】本実施の形態1においては、以上のように
して、図2に示すような両面配線板としてのプリント配
線板P1を得る。図2は以上のようにして製造されたプ
リント配線板(両面配線板)P1の構造を示す断面図と
なっている。In the first embodiment, a printed wiring board P1 as a double-sided wiring board as shown in FIG. 2 is obtained as described above. FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the printed wiring board (double-sided wiring board) P1 manufactured as described above.
【0056】このプリント配線板P1の構造を説明する
と、絶縁基材11と、絶縁基材11の上下両面間にわた
って貫通形成された貫通孔13に充填された導電性粉1
5含有の導電性ペースト14と、絶縁基材11の上下両
面に被着されて貫通孔13に充填の導電性ペースト14
内の導電性粉15を介して電気的に導通接続された配線
パターン18,19と、配線パターン18,19それぞ
れの端面に付着形成された端面付着性有機防錆剤層21
a,22aとを備えた構造となっている。The structure of the printed wiring board P1 will now be described. The insulating base material 11 and the conductive powder 1 filled in the through holes 13 formed between the upper and lower surfaces of the insulating base material 11 are formed.
5-containing conductive paste 14 and conductive paste 14 applied to upper and lower surfaces of insulating base material 11 and filled in through holes 13
Wiring patterns 18 and 19 that are electrically conductively connected via conductive powder 15 therein, and an end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21 formed on the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19 respectively.
a, 22a.
【0057】次に、上記の各構成要素についてより具体
的に説明する。Next, each of the above components will be described more specifically.
【0058】絶縁基材11の好適例としては、基材に熱
硬化性樹脂を含浸して半硬化状態にした被圧縮性を有し
内部に多数の空孔部を分散したプリプレグをあげること
ができる。A preferred example of the insulating base material 11 is a prepreg in which a base material is impregnated with a thermosetting resin to be in a semi-cured state, has compressibility, and has a large number of pores dispersed therein. it can.
【0059】絶縁基材11における基材の好適例として
は、芳香族ポリアミド繊維の基材、ガラス布基材、ガラ
ス不織布基材、アラミド布基材、アラミド不織布基材、
液晶ポリマー不織布基材等をあげることができる。Preferred examples of the base material in the insulating base material 11 include aromatic polyamide fiber base material, glass cloth base material, glass nonwoven base material, aramid cloth base material, and aramid nonwoven base material.
A liquid crystal polymer nonwoven fabric substrate can be used.
【0060】また、絶縁基材11における熱硬化性樹脂
の好適例としては、フェノール系樹脂、ナフタレン系樹
脂、ユリア樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ケイ素
樹脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ
樹脂、ポリウレタン樹脂等の公知の熱硬化性樹脂をあげ
ることができ、さらに、これらのうちから任意に選択さ
れた1つまたは複数のものを組み合わせたものであって
もよい。Preferable examples of the thermosetting resin in the insulating base material 11 include a phenol resin, a naphthalene resin, a urea resin, an amino resin, an alkyd resin, a silicon resin, a furan resin, an unsaturated polyester resin, and an epoxy resin. And a known thermosetting resin such as a polyurethane resin. Further, one or a plurality of arbitrarily selected from these may be combined.
【0061】絶縁基材11の材料となるプリプレグとし
ては、前記の基材例のうちから任意に選択された1つま
たは複数の基材と、前記の熱硬化性樹脂例のうちから任
意に選択された1つまたは複数の熱硬化性樹脂との組み
合わせによって構成されたものである。As the prepreg to be used as the material of the insulating base material 11, one or more base materials arbitrarily selected from the above examples of the base material and arbitrarily selected from the above examples of the thermosetting resin. It is constituted by a combination with one or a plurality of thermosetting resins.
【0062】離型性フィルム12の好適例としては、ポ
リエチレンテレフタレートなどをあげることができる。Preferred examples of the release film 12 include polyethylene terephthalate and the like.
【0063】導電性ペースト14は、その構成材料とし
て、少なくとも導電性粉15と熱硬化性樹脂を含んでい
る。The conductive paste 14 contains at least a conductive powder 15 and a thermosetting resin as constituent materials.
【0064】導電性粉15の好適例としては、例えば、
金、銀、銅、ニッケル、鉛または錫などやこれらの合金
のうちから任意に選択された1つまたは複数の導電性粉
をあげることができる。Preferred examples of the conductive powder 15 include, for example,
One or a plurality of conductive powders arbitrarily selected from gold, silver, copper, nickel, lead or tin, and alloys thereof can be given.
【0065】また、熱硬化性樹脂の好適例としては、例
えば、フェノール系樹脂、ナフタレン系樹脂、ユリア樹
脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ケイ素樹脂、フラン
樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウ
レタン樹脂等の公知の熱硬化性樹脂をあげることがで
き、さらに、これらのうちから任意に選択された1つま
たは複数のものを組み合わせたものであってもよい。Preferable examples of the thermosetting resin include, for example, phenolic resin, naphthalene resin, urea resin, amino resin, alkyd resin, silicon resin, furan resin, unsaturated polyester resin, epoxy resin, polyurethane resin And other known thermosetting resins, and may be a combination of one or more arbitrarily selected ones among them.
【0066】配線パターン18,19の好適例として
は、例えば上記のようにエッチング法等によってパター
ニングされた銅箔をあげることができる。Preferred examples of the wiring patterns 18 and 19 include, for example, a copper foil patterned by the etching method or the like as described above.
【0067】本実施の形態1の特徴的構成要素である端
面付着性有機防錆剤層21a,22aすなわち配線パタ
ーン18,19の端面に付着された端面付着性有機防錆
剤層21a,22aのもとである有機防錆剤としては、
通常の防錆剤として用いられるアミン類やクロム酸塩類
などの防錆剤を用いることも可能ではあるが、本実施の
形態1の場合の有機防錆剤の好適例としては、配線パタ
ーン18,19を構成している金属である銅に対しての
防錆作用つまりはマイグレーション抑制作用が高い1,
2,3−ベンゾトリアゾールまたはベンゾトリアゾール
系化合物をあげることができる。The end surface-adhering organic rust preventive layers 21 a, 22 a, which are characteristic components of the first embodiment, that is, the end surface-adhering organic rust preventive layers 21 a, 22 a adhered to the end surfaces of the wiring patterns 18, 19. As the original organic rust inhibitor,
Although it is possible to use rust inhibitors such as amines and chromates which are used as ordinary rust inhibitors, preferred examples of the organic rust inhibitor in the first embodiment include wiring patterns 18, Rust prevention effect, that is, migration suppression effect on copper, which is a metal constituting 19, is high.
Examples thereof include 2,3-benzotriazole and benzotriazole-based compounds.
【0068】1,2,3−ベンゾトリアゾールの化学式
は次のとおりである。The chemical formula of 1,2,3-benzotriazole is as follows.
【0069】[0069]
【化1】 このような1,2,3−ベンゾトリアゾールまたはベン
ゾトリアゾール系化合物の具体的な好適例としては、4
−メチル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、5−メチ
ル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、1−クロロ−
1,2,3−ベンゾトリアゾール、5−クロロ−1,
2,3−ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシ−1,
2,3−ベンゾトリアゾール、2−ヒドロキシ−1,
2,3−ベンゾトリアゾール、または上記化合物のアル
カリ金属(ナトリウム、カリウム)塩、4−カルボキシ
ル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、またはそのエス
テル化合物などを代表例としてあげることができる。Embedded image Specific preferred examples of such 1,2,3-benzotriazole or benzotriazole-based compound include 4
-Methyl-1,2,3-benzotriazole, 5-methyl-1,2,3-benzotriazole, 1-chloro-
1,2,3-benzotriazole, 5-chloro-1,
2,3-benzotriazole, 1-hydroxy-1,
2,3-benzotriazole, 2-hydroxy-1,
Representative examples include 2,3-benzotriazole, alkali metal (sodium, potassium) salts of the above compounds, 4-carboxyl-1,2,3-benzotriazole, and ester compounds thereof.
【0070】配線パターン18,19の端面に端面付着
性有機防錆剤層21a,22aを付着させることについ
ての他の方法として、1,2,3−ベンゾトリアゾール
またはベンゾトリアゾール系化合物の溶液として作製さ
れた有機防錆剤溶液20を、その配線パターン18,1
9に塗布したり、あるいは噴霧したりすることにより表
面連続性有機防錆剤層21,22を同様に付着させ、そ
の後に、不要な部分の表面連続性有機防錆剤層21,2
2に対して研磨等の手段により、表面連続性有機防錆剤
層21,22のうち絶縁基材11の表面に平行な抑制層
表層部分を除去し、配線パターン18,19の端面にの
み端面付着性有機防錆剤層21a,22aを残すといっ
た方法もある。As another method for attaching the end surface-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a to the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19, as a solution of 1,2,3-benzotriazole or a benzotriazole-based compound. The prepared organic rust inhibitor solution 20 is applied to the wiring patterns 18, 1.
9, or by spraying, the surface continuity organic rust preventive layers 21 and 22 are similarly adhered, and thereafter, unnecessary portions of the surface continuity organic rust preventive layers 21 and 22 are applied.
The surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 among the surface continuity organic rust preventive layers 21 and 22 is removed by means of polishing or the like, and the end faces are formed only on the end faces of the wiring patterns 18 and 19. There is also a method of leaving the adhesive organic rust preventive layers 21a and 22a.
【0071】上記では、配線パターン18,19上に形
成された表面連続性有機防錆剤層21,22のうち絶縁
基材11の表面に平行な抑制層表層部分を除去したの
は、当該のプリント配線板P1に実装される部品などと
の電気的接続に悪影響を及ぼすことがないようにするた
めである。したがって、そのような悪影響を及ぼす可能
性があるときは、表面連続性有機防錆剤層21,22の
うち絶縁基材11の表面に平行な抑制層表層部分につい
ては、なるべくこれを除去することが望ましい。もっと
も、前記の平行な抑制層表層部分の厚みが充分に小さく
て、そのような悪影響を及ぼすおそれのないときは、必
ずしも除去する必要性はなく、そのまま残存させていて
もよいし、あるいは研磨等で除去するにしても一部分が
残っていてもよい。In the above description, the reason why the surface layer portion of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 among the surface continuity organic rust preventive layers 21 and 22 formed on the wiring patterns 18 and 19 was removed is as follows. This is to prevent adverse effects on the electrical connection with components mounted on the printed wiring board P1. Therefore, when there is a possibility that such an adverse effect may occur, the surface continuation organic rust inhibitor layers 21 and 22 should be removed as much as possible from the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11. Is desirable. However, when the thickness of the parallel suppression layer surface layer portion is sufficiently small and there is no possibility of such an adverse effect, it is not always necessary to remove it, and it may be left as it is, or may be polished or the like. Even if it removes with, a part may remain.
