JP2001199626A - キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 - Google Patents
キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置Info
- Publication number
- JP2001199626A JP2001199626A JP2000003938A JP2000003938A JP2001199626A JP 2001199626 A JP2001199626 A JP 2001199626A JP 2000003938 A JP2000003938 A JP 2000003938A JP 2000003938 A JP2000003938 A JP 2000003938A JP 2001199626 A JP2001199626 A JP 2001199626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- carrier tape
- supply material
- tape
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアテープの剥離動作に適した動作態様
を有する簡易且つ安価な機構を採用することにより、確
実にキャリアテープを剥離することができるとともに、
設備コストを低減できる剥離機構を提供する。 【解決手段】 回動アーム1525は、駆動モータ15
26の出力軸1526aを中心として回動可能に構成さ
れている。回動アーム1525は剥離ヘッド1525に
対してカムローラ1524を介して係合している。回動
アーム1525の往復回動動作によって、剥離ヘッド1
521はテープ材TPの架設方向(図示左右方向)に直
線的に移動する。
を有する簡易且つ安価な機構を採用することにより、確
実にキャリアテープを剥離することができるとともに、
設備コストを低減できる剥離機構を提供する。 【解決手段】 回動アーム1525は、駆動モータ15
26の出力軸1526aを中心として回動可能に構成さ
れている。回動アーム1525は剥離ヘッド1525に
対してカムローラ1524を介して係合している。回動
アーム1525の往復回動動作によって、剥離ヘッド1
521はテープ材TPの架設方向(図示左右方向)に直
線的に移動する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はキャリアテープの剥
離機構及び供給材の貼付装置に係り、特に、異方性導電
膜などの供給材を回路基板、電子部品、液晶パネル等の
被着部材に貼付した後に供給材からキャリアテープを剥
離するようにした供給材の貼付装置に用いる場合に好適
な剥離機構の構造に関する。
離機構及び供給材の貼付装置に係り、特に、異方性導電
膜などの供給材を回路基板、電子部品、液晶パネル等の
被着部材に貼付した後に供給材からキャリアテープを剥
離するようにした供給材の貼付装置に用いる場合に好適
な剥離機構の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、種々の分野において、合成樹脂
や紙材等からなるキャリアテープ(離型紙)に、粘着性
を有する接着層や異方性導電膜等の供給材を担持させて
なるテープ材が用いられている。このようなテープ材
は、供給材を所定位置に供給する際若しくは供給した後
にキャリアテープを供給材から剥離させる必要があるの
で、従来から種々のキャリアテープの剥離機構が提案さ
れている。
や紙材等からなるキャリアテープ(離型紙)に、粘着性
を有する接着層や異方性導電膜等の供給材を担持させて
なるテープ材が用いられている。このようなテープ材
は、供給材を所定位置に供給する際若しくは供給した後
にキャリアテープを供給材から剥離させる必要があるの
で、従来から種々のキャリアテープの剥離機構が提案さ
れている。
【0003】例えば、特開平5−53130号公報にお
いては、キャリアテープ上に供給材である異方性導電膜
を保持した異方性導電テープを移送する手段と、異方性
導電膜を液晶パネル上の所定位置にセットする手段と、
キャリアテープを切断することなくキャリアテープ上の
異方性導電膜に切れ目を入れる手段と、仮付けされた異
方性導電テープ上のキャリアテープを剥離する剥離機構
とから構成された異方性導電膜の貼付装置が記載されて
いる。
いては、キャリアテープ上に供給材である異方性導電膜
を保持した異方性導電テープを移送する手段と、異方性
導電膜を液晶パネル上の所定位置にセットする手段と、
キャリアテープを切断することなくキャリアテープ上の
異方性導電膜に切れ目を入れる手段と、仮付けされた異
方性導電テープ上のキャリアテープを剥離する剥離機構
とから構成された異方性導電膜の貼付装置が記載されて
いる。
【0004】この貼付装置において、上記剥離機構は異
方性導電テープの移送方向に移動可能に構成された剥離
ヘッドを有する。この剥離ヘッドは、キャリアテープに
担持されたままの異方性導電膜が液晶パネル上の所定位
置に貼着された後に、テープの移送方向へ移動して異方
性導電膜の一端部から他端部へとキャリアテープを順次
引き剥がすようにして剥離を行うようになっている。
方性導電テープの移送方向に移動可能に構成された剥離
ヘッドを有する。この剥離ヘッドは、キャリアテープに
担持されたままの異方性導電膜が液晶パネル上の所定位
置に貼着された後に、テープの移送方向へ移動して異方
性導電膜の一端部から他端部へとキャリアテープを順次
引き剥がすようにして剥離を行うようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
異方性導電膜の貼付装置においては、上述のように剥離
ヘッドをテープの移送方向に直線的に移動させるための
駆動手段を設ける必要がある。この駆動手段としては、
通常、ボールネジやエアシリンダ等の直動機構が用いら
れる。しかし、これらの直動機構においては、剥離ヘッ
ドの移動速度を適宜に制御しないと、キャリアテープを
剥離する際に異方性導電膜の端部が部分的に液晶パネル
表面から剥離してしまうなどの事故が発生する可能性が
ある。また、このような事故の発生を確実に防止するた
めには剥離速度を遅くしたり、剥離開始時、剥離中及び
剥離終了時の移動速度を精密に制御するための精緻な制
御系を設ける必要があると考えられるが、一般に上記の
ような直動機構の移動速度制御は困難な場合が多い。
異方性導電膜の貼付装置においては、上述のように剥離
ヘッドをテープの移送方向に直線的に移動させるための
駆動手段を設ける必要がある。この駆動手段としては、
通常、ボールネジやエアシリンダ等の直動機構が用いら
れる。しかし、これらの直動機構においては、剥離ヘッ
ドの移動速度を適宜に制御しないと、キャリアテープを
剥離する際に異方性導電膜の端部が部分的に液晶パネル
表面から剥離してしまうなどの事故が発生する可能性が
ある。また、このような事故の発生を確実に防止するた
めには剥離速度を遅くしたり、剥離開始時、剥離中及び
剥離終了時の移動速度を精密に制御するための精緻な制
御系を設ける必要があると考えられるが、一般に上記の
ような直動機構の移動速度制御は困難な場合が多い。
【0006】さらに、上記の直動機構においては、例え
ば駆動源として安価な回転モータを用いると、回転運動
を直線運動に変換するためのボールネジなどの複雑な運
動変換機構を用いる必要があり、また、運動変換機構を
簡単に構成するにはリニアモータなどの高価な駆動源を
採用する必要があるため、いずれにしても設備コストが
高くなり、さらに比較的安価なエアシリンダは速度制御
が困難であるという問題点がある。
ば駆動源として安価な回転モータを用いると、回転運動
を直線運動に変換するためのボールネジなどの複雑な運
動変換機構を用いる必要があり、また、運動変換機構を
簡単に構成するにはリニアモータなどの高価な駆動源を
採用する必要があるため、いずれにしても設備コストが
高くなり、さらに比較的安価なエアシリンダは速度制御
が困難であるという問題点がある。
【0007】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、キャリアテープの剥離動作に適し
た動作態様を有する簡易且つ安価な機構を採用すること
により、確実にキャリアテープを剥離することができる
とともに、設備コストを低減できる剥離機構を提供する
ことにある。
であり、その課題は、キャリアテープの剥離動作に適し
た動作態様を有する簡易且つ安価な機構を採用すること
により、確実にキャリアテープを剥離することができる
とともに、設備コストを低減できる剥離機構を提供する
ことにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のキャリアテープの剥離機構は、キャリアテー
プと、該キャリアテープに担持された供給材とを有する
テープ材を所定方向に架設し、前記供給材から前記キャ
リアテープを引き離すための剥離部を前記テープ体の架
設方向に移動させることにより、前記キャリアテープを
前記供給材から剥離させる剥離箇所が前記架設方向に移
動して剥離動作が進むように構成されたキャリアテープ
の剥離機構であって、駆動源に駆動されることにより前
記キャリアテープの幅方向に伸びる軸線周りに回動する
回動部材を有し、前記剥離部は、係合位置が前記回動部
材の回動動作の動径方向に移動可能となるように前記回
動部材に対して係合されているとともに、少なくともそ
の剥離動作中において前記回動部材の回動動作に従って
前記テープ材の架設方向に直線的に移動するように案内
されていることを特徴とする。
に本発明のキャリアテープの剥離機構は、キャリアテー
プと、該キャリアテープに担持された供給材とを有する
テープ材を所定方向に架設し、前記供給材から前記キャ
リアテープを引き離すための剥離部を前記テープ体の架
設方向に移動させることにより、前記キャリアテープを
前記供給材から剥離させる剥離箇所が前記架設方向に移
動して剥離動作が進むように構成されたキャリアテープ
の剥離機構であって、駆動源に駆動されることにより前
記キャリアテープの幅方向に伸びる軸線周りに回動する
回動部材を有し、前記剥離部は、係合位置が前記回動部
材の回動動作の動径方向に移動可能となるように前記回
動部材に対して係合されているとともに、少なくともそ
の剥離動作中において前記回動部材の回動動作に従って
前記テープ材の架設方向に直線的に移動するように案内
されていることを特徴とする。
【0009】この発明によれば、回動部材に係合された
剥離部が、回動部材の回動動作に従って直線的にテープ
材の架設方向に移動するように構成されているため、剥
