JP2001124554A - 磁気式エンコーダを備えた測量機 - Google Patents
磁気式エンコーダを備えた測量機Info
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
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- Remote Sensing (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ヒステリシス現象および外部磁気の影響を極力
少なくした磁気式エンコーダを搭載した測量機を提供す
る。 【解決手段】回転磁気ドラム５３の外周面に等分割され
たピッチで磁化された多極磁気層５３ａと、該多極着磁
層５３ａに対向配置された、複数の磁気抵抗素子を備え
た磁気センサ５４とを備えた磁気式エンコーダが搭載さ
れたトータルステーションにおいて、磁気センサ５４
に、多極着磁層５３ａの１ピッチλ相当の位相角離して
配置された一対の磁気抵抗素子を８組備え、該各一対の
磁気抵抗素子を、他の一対の磁気抵抗素子に対してλ／
２相当離反させて配置した。
少なくした磁気式エンコーダを搭載した測量機を提供す
る。 【解決手段】回転磁気ドラム５３の外周面に等分割され
たピッチで磁化された多極磁気層５３ａと、該多極着磁
層５３ａに対向配置された、複数の磁気抵抗素子を備え
た磁気センサ５４とを備えた磁気式エンコーダが搭載さ
れたトータルステーションにおいて、磁気センサ５４
に、多極着磁層５３ａの１ピッチλ相当の位相角離して
配置された一対の磁気抵抗素子を８組備え、該各一対の
磁気抵抗素子を、他の一対の磁気抵抗素子に対してλ／
２相当離反させて配置した。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、トータルステーション、
セオドライトなどの測量機に適したエンコーダおよび磁
気式エンコーダを搭載した測量機に関する。
セオドライトなどの測量機に適したエンコーダおよび磁
気式エンコーダを搭載した測量機に関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】従来のトータルステーシ
ョン、セオドライトなどの測量機の中には、測角手段と
して、インクリメンタル方式のエンコーダを搭載したも
のがある。従来は、エンコーダとして、安定性、精度な
どの点から光学式とエンコーダが多用されていた。
ョン、セオドライトなどの測量機の中には、測角手段と
して、インクリメンタル方式のエンコーダを搭載したも
のがある。従来は、エンコーダとして、安定性、精度な
どの点から光学式とエンコーダが多用されていた。
【０００３】光学式エンコーダと同様の角度測定手段と
して、磁気式エンコーダがある。磁気式エンコーダは、
通常、回転磁気ドラムと磁気センサを備え、回転磁気ド
ラムの外周面には、分割数Ｎ（Ｎは正の整数）にて等ピ
ッチで着磁された多極着磁層が形成され、この多極着磁
層に対向させて磁気センサが配置されている。磁気セン
サは、例えば多極着磁層のピッチよりも小さい、例えば
１／４または３／８ピッチ離れたＡ、Ｂ相二組の１／２
ピッチで配置された４個の磁気抵抗素子を備え、磁気ド
ラムの回転に従って変化する磁気抵抗素子の抵抗値を検
知して、０クロス点およびＡ、Ｂ相による内挿計算（ｔ
ａｎ-1（Ａ／Ｂ））により角度値を検知する構成であ
る。
して、磁気式エンコーダがある。磁気式エンコーダは、
通常、回転磁気ドラムと磁気センサを備え、回転磁気ド
ラムの外周面には、分割数Ｎ（Ｎは正の整数）にて等ピ
ッチで着磁された多極着磁層が形成され、この多極着磁
層に対向させて磁気センサが配置されている。磁気セン
サは、例えば多極着磁層のピッチよりも小さい、例えば
１／４または３／８ピッチ離れたＡ、Ｂ相二組の１／２
ピッチで配置された４個の磁気抵抗素子を備え、磁気ド
ラムの回転に従って変化する磁気抵抗素子の抵抗値を検
知して、０クロス点およびＡ、Ｂ相による内挿計算（ｔ
ａｎ-1（Ａ／Ｂ））により角度値を検知する構成であ
る。
【０００４】このような磁気抵抗素子を使用した磁気式
エンコーダにおいて、磁気抵抗素子の磁気抵抗変化曲線
は、磁界零の点を中心にほぼ対象形状を呈することが理
想である。しかし、現実には、磁界零の付近において、
いわゆるヒステリシス現象を生じてしまい、磁気抵抗変
化曲線が磁界零の点を中心に非対称形状を呈してしま
う。これは、磁気ドラムの多極着磁層による磁壁の形成
される位置が多極着磁層の磁界の向きによって異なるた
めである。このように磁気抵抗変化曲線が非対称形状を
呈すると、回転磁気ドラムを微少角度回転させたときに
大きな誤差を生じてしまう。
エンコーダにおいて、磁気抵抗素子の磁気抵抗変化曲線
は、磁界零の点を中心にほぼ対象形状を呈することが理
想である。しかし、現実には、磁界零の付近において、
いわゆるヒステリシス現象を生じてしまい、磁気抵抗変
化曲線が磁界零の点を中心に非対称形状を呈してしま
う。これは、磁気ドラムの多極着磁層による磁壁の形成
される位置が多極着磁層の磁界の向きによって異なるた
めである。このように磁気抵抗変化曲線が非対称形状を
呈すると、回転磁気ドラムを微少角度回転させたときに
大きな誤差を生じてしまう。
【０００５】また、磁気式エンコーダは、外部磁気の影
響を受けると、磁気抵抗素子の抵抗値が変動してしま
い、測定値に誤差を発生してしまう。そのため、磁気式
エンコーダを測量機に搭載したときは、外部磁気の影響
を受けないようにしなければならない。
響を受けると、磁気抵抗素子の抵抗値が変動してしま
い、測定値に誤差を発生してしまう。そのため、磁気式
エンコーダを測量機に搭載したときは、外部磁気の影響
を受けないようにしなければならない。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、このような測量機における従
来技術の問題に鑑みてなされたもので、ヒステリシス現
象および外部磁気の影響を極力少なくした、磁気式エン
コーダを搭載した測量機を提供することを目的とする。
来技術の問題に鑑みてなされたもので、ヒステリシス現
象および外部磁気の影響を極力少なくした、磁気式エン
コーダを搭載した測量機を提供することを目的とする。
