JP2001189132A - 交流駆動型のプラズマ表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】隔壁の間隔が狭くなっても、効率の良い発光を
達成することができ、放電開始電圧や放電維持電圧が高
くなることが無く、絶縁破壊や異常放電が発生し難いプ
ラズマ表示装置を提供する。 【解決手段】交流駆動型のプラズマ表示装置は、（イ）
第１の基板１１と、第１の基板１１の表面に設けられた
複数の第１の電極から構成された第１の電極群と、第１
の電極群上を含む第１の基板上に形成された保護層１４
とから成る第１のパネル、及び、（ロ）第２の基板２１
と、第２の基板の上方に設けられた蛍光体層２４と、第
１の電極１１の延びる方向と所定の角度を成して延び、
隣接する蛍光体層２４の間に設けられた隔壁２５とから
成る第２のパネルを有し、対向する一対の第１の電極１
２Ａ，１２Ｂの間で放電を生じさせ、対向する一対の第
１の電極１２Ａ，１２Ｂの間の第１の基板１１には凹部
３１が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、交流駆動型のプラ
ズマ表示装置及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる
画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロル
ミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置
（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。

【０００３】プラズマ表示装置は、希ガスを封入した放
電セルに電圧を印加して、希ガス中でのグロー放電に基
づき発生した紫外線で放電セル内の蛍光体層を励起する
ことによって発光を得る表示装置である。つまり、個々
の放電セルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放電セ
ルが、通常、数十万個のオーダーで集合して１つの表示
画面が構成されている。プラズマ表示装置は、放電セル
への電圧の印加方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交
流駆動型（ＡＣ型）とに大別され、それぞれ一長一短を
有する。ＡＣ型プラズマ表示装置は、表示画面内で個々
の放電セルを仕切る役割を果たす隔壁を例えばストライ
プ状に形成すればよいので、高精細化に適している。し
かも、電極の表面が誘電体材料で覆われているので、電
極が磨耗し難く、長寿命であるといった長所を有する。

【０００４】従来のＡＣ型プラズマ表示装置の典型的な
構成例を、図２に示す。このＡＣ型プラズマ表示装置は
所謂３電極型に属し、一対の放電維持電極である第１の
電極１２Ａ，１２Ｂの間で主に放電が生じる（図１２の
（Ｂ）参照）。図２に示すＡＣ型プラズマ表示装置は、
フロントパネル１０とリアパネル２０とが周縁部で貼り
合わされて成る。リアパネル２０上の蛍光体層２４の発
光は、フロントパネル１０を通して観察される。

【０００５】フロントパネル１０は、透明な第１の基板
１１と、第１の基板１１上にストライプ状に設けられ、
透明導電材料から成る対になった第１の電極１２Ａ，１
２Ｂと、第１の電極１２Ａ，１２Ｂのインピーダンスを
低下させるために設けられ、第１の電極１２Ａ，１２Ｂ
よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極１３と、
バス電極１３及び第１の電極１２Ａ，１２Ｂ上を含む第
１の基板１１上に形成された保護層１４とから構成され
ている。保護層１４は、誘電体膜として機能し、しか
も、第１の電極１２Ａ，１２Ｂを保護するために設けら
れている。

【０００６】一方、リアパネル２０は、第２の基板２１
と、第２の基板２１上にストライプ状に設けられた第２
の電極（アドレス電極あるいはデータ電極とも呼ばれ
る）２２と、第２の電極２２上を含む第２の基板２１上
に形成された誘電体膜２３と、誘電体膜２３上であって
隣り合う第２の電極２２の間の領域に第２の電極２２と
平行に延びる絶縁性の隔壁２５と、誘電体膜２３上から
隔壁２５の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層２４と
から構成されている。第２の電極２２は、放電開始電圧
の低減を目的として設けられている。また、隔壁２５
は、プラズマ放電が隣接する放電セルに漏れ出て、隣接
する放電セルの蛍光体層を発光させる光学的クロストー
クの発生を防止する目的で設けられている。蛍光体層２
４は、赤色蛍光体層２４Ｒ、緑色蛍光体層２４Ｇ、及
び、青色蛍光体層２４Ｂから構成されており、これらの
各色の蛍光体層２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂが所定の順序に
従って設けられている。図２は分解斜視図であり、実際
にはリアパネル２０側の隔壁２５の頂部がフロントパネ
ル１０側の保護層１４に当接している。一対の第１の電
極１２Ａ，１２Ｂと、一対の隔壁２５とが重複する領域
が、放電セルに相当する。そして、隣り合う隔壁２５と
蛍光体層２４と保護層１４とによって囲まれた空間内に
は、希ガスが封入されている。

【０００７】第１の電極１２Ａ，１２Ｂが延びる方向と
第２の電極２２が延びる方向とは９０°の角度を成して
おり、隣り合う一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂと、３
原色を発光する蛍光体層２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂの１組
とが重複する領域が１画素に相当する。グロー放電が対
向する一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂ間で生じること
から、このタイプのプラズマ表示装置は「面放電型」と
称される。放電セルにおいては、希ガス中でのグロー放
電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起され
た蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色
を呈する。尚、封入された希ガスの種類に応じた波長を
有する真空紫外線が発生する。

【０００８】図２に示した従来のプラズマ表示装置にお
ける、一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂとバス電極１３
と隔壁２５の配置関係を、図１９に模式的に示す。尚、
点線で囲まれた領域が１画素に相当する。各領域を明確
にするために、斜線を付した。１画素の外形は概ね正方
形である。１画素は隔壁２５によって３つの区画（放電
セル）に区切られており、各放電セルから、３原色
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の内のいずれかが発光する。１画素の外
形寸法を「Ｌ₀」としたとき、各放電セルの一辺の長さ
はＬ₀／３＝Ｌ₁であり、他辺の長さはＬ₀である。従っ
て、一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂにおいて、放電に
寄与する第１の電極１２Ａ，１２Ｂの部分の長さはＬ₁
よりも若干短い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、プラズマ表
示装置においては、益々、画素の高密度化、高精細化の
要求が高まっている。このような要求に対処するために
は、１つの放電セルの一辺の長さＬ₁を短くせざるを得
ない。図１６の（Ａ）に概念図を示すような一辺Ｌ₁の
寸法を有する１つの放電セルを、図１６の（Ｂ）に概念
図を示すような一辺Ｌ₁／２＝Ｌ₂の寸法を有する１つの
放電セルに変更する場合を想定する。尚、図１６の
（Ａ）に示す状態を説明するときには添字「１」を付
し、図１６の（Ｂ）に示す状態を説明するときには添字
「２」を付す。このような場合、隔壁２５の厚さをＷ₁
からＷ₂とするが、隔壁形成時の欠け等の不良発生を防
止するために隔壁２５には或る程度の強度が必要とされ
るので、Ｗ₂の値をＷ₁の１／２とすることは困難であ
る。それ故、隔壁２５の挟まれた放電空間の体積Ｖ₂が
元の放電空間の体積Ｖ₁の１／２未満となってしまう。

【００１０】このように放電空間の体積が減少すると、
放電の開始及び維持に必要とされるメタステーブル粒子
（放電空間内に存在する準安定状態にある希ガス原子や
分子、二量体等）の数が少なくなり、結果的に、放電開
始電圧や放電維持電圧が高くなり、効率低下を招く。ま
た、対向する一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間隔が
狭くなる結果、リーク電流が流れ易くなり、絶縁破壊や
異常放電が発生し易くなる。更には、隔壁２５の厚さを
薄くする必要があるので、加工時、隔壁２５に損傷が発
生し易くなる。隔壁２５に損傷が発生すると、光学的ク
ロストークが生じる虞がある。

【００１１】また、プラズマ表示装置における発光過程
は、以下のとおりである。即ち、対向する一対の第１の
電極１２Ａ，１２Ｂの内、陰極に相当する第１の電極の
近傍の保護層１４にイオンを当て、保護層１４から２次
電子を放出させ、この２次電子を加速して中性ガスを電
離することによって電子の数を増やし、これらの電子が
希ガスを励起し、その結果放射された紫外線が蛍光体層
を励起して可視光を発光する。ここで、隔壁２５の間隔
が狭くなると、保護層１４から放出された２次電子が隔
壁２５に付着し易くなり、効率低下を招く。

