JP2001151576A

JP2001151576A - 摺動部材

Info

Publication number: JP2001151576A
Application number: JP33009299A
Authority: JP
Inventors: Koji Maeda; 康治前田
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-11-19
Filing date: 1999-11-19
Publication date: 2001-06-05

Abstract

(57)【要約】【課題】従来のセラミック軸受に代表されるセラミック
製の摺動部品は、高負荷、高速回転する部分では、摩擦
による発熱により軸受が焼き付いてしまい使用できなく
なるという課題があった。【解決手段】窒化珪素を主成分とし、酸化物換算で１〜
３０重量％の希土類元素化合物とアスペクト比が３以内
で長径の平均が６μｍ以下のＳｉＣを２〜２０ｗｔ％含
有し、嵩密度が理論密度の９８％以上である窒化珪素質
焼結体からなる摺動部材とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば機械部品の
軸受（ベアリング）等に使用される耐焼き付き性に優れ
た窒化珪素質焼結体からなる摺動部材に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】窒化珪素質焼結体は、高強度で耐摩耗性
や剛性に優れているため構造用機械部品材料として期待
されており、近年ではこれらの特性を利用して軸受の転
動体であるボールやローラー、高圧ポンプ用ローラーピ
ン等に使用されている。

【０００３】上記窒化珪素質焼結体の焼成に際しては、
上記窒化珪素質焼結体の原材料である窒化珪素に自己焼
結性がないため焼結助剤を添加して焼成している。上記
焼結助剤としては、一般にＹ₂Ｏ₃などの希土類元素酸化
物や、Ａｌ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、ＣａＯなどの酸化物が組み合
わされて用いられている。そして、窒化珪素粉末にこれ
らの焼結助剤を混合して成形した後、焼成することによ
り窒化珪素質焼結体を得ている。上記焼成方法として
は、常圧下で行う常圧焼成や窒素やアルゴンガスを用い
た雰囲気加圧焼成などがあり、さらに、上記常圧焼成に
より得られる焼結体においては、焼結体内部の残留気孔
を排除し機械的強度を向上させるために、ＨＩＰ（熱間
静水圧加圧）処理を行っている。

【０００４】特に摺動部品として用いる場合は、材料に
内在する欠陥（気孔、介在物、組織の異常など）が摺動
面での疲労によって表面で剥離を起こす原因となるた
め、このような欠陥が少なくなるように、結晶の粒成長
を抑制するため比較的低めの温度で焼成したのちＨＩＰ
処理を施したり、雰囲気加圧焼成する等の手法が用いら
れている。このようにして得られた焼結体は、製品とし
て精密加工された後、摺動部品として使用される。

【０００５】また、軸受部品等の摺動部品は高負荷で高
速回転すると摩擦により高温になりやすく、局部的には
摺動部分のオイルやグリースが炭化してしまう程の温度
まで達する場合があり、この摺動部から発生した熱を効
率よく分散させる事も重要である。このため、軽量で摩
耗や熱に強いセラミック製の摺動部品が注目されてい
る。

【０００６】近年は、セラミック軸受の主用途である工
作機械の高速化、及び航空機、宇宙産業への市場展開に
より、さらに高温環境下の高負荷セラミック軸受のニー
ズや、雑音を嫌う高速回転のＨＤＤ用軸受としてもセラ
ミック軸受のニーズが高まっている。また、自動車の燃
料噴射用の高圧小型ポンプに使用されるローラーピンな
ども高温・高負荷の環境で使用されるため、セラミック
ス製ローラーピンのニーズが高まっている。

【０００７】このように、セラミック軸受の使用される
環境は摩擦熱等により高温になりやすい部分でありなが
ら、近年の傾向では、職場の作業環境の改善目的で軸受
を冷却・潤滑するために使用されるオイルが廃止された
り、ＨＤＤ用軸受や宇宙産業のように潤滑や冷却が困難
な用途が増えており、無潤滑かつ無冷却と、より過酷な
使用環境になりつつある。そこで問題となるのが、セラ
ミック軸受の焼き付きによる摺動部の破損やグリースの
炭化によるダストの発生等である。これは、セラミック
軸受だけでなく高圧ポンプ用ローラーピン等の摺動部品
全般においても同様である。

