JP2000039716A - Positive type visible light sensitive resin composition and its use - Google Patents
Positive type visible light sensitive resin composition and its useInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、特定の安全光で用
いる特異な構造を有するピロール化合物の光増感剤を含
有してなるポジ型可視光感光性樹脂組成物に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positive visible light-sensitive resin composition containing a photosensitizer of a pyrrole compound having a peculiar structure for use with a specific safety light.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、光反応を用いた情報、あるいは画
像記録の分野で、従来のフィルム原稿等を用いた紫外線
による記録方法に代わり、コンピューターによって電子
編集された原稿を、そのまま、高出力レーザーを用いて
直接出力し、記録する方法が検討されている。この方法
は、レーザーによる直接書き込みにより、記録、画像形
成工程が、大幅に簡略化できるという利点を持つ。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of information using light reaction or image recording, instead of the conventional recording method using ultraviolet light using a film original or the like, an electronically edited original by a computer is directly used as a high output laser. A method of directly outputting and recording the data by using is being studied. This method has the advantage that the recording and image forming steps can be greatly simplified by direct writing with a laser.
【0003】現在、一般的に使用されている高出力で安
定なレーザー光源は、可視領域にその出力波長を有する
ものが多い。具体的には、波長488nmおよび51
4.5nmに安定な発振線を持つアルゴンレーザー、あ
るいは第二高調波として532nmに輝線を持つYAG
レーザー等が汎用されている。そのため、それらの波長
に対して高感度な化合物が望まれているが、従来使用さ
れてきた紫外線用の感光剤では、可視領域での感度が低
いため使用できなかった。また、ピリリウム塩、または
チオピリリウム塩類等の添加で、可視部での感度の向上
は可能ではあるが、その感光層の保存安定性が低く、使
用するのが困難であった。At present, many high-power and stable laser light sources generally used have an output wavelength in the visible region. Specifically, the wavelength 488 nm and 51
Argon laser with stable oscillation line at 4.5 nm or YAG with emission line at 532 nm as second harmonic
Lasers and the like are widely used. Therefore, compounds having high sensitivity to these wavelengths have been desired, but conventionally used ultraviolet light-sensitive agents cannot be used due to low sensitivity in the visible region. Although the addition of a pyrylium salt or a thiopyrylium salt can improve the sensitivity in the visible region, the storage stability of the photosensitive layer is low and it has been difficult to use the photosensitive layer.
【0004】可視領域に感光性を有する化合物として、
例えば、7−ジエチルアミノ−3−ベンゾチアゾイルク
マリン(慣用名:クマリン−6)、あるいは、ビス〔3
−(7−ジエチルアミノクマリル)〕ケトン(慣用名:
ケトクマリン)が知られているが、これらは、最大吸収
波長が450nm前後にあるために、アルゴンレーザー
の488nmよりは短波長であり、感度が不十分であ
る。また、特開平4−18088号公報に記載の4−置
換−3−ベンゾチアゾイルクマリン化合物は、アルゴン
レーザーの488nmには高感光性を示すものの、51
4.5nmあるいはYAGレーザーの第二高調波である
532nmには吸収をほとんど持たず、感度向上の余地
を残していた。As compounds having photosensitivity in the visible region,
For example, 7-diethylamino-3-benzothiazoylcoumarin (common name: coumarin-6) or bis [3
-(7-diethylaminocoumaryl)] ketone (common name:
Ketocoumarin) is known, but since these have a maximum absorption wavelength of about 450 nm, they have a shorter wavelength than 488 nm of an argon laser and have insufficient sensitivity. Further, the 4-substituted-3-benzothiazoyl coumarin compound described in JP-A-4-18088 has high sensitivity at 488 nm of an argon laser,
At 4.5 nm or at 532 nm, which is the second harmonic of the YAG laser, there was almost no absorption, leaving room for improvement in sensitivity.
【0005】また、上記のような可視光線で反応させる
ポジ型可視光感光性樹脂組成物は、このものを取り扱う
場合には、暗赤色の着色剤を外管にコーティングもしく
は暗赤色のフィルムを外管に巻き付けることにより着色
した蛍光灯等の電灯を安全光(作業灯)として使用され
ている。しかしながら、このような暗赤色の安全光の環
境下では、塗布後の塗膜状態の検査が容易ではないこ
と、塗装装置、照射装置、輸送装置等の検査が容易でな
いことなどから安全作業性、作業効率、製品品質安定性
等が劣るといった問題点があった。また、着色しない蛍
光灯を安全灯として使用した場合には作業環境は明るく
問題ないが、感光性樹脂によっては感光が必要のない箇
所まで感光する恐れがあり問題となる。[0005] When handling the positive-type visible light-sensitive resin composition to be reacted with visible light as described above, a dark red colorant is coated on the outer tube or the dark red film is removed. An electric light such as a fluorescent light colored by being wound around a tube is used as a safety light (work light). However, under such a dark red safety light environment, it is not easy to inspect the state of the coating film after application, and it is not easy to inspect the coating device, irradiation device, transport device, etc. There is a problem that work efficiency, product quality stability and the like are inferior. When a non-colored fluorescent lamp is used as a safety light, the working environment is bright and there is no problem.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、明るい安全
光の条件下で取り扱うことが可能な感度に優れたポジ型
可視光感光性樹脂組成物を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a positive type visible light photosensitive resin composition which can be handled under bright safe light conditions and has excellent sensitivity.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記した
問題点を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の
安全光で使用する特定の可視光感光性樹脂組成物を開発
することにより従来からの問題点を解決することを見出
し、本発明を完成するに至った。Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have developed a specific visible light photosensitive resin composition used with a specific safety light. As a result, they have found that the conventional problems can be solved, and have completed the present invention.
【0008】即ち、本発明は、 1、500〜620nmの範囲から選ばれた最大波長を
有する比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用する
ポジ型可視光感光性樹脂組成物であり、該組成物がポジ
型可視光感光性樹脂及び下記一般式(1)で表されるピ
ロール化合物の光増感剤とを含有したポジ型可視光感光
樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光
被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の±30nmの範
囲において0.5以下であることを特徴とするポジ型可
視光感光性樹脂組成物、That is, the present invention relates to a positive-type visible light-sensitive resin composition for use in an environment in which a safety light having a maximum wavelength selected from the range of 1,500 to 620 nm and a high relative luminous efficiency is used. The composition is a positive-type visible light-sensitive resin composition containing a positive-type visible light-sensitive resin and a photosensitizer of a pyrrole compound represented by the following general formula (1), and formed from the composition. The positive visible light-sensitive resin composition, wherein the absorbance of the unexposed film is 0.5 or less in a range of ± 30 nm of the maximum wavelength of the safe light,
【0009】[0009]
【化2】 Embedded image
【0010】〔式中、R1は水素原子、炭素数20まで
のアルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアル
キル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アリール
基、アラルキル基またはアルケニル基を示し、R2〜R
10はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ
基、シアノ基、ヒドロキシ基、アミノ基、アミノカルボ
ニル基、カルボキシル基、スルホン酸基、炭素数20ま
でのアルキル基、ハロゲノアルキル基、アルコキシアル
キル基、アルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アシ
ル基、アルコキシカルボニル基、アルキルアミノカルボ
ニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカル
ボニルアミノ基、アリール基、アラルキル基、アリール
カルボニルアミノ基、アリールアミノカルボニル基、ア
リールオキシ基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ
アリール基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルケ
ニルオキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル
基、アルコキシカルボニルアルコキシカルボニル基、ア
ルキルカルボニルアルコキシカルボニル基、モノ(ヒド
ロキシアルキル)アミノカルボニル基、ジ(ヒドロキシ
アルキル)アミノカルボニル基、モノ(アルコキシアル
キル)アミノカルボニル基、ジ(アルコキシアルキル)
アミノカルボニル基またはアルケニル基を表す〕[0010] wherein, R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group having up to 20 carbon atoms, a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group, an alkoxycarbonylalkyl group, an aryl group, an aralkyl group or an alkenyl group, R 2 to R
10 is each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxy group, an amino group, an aminocarbonyl group, a carboxyl group, a sulfonic acid group, an alkyl group having up to 20 carbon atoms, a halogenoalkyl group, an alkoxyalkyl group , Alkoxy group, alkoxyalkoxy group, acyl group, alkoxycarbonyl group, alkylaminocarbonyl group, dialkylaminocarbonyl group, alkylcarbonylamino group, aryl group, aralkyl group, arylcarbonylamino group, arylaminocarbonyl group, aryloxy group, Aryloxycarbonyl, heteroaryl, alkylthio, arylthio, alkenyloxycarbonyl, aralkyloxycarbonyl, alkoxycarbonylalkoxycarbonyl, alkylcarbonyl Alkoxycarbonyl group, a mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, di (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, mono (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group, di (alkoxyalkyl)
Represents an aminocarbonyl group or an alkenyl group]
【0011】2、安全光がナトリウムを主成分とする放
電ランプ(光波長が589nmのD線を主体とするも
の)によるものであることを特徴とする上記のポジ型可
視光感光性樹脂組成物、 3、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物と溶剤とを含
有してなるポジ型可視光感光性材料用組成物、 4、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物を基材上に含
有してなるポジ型可視光感光材料に関するものである。(2) The positive visible light-sensitive resin composition as described above, wherein the safety light is generated by a discharge lamp containing sodium as a main component (mainly a D line having a light wavelength of 589 nm). 3, a composition for a positive-type visible light-sensitive material comprising the above-described positive-type visible light-sensitive resin composition and a solvent; And a positive visible light-sensitive material.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】本発明は可視光に対して感光性に
優れた感光性樹脂組成物であり、本発明で使用する安全
光が、本発明の可視光感光性樹脂組成物に対して光反応
を起こさない安全光であるとともに、使用する安全光が
人の比視感度の高い領域であることから従来のものと比
較して同一照明光強度において非常に明るく感じること
により安全作業性、作業効率、製品の品質安定性等に優
れた効果を発揮する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention is a photosensitive resin composition having excellent photosensitivity to visible light, and the safe light used in the present invention is not sensitive to the visible light photosensitive resin composition of the present invention. In addition to the safety light that does not cause a light reaction, the safety light to be used is a region with high relative luminous efficiency of human beings, so it feels very bright at the same illumination light intensity compared to the conventional one, so that safe workability, It has excellent effects on work efficiency, product quality stability, etc.
【0013】なお、本発明で言う「ポジ型可視光感光性
材料用組成物」とは、例えば、塗料、インキ、接着剤、
刷版材、レジスト材及びこれらのものから形成される未
感光被膜等を意味するものである。The term "composition for positive-type visible light-sensitive material" used in the present invention includes, for example, paints, inks, adhesives,
It means a printing plate material, a resist material, and a non-photosensitive film formed from these materials.
【0014】また、従来の安全光は蛍光灯を赤色に着色
したものが使用されているが、蛍光灯の発光スペクトル
は紫外光〜可視光の広い範囲に及ぶ波長領域(図5)を
持つため、光反応を必要としない可視光感光性樹脂被膜
部までも反応させ、現像処理により鮮明なレジストパタ
ーンが形成できなくなる。このために照明光の強度を小
さくして対応しているので更に作業環境が暗くなるとい
った問題点がある。これに対して、本発明で使用する安
全光は、例えば、ナトリウムランプのようにシャープな
波長を有することから上記の様な問題は解消される。Further, the conventional safety light is a fluorescent light in which a fluorescent lamp is colored red, but the emission spectrum of the fluorescent lamp has a wavelength range (FIG. 5) covering a wide range from ultraviolet light to visible light. In addition, even the visible light-sensitive resin coating portion that does not require a light reaction is reacted, and a clear resist pattern cannot be formed by the development process. For this reason, there is a problem that the working environment is further darkened since the intensity of the illumination light is reduced. On the other hand, the safety light used in the present invention has a sharp wavelength like a sodium lamp, for example, so that the above-mentioned problem is solved.
【0015】本発明で使用する安全光は、500〜62
0nm、好ましくは510〜600nmの範囲内に最大
波長を有する比視感度の大きい可視光線である。この安
全光は、例えばナトリウム等のガス中で放電させること
により上記した範囲の最大波長を有する光線を発する放
電ランプを使用して得ることができる。これらの中でも
ナトリウムランプはランプから放射される光が波長58
9nmの黄色のD線を主体としており、単色光であるた
め色収差が少なく物体をシャープに見せることができる
ので安全性、作業環境性等に優れる。図1に低圧ナトリ
ウムランプの分光分布の波長を示す。該ナトリウムラン
プの分光分布図に示すように、ナトリウムランプの最大
波長を持つD線以外に可視光硬化性樹脂組成物に悪影響
を及ぼさない程度に高エネルギー光線(低波長領域)を
有していても構わない。また、ナトリウムランプにフィ
ルターを施すことによりD線以外の高エネルギー線をカ
ットしたものも使用することができる。このように高エ
ネルギー線をカットしたナトリウムランプの分光分布を
図2に示す。The safety light used in the present invention is 500 to 62.
It is a visible light having a large relative luminous efficiency having a maximum wavelength within a range of 0 nm, preferably 510 to 600 nm. This safety light can be obtained, for example, by using a discharge lamp that emits light having a maximum wavelength in the above-described range by discharging in a gas such as sodium. Among these, the sodium lamp emits light having a wavelength of 58 nm.
It is mainly composed of a 9-nm yellow D line, and since it is monochromatic light, chromatic aberration is small and an object can be seen sharply, so that safety, work environment and the like are excellent. FIG. 1 shows the wavelength of the spectral distribution of the low-pressure sodium lamp. As shown in the spectral distribution diagram of the sodium lamp, other than the D-line having the maximum wavelength of the sodium lamp, the lamp has a high energy ray (low wavelength region) to such an extent that the visible light curable resin composition is not adversely affected. No problem. In addition, a filter in which a high-energy ray other than the D ray is cut by applying a filter to a sodium lamp can also be used. FIG. 2 shows the spectral distribution of the sodium lamp from which the high energy rays have been cut.
【0016】また、本発明で使用する安全光にはフィル
ターを使用することができる。該フィルターとしては、
例えば、「ファンタックFD−1081 スカーレッ
ト」、「ファンタックFC−1431 サンフラワー
イエロー」(以上、関西ペイント(株)社製、商標
名)、「リンテック ルミクールフィルムNO.190
5」(リンテック(株)社製、商標名)等が挙げられ
る。Further, a filter can be used for the safety light used in the present invention. As the filter,
For example, "Fantac FD-1081 Scarlet", "Fantac FC-1431 Sunflower"
Yellow (trade name, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.), Lintec Lumicool Film No. 190
5 "(trade name, manufactured by Lintec Corporation).
