JP2000127034A - マウント板へのウエ−ハ接着方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接着剤を塗布したウエ−ハをマウント板に接
着する際、ウエ−ハとマウント板間に空気を取り込まな
いようにすると共にウエ−ハのエッジまで確実にマウン
ト板に接着できるようにする。 【解決手段】 中央が下方に突出する中空のパッド(12)
内に加圧流体を導入する。このパッド(12)により、パッ
ド内をほぼ定圧に保持しつつウエ−ハ（３）を中央から
外周に向かって徐々にマウント板（１）に押しつける。
ウエ−ハ（３）の全面にパッド(12)が接触したら、パッ
ド内の加圧流体を流出させ、パッドの背面にウエ−ハの
全面を覆う大きさの案内板(23)を当て、パッド(12)と案
内板(23)でウエ−ハを押圧する。これにより、ウエ−ハ
のエッジまで確実にマウント板に接着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエ−ハ等
のウエ−ハを平滑に研磨する際、該ウエ−ハを支持する
マウント板に均質にウエ−ハを接着するようにしたマウ
ント板へのウエ−ハ接着方法及び装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造において、ウエ−ハを研磨す
る際、マウント板にウエ−ハを接着剤で貼り付けて研磨
処理を行う方法では、ウエ−ハの全面をきわめて均一に
貼り付けることが要求されている。そのため、ウエ−ハ
に薄く接着剤を塗布し、この接着剤塗布面側を下にして
マウント板に載置し、上面からウエ−ハを押圧する方法
が採られているが、この際に、ウエ−ハとマウント板間
に空気等を取り込むと高い平坦度が得られなくなるの
で、空気を除去する方法としてウエ−ハの中央部から周
辺部にわたって徐々にスタンプで押圧する方法が用いら
れている。

【０００３】上述のようにスタンプで押圧する場合、押
圧面の中央が下方に突出し周辺が弧状にわん曲する略球
状面のパッドを用い、該パッド自体をシリコンゴム等の
弾性材料で中空若しくは中実に構成している。中空のパ
ッドは、押圧の開始から終了までほぼ定圧となるようパ
ッド内に導入する空気量を調整し、ウエ−ハの中心から
周辺に向けて徐々に空気が抜けるようにしているので、
空気の取り込みを生じにくいが、押圧を終了したときパ
ッドの押圧面の中央部が反転して中空体の内方に凹んで
しまい、スタンプが上昇するとき押圧面の中央部が真空
状態になり、ウエ−ハを上方へ引き上げる方向に力が作
用して該ウエ−ハの貼付状態に悪影響を与えることがあ
った。

【０００４】また、ウエ−ハのエッジを押圧するとき、
パッドの押圧面の周辺部のわん曲が大きく、この周辺部
がウエ−ハエッジから外れた状態で該エッジを押すよう
になるため、充分にウエ−ハエッジを押圧することがで
きないことがあった。そして、ウエ−ハのエッジの押圧
が不確実になると、該エッジはマウント板から微少量浮
き上ったような状態になるから、研磨によって該エッジ
は過研磨され、ダレたようになってしまう。そのような
欠点は、本件出願人が先に提案した実公平７−９３７５
号公報に記載されているように、スタンプのパッドの基
部にウエ−ハのエッジに直接的に押圧力が作用するよう
起立壁を形成することにより改良されるが、ウエ−ハの
口径が３００mm若しくはそれ以上というように大口径に
なると、エッジに沿って確実に押圧することは一層むず
かしくなるおそれがあった。

【０００５】中実のパッドの場合、ウエ−ハの中心部か
らエッジまで確実にウエ−ハを押圧することができる
が、押圧面が中空のパッドのように徐々にウエ−ハに接
触して変形するのではなく、瞬時にウエ−ハを押圧する
ようになっているため、ウエ−ハとマウント板間の空気
の除去が不充分になることが多い。そのため、あたかも
微粒子（パ−ティクル）が混入した場合と同じように、
接着剤層中に気泡が取り込まれ、研磨により高い平坦度
のウエ−ハを得ることはむずかしい。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決課題は、
上記のように接着剤を塗布したウエ−ハをマウント板に
載置し、該ウエ−ハをスタンプで押圧してマウント板に
接着する際、ウエ−ハとマウント板間に空気を取り込む
ことがなく、かつウエ−ハのエッジまで確実に押圧して
マウント板にウエ−ハをきわめて均一な状態に接着でき
るようにした接着方法及び装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、接着剤
を塗布したウエ−ハをマウント板に載置し、該ウエ−ハ
を加圧流体が導入され中央が下方に突出する有弾性の中
空のパッドで押圧してマウント板に接着する方法におい
て、上記加圧流体によりパッド内を定圧に保持しつつウ
エ−ハの中央から外周に向けて徐々にパッドを接触させ
該ウエ−ハの全面にパッドが接触した後、パッド内の加
圧流体を流出して該パッドの背面を案内板で支持し、該
案内板と上記パッドにより上記ウエ−ハを押圧すること
を特徴とするマウント板へのウエ−ハ接着方法が提供さ
れ、上記課題が解決される。

