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JP2000019729A - Visible light setting resin composition and application thereof - Google Patents

Visible light setting resin composition and application thereof

Info

Publication number
JP2000019729A
JP2000019729A JP10183903A JP18390398A JP2000019729A JP 2000019729 A JP2000019729 A JP 2000019729A JP 10183903 A JP10183903 A JP 10183903A JP 18390398 A JP18390398 A JP 18390398A JP 2000019729 A JP2000019729 A JP 2000019729A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
visible light
resin composition
compound
aminocarbonyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10183903A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Genji Imai
玄児 今井
Hideo Kogure
英雄 木暮
Akira Ogiso
章 小木曽
Tsutayoshi Misawa
伝美 三沢
Taizo Nishimoto
泰三 西本
Takashi Tsukahara
宇 塚原
Hirosuke Takuma
啓輔 詫摩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kansai Paint Co Ltd
Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Kansai Paint Co Ltd
Mitsui Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kansai Paint Co Ltd, Mitsui Chemicals Inc filed Critical Kansai Paint Co Ltd
Priority to JP10183903A priority Critical patent/JP2000019729A/en
Publication of JP2000019729A publication Critical patent/JP2000019729A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composition containing a photosensitizer high in sensitivity and excellent in preservation stability by containing the photosensitizer containing a specific benzopyrromethene boron compound. SOLUTION: This visible light setting resin composition contains a photopolymerizable resin, a photo-reaction initiator, at least one kind of radical protective compound selected from an ester phosphite compound and an aromatic compound with N,N-dimethylamino group bonded to a carbon atom forming an aromatic ring, and a photosensitizer containing at least one kind of benzopyrromethene boron compound expressed by a formula. In the formula, R1-R3 and R5-R9 independently represent hydrogen atom, halogen atom, nitro group, cyano group, hydroxy group, amino group or carboxyl group; R4 represents hydrogen atom, cyano group, alkyl group or aryl group; and R10, R11 independently represent halogen atom, alkyl group, aralkyl group, aryl group or heteroaryl group.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、酸素による硬化阻
害が改良され、可視光線領域の光線に対し高い感度を示
す硬化性に優れた可視光硬化性樹脂組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a visible light curable resin composition having improved curability inhibition by oxygen and exhibiting high sensitivity to light in the visible light region and having excellent curability.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、光重合反応を用いた情報、あるい
は画像記録の分野で、従来のフィルム原稿等を用いた紫
外線による記録方法に代わり、コンピューターによって
電子編集された原稿を、そのまま、高出力レーザーを用
いて直接出力し、記録する方法が検討されている。この
方法は、レーザーによる直接書き込みにより、記録、画
像形成工程が、大幅に簡略化できるという利点を持つ。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of information using a photopolymerization reaction or image recording, instead of a conventional recording method using ultraviolet light using a film original or the like, a manuscript electronically edited by a computer is directly output at a high output. A method of directly outputting and recording using a laser is being studied. This method has the advantage that the recording and image forming steps can be greatly simplified by direct writing with a laser.

【0003】現在、一般的に使用されている高出力で安
定なレーザー光源は、可視領域にその出力波長を有する
ものが多い。具体的には、波長488nmおよび51
4.5nmに安定な発振線を持つアルゴンレーザー、あ
るいは第二高調波として532nmに輝線を持つYAG
レーザー等が汎用されている。そのため、それらの波長
に対して高感度な化合物が望まれているが、従来使用さ
れてきた紫外線用の感光剤では、可視領域での感度が低
いため使用できなかった。また、ピリリウム塩、または
チオピリリウム塩類等の添加で、可視部での感度の向上
は可能ではあるが、その感光層の保存安定性が低く、使
用するのが困難であった。
At present, many high-power and stable laser light sources generally used have an output wavelength in the visible region. Specifically, the wavelength 488 nm and 51
Argon laser with stable oscillation line at 4.5 nm or YAG with emission line at 532 nm as second harmonic
Lasers and the like are widely used. Therefore, compounds having high sensitivity to these wavelengths have been desired, but conventionally used ultraviolet light-sensitive agents cannot be used due to low sensitivity in the visible region. Although the addition of a pyrylium salt or a thiopyrylium salt can improve the sensitivity in the visible region, the storage stability of the photosensitive layer is low and it has been difficult to use the photosensitive layer.

【0004】可視領域に感光性を有する化合物として、
例えば、7−ジエチルアミノ−3−ベンゾチアゾイルク
マリン(慣用名:クマリン−6)、あるいは、ビス〔3
−(7−ジエチルアミノクマリル)〕ケトン(慣用名:
ケトクマリン)が知られているが、これらは、最大吸収
波長が450nm前後にあるために、アルゴンレーザー
の488nmよりは短波長であり、感度が不十分であ
る。また、特開平4−18088号公報に記載の4−置
換−3−ベンゾチアゾイルクマリン化合物は、アルゴン
レーザーの488nmには高感光性を示すものの、51
4.5nmあるいはYAGレーザーの第二高調波である
532nmには吸収をほとんど持たず、感度向上の余地
を残していた。
As compounds having photosensitivity in the visible region,
For example, 7-diethylamino-3-benzothiazoylcoumarin (common name: coumarin-6) or bis [3
-(7-diethylaminocoumaryl)] ketone (common name:
Ketocoumarin) is known, but since these have a maximum absorption wavelength of about 450 nm, they have a shorter wavelength than 488 nm of an argon laser and have insufficient sensitivity. Further, the 4-substituted-3-benzothiazoyl coumarin compound described in JP-A-4-18088 has high sensitivity at 488 nm of an argon laser,
At 4.5 nm or at 532 nm, which is the second harmonic of the YAG laser, there was almost no absorption, leaving room for improvement in sensitivity.

【0005】また、特開平7−5685号公報には、置
換もしくは非置換の複素環残基含有増感剤を含む光増感
剤が記載されているが、このものについて、具体的な例
示もなく、その効果も記載されていない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-5885 describes a photosensitizer containing a substituted or unsubstituted heterocyclic residue-containing sensitizer. No effect is described.

【0006】また、従来、プリント配線基板などの導体
回路を形成するため、感光性レジストを塗布した基板
に、露光/現像によりレジストパターンを形成した後、
エッチングにより不要部分を除去することが行われてい
る。
Conventionally, in order to form a conductor circuit such as a printed wiring board, a resist pattern is formed on a substrate coated with a photosensitive resist by exposure / development.
Unnecessary portions are removed by etching.

【0007】露光方法としては、フォトマスクを介して
露光する方法、レーザーによりレジストを直接描画する
方法がある。フォトマスクを介して露光する方法は、フ
ォトマスクの位置決めにかなりの時間を要し、また、レ
ジスト表面に粘着性があるとフォトマスクの位置決めが
困難であるなどの問題点がある。
As an exposure method, there are a method of exposing through a photomask and a method of directly drawing a resist with a laser. The method of exposing through a photomask has problems that a considerable amount of time is required for positioning the photomask, and that if the resist surface is sticky, it is difficult to position the photomask.

【0008】レーザーによりレジストを直接描画する方
法は、露光時間が非常に短時間であるので、そのレジス
トは高感度であることが要求される。このため、レーザ
ー照射により発生した活性ラジカルが空気中の酸素によ
って失活しないようにレジスト表面をカバーコート又は
カバーフィルムなどの酸素遮断層で覆って酸素を遮断し
て高感度を維持することが一般に行われているが煩わし
いといった問題点があった。。
In the method of directly writing a resist with a laser, the exposure time is very short, so that the resist is required to have high sensitivity. For this reason, it is general to maintain high sensitivity by covering the resist surface with an oxygen-blocking layer such as a cover coat or a cover film so as to prevent active radicals generated by laser irradiation from being deactivated by oxygen in the air, thereby blocking oxygen. There is a problem that it is performed but it is troublesome. .

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、高出力で安
定なレーザー光源であるアルゴンレーザーの514.5
nmの発振線、あるいは、YAGレーザーの第二高調波
である532nm等の可視光領域の長波長のレーザー光
に対して高感度で、保存安定性に優れる光増感剤を含有
する可視光硬化性樹脂組成物を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an argon laser 514.5 which is a high power and stable laser light source.
Visible light curing that contains a photosensitizer that is highly sensitive to long-wavelength laser light such as 532 nm which is the second harmonic of a YAG laser or a second harmonic of a YAG laser and has excellent storage stability. The present invention provides a conductive resin composition.

【0010】また、本発明者等は、フォトマスクを使用
する必要のない、可視光レーザーによりレジストを直接
描画する方法において、レーザー照射によりレジストに
発生した活性ラジカルが空気中の酸素によって失活し難
く、高感度を維持することのできるレジストを提供する
ものである。
In addition, the present inventors have proposed a method for directly drawing a resist with a visible light laser without using a photomask, in which active radicals generated in the resist by laser irradiation are deactivated by oxygen in the air. An object of the present invention is to provide a resist which is difficult and can maintain high sensitivity.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を解決するための鋭意検討した結果、特定のラジカル保
護化合物及び光増感剤を使用することにより本発明を完
成するに至った。すなわち、本発明は、 1、 下記成分(A)光重合性樹脂、(B)光反応開始
剤、(C)亜燐酸エステル化合物および芳香環を形成す
る炭素原子に結合したN,N−ジメチルアミノ基を有す
る芳香族化合物から選ばれる少なくとも1種のラジカル
保護化合物及び(D)下記一般式(1)で表されるベン
ゾピロメテン系ホウ素化合物を少なくとも1種含む光増
感剤を含有することを特徴とする可視光硬化性樹脂組成
物、
Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies to solve the above problems, and as a result, completed the present invention by using a specific radical protecting compound and a photosensitizer. . That is, the present invention relates to: 1, the following components (A) a photopolymerizable resin, (B) a photoreaction initiator, (C) a phosphite compound and N, N-dimethylamino bonded to a carbon atom forming an aromatic ring. Characterized in that it contains at least one radical protecting compound selected from aromatic compounds having a group and (D) a photosensitizer containing at least one benzopyrromethene-based boron compound represented by the following general formula (1). Visible light curable resin composition,

【0012】[0012]

【化2】 〔式中、R1,R2,R3,R5,R6,R7,R8,R9はそ
れぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シ
アノ基、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボキシル基、ス
ルホン酸基、アルキル基、ハロゲノアルキル基、アルコ
キシアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルコキシ
基、アリールオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニ
ル基、アミノカルボニル基、アルキルアミノカルボニル
基、ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニ
ルアミノ基、アリールカルボニルアミノ基、アリールア
ミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラ
ルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルキルチ
オ基、アリールチオ基、アルケニルオキシカルボニル
基、アラルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボ
ニルアルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルアル
コキシカルボニル基、モノ(ヒドロキシアルキル)アミ
ノカルボニル基、ジ(ヒドロキシアルキル)アミノカル
ボニル基、モノ(アルコキシアルキル)アミノカルボニ
ル基、ジ(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基、
アルケニル基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ
基、モノ(ヒドロキシアルキル)アミノ基またはジ(ヒ
ドロキシアルキル)アミノ基を表し、R4は水素原子、
シアノ基、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ヘ
テロアリール基またはアルケニル基を表し、R10,R11
はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基、アラル
キル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基
またはアルコキシアルコキシ基を示す。〕
Embedded image [Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxy group, an amino group, Carboxyl group, sulfonic acid group, alkyl group, halogenoalkyl group, alkoxyalkyl group, alkoxy group, alkoxyalkoxy group, aryloxy group, acyl group, alkoxycarbonyl group, aminocarbonyl group, alkylaminocarbonyl group, dialkylaminocarbonyl group, Alkylcarbonylamino group, arylcarbonylamino group, arylaminocarbonyl group, aryloxycarbonyl group, aralkyl group, aryl group, heteroaryl group, alkylthio group, arylthio group, alkenyloxycarbonyl group, aralkyloxycarbonyl group, alkoxycarbonylalkoxy Aryloxycarbonyl group, an alkylcarbonyl alkoxycarbonyl group, mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, di (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, mono (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group, di (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group,
Represents an alkenyl group, an alkylamino group, a dialkylamino group, a mono (hydroxyalkyl) amino group or a di (hydroxyalkyl) amino group, wherein R 4 is a hydrogen atom,
Cyano group, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, a heteroaryl group or an alkenyl group, R 10, R 11
Each independently represents a halogen atom, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an alkoxy group or an alkoxyalkoxy group. ]

【0013】2、上記の可視光硬化性樹脂組成物と溶剤
とを含有してなる可視光硬化材料用組成物、 3、上記の可視光硬化性樹脂組成物を基材上に含有して
なる可視光硬化材料に関するものである。
(2) a composition for a visible light curable material comprising the above visible light curable resin composition and a solvent; (3) a composition comprising the above visible light curable resin composition on a substrate It relates to a visible light curable material.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の可視光硬化性樹脂組成物
は、前記一般式(1)のベンゾピロメテン系ホウ素化合
物を少なくとも1種含む光増感剤を含有するものであ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The visible light curable resin composition of the present invention contains a photosensitizer containing at least one benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1).

