JP2000321322A - 集積回路の直流特性解析方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オペレータの作業負担の軽減を図ること。 【解決手段】 直流特性測定におけるストローブ値の初
期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及
びサンプリング分解能の対数を求めるサンプリング時間
制御部２４と、サンプリング時間制御部の演算結果を記
憶するサンプリング時間メモリ２６と、直流特性試験時
におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期
設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記ストロ
ーブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅で増加
させてストローブ値の最終設定値の対数の値になるまで
各試験毎にＩＣ試験部３２に出力するストローブ値算出
部３４とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定試料である
集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイントであるス
トローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し解析する集
積回路の直流特性解析方法及び装置に係り、特にストロ
ーブ値を更新しながら測定結果を表示する集積回路の直
流特性解析方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、被測定試料である集積回路の直流
特性測定は、任意のストローブ値に対し、あらかじめ設
定された電圧値もしくは電流値の許容範囲内に測定値が
収まっているか否かによって、集積回路の直流特性試験
におけるパス／フェイルを判定する。そのため、最適な
ストローブ値を算出するために、ストローブ値の範囲を
設定し、その範囲を設定したサンプリング数によって、
複数回試験を行い、最適なストローブ値を求めていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来の集積回路の
直流特性解析装置では、集積回路の直流特性測定の時間
軸上の測定ポイントであるストローブ値の範囲をサンプ
リング数で等分して決定するために、ストローブ値はミ
リ秒（ｍｓ）あるいはナノ秒（ｎｓ）という時間の単位
ごとにしか分解できず、最適なストローブ値の時間の単
位を求めるには直流特性試験を時間の単位ごとに実施
し、それぞれの試験結果に基づいて、判断しなければな
らず、解析に時間がかかり、オペレータにとっては作業
負担が大きいという問題が有った。本発明はこのような
事情に鑑みてなされたものであり、オペレータの作業負
担の軽減を図った集積回路の直流特性解析方法及び装置
を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、被測定試料である集積回路
の直流特性を時間軸上の測定ポイントであるストローブ
値毎に測定し、該測定結果を表示し解析する集積回路の
直流特性解析方法において、前記ストローブ値の範囲を
示すデータ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数
より、直流特性測定におけるストローブ値の初期設定値
の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプ
リング分解能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設
定値の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサ
ンプリング分解能の対数に基づいて直流特性試験時にお
けるストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定
値の対数で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能
の対数の幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対
数の値になるまで更新することを特徴とする。

【０００５】請求項１に記載の発明によれば、被測定試
料である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイント
であるストローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し解
析する集積回路の直流特性解析方法において、前記スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、前記スト
ローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定
値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基づいて直
流特性試験時におけるストローブ値の初期値を、ストロ
ーブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性の試験回数
の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各試験毎にサ
ンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ値
の最終設定値の対数の値になるまで更新するようにした
ので、集積回路のストローブ値の時間単位ごとの直流特
性測定を一括して行うことができ、オペレータの作業負
担が軽減される。

【０００６】また請求項２に記載の発明は、被測定試料
である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイントで
あるストローブ値毎に測定する集積回路試験部を有し、
該集積回路試験部の測定結果を表示装置に表示し解析す
る集積回路の直流特性解析装置において、前記ストロー
ブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値のサ
ンプリング数より、直流特性測定におけるストローブ値
の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の対
数、及びサンプリング分解能の対数を求める第１の演算
手段と、前記第１の演算手段の演算結果を記憶する記憶
手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性試
験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値の
初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記ス
トローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅で
増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値になる
まで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第２の演
算手段とを有することを特徴とする。

【０００７】また請求項３に記載の発明は、請求項２に
記載の集積回路の直流特性測定解析装置において、更
に、直流特性試験の測定値及び該測定値が許容範囲内に
あるか否かを示す判定データを表示する表示手段を有す
ることを特徴とする。