【０００８】すなわち、セラミック軸受などの摺動部品
が十分な信頼性、良好な摺動特性を長期間維持するため
には、セラミック軸受の転動体のような摺動部材の熱伝
導率を高くし、局部的に高温にならないように摺動部分
の温度を分散させて、摺動部の焼き付きや潤滑オイルま
たはグリースの炭化を防ぐ必要がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
セラミック軸受に代表されるセラミック製の摺動部品
は、高負荷、高速回転する部分では、摩擦による発熱に
より軸受が焼き付いてしまい使用できなくなるという課
題があった。

【００１０】一般的に、窒化珪素質焼結体の熱伝導率を
高くする手法としては、窒化珪素より熱伝導率の高い物
質を混合して焼結させる方法や、窒化珪素質焼結体の組
成を調整したり窒化珪素質焼結体をさらに熱処理するな
どして、結晶粒界の非晶質相を結晶化させる方法があ
る。

【００１１】しかしながら、上記のような高熱伝導率の
物質を添加する方法や、結晶粒界の非晶質相を結晶化さ
せる方法では多くの場合、添加物が焼結に悪影響を与え
たり、破壊源となったり、また、窒化珪素の粒成長によ
る強度の低下や結晶粒界の脆化などが生じやすく、セラ
ミック軸受の転動体や摺動部品に求められる特性を十分
に満足できないという課題があった。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者等は鋭意検討し
た結果、窒化珪素を主成分とし、酸化物換算で１〜３０
重量％の希土類元素化合物とアスペクト比が３以下で長
径の平均が６μｍ以下のＳｉＣを２〜２０ｗｔ％含有
し、嵩密度が理論密度の９８％以上である窒化珪素質焼
結体からなることを特徴とする摺動部材とすることによ
り、上記課題を解決できることを見出した。

【００１３】また、窒化珪素を主成分とし、酸化物換算
で１〜３０重量％の希土類元素化合物と平均粒径が５μ
ｍ以下のＨｆＯ₂、ＴｉＮ等を１〜３０重量％含んだ窒
化珪素質焼結体においても、同様な結果が得られること
を見出した。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００１５】本発明の摺動部材は、窒化珪素を主成分と
し、酸化物換算で１〜３０重量％の希土類元素化合物と
アスペクト比が３以下で長径の平均が６μｍ以下のＳｉ
Ｃを２〜２０ｗｔ％含有し、嵩比重が理論密度の９８％
以上である窒化珪素質焼結体からなることを特徴とす
る。

【００１６】窒化珪素の焼結助剤として希土類元素化合
物を用いる理由は、焼結助剤に酸化マグネシウムや酸化
カルシウムなどを用いる場合より破壊靭性値が高く耐摩
耗部品として好ましいからである。この理由は明確でな
いが、粒界相の性質が異なるものと思われ、その量は酸
化物換算で１〜３０重量％が望ましい。この範囲を選ん
だ理由は、１重量％未満では緻密化させるために焼成温
度を高温にする必要があるため、得られた窒化質焼結体
の機械的特性が低下する傾向にあるからであり、また、
３０重量％を越えると窒化珪素の機械的特性が低下する
傾向にあるからである。すなわち、窒化珪素の特性を損
なわない焼成温度を得るためには、希土類元素化合物の
含有量が酸化物換算で１〜３０重量％であることが望ま
しい。

【００１７】なお、本発明に用いられる希土類元素の種
類としては、Ｙ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｌｕを使用できる。

【００１８】次に、含有されるＳｉＣについて説明する
と、その量は２〜２０重量％であることが望ましい。Ｓ
ｉＣが２重量％未満の場合は、粒界相の結晶化が不十分
で、結晶相全体に対する粒界結晶相の割合が５０％以上
にならないため、熱伝導率が低くなり良好な耐焼き付き
性が得られない。また２０重量％を越えると、難焼結性
のＳｉＣが焼結助剤中に多く含まれることになり、焼成
中の焼結が進まず十分に緻密化されないため、得られた
焼結体の嵩密度も理論密度の９８％以下となりやすく、
機械的特性の劣化が見られる。また、ＳｉＣのアスペク
ト比が３以上（たとえばウィスカーのような針状粒子）
やその長径が６μｍ以上の場合、細かく３次元的に複雑
な形状をしている結晶粒界組織に対してＳｉＣ粒子が大
きくなるために、結晶粒界における分散が不均一とな
り、難焼結性のＳｉＣ粒子の凝集が見られ焼結体の機械
的特性が低下する傾向があるからである。

