JP2000233867A - フィルム剥離装置 - Google Patents
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
つ、フィルム剥離に要する時間を短縮する。 【解決手段】 フィルム剥離装置10を、基板搬入側か
ら搬出側に、基板搬入領域11、上側、下側フィルム剥
離領域12、14と基板搬出領域16から構成し、上側
フィルム剥離領域12で、搬送吸着板35により搬入さ
れた基板22を下側吸着盤42に吸着状態で上側フィル
ム18を上側引張剥離装置60により引張って剥離さ
せ、剥離後の基板22は、下側吸着盤42によって下側
フィルム剥離領域14に搬送し、生じたスペースを通し
て剥離フィルムを落下排出させ、基板22は、上側吸着
盤36から上側吸着盤36に受け渡し、上側吸着盤36
に吸着状態で、下側フィルム20を下側引張剥離装置5
4によって引張って剥離し、基板22を基板搬出領域1
6に搬送し、生じたスペースを通して剥離フィルムを落
下排出させる。
Description
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィル
ムを剥離する装置に関する。
ような工程により製造されている。まず、絶縁性基板上
に設けられた導電層上に感光性樹脂(ホトレジスト)層
と、これを保護する透光性樹脂フィルム(保護フィル
ム)とからなる積層体をラミネーティングロールにより
熱圧着する。次に配線パターンフィルムを重ね、この配
線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通し
て前記感光性樹脂層を所定時間露光する。
後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマ
スクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部
分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有
するプリント配線基板が形成される。
て、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィ
ルム剥離装置が種々提案されている。
からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィル
ム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧した
り、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。
されるように、基板に張り付けられている感光性樹脂層
と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部
にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことによ
り、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上
させるものがある。又、例えば特開昭62−83974
号公報に開示されるように、保護フィルム端部を基板と
共に圧力車により挟み込んだ状態で該圧力車をフィルム
端縁に沿って走行させることにより、該フィルム端縁を
浮き上がらせるようにしたものもある。
た後は、圧縮空気等の気体を吹き付けて浮上した端縁か
らフィルムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィ
ルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで基板を進
行させつつ、フィルムを完全に剥離してライン外に搬出
させるようにしている。
よって挟み込んで剥離させ、ライン外へ搬出させる際
に、基板上面から剥離したフィルムは、搬送ローラ等の
基板搬送装置があるために、その幅方向外側から搬出す
ることになり、装置の幅が大きくなってしまう。又、フ
ィルム端縁をローラやベルトは上下方向の装置の寸法を
大きくしてしまう。
て挟み込む装置では、保護フィルムが非常に薄い場合、
これを確実に挟持することができない場合がある。
