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JP2000223511A - 印刷用マスク - Google Patents

印刷用マスク

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Publication number
JP2000223511A
JP2000223511A JP11020876A JP2087699A JP2000223511A JP 2000223511 A JP2000223511 A JP 2000223511A JP 11020876 A JP11020876 A JP 11020876A JP 2087699 A JP2087699 A JP 2087699A JP 2000223511 A JP2000223511 A JP 2000223511A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printing
integrated circuit
squeegee
mask
opening pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11020876A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoki Kikuchi
直樹 菊地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsumi Electric Co Ltd
Original Assignee
Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsumi Electric Co Ltd filed Critical Mitsumi Electric Co Ltd
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Publication of JP2000223511A publication Critical patent/JP2000223511A/ja
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  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プリント配線基板上に実装される集積回路素
子等を絶縁被覆する保護層を印刷形成する際に用いて好
適であり、均一な厚みで高精度の印刷層を印刷形成す
る。 【解決手段】 開口パターン部8を有し、この開口パタ
ーン部8を集積回路素子12等が実装されたプリント配
線基板11からなる被印刷体に対して位置決めして載置
されるとともに主面上を加圧摺動するスキージ5によっ
て充填されたインキ7を開口パターン部8から印刷領域
14上に押し出して印刷する。印刷用マスク4は、スキ
ージ5の移動方向に対して厚み寸法が次第に薄厚となる
ように構成されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプリント配
線基板の所定の領域に実装された集積回路素子等を封装
するエポキシ樹脂等の絶縁樹脂からなる保護層をスクリ
ーン印刷法等によって印刷形成する際に用いて好適な印
刷用マスクに関する。
【従来の技術】例えば、集積回路装置110において
は、図5及び図6に示すように、プリント配線基板11
1上に直接集積回路素子や半導体素子等(以下集積回路
素子という。)112を実装するとともにこれを金ワイ
ヤ113によって各ランド部114に対してボンディン
グするように構成されている。そして、集積回路装置1
10においては、実装した集積回路素子112や金ワイ
ヤ113或いは各ランド部114の絶縁性を保持すると
ともに機械的保護を図るために、これら各部をエポキシ
樹脂等の絶縁樹脂層115によって封装するようにして
いる。かかる集積回路装置110においては、一般に所
定の開口パターン部104を有する印刷マスク101が
用いられるスクリーン印刷装置100によって上述した
エポキシ樹脂等の液状の絶縁樹脂層115が所定の各部
に印刷される。すなわち、スクリーン印刷装置100
は、図4及び図5に示すように、集積回路素子112が
金ワイヤ113によってランド部114にボンディング
されてなるプリント配線基板111に対して、位置決め
載置される印刷用マスク101を備える。また、スクリ
ーン印刷装置100は、印刷用マスク101の主面上を
加圧状態で摺擦移動されてこの印刷用マスク101の主
面上に供給されたエポキシ樹脂等の絶縁樹脂インキ10
2を押し出すスキージ103を備えている。印刷用マス
ク101は、例えばステンレス等の金属薄板によって形
成され、印刷箇所に対応して適宜の開口パターン部10
4が形成されてなる。開口パターン部104は、具体的
には、プリント配線基板111の素子搭載領域を含む、
