JP2001015373A - Manufacture of laminated ceramic electronic component and laminated ceramic electronic component - Google Patents
Manufacture of laminated ceramic electronic component and laminated ceramic electronic componentInfo
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 107
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 51
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
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- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層コンデ
ンサや積層サーミスタなどの積層セラミック電子部品の
製造方法及び積層セラミック電子部品に関し、より詳細
には、内部電極間の積層ずれを抑制し得るように内部電
極が構成されている積層セラミック電子部品の製造方法
及び積層セラミック電子部品に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer capacitor and a multilayer thermistor, and to a multilayer ceramic electronic component. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component having an internal electrode and a multilayer ceramic electronic component.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、積層コンデンサなどの積層セラミ
ック電子部品の製造は、以下のようにして行われてい
た。まず、マザーのセラミックグリーンシートを用意す
る。次に、マザーのセラミックグリーンシートの片面
に、行方向及び列方向に整列された複数の内部電極パタ
ーンを形成する。次に、内部電極パターンが形成された
マザーのセラミックグリーンシートを積層し、上下に適
宜の枚数の無地のマザーのセラミックグリーンシートを
積層し、厚み方向に加圧することによりマザーの積層体
を得る。2. Description of the Related Art Conventionally, production of multilayer ceramic electronic components such as multilayer capacitors has been performed as follows. First, a mother ceramic green sheet is prepared. Next, a plurality of internal electrode patterns aligned in the row and column directions are formed on one side of the mother ceramic green sheet. Next, the mother ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are formed are stacked, and an appropriate number of plain mother ceramic green sheets are stacked one above the other, and a mother laminate is obtained by pressing in the thickness direction.
【0003】次に、マザーの積層体を厚み方向に切断
し、個々の積層セラミック電子部品単位の生積層体を得
る。さらに、生積層体を焼成し、焼結体を得、得られた
焼結体の外表面に外部電極を付与する。[0003] Next, the mother laminate is cut in the thickness direction to obtain a raw laminate of individual multilayer ceramic electronic components. Further, the green laminate is fired to obtain a sintered body, and an external electrode is provided on an outer surface of the obtained sintered body.
【0004】ところで、積層コンデンサなどの積層セラ
ミック電子部品では、複数の内部電極が正確に重なり合
うことが必要である。すなわち、内部電極の積層精度が
十分でない場合、所望とする静電容量などの電気的特性
を得ることができなくなる。In a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer capacitor, it is necessary that a plurality of internal electrodes be accurately overlapped. That is, when the lamination accuracy of the internal electrodes is not sufficient, it is impossible to obtain desired electrical characteristics such as capacitance.
【0005】しかしながら、内部電極同士を正確に重な
り合うようにセラミックグリーンシートを積層すること
は非常に困難である。そこで、従来、積層ずれに起因す
る特性の変動を抑制するために、種々の試みがなされて
いる(例えば、特開平8−273973号公報、特開平
8−181015号公報、特開平8−181033号公
報など)。[0005] However, it is very difficult to laminate the ceramic green sheets so that the internal electrodes overlap exactly. Therefore, conventionally, various attempts have been made to suppress the fluctuation of the characteristics due to the lamination deviation (for example, JP-A-8-273973, JP-A-8-181015, and JP-A-8-181333). Gazettes).
【0006】図9を参照して、この種の積層セラミック
電子部品の製造方法の一例を説明する。従来のこの種の
積層セラミック電子部品の製造方法では、セラミックグ
リーンシート51上に相対的に幅の広い矩形の内部電極
52を形成する。また、セラミックグリーンシート51
に積層される下方のセラミックグリーンシート53上に
は、相対的に幅の狭い内部電極54を形成する。内部電
極52,54が厚み方向において交互に複数層積層され
る。Referring to FIG. 9, an example of a method for manufacturing this kind of multilayer ceramic electronic component will be described. In the conventional method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component of this type, a relatively wide rectangular internal electrode 52 is formed on a ceramic green sheet 51. Also, the ceramic green sheet 51
A relatively narrow internal electrode 54 is formed on the lower ceramic green sheet 53 to be laminated. A plurality of internal electrodes 52 and 54 are alternately stacked in the thickness direction.
【0007】上記のような内部電極構造を有する積層コ
ンデンサでは、セラミックグリーンシート51に対し
て、セラミックグリーンシート53が幅W方向に若干ず
れたとしても、内部電極52と、内部電極54との重な
り面積に変動が生じない。従って、W方向の積層ずれに
起因する静電容量の変動を防止することができる。In the multilayer capacitor having the above internal electrode structure, even if the ceramic green sheet 53 is slightly shifted in the width W direction with respect to the ceramic green sheet 51, the internal electrode 52 and the internal electrode 54 overlap. The area does not change. Therefore, it is possible to prevent the capacitance from fluctuating due to the lamination displacement in the W direction.
【0008】なお、図9において、内部電極52の先端
と対向するように電極パターン54aが形成されてお
り、内部電極54の先端と対向するように電極パターン
52aが形成されている。これは、図10に平面図で示
すように、マザーのセラミックグリーンシート55上
に、内部電極パターン52Aと内部電極パターン54A
とが行方向において、すなわちX方向において交互に配
置されていることによる。In FIG. 9, an electrode pattern 54a is formed so as to face the tip of the internal electrode 52, and the electrode pattern 52a is formed so as to face the tip of the internal electrode 54. This is because, as shown in the plan view of FIG. 10, the internal electrode pattern 52A and the internal electrode pattern 54A are formed on the mother ceramic green sheet 55.
Are alternately arranged in the row direction, that is, in the X direction.
【0009】すなわち、上記積層構造を得るに際して
は、図10に示した内部電極パターン52A,54Aが
印刷された1種類のマザーのセラミックグリーンシート
55を複数枚用意する。次に、複数枚のセラミックグリ
ーンシート55を、1枚ごとに、X方向すなわち行方向
に所定ピッチずらせて積層する。より詳細には、セラミ
ックグリーンシート55上に、2番目に積層されるセラ
ミックグリーンシート55をX方向に所定ピッチずらせ
て積層し、次に最初のセラミックグリーンシート55と
同じ位置に第3のセラミックグリーンシート55を積層
する。このような工程を繰り返すことにより、マザーの
積層体が得られる。That is, in order to obtain the above laminated structure, a plurality of one kind of mother ceramic green sheets 55 on which the internal electrode patterns 52A and 54A shown in FIG. 10 are printed are prepared. Next, a plurality of ceramic green sheets 55 are stacked one by one with a predetermined pitch shifted in the X direction, that is, the row direction. More specifically, the second ceramic green sheet 55 is laminated on the ceramic green sheet 55 with a predetermined pitch shifted in the X direction, and then the third ceramic green sheet is placed at the same position as the first ceramic green sheet 55. The sheet 55 is laminated. By repeating such steps, a mother laminate is obtained.