【００１２】従って、本発明の目的は、画素の高密度
化、高精細化のために隔壁の間隔が狭くなっても、効率
の良い発光を達成することができ、放電開始電圧や放電
維持電圧が高くなることが無く、絶縁破壊や異常放電が
発生し難いプラズマ表示装置及びその製造方法を提供す
ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の交流駆動型のプラズマ表示装置は、（イ）
第１の基板と、第１の基板の表面に設けられた複数の第
１の電極から構成された第１の電極群と、第１の電極群
上を含む第１の基板上に形成された保護層とから成る第
１のパネル、及び、（ロ）第２の基板と、第２の基板の
上方に設けられた蛍光体層と、第１の電極の延びる方向
と所定の角度を成して延び、隣接する蛍光体層の間に設
けられた隔壁とから成る第２のパネル、を有し、対向す
る一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流駆動型
のプラズマ表示装置であって、対向する一対の第１の電
極の間の第１の基板には凹部が形成されていることを特
徴とする。

【００１４】ここで、本発明における交流駆動型のプラ
ズマ表示装置は、第１のパネルと第２のパネルとが保護
層と蛍光体層とが対面するごとく対向して配置され、第
１の電極が延びる方向と隔壁が延びる方向とは所定の角
度（例えば、９０°）を成し、保護層と蛍光体層と一対
の隔壁によって囲まれた空間には希ガスが封入されてお
り、蛍光体層は、対向する一対の第１の電極の間で生じ
た希ガス中での交流グロー放電に基づき発生した紫外線
に照射されて発光する構造を有する。１つの第１の電極
（対になった第１の電極）と一対の隔壁とが重複する領
域が、１つの放電セルに相当する。

【００１５】本発明のプラズマ表示装置あるいは後述す
る本発明のプラズマ表示装置の製造方法においては、凹
部は溝部とすることができ、この場合、溝部の空間的な
幅は５×１０^-5ｍ未満、好ましくは４×１０^-5ｍ以下、
一層好ましくは２．５×１０ ^-5ｍ以下であることが望ま
しい。溝部の空間的な幅の最小値は、溝部内で絶縁破壊
が生じない値とすればよい。尚、溝部の空間的な幅と
は、溝部の延びる方向をＸ軸、第１の基板の法線方向を
Ｚ軸としたとき、Ｙ軸方向の溝部の空間的な距離を指
す。そして、溝部の側壁や底部に保護層が形成されてい
ない場合には、対向する溝部側壁間の距離を意味する
が、溝部の側壁や底部に保護層が形成されている場合、
対向する溝部側壁上の保護層の表面間のＹ軸に沿った距
離を意味する。Ｚ軸方向に溝部の幅が変化する場合、溝
部の最も広い部分における溝部の空間的な幅を溝部の空
間的な幅とする。溝部の深さは、本質的には制限が無い
が、溝部の空間的な幅の０．５〜５倍程度であることが
好ましい。

【００１６】あるいは又、本発明のプラズマ表示装置あ
るいは後述する本発明のプラズマ表示装置の製造方法に
おいては、凹部は、一対の隔壁の間に位置する第１の基
板の領域に設けられた孔部とすることができ、この場
合、孔部の空間的な径は５×１０^-5ｍ未満、好ましくは
４×１０^-5ｍ以下、一層好ましくは２．５×１０^-5ｍ以
下であることが望ましい。孔部の空間的な径の最小値
は、孔部内で絶縁破壊が生じない値とすればよい。尚、
孔部の空間的な径とは、第１の基板の法線方向（Ｚ軸方
向）と直角の仮想平面（ＸＹ平面）で孔部を切断したと
きの孔部の断面形状が矩形以外の断面形状である場合に
は、かかる断面形状の断面積と同じ面積の円を想定した
ときの、かかる円の直径を意味する。かかる断面形状を
有する孔部の側壁や底部に保護層が形成されている場
合、孔部の空間的な径とは、ＸＹ平面で孔部を切断した
ときの保護層表面の描く軌跡と同じ面積の円を想定した
ときの、かかる円の直径を意味する。また、断面形状が
矩形の場合には、一対の隔壁の延びる方向（Ｙ軸方向）
と平行な辺の長さを意味する。かかる矩形の孔部の側壁
や底部に保護層が形成されている場合、孔部の空間的な
径とは、一対の隔壁の延びる方向（Ｙ軸方向）と平行な
方向に沿った対向する保護層表面の間の距離を意味す
る。Ｚ軸方向に孔部の断面積が変化する場合、最も大き
な断面積から求められた孔部の空間的な径を孔部の空間
的な径とする。孔部の断面形状の具体例としては、円
形、楕円形、正方形や長方形といった矩形を含む任意の
多角形、丸みを帯びた多角形を挙げることができる。孔
部の深さは、本質的には制限が無いが、孔部の空間的な
径の０．５〜５倍程度であることが好ましい。場合によ
っては、孔部は隔壁の下に対応する第１の基板の部分に
まで延びていてもよい。

【００１７】以下に説明する本発明の第１の態様〜第３
の態様に係る交流駆動型のプラズマ表示装置の製造方法
は、本発明のプラズマ表示装置の製造方法、即ち、
（イ）第１の基板と、第１の基板の表面に設けられた複
数の第１の電極から構成された第１の電極群と、第１の
電極群上を含む第１の基板上に形成された保護層とから
成る第１のパネル、及び、（ロ）第２の基板と、第２の
基板の上方に設けられた蛍光体層と、第１の電極の延び
る方向と所定の角度を成して延び、隣接する蛍光体層の
間に設けられた隔壁とから成る第２のパネル、を有し、
対向する一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流
駆動型のプラズマ表示装置の製造方法である。

【００１８】そして、上記の目的を達成するための本発
明の第１の態様に係る交流駆動型のプラズマ表示装置の
製造方法は、第１のパネルを、（Ａ）第１の基板上にパ
ターニングされた第１の電極を形成する工程と、（Ｂ）
対向する一対の第１の電極の間の第１の基板に凹部を形
成する工程と、（Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む
第１の基板上に保護層を形成する工程、によって作製す
ることを特徴とする。

【００１９】本発明の第１の態様に係る交流駆動型のプ
ラズマ表示装置の製造方法においては、前記工程（Ｂ）
は、対向する一対の第１の電極の間に開口部が形成され
たレジスト層を全面に形成した後、該レジスト層をエッ
チング用マスクとして第１の基板をエッチング（ウエッ
トエッチングあるいはドライエッチング）する工程から
成る形態とすることができる。これによって、溝部ある
いは孔部から構成された凹部を得ることができる。ある
いは又、前記工程（Ｂ）は、対向する一対の第１の電極
の間の第１の基板に、機械的掘削法あるいは機械的研削
法にて凹部を形成する工程から成る形態とすることがで
きる。ここで、機械的掘削法としてダイシング・ソー法
を挙げることができ、また、機械的研削法としてサンド
ブラスト法を挙げることができる。以下においても同様
である。

【００２０】上記の目的を達成するための本発明の第２
の態様に係る交流駆動型のプラズマ表示装置の製造方法
は、第１のパネルを、（Ａ）第１の基板上に導電材料層
を形成する工程と、（Ｂ）導電材料層をパターニングし
て第１の電極を形成し、引き続き、対向する一対の第１
の電極の間の第１の基板に凹部を形成する工程と、
（Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む第１の基板上に
保護層を形成する工程、によって作製することを特徴と
する。

【００２１】本発明の第２の態様に係る交流駆動型のプ
ラズマ表示装置の製造方法においては、前記工程（Ｂ）
は、導電材料層上にパターニングされたレジスト層を形
成した後、該レジスト層をエッチング用マスクとして、
導電材料層をエッチング（ウエットエッチングあるいは
ドライエッチング）し、引き続き、第１の基板をエッチ
ング（ウエットエッチングあるいはドライエッチング）
する工程から成る形態とすることができる。これによっ
て、溝部から構成された凹部を得ることができる。ある
いは又、前記工程（Ｂ）は、機械的掘削法あるいは機械
的研削法にて、導電材料層をパターニングし、引き続
き、第１の基板に凹部を形成する工程から成る形態とす
ることができる。これによって、溝部から構成された凹
部を得ることができる。

【００２２】上記の目的を達成するための本発明の第３
の態様に係る交流駆動型のプラズマ表示装置の製造方法
は、第１のパネルを、（Ａ）対向する一対の第１の電極
を形成すべき第１の基板の領域に挟まれた第１の基板の
部分に凹部を形成する工程と、（Ｂ）凹部近傍の第１の
基板の表面にパターニングされた第１の電極を形成する
工程と、（Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む第１の
基板上に保護層を形成する工程、によって作製すること
を特徴とする。

【００２３】本発明の第３の態様に係る交流駆動型のプ
ラズマ表示装置の製造方法においては、前記工程（Ａ）
は、機械的方法、化学的方法、直接的方法のいずれかに
よって、第１の基板に凹部を形成する工程から成る形態
とすることができる。これによって、溝部あるいは孔部
から構成された凹部を得ることができる。尚、機械的方
法には機械的掘削法及び機械的研削法が包含され、化学
的方法にはウエットエッチング法及びドライエッチング
法が包含され、直接的方法には第１の基板を例えば熱間
プレス法にて製造する方法が包含される。

