JP2000321322A - Method and apparatus for analyzing dc characteristic of integrated circuit - Google Patents
Method and apparatus for analyzing dc characteristic of integrated circuitInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定試料である
集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイントであるス
トローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し解析する集
積回路の直流特性解析方法及び装置に係り、特にストロ
ーブ値を更新しながら測定結果を表示する集積回路の直
流特性解析方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a DC characteristic of an integrated circuit which measures a DC characteristic of an integrated circuit which is a sample to be measured for each strobe value which is a measurement point on a time axis, and displays and analyzes the measurement result. More particularly, the present invention relates to a method and an apparatus for analyzing a DC characteristic of an integrated circuit which displays a measurement result while updating a strobe value.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、被測定試料である集積回路の直流
特性測定は、任意のストローブ値に対し、あらかじめ設
定された電圧値もしくは電流値の許容範囲内に測定値が
収まっているか否かによって、集積回路の直流特性試験
におけるパス/フェイルを判定する。そのため、最適な
ストローブ値を算出するために、ストローブ値の範囲を
設定し、その範囲を設定したサンプリング数によって、
複数回試験を行い、最適なストローブ値を求めていた。2. Description of the Related Art Conventionally, DC characteristics of an integrated circuit, which is a sample to be measured, are measured based on whether or not a measured value falls within an allowable range of a predetermined voltage value or current value with respect to an arbitrary strobe value. Then, pass / fail in the DC characteristic test of the integrated circuit is determined. Therefore, in order to calculate the optimal strobe value, a range of the strobe value is set, and the range is set according to the number of samplings.
A plurality of tests were performed to find an optimal strobe value.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この従来の集積回路の
直流特性解析装置では、集積回路の直流特性測定の時間
軸上の測定ポイントであるストローブ値の範囲をサンプ
リング数で等分して決定するために、ストローブ値はミ
リ秒(ms)あるいはナノ秒(ns)という時間の単位
ごとにしか分解できず、最適なストローブ値の時間の単
位を求めるには直流特性試験を時間の単位ごとに実施
し、それぞれの試験結果に基づいて、判断しなければな
らず、解析に時間がかかり、オペレータにとっては作業
負担が大きいという問題が有った。本発明はこのような
事情に鑑みてなされたものであり、オペレータの作業負
担の軽減を図った集積回路の直流特性解析方法及び装置
を提供することを目的とする。In this conventional DC characteristic analyzing apparatus for an integrated circuit, the range of the strobe value, which is a measurement point on the time axis for measuring the DC characteristic of the integrated circuit, is determined by equally dividing it by the number of samplings. Therefore, the strobe value can be decomposed only in millisecond (ms) or nanosecond (ns) time units, and to determine the optimal strobe value time unit, perform a DC characteristic test for each time unit However, the determination must be made based on each test result, which takes a long time for the analysis, and there is a problem that an operator has a large work load. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for analyzing a DC characteristic of an integrated circuit, which reduce the work load on an operator.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1に記載の発明は、被測定試料である集積回路
の直流特性を時間軸上の測定ポイントであるストローブ
値毎に測定し、該測定結果を表示し解析する集積回路の
直流特性解析方法において、前記ストローブ値の範囲を
示すデータ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数
より、直流特性測定におけるストローブ値の初期設定値
の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプ
リング分解能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設
定値の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサ
ンプリング分解能の対数に基づいて直流特性試験時にお
けるストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定
値の対数で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能
の対数の幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対
数の値になるまで更新することを特徴とする。In order to achieve the above object, according to the present invention, a DC characteristic of an integrated circuit which is a sample to be measured is measured for each strobe value which is a measurement point on a time axis. A DC characteristic analysis method of an integrated circuit for displaying and analyzing the measurement result, wherein a logarithm of an initial set value of the strobe value in the DC characteristic measurement is obtained from the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measurement value of the DC characteristic. Calculate the logarithm of the final set value of the strobe value, and the logarithm of the sampling resolution, and perform the DC characteristic test based on the logarithm of the initial set value of the strobe value, the logarithm of the final set value of the strobe value, and the logarithm of the sampling resolution. The initial value of the strobe value is given as a logarithm of the initial setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value is increased with an increase in the number of DC characteristic tests. Characterized in that the value is increased by the logarithm of the width of the sampling resolution per each test updates until the logarithmic value of the last set value of the strobe value.
【0005】請求項1に記載の発明によれば、被測定試
料である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイント
であるストローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し解
析する集積回路の直流特性解析方法において、前記スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、前記スト
ローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定
値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基づいて直
流特性試験時におけるストローブ値の初期値を、ストロ
ーブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性の試験回数
の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各試験毎にサ
ンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ値
の最終設定値の対数の値になるまで更新するようにした
ので、集積回路のストローブ値の時間単位ごとの直流特
性測定を一括して行うことができ、オペレータの作業負
担が軽減される。According to the first aspect of the present invention, an integrated circuit which measures a DC characteristic of an integrated circuit which is a sample to be measured for each strobe value which is a measurement point on a time axis, and displays and analyzes the measurement result In the DC characteristic analysis method, from the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measurement value of the DC characteristic, the logarithm of the initial setting value of the strobe value in the DC characteristic measurement, the logarithm of the final setting value of the strobe value, and The logarithm of the sampling resolution is obtained, and the logarithm of the initial setting value of the strobe value, the logarithm of the final setting value of the strobe value, and the logarithm of the sampling resolution are used to determine the initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test. Given as a logarithm of the set value, the initial value of the strobe value is set to the sampling resolution for each test as the number of DC characteristic tests increases. Since the logarithm is increased by the logarithm and updated until the logarithm of the final set value of the strobe value is reached, the DC characteristics of the integrated circuit strobe value can be measured in units of time, and the operator can collectively measure the strobe value. Work load is reduced.