【０００８】請求項２、３に記載の発明によれば、スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求める第１の演
算手段と、前記第１の演算手段の演算結果を記憶する記
憶手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性
試験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値
の初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅
で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値にな
るまで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第２の
演算手段とを有するようにしたので、集積回路のストロ
ーブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行うこ
とができ、オペレータの作業負担が軽減される。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して詳細に説明する。本発明の実施の形態に係る集積回
路の直流特性解析装置の構成を図１に示す。本発明の実
施の形態に係る集積回路の直流特性解析装置は、被測定
試料である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイン
トであるストローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し
解析する集積回路の直流特性解析方法において、前記ス
トローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定
値のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロ
ーブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値
の対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、前記ス
トローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設
定値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基づいて
直流特性試験時におけるストローブ値の初期値を、スト
ローブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性の試験回
数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各試験毎に
サンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ
値の最終設定値の対数の値になるまで更新することを特
徴とする直流特性解析方法を実施するための装置であ
る。

【００１０】直流特性解析装置は、キーボード等の入力
装置１０と、集積回路試験を行う集積回路試験装置３０
と、集積回路試験装置３０の動作を制御する集積回路試
験制御装置２０と、ディスプレイ装置等の表示装置４０
とから構成されている。入力装置１０は、直流特性測定
の測定条件を入力する直流特性測定条件入力部（以下、
ＤＣ測定条件入力部と記す。）１２と、直流特性測定起
動入力部（以下、ＤＣ測定起動入力部と記す。）１４と
を有している。また集積回路試験制御装置２０は、ＤＣ
測定条件入力部１２より入力される直流特性測定の測定
条件データを記憶する直流特性測定条件メモリ（ＤＣ測
定条件メモリと記す。）２２と、サンプリング時間制御
部２４と、サンプリング時間メモリ２６と、直流特性測
定表示制御部（ＤＣ測定表示制御部）２７と、直流特性
測定の測定結果を記憶する直流特性測定結果メモリ（Ｄ
Ｃ測定結果メモリ）２８とを有している。ここでサンプ
リング時間制御部２４は本発明の第１の演算手段に、ま
たサンプリング時間メモリ２６は本発明の記憶手段に、
それぞれ相当する。

【００１１】集積回路試験装置３０は、集積回路の直流
特性をチェックする集積回路試験部３２と、ストローブ
値算出部３４と、直流特性測定判定リミットメモリ（以
下、ＤＣ測定判定リミットメモリと記す。）３６とを有
している。また表示装置４０は、直流特性測定の測定結
果を表示する直流特性測定結果表示部（以下、ＤＣ測定
結果表示部と記す。）４２と、直流特性測定判定リミッ
ト表示部（以下、ＤＣ測定判定リミット表示部と記
す。）４４とを有している。尚、ストローブ値算出部３
４は本発明の第２の演算手段に相当する。

【００１２】図２はＤＣ測定条件メモリ２２の記憶内容
を示している。図２において、ＤＣ測定条件メモリ２２
は、ストローブ値の最小値であるストローブ最小値が記
憶されるメモリエリア２２Ａと、ストローブ値の最大値
であるストローブ最大値が記憶されるメモリエリア２２
Ｂと、サンプリング数が記憶されるメモリエリア２２Ｃ
から構成される。

【００１３】図３はサンプリング時間メモリ２６の記憶
内容を示している。図３において、サンプリング時間メ
モリ２６は、直流特性測定におけるストローブ値の初期
設定値（サンプリング開始時間と記す）の対数が記憶さ
れるメモリエリア２６Ａと、ストローブ値の最終設定値
（サンプリング終了時間と記す。）の対数が記憶される
メモリエリア２６Ｂと、サンプリング分解能の対数が記
憶されるメモリエリア２６Ｃとを有している。

【００１４】次に、図４乃至図６のフローチャートを参
照して図１に示した本発明の実施の形態に係る直流特性
解析装置の動作について説明する。図４においてまず、
オペレータが、ＤＣ測定条件入力部１２を操作して被測
定試料である集積回路の直流特性測定におけるストロー
ブ最小値、ストローブ最大値を入力すると、ＤＣ測定条
件メモリ２２のメモリエリア２２Ａ、２２Ｂにはそれぞ
れ、ストローブ最小値、ストローブ最大値が記録され
る。次いでオペレータが、ＤＣ測定条件入力部１２を操
作してストローブ最小値からストローブ最大値の範囲で
の測定ポイント数、すなわちサンプリング数をＤＣ測定
条件メモリ２２に入力することにより、ＤＣ測定条件メ
モリ２２のメモリエリア２２Ｃにはサンプリング数が記
録される（ステップ１００）。

