JP2000284842A - バイアス電圧回路および定電流回路およびmos高抵抗素子 - Google Patents
バイアス電圧回路および定電流回路およびmos高抵抗素子Info
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- JP2000284842A JP2000284842A JP11094097A JP9409799A JP2000284842A JP 2000284842 A JP2000284842 A JP 2000284842A JP 11094097 A JP11094097 A JP 11094097A JP 9409799 A JP9409799 A JP 9409799A JP 2000284842 A JP2000284842 A JP 2000284842A
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来のバイアス電圧回路、定電流回路、MOS
高抵抗素子は集積回路が微細化し、ゲート膜厚が非常に
薄くなると消費電力が増加するか、もしくは前記各回路
が占めるチップ面積が異状に増大するという課題があっ
た。 【解決手段】前記各回路に共通するバイアス電圧回路に
おいて、シリコン・オン・インシュレータを用い、同一
導電型の2個のMOSFETのボディ電位を異ならせて
実効的なスレッショルド電圧の差を作り、かつ回路を構
成する4個のMOSFETのゲート電極には必ずバイア
ス電圧が加わるようにした。 【効果】スレッショルド電圧に近いバイアス電圧を用い
るので小さなチップ面積で低消費電力、かつ追加のコス
ト上昇もなしに前記各回路を提供できるという効果があ
る。
高抵抗素子は集積回路が微細化し、ゲート膜厚が非常に
薄くなると消費電力が増加するか、もしくは前記各回路
が占めるチップ面積が異状に増大するという課題があっ
た。 【解決手段】前記各回路に共通するバイアス電圧回路に
おいて、シリコン・オン・インシュレータを用い、同一
導電型の2個のMOSFETのボディ電位を異ならせて
実効的なスレッショルド電圧の差を作り、かつ回路を構
成する4個のMOSFETのゲート電極には必ずバイア
ス電圧が加わるようにした。 【効果】スレッショルド電圧に近いバイアス電圧を用い
るので小さなチップ面積で低消費電力、かつ追加のコス
ト上昇もなしに前記各回路を提供できるという効果があ
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は絶縁ゲート電界効果
型トランジスタ(以下MOSFETと略す)を用いた半
導体集積回路装置において、バイアス電圧回路、またバ
イアス電圧を使用する定電流回路、およびバイアス電圧
を使用するMOS高抵抗素子を製造上のバラツキが少な
く、コストアップの要因となる余計なプロセス工程を追
加せず、かつ低消費電力を小さなチップ面積で実現する
為の回路構成に関する。殊にバイアス電圧を作り出す回
路構成に関する。
型トランジスタ(以下MOSFETと略す)を用いた半
導体集積回路装置において、バイアス電圧回路、またバ
イアス電圧を使用する定電流回路、およびバイアス電圧
を使用するMOS高抵抗素子を製造上のバラツキが少な
く、コストアップの要因となる余計なプロセス工程を追
加せず、かつ低消費電力を小さなチップ面積で実現する
為の回路構成に関する。殊にバイアス電圧を作り出す回
路構成に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体集積回路装置におけるMO
SFETを用いたバイアス電圧回路、またバイアス電圧
を使用した定電流回路、およびバイアス電圧を使用した
MOS高抵抗素子におけるバイアス電圧発生回路は図
6、図7、図8に代表されるような回路を用いていた。
ここで図6ではP型MOSFET601のゲート電極に
−VSSを加えている。また、図7ではP型MOSFET
701とP型MOSFET702では片方にチャネルド
ープを行いスレッショルド電圧を異ならせている。ま
た、図8においては抵抗素子805を用いている。な
お、図6の回路は特許公開S60064507にあり、
これをはじめ、よく用いられるバイアス電圧回路であ
る。また、図7の回路は特許公開昭56−121114
にある。また、図8の回路は特許公開H0104271
7や特許公開H05191166に見受けられる。
SFETを用いたバイアス電圧回路、またバイアス電圧
を使用した定電流回路、およびバイアス電圧を使用した
MOS高抵抗素子におけるバイアス電圧発生回路は図
6、図7、図8に代表されるような回路を用いていた。
ここで図6ではP型MOSFET601のゲート電極に
−VSSを加えている。また、図7ではP型MOSFET
701とP型MOSFET702では片方にチャネルド
ープを行いスレッショルド電圧を異ならせている。ま
た、図8においては抵抗素子805を用いている。な
お、図6の回路は特許公開S60064507にあり、
これをはじめ、よく用いられるバイアス電圧回路であ
る。また、図7の回路は特許公開昭56−121114
にある。また、図8の回路は特許公開H0104271
7や特許公開H05191166に見受けられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】さて、近年においては
集積回路の微細化が進んでいるが、それに伴いゲート膜
厚も非常に薄くなり、MOSFETのコンダクタンス定
数が大きくなっている。これは高速性にとっては良いこ
とであるが、他方、需要が増大しつつある携帯機器等に
おいては、低消費電力、低消費電流化が求められてお
り、これは必ずしも望ましいことではない。つまり、全
体の消費電流を低減する一環としてアナログ回路、特に
該回路のなかで常時使用され、電流を流しつづけるバイ
アス電圧回路の電流も低減する必要がある。このとき前
述したようにMOSFETのコンダクタンス定数が大き
くなっているので、図6の回路の従来例ではP型MOS
FET601のゲートとソース間に大きな電位差があっ
て電流が流れやすく、消費電流を少なくするにはMOS
FETの駆動能力を低下させる必要があり、P型MOS
FET601のチャネル長を異状に増大させることにな
る。しかしながら、これは微細化の流れの中でロジック
回路の占めるチップ面積、領域が小さくなる一方で、特
定のアナログ回路は逆にチップ面積、領域が増大するこ