【0006】また請求項2に記載の発明は、被測定試料
である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイントで
あるストローブ値毎に測定する集積回路試験部を有し、
該集積回路試験部の測定結果を表示装置に表示し解析す
る集積回路の直流特性解析装置において、前記ストロー
ブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値のサ
ンプリング数より、直流特性測定におけるストローブ値
の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の対
数、及びサンプリング分解能の対数を求める第1の演算
手段と、前記第1の演算手段の演算結果を記憶する記憶
手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性試
験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値の
初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記ス
トローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅で
増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値になる
まで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第2の演
算手段とを有することを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided an integrated circuit test section for measuring a DC characteristic of an integrated circuit as a sample to be measured for each strobe value as a measurement point on a time axis,
In the integrated circuit DC characteristic analyzer for displaying and analyzing the measurement result of the integrated circuit test unit on a display device, a strobe in the DC characteristic measurement is obtained based on the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measured value of the DC characteristic. First calculating means for calculating the logarithm of the initial set value of the value, the logarithm of the final set value of the strobe value, and the logarithm of the sampling resolution; storage means for storing the calculation result of the first calculation means; The initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the stored contents is given by the logarithm of the initial setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value increases with the logarithmic width of the sampling resolution as the number of tests increases. And a second calculating means for outputting to the integrated circuit test unit for each test until the logarithm value of the final set value of the strobe value is obtained. The features.
【0007】また請求項3に記載の発明は、請求項2に
記載の集積回路の直流特性測定解析装置において、更
に、直流特性試験の測定値及び該測定値が許容範囲内に
あるか否かを示す判定データを表示する表示手段を有す
ることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided the integrated circuit DC characteristic measuring and analyzing apparatus according to the second aspect, further comprising a DC characteristic test measurement value and whether the measurement value is within an allowable range. And a display means for displaying the determination data indicating
【0008】請求項2、3に記載の発明によれば、スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求める第1の演
算手段と、前記第1の演算手段の演算結果を記憶する記
憶手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性
試験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値
の初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅
で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値にな
るまで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第2の
演算手段とを有するようにしたので、集積回路のストロ
ーブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行うこ
とができ、オペレータの作業負担が軽減される。According to the second and third aspects of the present invention, the logarithm of the initial setting value of the strobe value and the strobe value in the DC characteristic measurement are obtained from the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measured value of the DC characteristic. First calculating means for obtaining the logarithm of the final set value and the logarithm of the sampling resolution, a storing means for storing the calculation result of the first calculating means, and a DC characteristic test based on the storage contents of the storing means. The initial value of the strobe value is given by the logarithm of the initial set value of the strobe value, and the logarithm of the final set value of the strobe value is increased by increasing the initial value of the strobe value with the logarithmic width of the sampling resolution as the number of tests increases. And a second calculating means for outputting to the integrated circuit test section for each test until the value of the strobe value becomes the time unit of the strobe value of the integrated circuit. DC characteristic measuring the can be performed collectively, the operator of the working load is reduced.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して詳細に説明する。本発明の実施の形態に係る集積回
路の直流特性解析装置の構成を図1に示す。本発明の実
施の形態に係る集積回路の直流特性解析装置は、被測定
試料である集積回路の直流特性を時間軸上の測定ポイン
トであるストローブ値毎に測定し、該測定結果を表示し
解析する集積回路の直流特性解析方法において、前記ス
トローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定
値のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロ
ーブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値
の対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、前記ス
トローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設
定値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基づいて
直流特性試験時におけるストローブ値の初期値を、スト
ローブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性の試験回
数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各試験毎に
サンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ
値の最終設定値の対数の値になるまで更新することを特
徴とする直流特性解析方法を実施するための装置であ
る。Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a configuration of an integrated circuit DC characteristic analyzer according to an embodiment of the present invention. The integrated circuit DC characteristics analyzer according to the embodiment of the present invention measures the DC characteristics of the integrated circuit, which is the sample to be measured, for each strobe value, which is a measurement point on the time axis, and displays and analyzes the measurement results. In the method of analyzing DC characteristics of an integrated circuit, the logarithm of the initial setting value of the strobe value and the final setting value of the strobe value in the DC characteristic measurement are obtained from the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measurement value of the DC characteristic. Logarithm, and the logarithm of the sampling resolution, the logarithm of the initial setting value of the strobe value, the logarithm of the final setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the logarithm of the sampling resolution, strobe The initial value of the strobe value is sampled for each test as the number of DC characteristic tests increases. A device for carrying out the direct characterization method characterized by increasing a logarithm of the width of the ring-resolution update to a logarithm of the value of the last set value of the strobe value.