【0017】また、本発明で使用する安全光は、ナトリ
ウムランプのように光線が589nmのシャープな単色
光を使用することが好ましいが、最大波長が上記した範
囲内にある以外に紫外光、可視光、赤外光の波長範囲に
分布した波長を持つ安全光を使用しても構わない。但
し、この様な分布を持つ安全光を使用する場合には分布
した光線領域がポジ型可視光感光性樹脂組成物に対して
悪影響(感光)を及ぼさない安全な光の領域であること
が必要である。As the safety light used in the present invention, it is preferable to use a sharp monochromatic light having a light ray of 589 nm like a sodium lamp. Safety light having wavelengths distributed in the wavelength ranges of light and infrared light may be used. However, when using safety light having such a distribution, it is necessary that the distributed light beam region is a safe light region which does not adversely affect (photosensitize) the positive-type visible light photosensitive resin composition. It is.
【0018】このような安全な高エネルギー光線領域
(低波長領域)は、分布した光線のエネルギー強度とそ
の領域におけるポジ型可視光感光性樹脂組成物の吸光度
に関係し、光線のエネルギー強度が大きい場合はその組
成物の吸光度の小さいもの、光線のエネルギー強度が小
さい場合はその組成物の吸光度が前者のものよりも比較
的大きなものまで使用することができるので、これらを
考慮して該組成物に対して悪影響を及ぼさない程度に高
エネルギー光線領域を持つことができる。しかしなが
ら、安全光として最大波長を500〜620nmの範囲
に持つ通常の蛍光灯を使用したとしても、このものは5
00nm未満、特に400〜499nmに大きな光エネ
ルギー強度を持つため特に488nm又は532nm等
に発振線を有する可視光レーザーで感光させるポジ型可
視光感光性樹脂組成物の安全光として使用することがで
きない。Such a safe high-energy light region (low-wavelength region) is related to the energy intensity of the distributed light beam and the absorbance of the positive-type visible light-sensitive resin composition in the region, and the energy intensity of the light beam is large. In the case where the composition has a small absorbance, and in the case where the energy intensity of the light beam is small, the composition can be used in which the absorbance is relatively larger than that of the former, so that the composition is taken into consideration. Can have a high-energy ray region to such an extent that it does not adversely affect light. However, even if an ordinary fluorescent lamp having a maximum wavelength in the range of 500 to 620 nm is used as the safety light, it is still 5 mils.
Since it has a large light energy intensity of less than 00 nm, particularly 400 to 499 nm, it cannot be used as a safety light for a positive-type visible light photosensitive resin composition which is exposed to a visible light laser having an oscillation line at 488 nm or 532 nm.
【0019】本発明で使用する吸光度は、−log(I
/I0)の式で表される。但しIは透明基材の表面に感
光性樹脂組成物を塗布し、乾燥(溶剤を除去)を行った
被膜の透過光の強度、I0はブランク[試料(感光性樹
脂組成物)を塗布するための透明基材(例えば、ポリエ
チレンテレフタレートシート)]の透過光の強度を表
す。The absorbance used in the present invention is -log (I
/ I 0 ). Here, I is the intensity of transmitted light of the coating obtained by applying the photosensitive resin composition on the surface of the transparent substrate and drying (removing the solvent), and I 0 is a blank [sample (photosensitive resin composition) is applied. Of a transparent substrate (eg, a polyethylene terephthalate sheet) for transmission.
【0020】光が人間の目でどの程度明るく感じられる
かは、比視感度で表すことができる。比視感度は、JI
S Z8113の2005に定義されているように、特
定の観測条件において、ある波長λの単色放射が比較の
基準とする放射と等しい明るさであると判断された時
の、波長λの単色放射の放射輝度の相対値の逆数、通
常、λを変化させた時の最大値が1になるように規準化
したものと定義される。図3に可視光の波長領域である
380〜780nmの比視感度曲線を示す。図3におい
て縦軸は比視感度の最大値を100としてその比率を示
した。この曲線から従来の赤の波長領域である640〜
780nmでは比視感度が低く、人間の目には暗く感じ
られ、例えば、波長589nmと同じ明るさを感じさせ
るためには更に放射強度を強くしなければならないこと
が分かる。また、比視感度の最大値は約555nm(J
IS−Z8113 2008)である。How bright light is perceived by human eyes can be represented by relative luminous efficiency. The relative luminous efficiency is JI
As defined in SZ8113, 2005, under certain observation conditions, when it is determined that the monochromatic radiation of a certain wavelength λ has the same brightness as the radiation used as a reference for comparison, the monochromatic radiation of a wavelength λ is determined. It is defined as a value obtained by normalizing the reciprocal of the relative value of the radiance, usually, the maximum value when λ is changed to 1. FIG. 3 shows a relative luminous efficiency curve of 380 to 780 nm, which is a wavelength region of visible light. In FIG. 3, the vertical axis represents the ratio, with the maximum value of the relative luminous efficiency set to 100. From this curve, the conventional red wavelength range of 640 to
At 780 nm, the relative luminous efficiency is low, and it is perceived as dark by human eyes. For example, it can be seen that the radiation intensity must be further increased in order to feel the same brightness as the wavelength of 589 nm. The maximum value of relative luminous efficiency is about 555 nm (J
IS-Z8113 2008).
【0021】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物
は、ポジ型可視光感光性樹脂及び特異な構造を有するピ
ロール化合物の光増感剤とを含有したポジ型可視光感光
性樹脂組成物であって、その組成物から形成される未露
光被膜の吸光度が上記最大波長の範囲から選ばれた安全
光の最大波長の±30nmの範囲(−30nm〜+30
nm)、好ましくは±20nmの範囲(−20nm〜+
20nm)、更には±10nmの範囲(−10nm〜+
10nm)において0.5以下、好ましくは0.2以
下、更には0.1以下のものである。The positive visible light-sensitive resin composition of the present invention is a positive visible light-sensitive resin composition containing a positive visible light-sensitive resin and a photosensitizer of a pyrrole compound having a specific structure. Wherein the absorbance of the unexposed film formed from the composition is within a range of ± 30 nm (-30 nm to +30 nm) of the maximum wavelength of the safe light selected from the range of the maximum wavelength.
nm), preferably in the range of ± 20 nm (−20 nm to +
20 nm), and a range of ± 10 nm (−10 nm to +
(At 10 nm) is 0.5 or less, preferably 0.2 or less, and more preferably 0.1 or less.
【0022】一般式(1)で表されるピロール化合物の
光増感剤は、400〜700nmの可視光領域の光に、
特に、400〜600nmの光を吸収することにより励
起され、樹脂や、光酸発生剤と相互作用を有する化合物
である。ここで言う「相互作用」には、励起された光増
感剤から樹脂または光酸発生剤へのエネルギー移動や電
子移動が包含される。このことから、ここで使用する一
般式(1)で表されるピロール化合物は、光増感剤とし
て極めて有用な化合物である。The photosensitizer of the pyrrole compound represented by the general formula (1) can be used for light in a visible light region of 400 to 700 nm,
In particular, it is a compound that is excited by absorbing light of 400 to 600 nm and has an interaction with a resin or a photoacid generator. The term "interaction" as used herein includes energy transfer and electron transfer from the excited photosensitizer to the resin or photoacid generator. For this reason, the pyrrole compound represented by the general formula (1) used here is an extremely useful compound as a photosensitizer.
【0023】本発明の一般式(1)で表される化合物に
おいて、R1は水素原子、炭素数20までのアルキル
基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、ア
ルコキシカルボニルアルキル基、アリール基、アラルキ
ル基またはアルケニル基を示す。In the compound represented by the general formula (1) of the present invention, R 1 is a hydrogen atom, an alkyl group having up to 20 carbon atoms, a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group, an alkoxycarbonylalkyl group, an aryl group, an aralkyl group. Or an alkenyl group.
【0024】R1の具体例としては、水素原子;メチル
基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−
ブチル基、イソ−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチ
ル基、イソ−ペンチル基、n−ヘキシル基等のアルキル
基;ヒドロキシメチル基、2−ヒドロキシエチル基、2
−ヒドロキシプロピル基、3−ヒドロキシプロピル基、
2−ヒドロキシブチル基等のヒドロキシアルキル基;メ
トキシメチル基、2−メトキシエチル基、2−エトキシ
メチル基、2−エトキシエチル基、3−エトキシプロピ
ル基等のアルコキシアルキル基;メトキシカルボニルメ
チル、エトキシカルボニルメチル、2−エトキシカルボ
ニルエチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基フェ
ニル基、4−メチルフェニル、3−メチルフェニル、2
−メチルフェニル、2,4−ジメチルフェニル基等のア
リール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル
基;アリル基、2−ブテニル基、2−ペンテニル基等の
アルケニル基などが挙げられる。Specific examples of R 1 include a hydrogen atom; methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-
Alkyl groups such as butyl group, iso-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, iso-pentyl group, n-hexyl group; hydroxymethyl group, 2-hydroxyethyl group,
-Hydroxypropyl group, 3-hydroxypropyl group,
Hydroxyalkyl groups such as 2-hydroxybutyl group; alkoxyalkyl groups such as methoxymethyl group, 2-methoxyethyl group, 2-ethoxymethyl group, 2-ethoxyethyl group, 3-ethoxypropyl group; methoxycarbonylmethyl, ethoxycarbonyl Alkoxycarbonylalkyl groups such as methyl, 2-ethoxycarbonylethyl group, phenyl group, 4-methylphenyl, 3-methylphenyl,
Aryl groups such as -methylphenyl and 2,4-dimethylphenyl groups; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; alkenyl groups such as allyl group, 2-butenyl group and 2-pentenyl group.
【0025】また、一般式(1)において、R2〜R10
としては、例えば、水素原子;ニトロ基;シアノ基;ヒ
ドロキシ基;アミノ基;アミノカルボニル基;カルボキ
シル基;スルホン酸基;フッ素原子、塩素原子、臭素原
子等のハロゲン原子;メチル基、エチル基、n−プロピ
ル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、
t−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、n−
ヘキシル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、
シクロヘキシル基等のアルキル基;クロロメチル基、ジ
クロロメチル基、フルオロメチル基、トリフルオロメチ
ル基、ペンタフルオロエチル基、ノナフルオロブチル基
等のハロゲノアルキル基;メトキシエチル基、エトキシ
エチル基、イソプロピルオキシエチル基、3−メトキシ
プロピル基、2−メトキシブチル基等のアルコキシアル
キル基;メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、
イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、n−ペンチルオキ
シ基、n−ヘキシルオキシ基、n−オクチルオキシ基、
n−デシルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロ
ヘキシルオキシ基、4−メチルシクロヘキシルオキシ基
等のアルコキシ基;メトキシエトキシ基、エトキシエト
キシ基、3−メトキシプロポキシ基、3−(イソプロピ
ルオキシ)プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ基;In the general formula (1), R 2 to R 10
Examples thereof include a hydrogen atom; a nitro group; a cyano group; a hydroxy group; an amino group; an aminocarbonyl group; a carboxyl group; a sulfonic acid group; a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom; n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group,
t-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, n-
Hexyl group, n-octyl group, 2-ethylhexyl group,
Alkyl group such as cyclohexyl group; halogenoalkyl group such as chloromethyl group, dichloromethyl group, fluoromethyl group, trifluoromethyl group, pentafluoroethyl group, nonafluorobutyl group; methoxyethyl group, ethoxyethyl group, isopropyloxyethyl An alkoxyalkyl group such as a group, 3-methoxypropyl group or 2-methoxybutyl group; a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group,
Isopropoxy group, n-butoxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-octyloxy group,
alkoxy groups such as n-decyloxy group, cyclopentyloxy group, cyclohexyloxy group and 4-methylcyclohexyloxy group; alkoxyalkoxy groups such as methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, 3-methoxypropoxy group and 3- (isopropyloxy) propoxy group Group;
【0026】ホルミル基、アセチル基、エチルカルボニ
ル基、n−プロピルカルボニル基、イソプロピルカルボ
ニル基、イソブチルカルボニル基、t−ブチルカルボニ
ル基、イソペンチルカルボニル基、ベンジルカルボニル
基等のアシル基;メトキシカルボニル基、エトキシカル
ボニル基、n−ブトキシカルボニル基、n−ヘキシルオ
キシカルボニル基、n−オクチルオキシカルボニル基、
n−デシルオキシカルボニル基,シクロペンチルオキシ
カルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、4
−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基等のアルコ
キシカルボニル基;メチルアミノカルボニル基、n−ブ
チルアミノカルボニル基、n−ヘキシルアミノカルボニ
ル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、4−メチル
シクロヘキシルアミノカルボニル基等のアルキルアミノ
カルボニル基;ジメチルアミノカルボニル基、ジエチル
アミノカルボニル基、ジ−n−ブチルアミノカルボニル
基、ジ−n−ヘキシルアミノカルボニル基、ジ−n−オ
クチルアミノカルボニル基、N−イソアミル−N−メチ
ルアミノカルボニル基等のジアルキルアミノカルボニル
基;アセチルアミノ基、エチルカルボニルアミノ基、イ
ソブチルカルボニルアミノ基等のアルキルカルボニルア
ミノ基;Acyl groups such as formyl group, acetyl group, ethylcarbonyl group, n-propylcarbonyl group, isopropylcarbonyl group, isobutylcarbonyl group, t-butylcarbonyl group, isopentylcarbonyl group and benzylcarbonyl group; methoxycarbonyl group; Ethoxycarbonyl group, n-butoxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-octyloxycarbonyl group,