【0010】上記マザーの積層体を厚み方向に切断する
ことにより、個々の積層コンデンサ単位の積層体が得ら
れる。従って、図9に示したように、内部電極52,5
4の先端と対向するように、電極パターン54a,52
aが残存することになる。By cutting the mother laminate in the thickness direction, a laminate of individual multilayer capacitors can be obtained. Therefore, as shown in FIG.
The electrode patterns 54a, 52
a will remain.
【0011】上記製造方法では、内部電極パターン52
A,54Aが形成された1種類のセラミックグリーンシ
ート55を用意し、上記のように積層方法を工夫するだ
けで、マザーの積層体を得ることができる。また、前述
したように、内部電極52,54間においてW方向に積
層ずれが生じたとしても、静電容量の変動を防止するこ
とができる。In the above manufacturing method, the internal electrode pattern 52
A mother laminated body can be obtained only by preparing one type of ceramic green sheet 55 on which A and 54A are formed and devising a laminating method as described above. Further, as described above, even if lamination misalignment occurs between the internal electrodes 52 and 54 in the W direction, it is possible to prevent a change in capacitance.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た製造方法により多数の積層コンデンサを製造した場
合、静電容量のばらつきが大きくなることがあった。特
に、内部電極積層数が偶数の場合には、図11(a)に
略図的に示すように、静電容量のばらつきはさほど大き
くなかったものの、内部電極積層数が奇数の場合には、
図11(b)に示すように、2つの静電容量分布A,B
が形成され、かつ静電容量のばらつきが非常に大きかっ
た。However, when a large number of multilayer capacitors are manufactured by the above-described manufacturing method, the variation in capacitance may be large. In particular, when the number of laminated internal electrodes is an even number, as shown schematically in FIG. 11A, the variation in capacitance was not so large, but when the number of laminated internal electrodes was an odd number,
As shown in FIG. 11B, two capacitance distributions A and B
Was formed, and the variation in capacitance was very large.
【0013】これは、上記製造方法により多数の積層コ
ンデンサを製造した場合、内部電極積層数が奇数の場
合、2種類の内部電極配置の積層コンデンサが得られる
ことに起因する。すなわち、図10に示した電極パター
ンを有するマザーのセラミックグリーンシート55を用
いた場合、最終的に得られた積層コンデンサとして、図
12(a)及び(b)に横断面図で示す各電極構造を有
する積層コンデンサが得られる。This is because when a large number of multilayer capacitors are manufactured by the above manufacturing method, and when the number of laminated internal electrodes is an odd number, a multilayer capacitor having two types of internal electrodes is obtained. That is, when the mother ceramic green sheet 55 having the electrode pattern shown in FIG. 10 is used, each of the electrode structures shown in the cross-sectional views in FIGS. Is obtained.
【0014】図12(a)に示す積層コンデンサ56で
は、3層の内部電極54と、2層の内部電極52とが積
層されており、他方、図12(b)に示す積層コンデン
サ57では、3層の内部電極52と2層の内部電極54
とが積層されている。In the multilayer capacitor 56 shown in FIG. 12A, three layers of internal electrodes 54 and two layers of internal electrodes 52 are stacked, while in the multilayer capacitor 57 shown in FIG. Three-layer internal electrode 52 and two-layer internal electrode 54
Are laminated.
【0015】従って、積層コンデンサ56と積層コンデ
ンサ57とでは、全体としての有効電極重なり面積が相
違し、静電容量が異なることになる。そのため、図11
(b)に示したような2つの静電容量分布A,Bが実現
される。Accordingly, the multilayer capacitor 56 and the multilayer capacitor 57 have different effective electrode overlapping areas as a whole and have different electrostatic capacities. Therefore, FIG.
Two capacitance distributions A and B as shown in FIG.
【0016】すなわち、図10に示した電極パターンを
有するマザーのセラミックグリーンシート55を用いた
従来の製造方法では、内部電極積層数が奇数の場合、2
種類の電極構造の積層コンデンサが得られ、静電容量の
ばらつきが大きくならざるを得なかった。That is, in the conventional manufacturing method using the mother ceramic green sheet 55 having the electrode pattern shown in FIG.
A multilayer capacitor having various types of electrode structures was obtained, and the variation in capacitance had to be large.
【0017】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、内部電極パターンが形成されたマザーのセラ
ミックグリーンシートの積層ずれに起因する静電容量な
どの電気的特性の変動を抑制することができるだけでな
く、内部電極積層数が奇数の場合であっても、静電容量
などの電気的特性のばらつきが生じ難い、積層セラミッ
ク電子部品の製造方法及び該積層セラミック電子部品を
提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art and to suppress fluctuations in electrical characteristics such as capacitance caused by misalignment of ceramic green sheets of a mother on which internal electrode patterns are formed. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component and a multilayer ceramic electronic component, in which even if the number of laminated internal electrodes is odd, variations in electrical characteristics such as capacitance are unlikely to occur. It is in.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】本発明は、行方向及び列
方向に複数の内部電極パターンが整列形成されたマザー
のセラミックグリーンシートを積層する工程を有する積
層セラミック電子部品の製造方法であって、前記内部電
極パターンが行方向において一端から他端に向かって幅
が狭くなるような形状を有し、かつ行方向において隣り
合う内部電極パターンが両者の中間点を中心として対称
な形状を有するように、複数の内部電極パターンが一面
に形成されたマザーのセラミックグリーンシートを用意
する工程と、複数の前記マザーのセラミックグリーンシ
ートを1枚おきに行方向にずらして積層し、マザーの積
層体を得る工程と、マザーの積層体を厚み方向に切断す
ることにより個々の積層セラミック電子部品単位の積層
体を得る工程と、前記積層体を焼成し、焼結体を得る工
程と、前記焼結体の外表面に外部電極を付与する工程と
を備えることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising a step of laminating a mother ceramic green sheet in which a plurality of internal electrode patterns are aligned and formed in a row direction and a column direction. The internal electrode pattern has a shape such that the width decreases from one end to the other end in the row direction, and the internal electrode patterns adjacent in the row direction have a shape symmetric about an intermediate point between the two. A step of preparing a mother ceramic green sheet having a plurality of internal electrode patterns formed on one surface, and laminating a plurality of the mother ceramic green sheets alternately in the row direction every other sheet to form a mother laminate. Obtaining, and cutting the mother laminate in the thickness direction to obtain a laminate of individual multilayer ceramic electronic component units, Serial firing the laminated body, and obtaining a sintered body, characterized in that it comprises a step of applying the external electrodes on the outer surface of the sintered body.