【００１５】更にＤＣ測定起動入力部１４を操作してサ
ンプリング時間制御部２４に起動命令を出力すると（ス
テップ１０２）、サンプリング時間制御部２４は図５の
フローチャートに示すようにＤＣ測定条件メモリ２２か
らストローブ最小値、ストローブ最大値、サンプリング
数を読み出し、これらのデータを用いてのサンプリング
開始時間の対数、サンプリング終了時間の対数及びサン
プリング分解能の対数を算出し、サンプリング時間メモ
リ２６に記録する（ステップ１０４）。ここで、図５の
フローチャートを参照してサンプリング時間制御部２４
におけるサンプリング開始時間の対数、サンプリング終
了時間の対数及びサンプリング分解能の対数の算出につ
いて説明する。

【００１６】図５において、ＤＣ測定条件メモリ２２か
ら読み出したストローブ最小値が集積回路試験装置（以
下、ＩＣ試験装置と記す。）のストローブ値、すなわ
ち、ＩＣ試験装置の最小分解能より小さいか否かが判定
される（ステップ２００）。ステップ２００の判定が肯
定された場合には、サンプリング開始時間の対数をｌｏ
ｇ（ＩＣ試験装置のストローブ最小値）として算出する
（ステップ２０２）。

【００１７】ステップ２００の判定が否定された場合に
はサンプリング開始時間の対数をｌｏｇ（ストローブ最
小値）として算出する（ステップ２０４）。次いでサン
プリング終了時間の対数をｌｏｇ（ストローブ最大値）
として算出し（ステップ２０６）、更にサンプリング分
解能の対数を（サンプリング終了時間の対数−サンプリ
ング開始時間の対数）／（サンプリング数−１）として
算出する（ステップ２０８）。

【００１８】このようにして図４におけるステップ１０
４でサンプリング時間メモリ２６へのサンプリング開始
時間の対数、サンプリング終了時間の対数、及びサンプ
リング分解能の対数の記録が終了すると、ステップ１０
６でストローブ値算出部３４はサンプリング時間メモリ
２６に記録されたデータを用いて、ストローブ値を算出
し、ＩＣ試験部３２で直流特性測定を行い、その測定結
果をＤＣ測定結果メモリ２８に記録する。

【００１９】ここで、図６のフローチャートを参照して
図４のステップ１０６で行われるＩＣ試験について説明
する。図６において、ステップ３００で試験回数ＮをＮ
＝０とし初期化する。次いでストローブ値の対数をサン
プリング開始時間の対数＋（試験回数Ｎ×サンプリング
分解能の対数）として算出する（ステップ３０２）。ス
テップ３０４では、ステップ３０２で求められたストロ
ーブ値の対数とサンプリング終了時間の対数とを大小比
較し、ストローブ値の対数がサンプリング終了時間の対
数を越えていたら処理を終了する。またステップ３０２
でストローブ値の対数がサンプリング終了時間の対数を
越えていないと判定された場合にはステップ３０６でス
トローブ値を１０の（ストローブ値の対数）乗として算
出し、ステップ３０８でＩＣ試験を行う。

【００２０】次いでステップ３１０では集積回路試験部
（以下、ＩＣ試験部と記す。）３２によりストローブ値
とＩＣ試験の測定結果がＤＣ測定結果メモリ２８に記録
される。更にステップ３１２では、試験回数Ｎをインク
リメントし、ステップ３０２に戻る。ＩＣ試験はステッ
プ３０４で条件が満たされるまで繰り返し、ＤＣ測定結
果メモリ２８には実施した試験回数分の結果が記録され
る。ステップ３１４でＩＣ試験が終了すると、図４にお
けるステップ１０８に処理が移行する。