とも引き起こすという新たな課題が顕著となってきた。
集積回路の微細化が進んでいるが、それに伴いゲート膜
厚も非常に薄くなり、MOSFETのコンダクタンス定
数が大きくなっている。これは高速性にとっては良いこ
とであるが、他方、需要が増大しつつある携帯機器等に
おいては、低消費電力、低消費電流化が求められてお
り、これは必ずしも望ましいことではない。つまり、全
体の消費電流を低減する一環としてアナログ回路、特に
該回路のなかで常時使用され、電流を流しつづけるバイ
アス電圧回路の電流も低減する必要がある。このとき前
述したようにMOSFETのコンダクタンス定数が大き
くなっているので、図6の回路の従来例ではP型MOS
FET601のゲートとソース間に大きな電位差があっ
て電流が流れやすく、消費電流を少なくするにはMOS
FETの駆動能力を低下させる必要があり、P型MOS
FET601のチャネル長を異状に増大させることにな
る。しかしながら、これは微細化の流れの中でロジック
回路の占めるチップ面積、領域が小さくなる一方で、特
定のアナログ回路は逆にチップ面積、領域が増大するこ
とも引き起こすという新たな課題が顕著となってきた。
【0004】また、以上の問題を軽減する為に図7の従
来回路例のように各MOSFETのゲート電極には中間
電位をかけたものもあるが、図7のP型MOSFET7
01とP型MOSFET702の間でスレッショルド電
圧に差をつける為にMOSFETにチャネルドープを施
すと、プロセスコストが増大する課題があった。
来回路例のように各MOSFETのゲート電極には中間
電位をかけたものもあるが、図7のP型MOSFET7
01とP型MOSFET702の間でスレッショルド電
圧に差をつける為にMOSFETにチャネルドープを施
すと、プロセスコストが増大する課題があった。
【0005】また、図8の従来回路例のように、MOS
FET以外の抵抗素子805を用いたりしている例があ
るが、これは近年、微細化、高速化とともにサリサイド
を使用する機会が増えたなかで、適度な抵抗値の抵抗素
子を特別に作ることは、プロセス工程の増加によるコス
トの増大や、チップ面積の増大や、特性バラツキの要因
がMOSFETと抵抗素子の両方に関わり、その結果、
製造上の安定度や歩留まりが低下するという課題があっ
た。
FET以外の抵抗素子805を用いたりしている例があ
るが、これは近年、微細化、高速化とともにサリサイド
を使用する機会が増えたなかで、適度な抵抗値の抵抗素
子を特別に作ることは、プロセス工程の増加によるコス
トの増大や、チップ面積の増大や、特性バラツキの要因
がMOSFETと抵抗素子の両方に関わり、その結果、
製造上の安定度や歩留まりが低下するという課題があっ
た。
【0006】そこで本発明はこのような課題・問題点を
解決するもので、その目的とするところはアナログ回路
に必要なバイアス電圧を低消費電力、低消費電流で作り
だすことであり、かつ、比較的小さなチップ面積で、バ
ラツキ要因の少ない、また余計なプロセス工程の追加を
必要としないバイアス回路を提供することである。
解決するもので、その目的とするところはアナログ回路
に必要なバイアス電圧を低消費電力、低消費電流で作り
だすことであり、かつ、比較的小さなチップ面積で、バ
ラツキ要因の少ない、また余計なプロセス工程の追加を
必要としないバイアス回路を提供することである。
【0007】また、そのバイアス電圧回路のバイアス電
圧を用いて、前述した同様の効果を有する定電流回路や
MOSFETの高抵抗素子を提供することを目的とす
る。
圧を用いて、前述した同様の効果を有する定電流回路や
MOSFETの高抵抗素子を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のバイアス電圧回
路は、2個の第1導電型のMOSFETにおいて、一方
のMOSFETのボディは第1電源端子に接続し、他方
のMOSFETのボディは第2電源端子に接続して、バ
ックゲートバイアス効果により実質的にスレッショルド
電圧に差をつけたこと、また、2個の第1導電型のMO
SFETと2個の第2導電型のMOSFETを用いて第
1導電型のMOSFETのスレッショルド電圧に近いバ
イアス電圧と、第2導電型のMOSFETのスレッショ
ルド電圧に近いバイアス電圧とを作りだし、前記計4個
の各MOSFETのゲート電極には前記のバイアス電圧
のいずれかを与えるように接続したことを特徴とする。
路は、2個の第1導電型のMOSFETにおいて、一方
のMOSFETのボディは第1電源端子に接続し、他方
のMOSFETのボディは第2電源端子に接続して、バ
ックゲートバイアス効果により実質的にスレッショルド
電圧に差をつけたこと、また、2個の第1導電型のMO
SFETと2個の第2導電型のMOSFETを用いて第
1導電型のMOSFETのスレッショルド電圧に近いバ
イアス電圧と、第2導電型のMOSFETのスレッショ
ルド電圧に近いバイアス電圧とを作りだし、前記計4個
の各MOSFETのゲート電極には前記のバイアス電圧
のいずれかを与えるように接続したことを特徴とする。
【0009】また、本発明の定電流回路は、前記バイア
ス電圧回路の出力したバイアス電圧を負荷に直列に接続
したMOSFETのゲート電極に接続したことを特徴と
する。
ス電圧回路の出力したバイアス電圧を負荷に直列に接続
したMOSFETのゲート電極に接続したことを特徴と
する。
【0010】また、本発明のMOS高抵抗素子は、前記
バイアス回路の出力した第1のバイアス電圧と第2バイ
アス電圧を第1導電型のMOSFETと第2導電型のM
OSFETを並列に接続したトランスミッションゲート
のそれぞれのMOSFETのゲート電極にそれぞれ加え
るように接続したことを特徴とする。
バイアス回路の出力した第1のバイアス電圧と第2バイ
アス電圧を第1導電型のMOSFETと第2導電型のM
OSFETを並列に接続したトランスミッションゲート
のそれぞれのMOSFETのゲート電極にそれぞれ加え
るように接続したことを特徴とする。
【0011】
【作用】本発明のバイアス電圧回路の上記の構成によれ
ば、バイアス電圧回路を構成する各MOSFETのゲー
ト電極は第1導電型MOSFETのスレッショルド電圧
に近い電圧、もしくは第2導電型MOSFETのスレッ
ショルド電圧に近い電圧のいずれかの中間電位が接続さ
れるので、MOSFETのオフ(OFF)に近い状態で
の動作となり、容易に電流を低減でき、MOSFETの
