JP2000269073A

JP2000269073A - 積層セラミックコンデンサとその製造方法

Info

Publication number: JP2000269073A
Application number: JP7478699A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Masuda; 淳増田
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1999-03-19
Filing date: 1999-03-19
Publication date: 2000-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】導電ペーストの燒結抑制効果を得ると同時
に、共材を多く添加した場合のように内部電極の連続性
を阻害せず、それ故高い静電容量を得ることができるよ
うにする。【解決手段】積層セラミックコンデンサを製造するに
当たり、その内部電極５、６を形成するための導電ペー
ストのＮｉ粉末の１００重量％に対して０．５〜３．０
重量％のＬａ及びＣｒの少なくとも何れかの酸化物粉末
を含有させる。これらＬａやＣｒの酸化物粉末の平均粒
径は０．５〜１．０μｍとする。導電ペーストに含まれ
るＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂Ｏ₃等酸化物は、燒結制御効果を有す
るため、その分だけ導電ペーストへの共材の添加量を少
なくすることができる。しかも焼成した後、ＬａやＣｒ
の元素は、内部電極５、６を形成している導体内部に析
出することなく、積層体３の内部で積層された内部電極
５、６とセラミック層７との界面に偏析する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、内部電極
パターンとセラミック層との積層体を有し、この積層体
の端部に前記内部電極に導通するように外部電極を設け
た積層セラミックコンデンサとこの積層セラミックコン
デンサを製造する方法に関し、特に電気特性が良好な積
層セラミックコンデンサとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサは、内部電極
有する誘電体からなるセラミック層が多数層に積層さ
れ、この積層体の内部で内部電極が対向し、この積層体
の対向する端面に前記の内部電極が交互に引き出されて
いる。そして、これらの内部電極が引き出された積層体
の端面を含む端部に外部電極が形成され、この外部電極
が積層体の内部で対向している前記内部電極にそれぞれ
接続されている。

【０００３】このような積層セラミックコンデンサの前
記積層体３は、例えば、図３に示すような層構造を有す
る。すなわち、内部電極５、６を有する誘電体からなる
セラミック層７、７…が図３で示す順序に積層され、さ
らにその両側に内部電極５、６が形成されてないセラミ
ック層７、７…が各々複数層積み重ねられる。そして、
このような層構造を有する積層体３の端部には内部電極
５、６が交互に露出しており、図１に示すように、この
積層体３の端部に前記の外部電極２、２が形成される。

【０００４】このような積層セラミックコンデンサは、
通常図３に示すような部品１個単位が個々に製造される
訳ではなく、実際は次に示すような製造方法がとられ
る。すなわち、まず微細化したセラミック粉末と有機バ
インダーとを混練してスラリーを作り、これをドクター
ブレード法によってポリエチレンテレフタレートフィル
ム等からなるキャリアフィルム上に薄く展開し、乾燥
し、セラミックグリーンシートを作る。次に、このセラ
ミックグリーンシートを支持フィルムの上に載ったまま
カッティングヘッドで所望の大きさに切断し、その片面
にスクリーン印刷法によって導電ペーストを印刷し、乾
燥する。これにより、図４に示すように、縦横に複数組
分の内部電極パターン２ａ、２ｂが配列されたセラミッ
クグリーンシート１ａ、１ｂが得られる。

【０００５】次に、前記内部電極パターン２ａ、２ｂを
有する複数枚のセラミックグリーンシート１ａ、１ｂを
積層し、さらに、内部電極パターン２ａ、２ｂを有しな
い何枚かのセラミックグリーンシート１、１…を上下に
積み重ね、これらを圧着し、積層体を作る。ここで、前
記セラミックグリーンシート１ａ、１ｂは、内部電極パ
ターン２ａ、２ｂが長手方向に半分の長さ分だけずれた
ものを交互に積み重ねる。その後、この積層体を所望の
サイズに切断して、積層生チップを製作し、この生チッ
プを焼成する。こうして図１及び図３に示すような積層
体が得られる。次に、この焼成済みの積層体３の両端に
導電ペーストを塗布し、焼付け、焼き付けた導体膜の表
面にメッキを施すことにより、両端に外部電極２、２が
形成された図１に示すような積層セラミックコンデンサ
が完成する。