【0010】直流特性解析装置は、キーボード等の入力
装置10と、集積回路試験を行う集積回路試験装置30
と、集積回路試験装置30の動作を制御する集積回路試
験制御装置20と、ディスプレイ装置等の表示装置40
とから構成されている。入力装置10は、直流特性測定
の測定条件を入力する直流特性測定条件入力部(以下、
DC測定条件入力部と記す。)12と、直流特性測定起
動入力部(以下、DC測定起動入力部と記す。)14と
を有している。また集積回路試験制御装置20は、DC
測定条件入力部12より入力される直流特性測定の測定
条件データを記憶する直流特性測定条件メモリ(DC測
定条件メモリと記す。)22と、サンプリング時間制御
部24と、サンプリング時間メモリ26と、直流特性測
定表示制御部(DC測定表示制御部)27と、直流特性
測定の測定結果を記憶する直流特性測定結果メモリ(D
C測定結果メモリ)28とを有している。ここでサンプ
リング時間制御部24は本発明の第1の演算手段に、ま
たサンプリング時間メモリ26は本発明の記憶手段に、
それぞれ相当する。The DC characteristic analyzer includes an input device 10 such as a keyboard, and an integrated circuit test device 30 for performing an integrated circuit test.
An integrated circuit test control device 20 for controlling the operation of the integrated circuit test device 30, and a display device 40 such as a display device
It is composed of The input device 10 includes a DC characteristic measurement condition input unit (hereinafter, referred to as a DC characteristic measurement condition input unit) for inputting measurement conditions for DC characteristic measurement.
Recorded as DC measurement condition input section. ) 12 and a DC characteristic measurement start input unit (hereinafter, referred to as a DC measurement start input unit) 14. In addition, the integrated circuit test control device 20 has a DC
A DC characteristic measurement condition memory (referred to as a DC measurement condition memory) 22 for storing DC characteristic measurement measurement condition data input from the measurement condition input unit 12; a sampling time control unit 24; a sampling time memory 26; A characteristic measurement display control unit (DC measurement display control unit) 27 and a DC characteristic measurement result memory (D
C measurement result memory) 28. Here, the sampling time control unit 24 corresponds to the first calculating means of the present invention, and the sampling time memory 26 corresponds to the storing means of the present invention.
Each corresponds.
【0011】集積回路試験装置30は、集積回路の直流
特性をチェックする集積回路試験部32と、ストローブ
値算出部34と、直流特性測定判定リミットメモリ(以
下、DC測定判定リミットメモリと記す。)36とを有
している。また表示装置40は、直流特性測定の測定結
果を表示する直流特性測定結果表示部(以下、DC測定
結果表示部と記す。)42と、直流特性測定判定リミッ
ト表示部(以下、DC測定判定リミット表示部と記
す。)44とを有している。尚、ストローブ値算出部3
4は本発明の第2の演算手段に相当する。The integrated circuit test apparatus 30 includes an integrated circuit test section 32 for checking the DC characteristics of the integrated circuit, a strobe value calculation section 34, and a DC characteristic measurement limit memory (hereinafter referred to as a DC measurement limit memory). 36. The display device 40 includes a DC characteristic measurement result display section (hereinafter, referred to as a DC measurement result display section) 42 for displaying a measurement result of the DC characteristic measurement, and a DC characteristic measurement determination limit display section (hereinafter, DC measurement determination limit). (Referred to as a display unit) 44. The strobe value calculation unit 3
Reference numeral 4 corresponds to a second calculating means of the present invention.
【0012】図2はDC測定条件メモリ22の記憶内容
を示している。図2において、DC測定条件メモリ22
は、ストローブ値の最小値であるストローブ最小値が記
憶されるメモリエリア22Aと、ストローブ値の最大値
であるストローブ最大値が記憶されるメモリエリア22
Bと、サンプリング数が記憶されるメモリエリア22C
から構成される。FIG. 2 shows the contents stored in the DC measurement condition memory 22. In FIG. 2, the DC measurement condition memory 22
Are a memory area 22A storing a minimum strobe value which is a minimum value of a strobe value, and a memory area 22A storing a maximum strobe value which is a maximum value of a strobe value.
B and a memory area 22C in which the number of samples is stored.
Consists of
【0013】図3はサンプリング時間メモリ26の記憶
内容を示している。図3において、サンプリング時間メ
モリ26は、直流特性測定におけるストローブ値の初期
設定値(サンプリング開始時間と記す)の対数が記憶さ
れるメモリエリア26Aと、ストローブ値の最終設定値
(サンプリング終了時間と記す。)の対数が記憶される
メモリエリア26Bと、サンプリング分解能の対数が記
憶されるメモリエリア26Cとを有している。FIG. 3 shows the contents stored in the sampling time memory 26. In FIG. 3, a sampling time memory 26 has a memory area 26A in which the logarithm of an initial set value of a strobe value (referred to as a sampling start time) in DC characteristic measurement is stored, and a final set value of a strobe value (referred to as a sampling end time). ) Is stored, and a memory area 26C is stored which stores the logarithm of the sampling resolution.