【０００７】
【発明の概要】この目的を達成する本発明は、測量機の
回転自在に軸支された、外周面に等分割されたピッチで
磁化された多極着磁層を有する磁気ドラムと、該磁気ド
ラムの多極着磁層に対向配置された磁気センサとを備
え、該磁気ドラムの回転による磁気変化を該磁気センサ
によって検出して磁気ドラムの回転角を測定する磁気式
エンコーダであって、前記磁気センサは、前記多極着磁
層の１ピッチ相当の位相角離して配置された一対の磁気
抵抗素子を複数備え、該各一対の磁気抵抗素は、少なく
とも他の一対の磁気抵抗素子に対して１／２ピッチまた
は３／２ピッチ相当の位相角離して配置されているこ
と、を特徴とする。この構成は、一対の磁気抵抗素子が
ヒステリシスおよび外部磁気を補償する配置構造になる
ので、ヒステリシスによる誤差が除去され、外部磁界の
影響も受けず、高精度の角度測定が可能になる。磁気セ
ンサには、一対の磁気抵抗素子が４対、互いに１／２ピ
ッチ相当の位相角離して配置されるのが望ましい。この
構成によれば、１／４ピッチで磁気ドラムの回転角の検
出が可能になる。さらに、１／２ピッチ相当の位相角離
して配置され４対の磁気抵抗素子を第１の相の磁気抵抗
素子と、さらに１／２ピッチ相当の位相角離して配置さ
れ４対の磁気抵抗素子を第２の相の磁気抵抗素子とし
て、第１、第２の相の磁気抵抗素子を６＋（３／４）ピ
ッチ相当の位相角離して配置することが望ましい。この
構成によれば、第１の相、第２の相の磁気抵抗素子によ
って検出した検出値によって内挿演算を実行して、１／
４ピッチよりも小さい角度を検出できる。
回転自在に軸支された、外周面に等分割されたピッチで
磁化された多極着磁層を有する磁気ドラムと、該磁気ド
ラムの多極着磁層に対向配置された磁気センサとを備
え、該磁気ドラムの回転による磁気変化を該磁気センサ
によって検出して磁気ドラムの回転角を測定する磁気式
エンコーダであって、前記磁気センサは、前記多極着磁
層の１ピッチ相当の位相角離して配置された一対の磁気
抵抗素子を複数備え、該各一対の磁気抵抗素は、少なく
とも他の一対の磁気抵抗素子に対して１／２ピッチまた
は３／２ピッチ相当の位相角離して配置されているこ
と、を特徴とする。この構成は、一対の磁気抵抗素子が
ヒステリシスおよび外部磁気を補償する配置構造になる
ので、ヒステリシスによる誤差が除去され、外部磁界の
影響も受けず、高精度の角度測定が可能になる。磁気セ
ンサには、一対の磁気抵抗素子が４対、互いに１／２ピ
ッチ相当の位相角離して配置されるのが望ましい。この
構成によれば、１／４ピッチで磁気ドラムの回転角の検
出が可能になる。さらに、１／２ピッチ相当の位相角離
して配置され４対の磁気抵抗素子を第１の相の磁気抵抗
素子と、さらに１／２ピッチ相当の位相角離して配置さ
れ４対の磁気抵抗素子を第２の相の磁気抵抗素子とし
て、第１、第２の相の磁気抵抗素子を６＋（３／４）ピ
ッチ相当の位相角離して配置することが望ましい。この
構成によれば、第１の相、第２の相の磁気抵抗素子によ
って検出した検出値によって内挿演算を実行して、１／
４ピッチよりも小さい角度を検出できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明を説明
する。図１は、本発明のエンコーダを適用したトータル
ステーションを、エンコーダの要部が見えるように一部
を切断して示した背面図、図２は同トータルステーショ
ンを、エンコーダの要部が見えるように一部を切断して
示した側面図である。
する。図１は、本発明のエンコーダを適用したトータル
ステーションを、エンコーダの要部が見えるように一部
を切断して示した背面図、図２は同トータルステーショ
ンを、エンコーダの要部が見えるように一部を切断して
示した側面図である。
【０００９】このトータルステーション１１は、周知の
通り、三脚等に装着するための底板１３、この１３に３
本の整準ねじ１５で支持された整準台１７、この整準台
１７に、鉛直軸１９を介して回転自在に軸支され、一対
の支柱を有するＵ字形状の架台（シャーシ）２１、この
架台２１の２本の支柱間に水平軸２３を介して回動自在
に軸支された視準望遠鏡２５を備えている。なお、水平
軸２３は、視準望遠鏡２５の左右に固定され、２本の支
柱に対して回動自在に支持されているが、図１には左側
の水平軸２３を示した。
通り、三脚等に装着するための底板１３、この１３に３
本の整準ねじ１５で支持された整準台１７、この整準台
１７に、鉛直軸１９を介して回転自在に軸支され、一対
の支柱を有するＵ字形状の架台（シャーシ）２１、この
架台２１の２本の支柱間に水平軸２３を介して回動自在
に軸支された視準望遠鏡２５を備えている。なお、水平
軸２３は、視準望遠鏡２５の左右に固定され、２本の支
柱に対して回動自在に支持されているが、図１には左側
の水平軸２３を示した。
【００１０】垂直軸１９は、整準台１７に固定された垂
直軸受け２７に回動自在に支持されている。そして架台
２１の支柱を連結する基部が、垂直軸１９の上端部に固
定されている。水平軸２３は、架台２１の一対の支柱部
に固定された水平軸受け２９に回動自在に軸支されてい
る。このように視準望遠鏡２５は、水平軸２３、水平軸
受け２９を介して、架台２１に、互いに直交するする垂
直軸１９および水平軸２３を軸として回動自在に支持さ
れている。
直軸受け２７に回動自在に支持されている。そして架台
２１の支柱を連結する基部が、垂直軸１９の上端部に固
定されている。水平軸２３は、架台２１の一対の支柱部
に固定された水平軸受け２９に回動自在に軸支されてい
る。このように視準望遠鏡２５は、水平軸２３、水平軸
受け２９を介して、架台２１に、互いに直交するする垂
直軸１９および水平軸２３を軸として回動自在に支持さ
れている。
【００１１】さらに、垂直軸１９には、整準台１７に対
する垂直軸１９（架台２１、視準望遠鏡２５）の回転角
（水平角）を測定する水平分度として磁気式エンコーダ
４１が装着され、水平軸２３には、架台２１に対する水
平軸２３（視準望遠鏡２５）の回転角（高度角）を測定
する垂直分度として磁気式エンコーダ５１が装着されて
いる。これらの磁気式エンコーダ４１、５１はそれぞ
れ、軸１９、２３に固定された磁気ドラム４３、５３
と、磁気ドラム４３、５３の外周面に形成された多極着