【0015】本発明の一般式(1)で表されるベンゾピ
ロメテン系ホウ素化合物を使用した光増感剤は極めて有
用であることを見出した。本発明に用いる一般式(1)
で表されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物はアルゴン
レーザー光やYAGレーザー高波長光の波長に極めて大
きな吸収を有しており、かつ、それらの光に非常に高感
度であり、樹脂及び光反応開始剤を用いる可視光硬化性
樹脂組成物に適用可能な、光増感剤として有用な材料で
ある。
It has been found that the photosensitizer using the benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) of the present invention is extremely useful. General formula (1) used in the present invention
The benzopyrromethene-based boron compound represented by has a very large absorption at the wavelength of argon laser light or YAG laser high-wavelength light, and is very sensitive to such light, and requires a resin and a photoreaction initiator. It is a material useful as a photosensitizer applicable to the visible light curable resin composition to be used.

【0016】なお、本発明で言う「可視光硬化性材料用
組成物」とは、例えば、塗料、インキ、接着剤、刷版
材、レジスト材及びこれらのものから形成される未感光
被膜材等を意味するものである。
In the present invention, the term "composition for visible light curable material" includes, for example, paints, inks, adhesives, printing materials, resist materials, and non-photosensitive coating materials formed from these materials. Is meant.

【0017】本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、光硬
化性樹脂(A)、光反応開始剤(B)(例えば光ラジカ
ル重合開始剤等)、(C)亜燐酸エステル化合物および
芳香環を形成する炭素原子に結合したN,N−ジメチル
アミノ基を有する芳香族化合物から選ばれる少なくとも
1種のラジカル保護化合物及び(D)一般式(1)で表
されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物を含有した組成
物である。
The visible light curable resin composition of the present invention comprises a photocurable resin (A), a photoreaction initiator (B) (for example, a photoradical polymerization initiator), (C) a phosphite compound and an aromatic ring. Containing at least one radical protecting compound selected from aromatic compounds having an N, N-dimethylamino group bonded to a carbon atom forming (B) and (D) a benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1). A composition.

【0018】本発明で使用する光硬化性樹脂(A)は、
一般的に使用されている光照射により架橋しうる感光性
基を有する光硬化性樹脂であれば特に限定されるもので
はない。該樹脂としては、例えば、少なくとも1個のエ
チレン性不飽和二重結合を有する化合物で、モノマー、
プレポリマー、2量体、3量体等のオリゴマー、それら
の混合物、ならびにそれらの共重合体が挙げられる。ま
た、これ以外に、例えば、ウレタン系樹脂、エポキシ系
樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂、アル
キド系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、シ
リコーン系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ノボラック系樹脂
及びこれらの二種以上の変性樹脂に光重合性不飽和基が
結合したものが挙げられる。光重合性不飽和基として
は、例えばアクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル
基、スチリル基、アリル基、シンナモイル基、シンナミ
リデン基、アジド基等が挙げられる。
The photocurable resin (A) used in the present invention comprises:
It is not particularly limited as long as it is a commonly used photocurable resin having a photosensitive group that can be crosslinked by light irradiation. Examples of the resin include a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, a monomer,
Examples include prepolymers, oligomers such as dimers and trimers, mixtures thereof, and copolymers thereof. In addition, for example, urethane resin, epoxy resin, polyester resin, polyether resin, alkyd resin, polyvinyl chloride resin, fluorine resin, silicone resin, vinyl acetate resin, novolak resin Resin and a resin in which a photopolymerizable unsaturated group is bonded to two or more kinds of modified resins. Examples of the photopolymerizable unsaturated group include an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, a styryl group, an allyl group, a cinnamoyl group, a cinnamylidene group, and an azide group.

【0019】上記した光硬化性樹脂(A)において、単
官能及び多官能(メタ)アクリレートが一般的であり、
例えば特開平3−223759号公報の第2頁右下欄第
6行〜第6頁左下欄第16行に記載の感光性基として
(メタ)アクリロイル基を含むアニオン性光硬化性樹
脂、感光性基としてシンナモイル基を含む光硬化性樹
脂、感光性基としてアリル基を含む光硬化性樹脂などが
挙げられる。光硬化性樹脂(A)は下記光ラジカル重合
開始剤と組み合わせて使用することが好ましい。これら
の光硬化性樹脂(A)は、単独で使用してもよく、混合
してもよい。該公報において、光硬化性樹脂成分(a
2)のエチレン性不飽和化合物に記載の脂肪族ポリヒド
ロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル化物の具
体例として、分子量300〜1000のポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート等も使用することがで
きる。
In the photocurable resin (A), monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates are generally used,
For example, JP-A-3-223759, page 2, lower right column, line 6 to page 6, lower left column, line 16, anionic photocurable resin containing a (meth) acryloyl group as a photosensitive group, photosensitive resin Examples thereof include a photocurable resin containing a cinnamoyl group as a group and a photocurable resin containing an allyl group as a photosensitive group. The photocurable resin (A) is preferably used in combination with the following photoradical polymerization initiator. These photocurable resins (A) may be used alone or may be mixed. In the publication, a photocurable resin component (a
As specific examples of the esterified product of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid described in 2) of the ethylenically unsaturated compound, polyethylene glycol di (meth) acrylate having a molecular weight of 300 to 1,000 can also be used.

【0020】更に、必要に応じて、従来から公知のアク
リル系樹脂、ビニル系樹脂、ポリエステル樹脂、アルキ
ド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ゴム、ウレタ
ン樹脂等の不飽和基を含有しない樹脂を配合することが
できる。
If necessary, a resin containing no unsaturated group such as an acrylic resin, a vinyl resin, a polyester resin, an alkyd resin, an epoxy resin, a phenol resin, a rubber, and a urethane resin, which are conventionally known, is added. be able to.

【0021】本発明で用いられる光反応開始剤(B)と
しては、光ラジカル重合開始剤を使用することができ
る。
As the photoreaction initiator (B) used in the present invention, a photoradical polymerization initiator can be used.

【0022】光ラジカル重合開始剤としては、一般に使
用されている光ラジカル重合開始剤であれば特に制限さ
れないが、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジ
ル、キサントン、チオキサントン、アントラキノンなど
の芳香族カルボニル化合物;アセトフェノン、プロピオ
フェノン、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、α,
α’−ジクロル−4−フェノキシアセトフェノン、1−
ヒドロキシ−1−シクロヘキシルアセトフェノン、ジア
セチルアセトフェノンなどのアセトフェノン類;ベンゾ
イルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシ−2−エチ
ルヘキサノエート、t−ブチルハイドロパーオキサイ
ド、ジ−t−ブチルジパーオキシイソフタレート、3,
3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボ
ニル)ベンゾフェノンなどの有機過酸化物;ジフェニル
ヨードブロマイド、ジフェニルヨードニウムクロライド
などのジフェニルハロニウム塩;四臭化炭素、クロロホ
ルム、ヨードホルムなどの有機ハロゲン化物;3−フェ
ニル−5−イソオキサゾロン、2,4,6−トリス(ト
リクロロメチル)−1,3,5−トリアジンベンズアン
トロンなどの複素環式及び多環式化合物;2,2’−ア
ゾ(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2−アゾ
ビスイソブチロニトリル、1,1’−アゾビス(シクロ
ヘキサン−1−カルボニトリル)、2,2’−アゾビス
(2−メチルブチロニトリル)などのアゾ化合物;鉄−
アレン錯体(ヨーロッパ特許152377号公報参
照);チタノセン化合物(特開昭63−221110号
公報参照)ビスイミダゾール系化合物;N−アリールグ
リシジル系化合物;アクリジン系化合物;芳香族ケトン
/芳香族アミンの組み合わせ;ペルオキシケタール(特
開平6−321895号公報参照)等が挙げられる。上
記した光ラジカル重合開始剤の中でも、ジ−t−ブチル
ジパーオキシイソフタレート、3,3’,4,4’−テ
トラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノ
ン、鉄−アレン錯体及びチタノセン化合物は架橋もしく
は重合に対して活性が高いのでこのものを使用すること
が好ましい。
The photo-radical polymerization initiator is not particularly limited as long as it is a commonly used photo-radical polymerization initiator. Examples thereof include benzophenone, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyl, xanthone, thioxanthone and anthraquinone. Aromatic carbonyl compounds; acetophenone, propiophenone, α-hydroxyisobutylphenone, α,
α'-dichloro-4-phenoxyacetophenone, 1-
Acetophenones such as hydroxy-1-cyclohexylacetophenone and diacetylacetophenone; benzoyl peroxide, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylhydroperoxide, di-t-butyldiperoxyisophthalate, 3 ,
Organic peroxides such as 3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone; diphenylhalonium salts such as diphenyliodobromide and diphenyliodonium chloride; organic such as carbon tetrabromide, chloroform and iodoform. Halides; heterocyclic and polycyclic compounds such as 3-phenyl-5-isoxazolone and 2,4,6-tris (trichloromethyl) -1,3,5-triazinebenzathrone; 2,2′-azo (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2-azobisisobutyronitrile, 1,1′-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile), 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) Azo compounds such as iron;
Allene complexes (see EP 152377); titanocene compounds (see JP-A-63-221110); bisimidazole compounds; N-arylglycidyl compounds; acridine compounds; a combination of aromatic ketone / aromatic amine; And peroxyketal (see JP-A-6-321895). Among the above photoradical polymerization initiators, di-t-butyldiperoxyisophthalate, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, an iron-allene complex and a titanocene compound are It is preferable to use this one because of its high activity against crosslinking or polymerization.

【0023】光反応開始剤の配合割合は、臨界的なもの
ではなく、その種類に応じて広い範囲で変えることがで
きるが、一般には光硬化性樹脂100重量部(固形分)
に対して0.1〜25重量部、好ましくは0.2〜10
重量部である。25重量部を超えて多量に用いると、得
られる組成物の安定性が低下する傾向がみられる。
The mixing ratio of the photoreaction initiator is not critical, and can be varied in a wide range depending on the type of the photoreaction initiator. Generally, 100 parts by weight (solid content) of the photocurable resin is used.
0.1 to 25 parts by weight, preferably 0.2 to 10 parts by weight
Parts by weight. When used in a large amount exceeding 25 parts by weight, the stability of the resulting composition tends to decrease.

【0024】本発明で使用されるラジカル保護化合物
(C)は、可視光硬化性樹脂組成物から形成されるレジ
スト膜を可視光レーザー照射によって硬化させる際に発
生するラジカルが、酸素によって失活するのを阻止する
働きをし、それによって酸素存在下でもレジストに良好
な感度を付与できるものであって、本発明においては、
亜燐酸エステル化合物および芳香環を形成する炭素原子
に結合したN,N−ジメチルアミノ基を有する芳香族化
合物から選ばれる少なくとも1種の化合物が用いられ
る。
In the radical protecting compound (C) used in the present invention, radicals generated when a resist film formed from a visible light curable resin composition is cured by irradiation with a visible light laser are inactivated by oxygen. Which can provide good sensitivity to the resist even in the presence of oxygen, in the present invention,
At least one compound selected from a phosphite compound and an aromatic compound having an N, N-dimethylamino group bonded to a carbon atom forming an aromatic ring is used.

【0025】可視光硬化性樹脂組成物は、酸素が存在す
ると、光照射により発生したラジカルが酸素と反応して
パーオキシラジカルとなり、通常はパーオキシラジカル
同士が反応して酸素分子となって失活してしまうが、本
発明に従い上記ラジカル保護化合物(C)を存在させる
場合には、上記パーオキシラジカルの多くが、ラジカル
保護化合物(C)と反応して別のラジカルを生成し、こ
の別のラジカルがレジスト膜の硬化反応に寄与するもの
と考えられ、その結果、本発明の可視光硬化性樹脂組成
物は、酸素を遮断しなくても高感度を維持することがで
きる。
In the visible light-curable resin composition, when oxygen is present, radicals generated by light irradiation react with oxygen to form peroxy radicals, and usually, the peroxy radicals react with each other to form oxygen molecules and are lost. In the case where the radical protecting compound (C) is present according to the present invention, most of the peroxy radicals react with the radical protecting compound (C) to generate another radical. Is considered to contribute to the curing reaction of the resist film. As a result, the visible light-curable resin composition of the present invention can maintain high sensitivity without blocking oxygen.