【００１９】また、良好な耐焼き付き性を得るために
は、結晶相全体に対する粒界結晶相の割合が５０％以
上、熱伝導率が２２Ｗ/ｍ・Ｋ以上であることが重要で
ある。セラミックスが用いられる摺動部分は、高荷重を
受けながら高速で摺動する部分や、あるいは冷却および
潤滑が行えない部分であり、摺動部分が高温になりやす
い。すなわち、このような環境で優れた耐焼き付き性を
維持するには、摺動部分の摩擦による発熱を周囲の部材
に効率よく伝達して熱を逃がすことが重要である。その
ためには、高速で運動する摺動部材の熱伝導率が２２Ｗ
/ｍ・Ｋ以上であることが望ましい。一般的に、窒化珪
素質焼結体の熱伝導率を改善する場合、例えば結晶化を
抑制する働きのある酸化アルミニウムの添加量を減らし
て、粒界相の組成を結晶化しやすい組成に調整する。し
かし、このような組成は焼結体本来の機械的特性を大き
く劣化させてしまうので、高荷重を受けながらの高速運
動中や高速回転中に焼結体の破損やカケ、焼結体表面の
剥離や偏摩耗が発生して、騒音の原因となったり、信頼
性を低下させる原因となる。

【００２０】ここで、上述のＳｉＣを含有させた場合に
は粒界相中にＳｉＣが結晶として分散し、さらに、本来
は非晶質であることが安定な組成の粒界相に、例えばＹ
₁₀Ａｌ₂Ｓｉ₃Ｏ₁₈Ｎ₄のような結晶相の析出を助長する
ことが分かった。このような結晶相の析出を助長する理
由は明確でないが、この効果によりＳｉＣの含有量が２
〜４重量％と少ない場合であっても、窒化珪素質焼結体
の本来の特性を損なうことなく粒界相全体に対する粒界
結晶相の割合が５０％以上になり、２２Ｗ/ｍ・Ｋ以上
の熱伝導率が得られる。

【００２１】なお、このときの粒界結晶相の割合（Ａ）
は下記のようにして算出した。

【００２２】Ａ＝Ｖ２／Ｖ１*１００（％）Ｖ１：粒界相全体の体積割合Ｖ２：粒界結晶相の体積割合粒界相全体の体積割合（Ｖ１）は焼結体の研磨面をエッ
チングし、粒界相と窒化珪素粒子が識別できるように処
理を行った後、電子顕微鏡で得られた写真より粒界相の
面積割合（％）を求めてその値を粒界相全体の体積割合
とした。

【００２３】また、粒界結晶相の体積割合（Ｖ２）を求
めるには、まず得られた焼結体を粉砕して、Ｘ線回折に
より窒化珪素結晶相のピーク強度と粒界結晶相のピーク
強度を求め、下記の式より算出した。

【００２４】Ｖ２＝Ｈ１／Ｈ２*５＊β＊（１００−Ｖ１）／１００Ｈ１：粒界結晶相のメインピーク高さＨ２：Ｓｉ₃Ｎ₄β(110)ピーク高さ β：Ｓｉ₃Ｎ₄結晶のβ化率このとき、粒界結晶相のメインピークがＳｉ₃Ｎ₄のピー
クと重なり判別できない時は、Ｉｘ／Ｉ０＝Ｋ（Ｉｘ：
調査ピーク高さ、Ｉ０：主ピーク高さ）とした場合にＫ
がなるべく１００に近いもののピークを用い、そのピー
ク強度に１００／Ｋを乗じた値を用いる。

【００２５】さらに、上述した効果は、窒化珪素を主成
分とし、酸化物換算で１〜３０重量％の希土類元素酸化
物と平均粒径が５μｍ以下のＨｆＯ₂ _、ＴｉＮを０．５〜
３０重量％含んだ場合にも確認された。これは高融点物
質のＨｆＯ₂、ＺｒＢ₂、ＴｉＮ粒子が粒界相に固溶せず
に粒界相に残留しているか、焼結過程で一度は粒界相に
固溶したものの冷却過程で粒界相中に初期の状態で再析
出していると考えられるが、明確ではない。この焼結体
を粉砕し蛍光Ｘ線で分析を行ったところ、ＨｆＯ₂、Ｔ
ｉＮそれぞれ固有のＸ線ピークが得られた。含有量につ
いては、０．５重量％以下の場合は、粒界結晶相の割合
が少なく２２Ｗ/ｍ・Ｋ以上の熱伝導率が得られない。
また３０重量％以上になると、ＨｆＯ₂、ＴｉＮが高融
点である弊害として窒化珪素質焼結体の焼結を阻害する
傾向があり、焼結体の機械的特性の劣化が見られた。