離部の移動速度は、回動部材の回動方向が剥離部の移動
方向に一致するときに最も速くなり、回動部材の回動方
向と剥離部の移動方向との間の角度が大きくなるに従っ
て剥離部の移動速度は低下する。したがって、剥離開始
時には剥離速度を遅くし、剥離が一旦開始された後には
剥離速度を増大させることによってスムーズに剥離動作
を行うことができるなど、制御系を用いることなく剥離
速度を制御することが可能になる。また、係合位置が動
径方向(回動半径方向)に移動可能となるように剥離部
を回動部材に対して係合させるだけでよいため、きわめ
て簡易な機構により構成することができるとともに、駆
動源として安価なモータ等を用いることができ、しか
も、剥離部の移動速度の制御を行う必要もないことか
ら、設備コストを低減することができる。
剥離部が、回動部材の回動動作に従って直線的にテープ
材の架設方向に移動するように構成されているため、剥
離部の移動速度は、回動部材の回動方向が剥離部の移動
方向に一致するときに最も速くなり、回動部材の回動方
向と剥離部の移動方向との間の角度が大きくなるに従っ
て剥離部の移動速度は低下する。したがって、剥離開始
時には剥離速度を遅くし、剥離が一旦開始された後には
剥離速度を増大させることによってスムーズに剥離動作
を行うことができるなど、制御系を用いることなく剥離
速度を制御することが可能になる。また、係合位置が動
径方向(回動半径方向)に移動可能となるように剥離部
を回動部材に対して係合させるだけでよいため、きわめ
て簡易な機構により構成することができるとともに、駆
動源として安価なモータ等を用いることができ、しか
も、剥離部の移動速度の制御を行う必要もないことか
ら、設備コストを低減することができる。
【0010】本発明において、前記剥離箇所が剥離動作
の開始される前記供給材の先端部よりも前記剥離部の移
動側にずれた位置にあるときに、前記回動部材の回動方
向が前記剥離部の移動方向に一致するように、前記回動
部材の回動軸線が配置されていることが好ましい。
の開始される前記供給材の先端部よりも前記剥離部の移
動側にずれた位置にあるときに、前記回動部材の回動方
向が前記剥離部の移動方向に一致するように、前記回動
部材の回動軸線が配置されていることが好ましい。
【0011】この発明によれば、剥離箇所が剥離動作の
開始される供給材の先端部よりも剥離部の移動側にずれ
た位置にあるときに回動部材の回動方向が剥離部の移動
方向に一致するように、回動部材の回動軸線が配置され
ていることにより、剥離動作の開始時点では剥離速度は
遅く、剥離動作が進行するに従って次第に剥離速度が速
くなっていくので、スムーズに剥離を開始させることが
できるから、例えば供給材が他の部材に貼着されている
場合に供給材の先端部が剥がれてしまう事故を防止でき
るとともに、剥離動作の遅速化を抑制することができ
る。
開始される供給材の先端部よりも剥離部の移動側にずれ
た位置にあるときに回動部材の回動方向が剥離部の移動
方向に一致するように、回動部材の回動軸線が配置され
ていることにより、剥離動作の開始時点では剥離速度は
遅く、剥離動作が進行するに従って次第に剥離速度が速
くなっていくので、スムーズに剥離を開始させることが
できるから、例えば供給材が他の部材に貼着されている
場合に供給材の先端部が剥がれてしまう事故を防止でき
るとともに、剥離動作の遅速化を抑制することができ
る。
【0012】本発明において、前記供給材は前記架設方
向に一定の長さを有し、前記剥離箇所が前記供給材の長
さ方向の略中間位置にあるときに前記回動部材の回動方
向が前記剥離部の移動方向に一致するように構成されて
いることが好ましい。
向に一定の長さを有し、前記剥離箇所が前記供給材の長
さ方向の略中間位置にあるときに前記回動部材の回動方
向が前記剥離部の移動方向に一致するように構成されて
いることが好ましい。
【0013】この発明によれば、剥離箇所が供給材の長
さ方向の略中間位置にあるときに回動アームの回動方向
が剥離部の移動方向に一致するように構成されているこ
とにより、剥離開始時と剥離終了時においては剥離速度
が遅くなり、剥離動作の途中で剥離速度が速くなるの
で、剥離動作を全体としてスムーズに開始し、且つ、終
了させることができるとともに、回動アームの回動半径
を縮小することが可能になり、機構全体をコンパクトに
構成することができる。
さ方向の略中間位置にあるときに回動アームの回動方向
が剥離部の移動方向に一致するように構成されているこ
とにより、剥離開始時と剥離終了時においては剥離速度
が遅くなり、剥離動作の途中で剥離速度が速くなるの
で、剥離動作を全体としてスムーズに開始し、且つ、終
了させることができるとともに、回動アームの回動半径
を縮小することが可能になり、機構全体をコンパクトに
構成することができる。
【0014】なお、この場合に、剥離動作時における剥
離部の移動距離は、回動部材の回動軸線から剥離部に対
する係合位置までの距離(動径長さ)の2倍以下である
必要があり、移動距離が当該距離の2倍に近づくほど、
剥離開始時及び剥離終了時の剥離速度が低速になる。
離部の移動距離は、回動部材の回動軸線から剥離部に対
する係合位置までの距離(動径長さ)の2倍以下である
必要があり、移動距離が当該距離の2倍に近づくほど、
剥離開始時及び剥離終了時の剥離速度が低速になる。
【0015】本発明において、前記剥離部は、前記キャ
リアテープにおける前記供給材を担持する側の表面に接
触して前記キャリアテープを前記供給材から引き離す方
向に案内する剥離部材と、該剥離部材よりも剥離動作時
における前記剥離部の移動先の側において前記キャリア
テープの前記表面とは反対の面に接触する押え部材とを
有することが好ましい。
リアテープにおける前記供給材を担持する側の表面に接
触して前記キャリアテープを前記供給材から引き離す方
向に案内する剥離部材と、該剥離部材よりも剥離動作時
における前記剥離部の移動先の側において前記キャリア
テープの前記表面とは反対の面に接触する押え部材とを
有することが好ましい。
【0016】この発明によれば、剥離箇所近傍において
供給材から引き離されるキャリアテープの架設状態を押
え部材の形状や押え部材と剥離部材との間の位置関係に
よって規制することができるので、剥離に必要な応力を
低減することができるとともに剥離状態を安定化させる
ことができる。
供給材から引き離されるキャリアテープの架設状態を押
え部材の形状や押え部材と剥離部材との間の位置関係に
よって規制することができるので、剥離に必要な応力を
低減することができるとともに剥離状態を安定化させる
ことができる。
【0017】本発明において、前記回動部材は、その回
動端が前記回動軸線よりも前記テープ材側にある回動範
囲内において往復回動するように構成されていることが
好ましい。この発明によれば、回動部材が上記回動範囲
内において往復回動するように構成することにより、剥
離部もまた途中で停止することなく往復直線運動を行
う。このとき、回動部材の回動範囲を変えることによっ
て剥離部の移動範囲を調節することができる。
動端が前記回動軸線よりも前記テープ材側にある回動範
囲内において往復回動するように構成されていることが
好ましい。この発明によれば、回動部材が上記回動範囲
内において往復回動するように構成することにより、剥
離部もまた途中で停止することなく往復直線運動を行
う。このとき、回動部材の回動範囲を変えることによっ
て剥離部の移動範囲を調節することができる。
【0018】なお、上記のように回動部材を往復回動さ
せるのではなく、回動部材を一方向にのみ回転させるよ
うにしても剥離部を直線的に往復移動させることができ
る。
せるのではなく、回動部材を一方向にのみ回転させるよ
うにしても剥離部を直線的に往復移動させることができ
る。
【0019】次に、本発明の供給材の貼付装置は、上記
のキャリアテープの剥離機構と、前記供給材を所定の被
着部材に貼付するための貼付機構とを備え、前記供給材
は粘着性を有するものであり、前記貼付機構が前記供給
材を前記被着部材へ貼り付けた後に、前記剥離機構が、
前記貼付機構による貼り付けによって固定された前記供
給材から前記キャリアテープを剥離するように構成され
ていることを特徴とする。
のキャリアテープの剥離機構と、前記供給材を所定の被
着部材に貼付するための貼付機構とを備え、前記供給材
は粘着性を有するものであり、前記貼付機構が前記供給
材を前記被着部材へ貼り付けた後に、前記剥離機構が、
前記貼付機構による貼り付けによって固定された前記供
給材から前記キャリアテープを剥離するように構成され
ていることを特徴とする。
【0020】この発明によれば、剥離開始時に剥離速度
が低くなっていることにより、被着部材に貼り付けられ
た供給材が先端部において剥がれてしまうことを防止す
ることができる。また、剥離機構を簡易な構造で実現で
きるので、製造コストを低減することができ、剥離機構
のコンパクト化を図ることもできる。
が低くなっていることにより、被着部材に貼り付けられ
た供給材が先端部において剥がれてしまうことを防止す
ることができる。また、剥離機構を簡易な構造で実現で
きるので、製造コストを低減することができ、剥離機構
のコンパクト化を図ることもできる。
【0021】本発明において、前記供給材は異方性導電
膜である場合がある。異方性導電膜は電子部品等におけ
る導電構造を形成する場合に重要であり、各種IC等の
半導体チップやフレキシブル配線基板等の配線部材を回
路基板や液晶パネル等の被着部材に実装する場合の導通
部材として用いられる。
膜である場合がある。異方性導電膜は電子部品等におけ
る導電構造を形成する場合に重要であり、各種IC等の
半導体チップやフレキシブル配線基板等の配線部材を回
路基板や液晶パネル等の被着部材に実装する場合の導通
部材として用いられる。
【0022】本発明の貼付装置としての具体的構成は、
通常、テープ材を架設する架設手段と、テープ材を搬送
する搬送手段(送り機構)と、テープ材に担持された供
給材を所定長さに切断する切断手段とを有する。
通常、テープ材を架設する架設手段と、テープ材を搬送
する搬送手段(送り機構)と、テープ材に担持された供
給材を所定長さに切断する切断手段とを有する。
【0023】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係るキャリアテープの剥離機構及び供給材の貼付装置
の実施形態について詳細に説明する。以下に詳述する実
施形態は、液晶パネルの製造工程において用いる液晶駆
動用ドライバICを液晶パネルに実装するための実装装
置、特に、液晶パネルが、液晶封入領域外の基板上に液
晶駆動用ドライバICを実装した所謂COG(Chip