磁層に所定間隔で近接対向し、かつ軸１９、２３に対し
て約１８０゜対向位置に配置された２個の磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５を備えている。
する垂直軸１９（架台２１、視準望遠鏡２５）の回転角
（水平角）を測定する水平分度として磁気式エンコーダ
４１が装着され、水平軸２３には、架台２１に対する水
平軸２３（視準望遠鏡２５）の回転角（高度角）を測定
する垂直分度として磁気式エンコーダ５１が装着されて
いる。これらの磁気式エンコーダ４１、５１はそれぞ
れ、軸１９、２３に固定された磁気ドラム４３、５３
と、磁気ドラム４３、５３の外周面に形成された多極着
磁層に所定間隔で近接対向し、かつ軸１９、２３に対し
て約１８０゜対向位置に配置された２個の磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５を備えている。
【００１２】また、詳細は図示しないが、磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５の出力を検知して磁気
式エンコーダ４１、５１の回転角、つまり水平角、高度
角を求める演算手段を含む電子回路６１（図４参照）が
架台２１の基部に搭載されている。そして、トータルス
テーション１１を操作、制御するためのキーボードおよ
びキーボードによって入力されたデータ、測距結果など
を表示する表示器を備えた操作パネル３１、３２が、架
台２１の前後面に設けられている（図２参照）。
４、４５、磁気センサ５４、５５の出力を検知して磁気
式エンコーダ４１、５１の回転角、つまり水平角、高度
角を求める演算手段を含む電子回路６１（図４参照）が
架台２１の基部に搭載されている。そして、トータルス
テーション１１を操作、制御するためのキーボードおよ
びキーボードによって入力されたデータ、測距結果など
を表示する表示器を備えた操作パネル３１、３２が、架
台２１の前後面に設けられている（図２参照）。
【００１３】なお、図１、２において、符号３３はトー
タルステーション１１の持ち運びに利用するためのハン
ドグリップ、符号３４は、磁気式エンコーダ４１、不図
示のバッテリ等を保護するために架台２１に装着された
カバー、符号３５、３６は視準望遠鏡２５の接眼レン
ズ、対物レンズである。
タルステーション１１の持ち運びに利用するためのハン
ドグリップ、符号３４は、磁気式エンコーダ４１、不図
示のバッテリ等を保護するために架台２１に装着された
カバー、符号３５、３６は視準望遠鏡２５の接眼レン
ズ、対物レンズである。
【００１４】さらに図３、図４および図５を参照して、
本実施の形態の磁気式エンコーダの構成について説明す
る。磁気式エンコーダ４１、５１の基本構成は同一なの
で、一方の磁気式エンコーダ５１について説明する。図
３は、図１、２に示した磁気式エンコーダ５１の拡大正
面図、図４は図１における磁気式エンコーダ５１および
その周辺構造を拡大して示す断面図、図５は第１の磁気
センサ５４と多極着磁層５３ａとの関係を説明するため
の、第１の磁気センサ５４周辺の拡大図である。第１、
第２の磁気センサ５４、５５はそれぞれ、アングル５
６、５７に固定され、第１の磁気センサ５４はアングル
５６を介して架台２１に固定され、第２の磁気センサ５
５はアングル５７を介して架台２１に固定されている。
第１の磁気センサ５４と第２の磁気センサ５５は、磁気
ドラム５３の中心を挟んで１８０゜対向位置に配置され
ている。第１の磁気センサ５４および第２の磁気センサ
５５は同一の構成なので、以下第１の磁気センサ５４の
構成について説明する。
本実施の形態の磁気式エンコーダの構成について説明す
る。磁気式エンコーダ４１、５１の基本構成は同一なの
で、一方の磁気式エンコーダ５１について説明する。図
３は、図１、２に示した磁気式エンコーダ５１の拡大正
面図、図４は図１における磁気式エンコーダ５１および
その周辺構造を拡大して示す断面図、図５は第１の磁気
センサ５４と多極着磁層５３ａとの関係を説明するため
の、第１の磁気センサ５４周辺の拡大図である。第１、
第２の磁気センサ５４、５５はそれぞれ、アングル５
６、５７に固定され、第１の磁気センサ５４はアングル
５６を介して架台２１に固定され、第２の磁気センサ５
５はアングル５７を介して架台２１に固定されている。
第１の磁気センサ５４と第２の磁気センサ５５は、磁気
ドラム５３の中心を挟んで１８０゜対向位置に配置され
ている。第１の磁気センサ５４および第２の磁気センサ
５５は同一の構成なので、以下第１の磁気センサ５４の
構成について説明する。
【００１５】磁気ドラム５３の外周面には、分割数Ｎ
（Ｎは正の整数）にて等ピッチλで着磁された多極着磁
層５３ａが形成されている。多極着磁層５３ａの磁極ピ
ッチ（極の境界の間隔）をλとする。一方、この多極着
磁層５３ａに所定間隔で対向する第１の磁気センサ５４
が配置されている。第１の磁気センサ５４は、平面基板
５４ａと、多極磁気層５３ａと対向する平面基板５４ａ
のセンサ面には、１６個の磁気抵抗素子４ａ11、４ａ1
2、４ａ21、４ａ22、４ａ31、４ａ32、４ａ41、４ａ4
2、４ｂ11、４ｂ12、４ｂ21、４ｂ22、４ｂ31、４ｂ3
2、４ｂ41、４ｂ42が形成されている。本実施例では、
１λ相当の位相角離れた一対の磁気抵抗素子が、１／２
λ相当の位相角間隔で４対設けられ、さらにこの４対の
磁気抵抗素子が、（６＋１／４）λ相当の位相角間隔で
二組設けられている。一対の磁気抵抗素子には多極磁気
層５３ａの異磁極が作用するので、一対の磁気抵抗素子
は相互に、異磁極の磁極の強さによる抵抗変化の相違を
補償する。したがって、このように補償関係にある一対
の磁気抵抗素子の抵抗値を検知すれば、ヒステリシスや
外部磁気の影響を受けない抵抗値を得ることができる。
（Ｎは正の整数）にて等ピッチλで着磁された多極着磁
層５３ａが形成されている。多極着磁層５３ａの磁極ピ
ッチ（極の境界の間隔）をλとする。一方、この多極着
磁層５３ａに所定間隔で対向する第１の磁気センサ５４
が配置されている。第１の磁気センサ５４は、平面基板
５４ａと、多極磁気層５３ａと対向する平面基板５４ａ
のセンサ面には、１６個の磁気抵抗素子４ａ11、４ａ1