金ワイヤ113及び各ランド114を被覆するに足る印
刷領域115に対応する開口部によって構成されてい
る。スキージ103は、弾性特性や耐インク溶剤性或い
は耐摩耗特性等を有する天然ゴムやシリコンゴム等によ
って全体ヘラ状に成形されてなる。スキージ103は、
印刷用マスク101の主面の幅とほぼ等しい幅を有して
いる。以上のように構成されたスクリーン印刷装置10
0は、印刷用マスク101がその開口パターン部104
を印刷領域115に対応位置させるようにしてプリント
配線基板111上に位置決め載置される。スクリーン印
刷装置100は、この状態で印刷用マスク101の主面
上に絶縁樹脂インキ102が供給される。スクリーン印
刷装置100は、図5矢印で示すようにスキージ103
が印刷用マスク101の主面上を加圧状態で摺擦移動さ
れることによって開口パターン部104から絶縁樹脂イ
ンキ102を押し出してプリント配線基板111の印刷
領域115上に印刷する。プリント配線基板111に
は、スクリーン印刷装置100の印刷用マスク101が
取り外された後に、絶縁樹脂インキ102を乾燥硬化さ
せる乾燥処理が施される。したがって、プリント配線基
板111は、図6に示すように印刷領域115に印刷さ
れた絶縁樹脂インキ102が硬化することによって構成
される保護層116により搭載した集積回路素子112
や金ワイヤ113或いは各ランド部114が封装されて
集積回路装置110が完成される。集積回路装置110
は、保護層116によって集積回路素子112等の絶縁
保持或いは機械的保護が図られる。
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したス
クリーン印刷装置100においては、プリント配線基板
111の比較的微細な印刷領域115に絶縁樹脂インキ
102を印刷して保護層116を形成することから、精
度の高い版の画像再現特性が要求される。このため、ス
クリーン印刷装置100には、一般に粘度が1000乃
至5000センチポイズ(poise)であり、また降
伏値の低い絶縁樹脂インキ102が用いられる。しかし
ながら、かかる絶縁樹脂インキ102は、スキージ10
3が印刷用マスク101の主面上を加圧状態で摺擦移動
して開口パターン部104を介して印刷領域115内に
押し出される際に、表面層が先行するスキージ103に
引っ張られて移動するインキ引張り現象を生じることが
ある。したがって、集積回路装置110は、このインキ
引張り現象によって、図6に示すように保護層116が
スキージ103の摺動始端側(同図において左側)から
摺動終端側(同図において右側)に向かって次第にその
厚みが大きくなって均一な平坦面に形成されないといっ
た状態を呈することがあった。このため、集積回路装置
110は、例えば乾燥工程において厚みが均一で無い保
護層116が均一な状態で硬化が行われないために歪み
等が発生するといった問題が生じることがあった。ま
た、集積回路装置110には、上述した保護層116の
印刷工程を第1層作成工程として、この第1層上にさら
に絶縁保護層を形成したり表示等の印刷工程を施す多層
印刷工程が施されることがある。集積回路装置110
は、かかる多層印刷工程等を施す際に上述した不均一な
厚みで平坦面で無い保護層116上に均一な上層部を形
成することが困難となる。したがって、集積回路装置1
10は、印刷不良を生じさせたり不均一な力が加わるこ
とによって金ワイヤ113が破断する等の不都合が生じ
ることがあった。したがって、本発明は、プリント配線
基板上に実装される集積回路素子等を絶縁被覆する保護
層を印刷形成する際に用いて好適であり、均一な厚みで
高精度の印刷層を印刷形成するようにした印刷用マスク
を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明にかかる印刷用マスクは、開口パターン部を有し、こ
の開口パターン部を被印刷体の印刷領域に位置決めして
載置されるとともに主面上を加圧摺動するスキージによ
って充填されたインキが開口パターン部から印刷領域上
に押し出されて印刷されるようにする。印刷用マスク
は、スキージの移動方向に対して厚み寸法が次第に薄厚
となるように構成されてなる。また、印刷用マスクは、
印刷領域に集積回路素子等が実装されたプリント配線基
板からなる被印刷体に対して位置決め載置され、エポキ
シ樹脂等の絶縁樹脂インキを印刷して集積回路素子等を
封装する保護層を印刷形成するようにする。以上のよう
に構成された本発明にかかる印刷用マスクによれば、ス
キージの移動方向に対して厚み寸法を次第に薄厚とした
ことにより、開口パターン部を介して印刷領域に供給さ
れるインキの供給量がスキージの摺動始端側において摺
動終端側よりも大きくなる。したがって、印刷用マスク
は、スキージの摺動動作に伴って摺動始端側から摺動終
端側に向かってインキの引張り現象が生じてもその補正
がなされるようになり印刷層の厚みが全体として均一化
される。また、本発明にかかる印刷用マスクによれば、