【００２４】本発明のプラズマ表示装置若しくはその製
造方法において、保護層と蛍光体層と一対の隔壁によっ
て囲まれた空間に封入された希ガスの圧力は、２．０×
１０ ⁴Ｐａ（０．２気圧）乃至３．０×１０⁵Ｐａ（３気
圧）、好ましくは４．０×１０⁴Ｐａ（０．４気圧）乃
至２．０×１０⁵Ｐａ（２気圧）とすることが望まし
い。尚、溝部の空間的な幅あるいは孔部の空間的な径を
５×１０^-5ｍ未満とする場合には、空間内における希ガ
スの圧力を２．０×１０⁴Ｐａ（０．２気圧）以上３．
０×１０⁵Ｐａ（３気圧）以下、好ましくは４．０×１
０⁴Ｐａ（０．４気圧）以上２．０×１０⁵Ｐａ（２気
圧）以下とすることが望ましく、このような圧力範囲と
することによって、希ガス中での陰極グローに主に基づ
き発生した紫外線に照射されて蛍光体層が発光するし、
このような圧力範囲内では、圧力が高いほどプラズマ表
示装置を構成する各種部材のスパッタリング率が低減す
る結果、プラズマ表示装置を長寿命化することができ
る。

【００２５】複数の第２の電極から構成された第２の電
極群は、第１の基板上に設けられていてもよいし、第２
の基板上に設けられていてもよい。前者の場合、第２の
電極は、保護層上に絶縁膜を介して設けられており、第
２の電極と第１の電極が延びる方向とは所定の角度（例
えば、９０°）を成す。後者の場合、第２の電極は、第
２の基板上に設けられており、第２の電極と第１の電極
が延びる方向とは所定の角度（例えば、９０°）を成
し、蛍光体層は第２の電極の上方に設けられている。

【００２６】第１の電極あるいは導電材料層を構成する
導電性材料は、プラズマ表示装置が透過型であるか、反
射型であるかによって異なる。透過型のプラズマ表示装
置では、蛍光体層の発光は第２の基板を通して観察され
るので、第１の電極あるいは導電材料層を構成する導電
性材料に関して透明／不透明の別は問わないが、第２の
電極を第２の基板上に設ける場合、第２の電極が透明で
あることが望まれる。反射型のプラズマ表示装置では、
蛍光体層の発光は第１の基板を通して観察されるので、
第２の電極を第２の基板上に設ける場合、第２の電極を
構成する導電性材料に関して透明／不透明の別は問わな
いが、第１の電極あるいは導電材料層を構成する導電性
材料が透明であることが望まれる。尚、ここで述べる透
明／不透明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可視光
域）における導電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍
光体層から射出される光に対して透明であれば、第１の
電極あるいは導電材料層を構成する導電性材料は透明で
あると云える。不透明な導電性材料として、Ｎｉ、Ａ
ｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｃ
ｕ、Ｂａ、ＬａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8ＣｒＯ₃等の材料を
単独又は適宜組み合わせて用いることができる。透明な
導電性材料として、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）や
ＳｎＯ₂を挙げることができる。

【００２７】本発明の第１の態様若しくは第３の態様に
係るプラズマ表示装置の製造方法における第１の電極の
形成方法として、使用する導電性材料に応じて蒸着法、
スパッタリング法、ＣＶＤ法、印刷法、リフトオフ法等
を適宜選択することができる。即ち、適当なマスクやス
クリーンを使用した印刷法にて最初から所定のパターン
を有する第１の電極を形成してもよいし、蒸着法やスパ
ッタリング法、ＣＶＤ法に基づき導電材料層を全面に形
成した後に、導電材料層をパターニングして第１の電極
を形成してもよいし、所謂リフトオフ法にて第１の電極
を形成してもよい。本発明の第２の態様に係るプラズマ
表示装置の製造方法における導電材料層の形成方法とし
て、使用する導電性材料に応じて蒸着法、スパッタリン
グ法、ＣＶＤ法、印刷法、リフトオフ法等を適宜選択す
ることができる。

【００２８】第１の電極に加えて、第１の基板には、第
１の電極のインピーダンスを低下させるために、第１の
電極よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極が設
けられていることが好ましい。バス電極は、典型的に
は、金属材料、例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃ
ｒ、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜から構成することができ
る。かかる金属材料から成るバス電極は、反射型のプラ
ズマ表示装置においては、蛍光体層から放射されて第１
の基板を通過する可視光の透過光量を低減させ、表示画
面の輝度を低下させる要因となり得るので、第１の電極
に必要な電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り細く
形成することが好ましい。

【００２９】保護層は単層構造あるいは積層構造とする
ことができる。単層構造の保護層を構成する材料とし
て、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム
（ＭｇＦ₂）、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）を例示す
ることができる。中でも酸化マグネシウムは、化学的に
安定であり、スパッタリング率が低く、蛍光体層の発光
波長における光透過率が高く、放電開始電圧が低い等の
特色を有する好適な材料である。尚、保護層を、酸化マ
グネシウム、フッ化マグネシウム及び酸化アルミニウム
から成る群から選択された少なくとも２種類の材料から
構成された積層構造としてもよい。

【００３０】あるいは又、保護層を２層構成とすること
もできる。２層構成を有する保護層は、第１の電極群に
接する誘電体層と、誘電体層上に設けられ、誘電体層よ
りも２次電子放出効率の高い被覆層とから構成すること
ができる。誘電体層は、典型的には、低融点ガラスある
いはＳｉＯ₂から構成される。また、被覆層は、典型的
には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウ
ム（ＭｇＦ₂）、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）から構
成することができる。かかる２層構成は、真空紫外線の
波長領域における被覆層の透明性（光透過率）がそれ程
高くない場合に、保護層全体としての透明性を誘電体層
で確保し、２次電子放出効率の高さを被覆層で確保する
目的で採用することができる。これによって、安定した
放電維持動作が可能となり、しかも、真空紫外線が保護
層によって吸収され難くなり、更には、蛍光体層から射
出される可視光が保護層に吸収され難い構造を得ること
ができる。

【００３１】保護層を、第１の電極群上を含む第１の基
板上に形成することにより、イオンや電子と第１の電極
群との直接接触を防止することができる結果、第１の電
極群の磨耗を防ぐことができる。保護層は、この他に
も、アドレス期間に発生する壁電荷を蓄積する機能、放
電に必要な２次電子を放出する機能、過剰な放電電流を
制限する抵抗体としての機能、放電状態を維持するメモ
リ機能を有する。

【００３２】第１の基板及び第２の基板の構成材料とし
て、ソーダガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪
酸ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステラ
イト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｐｂ
Ｏ・ＳｉＯ₂）を例示することができる。第１の基板と
第２の基板の構成材料は、同じであっても異なっていて
もよい。

【００３３】本発明のプラズマ表示装置は、所謂対向放
電型のプラズマ表示装置であり、第１の電極群は、厳密
には電極リードとしての役割を果たし、真の電極は保護
層である。尚、第２の電極を第２の基板上に設ける場
合、第２の基板上に先ず誘電体層を設け、この誘電体層
の上に蛍光体層を設ける。誘電体膜の構成材料として、
低融点ガラスやＳｉＯ₂を挙げることができる。

【００３４】隔壁は、隣接する蛍光体層の間に設けられ
ている。言い換えれば、隔壁は、隣り合う第２の電極の
間の領域において第２の電極と平行に延びている構成と
することができる。即ち、一対の隔壁の間を１つの第２
の電極が延びる構造とすることができる。場合によって
は、隔壁は、隣り合う第１の電極の間の領域において第
１の電極と平行に延びる第１隔壁と、隣り合う第２の電
極の間の領域において第２の電極と平行に延びる第２隔
壁とから構成されている（即ち、格子状とされている）
構成とすることもできる。かかる格子状の隔壁は、従来
よりＤＣ型プラズマ表示装置に採用されているが、ＡＣ
型の本発明のプラズマ表示装置にも適用することができ
る。