【０００８】また本発明によれば、接着剤を塗布したウ
エ−ハをマウント板に載置し、該ウエ−ハを加圧流体が
導入され中央が下方に突出する有弾性の中空のパッドで
押圧してマウント板に接着する装置において、上記パッ
ドの内方にウエ−ハ全面を覆う大きさの案内板を設け、
上記ウエ−ハの全面に上記パッドが接触した際パッド内
の加圧流体を流出し該パッドの背面に上記案内板を当接
させてウエ−ハを押圧するようにしたことを特徴とする
マウント板へのウエ−ハ接着装置が提供され、上記課題
が解決される。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１には、マウント板（１）と、
該マウント板（１）に接着するための接着剤（２）を塗
布したウエ−ハ（３）と、該ウエ−ハを押圧する本発明
の接着装置をそれぞれ分離して示した一実施例が示され
ている。上記装置は、図示を省略したエアシリンダ−等
の流体圧シリンダ−やモ−タ−シリンダ−等の駆動手段
により昇降する軸（４）と、該軸（４）の先端を受け入
れる孔（５）を有し側面からボルト（６）で押え片
（７）を締着することにより該軸に取付けられるブラケ
ット（８）と、該ブラケット（８）にライナ−（９）を
介してボルト(10)で取付けられる取付枠(11)と、該取付
枠(11)の下面に取付けられるパッド(12)を有している。
なお、上記ブラケット（８）の適宜位置に複数設けた調
整ねじ(13)のねじ込み量を変え、該ねじの先端でライナ
−（９）とブラケット（８）間の間隔を変化させること
により上記取付枠(11)の取付角度を調整することができ
る。

【００１０】上記パッド(12)は、シリコンゴム等の有弾
性材料で中空に作られ、中央が下方に突出し周辺が弧状
にわん曲する略球状面の押圧面(14)を有し、該押圧面(1
4)部分の厚みは比較的厚く、例えば約１０〜２５mm、好
ましくは約１３〜２０mm程度に形成してあり、硬度の異
なる複数のパッドを用意して交換可能に形成すると一層
好ましい。該パッド(12)の周縁の起立壁(15)はその基端
部(16)が内方に屈曲して上記取付枠(11)に形成した受溝
(17)に嵌合し、該基端部(16)に形成した上部凹溝(18)に
取付枠(11)に設けた突条(19)が係合するようにしてあ
る。

【００１１】上記基端部(16)の上面に形成した上記上部
凹溝(18)に対向する該基端部の下面には下部凹溝(20)が
あり、該下部凹溝(20)に係合する係合縁(21)を有しその
内方に上記基端部(16)の内方先部を嵌合させる受溝(22)
を有する案内板(23)がボルト(27)・・・で上記取付枠(1
1)に取付けられている。

【００１２】上記案内板(23)は、上記のようにしてパッ
ド(12)の内方に設けられ、該パッド(12)に対向する面が
図においては平面であるが、中央が下方にゆるやかに突
出する略球状面に形成することもでき、またその外径は
押圧しようとするウエ−ハの全面を覆うよう該ウエ−ハ
（３）よりも少し大径に、例えば直径で数mm程度大きく
なるように形成するとよい。

【００１３】上記案内板(23)は、後記するようにマウン
ト板（１）上のウエ−ハ（３）の全面にパッド(12)が接
触した際、該パッド(12)の背面に当接する位置に設けら
れている。また、該パッド(12)と案内板(23)が当接する
際、パッドと案内板間に加圧流体の一部が封じ込まれな
いようにすると共に該パッドを加圧するときには該パッ
ドと案内板間に加圧流体が迅速に入り込んでパッドが素
早く復元するよう案内板(23)の下面には加圧流体を案内
板に沿って流すための条溝(24)・・・を縦横に形成して
あり、該案内板(23)の側面及び下面の条溝に連通する部
位には加圧流体が流通する流通口(25)・・・が開口して
いる。該流通口(25)の内端は、案内板(23)の背面に接続
した供給パイプ(26)に連通するよう複数本、半径方向に
延びている。

【００１４】なお、図４に示すように上記案内板(23)の
下面に上記条溝(24)・・・を連通するように環状溝(28)
を形成し、該環状溝に流通口(25)を開口させてよいし、
案内板の側面に開口する流通口に連通するように該案内
板の側面に環状溝を形成し、該環状溝に連通するよう案
内板の下面に開口する縦溝を案内板の側面に複数形成し
てもよい（図示略）。また、図において、上記案内板(2
3)は、パッド(12)を取付枠(11)に保持する部材を兼ねて
いるが、パッド保持部材（図示略）とパッドの背面に当
接する案内板を別部材として形成してもよく、またパッ
ドを取付枠に保持する構造は図に示す他、適宜の構造に
することができる。