【0014】次に、図4乃至図6のフローチャートを参
照して図1に示した本発明の実施の形態に係る直流特性
解析装置の動作について説明する。図4においてまず、
オペレータが、DC測定条件入力部12を操作して被測
定試料である集積回路の直流特性測定におけるストロー
ブ最小値、ストローブ最大値を入力すると、DC測定条
件メモリ22のメモリエリア22A、22Bにはそれぞ
れ、ストローブ最小値、ストローブ最大値が記録され
る。次いでオペレータが、DC測定条件入力部12を操
作してストローブ最小値からストローブ最大値の範囲で
の測定ポイント数、すなわちサンプリング数をDC測定
条件メモリ22に入力することにより、DC測定条件メ
モリ22のメモリエリア22Cにはサンプリング数が記
録される(ステップ100)。Next, the operation of the DC characteristic analyzing apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. First, in FIG.
When the operator operates the DC measurement condition input unit 12 to input the minimum strobe value and the maximum strobe value in the measurement of the DC characteristics of the integrated circuit as the sample to be measured, the memory areas 22A and 22B of the DC measurement condition memory 22 are respectively stored. , The minimum strobe value and the maximum strobe value are recorded. Next, the operator operates the DC measurement condition input unit 12 to input the number of measurement points in the range from the minimum strobe value to the maximum strobe value, that is, the number of samplings, into the DC measurement condition memory 22. The sampling number is recorded in the memory area 22C (step 100).
【0015】更にDC測定起動入力部14を操作してサ
ンプリング時間制御部24に起動命令を出力すると(ス
テップ102)、サンプリング時間制御部24は図5の
フローチャートに示すようにDC測定条件メモリ22か
らストローブ最小値、ストローブ最大値、サンプリング
数を読み出し、これらのデータを用いてのサンプリング
開始時間の対数、サンプリング終了時間の対数及びサン
プリング分解能の対数を算出し、サンプリング時間メモ
リ26に記録する(ステップ104)。ここで、図5の
フローチャートを参照してサンプリング時間制御部24
におけるサンプリング開始時間の対数、サンプリング終
了時間の対数及びサンプリング分解能の対数の算出につ
いて説明する。Further, when the DC measurement start input unit 14 is operated to output a start command to the sampling time control unit 24 (step 102), the sampling time control unit 24 reads the DC measurement condition memory 22 from the DC measurement condition memory 22 as shown in the flowchart of FIG. The minimum value of the strobe, the maximum value of the strobe, and the number of samples are read out, and the logarithm of the sampling start time, the logarithm of the sampling end time, and the logarithm of the sampling resolution using these data are calculated and recorded in the sampling time memory 26 (step 104). ). Here, referring to the flowchart of FIG.
The calculation of the logarithm of the sampling start time, the logarithm of the sampling end time, and the logarithm of the sampling resolution will be described.
【0016】図5において、DC測定条件メモリ22か
ら読み出したストローブ最小値が集積回路試験装置(以
下、IC試験装置と記す。)のストローブ値、すなわ
ち、IC試験装置の最小分解能より小さいか否かが判定
される(ステップ200)。ステップ200の判定が肯
定された場合には、サンプリング開始時間の対数をlo
g(IC試験装置のストローブ最小値)として算出する
(ステップ202)。In FIG. 5, whether the minimum strobe value read from the DC measurement condition memory 22 is smaller than the strobe value of an integrated circuit test device (hereinafter, referred to as an IC test device), that is, whether or not it is smaller than the minimum resolution of the IC test device. Is determined (step 200). If the determination in step 200 is affirmative, the logarithm of the sampling start time is set to lo.
g (the minimum strobe value of the IC test apparatus) is calculated (step 202).
【0017】ステップ200の判定が否定された場合に
はサンプリング開始時間の対数をlog(ストローブ最
小値)として算出する(ステップ204)。次いでサン
プリング終了時間の対数をlog(ストローブ最大値)
として算出し(ステップ206)、更にサンプリング分
解能の対数を(サンプリング終了時間の対数−サンプリ
ング開始時間の対数)/(サンプリング数−1)として
算出する(ステップ208)。If the determination in step 200 is negative, the logarithm of the sampling start time is calculated as log (minimum strobe value) (step 204). Next, logarithm of sampling end time is log (strobe maximum value)
(Step 206), and the logarithm of the sampling resolution is calculated as (logarithm of sampling end time−logarithm of sampling start time) / (number of samplings−1) (step 208).
【0018】このようにして図4におけるステップ10
4でサンプリング時間メモリ26へのサンプリング開始
時間の対数、サンプリング終了時間の対数、及びサンプ
リング分解能の対数の記録が終了すると、ステップ10
6でストローブ値算出部34はサンプリング時間メモリ
26に記録されたデータを用いて、ストローブ値を算出
し、IC試験部32で直流特性測定を行い、その測定結
果をDC測定結果メモリ28に記録する。Thus, step 10 in FIG.
When the recording of the logarithm of the sampling start time, the logarithm of the sampling end time, and the logarithm of the sampling resolution in the sampling time memory 26 is completed at step 4,
In step 6, the strobe value calculation unit 34 calculates a strobe value using the data recorded in the sampling time memory 26, performs DC characteristic measurement in the IC test unit 32, and records the measurement result in the DC measurement result memory 28. .