チャネル長を異状に長く設定する必要もなく、小さなチ
ップ面積で低消費電力、低消費電流のバイアス電圧回路
が実現する。また、該回路動作には前記2個の第1導電
型のMOSFETの間にはスレッショルド電圧の差が必
要となるが、2個の第1導電型のMOSFETのボディ
を異なる電源端子に接続することにより、バックゲート
バイアス効果に差が生じ、プロセス工程の余計な追加も
なく、スレッショルド電圧の差が作り出せる。
ば、バイアス電圧回路を構成する各MOSFETのゲー
ト電極は第1導電型MOSFETのスレッショルド電圧
に近い電圧、もしくは第2導電型MOSFETのスレッ
ショルド電圧に近い電圧のいずれかの中間電位が接続さ
れるので、MOSFETのオフ(OFF)に近い状態で
の動作となり、容易に電流を低減でき、MOSFETの
チャネル長を異状に長く設定する必要もなく、小さなチ
ップ面積で低消費電力、低消費電流のバイアス電圧回路
が実現する。また、該回路動作には前記2個の第1導電
型のMOSFETの間にはスレッショルド電圧の差が必
要となるが、2個の第1導電型のMOSFETのボディ
を異なる電源端子に接続することにより、バックゲート
バイアス効果に差が生じ、プロセス工程の余計な追加も
なく、スレッショルド電圧の差が作り出せる。
【0012】また、本発明の定電流回路の上記の構成に
よれば、前述したバイアス電圧回路の出力したバイアス
電圧で定電流源となるMOSFETのゲート電極を制御
するので、スレッショルド電圧のバラツキは相殺され、
安定した特性を持つとともに、バイアス電圧回路を含む
定電流回路自体が低消費電力、低消費電流となる。
よれば、前述したバイアス電圧回路の出力したバイアス
電圧で定電流源となるMOSFETのゲート電極を制御
するので、スレッショルド電圧のバラツキは相殺され、
安定した特性を持つとともに、バイアス電圧回路を含む
定電流回路自体が低消費電力、低消費電流となる。
【0013】また、本発明のMOS高抵抗素子の上記の
構成によれば、前述したバイアス電圧回路の出力したバ
イアス電圧でMOS抵抗となるトランスミッションゲー
トのそれぞれのMOSFETのゲート電極を制御するの
で、電源電位を該MOSFETのゲート電極に加えた場
合に比較して容易に高抵抗を構成でき、小さなチツプ面
積で実現するとともに、バイアス電圧回路を含むMOS
高抵抗素子自体が低消費電力、低消費電流となる。
構成によれば、前述したバイアス電圧回路の出力したバ
イアス電圧でMOS抵抗となるトランスミッションゲー
トのそれぞれのMOSFETのゲート電極を制御するの
で、電源電位を該MOSFETのゲート電極に加えた場
合に比較して容易に高抵抗を構成でき、小さなチツプ面
積で実現するとともに、バイアス電圧回路を含むMOS
高抵抗素子自体が低消費電力、低消費電流となる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、実施例により本発明の詳細
を示す。図1は本発明の第1の実施例を示す回路図であ
る。なお、図1においては製造プロセスで使用するウェ
ハーがシリコン基板の中に二酸化珪素(SiO2)の絶縁
層を有するシリコン・オン・インシュレータ(SOI)
基板を用いている。したがって、MOSFETのチャネ
ル直下の基板は各MOSFETで電位的に独立してい
る。一般的に各MOSFETの基板が共通となる従来バ
ルクと区別するために、SOIにおけるMOSFETの
チャネル直下の従来の基板に相当する部分を慣例にした
がって「ボディ」と表現する。
を示す。図1は本発明の第1の実施例を示す回路図であ
る。なお、図1においては製造プロセスで使用するウェ
ハーがシリコン基板の中に二酸化珪素(SiO2)の絶縁
層を有するシリコン・オン・インシュレータ(SOI)
基板を用いている。したがって、MOSFETのチャネ
ル直下の基板は各MOSFETで電位的に独立してい
る。一般的に各MOSFETの基板が共通となる従来バ
ルクと区別するために、SOIにおけるMOSFETの
チャネル直下の従来の基板に相当する部分を慣例にした
がって「ボディ」と表現する。
【0015】さて、図1において1と2はP型MOSF
ETである。3と4はN型MOSFETである。P型M
OSFET1のソース電極は正極の電源であるVDDに接
続されている。P型MOSFET1のドレイン電極はN
型MOSFET3のドレイン電極に接続されている。N
型MOSFET3のソース電極は負極の電源であるVSS
に接続されている。P型MOSFET2のソース電極は
VDDに接続されている。P型MOSFET2のドレイン
電極はN型MOSFET4のドレイン電極に接続されて
いる。N型MOSFET4のソース電極はVSSに接続さ
れている。P型MOSFET1とP型MOSFET2の
ゲート電極はともにP型MOSFET2のドレイン電極
に接続されている。N型MOSFET3とN型MOSF
ET4のゲート電極はともにN型MOSFET3のドレ
イン電極に接続されている。P型MOSFET2のボデ
ィはVDDに接続されている。P型MOSFET1のボデ
ィ、およびN型MOSFET3と4のボディはVSSに接
続されている。また、P型MOSFET2とN型MOS
FET4のドレイン電極の互いの接続点が第1バイアス
電圧出力端子となっている。また、P型MOSFET1
とN型MOSFET3のドレイン電極の互いの接続点が
第2バイアス電圧出力端子となっている。
ETである。3と4はN型MOSFETである。P型M
OSFET1のソース電極は正極の電源であるVDDに接
続されている。P型MOSFET1のドレイン電極はN
型MOSFET3のドレイン電極に接続されている。N
型MOSFET3のソース電極は負極の電源であるVSS
に接続されている。P型MOSFET2のソース電極は
VDDに接続されている。P型MOSFET2のドレイン
電極はN型MOSFET4のドレイン電極に接続されて
いる。N型MOSFET4のソース電極はVSSに接続さ
れている。P型MOSFET1とP型MOSFET2の
ゲート電極はともにP型MOSFET2のドレイン電極
に接続されている。N型MOSFET3とN型MOSF
ET4のゲート電極はともにN型MOSFET3のドレ
イン電極に接続されている。P型MOSFET2のボデ
ィはVDDに接続されている。P型MOSFET1のボデ
ィ、およびN型MOSFET3と4のボディはVSSに接
続されている。また、P型MOSFET2とN型MOS