【0072】上記のような方法で、配線パターン18,
19における絶縁基材11と平行でない面すなわち配線
パターン18,19の端面にマイグレーション抑制層と
しての端面付着性有機防錆剤層21a,22aを設ける
ことによって、配線パターン18,19の材料である銅
の耐腐食性および耐マイグレーション性を向上させるこ
とができ、その結果として、昨今の高密度集積型のプリ
ント配線板において、その微細化配線のために隣接配線
パターンの間隔が相当に小さくなっているとしても、プ
リント配線板に高い絶縁信頼性をもたせることが可能と
なる。In the manner described above, the wiring patterns 18,
By providing the end surface-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a as migration suppressing layers on the surface not parallel to the insulating base material 11 at the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19, copper as the material of the wiring patterns 18 and 19 is provided. Corrosion resistance and migration resistance can be improved. As a result, in recent high-density integrated type printed wiring boards, the distance between adjacent wiring patterns has been considerably reduced due to the miniaturized wiring. In this case, the printed wiring board can be provided with high insulation reliability.
【0073】(実施の形態2)実施の形態2は、プリン
ト配線板のうちの両面配線板についてのものであり、ま
た、配線パターンの端面に形成するマイグレーション抑
制層を金属層となすものである。(Embodiment 2) Embodiment 2 relates to a double-sided wiring board among printed wiring boards, and a metal layer is used as a migration suppressing layer formed on an end face of a wiring pattern. .
【0074】図3(a)〜(f)は実施の形態2にかか
わるプリント配線板(両面配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図、図4は製品としてのプリント配線
板の断面図である。以下、順を追って説明する。3 (a) to 3 (f) are cross-sectional views illustrating the steps of a method for manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to the second embodiment, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the printed wiring board as a product. FIG. Hereinafter, description will be made in order.
【0075】まず、図3(a)に示すように、絶縁基材
11の上下の表面上に離型性フィルム12を接着したも
のを用意し、その離型性フィルム12が接着された絶縁
基材11に対して、レーザー加工法を利用して所定の位
置ごとに貫通孔13を形成する。First, as shown in FIG. 3 (a), a material in which a release film 12 is bonded on the upper and lower surfaces of an insulating base material 11 is prepared, and the insulating substrate to which the release film 12 is bonded is prepared. Through holes 13 are formed at predetermined positions in the material 11 by using a laser processing method.
【0076】次に、図3(b)に示すように、スキージ
などを用いて絶縁基材11の貫通孔13内に、導電性粉
15を含有している導電性ペースト14を充填する。Next, as shown in FIG. 3B, a conductive paste 14 containing conductive powder 15 is filled in the through holes 13 of the insulating base material 11 using a squeegee or the like.
【0077】次に、図3(c)に示すように、絶縁基材
11に接着されていた離型性フィルム12を剥離除去す
る。Next, as shown in FIG. 3C, the release film 12 adhered to the insulating base material 11 is peeled off.
【0078】次に、図3(d)に示すように、絶縁基材
11の上下両方の表面上に銅箔16,17を積層する。
そして、絶縁基材11および銅箔16,17を厚み方向
に沿って圧縮しながら加熱する。これにより、絶縁基材
11と、導電性ペースト14に含有されて貫通孔13内
に充填された導電性粉15とがともに圧縮され、かつ、
絶縁基材11の表面上に銅箔16,17が被着される。
これが半製品のプリント配線板A0である。Next, as shown in FIG. 3D, copper foils 16 and 17 are laminated on both upper and lower surfaces of the insulating base material 11.
Then, the insulating base material 11 and the copper foils 16 and 17 are heated while being compressed in the thickness direction. Thereby, the insulating base material 11 and the conductive powder 15 contained in the conductive paste 14 and filled in the through holes 13 are both compressed, and
Copper foils 16 and 17 are adhered on the surface of the insulating base material 11.
This is a semi-finished printed wiring board A0.
【0079】次に、図3(e)に示すように、絶縁基材
11の表面上に被着されている銅箔16,17をフォト
リソグラフィ法を用いてエッチングして配線パターン1
8,19を形成する。これにより、絶縁基材11を挟ん
で対向する配線パターン18,19どうしが絶縁基材1
1の貫通孔13内に充填された導電性粉15を介して導
通接続される。これが半製品のプリント配線板A1であ
る。ここまでは、上記した実施の形態1の場合と同様で
ある。Next, as shown in FIG. 3E, the copper foils 16 and 17 adhered on the surface of the insulating base material 11 are etched using photolithography to form the wiring pattern 1.
8 and 19 are formed. Thereby, the wiring patterns 18 and 19 facing each other with the insulating base material 11 interposed therebetween are connected to the insulating base material 1.
Conductive connection is made via conductive powder 15 filled in one through hole 13. This is a semi-finished printed wiring board A1. Up to this point, the operation is the same as that of the first embodiment.
【0080】すなわち、以上の段階までの半製品のプリ
ント配線板A1が、本実施の形態2のプリント配線板P
2における基本構成となっている。That is, the printed wiring board A1 of the semi-finished product up to the above stage is the printed wiring board P of the second embodiment.
2 is the basic configuration.
【0081】なお、実施の形態1において説明した事項
であって本実施の形態2において改めて説明しない事項
についてはそのまま本実施の形態2にも該当するものと
し、詳しい説明は省略する。とりわけ、絶縁基材11、
離型性フィルム12、導電性ペースト14、導電性粉1
5、配線パターン18,19の材質については、実施の
形態1の説明をそのまま踏襲するものとする。Note that items which have been described in the first embodiment and which are not described again in the second embodiment also apply to the second embodiment as they are, and a detailed description thereof will be omitted. In particular, the insulating substrate 11,
Release film 12, conductive paste 14, conductive powder 1
5. Regarding the material of the wiring patterns 18 and 19, the description of the first embodiment is directly followed.
【0082】本実施の形態2におけるプリント配線板P
2は、このような半製品のプリント配線板A1に対し
て、さらに、図4に示すように、配線パターン18,1
9の絶縁基材11と平行でない面すなわち配線パターン
18,19の端面に、この配線パターン18,19の構
成材料である銅よりも耐マイグレーション性および耐腐
食性が優れている端面付着性金属層31a,32aを備
えたことに特徴がある。以下、その製造過程を説明す
る。Printed Wiring Board P in Second Embodiment
2 further includes wiring patterns 18 and 1 as shown in FIG.
9 on the side not parallel to the insulating base material 11, that is, on the end faces of the wiring patterns 18 and 19, the end face adhering metal layer which is more resistant to migration and corrosion than copper which is a constituent material of the wiring patterns 18 and 19 It is characterized by having 31a and 32a. Hereinafter, the manufacturing process will be described.
【0083】本発明のこの実施の形態2にあっては、さ
らに、図3(f)に示すように、上記の半製品のプリン
ト配線板A1に対して電解メッキ法などによって、その
配線パターン18,19上に耐マイグレーション性およ
び耐腐食性に優れた表面連続性金属層31,32を形成
する。この表面連続性金属層31,32は、配線パター
ン18,19における絶縁基材11の表面に平行な表層
部分から配線パターン18,19の端面にわたって連続
する状態のものとなっている。According to the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3F, the printed wiring board A1 of the above-mentioned semi-finished product is subjected to the wiring pattern 18 by electrolytic plating or the like. , 19 are formed with surface-continuous metal layers 31 and 32 having excellent migration resistance and corrosion resistance. The surface continuity metal layers 31 and 32 are continuous from the surface layer portions of the wiring patterns 18 and 19 parallel to the surface of the insulating base material 11 to the end faces of the wiring patterns 18 and 19.
【0084】その表面連続性金属層31,32として
は、ニッケル、パラジウム、白金、亜鉛、カドミウムか
らなる群のうちから任意に選択された1つまたは複数の
金属よりなる金属層とする。このような金属は、その耐
マイグレーション性および耐腐食性が銅による配線パタ
ーン18,19よりも優れたものとなっている。The surface continuity metal layers 31 and 32 are metal layers made of one or more metals arbitrarily selected from the group consisting of nickel, palladium, platinum, zinc and cadmium. Such a metal has better migration resistance and corrosion resistance than the wiring patterns 18 and 19 made of copper.
【0085】次に、図4に示すように、配線パターン1
8,19の表面全面に形成されている表面連続性金属層
31,32に対して研磨等の手段により、表面連続性金
属層31,32のうち絶縁基材11の表面に平行な抑制
層表層部分を除去し、配線パターン18,19の端面に
のみ金属層31a,32aを残す。この配線パターン1
8,19の端面に付着している金属層31a,32aの
ことを、端面付着性金属層31a,32aと記載するこ
ととする。この端面付着性金属層31a,32aが配線
パターン18,19の端面に対するマイグレーション抑
制層となっている。Next, as shown in FIG.
The surface continuity metal layers 31 and 32 formed on the entire surfaces of the surfaces 8 and 19 are polished or the like, and the surface continuity metal layers 31 and 32 of the suppression layer surface layer parallel to the surface of the insulating base material 11 are polished or the like. The portions are removed to leave the metal layers 31a and 32a only on the end faces of the wiring patterns 18 and 19. This wiring pattern 1
The metal layers 31a and 32a adhering to the end faces 8 and 19 will be referred to as end face adhering metal layers 31a and 32a. The end surface adhering metal layers 31a and 32a serve as migration suppression layers for the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19.
【0086】本実施の形態2においては、以上のように
して、図4に示すような両面配線板としてのプリント配
線板P2を得る。図4は以上のようにして製造されたプ
リント配線板(両面配線板)P2の構造を示す断面図と
なっている。In the second embodiment, a printed wiring board P2 as a double-sided wiring board as shown in FIG. 4 is obtained as described above. FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the printed wiring board (double-sided wiring board) P2 manufactured as described above.
【0087】このプリント配線板P2の構造を説明する
と、絶縁基材11と、絶縁基材11の上下両面間にわた
って貫通形成された貫通孔13に充填された導電性粉1
5含有の導電性ペースト14と、絶縁基材11の上下両
面に被着されて貫通孔13に充填の導電性ペースト14
内の導電性粉15を介して電気的に導通接続された配線
パターン18,19と、配線パターン18,19それぞ
れの端面に付着形成された端面付着性金属層31a,3
2aとを備えた構造となっている。The structure of the printed wiring board P2 will be described. The insulating base material 11 and the conductive powder 1 filled in the through-hole 13 formed between the upper and lower surfaces of the insulating base material 11 are formed.
5-containing conductive paste 14 and conductive paste 14 applied to upper and lower surfaces of insulating base material 11 and filled in through holes 13
Wiring patterns 18 and 19 electrically connected to each other via the conductive powder 15 therein, and end surface adhering metal layers 31 a and 3 formed on the respective end surfaces of the wiring patterns 18 and 19.
2a.