ら確実に剥離させようとする場合は、例えば特開平8−
99769号公報に開示されるように、めくり上がった
フィルム端縁を挟持片によって挟持し、これを基板に対
して引張ることによりフィルムを剥離させるようにした
剥離方法及び装置が有効であるが、この場合、基板上面
から剥離したフィルムを搬出するために、該フィルムを
基板搬送面の側方にまで移動してライン外にフィルムを
排出しなければならないという問題点がある。
により挟持して引張ることにより、該フィルムを基板か
ら剥離させる際に、例えば前述の特開平8−99769
号公報に開示されるように、基板の、剥離されるフィル
ムと反対側面を吸着装置によって吸着固定しなければな
らない。
ィルムを剥離させるために、該基板の進行方向の長さ分
だけ移動する必要があり、これによって更に装置面積が
大きくなってしまうという問題点がある。
態でフィルムを剥離させるので、フィルムを剥離して基
板を次の工程に搬出するまでの時間がかかり、効率が低
いという問題点がある。
されたものであって、薄いフィルムでも確実に剥離でき
ると共に、剥離を開始したフィルム先端を引張って剥離
する装置の移動範囲が小さく、又、剥離したフィルムを
基板搬送面の側方から搬出する必要がなく、且つフィル
ム剥離時間の短いフィルム剥離方法及び装置を提供する
ことを目的とする。
項1のように、基板搬入側から搬出側に、水平方向に、
基板搬入領域、上側フィルム剥離領域、下側フィルム剥
離領域、及び、基板搬出領域を順次隣接配置してなり、
前記基板搬入領域に設けられ、上下両面にフィルムが張
り付けられた基板を水平の基板搬送面に沿って搬送する
基板搬入装置と、この基板搬入装置の上方位置と前記上
側フィルム剥離領域内との間でほぼ水平に往復動自在、
且つ、前記基板の上面を吸着して、該基板を水平に保持
可能とされた搬送吸着盤と、前記上側フィルム剥離領域
内に前記搬送吸着盤が移動したときのその下側位置に配
置され、該下側位置と前記下側フィルム剥離領域内との
間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の下面の略全面
を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた下側吸着
盤と、この下側吸着盤に吸着された状態の基板における
上側面に張り付けられた上側フィルムの搬出側先端を剥
離し、且つ、めくり上げる上側剥離装置と、該めくり上
げられた上側フィルム先端を捕捉すると共に、これを基
板搬入側に引張る上側引張剥離装置と、前記下側フィル
ム剥離領域内に前記下側吸着盤が移動したときのその上
側位置に配置され、該上側位置と前記下側フィルム剥離
領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の上
面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされ
た上側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着された状態の基
板における下側面に張り付けられた下側フィルムの搬出
側先端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥離装置と、
前記基板搬出装置における搬入側端近傍に配置され、前
記下側剥離装置によりめくり下げられた下側フィルムの
先端を捕捉し、且つ、前記基板搬出装置と前記上側フィ
ルム剥離領域との間を通って、前記捕捉した下側フィル
ムの先端を下方に引張る下側引張剥離装置と、を有して
なり、前記下側吸着盤は、前記上側引張剥離装置により
上側フィルムを引張るとき、基板を吸着したまま下側フ
ィルム剥離領域にまで移動し、且つ、前記下側剥離装置
により下側フィルムを剥離する前に上側フィルム剥離領
域内に戻り、前記上側吸着盤は、前記下側引張装置によ
り前記下側フィルムの引張るとき、基板を吸着したまま
前記基板搬出領域内に移動し、前記下側フィルムが基板
から剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基板搬入領域方向
に移動して前記上側引張剥離装置の下方向に空白が生じ
たとき、前記上側引張剥離装置は捕捉していた上側フィ