FET4のドレイン電極の互いの接続点が第1バイアス
電圧出力端子となっている。また、P型MOSFET1
とN型MOSFET3のドレイン電極の互いの接続点が
第2バイアス電圧出力端子となっている。
【0016】さて、P型MOSFET1と2の通常のス
レッショルド電圧、つまり、ソースとボディ(従来の基
板に相当)が同電位の場合のスレッショルド電圧をVT
P、N型MOSFET3と4の通常のスレッショルド電
圧をVTNとする。また、P型MOSFET1とP型MO
SFET2のコンダクタンス定数βをそれぞれβP1、β
P2とする。また、N型MOSFET3とN型MOSFE
T4のコンダクタンス定数βをそれぞれβN3、βN4とす
る。また、P型MOSFET1のソース電位が+VDDに
対し、ボディは−VSSに接続されているのでバックゲー
トバイアス効果が生じる。このバックゲートバイアス効
果により、スレッショルド電圧が実効的に低く(電流が
流れ易い方向)なり、この低下分をαとする。また、第
1バイアス電圧出力端子11の電圧をVG1、第2バイア
ス電圧出力端子12の電圧をVG2とする。また、負極の
電源であるVSSを基準電位の0とする。このとき、P型
MOSFET1とN型MOSFET3を流れる電流をI
1とし、P型MOSFET2とN型MOSFET4を流
れる電流をI2とすれば、各MOSFETが飽和領域で
動作するとして、以下の各式が成り立つ。
レッショルド電圧、つまり、ソースとボディ(従来の基
板に相当)が同電位の場合のスレッショルド電圧をVT
P、N型MOSFET3と4の通常のスレッショルド電
圧をVTNとする。また、P型MOSFET1とP型MO
SFET2のコンダクタンス定数βをそれぞれβP1、β
P2とする。また、N型MOSFET3とN型MOSFE
T4のコンダクタンス定数βをそれぞれβN3、βN4とす
る。また、P型MOSFET1のソース電位が+VDDに
対し、ボディは−VSSに接続されているのでバックゲー
トバイアス効果が生じる。このバックゲートバイアス効
果により、スレッショルド電圧が実効的に低く(電流が
流れ易い方向)なり、この低下分をαとする。また、第
1バイアス電圧出力端子11の電圧をVG1、第2バイア
ス電圧出力端子12の電圧をVG2とする。また、負極の
電源であるVSSを基準電位の0とする。このとき、P型
MOSFET1とN型MOSFET3を流れる電流をI
1とし、P型MOSFET2とN型MOSFET4を流
れる電流をI2とすれば、各MOSFETが飽和領域で
動作するとして、以下の各式が成り立つ。
【0017】 I1 = (1/2)・βP1・(VDD− VG1−VTP+α)2 = (1/2)・βN3・(VG2−VTN)2 また、 I2 = (1/2)・βP2・(VDD− VG1−VTP)2 = (1/2)・βN4・(VG2−VTN)2 となる。
【0018】これらを解くとバイアス電圧VG1、 VG2
については VG1 = VDD − VTP − α/(a・b−1) ・・・・・・ (101)式 VG2 = VTN + α・c/(a・b−1) ・・・・・・ (102)式 となる。ただし、 a = (βP2/βP1)1/2 b = (βN3/βN4)1/2 c = (βP2/βN4)1/2 とする。
については VG1 = VDD − VTP − α/(a・b−1) ・・・・・・ (101)式 VG2 = VTN + α・c/(a・b−1) ・・・・・・ (102)式 となる。ただし、 a = (βP2/βP1)1/2 b = (βN3/βN4)1/2 c = (βP2/βN4)1/2 とする。
【0019】また、電流 I1 、I2 について解けば I1 = (1/2)・βP1・(a・b・α)2/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (103)式 I2 = (1/2)・βP2・α2/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (104)式 となる。
【0020】また、このときの前提である各MOSFE
Tの飽和条件であるが、P型MOSFET1については VDD− VG2 > VDD − VG1 − VTP + α が成立する必要があるが、前述の解いた結果を代入して
整理すれば VDD > VTN +{ (c+1)/(a・b−1) +1}・α ・・・・・・ (105)式 となる。
Tの飽和条件であるが、P型MOSFET1については VDD− VG2 > VDD − VG1 − VTP + α が成立する必要があるが、前述の解いた結果を代入して
整理すれば VDD > VTN +{ (c+1)/(a・b−1) +1}・α ・・・・・・ (105)式 となる。
【0021】また、N型MOSFET4の飽和条件であ
るが VG1 > VG2 − VTN が成立する必要があるが、前述の解いた結果を代入して
整理すれば VDD > VTP +{ (c+1)/(a・b−1) }・α ・・・・・・ (106)式 となる。
るが VG1 > VG2 − VTN が成立する必要があるが、前述の解いた結果を代入して
整理すれば VDD > VTP +{ (c+1)/(a・b−1) }・α ・・・・・・ (106)式 となる。
【0022】また、P型MOSFET2とN型MOSF
ET3についてはゲートとドレインが接続されているの
で、スレッショルド電圧が正の値であるかぎり、飽和条
件は必ず成立する。
ET3についてはゲートとドレインが接続されているの
で、スレッショルド電圧が正の値であるかぎり、飽和条
件は必ず成立する。
【0023】さて、(101)式、(102)式によ
り、 a・b ≫ 1 かつ、 c ≒ 1 となるようにβP1、βP2、βN3、βN4を設定すればバイ
アス電圧にP型MOSFETとN型MOSFETをそれ
ぞれぎりぎりに動作させるVG1とVG2が得られる。な
お、このとき(105)式、(106)式は電源電圧が
あまり低くなければ成立する。また、このときのバイア
ス電圧回路としての消費電流は(103)式、(10
4)式でそれぞれ表されるI1 とI2 であるが、これら
はスレッショルド電圧関連の項としてはバックゲートバ
イアス効果のαが占めている。このαの値は電源電圧V
DDよりかなり小さいのが一般的であるので、ゲートに電
源電位を加える従来回路(図6)より電流値としてはか
なり小さくなる。したがって同一の消費電流で比較すれ