【0088】上記では、配線パターン18,19上に形
成された表面連続性金属層31,32のうち絶縁基材1
1の表面に平行な抑制層表層部分を除去したのは、その
平行な抑制層表層部分が隣接する配線パターン18,1
8間の絶縁信頼性に直接には寄与しないものであるため
である。したがって、プリント配線板P2の厚みを増す
原因ともなり得る表面連続性金属層31,32のうちの
絶縁基材11の表面に平行な抑制層表層部分について
は、なるべくこれを除去することが望ましい。もっと
も、前記の平行な抑制層表層部分の厚みが充分に小さく
て、そのような悪影響を及ぼすおそれのないときは、必
ずしも除去する必要性はなく、そのまま残存させていて
もよいし、あるいは研磨等で除去するにしても一部分が
残っていてもよい。In the above description, the insulating base material 1 of the surface continuity metal layers 31 and 32 formed on the wiring patterns 18 and 19
The reason why the surface portion of the suppression layer parallel to the surface of the wiring pattern 1 was removed is that the surface portion of the suppression layer parallel to the wiring patterns 18
This is because it does not directly contribute to the insulation reliability between the eight. Therefore, it is desirable to remove as much as possible the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 among the surface continuity metal layers 31 and 32 that may cause the thickness of the printed wiring board P2 to increase. However, when the thickness of the parallel suppression layer surface layer portion is sufficiently small and there is no possibility of such an adverse effect, it is not always necessary to remove it, and it may be left as it is, or may be polished or the like. Even if it removes with, a part may remain.
【0089】上記のような方法で、配線パターン18,
19における絶縁基材11と平行でない面すなわち配線
パターン18,19の端面にマイグレーション抑制層と
しての耐マイグレーション性および耐腐食性が配線パタ
ーン18,19の構成材料である銅よりも優れている端
面付着性金属層31a,32aを設けることによって、
配線パターン18,19の材料である銅の耐腐食性およ
び耐マイグレーション性を向上させることができ、その
結果として、昨今の高密度集積型のプリント配線板にお
いて、その微細化配線のために隣接配線パターンの間隔
が相当に小さくなっているとしても、プリント配線板に
高い絶縁信頼性をもたせることが可能となる。In the manner described above, the wiring patterns 18,
In 19, an end surface adhered to a surface that is not parallel to the insulating base material 11, that is, an end surface of the wiring patterns 18 and 19, in which migration resistance and corrosion resistance as a migration suppressing layer are superior to copper which is a constituent material of the wiring patterns 18 and 19. By providing the conductive metal layers 31a and 32a,
Corrosion resistance and migration resistance of copper, which is the material of the wiring patterns 18 and 19, can be improved. As a result, in recent high-density integrated type printed wiring boards, adjacent wiring is required for fine wiring. Even if the interval between the patterns is considerably reduced, the printed wiring board can have high insulation reliability.
【0090】(実施の形態3)実施の形態3は、プリン
ト配線板のうちの両面配線板についてのものであり、ま
た、配線パターンの端面に形成するマイグレーション抑
制層を、金属層の酸化または窒化または硫化による化合
物層となすものである。(Embodiment 3) Embodiment 3 relates to a double-sided wiring board among printed wiring boards. Further, a migration suppressing layer formed on an end face of a wiring pattern is formed by oxidation or nitridation of a metal layer. Alternatively, it forms a compound layer by sulfurization.
【0091】図5(a)〜(g)は実施の形態3にかか
わるプリント配線板(両面配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図である。以下、順を追って説明す
る。FIGS. 5 (a) to 5 (g) are process explanatory sectional views sequentially showing a method of manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to the third embodiment. Hereinafter, description will be made in order.
【0092】図5(a)〜(f)までは実施の形態2の
場合の図3(a)〜(f)の場合と同様である。なお、
実施の形態1において説明した事項であって本実施の形
態3において改めて説明しない事項についてはそのまま
本実施の形態3にも該当するものとし、詳しい説明は省
略する。とりわけ、絶縁基材11、離型性フィルム1
2、導電性ペースト14、導電性粉15、配線パターン
18,19の材質については、実施の形態1の説明をそ
のまま踏襲するものとする。FIGS. 5A to 5F are the same as FIGS. 3A to 3F in the second embodiment. In addition,
Matters that have been described in the first embodiment and that are not described again in the third embodiment also apply to the third embodiment as they are, and detailed descriptions thereof will be omitted. In particular, insulating substrate 11, release film 1
2. The materials of the conductive paste 14, the conductive powder 15, and the wiring patterns 18 and 19 follow the description of the first embodiment as it is.
【0093】図5(f)から図5(g)にかけて示すよ
うに、実施の形態2の場合と同様に、配線パターン1
8,19の表面全面に対して形成した表面連続性金属層
31,32のうち絶縁基材11の表面に平行な抑制層表
層部分を研磨して配線パターン18,19の端面にのみ
端面付着性金属層31a,32aを残し、その端面の端
面付着性金属層31a,32aを反応性ガス(図示せ
ず)の雰囲気下に曝すことにより、端面付着性金属層3
1a,32aに対して反応性ガスを化学的に反応させ、
配線パターン18,19の端面に化合物層41a,42
aを形成する。この配線パターン18,19の端面に付
着の端面付着性金属層31a,32aにさらに付着して
いる化合物層41a,42aのことを、端面付着性化合
物層41a,42aと記載することとする。この端面付
着性化合物層41a,42aが配線パターン18,19
の端面に対するマイグレーション抑制層となっている。As shown in FIG. 5 (f) to FIG. 5 (g), the wiring pattern 1
Of the surface continuity metal layers 31 and 32 formed over the entire surfaces of the wiring layers 8 and 19, the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 is polished to adhere only to the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19. By exposing the end surface adhering metal layers 31a and 32a to an atmosphere of a reactive gas (not shown) while leaving the metal layers 31a and 32a, the end surface adhering metal layer 3 is formed.
Reacting a reactive gas chemically with 1a, 32a;
Compound layers 41a and 42 are provided on the end faces of wiring patterns 18 and 19, respectively.
a is formed. The compound layers 41a and 42a further adhering to the end surface adhering metal layers 31a and 32a adhering to the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19 will be referred to as end surface adhering compound layers 41a and 42a. The end surface adhesive compound layers 41a and 42a are
Is a migration suppressing layer for the end face of the substrate.
【0094】反応性ガスの好適例としては、酸素、窒
素、硫黄などをあげることができる。酸素の場合は、端
面付着性化合物層41a,42aは金属酸化物を主成分
とする化合物層となる。窒素の場合は、端面付着性化合
物層41a,42aは金属窒化物を主成分とする化合物
層となる。硫黄の場合は、端面付着性化合物層41a,
42aは金属硫化物を主成分とする化合物層となる。Preferable examples of the reactive gas include oxygen, nitrogen, sulfur and the like. In the case of oxygen, the end surface adhering compound layers 41a and 42a are compound layers containing a metal oxide as a main component. In the case of nitrogen, the end face adhesive compound layers 41a and 42a are compound layers containing metal nitride as a main component. In the case of sulfur, the end surface adhering compound layer 41a,
Reference numeral 42a is a compound layer containing metal sulfide as a main component.
【0095】なお、この場合の端面付着性化合物層41
a,42aの下地となる端面付着性金属層31a,32
aについては、耐マイグレーション性および耐腐食性が
配線パターン18,19の構成材料である銅よりも優れ
ているニッケル、パラジウム、白金、亜鉛、カドミウム
が好適例であるが、必ずしもそれにとらわれる必要性は
なく、他の元素の金属であってもよい。酸化または窒化
または硫化によって、耐マイグレーション性および耐腐
食性が配線パターン18,19の構成材料である銅より
も優れることとなる端面付着性端面付着性化合物層41
a,42aを形成すればよい。In this case, the end surface adhering compound layer 41 is used.
end surfaces adhering metal layers 31a, 32 serving as bases for a, 42a
As for a, nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium, which have better migration resistance and corrosion resistance than copper, which is a constituent material of the wiring patterns 18 and 19, are preferable examples, but it is not necessary to be limited to them. Instead, a metal of another element may be used. Due to oxidation, nitridation, or sulfurization, migration resistance and corrosion resistance are superior to copper which is a constituent material of the wiring patterns 18 and 19.
a, 42a may be formed.
【0096】上記の説明では、配線パターン18,19
の表面全面に対して形成した表面連続性金属層31,3
2のうち絶縁基材11の表面に平行な抑制層表層部分を
研磨して配線パターン18,19の端面にのみ端面付着
性金属層31a,32aを残し、その端面の端面付着性
金属層31a,32aに対して反応性ガスを反応させた
が、必ずしもその手順にとらわれる必要性はなく、配線
パターン18,19の表面全面に形成した表面連続性金
属層31,32を反応性ガスの雰囲気下に曝すことによ
り、その表面全面の表面連続性金属層31,32に対し
て反応性ガスを化学的に反応させ、配線パターン18,
19における絶縁基材11の表面に平行な表層部分から
配線パターン18,19の端面にわたって連続する表面
連続性化合物層(図示せず)を形成し、次いで、研磨等
の手段により、表面連続性化合物層のうち絶縁基材11
の表面に平行な抑制層表層部分を除去し、配線パターン
18,19の端面にのみ端面付着性化合物層41a,4
2aを残すといった方法もある。In the above description, the wiring patterns 18 and 19
Surface continuity metal layers 31 and 3 formed over the entire surface of
2, the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 is polished to leave the end surface adhering metal layers 31a, 32a only on the end surfaces of the wiring patterns 18, 19, and the end surface adhering metal layers 31a, 31a, Although the reactive gas was caused to react with the reactive gas 32a, the procedure is not necessarily limited to this procedure, and the surface continuous metal layers 31, 32 formed on the entire surfaces of the wiring patterns 18, 19 are exposed to the reactive gas atmosphere. Exposure causes a reactive gas to chemically react with the surface continuity metal layers 31 and 32 on the entire surface thereof, and the wiring patterns 18 and
19, a surface continuity compound layer (not shown) is formed continuously from the surface layer portion parallel to the surface of the insulating base material 11 to the end faces of the wiring patterns 18 and 19, and then the surface continuity compound layer is polished or the like. Insulating base material 11 out of layers
The surface layer portion of the suppression layer parallel to the surface of the wiring pattern is removed, and only the end faces of the wiring patterns 18 and 19 have the end face adhesive compound layers 41a and 41a.
There is also a method of leaving 2a.
【0097】上記のような方法で、配線パターン18,
19における絶縁基材11と平行でない面すなわち配線
パターン18,19の端面に端面付着性化合物層41
a,42aを設けることによって、配線パターン18,
19の材料である銅の耐腐食性および耐マイグレーショ
ン性を向上させることができ、その結果として、昨今の
高密度集積型のプリント配線板において、その微細化配
線のために隣接配線パターンの間隔が相当に小さくなっ
ているとしても、プリント配線板に高い絶縁信頼性をも
たせることが可能となる。In the manner described above, the wiring patterns 18,
In FIG. 19, the end surface adhering compound layer 41 is formed on a surface which is not parallel to the insulating base material 11, that is, the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19.
a, 42a, the wiring pattern 18,
Corrosion resistance and migration resistance of copper, which is a material of No. 19, can be improved. As a result, in recent high-density integrated type printed wiring boards, the distance between adjacent wiring patterns is reduced due to the miniaturized wiring. Even if the size is considerably reduced, the printed wiring board can have high insulation reliability.