【0026】上記亜燐酸エステル化合物の代表例として
は、ジメチル亜燐酸、ジエチル亜燐酸、ジプロピル亜燐
酸、ジブチル亜燐酸、ビス(2−エチルヘキシル)亜燐
酸、ジフェニル亜燐酸、ジベンジル亜燐酸などの亜燐酸
のジアルキル、ジアリール又はジアラルキルエステル;
トリメチル亜燐酸、トリエチル亜燐酸、トリイソプロピ
ル亜燐酸、トリブチル亜燐酸、トリラウリル亜燐酸、ト
リフェニル亜燐酸、トリイソデシル亜燐酸、トリス(ト
リデシル)亜燐酸などの亜燐酸のトリアルキル又はトリ
アリールエステル;ベンジルジエチル亜燐酸のような亜
燐酸のアラルキルジアルキルエステル;トリス(2,
2,2−トリフルオロエチル)亜燐酸、トリス(2−ク
ロロエチル)亜燐酸などの亜燐酸のトリ(ハロアルキ
ル)エステルなどを挙げることができる。
Representative examples of the above phosphite compounds include phosphites such as dimethyl phosphite, diethyl phosphite, dipropyl phosphite, dibutyl phosphite, bis (2-ethylhexyl) phosphite, diphenyl phosphite, dibenzyl phosphite and the like. A dialkyl, diaryl or diaralkyl ester of
Trialkyl or triaryl esters of phosphites such as trimethyl phosphite, triethyl phosphite, triisopropyl phosphite, tributyl phosphite, trilauryl phosphite, triphenyl phosphite, triisodecyl phosphite, tris (tridecyl) phosphite; benzyl diethyl Aralkyl dialkyl esters of phosphorous acid, such as phosphorous acid; tris (2,
Examples thereof include tri (haloalkyl) esters of phosphorous acid such as 2,2-trifluoroethyl) phosphorous acid and tris (2-chloroethyl) phosphorous acid.

【0027】上記芳香環を形成する炭素原子に結合した
N,N−ジメチルアミノ基を有する芳香族化合物の代表
例としては、N,N−ジメチルアニリン、4−ブロモ−
N,N−ジメチルアニリン、4−t−ブチル−N,N−
ジメチルアニリン、2,6−ジイソプロピル−N,N−
ジメチルアニリン、4,4’−ビニリデンビス(N,N
−ジメチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(N,
N−ジメチルアニリン)、4,4’−メチレンビス
(2,6−ジイソプロピル−N,N−ジメチルアニリ
ン)、N,N,2,4,6−ペンタメチルアニリン、
N,N−ジメチル−m−トルイジン、4−(2−ピリジ
ルアゾ)−N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチ
ル−4−ニトロソアニリンなどのN,N−ジメチルアニ
リン誘導体を挙げることができる。
Representative examples of the aromatic compound having an N, N-dimethylamino group bonded to the carbon atom forming the aromatic ring include N, N-dimethylaniline and 4-bromo-
N, N-dimethylaniline, 4-t-butyl-N, N-
Dimethylaniline, 2,6-diisopropyl-N, N-
Dimethylaniline, 4,4'-vinylidenebis (N, N
-Dimethylaniline), 4,4'-methylenebis (N,
N-dimethylaniline), 4,4′-methylenebis (2,6-diisopropyl-N, N-dimethylaniline), N, N, 2,4,6-pentamethylaniline,
Examples thereof include N, N-dimethylaniline derivatives such as N, N-dimethyl-m-toluidine, 4- (2-pyridylazo) -N, N-dimethylaniline, and N, N-dimethyl-4-nitrosoaniline.

【0028】これらのうち、芳香環を形成する炭素原子
に結合したN,N−ジメチルアミノ基を有する分子量が
120〜400の芳香族化合物が、レジストの樹脂との
相溶性や得られるレジスト膜の可視光に対する感度の点
から特に好適である。
Of these, aromatic compounds having an N, N-dimethylamino group bonded to a carbon atom forming an aromatic ring and having a molecular weight of from 120 to 400 are considered to be compatible with the resin of the resist and the resulting resist film. It is particularly preferable in terms of sensitivity to visible light.

【0029】上記特定のラジカル保護化合物(C)の配
合量は、厳密に制限されるものではなく、用いる光反応
開始剤(B)の種類や量等に応じて変えることができる
が、一般には、可視光硬化性樹脂組成物の固形分100
重量部に対して、0.1〜30重量部の範囲内であるこ
とが好ましく、特に1〜10重量部の範囲内であること
がレジスト膜の感光性、被膜強度等の点から適当であ
る。
The amount of the specific radical protecting compound (C) is not strictly limited, and can be changed according to the type and amount of the photoreaction initiator (B) to be used. , Solid content of visible light curable resin composition 100
The amount is preferably in the range of 0.1 to 30 parts by weight, and particularly preferably in the range of 1 to 10 parts by weight, from the viewpoint of the photosensitivity of the resist film, the film strength and the like. .

【0030】本発明の光増感剤(D)としての一般式
(1)で表されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物は、
400〜700nmの可視光領域の光に、特に、アルゴ
ンレーザー光やYAGレーザー高調波光の波長(400
〜600nm)の光を吸収することにより励起され、光
硬化性樹脂(A)や、光反応開始剤(B)と相互作用を
有する化合物である。ここで言う「相互作用」には、励
起された一般式(1)で表されるベンゾピロメテン系ホ
ウ素化合物から光硬化性樹脂(A)または光反応開始剤
(B)へのエネルギー移動や電子移動が包含される。こ
のことから、ここで使用する一般式(1)で表されるベ
ンゾピロメテン系ホウ素化合物は、光増感剤として極め
て有用な化合物である。
The benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) as the photosensitizer (D) of the present invention is:
Light in the visible light range of 400 to 700 nm, particularly the wavelength of the argon laser light or the YAG laser harmonic light (400
The compound is excited by absorbing light (up to 600 nm) and interacts with the photocurable resin (A) and the photoreaction initiator (B). The term "interaction" as used herein refers to energy transfer or electron transfer from the excited benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) to the photocurable resin (A) or photoreaction initiator (B). Included. For this reason, the benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) used here is a very useful compound as a photosensitizer.

【0031】また、従来の可視光硬化性樹脂組成物は、
保存安定性に問題があったが、本発明の可視光硬化性樹
脂組成物は、長期間の保存に耐えうる、経時保存安定性
に優れたものである。
Further, the conventional visible light curable resin composition comprises:
Although there was a problem in storage stability, the visible light-curable resin composition of the present invention can withstand long-term storage and has excellent storage stability over time.

【0032】本発明の一般式(1)で表される化合物に
おいて、R1,R2,R3,R5,R6,R7,R8,R9の具
体例としては、水素原子;ニトロ基;シアノ基;ヒドロ
キシ基;アミノ基;カルボキシル基;スルホン酸基;フ
ッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子;メチ
ル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n
−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチ
ル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、n−ヘキシル
基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、シクロヘ
キシル基、、デカリル基、イコサニル基等のアルキル
基;クロロメチル基、ジクロロメチル基、フルオロメチ
ル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル
基、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−プ
ロピル基、ノナフルオロブチル基等のハロゲノアルキル
基;メトキシエチル基、エトキシエチル基、イソプロピ
ルオキシエチル基、3−メトキシプロピル基、2−メト
キシブチル基等のアルコキシアルキル基;
In the compound represented by the general formula (1) of the present invention, specific examples of R 1 , R 2 , R 3 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 and R 9 include a hydrogen atom; Nitro group; cyano group; hydroxy group; amino group; carboxyl group; sulfonic acid group; halogen atom such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom; methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n
-Alkyl groups such as -butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, neopentyl group, n-hexyl group, n-octyl group, 2-ethylhexyl group, cyclohexyl group, decalyl group, and icosanyl group Groups; chloromethyl, dichloromethyl, fluoromethyl, trifluoromethyl, pentafluoroethyl, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-propyl, nonafluorobutyl and the like A halogenoalkyl group; an alkoxyalkyl group such as a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, an isopropyloxyethyl group, a 3-methoxypropyl group, and a 2-methoxybutyl group;

【0033】メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ
基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、n−ペンチル
オキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−オクチルオキシ
基、n−デシルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シ
クロヘキシルオキシ基、4−メチルシクロヘキシルオキ
シ基等のアルコキシ基;メトキシエトキシ基、エトキシ
エトキシ基、3−メトキシプロポキシ基、3−(イソプ
ロピルオキシ)プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ
基;フェノキシ基、2−メチルフェノキシ基、4−メチ
ルフェノキシ基、4−t−ブチルフェノキシ基、2−メ
トキシフェノキシ基、4−イソプロピルフェノキシ基等
のアリールオキシ基;ホルミル基、アセチル基、エチル
カルボニル基、n−プロピルカルボニル基、イソプロピ
ルカルボニル基、イソブチルカルボニル基、t−ブチル
カルボニル基、イソペンチルカルボニル基、ベンジルカ
ルボニル基等のアシル基;メトキシカルボニル基、エト
キシカルボニル基、n−ブトキシカルボニル基、n−ヘ
キシルオキシカルボニル基、n−オクチルオキシカルボ
ニル基、n−デシルオキシカルボニル基,シクロペンチ
ルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニ
ル基、4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基等
のアルコキシカルボニル基;
Methoxy, ethoxy, n-propoxy, isopropoxy, n-butoxy, n-pentyloxy, n-hexyloxy, n-octyloxy, n-decyloxy, cyclopentyloxy, Alkoxy groups such as cyclohexyloxy group and 4-methylcyclohexyloxy group; alkoxyalkoxy groups such as methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, 3-methoxypropoxy group and 3- (isopropyloxy) propoxy group; phenoxy group and 2-methylphenoxy Aryloxy groups such as a group, 4-methylphenoxy group, 4-t-butylphenoxy group, 2-methoxyphenoxy group and 4-isopropylphenoxy group; formyl group, acetyl group, ethylcarbonyl group, n-propylcarbonyl group, isopropyl Carbonyl group, Acyl groups such as a sobutylcarbonyl group, a t-butylcarbonyl group, an isopentylcarbonyl group and a benzylcarbonyl group; a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-butoxycarbonyl group, an n-hexyloxycarbonyl group, and an n-octyloxycarbonyl An alkoxycarbonyl group such as a group, an n-decyloxycarbonyl group, a cyclopentyloxycarbonyl group, a cyclohexyloxycarbonyl group, a 4-methylcyclohexyloxycarbonyl group;

【0034】アミノカルボニル基;メチルアミノカルボ
ニル基、n−ブチルアミノカルボニル基、n−ヘキシル
アミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル
基、4−メチルシクロヘキシルアミノカルボニル基等の
アルキルアミノカルボニル基;ジメチルアミノカルボニ
ル基、ジエチルアミノカルボニル基、ジ−n−ブチルア
ミノカルボニル基、ジ−n−ヘキシルアミノカルボニル
基、ジ−n−オクチルアミノカルボニル基、N−イソア
ミル−N−メチルアミノカルボニル基等のジアルキルア
ミノカルボニル基;アセチルアミノ基、エチルカルボニ
ルアミノ基、イソブチルカルボニルアミノ基等のアルキ
ルカルボニルアミノ基;フェニルカルボニルアミノ基、
4−エチルフェニルカルボニルアミノ基、3−イソプロ
ピルフェニルカルボニルアミノ基、2−メトキシフェニ
ルカルボニルアミノ基等のアリールカルボニルアミノ
基;フェニルアミノカルボニル基、4−メチルフェニル
アミノカルボニル基、2−メトキシフェニルアミノカル
ボニル基、4−n−プロピルフェニルアミノカルボニル
基等のアリールアミノカルボニル基;フェノキシカルボ
ニル基、4−メチルフェノキシカルボニル基、3−メチ
ルフェノキシカルボニル基、2−メチルフェノキシカル
ボニル基、2,4−ジメチルフェノキシカルボニル基、
2,6−ジメチルフェノキシカルボニル基、2,4、6
−トリメチルフェノキシカルボニル基、4−フェニルフ
ェノキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル
基;
Aminocarbonyl group; methylaminocarbonyl group, n-butylaminocarbonyl group, n-hexylaminocarbonyl group, cyclohexylaminocarbonyl group, alkylaminocarbonyl group such as 4-methylcyclohexylaminocarbonyl group; dimethylaminocarbonyl group; Dialkylaminocarbonyl groups such as diethylaminocarbonyl group, di-n-butylaminocarbonyl group, di-n-hexylaminocarbonyl group, di-n-octylaminocarbonyl group, N-isoamyl-N-methylaminocarbonyl group; acetylamino Alkylcarbonylamino groups such as a group, an ethylcarbonylamino group and an isobutylcarbonylamino group; a phenylcarbonylamino group;
Arylcarbonylamino groups such as 4-ethylphenylcarbonylamino group, 3-isopropylphenylcarbonylamino group and 2-methoxyphenylcarbonylamino group; phenylaminocarbonyl group, 4-methylphenylaminocarbonyl group and 2-methoxyphenylaminocarbonyl group , An arylaminocarbonyl group such as 4-n-propylphenylaminocarbonyl group; a phenoxycarbonyl group, a 4-methylphenoxycarbonyl group, a 3-methylphenoxycarbonyl group, a 2-methylphenoxycarbonyl group, a 2,4-dimethylphenoxycarbonyl group ,
2,6-dimethylphenoxycarbonyl group, 2,4,6
Aryloxycarbonyl groups such as -trimethylphenoxycarbonyl group, 4-phenylphenoxycarbonyl group;