【0019】本発明の特定の局面では、前記内部電極パ
ターンが、列方向に延びる上辺及び下辺を有する台形で
あり、前記行方向において隣り合う台形の内部電極パタ
ーンの上辺同士または下辺同士が対向されている。In a specific aspect of the present invention, the internal electrode pattern is a trapezoid having an upper side and a lower side extending in a column direction, and upper sides or lower sides of the trapezoidal internal electrode patterns adjacent in the row direction are opposed to each other. ing.
【0020】本発明の別の特定の局面では、前記内部電
極パターンが、行方向一端側に位置しており、相対的に
幅の広い第1の矩形部と、第1の矩形部に連ねられてお
り、他端側に位置している相対的に幅の狭い第2の矩形
部とを有し、行方向において隣り合う内部電極パターン
間において、第1の矩形部同士、または第2の矩形部同
士が対向されている。In another specific aspect of the present invention, the internal electrode pattern is located at one end in the row direction, and is connected to the first rectangular portion having a relatively large width and the first rectangular portion. A second rectangular portion having a relatively narrow width located on the other end side, and the first rectangular portions or the second rectangular portions between the internal electrode patterns adjacent in the row direction. The parts are opposed to each other.
【0021】また、本発明に係る積層セラミック電子部
品は、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法
により得られるものであり、好ましくは、内部電極積層
数が奇数とされる。The multilayer ceramic electronic component according to the present invention is obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, and preferably has an odd number of internal electrode stacks.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
説明することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention.
【0023】(第1の実施例)第1の実施例では、ま
ず、図1(a)に示すように、矩形のマザーのセラミッ
クグリーンシートを用意する。マザーのセラミックグリ
ーンシート1は、例えばチタン酸バリウム系セラミック
スのような誘電体セラミックスを主体とするセラミック
スラリーをシート成形することにより得られる。(First Embodiment) In the first embodiment, first, as shown in FIG. 1A, a rectangular mother ceramic green sheet is prepared. The mother ceramic green sheet 1 is obtained by sheet-forming a ceramic slurry mainly composed of a dielectric ceramic such as a barium titanate-based ceramic.
【0024】マザーのセラミックグリーンシート1の上
面1a上には、複数の内部電極パターン2,3が行方向
及び列方向に形成されている。なお、行方向とは、図1
(a)において横方向を意味し、列方向とは縦方向を意
味いうものとする。On the upper surface 1a of the mother ceramic green sheet 1, a plurality of internal electrode patterns 2 and 3 are formed in a row direction and a column direction. It should be noted that the row direction refers to FIG.
In (a), the horizontal direction means the column direction, and the column direction means the vertical direction.
【0025】内部電極パターン2,3は、それぞれ、行
方向において一端から他端に向かって幅が狭くなるよう
な形状とされている。本実施例では、内部電極パターン
2,3の形状は等脚台形である。この等脚台形の上辺及
び下辺は列方向に延びている。Each of the internal electrode patterns 2 and 3 has such a shape that its width decreases from one end to the other end in the row direction. In this embodiment, the shape of the internal electrode patterns 2 and 3 is a trapezoidal shape. The upper and lower sides of this isosceles trapezoid extend in the column direction.
【0026】内部電極パターン2は、一端2aから他端
2b側に向かって幅が狭くなるように構成されている。
また、内部電極パターン3は、一端3aから他端3bに
向かって幅が狭くなるように形成されている。行方向に
おいては、内部電極パターン2,3が、交互に配置され
ている。また、列方向においては、同じ内部電極パター
ンが整列形成されている。すなわち、最も左側の列にお
いては、複数の内部電極パターン2が列方向に整列形成
されており、左側から2番目の列では、複数の内部電極
パターン3が列方向に整列形成されている。The internal electrode pattern 2 is configured such that its width decreases from one end 2a toward the other end 2b.
Further, the internal electrode pattern 3 is formed so that the width decreases from one end 3a to the other end 3b. In the row direction, the internal electrode patterns 2 and 3 are alternately arranged. In the column direction, the same internal electrode patterns are arranged and formed. That is, in the leftmost column, the plurality of internal electrode patterns 2 are formed in the column direction, and in the second column from the left, the plurality of internal electrode patterns 3 are formed in the column direction.
【0027】また、行方向において隣り合う内部電極パ
ターン2,3は、両者の中間点を中心として対称な形状
を有するように構成されている。すなわち、隣り合う内
部電極パターン2,3の上辺同士または下辺同士が対向
されている。Further, the internal electrode patterns 2 and 3 adjacent in the row direction are configured to have a symmetrical shape with a center point between the two. That is, the upper sides or the lower sides of the adjacent internal electrode patterns 2 and 3 are opposed to each other.
【0028】なお、本実施例では、列方向においては、
上記のように同じ内部電極パターンが整列形成されてい
るが、列方向においても、内部電極パターン2,3が交
互に整列形成されていてもよい。In this embodiment, in the column direction,
Although the same internal electrode patterns are arranged and formed as described above, the internal electrode patterns 2 and 3 may be alternately formed in the column direction.
【0029】上記内部電極パターン2,3は、導電ペー
ストをスクリーン印刷することにより形成することがで
きる。もっとも、導電ペーストの印刷の他、蒸着やスパ
ッタリング等の薄膜形成法により内部電極パターン2,
3を形成してもよい。The internal electrode patterns 2 and 3 can be formed by screen-printing a conductive paste. However, in addition to printing of the conductive paste, the internal electrode patterns 2 and 2 are formed by a thin film forming method such as evaporation or sputtering.
3 may be formed.
【0030】次に、内部電極パターン2,3が形成され
たマザーのセラミックグリーンシート1を複数枚用意
し、複数枚のマザーのセラミックグリーンシート1を1
枚おきに行方向にずらして積層し、マザーの積層体を得
る。すなわち、1番目のマザーのセラミックグリーンシ
ート1上に、2番目のマザーのセラミックグリーンシー
ト1を、行方向においてずらして積層し、次に、3番目
のマザーのセラミックグリーンシート1を1枚目のマザ
ーのセラミックグリーンシート1と同じ位置に積層し、
4番目のマザーのセラミックグリーンシート1を2番目
のマザーのセラミックグリーンシート1と同じ位置に積
層する。Next, a plurality of mother ceramic green sheets 1 on which the internal electrode patterns 2 and 3 are formed are prepared.
Every other sheet is shifted in the row direction and stacked to obtain a mother laminate. That is, the second mother ceramic green sheet 1 is laminated on the first mother ceramic green sheet 1 while being shifted in the row direction, and then the third mother ceramic green sheet 1 is placed on the first mother ceramic green sheet 1. Laminated at the same position as the mother's ceramic green sheet 1,
The fourth mother ceramic green sheet 1 is laminated at the same position as the second mother ceramic green sheet 1.