2、４ａ21、４ａ22、４ａ31、４ａ32、４ａ41、４ａ4
2、４ｂ11、４ｂ12、４ｂ21、４ｂ22、４ｂ31、４ｂ3
2、４ｂ41、４ｂ42が形成されている。本実施例では、
１λ相当の位相角離れた一対の磁気抵抗素子が、１／２
λ相当の位相角間隔で４対設けられ、さらにこの４対の
磁気抵抗素子が、（６＋１／４）λ相当の位相角間隔で
二組設けられている。一対の磁気抵抗素子には多極磁気
層５３ａの異磁極が作用するので、一対の磁気抵抗素子
は相互に、異磁極の磁極の強さによる抵抗変化の相違を
補償する。したがって、このように補償関係にある一対
の磁気抵抗素子の抵抗値を検知すれば、ヒステリシスや
外部磁気の影響を受けない抵抗値を得ることができる。
【００１６】そこで本発明の実施例では、一方の４対の
磁気抵抗素子４ａ11、４ａ12、４ａ21、４ａ22、４ａ3
1、４ａ32、４ａ41、４ａ42をＡ相（第１の相）、他方
の４対の磁気抵抗素子４ｂ11、４ｂ12、４ｂ21、４ｂ2
2、４ｂ31、４ｂ32、４ｂ41、４ｂ42をＢ相（第２の
相）とすると、Ａ相、Ｂ相の磁気抵抗素子４ａ11〜４ａ
42、４ｂ11〜４ｂ42はそれぞれ、図５に示すようにブリ
ッジ結線されている。
磁気抵抗素子４ａ11、４ａ12、４ａ21、４ａ22、４ａ3
1、４ａ32、４ａ41、４ａ42をＡ相（第１の相）、他方
の４対の磁気抵抗素子４ｂ11、４ｂ12、４ｂ21、４ｂ2
2、４ｂ31、４ｂ32、４ｂ41、４ｂ42をＢ相（第２の
相）とすると、Ａ相、Ｂ相の磁気抵抗素子４ａ11〜４ａ
42、４ｂ11〜４ｂ42はそれぞれ、図５に示すようにブリ
ッジ結線されている。
【００１７】電子回路６１は、ブリッジ結線された磁気
抵抗素子間に定電圧＋Ｖを印加し、Ａ相の端子ｅ0、ｅ
１、およびＢ相の端子ｅ0′、ｅ1′に現れる検出信号電
圧に基づいて磁界の変化、つまり磁気ドラム５３の回転
角を検知する。つまり、この実施例の磁気式エンコーダ
５１は、磁気ドラム５３が回転すると、多極着磁層５３
ａが発生する磁界３の変化に応じて変動する磁気抵抗素
子４ａ11〜４ａ42、４ｂ11〜４ｂ42の抵抗値の変化によ
って端子ｅ0、ｅ１、ｅ0′、ｅ1′端子に現れる検出信
号電圧を電子回路６１で検知して、磁気ドラム５３の回
転角をλ／４ピッチで検知するインクリメンタル方式の
磁気式エンコーダである。また、λ／４よりも小さい角
度は、いわゆる内挿演算によって求められる。
抵抗素子間に定電圧＋Ｖを印加し、Ａ相の端子ｅ0、ｅ
１、およびＢ相の端子ｅ0′、ｅ1′に現れる検出信号電
圧に基づいて磁界の変化、つまり磁気ドラム５３の回転
角を検知する。つまり、この実施例の磁気式エンコーダ
５１は、磁気ドラム５３が回転すると、多極着磁層５３
ａが発生する磁界３の変化に応じて変動する磁気抵抗素
子４ａ11〜４ａ42、４ｂ11〜４ｂ42の抵抗値の変化によ
って端子ｅ0、ｅ１、ｅ0′、ｅ1′端子に現れる検出信
号電圧を電子回路６１で検知して、磁気ドラム５３の回
転角をλ／４ピッチで検知するインクリメンタル方式の
磁気式エンコーダである。また、λ／４よりも小さい角
度は、いわゆる内挿演算によって求められる。
【００１８】この実施例によれば、Ａ相の磁気抵抗素子
の抵抗値ａ11、ａ12、ａ21、ａ22、ａ31、ａ32、ａ41、
ａ42は、磁気ドラム５３の回転による磁界の変化によっ
て、下記式のように変化する。 ａ11＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω) ａ12＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋２π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ21＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋３π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ22＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋５π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ31＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋６π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ32＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋８π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ41＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋９π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ42＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋１１π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎ
ω） ただし、ωは磁気ドラム５３の回転角、Ｒ0は無磁界の
ときの抵抗値、Ｒは抵抗比（係数）である。
の抵抗値ａ11、ａ12、ａ21、ａ22、ａ31、ａ32、ａ41、
ａ42は、磁気ドラム５３の回転による磁界の変化によっ