n-decyloxycarbonyl group, cyclopentyloxycarbonyl group, cyclohexyloxycarbonyl group, 4
Alkoxycarbonyl groups such as -methylcyclohexyloxycarbonyl group; alkylaminocarbonyl groups such as methylaminocarbonyl group, n-butylaminocarbonyl group, n-hexylaminocarbonyl group, cyclohexylaminocarbonyl group and 4-methylcyclohexylaminocarbonyl group; Dialkylamino such as dimethylaminocarbonyl group, diethylaminocarbonyl group, di-n-butylaminocarbonyl group, di-n-hexylaminocarbonyl group, di-n-octylaminocarbonyl group, N-isoamyl-N-methylaminocarbonyl group A carbonyl group; an alkylcarbonylamino group such as an acetylamino group, an ethylcarbonylamino group, and an isobutylcarbonylamino group;
【0027】フェニル基、3−ニトロフェニル基、4−
シアノフェニル基、4−ヒドロキシフェニル基、2−メ
チルフェニル基、3,5−ジメチルフェニル基、3−ト
リフルオロメチルフェニル基、4−クロロフェニル基、
4−メトキシフェニル基、4−(ジメチルアミノ)フェ
ニル基、ナフチル基などのアリール基;ベンジル基、フ
ェネチル基等のアラルキル基;フェニルカルボニルアミ
ノ基、4−エチルフェニルカルボニルアミノ基、3−イ
ソプロピルフェニルカルボニルアミノ基、2−メトキシ
フェニルカルボニルアミノ基等のアリールカルボニルア
ミノ基;フェニルアミノカルボニル基、4−メチルフェ
ニルアミノカルボニル基、2−メトキシフェニルアミノ
カルボニル基、4−n−プロピルフェニルアミノカルボ
ニル基等のアリールアミノカルボニル基;フェノキシ
基、2−メチルフェノキシ基、4−メチルフェノキシ
基、4−t−ブチルフェノキシ基、2−メトキシフェノ
キシ基、4−イソプロピルフェノキシ基等のアリールオ
キシ基;フェノキシカルボニル基、4−メチルフェノキ
シカルボニル基、3−メチルフェノキシカルボニル基、
2−メチルフェノキシカルボニル基、2,4−ジメチル
フェノキシカルボニル基、2,6−ジメチルフェノキシ
カルボニル基、2,4、6−トリメチルフェノキシカル
ボニル基、4−フェニルフェノキシカルボニル基等のア
リールオキシカルボニル基;Phenyl group, 3-nitrophenyl group, 4-
Cyanophenyl group, 4-hydroxyphenyl group, 2-methylphenyl group, 3,5-dimethylphenyl group, 3-trifluoromethylphenyl group, 4-chlorophenyl group,
Aryl groups such as 4-methoxyphenyl group, 4- (dimethylamino) phenyl group and naphthyl group; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; phenylcarbonylamino group, 4-ethylphenylcarbonylamino group and 3-isopropylphenylcarbonyl Arylcarbonylamino groups such as amino group and 2-methoxyphenylcarbonylamino group; aryl groups such as phenylaminocarbonyl group, 4-methylphenylaminocarbonyl group, 2-methoxyphenylaminocarbonyl group and 4-n-propylphenylaminocarbonyl group Aminocarbonyl group; aryloxy group such as phenoxy group, 2-methylphenoxy group, 4-methylphenoxy group, 4-t-butylphenoxy group, 2-methoxyphenoxy group and 4-isopropylphenoxy group; phenoxyca Boniru group, 4-methylphenoxy group, 3-methylphenoxy group,
Aryloxycarbonyl groups such as 2-methylphenoxycarbonyl group, 2,4-dimethylphenoxycarbonyl group, 2,6-dimethylphenoxycarbonyl group, 2,4,6-trimethylphenoxycarbonyl group and 4-phenylphenoxycarbonyl group;
【0028】ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オ
キサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル
基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾ
イル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル
基、ベンゾフラニル基、インド−3−イル基等のヘテロ
アリール基;メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピ
ルチオ基、イソプロピルチオ基、n−ブチルチオ基、イ
ソブチルチオ基、t−ブチルチオ基、3,5,5−トリ
メチルヘキシルチオ基等のアルキルチオ基;フェニルチ
オ基、4−メチルフェニルチオ基、2−メトキシフェニ
ルチオ基、4−t−ブチルフェニルチオ基、ナフチルチ
オ基等のアリールチオ基;アリルオキシカルボニル基、
2−ブテノキシカルボニル基等のアルケニルオキシカル
ボニル基;ベンジルオキシカルボニル基、4−メチルベ
ンジルオキシカルボニル基、フェネチルオキシカルボニ
ル基等のアラルキルオキシカルボニル基;メトキシカル
ボニルメトキシカルボニル基、エトキシカルボニルメト
キシカルボニル基、n−プロポキシカルボニルメトキシ
カルボニル基、イソプロポキシカルボニルメトキシカル
ボニル基等のアルコキシカルボニルアルコキシカルボニ
ル基;メチルカルボニルメトキシカルボニル基、エチル
カルボニルメトキシカルボニル基等のアルキルカルボニ
ルアルコキシカルボニル基;Pyrrolyl, thienyl, furanyl, oxazoyl, isoxazoyl, oxadiazoyl, thiadiazoyl, imidazoyl, benzothiazoyl, benzoxazoyl, benzoimidazoyl, benzofuranyl, indo-3-yl A heteroaryl group such as a group; an alkylthio group such as a methylthio group, an ethylthio group, an n-propylthio group, an isopropylthio group, an n-butylthio group, an isobutylthio group, a t-butylthio group, a 3,5,5-trimethylhexylthio group; An arylthio group such as a phenylthio group, a 4-methylphenylthio group, a 2-methoxyphenylthio group, a 4-t-butylphenylthio group, a naphthylthio group; an allyloxycarbonyl group;
Alkenyloxycarbonyl groups such as 2-butenoxycarbonyl group; aralkyloxycarbonyl groups such as benzyloxycarbonyl group, 4-methylbenzyloxycarbonyl group and phenethyloxycarbonyl group; methoxycarbonylmethoxycarbonyl group, ethoxycarbonylmethoxycarbonyl group; alkoxycarbonylalkoxycarbonyl groups such as n-propoxycarbonylmethoxycarbonyl group and isopropoxycarbonylmethoxycarbonyl group; alkylcarbonylalkoxycarbonyl groups such as methylcarbonylmethoxycarbonyl group and ethylcarbonylmethoxycarbonyl group;
【0029】ヒドロキシエチルアミノカルボニル基、2
−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基、3−ヒドロ
キシプロピルアミノカルボニル基等のモノ(ヒドロキシ
アルキル)アミノカルボニル基;ジ(ヒドロキシエチ
ル)アミノカルボニル基、ジ(2−ヒドロキシプロピ
ル)アミノカルボニル基、ジ(3−ヒドロキシプロピ
ル)アミノカルボニル基等のジ(ヒドロキシアルキル)
アミノカルボニル基;メトキシメチルアミノカルボニル
基、メトキシエチルアミノカルボニル基、エトキシメチ
ルアミノカルボニル基、エトキシエチルアミノカルボニ
ル基、プロポキシエチルアミノカルボニル基等のモノ
(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基;ジ(メト
キシメチル)アミノカルボニル基、ジ(メトキシエチ
ル)アミノカルボニル基、ジ(エトキシメチル)アミノ
カルボニル基、ジ(エトキシエチル)アミノカルボニル
基、ジ(プロポキシエチル)アミノカルボニル基等のジ
(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基;ビニル
基、プロペニル基、1−ブテニル基、1−ペンテニル
基、2−ペンテニル基、3−メチル−1−ブテニル基、
2,2−ジシアノビニル基、1,2,2−トリシアノビ
ニル基等のアルケニル基等を挙げることができる。Hydroxyethylaminocarbonyl group, 2
Mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl groups such as -hydroxypropylaminocarbonyl group and 3-hydroxypropylaminocarbonyl group; di (hydroxyethyl) aminocarbonyl group, di (2-hydroxypropyl) aminocarbonyl group, di (3-hydroxy Di (hydroxyalkyl) such as propyl) aminocarbonyl group
Aminocarbonyl group; methoxymethylaminocarbonyl group, methoxyethylaminocarbonyl group, ethoxymethylaminocarbonyl group, ethoxyethylaminocarbonyl group, mono (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group such as propoxyethylaminocarbonyl group; di (methoxymethyl) amino Di (alkoxyalkyl) aminocarbonyl groups such as carbonyl group, di (methoxyethyl) aminocarbonyl group, di (ethoxymethyl) aminocarbonyl group, di (ethoxyethyl) aminocarbonyl group, di (propoxyethyl) aminocarbonyl group; vinyl Group, propenyl group, 1-butenyl group, 1-pentenyl group, 2-pentenyl group, 3-methyl-1-butenyl group,
Alkenyl groups such as a 2,2-dicyanovinyl group and a 1,2,2-tricyanovinyl group can be exemplified.
【0030】本発明の一般式(1)で表されるピロール
化合物は、代表的には、例えば、臭化水素酸やトリフル
オロ酢酸等の酸触媒の存在下、一般式(2)で表される
化合物と一般式(3)および/または一般式(4)で表
される化合物とを反応させた後、クロラニール等で酸化
し、最後に三フッ化ホウ素と反応させることにより、容
易に製造できる。The pyrrole compound represented by the general formula (1) of the present invention is typically represented by the general formula (2) in the presence of an acid catalyst such as hydrobromic acid or trifluoroacetic acid. Can be easily produced by reacting a compound represented by the general formula (3) and / or the compound represented by the general formula (4), oxidizing with chloranil, and finally reacting with boron trifluoride. .
【0031】[0031]
【化3】 (上式中、R1〜R10は前記と同じ意味を示す)Embedded image (In the above formula, R 1 to R 10 have the same meaning as described above.)
【0032】光増感剤は、一般式(1)で表されるピロ
ール化合物の光増感剤を少なくとも1種含有するもので
あり、その他の公知の光増感剤を併用していてもよい。The photosensitizer contains at least one type of pyrrole compound represented by the general formula (1), and may be used in combination with other known photosensitizers. .
【0033】公知の光増感剤としては、一般に使用され
ている光増感剤であれば特に限定はされないが、ケトク
マリン、クマリン−6および特開平4−18088号公
報に記載されたクマリン化合物等が挙げられる。The known photosensitizer is not particularly limited as long as it is a commonly used photosensitizer, and examples thereof include ketocoumarin, coumarin-6, and coumarin compounds described in JP-A-4-18088. Is mentioned.
【0034】この場合、光増感剤中の一般式(1)で表
されるピロール化合物の光増感剤の含有量としては、特
に制限はないが、本発明で所望の効果を得るためには、
光増感剤中の一般式(1)で表されるピロール化合物の
光増感剤の含有量は、10重量%以上であることが好ま
しく、より好ましくは20重量%以上であり、さらに好
ましくは30重量%以上であり、50重量%以上含有す
る光増感剤は特に好ましい。In this case, the content of the photosensitizer of the pyrrole compound represented by the general formula (1) in the photosensitizer is not particularly limited, but in order to obtain a desired effect in the present invention. Is
The content of the photosensitizer of the pyrrole compound represented by the general formula (1) in the photosensitizer is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, and still more preferably. Photosensitizers containing 30% by weight or more and 50% by weight or more are particularly preferred.
【0035】ピロール化合物の光増感剤の使用量は、光
増感剤中に含有される一般式(1)で表されるピロール
化合物の光増感剤の種類や量、相互作用すべき樹脂成分
の種類により異なるが、通常、樹脂成分100重量部当
たり、一般式(1)で表されるピロール化合物の光増感
剤の使用量が0.1〜10重量部、好ましくは0.3〜
5重量部の範囲内が適当である。ピロール化合物の光増
感剤の使用量が0.1重量部より少なすぎると、形成さ
れる被膜の感光性が低下する傾向があり、10重量部よ
り多くなると、溶解性の点から、組成物を均一な状態に
保つことが困難になる傾向が見られる。The amount of the pyrrole compound photosensitizer used depends on the type and amount of the pyrrole compound photosensitizer represented by the general formula (1) contained in the photosensitizer and the resin to be interacted with. The amount of the photosensitizer of the pyrrole compound represented by the general formula (1) is usually from 0.1 to 10 parts by weight, preferably from 0.3 to 10 parts by weight, per 100 parts by weight of the resin component.
A range of 5 parts by weight is suitable. If the amount of the pyrrole compound photosensitizer is less than 0.1 part by weight, the photosensitivity of the film to be formed tends to decrease. Tend to be difficult to maintain in a uniform state.
【0036】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物
は、露光により化合物が分解し現像液に溶解性を示すよ
うな、従来から公知のポジ型可視光感光性樹脂組成物
(例えば、塗料、インキ、接着剤、刷板材、プリント配
線板用レジスト材で使用されているもの)に前記一般式
(1)で表されるピロール化合物の光増感剤を必須成分
として含有するものである。The positive-type visible light-sensitive resin composition of the present invention comprises a conventionally known positive-type visible light-sensitive resin composition (for example, paint , An ink, an adhesive, a printing plate material, and a resist material for a printed wiring board) containing a photosensitizer of a pyrrole compound represented by the general formula (1) as an essential component.
【0037】上記した従来から公知のポジ型可視光感光
性樹脂組成物について、代表的なものについて以下に述
べる。Representative examples of the above-described conventionally known positive-type visible light-sensitive resin compositions will be described below.
【0038】該組成物としては、例えば、光酸発生剤を
含む樹脂、光酸発生剤成分以外の成分(例えば、光塩基
発生剤等)を含む樹脂、それ自体が光により分解する樹
脂等が挙げられる。これらの樹脂は光により樹脂が分解
することにより極性、分子量等の性質が変化し、これに
より現像液(水性、有機溶剤等)等の物質に対して溶解
性を示すようになるものである。該樹脂は光酸発生剤等
の成分が組み込まれたものであっても光酸発生剤等の成
分と酸等により分解する基を有する樹脂との混合物であ
っても構わない。また、これらのものには更に現像液の
溶解性を調整するその他の樹脂等を必要に応じて配合す
ることができる。Examples of the composition include a resin containing a photoacid generator, a resin containing components other than the photoacid generator component (eg, a photobase generator, etc.), and a resin which itself decomposes by light. No. When these resins are decomposed by light, their properties, such as polarity and molecular weight, change, whereby the resins become soluble in substances such as a developer (aqueous solution, organic solvent, etc.). The resin may have a component such as a photoacid generator incorporated therein or may be a mixture of a component such as a photoacid generator and a resin having a group that is decomposed by an acid or the like. Further, other resins or the like for adjusting the solubility of the developing solution can be further added to these as required.