【0031】このようにして、複数枚のマザーのセラミ
ックグリーンシート1を1枚おきに行方向にずらして積
層し、さらに上下に適宜の枚数の無地のマザーのセラミ
ックグリーンシートを積層し、マザーの積層体を得る。In this way, a plurality of mother ceramic green sheets 1 are stacked alternately in the row direction every other sheet, and an appropriate number of plain mother ceramic green sheets are stacked one above the other. Obtain a laminate.
【0032】上記のようにして得られたマザーの積層体
を、厚み方向に加圧した後、厚み方向に切断し、個々の
積層コンデンサ単位の積層体を得る。この切断に際して
は、例えば図1において、一点鎖線C,Dで示す位置に
沿って切断を行うことにより、個々の積層コンデンサ単
位の積層体を得ることができる。After the mother laminate obtained as described above is pressed in the thickness direction, it is cut in the thickness direction to obtain a laminate of individual multilayer capacitors. At the time of this cutting, for example, by cutting along the positions indicated by the dashed lines C and D in FIG. 1, it is possible to obtain a multilayer body for each multilayer capacitor unit.
【0033】このようにして得られた個々の積層セラミ
ックコンデンサ単位の積層体を焼成し、焼結体を得る。
得られた焼結体の外表面に外部電極を付与することによ
り、積層セラミックコンデンサが得られる。外部電極の
形成については、導電ペーストの塗布・焼き付け、蒸
着、メッキもしくはスパッタリングなどの薄膜形成法な
どの任意の方向により行い得る。また、Agペーストの
ような導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより第
1の電極膜を形成し、第1の電極膜上に、Niメッキ膜
及びSnメッキ膜などを順次形成し、積層膜からなる外
部電極を形成してもよい。The multilayer body of each multilayer ceramic capacitor obtained as described above is fired to obtain a sintered body.
By applying an external electrode to the outer surface of the obtained sintered body, a multilayer ceramic capacitor is obtained. The external electrodes can be formed in any direction such as a thin film forming method such as application and baking of a conductive paste, vapor deposition, plating or sputtering. Further, a first electrode film is formed by applying and baking a conductive paste such as an Ag paste, and a Ni plating film and a Sn plating film are sequentially formed on the first electrode film to form a laminated film. External electrodes may be formed.
【0034】上記のようにして得られた積層コンデンサ
の内部構造を図3に縦断面図で、外観を図4に斜視図で
示す。積層コンデンサ4では、上記のようにして得られ
た焼結体5内に、内部電極2A,3Aが厚み方向におい
て交互に配置されている。内部電極2Aは、焼結体5の
第1の端面5aに引き出されている。内部電極3Aは、
焼結体5の第1の端面5aとは反対側の第2の端面5b
に引き出されている。また、6,7は、それぞれ外部電
極を示す。FIG. 3 is a vertical sectional view of the internal structure of the multilayer capacitor obtained as described above, and FIG. 4 is a perspective view of the external appearance. In the multilayer capacitor 4, the internal electrodes 2A and 3A are alternately arranged in the thickness direction in the sintered body 5 obtained as described above. The internal electrode 2A is drawn out to the first end face 5a of the sintered body 5. The internal electrode 3A is
Second end face 5b of sintered body 5 opposite to first end face 5a
Has been drawn to. Reference numerals 6 and 7 denote external electrodes, respectively.
【0035】本実施例の製造方法によれば、積層コンデ
ンサ4において、静電容量のばらつきを低減することが
できる。これを、図1(b)を参照して説明する。前述
したように、複数の内部電極パターンがマトリックス状
に形成されたマザーのセラミックグリーンシートを1枚
おきに行方向にずらして積層し、マザーの積層体を得る
従来法では、積層ずれに起因する静電容量のばらつきが
問題となっていた。According to the manufacturing method of this embodiment, the variation in the capacitance of the multilayer capacitor 4 can be reduced. This will be described with reference to FIG. As described above, in the conventional method in which a mother ceramic green sheet in which a plurality of internal electrode patterns are formed in a matrix is alternately stacked in the row direction to obtain a mother laminate, the mother laminate is caused by misalignment. Variations in capacitance have been a problem.
【0036】これに対して、本実施例の製造方法では、
上記内部電極パターン2,3が形成されているので、積
層ずれに起因する静電容量のばらつきを低減することが
できる。On the other hand, in the manufacturing method of this embodiment,
Since the internal electrode patterns 2 and 3 are formed, it is possible to reduce variation in capacitance due to stacking deviation.
【0037】図1(b)は、本実施例の製造方法で得ら
れたセラミック焼結体5の平面断面図である。マザーの
積層体を図1の一点鎖線C,Dに沿って切断することに
より、個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体が
得られているので、最終的に得られたセラミック焼結体
5内のある高さ位置において、内部電極パターン2を切
断することにより形成された内部電極2Aが構成されて
いる。また、内部電極2Aの他端2bと対向するよう
に、内部電極2Aと同じ高さ位置には、内部電極パター
ン2と隣り合う内部電極パターン3の一部が残存してい
る。この内部電極パターン3の残存している部分を電極
3Bとする。FIG. 1B is a plan sectional view of the ceramic sintered body 5 obtained by the manufacturing method of this embodiment. By cutting the mother laminate along the dashed lines C and D in FIG. 1, a laminate of individual multilayer ceramic capacitors is obtained. An internal electrode 2A formed by cutting the internal electrode pattern 2 at a certain height position is configured. A part of the internal electrode pattern 3 adjacent to the internal electrode pattern 2 remains at the same height position as the internal electrode 2A so as to face the other end 2b of the internal electrode 2A. The remaining portion of the internal electrode pattern 3 is referred to as an electrode 3B.
【0038】同様に、内部電極2Aの下方には、破線で
示す内部電極3Aが位置している。内部電極3Aの他端
3bと対向するように、内部電極3Aと同じ高さ位置に
おいても、隣り合う内部電極パターン2の一部が切断さ
れて残された電極2Bが形成されている。静電容量は、
内部電極2Aと、内部電極3Aとが厚み方向において、
セラミック層を介して重なり合う領域で取り出される。Similarly, an internal electrode 3A indicated by a broken line is located below the internal electrode 2A. An electrode 2B that is formed by cutting a part of the adjacent internal electrode pattern 2 and remaining is formed at the same height position as the internal electrode 3A so as to face the other end 3b of the internal electrode 3A. The capacitance is
When the internal electrode 2A and the internal electrode 3A are in the thickness direction,
It is extracted in the overlapping area via the ceramic layer.