【００１５】上記案内板(23)に接続した供給パイプ(26)
には、図示を省いたエアコンプレッサ−等の加圧流体供
給源や圧力センサ−、レリ−フ弁、ストップバルブ等を
含む加圧流体調整装置（図示略）が接続され、ウエ−ハ
を押圧する際上記パッド内がほぼ定圧になるよう空気等
の加圧流体の流入、流出を調整し、ウエ−ハの全面にパ
ッドが接触したら、該パッド内の加圧流体を上記流通口
(25)、供給パイプ(26)を通してパッドの外方に流出する
よう制御している。

【００１６】接着剤（２）を塗布したウエ−ハ（３）
は、搬送ロボットその他の適宜の手段によりマウント板
（１）上に載置され、上記接着装置は軸（４）の中心軸
が該ウエ−ハ（３）の中心と一致する位置に対向する。
そして、上記軸（４）を駆動手段で降下させると、パッ
ド(12)内は加圧流体により定圧に加圧された状態でウエ
−ハ（３）の中央から外周に向けて徐々に接触し、該ウ
エ−ハをマウント板（１）に押圧して行く。ウエ−ハ
（３）の全面にパッド(12)が接触したら、図２に示すよ
うにパッド(12)内の加圧流体を流出させ、該パッド(12)
の背面に案内板(23)を当接し、その状態で上記ウエ−ハ
（３）を押圧する。その後、駆動手段で上記軸（４）を
上昇し、加圧流体を導入してパッド(12)を復元させ、図
１に示す状態とする。

【００１７】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、加圧流
体によりパッド内を定圧に保持しつつウエ−ハの中央か
ら外周に向けて徐々にパッドを接触させ、ウエ−ハの全
面にパッドが接触した後、該パッド内の加圧流体を流出
して該パッドの背面を案内板で支持し、該案内板とパッ
ドによりウエ−ハをマウント板に押圧するようにしたか
ら、ウエ−ハとマウント板間の空気は該ウエ−ハの周辺
部から徐々に排出されてウエ−ハの接着剤層中に取り込
まれることがなく、その上ウエ−ハの全面を均一に押圧
した後、ウエ−ハの全面を覆う大きさの案内板とパッド
によりウエ−ハの全面はさらに強く押圧されウエ−ハの
エッジまで確実に押圧することができ、従来のようにエ
ッジの押圧が不充分になるおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】接着前のウエ−ハ及びマウント板の関係と本発
明の一実施例を示す断面図。

【図２】ウエ−ハの全面を押圧している状態の断面図。

【図３】案内板の一実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は底面図、（Ｃ）は一部の拡大断面図。

【図４】案内板の他の実施例を示し、（Ａ）は一部の拡
大底面図、（Ｂ）は一部の拡大断面図。

【符号の説明】

１ マウント板 ３ ウエ−ハ ８ ブラケット １１ 取付枠 １２ パッド ２３ 案内板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 接着剤を塗布したウエ−ハをマウント板
   に載置し、該ウエ−ハを加圧流体が導入され中央が下方
   に突出する有弾性の中空のパッドで押圧してマウント板
   に接着する方法において、上記加圧流体によりパッド内
   を定圧に保持しつつウエ−ハの中央から外周に向けて徐
   々にパッドを接触させ該ウエ−ハの全面にパッドが接触
   した後、パッド内の加圧流体を流出して該パッドの背面
   を案内板で支持し、該案内板と上記パッドにより上記ウ
   エ−ハを押圧することを特徴とするマウント板へのウエ
   −ハ接着方法。
2. 【請求項２】 接着剤を塗布したウエ−ハをマウント板
   に載置し、該ウエ−ハを加圧流体が導入され中央が下方
   に突出する有弾性の中空のパッドで押圧してマウント板
   に接着する装置において、上記パッドの内方にウエ−ハ
   全面を覆う大きさの案内板を設け、上記ウエ−ハの全面
   に上記パッドが接触した際パッド内の加圧流体を流出し
   該パッドの背面に上記案内板を当接させてウエ−ハを押
   圧するようにしたことを特徴とするマウント板へのウエ
   −ハ接着装置。
3. 【請求項３】 上記案内板の表面には加圧流体が流通す
   るよう条溝が形成されている請求項２に記載のマウント
   板へのウエ−ハ接着装置。
4. 【請求項４】 上記案内板の表面は、平面である請求項
   ２に記載のマウント板へのウエ−ハ接着装置。
5. 【請求項５】 上記案内板の表面は、略球状面である請
   求項２に記載のマウント板へのウエ−ハ接着装置。