JP2001141601A - 表示装置または撮像装置の評価選別方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間で手間をかけずに、任意の判定条件に
よる良否選別やグレード分類を行える表示装置または撮
像装置の評価選別方法及び装置を提供すること。 【解決手段】 表示装置を表示させて得られる画像情報
または撮像装置で撮像して得られる画像情報から得られ
る表示装置または撮像装置の特性の測定データを記憶装
置２に保持し、評価選別のための判定基準を変更する場
合には、記憶装置２から端末４ａ〜４ｄで測定データを
取り出して、この測定データに変更した判定基準を適用
して、この判定基準に基づく表示装置または撮像装置の
良否の選別または性能別のランク分けを行うようにして
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネル
の特性を画像処理を用いて測定し、測定されたデータに
基づいて、判定条件を任意に設定して液晶パネルの性能
別レベルの分類作業や合否判定を行う表示装置または撮
像装置の評価選別方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネ
ルの検査は、ＬＣＤパネルを検査装置に搬入して、ＬＣ
Ｄパネルを実際に点灯させて得られる画像情報の画質を
検査することで行われている。検査装置においては、Ｌ
ＣＤパネルの搬入、駆動、画像撮像、検査、良否判定、
搬出といった一連の検査手順が全て自動で行われる。

【０００３】この検査においてＬＣＤパネルの良否の判
定や性能別のランク分け（グレード分類）を行うには、
そのための判定基準が上記検査装置にて設定されてお
り、測定されたデータにこの判定基準を当てはめて良否
判定やグレード分類がされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ここで、上記検査装置
にて設定された判定基準とは異なった条件での良否判定
やグレード分類行いたい場合、従来は検査装置における
判定条件を設定し直して、ＬＣＤパネルの特性の測定を
最初からやり直していた。すなわち、ＬＣＤパネルの測
定とこれに基づく良否判定やグレード分類はプログラム
によって自動的に行われており、変更するのは判定条件
のみであっても測定までも実際にプログラムに従ってや
り直さなければならなかった。これは、多大な時間と手
間がかかっていた。

【０００５】あるいは、検査装置の判定条件で判断され
たＬＣＤパネルを人間が目視で検査する点灯検査を行っ
て、検査装置の判定条件による評価選別結果との比較に
より、別の判定条件での良否やグレードを調べていた。
しかし、やはり時間と手間がかかり、更に正確な評価も
できない。

【０００６】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、短時
間で手間をかけずに、任意の判定条件による良否選別や
グレード分類を行える表示装置または撮像装置の評価選
別方法及び装置を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するに
あたり、本発明では、表示装置を表示させて得られる画
像情報または撮像装置で撮像して得られる画像情報から
得られる表示装置または撮像装置の特性の測定データを
記憶装置に保持し、評価選別のための判定基準を変更す
る場合には、記憶装置から測定データを取り出して、こ
の測定データと変更した判定基準とを比較して、この判
定基準に基づく表示装置または撮像装置の良否の選別ま
たは性能別のランク分けを行うようにしている。これに
より、一度測定し測定データのある表示装置または撮像
装置については、測定を再び行わなくとも、変更した判
定基準による評価選別が可能となる。

【０００８】または、本発明の表示装置または撮像装置
の評価選別装置は、表示装置を表示させて得られる画像
情報または撮像装置で撮像して得られる画像情報から表
示装置または撮像装置の特性を測定する検査装置と、検
査装置で測定された測定データを保持する記憶装置と、
記憶装置から測定データを取り出す端末と、表示装置ま
たは撮像装置の良否の選別または性能別のランク分けを
行う際の判定基準を設定する判定基準設定手段と、記憶
装置より取り出された測定データと判定基準とを比較す
る比較手段とを備え、比較手段における比較に基づいて
表示装置または撮像装置の良否の選別または性能別のラ
ンク分けを行うようにし、一度測定して測定データのあ
る表示装置または撮像装置については測定を再び行わな
くともよく、判定基準設定手段により任意の判定基準を
設定して、それに基づく評価選別が可能となる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１０】図１を参照して全体のシステムについて説
明する。検査項目種別に複数の（図示では３台）の検査
装置１ａ〜１ｂがあり、各検査装置１ａ〜１ｂはＬＣＤ
パネルの特性のどの項目について検査するかに応じてそ
の測定プログラムが異なっている。これら検査装置１ａ
〜１ｂにより測定される各種測定データ（特性データ及
び画像処理データ）は一元管理（システム化）される。
すなわち、検査装置１ａ〜１ｂごとに複数に分かれてい
る測定データファイルを高速に処理・解析が行えるよう
に１つのデータファイルにまとめデータの再構築を行
う。まとめられた測定データは専用ファイルとしてホス
トコンピュータ２の記憶装置に保持される。検査装置１
ａ〜１ｃとホストコンピュータ２はイーサネット（１本
のケーブルに複数の計算機が接続され相互に通信できる
仕組み）により接続されている。