集積回路素子等を封装する絶縁樹脂インキによって形成
された保護層が均一な平坦面として構成される。したが
って、印刷用マスクは、均一な保護層を形成するように
するとともに多層印刷工程を施す際にも、高精度の多層
印刷層の形成を可能とする。
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる印刷用マス
クの好ましい実施の形態について、図面を参照して詳細
に説明する。実施の形態として示す印刷用マスク4は、
上述した従来例と同様に集積回路装置10の製造工程に
備えられるスクリーン印刷装置1の版部材を構成する。
スクリーン印刷装置1は、プリント配線基板11に実装
された集積回路素子や半導体素子等の集積回路素子体1
2を封装してその絶縁性を保持するとともに機械的保護
を図る保護層13を印刷形成する。スクリーン印刷装置
1は、印刷層を比較的大きな厚みで印刷可能であるこ
と、硬軟いずれの被印刷体にも適用可能であること、イ
ンキの選択も自由であること、装置が比較的簡易である
こと等の種々の特徴を有しており、集積回路装置10の
製造工程ばかりでなく種々の分野に適用されている。ス
クリーン印刷装置1は、図1及び図2に示すように、基
台2と、この基台2に対して開閉自在に取り付けられた
枠部材3と、この枠部材3に交換自在に取り付けられた
印刷用マスク4(版材)と、スキージ5と、ブレード6
等の部材によって構成される。スクリーン印刷装置1
は、基台2上に被印刷体であるプリント配線基板11を
位置決めした状態で載置し、このプリント配線基板11
に対してスキージ5によって印刷用マスク4上に充填し
た絶縁樹脂インキ7を所定の印刷領域14に供給して保
護層13の印刷を施す。基台2は、プリント配線基板1
1を位置決めするとともに水平状態を保持してしっかり
載置保持する。印刷用マスク4は、プリント配線基板1
1に実装された集積回路素子体12の高さよりもやや大
きな厚み、換言すればプリント配線基板11に形成する
保護層13の厚みよりもやや大きな厚みを有する例えば
ステンレス等の金属薄板によって形成されている。印刷
用マスク4は、その外周部が枠部材3の内周部にしっか
りと固定されている。印刷用マスク4には、図1及び図
2に示すようにプリント配線基板11の印刷領域14に
対応して矩形の開口パターン部8が形成されてなる。開
口パターン部8は、具体的には、図1に示すようにプリ
ント配線基板11の集積回路素子体12が搭載される領
域を含んで金ワイヤ17及び各ランド部16を被覆する
に足る印刷領域14に対応する開口部によって構成され
ている。開口パターン部8は、その内周壁に金ワイヤ1
7が接触しない十分な開口寸法を有している。ところ
で、印刷用マスク4は、後述するスキージ5の摺動方向
に対して、図1に示すようにその厚みが始端部側4aか
ら終端側4bに向かって次第に薄くなるようにテーパT
が付されて構成されている。換言すれば、印刷用マスク
4は、開口パターン部8がその深さをスキージ5の摺動
方向に対して始端部側4aから終端側4bに向かって次
第に浅くなるように構成されている。スキージ5は、弾
性特性や耐インク溶剤性或いは耐摩耗特性等を有し、硬
度が60乃至80ショア程度の弾性材、例えばする天然
ゴムやニトリル、シリコン或いはウレタンゴム等を素材
として全体ヘラ状に成形されてなる。スキージ5は、少
なくとも開口パターン部8の開口幅よりも大きく印刷用
マスク4の主面の幅よりもやや小幅とされている。スキ
ージ5は、後述するように往路工程においては印刷用マ
スク4の主面に対して押圧された状態とされるとともに
やや角度を付された状態で、手動或いは図示しない駆動
機構によって図2矢印で示すように左側から右側へと摺
動動作して開口パターン部8から絶縁樹脂インキ7をプ
リント配線基板11の印刷領域14上に押し出して印刷
する。また、スキージ5は、復路工程においては印刷用
マスク4の主面に対してやや浮き上がった状態で初期位
置へと復帰動作する。ブレード6は、スキージ5に対し
てその摺動方向の前方側に位置して配置されている。ブ
レード6は、後述するように往路工程においてはスキー
ジ5に先行して移動動作することによって印刷用マスク
4の主面上に供給された絶縁樹脂インキ7を平滑に均す
作用を奏する。また、ブレード6は、復路工程において
は印刷用マスク4の主面上に押し付けられてこの主面上
から余剰の絶縁樹脂インキ7を掻き取りながら初期位置
へと復帰動作する。絶縁樹脂インキ7は、例えば揮発性
溶剤を混合して液状化された、電気的絶縁特性や接着特
性或いは機械的強度特性を有するエポキシ樹脂を素材と
する。絶縁樹脂インキ7は、印刷用マスク4の主面上に
供給した状態では全面に流れ出すことは無く、スキージ
5の加圧摺動動作によって開口パターン部8からプリン
ト配線基板11の印刷領域14上に押し出されるに足る
粘度を有している。したがって、絶縁樹脂インキ7は、
具体的には1000乃至5000センチポイズ程度の粘
度を有するものが用いられる。なお、絶縁樹脂インキ7