【0039】いま、マザーのセラミックグリーンシート
1を複数枚積層するに際し、列方向に積層ずれが発生し
たとする。すなわち、内部電極3Aを形成するためのマ
ザーのセラミックグリーンシートに対し、内部電極2A
を構成するためのマザーのセラミックグリーンシートが
図1(b)の矢印E方向にずれたとする。その場合に
は、内部電極2Aが、一点鎖線Fで示す位置に移動す
る。Now, it is assumed that when a plurality of mother ceramic green sheets 1 are stacked, a stacking deviation occurs in the column direction. That is, the internal electrode 2A is formed on the mother ceramic green sheet for forming the internal electrode 3A.
It is supposed that the ceramic green sheet of the mother for constructing the above is shifted in the direction of arrow E in FIG. In that case, the internal electrode 2A moves to the position indicated by the dashed line F.
【0040】従って、内部電極2Aと内部電極3Aとの
重なり面積は、一点鎖線Fで囲まれた領域と、内部電極
3Aとが重なり合っている領域に移動する。よって、上
記位置ずれが発生すると、斜線のハッチングを付して示
す領域Gだけ重なり面積が小さくなるが、斜線のハッチ
ングを付して示す領域Hだけ重なり面積が増加する。他
方、領域Gと領域Hの面積はほぼ等しい。Accordingly, the overlapping area between the internal electrode 2A and the internal electrode 3A shifts to the area surrounded by the dashed line F and the area where the internal electrode 3A overlaps. Therefore, when the above-mentioned displacement occurs, the overlapping area is reduced only by the region G indicated by hatching, but the overlapping area is increased by the region H indicated by hatching. On the other hand, the areas of the region G and the region H are substantially equal.
【0041】従って、上記のように、E方向すなわち列
方向に積層ずれが発生したとしても、内部電極間の重な
り面積の変動を抑制することができる。よって、図9に
示した従来の積層コンデンサの場合と同様に、マザーの
セラミックグリーンシート段階における列方向の積層ず
れに起因する静電容量のばらつきを効果的に抑制するこ
とができる。Therefore, as described above, even if lamination misalignment occurs in the direction E, that is, in the column direction, it is possible to suppress a change in the overlapping area between the internal electrodes. Therefore, similarly to the case of the conventional multilayer capacitor shown in FIG. 9, it is possible to effectively suppress the variation in the capacitance due to the stacking deviation in the column direction at the stage of the mother ceramic green sheet.
【0042】のみならず、本実施例の積層セラミック電
子部品の製造方法では、得られた多数の積層コンデンサ
における静電容量のばらつきも低減される。これを具体
的な実験例に基づき説明する。In addition, in the method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the present embodiment, the variation in the capacitance of a large number of the obtained multilayer capacitors is also reduced. This will be described based on specific experimental examples.
【0043】135×135×厚み0.03mmのマザ
ーのセラミックグリーンシート1上に、上辺が100μ
m、下辺が130μm、高さが580μmの等脚台形の
形状を有する内部電極パターン2,3をマトリックス状
に印刷した。このマザーのセラミックグリーンシート1
を上記実施例に従って1枚おきに行方向にずらして4枚
積層し、上下に11枚の無地のマザーのセラミックグリ
ーンシートをそれぞれ積層し、135×135×厚み
0.45mmのマザーの積層体を得た。On a mother ceramic green sheet 1 of 135 × 135 × 0.03 mm thickness, 100 μm
m, internal electrode patterns 2 and 3 having an isosceles trapezoidal shape with a lower side of 130 μm and a height of 580 μm were printed in a matrix. This mother's ceramic green sheet 1
According to the above-described embodiment, four sheets are stacked while being shifted in the row direction every other sheet, and eleven plain mother ceramic green sheets are stacked one above the other, and a mother laminate of 135 × 135 × 0.45 mm thick is formed. Obtained.
【0044】このマザーの積層体を厚み方向に加圧した
後切断し、個々の積層コンデンサ単位の積層体を得た。
この積層体を調整し、セラミック焼結体を得、セラミッ
ク焼結体の外表面に外部電極9,10を付与することに
より積層コンデンサ4を得た。上記のようにして、設計
静電容量値が5pFである積層コンデンサ4を得た。The laminate of the mother was pressed in the thickness direction and then cut to obtain a laminate of individual multilayer capacitor units.
The laminated body was adjusted to obtain a ceramic sintered body, and external electrodes 9 and 10 were applied to the outer surface of the ceramic sintered body to obtain a multilayer capacitor 4. As described above, a multilayer capacitor 4 having a designed capacitance value of 5 pF was obtained.
【0045】得られた積層コンデンサ4の静電容量分布
を図5に示す。図5から明らかなように、静電容量分布
は正規型分布とほぼ等しく、ばらつきCV値は0.9%
であった。FIG. 5 shows the capacitance distribution of the obtained multilayer capacitor 4. As is clear from FIG. 5, the capacitance distribution is almost equal to the normal type distribution, and the variation CV value is 0.9%.
Met.
【0046】比較のために、矩形の内部電極パターンが
マトリックス状に形成されたマザーのセラミックグリー
ンシートを積層し、その他は実施例と同様にして、積層
コンデンサを得た。このようにして得られた積層コンデ
ンサでは、図6(a)に示すように、内部電極21,2
2が厚み方向においてセラミック層を介して重なり合う
ように配置されている。なお、22A,21Aは、それ
ぞれ、内部電極21,22と同じ高さ位置において隣り
合う内部電極パターンが切断されて残存している電極を
示す。For comparison, a multilayer capacitor was obtained by laminating mother ceramic green sheets having rectangular internal electrode patterns formed in a matrix, and by following the same procedures as in the example. In the multilayer capacitor thus obtained, as shown in FIG.
2 are arranged so as to overlap with each other via the ceramic layer in the thickness direction. Reference numerals 22A and 21A denote electrodes which remain at the same height position as the internal electrodes 21 and 22, respectively, after the adjacent internal electrode patterns are cut off.
【0047】上記のようにして得られた比較例の積層コ
ンデンサにおける静電容量分布を図6(b)に示す。図
6から明らかなように、静電容量分布はほぼ正規型であ
るが、静電容量が小さい積層コンデンサがある程度の数
で発生した。すなわち、図6(b)において矢印Iで示
す積層コンデンサでは、列方向の積層ずれにより、静電
容量が低下しているものと考えられる。FIG. 6B shows the capacitance distribution of the multilayer capacitor of the comparative example obtained as described above. As is clear from FIG. 6, although the capacitance distribution is almost a normal type, a certain number of multilayer capacitors having a small capacitance are generated. That is, in the multilayer capacitor indicated by the arrow I in FIG. 6B, it is considered that the capacitance is lowered due to the stacking displacement in the column direction.