ば、MOSFETの駆動能力を異状な形状にしてまでも
落とす必要がなくなるので、チップ面積は小さくてす
む。また、本実施例ではシリコン・オン・インシュレー
タを用いているが、微細化、低電圧化、低消費電力化、
高速化がMOS集積回路装置の主流になりつつあるなか
ではよく使われる方式となって来ている。このシリコン
・オン・インショレータを用いる場合には特別のプロセ
ス工程の増加なしに前述したバイアス電圧回路を構成で
きることが解る。
り、 a・b ≫ 1 かつ、 c ≒ 1 となるようにβP1、βP2、βN3、βN4を設定すればバイ
アス電圧にP型MOSFETとN型MOSFETをそれ
ぞれぎりぎりに動作させるVG1とVG2が得られる。な
お、このとき(105)式、(106)式は電源電圧が
あまり低くなければ成立する。また、このときのバイア
ス電圧回路としての消費電流は(103)式、(10
4)式でそれぞれ表されるI1 とI2 であるが、これら
はスレッショルド電圧関連の項としてはバックゲートバ
イアス効果のαが占めている。このαの値は電源電圧V
DDよりかなり小さいのが一般的であるので、ゲートに電
源電位を加える従来回路(図6)より電流値としてはか
なり小さくなる。したがって同一の消費電流で比較すれ
ば、MOSFETの駆動能力を異状な形状にしてまでも
落とす必要がなくなるので、チップ面積は小さくてす
む。また、本実施例ではシリコン・オン・インシュレー
タを用いているが、微細化、低電圧化、低消費電力化、
高速化がMOS集積回路装置の主流になりつつあるなか
ではよく使われる方式となって来ている。このシリコン
・オン・インショレータを用いる場合には特別のプロセ
ス工程の増加なしに前述したバイアス電圧回路を構成で
きることが解る。
【0024】さて、図2は本発明の第2の実施例であ
り、定電流回路に用いたものである。
り、定電流回路に用いたものである。
【0025】図2においてP型MOSFET1と2,N
型MOSFET3と4からなる回路は図1で説明したバ
イアス電圧回路である。5はP型MOSFETであり、
ソース電極はVDDに接続され、ドレイン電極は負荷22
に接続されている。P型MOSFET5のゲート電極に
は前述したバイアス電圧回路の第1バイアス電圧出力端
子11が接続されている。さてP型MOSFET5のス
レッショルド電圧をVTP、コンダクタンス定数をβP5と
し、負荷22つまりはP型MOSFET5に流れる電流
ILは IL = (1/2)・βP5・(VDD− VG1−VTP)2 = (1/2)・βP5・α2/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (107)式 となる。(107)式に含まれている要素は比較的安定
した項目であり、かつ負荷の変動要因は含んでいないの
で、図2の回路は製造上においても、使用上においても
安定した定電流回路となっていることが解る。また、バ
イアス電圧は前述したバイアス電圧回路から形成してい
るので、低消費電力、小さいチップ面積、低コスト等の
特徴を持った定電流回路であることが解る。
型MOSFET3と4からなる回路は図1で説明したバ
イアス電圧回路である。5はP型MOSFETであり、
ソース電極はVDDに接続され、ドレイン電極は負荷22
に接続されている。P型MOSFET5のゲート電極に
は前述したバイアス電圧回路の第1バイアス電圧出力端
子11が接続されている。さてP型MOSFET5のス
レッショルド電圧をVTP、コンダクタンス定数をβP5と
し、負荷22つまりはP型MOSFET5に流れる電流
ILは IL = (1/2)・βP5・(VDD− VG1−VTP)2 = (1/2)・βP5・α2/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (107)式 となる。(107)式に含まれている要素は比較的安定
した項目であり、かつ負荷の変動要因は含んでいないの
で、図2の回路は製造上においても、使用上においても
安定した定電流回路となっていることが解る。また、バ
イアス電圧は前述したバイアス電圧回路から形成してい
るので、低消費電力、小さいチップ面積、低コスト等の
特徴を持った定電流回路であることが解る。
【0026】さて、図3は本発明の第3の実施例であ
り、定電流回路に用いたものである。
り、定電流回路に用いたものである。
【0027】図3は図2の定電流回路において定電流源
となるMOSFETをN型MOSFET6で構成し、バ
イアス電圧回路の第2バイアス電圧出力端子12をゲー
ト電極に接続したものである。
となるMOSFETをN型MOSFET6で構成し、バ
イアス電圧回路の第2バイアス電圧出力端子12をゲー
ト電極に接続したものである。
【0028】さてN型MOSFET6のスレッショルド
電圧をVTN、コンダクタンス定数をβN6とし、負荷22
つまりはN型MOSFET6に流れる電流ILは IL = (1/2)・βN6・(VG2−VTN)2 = (1/2)・βN6・α2・c/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (108)式 となる。この式からも図3は図2と同様に前述した特徴
を持つ定電流回路であることが解る。
電圧をVTN、コンダクタンス定数をβN6とし、負荷22
つまりはN型MOSFET6に流れる電流ILは IL = (1/2)・βN6・(VG2−VTN)2 = (1/2)・βN6・α2・c/(a・b−1) 2 ・・・・・・ (108)式 となる。この式からも図3は図2と同様に前述した特徴
を持つ定電流回路であることが解る。
【0029】さて、図4は本発明の第4の実施例であ
り、MOS高抵抗素子に用いたものである。図4におい
てP型MOSFET1と2,N型MOSFET3と4か
らなる回路は図1で説明したバイアス電圧回路である。
8はP型MOSFETであり、9はN型MOSFETで
ある。P型MOSFET8とN型MOSFET9は並列
に接続されドレイン電極もしくはソース電極が、抵抗端
子43,44に接続され、P型MOSFET8のゲート
電極には前記バイアス電圧回路の第1バイアス電圧出力
端子11が接続され、N型MOSFET9のゲート電極
には前記バイアス電圧回路の第2バイアス電圧出力端子
12が接続されている。ゲート電極に加わるバイアス電
圧VG1、 VG2はともにP型MOSFET、N型MOS
FETのそれぞれのスレッショルド電圧に近く、動作さ