【0098】(実施の形態4)実施の形態4は、プリン
ト配線板のうちの4層配線板についてのものであり、ま
た、配線パターンの端面に形成するマイグレーション抑
制層を端面付着性有機防錆剤層となすものである。(Embodiment 4) Embodiment 4 relates to a four-layer wiring board among printed wiring boards. Further, the migration suppressing layer formed on the end face of the wiring pattern is provided with an end face-adhesive organic rust preventive. It forms an agent layer.
【0099】図6(a)〜(e)は実施の形態4にかか
わるプリント配線板(4層配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図である。FIGS. 6A to 6E are process explanatory sectional views sequentially showing a method of manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to the fourth embodiment.
【0100】図6(a)は半製品段階のプリント配線板
A1を示す。この半製品のプリント配線板A1は、上記
の実施の形態1における半製品のプリント配線板A1と
同じ方法で作製されたものとなっている。FIG. 6A shows the printed wiring board A1 in a semi-finished product stage. The semi-finished product printed wiring board A1 is manufactured by the same method as the semi-finished product printed wiring board A1 in the first embodiment.
【0101】この半製品のプリント配線板A1の構造を
説明すると、絶縁基材11と、絶縁基材11の上下両面
間にわたって貫通形成された貫通孔13に充填された導
電性粉15含有の導電性ペースト14と、絶縁基材11
の上下両面に被着されて貫通孔13に充填の導電性ペー
スト14内の導電性粉15を介して電気的に導通接続さ
れた配線パターン18,19とを備えた構造となってい
る。配線パターン18,19は、エッチング法等によっ
てパターニングしたものである。The structure of the printed wiring board A1 as a semi-finished product will be described. The conductive base material containing the conductive powder 15 filled in the insulating base material 11 and the through holes 13 formed through the upper and lower surfaces of the insulating base material 11 is formed. Paste 14 and insulating base material 11
And wiring patterns 18 and 19 which are attached to the upper and lower surfaces of the conductive paste 15 and are electrically connected to each other via conductive powder 15 in conductive paste 14 filled in the through holes 13. The wiring patterns 18 and 19 are patterned by an etching method or the like.
【0102】さらに、上記の半製品のプリント配線板A
1を実施の形態1の場合の図1(f)に示したのと同様
にして、有機防錆剤溶液20に浸漬したり、あるいは有
機防錆剤溶液を塗布または噴霧することにより、図6
(b)に示すように、絶縁基材11上の配線パターン1
8,19の表面全面に対して表面連続性有機防錆剤層2
1,22を形成する。この表面連続性有機防錆剤層2
1,22は、配線パターン18,19における絶縁基材
11の表面に平行な表層部分から配線パターン18,1
9の端面にわたって連続する状態のものとなっている。Further, the above-mentioned semi-finished product printed wiring board A
1 is immersed in the organic rust inhibitor solution 20 or applied or sprayed with the organic rust inhibitor solution in the same manner as shown in FIG.
As shown in (b), wiring pattern 1 on insulating base material 11
Organic rust inhibitor layer 2 with surface continuity over the entire surface of 8, 19
1 and 22 are formed. This surface continuity organic rust inhibitor layer 2
Reference numerals 1 and 22 denote wiring patterns 18 and 1 from the surface layer portions of the wiring patterns 18 and 19 parallel to the surface of the insulating base material 11.
9 are continuous over the end face.
【0103】次に、図6(c)に示すように、配線パタ
ーン18,19の表面全面に形成されている表面連続性
有機防錆剤層21,22に対して研磨等の手段により、
表面連続性有機防錆剤層21,22のうち絶縁基材11
の表面に平行な抑制層表層部分を除去し、配線パターン
18,19の端面にのみ端面付着性有機防錆剤層21
a,22aを残す。Next, as shown in FIG. 6C, the surface continuous organic rust preventive layers 21 and 22 formed on the entire surfaces of the wiring patterns 18 and 19 are polished by means such as polishing.
Insulating base material 11 of surface continuity organic rust inhibitor layers 21 and 22
The surface layer portion of the suppression layer parallel to the surface of the wiring pattern is removed, and only the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19 have the end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21
a and 22a.
【0104】以上のようにして、両面配線板としてのプ
リント配線板P4を得る。As described above, a printed wiring board P4 as a double-sided wiring board is obtained.
【0105】本実施の形態4の特徴的構成要素である端
面付着性有機防錆剤層21a,22aすなわち配線パタ
ーン18,19の端面に付着された端面付着性有機防錆
剤層21a,22aのもとである有機防錆剤としては、
実施の形態1の場合と同様のことが当てはまり、通常の
防錆剤として用いられるアミン類やクロム酸塩類などの
防錆剤を用いることも可能ではあるが、本実施の形態4
の場合の有機防錆剤の好適例としては、配線パターン1
8,19を構成している金属である銅に対しての防錆作
用つまりはマイグレーション抑制作用が高い1,2,3
−ベンゾトリアゾールまたはベンゾトリアゾール系化合
物をあげることができる。The end surface-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a, which are characteristic components of the fourth embodiment, that is, the end surface-adhering organic rust-preventive layers 21a and 22a adhered to the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19, respectively. As the original organic rust inhibitor,
The same applies to the case of the first embodiment, and it is possible to use a rust inhibitor such as an amine or a chromate which is used as a normal rust inhibitor.
Preferred examples of the organic rust inhibitor in the case of (1) are wiring pattern 1
1,2,3 have a high rust-preventive action, that is, a migration-inhibiting action on copper, which is a metal constituting 8,19
-Benzotriazole or a benzotriazole-based compound.
【0106】なお、実施の形態1において説明した事項
であって本実施の形態4において改めて説明しない事項
についてはそのまま本実施の形態4にも該当するものと
し、詳しい説明は省略する。とりわけ、絶縁基材11、
離型性フィルム12、導電性ペースト14、導電性粉1
5、配線パターン18,19の材質については、実施の
形態1の説明をそのまま踏襲するものとする。Note that items which have been described in the first embodiment and which will not be described again in the fourth embodiment also apply to the fourth embodiment as they are, and a detailed description thereof will be omitted. In particular, the insulating substrate 11,
Release film 12, conductive paste 14, conductive powder 1
5. Regarding the material of the wiring patterns 18 and 19, the description of the first embodiment is directly followed.
【0107】次に、図6(d)に示すように、配線パタ
ーン18,19の端面に端面付着性有機防錆剤層21
a,22aを形成したプリント配線板P4の表裏の両側
に図5(c)に示す要素を積層し、その各要素の表裏の
両側に銅箔を積層して加熱圧縮した積層体を作り、その
後、フォトリソグラフィ法などで銅箔をエッチングして
配線を行うことにより、積層体M1を得る。Next, as shown in FIG. 6 (d), the end surfaces of the organic rust preventive layer
The elements shown in FIG. 5C are laminated on both sides of the printed wiring board P4 on which the a and 22a are formed, and copper foil is laminated on both sides of each element to form a heat-compressed laminate. Then, the copper foil is etched by photolithography or the like to perform wiring, thereby obtaining the laminate M1.
【0108】次に、図6(e)に示すように、上記の積
層体M1を厚み方向(積層方向)に沿って圧縮しながら
加熱する。積層された複数のプリント配線板P4におい
て、被圧縮性を有する絶縁基材11のそれぞれと各貫通
孔13内に充填された導電性ペースト14内の導電性粉
15とがともに圧縮され、かつ、絶縁基材11の表面上
に配線パターン18,19が強固に一体化される。これ
によって、圧縮された積層体M2である多層配線構造の
プリント配線板(4層配線板)を得ることになる。Next, as shown in FIG. 6E, the laminate M1 is heated while being compressed in the thickness direction (lamination direction). In the plurality of laminated printed wiring boards P4, each of the insulating base material 11 having compressibility and the conductive powder 15 in the conductive paste 14 filled in each through hole 13 are compressed together, and The wiring patterns 18 and 19 are firmly integrated on the surface of the insulating base material 11. As a result, a printed wiring board (four-layer wiring board) having a multilayer wiring structure, which is the compressed laminate M2, is obtained.
【0109】上記のような方法で、プリント配線板P4
を複数積層してなる多層配線構造のプリント配線板(4
層配線板)において、各層のプリント配線板P4におけ
る配線パターン18それぞれの端面にマイグレーション
抑制層としての端面付着性有機防錆剤層21aを設けた
ことによって、配線パターン18それぞれの材料である
銅の耐腐食性および耐マイグレーション性を向上させる
ことができ、その結果として、高密度かつ高集積型の多
層配線構造のプリント配線板において、その微細化配線
のために隣接配線パターンの間隔が相当に小さくなって
いるとしても、多層配線構造のプリント配線板に高い絶
縁信頼性をもたせることが可能となる。In the manner described above, the printed wiring board P4
Printed wiring board (4
By providing the end surface-adhering organic rust preventive layer 21a as a migration suppressing layer on the end surface of each wiring pattern 18 in the printed wiring board P4 of each layer, the copper Corrosion resistance and migration resistance can be improved. As a result, in printed wiring boards having a high-density and highly integrated multilayer wiring structure, the distance between adjacent wiring patterns is considerably small due to the miniaturized wiring. Even if it is, the printed wiring board having the multilayer wiring structure can have high insulation reliability.
【0110】(実施の形態5)本実施の形態5は、プリ
ント配線板のうちの4層配線板についてのものであり、
また、その配線パターンの端面に対するマイグレーショ
ン抑制層の形成を、配線パターンのパターニングと同時
に行うようにしたものである。(Embodiment 5) The present embodiment 5 relates to a four-layer wiring board among printed wiring boards.
Further, the formation of the migration suppressing layer on the end face of the wiring pattern is performed simultaneously with the patterning of the wiring pattern.
【0111】図7(a)〜(d)は実施の形態5にかか
わるプリント配線板(4層配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図である。FIGS. 7A to 7D are process sectional views sequentially showing a method for manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to the fifth embodiment.
【0112】本実施の形態5においても、実施の形態1
において説明した事項についてはそのまま該当するもの
とし、詳しい説明は省略する。とりわけ、絶縁基材1
1、離型性フィルム12、導電性ペースト14、導電性
粉15、配線パターン18,19の材質については、実
施の形態1の説明をそのまま踏襲するものとする。Also in the fifth embodiment, the first embodiment
It is assumed that the items described in the above are applicable as they are, and the detailed description is omitted. In particular, insulating substrate 1
1. The materials of the release film 12, the conductive paste 14, the conductive powder 15, and the wiring patterns 18 and 19 follow the description of the first embodiment as it is.