ルムを解放するようにされたことを特徴とするフィルム
剥離装置により、上記目的を達成するものである。
剥離装置は、前記上側吸着盤の搬出側端部近傍位置で、
基板搬送面に沿って並列配置された複数の搬送ローラを
含んでなり、該複数の搬送ローラは、前記基板搬送面を
構成する搬送位置と、これより下方であって、前記下側
剥離装置により剥離され、めくり下げられた下側フィル
ムと非干渉となるまで引き下がった待機位置との間で上
下動自在としてもよい。
引張剥離装置は、前記下側剥離装置における下側フィル
ムの剥離開始先端近傍位置で、その下側近傍から略鉛直
下向きに配置され、めくり下げられた下側フィルムの先
端を案内するガイド板と、このガイド板の下端近傍に設
けられ、ガイド板から下方に突出した前記下側フィルム
の先端を捕捉可能とされたフィルム捕捉装置と、このフ
ィルム捕捉装置を自由端側に支持し基端側を中心とし
て、前記ガイド板近傍位置とこれより下方の解放位置と
の間で揺動自在とされた揺動アームと、を有して構成し
てもよい。
吸着盤を水平に往復動させる送り桟構の下側剥離領域側
端部に前記揺動アームの基端を揺動自在に支持するよう
にしてもよい。
けられたフィルムを剥離する際に、該基板上面を吸着保
持しつつ、基板先端方向に搬送し、同時に剥離を開始し
た下側フィルムの先端を下方に引張ることによって、基
板を搬送しつつ下側フィルムを搬送装置の下方に引張っ
て剥離し、剥離時間を短縮すると共に、剥離したフィル
ムをそのまま下方に解放、排出することができる。
面を参照して詳細に説明する。
るフィルム剥離装置10は、同図において左側の基板搬
入側から右側の搬出側に向かって、水平方向に、基板搬
入領域11、上側フィルム剥離領域12、下側フィルム
剥離領域14、及び、基板搬出領域16を順次隣接配置
して構成されていて、基板搬入側から基板搬入領域11
に送り込まれた、上面に上側フィルム18が、又、下面
に下側フィルム20がそれぞれ張り付けられた基板22
(図3参照)から、前記上側及び下側フィルム18、2
0をこの順で剥離して、基板搬出領域16から、フィル
ム剥離後の基板22を搬出するようにしたものである。
ーラ24を水平に並列配置してなる基板搬入装置26が
設けられ、搬送ローラ24の上端によって形成される基
板搬送面26Aに沿って、図1において左端の基板搬入
端から装入された基板22全体が基板搬入領域11内に
入り込むまで、これを搬送できるようにされている。
搬送ローラ24間の隙間から上方に突出することによっ
て、基板搬送面26A上の基板22を押し上げる複数の
押し上げ部材30を備えた押し上げ装置32が配置され
ている。
示されるように、押し上げ部材30の先端が基板搬送面
26Aよりも下側にある待機位置とされ、シリンダ装置
34によって基板22を押し上げる押し上げ位置に駆動
され得るようになっている。図1の符号34Aは押し上
げ部材30を鉛直方向に案内するためのガイドシャフト
を示す。
離領域12の上方位置には、これらの間を水平に往復動
自在とされた搬送吸着盤35が配置されている。
圧が印加される多数の吸引孔(図示省略)が面方向に均
一に設けられ、下方から押し付けられた基板22の上面
をその全面に渡って吸着できるようにされている。
に、上記基板搬入領域11及び上側フィルム剥離領域1
2に渡って基板搬送方向に配置されたロッドレスシリン
ダのガイドレール35Aに沿って、ガイドシュー35B
を介して摺動自在に案内され、且つ送り機構(図示省
略)により往復動され得るようになっている。
範囲は、図1に示されるように、基板搬入領域11内
で、前記基板搬入装置26の真上となる位置及び上側フ
ィルム剥離領域12内に入り込んだ位置との間とされて
いる。
面26Aからの距離は、前記押し上げ部材30によって
基板22が押し上げられたとき、該基板22の上面が搬
送吸着盤35の下側面とほぼ一致するように設定されて
いる。
剥離領域12内に入り込んだときの、該搬送吸着盤35
の下面に対向する位置には、下側吸着盤42が水平に配
置され得るようになっている。
負圧が印加される多数の吸引孔(図示省略)が面方向に
均一に設けられていて、ここに、前記基板22の下側面
をその全面に渡って吸着できるようにされている。
Aによって上下動自在に支持され、この昇降シリンダ4