【0019】ここで、図6のフローチャートを参照して
図4のステップ106で行われるIC試験について説明
する。図6において、ステップ300で試験回数NをN
=0とし初期化する。次いでストローブ値の対数をサン
プリング開始時間の対数+(試験回数N×サンプリング
分解能の対数)として算出する(ステップ302)。ス
テップ304では、ステップ302で求められたストロ
ーブ値の対数とサンプリング終了時間の対数とを大小比
較し、ストローブ値の対数がサンプリング終了時間の対
数を越えていたら処理を終了する。またステップ302
でストローブ値の対数がサンプリング終了時間の対数を
越えていないと判定された場合にはステップ306でス
トローブ値を10の(ストローブ値の対数)乗として算
出し、ステップ308でIC試験を行う。Here, the IC test performed in step 106 of FIG. 4 will be described with reference to the flowchart of FIG. In FIG. 6, the number of tests N is set to N in step 300.
= 0 and initialized. Next, the logarithm of the strobe value is calculated as the logarithm of the sampling start time + (the number of tests N × the logarithm of the sampling resolution) (step 302). In step 304, the logarithm of the strobe value obtained in step 302 is compared with the logarithm of the sampling end time, and if the logarithm of the strobe value exceeds the logarithm of the sampling end time, the process is terminated. Step 302
If it is determined that the logarithm of the strobe value does not exceed the logarithm of the sampling end time, the strobe value is calculated as 10 (the logarithm of the strobe value) in step 306, and an IC test is performed in step 308.
【0020】次いでステップ310では集積回路試験部
(以下、IC試験部と記す。)32によりストローブ値
とIC試験の測定結果がDC測定結果メモリ28に記録
される。更にステップ312では、試験回数Nをインク
リメントし、ステップ302に戻る。IC試験はステッ
プ304で条件が満たされるまで繰り返し、DC測定結
果メモリ28には実施した試験回数分の結果が記録され
る。ステップ314でIC試験が終了すると、図4にお
けるステップ108に処理が移行する。Next, at step 310, the strobe value and the measurement result of the IC test are recorded in the DC measurement result memory 28 by the integrated circuit test section (hereinafter, referred to as IC test section) 32. Further, in step 312, the number of tests N is incremented, and the process returns to step 302. The IC test is repeated until the condition is satisfied in step 304, and the results for the number of tests performed are recorded in the DC measurement result memory 28. When the IC test is completed in step 314, the process proceeds to step 108 in FIG.
【0021】ステップ108でIC試験部32はIC試
験終了命令をDC測定表示制御部27に出力する。次い
でステップ110でDC測定表示制御部27はDC測定
結果表示部42にDC測定結果を表示する。IC試験を
実施する際、DC測定判定リミットメモリ36には予め
測定値におけるパス/フェイルを判定する為のリミット
領域を記録してあり、ステップ112でそのリミット領
域を示す情報をDC測定判定リミット表示部44に表示
する。In step 108, the IC test section 32 outputs an IC test end command to the DC measurement display control section 27. Next, at step 110, the DC measurement display control section 27 displays the DC measurement result on the DC measurement result display section 42. When an IC test is performed, a limit area for judging a pass / fail in a measured value is recorded in the DC measurement judgment limit memory 36 in advance, and information indicating the limit area is displayed in step 112 as a DC measurement judgment limit display. It is displayed on the section 44.
【0022】次に図5に示したサンプリング時間制御部
24の処理、及び図6に示したストローブ値算出部34
の処理の具体例について説明する。まず、DC測定条件
入力部12を操作して、ストローブ値の最小値を1m
s、ストローブ値の最大値を10sとし、サンプリング
数を5として、これらのデータをDC測定条件メモリ2
2に記録する。そしてDC測定起動入力部14を操作す
ることにより起動命令がサンプリング時間制御部24に
出力されると、サンプリング時間制御部24では、DC
測定条件メモリ22に記録されているストローブ最小値
とストローブ最大値の基準単位を秒(s)とするため、
ストローブ最小値は0.001sとする。Next, the processing of the sampling time control unit 24 shown in FIG. 5 and the strobe value calculation unit 34 shown in FIG.
A specific example of the processing will be described. First, the DC measurement condition input unit 12 is operated to set the minimum value of the strobe value to 1 m.
s, the maximum value of the strobe value is 10 s, the sampling number is 5, and these data are stored in the DC measurement condition memory 2.
Record in 2. When a start command is output to the sampling time control unit 24 by operating the DC measurement start input unit 14, the sampling time control unit 24
In order to set the reference unit of the minimum strobe value and the maximum strobe value recorded in the measurement condition memory 22 to seconds (s),
The minimum strobe value is 0.001 s.
【0023】図5においてステップ200でストローブ
最小値はIC試験装置30のストローブ最小値より大き
いため、ステップ202でサンプリング開始時間の対数
はlog(0.001)、すなわち”−3”となる。次
に、ステップ206でサンプリング終了時間の対数は、
ストローブ最大値が10sであるからlog(10)、
すなわち”1”となる。更にステップ208でサンプリ
ング分解能の対数は、上述した計算結果から(1−(−
3))/(5−1)で計算され、その計算結果は”1”
となる。In FIG. 5, since the minimum strobe value is larger than the minimum strobe value of the IC test apparatus 30 in step 200, the logarithm of the sampling start time is log (0.001), that is, "-3" in step 202. Next, in step 206, the logarithm of the sampling end time is:
Since the maximum value of the strobe is 10 s, log (10),
That is, it becomes "1". Further, in step 208, the logarithm of the sampling resolution is calculated as (1-(−)
3)) / (5-1) is calculated, and the calculation result is “1”.