【００３５】隔壁の構成材料としては、従来から公知の
絶縁材料を使用することができ、例えば、広く用いられ
ている低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合し
た材料を用いることができる。隔壁の形成方法として、
スクリーン印刷法、サンドブラスト法、ドライフィルム
法、感光法を例示することができる。ドライフィルム法
とは、第２の基板上（誘電体膜を用いる場合には、誘電
体膜上）に感光性フィルムをラミネートし、露光及び現
像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去
し、除去によって生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋
め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成に
よって燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた隔壁形成
用の材料が残り、隔壁となる。感光法とは、第２の基板
上（誘電体膜を用いる場合には、誘電体膜上）に感光性
を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及び現像に
よってこの材料層をパターニングした後、焼成を行う方
法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所謂ブラッ
ク・マトリックスを形成し、表示画面の高コントラスト
化を図ることができる。隔壁を黒くする方法として、隔
壁の頂部に感光性銀ペースト層や低反射クロム層等の光
吸収層を設ける方法や、黒色に着色されたカラーレジス
ト材料を用いて隔壁を形成する方法を例示することがで
きる。

【００３６】蛍光体層は、赤色を発光する蛍光体材料、
緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する蛍光体材
料から成る群から選択された蛍光体材料から構成され、
第２の基板の上方に設けられている。第２の電極を第２
の基板上に設ける場合、具体的には、例えば、赤色を発
光する蛍光体材料から構成された蛍光体層（赤色蛍光体
層）が第２の電極の上方に設けられ、緑色を発光する蛍
光体材料から構成された蛍光体層（緑色蛍光体層）が別
の第２の電極の上方に設けられ、青色を発光する蛍光体
材料から構成された蛍光体層（青色蛍光体層）が更に別
の第２の電極の上方に設けられており、これらの３原色
を発光する蛍光体層が１組となり、所定の順序に従って
設けられている。一方、第２の電極を第１の基板上に設
ける場合、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体
層のそれぞれが第２の基板上に設けられており、これら
の３原色を発光する蛍光体層が１組となり、所定の順序
に従って設けられている。そして、１つの第１の電極
（対になった第１の電極）とこれらの３原色を発光する
１組の蛍光体層が重複する領域が、１画素に相当する。
赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、スト
ライプ状に形成されていてもよいし、格子状に形成され
ていてもよい。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍
光体層がストライプ状に形成されている場合であって、
第２の電極を第２の基板上に設ける場合、１つの赤色蛍
光体層が１つの第２の電極の上方に形成され、１つの緑
色蛍光体層が１つの第２の電極の上方に形成され、１つ
の青色蛍光体層が１つの第２の電極の上方に形成されて
いる。一方、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光
体層が格子状に形成されている場合には、１つの第２の
電極の上方に、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍
光体層が所定の順に形成されている。

【００３７】尚、第２の電極を第２の基板上に設ける場
合、蛍光体層は第２の電極の上に直接形成されていても
よいし、第２の電極上から隔壁の側面に懸けて形成され
ていてもよい。あるいは又、蛍光体層は、第２の電極上
に設けられた誘電体膜上に形成されていてもよいし、第
２の電極上に設けられた誘電体膜上から隔壁の側面に懸
けて形成されていてもよい。更には、蛍光体層は、隔壁
の側面にのみ形成されていてもよい。「蛍光体層が第２
の電極の上方に設けられている」とは、以上に述べた各
種の形態を全て包含する概念である。第２の電極を第１
の基板上に設ける場合、蛍光体層は第２の基板の上に形
成されていてもよいし、第２の基板上から隔壁の側面に
懸けて形成されていてもよいし、隔壁の側面にのみ形成
されていてもよい。

【００３８】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来から公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、
真空紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択
して用いることができる。カラー表示を想定しているの
で、色純度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原
色を混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、
３原色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合
わせることが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に
発光する蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢ
Ｏ₃Ｅｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ_0.40
Ｏ₄：Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、（Ｇ
ｄＢＯ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５Ｍｇ
Ｏ・０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示することが
できる。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍光体
材料として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ₁₂Ｏ
₁₉：Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、（Ｍｇ
Ｇａ₂Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（ＬｕＢＯ₃：
Ｔｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ ₈Ｃｌ₄：Ｅｕ）を例示すること
ができる。真空紫外線の照射により青色に発光する蛍光
体材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ₄：
Ｐｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_0.85Ｖ_0.15Ｏ₄、（ＢａＭｇＡ
ｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ
₂Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光体層の形成
方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプレーする方
法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けて
おき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体ペ
ーストを使用し、露光及び現像によって蛍光体層をパタ
ーニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要
部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げること
ができる。

【００３９】空間に封入される希ガスには、以下の点が
要求される。 プラズマ表示装置の長寿命化の観点から、化学的に
安定であり、且つ、ガス圧力を高く設定し得ること 表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと 真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と 消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと

【００４０】希ガスとして、Ｈｅ（共鳴線の波長＝５
８．４ｎｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎｍ）、Ａｒ（同１０
７ｎｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、Ｘｅ（同１４７ｎ
ｍ）を単独で用いるか、又は混合して用いることが可能
であるが、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期
待できる混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスと
しては、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｎ
ｅ−Ｘｅ混合ガスを挙げることができる。尚、これらの
希ガスの中でも最も長い共鳴線波長を有するＸｅは、波
長１７２ｎｍの強い真空紫外線も放射するので、好適な
希ガスである。

【００４１】ここで、放電セル内におけるグロー放電の
発光状態を、図１７及び図１８を参照して説明する。図
１７の（Ａ）に、希ガスを封入した放電管内で直流グロ
ー放電を行った場合の発光状態を模式的に示す。陰極か
ら陽極に向かって、アストン暗部Ａ、陰極グローＢ、陰
極暗部（クルックス暗部）Ｃ、負グローＤ、ファラデー
暗部Ｅ、陽光柱Ｆ及び陽極グローＧが順に現れる。交流
グロー放電では、陰極と陽極が所定の周波数にて反転を
繰り返すため、電極間の中央部に陽光柱Ｆが位置し、陽
光柱Ｆの両側にファラデー暗部Ｅ、負グローＤ、陰極暗
部Ｃ、陰極グローＢ及びアストン暗部Ａがこの順に対称
に現れる。図１７の（Ｂ）に示す状態は、蛍光灯のよう
に電極間の距離が十分に長い場合にみられる。

【００４２】電極間の距離を縮めてゆくと陽光柱Ｆの長
さが減少する。更に電極間の距離を縮めると、図１８の
（Ａ）に示すように陽光柱Ｆが消失し、電極間の中央部
に負グローＤが位置し、負グローＤの両側に陰極暗部
Ｃ、陰極グローＢ及びアストン暗部Ａがこの順に対称に
現れる。図１８の（Ａ）に示した状態は、電極の間隔が
１×１０^-4ｍ前後の場合に生じる状態である。但し、本
発明のプラズマ表示装置においては、放電を維持するた
めの一対の第１の電極が並列配置となっているので、負
グローは、陰極に相当する第１の電極を被覆する保護層
の表面部分の近傍の空間領域に形成される。

【００４３】一方、電極の間隔が５×１０^-5ｍ未満にな
ると、模式的に図１８の（Ｂ）に示すように、電極の間
の中央部に陰極グローＢが位置し、陰極グローＢの両側
にアストン暗部Ａが現れる。尚、場合によっては、負グ
ローが一部存在し得る。但し、本発明のプラズマ表示装
置においては、放電を維持するための一対の第１の電極
が並列配置となっているので、陰極グローは、陰極に相
当する第１の電極を被覆する保護層の表面部分の近傍の
空間領域及び凹部内の空間領域に形成される。このよう
に、溝部の空間的な幅あるいは孔部の空間的な径を５×
１０^-5ｍ未満とし、しかも、空間内の圧力を２．０×１
０⁴Ｐａ（０．２気圧）以上３．０×１０⁵Ｐａ（３気
圧）以下とすることによって、放電モードとして陰極グ
ローを利用することが可能となる。それ故、高い交流グ
ロー放電効率を達成できる結果、プラズマ表示装置にお
いて高い発光効率と輝度を得ることができる。

【００４４】本発明においては、放電を生じさせる一対
の第１の電極の間の第１の基板に凹部が形成されている
ので、放電空間の体積を増加させることができるし、一
対の第１の電極の一方から他方までの経路（パス）を長
くすることができる。

【００４５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発
明を説明する。

【００４６】（実施の形態１）実施の形態１は、本発明
の交流駆動型のプラズマ表示装置、及び、本発明の第１
の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関する。実
施の形態１のプラズマ表示装置の概念的な分解斜視図
は、概ね図２に示したと同様である。このプラズマ表示
装置は、第１のパネルであるフロントパネル１０と、第
２のパネルであるリアパネル２０を有する。フロントパ
ネル１０は、例えばガラスから成る第１の基板１１と、
第１の基板１１上に設けられた複数の第１の電極１２
Ａ，１２Ｂから構成された第１の電極群と、第１の電極
群上を含む第１の基板１１上に形成された保護層１４と
から成る。第１の電極１２Ａ，１２Ｂのそれぞれの縁部
には、第１の電極１２Ａ，１２Ｂと平行に延びるバス電
極１３が形成されている。