2Aは送りねじ機構46によって水平に、且つ基板搬入
領域11と前記上側フィルム剥離領域12を通って下側
フィルム剥離領域14の入側部との間で往復動され得る
ようになっている。送りねじ機構46は、前記昇降シリ
ンダ42Aと一体のナット部46Aと、このナット部4
6Aに螺合する水平の送りねじ46Bと、この送りねじ
46Bを駆動するモータ46Cと、を含んで構成されて
いる。
は、下側吸着盤42に吸着されている基板22上面の上
側フィルム18先端を剥離し、且つめくり上げる上側剥
離装置50が、又、前記下側フィルム剥離領域14内に
は、基板22が上側吸着盤36に吸着された状態で、そ
の搬送方向先端における下側フィルム20の先端を剥離
し、且つめくり下げる下側剥離装置48が、それぞれ設
けられている。
ら下側フィルム剥離領域14を通って基板搬出領域16
の上方位置には、これらの間を水平に往復動自在とされ
た上側吸着盤36が配置されている。
圧が印加される多数の吸引孔(図示省略)が面方向に均
一に設けられ、下方から押し付けられた基板22の上面
をその全面に渡って吸着できるようにされている。
に、上記上側及び下側フィルム剥離領域12、14から
基板搬出領域16に渡って基板搬送方向に配置されたね
じ機構40の送りねじ40Bによって、水平方向に移動
自在とされている。
のモータ40Aに駆動される前記送りねじ40B、及び
送りねじ40Bに螺合してその回転により進退するナッ
ト部40Cと、を有してなり、ナット部40Cが上側吸
着盤36を支持している。送りねじ機構40による上側
吸着盤36の移動範囲は、図1に示されるように、上側
フィルム剥離領域12内で、出側の終端位置にある前記
基板22の真上となる位置及び、図2に2点鎖線で示さ
れるように、下側フィルム剥離領域14を超えて基板搬
出領域16内に入り込んだ位置との間とされている。
面26Aからの距離は、前記下側吸着盤42によって基
板22が押し上げられたとき、該基板22の上面が上側
吸着盤36の下側面とほぼ一致するように設定されてい
る。
剥離領域12内に入り込んだときの、該上側吸着盤36
の下面に対向する位置には、前記下側吸着盤42が水平
に配置され得るようになっている。
20は、図3に示されるように、それぞれ基板22の上
面及び下面において、該基板22の搬送方向先端よりも
わずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り
付けられている。
示されるように、下側吸着盤42に吸着されている基板
22の上側フィルム18の先端部に対して、昇降して離
接自在、且つ基板幅方向(図1において紙面と垂直方
向)にわずかに(約30mm)往復動自在の剥離ロール
50Aを備え、この剥離ロール50Aを上側フィルム1
8の先端に押し付けつつ基板幅方向にわずかに往復させ
ることによって、該上側フィルム18先端を基板22上
面から浮き上がらせるようになっている。
50Aによって基板22上面から浮き上がった上側フィ
ルム18の先端と基板22の下面との間に圧縮空気を吹
き付けて、該上側フィルム18先端を剥離し、且つめく
り上げるようにした剥離ノズル50Bを備えている。
イド50Dにより、下側吸着盤42に吸着されている状
態の基板22の上側面に圧接する剥離位置と、図1、図
4に示されるように、基板搬送面26Aから上方にある
待機位置との間で昇降され得るようになっている。図
1、4の符号50Eは、剥離ロール50Aを基板幅方向
にわずかに往復動するためのスライドテーブルを示す。
なお、剥離ロール50Aを往復動させるためのエアシリ
ンダは図示省略する。又、前記スライドテーブル50
E、及び、剥離ノズル50Bは、エアシリンダ50Cに
より全体としてわずかに上下動され得るようになってい
る。
示されるように、前記上側剥離装置50におけると同様
に、剥離ロール48A、剥離ノズル48B、エアシリン
ダ48C、リニアガイド48D、及び、スライドテーブ
ル48Eを備えて構成されている。
剥離ロール48Aの入側に隣接する位置に、シリンダ装
置28によって基板搬送面26Aを構成する搬送位置
と、図1において実線で示されるように、搬送位置から
大きく下降した待機位置との間で上下動自在とされた2
個の搬送ローラ25を備えている。