【０００６】前記のような積層セラミックコンデンサに
おける内部電極５、６を形成するための導電ペーストに
は、Ｎｉ粉末を主体として、これにバインダと溶剤を添
加したものが使用される。さらにこのような導電ペース
トには、焼成時の内部電極５、６の燒結抑制効果や内部
電極５、６とセラミック層７との密着性の向上を図る目
的で、導電ペースト中にいわゆる共材としてセラミック
層７に含まれるチタン酸バリウム粉末を添加することが
行われている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】導電ペースト中に添加
させる前記のような共材の添加量を多くすると、燒結抑
制効果や内部電極５、６とセラミック層７との密着性は
向上するものの、セラミック層７を介して対向する内部
電極５、６の連続性が悪くなる。その結果、内部電極
５、６の導体組織が疎らになるため、大きな静電容量を
取得しにくくなる。他方、導電ペースト中に添加させる
前記のような共材の添加量を少なくすると、大きな静電
容量を取得しやすくなるが、十分な燒結抑制効果や内部
電極５、６とセラミック層７との密着性が得られなくな
る。

【０００８】小形でより大きな静電容量を得るために
は、内部電極５、６やセラミック層７の層厚を薄くし、
より多くの内部電極５、６を積層させる必要がある。そ
うすると、積層体３の内部における内部電極５、６が占
める割合が増え、導電ペーストに燒結を抑制するために
の共材をより多く添加する必要がある。しかし前記のよ
うな理由から、導電ペーストに添加する共材の量を多く
すると、所望の静電容量を取得することができなくな
る。

【０００９】そこで、本発明は、前記従来技術の課題に
鑑み、導電ペーストの燒結抑制効果を得ると同時に、共
材を多く添加した場合のように内部電極の連続性を阻害
せず、それ故高い静電容量を得ることができる積層セラ
ミックコンデンサとその製造方法を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、内部電極５、６を形成するための導電
ペーストに、燒結制御効果を有するＬａまたはＣｒの少
なくとも何れかの酸化物Ｌａ₂Ｏ₃、Ｃｒ₂Ｏ₃を添加した
ものである。これにより、共材の添加量を少なくするこ
とができる。しかも、ＬａやＣｒの元素は、内部電極
５、６の内部ではなく、内部電極５、６とセラミック層
７との界面に偏析するため、セラミック層７を介して対
向する内部電極５、６の連続性に影響を与えないので、
静電容量が低減しない。

【００１１】すなわち、本発明による積層セラミックコ
ンデンサは、セラミック層７と内部電極５、６とが交互
に積層された積層体３と、この積層体３の端部に設けら
れた外部電極２、２とを有し、前記内部電極５、６がセ
ラミック層７の互いに対向する少なくとも一対の縁の何
れか一方に各々達していることにより、積層体３の対向
する端面に内部電極５、６が各々導出され、同積層体３
の端面に導出された内部電極５、６が前記外部電極２、
２に各々接続されているものであって、前記セラミック
層７を介して積層体３の内部で対向する内部電極５、６
にＬａまたはＣｒの少なくとも何れかの元素が含んでい
ることを特徴とする。特に、ＬａまたはＣｒの少なくと
も何れかの元素は、内部電極５、６とセラミック層７と
の界面に偏析している。

【００１２】さらに、このような積層セラミックコンデ
ンサを製造する方法は、セラミック層７を形成するため
のセラミックグリーンシート１、１ａ、１ｂを得る工程
と、これらのセラミックグリーンシート１ａ、１ｂの一
部に導電ペーストを使用して内部電極パターン２ａ、２
ｂを印刷する工程と、セラミックグリーンシート１、１
ａ、１ｂを所定の順序で積層する工程と、積層したセラ
ミックグリーンシート１、１ａ、１ｂを裁断する行程
と、セラミックグリーンシート１、１ａ、１ｂの積層体
を焼成し、内部電極５、６を有する焼成済みの積層体３
を得る行程と、積層体３の内部電極５、６が導出された
端部に外部電極２、２を形成する行程とを有する。この
場合において、内部電極５、６を形成するための導電ペ
ーストは、Ｎｉ粉末の１００重量％に対して０．５〜
３．０重量％のＬａ及びＣｒの少なくとも何れかの酸化
物粉末を含有させる。導電ペーストに添加するＬａ及び
Ｃｒの少なくとも何れかの酸化物粉末の平均粒径は０．
５〜１．０μｍとする。