【0039】上記した光酸発生剤成分を含む樹脂につい
て述べる。該樹脂は、光酸発生剤が樹脂骨格に組み込ま
れた樹脂(例えば、露光により樹脂が酸基を発生し、こ
れによりアルカリ現像が可能となるもの)や光酸発生剤
と樹脂との混合物[光酸発生剤により発生した酸によ
り、樹脂が切断されて低分子量となったり、樹脂に酸基
が付与されたり、溶解性物質(例えば、(ポリ)P−ヒ
ドロキシスチレン)に変化し、これにより有機溶剤や水
性現像液に分散性もしくは溶解性を示すものとなったり
するもの]等が挙げられる。The resin containing the above-mentioned photoacid generator component will be described. The resin includes a resin in which a photoacid generator is incorporated in a resin skeleton (for example, a resin in which a resin generates an acid group upon exposure to light, thereby enabling alkali development) or a mixture of a photoacid generator and a resin [ The acid generated by the photoacid generator causes the resin to be cut to have a low molecular weight, an acid group to be added to the resin, or a change into a soluble substance (for example, (poly) P-hydroxystyrene). Or exhibiting dispersibility or solubility in an organic solvent or an aqueous developer].
【0040】これらのものとしては、例えば、イオン
形成基を有するアクリル樹脂等の基体樹脂にキノンジア
ジドスルホン酸類をスルホン酸エステル結合を介して結
合させた樹脂を主成分とする組成物(特開昭61−20
6293号公報、特開平7−133449号公報等参
照)、即ち照射光によりキノンジアジド基が光分解して
ケテンを経由してインデンカルボン酸を形成する反応を
利用したナフトキノンジアジド感光系組成物;照射光
によって酸基を発生する光酸発生剤を触媒として基体樹
脂(ポリマー)に脱離反応を連鎖的に生じさせて照射部
と未照射部との溶解性の変化を利用した化学増幅系感光
材料(特開平4−226461号公報、米国特許第4,
491,628号明細書、特開昭59−45439公報
号、特開昭63−250642号公報、Polymers in El
ectronics "Davidson T.編集.ACS Symposium Series 24
2, American Chemical Society, Washington D.C., 198
4の11頁"、N. Hayashi, T. Ueno, M. Toriumi, etc, AC
S Polym. Materials Sci. Eng., 61, 417 (1989)、H. I
to, C.G. Wilson, ACS Symp. Ser., 242, 11 (1984)等
参照);加熱により溶剤やアルカリ水溶液に対して不
溶性の架橋被膜を形成し、更に光線照射により酸基を発
生する光酸発生剤により架橋構造が切断されて照射部が
溶剤やアルカリ水溶液に対して可溶性となるメカニズム
を利用したポジ型感光性組成物(特開平6−29506
4号公報、特開平6−308733号公報、特開平6−
313134号公報、特開平6−313135号公報、
特開平6−313136号公報、特開平7−14655
2号公報等参照)等が代表的なものとして挙げられる。Examples of such a composition include a composition containing, as a main component, a resin in which quinonediazidesulfonic acid is bonded to a base resin such as an acrylic resin having an ion-forming group via a sulfonic ester bond. -20
No. 6293, JP-A-7-133449, etc.), that is, a naphthoquinonediazide photosensitive composition utilizing a reaction of photolyzing a quinonediazide group by irradiation light to form indenecarboxylic acid via ketene; A chemically amplified photosensitive material utilizing a change in solubility between an irradiated part and an unirradiated part by causing a elimination reaction in a base resin (polymer) in a chain using a photoacid generator that generates an acid group as a catalyst ( JP-A-4-226461, U.S. Pat.
491,628, JP-A-59-45439, JP-A-63-250542, Polymers in El
ectronics "Edited by Davidson T. ACS Symposium Series 24
2, American Chemical Society, Washington DC, 198
4, 11 ", N. Hayashi, T. Ueno, M. Toriumi, etc, AC
S Polym. Materials Sci. Eng., 61, 417 (1989), H.I.
to, CG Wilson, ACS Symp. Ser., 242, 11 (1984), etc.); photoacid generation that forms a crosslinked film that is insoluble in solvents and aqueous alkalis by heating, and generates acid groups by irradiation with light. Positive type photosensitive composition utilizing a mechanism in which a crosslinked structure is cut by an agent and an irradiated portion becomes soluble in a solvent or an aqueous alkaline solution (Japanese Patent Laid-Open No. 6-29506).
4, JP-A-6-308733 and JP-A-6-308733.
JP-A-313134, JP-A-6-313135,
JP-A-6-313136, JP-A-7-14655
No. 2, etc.) and the like.
【0041】上記のものは、樹脂中で現像液に対する
溶解性を支配している官能基(水酸基、カルボキシル基
等)をブロック(酸不安定基)して不溶性とし、光酸発
生剤によりブロックを解離し、ポリマーの溶解性を復元
するものである。該水酸基(−OH基)をブロックした
酸不安定基(−ORのR基)としては、例えば、t−ブ
トキシカルボニル基(t−BOC基)、t−ブトキシ
基、t−ブトキシカルボニルメチル基、テトラヒドロピ
ラニル基、トリメチルシリル基、iso−プロポキシカ
ルボニル基等が包含される。水酸基を有する樹脂として
は、上記した効果を発揮するものであれば特に制限され
ないが、通常、フェノール性水酸基である。該酸不安定
基としては、特に、t−BOC基、t−ブトキシ基が好
ましくこのものとしては、例えば、ポリ(t−ブトキシ
カルボニルオキシスチレン)、ポリ(t−ブトキシカル
ボニルオキシ−α−スチレン)、ポリ(t−ブトキシス
チレン)及びこれらのモノマーとその他の重合性モノマ
ー(例えば、メチル(メタ)アクリル酸のC1〜24個
のアルキル又はシクロアルキルエステル類、マレイミ
ド、スルフォン等)との共重合体等が挙げられる。該t
−BOC基を含有するポリ(t−ブトキシカルボニルオ
キシスチレン)の組成物について説明すると、例えば、
光酸発生剤によって発生した酸によりt−BOC基が分
解してイソブテンと炭酸ガスが蒸発してポリスチレンと
なり、t−BOC基が水酸基に変化することにより樹脂
の極性が変化(高くなる)することにより現像液(アル
カリ水溶液)に対する溶解性が向上する性質を利用した
ものである。また、カルボキシル基(−COOH基)を
ブロックした酸不安定基(−COOR’のR’基)とし
ては、t−ブチル基を有するカルボン酸エステル誘導体
等が挙げられる。In the above-mentioned compounds, the functional groups (hydroxyl group, carboxyl group, etc.) which control the solubility in a developing solution in the resin are blocked (acid-labile groups) to make them insoluble, and the blocks are blocked by a photoacid generator. It dissociates and restores the solubility of the polymer. Examples of the acid labile group (R group of —OR) in which the hydroxyl group (—OH group) is blocked include, for example, t-butoxycarbonyl group (t-BOC group), t-butoxy group, t-butoxycarbonylmethyl group, Examples include a tetrahydropyranyl group, a trimethylsilyl group, an iso-propoxycarbonyl group, and the like. The resin having a hydroxyl group is not particularly limited as long as it exhibits the above-mentioned effects, but is usually a phenolic hydroxyl group. As the acid labile group, a t-BOC group and a t-butoxy group are particularly preferable, and examples thereof include poly (t-butoxycarbonyloxystyrene) and poly (t-butoxycarbonyloxy-α-styrene). , Poly (t-butoxystyrene) and copolymers of these monomers with other polymerizable monomers (eg, C1-24 alkyl or cycloalkyl esters of methyl (meth) acrylic acid, maleimide, sulfone, etc.) And the like. The t
The composition of poly (t-butoxycarbonyloxystyrene) containing a -BOC group is described, for example, as follows.
The acid generated by the photoacid generator decomposes the t-BOC group, evaporates isobutene and carbon dioxide to form polystyrene, and changes (increases) the polarity of the resin by changing the t-BOC group to a hydroxyl group. This makes use of the property of improving the solubility in a developing solution (aqueous alkaline solution). Examples of the acid labile group (R ′ group of —COOR ′) in which a carboxyl group (—COOH group) is blocked include carboxylic acid ester derivatives having a t-butyl group.
【0042】また、このものの成分としては酸不安定基
を持つ樹脂及び光酸発生剤の2成分系として、また、酸
不安定基を持つ樹脂、光酸発生剤、その他の樹脂の3成
分系として使用することができる。該その他の樹脂は、
このものを使用することにより、例えば、組成物の塗装
作業性を向上させたり現像液に対する溶解性を変化させ
たりすることができる。As the components of this, a two-component system of a resin having an acid labile group and a photoacid generator, and a three-component system of a resin having an acid labile group, a photoacid generator and other resins Can be used as The other resin is
By using this, for example, the coating workability of the composition can be improved or the solubility in a developer can be changed.
【0043】上記のものは、カルボキシル基及び/又
はヒドロキシフェニル基を含有する樹脂(a)、エーテ
ル結合含有オレフィン性不飽和化合物(b)、光線照射
により酸基を発生する光酸発生剤を含有してなる液状も
しくは固体状樹脂組成物である。The above compounds contain a resin (a) containing a carboxyl group and / or a hydroxyphenyl group, an olefinically unsaturated compound containing an ether bond (b), and a photoacid generator that generates an acid group upon irradiation with light. Or a liquid or solid resin composition.
【0044】樹脂(a)において、カルボキシル基及び
ヒドロキシフェニル基の両方の基を有する場合は、これ
らの基を同一分子中に有する樹脂であっても、これらの
基の一方を含有する樹脂と他方を含有する樹脂の混合樹
脂であってもどちらでも構わない。When the resin (a) has both a carboxyl group and a hydroxyphenyl group, even if the resin has these groups in the same molecule, the resin containing one of these groups and the resin containing the other group may be used. It does not matter even if it is a mixed resin of the resin containing.
【0045】カルボキシル基含有樹脂(a−1)として
は、例えば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂等が
挙げられる。Examples of the carboxyl group-containing resin (a-1) include acrylic resins and polyester resins.
【0046】上記した樹脂(a−1)は一般に約500
〜約100000、特に約1500〜30000の数平
均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキ
シル基は樹脂1kg当たり約0.5〜10モル、特に約
0.7〜5モルのものが好ましい。The above resin (a-1) is generally used in an amount of about 500
It preferably has a number average molecular weight of from about 100,000, especially from about 1500 to 30,000, and the carboxyl group is preferably from about 0.5 to 10 mol, especially about 0.7 to 5 mol per kg of resin. .
【0047】ヒドロキシフェニル基含有樹脂(a−2)
としては、例えば、1官能又は多官能フェノール化合
物、アルキルフェノール化合物、又はそれらの混合物と
ホルムアルデヒド、アセトン等のカルボニル化合物との
縮合物;P−ヒドロキシスチレン等のヒドロキシフェニ
ル基含有不飽和単量体と必要に応じて上記したその他の
重合性不飽和単量体との共重合体等が挙げられる。Hydroxyphenyl group-containing resin (a-2)
As a condensate of a monofunctional or polyfunctional phenol compound, an alkylphenol compound, or a mixture thereof with a carbonyl compound such as formaldehyde and acetone; and a hydroxyphenyl group-containing unsaturated monomer such as P-hydroxystyrene. Depending on the above, copolymers with the above-mentioned other polymerizable unsaturated monomers can be used.
【0048】上記した樹脂(a−2)は一般に約500
〜約100000、特に約1500〜30000の数平
均分子量を有していることが好ましく、また、ヒドロキ
シフェニル基は樹脂1kg当たり約1.0モル以上、特
に約2〜8モルが好ましい。The above resin (a-2) is generally used in an amount of about 500
It preferably has a number average molecular weight of about 10000 to about 100000, particularly about 1500 to 30000, and the hydroxyphenyl group is preferably about 1.0 mol or more, more preferably about 2 to 8 mol per kg of resin.
【0049】また、樹脂(a−1)と樹脂(a−2)と
を混合して使用する場合には、その混合割合は90/1
0〜10/90重量比で配合することが好ましい。When the resin (a-1) and the resin (a-2) are used as a mixture, the mixing ratio is 90/1.
It is preferable to mix them in a weight ratio of 0 to 10/90.
【0050】カルボキシル基及びヒドロキシフェニル基
を有する樹脂(a−3)としては、例えばカルボキシル
基含有重合性不飽和単量体((メタ)アクリル酸等)と
ヒドロキシフェニル基含有重合性不飽和単量体(ヒドロ
キシスチレン等)及び必要に応じてその他の重合性不飽
和単量体(メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブ
チル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メ
タ)アクリレート等のアクリル酸の炭素数1〜12のア
ルキルエステル、スチレン等の芳香族化合物、(メタ)
アクリロニトリル等の含窒素不飽和単量体等)との共重
合体;ヒドロキシ安息香酸類、没食子酸、レゾルシン酸
等と、又はそれらとフェノール、ナフトール類、レゾル
シン、カテコール等との混合物をホルムアルデヒドと反
応して得られるフェノール樹脂等が挙げられる。Examples of the resin (a-3) having a carboxyl group and a hydroxyphenyl group include a carboxyl group-containing polymerizable unsaturated monomer (such as (meth) acrylic acid) and a hydroxyphenyl group-containing polymerizable unsaturated monomer. (Hydroxystyrene, etc.) and, if necessary, other polymerizable unsaturated monomers (methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) A) C1-C12 alkyl esters of acrylic acid such as acrylate, aromatic compounds such as styrene, (meth)
A copolymer with hydroxybenzoic acids, gallic acid, resorcinic acid, or a mixture thereof with phenol, naphthols, resorcinol, catechol, etc., with formaldehyde. And the like.
【0051】上記した樹脂(a−3)は一般に約500
〜約100000、特に約1500〜30000の数平
均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキ
シル基は樹脂1kg当たり約0.5〜10モル、特に約
0.7〜5モルのものが好ましい。ヒドロキシフェニル
基は樹脂1kg当たり約1.0モル以上、特に約2〜8
モルが好ましい。The above resin (a-3) is generally used in an amount of about 500
It preferably has a number average molecular weight of from about 100,000, especially from about 1500 to 30,000, and the carboxyl group is preferably from about 0.5 to 10 mol, especially about 0.7 to 5 mol per kg of resin. . The hydroxyphenyl group is present in an amount of about 1.0 mol or more, preferably about 2 to 8
Molar is preferred.