【００４７】一方、リアパネル２０は、例えばガラスか
ら成る第２の基板２１と、第２の基板２１上にストライ
プ状に設けられた複数の第２の電極（アドレス電極ある
いはデータ電極とも呼ばれる）２２から構成された第２
の電極群と、第２の電極２２の上方に設けられた蛍光体
層２４と、隣接する第２の電極２２の間に設けられた隔
壁２５とから成る。尚、第２の電極２２上を含む第２の
基板２１上には誘電体膜２３が形成されている。絶縁材
料から成る隔壁２５は、誘電体膜２３上であって隣り合
う第２の電極２２の間の領域に形成されており、第２の
電極２２と平行に延びている。蛍光体層２４は、誘電体
膜２３上から隔壁２５の側壁面上に亙って設けられてい
る。蛍光体層２４は、赤色蛍光体層２４Ｒ、緑色蛍光体
層２４Ｇ、及び、青色蛍光体層２４Ｂから構成されてお
り、これらの各色の蛍光体層２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂが
所定の順序に従って設けられている。

【００４８】図２は分解斜視図であり、実際にはリアパ
ネル２０側の隔壁２５の頂部がフロントパネル１０側の
保護層１４に当接している。また、フロントパネル１０
とリアパネル２０とは、保護層１４と蛍光体層２４とが
対面するごとく対向して配置され、周縁部において図示
しないシール層を介して接着されている。一対の第１の
電極１２Ａ，１２Ｂと、一対の隔壁２５とが重複する領
域が、放電セルに相当する。また、一対の第１の電極１
２Ａ，１２Ｂと、３原色の蛍光体層２４Ｒ，２２Ｇ，２
２Ｂの１組とが重複する領域が１画素に相当する。フロ
ントパネル１０とリアパネル２０とによって形成された
空間内には、例えばＮｅ−Ｘｅ混合ガス（例えば、Ｎｅ
５０％−Ｘｅ５０％混合ガス）が圧力８×１０⁴Ｐａ
（０．８気圧）にて封入されている。即ち、隣り合う隔
壁２５と蛍光体層２４と保護層１４とによって囲まれた
空間内には、希ガスが封入されている。

【００４９】フロントパネル１０の模式的な一部断面図
を図１の（Ａ）に示す。また、第１の電極１２Ａ，１２
Ｂ等と隔壁２５との位置関係を模式的に図１の（Ｂ）に
示す。図１の（Ｂ）において、隔壁２５を一点鎖線で示
し、１つの放電セル（区画）を点線で示す。尚、図１の
（Ａ）のフロントパネル１０の上方にリアパネル２０が
位置するが、リアパネル２０の図示は省略した。また、
図１の（Ｂ）においては、バス電極１３の図示を省略し
た。

【００５０】図１に示すように、対向する一対の第１の
電極１２Ａ，１２Ｂの間の第１の基板１１には凹部３１
が形成されている。尚、図２においては、凹部３１の図
示を省略している。図１に示す例においては、凹部３１
は溝部である。凹部３１は、図１の（Ｂ）に示すよう
に、一対の第１の電極１２Ａと第１の電極１２Ｂとの間
に、これらの第１の電極１２Ａ，１２Ｂと平行に形成さ
れている。第１の電極１２Ａ，１２Ｂの延びる方向と、
隔壁２５が延びる方向とが成す所定の角度は、例えば９
０°である。凹部３１の側壁及び底部には、保護層１４
が形成されている。保護層１４の形成条件によっては、
凹部３１の側壁の一部に保護層１４が形成されない場合
もあるが、問題はない。

【００５１】尚、図１の（Ｂ）において、参照番号
「Ｒ」で示された一対の隔壁２５で挟まれた領域に相当
する第２の基板２１の領域の上方には赤色蛍光体層２４
Ｒが形成されており、参照番号「Ｇ」で示された一対の
隔壁２５で挟まれた領域に相当する第２の基板２１の領
域の上方には緑色蛍光体層２４Ｇが形成されており、参
照番号「Ｂ」で示された一対の隔壁２５で挟まれた領域
に相当する第２の基板２１の領域の上方には青色蛍光体
層２４Ｂが形成されている。赤色、緑色、青色を発光す
る隣接する３つの放電セルによって１画素が構成され、
１画素の外形は、概ね正方形であり、１画素は隔壁２５
によって３つの放電セルに区切られている。但し、図１
の（Ｂ）においては、１画素を恰も長方形の如くに図示
した。

【００５２】各第１の電極１２Ａ，１２Ｂは、第１の基
板１１上に形成され、例えばＩＴＯといった透明な導電
性材料から形成されている。一方、バス電極１３を構成
する導電性材料として、ＩＴＯよりも電気抵抗率の低い
材料、例えばクロム／銅／クロム積層膜を用いる。バス
電極１３の線幅は、表示画面（図２の第１の基板１１の
図中上側の面）の輝度を損なわないように、第１の電極
１２Ａ，１２Ｂの線幅に比べて十分に狭くされている。
尚、バス電極１３は、図１の（Ａ）に示すように、第１
の電極１２Ａ，１２Ｂの側壁を覆うように形成されてい
てもよいし、図２に示すように、バス電極１３の側壁と
第１の電極１２Ａ，１２Ｂの側壁とが一致するように形
成されていてもよい。

【００５３】第２の電極群は、第２の基板２１上にスト
ライプ状に形成された第２の電極２２の集合体である。
各第２の電極２２は、例えば銀やアルミニウムから構成
されており、第１の電極１２Ａ，１２Ｂと共に放電の開
始に寄与する他、蛍光体層２４から生ずる発光を表示画
面側へ反射させ、表示画面の輝度を向上させることにも
寄与する。蛍光体層２４は、赤色蛍光体層２４Ｒ、緑色
蛍光体層２４Ｇ及び青色蛍光体層２４Ｂから構成されて
おり、これらの３原色を発光する蛍光体層２４Ｒ，２２
Ｇ，２２Ｂが１組となり、且つ、所定の順序に従って第
２の電極２２の上方に設けられている。

【００５４】次に、かかる構成を有するプラズマ表示装
置の交流グロー放電動作の一例を説明する。先ず、全て
の第１の電極１２Ａ，１２Ｂに、放電開始電圧Ｖ_bdより
も低いパルス電圧を短時間印加する。これによって、一
方の第１の電極の近傍の保護層１４の表面に誘電分極に
起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積し、見掛けの放
電開始電圧が低下する。その後、第２の電極（アドレス
電極）２２に電圧を印加しながら、表示をさせない放電
セルに含まれる一方の第１の電極に電圧を印加すること
によって、第２の電極２２と一方の第１の電極との間に
放電を生じさせ、蓄積された壁電荷を消去する。この消
去放電を各第２の電極２２において順次実行する。一
方、表示をさせる放電セルに含まれる一方の第１の電極
には電圧を印加しない。これによって、壁電荷の蓄積を
維持する。その後、再び、全ての一対の第１の電極１２
Ａ，１２Ｂ間に所定の電圧（放電維持電圧Ｖ_sus）を印
加することによって、壁電荷が蓄積されていた放電セル
においては一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間で放電
が開始し、放電セルにおいては、希ガス中でのグロー放
電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起され
た蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色
を呈する。尚、一方の第１の電極と他方の第１の電極に
印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれており、電
極の極性は交流の周波数に応じて反転する。

【００５５】あるいは又、かかる構成を有するプラズマ
表示装置の交流グロー放電動作の別の例を説明する。放
電動作は、初期放電によって保護層１４の表面に壁電荷
を発生させるアドレス期間と、放電を維持する放電維持
期間とに分けて行われる。アドレス期間では、選択され
た一方の第１の電極と選択された第２の電極２２に、放
電開始電圧Ｖ_bdよりも低いパルス電圧を短時間印加す
る。パルス電圧が印加された一方の第１の電極と第２の
電極２２との重複領域が表示画素として選択され、この
重複領域において保護層１４の表面に誘電分極に起因し
て壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積される。続く放電維持
期間では、一対の第１の電極１２Ａ，１２ＢにＶ_bdより
も低い放電維持電圧Ｖ_susを印加する。壁電荷が誘起す
る壁電圧Ｖ_wと放電維持電圧Ｖ_susとの和が放電開始電圧
Ｖ_bdよりも大きくなれば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞Ｖ_bd）、
放電が開始される。一方の第１の電極と他方の第１の電
極に印加される放電維持電圧Ｖ_susの位相は半周期ずれ
ており、電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。