Becomes
【0024】次にストローブ値算出部34では、図6の
ステップ300で試験回数Nを0に初期化し、次のステ
ップ302でストローブ値の対数が、−3+(0×1)
で計算され、この結果”−3”となる。更にステップ3
04ではストローブ値の対数とサンプリング終了時間の
対数との大小比較による判定が行われ、この例ではスト
ローブ値の対数である“−3”はサンプリング終了時間
の対数”1”より小さいのでステップ306でストロー
ブ値を算出すると10の−3乗で”0.001s”すな
わち1msとなる。Next, the strobe value calculation unit 34 initializes the number of tests N to 0 in step 300 of FIG. 6, and in the next step 302, the logarithm of the strobe value is -3+ (0 × 1).
And the result is “−3”. Step 3
In step 04, determination is made by comparing the logarithm of the strobe value with the logarithm of the sampling end time. In this example, the logarithm of the strobe value “−3” is smaller than the logarithm of the sampling end time “1”. When the strobe value is calculated, it becomes "0.001 s", that is, 1 ms, as 10-3.
【0025】次にステップ308ではIC試験部32で
直流特性試験を行い、ステップ310ではステップ30
6で求めたストローブ値と、ステップ308で行った直
流特性試験の測定値とをDC測定結果メモリ28に記録
する。次いでステップ312で試験回数Nをインクリメ
ントし、処理はステップ302に戻る。ステップ302
〜312の処理をステップ304における判定が肯定さ
れるまで繰り返すと、ストローブ値の対数は−2、−
1、0、1となり、ストローブ値は10ms、100m
s、1s,10sと変化し、ストローブ値の対数が”
2”となるまで繰り返す。このようにしてDC測定結果
メモリ28には実施した試験回数分の結果が記録され、
DC測定表示制御部27は測定結果をDC測定結果表示
部42に表示する。Next, in step 308, a DC characteristic test is performed by the IC test section 32, and in step 310, step 30 is executed.
6 and the measured value of the DC characteristics test performed in step 308 are recorded in the DC measurement result memory 28. Next, at step 312, the number of tests N is incremented, and the process returns to step 302. Step 302
When the processing of steps 312 to 312 is repeated until the determination in step 304 is affirmed, the logarithm of the strobe value becomes −2, −.
1, 0, 1 and the strobe values are 10 ms, 100 m
s, 1s, 10s, and the logarithm of the strobe value is "
2 ". In this way, the results for the number of tests performed are recorded in the DC measurement result memory 28,
The DC measurement display control unit 27 displays the measurement result on the DC measurement result display unit 42.
【0026】本発明の実施の形態に係る集積回路の直流
特性解析方法によれば、被測定試料である集積回路の直
流特性を時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎
に測定し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流
特性解析方法において、前記ストローブ値の範囲を示す
データ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数よ
り、直流特性測定におけるストローブ値の初期設定値の
対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリ
ング分解能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設定
値の対数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサン
プリング分解能の対数に基づいて直流特性試験時におけ
るストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値
の対数で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記ス
トローブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能の
対数の幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対数
の値になるまで更新するようにしたので、集積回路のス
トローブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行
うことができ、オペレータの作業負担が軽減される。According to the method of analyzing DC characteristics of an integrated circuit according to the embodiment of the present invention, the DC characteristics of an integrated circuit as a sample to be measured are measured for each strobe value, which is a measurement point on the time axis, and the measurement is performed. In the method of analyzing DC characteristics of an integrated circuit for displaying and analyzing a result, a logarithm of an initial set value of a strobe value in a DC characteristic measurement, a strobe value, based on data indicating the range of the strobe value and a sampling number of a measurement value of the DC characteristic. The logarithm of the final set value of the strobe value and the logarithm of the sampling resolution are determined, and the logarithm of the initial set value of the strobe value, the logarithm of the final set value of the strobe value, and the logarithm of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the logarithm of the sampling resolution. The initial value is given as a logarithm of the initial setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value is increased with an increase in the number of DC characteristic tests. Each test is increased by the logarithmic width of the sampling resolution and updated until the logarithm of the final set value of the strobe value is reached. The work load on the operator can be reduced.