【００１３】導電ペーストに含まれるＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂
Ｏ₃等酸化物は、共材より高い燒結制御効果を有するた
め、その分だけ導電ペーストへの共材の添加量を少なく
することができる。しかも焼成した後、ＬａやＣｒの元
素は、内部電極５、６を形成している導体内部に析出す
ることなく、積層体３の内部で積層された内部電極５、
６とセラミック層７との界面に偏析する。このため、Ｌ
ａやＣｒの元素がセラミック層７を介して対向する内部
電極５、６の連続性に影響を与えないため、所得する静
電容量が低減されない。

【００１４】導電ペーストに添加するＬａ及びＣｒの少
なくとも何れかの酸化物粉末がＮｉ粉末の１００重量％
に対して０．５重量％に満たないと、所望の燒結抑制効
果が得られない。他方、Ｌａ及びＣｒの少なくとも何れ
かの酸化物粉末がＮｉ粉末の１００重量％に対して３．
０重量％を越えると、燒結抑制効果が大きすぎ、全体の
燒結性に影響を与え、所望の静電容量や電気的特性が得
られなくなる。

【００１５】また、導電ペーストに添加するＬａ及びＣ
ｒの少なくとも何れかの酸化物粉末の平均粒径が０．５
μｍ以下であると、焼成時におけるそれらの酸化物の反
応性が強すぎ、焼成後にＬａやＣｒの元素が内部電極
５、６の内部に留まって、セラミック層７との界面に偏
析しにくい。他方、導電ペーストに添加するＬａ及びＣ
ｒの少なくとも何れかの酸化物粉末の平均粒径が１．０
μｍ以上であると、焼成後にＬａやＣｒの元素が内部電
極５、６とセラミック層７との界面に偏析しやすいが、
内部電極５、６の表面に凹凸を生じやすく、内部電極
５、６の膜厚にむらが生じやすい。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。ま
ず、チタン酸バリウム等の誘電体セラミック原料粉末を
エタノール等の溶剤に溶解したアクリル等の有機バイン
ダに均一に分散し、セラミックスラリを調整する。この
セラミックスラリをポリエチレンテレフタレートフィル
ム等のベースフィルム上に１０μｍ以下の薄く均一な厚
さで塗布し、乾燥し、膜状のセラミックグリーンシート
を作る。その後、このセラミックグリーンシートを適当
な大きさに裁断する。

【００１７】次に、図４に示すように、この裁断したセ
ラミックグリーンシート１ａ、１ｂの上に、ニッケル、
銅、銀、パラジウム、銀パラジウム等の導電ペーストを
使用し、２種類の内部電極パターン２ａ、２ｂを各々印
刷する。例えば導電ペーストは、Ｎｉ粉末の１００重量
％に対して、バインダとしてエチルセルロース、アクリ
ル、ポリエステル等を３〜１２重量％、溶剤としてブチ
ルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、テル
ピネオール、エチルセロソルブ、炭化水素等を８０〜１
２０重量％、いわゆる共材としてチタン酸バリウム、酸
化バリウム、酸化チタン等の粉末を５〜３０重量％、Ｌ
ａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の少なくとも何れかの粉末を０．５
〜３重量％添加し、均一に混合、分散したものを使用す
る。Ｌａ ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の少なくとも何れかの粉末
は、平均粒径０．５〜１．０μｍのものを使用する。

【００１８】このようなＮｉペースト等の導電ペースト
を使用し、セラミックグリーンシート１ａ、１ｂの上に
厚さ１．〜３．０μｍの内部電極パターン２ａ、２ｂを
各々印刷する。このような内部電極パターン２ａ、２ｂ
が印刷されたセラミックグリーンシート１ａ、１ｂを、
図４に示すように交互に積み重ね、さらにその両側に内
部電極パターン２ａ、２ｂが印刷されてないセラミック
グリーンシート１、１、いわゆるダミーシートを積み重
ね、これらを圧着し、積層体を得る。さらに、この積層
体を縦横に裁断し、個々のチップ状の積層体に分割す
る。その後、これらの積層体を焼成することで、図３に
示すような層構造を有する焼成済みの積層体３を得る。