【００５６】交流グロー放電が維持された画素では、空
間内に生じた希ガスの励起に基づき放射された真空紫外
線に照射されて蛍光体層２４が励起され、蛍光体材料の
種類に応じた特有の色の発光が得られる。

【００５７】本発明のプラズマ表示装置においては、対
向する一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間の第１の基
板１１に凹部３１が形成されているので、放電空間の体
積が増加し、図１２の（Ａ）に示すように、放電パスが
増加する。即ち、対向する一対の第１の電極１２Ａの近
傍の保護層１４の表面と第１の電極１２Ｂの近傍の保護
層１４の表面との間、及び、対向する凹部の側壁上の保
護層１４の表面との間で、放電が生じ得る。即ち、放電
の開始及び維持に必要とされるメタステーブル粒子（放
電空間内に存在する準安定状態にある希ガス原子や分
子、二量体等）の数を増加させることができ、放電開始
電圧や放電維持電圧が高くなるといったことが無く、効
率低下を招くことが無い。また、図１３の（Ａ）に示す
ように、第１の基板１１の表面を伝わるリーク電流の経
路が長くなるし、図１４の（Ａ）に示すように、保護層
１４内を伝わるリーク電流の経路も長くなるし、図１５
の（Ａ）に示すように、保護層１４の表面を伝わるリー
ク電流の経路も長くなる。それ故、リーク電流が流れ難
くなり、絶縁破壊や異常放電が発生し難くなる。一方、
従来のプラズマ表示装置においては、対向する一対の第
１の電極の間隔を狭くすると、放電空間の体積が減少
し、放電の開始及び維持に必要とされるメタステーブル
粒子（放電空間内に存在する準安定状態にある希ガス原
子や分子、二量体等）の数が減少し、放電開始電圧や放
電維持電圧が高くなり、効率低下を招く。また、図１３
の（Ｂ）に示すように、第１の基板１１の表面を伝わる
リーク電流の経路が短くなり、図１４の（Ｂ）に示すよ
うに、保護層１４内を伝わるリーク電流の経路も短くな
り、図１５の（Ｂ）に示すように、保護層１４の表面を
伝わるリーク電流の経路も短くなる。それ故、リーク電
流が流れ易く、絶縁破壊や異常放電が発生し易くなる。

【００５８】実施の形態１のプラズマ表示装置の製造方
法（本発明の第１の態様に係るプラズマ表示装置の製造
方法）の概要を、第１の基板１１等の模式的な一部断面
図である図３及び図４を参照して、以下、説明する。
尚、以下の説明中、製造方法の任意の段階における第１
の基板１１やその上に形成された全ての構造物、あるい
は第２の基板２１やその上に形成された全ての構造物
を、「基体」と称する場合がある。

【００５９】第１のパネルであるフロントパネル１０
は、以下のようにして製造することができる。

【００６０】［工程−１００］先ず、第１の基板１１上
にパターニングされた第１の電極１２Ａ，１２Ｂを形成
する。具体的には、第１の基板１１の全面に例えばスパ
ッタリング法によりＩＴＯから成る導電材料層１１２を
形成し（図３の（Ａ）参照）、リソグラフィ技術及びエ
ッチング技術により導電材料層１１２をストライプ状に
パターニングすることによって、第１の電極１２Ａ，１
２Ｂを形成することができる（図３の（Ｂ）参照）。次
に、基体の全面に例えばスパッタリング法によりクロム
／銅／クロム積層膜を形成し、リソグラフィ技術及びエ
ッチング技術によりクロム／銅／クロム積層膜をパター
ニングすることによって、バス電極１３を形成すること
ができる（図３の（Ｃ）参照）。尚、第１の電極１２
Ａ，１２Ｂの縁部とバス電極１３の縁部とは重なり合っ
ている。

【００６１】［工程−１１０］その後、対向する一対の
第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間の第１の基板１１に凹部
３１を形成する。凹部３１を溝部とした。具体的には、
対向する一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間に開口部
が形成されたレジスト層３０を全面にリソグラフィ技術
に基づき形成する。即ち、全面にレジスト材料を塗布
し、リソグラフィ技術に基づき、凹部を形成すべき第１
の基板１１の部分を除き、第１の基板１１をレジスト層
３０で被覆する（図４の（Ａ）参照）。そして、レジス
ト層３０をエッチング用マスクとして、例えば、フッ酸
を用いたウエットエッチング法や、エッチング用ガスを
用いたドライエッチング法、あるいはサンドブラスト法
に基づき第１の基板１１をパターニングし、対向する一
対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間の第１の基板１１に
凹部３１を形成する（図４の（Ｂ）参照）。次いで、レ
ジスト層３０を除去する。溝部の上部における幅を４×
１０^-5ｍ（４０μｍ）とし、深さを８×１０^-5ｍ（８０
μｍ）とした。尚、図においては、凹部３１の底部は丸
みを帯びた状態を示しているが、エッチング条件によっ
ては、ＹＺ平面で凹部３１を切断したときの凹部３１の
断面形状は矩形となる。

【００６２】［工程−１２０］次に、第１の電極群上及
び凹部３１内を含む第１の基板１１上に保護層１４を形
成する。保護層１４を厚さ約１×１０^-5ｍ（約１０μ
ｍ）の酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る単一の層と
してもよいし、厚さ約１０μｍの誘電体層と厚さ約０．
６μｍの被覆層の２層構造としてもよい。誘電体層は、
例えば、スクリーン印刷法により基体の上に低融点ガラ
スペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を
焼成することによって形成することができる。また、被
覆層あるいは単一の層から成る保護層１４は、例えば、
誘電体層の全面、あるいは、第１の電極群上を含む第１
の基板上に、電子ビーム蒸着法により酸化マグネシウム
層を形成することにより得ることができる。以上の工程
によりフロントパネル１０を完成することができる。
尚、溝部の空間的な幅は約２×１０^-5ｍ（２０μｍ）と
なった。

【００６３】第２のパネルであるリアパネル２０は、以
下のようにして製造することができる。先ず、第２の基
板２１上に例えばスクリーン印刷法により銀ペーストを
ストライプ状に印刷し、焼成を経て第２の電極２２を形
成することができる。次に、スクリーン印刷法により基
体の全面に低融点ガラスペースト層を形成し、この低融
点ガラスペースト層を焼成することによって誘電体膜２
３を形成する。その後、隣り合う第２の電極２２の間の
領域の上方の誘電体膜２３上に、例えばスクリーン印刷
法により低融点ガラスペーストを印刷し、焼成を経て隔
壁２５を形成する。隔壁２５の高さは、例えば５０乃至
３００μｍとすればよい。次に、３原色の蛍光体スラリ
ーを順次印刷し、焼成を経て蛍光体層２４Ｒ，２４Ｇ，
２４Ｂを形成する。以上の工程によりリアパネル２０を
完成することができる。

【００６４】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行
う。先ず、例えばスクリーン印刷により、リアパネル２
０の周縁部にシール層（図示せず）を形成する。次に、
フロントパネル１０とリアパネル２０とを貼り合わせ、
焼成してシール層を硬化させる。次に、フロントパネル
１０とリアパネル２０との間に形成された空間を排気し
た後、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス（例えば、Ｎｅ５０％−Ｘｅ
５０％混合ガス）を圧力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）
にて封入し、空間を封止し、プラズマ表示装置を完成さ
せる。尚、フロントパネル１０とリアパネル２０との貼
り合わせを圧力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）のＮｅ−
Ｘｅ混合ガスを満たしたチャンバ内で行えば、排気工程
とＮｅ−Ｘｅ混合ガスの封入工程を省略することも可能
である。

【００６５】［工程−１１０］における凹部の形成時、
対向する一対の第１の電極１２Ａ，１２Ｂの間に開口部
が形成されたレジスト層３０を全面にリソグラフィ技術
に基づき形成するが、開口部を溝状とせずに、矩形ある
いは楕円形とすれば、形成された凹部３１Ａを、一対の
隔壁２５の間に位置する第１の基板１１の領域に設けら
れた孔部とすることができる（図５あるいは図６参
照）。この場合、孔部の空間的な径は５×１０^-5ｍ未満
であることが好ましい。凹部３１が溝部である場合、凹
部３１を経由してプラズマ放電が隣接する放電セルに漏
れ出て、隣接する放電セルの蛍光体層が発光する光学的
クロストークの生じる虞がある。凹部３１Ａを、一対の
隔壁２５の間に位置する第１の基板１１の領域に設けら
れた孔部とすれば、このような現象の発生を確実に防止
することができる。