【0027】本発明の実施の形態に係る集積回路の直流
特性解析装置によれば、ストローブ値の範囲を示すデー
タ及び前記直流特性の測定値のサンプリング数より、直
流特性測定におけるストローブ値の初期設定値の対数、
ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリング分
解能の対数を求めるサンプリング時間制御部24と、サ
ンプリング時間制御部24の演算結果を記憶するサンプ
リング時間メモリ26と、サンプリング時間メモリ26
の記憶内容に基づいて直流特性試験時におけるストロー
ブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値の対数で与
え、試験回数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を
サンプリング分解能の対数の幅で増加させてストローブ
値の最終設定値の対数の値になるまで各試験毎にIC試
験部32に出力するストローブ値算出部34とを有する
ので、集積回路のストローブ値の時間単位ごとの直流特
性測定を一括して行うことができ、オペレータの作業負
担が軽減される。According to the DC characteristic analyzing apparatus for an integrated circuit according to the embodiment of the present invention, the initial setting of the strobe value in the DC characteristic measurement is performed based on the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measured value of the DC characteristic. Log of the value,
A sampling time control unit 24 for obtaining the logarithm of the final set value of the strobe value and the logarithm of the sampling resolution; a sampling time memory 26 for storing the operation result of the sampling time control unit 24;
The initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the stored contents is given by the logarithm of the initial setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value increases with the logarithmic width of the sampling resolution as the number of tests increases. And a strobe value calculation unit 34 for outputting to the IC test unit 32 for each test until the logarithm of the final set value of the strobe value is obtained. It can be performed collectively, and the work load of the operator is reduced.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、被測定試料である集積回路の直流特性を
時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定
し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流特性解
析方法において、前記ストローブ値の範囲を示すデータ
及び前記直流特性の測定値のサンプリング数より、直流
特性測定におけるストローブ値の初期設定値の対数、ス
トローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリング分解
能の対数を求め、前記ストローブ値の初期設定値の対
数、ストローブ値の最終設定値の対数、及びサンプリン
グ分解能の対数に基づいて直流特性試験時におけるスト
ローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定値の対数
で与え、直流特性の試験回数の増加に伴い前記ストロー
ブ値の初期値を各試験毎にサンプリング分解能の対数の
幅で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値に
なるまで更新するようにしたので、集積回路のストロー
ブ値の時間単位ごとの直流特性測定を一括して行うこと
ができ、オペレータの作業負担が軽減される。As described above, according to the first aspect of the present invention, the DC characteristics of the integrated circuit which is the sample to be measured are measured for each strobe value which is a measurement point on the time axis. In the method of analyzing DC characteristics of an integrated circuit for displaying and analyzing a result, a logarithm of an initial set value of a strobe value in a DC characteristic measurement, a strobe value, based on data indicating the range of the strobe value and a sampling number of a measurement value of the DC characteristic. The logarithm of the final set value of the strobe value and the logarithm of the sampling resolution are determined, and the logarithm of the initial set value of the strobe value, the logarithm of the final set value of the strobe value, and the logarithm of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the logarithm of the sampling resolution. The initial value is given as the logarithm of the initial setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value is set for each test with an increase in the number of tests of the DC characteristics. Because the sampling resolution is increased by the logarithmic width of the sampling resolution and updated until the logarithmic value of the final set value of the strobe value is reached, the DC characteristics of the integrated circuit strobe value per time unit must be measured at once. And the burden on the operator is reduced.
【0029】請求項2、3に記載の発明によれば、スト
ローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性の測定値
のサンプリング数より、直流特性測定におけるストロー
ブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終設定値の
対数、及びサンプリング分解能の対数を求める第1の演
算手段と、前記第1の演算手段の演算結果を記憶する記
憶手段と、前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性
試験時におけるストローブ値の初期値を、ストローブ値
の初期設定値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記
ストローブ値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅
で増加させてストローブ値の最終設定値の対数の値にな
るまで各試験毎に前記集積回路試験部に出力する第2の
演算手段とを有するので、集積回路のストローブ値の時
間単位ごとの直流特性測定を一括して行うことができ、
オペレータの作業負担が軽減される。According to the second and third aspects of the present invention, the logarithm of the initial setting value of the strobe value in the DC characteristic measurement and the strobe value are obtained from the data indicating the range of the strobe value and the sampling number of the measured value of the DC characteristic. First calculating means for obtaining the logarithm of the final set value and the logarithm of the sampling resolution, a storing means for storing the calculation result of the first calculating means, and a DC characteristic test based on the storage contents of the storing means. The initial value of the strobe value is given by the logarithm of the initial set value of the strobe value, and the logarithm of the final set value of the strobe value is increased by increasing the initial value of the strobe value with the logarithmic width of the sampling resolution as the number of tests increases. And a second calculating means for outputting to the integrated circuit test section for each test until the value of the strobe value becomes It can be done collectively sex measurement,
The work load of the operator is reduced.
【図1】 本発明の実施の形態に係る集積回路の直流特
性解析装置の構成を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a DC characteristic analyzing apparatus for an integrated circuit according to an embodiment of the present invention.
【図2】 図1におけるDC測定条件メモリの記憶内容
を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram showing storage contents of a DC measurement condition memory in FIG. 1;
【図3】 図1におけるサンプリング時間メモリの記憶
内容を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing storage contents of a sampling time memory in FIG. 1;
【図4】 図1に示した直流特性解析装置の全体的な動
作を示すフローチャート。FIG. 4 is a flowchart showing the overall operation of the DC characteristics analyzer shown in FIG.