【0035】ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル
基;フェニル基、3−ニトロフェニル基、4−シアノフ
ェニル基、4−ヒドロキシフェニル基、2−メチルフェ
ニル基、3,5−ジメチルフェニル基、3−トリフルオ
ロメチルフェニル基、4−クロロフェニル基、4−メト
キシフェニル基、4−(ジメチルアミノ)フェニル基、
ナフチル基、ビフェニル基、フルオレニル基などのアリ
ール基;ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサ
ゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、
チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル
基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベ
ンゾフラニル基、インド−3−イル基等のヘテロアリー
ル基;
Aralkyl groups such as benzyl and phenethyl; phenyl, 3-nitrophenyl, 4-cyanophenyl, 4-hydroxyphenyl, 2-methylphenyl, 3,5-dimethylphenyl, 3- Trifluoromethylphenyl group, 4-chlorophenyl group, 4-methoxyphenyl group, 4- (dimethylamino) phenyl group,
Aryl groups such as naphthyl group, biphenyl group and fluorenyl group; pyrrolyl group, thienyl group, furanyl group, oxazoyl group, isoxazoyl group, oxadiazoyl group,
Heteroaryl groups such as thiadiazoyl, imidazoyl, benzothiazoyl, benzoxazoyl, benzoimidazoyl, benzofuranyl and indo-3-yl;

【0036】メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピ
ルチオ基、イソプロピルチオ基、n−ブチルチオ基、イ
ソブチルチオ基、t−ブチルチオ基、3,5,5−トリ
メチルヘキシルチオ基等のアルキルチオ基;フェニルチ
オ基、4−メチルフェニルチオ基、2−メトキシフェニ
ルチオ基、4−t−ブチルフェニルチオ基、ナフチルチ
オ基等のアリールチオ基;アリルオキシカルボニル基、
2−ブテノキシカルボニル基等のアルケニルオキシカル
ボニル基;ベンジルオキシカルボニル基、4−メチルベ
ンジルオキシカルボニル基、フェネチルオキシカルボニ
ル基等のアラルキルオキシカルボニル基;メトキシカル
ボニルメトキシカルボニル基、エトキシカルボニルメト
キシカルボニル基、n−プロポキシカルボニルメトキシ
カルボニル基、イソプロポキシカルボニルメトキシカル
ボニル基等のアルコキシカルボニルアルコキシカルボニ
ル基;メチルカルボニルメトキシカルボニル基、エチル
カルボニルメトキシカルボニル基等のアルキルカルボニ
ルアルコキシカルボニル基;
Alkylthio groups such as methylthio, ethylthio, n-propylthio, isopropylthio, n-butylthio, isobutylthio, t-butylthio, 3,5,5-trimethylhexylthio; phenylthio; Arylthio groups such as 4-methylphenylthio group, 2-methoxyphenylthio group, 4-t-butylphenylthio group, and naphthylthio group; allyloxycarbonyl group;
Alkenyloxycarbonyl groups such as 2-butenoxycarbonyl group; aralkyloxycarbonyl groups such as benzyloxycarbonyl group, 4-methylbenzyloxycarbonyl group and phenethyloxycarbonyl group; methoxycarbonylmethoxycarbonyl group, ethoxycarbonylmethoxycarbonyl group; alkoxycarbonylalkoxycarbonyl groups such as n-propoxycarbonylmethoxycarbonyl group and isopropoxycarbonylmethoxycarbonyl group; alkylcarbonylalkoxycarbonyl groups such as methylcarbonylmethoxycarbonyl group and ethylcarbonylmethoxycarbonyl group;

【0037】ヒドロキシエチルアミノカルボニル基、2
−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基、3−ヒドロ
キシプロピルアミノカルボニル基等のモノ(ヒドロキシ
アルキル)アミノカルボニル基;ジ(ヒドロキシエチ
ル)アミノカルボニル基、ジ(2−ヒドロキシプロピ
ル)アミノカルボニル基、ジ(3−ヒドロキシプロピ
ル)アミノカルボニル基等のジ(ヒドロキシアルキル)
アミノカルボニル基;メトキシメチルアミノカルボニル
基、メトキシエチルアミノカルボニル基、エトキシメチ
ルアミノカルボニル基、エトキシエチルアミノカルボニ
ル基、プロポキシエチルアミノカルボニル基等のモノ
(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基;ジ(メト
キシメチル)アミノカルボニル基、ジ(メトキシエチ
ル)アミノカルボニル基、ジ(エトキシメチル)アミノ
カルボニル基、ジ(エトキシエチル)アミノカルボニル
基、ジ(プロポキシエチル)アミノカルボニル基等のジ
(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基;
Hydroxyethylaminocarbonyl group, 2
Mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl groups such as -hydroxypropylaminocarbonyl group and 3-hydroxypropylaminocarbonyl group; di (hydroxyethyl) aminocarbonyl group, di (2-hydroxypropyl) aminocarbonyl group, di (3-hydroxy Di (hydroxyalkyl) such as propyl) aminocarbonyl group
Aminocarbonyl group; methoxymethylaminocarbonyl group, methoxyethylaminocarbonyl group, ethoxymethylaminocarbonyl group, ethoxyethylaminocarbonyl group, mono (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group such as propoxyethylaminocarbonyl group; di (methoxymethyl) amino Di (alkoxyalkyl) aminocarbonyl groups such as carbonyl group, di (methoxyethyl) aminocarbonyl group, di (ethoxymethyl) aminocarbonyl group, di (ethoxyethyl) aminocarbonyl group, di (propoxyethyl) aminocarbonyl group;

【0038】ビニル基、プロペニル基、1−ブテニル
基、1−ペンテニル基、2−ペンテニル基、3−メチル
−1−ブテニル基、2,2−ジシアノビニル基、1,
2,2−トリシアノビニル基等のアルケニル基メチルア
ミノ基、n−ブチルアミノ基、n−ヘキシルアミノ基、
シクロヘキシルアミノ基、4−メチルシクロヘキシルア
ミノ基等のアルキルアミノ基;ジメチルアミノ基、ジエ
チルアミノ基、ジ−n−ブチルアミノ基、ジ−n−ヘキ
シルアミノ基、ジ−n−オクチルアミノ基、N−イソア
ミル−N−メチルアミノ基等のジアルキルアミノ基;ヒ
ドロキシメチルアミノ基、ヒドロキシエチルアミノ基、
2−ヒドロキシプロピルアミノ基、3−ヒドロキシプロ
ピルアミノ基等のモノ(ヒドロキシアルキル)アミノ
基;ジ(ヒドロキシメチル)アミノ基、ジ(ヒドロキシ
エチル)アミノ基、ジ(2−ヒドロキシプロピル)アミ
ノ基、ジ(3−ヒドロキシプロピル)アミノ基等のジ
(ヒドロキシアルキル)アミノ基等を挙げることができ
る。
Vinyl, propenyl, 1-butenyl, 1-pentenyl, 2-pentenyl, 3-methyl-1-butenyl, 2,2-dicyanovinyl, 1,
Alkenyl groups such as 2,2-tricyanovinyl group, methylamino group, n-butylamino group, n-hexylamino group,
Alkylamino groups such as cyclohexylamino group and 4-methylcyclohexylamino group; dimethylamino group, diethylamino group, di-n-butylamino group, di-n-hexylamino group, di-n-octylamino group, N-isoamyl A dialkylamino group such as -N-methylamino group; a hydroxymethylamino group, a hydroxyethylamino group,
A mono (hydroxyalkyl) amino group such as a 2-hydroxypropylamino group or a 3-hydroxypropylamino group; a di (hydroxymethyl) amino group, a di (hydroxyethyl) amino group, a di (2-hydroxypropyl) amino group, And a di (hydroxyalkyl) amino group such as a (3-hydroxypropyl) amino group.

【0039】R4の具体例としては、水素原子;シアノ
基;メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピ
ル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n
−ペンチル基、イソペンチル基、n−ヘキシル基、n−
オクチル基、2−エチルヘキシル基、シクロヘキシル
基、デカリル基、イコサニル基等のアルキル基;ベンジ
ル基、2−メチルベンジル基、4−エチルベンジル基、
フェネチル基等のアラルキル基;フェニル基、3−ニト
ロフェニル基、4−シアノフェニル基、4−ヒドロキシ
フェニル基、2−メチルフェニル基、3,5−ジメチル
フェニル基、3−トリフルオロメチルフェニル基、4−
クロロフェニル基、4−メトキシフェニル基、4−(ジ
メチルアミノ)フェニル基、ナフチル基、ビフェニル
基、フルオレニル基などのアリール基;
Specific examples of R 4 include a hydrogen atom; a cyano group; a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a t-butyl group,
-Pentyl group, isopentyl group, n-hexyl group, n-
Alkyl groups such as octyl group, 2-ethylhexyl group, cyclohexyl group, decalyl group and icosanyl group; benzyl group, 2-methylbenzyl group, 4-ethylbenzyl group,
Aralkyl groups such as phenethyl group; phenyl group, 3-nitrophenyl group, 4-cyanophenyl group, 4-hydroxyphenyl group, 2-methylphenyl group, 3,5-dimethylphenyl group, 3-trifluoromethylphenyl group, 4-
Aryl groups such as chlorophenyl group, 4-methoxyphenyl group, 4- (dimethylamino) phenyl group, naphthyl group, biphenyl group and fluorenyl group;

【0040】ピロリル基、N−メチルピロリル基、N−
エチルピロリル基、N−プロピルピロリル基、N−ブチ
ルピロリル基、N−イソブチルピロリル基、N−イソペ
ンチルピロリル基、N−オクチルピロリル基、N−メト
キシメチルピロリル基、N−メトキシエチルピロリル
基、N−エトキシメチルピロリル基、N−エトキシエチ
ルピロリル基、N−メトキシカルボニルメチルピロリル
基、N−メトキシカルボニルエチルピロリル基、N−エ
トキシカルボニルメチルピロリル基、N−エトキシカル
ボニルエチルピロリル基、N−ベンジルピロリル基、N
−フェニルピロリル基、N−トリルピロリル基、N−ア
リルピロリル基、N−ブテニルピロリル基、N−ペンテ
ニルピロリル基、チエニル基、フリル基、ピリジル基、
キノリル基、イソキノリル基、オキサゾイル基、イソオ
キサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル
基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキ
サゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフリル基、
インド−3−イル基等のヘテロアリール基;ビニル基、
プロペニル基、1−ブテニル基、1−ペンテニル基、2
−ペンテニル基、3−メチル−1−ブテニル基、2,2
−ジシアノビニル基、1,2,2−トリシアノビニル基
等のアルケニル基等を挙げることができる。
Pyrrolyl group, N-methylpyrrolyl group, N-
Ethylpyrrolyl, N-propylpyrrolyl, N-butylpyrrolyl, N-isobutylpyrrolyl, N-isopentylpyrrolyl, N-octylpyrrolyl, N-methoxymethylpyrrolyl, N-methoxyethylpyrrolyl Group, N-ethoxymethylpyrrolyl group, N-ethoxyethylpyrrolyl group, N-methoxycarbonylmethylpyrrolyl group, N-methoxycarbonylethylpyrrolyl group, N-ethoxycarbonylmethylpyrrolyl group, N-ethoxycarbonyl Ethylpyrrolyl group, N-benzylpyrrolyl group, N
-Phenylpyrrolyl group, N-tolylpyrrolyl group, N-allylpyrrolyl group, N-butenylpyrrolyl group, N-pentenylpyrrolyl group, thienyl group, furyl group, pyridyl group,
Quinolyl group, isoquinolyl group, oxazoyl group, isoxazoyl group, oxadiazoyl group, thiadiazoyl group, imidazoyl group, benzothiazoyl group, benzoxazoyl group, benzimidazoyl group, benzofuryl group,
A heteroaryl group such as an ind-3-yl group; a vinyl group;
Propenyl group, 1-butenyl group, 1-pentenyl group, 2
-Pentenyl group, 3-methyl-1-butenyl group, 2,2
And alkenyl groups such as -dicyanovinyl group and 1,2,2-tricyanovinyl group.