イド48Dにより、下側吸着盤42に吸着されている状
態の基板22の下側面に圧接する剥離位置と、図2、図
5に実線で示されるように、基板搬送面26Aから下方
にある待機位置との間で昇降され得るようになってい
る。剥離ロール48Aを往復動させるためのエアシリン
ダは図示省略する。又、前記搬送ローラ25、スライド
テーブル48E、及び、剥離ノズル48Bは、エアシリ
ンダ48Cにより全体としてわずかに上下動され得るよ
うになっている。
自在の搬送ローラ25に隣接する位置に鉛直方向にガイ
ド板52が配置されている。
フィルム20の剥離開始位置における上側吸着盤35の
下方には、前記ガイド板52からはみ出して垂下した下
側フィルム20の先端を捕捉して、これを下方に引張る
ことによって、下側フィルム20を基板22から剥離さ
せるための下側引張剥離装置54が設けられている。
に、基端においてピン56Aにより揺動自在(揺動駆動
源は図示省略)に枢支され、図2、図5に示されるよう
に、水平状態から、時計方向に約100°の範囲で揺動
自在とされた揺動アーム56と、この揺動アーム56の
先端近傍に取り付けられ、前記ガイド板52の下端から
はみ出して垂下する下側フィルム20の先端を捕捉且つ
解放自在の捕捉装置58とを備えて構成されている。
下端に連続して垂直に配置された受け板58Aと、自由
端が該受け板58A下側位置及び外側位置に臨んで配置
され、基端においてピン58Bにより揺動自在に支持さ
れた捕捉レバー58Cと、エアシリンダ58Dとを備え
て構成され、該エアシリンダ58Dは、突出時に前記捕
捉レバー58Cを、その先端が、前記下側フィルム20
下端を受け板58Aとの間に挟み込むように、図5にお
いて反時計方向に揺動させ、且つ引き込み時には捕捉レ
バー58Cを図5において時計方向に揺動して、下側フ
ィルム20の先端を解放させるようにされている。
1、図4に示されるように、前記上側剥離装置50によ
り基板22の上面から剥離され、且つめくり上げられた
上側フィルム18の先端を捕捉して、剥離方向に引張る
上側引張剥離装置60が設けられている。
張剥離装置54における捕捉装置58と同様の捕捉装置
62と、この捕捉装置62を図1、図4において上下に
昇降させるための昇降シリンダ64と、この昇降シリン
ダ64を基板搬送方向に水平に往復動自在に支持する移
動装置66と、を備えて構成されている。
同様に、鉛直方向の受け板62Aと、この受け板62A
に沿ってめくり上げられた上側フィルム18の先端(上
端)を受け板62A上端との間で挟み込み、且つ挟み込
んで捕捉し、且つ解放可能とされた捕捉レバー62C
と、この捕捉レバー62Cを揺動自在に支持するピン6
2Bと、捕捉レバー62Cをピン62B前に揺動させる
エアシリンダ62Dとを備えて構成されている。
4を基板搬送方向に摺動自在に支持するガイドバー66
Aと、昇降シリンダ64をガイドバー66Aに沿って往
復動させるロッドレスシリンダ66Bと、を備えて構成
されている。
盤36が該基板搬出領域16内の終端位置に移動したと
き、その真下位置に、下方から上昇して、上側吸着盤3
6に吸着されている基板22を下方から受け取り、且つ
基板搬出領域16から図1において右側に搬出するため
の基板搬出装置68が設けられている。
置26と同一の構成であって、複数の搬送ローラ68A
を含んでなり、その下方には押し上げ装置32と同一構
成・作用の押し上げ装置69が配置されている。この押
し上げ作用装置69は押し上げ部材69Aと、シリンダ
装置69Bと、ガイドシャフト69Cとを備えている。
盤70には、前記基板搬入装置26、シリンダ装置2
8、34、69B、押し上げ装置32、69のシリンダ
装置34、69B、モータ40A、46C、上側及び下
側吸着盤36、42への負圧のオン・オフ、昇降シリン
ダ42A、ロッドレスシリンダ66B、下側及び上側剥
離装置48、50、下側及び上側引張剥離装置54、6
0、基板搬出装置68を制御する制御装置72が設けら
れている(図6参照)。
板22から上側フィルム18及び下側フィルム20を剥
離する工程について説明する。
2を、基板搬入装置26の入側(図1の左側)から水平
に装入し、該基板搬入装置26によって、基板22が基
板搬入領域11内に入り込むまで搬送して停止する。