せるぎりぎりの電圧であるので容易にMOSFETによ
る高抵抗素子が抵抗端子43と44の間に得られる。こ
のMOS高抵抗素子には前述したバイアス電圧回路のバ
イアス電圧を用いるので、低消費電力、小さいチップ面
積、低コスト等の特徴を持ったMOS高抵抗素子である
ことが解る。
り、MOS高抵抗素子に用いたものである。図4におい
てP型MOSFET1と2,N型MOSFET3と4か
らなる回路は図1で説明したバイアス電圧回路である。
8はP型MOSFETであり、9はN型MOSFETで
ある。P型MOSFET8とN型MOSFET9は並列
に接続されドレイン電極もしくはソース電極が、抵抗端
子43,44に接続され、P型MOSFET8のゲート
電極には前記バイアス電圧回路の第1バイアス電圧出力
端子11が接続され、N型MOSFET9のゲート電極
には前記バイアス電圧回路の第2バイアス電圧出力端子
12が接続されている。ゲート電極に加わるバイアス電
圧VG1、 VG2はともにP型MOSFET、N型MOS
FETのそれぞれのスレッショルド電圧に近く、動作さ
せるぎりぎりの電圧であるので容易にMOSFETによ
る高抵抗素子が抵抗端子43と44の間に得られる。こ
のMOS高抵抗素子には前述したバイアス電圧回路のバ
イアス電圧を用いるので、低消費電力、小さいチップ面
積、低コスト等の特徴を持ったMOS高抵抗素子である
ことが解る。
【0030】さて、図5は本発明の第5の実施例であ
り、図1のバイアス電圧回路をP型MOSFETとN型
MOSFETを逆に構成したものである。PとNを対称
に交換して逆に構成したので図1と同様の特徴を持った
バイアス電圧回路であることが解る。
り、図1のバイアス電圧回路をP型MOSFETとN型
MOSFETを逆に構成したものである。PとNを対称
に交換して逆に構成したので図1と同様の特徴を持った
バイアス電圧回路であることが解る。
【0031】また、図1の回路におけるN型MOSFE
T3と4のボディはVSSの電位をとったが、N型MOS
FET3と4のスレッショルド電圧の特性が同一であれ
ばバイアス電圧回路は正常に動作するのでN型MOSF
ET3と4のボディ電位を共に浮かしたままでもよい。
また、より低電圧動作をさせるためにN型MOSFET
3と4のボディを共にVDDに接続してもよい。
T3と4のボディはVSSの電位をとったが、N型MOS
FET3と4のスレッショルド電圧の特性が同一であれ
ばバイアス電圧回路は正常に動作するのでN型MOSF
ET3と4のボディ電位を共に浮かしたままでもよい。
また、より低電圧動作をさせるためにN型MOSFET
3と4のボディを共にVDDに接続してもよい。
【0032】なお、以上においては絶縁層として二酸化
シリコン(SiO2)を基板に持つシリコン・オン・イン
シュレータ(SOI)で説明したが、絶縁層によってボ
ディが分離されればよいので、インシュレータ(絶縁
層)がサファイアであるシリコン・オン・サファイア
(SOS)でもよいし、絶縁層がより高温に適したダイ
ヤモンドで形成されていてもよい。
シリコン(SiO2)を基板に持つシリコン・オン・イン
シュレータ(SOI)で説明したが、絶縁層によってボ
ディが分離されればよいので、インシュレータ(絶縁
層)がサファイアであるシリコン・オン・サファイア
(SOS)でもよいし、絶縁層がより高温に適したダイ
ヤモンドで形成されていてもよい。
【0033】
【発明の効果】以上、述べたように本発明のバイアス電
圧回路によれば、スレッショルド電圧に近いバイアス電
圧を低消費電力、低消費電流で作り出すという効果があ
る。
圧回路によれば、スレッショルド電圧に近いバイアス電
圧を低消費電力、低消費電流で作り出すという効果があ
る。
【0034】また、上記バイアス電圧を比較的小さなチ
ップ面積で、バラツキ要因が少なく、かつ余計なプロセ
ス工程の追加を必要とせずに発生できるという効果があ
る。
ップ面積で、バラツキ要因が少なく、かつ余計なプロセ
ス工程の追加を必要とせずに発生できるという効果があ
る。
【0035】また、以上、述べたように本発明の定電流
回路によれば、低消費電力、低消費電流、かつ比較的小
さなチップ面積で、バラツキ要因が少なく、また余計な
プロセス工程の追加を必要とせずに定電流源を構成でき
るという効果がある。
回路によれば、低消費電力、低消費電流、かつ比較的小
さなチップ面積で、バラツキ要因が少なく、また余計な
プロセス工程の追加を必要とせずに定電流源を構成でき
るという効果がある。
【0036】また、以上、述べたように本発明のMOS
高抵抗素子によれば、安定したMOSFETによる高抵
抗素子を低消費電力、低消費電流、かつ比較的小さなチ
ップ面積で、バラツキ要因が少なく、また余計なプロセ
ス工程の追加を必要とせずに構成できるという効果があ
る。
高抵抗素子によれば、安定したMOSFETによる高抵
抗素子を低消費電力、低消費電流、かつ比較的小さなチ
ップ面積で、バラツキ要因が少なく、また余計なプロセ
ス工程の追加を必要とせずに構成できるという効果があ
る。
【図1】本発明のバイアス電圧回路の第1の実施例を示
す回路図である。
す回路図である。
【図2】本発明の定電流回路の第1の実施例を示す回路
図である。
図である。
【図3】本発明の定電流回路の第2の実施例を示す回路
図である。
図である。
【図4】本発明のMOS高抵抗素子の第1の実施例を示
す回路図である。
す回路図である。
【図5】本発明のバイアス電圧回路の第2の実施例を示
す回路図である。
す回路図である。
【図6】従来のバイアス電圧回路の第1の例を示す回路
図である。
図である。
【図7】従来のバイアス電圧回路の第2の例を示す回路
図である。
図である。
【図8】従来のバイアス電圧回路の第3の例を示す回路
図である。
図である。
【符号の説明】 1、2、5、8、53、54、601、602、70
1、702、801、802 ・・・P型MOSFET 3、4、6、9、51、52、603、604、70
3、704、803、804 ・・・N型MOSFET 11、12、61、62、611、612、711、7
12、811、812 ・・・バイアス電圧出力端子 22 ・・・負荷 43、44 ・・・抵抗端子 805 ・・・抵抗素子
1、702、801、802 ・・・P型MOSFET 3、4、6、9、51、52、603、604、70
3、704、803、804 ・・・N型MOSFET 11、12、61、62、611、612、711、7