On Glass)構造を有する場合において、当該
液晶パネルの基板上に上記ドライバICを実装する一連
の工程をインライン方式によって実行する装置におい
て、ドライバICである半導体チップと液晶パネルの外
部端子とを導通させる異方性導電フィルムを液晶パネル
の実装領域に貼付するためのACF貼付ユニット及びこ
のユニットにおいて用いられるキャリアテープの剥離機
構として構成されたものである。
に係るキャリアテープの剥離機構及び供給材の貼付装置
の実施形態について詳細に説明する。以下に詳述する実
施形態は、液晶パネルの製造工程において用いる液晶駆
動用ドライバICを液晶パネルに実装するための実装装
置、特に、液晶パネルが、液晶封入領域外の基板上に液
晶駆動用ドライバICを実装した所謂COG(Chip
On Glass)構造を有する場合において、当該
液晶パネルの基板上に上記ドライバICを実装する一連
の工程をインライン方式によって実行する装置におい
て、ドライバICである半導体チップと液晶パネルの外
部端子とを導通させる異方性導電フィルムを液晶パネル
の実装領域に貼付するためのACF貼付ユニット及びこ
のユニットにおいて用いられるキャリアテープの剥離機
構として構成されたものである。
【0024】[実装装置の全体構成]最初に、本発明が
適用された上記実装装置の全体構成を説明する。図8
は、本実施形態の実装装置の全体構成の平面図に相当す
るものを模式的に示す全体平面構成図である。この実装
装置100には給材ユニット110が設けられている。
給材ユニット110は、液晶パネル(シール材を介して
2枚の透明基板を貼り合わせ、シール材の内側に液晶を
封入したもの。)Pを搬送コンベア111上に載置した
トレイ112内に複数収容し、トレイ112を図示下方
に向けて搬入する。搬入位置には移載ロボット113が
設置されており、この移載ロボット113によってトレ
イ112上の液晶パネルPを一つずつインデックステー
ブルA上に移載するようになっている。インデックステ
ーブルAには複数(図示例では4つ)の指定位置が設け
られ、液晶パネルPは最初の指定位置A1に載置された
後、インデックステーブルAの回転に従って次の指定位
置A2に送られる。
適用された上記実装装置の全体構成を説明する。図8
は、本実施形態の実装装置の全体構成の平面図に相当す
るものを模式的に示す全体平面構成図である。この実装
装置100には給材ユニット110が設けられている。
給材ユニット110は、液晶パネル(シール材を介して
2枚の透明基板を貼り合わせ、シール材の内側に液晶を
封入したもの。)Pを搬送コンベア111上に載置した
トレイ112内に複数収容し、トレイ112を図示下方
に向けて搬入する。搬入位置には移載ロボット113が
設置されており、この移載ロボット113によってトレ
イ112上の液晶パネルPを一つずつインデックステー
ブルA上に移載するようになっている。インデックステ
ーブルAには複数(図示例では4つ)の指定位置が設け
られ、液晶パネルPは最初の指定位置A1に載置された
後、インデックステーブルAの回転に従って次の指定位
置A2に送られる。
【0025】指定位置A2に対応してプラズマ処理ユニ
ット120が設置されている。プラズマ処理ユニット1
20は、所定の処理ガスをプラズマ化して指定位置A2
に載置された液晶パネルPに吹付けるようになってい
る。例えば、上記の処理ガスを、放電ノズルを通してプ
ラズマ化し、液晶パネルPに向けて供給することによっ
て、液晶パネルPの実装領域上の有機物を分解除去する
ことができる。また、この処理は実装領域における基板
表面の濡れ性を向上させる効果も有する。処理ガスとし
ては例えば窒素ガスを用いることができる。このプラズ
マ処理ユニット120は、液晶パネルPのインライン方
式の処理過程を可能とするために大気圧プラズマ方式と
なっており、大気圧の処理ガスを電離してプラズマを発
生させ、このプラズマをそのままインデックステーブル
A上の液晶パネルPに吹付けるように構成されている。
ット120が設置されている。プラズマ処理ユニット1
20は、所定の処理ガスをプラズマ化して指定位置A2
に載置された液晶パネルPに吹付けるようになってい
る。例えば、上記の処理ガスを、放電ノズルを通してプ
ラズマ化し、液晶パネルPに向けて供給することによっ
て、液晶パネルPの実装領域上の有機物を分解除去する
ことができる。また、この処理は実装領域における基板
表面の濡れ性を向上させる効果も有する。処理ガスとし
ては例えば窒素ガスを用いることができる。このプラズ
マ処理ユニット120は、液晶パネルPのインライン方
式の処理過程を可能とするために大気圧プラズマ方式と
なっており、大気圧の処理ガスを電離してプラズマを発
生させ、このプラズマをそのままインデックステーブル
A上の液晶パネルPに吹付けるように構成されている。
【0026】次に、指定位置A3においては、姿勢検出
ユニット130によってインデックステーブルA上に載
置された液晶パネルPの実装領域を撮影し、実装領域上
に形成されたアライメントマークを検出し、液晶パネル
Pの姿勢を特定する。姿勢検出ユニット130には、液
晶パネルPの実装領域を撮影するCCDカメラ等からな
る撮像手段と、この撮像手段によって撮影された画像に
画像処理を施して、実装領域に形成されたアライメント
マーク(図示せず)を検出し、液晶パネルPの載置姿勢
を判定する画像処理部(例えばコンピュータ内のプログ
ラムの一部として上記機能が実現されていてもよい。)
とが設けられる。
ユニット130によってインデックステーブルA上に載
置された液晶パネルPの実装領域を撮影し、実装領域上
に形成されたアライメントマークを検出し、液晶パネル
Pの姿勢を特定する。姿勢検出ユニット130には、液
晶パネルPの実装領域を撮影するCCDカメラ等からな
る撮像手段と、この撮像手段によって撮影された画像に
画像処理を施して、実装領域に形成されたアライメント
マーク(図示せず)を検出し、液晶パネルPの載置姿勢
を判定する画像処理部(例えばコンピュータ内のプログ
ラムの一部として上記機能が実現されていてもよい。)
とが設けられる。
【0027】次に、そのまま液晶パネルPは指定位置A
4へと送られ、移載ユニット140によってインデック
ステーブルBへと移載される。移載ユニット140に
は、液晶パネルPを保持する保持アーム部141と、保
持アーム部141をインデックステーブルAとインデッ
クステーブルBとの間において移動させる駆動部142
とが設けられている。保持アーム部141は、インデッ
クステーブルA上の液晶パネルPを把持してインデック
ステーブルBの指定位置B1にあるパネル保持部C上に
載置する。このとき、上記の姿勢検出ユニット130に
おいて検出された液晶パネルPの姿勢に応じて、保持ア
ーム部141によるパネル保持部C上への載置状態が制
御されるようになっており、パネル保持部C上には、液
晶パネルPがあらかじめ定められた所定の姿勢にて載置
される。
4へと送られ、移載ユニット140によってインデック
ステーブルBへと移載される。移載ユニット140に
は、液晶パネルPを保持する保持アーム部141と、保
持アーム部141をインデックステーブルAとインデッ
クステーブルBとの間において移動させる駆動部142
とが設けられている。保持アーム部141は、インデッ
クステーブルA上の液晶パネルPを把持してインデック
ステーブルBの指定位置B1にあるパネル保持部C上に
載置する。このとき、上記の姿勢検出ユニット130に
おいて検出された液晶パネルPの姿勢に応じて、保持ア
ーム部141によるパネル保持部C上への載置状態が制
御されるようになっており、パネル保持部C上には、液
晶パネルPがあらかじめ定められた所定の姿勢にて載置
される。
【0028】次に、指定位置B1のパネル保持部C上の
液晶パネルPはインデックステーブルBの回転に従って
指定位置B2に移動する。そして、指定位置B2のパネ
ル保持部C上に載置された液晶パネルPの実装部分に
は、ACF貼着ユニット150によって異方性導電フィ
ルム(Anisotropic Conductive
Film)Qが貼着される。
液晶パネルPはインデックステーブルBの回転に従って
指定位置B2に移動する。そして、指定位置B2のパネ
ル保持部C上に載置された液晶パネルPの実装部分に
は、ACF貼着ユニット150によって異方性導電フィ
ルム(Anisotropic Conductive
Film)Qが貼着される。
【0029】次に、異方性導電フィルムQが実装領域上
に貼着された液晶パネルPは、インデックステーブルB
の回転に従って指定位置B3に移動する。この指定位置
B3においては、仮圧着ユニット160により液晶駆動
ドライバICなどの半導体チップRが液晶パネルPの実
装領域上の上記異方性導電フィルムQの表面上に仮圧着
されるようになっている。仮圧着ユニット160には、
図示しない給材機構によって供給される半導体チップR
を受け取る一対のチップ支持部(半導体チップRを所定
姿勢で下方から支持し、所定姿勢で保持するための案内
構造を備えたものである。)161a,161bを有
し、これらのチップ支持部161a,161bの位置を
反転させることの可能なチップ受け渡し機構161(半
導体チップを予めほぼ一定姿勢で受け渡すように構成さ
れたプリアライメント旋回機構である。)と、このチッ
プ受け渡し機構161の図示右側に位置するチップ支持
部から半導体チップを受け取る一対の仮圧着ヘッド(チ
ップ支持部上に支持されている半導体チップRを上方か
ら把持するための機械的把持機構又は真空吸着構造など
からなる保持手段を備えているとともに、保持された半
導体チップRの姿勢をX,Y,θ方向に修正可能であっ
て、さらに、図の紙面に直交する方向に移動可能且つ加
圧可能に構成されている。)162a,162bを備
え、これらの仮圧着ヘッド162a,162bの位置を
交互に反転させることが可能であるとともに、全体とし
て図示左右方向に移動可能であるように構成された仮圧
着機構162とを有している。
に貼着された液晶パネルPは、インデックステーブルB
の回転に従って指定位置B3に移動する。この指定位置
B3においては、仮圧着ユニット160により液晶駆動
ドライバICなどの半導体チップRが液晶パネルPの実
装領域上の上記異方性導電フィルムQの表面上に仮圧着
されるようになっている。仮圧着ユニット160には、
図示しない給材機構によって供給される半導体チップR
を受け取る一対のチップ支持部(半導体チップRを所定
姿勢で下方から支持し、所定姿勢で保持するための案内
構造を備えたものである。)161a,161bを有
し、これらのチップ支持部161a,161bの位置を
反転させることの可能なチップ受け渡し機構161(半
導体チップを予めほぼ一定姿勢で受け渡すように構成さ