【0052】エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合
物(b)としては、例えば、分子末端にビニルエーテル
基、1−プロペニルエーテル基、1−ブテニルエーテル
基等の不飽和エーテル基を約1〜4個含有するものが挙
げられる。該化合物(b)は、1分子中に、式−R”−
O−A[ここで、Aはビニル基、1−プロペニル基又は
1−ブテニルのオレフィン性不飽和基を示し、R”はエ
チレン、プロピレン、ブチレンなどの炭素数1〜6の直
鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基を表す]で示され
る不飽和エーテル基を少なくとも1個、好ましくは2〜
4個含有する低分子量又は高分子量の化合物であり、例
えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェ
ノールS、フェノール樹脂などのポリフェノール化合物
や、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリ
メチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエ
リスリトールなどのポリオール類とクロロエチルビニル
エーテルなどのハロゲン化アルキル不飽和エーテルとの
縮合物;トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソ
シアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホ
ロンジイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物
とヒドロキシエチルビニルエーテルのようなヒドロキシ
アルキル不飽和エーテルとの反応物等が挙げられる。特
に、上記ポリフェノール化合物とハロゲン化アルキル不
飽和エーテルとの縮合物及び芳香環をもつポリイソシア
ネート化合物とヒドロキシアルキル不飽和エーテルとの
反応物が、エッチング耐性、形成されるパターンの精度
等の観点から好適である。該化合物(b)は、樹脂
(a)100重量部に対して、通常約5〜150重量
部、好ましくは約10〜100重量部の範囲である。The olefinically unsaturated compound (b) containing an ether bond includes, for example, about 1 to 4 unsaturated ether groups such as a vinyl ether group, a 1-propenyl ether group and a 1-butenyl ether group at the molecular terminal. To do. The compound (b) has the formula -R "-
OA [where A represents a vinyl group, a 1-propenyl group or an olefinically unsaturated group of 1-butenyl, and R "represents a linear or branched C1-C6 group such as ethylene, propylene or butylene. Represents a chain alkylene group], preferably at least one unsaturated ether group
It is a low molecular weight or high molecular weight compound containing four, for example, polyphenol compounds such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenol resin, ethylene glycol, propylene glycol, trimethylolpropane, trimethylolethane, pentaerythritol, etc. Condensation products of polyols of the above with alkyl halide unsaturated ethers such as chloroethyl vinyl ether; polyisocyanate compounds such as tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and isophorone diisocyanate and hydroxyalkyl unsaturated such as hydroxyethyl vinyl ether Reaction products with ether, etc. In particular, a condensate of the above polyphenol compound and a halogenated alkyl unsaturated ether and a reaction product of a polyisocyanate compound having an aromatic ring and a hydroxyalkyl unsaturated ether are preferable from the viewpoint of etching resistance, accuracy of a formed pattern, and the like. It is. The compound (b) is used in an amount of usually about 5 to 150 parts by weight, preferably about 10 to 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin (a).
【0053】(a)及び(b)成分を含有する組成物
は、それから形成された被膜が加熱により、カルボキシ
ル基及び/又はヒドロキシフェニル基と不飽和エーテル
基との付加反応により架橋して、溶剤やアルカリ水溶液
に対して不溶性となり、次いで活性エネルギー線を照射
し、更に照射後加熱すると、発生した酸の触媒作用で架
橋構造が切断されて照射部が溶剤やアルカリ水溶液に対
して再び可溶性となるポジ型感光性樹脂組成物である。The composition containing the components (a) and (b) is characterized in that the coating formed therefrom is crosslinked by heating and by an addition reaction between a carboxyl group and / or a hydroxyphenyl group and an unsaturated ether group to form a solvent. Or insoluble in aqueous alkali solution, then irradiate with active energy rays, and then heat after irradiation, the cross-linking structure is cut by the catalytic action of the generated acid, and the irradiated part becomes soluble again in solvent or aqueous alkali solution It is a positive photosensitive resin composition.
【0054】該組成物においては、形成される膜を露光
する際に発生する酸によって酸加水分解反応が露光部分
で生じるが、この酸加水分解反応をスムーズに進行させ
るには水分が存在することが望ましい。このため本発明
の組成物中に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレ
ングリコール、メチルセルロース、エチルセルロース等
の親水性樹脂を含有させておくことによって、形成され
る塗膜中に上記反応に必要な水分を容易に取り込ませる
ようにすることができる。かかる親水性樹脂の添加量
は、通常、樹脂成分100重量部に対して一般に20重
量部以下、好ましくは0.1〜10重量部の範囲内とす
ることができる。In the composition, an acid hydrolysis reaction is caused in an exposed portion by an acid generated when a film to be formed is exposed, but water must be present to allow the acid hydrolysis reaction to proceed smoothly. Is desirable. Therefore, in the composition of the present invention, by incorporating a hydrophilic resin such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, methylcellulose, and ethylcellulose, the water required for the above reaction can be easily incorporated into the formed coating film. You can do so. The amount of the hydrophilic resin to be added is generally 20 parts by weight or less, preferably 0.1 to 10 parts by weight, per 100 parts by weight of the resin component.
【0055】また、上記、に記載の光酸発生剤は、
露光により酸を発生する化合物であり、この発生した酸
を触媒として、樹脂を分解させるものであり、従来から
公知のものを使用することができる。このものとして
は、例えば、スルホニウム塩、アンモニウム塩、ホスホ
ニウム塩、ヨードニウム塩、セレニウム塩等のオニウム
塩類、鉄−アレン錯体類、シラノール−金属キレート錯
体類、トリアジン化合物類、ジアジドナフトキノン化合
物類、スルホン酸エステル類、スルホン酸イミドエステ
ル類、ハロゲン系化合物類等を使用することができる。
また、上記した以外に特開平7−146552号公報、
特願平9−289218号に記載の光酸発生剤も使用す
ることができる。この光酸発生剤成分は、上記した樹脂
との混合物であっても樹脂に結合したものであっても構
わない。光酸発生剤の配合割合は、樹脂100重量部に
対して約0.1〜40重量部、特に約0.2〜20重量
部の範囲で含有することが好ましい。Further, the photoacid generator described above is
It is a compound that generates an acid upon exposure and decomposes the resin using the generated acid as a catalyst. A conventionally known compound can be used. Examples thereof include sulfonium salts, ammonium salts, phosphonium salts, onium salts such as iodonium salts and selenium salts, iron-allene complexes, silanol-metal chelate complexes, triazine compounds, diazidonaphthoquinone compounds, sulfones Acid esters, sulfonic imide esters, halogen compounds, and the like can be used.
Further, in addition to the above, JP-A-7-146552,
Photoacid generators described in Japanese Patent Application No. 9-289218 can also be used. This photoacid generator component may be a mixture with the above-mentioned resin or a compound bonded to the resin. The content of the photoacid generator is preferably about 0.1 to 40 parts by weight, particularly about 0.2 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin.
【0056】本発明の組成物においては、上記した樹脂
以外に有機溶剤や水性現像液での溶解性を良くしたり、
また、逆に悪くしたりすることができる、水もしくは有
機溶剤に不溶性もしくは溶解(又は分散)を示す上記し
たその他の樹脂を必要に応じて配合することができる。
具体的には、例えば、フェノール系樹脂、ポリエステル
系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、酢酸ビニル樹
脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂
及びこれらの2種以上の混合物もしくは変性物等が挙げ
られる。In the composition of the present invention, in addition to the above-mentioned resin, the solubility in an organic solvent or an aqueous developer can be improved,
In addition, the above-mentioned other resins which are insoluble or dissolved (or dispersed) in water or an organic solvent, which can make the composition worse, can be added as necessary.
Specifically, for example, a phenolic resin, a polyester resin, an acrylic resin, a vinyl resin, a vinyl acetate resin, an epoxy resin, a silicone resin, a fluororesin, and a mixture or modified product of two or more of these resins Is mentioned.
【0057】また、本発明の組成物を用いて形成される
膜に適当な可撓性、非粘着性等を付与するために、本発
明の組成物には、フタル酸エステル等の可塑剤、ポリエ
ステル樹脂、アクリル樹脂等を添加することができる。Further, in order to impart appropriate flexibility and non-adhesiveness to a film formed using the composition of the present invention, a plasticizer such as a phthalate ester is added to the composition of the present invention. A polyester resin, an acrylic resin, or the like can be added.
【0058】さらに、本発明の組成物には、必要に応じ
て、流動性調節剤、可塑剤、染料、顔料等の着色剤等を
添加してもよい。Further, a coloring agent such as a fluidity regulator, a plasticizer, a dye and a pigment may be added to the composition of the present invention, if necessary.
【0059】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物
は、一般に用いられている公知の感光性材料、例えば、
塗料、インキ、接着剤、レジスト材、刷版材(平板や凸
版用製版材、オフセット印刷用PS板等)、情報記録材
料、レリーフ像作製材料等幅広い用途への使用が可能で
ある。The positive-type visible light-sensitive resin composition of the present invention can be prepared by using a known photosensitive material generally used, for example,
It can be used for a wide range of applications, such as paints, inks, adhesives, resist materials, printing plate materials (plate making materials for flat plates and letterpress, PS plates for offset printing, etc.), information recording materials, and relief image forming materials.
【0060】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物か
ら形成される乾燥膜厚(溶剤を含まない)は、その組成
物から形成される未感光被膜の吸光度が上記範囲から選
ばれた最大波長を有する安全光の最大波長の±30nm
の範囲において0.5以下になるように設定すればよい
が、実用性の面から、通常、0.5〜50μm、好まし
くは1〜30μmの範囲である。また、該吸光度は該組
成物に含まれる光酸発生剤、光増感剤等の種類や配合量
によって異なるが、同一組成であっても膜の厚みによっ
て異なる。即ち、同一組成物において、膜厚が厚くなる
と被膜中に含まれる光酸発生剤、光増感剤等の濃度が高
くなるために吸光度が大きくなり、一方、膜厚が薄くな
ると被膜中に含まれる上記成分の濃度が低くなるために
吸光度が小さくなる。これらのことから、形成される膜
厚を調整することにより、吸光度を上記した範囲に入る
ように調整することができる。The dry film thickness (excluding the solvent) formed from the positive-type visible light-sensitive resin composition of the present invention is the maximum value in which the absorbance of the non-photosensitive film formed from the composition is selected from the above range. ± 30 nm of the maximum wavelength of safety light having a wavelength
May be set to be 0.5 or less in the range, but from the viewpoint of practicality, it is usually in the range of 0.5 to 50 μm, preferably 1 to 30 μm. The absorbance varies depending on the type and the amount of the photoacid generator, the photosensitizer and the like contained in the composition, but varies depending on the thickness of the film even with the same composition. That is, in the same composition, as the film thickness increases, the absorbance increases due to an increase in the concentration of the photoacid generator and the photosensitizer contained in the film, while on the other hand, when the film thickness decreases, the absorbance increases. The absorbance is reduced due to the lower concentration of the above components. From these facts, by adjusting the film thickness to be formed, the absorbance can be adjusted to fall within the above-mentioned range.
【0061】次に、本発明の可視光硬化性樹脂組成物の
代表的なレジスト材(例えば、一般的なポジ型感光性レ
ジスト材料及び電着塗装用ポジ型レジスト材料)につい
て説明する。Next, typical resist materials (for example, a general positive photosensitive resist material and a positive resist material for electrodeposition coating) of the visible light curable resin composition of the present invention will be described.
【0062】一般的なポジ型感光性レジスト材料として
は、例えば、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を
溶剤(水も含む)に分散もしくは溶解(着色剤に顔料を
用いた場合は顔料を微分散)させて、感光液を調製し、
これを支持体上に、例えば、ローラー、ロールコータ
ー、スピンコーター等のごとき塗布装置を用いて塗布
し、乾燥する方法により、これをポジ型レジスト材料と
して用いることができる。As a general positive photosensitive resist material, for example, the positive visible light-sensitive resin composition of the present invention is dispersed or dissolved in a solvent (including water) (when a pigment is used as a coloring agent, Pigment is finely dispersed) to prepare a photosensitive solution,
This can be used as a positive resist material by a method of applying it on a support using a coating device such as a roller, a roll coater, or a spin coater, and drying.
【0063】ポジ型可視光感光性樹脂組成物を溶解もし
くは分散するために使用する溶剤としては、例えば、ケ
トン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブ
チルケトン等)、エステル類(酢酸エチル、酢酸ブチ
ル、安息香酸メチル、プロピオン酸メチル等)、エーテ
ル類(テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシエ
タン等)、セロソルブ類(メチルセロソルブ、エチルセ
ロソルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル
等)、芳香族炭化水素(ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼン等)、ハロゲン化炭化水素(クロロ
ホルム、トリクロロエチレン、ジクロロメタン等)、ア
ルコール(エチルアルコール、ベンジルアルコール
等)、その他(ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホ
キシド等)、水等が挙げられる。Solvents used for dissolving or dispersing the positive-type visible light photosensitive resin composition include, for example, ketones (acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.) and esters (ethyl acetate, butyl acetate, benzoic acid) Methyl ether, methyl propionate, etc.), ethers (tetrahydrofuran, dioxane, dimethoxyethane, etc.), cellosolves (methyl cellosolve, ethyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, etc.), aromatic hydrocarbons (benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, etc.) , Halogenated hydrocarbons (chloroform, trichloroethylene, dichloromethane, etc.), alcohols (ethyl alcohol, benzyl alcohol, etc.), others (dimethylformamide, dimethylsulfoxide, etc.), water and the like. .
【0064】また、支持体としては、例えば、アルミニ
ウム、マグネシウム、銅、亜鉛、クロム、ニッケル、鉄
等の金属またはそれらを成分とした合金のシートまたは
これらの金属で表面を処理したプリント基板、プラスチ
ック、ガラスまたはシリコンウエハー、カーボン等が挙
げられる。The support may be, for example, a sheet of a metal such as aluminum, magnesium, copper, zinc, chromium, nickel, iron or an alloy containing them, a printed circuit board whose surface is treated with these metals, or a plastic. , Glass or silicon wafer, carbon and the like.