【0048】また、図9に示した従来の製造方法に従っ
て、すなわち、内部電極52,54を有するように、そ
の他の点については実施例と同様にして積層コンデンサ
を得た。なお、内部電極52の幅は130μm、内部電
極54の幅は100μmとした。この場合、内部電極積
層数が偶数の場合には、図10(a)を参照して説明し
たように、静電容量分布のばらつきは正規型となり、ば
らつきCV値は0.8%であった。Further, a multilayer capacitor was obtained according to the conventional manufacturing method shown in FIG. 9, that is, in the same manner as in the example except that the internal electrodes 52 and 54 were provided. The width of the internal electrode 52 was 130 μm, and the width of the internal electrode 54 was 100 μm. In this case, when the number of laminated internal electrodes is an even number, as described with reference to FIG. 10A, the variation in the capacitance distribution is a normal type, and the variation CV value is 0.8%. .
【0049】しかしながら、内部電極積層数が奇数の場
合には、静電容量分布は図10(b)に示す通りとな
り、正規型の静電容量分布が2つ表れ、全体としてのば
らつきCV値は2.4%と非常に高かった。これは、前
述したように、図11(a)に示す積層コンデンサ56
と、図11(b)に示す積層コンデンサ57とが得られ
たことによると思われる。However, when the number of laminated internal electrodes is odd, the capacitance distribution is as shown in FIG. 10B, and two normal-type capacitance distributions appear, and the variation CV value as a whole is It was very high at 2.4%. This is because, as described above, the multilayer capacitor 56 shown in FIG.
It is considered that the multilayer capacitor 57 shown in FIG. 11B was obtained.
【0050】これに対して、本実施例の積層コンデンサ
4では、内部電極積層数が偶数の場合及び奇数の場合の
いずれにおいても、静電容量分布はほぼ正規型となり、
ばらつきCV値は0.9%と低かった。すなわち、本実
施例の製造方法では、内部電極パターン2,3は、同じ
形状とされており、隣り合う内部電極パターン2,3間
の中間点を中心として対称に形成されているので、言い
換えれば内部電極パターン2,3が同じ形状とされてい
るので、内部電極積層数が奇数層の場合であっても、静
電容量分布が全体としてほぼ正規型の分布となり、静電
容量のばらつきを効果的に低減することができる。On the other hand, in the multilayer capacitor 4 of the present embodiment, the capacitance distribution is almost normal regardless of whether the number of laminated internal electrodes is even or odd.
The variation CV value was as low as 0.9%. That is, in the manufacturing method of the present embodiment, the internal electrode patterns 2 and 3 have the same shape and are formed symmetrically with respect to the center point between the adjacent internal electrode patterns 2 and 3, in other words, Since the internal electrode patterns 2 and 3 have the same shape, even when the number of laminated internal electrodes is an odd number, the capacitance distribution becomes almost a normal distribution as a whole, and the variation in the capacitance is reduced. Can be effectively reduced.
【0051】よって、本実施例によれば、積層ずれに起
因する静電容量ばらつきが生じ難いだけでなく、内部電
極積層数が奇数層の場合であっても静電容量のばらつき
が生じ難い、積層セラミックコンデンサを提供すること
ができる。Therefore, according to the present embodiment, not only is it difficult for capacitance variation due to stacking deviation to occur, but also to capacitance variation even when the number of internal electrode layers is an odd number. A multilayer ceramic capacitor can be provided.
【0052】なお、セラミックグリーンシート1を1枚
おきに行方向にずらして積層する態様については、上記
実施例の方法に限定されず、図2に平面断面図で示すよ
うに、得られたセラミック焼結体において、内部電極2
Aと内部電極3Aとが、それぞれ幅の広い側の端部が内
部電極先端に位置するように積層してもよい。The manner of laminating the ceramic green sheets 1 alternately in the row direction for every other sheet is not limited to the method of the above-described embodiment. In the sintered body, the internal electrode 2
A and the internal electrode 3A may be stacked such that the end on the wide side is located at the tip of the internal electrode.
【0053】(第2の実施例)第1の実施例では、内部
電極パターン2,3の平面形状は等脚台形とされていた
が、内部電極パターンについては、行方向において一端
側から他端側に向かって幅が狭くなるように形成されて
いる限り、特に限定されるものではない。(Second Embodiment) In the first embodiment, the planar shape of the internal electrode patterns 2 and 3 is an isosceles trapezoid. However, the internal electrode patterns are arranged from one end to the other end in the row direction. There is no particular limitation as long as it is formed so that the width decreases toward the side.
【0054】図7に示すように、第2の実施例では、マ
ザーのセラミックグリーンシート11上に、内部電極パ
ターン12,13が形成されている。すなわち、内部電
極パターン12,13が行方向において交互に形成され
ている。また、列方向においては、同じ内部電極パター
ンが整列形成されている。もっとも、列方向において
も、内部電極パターン12,13が交互に形成されてい
てもよい。As shown in FIG. 7, in the second embodiment, internal electrode patterns 12 and 13 are formed on a mother ceramic green sheet 11. That is, the internal electrode patterns 12, 13 are alternately formed in the row direction. In the column direction, the same internal electrode patterns are arranged and formed. However, the internal electrode patterns 12 and 13 may be alternately formed also in the column direction.
【0055】内部電極パターン12,13は、それぞ
れ、一端12a,13a側に位置しており、相対的に幅
の広い第1の矩形部12cと、第1の矩形部に連ねられ
ており、他端12b側に位置している相対的に幅の狭い
第2の矩形部12dとを有する。同様に、内部電極パタ
ーン13についても、一端13a側に位置しており、相
対的に幅の広い第1の矩形部13cと、他端13b側に
位置しており、相対的に幅の狭い第2の矩形部13dと
を有する。また、行方向において隣り合う内部電極パタ
ーン12,13は、第1の矩形部12c,13c同士、
または第2の矩形部12d,13d同士が対向されてい
る。内部電極パターンの形状を除いては、第2の実施例
では、第1の実施例と同様にして積層コンデンサが得ら
れる。The internal electrode patterns 12 and 13 are located at the ends 12a and 13a, respectively, and are connected to a relatively wide first rectangular portion 12c and the first rectangular portion. A second rectangular portion 12d having a relatively small width and located on the end 12b side. Similarly, the internal electrode pattern 13 is also located on the one end 13a side and is located on the relatively wide first rectangular portion 13c and the other end 13b side, and is located on the other end 13b side. And two rectangular portions 13d. Further, the internal electrode patterns 12 and 13 adjacent in the row direction are the first rectangular portions 12c and 13c,
Alternatively, the second rectangular portions 12d and 13d are opposed to each other. Except for the shape of the internal electrode pattern, in the second embodiment, a multilayer capacitor is obtained in the same manner as in the first embodiment.