【0041】R10,R11の具体例としては、フッ素、塩
素、臭素等のハロゲン原子;メチル基、エチル基、n−
プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチ
ル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル
基、ネオペンチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル
基、2−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基、、デカ
リル基、イコサニル基等のアルキル基;ベンジル基、2
−メチルベンジル基、4−エチルベンジル基、フェネチ
ル基等のアラルキル基;
Specific examples of R 10 and R 11 include halogen atoms such as fluorine, chlorine and bromine; methyl, ethyl and n-
Propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, t-butyl, n-pentyl, isopentyl, neopentyl, n-hexyl, n-octyl, 2-ethylhexyl, cyclohexyl, decalyl An alkyl group such as an icosanyl group; a benzyl group;
Aralkyl groups such as -methylbenzyl group, 4-ethylbenzyl group and phenethyl group;

【0042】フェニル基、3−ニトロフェニル基、4−
シアノフェニル基、4−ヒドロキシフェニル基、2−メ
チルフェニル基、3,5−ジメチルフェニル基、3−ト
リフルオロメチルフェニル基、4−クロロフェニル基、
4−メトキシフェニル基、4−(ジメチルアミノ)フェ
ニル基、ナフチル基、ビフェニル基、フルオレニル基な
どのアリール基;ピロリル基、N−メチルピロリル基、
N−エチルピロリル基、N−プロピルピロリル基、N−
ブチルピロリル基、N−イソブチルピロリル基、N−イ
ソペンチルピロリル基、N−オクチルピロリル基、N−
メトキシメチルピロリル基、N−メトキシエチルピロリ
ル基、N−エトキシメチルピロリル基、N−エトキシエ
チルピロリル基、N−メトキシカルボニルメチルピロリ
ル基、N−メトキシカルボニルエチルピロリル基、N−
エトキシカルボニルメチルピロリル基、N−エトキシカ
ルボニルエチルピロリル基、N−ベンジルピロリル基、
N−フェニルピロリル基、N−トリルピロリル基、N−
アリルピロリル基、N−ブテニルピロリル基、N−ペン
テニルピロリル基、チエニル基、フリル基、ピリジル
基、キノリル基、イソキノリル基、オキサゾイル基、イ
ソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイ
ル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオ
キサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフリル
基、インド−3−イル基等のヘテロアリール基;
Phenyl, 3-nitrophenyl, 4-
Cyanophenyl group, 4-hydroxyphenyl group, 2-methylphenyl group, 3,5-dimethylphenyl group, 3-trifluoromethylphenyl group, 4-chlorophenyl group,
Aryl groups such as 4-methoxyphenyl group, 4- (dimethylamino) phenyl group, naphthyl group, biphenyl group and fluorenyl group; pyrrolyl group, N-methylpyrrolyl group,
N-ethylpyrrolyl group, N-propylpyrrolyl group, N-
Butylpyrrolyl group, N-isobutylpyrrolyl group, N-isopentylpyrrolyl group, N-octylpyrrolyl group, N-
Methoxymethylpyrrolyl group, N-methoxyethylpyrrolyl group, N-ethoxymethylpyrrolyl group, N-ethoxyethylpyrrolyl group, N-methoxycarbonylmethylpyrrolyl group, N-methoxycarbonylethylpyrrolyl group, N-
Ethoxycarbonylmethylpyrrolyl group, N-ethoxycarbonylethylpyrrolyl group, N-benzylpyrrolyl group,
N-phenylpyrrolyl group, N-tolylpyrrolyl group, N-
Allylpyrrolyl group, N-butenylpyrrolyl group, N-pentenylpyrrolyl group, thienyl group, furyl group, pyridyl group, quinolyl group, isoquinolyl group, oxazoyl group, isoxazoyl group, oxadiazoyl group, thiadiazoyl group, imidazoyl group, benzothiazoyl group, Heteroaryl groups such as a benzoxazoyl group, a benzimidazoyl group, a benzofuryl group and an indo-3-yl group;

【0043】メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ
基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、n−ペンチル
オキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−オクチルオキシ
基、n−デシルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シ
クロヘキシルオキシ基、4−メチルシクロヘキシルオキ
シ基等のアルコキシ基;メトキシエトキシ基、エトキシ
エトキシ基、3−メトキシプロポキシ基、3−(イソプ
ロピルオキシ)プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ
基等を挙げることができる。
Methoxy, ethoxy, n-propoxy, isopropoxy, n-butoxy, n-pentyloxy, n-hexyloxy, n-octyloxy, n-decyloxy, cyclopentyloxy, An alkoxy group such as a cyclohexyloxy group and a 4-methylcyclohexyloxy group; and an alkoxyalkoxy group such as a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a 3-methoxypropoxy group, and a 3- (isopropyloxy) propoxy group.

【0044】以下の表−1に一般式(1)で表されるベ
ンゾピロメテン系ホウ素化合物の具体例を示すが、本発
明はこれらの例のみに限定されるものではない。
Table 1 below shows specific examples of the benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1), but the present invention is not limited only to these examples.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】[0046]

【表2】 [Table 2]

【0047】[0047]

【表3】 [Table 3]

【0048】[0048]

【表4】 [Table 4]

【0049】本発明記載の一般式(1)で表されるベン
ゾピロメテン系ホウ素化合物は以下の方法で製造するこ
とができる。即ち、代表的には、まず、例えば臭化水素
酸や塩化水素等の酸触媒の存在下、一般式(2)で示さ
れる化合物と一般式(3)で示される化合物、または一
般式(4)で示される化合物と一般式(5)で示される
化合物とを反応させることにより、一般式(6)で表さ
れる化合物を得ることができる。次に一般式(6)で表
される化合物を三ハロゲン化ホウ素と反応させることに
より、一般式(7)で表される化合物を得ることができ
る。更に少なくとも一方がハロゲン原子ではないR10
11の置換基の場合には、一般式(7)の化合物のハロ
ゲン原子の一部または全部を置換して一般式(1)で示
されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物を得ることがで
きる。
The benzopyrromethene boron compound represented by the general formula (1) according to the present invention can be produced by the following method. That is, typically, first, a compound represented by the general formula (2) and a compound represented by the general formula (3) or a compound represented by the general formula (4) in the presence of an acid catalyst such as hydrobromic acid or hydrogen chloride. The compound represented by the general formula (6) can be obtained by reacting the compound represented by the general formula (5) with the compound represented by the general formula (5). Next, the compound represented by the general formula (7) can be obtained by reacting the compound represented by the general formula (6) with boron trihalide. When at least one of them is a substituent of R 10 and R 11 which is not a halogen atom, a benzopyrromethene compound represented by the general formula (1) is obtained by substituting a part or all of the halogen atoms of the compound of the general formula (7). A boron compound can be obtained.

【0050】[0050]

【化3】 (式中、R4〜R9は前記に同じ。)Embedded image (In the formula, R 4 to R 9 are the same as described above.)

【0051】[0051]

【化4】 (式中、R1〜R3は前記に同じ。)Embedded image (In the formula, R 1 to R 3 are the same as described above.)

【0052】[0052]

【化5】 (式中、R5〜R9は前記に同じ。)Embedded image (In the formula, R 5 to R 9 are the same as described above.)

【0053】[0053]

【化6】 (式中、R1〜R4は前記に同じ。)Embedded image (In the formula, R 1 to R 4 are the same as described above.)

【0054】[0054]

【化7】 (式中、R1〜R9は前記に同じ。)Embedded image (In the formula, R 1 to R 9 are the same as described above.)

【0055】[0055]

【化8】 (式中、R1〜R9は前記に同じであり、Xはハロゲン原
子を表す。)
Embedded image (In the formula, R 1 to R 9 are the same as described above, and X represents a halogen atom.)

【0056】本発明の光増感剤(D)は、一般式(1)
で表されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物を少なくと
も1種含有するものであり、その他の公知の光増感剤を
併用していてもよい。
The photosensitizer (D) of the present invention has the general formula (1)
And at least one kind of a benzopyrromethene-based boron compound represented by the formula (1), and other known photosensitizers may be used in combination.

【0057】公知の光増感剤としては、一般に使用され
ている光増感剤であれば特に限定はされないが、ケトク
マリン、クマリン−6及び特開平4−18088号公報
に記載されたクマリン化合物等が挙げられる。
The known photosensitizer is not particularly limited as long as it is a commonly used photosensitizer, and examples thereof include ketocoumarin, coumarin-6, and coumarin compounds described in JP-A-4-18088. Is mentioned.

【0058】この場合、光増感剤(D)中の一般式
(1)で表されるベンゾピロメテン系ホウ素化合物の含
有量としては、特に制限はないが、本発明で所望の効果
を得るためには、光増感剤中の一般式(1)で表される
ベンゾピロメテン系ホウ素化合物の含有量は、10重量
%以上であることが好ましく、より好ましくは20重量
%以上であり、さらに好ましくは30重量%以上であ
り、50重量%以上含有する光増感剤は特に好ましい。
In this case, the content of the benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) in the photosensitizer (D) is not particularly limited, however, in order to obtain a desired effect in the present invention. The content of the benzopyrromethene-based boron compound represented by the general formula (1) in the photosensitizer is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, and still more preferably 30% by weight or more. % Or more, and a photosensitizer containing 50% by weight or more is particularly preferable.

【0059】光増感剤(D)の使用量は、光増感剤
(D)の種類や量、相互作用すべき光硬化性樹脂(A)
成分の種類により異なるが、通常、光硬化性樹脂(A)
成分100重量部当たり、光増感剤(D)の使用量が
0.1〜10重量部、好ましくは0.3〜5重量部の範
囲内が適当である。光増感剤(D)の使用量が0.1重
量部より少なすぎると、形成される被膜の感光性が低下
する傾向があり、10重量部より多くなると、溶解性の
点から、組成物を均一な状態に保つことが困難になる傾
向が見られる。
The amount of the photosensitizer (D) used depends on the type and amount of the photosensitizer (D) and the photocurable resin (A) to be interacted with.
Depending on the type of component, usually, the photocurable resin (A)
The amount of the photosensitizer (D) to be used is in the range of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.3 to 5 parts by weight, per 100 parts by weight of the component. If the amount of the photosensitizer (D) is less than 0.1 part by weight, the photosensitivity of the film to be formed tends to decrease. Tend to be difficult to maintain in a uniform state.

【0060】本発明で使用する可視光硬化性樹脂組成物
は、上記した成分以外に必要に応じて上記以外の光重合
性不飽和化合物(樹脂)を配合することができる。この
ものとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、
エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレ
ート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、(ポ
リ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポ
リ)プロピレングリコールトリ(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グ
リセリントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
The visible light-curable resin composition used in the present invention may further contain, if necessary, a photopolymerizable unsaturated compound (resin) other than the above components. This includes, for example, methyl (meth) acrylate,
Ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol tri (meth) acrylate,
Examples include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and pentaerythritol tri (meth) acrylate.

【0061】上記したその他の光重合性不飽和化合物は
組成物の総合計量(固形分)で約0〜80重量%、特に
約5〜50重量%の範囲が好ましい。
The above-mentioned other photopolymerizable unsaturated compound is preferably in the range of about 0 to 80% by weight, particularly about 5 to 50% by weight, based on the total weight (solid content) of the composition.

【0062】本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、さら
に必要に応じて、密着促進剤;紫外線に対して有効な光
重合開始剤や増感剤;ハイドロキノン、2,6−ジ−t
−ブチル−p−クレゾール(BHT)、N,N−ジフェ
ニル−p−フェニレンジアミンなどの重合禁止剤;有機
樹脂微粒子、着色顔料、体質顔料などの各種顔料類;酸
化コバルトなどの金属酸化物;フタル酸ジブチル、フタ
ル酸ジオクチル、トリクレジルフォスフェート、ポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコールなどの可
塑剤;有機溶剤などを含有することができる。
The visible light curable resin composition of the present invention may further comprise, if necessary, an adhesion promoter; a photopolymerization initiator or a sensitizer effective against ultraviolet rays; hydroquinone, 2,6-di-t.
Polymerization inhibitors such as -butyl-p-cresol (BHT) and N, N-diphenyl-p-phenylenediamine; various pigments such as organic resin fine particles, coloring pigments and extender pigments; metal oxides such as cobalt oxide; Plasticizers such as dibutyl acid, dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, polyethylene glycol and polypropylene glycol; and organic solvents.

【0063】上記密着促進剤は、基板に対するレジスト
膜の密着性を向上させるために配合されるものであり、
例えば、テトラゾール、1−フェニルテトラゾール、5
−アミノテトラゾール、5−アミノ−1−メチルテトラ
ゾール、5−アミノ−2−フェニルテトラゾール、5−
メルカプト−1−フェニルテトラゾール、5−メルカプ
ト−1−メチルテトラゾール、5−メチルチオテトラゾ
ール、5−クロロ−1−フェニル−1H−テトラゾール
等のテトラゾール類を挙げることができる。
The above-mentioned adhesion promoter is compounded to improve the adhesion of the resist film to the substrate.
For example, tetrazole, 1-phenyltetrazole, 5
-Aminotetrazole, 5-amino-1-methyltetrazole, 5-amino-2-phenyltetrazole, 5-
Examples thereof include tetrazoles such as mercapto-1-phenyltetrazole, 5-mercapto-1-methyltetrazole, 5-methylthiotetrazole, and 5-chloro-1-phenyl-1H-tetrazole.

【0064】本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、一般
に用いられている公知の感光性材料、例えば、塗料、イ
ンキ、接着剤、レジスト材、刷版材(平板や凸版用製版
材、オフセット印刷用PS板等)、情報記録材料、レリ
ーフ像作製材料等幅広い用途への使用が可能である。
The visible light curable resin composition of the present invention can be prepared by using known photosensitive materials generally used, for example, paints, inks, adhesives, resist materials, plate materials (plate making materials for flat plates and letterpresses, offset materials). It can be used for a wide range of applications such as a printing PS plate, an information recording material, and a relief image forming material.

【0065】次に、本発明の可視光硬化性樹脂組成物の
代表的なレジスト材(例えば、一般的なネガ型硬化性レ
ジスト材料及び電着塗装用ネガ型レジスト材料)につい
て説明する。
Next, typical resist materials of the visible light curable resin composition of the present invention (for example, common negative curable resist materials and negative resist materials for electrodeposition coating) will be described.