の真上位置に予めセットされている搬送吸着盤35に接
触するまで前記押し上げ装置32によって上方に押し上
げる。
おけば、基板22が該搬送吸着盤35の下側面に接近し
たとき、その負圧によって基板22を吸い上げて、吸着
保持できることになる。
される位置まで下降される。次いで前記搬送吸着盤35
を送り機構によりレール35Aに沿って、上側フィルム
剥離領域12方向に水平に移動させる。
移動され、上側フィルム剥離領域12内で、予め入側端
側に移動されている前記下側吸着盤42の真上位置にき
たとき停止される。
しつつ昇降シリンダ42Aによって上昇させる。一方、
前記搬送吸着盤35は、下側吸着盤42が接近したとき
負圧が解除され、基板22は搬送吸着盤35から下側吸
着盤42に受け渡される。
図1に示されるように基板搬入領域11内に戻される。
降シリンダ42Aによって図1に示される位置まで下降
され、停止する。
ロール50Aを下降させ、基板22の上面に張られてい
る上側フィルム18の先端を圧接しつつ基板幅方向に往
復させる。これによって、上側フィルム18は基板22
から剥離され、且つ剥離ノズル50Bからの圧縮空気の
吹き付けによってめくり上げられ、前記上側引張装置6
0における受け板62Aに沿う状態となる。
上側フィルム18の先端が位置しているので、エアシリ
ンダ62Dによって予め図7のように反時計方向に揺動
させておいた捕捉レバー62Cを時計方向に揺動させる
ことによって、該捕捉レバー62Cの先端と受け板62
Aの上端との間で、めくり上げられた上側フィルム18
の先端を捕捉する。
で、前記昇降シリンダ64により捕捉装置62を上昇さ
せ、且つ移動装置66により、下側フィルム剥離領域1
4方向に水平に移動させる。
送りねじ機構46によって下側フィルム剥離領域14方
向に水平に移動させる。これにより、上側フィルム18
は基板22の上面から強制的に剥離される。
つ下側吸着盤42によって下側フィルム剥離領域14に
まで移動されたとき、前記捕捉装置62は、図1におい
て二点鎖線で示される位置まで移動され、その捕捉レバ
ー62Cと受け板62Aとの間には、剥離された上側フ
ィルム18が保持されている。
フィルム剥離領域14に移動しているので、上側引張剥
離装置60の下方は解放状態となっていて、捕捉レバー
62Cを反時計方向に揺動させると、捕捉されていた上
側フィルム18が解放されて自由落下し、上側フィルム
剥離領域12下端から排出されることになる。
領域14内に移動された基板22は、該下側吸着盤42
から、上方から下降してくる上側吸着盤36の吸着によ
り受け渡される。
おけば、基板22が該上側吸着盤36の下側面に接近し
たとき、その負圧によって基板22を吸い上げて、吸着
保持することになる。
22を、上側吸着盤36によって、下側フィルム剥離領
域14内に入り込むまで搬送して、下側フィルム20の
先端が、前記下側剥離装置48の剥離ロール48Aの位
置に到達したとき、搬送を停止する。
ラ25は、シリンダ装置34によって、図5で2点鎖線
で示されるように、基板搬送面26Aの位置まで押し上
げておき、基板22の先端の垂れ下がりを防止する。
Aを基板22下側面に張り付けられている下側フィルム
20に圧接する位置まで上昇させてから基板幅方向にこ
れを往復動させる。このとき、搬送ローラ25によって
押えられているので基板22が、がたつくことがない。
ール48Aによって基板22からわずかに剥がされ、こ
こに、剥離ノズル48Bから圧縮空気が吹き付けられ、
該圧縮空気が下側フィルム20と基板22との隙間に入
り込むことによって、下側フィルム20をめくり下げる
ことになる。
た後は、前記剥離ロール48A及び搬送ローラ25は、
基板搬送面26Aの下方に退避する。
再度圧縮空気を噴出し、初回の噴出でめくり下げること
ができなかった部分を完全にめくり下げる。
の先端(下端)は、前記ガイド板52に沿って垂直に垂
れ下がる。このとき、ガイド板52が金属製の場合、下
側フィルム20は、それ自体が有する静電気によって、
ガイド板52に密着する。
フィルム20の先端は、ガイド板52の下方に垂直に連
続する受け板58Aにまで至る。
時計方向に揺動されていた捕捉レバー58Cをエアシリ
ンダ58Dによって反時計方向に揺動すると、該捕捉レ