【0065】また、電着塗装用ポジ型レジスト材料とし
て用いる場合には、最初に本発明のポジ型可視光感光性
樹脂組成物を水分散化物とするか、または水溶化物とす
る。When used as a positive resist material for electrodeposition coating, first, the positive visible light-sensitive resin composition of the present invention is made into a water-dispersed product or a water-soluble product.
【0066】ポジ型可視光感光性樹脂組成物の水分散化
または水溶化は、樹脂中にカルボキシル基等のアニオ
ン性基が導入されている場合にはアルカリ(中和剤)で
中和するか、またはアミノ基等のカチオン性基が導入
されている場合には、酸(中和剤)で中和することによ
って行われる。その際に使用されるアルカリ中和剤とし
ては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールア
ミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン
類;トリエチルアミン、ジエチルアミン、モノエチルア
ミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、ジイ
ソブチルアミン等のアルキルアミン類;ジメチルアミノ
エタノール等のアルキルアルカノールアミン類;シクロ
ヘキシルアミン等の脂環族アミン類;カセイソーダ、カ
セイカリ等のアルカリ金属水酸化物;アンモニア等が挙
げられる。また、酸中和剤としては、例えば、ギ酸、酢
酸、乳酸、酪酸等のモノカルボン酸が挙げられる。これ
らの中和剤は単独でまたは混合して使用できる。中和剤
の使用量は感光性樹脂組成物中に含まれるイオン性基1
当量当たり、一般に0.2〜1.0当量、特に0.3〜
0.8当量の範囲が望ましい。The aqueous dispersion or water-solubility of the positive-type visible light photosensitive resin composition is determined by neutralizing with an alkali (neutralizing agent) when an anionic group such as a carboxyl group is introduced into the resin. Or when a cationic group such as an amino group is introduced, neutralization with an acid (neutralizing agent) is performed. Examples of the alkali neutralizer used in this case include alkanolamines such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine; alkylamines such as triethylamine, diethylamine, monoethylamine, diisopropylamine, trimethylamine, and diisobutylamine; Alkyl alkanolamines such as dimethylaminoethanol; alicyclic amines such as cyclohexylamine; alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and sodium hydroxide; ammonia; Further, examples of the acid neutralizing agent include monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, lactic acid, and butyric acid. These neutralizing agents can be used alone or in combination. The amount of the neutralizing agent used is the amount of the ionic group 1 contained in the photosensitive resin composition.
0.2 to 1.0 equivalent, particularly 0.3 to 1.0 equivalent per equivalent
A range of 0.8 equivalents is desirable.
【0067】水溶化または水分散化した樹脂成分の流動
性をさらに向上させるために、必要により、上記ポジ型
可視光感光性樹脂組成物に親水性溶剤、例えば、メタノ
ール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノー
ル、t−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエ
タノール、ブトキシエタノール、ジエチレングリコール
モノメチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン
等を加えることができる。かかる親水性溶剤の使用量
は、一般には、樹脂固形成分100重量部当たり、30
0重量部まで、好ましくは100重量部までとすること
ができる。In order to further improve the fluidity of the water-soluble or water-dispersed resin component, if necessary, a hydrophilic solvent such as methanol, ethanol, isopropanol, n- Butanol, t-butanol, methoxyethanol, ethoxyethanol, butoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran and the like can be added. The amount of the hydrophilic solvent used is generally 30 per 100 parts by weight of the resin solid component.
It can be up to 0 parts by weight, preferably up to 100 parts by weight.
【0068】また、被塗装物への塗着量を多くするた
め、上記ポジ型可視光感光性樹脂組成物に対し、疎水性
溶剤、例えば、トルエン、キシレン等の石油系溶剤;メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン
類;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;2−エチ
ルヘキシルアルコール、ベンジルアルコール等のアルコ
ール類等も加えることができる。これらの疎水性溶剤の
配合量は、樹脂固形成分100重量部当たり、通常、2
00重量部まで、好ましくは、100重量部以下とする
ことができる。In order to increase the amount of coating on the object to be coated, a hydrophobic solvent such as a petroleum solvent such as toluene or xylene; methyl ethyl ketone or methyl isobutyl is added to the positive type visible light photosensitive resin composition. Ketones such as ketones; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; alcohols such as 2-ethylhexyl alcohol and benzyl alcohol can also be added. The amount of these hydrophobic solvents is usually 2 parts per 100 parts by weight of the resin solid component.
It can be up to 00 parts by weight, preferably 100 parts by weight or less.
【0069】電着塗料としてポジ型可視光感光性樹脂組
成物の調製は、従来から公知の方法で行うことができ
る。例えば、前記の中和により水溶化された樹脂又は樹
脂混合物、ピロール化合物の光増感剤、さらに必要に応
じ、溶剤およびその他の成分をよく混合し、水を加える
ことにより調製することができる。The preparation of the positive visible light-sensitive resin composition as an electrodeposition coating composition can be carried out by a conventionally known method. For example, it can be prepared by sufficiently mixing a resin or a resin mixture water-soluble by the above-described neutralization, a photosensitizer of a pyrrole compound, and, if necessary, a solvent and other components, and adding water.
【0070】このようにして調製された組成物は、通常
の方法で、さらに水で希釈し、例えば、pHが4〜9の
範囲内、浴濃度(固形分濃度)3〜25重量%、好まし
くは5〜15重量%の範囲内の電着塗料(または電着
浴)とすることができる。The composition thus prepared is further diluted with water in a usual manner, for example, in a pH range of 4 to 9 and a bath concentration (solid concentration) of 3 to 25% by weight, preferably Can be an electrodeposition coating (or electrodeposition bath) in the range of 5 to 15% by weight.
【0071】上記のようにして調製された電着塗料は、
次のようにして被塗物である導体表面に塗装することが
できる。すなわち、まず、浴のpHおよび浴濃度を上記
の範囲に調整し、浴温度を15〜40℃、好ましくは1
5〜30℃に管理する。次いで、このように管理された
電着塗装浴に、塗装されるべき導体を電着塗料がアニオ
ン型の場合には陽極として、また、カチオン型の場合に
は陰極として、浸漬、5〜200Vの直流電流を通電す
る。通電時間は10秒〜5分が適当である。The electrodeposition paint prepared as described above is
The coating can be performed on the surface of the conductor to be coated as follows. That is, first, the pH and bath concentration of the bath are adjusted to the above ranges, and the bath temperature is adjusted to 15 to 40 ° C., preferably 1
Control at 5-30 ° C. Next, in the electrodeposition coating bath controlled in this way, the conductor to be coated is immersed in a conductor to be coated as an anode when the electrodeposition coating is of an anionic type and as a cathode when the electrodeposition coating is of a cationic type. Apply DC current. An appropriate energization time is 10 seconds to 5 minutes.
【0072】得られる膜厚は乾燥膜厚で、一般に0.5
〜50μm、好適には、1〜20μmである。電着塗装
後、電着浴から被塗物を引き上げ水洗いした後、電着塗
膜中に含まれる水分等を熱風等で乾燥、除去する(組成
物として、(a)及び(b)を使用した場合には、塗布
された基板を、カルボキシル基及び/又はヒドロキシフ
ェニル基含有重合体とビニルエーテル基含有化合物との
間で架橋反応が実質的に起こる温度及び時間条件下、例
えば、約60〜約150℃の温度で約1分〜約30分間
加熱して、塗膜を架橋硬化させる)。The resulting film thickness is a dry film thickness, generally 0.5
5050 μm, preferably 1-20 μm. After the electrodeposition coating, the object to be coated is pulled up from the electrodeposition bath and washed with water, and then the water and the like contained in the electrodeposition coating film are dried and removed with hot air or the like (the compositions (a) and (b) are used). In this case, the coated substrate is subjected to temperature and time conditions under which a crosslinking reaction between the carboxyl group and / or hydroxyphenyl group-containing polymer and the vinyl ether group-containing compound substantially occurs, for example, from about 60 to about Heat at a temperature of 150 ° C for about 1 minute to about 30 minutes to crosslink and cure the coating).
【0073】導体としては、金属、カーボン、酸化錫等
の導電性材料またはこれらを積層、メッキ等によりプラ
スチック、ガラス表面に固着させたものが使用できる。As the conductor, a conductive material such as metal, carbon, tin oxide or the like, or a material in which these are fixed to the surface of plastic or glass by lamination, plating or the like can be used.
【0074】上記のようにして導体表面に形成される可
視光レジスト材料、および、電着塗装によって得られる
可視光レジスト電着塗膜は、画像に応じて、可視光で露
光し、分解させ、露光部を現像処理によって除去するこ
とにより、画像を形成することができる。The visible light resist material formed on the conductor surface as described above, and the visible light resist electrodeposition coating film obtained by electrodeposition coating are exposed to visible light according to an image and decomposed. An image can be formed by removing the exposed portion by a developing process.
【0075】露光のための光源としては、超高圧、高
圧、中圧、低圧の水銀灯、ケミカルランプ、カーボンア
ーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、蛍光灯、タン
グステン灯、太陽光等の各光源により得られる光源のう
ち、紫外線を紫外カットフィルターによりカットした可
視領域の光線や、可視領域に発振線を持つ各種レーザー
等が使用できる。高出力で安定なレーザー光源として、
アルゴンレーザー、あるいはYAGレーザーの第二高調
波(532nm)が好ましい。As the light source for exposure, light sources such as ultra-high pressure, high pressure, medium pressure and low pressure mercury lamps, chemical lamps, carbon arc lamps, xenon lamps, metal halide lamps, fluorescent lamps, tungsten lamps, sunlight and the like can be used. Among the light sources used, there can be used light rays in the visible region in which ultraviolet rays are cut by an ultraviolet cut filter, various lasers having oscillation lines in the visible region, and the like. As a high power and stable laser light source,
An argon laser or a second harmonic (532 nm) of a YAG laser is preferable.
【0076】現像処理は、露光部膜がアニオン性の場合
にはアルカリ水溶液を用いて、また、カチオン性の場合
にはpH5以下の酸水溶液を用いて洗い流すことにより
行われる。アルカリ水溶液は通常、カセイソーダ、炭酸
ソーダ、カセイカリ、アンモニア水等塗膜中に有する遊
離のカルボン酸と中和して水溶性を与えることのできる
ものが、また、酸水溶液は酢酸、ギ酸、乳酸等が使用可
能である。The developing treatment is carried out by washing with an aqueous alkali solution when the exposed portion film is anionic, or with an aqueous acid solution having a pH of 5 or less when the exposed portion film is cationic. Alkaline aqueous solutions that can be neutralized with free carboxylic acids in the coating film, such as sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydroxide, aqueous ammonia, etc., to give water solubility, and acid aqueous solutions are acetic acid, formic acid, lactic acid, etc. Can be used.
【0077】また、イオン性基を持たない感光性樹脂の
場合の現像処理は、1,1,1−トリクロロエタン、ト
リクレン、メチルエチルケトン、塩化メチレン等の溶剤
を使って露光部を溶解することによって行う。現像した
後の塗膜は、水洗後、熱風等により乾燥され、導体上に
目的とする画像が形成される。また、必要に応じて、エ
ッチングを施し、露出した導体部を除去した後、レジス
ト膜を除去し、プリント回路板の製造を行うこともでき
る。In the case of a photosensitive resin having no ionic group, development processing is performed by dissolving the exposed portion using a solvent such as 1,1,1-trichloroethane, tricrene, methyl ethyl ketone, or methylene chloride. The coated film after development is washed with water and dried with hot air or the like, so that a desired image is formed on the conductor. If necessary, the printed circuit board can be manufactured by performing etching to remove the exposed conductor portion, and then removing the resist film.
【0078】組成物として、(a)及び(b)を使用し
た場合には、可視光線が照射された基板を該照射により
発生した酸の存在下で前記硬化塗膜の架橋構造の切断が
生ずるような温度及び時間条件下、例えば、約60〜約
150℃の温度で約1〜約30分間加熱し、照射部分の
塗膜の架橋構造を実質的に切断する。その際好適には、
可視光線が照射された基板を予め水と接触させる。水と
の接触によって酸が発生しやすくなり、次の架橋構造の
切断反応が容易になる。水との接触は基板を常温水又は
温水中に浸漬するか、水蒸気を吹付けることにより行う
ことができる。When (a) and (b) are used as the composition, the cross-linked structure of the cured coating film is cut off on the substrate irradiated with visible light in the presence of the acid generated by the irradiation. Under such temperature and time conditions, for example, heating is performed at a temperature of about 60 to about 150 ° C. for about 1 to about 30 minutes to substantially cut the crosslinked structure of the coating film on the irradiated portion. At that time, preferably,
The substrate irradiated with visible light is brought into contact with water in advance. The contact with water facilitates the generation of an acid and facilitates the subsequent cleavage reaction of the crosslinked structure. The contact with water can be performed by immersing the substrate in room temperature water or hot water, or by spraying water vapor.
【0079】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物
は、上記した以外に、例えば、カバーフィルム層となる
ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、ア
クリル樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル樹脂等の透
明樹脂フィルム上に、本発明の組成物をロールコータ、
ブレードコータ、カーテンフローコータ等を使用して塗
布し、乾燥してレジスト被膜(乾燥膜厚約0.5〜5μ
m)を形成した後、該被膜表面に保護フィルムを貼り付
けたドライフィルムレジストとして使用することができ
る。The positive-type visible light-sensitive resin composition of the present invention may further include, for example, a transparent resin film such as a polyester resin such as polyethylene terephthalate, an acrylic resin, polyethylene, or a polyvinyl chloride resin to be a cover film layer. On top, the composition of the present invention roll coater,
It is applied using a blade coater, a curtain flow coater or the like, and dried to form a resist film (dry film thickness of about 0.5 to 5 μm).
After forming m), the film can be used as a dry film resist in which a protective film is attached to the surface of the film.
【0080】このようなドライフィルムレジストは、保
護フィルムを剥離した後、レジスト被膜が面接するよう
に支持体に熱圧着させる等の方法で接着してレジスト被
膜を形成することができる。該レジスト被膜は上記した
電着塗膜と同様の方法で、画像に応じて、可視光で露光
し、現像処理することにより画像を形成することができ
る。After the protective film is peeled off from the dry film resist, the resist film can be bonded to the support by thermocompression bonding so that the resist film comes into contact with the support to form a resist film. The resist film can be exposed to visible light and developed according to the image in the same manner as the above-mentioned electrodeposition coating film to form an image.