については、乾燥工程の効率化を考慮して例えば紫外線
硬化型の合成樹脂接着剤を用いてもよい。プリント配線
基板11は、詳細を省略するが銅張り絶縁基板上に例え
ばリソグラフィック・エッチング加工法等を施して銅箔
の一部が除去されることにより適宜の回路パターン15
が形成されてなる。また、プリント配線基板11には、
図1に示すように、各回路パターン15の端部にランド
部16が一体に形成されるとともに、これらランド部1
6に囲まれた領域に集積回路素子体12が実装されてな
る。プリント配線基板11は、例えばボンディング装置
によって実装した集積回路素子体12とランド部16と
が金ワイヤ17によってボンディングされてなる。以上
のように構成されたスクリーン印刷装置1には、印刷用
マスク4を取り付けた枠部材3が基台2に対して開放さ
れた状態で、基台2上にプリント配線基板11が位置決
めされて載置される。スクリーン印刷装置1は、基台2
に対して枠部材3が閉じられることにより印刷用マスク
4がその開口パターン部8をプリント配線基板11の印
刷領域14に対応位置される。スクリーン印刷装置1に
は、この状態で印刷用マスク4上に一定量の絶縁樹脂イ
ンキ7が充填供給される。スクリーン印刷装置1は、印
刷用マスク4に対してスキージ5が押し付けられるとと
もに、図2矢印で示すように図面左側から右側へと向か
って摺動動作される。また、スクリーン印刷装置1にお
いては、スキージ5に対してその摺動方向の前段側に位
置してブレード6が印刷用マスク4からやや浮かされた
状態でセットされる。スクリーン印刷装置1は、ブレー
ド6によって均らされた絶縁樹脂インキ7がスキージ5
によって印刷用マスク4の開口パターン部8内へと押し
出され、プリント配線基板11の印刷領域14に対する
印刷が行われる。スクリーン印刷装置1は、スキージ5
が印刷用マスク4の始端部側4aから終端側4bまで摺
動動作されるとその動作が一旦停止され、スキージ5が
印刷用マスク4から離間するように上昇動作されるとと
もにブレード6が印刷用マスク4を押圧するように下降
動作される。スクリーン印刷装置1は、この状態でスキ
ージ5とブレード6とが初期位置へと復帰動作する。ブ
レード6は、この復路動作に際して印刷用マスク4の主
面上から余剰の絶縁樹脂インキ7を掻き取る。スクリー
ン印刷装置1は、上述したように印刷用マスク4が集積
回路素子体12の高さよりもやや大きな厚みを有するこ
とから、開口パターン部8内に押し出された絶縁樹脂イ
ンキ7が集積回路素子体12や金ワイヤ17或いはラン
ド部16を被覆する。スクリーン印刷装置1において
は、上述した粘度の絶縁樹脂インキ7を用いることで、
スキージ5の加圧摺動動作に伴って開口パターン部8に
充填された絶縁樹脂インキ7の表面層が先行するスキー
ジ5に引張られて移動する引張り現象を生じる。スクリ
ーン印刷装置1には、上述したように開口パターン部8
がその深さをスキージ5の摺動方向に対して始端部側4
aから終端側4bに向かって次第に浅くなるように構成
した印刷用マスク4が用いられている。したがって、絶
縁樹脂インキ7は、開口パターン部8においてその充填
量が終端側4bに対して始端部側4aで多くなってい
る。スクリーン印刷装置1においては、上述したスキー
ジ5による絶縁樹脂インキ7の引張り現象によって始端
部側4aの表面層部分を終端側4bへと引っ張って補填
することで、開口パターン部8内において絶縁樹脂イン
キ7を全体として均一な厚みとする。スクリーン印刷装
置1は、スキージ5とブレード6が初期位置に復帰動作
してその動作が停止されるとともに基台2に対して枠部
材3が回動動作された状態で印刷領域14に絶縁樹脂イ
ンキ7の印刷が施されたプリント配線基板11の取出し
操作が行われる。プリント配線基板11は、次工程の絶
縁樹脂インキ7を乾燥硬化させる乾燥処理が施される。
プリント配線基板11は、図3に示すように印刷領域1
4に印刷された絶縁樹脂インキ7が硬化することによっ
て構成される保護層13により搭載した集積回路素子体
12、金ワイヤ17及び各ランド部16が封装された集
積回路装置10を完成させる。集積回路装置10は、保
護層13によって集積回路素子体12等の絶縁保持或い
は機械的保護が図られる。また、集積回路装置10は、
図3に示すように保護層13が均一な厚みで平坦面に構
成される。集積回路装置10は、乾燥工程において絶縁
樹脂インキ7が均一な状態で硬化することで内部歪みに
よる金ワイヤ17の破断といった不都合の発生が抑制さ
れ、歩留まりの向上が図られて高精度に製作される。集
積回路装置10は、上述した保護層13上にさらに第2
層の回路層等を形成したり仕様等の印刷工程等を施され
ることがあるが、均一な厚みで平坦面として構成されて
いることで高精度の後工程が施されるようになる。な
お、本発明は、上述した集積回路装置10の製造工程に
備えられて集積回路素子体12を封装する保護層13を
形成するスクリーン印刷装置1の版部材を構成する印刷
用マスク4に限定されるものではないことは勿論であ