【図5】 図1におけるサンプリング時間制御部の処理
内容を示すフローチャート。FIG. 5 is a flowchart showing processing contents of a sampling time control unit in FIG. 1;
【図6】 図1におけるストローブ値算出部の処理内容
を示すフローチャート。FIG. 6 is a flowchart showing processing contents of a strobe value calculation unit in FIG. 1;
10 入力装置 12 DC測定条件入力部 14 DC測定起動入力部 20 集積回路試験制御装置 22 DC測定条件メモリ 24 サンプリング時間制御部 26 サンプリング時間メモリ 27 DC測定表示制御部 28 DC測定結果メモリ 30 IC試験装置 32 IC試験部 34 ストローブ値算出部 36 DC測定判定リミットメモリ 40 表示装置 42 DC測定結果表示部 44 DC測定判定リミット表示部 Reference Signs List 10 Input device 12 DC measurement condition input unit 14 DC measurement start input unit 20 Integrated circuit test control device 22 DC measurement condition memory 24 Sampling time control unit 26 Sampling time memory 27 DC measurement display control unit 28 DC measurement result memory 30 IC test device 32 IC test part 34 Strobe value calculation part 36 DC measurement judgment limit memory 40 Display device 42 DC measurement result display part 44 DC measurement judgment limit display part
Claims (3)
時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定
し、該測定結果を表示し解析する集積回路の直流特性解
析方法において、 前記ストローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性
の測定値のサンプリング数より、直流特性測定における
ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終
設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数を求め、
前記ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の
最終設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数に基
づいて直流特性試験時におけるストローブ値の初期値
を、ストローブ値の初期設定値の対数で与え、直流特性
の試験回数の増加に伴い前記ストローブ値の初期値を各
試験毎にサンプリング分解能の対数の幅で増加させてス
トローブ値の最終設定値の対数の値になるまで更新する
ことを特徴とする集積回路の直流特性解析方法。1. A method for analyzing DC characteristics of an integrated circuit which measures a DC characteristic of an integrated circuit as a sample to be measured for each strobe value which is a measurement point on a time axis, and displays and analyzes the measurement result. From the data indicating the value range and the sampling number of the measured value of the DC characteristic, the logarithm of the initial setting value of the strobe value, the logarithm of the final setting value of the strobe value, and the logarithm of the sampling resolution in the DC characteristic measurement,
The logarithm of the initial setting value of the strobe value, the logarithm of the final setting value of the strobe value, and the initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test based on the logarithm of the sampling resolution, given by the logarithm of the initial setting value of the strobe value, With the increase in the number of DC characteristics tests, the initial value of the strobe value is increased by the logarithmic width of the sampling resolution for each test and updated until the logarithmic value of the final set value of the strobe value is reached. DC characteristics analysis method for integrated circuits.
時間軸上の測定ポイントであるストローブ値毎に測定す
る集積回路試験部を有し、該集積回路試験部の測定結果
を表示装置に表示し解析する集積回路の直流特性解析装
置において、 前記ストローブ値の範囲を示すデータ及び前記直流特性
の測定値のサンプリング数より、直流特性測定における
ストローブ値の初期設定値の対数、ストローブ値の最終
設定値の対数、及びサンプリング分解能の対数を求める
第1の演算手段と、 前記第1の演算手段の演算結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段の記憶内容に基づいて直流特性試験時にお
けるストローブ値の初期値を、ストローブ値の初期設定
値の対数で与え、試験回数の増加に伴い前記ストローブ
値の初期値をサンプリング分解能の対数の幅で増加させ
てストローブ値の最終設定値の対数の値になるまで各試
験毎に前記集積回路試験部に出力する第2の演算手段と
を有することを特徴とする集積回路の直流特性測定解析
装置。2. An integrated circuit test section for measuring a DC characteristic of an integrated circuit which is a sample under test for each strobe value which is a measurement point on a time axis, and a measurement result of the integrated circuit test section is displayed on a display device. In the DC characteristic analyzing apparatus for an integrated circuit to display and analyze, the logarithm of the initial setting value of the strobe value in the DC characteristic measurement and the final First calculating means for calculating a logarithm of a set value and a logarithm of a sampling resolution; a storing means for storing a calculation result of the first calculating means;
The initial value of the strobe value at the time of the DC characteristic test is given by the logarithm of the initial setting value of the strobe value based on the storage content of the storage means, and the initial value of the strobe value is increased by the number of tests to obtain the logarithm of the sampling resolution. A second calculating means for outputting to the integrated circuit test section for each test until the value becomes a logarithm of the final set value of the strobe value by increasing the width, and a DC characteristic measurement analysis of the integrated circuit. apparatus.
値が許容範囲内にあるか否かを示す判定データを表示す
る表示手段を有することを特徴とする請求項2に記載の
集積回路の直流特性測定解析装置。3. The integrated circuit according to claim 2, further comprising display means for displaying a measured value of the DC characteristic test and judgment data indicating whether or not the measured value is within an allowable range. DC characteristics measurement analyzer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11130638A JP2000321322A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method and apparatus for analyzing dc characteristic of integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11130638A JP2000321322A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method and apparatus for analyzing dc characteristic of integrated circuit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000321322A true JP2000321322A (en) | 2000-11-24 |
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ID=15039053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP11130638A Withdrawn JP2000321322A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Method and apparatus for analyzing dc characteristic of integrated circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
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-
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- 1999-05-11 JP JP11130638A patent/JP2000321322A/en not_active Withdrawn
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