【0066】一般的なネガ型硬化性レジスト材料として
は、例えば、本発明の可視光硬化性樹脂組成物を溶剤
(水も含む)に分散もしくは溶解(着色剤に顔料を用い
た場合は顔料を微分散)させて、感光液を調製し、これ
を支持体上に、例えば、ローラー、ロールコーター、ス
ピンコーター等のごとき塗布装置を用いて塗布し、乾燥
する方法により、これをネガ型レジスト材料として用い
ることができる。
As a general negative type curable resist material, for example, the visible light curable resin composition of the present invention is dispersed or dissolved in a solvent (including water). Fine dispersion) to prepare a photosensitive solution, and apply it to a support using a coating device such as a roller, a roll coater, or a spin coater, and dry the solution. Can be used as

【0067】可視光硬化性樹脂組成物を溶解もしくは分
散するために使用する溶剤としては、例えば、ケトン類
(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケ
トン等)、エステル類(酢酸エチル、酢酸ブチル、安息
香酸メチル、プロピオン酸メチル等)、エーテル類(テ
トラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシエタン
等)、セロソルブ類(メチルセロソルブ、エチルセロソ
ルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等)、
芳香族炭化水素(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチ
ルベンゼン等)、ハロゲン化炭化水素(クロロホルム、
トリクロロエチレン、ジクロロメタン等)、アルコール
(エチルアルコール、ベンジルアルコール等)、その他
(ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等)、
水等が挙げられる。
Solvents used for dissolving or dispersing the visible light curable resin composition include, for example, ketones (acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone), esters (ethyl acetate, butyl acetate, methyl benzoate). , Methyl propionate, etc.), ethers (tetrahydrofuran, dioxane, dimethoxyethane, etc.), cellosolves (methyl cellosolve, ethyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, etc.),
Aromatic hydrocarbons (benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, etc.), halogenated hydrocarbons (chloroform,
Trichloroethylene, dichloromethane, etc.), alcohols (ethyl alcohol, benzyl alcohol, etc.), others (dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, etc.),
Water and the like.

【0068】また、支持体としては、例えば、アルミニ
ウム、マグネシウム、銅、亜鉛、クロム、ニッケル、鉄
等の金属またはそれらを成分とした合金のシートまたは
これらの金属で表面を処理したプリント基板、プラスチ
ック、ガラスまたはシリコンウエハー、カーボン等が挙
げられる。
Examples of the support include a sheet of a metal such as aluminum, magnesium, copper, zinc, chromium, nickel, iron or an alloy containing them, a printed circuit board whose surface is treated with these metals, and a plastic. , Glass or silicon wafer, carbon and the like.

【0069】また、電着塗装用ネガ型レジスト材料とし
て用いる場合は、最初に本発明の可視光硬化性樹脂組成
物を水分散化物とするか、または水溶液化物とする。
When used as a negative resist material for electrodeposition coating, the visible light curable resin composition of the present invention is first made into a water dispersion or an aqueous solution.

【0070】可視光硬化性樹脂組成物の水分散化または
水溶化は、光硬化性樹脂中にカルボキシル基等のアニ
オン性基が導入されている場合にはアルカリ(中和剤)
で中和するか、またはアミノ基等のカチオン性基が導
入されている場合には、酸(中和剤)で中和することに
よって行われる。その際に使用されるアルカリ中和剤と
しては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン
類;トリエチルアミン、ジエチルアミン、モノエチルア
ミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、ジイ
ソブチルアミン等のアルキルアミン類;ジメチルアミノ
エタノール等のアルキルアルカノールアミン類;シクロ
ヘキシルアミン等の脂環族アミン類;カセイソーダ、カ
セイカリ等のアルカリ金属水酸化物;アンモニア等が挙
げられる。また、酸中和剤としては、例えば、ギ酸、酢
酸、乳酸、酪酸等のモノカルボン酸が挙げられる。これ
らの中和剤は単独でまたは混合して使用できる。中和剤
の使用量は光硬化性樹脂組成物中に含まれるイオン性基
1当量当たり、一般に0.2〜1.0当量、特に0.3
〜0.8当量の範囲が望ましい。
The water-dispersible or water-soluble visible light curable resin composition may be alkali (neutralizing agent) when an anionic group such as a carboxyl group is introduced into the photocurable resin.
Or when a cationic group such as an amino group is introduced, neutralization with an acid (neutralizing agent). Examples of the alkali neutralizer used in this case include alkanolamines such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine; alkylamines such as triethylamine, diethylamine, monoethylamine, diisopropylamine, trimethylamine, and diisobutylamine; Alkyl alkanolamines such as dimethylaminoethanol; alicyclic amines such as cyclohexylamine; alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and sodium hydroxide; ammonia; Further, examples of the acid neutralizing agent include monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, lactic acid, and butyric acid. These neutralizing agents can be used alone or in combination. The amount of the neutralizing agent to be used is generally 0.2 to 1.0 equivalent, particularly preferably 0.3 to 1 equivalent of the ionic group contained in the photocurable resin composition.
A range of -0.8 equivalents is desirable.

【0071】水溶化または水分散化した樹脂成分の流動
性をさらに向上させるために、必要により、上記光硬化
性樹脂組成物に親水性溶剤、例えば、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、n−ブタノール、t−ブタ
ノール、メトキシエタノール、エトキシエタノール、ブ
トキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等を加えるこ
とができる。かかる親水性溶剤の使用量は、一般には、
樹脂固形成分100重量部当たり、300重量部まで、
好ましくは100重量部までとすることができる。
In order to further improve the flowability of the water-soluble or water-dispersed resin component, a hydrophilic solvent such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, t- -Butanol, methoxyethanol, ethoxyethanol, butoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran and the like can be added. The amount of the hydrophilic solvent used is generally
Up to 300 parts by weight per 100 parts by weight of resin solid component,
Preferably it can be up to 100 parts by weight.

【0072】また、被塗装物への塗着量を多くするた
め、上記光硬化性樹脂組成物に対し、疎水性溶剤、例え
ば、トルエン、キシレン等の石油系溶剤;メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;酢酸エ
チル、酢酸ブチル等のエステル類;2−エチルヘキシル
アルコール、ベンジルアルコール等のアルコール類等も
加えることができる。これらの疎水性溶剤の配合量は、
樹脂固形成分100重量部当たり、通常、200重量部
まで、好ましくは、100重量部以下とすることができ
る。
Further, in order to increase the amount of coating on the object to be coated, a hydrophobic solvent such as a petroleum solvent such as toluene or xylene; methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone or the like is added to the photocurable resin composition. Ketones; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; alcohols such as 2-ethylhexyl alcohol and benzyl alcohol can also be added. The compounding amount of these hydrophobic solvents is
The amount can be generally up to 200 parts by weight, preferably 100 parts by weight or less, per 100 parts by weight of the resin solid component.

【0073】電着塗料として可視光硬化性樹脂組成物の
調製は、従来から公知の方法で行うことができる。例え
ば、前記の中和により水溶化された光硬化性樹脂
(A)、光反応開始剤(B)、ラジカル保護化合物
(C)、光増感剤(D)、さらに必要に応じ、溶剤およ
びその他の成分をよく混合し、水を加えることにより調
製することができる。
The preparation of the visible light curable resin composition as an electrodeposition coating composition can be carried out by a conventionally known method. For example, the photocurable resin (A), the photoreaction initiator (B), the radical protection compound (C), the photosensitizer (D), and the solvent and the Can be prepared by thoroughly mixing the components and adding water.

【0074】このようにして調製された可視光硬化性樹
脂組成物は、通常の方法で、さらに水で希釈し、例え
ば、pHが4〜9の範囲内、浴濃度(固形分濃度)3〜
25重量%、好ましくは5〜15重量%の範囲内の電着
塗料(または電着浴)とすることができる。
The visible light curable resin composition thus prepared is further diluted with water by a usual method, for example, when the pH is in the range of 4 to 9, the bath concentration (solids concentration) is 3 to 3.
Electrodeposition paint (or electrodeposition bath) can be in the range of 25% by weight, preferably 5 to 15% by weight.

【0075】上記のようにして調製された電着塗料は、
次のようにして被塗物である導体表面に塗装することが
できる。すなわち、まず、浴のpHおよび浴濃度を上記
の範囲に調整し、浴温度を15〜40℃、好ましくは1
5〜30℃に管理する。次いで、このように管理された
電着塗装浴に、塗装されるべき導体を電着塗料がアニオ
ン型の場合には陽極として、また、カチオン型の場合に
は陰極として、浸漬、5〜200Vの直流電流を通電す
る。通電時間は10秒〜5分が適当である。
The electrodeposition paint prepared as described above is
The coating can be performed on the surface of the conductor to be coated as follows. That is, first, the pH and bath concentration of the bath are adjusted to the above ranges, and the bath temperature is adjusted to 15 to 40 ° C., preferably 1
Control at 5-30 ° C. Next, in the electrodeposition coating bath controlled in this way, the conductor to be coated is immersed in a conductor to be coated as an anode when the electrodeposition coating is of an anionic type and as a cathode when the electrodeposition coating is of a cationic type. Apply DC current. An appropriate energization time is 10 seconds to 5 minutes.

【0076】また、該電着塗装方法において、被塗物に
ガラス転移温度の低い電着塗料を塗装し、次いで水洗又
は水洗乾燥後、更にガラス転移温度20℃以上の電着塗
料を塗装する方法(特開平2−20873号公報参
照)、即ちダブルコート電着塗装を行うこともできる。
In the electrodeposition coating method, the object to be coated is coated with an electrodeposition coating material having a low glass transition temperature, then washed with water or washed and dried, and further coated with an electrodeposition coating material having a glass transition temperature of 20 ° C. or more. (See JP-A-2-20873), that is, double-coat electrodeposition coating can also be performed.

【0077】得られる膜厚は乾燥膜厚で、一般に0.5
〜50μm、好適には、1〜20μmである。電着塗装
後、電着浴から被塗物を引き上げ水洗いした後、電着塗
膜中に含まれる水分等を熱風等で乾燥、除去する。
The film thickness obtained is a dry film thickness, generally 0.5
5050 μm, preferably 1-20 μm. After the electrodeposition coating, the object to be coated is pulled up from the electrodeposition bath and washed with water, and then moisture and the like contained in the electrodeposition coating film are dried and removed with hot air or the like.

【0078】導体としては、金属、カーボン、酸化錫等
の導電性材料またはこれらを積層、メッキ等によりプラ
スチック、ガラス表面に固着させたものが使用できる。
As the conductor, a conductive material such as metal, carbon, tin oxide or the like, or a material in which these are fixed to the surface of plastic or glass by lamination, plating or the like can be used.

【0079】上記のようにして導体表面に形成される可
視光レジスト材料、および、電着塗装によって得られる
可視光レジスト電着塗膜は、画像に応じて、可視光で露
光し、硬化させ、非露光部を現像処理によって除去する
ことにより、画像を形成することができる。
The visible light resist material formed on the conductor surface as described above, and the visible light resist electrodeposition coating film obtained by electrodeposition coating are exposed to visible light according to an image and cured. An image can be formed by removing the non-exposed portion by a developing process.

【0080】露光のための光源としては、超高圧、高
圧、中圧、低圧の水銀灯、ケミカルランプ、カーボンア
ーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、蛍光灯、タン
グステン灯、太陽光等の各光源により得られる光源のう
ち、紫外線を紫外カットフィルターによりカットした可
視領域の光線や、可視領域に発振線を持つ各種レーザー
等が使用できる。高出力で安定なレーザー光源として、
アルゴンレーザー、あるいはYAGレーザーの第二高調
波が好ましい。
As the light source for exposure, light sources such as ultrahigh pressure, high pressure, medium pressure and low pressure mercury lamps, chemical lamps, carbon arc lamps, xenon lamps, metal halide lamps, fluorescent lamps, tungsten lamps, sunlight and the like can be used. Among the light sources used, there can be used light rays in the visible region in which ultraviolet rays are cut by an ultraviolet cut filter, various lasers having oscillation lines in the visible region, and the like. As a high power and stable laser light source,
An argon laser or a second harmonic of a YAG laser is preferred.

【0081】現像処理は、非露光部膜がアニオン性の場
合にはアルカリ水溶液を用いて、また、カチオン性の場
合にはpH5以下の酸水溶液を用いて洗い流すことによ
り行われる。アルカリ水溶液は通常、カセイソーダ、炭
酸ソーダ、カセイカリ、アンモニア水等塗膜中に有する
遊離のカルボン酸と中和して水溶性を与えることのでき
るものが、また、酸水溶液は酢酸、ギ酸、乳酸等が使用
可能である。
The developing treatment is carried out by rinsing with an aqueous alkali solution when the non-exposed portion film is anionic, and with an aqueous acid solution having a pH of 5 or less when the non-exposed film is cationic. Alkaline aqueous solutions that can be neutralized with free carboxylic acids in the coating film, such as sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydroxide, aqueous ammonia, etc., to give water solubility, and acid aqueous solutions are acetic acid, formic acid, lactic acid, etc. Can be used.