【００１１】１つにファイル化されたデータファイルに
対しては各端末４ａ〜４ｄの例えば専用ＧＵＩ（graphi
cal user interface：アイコン等を用いた視覚的操作環
境）によりホストコンピュータ２にアクセスを行い測定
データを取り出す。各端末４ａ〜４ｄでは、利用者（検
査者）自身が任意に各種判定条件を入力・設定する。そ
して、各端末４ａ〜４ｄにて、ホストコンピュータ２よ
り取り出された測定データと入力された判定基準とを比
較してグレードの選別や合否判定の処理を行い、その結
果をレーザープリンタ５よりグラフや帳票形式で出力を
行う。

【００１２】図１において符号３は、それぞれイーサネ
ットにより構築された２つのローカルエリアネットワー
クを相互接続するブリッジである。

【００１３】次に、図２を参照してグレード選別と合否
選別の全体的な流れを示す。先ず、メインメニュー１０
からシミュレーションメイン１２を呼び出す。シミュレ
ーションメイン１２からロットウェハ選択画面１１を呼
び出し、ロットウェハ選択画面１１では検査すべきＬＣ
Ｄパネルのロットウェハを選択し確定する。次に、シミ
ュレーションメイン１２からデバイス選択画面１３を呼
び出し、初期値としての判定条件を設定する。

【００１４】次に、オプション設定２４にて各種設定を
行う。表示設定画面１４では、検査項目を設定し、パネ
ルのどの特性について検査するか選択する。データ値限
定画面１６では、著しく不良な測定データのＬＣＤパネ
ルを排除するためのデータ値を限定し、ロットウェハ選
択非選択設定画面１７でその明らかな欠陥パネルを排除
して、ある一定基準以上のレベルのＬＣＤパネルについ
て後のグレード選別や合否判定を行う。横軸設定画面１
５では、特性の測定結果や判定条件やグレード選別や合
否判定の結果をグラフ表示させる場合の横軸を設定す
る。

【００１５】次に、グレード選別や合否判定の具体例に
ついて説明する。画像処理を用いた測定では、図３に示
されるようにＬＣＤパネル上の有効画素範囲をゾーンＡ
とゾーンＢに分割し処理を行う。ゾーンＢは、図３の上
の表に示されるように５０画素（Ｈ方向）×１０５画素
（Ｖ方向）のゾーンＢ１と、１００画素（Ｈ方向）×３
０画素（Ｖ方向）のゾーンＢ２と、１００画素（Ｈ方
向）×２５画素（Ｖ方向）のゾーンＢ３と、５０画素
（Ｈ方向）×１０５画素（Ｖ方向）のゾーンＢ４の４つ
のゾーンからなる。これは、ゾーンＢ全体の画素数をわ
かりやすくするために分割して示している。ゾーンＡ
は、１００画素（Ｈ方向）×５０画素（Ｖ方向）の画素
数を有している。

【００１６】図４は、図３におけるＡ、Ｂ２つのゾーン
の４カ所の境界部ａ、ｂ、ｃ、ｄ近傍の画素のＨ方向
（水平方向）とＶ方向（垂直方向）のアドレスを示す。
これは、例として４カ所の境界部ａ、ｂ、ｃ、ｄ近傍の
画素についてＡ、Ｂどちらのゾーンに属するかを示した
ものである。