12、811、812 ・・・バイアス電圧出力端子 22 ・・・負荷 43、44 ・・・抵抗端子 805 ・・・抵抗素子
Claims (3)
- 【請求項1】a)基板に絶縁層を有するシリコン・オン
・インシュレータを用いた半導体集積回路装置におい
て、 b)第1の導電型を有する第1の絶縁ゲート電界効果型
トランジスタと第2の絶縁ゲート電界効果型トランジス
タと、第2の導電型を有する第3の絶縁ゲート電界効果
型トランジスタと第4の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタと、 c)第1バイアス電圧出力端子と第2バイアス電圧出力
端子とからなり、 d)前記第1の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソ
ース電極は第1電源端子に接続され、ドレイン電極は前
記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイン
電極に接続され、第3の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタのソース電極は第2電源端子に接続され、前記第2
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース電極は第
1電源端子に接続され、ドレイン電極は前記第4の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのドレイン電極に接続さ
れ、第4の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース
電極は第2電源端子に接続され、 e)前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ
のゲート電極と前記第4の絶縁ゲート電界効果型トラン
ジスタのゲート電極に接続し、また前記第2の絶縁ゲー
ト電界効果型トランジスタのドレイン電極を第2の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極と前記第1
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極に接
続し、 f)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのボ
ディを第1電源端子に接続し、前記第1の絶縁ゲート電
界効果型トランジスタのボディを第2電源端子に接続
し、 g)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を前記第1バイアス電圧出力端子に接続し、
前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイ
ン電極を前記第2バイアス電圧出力端子に接続したこと
を特徴とするバイアス電圧回路。 - 【請求項2】a)基板に絶縁層を有するシリコン・オン
・インシュレータを用いた半導体集積回路装置におい
て、 b)第1の導電型を有する第1の絶縁ゲート電界効果型
トランジスタと第2の絶縁ゲート電界効果型トランジス
タと、第2の導電型を有する第3の絶縁ゲート電界効果
型トランジスタと第4の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタと、 c)第1バイアス電圧出力端子と第2バイアス電圧出力
端子とからなり、 d)前記第1の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソ
ース電極は第1電源端子に接続され、ドレイン電極は前
記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイン
電極に接続され、第3の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタのソース電極は第2電源端子に接続され、前記第2
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース電極は第
1電源端子に接続され、ドレイン電極は前記第4の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのドレイン電極に接続さ
れ、第4の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース
電極は第2電源端子に接続され、 e)前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ
のゲート電極と前記第4の絶縁ゲート電界効果型トラン
ジスタのゲート電極に接続し、また前記第2の絶縁ゲー
ト電界効果型トランジスタのドレイン電極を第2の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極と前記第1
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極に接
続し、 f)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのボ
ディを第1電源端子に接続し、前記第1の絶縁ゲート電
界効果型トランジスタのボディを第2電源端子に接続
し、 g)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を前記第1バイアス電圧出力端子に接続し、
前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイ
ン電極を前記第2バイアス電圧出力端子に接続した以上
の構成によるバイアス電圧回路と、 h)更に、負荷に第5の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタを直列に接続した回路からなり、該回路を前記第1
電源端子と第2電源端子からなる電源に対して並列に接
続し、前記第5の絶縁ゲート電界効果型トランジスタの
ゲート電極を前記バイアス電圧回路の第1バイアス電圧
出力端子、もしくは第2バイアス電圧出力端子に接続し
たことを特徴とする定電流回路。 - 【請求項3】a)基板に絶縁層を有するシリコン・オン
・インシュレータを用いた半導体集積回路装置におい