【００１９】図３に示すように、積層体３は内部電極
５、６を有する誘電体からなるセラミック層７、７…が
積層され、さらにその両側に内部電極５、６が形成され
てないセラミック層７、７…が各々複数層積み重ねられ
たものである。このような積層体３は、セラミック層７
を介して対向している各内部電極５、６が、積層体３の
両端面に交互に導出されている。

【００２０】図１に示すように、内部電極５、６が各々
導出している積層体３の両端にＣｕペーストなどの導電
ペーストが塗布され、これが焼き付けられる。さらにそ
の導電膜上にＮｉメッキと、Ｓｎ或は半田メッキが施さ
れ、外部電極２、２が形成される。これにより、積層セ
ラミックコンデンサが完成する。

【００２１】前記のような積層体３の焼成工程におい
て、導電ペーストに添加したＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂Ｏ₃は、導
電ペーストに添加したいわゆる共材と同様に、導電ペー
スト中のＮｉ等の金属成分の燒結を抑制するが、共材よ
り効果の大きい燒結抑制剤として作用する。その結果、
Ｎｉ等の金属成分が酸化せずに、セラミック層７とは別
の金属粒子として残り、内部電極５、６が形成される。

【００２２】そしてＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂Ｏ₃の粒子は、前記
焼成中にＮｉ等の金属元素と反応せずに、ＬａやＣｒの
元素がＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂Ｏ₃等の酸化物の状態で内部電極
５、６の表面へと析出する。その結果、図２に示すよう
に、ＬａやＣｒの元素は、内部電極５、６とその周囲の
セラミック層７との界面に析出する。このように、焼成
後の積層体において、ＬａやＣｒの元素は内部電極５、
６の中に残らず、内部電極５、６とセラミック層７との
界面に析出するため、内部電極５、６の連続性等に影響
を与えず、取得出来る静電容量やその他の電気特性に影
響を与えない。

【００２３】図２は、出来上がった積層セラミックコン
デンサをアクリル系樹脂に埋め込み、保持した状態でセ
ラミック層７の積層方向と直交する方向に研磨し、その
断面を露出させて光学顕微鏡により観察して得られた顕
微鏡写真を模式的に示したものである。丁度図１のＡ部
分の拡大図に当たる。図２に示すように、セラミック層
７の間に扁平な導体粒子が概ね１個ずつセラミック層７
との界面方向に一列に連なって内部電極５、６が形成さ
れている。しかしこの内部電極５、６は全ての部分で完
全に連なっているものではなく、所々に島状に導体膜が
存在しない間隙部９が形成されている。この内部電極
５、６とその周囲のセラミック層７との界面には、Ｌａ
やＣｒ等の元素１１が析出している。

【００２４】

【実施例】次に、本発明のより具体的な実施例とそれら
に対する比較例について説明する。（実施例）チタン酸バリウム等の誘電体セラミック原料
粉末をエタノール等の溶剤に溶解したアクリル等の有機
バインダに均一に分散したセラミックスラリを作り、こ
れをポリエチレンテレフタレートフィルム等のベースフ
ィルム上に１０μｍの薄く均一な厚さで塗布し、乾燥
し、膜状のセラミックグリーンシートを作った。その
後、このセラミックグリーンシートをベースフィルムか
ら剥離し、１５０ｍｍ角のセラミックグリーンシートを
複数枚作った。

【００２５】他方、Ｎｉ粉末の１００重量％に対して、
バインダとしてエチルセルロースを８重量％、溶剤とし
てテルピネオールを１００重量％、いわゆる共材として
チタン酸バリウム粉末を１０重量％、Ｌａ₂Ｏ₃を０．５
重量％添加し、均一に混合、分散し、導電ペーストを調
整した。このＮｉペーストを使用し、スクリーン印刷機
により各々のセラミックグリーンシートに図４に示すよ
うな内部電極パターン１ａ、１ｂを各々形成した。この
ような内部電極パターンが印刷されたセラミックグリー
ンシートを交互に所定枚数積み重ね、その上下に内部電
極パターンが印刷されていないセラミックグリーンシー
ト、いわゆるダミーシートを積み重ね、合計３０枚のセ
ラミックグリーンシートを積層した。この積層体を積層
方向に１２０℃の温度下において２００ｔの圧力で加圧
して圧着し、積層体を得た。