【００１７】画像不良（検査）項目として、例えば「極
小輝点」があり、ＬＣＤパネルを黒色表示させた場合の
輝点の位置及びその輝度レベルを調べる。黒色の輝度レ
ベルを０とした場合、欠陥がある場合には輝度レベル１
以上の輝点が存在する。輝点レベルとそのレベルの輝点
がＡゾーンに何個あり、Ｂゾーンに何個あるかというこ
とからグレード選別や合否選別がされる。

【００１８】図５は、例えばあるグレードについての判
定条件を示す。Ｇは緑色の輝点を示し、その輝度レベル
Ｔが１０≦Ｔ（レベル１）であるものがゾーンＡ、Ｂ合
わせて２個以内であるという条件を示している。Ｂは青
色の輝点を示し、その輝度レベルＴが１０≦Ｔ（レベル
１）であるものがゾーンＡでは１個以内、ゾーンＢでは
２個以内であるという条件を示している。Ｒは赤色の輝
点を表し、許容数のＲ＋Ｇは１０≦Ｔ（レベル１）の赤
色と緑色の輝点の合計の個数がＡ、Ｂゾーンで何個以内
かという条件を示す。この場合１０≦Ｔ（レベル１）に
ついては設定されていない。区分なしは白色に輝く輝点
を示す。レベル２（４≦Ｔ＜１０）、レベル３（２≦Ｔ
＜４）、レベル４（１≦Ｔ＜２）についても同様に許容
個数を設定していく。

【００１９】そして、これらＡＮＤ条件（全ての条件）
を満足するパネルはそのグレードでの合格とする。

【００２０】グレードとしては低い順から グレード５・・・グレード５の条件に不合格となるパネ
ル グレード４・・・所属グレードが５でないパネルのうち
グレード４の条件に不合格となるパネル グレード３・・・所属グレードが４、５の何れでもない
パネルのうちグレード３の条件に不合格となるパネル グレード２・・・所属グレードが３、４、５の何れでも
ないパネルのうちグレード２の条件に不合格となるパネ
ル グレード１・・・所属グレードが２、３、４、５の何れ
でもないパネル

【００２１】また、この結果からグレードごとの歩留り
を次のようにして算出する。 グレード１の歩留り・・・所属グレードが１であるパネ
ル数／全パネル数 グレード２の歩留り・・・所属グレードが１、２である
パネル数／全パネル数 グレード３の歩留り・・・所属グレードが１、２、３で
あるパネル数／全パネル数 グレード４の歩留り・・・所属グレードが１、２、３、
４であるパネル数／全パネル数 グレード５の歩留り・・・所属グレードが１、２、３、
４、５であるパネル数／全パネル数

【００２２】ここで、グレードを決定するための判定条
件、つまり図５において輝度レベルの範囲やゾーンごと
の許容数を変えて、上記とは違った基準によるグレード
選別を行いたい場合には、図２の条件一覧画面１８及び
レベル別一覧画面１９において図５の条件が表示されて
おり、許容個数設定画面２１と輝度レベル設定画面２２
から任意の条件を設定して判定条件の変更を行い、図１
において端末４ａ〜４ｄを用いてホスト２より既に測定
されているデータ（輝点のアドレスと輝度レベル）を取
り出してきて、変更した判定条件を当てはめてグレード
選別を行う。

【００２３】すなわち、別の基準でのグレード選別を行
いたい場合には、判定条件のみを設定し直すだけで、測
定データは既に測定されホスト２に保存されているもの
を取り出してきて、変更した判定条件を適用させるだけ
で済む。従って、一度測定したパネルについては、検査
装置で再び測定からやり直して判定を行わなくても良
く、迅速にリアルタイムでグレードごとの振り分けが可
能となる。

【００２４】図６は、グレードごとの分類ではなく、単
に良いか悪いかの合否選別のための条件を示す。その条
件は、図５と同様に表されており、１０≦Ｔ（レベル
１）の緑色輝点の個数がゾーンＡ、Ｂ合わせて４個以
内、かつ１０≦Ｔ（レベル１）の赤色輝点の個数と緑色
輝点の個数の合計がゾーンＡ、Ｂ合わせて６個以内とい
う条件である。この条件を満足すれば合格、そうでなけ
れば不合格となる。また、歩留りの算出は、合格パネル
数／全パネル数で行う。全パネル数が０である場合には
歩留りは０である。