れたプリアライメント旋回機構である。)と、このチッ
プ受け渡し機構161の図示右側に位置するチップ支持
部から半導体チップを受け取る一対の仮圧着ヘッド(チ
ップ支持部上に支持されている半導体チップRを上方か
ら把持するための機械的把持機構又は真空吸着構造など
からなる保持手段を備えているとともに、保持された半
導体チップRの姿勢をX,Y,θ方向に修正可能であっ
て、さらに、図の紙面に直交する方向に移動可能且つ加
圧可能に構成されている。)162a,162bを備
え、これらの仮圧着ヘッド162a,162bの位置を
交互に反転させることが可能であるとともに、全体とし
て図示左右方向に移動可能であるように構成された仮圧
着機構162とを有している。
【0030】また、指定位置B3のパネル保持部Cに保
持された液晶パネルPの実装領域を下方から撮影するた
めの撮像ユニット163と、上記仮圧着ヘッド162
a,162bのうちの図示右側に位置する方に保持され
た半導体チップRを下方から撮影するための撮像ユニッ
ト164とが並列して設けられている。これらの撮像ユ
ニット163,164は、半導体チップRが液晶パネル
Pの実装領域上に仮圧着される直前において、液晶パネ
ルPの実装領域と、半導体チップRの下面部とをそれぞ
れ撮影する。この撮影画像に基づいて、図示しないコン
ピュータ装置は所定のプログラムに従って実装領域に形
成された図示しないアライメントマークの位置と、半導
体チップRの下面に形成された図示しないアライメント
マークの位置を検出し、両者の位置関係を合わせるよう
に上記仮圧着ヘッド162a,162bの姿勢を制御す
る。姿勢制御された仮圧着ヘッド162a,162b
は、半導体チップRを液晶パネルPの実装領域上の異方
性導電フィルムQ上に押し付け、半導体チップRを仮圧
着させる。
持された液晶パネルPの実装領域を下方から撮影するた
めの撮像ユニット163と、上記仮圧着ヘッド162
a,162bのうちの図示右側に位置する方に保持され
た半導体チップRを下方から撮影するための撮像ユニッ
ト164とが並列して設けられている。これらの撮像ユ
ニット163,164は、半導体チップRが液晶パネル
Pの実装領域上に仮圧着される直前において、液晶パネ
ルPの実装領域と、半導体チップRの下面部とをそれぞ
れ撮影する。この撮影画像に基づいて、図示しないコン
ピュータ装置は所定のプログラムに従って実装領域に形
成された図示しないアライメントマークの位置と、半導
体チップRの下面に形成された図示しないアライメント
マークの位置を検出し、両者の位置関係を合わせるよう
に上記仮圧着ヘッド162a,162bの姿勢を制御す
る。姿勢制御された仮圧着ヘッド162a,162b
は、半導体チップRを液晶パネルPの実装領域上の異方
性導電フィルムQ上に押し付け、半導体チップRを仮圧
着させる。
【0031】さらに、仮圧着ユニット160には、上記
撮像ユニット163,164の検出データの位置情報の
更正を行うための基準部材である光学基準板1651を
取り付けた基準ユニット165が設けられている。この
基準ユニット165は、光学基準板1651を図示斜め
右上方向に移動可能とするように出没可能に構成されて
いる。
撮像ユニット163,164の検出データの位置情報の
更正を行うための基準部材である光学基準板1651を
取り付けた基準ユニット165が設けられている。この
基準ユニット165は、光学基準板1651を図示斜め
右上方向に移動可能とするように出没可能に構成されて
いる。
【0032】次に、インデックステーブルBの回転に従
って指定位置B4に移動した液晶パネルPは、移載ユニ
ット170によって後述する本圧着ユニット180の仮
置テーブル182上に移載される。移載ユニット170
は、インデックステーブルB上に載置された液晶パネル
Pを保持する移載アーム171と、移載アーム171を
移動させる駆動部172とから構成される。仮置テーブ
ル182は、液晶パネルPを複数(図示例では2つ)並
列配置できるように構成されている。
って指定位置B4に移動した液晶パネルPは、移載ユニ
ット170によって後述する本圧着ユニット180の仮
置テーブル182上に移載される。移載ユニット170
は、インデックステーブルB上に載置された液晶パネル
Pを保持する移載アーム171と、移載アーム171を
移動させる駆動部172とから構成される。仮置テーブ
ル182は、液晶パネルPを複数(図示例では2つ)並
列配置できるように構成されている。
【0033】仮置テーブル182上において複数並列配
置された液晶パネルPは、駆動部185により駆動され
る移載ヘッド186によって本圧着テーブル183上へ
移送され、本圧着機構181により半導体チップRが液
晶パネルP上に加熱された状態で加圧されることによっ
て本圧着される。このように本圧着された液晶パネルP
は再び移載ヘッド186によって除材テーブル184へ
移載される。
置された液晶パネルPは、駆動部185により駆動され
る移載ヘッド186によって本圧着テーブル183上へ
移送され、本圧着機構181により半導体チップRが液
晶パネルP上に加熱された状態で加圧されることによっ
て本圧着される。このように本圧着された液晶パネルP
は再び移載ヘッド186によって除材テーブル184へ
移載される。
【0034】上記本圧着機構181により加熱されなが
ら液晶パネルPの実装領域上に半導体チップRが加圧さ
れると、異方性導電フィルムQの樹脂基材は軟化して薄
肉化され、樹脂基材中に分散された導電粒子が半導体チ
ップRの電極端子と実装領域上の外部端子との双方に接
触し、両者が導通した状態となり、この状態で加熱及び
加圧が解除されると、樹脂基材が硬化して導通状態が維
持される。
ら液晶パネルPの実装領域上に半導体チップRが加圧さ
れると、異方性導電フィルムQの樹脂基材は軟化して薄
肉化され、樹脂基材中に分散された導電粒子が半導体チ
ップRの電極端子と実装領域上の外部端子との双方に接
触し、両者が導通した状態となり、この状態で加熱及び
加圧が解除されると、樹脂基材が硬化して導通状態が維
持される。
【0035】このようにして本圧着処理が終了し、半導
体チップRが実装された液晶パネルPは搬出ユニット1
90の除材ロボット191によって除材テーブル184
からトレイ192上に移載され、搬出コンベア193に
よって搬出されていく。
体チップRが実装された液晶パネルPは搬出ユニット1
90の除材ロボット191によって除材テーブル184
からトレイ192上に移載され、搬出コンベア193に
よって搬出されていく。
【0036】[ACF貼着ユニットの全体構成]次に、
図5乃至図7を参照して上記のACF貼着ユニット15
0の全体構成について説明する。図5はACF貼着ユニ
ット150の全体構造を示す斜視図であり、図6はAC
F貼着ユニット150の全体構造を後述する3つの構造
部に分解して示す分解斜視図であり、図7はACF貼着
ユニット150の全体構造を示す正面図である。なお、
ユニットの正面とは、図8に示すインデックステーブル
Bに対向する側を言うものとする。
図5乃至図7を参照して上記のACF貼着ユニット15
0の全体構成について説明する。図5はACF貼着ユニ
ット150の全体構造を示す斜視図であり、図6はAC
F貼着ユニット150の全体構造を後述する3つの構造
部に分解して示す分解斜視図であり、図7はACF貼着
ユニット150の全体構造を示す正面図である。なお、
ユニットの正面とは、図8に示すインデックステーブル
Bに対向する側を言うものとする。
【0037】ACF貼着ユニット150においては、床
面に設置された基台1500の上に固定構造部1500
A及びその上に搭載された各機構部からなる回動ユニッ
ト部が水平方向に回動可能となるように搭載されてい
る。この回動ユニット部は通常、図5に示すロック15
03により基台1500の上に固定された状態となって
いるが、スイッチ1502を押すと図5に示すロック1
503が解除されるので、ハンドル1501を把持して
図示上方から見て反時計回りに回動ユニット部全体を略
90度回動させることができるようになる。
面に設置された基台1500の上に固定構造部1500
A及びその上に搭載された各機構部からなる回動ユニッ
ト部が水平方向に回動可能となるように搭載されてい
る。この回動ユニット部は通常、図5に示すロック15
03により基台1500の上に固定された状態となって
いるが、スイッチ1502を押すと図5に示すロック1
503が解除されるので、ハンドル1501を把持して
図示上方から見て反時計回りに回動ユニット部全体を略
90度回動させることができるようになる。
【0038】また、ACF貼着ユニット150は、通常
はそのユニット前面部が上述のインデックステーブルB
に向いた姿勢となっているが、上記の回動操作によって
インデックステーブルBからユニット前面部が離れて側
方へ向くことから、ユニット前面部に対して各種のメン
テナンス作業を容易に行うことができるようになってい
る。
はそのユニット前面部が上述のインデックステーブルB
に向いた姿勢となっているが、上記の回動操作によって
インデックステーブルBからユニット前面部が離れて側
方へ向くことから、ユニット前面部に対して各種のメン
テナンス作業を容易に行うことができるようになってい
る。
【0039】基台1500上に搭載された回動ユニット
部には、上記基台1500に対して回動可能ではある
が、上下方向に固定された固定構造部1500Aと、こ
の固定構造部1500Aに対して上下方向に摺動可能に
取り付けられた第1可動構造部1500Bと、固定構造
部1500Aに対して上下方向に摺動可能に取り付けら
れた第2可動構造部1500Cとが設けられている。こ
の回動ユニット部は、図7に示すように、供給材である
異方性導電フィルムの表裏両面に樹脂材料等からなるキ
ャリアテープ(離型紙)CT1,CT2を貼着させてな
るテープ材TPを用いて、図8に示す液晶パネルPに異
方性導電フィルムQを貼り付けるための構造を備えてい
る。
部には、上記基台1500に対して回動可能ではある
が、上下方向に固定された固定構造部1500Aと、こ
の固定構造部1500Aに対して上下方向に摺動可能に
取り付けられた第1可動構造部1500Bと、固定構造
部1500Aに対して上下方向に摺動可能に取り付けら
れた第2可動構造部1500Cとが設けられている。こ
の回動ユニット部は、図7に示すように、供給材である
異方性導電フィルムの表裏両面に樹脂材料等からなるキ
ャリアテープ(離型紙)CT1,CT2を貼着させてな
るテープ材TPを用いて、図8に示す液晶パネルPに異
方性導電フィルムQを貼り付けるための構造を備えてい
る。
【0040】第1可動構造部1500Bには、後述する