る。印刷用マスク4は、例えばプリント配線基板11の
全面を被覆する保護層を印刷形成するものであってもよ
く、またプリント配線基板11の所定の箇所に半田ペー
ストを印刷するために用いてもよい。
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる印刷用マスクによれば、スキージの移動方向に対し
て厚み寸法を次第に薄厚として構成されたことにより、
開口パターン部を介して印刷領域に供給されるインキの
供給量がスキージの摺動始端側において摺動終端側より
も大きくなりスキージの摺動動作に伴って摺動始端側か
ら摺動終端側に向かってインキの引張り現象が生じても
その補正がなされるようになり印刷層の厚みが全体とし
て均一化されて良好な平坦面として形成される。また、
本発明にかかる印刷用マスクによれば、集積回路素子等
を封装する絶縁樹脂インキによって形成された保護層が
均一な平坦面として構成され、乾燥工程等における偏向
歪みの発生も抑制されるとともに多層印刷工程を施す際
にも、高精度の多層印刷層が形成されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態として示す印刷用マスクを
備える集積回路装置の製造工程に備えられるスクリーン
印刷装置による保護層形成工程を説明する要部縦断面図
である。
【図2】同スクリーン印刷装置の要部平面図である。
【図3】同スクリーン印刷装置によって保護層が形成さ
れた集積回路装置の縦断面図である。
【図4】従来の印刷用マスクを備える集積回路装置の製
造工程に備えられるスクリーン印刷装置による保護層形
成工程を説明する要部斜視図である。
【図5】同スクリーン印刷装置による保護層形成工程を
説明する要部縦断面図である。
【図6】同スクリーン印刷装置によって保護層が形成さ
れた集積回路装置の縦断面図である。
【符号の説明】
1 スクリーン印刷装置 2 基台 3 枠部材 4 印刷用マスク(版部材) 5 スキージ 6 プレード 7 絶縁樹脂インキ(インキ) 8 開口パターン部 10 集積回路装置 11 プリント配線基板 12 集積回路素子体 13 保護層 14 印刷領域 15 回路パターン 16 ランド部 17 金ワイヤ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 開口パターン部を有し、この開口パター
    ン部を被印刷体の印刷領域に位置決めして載置されると
    ともに主面上を加圧摺動するスキージによって充填され
    たインキを前記開口パターン部から前記印刷領域上に押
    出して印刷する印刷用マスクにおいて、 前記スキージの移動方向に対して厚み寸法が次第に薄厚
    となるように構成されたことを特徴とする印刷用マス
    ク。
  2. 【請求項2】 印刷領域に集積回路素子等が実装された
    プリント配線基板からなる前記被印刷体に対して位置決
    め載置され、 前記開口パターン部を介してエポキシ樹脂等の絶縁樹脂
    インキを印刷して前記集積回路素子等を封装する保護層
    を形成することを特徴とする請求項1に記載の印刷用マ
    スク。
JP11020876A 1999-01-29 1999-01-29 印刷用マスク Pending JP2000223511A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104023981A (zh) * 2011-08-30 2014-09-03 克里斯提安-可安恩-高科技模具有限公司 制造用于技术性印刷的印刷模板的方法及有关技术性印刷的印刷模板
KR101768504B1 (ko) * 2016-03-21 2017-08-18 우리이앤엘 주식회사 반도체 발광소자 제조방법
KR101768505B1 (ko) * 2016-03-21 2017-08-18 우리이앤엘 주식회사 반도체 발광소자 제조방법
CN107533964A (zh) * 2015-11-09 2018-01-02 古河电气工业株式会社 掩模一体型表面保护膜

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104023981A (zh) * 2011-08-30 2014-09-03 克里斯提安-可安恩-高科技模具有限公司 制造用于技术性印刷的印刷模板的方法及有关技术性印刷的印刷模板
CN107533964A (zh) * 2015-11-09 2018-01-02 古河电气工业株式会社 掩模一体型表面保护膜
KR101768504B1 (ko) * 2016-03-21 2017-08-18 우리이앤엘 주식회사 반도체 발광소자 제조방법
KR101768505B1 (ko) * 2016-03-21 2017-08-18 우리이앤엘 주식회사 반도체 발광소자 제조방법

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