【0081】[0081]
【実施例】本発明について実施例を掲げて詳細に説明す
る。尚、実施例及び比較例の「部」は「重量部」を示
す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to embodiments. In the examples and comparative examples, “parts” indicates “parts by weight”.
【0082】実施例1 テトラヒドロフラン200部、P−ヒドロキシスチレン
65部、n−ブチルアクリレート28部、アクリル酸1
1部及びアゾビスイソブチロニトリル3部の混合物を1
00℃で2時間反応させて得られた反応物を1500c
cのトルエン溶剤中に注ぎ込み、反応物を沈殿、分離し
た後、沈殿物を60℃で乾燥して分子量約5200、ヒ
ドロキシフェニル基含有量4.6モル/kgの感光性樹
脂を得た。次いでこのもの100部にジビニルエーテル
化合物(ビスフェノール化合物1モルと2−クロロエチ
ルビニルエーテル2モルとの縮合物)60部、NAI−
105(光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名)
10部及び光増感色素として下記式(A)1.5部の配
合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解し
て固形分20%に調整して感光液を得た。Example 1 200 parts of tetrahydrofuran, 65 parts of P-hydroxystyrene, 28 parts of n-butyl acrylate, acrylic acid 1
1 part and 3 parts of azobisisobutyronitrile are mixed with 1 part
The reaction product obtained by reacting at 00 ° C. for 2 hours is 1500 c
The resulting mixture was poured into a toluene solvent (c) to precipitate and separate the reaction product. The precipitate was dried at 60 ° C. to obtain a photosensitive resin having a molecular weight of about 5200 and a hydroxyphenyl group content of 4.6 mol / kg. Next, 60 parts of a divinyl ether compound (condensate of 1 mol of a bisphenol compound and 2 mol of 2-chloroethyl vinyl ether) was added to 100 parts of this product, and NAI-
105 (photoacid generator, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd., trade name)
A photosensitive solution was obtained by dissolving a mixture of 10 parts and 1.5 parts of the following formula (A) as a photosensitizing dye in diethylene glycol dimethyl ether to adjust the solid content to 20%.
【0083】[0083]
【化4】 Embedded image
【0084】この感光液を暗室内で銅メッキしたガラス
繊維強化エポキシ基板にバーコーターで乾燥膜厚が5μ
mとなるように塗装し、120℃で8分間乾燥させてレ
ジスト被膜を有する基板を作成した。The photosensitive solution was applied to a glass fiber reinforced epoxy substrate plated with copper in a dark room using a bar coater to give a dry film thickness of 5 μm.
m and dried at 120 ° C. for 8 minutes to prepare a substrate having a resist film.
【0085】次いで、上記で得られたレジスト被膜を有
する基板の表面を図1のナトリウムランプで照度強度が
40ルックスになるように24時間照射した。次いで、
暗室内でこのものを80℃で10分間加熱した後、1%
炭酸ナトリウム水溶液を現像液として30℃で1分間浸
漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナトリウム水溶液に溶
解せずナトリウムランプの照射による悪影響はなく良好
であった。Next, the surface of the substrate having the resist film obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Then
After heating this at 80 ° C for 10 minutes in a dark room, 1%
As a result of immersion in an aqueous solution of sodium carbonate as a developing solution at 30 ° C. for 1 minute, the resist film was not dissolved in the aqueous solution of sodium carbonate and was good without being adversely affected by irradiation with a sodium lamp.
【0086】また、上記のレジスト被膜を有する基板に
ポジ型パターンマスクを介して1mJ/m2強度のアル
ゴンレーザーを照射し、120℃で10分間加熱した
後、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像したとこ
ろ、露光部は炭酸ナトリウム水溶液により完全に溶解、
除去され、コントラストに優れたレジストパターンが形
成された。また、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見
られなかった。キセノンランプ(紫外線波長領域をカッ
ト)及びYAGレーザーの第二高調波(532nm)の
照射によっても同等の結果を得た。Further, the substrate having the resist film was irradiated with an argon laser of 1 mJ / m 2 intensity through a positive pattern mask, heated at 120 ° C. for 10 minutes, and developed using a 1% aqueous solution of sodium carbonate. Then, the exposed part was completely dissolved by the aqueous sodium carbonate solution,
Thus, a resist pattern having excellent contrast was formed. Also, no decrease or swelling of the film in the unexposed portion was observed. Similar results were obtained by irradiation with a xenon lamp (cutting the ultraviolet wavelength region) and the second harmonic (532 nm) of a YAG laser.
【0087】上記感光液を透明なポリエチレンテレフタ
レートシートに膜厚が7μmになるようにバーコーター
で塗装し、60℃で10分間乾燥させた被膜の吸光度を
測定した。その結果を図4に示す。縦軸は吸光度を横軸
は波長nmを示す。The above photosensitive solution was applied to a transparent polyethylene terephthalate sheet with a bar coater so as to have a thickness of 7 μm, and dried at 60 ° C. for 10 minutes, and the absorbance of the film was measured. FIG. 4 shows the results. The vertical axis indicates absorbance and the horizontal axis indicates wavelength nm.
【0088】図1の安全光の波長と図4の吸光度曲線か
ら安全光は感光液に対して悪影響を及ぼさないこと及び
この安全光が図3の比視感度曲線から明るい光であるこ
とが確認できる。From the wavelength of the safety light in FIG. 1 and the absorbance curve in FIG. 4, it was confirmed that the safety light did not adversely affect the photosensitive solution and that the safety light was bright light from the relative visibility curve in FIG. it can.
【0089】実施例2〜18 実施例1において光増感剤として下記(B)〜(R)を
使用した以外は実施例1と同様の組成の感光液を得た。Examples 2 to 18 Photosensitive liquids having the same composition as in Example 1 were obtained except that the following photosensitizers (B) to (R) were used.
【0090】この感光液を暗室内で銅メッキしたガラス
繊維強化エポキシ基板にバーコーターで乾燥膜厚が5μ
mとなるように塗装し、120℃で8分間乾燥させてレ
ジスト被膜を有する基板を作成した。The photosensitive solution was applied to a glass fiber reinforced epoxy substrate plated with copper in a dark room with a bar coater to a dry film thickness of 5 μm.
m and dried at 120 ° C. for 8 minutes to prepare a substrate having a resist film.
【0091】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity was 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0092】[0092]
【化5】 Embedded image
【0093】[0093]
【化6】 Embedded image
【0094】[0094]
【化7】 Embedded image
【0095】[0095]
【化8】 Embedded image
【0096】[0096]
【化9】 Embedded image
【0097】実施例19 アクリル酸22部、スチレン50部、n−ブチルメタア
クリレート28部、アゾビスイソブチロニトリル(AI
BN)5部よりなる混合物を、80℃に加熱し撹拌され
ているメチルイソブチルケトン60部中に2時間を要し
て滴下した後、その温度に更に2時間保つて、固形分約
62.5%、カルボキシル基3モル/kgの重合体を得
た。Example 19 22 parts of acrylic acid, 50 parts of styrene, 28 parts of n-butyl methacrylate, azobisisobutyronitrile (AI
BN) A mixture consisting of 5 parts was dropped into 60 parts of methyl isobutyl ketone, which was heated to 80 ° C. and stirred, over 2 hours, and then kept at that temperature for another 2 hours to obtain a solid content of about 62.5%. %, 3 mol / kg of carboxyl group was obtained.
【0098】上記で得られたカルボキシル基含有重合体
(固形分62.5%)80部、P−ヒドロキシスチレン
重合体(分子量1000)20部、ジビニルエーテル化
合物(ビスフェノール化合物1モルと2−クロロエチル
ビニルエーテル2モルとの縮合物)60部、ポリエチレ
ングリコール(平均分子量400)2部、NAI−10
5(光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名)10
部、実施例1で使用した光増感剤(A)1.5部の配合
物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して
20重量%の感光液を得た。80 parts of the carboxyl group-containing polymer (solid content: 62.5%) obtained above, 20 parts of a P-hydroxystyrene polymer (molecular weight: 1,000), a divinyl ether compound (1 mol of a bisphenol compound and 2-chloroethyl 60 parts of a condensate with 2 mol of vinyl ether), 2 parts of polyethylene glycol (average molecular weight: 400), NAI-10
5 (photoacid generator, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd., trade name) 10
Of a photosensitizer (A) used in Example 1 was dissolved in diethylene glycol dimethyl ether to obtain a 20% by weight photosensitive solution.
【0099】この感光液を暗室内で銅メッキしたガラス
繊維強化エポキシ基板にバーコーターで乾燥膜厚が5μ
mとなるように塗装し、120℃で8分間乾燥させてレ
ジスト被膜を有する基板を作成した。The photosensitive liquid was applied to a glass-fiber reinforced epoxy substrate plated with copper in a dark room with a bar coater to a dry film thickness of 5 μm.
m and dried at 120 ° C. for 8 minutes to prepare a substrate having a resist film.
【0100】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity was 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0101】実施例20 P−ヒドロキシスチレン重合体(分子量1000)10
0部、ジビニルエーテル化合物(ビスフェノール化合物
1モルと2−クロロエチルビニルエーテル2モルとの縮
合物)60部、ポリエチレングリコール(平均分子量4
00)2部、NAI−105(光酸発生剤、みどり化学
株式会社製、商品名)10部、実施例1で使用した光増
感剤(A)1.5部の配合物をジエチレングリコールジ
メチルエーテルに溶解して20重量%の感光液を得た。Example 20 P-hydroxystyrene polymer (molecular weight: 1000) 10
0 parts, a divinyl ether compound (condensate of 1 mol of bisphenol compound and 2 mol of 2-chloroethyl vinyl ether) 60 parts, polyethylene glycol (average molecular weight 4
00) 2 parts, 10 parts of NAI-105 (photoacid generator, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd., trade name) and 1.5 parts of the photosensitizer (A) used in Example 1 were mixed with diethylene glycol dimethyl ether. Upon dissolution, a 20% by weight photosensitive solution was obtained.
【0102】この感光液を暗室内で銅メッキしたガラス
繊維強化エポキシ基板にバーコーターで乾燥膜厚が5μ
mとなるように塗装し120℃で8分間乾燥させてレジ
スト被膜を有する基板を作成した。The photosensitive solution was applied to a glass fiber reinforced epoxy substrate plated with copper in a dark room with a bar coater to a dry film thickness of 5 μm.
m and dried at 120 ° C. for 8 minutes to prepare a substrate having a resist coating.
【0103】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0104】実施例21 実施例1で得られた感光液100部(固形分)にカルボ
キシル基に対してトリエチルアミン0.8当量を混合攪
拌した後、脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液(固
形分15%)を得た。Example 21 100 parts (solid content) of the photosensitive solution obtained in Example 1 was mixed with 0.8 equivalent of triethylamine with respect to the carboxyl group, stirred and then dispersed in deionized water to obtain a water-dispersed resin solution ( (Solid content 15%).
【0105】得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴とし
て、積層銅板を陽極とし、乾燥膜厚が5μmとなるよう
にアニオン電着塗装を行った後、水洗し、120℃で8
分間加熱してレジスト被膜を有する基板を作成した。The obtained water-dispersed resin solution was used as an electrodeposition coating bath, anion electrodeposition coating was performed so that the dried copper film was used as an anode, and the dry film thickness was 5 μm.
After heating for a minute, a substrate having a resist coating was prepared.
【0106】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness of 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0107】実施例22 テトラヒドロフラン200部、P−ヒドロキシスチレン
65部、ジメチルアミノエチルメタクリレート18部、
n−ブチルアクリレート17部及びアゾビスイソブチロ
ニトリル3部の混合物を100℃で2時間反応させて得
られた反応物を1500ccのトルエン溶剤中に注ぎ込
み、反応物を沈殿、分離した後、沈殿物を60℃で乾燥
して分子量約5000、ヒドロキシフェニル基含有量
4.6モル/kgの感光性樹脂を得た。次いでこのもの
100部にジビニルエーテル化合物(ビスフェノール化
合物1モルと2−クロロエチルビニルエーテル2モルと
の縮合物)60部、NAI−105(光酸発生剤、みど
り化学株式会社製、商品名)10部及び実施例1で使用
した光増感剤(A)1.5部の配合物をジエチレングリ
コールジメチルエーテルに溶解して固形分60%に調整
して感光液を得た。Example 22 200 parts of tetrahydrofuran, 65 parts of P-hydroxystyrene, 18 parts of dimethylaminoethyl methacrylate,
A reaction product obtained by reacting a mixture of 17 parts of n-butyl acrylate and 3 parts of azobisisobutyronitrile at 100 ° C. for 2 hours is poured into 1500 cc of a toluene solvent, and the reaction product is precipitated and separated. The product was dried at 60 ° C. to obtain a photosensitive resin having a molecular weight of about 5000 and a hydroxyphenyl group content of 4.6 mol / kg. Next, 60 parts of a divinyl ether compound (condensate of 1 mol of bisphenol compound and 2 mol of 2-chloroethyl vinyl ether) and 10 parts of NAI-105 (photoacid generator, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd.) A mixture of 1.5 parts of the photosensitizer (A) used in Example 1 was dissolved in diethylene glycol dimethyl ether and adjusted to a solid content of 60% to obtain a photosensitive solution.
【0108】上記で得られた感光液100部(固形分)
にアミノ基に対して酢酸0.8当量を混合攪拌した後、
脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液(固形分15
%)を得た。100 parts of the photosensitive solution obtained above (solid content)
After mixing and stirring 0.8 equivalents of acetic acid with respect to the amino group,
Disperse in deionized water to form a water-dispersed resin solution (solid content 15
%).
【0109】得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴とし
て、積層銅板を陰極とし、乾燥膜厚が5μmとなるよう
にカチオン電着塗装を行った後、水洗し、120℃で8
分間加熱してレジスト被膜を有する基板を作成した。The obtained water-dispersed resin solution was used as an electrodeposition coating bath, a cationic electrodeposition coating was performed so that the dry film thickness was 5 μm, using a laminated copper plate as a cathode, followed by washing with water and drying at 120 ° C. for 8 hours.
After heating for a minute, a substrate having a resist coating was prepared.