貼付機構1510の図示左隣に配置された剥離機構15
20と、テープ材TPを架設方向に間欠駆動するための
送り機構1530と、送り機構1530の先に配置され
たテンション付与機構1540とが取り付けられてい
る。
貼付機構1510の図示左隣に配置された剥離機構15
20と、テープ材TPを架設方向に間欠駆動するための
送り機構1530と、送り機構1530の先に配置され
たテンション付与機構1540とが取り付けられてい
る。
【0041】剥離機構1520には、テープ材TPの架
設方向(図示左右方向)に移動可能に構成された剥離ヘ
ッド1521が設けられている。
設方向(図示左右方向)に移動可能に構成された剥離ヘ
ッド1521が設けられている。
【0042】送り機構1530は、テープ材TPの後述
するキャリアテープCT2を上下から把持する把持ヘッ
ド1531と、この把持ヘッド1531を図示左右方向
に駆動する駆動機構とを有する。把持ヘッド1531
は、テープ材TPの給材側(図示右側)に移動してキャ
リアテープCT2を把持し、そのままテープ材TPの排
材側(図示左側)に移動してテープ材TPを排材側へ送
り、その後、キャリアテープCT2を解放して再び給材
側に復帰するという一連の動作をサイクル毎に繰り返す
ようになっている。
するキャリアテープCT2を上下から把持する把持ヘッ
ド1531と、この把持ヘッド1531を図示左右方向
に駆動する駆動機構とを有する。把持ヘッド1531
は、テープ材TPの給材側(図示右側)に移動してキャ
リアテープCT2を把持し、そのままテープ材TPの排
材側(図示左側)に移動してテープ材TPを排材側へ送
り、その後、キャリアテープCT2を解放して再び給材
側に復帰するという一連の動作をサイクル毎に繰り返す
ようになっている。
【0043】上記テンション付与機構1540は、キャ
リアテープCT2に対して送り方向に一定の張力を付与
するテンションローラ1541を有する。テンションロ
ーラ1541は常に図示下方に付勢されていて、キャリ
アテープCT2に対して排材側へ一定の張力を付与する
ようになっている。
リアテープCT2に対して送り方向に一定の張力を付与
するテンションローラ1541を有する。テンションロ
ーラ1541は常に図示下方に付勢されていて、キャリ
アテープCT2に対して排材側へ一定の張力を付与する
ようになっている。
【0044】第2可動構造部1500Cには、テープ材
TPを上方から吸引保持することにより所定経路上にテ
ープ材TPを案内するための案内保持機構1550と、
案内保持機構1550によって保持されたテープ材TP
に対して異方性導電フィルムのみを一定間隔でカットす
るためのカットヘッド1561をテープ材TPの移送経
路に対して出没可能に構成するフィルムカット機構15
60とが取り付けられている。
TPを上方から吸引保持することにより所定経路上にテ
ープ材TPを案内するための案内保持機構1550と、
案内保持機構1550によって保持されたテープ材TP
に対して異方性導電フィルムのみを一定間隔でカットす
るためのカットヘッド1561をテープ材TPの移送経
路に対して出没可能に構成するフィルムカット機構15
60とが取り付けられている。
【0045】固定構造部1500Aには、テープ材TP
を液晶パネルPの実装領域上に貼り付けるための貼付機
構1510と、第1可動構造部1500Bを昇降させる
ための昇降駆動機構1580とが設けられている。
を液晶パネルPの実装領域上に貼り付けるための貼付機
構1510と、第1可動構造部1500Bを昇降させる
ための昇降駆動機構1580とが設けられている。
【0046】貼付機構1510には、上記のインデック
ステーブルBに取り付けられたパネル保持部C上に保持
された液晶パネルPに対して、上方より降下してテープ
材TPを押し付けるための加圧ヘッド1511と、この
加圧ヘッド1511を昇降させるための駆動部1512
とが設けられている。
ステーブルBに取り付けられたパネル保持部C上に保持
された液晶パネルPに対して、上方より降下してテープ
材TPを押し付けるための加圧ヘッド1511と、この
加圧ヘッド1511を昇降させるための駆動部1512
とが設けられている。
【0047】第1可動構造部1500Bには側方へ突出
した下側係合部1500bが設けられ、この下側係合部
1500bは、第2可動構造部1500Cに設けられた
上側取付部1500cに取り付けられた上側係合軸15
00dの下端に対向している。上側係合軸1500d
は、螺合構造などによって、上側取付部1500cに対
する取付高さを調整することができるように構成されて
いる。ここで、上側係合軸1500dの下端が常に下側
係合部1500bに当接する状態に調整しておくと、上
記昇降駆動機構1580によって第1可動構造部150
0Bが昇降するとき、第2可動構造部1500Cもまた
共に昇降する。
した下側係合部1500bが設けられ、この下側係合部
1500bは、第2可動構造部1500Cに設けられた
上側取付部1500cに取り付けられた上側係合軸15
00dの下端に対向している。上側係合軸1500d
は、螺合構造などによって、上側取付部1500cに対
する取付高さを調整することができるように構成されて
いる。ここで、上側係合軸1500dの下端が常に下側
係合部1500bに当接する状態に調整しておくと、上
記昇降駆動機構1580によって第1可動構造部150
0Bが昇降するとき、第2可動構造部1500Cもまた
共に昇降する。
【0048】一方、第1可動構造部1500B及び第2
可動構造部1500Cが共に最下位置にあるとき、上側
係合軸1500dの下端と、下側係合部1500bとの
間に間隔が存在するように調整しておくと、昇降駆動機
構1580により第1可動構造部1500Bが上昇し始
めてからしばらく経過した時点で、下側係合部1500
bが上側係合軸1500dに当接し、その後は第2可動
構造部1500Cも共に上昇していく。したがって、後
述する液晶パネルP上に貼り付けられた異方性導電フィ
ルムからキャリアテープを剥離するときに、その異方性
導電フィルムに対して当初はキャリアテープの排材側の
部分のみを上昇させ、しばらくしてから供給側の部分を
上昇させていくことが可能となる。そして、このような
動作によって、キャリアテープを排材側から剥離させ、
その後、給材側についても剥離するという方法でキャリ
アテープを異方性導電フィルムから剥離させることも可
能である。すなわち、このACF貼付ユニット150に
おいては、後述する本実施形態の剥離機構による剥離方
法と、テープ材TPの排材側部分を保持する第1可動構
造部1500Bと、テープ材TPの供給側部分を保持す
る第2可動構造部1500Cとの時間差を有する上昇動
作による剥離方法とを、自由に選択して用いることが可
能になっている。
可動構造部1500Cが共に最下位置にあるとき、上側
係合軸1500dの下端と、下側係合部1500bとの
間に間隔が存在するように調整しておくと、昇降駆動機
構1580により第1可動構造部1500Bが上昇し始
めてからしばらく経過した時点で、下側係合部1500
bが上側係合軸1500dに当接し、その後は第2可動
構造部1500Cも共に上昇していく。したがって、後
述する液晶パネルP上に貼り付けられた異方性導電フィ
ルムからキャリアテープを剥離するときに、その異方性
導電フィルムに対して当初はキャリアテープの排材側の
部分のみを上昇させ、しばらくしてから供給側の部分を
上昇させていくことが可能となる。そして、このような
動作によって、キャリアテープを排材側から剥離させ、
その後、給材側についても剥離するという方法でキャリ
アテープを異方性導電フィルムから剥離させることも可
能である。すなわち、このACF貼付ユニット150に
おいては、後述する本実施形態の剥離機構による剥離方
法と、テープ材TPの排材側部分を保持する第1可動構
造部1500Bと、テープ材TPの供給側部分を保持す
る第2可動構造部1500Cとの時間差を有する上昇動
作による剥離方法とを、自由に選択して用いることが可
能になっている。
【0049】テープ材TPは予め供給リール1571に
巻回されており、この供給リール1571から引き出さ
れて分離ユニット1572にて異方性導電フィルムQの
片側に貼着されたキャリアテープCT1を剥離し、キャ
リアテープCT1は回収リール1573に巻き取られる
ようになっている。キャリアテープCT1が剥離された
テープ材TPは、上記の案内保持機構1550を通過し
て貼付機構1510の貼付ヘッド1511の直下を通過
する。この部分で異方性導電フィルムQは液晶パネルP
に貼着され、残されたキャリアテープCT2は、剥離機
構1520の剥離ヘッド1521に設けられた押えロー
ラ1522及び剥離ローラ1523を通過して上記把持
ヘッド1531の間を通過し、さらに上記テンションロ
ーラ1541を経て、吸引管1574に吸引される。吸
引管1574はエジェクター1575に接続され、その
先端から空気を吸引するように構成されている。この吸
引管1574によってキャリアテープCT2は吸引さ
れ、図示しない回収容器内に回収される。
巻回されており、この供給リール1571から引き出さ
れて分離ユニット1572にて異方性導電フィルムQの
片側に貼着されたキャリアテープCT1を剥離し、キャ
リアテープCT1は回収リール1573に巻き取られる
ようになっている。キャリアテープCT1が剥離された
テープ材TPは、上記の案内保持機構1550を通過し
て貼付機構1510の貼付ヘッド1511の直下を通過
する。この部分で異方性導電フィルムQは液晶パネルP
に貼着され、残されたキャリアテープCT2は、剥離機
構1520の剥離ヘッド1521に設けられた押えロー
ラ1522及び剥離ローラ1523を通過して上記把持
ヘッド1531の間を通過し、さらに上記テンションロ
ーラ1541を経て、吸引管1574に吸引される。吸
引管1574はエジェクター1575に接続され、その
先端から空気を吸引するように構成されている。この吸
引管1574によってキャリアテープCT2は吸引さ
れ、図示しない回収容器内に回収される。
【0050】図3は本発明に係るキャリアテープの剥離
機構に相当する剥離機構1520の構造を背後から見た
様子を示す斜視図である。剥離機構1520は、押えロ
ーラ1522及び剥離ローラ1523を前面に回転自在
に取り付けた剥離ヘッド1521と、この剥離ヘッド1
521の背面に回転自在に取り付けられたカムローラ1
524と、その一端部においてカムローラ1524に係
合した回動アーム1525と、回動アーム1525の他
端部を駆動するように設けられた駆動モータ1526
と、剥離ヘッド1521を上記テープ材TPの架設方向
と平行に、直線的に案内する直線案内部材1527とを
備えている。