【００２６】本発明の窒化珪素質焼結体は、窒化珪素質
焼結体の本来の特性を損なうことなく、４点曲げ強度
（ＪＩＳＲ１６０１）が７００ＭＰａ以上、破壊靭性
（ＪＩＳＲ１６０７）が４．０ＭＰａｍ^1/2以上の高
強度、高靭性の機械的特性を有している。

【００２７】次に、本発明の窒化珪素質焼結体を得るた
めの製造方法を説明する。

【００２８】原料粉末を所定量秤量し、公知の混合方
法、例えば回転ミルや振動ミル、バレルミルを用いてＩ
ＰＡやメタノール、水等を溶媒として混合する。場合に
よっては、溶媒を使わない乾式混合でも構わない。

【００２９】できあがった混合粉末を所望の成形手段、
例えば、金型プレス、冷間静水圧プレス、押し出し成
形、射出成形、鋳込み成形等により任意の形状にする。
成型手段によっては、スプレードライ等による造粒や、
水、有機バインダーと共にある一定粘度の杯土を作製す
るなどの準備も必要であるが、通常のセラッミクスの成
形手順に従えばよい。

【００３０】成形後、乾燥、脱脂が必要な場合、窒素中
や真空中、大気中で、５０℃〜１４００℃の温度で加熱
処理する。

【００３１】焼成は、窒素を含有した非酸化物雰囲気中
１６００℃〜２０００℃で行うが、焼成温度が高すぎる
と主相である窒化珪素結晶が粒成長し強度が低下するた
め、１６００〜１９００℃で行うことが望ましい。ま
た、１８００℃以上で焼成を行う場合は、窒化珪素の分
解が生じるので平衡圧力以上の窒素分圧下で焼成する必
要がある。さらに、これらの焼成後、ＨＩＰ（熱間静水
圧加圧）処理を施すことによりさらに緻密な焼結体を得
ることができる。ＨＩＰ温度としては、１５００〜１７
５０℃が好ましい。

【００３２】上記の焼成により窒化珪素は、原料がα、
βのいずれの場合においても最終的にはβ−窒化珪素主
結晶相と粒界相を含む焼結体が得られる。この粒界相は
希土類元素酸化物、酸化アルミニウムを焼結助剤として
用いた場合は、希土類元素、アルミニウム、酸素および
窒素を含む粒界相からなり、この粒界相中にＳｉＣまた
はＨｆＯ₂、ＴｉＮが結晶として分布し、さらにはＹ₁₀
Ａｌ₂Ｓｉ₃Ｏ₁₈Ｎ₄等の結晶化も助長され、結晶相全体
に対する粒界結晶相の割合が５０％以上になり、２２Ｗ
/ｍ・Ｋ以上の熱伝導率を有する窒化珪素質焼結体を得
ることができる。

【００３３】以上、本発明の窒化珪素質焼結体は種々の
セラミックス部品、特に、軸受の転動体であるボール
や、ピストンピン、ローラーピン、ロッカーアームチッ
プ、ローラーブッシュ、カムローラー、バルブ等の摺動
部品、切削工具等の高温度にさらされる部品に広く使用
する事が可能である。

【００３４】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。

【００３５】まず窒化珪素粉末（ＢＥＴ比表面積９ｍ²
／ｇ）粉末に、焼結助剤としてＹｂ₂Ｏ₃粉末、Ｅｒ₂Ｏ₃
粉末、Ｙ₂Ｏ₃粉末のうち１種を０．５〜３５重量％、Ａ
ｌ₂Ｏ ₃粉末を３重量％、およびＳｉＣ粉末を１〜２２重
量％またはＨｆＯ₂粉末、ＴｉＮ粉末の内１種を０．５
〜４０重量％の範囲でそれぞれの割合で添加し、水を使
い十分に混合して原料スラリーを調整した。ついで上記
スラリーに有機バインダーを加え、スプレードライによ
り原料顆粒を得た。次に、上記原料顆粒を用いて、プレ
ス成形により円柱状成形体を作製し、この成形体を１．
３３ｋＰａ以下の減圧下８００℃〜１４００℃の温度域
で加熱して脱バインダー処理した。