て、下記式のように変化する。 ａ11＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω) ａ12＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋２π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ21＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋３π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ22＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋５π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ31＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋６π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ32＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋８π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ41＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋９π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ42＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋１１π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎ
ω） ただし、ωは磁気ドラム５３の回転角、Ｒ0は無磁界の
ときの抵抗値、Ｒは抵抗比（係数）である。
【００１９】ここで、端子ｅ0と端子ｅ1の出力を差動増
幅すると、Ａ相の出力Ａoutは、 Ａout＝α×４×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×sin（Ｎω） となる（ただし、αは増幅率）。
幅すると、Ａ相の出力Ａoutは、 Ａout＝α×４×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×sin（Ｎω） となる（ただし、αは増幅率）。
【００２０】Ｂ相の磁気抵抗素子は、Ａ相の磁気抵抗素
子に対して（３／４）×πずらして配置してあるため、
Ｂ相の出力Ｂoutは、 Ｂout＝α×４×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×cos（Ｎω） となる。
子に対して（３／４）×πずらして配置してあるため、
Ｂ相の出力Ｂoutは、 Ｂout＝α×４×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×cos（Ｎω） となる。
【００２１】このＡ相の出力ＡoutおよびＢ相の出力Ｂo
utのゼロクロス点を検出すれば、磁気ドラム５３の回転
角をＮ／４単位で検出できる。つまり、分割数Ｎの４倍
まで検出ピッチを小さく（分解能を高く）することが可
能になり、検出精度も高めることができる。測量機にお
いては、Ｎ／４よりも小さい角度検出が求められること
がある。そこで、本発明の実施例では、Ａ、Ｂ相に基づ
いた下記の内挿計算によってさらに検出可能な分割数を
増やし、分解能を高めている。 tan-1（Ａout／Ｂout）
utのゼロクロス点を検出すれば、磁気ドラム５３の回転
角をＮ／４単位で検出できる。つまり、分割数Ｎの４倍
まで検出ピッチを小さく（分解能を高く）することが可
能になり、検出精度も高めることができる。測量機にお
いては、Ｎ／４よりも小さい角度検出が求められること
がある。そこで、本発明の実施例では、Ａ、Ｂ相に基づ
いた下記の内挿計算によってさらに検出可能な分割数を
増やし、分解能を高めている。 tan-1（Ａout／Ｂout）
【００２２】以上の通り本発明の実施の形態によれば、
測量機に搭載された、磁気抵抗素子を使用した磁気式エ
ンコーダにおいて、磁気抵抗素子を、ヒステリシスおよ
び外部磁気を補償する配置構造としたので、ヒステリシ
スによって発生する誤差を除去すとともに、外部磁界の
影響がある場所でも高精度の角度検出が可能になる。
測量機に搭載された、磁気抵抗素子を使用した磁気式エ
ンコーダにおいて、磁気抵抗素子を、ヒステリシスおよ
び外部磁気を補償する配置構造としたので、ヒステリシ
スによって発生する誤差を除去すとともに、外部磁界の
影響がある場所でも高精度の角度検出が可能になる。
【００２３】また、図４では、例えば直列接続される２
対の磁気抵抗素子４ａ11、４ａ12、４ａ21、４ａ22をそ
れぞれ、λ、λ／２、λの位相角相当離して配置した
が、図６に示すように、λ／２の等位相角相当離して磁
気抵抗素子４ａ11、４ａ21、４ａ12、４ａ22の順に配置
し、図５に示した結線と同様に結線してもよい。この場
合、一対の磁気抵抗素子としての間隔はλ／２の位相角
相当であるが、磁気抵抗素子４ａ11と磁気抵抗素子４ａ
12、磁気抵抗素子４ａ21と磁気抵抗素子４ａ22の間隔は
それぞれλの位相角相当になり、磁気抵抗素子４ａ11、
４ａ12と磁気抵抗素子４ａ21、４ａ22の間隔はλ／２の
位相角相当になるので、図４に示した実施の形態と同様
の効果が得られる。
対の磁気抵抗素子４ａ11、４ａ12、４ａ21、４ａ22をそ
れぞれ、λ、λ／２、λの位相角相当離して配置した
が、図６に示すように、λ／２の等位相角相当離して磁
気抵抗素子４ａ11、４ａ21、４ａ12、４ａ22の順に配置
し、図５に示した結線と同様に結線してもよい。この場
合、一対の磁気抵抗素子としての間隔はλ／２の位相角
相当であるが、磁気抵抗素子４ａ11と磁気抵抗素子４ａ
12、磁気抵抗素子４ａ21と磁気抵抗素子４ａ22の間隔は
それぞれλの位相角相当になり、磁気抵抗素子４ａ11、
４ａ12と磁気抵抗素子４ａ21、４ａ22の間隔はλ／２の
位相角相当になるので、図４に示した実施の形態と同様
の効果が得られる。
【００２４】本実施例では、磁気センサ内において一対
の１ピッチ磁気抵抗素子の組合せにより構成したが、本
発明はこれに限定されない。例えば、磁気センサ５４、
５５に替えて、本発明のように組み合わされていない磁
気抵抗素子を備えた２個の磁気センサを使用する場合、
これら２個の磁気センサを、磁気ドラムの軸心を挟んで
ほぼ１８０゜対向位置において奇数ピッチ離れた同位相
状態に取り付けて、２個の磁気センサの検出信号または
内挿計算した角度値を平均することによっても、図４に
示した実施の形態と同様の効果が得られる。
の１ピッチ磁気抵抗素子の組合せにより構成したが、本