機構に相当する剥離機構1520の構造を背後から見た
様子を示す斜視図である。剥離機構1520は、押えロ
ーラ1522及び剥離ローラ1523を前面に回転自在
に取り付けた剥離ヘッド1521と、この剥離ヘッド1
521の背面に回転自在に取り付けられたカムローラ1
524と、その一端部においてカムローラ1524に係
合した回動アーム1525と、回動アーム1525の他
端部を駆動するように設けられた駆動モータ1526
と、剥離ヘッド1521を上記テープ材TPの架設方向
と平行に、直線的に案内する直線案内部材1527とを
備えている。
【0051】この剥離機構1520においては、駆動モ
ータ1526は図示矢印で示すように約100〜150
度の角度範囲で往復回動するように制御され、それに伴
って回動アーム1525もまた同じ角度範囲で往復回動
する。カムローラ1524と回動アーム1525とはア
ーム長手方向に摺動自在に係合しており、回動アーム1
525が往復回動すると、カムローラ1524を介して
剥離ヘッド1521が直線案内部材1527の案内方向
に直線的に往復動作する。このとき、回動アーム152
5の回動軸線、すなわち、駆動モータ1526の出力軸
線は、剥離ヘッド1521の往復動作範囲における略中
央位置の直下に位置するように構成されている。このた
め、回動アーム1525の回動速度が全角度範囲に亘っ
てほぼ等しい(実際には回動アーム1525の回動方向
が反転する回動限界の近傍において駆動モータ1526
の駆動速度は回動限界位置に向かって漸減するが、駆動
モータ1526の加速度及び減速度が十分に大きけれ
ば、回動アーム1525の回動速度がほぼ一定であると
みなすことができる。)としても、剥離ヘッド1521
の往復動作において、往復動作範囲の略中央位置では剥
離ヘッド1521の移動方向(すなわち直線案内部材1
527による案内方向)が回動アーム1525の回動方
向と等しくなるので高速に動作し、往復動作範囲の両端
位置では剥離ヘッド1521の移動方向と回動アーム1
525の回動方向とは所定の角度を有することとなるの
で低速になる。
ータ1526は図示矢印で示すように約100〜150
度の角度範囲で往復回動するように制御され、それに伴
って回動アーム1525もまた同じ角度範囲で往復回動
する。カムローラ1524と回動アーム1525とはア
ーム長手方向に摺動自在に係合しており、回動アーム1
525が往復回動すると、カムローラ1524を介して
剥離ヘッド1521が直線案内部材1527の案内方向
に直線的に往復動作する。このとき、回動アーム152
5の回動軸線、すなわち、駆動モータ1526の出力軸
線は、剥離ヘッド1521の往復動作範囲における略中
央位置の直下に位置するように構成されている。このた
め、回動アーム1525の回動速度が全角度範囲に亘っ
てほぼ等しい(実際には回動アーム1525の回動方向
が反転する回動限界の近傍において駆動モータ1526
の駆動速度は回動限界位置に向かって漸減するが、駆動
モータ1526の加速度及び減速度が十分に大きけれ
ば、回動アーム1525の回動速度がほぼ一定であると
みなすことができる。)としても、剥離ヘッド1521
の往復動作において、往復動作範囲の略中央位置では剥
離ヘッド1521の移動方向(すなわち直線案内部材1
527による案内方向)が回動アーム1525の回動方
向と等しくなるので高速に動作し、往復動作範囲の両端
位置では剥離ヘッド1521の移動方向と回動アーム1
525の回動方向とは所定の角度を有することとなるの
で低速になる。
【0052】テープ材TPは、給材側(図示右側)にお
いて第2可動構造部1500Cに取り付けられた上記案
内保持機構1550により、また、排材側(図示左側)
において第1可動構造部1500Bに取り付けられたロ
ーラにより、それぞれ保持された状態で架設されてい
る。図1は、上記貼付機構1510及び剥離機構152
0並びにパネル保持部Cをユニット正面から見た様子
を、テープ材TPとともに示す正面図である。上述のよ
うに、駆動モータ1526の出力軸1526aを中心と
する回動アーム1525の往復回動動作によって、剥離
ヘッド1521がテープ材TPの架設方向(図示左右方
向)に直線的に移動する様子が図1に示されている。イ
ンデックステーブルBにおける指定位置B2にパネル保
持部Cが位置決めされたとき、パネル保持部Cはちょう
ど貼付機構1510の加圧ヘッド1511の直下に位置
するように構成されている。図示部分において、テープ
材TPのキャリアテープCT2は、加圧ヘッド1511
の直下を通過し、その先において上面が押えローラ15
22に接触した後に上方へ屈曲し、剥離ローラ1523
に下面が接触して再び水平方向に伸びている。キャリア
テープCT2の下面には、上記のフィルムカット機構1
560のカットヘッド1561によって所定の長さに切
断された異方性導電フィルムQが、テープ材TPの架設
方向に向けて溶断部分に相当する間隔をもって貼着され
ている。
いて第2可動構造部1500Cに取り付けられた上記案
内保持機構1550により、また、排材側(図示左側)
において第1可動構造部1500Bに取り付けられたロ
ーラにより、それぞれ保持された状態で架設されてい
る。図1は、上記貼付機構1510及び剥離機構152
0並びにパネル保持部Cをユニット正面から見た様子
を、テープ材TPとともに示す正面図である。上述のよ
うに、駆動モータ1526の出力軸1526aを中心と
する回動アーム1525の往復回動動作によって、剥離
ヘッド1521がテープ材TPの架設方向(図示左右方
向)に直線的に移動する様子が図1に示されている。イ
ンデックステーブルBにおける指定位置B2にパネル保
持部Cが位置決めされたとき、パネル保持部Cはちょう
ど貼付機構1510の加圧ヘッド1511の直下に位置
するように構成されている。図示部分において、テープ
材TPのキャリアテープCT2は、加圧ヘッド1511
の直下を通過し、その先において上面が押えローラ15
22に接触した後に上方へ屈曲し、剥離ローラ1523
に下面が接触して再び水平方向に伸びている。キャリア
テープCT2の下面には、上記のフィルムカット機構1
560のカットヘッド1561によって所定の長さに切
断された異方性導電フィルムQが、テープ材TPの架設
方向に向けて溶断部分に相当する間隔をもって貼着され
ている。
【0053】次に、図2及び図3を参照して本発明に係
る貼付機構及び剥離機構の動作について説明する。ま
ず、剥離ヘッド1521は当初、図2(a)に示すよう
に加圧ヘッド1511の下方から退避するように図示左
側に配置されており、このとき、予め上記第1可動構造
部1500B及び第2可動構造部1500Cは固定構造
部1500A上において共にある程度上方に移動した状
態となっており、その結果、テープ材TPと液晶パネル
Pの実装領域の表面との間には僅かな間隙が存在してい
る。また、パネル保持部C上に保持された液晶パネルP
の実装領域の上方には、キャリアテープCT2の最も排
材側に貼着された異方性導電フィルムQが配置されてい
る。
る貼付機構及び剥離機構の動作について説明する。ま
ず、剥離ヘッド1521は当初、図2(a)に示すよう
に加圧ヘッド1511の下方から退避するように図示左
側に配置されており、このとき、予め上記第1可動構造
部1500B及び第2可動構造部1500Cは固定構造
部1500A上において共にある程度上方に移動した状
態となっており、その結果、テープ材TPと液晶パネル
Pの実装領域の表面との間には僅かな間隙が存在してい
る。また、パネル保持部C上に保持された液晶パネルP
の実装領域の上方には、キャリアテープCT2の最も排
材側に貼着された異方性導電フィルムQが配置されてい
る。
【0054】次に、テープ材TPが停止した状態におい
て、第1可動構造部1500B及び第2可動構造部15
00Cは共に下方へ移動し、図2(b)に示すように、
テープ材TPの下面にある異方性導電フィルムQが液晶
パネルPにほぼ接触する位置まで下降する。そして、加
圧ヘッド1511が降下してテープ材TPを液晶パネル
Pに押し付けるように加圧し、異方性導電フィルムQを
液晶パネルPの実装領域の表面上に貼着する。
て、第1可動構造部1500B及び第2可動構造部15
00Cは共に下方へ移動し、図2(b)に示すように、
テープ材TPの下面にある異方性導電フィルムQが液晶
パネルPにほぼ接触する位置まで下降する。そして、加
圧ヘッド1511が降下してテープ材TPを液晶パネル
Pに押し付けるように加圧し、異方性導電フィルムQを
液晶パネルPの実装領域の表面上に貼着する。
【0055】次に、加圧ヘッド1511が上昇した後、
図3(a)に示すように、剥離ヘッド1521がテープ
材TPの架設方向の給材側(図示右側)に移動し、これ
に付随して、押えローラ1522から剥離ローラ152
3へと向かうキャリアテープCT2の立ち上がり部分
(すなわち剥離箇所)が給材側へ移動していくことによ
りキャリアテープCT2が異方性導電フィルムQから剥
離されていく。液晶パネルP上に貼着された異方性導電
フィルムQからキャリアテープCT2が完全に剥離され
ると、第1可動構造部1500B及び第2可動構造部1
500Cとが共に上方へ移動することにより、図3
(b)に示すように、剥離ヘッド1521及びテープ材
TPは上方へ移動して液晶パネルPから離れる。そし
て、剥離ヘッド1521は方向を反転させてテープ材T
Pの架設方向の排材側(図示左側)に移動し、このとき
テープ材TPは、次の異方性導電フィルムQが液晶パネ
ルPの直上位置にくるように上記の送り機構1530に
よって送られる。また、上記の異方性導電フィルムQが
貼着された液晶パネルPは、インデックステーブルBの
回転によって次の指定位置B3へと送られ、代わりに新
たな液晶パネルPが加圧ヘッド1511の直下位置に移
動してくることによって図2(a)に示す当初の状態に
復帰する。以後、上記の動作は装置の1サイクル毎に繰
り返し実行される。
図3(a)に示すように、剥離ヘッド1521がテープ
材TPの架設方向の給材側(図示右側)に移動し、これ
に付随して、押えローラ1522から剥離ローラ152
3へと向かうキャリアテープCT2の立ち上がり部分
(すなわち剥離箇所)が給材側へ移動していくことによ
りキャリアテープCT2が異方性導電フィルムQから剥
離されていく。液晶パネルP上に貼着された異方性導電
フィルムQからキャリアテープCT2が完全に剥離され
ると、第1可動構造部1500B及び第2可動構造部1
500Cとが共に上方へ移動することにより、図3
(b)に示すように、剥離ヘッド1521及びテープ材
TPは上方へ移動して液晶パネルPから離れる。そし
て、剥離ヘッド1521は方向を反転させてテープ材T
Pの架設方向の排材側(図示左側)に移動し、このとき