【００２１】ステップ１０８でＩＣ試験部３２はＩＣ試
験終了命令をＤＣ測定表示制御部２７に出力する。次い
でステップ１１０でＤＣ測定表示制御部２７はＤＣ測定
結果表示部４２にＤＣ測定結果を表示する。ＩＣ試験を
実施する際、ＤＣ測定判定リミットメモリ３６には予め
測定値におけるパス／フェイルを判定する為のリミット
領域を記録してあり、ステップ１１２でそのリミット領
域を示す情報をＤＣ測定判定リミット表示部４４に表示
する。

【００２２】次に図５に示したサンプリング時間制御部
２４の処理、及び図６に示したストローブ値算出部３４
の処理の具体例について説明する。まず、ＤＣ測定条件
入力部１２を操作して、ストローブ値の最小値を１ｍ
ｓ、ストローブ値の最大値を１０ｓとし、サンプリング
数を５として、これらのデータをＤＣ測定条件メモリ２
２に記録する。そしてＤＣ測定起動入力部１４を操作す
ることにより起動命令がサンプリング時間制御部２４に
出力されると、サンプリング時間制御部２４では、ＤＣ
測定条件メモリ２２に記録されているストローブ最小値
とストローブ最大値の基準単位を秒（ｓ）とするため、
ストローブ最小値は０．００１ｓとする。

【００２３】図５においてステップ２００でストローブ
最小値はＩＣ試験装置３０のストローブ最小値より大き
いため、ステップ２０２でサンプリング開始時間の対数
はｌｏｇ（０．００１）、すなわち”−３”となる。次
に、ステップ２０６でサンプリング終了時間の対数は、
ストローブ最大値が１０ｓであるからｌｏｇ（１０）、
すなわち”１”となる。更にステップ２０８でサンプリ
ング分解能の対数は、上述した計算結果から（１−（−
３））／（５−１）で計算され、その計算結果は”１”
となる。

【００２４】次にストローブ値算出部３４では、図６の
ステップ３００で試験回数Ｎを０に初期化し、次のステ
ップ３０２でストローブ値の対数が、−３＋（０×１）
で計算され、この結果”−３”となる。更にステップ３
０４ではストローブ値の対数とサンプリング終了時間の
対数との大小比較による判定が行われ、この例ではスト
ローブ値の対数である“−３”はサンプリング終了時間
の対数”１”より小さいのでステップ３０６でストロー
ブ値を算出すると１０の−３乗で”０．００１ｓ”すな
わち１ｍｓとなる。

【００２５】次にステップ３０８ではＩＣ試験部３２で
直流特性試験を行い、ステップ３１０ではステップ３０
６で求めたストローブ値と、ステップ３０８で行った直
流特性試験の測定値とをＤＣ測定結果メモリ２８に記録
する。次いでステップ３１２で試験回数Ｎをインクリメ
ントし、処理はステップ３０２に戻る。ステップ３０２
〜３１２の処理をステップ３０４における判定が肯定さ
れるまで繰り返すと、ストローブ値の対数は−２、−
１、０、１となり、ストローブ値は１０ｍｓ、１００ｍ
ｓ、１ｓ，１０ｓと変化し、ストローブ値の対数が”
２”となるまで繰り返す。このようにしてＤＣ測定結果
メモリ２８には実施した試験回数分の結果が記録され、
ＤＣ測定表示制御部２７は測定結果をＤＣ測定結果表示
部４２に表示する。

【００２６】本発明の実施の形態に係る集積回路の直流
特性解析方法によれば、被測定試料である集積回路の直
流特性を時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎
に測定し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流
特性解析方法において、前記ストローブ値の範囲を示す
データ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数よ
り、直流特性測定におけるストローブ値の初期設定値の
対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリ
ング分解能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設定
値の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサン
プリング分解能の対数に基づいて直流特性試験時におけ
るストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値
の対数で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記ス
トローブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能の
対数の幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対数
の値になるまで更新するようにしたので、集積回路のス
トローブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行
うことができ、オペレータの作業負担が軽減される。