【0082】また、イオン性基を持たない光硬化性樹脂
(A)の場合の現像処理は、1,1,1−トリクロロエ
タン、トリクレン、メチルエチルケトン、塩化メチレン
等の溶剤を使って未露光部を溶解することによって行
う。現像した後の塗膜は、水洗後、熱風等により乾燥さ
れ、導体上に目的とする画像が形成される。また、必要
に応じて、エッチングを施し、露出した導体部を除去し
た後、レジスト膜を除去し、プリント回路板の製造を行
うこともできる。
In the case of the photocurable resin (A) having no ionic group, the unexposed portion is dissolved by using a solvent such as 1,1,1-trichloroethane, tricrene, methyl ethyl ketone, or methylene chloride. Do by doing. The coated film after development is washed with water and dried with hot air or the like, so that a desired image is formed on the conductor. If necessary, the printed circuit board can be manufactured by performing etching to remove the exposed conductor portion, and then removing the resist film.

【0083】[0083]

【実施例】実施例により本発明をさらに具体的に説明す
る。以下、「部」及び「%」は、それぞれ「重量部」及
び「重量%」を意味する。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. Hereinafter, “parts” and “%” mean “parts by weight” and “% by weight”, respectively.

【0084】実施例1 光硬化性樹脂(高分子バインダー)としてメチルメタク
リレート/メタクリル酸/ヒドロキシフェニルメタクリ
レート/ベンジルメタクリレート=50/20/10/
20の混合物の重合体100部、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート55部、表−1の1−1の化合物の
光増感剤5部、光反応開始剤として下記式(a)のチタ
ノセン化合物20部、ラジカル保護化合物としてN,N
−ジメチルアニリン3部及び溶剤としてメチルセロソル
ブ160部を用いて感光液を調製した。
Example 1 As photocurable resin (polymer binder), methyl methacrylate / methacrylic acid / hydroxyphenyl methacrylate / benzyl methacrylate = 50/20/10 //
100 parts of a polymer of the mixture of No. 20, 55 parts of trimethylolpropane triacrylate, 5 parts of a photosensitizer of the compound of 1-1 in Table 1, 20 parts of a titanocene compound of the following formula (a) as a photoreaction initiator, N, N as radical protecting compounds
A photosensitive solution was prepared using 3 parts of dimethylaniline and 160 parts of methyl cellosolve as a solvent.

【0085】[0085]

【化9】 Embedded image

【0086】上記のようにして得た感光液を、表面に厚
さ18μmの銅層を有する、板厚2mm、大きさ350
×460mmの銅張りガラス繊維強化エポキシ基板にバ
ーコータにて塗布し、60℃で10分間乾燥し乾燥膜厚
5μmのレジスト膜を得た。
The photosensitive solution obtained as described above was applied to a plate having a thickness of 2 mm and a size of 350 mm with a copper layer having a thickness of 18 μm on the surface.
A 460 mm copper-clad glass fiber reinforced epoxy substrate was coated with a bar coater and dried at 60 ° C. for 10 minutes to obtain a resist film having a dry film thickness of 5 μm.

【0087】上記レジスト膜形成基板に、21段ステッ
プタブレットフィルムを通して、波長488nmのアル
ゴンイオンレーザー照射装置によって露光量が3mJ/
cm 2となるように可視光レーザーをスキャン方式にて
空気中で照射した。ついで上記露光後のレジスト膜形成
基板を60℃で10分間加熱した後、30℃の1%炭酸
ソーダ水溶液(現像液)に1分間浸漬して現像を行いレ
ジスト膜の未硬化部分を除去した。現像後のレジストの
ステップタブレット感度は7段であった。ここで、ステ
ップタブレット感度とは、段階的に異なった光透過率を
有するフィルム(ここでは21段のステップタブレット
フィルム)を用い、露光、現像させた場合に良好なレジ
ストパターン(硬化性)を示す最低光透過率の段数を意
味する。段数が大きいほどフィルムの光透過率が低くな
り、良好なレジストパターンを示す段数が大きいほど良
好な感度であることを示す。キセノンランプ(紫外線波
長領域をカット)及びYAGレーザーの第二高調波(5
32nm)を上記のレジスト膜に光照射したところ、露
光量が3mJ/cm2で現像後のレジストのステップタ
ブレット感度は7段で良好であった。
A 21-step step is formed on the resist film forming substrate.
Through a tablet film, the wavelength of 488 nm
Exposure 3mJ /
cm TwoVisible light laser by scanning method so that
Irradiated in air. Next, formation of a resist film after the above exposure
After heating the substrate at 60 ° C. for 10 minutes, 30% of 1% carbon dioxide
Immerse in a soda aqueous solution (developer) for 1 minute to develop and
The uncured part of the dist film was removed. After development of resist
The step tablet sensitivity was 7 steps. Here,
Tablet sensitivity is a stepwise change in light transmittance.
Film (here a 21-step tablet)
Good registration when exposed and developed using
The number of steps with the lowest light transmittance that indicates the strike pattern (curability)
To taste. The greater the number of steps, the lower the light transmittance of the film
The higher the number of steps showing a good resist pattern, the better
Indicates good sensitivity. Xenon lamp (ultraviolet wave
Long region cut) and the second harmonic of YAG laser (5
32 nm), the resist film was irradiated with light.
Light intensity is 3mJ / cmTwoStep of resist after development
The bullet sensitivity was good at 7 steps.

【0088】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after the unexposed resist film-formed substrate was left at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0089】実施例2〜50 実施例1において、光増感剤として表−1の1−2〜1
−50を使用した以外は実施例1と同様にレジスト膜形
成及び評価を行った。現像後のレジストのステップタブ
レット感度は全て7段で良好であった。
Examples 2 to 50 In Example 1, 1-2 to 1 of Table 1 were used as photosensitizers.
A resist film was formed and evaluated in the same manner as in Example 1 except that -50 was used. The step tablet sensitivity of the resist after development was all good at 7 steps.

【0090】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after the unexposed resist film-formed substrate was left at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0091】実施例51 実施例1において、アクリル樹脂100部に代えて、メ
チルアクリレート/スチレン/アクリル酸=60/10
/30のラジカル共重合体(酸価約233)にグリシジ
ルメタクリレート35部を付加反応させて得られる光硬
化性樹脂(酸価約70、不飽和度1.83モル/kg)
100部を使用し、実施例1と同様の組成の感光液を調
製した。これを用いて、実施例1と同様にレジスト膜形
成及び評価を行った。現像後のレジストのステップタブ
レット感度は7段で良好であった。
Example 51 In Example 1, methyl acrylate / styrene / acrylic acid = 60/10 in place of 100 parts of the acrylic resin.
/ 30 radical copolymer (acid value about 233) and 35 parts of glycidyl methacrylate obtained by addition reaction (acid value about 70, degree of unsaturation 1.83 mol / kg)
A photosensitive solution having the same composition as in Example 1 was prepared using 100 parts. Using this, a resist film was formed and evaluated in the same manner as in Example 1. The step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0092】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after leaving the unexposed resist film-formed substrate at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0093】実施例52 実施例1において、アクリル樹脂100部に代えて、該
アクリル樹脂50部及び実施例51で使用した光硬化性
樹脂50部の混合物を使用し、実施例1と同様の組成の
感光液を調製した。これを用いて、実施例1と同様にレ
ジスト膜形成及び評価を行った。現像後のレジストのス
テップタブレット感度は7段で良好であった。
Example 52 In Example 1, a mixture of 50 parts of the acrylic resin and 50 parts of the photocurable resin used in Example 51 was used instead of 100 parts of the acrylic resin, and the same composition as in Example 1 was used. Was prepared. Using this, a resist film was formed and evaluated in the same manner as in Example 1. The step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0094】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
Further, after the unexposed resist film forming substrate was left at room temperature for 6 months, the same evaluation was performed.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0095】実施例53 実施例1において、アクリル樹脂100部およびトリメ
チロールプロパントリアクリレート55部に代えて、実
施例51で使用した光硬化性樹脂155部を使用し、実
施例1と同様の組成の感光液を調製した。これを用い
て、実施例1と同様にレジスト膜形成及び評価を行っ
た。現像後のレジストのステップタブレット感度は7段
で良好であった。
Example 53 The same composition as in Example 1 was used, except that 155 parts of the photocurable resin used in Example 51 were used instead of 100 parts of the acrylic resin and 55 parts of trimethylolpropane triacrylate. Was prepared. Using this, a resist film was formed and evaluated in the same manner as in Example 1. The step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0096】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
Further, after the unexposed resist film forming substrate was left at room temperature for 6 months, the same evaluation was performed.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0097】実施例54 実施例51で得られた感光液100部(固形分)にトリ
エチルアミン7部を混合攪拌した後、脱イオン水中に分
散して水分散樹脂溶液(固形分15%)を得た。
Example 54 100 parts (solid content) of the photosensitive solution obtained in Example 51 was mixed and stirred with 7 parts of triethylamine, and then dispersed in deionized water to obtain a water-dispersed resin solution (solid content: 15%). Was.

【0098】得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴とし
て、積層銅板を陽極とし、乾燥膜厚が5μmとなるよう
にアニオン電着塗装を行った後、水洗し、80℃で5分
間乾燥を行い電着塗膜感光層を得た。この感光層を用い
て、実施例1と同様に評価を行った。現像後のレジスト
のステップタブレット感度は7段で良好であった。
The obtained aqueous dispersion resin solution was used as an electrodeposition coating bath, anion electrodeposition coating was performed using a laminated copper plate as an anode to a dry film thickness of 5 μm, washed with water, and dried at 80 ° C. for 5 minutes. Was carried out to obtain an electrocoating photosensitive layer. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using this photosensitive layer. The step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0099】また、未感光の電着塗膜感光層を室温で6
ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記
の感光感度に変化は認められなかった。
Further, the unexposed electrodeposition coating photosensitive layer was coated at room temperature for 6 hours.
After having been left for a month, the same evaluation was performed. As a result, no change was found in the photosensitive sensitivity.

【0100】実施例55 メチルアクリレート/スチレン/ブチルアクリレート/
グリシジルメタクリレート/ジメチルアミノエチルメタ
クリレート=20/10/22/30/18のラジカル
共重合体にアクリル酸15部を付加反応させて得られる
光硬化性樹脂(アミン価約56、不飽和度1.83モル
/kg)100部、表−1の1−1の化合物5部、トリ
メチロールプロパントリアクリレート55部、実施例1
で使用したチタノセン化合物20部を混合して得られる
感光液100部(固形分)に酢酸3部を配合した後、脱
イオン水中に分散して水分散樹脂溶液(固形分15%)
を得た。
Example 55 Methyl acrylate / styrene / butyl acrylate /
Photocurable resin obtained by adding 15 parts of acrylic acid to a radical copolymer of glycidyl methacrylate / dimethylaminoethyl methacrylate = 20/10/22/30/18 (amine value: about 56, degree of unsaturation: 1.83) Mol / kg) 100 parts, 5 parts of compound 1-1 in Table 1, 55 parts of trimethylolpropane triacrylate, Example 1
100 parts (solid content) of the photosensitive solution obtained by mixing 20 parts of the titanocene compound used in the above was mixed with 3 parts of acetic acid, and then dispersed in deionized water to obtain a water-dispersed resin solution (solid content: 15%).
I got

【0101】得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴とし
て、積層銅板を陰極とし、乾燥膜厚が5μmとなるよう
にカチオン電着塗装を行った後、水洗し、80℃で5分
間乾燥を行い電着塗膜感光層を得た。この感光層を用い
て、実施例1と同様に評価を行った。現像後のレジスト
のステップタブレット感度は7段で良好であった。
The obtained water-dispersed resin solution was used as an electrodeposition coating bath, a cationic copper electrodeposition coating was performed using a laminated copper plate as a cathode to a dry film thickness of 5 μm, followed by washing with water and drying at 80 ° C. for 5 minutes. Was carried out to obtain an electrocoating photosensitive layer. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using this photosensitive layer. The step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0102】また、未感光の電着塗膜感光層を室温で6
ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記
の感光感度に変化は認められなかった。なお、現像液と
して1%炭酸ナトリウム水溶液に代えて2.38%テト
ラメチルアンモニウムヒドロオキサイド水溶液を使用し
た。
Further, the unexposed electrodeposition coating photosensitive layer was cured at room temperature for 6 hours.
After having been left for a month, the same evaluation was performed. As a result, no change was found in the photosensitive sensitivity. As a developer, a 2.38% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide was used instead of the 1% aqueous solution of sodium carbonate.