テープ材TPは、次の異方性導電フィルムQが液晶パネ
ルPの直上位置にくるように上記の送り機構1530に
よって送られる。また、上記の異方性導電フィルムQが
貼着された液晶パネルPは、インデックステーブルBの
回転によって次の指定位置B3へと送られ、代わりに新
たな液晶パネルPが加圧ヘッド1511の直下位置に移
動してくることによって図2(a)に示す当初の状態に
復帰する。以後、上記の動作は装置の1サイクル毎に繰
り返し実行される。
【0056】本実施形態では、剥離動作時において、駆
動モータ1526の出力軸1526aがほぼ一定の回動
速度で回動し、その結果、回動アーム1525もまた、
ほぼ一定の回動速度で回動するのに対し、剥離ヘッド1
521は回動アーム1525の回動動作に従うものの、
直線的に移動するように構成されている。したがって、
剥離ヘッド1521の移動速度は、移動開始時及び移動
終了時には遅く、移動中途時には速く、そして回動アー
ム1525の先端がその回動軸線の直上位置にあるとき
に最も速くなる。その結果、液晶パネルP上に貼着され
ている異方性導電フィルムQからキャリアテープCT2
を剥離させる際の剥離開始時及び剥離終了時には剥離ヘ
ッド1521による剥離速度は遅くなることによって異
方性導電フィルムQの剥がれが生じにくくなると共に剥
離動作を円滑に行うことができ、また、回動アーム15
25の先端が回動軸線の直上位置に接近する剥離動作の
中途時には剥離速度は速くなるので、迅速に剥離作業を
実施することができるから、機械のサイクルタイムの増
大を抑制することができる。
動モータ1526の出力軸1526aがほぼ一定の回動
速度で回動し、その結果、回動アーム1525もまた、
ほぼ一定の回動速度で回動するのに対し、剥離ヘッド1
521は回動アーム1525の回動動作に従うものの、
直線的に移動するように構成されている。したがって、
剥離ヘッド1521の移動速度は、移動開始時及び移動
終了時には遅く、移動中途時には速く、そして回動アー
ム1525の先端がその回動軸線の直上位置にあるとき
に最も速くなる。その結果、液晶パネルP上に貼着され
ている異方性導電フィルムQからキャリアテープCT2
を剥離させる際の剥離開始時及び剥離終了時には剥離ヘ
ッド1521による剥離速度は遅くなることによって異
方性導電フィルムQの剥がれが生じにくくなると共に剥
離動作を円滑に行うことができ、また、回動アーム15
25の先端が回動軸線の直上位置に接近する剥離動作の
中途時には剥離速度は速くなるので、迅速に剥離作業を
実施することができるから、機械のサイクルタイムの増
大を抑制することができる。
【0057】尚、本発明のキャリアテープの剥離機構
は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得
ることは勿論である。
は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得
ることは勿論である。
【0058】例えば、上記実施形態では剥離ヘッド15
21に押えローラ1522を取り付けているが、この押
えローラ1522を設けることなく、剥離ローラ152
3のみでキャリアテープを剥離することも可能である。
21に押えローラ1522を取り付けているが、この押
えローラ1522を設けることなく、剥離ローラ152
3のみでキャリアテープを剥離することも可能である。
【0059】また、上記実施形態では剥離ヘッド152
1の移動速度が異方性導電フィルムQの架設方向に見た
中間位置において最も速くなるように構成されている
が、必ずしもこのように構成されている必要はなく、異
方性導電フィルムが液晶パネルPの実装領域から最も剥
がれやすいのは剥離が開始される異方性導電フィルムQ
の先端部(図示左端部)であるので、異方性導電フィル
ムQの先端部において剥離速度が低くなるように構成さ
れていればよい。したがって、回動アーム1525の先
端が回動軸線の真上にあるとき、すなわち、最も剥離ヘ
ッド1521の移動速度が高くなるときの剥離箇所が、
異方性導電フィルムQの先端部よりも給材側に多少でも
ずれているように構成されていればよい。
1の移動速度が異方性導電フィルムQの架設方向に見た
中間位置において最も速くなるように構成されている
が、必ずしもこのように構成されている必要はなく、異
方性導電フィルムが液晶パネルPの実装領域から最も剥
がれやすいのは剥離が開始される異方性導電フィルムQ
の先端部(図示左端部)であるので、異方性導電フィル
ムQの先端部において剥離速度が低くなるように構成さ
れていればよい。したがって、回動アーム1525の先
端が回動軸線の真上にあるとき、すなわち、最も剥離ヘ
ッド1521の移動速度が高くなるときの剥離箇所が、
異方性導電フィルムQの先端部よりも給材側に多少でも
ずれているように構成されていればよい。
【0060】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
剥離開始時には剥離速度を遅くし、剥離が一旦開始され
た後には剥離速度を増大させることによってスムーズに
剥離動作を行うことができるなど、制御系を用いること
なく剥離速度を制御することが可能になるため、例えば
供給材が他の部材に貼着されている場合に供給材の先端
部が剥がれてしまう事故を防止できるとともに、剥離動
作の遅速化を抑制することができる。また、係合位置が
動径方向に移動可能となるように回動部材に対して剥離
部を係合させるだけでよいため、きわめて簡易な機構に
より構成することができるとともに、駆動源として安価
なモータ等を用いることができ、しかも、剥離部の移動
速度の制御を行う必要もないことから、設備コストを低
減することができる。
剥離開始時には剥離速度を遅くし、剥離が一旦開始され
た後には剥離速度を増大させることによってスムーズに
剥離動作を行うことができるなど、制御系を用いること
なく剥離速度を制御することが可能になるため、例えば
供給材が他の部材に貼着されている場合に供給材の先端
部が剥がれてしまう事故を防止できるとともに、剥離動
作の遅速化を抑制することができる。また、係合位置が
動径方向に移動可能となるように回動部材に対して剥離
部を係合させるだけでよいため、きわめて簡易な機構に
より構成することができるとともに、駆動源として安価
なモータ等を用いることができ、しかも、剥離部の移動
速度の制御を行う必要もないことから、設備コストを低
減することができる。
【図1】本発明に係るキャリアテープの剥離機構の実施
形態においてその動作を説明するための概略構成を示す
概略構成図である。
形態においてその動作を説明するための概略構成を示す
概略構成図である。
【図2】同実施形態における液晶パネルへの異方性導電
フィルムの貼着前の状態を示す状態説明図(a)及び異
方性導電フィルムの貼着時の状態を示す状態説明図
(b)である。
フィルムの貼着前の状態を示す状態説明図(a)及び異
方性導電フィルムの貼着時の状態を示す状態説明図
(b)である。
【図3】同実施形態における、液晶パネル上に貼着され
た異方性導電フィルムからキャリアテープを剥離してい
る状態を示す状態説明図(a)及びキャリアテープの剥
離が完了した後の状態を示す状態説明図(b)である。
た異方性導電フィルムからキャリアテープを剥離してい
る状態を示す状態説明図(a)及びキャリアテープの剥
離が完了した後の状態を示す状態説明図(b)である。
【図4】同実施形態における剥離機構の全体構成を背後
から示す後方斜視図である。
から示す後方斜視図である。
【図5】同実施形態における剥離機構を搭載したACF
貼着ユニットの全体構成を示す概略斜視図である。
貼着ユニットの全体構成を示す概略斜視図である。
【図6】同実施形態における剥離機構を搭載したACF
貼着ユニットの全体構成を3つの構造部に分解して示す
概略分解斜視図である。
貼着ユニットの全体構成を3つの構造部に分解して示す
概略分解斜視図である。
【図7】同実施形態における剥離機構を搭載したACF
貼着ユニットの全体構成を示す概略正面図である。
貼着ユニットの全体構成を示す概略正面図である。
【図8】上記ACF貼着ユニットを有する、液晶パネル
へ液晶ドライバICを実装する実装装置の全体構成を示
す概略構成図である。
へ液晶ドライバICを実装する実装装置の全体構成を示
す概略構成図である。
100 実装装置 150 ACF貼着ユニット 1500A 固定構造部 1500B 第1可動構造部 1500C 第2可動構造部 1510 貼付機構 1511 加圧ヘッド 1520 剥離機構 1521 剥離ヘッド 1522 押えローラ 1523 剥離ローラ 1524 カムローラ 1525 回動アーム 1526 駆動モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大草 隆 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 2H088 EA02 FA16 FA17 FA18 FA30 MA20 2H092 GA49 GA51 MA32 MA35 NA27 3F108 JA03 5E319 AC01 BB16 CC61 CD26 GG15
Claims (7)
- 【請求項1】 キャリアテープと、該キャリアテープに
担持された供給材とを有するテープ材を所定方向に架設
し、前記供給材から前記キャリアテープを引き離すため
の剥離部を前記テープ体の架設方向に移動させることに
より、前記キャリアテープを前記供給材から剥離させる
剥離箇所が前記架設方向に移動して剥離動作が進むよう
に構成されたキャリアテープの剥離機構であって、 駆動源に駆動されることにより前記キャリアテープの幅
方向に伸びる軸線周りに回動する回動部材を有し、 前記剥離部は、係合位置が前記回動部材の回動動作の動
径方向に移動可能となるように前記回動部材に対して係
合されているとともに、少なくともその剥離動作中にお
いて前記回動部材の回動動作に従って前記テープ材の架
設方向に直線的に移動するように案内されていることを
特徴とするキャリアテープの剥離機構。 - 【請求項2】 請求項1において、前記剥離箇所が剥離
動作の開始される前記供給材の先端部よりも前記剥離部
の移動側にずれた位置にあるときに、前記回動部材の回
動方向が前記剥離部の移動方向に一致するように、前記
回動部材の回動軸線が配置されていることを特徴とする
キャリアテープの剥離機構。 - 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、前記供
給材は前記架設方向に一定の長さを有し、前記剥離箇所
が前記供給材の長さ方向の略中間位置にあるときに前記
回動部材の回動方向が前記剥離部の移動方向に一致する