発明はこれに限定されない。例えば、磁気センサ５４、
５５に替えて、本発明のように組み合わされていない磁
気抵抗素子を備えた２個の磁気センサを使用する場合、
これら２個の磁気センサを、磁気ドラムの軸心を挟んで
ほぼ１８０゜対向位置において奇数ピッチ離れた同位相
状態に取り付けて、２個の磁気センサの検出信号または
内挿計算した角度値を平均することによっても、図４に
示した実施の形態と同様の効果が得られる。
【００２５】また、磁気センサ５４、５５の近傍に同一
の磁気センサをさらに１個、奇数ピッチ離した同位相状
態に配置して、各磁気センサからの信号または内挿計算
した角度値を平均することによっても同様の効果が得ら
れる。
の磁気センサをさらに１個、奇数ピッチ離した同位相状
態に配置して、各磁気センサからの信号または内挿計算
した角度値を平均することによっても同様の効果が得ら
れる。
【００２６】以上、本発明をトータルステーションに適
用した実施例について説明したが、本発明は、レベル、
トランシットなど他の測量機に適用できることはいうま
でもない。
用した実施例について説明したが、本発明は、レベル、
トランシットなど他の測量機に適用できることはいうま
でもない。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り本発明は、
測量機に搭載した磁気式エンコーダの磁気抵抗素子をヒ
ステリシスおよび外部磁気を補償する配置構造としたの
で、ヒステリシスによる誤差が除去されて高精度の角度
測定が可能になり、しかも外部磁界の影響を受けないの
で、外部磁界がある場所においても高精度の角度測定を
維持することが可能になる。
測量機に搭載した磁気式エンコーダの磁気抵抗素子をヒ
ステリシスおよび外部磁気を補償する配置構造としたの
で、ヒステリシスによる誤差が除去されて高精度の角度
測定が可能になり、しかも外部磁界の影響を受けないの
で、外部磁界がある場所においても高精度の角度測定を
維持することが可能になる。
【図１】 本発明を適用した磁気式エンコーダを搭載し
たトータルステーションを、磁気式エンコーダの要部が
見えるように一部を切断して示した背面図である。
たトータルステーションを、磁気式エンコーダの要部が
見えるように一部を切断して示した背面図である。
【図２】 同トータルステーションを、磁気式エンコー
ダの要部が見えるように一部を切断して示した側面図で
ある。
ダの要部が見えるように一部を切断して示した側面図で
ある。
【図３】 図１、２に示した磁気式エンコーダの一実施
例を示す拡大正面図である。
例を示す拡大正面図である。
【図４】 同磁気式エンコーダの磁気ドラムと磁気セン
サの構造を拡大して磁気抵抗素子の配置構成を示す図で
ある。
サの構造を拡大して磁気抵抗素子の配置構成を示す図で
ある。
【図５】 同磁気式エンコーダの磁気抵抗素子の結線の
一例を示す回路図である。
一例を示す回路図である。
【図６】 同磁気式エンコーダの磁気抵抗素子の配置構
成の別の実施の形態を示す図である。
成の別の実施の形態を示す図である。
１１ トータルステーション １３ 底板 １５ 整準ねじ １７ 整準台 １９ 鉛直軸 ２１ 架台 ２３ 水平軸 ２５ 視準望遠鏡 ２７ 垂直軸受け ２９ 水平軸受け ５１ 磁気式エンコーダ ５３ 磁気ドラム ５３ａ 多極着磁層 ３ 多極着磁層５３ａの磁力線 ５４ 第１の磁気センサ（検出部） ５４ｂ センサ面 ５５ 第２の磁気センサ（検出部） ４ａ11 ４ａ12 ４ａ21 ４ａ22 ４ａ31 ４ａ32 ４
ａ41 ４ａ42 Ａ相（第１の相）の磁気抵抗素子 ４ｂ11 ４ｂ12 ４ｂ21 ４ｂ22 ４ｂ31 ４ｂ32 ４
ｂ41 ４ｂ42 Ｂ相（第２の相）の磁気抵抗素子 ６１ 電子回路（演算手段）
ａ41 ４ａ42 Ａ相（第１の相）の磁気抵抗素子 ４ｂ11 ４ｂ12 ４ｂ21 ４ｂ22 ４ｂ31 ４ｂ32 ４
ｂ41 ４ｂ42 Ｂ相（第２の相）の磁気抵抗素子 ６１ 電子回路（演算手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 見城 克彦 東京都練馬区東大泉二丁目５番２号 旭精 密株式会社内 Ｆターム(参考） 2F077 AA11 AA21 AA25 AA49 JJ02 JJ09 JJ21 NN04 NN26 PP14 QQ05 QQ08 QQ10 TT16 TT21 TT42 UU09
Claims (5)
- 【請求項１】 測量機の回転自在に軸支された、外周面
に等分割されたピッチで磁化された多極着磁層を有する
磁気ドラムと、 該磁気ドラムの多極着磁層から発生する磁界を検出する
磁気センサとを備え、該磁気ドラムの回転による磁気変
化を該磁気センサによって検出して磁気ドラムの回転角
を測定する磁気式エンコーダであって、 前記磁気センサまたは前記磁気センサ内の一対の磁気抵
抗素子が奇数ピッチの位相角離されて配置されたこと、
を特徴とする磁気式エンコーダを備えた測量機。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気式エンコーダを備え
た測量機において、前記磁気センサは、近接して配置さ
れた２個の磁気センサからなる磁気式エンコーダを備え
た測量機。 - 【請求項３】 請求項１記載の磁気式エンコーダを備え
た測量機において、前記磁気センサは、磁気ドラムの軸
心を挟んでほぼ１８０゜対向位置に配置される磁気式エ
ンコーダを備えた測量機。 - 【請求項４】 請求項１記載の磁気式エンコーダを備え
た測量機において、前記磁気センサには、一対の磁気抵
抗素子が４対、互いに１／２ピッチ相当の位相角離して
配置されている磁気式エンコーダを備えた測量機。 - 【請求項５】 請求項１記載の磁気式エンコーダを備え
た測量機において、前記磁気センサには、一対の磁気抵
抗素子が４対、互いに１／２ピッチ相当の位相角離して
配置された第１の相の磁気抵抗素子と、さらに一対の磁
気抵抗素子が４対、１／２ピッチ相当の位相角離して配
置された第２の相の磁気抵抗素子とを備え、前記第２の
相の磁気抵抗素子が第１の相の磁気抵抗素子に対して６
＋（３／４）ピッチ相当の位相角離して配置されている