て、 b)第1の導電型を有する第1の絶縁ゲート電界効果型
トランジスタと第2の絶縁ゲート電界効果型トランジス
タと、第2の導電型を有する第3の絶縁ゲート電界効果
型トランジスタと第4の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタと、 c)第1バイアス電圧出力端子と第2バイアス電圧出力
端子とからなり、 d)前記第1の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソ
ース電極は第1電源端子に接続され、ドレイン電極は前
記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイン
電極に接続され、第3の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタのソース電極は第2電源端子に接続され、前記第2
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース電極は第
1電源端子に接続され、ドレイン電極は前記第4の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのドレイン電極に接続さ
れ、第4の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのソース
電極は第2電源端子に接続され、 e)前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタ
のゲート電極と前記第4の絶縁ゲート電界効果型トラン
ジスタのゲート電極に接続し、また前記第2の絶縁ゲー
ト電界効果型トランジスタのドレイン電極を第2の絶縁
ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極と前記第1
の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのゲート電極に接
続し、 f)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのボ
ディを第1電源端子に接続し、前記第1の絶縁ゲート電
界効果型トランジスタのボディを第2電源端子に接続
し、 g)前記第2の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのド
レイン電極を前記第1バイアス電圧出力端子に接続し、
前記第3の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのドレイ
ン電極を前記第2バイアス電圧出力端子に接続した以上
の構成によるバイアス電圧回路と、 h)更に、第1の導電型の絶縁ゲート電界効果型トラン
ジスタと第2の導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジ
スタを並列に接続したトランスミッションゲートからな
り、該トランスミッションゲートを構成する前記第1の
導電型の絶縁ゲート電界効果型トランジスタのゲート電
極には前記バイアス電圧回路の第1バイアス電圧出力端
子を、前記第2の導電型の絶縁ゲート電界効果型トラン
ジスタのゲート電極には前記バイアス電圧回路の第2バ
イアス電圧出力端子を、それぞれ接続したことを特徴と
するMOS高抵抗素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094097A JP2000284842A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | バイアス電圧回路および定電流回路およびmos高抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094097A JP2000284842A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | バイアス電圧回路および定電流回路およびmos高抵抗素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000284842A true JP2000284842A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14100958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11094097A Withdrawn JP2000284842A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | バイアス電圧回路および定電流回路およびmos高抵抗素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000284842A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012164084A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Toshiba Corp | 定電圧回路とその半導体装置 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP11094097A patent/JP2000284842A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012164084A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Toshiba Corp | 定電圧回路とその半導体装置 |
US8604870B2 (en) | 2011-02-04 | 2013-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Constant-voltage circuit and semiconductor device thereof |
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---|---|---|---|
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