【0113】図7(a)に示す半製品のプリント配線板
A0は、実施の形態1の場合と同様にして、絶縁基材1
1に貫通孔13を形成し、貫通孔13に導電性粉15を
含有した導電性ペースト14を充填した上で、離型性フ
ィルム(図示せず)を剥離した後に、絶縁基材11の上
下両方の表面上に銅箔16,17を積層したものである
(これは図1(d)に相当している)。この半製品のプ
リント配線板A0を出発部材として、その銅箔16,1
7に対するエッチングを行う。The semi-finished product printed wiring board A0 shown in FIG. 7A is made of an insulating base material 1 in the same manner as in the first embodiment.
1, a through-hole 13 is formed, the through-hole 13 is filled with a conductive paste 14 containing a conductive powder 15, and a release film (not shown) is peeled off. Copper foils 16 and 17 are laminated on both surfaces (this corresponds to FIG. 1D). Starting from the printed wiring board A0 of this semi-finished product, its copper foils 16, 1
7 is etched.
【0114】これに際して、使用するエッチング液に有
機防錆剤溶液を混合した有機防錆剤溶液混合エッチング
液50を用いて銅箔16,17をエッチングによりパタ
ーニングする。At this time, the copper foils 16 and 17 are patterned by etching using an organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50 in which an organic rust inhibitor solution is mixed with an etching solution to be used.
【0115】この場合の有機防錆剤溶液としては、実施
の形態1で説明したのと同様の1,2,3−ベンゾトリ
アゾールまたはベンゾトリアゾール系化合物がある。こ
れについての詳しい説明も、実施の形態1の説明をその
まま踏襲するものとする。As the organic rust inhibitor solution in this case, there are 1,2,3-benzotriazole or benzotriazole-based compounds similar to those described in the first embodiment. The detailed description of this will follow the description of Embodiment 1 as it is.
【0116】半製品のプリント配線板A0に有機防錆剤
溶液混合エッチング液50を塗布または噴霧したり、あ
るいは、半製品のプリント配線板A0を有機防錆剤溶液
混合エッチング液50に浸漬することにより、図7
(b)に示すように、銅箔16,17をパターニングし
て配線パターン18,19を形成し、この配線パターン
18,19の形成と同時に、その配線パターン18,1
9の端面に端面付着性有機防錆剤層21a,22aを形
成する。以上のようにして、両面配線板としてのプリン
ト配線板P5を得る。Applying or spraying the organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50 on the semi-finished product printed wiring board A0, or immersing the semi-finished printed wiring board A0 in the organic rust preventing solution mixed etching solution 50 As a result, FIG.
As shown in (b), the copper foils 16 and 17 are patterned to form wiring patterns 18 and 19, and simultaneously with the formation of the wiring patterns 18 and 19, the wiring patterns 18 and 1 are formed.
On the end face of No. 9, end face adhering organic rust preventive layers 21a and 22a are formed. As described above, the printed wiring board P5 as a double-sided wiring board is obtained.
【0117】次に、図7(c)に示すように、配線パタ
ーン18,19の端面に端面付着性有機防錆剤層21
a,22aを形成したプリント配線板P5の表裏の両側
に図5(c)に示す要素を積層し、その各要素の表裏の
両側に銅箔を積層して加熱圧縮した積層体を作り、その
後、フォトリソグラフィ法などで銅箔をエッチングして
配線を行うことにより、積層体M3を得る。Next, as shown in FIG. 7 (c), an end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21 is formed on the end surfaces of the wiring patterns 18 and 19.
5 (c) are laminated on both sides of the printed wiring board P5 on which the a and 22a are formed, and copper foil is laminated on both sides of each of the elements to form a heat-compressed laminate. Then, the copper foil is etched by photolithography or the like to perform wiring, thereby obtaining the laminate M3.
【0118】次に、図7(d)に示すように、上記の積
層体M3を厚み方向(積層方向)に沿って圧縮しながら
加熱する。積層された複数のプリント配線板P5におい
て、被圧縮性を有する絶縁基材11のそれぞれと各貫通
孔13内に充填された導電性ペースト14内の導電性粉
15とがともに圧縮され、かつ、絶縁基材11の表面上
に配線パターン18,19が強固に一体化される。これ
によって、圧縮された積層体M4である多層配線構造の
プリント配線板(4層配線板)を得ることになる。Next, as shown in FIG. 7D, the laminate M3 is heated while being compressed in the thickness direction (lamination direction). In the plurality of laminated printed wiring boards P5, each of the insulating base material 11 having compressibility and the conductive powder 15 in the conductive paste 14 filled in each through hole 13 are compressed together, and The wiring patterns 18 and 19 are firmly integrated on the surface of the insulating base material 11. As a result, a printed wiring board (four-layer wiring board) having a multilayer wiring structure, which is the compressed laminate M4, is obtained.
【0119】上記のような方法で、プリント配線板P5
を複数積層してなる多層配線構造のプリント配線板(4
層配線板)において、各層のプリント配線板P5におけ
る配線パターン18それぞれの端面にマイグレーション
抑制層としての端面付着性有機防錆剤層21aを設けた
ことによって、配線パターン18それぞれの材料である
銅の耐腐食性および耐マイグレーション性を向上させる
ことができ、その結果として、多層配線構造のプリント
配線板に高い絶縁信頼性をもたせることが可能となる。In the manner described above, the printed wiring board P5
Printed wiring board (4
By providing the end surface-adhering organic rust preventive layer 21a as a migration suppressing layer on each end surface of the wiring pattern 18 in the printed wiring board P5 of each layer, the copper Corrosion resistance and migration resistance can be improved, and as a result, a printed wiring board having a multilayer wiring structure can have high insulation reliability.
【0120】また、有機防錆剤溶液混合エッチング液5
0を用いることで、配線パターン18,19のパターニ
ングと端面付着性有機防錆剤層21a,22aの形成と
を同時に行っているので、生産性を向上することができ
る。An organic rust inhibitor solution mixed etching solution 5
By using 0, the patterning of the wiring patterns 18 and 19 and the formation of the organic rust preventive agent layers 21a and 22a adhered to the end surfaces are simultaneously performed, so that the productivity can be improved.
【0121】(実施の形態6)本実施の形態6は、プリ
ント配線板のうちの4層配線板についてのものであり、
また、その配線パターンの端面に対するマイグレーショ
ン抑制層の形成を、配線パターンのパターニングと同時
に行うようにするものであるが、そのような有機防錆剤
溶液混合エッチング液50を用いてのパターニングに先
立って、半製品のプリント配線板A0を圧縮加熱して薄
肉化しておくようにしたものである。(Embodiment 6) Embodiment 6 relates to a four-layered wiring board among printed wiring boards.
Further, the formation of the migration suppressing layer on the end face of the wiring pattern is performed simultaneously with the patterning of the wiring pattern, but prior to the patterning using such an organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50. In this method, the printed wiring board A0 as a semi-finished product is compressed and heated to reduce its thickness.
【0122】図8(a)〜(e)は実施の形態6にかか
わるプリント配線板(4層配線板)の製造方法を順次に
示す工程説明断面図である。FIGS. 8A to 8E are cross-sectional views for explaining steps in the method of manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to the sixth embodiment.
【0123】本実施の形態6においても、実施の形態1
において説明した事項についてはそのまま該当するもの
とし、詳しい説明は省略する。とりわけ、絶縁基材1
1、離型性フィルム12、導電性ペースト14、導電性
粉15、配線パターン18,19の材質については、実
施の形態1の説明をそのまま踏襲するものとする。Also in the sixth embodiment, the first embodiment
It is assumed that the items described in the above are applicable as they are, and the detailed description is omitted. In particular, insulating substrate 1
1. The materials of the release film 12, the conductive paste 14, the conductive powder 15, and the wiring patterns 18 and 19 follow the description of the first embodiment as it is.
【0124】図8(a)に示す半製品のプリント配線板
A0は、実施の形態1の場合と同様にして、絶縁基材1
1に貫通孔13を形成し、貫通孔13に導電性粉15を
含有した導電性ペースト14を充填した上で、離型性フ
ィルム(図示せず)を剥離した後に、絶縁基材11の上
下両方の表面上に銅箔16,17を積層したものである
(これは図1(d)に相当している)。この半製品のプ
リント配線板A0を出発部材とする。The semi-finished product printed wiring board A0 shown in FIG. 8A is made of an insulating base material 1 in the same manner as in the first embodiment.
1, a through-hole 13 is formed, the through-hole 13 is filled with a conductive paste 14 containing a conductive powder 15, and a release film (not shown) is peeled off. Copper foils 16 and 17 are laminated on both surfaces (this corresponds to FIG. 1D). The semi-finished product printed wiring board A0 is used as a starting member.
【0125】次に、図8(b)に示すように、上記の半
製品のプリント配線板A0を厚み方向に沿って圧縮しな
がら加熱し、圧縮状態のプリント配線板B0を得る。Next, as shown in FIG. 8B, the above-mentioned semi-finished printed wiring board A0 is heated while being compressed in the thickness direction, to obtain a compressed printed wiring board B0.
【0126】次に、銅箔16,17に対するエッチング
を行うのであるが、そのときに使用するエッチング液に
有機防錆剤溶液を混合した有機防錆剤溶液混合エッチン
グ液50を用いて銅箔16,17をエッチングによりパ
ターニングする。Next, the copper foils 16 and 17 are etched. The copper foils 16 and 17 are etched using an organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50 in which an organic rust inhibitor solution is mixed with the etching solution used at that time. , 17 are patterned by etching.
【0127】この場合の有機防錆剤溶液としては、実施
の形態1で説明したのと同様の1,2,3−ベンゾトリ
アゾールまたはベンゾトリアゾール系化合物がある。こ
れについての詳しい説明も、実施の形態1の説明をその
まま踏襲するものとする。As the organic rust inhibitor solution in this case, there are 1,2,3-benzotriazole or benzotriazole-based compounds similar to those described in the first embodiment. The detailed description of this will follow the description of Embodiment 1 as it is.
【0128】半製品のプリント配線板B0に有機防錆剤
溶液混合エッチング液50を塗布または噴霧したり、あ
るいは、半製品のプリント配線板B0を有機防錆剤溶液
混合エッチング液50に浸漬することにより、図8
(c)に示すように、銅箔16,17をパターニングし
て配線パターン18,19を形成し、この配線パターン
18,19の形成と同時に、その配線パターン18,1
9の端面に端面付着性有機防錆剤層21a,22aを形
成する。これによって、配線パターン18,19の端面
に端面付着性有機防錆剤層21a,22aが形成された
圧縮状態のプリント配線板(両面配線板)P6が作製さ
れる。Applying or spraying the organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50 on the semi-finished product printed wiring board B0, or dipping the semi-finished printed wiring board B0 into the organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50 As a result, FIG.