ように構成されていることを特徴とするキャリアテープ
の剥離機構。 - 【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に
おいて、前記剥離部は、前記キャリアテープにおける前
記供給材を担持する側の表面に接触して前記キャリアテ
ープを前記供給材から引き離す方向に案内する剥離部材
と、該剥離部材よりも剥離動作時における前記剥離部の
移動先の側において前記キャリアテープの前記表面とは
反対の面に接触する押え部材とを有することを特徴とす
るキャリアテープの剥離機構。 - 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に
おいて、前記回動部材は、その回動端が前記回動軸線よ
りも前記テープ材側にある回動範囲内において往復回動
するように構成されていることを特徴とするキャリアテ
ープの剥離機構。 - 【請求項6】 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に
記載されたキャリアテープの剥離機構と、前記供給材を
所定の被着部材に貼付するための貼付機構とを備え、 前記供給材は粘着性を有するものであり、 前記貼付機構が前記供給材を前記被着部材へ貼り付けた
後に、前記剥離機構が、前記貼付機構による貼り付けに
よって固定された前記供給材から前記キャリアテープを
剥離するように構成されていることを特徴とする供給材
の貼付装置。 - 【請求項7】 請求項6において、前記供給材は異方性
導電膜であることを特徴とする供給材の貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000003938A JP2001199626A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000003938A JP2001199626A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001199626A true JP2001199626A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18532796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000003938A Withdrawn JP2001199626A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001199626A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007139090A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Fujifilm Corporation | 外層体の剥離方法及び剥離装置 |
JP2010225923A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Shibaura Mechatronics Corp | 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 |
JP2011014790A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | Acf貼付装置及び貼付方法 |
JP2012017204A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Shibaura Mechatronics Corp | 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 |
JP2012234916A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Sony Corp | 貼り合わせ装置 |
CN106882619A (zh) * | 2017-04-26 | 2017-06-23 | 长兴水木机电有限公司 | 一种无纬布连续式加工生产线 |
CN107215075A (zh) * | 2016-03-21 | 2017-09-29 | 苏州达翔新材料有限公司 | 一种背胶自动贴合机及自动贴合方法 |
CN108054104A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-05-18 | 东莞领杰金属精密制造科技有限公司 | 3c产品颗粒小件自动化贴微小辅料组装设备 |
-
2000
- 2000-01-12 JP JP2000003938A patent/JP2001199626A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007139090A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Fujifilm Corporation | 外層体の剥離方法及び剥離装置 |
JP2007320678A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Fujifilm Corp | 外層体の剥離方法及び剥離装置 |
CN101460382B (zh) * | 2006-05-30 | 2012-05-23 | 富士胶片株式会社 | 外层体的剥离方法及剥离装置 |
JP2010225923A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Shibaura Mechatronics Corp | 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 |
JP2011014790A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | Acf貼付装置及び貼付方法 |
JP2012017204A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Shibaura Mechatronics Corp | 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 |
JP2012234916A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Sony Corp | 貼り合わせ装置 |
CN107215075A (zh) * | 2016-03-21 | 2017-09-29 | 苏州达翔新材料有限公司 | 一种背胶自动贴合机及自动贴合方法 |
CN106882619A (zh) * | 2017-04-26 | 2017-06-23 | 长兴水木机电有限公司 | 一种无纬布连续式加工生产线 |
CN108054104A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-05-18 | 东莞领杰金属精密制造科技有限公司 | 3c产品颗粒小件自动化贴微小辅料组装设备 |
CN108054104B (zh) * | 2018-01-22 | 2024-04-26 | 东莞领杰金属精密制造科技有限公司 | 3c产品颗粒小件自动化贴微小辅料组装设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5894657A (en) | Mounting apparatus for electronic component | |
US7938930B2 (en) | Support board separating apparatus, and support board separating method using the same | |
US6618937B2 (en) | Method of assembling electronic applications and display devices | |
US7220922B2 (en) | Electronic component, component mounting equipment, and component mounting method | |
JP4370341B2 (ja) | Acf貼り付け装置 | |
TW200809996A (en) | ACF attachment device and ACF attachment method | |
JP2004149293A (ja) | 剥離方法、剥離装置、剥離・貼付方法および剥離・貼付装置 | |
JPH1062804A (ja) | 液晶実装方法及び装置 | |
JP2009080294A (ja) | テープ貼付け装置及び平面表示装置の製造方法 | |
JP2001199626A (ja) | キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 | |
JP2005303180A (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 | |
US20040129364A1 (en) | Bonding method | |
JP3275744B2 (ja) | ワークの熱圧着装置 | |
JP2001220057A (ja) | キャリアテープの剥離機構及びこれを用いた供給材の貼付装置 | |
KR101148322B1 (ko) | 전자 부품 실장 장치 및 실장 방법 | |
JPH08133560A (ja) | 粘着性テープ片の貼着装置および貼着方法 | |
JPH08114812A (ja) | 液晶パネル製造装置 | |
JPH0675199A (ja) | 液晶パネル製造装置、位置決め装置および加工装置 | |
JP3570126B2 (ja) | チップの実装装置 | |
JP4708896B2 (ja) | 粘着性テープの貼着装置及び貼着方法 | |
JP2001308149A (ja) | Fpc用半導体実装装置及び方法 | |
JP2001246299A (ja) | ぺースト塗布方法および実装装置 | |
JP2003012222A (ja) | 粘着テープの貼付装置及び貼付方法 | |
JPH09186193A (ja) | 電子部品の実装方法およびその装置 | |
CN217047491U (zh) | 贴膜治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070403 |