【0103】実施例56 実施例1においてラジカル保護化合物のN,N−ジメチ
ルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使用
した以外は実施例1と同様のものを使用して感光液を調
製した。これを用いて実施例1と同様にレジスト膜の形
成及び試験を行った。その結果、現像後のレジストのス
テップタブレット感度は7段で良好であった。
Example 56 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of the N, N-dimethylaniline radical protecting compound. Prepared. Using this, a resist film was formed and tested in the same manner as in Example 1. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0104】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after leaving the unexposed resist film-formed substrate at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0105】実施例57 実施例51においてラジカル保護化合物のN,N−ジメ
チルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使
用した以外は実施例51と同様のものを使用して感光液
を調製した。これを用いて実施例1と同様にレジスト膜
の形成及び試験を行った。その結果、現像後のレジスト
のステップタブレット感度は7段で良好であった。
Example 57 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 51 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of N, N-dimethylaniline as the radical protecting compound. Prepared. Using this, a resist film was formed and tested in the same manner as in Example 1. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0106】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after leaving the unexposed resist film-formed substrate at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0107】実施例58 実施例52においてラジカル保護化合物のN,N−ジメ
チルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使
用した以外は実施例52と同様のものを使用して感光液
を調製した。これを用いて実施例1と同様にレジスト膜
の形成及び試験を行った。その結果、現像後のレジスト
のステップタブレット感度は7段で良好であった。
Example 58 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 52 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of N, N-dimethylaniline as the radical protecting compound. Prepared. Using this, a resist film was formed and tested in the same manner as in Example 1. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0108】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
The same evaluation was performed after leaving the unexposed resist film-formed substrate at room temperature for 6 months.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0109】実施例59 実施例53においてラジカル保護化合物のN,N−ジメ
チルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使
用した以外は実施例53と同様のものを使用して感光液
を調製した。これを用いて実施例1と同様にレジスト膜
の形成及び試験を行った。その結果、現像後のレジスト
のステップタブレット感度は7段で良好であった。
Example 59 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 53 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of the radical protecting compound N, N-dimethylaniline. Prepared. Using this, a resist film was formed and tested in the same manner as in Example 1. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0110】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度に変化は認められなかった。
Further, after the unexposed resist film forming substrate was left at room temperature for 6 months, the same evaluation was performed.
No change was found in the photosensitive sensitivity.

【0111】実施例60 実施例54においてラジカル保護化合物のN,N−ジメ
チルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使
用した以外は実施例54と同様のものを使用して感光液
を調製した。これを用いて実施例54と同様に電着塗膜
感光層の形成及び試験を行った。その結果、現像後のレ
ジストのステップタブレット感度は7段で良好であっ
た。
Example 60 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 54 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of N, N-dimethylaniline as the radical protecting compound. Prepared. Using this, the formation and test of an electrocoating photosensitive layer were carried out in the same manner as in Example 54. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0112】また、未感光の電着塗膜感光層を室温で6
ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記
の感光感度に変化は認められなかった。
The photosensitive layer of the undeposited electrodeposition coating film
After having been left for a month, the same evaluation was performed. As a result, no change was found in the photosensitive sensitivity.

【0113】実施例61 実施例55においてラジカル保護化合物のN,N−ジメ
チルアニリン3部に代えてトリエチル亜燐酸を5部を使
用した以外は実施例55と同様のものを使用して感光液
を調製した。これを用いて実施例55と同様に電着塗膜
感光層の形成及び試験を行った。その結果、現像後のレ
ジストのステップタブレット感度は7段で良好であっ
た。
Example 61 A photosensitive solution was prepared in the same manner as in Example 55 except that 5 parts of triethylphosphorous acid was used instead of 3 parts of the N, N-dimethylaniline radical protecting compound. Prepared. Using this, the formation and test of an electrocoating photosensitive layer were performed in the same manner as in Example 55. As a result, the step tablet sensitivity of the developed resist was good at 7 steps.

【0114】また、未感光の電着塗膜感光層を室温で6
ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記
の感光感度に変化は認められなかった。
The photosensitive layer of the undeposited electrodeposition coating film was coated at room temperature for 6 hours.
After having been left for a month, the same evaluation was performed. As a result, no change was found in the photosensitive sensitivity.

【0115】比較例1 実施例1において、光増感剤として下記式の化合物を使
用し、更にラジカル保護化合物であるN,N−ジメチル
アニリン3部を使用しない以外は、実施例1と同様の組
成の感光液を調製した。これを用いて、実施例1とレジ
スト膜の形成及び評価を同様に行った。現像後のレジス
トのステップタブレット感度は3段で悪かった。
Comparative Example 1 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the compound of the following formula was used as the photosensitizer, and that 3 parts of N, N-dimethylaniline which was a radical protecting compound was not used. A photosensitive solution having the composition was prepared. Using this, formation and evaluation of the resist film were performed in the same manner as in Example 1. The step tablet sensitivity of the developed resist was poor at three steps.

【0116】[0116]

【化10】 Embedded image

【0117】また、未感光のレジスト膜形成基板を室温
で6ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、
前記の感光感度が3段で悪かった。
Further, after the unexposed resist film-formed substrate was left at room temperature for 6 months, the same evaluation was performed.
The above-mentioned sensitivity was poor at three steps.

【0118】[0118]

【発明の効果】本発明において、特定の化合物を光増感
剤として含有する可視光硬化性樹脂組成物は実用上極め
て有用性の高い組成物である。従来、レジスト材料とし
て光硬化反応を用いたプリント基板の分野で、プリント
回路図を、そのまま直接レーザーを用いて出力し記録す
る方式では、感光層の経時安定性が低く、また、感度が
低く、溶解性、保存安定性等の問題があった。
According to the present invention, a visible light curable resin composition containing a specific compound as a photosensitizer is a composition having extremely high practical utility. Conventionally, in the field of printed circuit boards using a photo-curing reaction as a resist material, a method of directly outputting and recording a printed circuit diagram using a laser as it is, the temporal stability of the photosensitive layer is low, and the sensitivity is low, There were problems such as solubility and storage stability.

【0119】しかし、本発明の可視光硬化性樹脂組成物
は、基本樹脂と光増感剤の相溶性が極めてよく、かつ、
汎用の塗布溶液に溶解し、支持体上で均一、かつ、経時
保存安定性に優れた塗面を得ることができる。
However, the visible light curable resin composition of the present invention has extremely good compatibility between the base resin and the photosensitizer, and
It can be dissolved in a general-purpose coating solution to obtain a coated surface which is uniform on a support and has excellent storage stability over time.

【0120】また、本発明で使用する光増感剤は、48
8nmおよび514.5nmに安定な発振線を持つアル
ゴンレーザーや第二高調波として532nmに輝線を持
つYAGレーザー等の汎用可視レーザーに対して、非常
に高い感度を有するため、本発明の可視光硬化性樹脂組
成物を用いて得られたレジスト材料は、このようなレー
ザーにより高速走査露光が可能である。また、高速走査
露光により画像を形成した場合、極めて微細な高解像度
の画像が得られる。
The photosensitizer used in the present invention is 48
It has a very high sensitivity to general-purpose visible lasers such as an argon laser having stable oscillation lines at 8 nm and 514.5 nm and a YAG laser having an emission line at 532 nm as a second harmonic. The resist material obtained using the conductive resin composition can be subjected to high-speed scanning exposure with such a laser. When an image is formed by high-speed scanning exposure, an extremely fine high-resolution image can be obtained.

【0121】本発明の可視光硬化性樹脂組成物から得ら
れるレジスト膜は、特定のラジカル保護化合物(C)を
含有しているので、可視光レーザーの照射によりレジス
ト膜中に発生したラジカルが酸素によって失活し、レジ
スト膜が硬化阻害を起こすのを防止することができる。
すなわち、本発明の可視光硬化性樹脂組成物を用いれ
ば、感度の良好なレジスト膜を形成することができる。
Since the resist film obtained from the visible light curable resin composition of the present invention contains a specific radical protecting compound (C), radicals generated in the resist film by irradiation with a visible light laser are converted to oxygen. Thus, it is possible to prevent the resist film from being deactivated and the curing of the resist film from being inhibited.
That is, when the visible light curable resin composition of the present invention is used, a resist film having good sensitivity can be formed.

【0122】一般に酸素による硬化阻害が起きると、レ
ジスト膜表面付近において硬化度が不足するため、形成
されるレジストパターンの断面形状がカマボコ状となる
が、本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、酸素による硬
化阻害を防止できるので、断面が矩形状のレジストパタ
ーンの形成が可能である。
In general, when the curing is inhibited by oxygen, the degree of curing becomes insufficient near the surface of the resist film, so that the cross-sectional shape of the formed resist pattern becomes uneven, but the visible light curable resin composition of the present invention is Since the curing inhibition by oxygen can be prevented, a resist pattern having a rectangular cross section can be formed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木暮 英雄 神奈川県平塚市東八幡4丁目17番1号 関 西ペイント株式会社内 (72)発明者 小木曽 章 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 三沢 伝美 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 西本 泰三 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 塚原 宇 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 (72)発明者 詫摩 啓輔 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 化学株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA01 AA11 AB15 AB16 AC08 BC51 CA01 CA39 CC01 CC03 4F100 AB17A AH03B AH07B AK01B AK25B AT00A BA02 BA10A BA10B CA30B CC01B GB90 JB14B JL01 JN17 4J011 QC09 RA19 SA21 SA31 SA41 SA63 SA64 SA78 SA84 SA86 TA07 TA08 UA02 VA01 WA01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hideo Kogure 4-17-1, Higashi-Hachiman, Hiratsuka-shi, Kanagawa Prefecture Kansai Paint Co., Ltd. (72) Akira Ogiso 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Mitsui Chemicals Within the company (72) Inventor Denmi Misawa 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Mitsui Chemicals Co., Ltd. (72) Inventor Taizo Nishimoto 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Mitsui Chemicals Corporation (72) U Tsukahara 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Pref. Mitsui Chemicals Co., Ltd. CA39 CC01 CC03 4F100 AB17A AH03B AH07B AK01B AK25B AT00A BA02 BA10A BA10B CA30B CC01B GB90 JB14B JL01 JN17 4J011 QC09 RA19 SA21 SA31 SA41 SA63 SA64 SA78 SA84 SA86 TA07 TA08 UA02 VA01 WA01

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 下記成分(A)光硬化性樹脂、(B)光
反応開始剤、(C)亜燐酸エステル化合物および芳香環
を形成する炭素原子に結合したN,N−ジメチルアミノ
基を有する芳香族化合物から選ばれる少なくとも1種の
ラジカル保護化合物及び(D)下記一般式(1)で表さ
れるベンゾピロメテン系ホウ素化合物を少なくとも1種
含む光増感剤を含有することを特徴とする可視光硬化性
樹脂組成物。 【化1】 〔式中、R1,R2,R3,R5,R6,R7,R8,R9はそ
れぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シ
アノ基、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボキシル基、ス
ルホン酸基、アルキル基、ハロゲノアルキル基、アルコ
キシアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルコキシ
基、アリールオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニ
ル基、アミノカルボニル基、アルキルアミノカルボニル
基、ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニ
ルアミノ基、アリールカルボニルアミノ基、アリールア
ミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラ
ルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルキルチ
オ基、アリールチオ基、アルケニルオキシカルボニル
基、アラルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボ
ニルアルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルアル
コキシカルボニル基、モノ(ヒドロキシアルキル)アミ
ノカルボニル基、ジ(ヒドロキシアルキル)アミノカル
ボニル基、モノ(アルコキシアルキル)アミノカルボニ
ル基、ジ(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基、
アルケニル基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ
基、モノ(ヒドロキシアルキル)アミノ基またはジ(ヒ
ドロキシアルキル)アミノ基を表し、R4は水素原子、
シアノ基、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ヘ
テロアリール基またはアルケニル基を表し、R10,R11
はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基、アラル
キル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基
またはアルコキシアルコキシ基を示す。〕
1. Component (A) having a photocurable resin, (B) a photoreaction initiator, (C) a phosphite compound and an N, N-dimethylamino group bonded to a carbon atom forming an aromatic ring. Visible light comprising at least one radical protecting compound selected from aromatic compounds and (D) a photosensitizer containing at least one benzopyrromethene-based boron compound represented by the following general formula (1). Curable resin composition. Embedded image [Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxy group, an amino group, Carboxyl group, sulfonic acid group, alkyl group, halogenoalkyl group, alkoxyalkyl group, alkoxy group, alkoxyalkoxy group, aryloxy group, acyl group, alkoxycarbonyl group, aminocarbonyl group, alkylaminocarbonyl group, dialkylaminocarbonyl group, Alkylcarbonylamino group, arylcarbonylamino group, arylaminocarbonyl group, aryloxycarbonyl group, aralkyl group, aryl group, heteroaryl group, alkylthio group, arylthio group, alkenyloxycarbonyl group, aralkyloxycarbonyl group, alkoxycarbonylalkoxy Aryloxycarbonyl group, an alkylcarbonyl alkoxycarbonyl group, mono (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, di (hydroxyalkyl) aminocarbonyl group, mono (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group, di (alkoxyalkyl) aminocarbonyl group,
Represents an alkenyl group, an alkylamino group, a dialkylamino group, a mono (hydroxyalkyl) amino group or a di (hydroxyalkyl) amino group, R 4 represents a hydrogen atom,
Cyano group, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, a heteroaryl group or an alkenyl group, R 10, R 11
Each independently represents a halogen atom, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an alkoxy group or an alkoxyalkoxy group. ]
【請求項2】 請求項1記載の可視光硬化性樹脂組成物
と溶剤とを含有してなる可視光硬化材料用組成物。
2. A visible light curable material composition comprising the visible light curable resin composition according to claim 1 and a solvent.
【請求項3】 請求項1記載の可視光硬化性樹脂組成物
を基材上の含有してなる可視光硬化材料。
3. A visible light curable material comprising the visible light curable resin composition according to claim 1 on a substrate.
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