As shown in (c), the copper foils 16 and 17 are patterned to form wiring patterns 18 and 19, and simultaneously with the formation of the wiring patterns 18 and 19, the wiring patterns 18 and 1 are formed.
On the end face of No. 9, end face adhering organic rust preventive layers 21a and 22a are formed. In this way, a printed wiring board (double-sided wiring board) P6 in which the end surface-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a are formed on the end faces of the wiring patterns 18 and 19 is manufactured.
【0129】次に、図8(d)に示すように、上記のよ
うに構成された圧縮状態のプリント配線板(両面配線
板)P6の上に、さらに第2層目の絶縁基材11と銅箔
16を積層した上で、厚み方向(積層方向)に沿って圧
縮しながら加熱し、一体化して積層体M5を得る。Next, as shown in FIG. 8D, on the printed wiring board (double-sided wiring board) P6 in the compressed state configured as described above, a second-layer insulating base material 11 is further formed. After laminating the copper foil 16, it is heated while being compressed in the thickness direction (lamination direction), and integrated to obtain a laminate M <b> 5.
【0130】次に、図8(e)に示すように、積層体M
5に有機防錆剤溶液混合エッチング液50を塗布または
噴霧したり、あるいは、積層体M5を有機防錆剤溶液混
合エッチング液50に浸漬することにより、銅箔16を
パターニングして配線パターン18を形成し、この配線
パターン18の形成と同時に、その配線パターン18の
端面に端面付着性有機防錆剤層21aを形成する。これ
によって、配線パターン18の端面に端面付着性有機防
錆剤層21aが形成された積層体M6が作製される。Next, as shown in FIG.
5 is coated or sprayed with an organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50, or the laminate M5 is immersed in the organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50, thereby patterning the copper foil 16 and forming the wiring pattern 18. Then, simultaneously with the formation of the wiring pattern 18, an end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21 a is formed on the end surface of the wiring pattern 18. As a result, a laminate M6 in which the end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21a is formed on the end surface of the wiring pattern 18 is manufactured.
【0131】次に、図8(f)に示すように、積層体M
6の上に、さらに第3層目の絶縁基材11と銅箔16を
積層した上で、厚み方向(積層方向)に沿って圧縮しな
がら加熱し、一体化して積層体M7を得る。Next, as shown in FIG.
6, a third layer of the insulating base material 11 and the copper foil 16 are further laminated, and then heated while being compressed in the thickness direction (the laminating direction) to be integrated to obtain a laminated body M7.
【0132】次に、図8(g)に示すように、積層体M
7に有機防錆剤溶液混合エッチング液50を塗布または
噴霧したり、あるいは、積層体M7を有機防錆剤溶液混
合エッチング液50に浸漬することにより、銅箔16を
パターニングして配線パターン18を形成し、この配線
パターン18の形成と同時に、その配線パターン18の
端面に端面付着性有機防錆剤層21aを形成する。これ
によって、配線パターン18の端面に端面付着性有機防
錆剤層21aが形成された多層配線構造のプリント配線
板(4層配線板)が作製される。Next, as shown in FIG.
7 is coated or sprayed with an organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50, or the laminate M7 is immersed in the organic rust inhibitor solution mixed etching solution 50, thereby patterning the copper foil 16 and forming the wiring pattern 18. Then, simultaneously with the formation of the wiring pattern 18, an end surface-adhering organic rust inhibitor layer 21 a is formed on the end surface of the wiring pattern 18. As a result, a printed wiring board (four-layer wiring board) having a multilayer wiring structure in which the end face adhering organic rust inhibitor layer 21a is formed on the end face of the wiring pattern 18 is manufactured.
【0133】図8(b),(d)〜(g)の場合におい
て、被圧縮性を有する絶縁基材11のそれぞれと各貫通
孔13内に充填された導電性ペースト14内の導電性粉
15とがともに圧縮され、かつ、絶縁基材11の表面上
に配線パターン18,19が強固に一体化される。8 (b) and 8 (d) to 8 (g), each of the compressible insulating base material 11 and the conductive powder in the conductive paste 14 filled in each through hole 13 is used. 15 are compressed together, and the wiring patterns 18 and 19 are firmly integrated on the surface of the insulating base material 11.
【0134】上記において、表面連続性有機防錆剤層が
配線パターン18,19の表面全面に形成されて電気的
接続に悪影響を及ぼすおそれのあるときは、表面連続性
有機防錆剤層のうち絶縁基材11の表面に平行な抑制層
表層部分を除去し、配線パターン18,19の端面にの
み端面付着性有機防錆剤層21a,22aを残すように
することが望ましい。In the above, when the surface continuous organic rust preventive layer is formed on the entire surface of the wiring patterns 18 and 19 and may adversely affect the electrical connection, the surface continuity organic rust preventive layer may be used. It is desirable that the surface layer of the suppression layer parallel to the surface of the insulating base material 11 is removed so that the end face-adhering organic rust preventive layers 21a and 22a are left only on the end faces of the wiring patterns 18 and 19.
【0135】上記のような方法で、配線パターン18,
19における絶縁基材11と平行でない面すなわち配線
パターン18,19の端面に端面付着性有機防錆剤層2
1a,22aを設けることによって、配線パターン1
8,19の材料である銅の耐腐食性および耐マイグレー
ション性を向上させることができ、その結果として、昨
今の高密度集積型の4層配線構造のプリント配線板にお
いて、その微細化配線のために隣接配線パターンの間隔
が相当に小さくなっているとしても、4層配線構造のプ
リント配線板に高い絶縁信頼性をもたせることが可能と
なる。The wiring patterns 18 and
19, an end surface-adhering organic rust preventive layer 2 on a surface that is not parallel to the insulating base material 11, ie, end surfaces of the wiring patterns 18 and 19.
1a and 22a, the wiring pattern 1
Corrosion resistance and migration resistance of copper, which is the material of Nos. 8 and 19, can be improved. As a result, in recent high-density integrated type printed wiring boards having a four-layer wiring structure, fine copper wiring is required. Even if the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced, a printed wiring board having a four-layer wiring structure can have high insulation reliability.
【0136】また、有機防錆剤溶液混合エッチング液5
0を用いることで、配線パターン18,19のパターニ
ングと端面付着性有機防錆剤層21a,22aの形成と
を同時に行っているので、生産性を向上することができ
る。An organic rust inhibitor solution mixed etching solution 5
By using 0, the patterning of the wiring patterns 18 and 19 and the formation of the organic rust preventive agent layers 21a and 22a adhered to the end surfaces are simultaneously performed, so that the productivity can be improved.
【0137】さらに、圧縮状態のプリント配線板を順次
に積層していくので、製造工程の連続性が確保され、こ
の点からもスループットを改善することができる。Further, since the printed wiring boards in the compressed state are sequentially laminated, the continuity of the manufacturing process is secured, and the throughput can be improved from this point as well.
【0138】なお、上記の実施の形態4〜6の説明で
は、多層配線構造のプリント配線板として4層配線構造
のプリント配線板を例にあげたが、もちろんこれに限定
される必要性はなく、3層配線構造のプリント配線板で
も5層以上の多層配線構造のプリント配線板において
も、本発明を適用することが可能である。In the description of the fourth to sixth embodiments, a printed wiring board having a four-layer wiring structure is taken as an example of a printed wiring board having a multilayer wiring structure. However, it is needless to say that the present invention is not limited to this. The present invention can be applied to a printed wiring board having a three-layer wiring structure or a printed wiring board having a multilayer wiring structure of five or more layers.
【0139】また、両面配線板に対しても適用すること
が可能である。その場合は、図8(c)のような形態の
プリント配線板P6となる。The present invention can also be applied to a double-sided wiring board. In that case, the printed wiring board P6 has a form as shown in FIG.
【0140】[0140]
【実施例と比較例】(比較例)本比較例は、従来のプリ
ント配線板の製造方法である。Example and Comparative Example (Comparative Example) This comparative example is a conventional method for manufacturing a printed wiring board.
【0141】本比較例のプリント配線板の作成方法を図
1および図2を参照して説明する。まず、図1(a)に
示すように、両面の表面上にポリエチレンテレフタレー
トのような離型性フィルム12が接着された芳香族ポリ
アミド繊維にエポキシ樹脂を含浸させたプリプレグを絶
縁基材11として用意した上で、レーザー加工法を利用
して所定の位置ごとに貫通孔13を形成した。引き続
き、図1(b)に示すように、スキージなどを用いて絶
縁基材11の貫通孔内に導電性ペースト14を充填し
た。次に、図1(c)で示すように絶縁基材11に接着
されていた離型性フィルム12を剥離して除去した。そ
して絶縁基材11の上下両方の表面に銅箔16,17を
積層した上で、絶縁基材11および銅箔16,17を厚
み方向に沿って圧縮しながら加熱すると、絶縁基材11
と、導電性ペースト14に含有されて貫通孔13内に充
填された導電性粉15とがともに圧縮されており、かつ
絶縁基材11の表面上には銅箔16,17が被着されて
なるプリント配線板A0、つまり、図1(d)に示すよ
うな構成を有する半製品としてのプリント配線板A0が
得られた。そこで絶縁基材11の表面上に被着された銅
箔16,17をエッチングして配線パターン18,19
を形成し、図1(e)に示すように、絶縁基材11を挟
んで対向する配線パターン18,19どうしが絶縁基材
11の貫通孔13内に充填された導電性粉15を介して
導通接続されたプリント配線板A1、すなわち従来の技
術と同様のプリント配線板試供品T0を作製した。A method for manufacturing a printed wiring board according to this comparative example will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 1 (a), a prepreg prepared by impregnating an aromatic polyamide fiber having a release film 12 such as polyethylene terephthalate on both surfaces with an epoxy resin as an insulating base material 11 is prepared. After that, the through holes 13 were formed at predetermined positions by using a laser processing method. Subsequently, as shown in FIG. 1B, the conductive paste 14 was filled in the through holes of the insulating base material 11 using a squeegee or the like. Next, as shown in FIG. 1C, the release film 12 adhered to the insulating base material 11 was peeled off and removed. Then, after laminating the copper foils 16 and 17 on both upper and lower surfaces of the insulating base material 11 and heating the insulating base material 11 and the copper foils 16 and 17 while compressing them along the thickness direction, the insulating base material 11 is heated.
And conductive powder 15 contained in conductive paste 14 and filled in through-hole 13 are both compressed, and copper foils 16 and 17 are adhered on the surface of insulating base material 11. Thus, a printed wiring board A0 as a semi-finished product having a configuration as shown in FIG. 1D was obtained. Then, the copper foils 16 and 17 applied on the surface of the insulating base material 11 are etched to form the wiring patterns 18 and 19.