【００６６】あるいは又、［工程−１１０］における凹
部３１の形成を、対向する一対の第１の電極１２Ａ，１
２Ｂの間の第１の基板１１に、ダイシング・ソー法とい
った機械的掘削法あるいはサンドブラスト法といった機
械的研削法に基づき行ってもよい。即ち、［工程−１０
０］が完了して図７の（Ａ）に示す構造を得た後、例え
ば、ダイシング・ソー法に基づき、ダイシング・ソーに
よって第１の基板１１に凹部３１を形成すれば、図７の
（Ｂ）に示す構造を得ることができる。

【００６７】（実施の形態２）実施の形態２は、本発明
の第２の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関す
る。実施の形態２によって製造されるプラズマ表示装置
の構造は、実質的には、実施の形態１にて説明したプラ
ズマ表示装置の構造と同じであるが故に、詳細な説明は
省略する。実施の形態２のプラズマ表示装置の製造方法
における第１のパネルであるフロントパネル１０の製造
方法の概要を、第１の基板１１等の模式的な一部断面図
である図８及び図９を参照して、以下、説明する。

【００６８】［工程−２００］先ず、第１の基板１１上
に導電材料層１１２を形成する。具体的には、第１の基
板１１の全面に例えばスパッタリング法によりＩＴＯか
ら成る導電材料層１１２を形成する。その後、導電材料
層１１２の全面に例えばスパッタリング法によりクロム
／銅／クロム積層膜を形成し、リソグラフィ技術及びエ
ッチング技術によりクロム／銅／クロム積層膜をパター
ニングすることによって、バス電極１３を形成すること
ができる（図８の（Ａ）参照）。

【００６９】［工程−２１０］その後、導電材料層１１
２をパターニングして第１の電極１２Ａ，１２Ｂを形成
し、引き続き、対向する一対の第１の電極１２Ａ，１２
Ｂの間の第１の基板１１に凹部３１を形成する。具体的
には、導電材料層１１２上にパターニングされたレジス
ト層３０を形成する（図８の（Ｂ）参照）。そして、レ
ジスト層３０をエッチング用マスクとして導電材料層１
１２を塩化第２鉄と塩酸の混合溶液を用いたウエットエ
ッチング法にてエッチングする（図８の（Ｃ）参照）。
引き続き、第１の基板１１を、例えば、フッ酸を用いた
ウエットエッチング法や、エッチング用ガスを用いたド
ライエッチング法、あるいはサンドブラスト法に基づき
パターニングする（図９の（Ａ）参照）。これによっ
て、溝部から構成された凹部３１を得ることができる。
その後、レジスト層３０を除去する。溝部の上部におけ
る幅を４×１０^-5ｍ（４０μｍ）とし、深さを８×１０
^-5ｍ（８０μｍ）とした。図においては、凹部３１の底
部は丸みを帯びた状態を示しているが、エッチング条件
によっては、ＹＺ平面で凹部３１を切断したときの凹部
３１の断面形状は矩形となる。尚、一対の第１の電極に
隣接する一対の第１の電極の間の第１の基板１１の領域
にも凹部が形成される。

【００７０】［工程−２２０］次に、実施の形態１の
［工程−１２０］と同様にして、第１の電極群上及び凹
部３１内を含む第１の基板１１上に保護層１４を形成す
る（図９の（Ｂ）参照）。溝部の空間的な幅は約２×１
０^-5ｍ（２０μｍ）となった。

【００７１】尚、［工程−１００］が完了して図１０
（Ａ）に示す構造を得た後、［工程−２１０］を、ダイ
シング・ソー法といった機械的掘削法あるいはサンドブ
ラスト法といった機械的研削法にて、導電材料層１１２
をパターニングし、引き続き、第１の基板１１に凹部３
１を形成する（図１０の（Ｂ）参照）工程から構成する
こともできる。これによって、溝部から構成された凹部
３１を得ることができる。

【００７２】（実施の形態３）実施の形態３は、本発明
の第３の態様に係るプラズマ表示装置の製造方法に関す
る。実施の形態３によって製造されるプラズマ表示装置
の構造は、実質的には、実施の形態１にて説明したプラ
ズマ表示装置の構造と同じであるが故に、詳細な説明は
省略する。実施の形態３のプラズマ表示装置の製造方法
における第１のパネルであるフロントパネル１０の製造
方法の概要を、第１の基板１１等の模式的な一部断面図
である図１１を参照して、以下、説明する。

【００７３】［工程−３００］先ず、対向する一対の第
１の電極を形成すべき第１の基板の領域に挟まれた第１
の基板の部分に凹部を形成する（図１１の（Ａ）参
照）。凹部は、ウエットエッチング法あるいはドライエ
ッチング法といった化学的方法によって形成することが
でき、これによって、溝部から構成された凹部３１、あ
るいは孔部から構成された凹部を得ることができる。あ
るいは又、凹部は、ダイシング・ソー法といった機械的
掘削法あるいはサンドブラスト法といった機械的研削法
によって形成することができ、これによって、溝部から
構成された凹部３１を得ることができる。あるいは又、
凹部は、第１の基板を例えば熱間プレス法にて製造する
直接的方法にて形成することができ、これによって、溝
部から構成された凹部３１、あるいは孔部から構成され
た凹部を得ることができる。溝部の上部における幅を４
×１０^-5ｍ（４０μｍ）とし、深さを８×１０^-5ｍ（８
０μｍ）とした。図においては、凹部３１の底部は丸み
を帯びた状態を示しているが、凹部の形成法方法や形成
条件によっては、ＹＺ平面で凹部３１を切断したときの
凹部３１の断面形状は矩形となる。

【００７４】［工程−３１０］その後、凹部３１近傍の
第１の基板１１の表面にパターニングされた第１の電極
１２Ａ，１２Ｂを形成する（図１１の（Ｂ）参照。具体
的には、例えば、リフトオフ法に基づきパターニングさ
れた第１の電極１２Ａ，１２Ｂを形成することができ
る。即ち、基体上にレジスト層を形成し、第１の電極１
２Ａ，１２Ｂを形成すべき第１の基板１１の上のレジス
ト層の部分をリソグラフィ技術によって選択的に除去し
た後、全面に例えばスパッタリング法によりＩＴＯから
成る導電材料層を形成する。その後、レジスト層及びそ
の上の導電材料層を除去する。その後、再び、例えばリ
フトオフ法に基づき、クロム／銅／クロム積層膜から成
るバス電極１３を形成することができる（図１１の
（Ｃ）参照）。

【００７５】［工程−３２０］次に、実施の形態１の
［工程−１２０］と同様にして、第１の電極群上及び凹
部３１内を含む第１の基板１１上に保護層１４を形成す
る。溝部の空間的な幅は約２×１０^-5ｍ（２０μｍ）と
なった。

【００７６】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明
したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるもの
ではない。プラズマ表示装置の構成、構成材料、製造方
法の細部については、適宜変更、選択、組合せが可能で
ある。複数の第２の電極から構成された第２の電極群
が、第１の基板上に設けられていてもよい。即ち、第２
の電極が、保護層１４上に絶縁膜を介して設けられてお
り、第２の電極と第１の電極が延びる方向とは所定の角
度（例えば、９０°）を成す構成とすることもできる。

【００７７】

【発明の効果】本発明においては、放電を生じさせる一
対の第１の電極の間の第１の基板に凹部が形成されてい
るので、放電空間の体積を増加させることができる。そ
の結果、放電の開始及び維持に必要とされるメタステー
ブル粒子の数を増加させることができ、放電開始電圧や
放電維持電圧が高くなるといったことが無く、効率低下
を招くことが無い。また、一対の第１の電極の間を流れ
るリーク電流の経路が凹部の存在によって長くなる結
果、リーク電流が流れ難くなり、絶縁破壊や異常放電が
発生し難くなる。更には、隔壁２５の厚さを左程薄くす
る必要が無くなり、加工時、隔壁に損傷が発生し難くな
り、光学的クロストークが生じ難くなる。また、放電空
間の体積が多くなるので、保護層から放出された２次電
子が間隔に付着し難くなり、効率低下を招くことが無
い。

【００７８】また、空間的な幅が５×１０^-5ｍ未満の溝
部、あるいは、空間的な径が５×１０^-5ｍ未満の孔部か
ら凹部を構成すれば、対向する一対の第１の電極間の凹
部を経由した陰極グローに基づく放電の割合を多くでき
るので、放電効率の向上、消費電力の低減を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマ表示装置のフロントパネルの
模式的な一部断面図、及び、第１の電極等と隔壁との位
置関係を模式的に示す図である。

【図２】プラズマ表示装置の概念的な分解斜視図であ
る。

【図３】発明の実施の形態１のプラズマ表示装置の製造
方法における第１のパネルの製造方法を説明するため
の、第１の基板等の模式的な一部断面図である。

【図４】図３に引き続き、発明の実施の形態１のプラズ
マ表示装置の製造方法における第１のパネルの製造方法
を説明するための、第１の基板等の模式的な一部断面図
である。