【００３６】次いで、上記成形体を窒素ガス中にて雰囲
気加圧焼成した。雰囲気加圧を窒化珪素の焼結が始まる
前に行い、加圧下で各々１６００〜２００℃まで昇温し
て焼成した。その後さらに、１０００〜２０００気圧の
窒素加圧下にてＨＩＰ処理を施し、円柱状ローラーピン
の焼結体を得た。得られた円柱状ローラーピンの焼結体
をセンタレス研磨機にて所定の外径寸法まで加工し、さ
らに摺動面となる表面は鏡面研磨加工を行った。

【００３７】この円柱状のローラーピン焼結体を切断
し、その断面を鏡面加工してエッチングを行い電子顕微
鏡を用いて撮影した３０００倍の反射電子像の写真から
粒界相の面積割合、すなわち粒界相全体の体積割合を求
めた。

【００３８】さらに、焼結体を粉砕してＸ線により窒化
珪素結晶相のピーク高さと粒界結晶相のピーク高さを測
定した。これにより、含有させたＳｉＣ結晶ピーク、お
よびこのＳｉＣ結晶ピークより大きなＹ₁₀Ａｌ₂Ｓｉ₃Ｏ
₁₈Ｎ₄の結晶相が観察された。また、このＹ₁₀Ａｌ₂Ｓｉ
₃Ｏ₁₈Ｎ₄結晶相のピーク強度は添加するＳｉＣの量に比
例することが判った。このそれぞれのピーク高さを前述
の式に代入して粒界中の結晶相の割合を求めた。

【００３９】また、抗折強度および破壊靭性の評価は、
上記顆粒を用いてプレス成形によりテストピースを作製
し、同様の焼成条件で焼成後、平面研削盤にて研磨を行
い、ＪＩＳＲ１６０１に基づき抗折強度を、ＪＩＳ
Ｒ１６０７に基づき破壊靭性をインストロン万能試験機
によりクロスヘッドスピード５ｍｍ／分で測定した。

【００４０】耐焼き付き性の評価は、３／８インチ径に
加工したローラーピンを８ピンタイプの軸受（グリー
ス：潤滑油５Ｗ−３０ベースオイル）にセットし、軸受
に対する荷重１０００Ｎで２１００ｒｐｍの負荷条件で
耐久評価試験を行い、耐焼き付き性を評価した。軸受の
内輪および外輪の材質は、ＳＵＫ−２とした。

【００４１】次に、嵩密度の理論密度に対する比率の求
め方について説明する。理論密度（Ｔ）はＸ線回折によ
る構造解析と組成分析値に従い、窒化珪素およびそれぞ
れの成分の構造と成分比を決定し、それぞれの成分が各
々の理論密度、成分比で配合されているとして算出し
た。また、嵩密度（Ｂ）はＪＩＳＲ−２２０５に従っ
て測定した。そして、嵩密度の理論密度に対する比率
は、Ｂ／Ｔを計算することにより求めた。

【００４２】これらの評価結果を表１にまとめた。

【００４３】

【表１】

【００４４】表１から明らかなように、焼結助剤として
の希土類元素化合物が酸化物換算で１重量％未満である
Ｎｏ．１の場合、焼結が不十分で嵩密度が理論密度の７
９％以下となり、このため焼結体の表面および内部に多
くのボイドが存在するので摺動部品として使用できな
い。また、希土類元素酸化物が３０重量％を越えるＮ
ｏ．８は脆弱な粒界相の体積割合が増えるために、焼結
体の強度が劣化することが判る。これに対し、本発明の
請求範囲内であるＮＯ．２〜７および希土類元素として
Ｅｒ、Ｙｂ、Ｙを用いたＮｏ．９〜１２は、嵩密度が理
論密度の９８％以上で強度も７００ＭＰａ以上であり摺
動部品として使用可能である。