【００２５】図２においては、シミュレーション値設定
画面２３により任意に判定基準値を変更設定して、合否
選別シミュレーション結果表画面２０によりその基準値
での合否結果を調べる。この場合にも、既に１度測定さ
れているデータを取り出してきて、判定基準と照らし合
わせるだけなので手間と時間がかからない。

【００２６】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

【００２７】上記実施の形態では、パネルの特性検査と
して、パネル全体を黒で表示し輝点の位置及びレベルを
調べたが、これに限らず、パネル全体を赤、青、緑で表
示させて輝点の位置及びレベルを調べてもよい。あるい
は、パネル全体を白で表示させて滅点の位置及びレベル
を調べてもよい。

【００２８】また、図５、図６に示した判定条件は一例
として示したものであって、要求される製品の品質に応
じて任意に決定される。また、グレード分類も５段階で
なくてもよく、これより細かく分類してもよい。

【００２９】また、検査対象もＬＣＤパネルに限らず、
例えばＣＣＤカメラ等の撮像装置により得られる画像を
検査することでＣＣＤカメラの特性について検査するよ
うにしてもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１又は請求項
３の発明によれば、判定条件を変動させての製品の合格
か不合格かの選別、あるいは性能別への分類作業を手間
をかけずに短時間で行える。

【００３１】また、請求項２によれば、測定データの取
り出しに関して迅速に行え利便性が増す。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態において、検査装置により測定さ
れたデータが端末により取り出される流れを示す図であ
る。

【図２】同測定から評価選別までの流れを示すフローチ
ャートである。

【図３】Ａ、Ｂ２つのゾーンに区分されたＬＣＤパネル
の有効画素領域及び各ゾーンの画素数を表す図である。

【図４】図３におけるゾーンＡ、Ｂの４カ所の境界部近
傍に存在する画素のアドレスとその画素の所属ゾーンを
示す図である。

【図５】本実施の形態によるグレード分類の判定条件を
示す図である。

【図６】同合否選別の判定条件を示す図である。

【符号の説明】

１ａ……検査装置、１ｂ……検査装置、１ｃ……検査装
置、２……ホストコンピュータ、３……ブリッジ、４ａ
……端末、４ｂ……端末、４ｃ……端末、４ｄ……端
末、５……レーザープリンタ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示装置を表示させて得られる画像情報
   または撮像装置で撮像して得られる画像情報から前記表
   示装置または前記撮像装置の特性を測定し、この測定デ
   ータと判定基準との比較に基づいて前記表示装置または
   前記撮像装置の良否の選別または性能別のランク分けを
   するようにした表示装置または撮像装置の評価選別方法
   において、 前記測定データを記憶装置に保持して、 前記判定基準を変更して前記評価選別を行う場合には、
   前記記憶装置から前記測定データを取り出して、この測
   定データと変更した判定基準とを比較して前記評価選別
   を行うようにしたことを特徴とする表示装置または撮像
   装置の評価選別方法。
2. 【請求項２】 前記測定データは測定項目種別に複数あ
   り、これら測定データを１つのデータファイルにまとめ
   て前記記憶装置に保持するようにしたことを特徴とする
   請求項１に記載の表示装置または撮像装置の評価選別方
   法。
3. 【請求項３】 表示装置を表示させて得られる画像情報
   または撮像装置で撮像して得られる画像情報から前記表
   示装置または前記撮像装置の特性を測定する検査装置
   と、 前記検査装置で測定された測定データを保持する記憶装
   置と、 前記記憶装置から前記測定データを取り出す端末と、 前記表示装置または前記撮像装置の良否の選別または性
   能別のランク分けを行う際の判定基準を設定する判定基
   準設定手段と、 前記記憶装置より取り出された前記測定データと前記判
   定基準とを比較する比較手段とを備え、 前記比較手段における前記比較に基づいて前記良否の選
   別または性能別のランク分けを行うようにしたことを特
   徴とする表示装置または撮像装置の評価選別装置。