As shown in FIG. 1 (e), wiring patterns 18, 19 opposed to each other with the insulating base material 11 interposed therebetween via the conductive powder 15 filled in the through holes 13 of the insulating base material 11. A conductive wiring-connected printed wiring board A1, that is, a printed wiring board sample T0 similar to the conventional technique was manufactured.
【0142】(実施例1)本実施例1は、実施の形態1
の実施例である。本実施例1のプリント配線板の製造方
法を図1(f),(g)に示す。比較例において製造し
たプリント配線板配線板A1を用いて本発明を実施し
た。(Embodiment 1) The present embodiment 1 is a modification of the first embodiment.
This is an embodiment of the present invention. 1 (f) and 1 (g) show a method for manufacturing a printed wiring board according to the first embodiment. The present invention was implemented using the printed wiring board A1 manufactured in the comparative example.
【0143】1,2,3−ベンゾトリアゾールの0.2
%水溶液からなる有機防錆剤を用意した。また、4−メ
チル−1,2,3−ベンゾトリアゾールの0.2%水溶
液からなる有機防錆剤を用意した。そして、図1(f)
に示すように、これらの水溶液の60℃保温液中にプリ
ント配線板A1をそれぞれ数分間浸漬し、プリント配線
板試供品T1,T2を作製した。0.2 of 1,2,3-benzotriazole
% Organic solution was prepared. Further, an organic rust inhibitor comprising a 0.2% aqueous solution of 4-methyl-1,2,3-benzotriazole was prepared. Then, FIG.
As shown in Table 1, the printed wiring board A1 was immersed in each of these aqueous solutions at 60 ° C. for several minutes to produce printed wiring board samples T1 and T2.
【0144】(実施例2)本実施例2は、実施の形態2
の実施例である。比較例において製造したプリント配線
板配線板A1を用いて本発明を実施した。(Embodiment 2) Embodiment 2 is similar to Embodiment 2
This is an embodiment of the present invention. The present invention was implemented using the printed wiring board A1 manufactured in the comparative example.
【0145】端面付着性金属層31a,32aの構成素
材の好適例として、ニッケル、パラジウム、白金、亜
鉛、カドミウムをあげることができるが、それぞれに対
応して複数のプリント配線板A1を用意する。個々のプ
リント配線板A1…の配線パターンに対して電解メッキ
法によりニッケルをメッキし、あるいはパラジウム、白
金、亜鉛、カドミウムのそれぞれを個別的にメッキする
ことにより、5つのプリント配線板試供品T3,T4,
T5,T6,T7を作製した。Preferable examples of the constituent materials of the end surface adhering metal layers 31a and 32a include nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium. A plurality of printed wiring boards A1 are prepared for each of them. By plating nickel on the wiring patterns of the individual printed wiring boards A1 by electrolytic plating, or individually plating each of palladium, platinum, zinc, and cadmium, five printed wiring board test samples T3. T4
T5, T6, and T7 were produced.
【0146】なお、以上において、プリント配線板試供
品T0〜T7における配線パターンの形状は線間隔が
0.318mmの表面くし型で、JIS‐Z‐3197の
規定に準拠したものとした。In the above description, the wiring pattern of the printed wiring board test samples T0 to T7 is a comb-shaped surface having a line spacing of 0.318 mm and conforms to the provisions of JIS-Z-3197.
【0147】比較例で作製したプリント配線板試供品T
0ならびに実施例1および実施例2で作製したプリント
配線板試供品T1〜T6の絶縁抵抗評価を行った。な
お、絶縁抵抗評価の条件としては、上記各プリント配線
板試供品をHAST(110℃−85%R.H.)の環
境下に500時間投入し、その後の絶縁抵抗を測定し
た。この測定においては、くし形電極間に15Vの電圧
を印加した。また、各プリント配線板試供品について、
50枚毎に評価を行い、絶縁抵抗値が106 Ω以下のも
のを不良とした。ただし、投入前の絶縁抵抗値は全ての
プリント配線板試供品で1012Ω以上であった。絶縁抵
抗測定の結果を表1に示す。Sample T of Printed Wiring Board Produced in Comparative Example
The insulation resistance of the printed wiring board samples T1 to T6 manufactured in Example 1 and Example 2 was evaluated. In addition, as a condition of the insulation resistance evaluation, each of the above printed wiring board samples was put in an environment of HAST (110 ° C.-85% RH) for 500 hours, and then the insulation resistance was measured. In this measurement, a voltage of 15 V was applied between the comb electrodes. Also, for each printed wiring board sample,
The evaluation was performed every 50 sheets, and those having an insulation resistance value of 10 6 Ω or less were evaluated as defective. However, the insulation resistance value before the injection was 10 12 Ω or more in all the printed wiring board samples. Table 1 shows the results of the insulation resistance measurement.
【0148】[0148]
【表1】 表1から明らかなように、従来技術によるプリント配線
板試供品T0に比べて、本発明によるプリント配線板試
供品T1〜T7のいずれにおいても、その絶縁信頼性が
向上していることが分かる。[Table 1] As is clear from Table 1, the insulation reliability of each of the printed wiring board samples T1 to T7 according to the present invention is improved as compared with the printed wiring board sample T0 according to the related art.
【0149】以上、いくつかの実施の形態について説明
してきたが、本発明は次のように構成したものも含み得
るものとする。Although several embodiments have been described above, the present invention can include the following configurations.
【0150】(1)少なくとも配線パターン18,19
の端面に端面付着性金属層31a,32aを形成する実
施の形態2のようなものを多層配線構造のプリント配線
板に適用してもよい。(1) At least the wiring patterns 18 and 19
May be applied to a printed wiring board having a multilayer wiring structure, in which the end surface adhering metal layers 31a and 32a are formed on the end surfaces.
【0151】(2)少なくとも配線パターン18,19
の端面に端面付着性化合物層41a,42aを形成する
実施の形態3のようなものを多層配線構造のプリント配
線板に適用してもよい。(2) At least the wiring patterns 18 and 19
May be applied to a printed wiring board having a multilayer wiring structure as in Embodiment 3 in which the end face adhesive compound layers 41a and 42a are formed on the end faces.
【0152】[0152]
【発明の効果】プリント配線板またはプリント配線板の
製造方法についての本発明によれば、配線パターンの少
なくとも端面に、有機防錆剤層、金属層、化合物層など
のマイグレーション抑制層を形成することを特徴とする
ものであり、配線パターンの耐マイグレーション性を向
上するため、微細化配線のために隣接配線パターンの間
隔が相当に小さくなっている高密度集積型のプリント配
線板においても、高い絶縁信頼性をもたせることができ
る。また、そのように絶縁信頼性の高いプリント配線板
を容易に製造することができる。According to the present invention for a printed wiring board or a method for manufacturing a printed wiring board, a migration suppressing layer such as an organic rust inhibitor layer, a metal layer, or a compound layer is formed on at least an end face of a wiring pattern. In order to improve the migration resistance of the wiring pattern, high insulation can be achieved even in a high-density integrated type printed wiring board in which the distance between adjacent wiring patterns is considerably reduced due to miniaturized wiring. Reliability can be provided. Further, such a printed wiring board having high insulation reliability can be easily manufactured.
【図1】 本発明の実施の形態1にかかわるプリント配
線板(両面配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 1 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method for manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to a first embodiment of the present invention;
【図2】 本発明の実施の形態1にかかわる製品として
のプリント配線板の断面図FIG. 2 is a sectional view of a printed wiring board as a product according to the first embodiment of the present invention;
【図3】 本発明の実施の形態2にかかわるプリント配
線板(両面配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 3 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method for manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to Embodiment 2 of the present invention;
【図4】 本発明の実施の形態2にかかわる製品として
のプリント配線板の断面図FIG. 4 is a cross-sectional view of a printed wiring board as a product according to a second embodiment of the present invention.
【図5】 本発明の実施の形態3にかかわるプリント配
線板(両面配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 5 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method for manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to Embodiment 3 of the present invention;
【図6】 本発明の実施の形態4にかかわるプリント配
線板(4層配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 6 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method of manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to Embodiment 4 of the present invention;
【図7】 本発明の実施の形態5にかかわるプリント配
線板(4層配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 7 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method of manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to a fifth embodiment of the present invention;
【図8】 本発明の実施の形態6にかかわるプリント配
線板(4層配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断
面図FIG. 8 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method for manufacturing a printed wiring board (four-layer wiring board) according to Embodiment 6 of the present invention;
【図9】 従来の技術にかかわるプリント配線板(両面
配線板)の製造方法を順次に示す工程説明断面図FIG. 9 is a process explanatory sectional view sequentially showing a method of manufacturing a printed wiring board (double-sided wiring board) according to a conventional technique.
11…絶縁基材 12…離型性フィルム 13…貫通孔 14…導電性ペースト 15…導電性粉 16,17…銅箔 18,19…配線パターン 20…有機防錆剤溶液 21,22…表面連続性有機防錆剤層 21a,22a…端面付着性有機防錆剤層 31,32…表面連続性金属層 31a,32a…端面付着性金属層 41a,42a…端面付着性化合物層 50…有機防錆剤溶液混合エッチング液 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Insulating base material 12 ... Release film 13 ... Through-hole 14 ... Conductive paste 15 ... Conductive powder 16, 17 ... Copper foil 18, 19 ... Wiring pattern 20 ... Organic rust inhibitor solution 21, 22 ... Surface continuity Organic rust preventive layer 21a, 22a: Organic rust preventive layer 31, 32: Surface continuity metal layer 31a, 32a: Metal layer 41a, 42a: Adhesive compound layer 50: Organic rust preventive layer Agent solution mixed etchant
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/11 H05K 1/11 N 5E339 3/06 3/06 M 5E343 3/24 3/24 D 5E346 A 3/26 3/26 F 3/40 3/40 K 3/46 3/46 Z N (72)発明者 鈴木 武 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 小川 立夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 4K024 AA03 AA05 AA06 AA12 AB01 BA09 BB11 BC02 DA07 DB07 DB10 GA16 4K057 WA20 WB04 WB17 WF06 WN01 WN02 4K062 AA01 BB18 FA09 FA16 GA10 5E314 AA01 AA02 AA21 BB06 CC01 FF05 GG05 5E317 AA24 BB01 BB11 CC25 CC52 CD01 CD23 CD25 GG09 GG11 5E339 AC01 AD03 BD06 BE13 BE17 CC01 CE12 CE15 CF15 DD02 5E343 AA02 AA07 AA12 BB15 BB22 BB24 BB44 BB47 BB48 BB71 CC22 EE42 EE52 EE58 GG14 5E346 AA06 AA11 AA12 AA15 AA22 AA35 AA43 BB01 CC31 CC37 CC46 CC51 CC58 DD32 DD44 EE01 EE06 EE31 FF18 FF35 GG01 GG16 GG17 GG22 GG28 HH08 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 1/11 H05K 1/11 N 5E339 3/06 3/06 M 5E343 3/24 3/24 D 5E346 A 3/26 3/26 F 3/40 3/40 K 3/46 3/46 ZN (72) Inventor Takeshi Suzuki 1006 Oojidoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Tatsuo Ogawa 1006 Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture F-term (reference) in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. CC01 FF05 GG05 5E317 AA24 BB01 BB11 CC25 CC52 CD01 CD23 CD25 GG09 GG11 5E339 AC01 AD03 BD06 BE13 BE17 CC01 CE12 CE15 CF15 DD02 5E343 AA02 AA07 AA12 BB15 BB22 BB24 BB44 BB47 BB48 BB71 CC22 EE4 2 EE52 EE58 GG14 5E346 AA06 AA11 AA12 AA15 AA22 AA35 AA43 BB01 CC31 CC37 CC46 CC51 CC58 DD32 DD44 EE01 EE06 EE31 FF18 FF35 GG01 GG16 GG17 GG22 GG28 HH08
Claims (21)
いるプリント配線板であって、前記配線パターンの端面
にマイグレーション抑制層が形成されていることを特徴
とするプリント配線板。1. A printed wiring board having a wiring pattern formed on an insulating base material, wherein a migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern.