【００２６】この積層体を、５．３ｍｍ×５．０ｍｍの
大きさに裁断し、この積層体を１３２０℃の温度で焼成
し、図３に示すような焼成済の積層体３を得た。さら
に、この焼成済みの積層体３の両端部にＣｕペーストを
塗布し、これを焼き付けた。その後、チップを電解バレ
ルメッキ槽に入れて、Ａｇ膜をメッキ処理し、同Ａｇ膜
上にＮｉメッキ及びＳｎメッキ膜を順次施した。これに
より、外部電極２、２を形成し、図１に示すような積層
セラミックコンデンサを得た。

【００２７】この積層セラミックコンデンサの５０個を
アクリル系樹脂に埋め込み、保持した状態で、内部電極
５、６の積層方向と直交する方向に研磨し、内部電極
５、６とセラミック層７の積層状態を光学顕微鏡により
観察した。その結果、図２に示したように、内部電極
５、６とセラミック層７との界面にＬａ元素の偏析が見
られた。

【００２８】この積層セラミックコンデンサの両端の外
部電極２、２の間で静電容量を測定したところ、１４０
０ｐＦ以上であった。５０個の積層セラミックコンデン
サを樹脂に埋め込み、研磨し、その研磨面を光学顕微鏡
で観察することにより、積層体３の内部のセラミック層
７の剥離、いわゆるデラミネーションの有無を調べたと
ころ、クラックやデラミネーションの発生は認められな
かった。

【００２９】この結果を表１の試料３の欄に示した。表
１において、ＬａとＣｒの酸化物及び共材は、それぞれ
導電ペーストのＮｉ粉末１００重量部に対して添加した
重量比（ｗｔ％）で示している。静電容量は外部電極
２、２の間で測定された静電容量値が１４００ｐＦ以上
であったものを○で、１４００ｐＦに満たないものを×
で示している。また、デラミネーションの発生数は、試
料５０個中における数を示している。

【００３０】これと同様にして、表１に示すように、２
３種類の積層セラミックコンデンサを製造し、前記試料
３を含め、それぞれ試料１〜２３とした。導電ペースト
に添加したＬａ₂Ｏ₃、Ｃｒ₂Ｏ₃及び共材以外は、Ｎｉ粉
末の１００重量％に対してエチルセルロースを８重量
％、テルピネオールを１００重量％を一定とした。ま
た、試料２０は共材をＮｉ粉末の１００重量％に対して
２０重量％添加したが、それ以外の試料では、何れも共
材をＮｉ粉末の１００重量％に対して１０重量％添加し
た。

【００３１】

【表１】

【００３２】表１から明らかな通り、導電ペーストのＮ
ｉ粉末の１００重量部に対して、Ｌａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃
の何れかを０．５〜３重量％を添加した導電ペーストを
使用して作られた積層セラミックコンデンサである試料
３〜７、試料１２〜１７及び試料２１〜２３では、何れ
も１４００ｐＦ以上の静電容量を得ることができた。ま
た、積層体内部のデラミネーションの発生も無かった。
なお、これらの積層セラミックコンデンサを樹脂に埋め
込んで研磨し、内部電極を光学顕微鏡で拡大観察したと
ころ、内部電極とセラミック層との界面にＬａ及びＣｒ
の何れかの元素の偏析が見られた。

【００３３】これに対し、導電ペーストのＮｉ粉末の１
００重量部に対して、Ｌａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の少なくと
も何れかの添加量が０．５重量％未満の試料１、２、１
０、１１では、何れも１４００ｐＦ以上の静電容量を得
ることができたが、積層体内部のデラミネーションの発
生が高い頻度で見られた。