磁気式エンコーダを備えた測量機。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30111799A JP2001124554A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを備えた測量機 |
| US09/692,616 US6550150B1 (en) | 1999-10-22 | 2000-10-20 | Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder |
| DE10052148A DE10052148B4 (de) | 1999-10-22 | 2000-10-20 | Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30111799A JP2001124554A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを備えた測量機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124554A true JP2001124554A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17893047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30111799A Withdrawn JP2001124554A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを備えた測量機 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6550150B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001124554A (ja) |
| DE (1) | DE10052148B4 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008130002A1 (ja) * | 2007-04-20 | 2008-10-30 | Mitsubishi Electric Corporation | 磁気式回転角検出器 |
| US7456758B2 (en) | 2006-09-19 | 2008-11-25 | Hitachi Metals, Ltd. | Magnetic encoder apparatus |
| CN111947693A (zh) * | 2019-05-16 | 2020-11-17 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
| CN113008201A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-06-22 | 北京金房兴业测绘有限公司 | 一种基坑沉降监测方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001124589A (ja) * | 1999-10-22 | 2001-05-11 | Asahi Optical Co Ltd | 磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
| JP3930227B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2007-06-13 | ペンタックス株式会社 | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
| DE10129819C2 (de) * | 2001-06-13 | 2003-11-27 | Smw Autoblok Spannsysteme Gmbh | Messgerät |
| JP4123761B2 (ja) * | 2001-11-15 | 2008-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 回転角度検出装置 |
| WO2004048885A1 (fr) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Beijing Aerospace Feng Guang Electronic Technical Corp. Ltd. | Dispositif de mesure à déplacement magnétique |
| JP2005003625A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| DE202010007285U1 (de) * | 2010-05-21 | 2011-09-23 | Balluff Gmbh | Maßkörpervorrichtung für ein Positions-/Wegmesssystem, Positions-/Wegmesssystem und Anwendung, an welcher ein Positions-/Wegmesssystem montiert ist |
| US9696183B2 (en) * | 2014-03-07 | 2017-07-04 | Skf Magnetics Bearings | Angular position detector including a variable reluctance resolver-encoder |
| US11604058B2 (en) * | 2020-02-25 | 2023-03-14 | Allegro Microsystems, Llc | Reducing stray magnetic field effect on an angle sensor |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59217106A (ja) | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Tokyo Optical Co Ltd | ホール素子を用いた測量機 |