【００２７】本発明の実施の形態に係る集積回路の直流
特性解析装置によれば、ストローブ値の範囲を示すデー
タ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数より、直
流特性測定におけるストローブ値の初期設定値の対数、
ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリング分
解能の対数を求めるサンプリング時間制御部２４と、サ
ンプリング時間制御部２４の演算結果を記憶するサンプ
リング時間メモリ２６と、サンプリング時間メモリ２６
の記憶内容に基づいて直流特性試験時におけるストロー
ブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値の対数で与
え、試験回数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を
サンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ
値の最終設定値の対数の値になるまで各試験毎にＩＣ試
験部３２に出力するストローブ値算出部３４とを有する
ので、集積回路のストローブ値の時間単位ごとの直流特
性測定を一括して行うことができ、オペレータの作業負
担が軽減される。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、被測定試料である集積回路の直流特性を
時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定
し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流特性解
析方法において、前記ストローブ値の範囲を示すデータ
及び前記直流特性の測定値のサンプリング数より、直流
特性測定におけるストローブ値の初期設定値の対数、ス
トローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリング分解
能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設定値の対
数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリン
グ分解能の対数に基づいて直流特性試験時におけるスト
ローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値の対数
で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記ストロー
ブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能の対数の
幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値に
なるまで更新するようにしたので、集積回路のストロー
ブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行うこと
ができ、オペレータの作業負担が軽減される。

【００２９】請求項２、３に記載の発明によれば、スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求める第１の演
算手段と、前記第１の演算手段の演算結果を記憶する記
憶手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性
試験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値
の初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅
で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値にな
るまで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第２の
演算手段とを有するので、集積回路のストローブ値の時
間単位ごとの直流特性測定を一括して行うことができ、
オペレータの作業負担が軽減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係る集積回路の直流特
性解析装置の構成を示すブロック図。

【図２】 図１におけるＤＣ測定条件メモリの記憶内容
を示す説明図。

【図３】 図１におけるサンプリング時間メモリの記憶
内容を示す説明図。

【図４】 図１に示した直流特性解析装置の全体的な動
作を示すフローチャート。

【図５】 図１におけるサンプリング時間制御部の処理
内容を示すフローチャート。

【図６】 図１におけるストローブ値算出部の処理内容
を示すフローチャート。

【符号の説明】

１０ 入力装置 １２ ＤＣ測定条件入力部 １４ ＤＣ測定起動入力部 ２０ 集積回路試験制御装置 ２２ ＤＣ測定条件メモリ ２４ サンプリング時間制御部 ２６ サンプリング時間メモリ ２７ ＤＣ測定表示制御部 ２８ ＤＣ測定結果メモリ ３０ ＩＣ試験装置 ３２ ＩＣ試験部 ３４ ストローブ値算出部 ３６ ＤＣ測定判定リミットメモリ ４０ 表示装置 ４２ ＤＣ測定結果表示部 ４４ ＤＣ測定判定リミット表示部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定試料である集積回路の直流特性を
   時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定
   し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流特性解
   析方法において、 前記ストローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性
   の測定値のサンプリング数より、直流特性測定における
   ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終
   設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、
   前記ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の
   最終設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基
   づいて直流特性試験時におけるストローブ値の初期値
   を、ストローブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性
   の試験回数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各
   試験毎にサンプリング分解能の対数の幅で増加させてス
   トローブ値の最終設定値の対数の値になるまで更新する
   ことを特徴とする集積回路の直流特性解析方法。
2. 【請求項２】 被測定試料である集積回路の直流特性を
   時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定す
   る集積回路試験部を有し、該集積回路試験部の測定結果
   を表示装置に表示し解析する集積回路の直流特性解析装
   置において、 前記ストローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性
   の測定値のサンプリング数より、直流特性測定における
   ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終
   設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数を求める
   第１の演算手段と、 前記第１の演算手段の演算結果を記憶する記憶手段と、
   前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性試験時にお
   けるストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定
   値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記ストローブ
   値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅で増加させ
   てストローブ値の最終設定値の対数の値になるまで各試
   験毎に前記集積回路試験部に出力する第２の演算手段と
   を有することを特徴とする集積回路の直流特性測定解析
   装置。
3. 【請求項３】 更に、直流特性試験の測定値及び該測定
   値が許容範囲内にあるか否かを示す判定データを表示す
   る表示手段を有することを特徴とする請求項２に記載の
   集積回路の直流特性測定解析装置。