【0110】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0111】実施例23 テトラヒドロフラン1000部にポリ(t−ブトキシカ
ルボニルオキシスチレン)(分子量1000)50部、
下記ノボラックフェノール樹脂50部、NAI−105
(光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名)10部
及び光増感色素(A)1.5部を配合して固形分9%の
感光液を得た。Example 23 50 parts of poly (t-butoxycarbonyloxystyrene) (molecular weight: 1000) was added to 1000 parts of tetrahydrofuran,
50 parts of the following novolak phenolic resin, NAI-105
10 parts of a photoacid generator (trade name, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd.) and 1.5 parts of a photosensitizing dye (A) were blended to obtain a photosensitive solution having a solid content of 9%.
【0112】ノボラックフェノール樹脂の製造 o−クレゾール1490部、30%フォルマリン114
5部、脱イオン水130部及び蓚酸6.5部をフラスコ
に入れ60分加熱還流させた。次いで15%塩酸を1
3.5部を加え40分加熱還流させた後、400部の約
15℃の脱イオン水を加え内容物を約75℃に保ち樹脂
を沈殿させた。ついで35%水酸化ナトリウム溶液を加
え中和後水層を除去し、400部の脱イオン水を加え7
5℃で樹脂を洗浄した後水層を除去し、更に同様な洗浄
操作を2度繰り返した後、減圧下に約120℃で乾燥し
て分子量600のノボラックフェノール樹脂を得た。Production of novolak phenolic resin 1490 parts of o-cresol, 30% formalin 114
5 parts, 130 parts of deionized water and 6.5 parts of oxalic acid were placed in a flask and heated to reflux for 60 minutes. Then add 1% 15% hydrochloric acid
After adding 3.5 parts and heating and refluxing for 40 minutes, 400 parts of deionized water at about 15 ° C. were added to keep the contents at about 75 ° C. to precipitate the resin. The aqueous layer was removed after neutralization by adding 35% sodium hydroxide solution, and 400 parts of deionized water was added.
After washing the resin at 5 ° C., the aqueous layer was removed and the same washing operation was repeated twice, followed by drying at about 120 ° C. under reduced pressure to obtain a novolak phenol resin having a molecular weight of 600.
【0113】上記で得られた感光液を使用して乾燥膜厚
が5μmとなるように塗装を行った後、120℃で8分
間加熱してレジスト被膜を有する基板を作成した。Using the photosensitive solution obtained above, coating was performed to a dry film thickness of 5 μm, followed by heating at 120 ° C. for 8 minutes to prepare a substrate having a resist film.
【0114】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0115】実施例24 テトラヒドロフラン1000部にポリ(テトラヒドロピ
ラニルエーテルスチレン)(分子量1000)50部、
実施例23のノボラックフェノール樹脂50部、NAI
−105(光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品
名)10部及び光増感色素(A)1.5部を配合して固
形分9%の感光液を得た。Example 24 50 parts of poly (tetrahydropyranyl ether styrene) (molecular weight: 1000) was added to 1,000 parts of tetrahydrofuran.
50 parts of the novolak phenolic resin of Example 23, NAI
10 parts of -105 (photoacid generator, manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd., trade name) and 1.5 parts of the photosensitizing dye (A) were blended to obtain a photosensitive solution having a solid content of 9%.
【0116】この感光液を使用して、実施例1と同様に
感光層を形成し、溶剤を蒸発させた後、乾燥膜厚が5μ
mとなるように塗装を行った後、水洗し、120℃で8
分間加熱してレジスト被膜を有する基板を作成した。Using this photosensitive liquid, a photosensitive layer was formed in the same manner as in Example 1, and the solvent was evaporated.
m, and then washed with water and dried at 120 ° C for 8 hours.
After heating for a minute, a substrate having a resist coating was prepared.
【0117】次いで、上記で得られたレジスト被膜(乾
燥膜厚5μm)を有する基板の表面を図1のナトリウム
ランプで照度強度が40ルックスになるように24時間
照射した。次いで、暗室内でこのものを80℃で10分
間加熱した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を現像液とし
て30℃で1分間浸漬した結果、レジスト被膜は炭酸ナ
トリウム水溶液に溶解せずナトリウムランプの照射によ
る悪影響はなく良好であった。Next, the surface of the substrate having the resist film (dry film thickness 5 μm) obtained above was irradiated with the sodium lamp of FIG. 1 for 24 hours so that the illuminance intensity became 40 lux. Next, this was heated in a dark room at 80 ° C. for 10 minutes, and then immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 1 minute using a 1% aqueous solution of sodium carbonate as a developer. It was good without any adverse effects.
【0118】比較例1 実施例1において、ナトリウムランプに代えて蛍光灯を
使用した以外は実施例1と同様にして試験を行った。そ
の結果、レジスト被膜は炭酸ナトリウム水溶液に溶解し
て悪かった。Comparative Example 1 A test was performed in the same manner as in Example 1 except that a fluorescent lamp was used instead of the sodium lamp. As a result, the resist film was poorly dissolved in the aqueous solution of sodium carbonate.
【0119】比較例で使用した蛍光灯の分光分布を図5
に示す。FIG. 5 shows the spectral distribution of the fluorescent lamp used in the comparative example.
Shown in
【0120】[0120]
【発明の効果】本発明において、特定の化合物を光増感
剤として含有するポジ型可視光感光性樹脂組成物は実用
上極めて有用性の高い組成物である。従来、光分解反応
を用いた情報記録の分野で、コンピューターによって電
子編集された原稿を、そのまま直接レーザーを用いて出
力し記録する方式では、感度が低く問題があった。According to the present invention, a positive visible light-sensitive resin composition containing a specific compound as a photosensitizer is a composition having extremely high practical utility. Conventionally, in a field of information recording using a photolysis reaction, a method of directly outputting and recording an original electronically edited by a computer directly using a laser has a problem with low sensitivity.
【0121】しかし、本発明のポジ型可視光感光性樹脂
組成物は、感光性樹脂と光増感剤の相溶性が極めてよ
く、かつ、汎用の塗布溶液に溶解し、支持体上で均一、
かつ、経時保存安定性に優れた塗面を得ることができ
る。However, the positive-type visible light photosensitive resin composition of the present invention has a very good compatibility between the photosensitive resin and the photosensitizer, and is dissolved in a general-purpose coating solution to form a uniform solution on a support.
In addition, a coated surface having excellent storage stability over time can be obtained.
【0122】また、本発明で使用する特異な構造を有す
るピロール化合物の光増感剤は、488nmおよび51
4.5nmに安定な発振線を持つアルゴンレーザーや第
二高調波として532nmに輝線を持つYAGレーザー
等の汎用可視レーザーに対して、非常に高い感度を有す
るため、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を用い
て得られた感光材料は、このようなレーザーにより高速
走査露光が可能である。また、高速走査露光により画像
を形成した場合、極めて微細な高解像度の画像が得られ
る。The photosensitizer of a pyrrole compound having a specific structure used in the present invention has a wavelength of 488 nm and a wavelength of 51 nm.
Since it has very high sensitivity to general-purpose visible lasers such as an argon laser having a stable oscillation line at 4.5 nm and a YAG laser having a bright line at 532 nm as a second harmonic, the positive visible light photosensitive of the present invention is used. The photosensitive material obtained using the conductive resin composition can be subjected to high-speed scanning exposure with such a laser. When an image is formed by high-speed scanning exposure, an extremely fine high-resolution image can be obtained.
【0123】本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物
は、安全光の照射環境条件下で該組成物が分解、解離す
ることなしに明るい環境条件下で塗装、印刷を行うこと
ができるので、安全作業性、作業効率、製品の品質安定
性等に優れた顕著な効果を発揮するものである。The positive visible light-sensitive resin composition of the present invention can be applied and printed under bright environmental conditions without decomposing and dissociating under safe light irradiation environmental conditions. It exerts remarkable effects excellent in safety workability, work efficiency, product quality stability and the like.
【図1】本発明で使用することができる安全光のナトリ
ウムを主成分とする放電ランプの分光分布の一例を示す
グラフである。FIG. 1 is a graph showing an example of a spectral distribution of a discharge lamp containing sodium as a main component of safety light that can be used in the present invention.
【図2】図1に示すナトリウム放電ランプにフィルター
を施した場合の分光分布を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing a spectral distribution when the sodium discharge lamp shown in FIG. 1 is filtered.
【図3】可視光の波長領域である380〜780nmの
比視感度曲線を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a relative luminosity curve in a wavelength range of visible light of 380 to 780 nm.
【図4】実施例1で使用したレジスト被膜の吸光度曲線
を示す図である。FIG. 4 is a view showing an absorbance curve of a resist film used in Example 1.
【図5】蛍光灯(昼光色(D))の分光分布を示す図で
ある。FIG. 5 is a diagram showing a spectral distribution of a fluorescent lamp (daylight (D)).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木暮 英雄 神奈川県平塚市東八幡4丁目17番1号 関 西ペイント株式会社内 (72)発明者 小木曽 章 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 三沢 伝美 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 西本 泰三 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 塚原 宇 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 詫摩 啓輔 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA00 AA01 AB01 AB02 AB03 AB15 AB20 AC01 AC08 AD03 BE00 BE10 BJ00 CA28 CA39 CB17 CB28 CB29 CB43 CB45 CC03 FA00 4H048 AA03 AB76 AB92 VA11 VA12 VA20 VA22 VA30 VA32 VA40 VA42 VA75 VB20 4J011 QA34 QA35 RA02 RA03 RA10 RA12 RA15 SA82 SA86 TA07 UA01 WA01 WA02 WA05 WA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hideo Kogure 4-17-1, Higashi-Hachiman, Hiratsuka-shi, Kanagawa Prefecture Kansai Paint Co., Ltd. (72) Akira Ogiso 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Mitsui Chemicals Inside the company (72) Inventor Denmi Misawa 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Mitsui Chemicals Co., Ltd. (72) Inventor Taizo Nishimoto 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Mitsui Chemicals Inc. U Tsukahara 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Keisuke Takuma 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture F-term (reference) 2H025 AA00 AA01 AB01 AB02 AB03 AB15 AB20 AC01 AC08 AD03 BE00 BE10 BJ00 CA28 CA39 CB17 CB28 CB29 CB43 CB45 CC03 FA00 4H048 AA03 AB76 AB92 VA11 VA12 VA20 VA 22 VA30 VA32 VA40 VA42 VA75 VB20 4J011 QA34 QA35 RA02 RA03 RA10 RA12 RA15 SA82 SA86 TA07 UA01 WA01 WA02 WA05 WA06
Claims (4)
最大波長を有する比視感度の大きい安全光の照射環境下
で使用するポジ型可視光感光性樹脂組成物であり、該組
成物がポジ型可視光感光性樹脂及び下記一般式(1)で
表されるピロール化合物の光増感剤とを含有したポジ型
可視光感光樹脂組成物であって、その組成物から形成さ
れる未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の±3
0nmの範囲において0.5以下であることを特徴とす
るポジ型可視光感光性樹脂組成物。 【化1】 〔式中、R1は水素原子、炭素数20までのアルキル
基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、ア
ルコキシカルボニルアルキル基、アリール基、アラルキ
ル基またはアルケニル基を示し、R2〜R10はそれぞれ
独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ
基、ヒドロキシ基、アミノ基、アミノカルボニル基、カ
ルボキシル基、スルホン酸基、炭素数20までのアルキ
ル基、ハロゲノアルキル基、アルコキシアルキル基、ア
ルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アシル基、アル
コキシカルボニル基、アルキルアミノカルボニル基、ジ
アルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミ
ノ基、アリール基、アラルキル基、アリールカルボニル
アミノ基、アリールアミノカルボニル基、アリールオキ
シ基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロアリール
基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルケニルオキ
シカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基、アル
コキシカルボニルアルコキシカルボニル基、アルキルカ
ルボニルアルコキシカルボニル基、モノ(ヒドロキシア
ルキル)アミノカルボニル基、ジ(ヒドロキシアルキ
ル)アミノカルボニル基、モノ(アルコキシアルキル)
アミノカルボニル基、ジ(アルコキシアルキル)アミノ
カルボニル基またはアルケニル基を表す〕1. A positive-type visible light-sensitive resin composition used in an environment in which a safety light having a maximum wavelength selected from the range of 500 to 620 nm and a high relative luminous efficiency is used. A positive-type visible light-sensitive resin composition containing a visible light-sensitive resin and a photosensitizer of a pyrrole compound represented by the following general formula (1), wherein a non-photosensitive film formed from the composition is used. Absorbance is ± 3 of the maximum wavelength of the safety light
A positive visible light-sensitive resin composition having a thickness of 0.5 or less in a range of 0 nm. Embedded image [Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group having up to 20 carbon atoms, a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group, an alkoxycarbonylalkyl group, an aryl group, an aralkyl group or an alkenyl group, and R 2 to R 10 each independently represent A hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxy group, an amino group, an aminocarbonyl group, a carboxyl group, a sulfonic acid group, an alkyl group having up to 20 carbon atoms, a halogenoalkyl group, an alkoxyalkyl group, an alkoxy group, Alkoxyalkoxy, acyl, alkoxycarbonyl, alkylaminocarbonyl, dialkylaminocarbonyl, alkylcarbonylamino, aryl, aralkyl, arylcarbonylamino, arylaminocarbonyl, aryloxy, aryloxy Rubonyl group, heteroaryl group, alkylthio group, arylthio group, alkenyloxycarbonyl group, aralkyloxycarbonyl group, alkoxycarbonylalkoxycarbonyl group, alkylcarbonylalkoxycarbonyl group, mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, di (hydroxyalkyl) amino Carbonyl group, mono (alkoxyalkyl)
Represents an aminocarbonyl group, a di (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group or an alkenyl group]
ランプ(光波長が589nmのD線を主体とするもの)
によるものであることを特徴とする請求項1に記載のポ
ジ型可視光感光性樹脂組成物。2. A discharge lamp mainly composed of sodium as a safety light (mainly a D line having a light wavelength of 589 nm).
The positive visible light-sensitive resin composition according to claim 1, wherein
組成物と溶剤とを含有してなるポジ型可視光感光性材料
用組成物。3. A composition for a positive-type visible light-sensitive material, comprising the positive-type visible light-sensitive resin composition according to claim 1 and a solvent.
組成物を基材上に含有してなるポジ型可視光感光性材
料。4. A positive visible light-sensitive material comprising the positive visible light-sensitive resin composition according to claim 1 on a substrate.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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- 1998-07-22 JP JP10206393A patent/JP2000039716A/en not_active Withdrawn
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