| US4786891A (en) * | 1986-04-08 | 1988-11-22 | Yokogawa Electric Corporation | Absolute encoder for linear or angular position measurements |
| DE4203073C2 (de) * | 1992-02-04 | 1994-12-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE4211614C2 (de) * | 1992-04-07 | 1994-04-21 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels |
| DE4316221C2 (de) * | 1993-05-14 | 1995-11-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US5545985A (en) * | 1994-03-16 | 1996-08-13 | Campbell; Peter | Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface |
| US6246233B1 (en) * | 1994-12-30 | 2001-06-12 | Northstar Technologies Inc. | Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation |
| JP3516505B2 (ja) * | 1995-02-03 | 2004-04-05 | 株式会社ソキア | 測量機の目盛盤回転装置 |
| US5746005A (en) * | 1996-10-22 | 1998-05-05 | Powerhorse Corporation | Angular position sensor |
| DE19652562C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-07-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US5949548A (en) * | 1997-01-22 | 1999-09-07 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Height sensing measurement device |
| DE19722016A1 (de) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung |
| US6354010B1 (en) * | 1998-04-23 | 2002-03-12 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Surveying instrument |
| US6119355A (en) * | 1998-06-02 | 2000-09-19 | Trimble Navigation Limited | Audible tilt sensor calibration |
| DE19906937A1 (de) * | 1999-02-19 | 2000-09-14 | Mannesmann Vdo Ag | Drehzahlgeber |
| JP2000314638A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Asahi Optical Co Ltd | エンコーダ |
-
1999
- 1999-10-22 JP JP30111799A patent/JP2001124554A/ja not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-10-20 DE DE10052148A patent/DE10052148B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-10-20 US US09/692,616 patent/US6550150B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7456758B2 (en) | 2006-09-19 | 2008-11-25 | Hitachi Metals, Ltd. | Magnetic encoder apparatus |
| WO2008130002A1 (ja) * | 2007-04-20 | 2008-10-30 | Mitsubishi Electric Corporation | 磁気式回転角検出器 |
| US8134359B2 (en) | 2007-04-20 | 2012-03-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic rotational-angle detector |
| CN111947693A (zh) * | 2019-05-16 | 2020-11-17 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
| CN111947693B (zh) * | 2019-05-16 | 2022-07-08 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
| CN113008201A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-06-22 | 北京金房兴业测绘有限公司 | 一种基坑沉降监测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10052148B4 (de) | 2006-05-18 |
| US6550150B1 (en) | 2003-04-22 |
| DE10052148A1 (de) | 2001-04-26 |
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