バー58Cと受け板58Aとの間で前記垂れ下がった下
側フィルム20の先端が捕捉される。
ィルム20の先端を捕捉したまま、前記揺動アーム56
を図において時計方向に揺動させ、同時に、前記上側吸
着盤36を送りねじ機構40によって、下側フィルム剥
離領域14方向に水平に移動させる。
動アーム56による下側フィルム20の引張り速度を調
整することによって、下側フィルム20の剥離点がガイ
ド板52の上方位置となる状態で、下側フィルム20を
基板22から円滑に剥離することができる。
下側引張剥離装置54による下側フィルム20の下方へ
の引張り速度よりもわずかに速くすれば、下側フィルム
20の剥離点がガイド板52よりも必ず下側フィルム剥
離領域14側にずれた位置となり、剥離中の下側フィル
ム20がガイド板52の上端にこすれたりすることがな
い。
せつつ下側フィルム20を下方に引張って剥離し、剥離
終了後は、該下側引張剥離装置54の下方に、前記捕捉
レバー58Cを解放動作させることによって、下側フィ
ルム20を下方に落下配置することができる。
26の下側フィルム剥離領域14側の端部の隙間を通っ
て下方に引張られつつ剥離され、且つ、排出されること
になる。
移動され、基板搬出領域16内で、前記搬送ローラ68
Aの真上位置にきたとき停止される。
材69Aをシリンダ装置69Bによって上昇させる。一
方、前記上側吸着盤36は、押し上げ部材69Aが接近
したとき負圧が解除され、基板22は上側吸着盤36か
ら押し上げ部材69Aに受け渡される。
図2に示されるように下側フィルム剥離領域14内に戻
される。前記押上げ部材69Aは下降することによって
基板22を搬送ローラ68A上に受け渡し、基板22は
搬送ローラ68Aによってライン外へ搬出される。
されてくる基板22から上側及び下側フィルム18、2
0を剥離していく。
て、基板搬入装置26上に搬入されてきた基板22は、
押し上げ装置32によって搬送吸着盤35の位置まで押
し上げられるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、搬送吸着盤35を、基板搬入装置26及び基板22
を損傷することなく、下降して吸着するようにしてもよ
い。
は、剥離ロール及び剥離ノズルによってフィルムの先端
を剥離、且つめくり下げ、あるいはめくり上げるもので
あるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば
フィルム先端をフック状部材によって引掛けて剥離させ
るようにしたものであってもよい。
送ローラ25は、シリンダ装置28によって昇降自在と
されているが、これは、基板22が薄くて垂れ下がり易
い場合に必要なものであり、基板22が十分に厚くて先
端が垂れ下がらないような場合は、搬送ローラ25は不
要である。
0は、図3に示されるように、それぞれ基板22の上面
及び下面において、該基板22の搬送方向先端よりもわ
ずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付
けられているがこれは基板22の先端と一致させてもよ
い。
よって、又、下側吸着盤42は送りねじ機構46によっ
て、それぞれ移動されるがこれは位置決め精度が高いの
で利用されている。従って、位置決め精度が確保できれ
ば、ロッドレスシリンダ等の他の移動手段であってもよ
い。
ィルム剥離装置の装置面積を大幅に縮小させることがで
きると共に、短時間で効率良くフィルムを剥離させるこ
とができるという優れた効果を有する。
置の前半部を示す断面図
置の後半部を示す断面図
拡大断面図
近傍を拡大して示す側面図
捉する過程を拡大して示す側面図
捉する過程を拡大して示す側面図
る過程を拡大して示す側面図
Claims (4)
- 【請求項1】基板搬入側から搬出側に、水平方向に、基
板搬入領域、上側フィルム剥離領域、下側フィルム剥離
領域、及び、基板搬出領域を順次隣接配置してなり、前
記基板搬入領域に設けられ、上下両面にフィルムが張り
付けられた基板を水平の基板搬送面に沿って搬送する基
板搬入装置と、この基板搬入装置の上方位置と前記上側
フィルム剥離領域内との間でほぼ水平に往復動自在、且
つ、前記基板の上面を吸着して、該基板を水平に保持可
能とされた搬送吸着盤と、前記上側フィルム剥離領域内