【図５】本発明のプラズマ表示装置における凹部の形状
の変形例を示す、第１の電極等と隔壁との位置関係を模
式的に示す図である。

【図６】本発明のプラズマ表示装置における凹部の形状
の変形例を示す、第１の電極等と隔壁との位置関係を模
式的に示す図である。

【図７】発明の実施の形態１のプラズマ表示装置の製造
方法における第１のパネルの製造方法の変形例を説明す
るための、第１の基板等の模式的な一部断面図である。

【図８】発明の実施の形態２のプラズマ表示装置の製造
方法における第１のパネルの製造方法を説明するため
の、第１の基板等の模式的な一部断面図である。

【図９】図８に引き続き、発明の実施の形態２のプラズ
マ表示装置の製造方法における第１のパネルの製造方法
を説明するための、第１の基板等の模式的な一部断面図
である。

【図１０】発明の実施の形態２のプラズマ表示装置の製
造方法における第１のパネルの製造方法の変形例を説明
するための、第１の基板等の模式的な一部断面図であ
る。

【図１１】発明の実施の形態３のプラズマ表示装置の製
造方法における第１のパネルの製造方法を説明するため
の、第１の基板等の模式的な一部断面図である。

【図１２】本発明のプラズマ表示装置及び従来のプラズ
マ表示装置において、放電パスを説明するための概念図
である。

【図１３】本発明のプラズマ表示装置及び従来のプラズ
マ表示装置において、第１の基板の表面を伝わるリーク
電流の経路を説明するための概念図である。

【図１４】本発明のプラズマ表示装置及び従来のプラズ
マ表示装置において、保護層の内部を伝わるリーク電流
の経路を説明するための概念図である。

【図１５】本発明のプラズマ表示装置及び従来のプラズ
マ表示装置において、保護層の表面を伝わるリーク電流
の経路を説明するための概念図である。

【図１６】１つの放電セルの寸法を小さくしたときの状
態を説明するための概念図である。

【図１７】放電セル内におけるグロー放電の発光状態を
模式的に示す図である。

【図１８】放電セル内におけるグロー放電の発光状態を
模式的に示す図である。

【図１９】従来のプラズマ表示装置における、一対の対
向する第１の電極と隔壁の配置関係を模式的に示す図で
ある。

【符号の説明】

１０・・・第１のパネル（フロントパネル）、１１・・
・第１の基板、１２Ａ，１２Ｂ・・・第１の電極、１３
・・・バス電極、１４・・・保護層、２０・・・第２の
パネル（リアパネル）、２１・・・第２の基板、２２・
・・第２の電極（アドレス電極）、２３・・・誘電体
膜、２４，２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂ・・・蛍光体層、２
５・・・隔壁、３０・・・レジスト層、３０，３０Ａ・
・・凹部

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（イ）第１の基板と、第１の基板の表面に
   設けられた複数の第１の電極から構成された第１の電極
   群と、第１の電極群上を含む第１の基板上に形成された
   保護層とから成る第１のパネル、及び、 （ロ）第２の基板と、第２の基板の上方に設けられた蛍
   光体層と、第１の電極の延びる方向と所定の角度を成し
   て延び、隣接する蛍光体層の間に設けられた隔壁とから
   成る第２のパネル、を有し、 対向する一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流
   駆動型のプラズマ表示装置であって、 対向する一対の第１の電極の間の第１の基板には凹部が
   形成されていることを特徴とする交流駆動型のプラズマ
   表示装置。
2. 【請求項２】凹部は溝部であることを特徴とする請求項
   １に記載のプラズマ表示装置。
3. 【請求項３】溝部の空間的な幅は５×１０^-5ｍ未満であ
   ることを特徴とする請求項２に記載のプラズマ表示装
   置。
4. 【請求項４】凹部は、一対の隔壁の間に位置する第１の
   基板の領域に設けられた孔部であることを特徴とする請
   求項１に記載のプラズマ表示装置。
5. 【請求項５】孔部の空間的な径は５×１０^-5ｍ未満であ
   ることを特徴とする請求項４に記載のプラズマ表示装
   置。
6. 【請求項６】（イ）第１の基板と、第１の基板の表面に
   設けられた複数の第１の電極から構成された第１の電極
   群と、第１の電極群上を含む第１の基板上に形成された
   保護層とから成る第１のパネル、及び、 （ロ）第２の基板と、第２の基板の上方に設けられた蛍
   光体層と、第１の電極の延びる方向と所定の角度を成し
   て延び、隣接する蛍光体層の間に設けられた隔壁とから
   成る第２のパネル、を有し、 対向する一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流
   駆動型のプラズマ表示装置の製造方法であって、 第１のパネルを、 （Ａ）第１の基板上にパターニングされた第１の電極を
   形成する工程と、 （Ｂ）対向する一対の第１の電極の間の第１の基板に凹
   部を形成する工程と、 （Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む第１の基板上に
   保護層を形成する工程、によって作製することを特徴と
   するプラズマ表示装置の製造方法。
7. 【請求項７】前記工程（Ｂ）は、対向する一対の第１の
   電極の間に開口部が形成されたレジスト層を全面に形成
   した後、該レジスト層をエッチング用マスクとして第１
   の基板をエッチングする工程から成ることを特徴とする
   請求項６に記載のプラズマ表示装置の製造方法。
8. 【請求項８】前記工程（Ｂ）は、対向する一対の第１の
   電極の間の第１の基板に、機械的掘削法あるいは機械的
   研削法にて凹部を形成する工程から成ることを特徴とす
   る請求項６に記載のプラズマ表示装置の製造方法。
9. 【請求項９】（イ）第１の基板と、第１の基板の表面に
   設けられた複数の第１の電極から構成された第１の電極
   群と、第１の電極群上を含む第１の基板上に形成された
   保護層とから成る第１のパネル、及び、 （ロ）第２の基板と、第２の基板の上方に設けられた蛍
   光体層と、第１の電極の延びる方向と所定の角度を成し
   て延び、隣接する蛍光体層の間に設けられた隔壁とから
   成る第２のパネル、を有し、 対向する一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流
   駆動型のプラズマ表示装置の製造方法であって、 第１のパネルを、 （Ａ）第１の基板上に導電材料層を形成する工程と、 （Ｂ）導電材料層をパターニングして第１の電極を形成
   し、引き続き、対向する一対の第１の電極の間の第１の
   基板に凹部を形成する工程と、 （Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む第１の基板上に
   保護層を形成する工程、によって作製することを特徴と
   するプラズマ表示装置の製造方法。
10. 【請求項１０】前記工程（Ｂ）は、導電材料層上にパタ
    ーニングされたレジスト層を形成した後、該レジスト層
    をエッチング用マスクとして、導電材料層をエッチング
    し、引き続き、第１の基板をエッチングする工程から成
    ることを特徴とする請求項９に記載のプラズマ表示装置
    の製造方法。
11. 【請求項１１】前記工程（Ｂ）は、機械的掘削法あるい
    は機械的研削法にて、導電材料層をパターニングし、引
    き続き、第１の基板に凹部を形成する工程から成ること
    を特徴とする請求項９に記載のプラズマ表示装置の製造
    方法。
12. 【請求項１２】（イ）第１の基板と、第１の基板の表面
    に設けられた複数の第１の電極から構成された第１の電
    極群と、第１の電極群上を含む第１の基板上に形成され
    た保護層とから成る第１のパネル、及び、 （ロ）第２の基板と、第２の基板の上方に設けられた蛍
    光体層と、第１の電極の延びる方向と所定の角度を成し
    て延び、隣接する蛍光体層の間に設けられた隔壁とから
    成る第２のパネル、を有し、 対向する一対の第１の電極の間で放電を生じさせる交流
    駆動型のプラズマ表示装置の製造方法であって、 第１のパネルを、 （Ａ）対向する一対の第１の電極を形成すべき第１の基
    板の領域に挟まれた第１の基板の部分に凹部を形成する
    工程と、 （Ｂ）凹部近傍の第１の基板の表面にパターニングされ
    た第１の電極を形成する工程と、 （Ｃ）第１の電極群上及び凹部内を含む第１の基板上に
    保護層を形成する工程、によって作製することを特徴と
    するプラズマ表示装置の製造方法。
13. 【請求項１３】前記工程（Ａ）は、機械的方法、化学的
    方法、直接的方法のいずれかによって、第１の基板に凹
    部を形成する工程から成ることを特徴とする請求項１２
    に記載のプラズマ表示装置の製造方法。