剤層とされていることを特徴とする請求項1に記載のプ
リント配線板。2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the migration suppressing layer is an organic rust preventive layer.
の1,2,3−ベンゾトリアゾールまたはベンゾトリア
ゾール系化合物とされていることを特徴とする請求項2
に記載のプリント配線板。3. The organic rust preventive layer is made of at least one kind of 1,2,3-benzotriazole or a benzotriazole-based compound.
A printed wiring board according to claim 1.
線パターンよりも耐マイグレーション性に優れている金
属層とされていることを特徴とする請求項1に記載のプ
リント配線板。4. The printed wiring board according to claim 1, wherein the migration suppressing layer is a metal layer having better migration resistance than the wiring pattern.
白金、亜鉛、カドミウムからなる群のうちから任意に選
択された1つまたは複数の金属よりなる金属層とされて
いることを特徴とする請求項4に記載のプリント配線
板。5. The method according to claim 1, wherein the metal layer is nickel, palladium,
The printed wiring board according to claim 4, wherein the printed wiring board is a metal layer made of one or more metals arbitrarily selected from the group consisting of platinum, zinc, and cadmium.
記金属層に連なる状態で、前記配線パターンにおける前
記絶縁基材の表面に平行な表層部分にも同じ金属層が形
成されていることを特徴とする請求項4または請求項5
に記載のプリント配線板。6. The same metal layer is also formed on a surface portion of the wiring pattern parallel to the surface of the insulating base material in a state of being connected to the metal layer as the migration suppressing layer. Claim 4 or Claim 5
A printed wiring board according to claim 1.
線パターンよりも耐マイグレーション性に優れている金
属の酸化物または窒化物または硫化物を主成分とする化
合物層とされていることを特徴とする請求項1に記載の
プリント配線板。7. The method according to claim 1, wherein the migration suppressing layer is a compound layer containing a metal oxide, nitride, or sulfide as a main component, which has better migration resistance than the wiring pattern. Item 2. The printed wiring board according to item 1.
ム、白金、亜鉛、カドミウムからなる群のうちから任意
に選択された1つまたは複数の金属についての酸化物ま
たは窒化物または硫化物とされていることを特徴とする
請求項7に記載のプリント配線板。8. The compound layer is an oxide, a nitride, or a sulfide of one or more metals arbitrarily selected from the group consisting of nickel, palladium, platinum, zinc, and cadmium. The printed wiring board according to claim 7, wherein:
記貫通孔には導電性ペーストが充填され、前記絶縁基材
の表面に形成された配線パターンが前記導電性ペースト
に接合されていることを特徴とする請求項1から請求項
8までのいずれかに記載のプリント配線板。9. A through hole is formed in the insulating base material, a conductive paste is filled in the through hole, and a wiring pattern formed on a surface of the insulating base material is joined to the conductive paste. The printed wiring board according to any one of claims 1 to 8, wherein
た配線パターンどうしが前記絶縁基材に形成の貫通孔に
充填された導電性ペースト内の導電性粉を介して電気的
に接続されたものが複数層積層されて一体化されて多層
配線構造に構成されていることを特徴とする請求項1か
ら請求項9までのいずれかに記載のプリント配線板。10. Wiring patterns formed on upper and lower surfaces of the insulating base are electrically connected to each other via conductive powder in a conductive paste filled in through holes formed in the insulating base. The printed wiring board according to any one of claims 1 to 9, wherein a plurality of layers are laminated and integrated to form a multilayer wiring structure.
する工程と、前記配線パターンの端面にマイグレーショ
ン抑制層を形成する工程とを含むことを特徴とするプリ
ント配線板の製造方法。11. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising: a step of forming a wiring pattern on a surface of an insulating base; and a step of forming a migration suppressing layer on an end face of the wiring pattern.
って前記配線パターンの端面に前記マイグレーション抑
制層を形成することを特徴とする請求項11に記載のプ
リント配線板の製造方法。12. The method according to claim 11, wherein the migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern by applying or spraying an organic rust inhibitor solution.
を有機防錆剤溶液に浸漬することをもって前記配線パタ
ーンの端面に前記マイグレーション抑制層を形成するこ
とを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の製
造方法。13. The print according to claim 11, wherein the migration suppressing layer is formed on an end surface of the wiring pattern by immersing the insulating base material on which the wiring pattern is formed in an organic rust inhibitor solution. Manufacturing method of wiring board.
ンの端面に前記マイグレーション抑制層を形成すること
を特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の製造
方法。14. The method according to claim 11, wherein the migration suppressing layer is formed on an end face of the wiring pattern by metal plating.
酸化または窒化または硫化することをもって前記配線パ
ターンの端面に前記マイグレーション抑制層を形成する
ことを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の
製造方法。15. The printed wiring according to claim 11, wherein, after plating the metal, the migration suppressing layer is formed on the end face of the wiring pattern by oxidizing, nitriding or sulphidizing the metal. Plate manufacturing method.
材の表面に平行な表層部分から前記配線パターンの端面
にわたって前記マイグレーション抑制層を形成すること
を特徴とする請求項11から請求項15までのいずれか
に記載のプリント配線板の製造方法。16. The migration suppressing layer according to claim 11, wherein the migration suppressing layer is formed from a surface layer portion of the wiring pattern parallel to a surface of the insulating base material to an end surface of the wiring pattern. 3. The method for producing a printed wiring board according to claim 1.
記配線パターンにおける前記絶縁基材の表面に平行な表
層部分に形成した抑制層表層部分を研磨等によって除去
することを特徴とする請求項16に記載のプリント配線
板の製造方法。17. The method according to claim 16, wherein a surface layer of the migration suppressing layer formed on a surface layer of the wiring pattern parallel to a surface of the insulating base material is removed by polishing or the like. Manufacturing method of printed wiring board.
形成する工程に先立って、前記絶縁基材に貫通孔を形成
する工程と、導電性ペーストを前記貫通孔に充填する工
程とを含み、前記絶縁基材の表面に配線パターンを形成
する工程においては前記貫通孔内の導電性ペーストに接
合する状態で前記配線パターンを形成することを特徴と
する請求項11から請求項17までのいずれかに記載の
プリント配線板の製造方法。18. A method according to claim 18, further comprising: forming a through hole in the insulating base material, and filling a conductive paste into the through hole, prior to forming a wiring pattern on the surface of the insulating base material. 18. The method according to claim 11, wherein in the step of forming a wiring pattern on the surface of the insulating base material, the wiring pattern is formed in a state of being joined to a conductive paste in the through hole. 3. The method for producing a printed wiring board according to claim 1.
前記絶縁基材の表面に金属箔を積層し、前記金属箔を積
層した前記絶縁基材を圧縮しながら加熱して前記金属箔
を前記絶縁基材に被着し、前記圧着した金属箔をフォト
リソグラフィ法によって処理することにより前記配線パ
ターンを形成してあることを特徴とする請求項18に記
載のプリント配線板の製造方法。19. A metal foil is laminated on the surface of the insulating base in a state where the metal foil is bonded to the conductive paste, and the insulating base on which the metal foil is laminated is heated while being compressed, so that the metal foil is insulated. 19. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 18, wherein the wiring pattern is formed by applying a photolithography method to the metal foil that has been adhered to a base material and that has been pressed.
た配線パターンどうしが前記絶縁基材に形成の貫通孔に
充填された導電性ペースト内の導電性粉を介して電気的
に接続されたものを複数層積層し一体化して多層配線構
造に構成することを特徴とする請求項11から請求項1
9までのいずれかに記載のプリント配線板の製造方法。20. Wiring patterns formed on upper and lower surfaces of the insulating base are electrically connected to each other via conductive powder in a conductive paste filled in through holes formed in the insulating base. 12. A multilayer wiring structure comprising a plurality of layers laminated and integrated with each other to form a multilayer wiring structure.
9. The method for manufacturing a printed wiring board according to any one of the items up to 9.
いることにより、配線パターンのパターニングと、前記
配線パターンの端面に対するマイグレーション抑制層の
形成とを同時に行うことを特徴とする請求項11から請
求項20までのいずれかに記載のプリント配線板の製造
方法。21. The method according to claim 11, wherein the patterning of the wiring pattern and the formation of the migration suppressing layer on the end face of the wiring pattern are simultaneously performed by using an etching solution mixed with an organic rust inhibitor solution. 20. The method for manufacturing a printed wiring board according to any one of 20.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098646A (en) * | 2007-10-17 | 2008-04-24 | Sharp Corp | Semiconductor device |
JP2011119758A (en) * | 2011-02-16 | 2011-06-16 | Sharp Corp | Semiconductor device |
KR20130132424A (en) | 2010-11-05 | 2013-12-04 | 후지필름 가부시키가이샤 | Method for manufacturing printed wiring board, and printed wiring board |
KR101769716B1 (en) | 2016-08-04 | 2017-08-18 | 성균관대학교산학협력단 | Electrochemical migration preventive additives and method for inhibiting electrochemical migration by using the same |
-
2000
- 2000-03-09 JP JP2000065027A patent/JP2001257451A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098646A (en) * | 2007-10-17 | 2008-04-24 | Sharp Corp | Semiconductor device |
KR20130132424A (en) | 2010-11-05 | 2013-12-04 | 후지필름 가부시키가이샤 | Method for manufacturing printed wiring board, and printed wiring board |
JP2011119758A (en) * | 2011-02-16 | 2011-06-16 | Sharp Corp | Semiconductor device |
KR101769716B1 (en) | 2016-08-04 | 2017-08-18 | 성균관대학교산학협력단 | Electrochemical migration preventive additives and method for inhibiting electrochemical migration by using the same |
WO2018026239A1 (en) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | 성균관대학교산학협력단 | Electrochemical migration preventive additive for copper and method for preventing electrochemical migration by using same |
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