に前記搬送吸着盤が移動したときのその下側位置に配置
され、該下側位置と前記下側フィルム剥離領域内との間
で水平に往復動自在、且つ、前記基板の下面の略全面を
吸着して、該基板を水平に保持可能とされた下側吸着盤
と、この下側吸着盤に吸着された状態の基板における上
側面に張り付けられた上側フィルムの搬出側先端を剥離
し、且つ、めくり上げる上側剥離装置と、該めくり上げ
られた上側フィルム先端を補捉すると共に、これを基板
搬入側に引張る上側引張剥離装置と、前記下側フィルム
剥離領域内に前記下側吸着盤が移動したときのその上側
位置に配置され、該上側位置と前記下側フィルム剥離領
域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面
の略全体を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた
上側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着された状態の基板
における下側面に張り付けられた下側フィルムの搬出側
先端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥離装置と、前
記基板搬出装置における搬入側端近傍に配置され、前記
下側剥離装置によりめくり下げられた下側フィルムの先
端を捕捉し、且つ、前記基板搬出装置と前記上側フィル
ム剥離領域との間を通って、前記捕捉した下側フィルム
の先端を下方に引張る下側引張剥離装置と、を有してな
り、前記下側吸着盤は、前記上側引張剥離装置により上
側フィルムを引張るとき、基板を吸着したまま下側フィ
ルム剥離領域にまで移動し、且つ、前記下側剥離装置に
より下側フィルムを剥離する前に上側フィルム剥離領域
内に戻り、前記上側吸着盤は、前記下側引張装置により
前記下側フィルムの引張るとき、基板を吸着したまま前
記基板搬出領域内に移動し、前記下側フィルムが基板か
ら剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基板搬入領域方向に
移動して前記上側引張剥離装置の下方向に空白が生じた
とき、前記上側引張剥離装置は捕捉していた上側フィル
ムを解放するようにされたことを特徴とするフィルム剥
離装置。 - 【請求項2】請求項1において、前記下側剥離装置は、
前記上側吸着盤の搬出側端部近傍位置で、基板搬送面に
沿って並列配置された複数の搬送ローラを含んでなり、
該複数の搬送ローラは、前記基板搬送面を構成する搬送
位置と、これより下方であって、前記下側剥離装置によ
り剥離され、めくり下げられた下側フィルムと非干渉と
なるまで引き下がった待機位置との間で上下動自在とし
たことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 【請求項3】請求項1又は2において、前記下側引張剥
離装置は、前記下側剥離装置における下側フィルムの剥
離開始先端近傍位置で、その下側近傍から略鉛直下向き
に配置され、めくり下げられた下側フィルムの先端を案
内するガイド板と、このガイド板の下端近傍に設けら
れ、ガイド板から下方に突出した前記下側フィルムの先
端を捕捉可能とされたフィルム捕捉装置と、このフィル
ム捕捉装置を自由端側に支持し基端側を中心として、前
記ガイド板近傍位置とこれより下方の解放位置との間で
揺動自在とされた揺動アームと、を有してなることを特
徴とするフィルム剥離装置。 - 【請求項4】請求項3において、前記下側吸着盤を水平
に往復動させる送り桟構の下側剥離領域側端部に前記揺
動アームの基端を揺動自在に支持したことを特徴とする
フィルム剥離装置。
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JP03872199A JP4068751B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | フィルム剥離装置 |
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1999
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