【００４５】次に、含有されるＳｉＣの量についてはＮ
ｏ．１４〜１９の結果より、ＳｉＣが２重量％未満であ
るＮｏ．１４は、粒界相の結晶化が不十分で、結晶相全
体に対する粒界結晶相の割合が５０％以上にならないた
め、熱伝導率が低く良好な耐焼き付き性が得られない。
耐久評価においても、熱伝導率が２２Ｗ／ｍ・Ｋ以上の
組成では４００時間以上焼き付くことはなかったが、熱
伝導率が低いＮｏ．１４は１２０時間で焼き付きが生じ
た。またＳｉＣが２０重量％を越えるＮｏ．１９は、難
焼結性のＳｉＣが焼結助剤中に多く含まれることにな
り、得られた焼結体の密度が低く強度劣化も大きいとい
う結果が得られた。これに対して本発明の範囲内である
Ｎｏ．１５〜１８は粒界中の粒界結晶相の割合は計算上
５２〜１１２％の範囲となり大きな強度劣化も見られな
い。また、熱伝導率はＳｉＣ量が２重量％の時２２Ｗ／
ｍ・Ｋ、１０重量％の時３０Ｗ／ｍ・Ｋとなり、ＳｉＣ
添加量と粒界結晶相の割合、ＳｉＣ添加量と熱伝導率と
の間に良い相関が見られた。

【００４６】ＳｉＣのアスペクト比および形状について
は、Ｎｏ．４およびＮｏ．２０〜２４より、ＳｉＣのア
スペクト比が３を越える（たとえばウィスカーのような
針状粒子）であるＮｏ．２４やその長径が６μｍ以上で
あるＮｏ．２２は、細かく３次元的に複雑な形状をして
いる窒化珪素結晶粒に対して大きなＳｉＣ粒子が焼結を
阻害し、また、ＳｉＣ粒子が結晶粒界に均一に分散でき
ず分散が不均一となり難焼結性のＳｉＣ粒子の凝集が見
られ、焼結体の機械的特性が低下する傾向が見られた。
これに対して、本発明の請求範囲である、ＳｉＣのアス
ペクト比が３以下でその長径が６μｍ以下であるＮｏ．
４、２０、２１、２３は、焼結体の嵩密度が理論密度の
９８％以上となるので強度劣化がない。

【００４７】さらに、平均粒径が５μｍ以下のＨｆ
Ｏ₂、ＴｉＮを０．５〜３０重量％含んだものについて
の評価をＮｏ．２５〜３４に示した。ＨｆＯ₂、ＴｉＮ
の添加量を１重量％未満としたＮｏ．２５とＮｏ．３０
は、粒界結晶相の割合が少ないため２２Ｗ/ｍ・Ｋ以上
の熱伝導率が得られなかった。また前記含有量が３０重
量％を越えるＮｏ．２９とＮｏ．３４は、ＨｆＯ₂、Ｔ
ｉＮが高融点であるため窒化珪素質焼結体の焼結を阻害
する傾向があり、焼結体の機械的特性の劣化が見られ
た。

【００４８】これに対し、ＨｆＯ₂、ＴｉＮの添加量が
本発明の範囲内であるＮｏ．２６〜２８およびＮｏ．３
１〜３３は、熱伝導率が２２Ｗ／ｍ・Ｋ以上となり、良
好な耐焼き付き性を示すことが判った。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、該窒化珪素質焼結体の
粒界中の結晶相割合を５０％以上、熱伝導率を２２Ｗ／
ｍ・Ｋ以上とすることにより、耐焼き付き性を改善した
窒化珪素質焼結体からなる摺動部材を提供することが可
能となる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】窒化珪素を主成分とし、酸化物換算で１〜
３０重量％の希土類元素化合物と、アスペクト比が３以
下で長径の平均が６μｍ以下のＳｉＣを２〜２０重量％
含有し、嵩密度が理論密度の９８％以上である窒化珪素
質焼結体からなることを特徴とする摺動部材。
【請求項２】窒化珪素を主成分とし、酸化物換算で１〜
３０重量％の希土類元素化合物と平均粒径が５μｍ以下
のＨｆＯ₂、ＴｉＮを１〜３０重量％含有することを特
徴とする摺動部材。
【請求項３】結晶相全体に対する粒界結晶相の割合が５
０％以上で、熱伝導率が２２Ｗ/ｍ・Ｋ以上であること
を特徴とする請求項１または２に記載の摺動部材。
【請求項４】４点曲げ強度が７００ＭＰａ以上、破壊靭
性が４．０ＭＰａｍ ^1/2以上であることを特徴とする請
求項１または２に記載の摺動部材。