【0056】図8は、第2の実施例で得られた積層コン
デンサにおけるセラミック焼結体の平面断面図である。
本実施例においては、マザーの積層体を切断することに
より得られた内部電極12A,13Aがセラミック層を
介して重なり合うように配置されている。この場合、列
方向に積層ずれが生じたとしても、第1の実施例と同様
に、内部電極12,13間の重なり面積が変動し難いの
で、列方向の積層ずれに起因する静電容量のばらつきを
低減することができる。また、第1の実施例と同様に、
内部電極積層数が奇数層の場合であっても、静電容量分
布がほぼ正規型となりやはり静電容量のばらつきを低減
することができる。FIG. 8 is a plan sectional view of a ceramic sintered body in the multilayer capacitor obtained in the second embodiment.
In this embodiment, the internal electrodes 12A and 13A obtained by cutting the mother laminate are arranged so as to overlap with each other via the ceramic layer. In this case, even if a stacking misalignment occurs in the column direction, the overlapping area between the internal electrodes 12 and 13 is unlikely to fluctuate, as in the first embodiment. Variation can be reduced. Further, similarly to the first embodiment,
Even when the number of laminated internal electrodes is an odd-numbered layer, the capacitance distribution becomes almost normal, and the variation in capacitance can be reduced.
【0057】また、上述した実施例では、積層コンデン
サの製造方法及び積層コンデンサにつき説明したが、本
発明は、積層バリスタ、積層サーミスタなどの他の積層
セラミック電子部品の製造方法にも適用することがで
き、それによって、内部電極間の重なり面積のばらつき
に起因する電気的特性、例えば電気抵抗等のばらつきを
低減することができる。In the above embodiments, the method of manufacturing a multilayer capacitor and a multilayer capacitor have been described. However, the present invention can be applied to a method of manufacturing another multilayer ceramic electronic component such as a multilayer varistor and a multilayer thermistor. Accordingly, it is possible to reduce variations in electrical characteristics, for example, variations in electrical resistance or the like due to variations in the overlapping area between the internal electrodes.
【0058】[0058]
【発明の効果】本発明に係る積層セラミック電子部品の
製造方法では、行方向及び列方向に複数の内部電極パタ
ーンが整列形成されたマザーのセラミックグリーンシー
トを複数枚積層するにあたり、内部電極パターンが行方
向において一端から他端に向かって幅が狭くなるように
形成されており、かつ行方向において隣り合う内部電極
パターンが両者の中間点を中心として対称な形状を有す
るように形成されているので、最終的に得られたセラミ
ック焼結体において、内部電極間の重なり面積のばらつ
きを低減することができる。すなわち、列方向に積層ず
れが発生した場合であっても、内部電極間の重なり面積
のばらつきを低減することができると共に、内部電極積
層数が偶数層及び奇数層のいずれの場合であっても、内
部電極間の重なり面積の合計のばらつきを低減すること
ができ、それによって電気的特性のばらつきの小さい積
層セラミック電子部品を提供することが可能となる。In the method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, when a plurality of mother ceramic green sheets in which a plurality of internal electrode patterns are aligned and formed in a row direction and a column direction are laminated, the internal electrode patterns are Since the width is formed so that the width becomes narrower from one end to the other end in the row direction, and the internal electrode patterns adjacent in the row direction are formed so as to have a symmetrical shape with respect to an intermediate point between the two. In addition, in the finally obtained ceramic sintered body, it is possible to reduce the variation in the overlapping area between the internal electrodes. That is, even when stacking misalignment occurs in the column direction, it is possible to reduce the variation in the overlapping area between the internal electrodes, and even when the internal electrode stacking number is either an even layer or an odd layer. In addition, it is possible to reduce the variation in the total overlapping area between the internal electrodes, thereby providing a multilayer ceramic electronic component having a small variation in electrical characteristics.
【0059】内部電極パターンが、列方向に延びる上辺
及び下辺を有する台形であり、行方向において隣り合う
台形の内部電極パターンの上辺同士または下辺同士が対
向されている場合には、列方向に積層ずれが発生したと
しても、台形の内部電極パターンの斜辺部分における内
部電極間の重なり面積の変動が一方の斜辺側と他方の斜
辺側との間で相殺されるので、内部電極間の重なり面積
のばらつきを低減することができる。If the internal electrode pattern is a trapezoid having an upper side and a lower side extending in the column direction, and the upper sides or lower sides of the trapezoidal internal electrode patterns adjacent in the row direction are opposed to each other, the lamination is performed in the column direction. Even if a displacement occurs, the variation in the overlapping area between the internal electrodes in the oblique side portion of the trapezoidal internal electrode pattern is offset between one oblique side and the other oblique side, so that the overlapping area between the internal electrodes is reduced. Variation can be reduced.
【0060】また、内部電極パターンが、行方向に連ね
られた第1,第2の矩形部を有する場合には、第1,第
2の矩形部の幅が異なっており、行方向において隣り合
う内部電極パターン間において、第1の矩形部同士また
は第2の矩形部同士が対向されているので、最終的に得
られた焼結体において、列方向の積層ずれに起因する内
部電極間の重なり面積のばらつきを低減することができ
る。When the internal electrode pattern has first and second rectangular portions connected in the row direction, the widths of the first and second rectangular portions are different from each other, and are adjacent in the row direction. Since the first rectangular portions or the second rectangular portions are opposed to each other between the internal electrode patterns, in the finally obtained sintered body, the overlap between the internal electrodes due to the lamination misalignment in the column direction. Area variation can be reduced.
【0061】本発明に係る積層セラミック電子部品は、
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法により
得られるので、内部電極間の重なり面積のばらつきが小
さく、従って静電容量や電気抵抗などの電気的特性のば
らつきを効果的に低減することができる。The multilayer ceramic electronic component according to the present invention comprises:
Since it is obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, the variation in the overlapping area between the internal electrodes is small, and therefore, the variation in the electrical characteristics such as capacitance and electrical resistance can be effectively reduced. .
【図1】(a)及び(b)は、本発明の第1の実施例に
おいて用意されるマザーのセラミックグリーンシートの
平面図及びセラミック焼結体の平面断面図。FIGS. 1A and 1B are a plan view of a ceramic green sheet of a mother prepared in a first embodiment of the present invention and a plan sectional view of a ceramic sintered body.
【図2】第1の実施例の変形例で得られるセラミック焼
結体の平面断面図。FIG. 2 is a plan sectional view of a ceramic sintered body obtained in a modification of the first embodiment.
【図3】第1の実施例で得られた積層コンデンサを示す
縦断面図。FIG. 3 is a vertical sectional view showing the multilayer capacitor obtained in the first embodiment.
【図4】第1の実施例で得られた積層コンデンサの外観
を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing the appearance of the multilayer capacitor obtained in the first embodiment.
【図5】第1の実施例で得られた積層コンデンサの静電
容量分布を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a capacitance distribution of the multilayer capacitor obtained in the first embodiment.