【００３４】また、導電ペーストのＮｉ粉末の１００重
量部に対して、Ｌａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の何れかの添加量
が３重量％を越える試料８、９、１８，１９では、何れ
も積層体内部のデラミネーションの発生は無かったが、
１４００ｐＦ以上の静電容量を得ることができなかっ
た。導電ペーストにＬａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の何れも添加
せず、導電ペーストのＮｉ粉末の１００重量部に対して
共材を他の試料の倍である２０重量％添加した試料２０
でも、積層体内部のデラミネーションの発生は無かった
が、１４００ｐＦ以上の静電容量を得ることができなか
った。尚、本実施例では素体を焼成した後に外部電極を
焼き付けしたが、本発明ではこれに限らず、素体と外部
電極を同時に焼成しても同様の効果を得ることができ
る。

【００３５】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明による積層セ
ラミックコンデンサでは、内部電極５、６を形成するた
めの導電ペーストに、Ｌａ₂Ｏ₃及びＣｒ₂Ｏ₃の少なくと
も何れかを添加することにより、積層体３を焼成する際
の内部電極５、６の焼成抑制効果が得られ、焼成時のデ
ラミネーションの発生を有効に防止することができる。
しかも、導電ペーストに添加したＬａ₂Ｏ₃やＣｒ₂Ｏ
₃は、積層体３の焼成の後は、内部電極５、６とセラミ
ック層７との界面に偏析するため、内部電極５、６の導
体組織の連続性を損なわない。そのため、所要の電気的
特性を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による積層セラミックコンデンサの例を
示す一部切欠斜視図である。

【図２】同積層セラミックコンデンサの図１のＡ部を示
す要部拡大断面図である。

【図３】同積層セラミックコンデンサの例の積層体の各
層を分離して示した分解斜視図である。

【図４】積層セラミックコンデンサを製造するためのセ
ラミックグリーンシートの積層状態を示す各層の分離斜
視図である。

【符号の説明】

２外部電極３積層体５内部電極６内部電極７セラミック層９間隙部１１ＬａまたはＣｒの元素

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミック層（７）と内部電極（５）、
（６）とが交互に積層された積層体（３）と、この積層
体（３）の端部に設けられた外部電極（２）、（２）と
を有し、前記内部電極（５）、（６）がセラミック層
（７）の互いに対向する少なくとも一対の縁の何れか一
方に各々達していることにより、積層体（３）の対向す
る端面に内部電極（５）、（６）が各々導出され、同積
層体（３）の端面に導出された内部電極（５）、（６）
が前記外部電極（２）、（２）に各々接続されている積
層セラミックコンデンサにおいて、前記セラミック層
（７）を介して積層体（３）の内部で対向する内部電極
（５）、（６）にＬａまたはＣｒの少なくとも何れかの
元素（１１）が含んでいることを特徴とする積層セラミ
ックコンデンサ。
【請求項２】ＬａまたはＣｒの少なくとも何れかの元
素（１１）が内部電極（５）、（６）とセラミック層
（７）との界面に偏析していることを特徴とする請求項
１に記載の積層セラミックコンデンサ。
【請求項３】セラミック層（７）を形成するためのセ
ラミックグリーンシート（１）、（１ａ）、（１ｂ）を
得る工程と、これらのセラミックグリーンシート（１
ａ）、（１ｂ）の一部に導電ペーストを使用して内部電
極パターン（２ａ）、（２ｂ）を印刷する工程と、セラ
ミックグリーンシート（１）、（１ａ）、（１ｂ）を所
定の順序で積層する工程と、積層したセラミックグリー
ンシート（１）、（１ａ）、（１ｂ）を裁断する行程
と、セラミックグリーンシート（１）、（１ａ）、（１
ｂ）の積層体を焼成し、内部電極（５）、（６）を有す
る焼成済みの積層体（３）を得る工程と、積層体（３）
の内部電極（５）、（６）が導出された端部に外部電極
（２）、（２）を形成する行程とを有する積層セラミッ
クコンデンサの製造方法において、内部電極（５）、
（６）を形成するための導電ペーストは、Ｎｉ粉末の１
００重量％に対して０．５〜３．０重量％のＬａ及びＣ
ｒの少なくとも何れかの酸化物粉末を含有していること
を特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項４】導電ペーストに添加するＬａ及びＣｒの
少なくとも何れかの酸化物粉末の平均粒径が０．５〜
１．０μｍであることを特徴とする請求項３に記載の積
層セラミックコンデンサの製造方法。