【図6】(a)及び(b)は、比較のために用意した積
層コンデンサを説明するための略図的分解斜視図及び該
比較のために用意した積層コンデンサの静電容量分布を
示す図。FIGS. 6A and 6B are a schematic exploded perspective view for explaining a multilayer capacitor prepared for comparison, and a diagram showing a capacitance distribution of the multilayer capacitor prepared for comparison;
【図7】第2の実施例に係る積層コンデンサの製造方法
において用意されたマザーのセラミックグリーンシート
を示す部分切欠平面図。FIG. 7 is a partially cutaway plan view showing a mother ceramic green sheet prepared in a method for manufacturing a multilayer capacitor according to a second embodiment.
【図8】第2の実施例で得られた積層コンデンサにおけ
るセラミック焼結体の平面断面図。FIG. 8 is a plan sectional view of a ceramic sintered body in the multilayer capacitor obtained in the second embodiment.
【図9】従来の積層コンデンサの製造方法を説明するた
めの略図的分解斜視図。FIG. 9 is a schematic exploded perspective view for explaining a conventional method for manufacturing a multilayer capacitor.
【図10】図9に示した従来の積層コンデンサの製造方
法で用意されるマザーのセラミックグリーンシートを示
す平面図。FIG. 10 is a plan view showing a mother ceramic green sheet prepared by the conventional method for manufacturing a multilayer capacitor shown in FIG. 9;
【図11】(a)及び(b)は、それぞれ、従来の積層
コンデンサの製造方法において得られた積層コンデンサ
の静電容量分布を示し、(a)は内部電極積層数が偶数
の場合を、(b)は内部電極積層数が奇数の場合を示
す。11A and 11B show the capacitance distribution of a multilayer capacitor obtained by a conventional multilayer capacitor manufacturing method, respectively, and FIG. 11A shows a case where the number of internal electrode layers is even; (B) shows the case where the number of laminated internal electrodes is odd.
【図12】(a)及び(b)は、従来の積層コンデンサ
の製造方法で得られた積層コンデンサの電極構造を示す
各横断面図。FIGS. 12A and 12B are cross-sectional views showing electrode structures of a multilayer capacitor obtained by a conventional multilayer capacitor manufacturing method.
1…マザーのセラミックグリーンシート 1a…上面 2,3…内部電極パターン 2a,3a…一端 2b,3b…他端 2A,3A…内部電極 2B,3B…電極残存部分 4…積層コンデンサ 5…セラミック焼結体 6,7…外部電極 11…マザーのセラミックグリーンシート 12,13…内部電極パターン 12a,13a…一端 12b,13b…他端 12c,13c…第1の矩形部 12d,13d…第2の矩形部 12A,13A…内部電極 12B,13B…電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mother ceramic green sheet 1a ... Upper surface 2, 3 ... Internal electrode pattern 2a, 3a ... One end 2b, 3b ... Other end 2A, 3A ... Internal electrode 2B, 3B ... Electrode remaining part 4 ... Multilayer capacitor 5 ... Ceramic sintering Body 6, 7 External electrode 11 Mother ceramic green sheet 12, 13 Internal electrode pattern 12a, 13a One end 12b, 13b Other end 12c, 13c First rectangular portion 12d, 13d Second rectangular portion 12A, 13A ... internal electrode 12B, 13B ... electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E001 AB03 AC02 AC04 AC08 AE02 AE03 AF00 AF06 AH01 AH03 AH05 AH06 AH07 AH09 AJ01 AJ02 AJ03 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page F term (reference) 5E001 AB03 AC02 AC04 AC08 AE02 AE03 AF00 AF06 AH01 AH03 AH05 AH06 AH07 AH09 AJ01 AJ02 AJ03
Claims (5)
ーンが整列形成されたマザーのセラミックグリーンシー
トを積層する工程を有する積層セラミック電子部品の製
造方法であって、 前記内部電極パターンが行方向において一端から他端に
向かって幅が狭くなる形状を有し、かつ行方向において
隣り合う内部電極パターンが両者の中間点を中心として
対称な形状を有するように、複数の内部電極パターンが
一面に形成されたマザーのセラミックグリーンシートを
用意する工程と、 複数の前記マザーのセラミックグリーンシートを1枚お
きに行方向にずらして積層し、マザーの積層体を得る工
程と、 マザーの積層体を厚み方向に切断することにより個々の
積層セラミック電子部品単位の積層体を得る工程と、 前記積層体を焼成し、焼結体を得る工程と、 前記焼結体の外表面に外部電極を付与する工程とを備え
ることを特徴とする、積層セラミック電子部品の製造方
法。1. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, comprising a step of laminating a mother ceramic green sheet in which a plurality of internal electrode patterns are aligned and formed in a row direction and a column direction, wherein the internal electrode pattern is in a row direction. A plurality of internal electrode patterns are formed on one surface so that the internal electrode patterns have a shape in which the width decreases from one end to the other end, and the internal electrode patterns adjacent in the row direction have a shape symmetrical with respect to an intermediate point between the two. A step of preparing the formed mother ceramic green sheets; a step of laminating a plurality of the mother ceramic green sheets alternately in the row direction to obtain a mother laminated body; Obtaining a laminate of individual multilayer ceramic electronic component units by cutting in the direction, and firing the laminate to obtain a sintered body. That process and characterized by comprising a step of applying the external electrodes on the outer surface of the sintered body, the method of production of a multilayer ceramic electronic component.
る上辺及び下辺を有する台形であり、前記行方向におい
て隣り合う台形の内部電極パターンの上辺同士または下
辺同士が対向されている、請求項1に記載の積層セラミ
ック電子部品の製造方法。2. The internal electrode pattern is a trapezoid having an upper side and a lower side extending in a column direction, and upper sides or lower sides of the adjacent trapezoidal internal electrode patterns in the row direction are opposed to each other. 3. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to item 1.
に位置しており、相対的に幅の広い第1の矩形部と、第
1の矩形部に連ねられており、他端側に位置している相
対的に幅の狭い第2の矩形部とを有し、行方向において
隣り合う内部電極パターン間において、第1の矩形部同
士、または第2の矩形部同士が対向されていることを特
徴とする、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の
製造方法。3. The internal electrode pattern is located at one end in the row direction, is connected to a relatively wide first rectangular portion, and is connected to the first rectangular portion, and is located at the other end. A second rectangular portion having a relatively narrow width, and the first rectangular portions or the second rectangular portions are opposed to each other between the internal electrode patterns adjacent in the row direction. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein:
ラミック電子部品の製造方法により得られた積層セラミ
ック電子部品。4. A multilayer ceramic electronic component obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1.
求項4に記載の積層セラミック電子部品。5. The multilayer ceramic electronic component according to claim 4, wherein the number of stacked internal electrodes is odd.
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